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JP7338278B2 - パワーモジュール及び電力変換装置 - Google Patents

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JP7338278B2 JP2019127856A JP2019127856A JP7338278B2 JP 7338278 B2 JP7338278 B2 JP 7338278B2 JP 2019127856 A JP2019127856 A JP 2019127856A JP 2019127856 A JP2019127856 A JP 2019127856A JP 7338278 B2 JP7338278 B2 JP 7338278B2
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和馬 福島
雄太 橋本
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Description

この明細書における開示は、パワーモジュール及び電力変換装置に関する。
特許文献1には、直流電圧を交流電圧に変換するインバータ(電力変換装置)が開示されている。この電力変換装置は、直流の電力ラインに並列接続されている各相の上下アーム回路と、電力ラインの電圧を平滑化する平滑コンデンサと、を備える。
特開2013-169075号公報
ここで、上下アーム回路のスイッチングに伴い生じるサージ電圧は、単位時間当たりの電流変化量(電流変化率)が大きいほど、また、配線インダクタンスが大きいほど大きくなる。そして、上記電力変換装置の場合、上下アーム回路のスイッチング時に必要な電荷が平滑コンデンサから供給されることになる。そのため、上下アーム回路と平滑コンデンサとを接続する配線の長さを短くすれば、サージ電圧に係る配線インダクタンスを小さくでき、上記サージ電圧を低減できる。
近年では、電力変換装置での電力損失低減を図るべく、上下アーム回路のスイッチング高速化のニーズが高くなってきており、上記サージ電圧を低減するニーズが高くなってきている。しかしながら、従来の電力変換装置の構成では、上述の如く配線長さを短くして配線インダクタンスを小さくすることに限界があり、さらなるサージ電圧低減を図ることが困難である。
本開示はこのような課題に鑑みてなされたものであり、従来よりもサージ電圧を低減できるようにした、電力変換装置に適用されるパワーモジュール及び電力変換装置を提供することを目的とする。
本開示は、上記目的を達成するために以下の技術的手段を採用する。なお、括弧内の符号は、ひとつの態様として後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものであって、技術的範囲を限定するものではない。
本開示のひとつであるパワーモジュールは、
複数の上下アーム回路(10)が並列して電力ライン(12、13)に接続されてなる電力変換装置(5)に適用されるパワーモジュールであって、
上アーム(10U)及び下アーム(10L)を有する上下アーム回路と、
上下アーム回路に並列接続されたコンデンサ(C1)と、
上下アーム回路を構成する上アーム(10U)及びコンデンサの正極端子を接続する上配線(11Pa)と、
上下アーム回路を構成する下アーム(10L)及びコンデンサの負極端子を電気接続する下配線(11Na)と、
電力ラインに接続される電力配線であって、電力ラインのうち高電位側のライン及び上配線を接続する上電力配線(11P)、及び、電力ラインのうち低電位側のライン及び下配線を接続する下電力配線(11N)と、
上アームが有する主端子(70E)及び下アームが有する主端子(70C)を接続する出力配線(150)と、を備え、
出力配線は、上配線及び下配線のそれぞれと対向する対向部(154p、154n)を有し、上配線と対向する対向部(154p)と下配線と対向する対向部(154n)とは、出力配線の異なる位置に設けられる。
このパワーモジュールは、電力ラインを含まない以下の閉ループ回路を形成することになる。すなわち、コンデンサの正極端子、上配線、上下アーム回路、下配線及びコンデンサの負極端子が順に直列接続された、電力ラインを含まない閉ループ回路である。そのため、上下アーム回路のスイッチング時に必要な電荷がコンデンサから供給されるにあたり、その電荷供給経路には電力ラインが含まれないので、その経路の配線を短くできる。一方、先行技術文献において平滑コンデンサで電荷供給する従来構造の場合には、平滑コンデンサから上下アーム回路への電荷供給経路に電力ラインが含まれるので、その経路の配線を十分に短くすることができない。
以上により、上記パワーモジュールによれば、サージ電圧発生の要因の1つである配線長を短くすることを、従来構造に比べて容易に実現できる。よって、サージ電圧に係る配線インダクタンスを小さくでき、上下アーム回路で生じるサージ電圧を低減できる。
しかも、上記閉ループ回路は電力ラインを含んでいないので、サージ電圧が電力ラインに重畳しにくくなる。そのため、電力ラインを通じて他の上下アーム回路にサージ電圧を干渉させてしまうことを抑制できる。
本開示の他のひとつである電力変換装置は、
複数の上下アーム回路(10)が並列接続された電力ライン(12、13)と、
各相それぞれに設けられた上記パワーモジュールと、を備える。
この電力変換装置は、上記パワーモジュールが各相それぞれに設けられている。そのため、閉ループ回路によるサージ電圧低減の上記効果が、各相のパワーモジュール毎に発揮される。また、電力ラインを通じた他の上下アーム回路へのサージ電圧干渉抑制の上記効果も、各相のパワーモジュール毎に発揮される。
第1実施形態の電力変換装置が適用される駆動システムを示す等価回路図である。 半導体装置を示す斜視図である。 図2のIII-III線に沿う断面図である。 半導体装置を主端子側から見た平面図である。 図2に対して封止樹脂体を省略した図である。 リードフレームの不要部分をカットする前の斜視図である。 IGBTと主端子の位置関係を示す平面図である。 半導体装置の別例を示す斜視図である。 半導体装置の別例を示す斜視図である。 半導体装置の別例を示す斜視図である。 主端子トータルのインダクタンスの磁場解析結果を示す図である。 半導体装置の別例を示す斜視図である。 半導体装置の別例を示す平面図であり、図7に対応している。 半導体装置の別例を示す平面図であり、図7に対応している。 半導体装置の別例を示す平面図であり、図7に対応している。 半導体装置の別例を示す平面図であり、図7に対応している。 半導体装置の別例を示す断面図であり、図3に対応している。 図17のXVIII-XVIII線に沿う断面図である。 半導体装置の別例の半導体装置を示す断面図である。 IGBTと主端子の位置関係を示す平面図であり、図7に対応している。 パワーモジュールを示す平面図である。 図21のXXII-XXII線に沿う断面図である。 図21を裏面側から見た平面図である。 図21をA方向から見た平面図である。 図21をB方向から見た平面図である。 図21をC方向から見た平面図である。 半導体装置、平滑コンデンサ、各バスバーの接続を説明するための図である。 配線の寄生インダクタンスを含む等価回路図である。 図27の別例を示す模式図である。 第2実施形態のパワーモジュールを示す分解斜視図である。 図30のXXXI-XXXI線に沿う断面図である。 図30のXXXII-XXXII線に沿う断面図である。 パワーモジュールの別例を示す断面図であり、図32に対応している。 ケースの別例を示す斜視図である。 図34に対応するパワーモジュールの平面図である。 図34に対応するパワーモジュールの断面図である。 第3実施形態のパワーモジュールの等価回路図である。 パワーモジュールを示す模式的な図である。 パワーモジュールの具体例を示す斜視図である。 図39をD方向から見た平面図である。 パワーモジュールの別例を示す斜視図である。 パワーモジュールの別例を示す斜視図である。 パワーモジュールの別例を示す斜視図である。 パワーモジュールの別例を示す斜視図である。 パワーモジュールのその他変形例を示す斜視図である。 第4実施形態のパワーモジュールにおいて、電流センサ及び出力バスバー周辺を示す断面図である。 パワーモジュールが適用される電力変換装置の概略構成を示す部分断面図である。 パワーモジュールの参考例を示す断面図である。 図46に示す構成の効果を説明するための断面図である。 パワーモジュールの別例を示す断面図である。 パワーモジュールが適用される装置の別例を示す図である。 第5実施形態のパワーモジュールを示す分解斜視図である。 図52のLIII-LIII線に沿う断面図である。 図52のLIV-LIV線に沿う断面図である。
図面を参照しながら、複数の実施形態を説明する。複数の実施形態において、機能的に及び/又は構造的に対応する部分には同一の参照符号を付与する。
(第1実施形態)
本実施形態の電力変換装置は、たとえば電気自動車(EV)やハイブリッド自動車(HV)などの車両に適用可能である。以下では、ハイブリッド自動車に適用される例について説明する。
<駆動システム>
先ず、図1に基づき、電力変換装置が適用される駆動システムの概略構成について説明する。
図1に示すように、車両の駆動システム1は、直流電源2と、モータジェネレータ3,4と、直流電源2とモータジェネレータ3,4との間で電力変換を行う電力変換装置5を備えている。
直流電源2は、リチウムイオン電池やニッケル水素電池などの充放電可能な二次電池である。モータジェネレータ3,4は、三相交流方式の回転電機である。モータジェネレータ3は、図示しないエンジンにより駆動されて発電する発電機(オルタネータ)、及び、エンジンを始動させる電動機(スタータ)として機能する。モータジェネレータ4は、車両の走行駆動源、すなわち電動機として機能する。また、回生時には発電機として機能する。車両は、走行駆動源として、エンジン及びモータジェネレータ4を備えている。
電力変換装置5は、コンバータ6と、インバータ7,8と、制御回路部9と、平滑コンデンサC2と、フィルタコンデンサC3などを備えている。コンバータ6及びインバータ7,8は、電力変換部である。コンバータ6は、直流電圧を異なる値の直流電圧に変換するDC-DC変換部であり、インバータ7,8は、DC-AC変換部である。これら電力変換部は、上下アーム回路10とコンデンサC1を有する並列回路11を、それぞれ備えている。
上下アーム回路10は、スイッチング素子Q1,Q2と、ダイオードD1,D2を有している。本実施形態では、スイッチング素子Q1,Q2として、nチャネル型のIGBTを採用している。上アーム10Uは、スイッチング素子Q1に、還流用のダイオードD1が逆並列に接続されてなる。下アーム10Lは、スイッチング素子Q2に、還流用のダイオードD2が逆並列に接続されてなる。なお、スイッチング素子Q1,Q2は、IGBTに限定されない。たとえばMOSFETを採用することもできる。ダイオードD1,D2としては、寄生ダイオードを用いることもできる。
上アーム10Uと下アーム10Lは、上アーム10UをVHライン12H側として、VHラインとNライン13との間で直列接続されている。高電位側の電力ラインであるPライン12は、上記したVHライン12Hに加えて、VLライン12Lを有している。VLライン12Lは、直流電源2の正極端子に接続されている。VLライン12LとVHライン12Hとの間にコンバータ6が設けられており、VHライン12Hの電位は、VLライン12Lの電位以上とされる。Nライン13は、直流電源2の負極に接続されており、接地ラインとも称される。このように、電力ライン間で上アーム10Uと下アーム10Lが直列接続されて、上下アーム回路10が構成されている。後述する半導体装置20は、1つのアームを構成する。
なお、スイッチング素子Q1のコレクタ電極がVHライン12Hに接続され、スイッチング素子Q2のエミッタ電極がNライン13に接続されている。スイッチング素子Q1のエミッタ電極と、スイッチング素子Q2のコレクタ電極が接続されている。
コンデンサC1の正極端子は、上アーム10Uを構成するスイッチング素子Q1のコレクタ電極に接続されている。コンデンサC1の負極端子は、下アーム10Lを構成するスイッチング素子Q2のエミッタ電極に接続されている。すなわち、コンデンサC1は、対応する上下アーム回路10に並列接続されている。並列回路11は、上下アーム回路10とコンデンサC1とが並列接続されてなる。並列回路11は、共通配線11P,11Nを有している。上アーム10UとコンデンサC1の正極端子との接続点は、共通配線11Pを介して、VHライン12Hに接続されている。下アーム10LとコンデンサC1の負極端子との接続点は、共通配線11Nを介して、Nライン13に接続されている。
本実施形態では、平滑コンデンサC2やフィルタコンデンサC3とは別に、コンデンサC1が設けられている。コンデンサC1は、並列接続された上下アーム回路10を構成するスイッチング素子Q1,Q2のスイッチング時に必要な電荷を供給する機能を有せばよい。スイッチングによってエネルギーロス(損失)が発生し、上下アームの両端間の電圧が落ち込むため、不足する電荷を、並列接続されたコンデンサC1から供給する。このため、コンデンサC1の静電容量は、平滑コンデンサC2やフィルタコンデンサC3の静電容量に対して十分に小さい値とされている。たとえば、平滑コンデンサC2の静電容量が1000μFとされ、コンデンサC1の静電容量が10μF~20μFとされている。後述するパワーモジュール110は、1つの並列回路11を構成する。
フィルタコンデンサC3は、VLライン12LとNライン13との間に接続されている。フィルタコンデンサC3は、直流電源2に並列に接続されている。フィルタコンデンサC3は、たとえば直流電源2からの電源ノイズを除去する。フィルタコンデンサC3は、平滑コンデンサC2よりも低電圧側に配置されるため低圧側コンデンサとも称される。なお、Nライン13及びVLライン12Lの少なくとも一方には、直流電源2とフィルタコンデンサC3との間に、図示しないシステムメインリレー(SMR)が設けられている。
コンバータ6は、上記した並列回路11と、リアクトルを有している。本実施形態のコンバータ6は、多相コンバータ、具体的には二相コンバータとして構成されている。コンバータ6は、2組の並列回路11と、並列回路11ごとに設けられたリアクトルR1,R2を有している。並列回路11は、VHライン12HとNライン13との間で並列接続されている。リアクトルR1,R2の一端はVLライン12Lに接続され、他端は、昇圧配線14をそれぞれ介して、対応する並列回路11における上アーム10U及び下アーム10Lの接続点に接続されている。すなわち、VLライン12Lと対応する上下アーム回路10の接続点との間に、リアクトルR1,R2が配置されている。リアクトルR1,R2は、VLライン12LとNライン13との間で、互いに並列に接続されている。
コンバータ6は、制御回路部9によるスイッチング制御にしたがって、直流電圧を異なる値の直流電圧に変換する。コンバータ6は、直流電源2から供給される直流電圧を昇圧する機能を有している。また、平滑コンデンサC2の電荷を用いて直流電源2を充電する降圧機能も有している。
平滑コンデンサC2は、VHライン12HとNライン13との間に接続されている。平滑コンデンサC2は、コンバータ6とインバータ7,8との間に設けられており、コンバータ6及びインバータ7,8と並列に接続されている。平滑コンデンサC2は、たとえばコンバータ6で昇圧された直流電圧を平滑化し、その直流電圧の電荷を蓄積する。平滑コンデンサC2の両端間の電圧が、モータジェネレータ3,4を駆動するための直流の高電圧となる。平滑コンデンサC2の両端間の電圧は、フィルタコンデンサC3の両端間の電圧以上とされる。平滑コンデンサC2は、フィルタコンデンサC3よりも高電圧側に配置されるため高圧側コンデンサとも称される。
インバータ7は、平滑コンデンサC2を介してコンバータ6に接続されている。インバータ7は、上記した並列回路11を3組分、有している。すなわち、インバータ7は、三相分の上下アーム回路10を有している。U相の上下アーム回路10の接続点は、モータジェネレータ3の固定子に設けられたU相巻線に接続されている。同様に、V相の上下アーム回路10の接続点は、モータジェネレータ3のV相巻線に接続されている。W相の上下アーム回路10の接続点は、モータジェネレータ3のW相巻線に接続されている。各相の上下アーム回路10の接続点は、相ごとに設けられた出力配線15を介して対応する相の巻線に接続されている。
インバータ7は、制御回路部9によるスイッチング制御にしたがって、直流電圧を三相交流電圧に変換し、モータジェネレータ3へ出力する。これにより、モータジェネレータ3は、所定のトルクを発生するように駆動される。また、インバータ7は、エンジンの出力を受けてモータジェネレータ3が発電した三相交流電圧を、制御回路部9によるスイッチング制御にしたがって直流電圧に変換し、VHライン12Hへ出力することもできる。このように、インバータ7は、コンバータ6とモータジェネレータ3との間で双方向の電力変換を行なう。
同様に、インバータ8も、平滑コンデンサC2を介してコンバータ6に接続されている。インバータ8も、上記した並列回路11を3組分、有している。すなわち、インバータ8は、三相分の上下アーム回路10を有している。U相の上下アーム回路10の接続点は、モータジェネレータ4の固定子に設けられたU相巻線に接続されている。V相の上下アーム回路10の接続点は、モータジェネレータ4のV相巻線に接続されている。W相の上下アーム回路10の接続点は、モータジェネレータ4のW相巻線に接続されている。各相の上下アーム回路10の接続点は、相ごとに設けられた出力配線15を介して対応する相の巻線に接続されている。
インバータ8は、制御回路部9によるスイッチング制御にしたがって、直流電圧を三相交流電圧に変換し、モータジェネレータ4へ出力する。これにより、モータジェネレータ3は、所定のトルクを発生するように駆動される。また、インバータ8は、車両の回生制動時、車輪からの回転力を受けてモータジェネレータ4が発電した三相交流電圧を、制御回路部9によるスイッチング制御にしたがって直流電圧に変換し、VHライン12Hへ出力することもできる。このように、インバータ8は、コンバータ6とモータジェネレータ4との間で双方向の電力変換を行なう。
制御回路部9は、インバータ7,8のスイッチング素子を動作させるための駆動指令を生成し、図示しない駆動回路部(ドライバ)に出力する。制御回路部9は、図示しない上位ECUから入力されるトルク要求や各種センサにて検出された信号に基づいて、駆動指令を生成する。
各種センサとしては、モータジェネレータ3,4の各相の巻線に流れる相電流を検出する電流センサ、モータジェネレータ3,4の回転子の回転角を検出する回転角センサ、平滑コンデンサC2の両端電圧、すなわちVHライン12Hの電圧を検出する電圧センサ、フィルタコンデンサC3の両端電圧、すなわちVLライン12Lの電圧を検出する電圧センサ、昇圧配線14に設けられ、リアクトルR1,R2を流れる電流を検出する電流センサなどがある。電力変換装置5は、これらの図示しないセンサを有している。制御回路部9は、具体的には、駆動指令としてPWM信号を出力する。制御回路部9は、たとえばマイコン(マイクロコンピュータ)を備えて構成されている。
なお、駆動回路部は、制御回路部9からの駆動指令に基づいて駆動信号を生成し、対応する上下アーム回路10のスイッチング素子Q1,Q2のゲート電極に出力する。これにより、スイッチング素子Q1,Q2を駆動、すなわちオン駆動、オフ駆動させる。本実施形態では、駆動回路部が上下アーム回路10ごとに設けられている。
次に、電力変換装置5を説明する前に、その構成要素である半導体装置20、半導体装置20を備えたパワーモジュール110について説明する。
<半導体装置>
本実施形態の電力変換装置5に適用可能な半導体装置20の一例について説明する。以下に示す半導体装置20は、上下アーム回路10の一方、すなわち1つのアームを構成するように構成されている。すなわち、2つの半導体装置により、上下アーム回路10が構成される。このような半導体装置20は、1つのアームを構成する要素単位でパッケージ化しているため、1in1パッケージとも称される。半導体装置20は、上アーム10Uと下アーム10Lとで、基本的な構成が同じであり、たとえば共通部品とすることもできる。
図2~図7に示すように、半導体装置20は、封止樹脂体30、半導体チップ40、導電部材50、ターミナル60、主端子70、及び信号端子80を備えている。なお、図5は、図2に対して、封止樹脂体30を省略した図である。図6は、封止樹脂体30の成形後であって、タイバーなど、リードフレーム100の不要部分を除去する前の状態を示している。図7は、半導体チップ40と主端子70との位置関係を示す平面図であり、封止樹脂体30の一部、導電部材50E、及びターミナル60を省略して図示している。
以下の説明において、半導体チップ40の板厚方向をZ方向、Z方向に直交する一方向をX方向と示す。具体的には、主端子70の並び方向をX方向と示す。また、Z方向及びX方向の両方向に直交する方向をY方向と示す。特に断わりのない限り、上記したX方向及びY方向により規定されるXY面に沿う形状を平面形状とする。
封止樹脂体30は、たとえばエポキシ系樹脂からなる。封止樹脂体30は、たとえばトランスファモールド法により成形されている。図2~図4に示すように、封止樹脂体30は、半導体チップ40の板厚方向に平行なZ方向において、一面31と、一面31と反対の裏面32を有している。一面31及び裏面32は、たとえば平坦面となっている。封止樹脂体30は、一面31と裏面32とをつなぐ側面を有している。本例では、封止樹脂体30が、平面略矩形状をなしている。
半導体チップ40は、Si、SiC、GaNなどの半導体基板に、素子が形成されてなる。半導体装置20は、半導体チップ40を1つ備えている。半導体チップ40には、上記した1つのアームを構成する素子(スイッチング素子及びダイオード)が形成されている。すなわち、素子としてRC(Reverse Conducting)-IGBTが形成されている。たとえば上アーム10Uとして用いる場合、半導体チップ40に形成された素子はスイッチング素子Q1及びダイオードD1として機能し、下アーム10Lとして用いる場合、半導体チップ40に形成された素子はスイッチング素子Q2及びダイオードD2として機能する。
素子は、Z方向に主電流が流れるように縦型構造をなしている。図示を省略するが、素子はゲート電極を有している。ゲート電極はトレンチ構造をなしている。図3に示すように、半導体チップ40は、Z方向の両面に主電極を有している。具体的には、一面側に主電極としてコレクタ電極41を有し、一面と反対の裏面側に主電極としてエミッタ電極42を有している。コレクタ電極41はダイオードのカソード電極も兼ねており、エミッタ電極42はダイオードのアノード電極も兼ねている。コレクタ電極41は、一面のほぼ全面に形成されている。エミッタ電極42は、裏面の一部に形成されている。
図3及び図7に示すように、半導体チップ40は、エミッタ電極42が形成された裏面に、信号用の電極であるパッド43を有している。パッド43は、エミッタ電極42とは別の位置に形成されている。パッド43は、エミッタ電極42と電気的に分離されている。パッド43は、Y方向において、エミッタ電極42の形成領域とは反対側の端部に形成されている。
本例では、半導体チップ40が、5つのパッド43を有している。具体的には、5つのパッド43として、ゲート電極用、エミッタ電極42の電位を検出するケルビンエミッタ用、電流センス用、半導体チップ40の温度を検出する温度センサ(感温ダイオード)のアノード電位用、同じくカソード電位用を有している。5つのパッド43は、平面略矩形状の半導体チップ40において、Y方向の一端側にまとめて形成されるとともに、X方向に並んで形成されている。
導電部材50は、半導体チップ40と主端子70とを電気的に中継する。すなわち、主電極の配線としての機能を果たす。本例では、半導体チップ40(素子)の熱を半導体装置20の外部に放熱する機能も果たす。このため、導電部材50は、ヒートシンクとも称される。導電部材50は、電気伝導性及び熱伝導性を確保すべく、Cuなどの金属材料を少なくとも用いて形成されている。
導電部材50は、半導体チップ40を挟むように対をなして設けられている。導電部材50のそれぞれは、Z方向からの投影視において、半導体チップ40を内包するように設けられている。半導体装置20は、一対の導電部材50として、半導体チップ40のコレクタ電極41側に配置された導電部材50Cと、エミッタ電極42側に配置された導電部材50Eを有している。導電部材50Cがコレクタ電極41と後述する主端子70Cとを電気的に中継し、導電部材50Eがエミッタ電極42と後述する主端子70Eとを電気的に中継する。
図3,図5,及び図7に示すように、導電部材50Cは、Z方向において厚肉の部分である本体部51Cと、本体部51Cよりも薄肉の部分である延設部52Cを有している。本体部51Cは、厚みがほぼ一定の平面略形状をなしている。本体部51Cは、Z方向において、半導体チップ40側の実装面53Cと、実装面53Cと反対の放熱面54Cを有している。延設部52Cは、Y方向において、本体部51Cの端部から延設されている。延設部52Cは、本体部51CとX方向の長さ、すなわち幅を同じにしてY方向に延設されている。延設部52Cにおける半導体チップ40側の面は、本体部51Cの実装面53Cと略面一となっており、半導体チップ40と反対の面は、封止樹脂体30によって封止されている。延設部52Cは、少なくとも主端子70の配置側の端部に設けられれば良い。本例では、本体部51Cの両端にそれぞれ設けられている。図7では、本体部51Cと延設部52Cとの境界を二点鎖線で示している。
図3及び図5に示すように、導電部材50Eは、Z方向において厚肉の部分である本体部51Eと、本体部51Eよりも薄肉の部分である延設部52Eを有している。本体部51Eは、厚みがほぼ一定の平面略形状をなしている。本体部51Eは、Z方向において、半導体チップ40側の実装面53Eと、実装面53Eと反対の放熱面54Eを有している。延設部52Eは、Y方向において、本体部51Eの端部から延設されている。延設部52Eは、本体部51EとX方向の長さ、すなわち幅を同じにしてY方向に延設されている。延設部52Eにおける半導体チップ40側の面は、本体部51Eの実装面53Eと略面一となっており、半導体チップ40と反対の面は、封止樹脂体30によって封止されている。延設部52Eは、少なくとも主端子70の配置側の端部に設けられれば良い。本例では、本体部51Eの両端にそれぞれ設けられている。なお、本例では、導電部材50C,50Eとして共通部品を採用している。
導電部材50Cの本体部51Cにおける実装面53Cには、半導体チップ40のコレクタ電極41が、はんだ90を介して接続されている。接続方法としては、はんだ接合に限定されない。導電部材50Cの大部分は封止樹脂体30によって覆われている。導電部材50Cの放熱面54Cは、封止樹脂体30から露出されている。放熱面54Cは、一面31と略面一となっている。導電部材50Cの表面のうち、はんだ90との接続部、放熱面54C、及び主端子70の連なる部分を除く部分が、封止樹脂体30によって覆われている。
ターミナル60は、半導体チップ40と導電部材50Eとの間に介在している。ターミナル60は略直方体をなしており、その平面形状(平面略矩形状)はエミッタ電極42とほぼ一致している。ターミナル60は、半導体チップ40のエミッタ電極42と導電部材50Eとの電気伝導、熱伝導経路の途中に位置するため、電気伝導性及び熱伝導性を確保すべく、Cuなどの金属材料を少なくとも用いて形成されている。ターミナル60は、エミッタ電極42に対向配置され、はんだ91を介してエミッタ電極42と接続されている。接続方法としては、はんだ接合に特に限定されない。ターミナル60は、後述するリードフレーム100の一部分として構成されてもよい。
導電部材50Eの本体部51Eにおける実装面53Eには、半導体チップ40のエミッタ電極42が、はんだ92を介して電気的に接続されている。具体的には、導電部材50Eとターミナル60とが、はんだ92を介して接続されている。そして、エミッタ電極42と導電部材50Eとは、はんだ91、ターミナル60、及びはんだ92を介して、電気的に接続されている。導電部材50Eも、封止樹脂体30によって大部分が覆われている。導電部材50Eの放熱面54Eは、封止樹脂体30から露出されている。放熱面54Eは、裏面32と略面一となっている。導電部材50Eの表面のうち、はんだ92との接続部、放熱面54E、及び主端子70の連なる部分を除く部分が、封止樹脂体30によって覆われている。
主端子70は、半導体装置20と外部機器とを電気的に接続するための外部接続端子のうち、主電流が流れる端子である。半導体装置20は、複数の主端子70を備えている。主端子70は、対応する導電部材50に連なっている。同一の金属部材を加工することで、主端子70を対応する導電部材50と一体的に設けてもよいし、別部材である主端子70を接続によって導電部材50に連なる構成としてもよい。本例では、図6に示すように、主端子70は、信号端子80とともに、リードフレーム100の一部分として構成されており、導電部材50とは別部材とされている。図3に示すように、主端子70は、封止樹脂体30の内部で、対応する導電部材50に連なっている。
図3及び図4に示すように、主端子70のそれぞれは、対応する導電部材50からY方向に延設され、封止樹脂体30の1つの側面33から外部に突出している。主端子70は、封止樹脂体30の内外にわたって延設されている。主端子70は、半導体チップ40の主電極と電気的に接続された端子である。半導体装置20は、主端子70として、コレクタ電極41と電気的に接続された主端子70Cと、エミッタ電極42と電気的に接続された主端子70Eを有している。主端子70Cはコレクタ端子、主端子70Eはエミッタ端子とも称される。
主端子70Cは、導電部材50Cに連なっている。具体的には、延設部52Cの1つにおける半導体チップ40側の面に、はんだ93を介して接続されている。接続方法としては、はんだ接合に特に限定されない。主端子70Cは、導電部材50CからY方向に延設され、封止樹脂体30の側面33から外部に突出している。主端子70Eは、導電部材50Eに連なっている。具体的には、延設部52Eの1つにおける半導体チップ40側の面に、はんだ94を介して接続されている。接続方法としては、はんだ接合に特に限定されない。主端子70Eは、導電部材50Eから主端子70Cと同じ方向であるY方向に延設され、図3及び図4に示すように、主端子70Cと同じ側面33から外部に突出している。主端子70C,70Eの詳細については、後述する。
信号端子80は、対応する半導体チップ40のパッド43に接続されている。半導体装置20は、複数の信号端子80を有している。本例では、ボンディングワイヤ95を介して接続されている。信号端子80は、封止樹脂体30の内部でボンディングワイヤ95と接続されている。各パッド43に接続された5つの信号端子80は、それぞれY方向に延設されており、封止樹脂体30における側面33と反対の側面34から外部に突出している。信号端子80は、上記したようにリードフレーム100の一部分として構成されている。なお、同一の金属部材を加工することで、信号端子80を、主端子70Cとともに導電部材50Cと一体的に設けてもよい。
なお、リードフレーム100は、図6に示すようにカット前の状態で、外周枠部101と、タイバー102を有している。主端子70及び信号端子80のそれぞれは、タイバー102を介して外周枠部101に固定されている。封止樹脂体30の成形後、外周枠部101やタイバー102など、リードフレーム100の不要部分を除去することで、主端子70及び信号端子80が電気的に分離され、半導体装置20が得られる。リードフレーム100としては、厚みが一定のもの、部分的に厚みが異なる異形材のいずれも採用が可能である。
以上のように構成される半導体装置20では、封止樹脂体30により、半導体チップ40、導電部材50それぞれの一部、ターミナル60、主端子70それぞれの一部、及び信号端子80それぞれの一部が、一体的に封止されている。すなわち、1つのアームを構成する要素が封止されている。このため、半導体装置20は、1in1パッケージとも称される。
また、導電部材50Cの放熱面54Cが、封止樹脂体30の一面31と略面一とされている。また、導電部材50Eの放熱面54Eが、封止樹脂体30の裏面32と略面一とされている。半導体装置20は、放熱面54C,54Eがともに封止樹脂体30から露出された両面放熱構造をなしている。このような半導体装置20は、たとえば、導電部材50を、封止樹脂体30とともに切削加工することで形成することができる。また、放熱面54C,54Eが、封止樹脂体30を成形する型のキャビティ壁面に接触するようにして、封止樹脂体30を成形することによって形成することもできる。
次に、主端子70について詳細に説明する。
主端子70は、主端子70C,70Eの少なくとも一方を複数有している。主端子70Cと主端子70Eとは、板面同士が対向するのではなく、側面同士が対向するように、主端子70の板幅方向であるX方向に並んで配置されている。半導体装置20は、隣り合う主端子70C,70Eによる側面対向部を複数有している。板面とは、主端子70の表面のうち、主端子70の板厚方向の面であり、側面とは板面をつなぐ面であって主端子70の延設方向に沿う面である。主端子70の残りの表面は、延設方向における両端面、すなわち突出先端面と後端面である。側面対向部を構成する側面は、主端子70の板厚方向において少なくとも一部が対向すればよい。たとえば板厚方向にずれて設けられてもよい。ただし、全面対向の方が効果的である。また、対向とは、対向する面が少なくとも向き合っていればよい。面同士が略平行とするのが良く、完全な平行状態がより好ましい。
主端子70の側面は、板面よりも面積が小さい面である。主端子70C,70Eは、互いに隣り合うように配置されている。互いに隣り合うことにより、主端子70C,70Eをそれぞれ複数有する構成では、主端子70Cと主端子70Eとが交互に配置されることとなる。主端子70C,70Eは、順に配置されている。
図7に示すように、X方向において配置が連続する3つ以上の主端子70により主端子群71が構成されている。上記したように主端子70C,70Eは隣り合って配置されており、主端子群71は主端子70C,70Eを両方含み、且つ、主端子70C,70Eの少なくとも一方を複数含んで構成されている。主端子群71を構成する主端子70は、それぞれの少なくとも一部が所定の領域A1内に配置されている。領域A1は、X方向において、半導体チップ40の一方の端面44から仮想的に延長された延長線EL1と、端面44とは反対の端面45から仮想的に延長された延長線EL2との間の領域である。X方向において、延長線EL1,EL2間の長さは、半導体チップ40の幅、すなわち素子幅に一致する。
本例では、主端子70C,70Eが、その全長において同じ方向(Y方向)に延設されている。主端子70は、平面一直線状をなし、X方向への延設部分を有してない。主端子70Cの厚みは、本体部51Cよりも薄くされており、たとえば延設部52Cとほぼ同じとされている。主端子70Eの厚みは、本体部51Eよりも薄くされており、たとえば延設部52Eとほぼ同じとされている。主端子70の厚みは全長でほぼ一定とされており、主端子70C,70Eでほぼ同じ厚みとされている。主端子70の幅W1は全長でほぼ一定とされており、主端子70C,70Eで同じ幅とされている。また、X方向において隣り合う主端子70の間隔P1も、すべての主端子70で同じとされている。間隔P1は、端子間ピッチとも称される。
主端子70のそれぞれは、封止樹脂体30内に屈曲部を2箇所有している。これにより、主端子70はZY平面において略クランク状をなしている。主端子70において、上記した屈曲部よりも先端の部分は平板状をなしており、この平板状部分の一部が、封止樹脂体30から突出している。封止樹脂体30からの突出部分、すなわち上記した平板状部分において、主端子70C,70Eは、図3及び図4に示すように、Z方向においてほぼ同じ位置に配置されている。また、平板状部分において、主端子70C,70Eの板厚方向は、Z方向に略一致している。これにより、主端子70Cの側面と主端子70Eの側面が、Z方向のほぼ全域で対向している。さらに、主端子70C,70Eの平板状部分の延設長さがほぼ同じであり、Y方向においてほぼ同じ位置に配置されている。これにより、主端子70C,70Eの側面は、平板状部分においてほぼ全面で対向している。
図2,図5~図7に示すように、半導体装置20は、奇数本の主端子70、具体的には9本の主端子70を備えている。うち4本が主端子70C、残りの5本が主端子70Eとなっている。主端子70C,70EはX方向において交互に配置されており、これにより半導体装置20は、側面対向部を8つ有している。X方向両端には主端子70Eが配置されており、両端の主端子70Eを除く7本の主端子70により、主端子群71が構成されている。主端子群71は、奇数本(7本)の主端子70、具体的には4本の主端子70Cと3本の主端子70Eによって構成されている。主端子群71を構成しない2本の主端子70Eは、それぞれの全体がX方向において領域Aの外に配置されている。主端子群71を構成する主端子70のほうが、主端子群71を構成しない主端子70よりも多い構成となっている。
主端子群71を構成する7本の主端子70のうち、両端に位置する2本の主端子70Cは、X方向においてそれぞれの一部が領域A1内に配置されている。残りの5本の主端子70は、X方向においてそれぞれの全体が領域A1内に配置されている。このように、主端子群71を構成する一部の主端子70は、それぞれの全体が領域A1内に配置され、残りの主端子70は、それぞれの一部が領域A1内に配置されている。特に本例では、主端子群71を構成する複数(5本)の主端子70それぞれの全体が領域A1内に配置されている。
上記したように、主端子70C,70Eは同じ幅W1とされており、主端子70C,70Eの間隔P1も、すべての主端子70で同じとされている。そして、奇数本の主端子70のうち、X方向において真ん中(中央)に配置された主端子70Eにおける幅の中心が、半導体チップ40の中心を通る中心線CL上に位置している。このように、主端子70C,70Eは、X方向において、半導体チップ40の中心を通る中心線CLに対して線対称配置とされている。なお、複数の主端子70Cは中心線CLに対して線対称配置とされ、複数の主端子70Eは中心線CLに対して線対称配置とされている。また、主端子群71を構成する奇数本の主端子70も、中心線CLに対して線対称配置とされている。中心線CLの延設方向は、Z方向及びX方向に直交している。
次に、上記した半導体装置20の効果について説明する。
上記した半導体装置20は、主端子70C,70Eの少なくとも一方を複数有しており、主端子70C,70EがX方向において隣り合って配置されている。そして、隣り合う主端子70C,70Eの側面同士が対向している。主端子70C,70Eで主電流の向きは逆向きとなる。このように、主端子70C,70Eは、主電流が流れたときに生じる磁束をお互いに打ち消すように配置されている。したがって、インダクタンスを低減することができる。特に本例では、主端子70C,70Eの側面対向部を複数有するため、インダクタンスを効果的に低減することができる。同じ種類の主端子70を複数にして並列化するため、側面対向部の並列化により、インダクタンスを低減することができる。
また、連続して配置された少なくとも3本の主端子70によって主端子群71が構成されている。主端子群71を構成する主端子70は、それぞれの少なくとも一部が、X方向において、半導体チップ40の両端面44,45から延長された延長線EL1,EL2間の領域A1内に配置されている。すなわち、複数の側面対向部が領域A1内に配置されている。これにより、主端子群71を構成する主端子70と半導体チップ40の主電極との電流経路を簡素化、具体的には電流経路を短くすることができる。したがって、インダクタンスを低減することができる。
以上により、上記した半導体装置20によれば、従来よりも主回路配線のインダクタンスを低減することができる。なお、側面同士が対向するように複数の主端子70がX方向に並んで配置され、主端子70C,70Eの少なくとも一方を複数有し、連続して配置された少なくとも3本の主端子70により主端子群71が構成され、一部分において同じ種類の主端子70が連続して配置されるようにしてもよい。これによれば、主端子70C,70Eの少なくとも一方を複数にして並列化するため、インダクタンスを低減することができる。また、主端子群71を有することで、主端子群71を構成する主端子70と半導体チップ40の主電極との電流経路を簡素化することができる。これにより、インダクタンスを低減することができる。したがって、本例に準ずる効果を奏することができる。しかしながら、本例に示すように、主端子70C,70Eを隣り合うように配置したほうが、磁束打消しの効果によってインダクタンスをさらに低減することができる。
主端子群71において、X方向において全体が領域A1内に配置される主端子70のほうが、一部のみが領域A1に配置される主端子70よりも、電流経路の簡素化の点ではより好ましい。本例では、主端子群71を構成する主端子70の一部についてそれぞれの全体が領域A1内に配置され、残りの主端子70についてそれぞれの一部が領域A1内に配置されている。主端子群71が、電流経路の簡素化についてより効果的な主端子70を含むため、インダクタンスを効果的に低減することができる。特に本例では、全体が領域内に配置される主端子70を複数含んでいる。電流経路の簡素化についてより効果的な主端子70を複数含むため、インダクタンスをより効果的に低減することができる。
本例では、主端子70の本数が奇数とされている。奇数の場合、X方向において対称性をもたせやすく、主端子70との半導体チップ40との電流経路の偏りを抑制することができる。また、X方向における主端子70の並び順が、一面31側から見ても、裏面32側から見ても同じである。したがって、半導体装置20の配置の自由度を向上することができる。
特に本例では、主端子70C,70Eが、X方向において、半導体チップ40の中心線CLに対して線対称配置とされている。これにより、半導体チップ40の主電流は、中心線CLに対して線対称となるように流れる。主電流は、中心線CLの左右でほぼ均等に流れる。したがって、インダクタンスをさらに低減することができる。また局所的な発熱を抑制することができる。
図8~図10は別例を示している。図8~図10では、便宜上、封止樹脂体30及び信号端子80を省略して図示している。図8~図10では、便宜上、領域A1の図示を省略し、領域A1を規定する延長線EL1,EL2を示している。
図8では、半導体装置20が3本の主端子70、具体的には、1本の主端子70Cと2本の主端子70Eを備えている。すなわち、2つの側面対向部を有している。そして、すべての主端子70によって主端子群71が構成されている。真ん中に配置された主端子70Cは、X方向において全体が上記した領域A1に配置され、両端の主端子70Eは、それぞれの一部が領域A1に配置されている。
図9では、半導体装置20が5本の主端子70、具体的には、2本の主端子70Cと3本の主端子70Eを備えている。すなわち、4つの側面対向部を有している。そして、すべての主端子70によって主端子群71が構成されている。両端の主端子70Eは、それぞれの一部が領域A1に配置され、残り3本の主端子70はそれぞれの全体が領域A1に配置されている。
図10では、半導体装置20が7本の主端子70、具体的には、3本の主端子70Cと4本の主端子70Eを備えている。すなわち、6つの側面対向部を有している。そして、すべての主端子70によって主端子群71が構成されている。両端の主端子70Eは、それぞれの一部が領域A1に配置され、残り5本の主端子70はそれぞれの全体が領域A1に配置されている。
図11は、半導体装置20が備える主端子トータルのインダクタンスについて磁場解析を行った結果を示している。この磁場解析(シミュレーション)では、導電部材50のX方向の長さ(幅)を17mm、主端子70の間隔P1を1.0mmとした。また、同じ半導体装置20を構成する主端子70において、幅W1を互いに等しいものとした。たとえば主端子70を3本有する構成の場合、図11では3端子と示している。図11では、比較例として主端子を2本のみ有する構成(2端子)を示している。9端子は、図7に示した構成と同じ配置の結果である。同様に、3端子、5端子、7端子は、図8~図10に示した構成と同じ配置の結果である。
端子数が増えるほど、1本当たりの幅は狭くなり、インダクタンス(自己インダクタンス)は増加する。しかしながら、側面対向部が増加し、主端子群71を構成する主端子70の本数も、所定の端子数までは端子数が増えるほど増加するため、インダクタンスを低減できる。3端子、5端子、及び7端子は、図8~図10に示したように、すべての主端子70によって主端子群71が構成されている。すなわち、すべての主端子70が領域A1内に配置されている。また、9端子は、図7に示したように、7本の主端子70によって主端子群71が構成されている。
図11の結果から、3本以上の主端子70により構成される主端子群71を備えることで、体格の増大を抑制しつつ、比較例に較べて主端子トータルのインダクタンスを低減できることが明らかである。3端子以上では、上記したインダクタンス低減の効果が幅減少によるインダクタンス増加を上回り、インダクタンスが低減するためであると考えられる。特に5本以上の主端子70による主端子群71を備える構成とすると、比較例に較べてインダクタンスを半減以下にできる、すなわちインダクタンス低減に効果的であることが明らかである。
なお、9端子は、上記したように主端子群71を構成する7本の主端子70と、領域A1の外に配置された2本の主端子70を備えている。このように2本の主端子70が領域A1外とされてはいるものの、主端子群71を構成しない主端子70よりも多い主端子70、すなわち大部分の主端子70が領域A1に配置されている。また、側面対向部の数も7端子に較べて側面対向部が2つ多い。よって、7端子よりも低いインダクタンスを示している。
上記した例では、主端子70Eが両端に配置される構成、すなわち主端子70Eのほうが主端子70Cよりも多い構成の例を示したがこれに限定されない。奇数本の主端子70において、主端子70Cを主端子70Eよりも多い構成としてもよい。
すべての主端子70において、封止樹脂体30からの突出部分の長さが等しい例を示したが、これに限定されない。バスバーなどとの接続性を考慮し、隣り合う主端子70C,70Eで突出部分の長さを異ならせてもよい。図12に示す別例では、主端子70Cを主端子70Eよりも長くしている。
図13に示す別例では、本数が少ない主端子70Cの断面積を、本数が多い主端子70Eの断面積よりも大きくし、これにより、主端子70Cトータルと主端子70Eトータルのインピーダンスをほぼ一致させている。したがって、本数が少ない主端子70Cの発熱を抑制することができる。図13では、幅を広くすることにより主端子70Cの断面積を主端子70Eの断面積よりも大きくしているが、主端子70Cの厚みを主端子70Eよりも厚くしてもよい。また、幅と厚みの両方を調整してもよい。図13では、本数が少ない主端子70Cの延設方向の長さを、主端子70Eの延設方向の長さよりも長くしている。長いほうが断面積が大きいため、主端子70の剛性を確保することができる。図12及び図13では7端子の例を示しているが、これに限定されるものではない。
封止樹脂体30からの突出部分において、延設方向の全長で隣り合う主端子70C,70Eが対向する例を示したが、これに限定されない。突出部分の一部で、側面同士が対向しない構成としてもよい。たとえば主端子70C,70Eの少なくとも一方において、突出先端部分が屈曲しており、これにより突出先端部分で対向しない構成としてもよい。延設長さが等しくても、バスバーなどとの接続性を高めることができる。しかしながら、インダクタンス低減の効果は減少する。
主端子70の本数が奇数において、主端子群71を構成する主端子70の本数も奇数の例を示したが、これに限定されない。主端子群71を、偶数本(4本以上)の主端子70により構成してもよい。
半導体装置20は、少なくとも1つの半導体チップ40を備えればよい。たとえば複数の半導体チップ40を備え、これら半導体チップ40が主端子70C,70Eの間で互いに並列接続される構成において、各半導体チップ40に対して上記した主端子70の配置を適用してもよい。
主端子群71を構成するすべての主端子70それぞれの全体が、領域A1内に配置されてもよい。図14に示す別例では、7本の主端子70のうち、5本の主端子70によって主端子群71が構成されている。そして、主端子群71を構成する5本の主端子70は、それぞれの全体が領域A1内に配置されている。これによれば、半導体チップ40の主電極との間の電流経路をより簡素化できる。
主端子70を偶数本(4本以上)を備えてもよい。図15に示す別例では、半導体装置20が、主端子70C,70Eを2本ずつ備えている。主端子70Cと主端子70Eは交互に配置されている。4本の主端子70は、幅W1及び厚みのそれぞれが互いに等しくされている。すなわち、延設方向に直交する断面積が互いに等しくされている。また、Y方向の延設長さも、4本の主端子70で互いに等しくされている。また、すべての主端子70により主端子群71が構成されている。両端に配置された2本の主端子70C,70Eは、X方向においてそれぞれの一部が領域A1内に配置されている。真ん中の2本の主端子70C,70Eは、X方向においてそれぞれの全体が領域A1内に配置されている。
このような構成としても、主端子70C,70Eの側面対向部を複数有するため、インダクタンスを効果的に低減することができる。また、主端子群71を有するため、主端子群71を構成する主端子70と半導体チップ40の主電極との電流経路を簡素化し、インダクタンスを低減することができる。以上により、従来よりも主回路配線のインダクタンスを低減することができる。図11には、4端子の結果も示している。図11の結果から、4端子の場合でも、体格の増大を抑制しつつ、比較例に較べて主端子トータルのインダクタンスを低減できることが明らかである。
図15では、すべての主端子70によって主端子群71が構成されているため、インダクタンスを効果的に低減することができる。なお、主端子70の本数が偶数の場合にも、連続して配置された3本以上の主端子70によって主端子群71が構成されればよい。したがって、4本の主端子70を備える構成において、3本により主端子群71が構成され、残りの1本が領域A1の外に配置された構成としてもよい。このように、主端子70の本数が偶数において、主端子群71を、奇数本(3本以上)の主端子70により構成してもよい。
主端子70の本数が偶数の場合、主端子70Cと主端子70Eとが同じ本数であるため、主端子70Cと主端子70Eとで流れる主電流が均等となり、これにより発熱のばらつきを抑制することができる。図15に示す例では、主端子70C,70Eの延設長さが等しく、且つ、断面積も等しくされており、これにより、主端子70Cと主端子70Eのインピーダンスがほぼ等しくなっている。したがって、発熱ばらつきを効果的に抑制することができる。
偶数の本数は4本に限定されない。4本以上の偶数であればよい。たとえば6本の主端子70を備える構成、8本の主端子70を備える構成としてもよい。奇数本同様、隣り合う主端子70C,70Eで突出部分の長さを異ならせてもよい。また、主端子70C,70Eのうち、突出部分の長さが長いほうの断面積を、短いほうの断面積よりも大きくしてもよい。これにより剛性を確保することができる。また、主端子70Cと主端子70Eとでインピーダンスを揃えることができる。突出部分の一部で、側面同士が対向しない構成としてもよい。
リードフレームの一部として、主端子70C,70Eの少なくとも一方とともに設けられた連結部をさらに備え、連結部によって、主端子70C,70Eの少なくとも一方において、同じ主端子同士が連結されてもよい。図16に示す別例では、半導体装置20が5本の主端子70、具体的には2本の主端子70Cと3本の主端子70Eを備えている。また、上記したリードフレーム100が、主端子70E同士を連結する連結部96を有している。封止樹脂体30からの突出長さは、主端子70Eのほうが主端子70Cよりも長くされており、連結部96は主端子70Eの突出先端部分を連結している。連結部96はX方向に延設されており、Y方向において主端子70Cとは離れて設けられている。連結部96は、Z方向において主端子70C,70Eの突出部分と同じ位置に配置されている。
このように、連結部96によって同電位の主端子70(主端子70E)を連結すると、バスバーなどとの接続点を減らすことができる。すなわち、接続性を向上することができる。特に図16では、本数の多い主端子70Eを連結している。これによれば、同一のリードフレーム100に主端子70C,70E及び連結部96を備える構成において、接続点をより少なくすることができる。なお、主端子70Eに代えて、主端子70Cを連結部96にて連結してもよい。主端子70C,70Eのうち、本数の少ないほうを連結してもよい。主端子70の本数及び配置は図16に示す例に限定されない。主端子70C,70Eの一方のみに連結部96を設ける場合、連結部96を上記したように主端子70C,70Eの突出分と同一平面に設けることもできる。偶数本の主端子70を備える構成と組み合わせてもよい。
また、主端子70C,70Eのそれぞれを連結部にて連結してもよい。図17及び図18に示す別例では、導電部材50C,50Eが本体部51C,51Eを有し、延設部52C,52Eを有していない。そして、同一のリードフレームに、導電部材50C、主端子70C、及び信号端子80が構成されている。また、主端子70Cを含むリードフレームとは別のリードフレームに、導電部材50E及び主端子70Eが構成されている。主端子70C,70Eは対応する導電部材50C,50Eから延設されている。図18は、図17のXVIII-XVIIIに沿う半導体装置20の断面図である。
図17及び図18では、主端子70C側のリードフレームに連結部96Cが設けられ、主端子70E側のリードフレームに連結部96Eが設けられている。そして、連結部96Cにより、突出先端部にて主端子70C同士が連結されている。また、連結部96Eにより、突出先端部にて主端子70E同士が連結されている。主端子70C,70Eは突出部分に屈曲部を有しており、これにより連結部96C,96EがZ方向において離反している。すなわち、連結部96C,96Eは、Z方向において互いに異なる位置に配置されている。したがって、延設長さが同じでも、主端子70C,70Eのそれぞれを連結部96C,96Eにて連結することができる。そして、接続点数をさらに少なくすることができる。
図19及び図20に示す別例では、半導体装置20が、互いに並列接続される複数の半導体チップ40を備えている。具体的には、半導体チップ40として、半導体チップ40aと、半導体チップ40bを備えている。なお、図19は、図20に示すXIX-XIX線に対応する半導体装置20の断面図である。半導体チップ40a,40bのコレクタ電極41は、同じ導電部材50Cの実装面53Cに接続されている。また、半導体チップ40a,40bのエミッタ電極42は、個別に配置されたターミナル60を介して、同じ導電部材50Eの実装面53Eに接続されている。本実施形態では、2つの半導体チップ40a,40bが、互いにほぼ同じ平面形状、具体的には平面略矩形状をなすとともに、互いにほぼ同じ大きさとほぼ同じ厚みを有している。半導体チップ40a,40bは、Z方向においてほぼ同じ高さに位置するとともに、X方向において横並びで配置されている。
図20に示すように、X方向において配置が連続する2本以上の主端子70によって主端子群72が構成されている。半導体装置20は、主端子群72として、半導体チップ40aに対応する主端子群72aと、半導体チップ40bに対応する主端子群72bを有している。主端子群72aを構成する主端子70それぞれの少なくとも一部が、X方向において、半導体チップ40aの両端面44a,45aから延長された延長線EL1a,EL2a間の領域A1a内に配置されている。また、主端子群72bを構成する主端子70それぞれの少なくとも一部が、X方向において、半導体チップ40bの両端面44b,45bから延長された延長線EL1b,EL2b間の領域A1b内に配置されている。
半導体装置20は、5本の主端子70を備えている。具体的には、2本の主端子70Cと3本の主端子70Eを備えている。主端子70の幅W1及び厚みは互いに等しく、間隔P1もすべて等しくされている。そして、真ん中の主端子70Eが領域A1a,A1bの外に配置されている。X方向において真ん中の主端子70Eよりも半導体チップ40a側に配置された2本の主端子70C,70Eにより主端子群72aが構成され、真ん中の主端子70Eよりも半導体チップ40b側に配置された2本の主端子70C,70Eにより主端子群72bが構成されている。
さらに、主端子群72aを構成する主端子70C,70Eはそれぞれの全体が領域A1aに配置されている。同じく、主端子群72bを構成する主端子70C,70Eはそれぞれの全体が領域A1bに配置されている。そして、2つの半導体チップ40の素子的中心を通る中心線CLmに対して、5本の主端子70が線対称配置とされている。素子的中心とは、半導体チップ40a,40bの並び方向において中心間の中央位置であり、中心線CLmは、並び方向に直交し、素子的中心を通る仮想線である。
このように、複数の半導体チップ40が並列接続された半導体装置20において、主端子70Cと主端子70Eとが交互に配置されている。そして、隣り合う主端子70C,70Eの側面同士が対向している。このように、主端子70Cと主端子70Eとの側面対向部を複数、具体的には4つ有するため、インダクタンスを効果的に低減することができる。また、主端子群72aを構成する主端子70C,70Eそれぞれの少なくとも一部が、領域A1a内に配置されている。したがって、主端子群72aを構成する主端子70C,70Eと半導体チップ40aの主電極との電流経路を簡素化し、これによりインダクタンスを低減することができる。同じく、主端子群72bを構成する主端子70C,70Eそれぞれの少なくとも一部が領域A1b内に配置されている。したがって、主端子群72bを構成する主端子70C,70Eと半導体チップ40bの主電極との電流経路を簡素化し、これによりインダクタンスを低減することができる。以上により、従来よりも主回路配線のインダクタンスを低減することができる。
また、奇数本の主端子70が、2つの半導体チップ40の中心線CLmに対して線対称配置とされている。換言すれば、側面対向部が線対称配置とされている。したがって、半導体チップ40a,40bの主電流は、中心線CLmに対して線対称となるように流れる。すなわち、半導体チップ40a側のインダクタンスと、半導体チップ40b側のインダクタンスがほぼ等しくなっている。このように、インダクタンスを揃えることで、電流アンバランスを抑制することができる。
2つの半導体チップ40が並列接続される例を示したが、これに限定されない。3つ以上の半導体チップ40が並列接続される構成にも適用できる。主端子70の本数も特に限定されない。主端子群72のそれぞれが、主端子70C,70Eを含む2本以上の主端子70により構成されればよい。たとえば、7本の主端子70を備え、3本ずつの主端子70によって主端子群72a,72bが構成されてもよい。図16~図18に示した連結部96(86C,86E)を組み合わせてもよい。
スイッチング素子とダイオードが同じ半導体チップ40に一体的に形成される例を示したが、これに限定されない。スイッチング素子とダイオードを別チップとしてもよい。両面放熱構造の半導体装置20として、ターミナル60を備える例を示したが、これに限定されない。ターミナル60を備えない構成としてもよい。たとえば、ターミナル60の代わりに、導電部材50Eに、エミッタ電極42に向けて突出する凸部を設けてもよい。放熱面54C,54Eが、封止樹脂体30から露出される例を示したが、封止樹脂体30から露出されない構成としてもよい。たとえば図示しない絶縁部材によって放熱面54C,54Eを覆ってもよい。絶縁部材を放熱面54C,54Eに貼り合わせた状態で、封止樹脂体30を成形してもよい。
<パワーモジュール>
本実施形態の電力変換装置5に適用可能なパワーモジュール110の一例について説明する。パワーモジュール110は、上記した1組の並列回路11を構成する。
図21~図27に示すように、パワーモジュール110は、半導体装置20と、冷却器120と、コンデンサC1と、Pバスバー130と、Nバスバー140と、出力バスバー150と、駆動基板160と、外部接続端子170と、保護部材180を備えている。図21、図23~図26は平面図ではあるが、保護部材180の内部要素を分かりやすくするために、内部要素を実線で示している。図27は、半導体装置20、コンデンサC1、及び各バスバー130,140,150の接続を説明するための模式的な図である。
半導体装置20は、上記した1in1パッケージ構造をなしている。パワーモジュール110は、2つの半導体装置20を備えている。半導体装置20の1つが上アーム10Uを構成し、別の1つが下アーム10Lを構成する。すなわち、半導体装置20として、上アーム10Uを構成する半導体装置20Uと、下アーム10Lを構成する半導体装置20Lを備えている。半導体装置20U,20Lの基本構成は、互いにほぼ同じとなっている。半導体装置20U,20Lは、7本の主端子70、具体的には、3本の主端子70C及び4本の主端子70Eをそれぞれ有している。主端子70C,70Eは、X方向に交互に配置されている。以下では、半導体装置20Uが備え、上アーム10Uを構成する半導体チップ40を半導体チップ40Uと示し、半導体装置20Lが備え、下アーム10Lを構成する半導体チップ40を半導体チップ40Lと示す。
半導体装置20Lは、図12に示した構造と同じ構成となっている。主端子70Cのほうが主端子70Eよりも、封止樹脂体30からの突出長さが長い構成となっている。半導体装置20Uは、半導体装置20Lとは逆の構成となっている。主端子70Eのほうが主端子70Cよりも、封止樹脂体30からの突出長さが長い構成となっている。このように、半導体装置20Uでは主端子70Eが長くされ、半導体装置20Lでは主端子70Cが長くされている。半導体装置20Uの主端子70Cと半導体装置20Lの主端子70Eが同じ長さとされ、半導体装置20Uの主端子70Eと半導体装置20Lの主端子70Cが同じ長さとされている。
半導体装置20U,20Lは、所定の隙間を有しつつX方向に並んで配置されている。すなわち、半導体チップ40の板厚方向、すなわちZ方向に対して直交する方向に並んで配置されている。半導体装置20U,20Lは、Z方向において、封止樹脂体30の一面31同士が同じ側となり、裏面32同士が同じ側となるように配置されている。半導体装置20U,20Lの一面31同士はZ方向において略面一の位置関係とされ、裏面同士はZ方向において略面一と位置関係とされている。
半導体装置20U,20Lのそれぞれにおいて、信号端子80における封止樹脂体30からの突出部分は、略L字状をなしている。信号端子80の突出部分は、略90度の屈曲部を1つ有している。信号端子80の突出部分のうち、封止樹脂体30の根元から屈曲部までがY方向に延設され、屈曲部から突出先端までがZ方向であって、コンデンサC1とは反対側に延びている。
冷却器120は、主として、半導体装置20を冷却する。冷却器120は、熱伝導性に優れた金属材料、たとえばアルミニウム系の材料を用いて形成されている。冷却器120は、供給管121と、排出管122と、熱交換部123を有している。冷却器120は、パワーモジュール110に設けられているため、モジュール内冷却器とも称される。
熱交換部123は、一対のプレート124,125によって構成されている。プレート124,125は、平面略矩形状の金属薄板を用いて形成されている。プレート124,125の少なくとも一方は、プレス加工することで、Z方向に膨らんだ形状、たとえば底の浅い鍋底形状をなしている。本例では、プレート124が鍋底形状をなしている。また、プレート124,125の外周縁部同士が、かしめなどによって固定されるとともに、ろう付けなどによって全周で互いに接合され、これにより、プレート124,125の間に流路126が形成されている。
熱交換部123は、全体として扁平形状の管状体となっている。冷却器120は、2つの熱交換部123を有しており、熱交換部123は、Z方向に2段配置されている。2つの半導体装置20U,20Lは、X方向に並んで配置された状態で、2つの熱交換部123により挟持されている。2つの熱交換部123は、プレート124同士が対向するように配置されている。熱交換部123の1つは半導体装置20の一面31側に配置され、熱交換部123の別の1つは裏面32側に配置される。上記したように放熱面54C,54Eが封止樹脂体30から露出する構成では、半導体装置20と熱交換部123のプレート124との間に、グリース、セラミック板、樹脂材などの電気絶縁部材が配置される。
供給管121は、その内部に流路が形成された筒状体であり、Z方向に延設されている。供給管121は、平面略矩形状の熱交換部123に対し、X方向における一方の端部であって、Y方向における主端子70側の端部に配置されている。そして、熱交換部123のそれぞれに接続され、供給管121の流路が熱交換部123の流路126に連通している。Z方向において、供給管121の一端は開口しており、他端が2段目の熱交換部123に接続されている。1段目の熱交換部123の流路126は、供給管121の延設途中で、供給管121の流路に連なっている。なお、1段目が供給管121及び排出管122の開口端に近い側、2段目が遠い側である。供給管121の開口端から一部分は、保護部材180の外へ突出している。
排出管122は、その内部に流路が形成された筒状体であり、Z方向に延設されている。排出管122は、平面略矩形状の熱交換部123に対し、X方向において供給管121とは反対の端部であって、Y方向において信号端子80側の端部に配置されている。そして、熱交換部123のそれぞれに接続され、排出管122の流路が熱交換部123の流路126に連通している。排出管122は、供給管121とZ方向の同じ側で開口している。開口端とは反対の端部が2段目の熱交換部123に接続されている。1段目の熱交換部123の流路126は、排出管122の延設途中で、排出管122の流路に連なっている。排出管122の開口端から一部分は、保護部材180の外へ突出している。
図26に二点鎖線の矢印で示すように、供給管121から流入した冷媒は、熱交換部123内の流路126を拡がり、排出管122から排出される。上記したように、供給管121と排出管122は、平面略矩形状の対角位置に設けられている。このように、対角位置に設けることで、X方向及びY方向において、供給管121と排出管122の間に配置された半導体チップ40U,40Lを効果的に冷却することができる。なお、図示しないが、熱交換部123の流路126内に、インナーフィンを配置してもよい。インナーフィンは、波型に屈曲形成された金属板である。インナーフィンの配置により、プレート124,125と、流路126を流れる冷媒との間における熱伝達を促進することができる。
流路126に流す冷媒としては、水やアンモニアなどの相変化する冷媒や、エチレングリコール系などの相変化しない冷媒を用いることができる。冷却器120は、主として半導体装置20を冷却するものである。しかしながら、冷却機能に加えて、環境温度が低い場合に温める機能を持たせてもよい。この場合、冷却器120は温度調節器と称される。また、冷媒は熱媒体と称される。
コンデンサC1は、パワーモジュール110が備える1組の半導体装置20U,20Lの近傍に配置され、上記したように、少なくともスイッチング時に必要な電荷を供給する機能を有せばよい。このため、コンデンサC1の静電容量は、たとえば10~20μFとされている。コンデンサC1は、略直方体状をなしている。コンデンサC1は扁平形状をなしており、厚み、すなわちZ方向の長さが、X方向の長さ及びY方向の長さに対して十分に短くされている。このように、コンデンサC1は小型なものとされている。コンデンサC1としては、たとえばフィルムコンデンサを用いることができる。
本例では、Y方向よりもX方向に長い平面長方形をなしている。Z方向の投影視において、コンデンサC1の大部分は、冷却器120の熱交換部123と重なる位置に配置されている。同投影視において、半導体装置20U,20Lの大部分、具体的には主端子70の突出部分及び信号端子80の突出部分を除く部分と重なっている。したがって、コンデンサC1は、Z方向において半導体装置20U,20Lと並んで配置されている。平面長方形のコンデンサC1は、X方向の両端部分が、冷却器120と重ならない位置、すなわち冷却器120の外側に配置されている。
コンデンサC1は、半導体装置20との間に熱交換部123を挟むように配置されている。コンデンサC1は、熱交換部123に対して、半導体装置20とは反対側に配置されている。本例では、コンデンサC1が、1段目の熱交換部123に対して半導体装置20とは反対側に配置されている。すなわち、供給管121及び排出管122の開口端側に配置されている。コンデンサC1は、Z方向において、供給管121及び排出管122の開口端よりも半導体装置20に近い位置に配置されている。コンデンサC1は、Z方向において熱交換部123側の面に外部接続用の図示しない正極端子を有し、正極端子とは反対の面に図示しない負極端子を有している。
Pバスバー130、Nバスバー140、及び出力バスバー150は、導電性に優れる金属、たとえば銅を含む金属板材である。本例では、各バスバーにおいて厚みがほぼ均一とされている。Pバスバー130、Nバスバー140、及び出力バスバー150は、互いにほぼ同じ厚みとされている。金属板材としては、部分的に厚みの異なる異形条を用いることもできる。Pバスバー130、Nバスバー140、及び出力バスバー150は、冷却器120と電気的に分離されている。
Pバスバー130は、接続部131と、共通配線部132と、並列配線部133を有している。接続部131は、コンデンサC1の正極端子に接続される部分である。本例では、Z方向の投影視において、コンデンサC1と重なる部分全体が接続部131とされている。なお、図示しないが、X方向又はY方向の投影視においてコンデンサC1と重なる部分、すなわちコンデンサC1の側面に接続部131を設けてもよい。
共通配線部132は、接続部131におけるY方向の一端から延設されている。共通配線部132は、Pバスバー130のうち、上記した共通配線11Pとして機能する部分である。これにより、パワーモジュール110内に構成される1組の上下アーム回路10とコンデンサC1とが、それぞれ単独で上記したVHライン12Hに接続されるのではなく、共通で接続されることとなる。共通配線部132は、接続部131よりもX方向の長さ、すなわち幅が狭くされている。共通配線部132は、X方向において、接続部131の中央部分に連なっている。共通配線部132は、接続部131に対して略面一で、Y方向に延設されている。共通配線部132の一部分は、保護部材180の外へ突出している。
並列配線部133は、少なくとも、コンデンサC1の正極端子と上下アーム回路10の上アーム10Uとを電気的に接続する配線、すなわち上下アーム回路10とコンデンサC1とを並列接続する配線として機能する。さらに本例では、上アーム10Uを共通配線11P、すなわち共通配線部132に電気的に接続する配線としても機能する。並列配線部133は、接続部131に対し、共通配線部132とは反対の端部から延設されている。
並列配線部133は、接続部131よりも幅が狭くされている。並列配線部133は、一定の幅で延設されている。並列配線部133は、X方向においてコンデンサC1を二等分する中心線CL1(図23参照)を跨がないように、中心線CL1に対して一方に偏って配置されている。並列配線部133は、半導体装置20U,20Lの並び方向において、半導体装置20U(半導体チップ40U)の側で接続部131に連なっている。
並列配線部133は、略L字状をなしている。並列配線部133は、接続部131との境界部からY方向に沿って延びる平行部134と、平行部134に対して折り曲げられ、Z方向に沿って延びる折曲部135を有している。このため、平行部134は、Y方向延設部とも称される。折曲部135は、Z方向延設部とも称される。平行部134は、Y方向であって、共通配線部132とは反対側に延設されている。平行部134は、接続部131に対して略面一で、Y方向に延設されている。
平行部134は、Z方向の投影視において、半導体装置20Uの7本の主端子70C,70Eのそれぞれの少なくとも一部と重なっている。平行部134は、半導体装置20Uの主端子70Cの突出先端とほぼ同じ位置まで延設されており、3本の主端子70Cの突出部分全体が投影視において重なっている。4本の主端子70Eは、コンデンサC1に対して、平行部134よりも離れた位置まで延設されている。
折曲部135は、Z方向において、コンデンサC1とは反対側に延びている。折曲部135の板厚方向は、Y方向に略平行とされている。本例では、折曲部135全体が、Y方向において出力バスバー150と対向する対向部135aとされている。対向部135aと出力バスバー150は、板厚方向の面、すなわち板面同士が対向している。対向部135aの先端、すなわち並列配線部133の延設の先端には、半導体装置20Uの主端子70Cが接続されるように凸部136が形成されている。凸部136は主端子70Cごとに設けられている。主端子70Cは、対応する凸部136の先端面に配置された状態で、レーザ溶接などによって接合されている。このように凸部136を設けると、凸部136設けられていない凹の部分を主端子70Eが通過するため、Pバスバー130と主端子70Eとの接触を防ぐことができる。
Nバスバー140は、接続部141と、共通配線部142と、並列配線部143を有している。接続部141は、コンデンサC1の負極端子に接続される部分である。本例では、Z方向の投影視において、コンデンサC1と重なる部分全体が接続部141とされている。なお、接続部131同様、X方向又はY方向の投影視においてコンデンサC1と重なる部分、すなわちコンデンサC1の側面に接続部141を設けてもよい。コンデンサC1及びコンデンサC1の両面に配置された接続部131,141は、冷却器120と電気的に分離されている。接続部131,141を含むコンデンサC1と冷却器120との間には、電気絶縁部材が介在している。
共通配線部142は、接続部141におけるY方向の一端から延設されている。共通配線部142は、Nバスバー140のうち、上記した共通配線11Nとして機能する部分である。これにより、パワーモジュール110内に構成される1組の上下アーム回路10とコンデンサC1とが、それぞれ単独で上記したNライン13に接続されるのではなく、共通で接続されることとなる。共通配線部142は、接続部141よりも幅が狭くされており、共通配線部132とほぼ同じ幅とされている。共通配線部142は、X方向において、接続部141の中央部分に連なっている。共通配線部142は、接続部141に対して略面一で、Y方向に延設されている。共通配線部132の一部分は、保護部材180の外へ突出している。
Z方向の投影視で共通配線部132,142はほぼ一致する。共通配線部132,142は、Z方向に、コンデンサC1の厚みと略等しい間隔を有して対向配置されている。これにより、主回路配線のインダクタンスを低減することができる。
並列配線部143は、少なくとも、コンデンサC1の負極端子と上下アーム回路10の下アーム10Lとを電気的に接続する配線、すなわち上下アーム回路10とコンデンサC1とを並列接続する配線として機能する。さらに本例では、下アーム10Lを共通配線11N、すなわち共通配線部142に電気的に接続する配線としても機能する。並列配線部143は、接続部141に対し、共通配線部142とは反対の端部から延設されている。
並列配線部143は、接続部141よりも幅が狭くされている。並列配線部143は、一定の幅で延設されている。並列配線部143は、コンデンサC1の中心線CL1を跨がないように、中心線CL1に対して並列配線部133とは反対側に配置されている。並列配線部143は、半導体装置20U,20Lの並び方向において、半導体装置20L(半導体チップ40L)の側で接続部141に連なっている。
並列配線部143は、略L字状をなしている。並列配線部143は、接続部141との境界部からY方向に沿って延びる平行部144と、平行部144に対して折り曲げられ、Z方向に沿って延びる折曲部145を有している。平行部144は、Y方向であって、共通配線部142とは反対側に延設されている。平行部144は、接続部141に対して略面一で、Y方向に延設されている。平行部134,144は、電気的な絶縁が確保できる間隔を有して、X方向に横並びで配置されている。平行部134,144は、側面同士が対向している。これにより、主回路配線のインダクタンスを低減することができる。
平行部144は、Z方向の投影視において、半導体装置20Lの7本の主端子70C,70Eのそれぞれの少なくとも一部と重なっている。平行部144は、半導体装置20Lの主端子70Eの突出先端とほぼ同じ位置まで延設されており、4本の主端子70Eの突出部分全体が投影視において重なっている。3本の主端子70Cは、コンデンサC1に対して、平行部144よりも離れた位置まで延設されている。半導体装置20Uの主端子70Cと半導体装置20Lの主端子70Eの突出先端は、Y方向でほぼ同じ位置とされており、これにより平行部134,144の延設の先端も互いにほぼ同じ位置とされている。
折曲部145は、Z方向において、コンデンサC1とは反対側に延びている。折曲部145の板厚方向は、Y方向に略平行とされている。折曲部145の延設の先端は、Pバスバー130の折曲部135の延設の先端とほぼ同じ位置とされている。折曲部135,145も、電気的な絶縁が確保できる間隔を有して、X方向に横並びで配置されている。折曲部135,145は、側面同士が対向している。これにより、主回路配線のインダクタンスを低減することができる。
本例では、Nバスバー140のほうが、Pバスバー130よりも半導体装置20からZ方向に離れた位置とされている。そして、折曲部145の一部が、Y方向において出力バスバー150と対向する対向部145aとされている。対向部145aと出力バスバー150は、板面同士が対向している。対向部145aの先端、すなわち並列配線部143の延設の先端には、半導体装置20Lの主端子70Eが接続されるように凸部146が形成されている。凸部146は主端子70Eごとに設けられている。主端子70Eは、対応する凸部146の先端面に配置された状態で、レーザ溶接などによって接合されている。このように凸部146を設けると、凸部146設けられていない凹の部分を主端子70Cが通過するため、Nバスバー140と主端子70Cとの接触を防ぐことができる。
並列配線部133と半導体装置20Uの主端子70Cによって、コンデンサC1の正極と上アーム10Uのコレクタ電極が接続され、並列配線部143と半導体装置20Lの主端子70Eによって、コンデンサC1の負極と下アーム10Lのエミッタ電極が接続されている。このように、並列配線部133及び半導体装置20Uの主端子70Cと、並列配線部143及び半導体装置20Lの主端子70Eによって、上下アーム回路10とコンデンサC1が並列接続され、並列回路11が構成されている。そして、共通配線部132,142によって、並列回路が電力ラインであるVHライン12H、Nライン13に接続されるように構成されている。
出力バスバー150は、上アーム10Uと下アーム10Lとの接続点を、モータジェネレータの三相巻線に接続するためのバスバーである。出力バスバー150は、Oバスバーとも称される。出力バスバー150は、Y方向において、信号端子80側ではなく、主端子70側に配置されている。出力バスバー150は、板厚方向をY方向として、屈曲部を有することなくX方向に延設されている。出力バスバー150は、上記した出力配線15の少なくとも一部を構成する。なお、出力バスバー150の周辺に、図示しない電流センサを配置することもできる。
出力バスバー150は、Z方向の長さ、すなわち幅の広い幅広部151と、幅広部151よりも幅の狭い幅狭部152を有している。幅狭部152は、幅広部151の一端に連なり、幅広部151に対して略面一で、X方向に延設されている。幅広部151は、その全体が保護部材180の内部に配置されており、幅狭部152は一部が保護部材180の内部に配置され、残りの部分が保護部材180の外に突出している。
幅広部151は、X方向において、並列配線部143の中心線CL1に対して遠い端部と、並列配線部133の中心線CL1に対して遠い端部との範囲とほぼ一致するように設けられている。X方向において、幅広部151の先には、供給管121が配置されている。幅広部151は、Y方向において、折曲部135,145との間に所定の間隔を有して設けられている。所定の間隔とは、たとえば半導体装置20Uにおいて、主端子70C,70Eの突出先端間の長さから、出力バスバー150の板厚を引いた長さにほぼ一致する。幅広部151は、Z方向において、コンデンサC1とオーバーラップする位置から、2段目の熱交換部123を構成するプレート125までの範囲に設けられている。
幅広部151には、複数の貫通孔153が形成されている。この貫通孔153には、半導体装置20Uの主端子70Eと、半導体装置20Lの主端子70Cが挿入される。挿入状態で、主端子70は、レーザ溶接などにより、幅広部151(出力バスバー150)に接続されている。また、貫通孔153を避けるように、Pバスバー130との対向部154pと、Nバスバー140との対向部154nが構成されている。出力バスバー150の対向部154pとPバスバー130の対向部135aがY方向に所定の間隔を有して対向し、出力バスバー150の対向部154nとNバスバー140の対向部145aがY方向に所定の間隔を有して対向している。
供給管121が存在するため、並列配線部143は並列配線部133よりも幅が狭くされている。これにより、対向部145aは対向部135aより幅が狭くされている。しかしながら、コンデンサC1において、負極端子を熱交換部123とは反対側に配置することで、対向部145aにおける延設長さを稼いでおり、対向部145aは対向部135aよりもZ方向(延設方向)の長さが長くされている。これにより、対向部135a及び対向部154pの対向面積と、対向部145a及び対向部154nの対向面積がほぼ等しくなっている。X方向において体格の増大を抑制しつつ、インダクタンスを低減することができる。
駆動基板160は、プリント基板に図示しない電子部品が実装されてなる。駆動基板160には、制御回路部9から駆動指令が入力される上記した駆動回路部(ドライバ)が形成されている。駆動基板160が、回路基板に相当する。駆動基板160は、平面略矩形状をなしている。本例では、駆動基板160の大きさが、X方向において冷却器120の熱交換部123とほぼ一致し、Y方向において熱交換部123よりも長くされている。Z方向からの投影視において、駆動基板160は、半導体装置20U,20Lの大部分と重なるように設けられている。具体的には、主端子70の一部分を除いて重なるように設けられている。Y方向において、主端子70の一部、折曲部135,145、出力バスバー150は、駆動基板160と重ならないように配置されている。また、主端子70とは反対側において、共通配線部132,142が駆動基板160よりも外側に突出している。
駆動基板160には、半導体装置20の信号端子80が接続されている。本例では、駆動基板160に図示しない複数の貫通孔が形成され、貫通孔のそれぞれに信号端子80が挿入実装されている。これにより、駆動基板160に形成された駆動回路部から、信号端子80を通じて駆動信号が出力される。信号端子80は、X方向に並んで配置されている。複数の信号端子80は、駆動基板160におけるY方向の一方の端部付近で、X方向に一列に並んで挿入実装されている。
外部接続端子170は、制御回路部9が形成された図示しない制御基板と駆動基板160とを電気的に接続するための端子である。駆動基板160には、複数の外部接続端子170が接続されている。本例では、駆動基板160に図示しない複数の貫通孔が形成され、貫通孔のそれぞれに外部接続端子170が挿入実装されている。外部接続端子170の一部は、制御回路部9の駆動指令を、駆動基板160の駆動回路部に伝達する。
外部接続端子170は、略L字状をなしている。外部接続端子170は、略90度の屈曲部を1つ有している。外部接続端子170のうち、駆動基板160との接続部から屈曲部までがZ方向に延設され、屈曲部から先端までがY方向の共通配線部132,142側に延設されている。そして、先端から所定範囲の部分が、保護部材180の外へ突出している。
保護部材180は、パワーモジュール110を構成する他の要素を保護している。保護部材180は、パワーモジュール110の外郭をなしている。保護部材180としては、他の要素を一体的に封止する封止樹脂体、予め成形されたケースなどを用いることができる。ケースの場合、保護性を高めるために、ポッティング材などを併用してもよい。本例では、保護部材180として封止樹脂体を採用している。封止樹脂体は、エポキシ樹脂などの樹脂材料を用いて成形されたものであり、モールド樹脂、樹脂成形体とも称される。封止樹脂体は、たとえばトランスファモールド法により成形される。
保護部材180は、Z方向において、一面181と、一面181と反対の裏面182を有している。一面181及び裏面182は、Z方向に直交する平面となっている。本例の保護部材180は、略四角錐台形状をなしている。このため、保護部材180は、4つの側面183~186を有している。一面181を基準面とすると、いずれの側面183~186も一面181となす角度が鋭角の傾斜面となっている。
パワーモジュール110を構成する要素は、一面181側から裏面182に向けて、Nバスバー140の接続部141、コンデンサC1、Pバスバー130の接続部131、1段目の熱交換部123、半導体装置20、2段目の熱交換部123、駆動基板160の順で配置されている。供給管121及び排出管122は、一面181から保護部材180の外へ突出している。裏面182からは、何も突出していない。なお、図示しないが、一面181側から裏面182に向けて、駆動基板160、1段目の熱交換部123、半導体装置20、2段目の熱交換部123、Nバスバー140の接続部141、コンデンサC1、Pバスバー130の接続部131の順で配置されてもよい。
Pバスバー130及びNバスバー140の共通配線部132,142は、Y方向において信号端子80側の側面183から保護部材180の外へ突出している。側面183からは、外部接続端子170も突出している。図21に示すように、X方向において、半導体装置20U側の外部接続端子170と、半導体装置20L側の外部接続端子170の間に、共通配線部132,142が配置されている。また、図22に示すように、外部接続端子170は裏面182に近い位置で突出し、共通配線部132,142は一面181に近い位置で突出している。側面183とは反対の側面184、すなわち主端子70側の側面184からは、何も突出していない。出力バスバー150の幅狭部152は、X方向において半導体装置20U側の側面185から保護部材180の外へ突出している。側面185とは反対の側面186、すなわち半導体装置20L側の側面からは、何も突出していない。
このように、保護部材180の一面181からは、供給管121及び排出管122のみが突出している。このため、一面181側に、パワーモジュール110とは別の冷却器を配置し、これによりパワーモジュール110を冷却する場合、別の冷却器と供給管121及び排出管122と接続しやすい。共通配線部132,142と出力バスバー150とが異なる側面から突出しているため、電力ラインや三相巻線との接続を簡素化することができる。
ここで、上下アーム回路10のスイッチングに伴い生じるサージは、単位時間当たりの電流変化量(電流変化率)が大きいほど、また、配線インダクタンスが大きいほど大きくなる。上記パワーモジュール110では、配線インダクタンスを小さくすることで、上記サージの低減を図っている。以下、上記したパワーモジュール110の構造のうち、配線インダクタンスを小さくしてサージ低減を可能にする構造について説明する。
図28は、図1の等価回路図からインバータ7、平滑コンデンサC2及びモータジェネレータ3を抽出して示した回路図であり、回路に寄生している配線インダクタンスを図示している。図28中の一点鎖線に示すように、各相のパワーモジュール110は、Pライン12及びNライン13の間で並列に接続されていることは先述した通りである。
そして、Pライン12のうち、各相のパワーモジュール110が接続されている間の部分で生じる配線インダクタンスを、相間上インダクタンスL2Pと呼ぶ。具体的には、Pライン12のうち、U相の共通配線部132との接続箇所とV相の共通配線部132との接続箇所との相間部分で生じる配線インダクタンスが相間上インダクタンスL2Pである。また、Pライン12のうち、V相の共通配線部132との接続箇所とW相の共通配線部132との接続箇所との相間部分で生じる配線インダクタンスが相間上インダクタンスL2Pである。また、相間上インダクタンスL2Pに比例して生じるインピーダンスを相間上インピーダンスと呼ぶ。
また、Nライン13のうち、各相のパワーモジュール110が接続されている間の部分で生じる配線インダクタンスを、相間下インダクタンスL2Nと呼ぶ。具体的には、Nライン13のうち、U相の共通配線部142との接続箇所とV相の共通配線部142との接続箇所との相間部分で生じる配線インダクタンスが相間下インダクタンスL2Nである。また、Nライン13のうち、V相の共通配線部142との接続箇所とW相の共通配線部142との接続箇所との相間部分で生じる配線インダクタンスが相間下インダクタンスL2Nである。また、相間下インダクタンスL2Nに比例して生じるインピーダンスを相間下インピーダンスと呼ぶ。
パワーモジュール110の内部における、コンデンサC1の正極端子から上アーム10Uまでの電気経路の配線インダクタンスを相内上インダクタンスL1Pと呼ぶ。具体的には、Pバスバー130の平行部134および折曲部135で生じる配線インダクタンスが相内上インダクタンスL1Pである。また、相内上インダクタンスL1Pを形成する部分の配線を上配線11Paと呼び、相内上インダクタンスL1Pに比例して生じるインピーダンスを相内上インピーダンスと呼ぶ。
パワーモジュール110の内部における、コンデンサC1の負極端子から下アーム10Lまでの電気経路の配線インダクタンスを、相内下インダクタンスL1Nと呼ぶ。具体的には、Nバスバー140の平行部144および折曲部145で生じる配線インダクタンスが相内下インダクタンスL1Nである。また、相内下インダクタンスL1Nを形成する部分の配線を下配線11Naと呼び、相内下インダクタンスL1Nに比例して生じるインピーダンスを相内下インピーダンスと呼ぶ。
図28では、インバータ7を例に各インピーダンスを説明しているが、インバータ8及びコンバータ6についても、以下のように各インピーダンスは対応する。すなわち、各相のうち第1相に設けられたパワーモジュール110を第1パワーモジュールとし、第2相に設けられたパワーモジュール110を第2パワーモジュールとする。そして、第1パワーモジュールにおける、コンデンサC1の正極端子から上アーム10Uまでの電気経路のインピーダンスが相内上インピーダンスに相当する。第1パワーモジュールに係るコンデンサC1の正極端子から、第2パワーモジュールに係る上アーム10Uまでの電気経路のインピーダンスを相間上インピーダンスに相当する。第1パワーモジュールにおける、コンデンサC1の負極端子から下アーム10Lまでの電気経路のインピーダンスが相内下インピーダンスに相当する。第1パワーモジュールに係るコンデンサC1の負極端子から、第2パワーモジュールに係る下アーム10Lまでの電気経路のインピーダンスが相間下インピーダンスに相当する。
そして、相間上インダクタンスL2Pを形成する配線長さは、相内上インダクタンスL1Pを形成する配線長さよりも長い。そのため、相間上インダクタンスL2Pは相内上インダクタンスL1Pよりも大きく、相間上インピーダンスは相内上インピーダンスより大きい。相間下インダクタンスL2Nを形成する配線長さは、相内上インダクタンスL1Pを形成する配線長さよりも長い。そのため、相間下インダクタンスL2Nは相内下インダクタンスL1Nよりも大きく、相間下インピーダンスは相内下インピーダンスより大きい。なお、相間上インダクタンスL2Pおよび相間下インダクタンスL2Nのそれぞれは、相内上インダクタンスL1Pに相内下インダクタンスL1Nを加算した値よりも大きい。
図28中の矢印Y1は、V相の並列回路11で形成される閉ループ回路において、サージ電圧がコンデンサC1に吸収される経路を示す。このサージ電圧は、V相のスイッチング素子Q1,Q2のターンオンおよびターンオフ時に生じるものである。U相及びW相においても同様にして、矢印Y1の如くサージ電圧がコンデンサC1に吸収される。このように同一相内で発生と吸収が為されるサージ電圧は、以下の説明では自己サージ電圧とも呼ばれる。
閉ループ回路は、上記並列回路11により形成され、コンデンサC1の正極端子、上配線11Pa、上下アーム回路10、下配線11Na及びコンデンサC1の負極端子が順に直列接続された、電力ラインを含まない回路である。閉ループ回路は、上述の如くサージ電圧が吸収される経路であるとともに、スイッチング素子Q1,Q2のスイッチング時に必要な電荷がコンデンサC1からスイッチング素子Q1,Q2へ供給される経路であるとも言える。
また、閉ループ回路は、共通配線11P,11Nを含まない回路である。換言すれば、Pバスバー130は、上配線11Paを形成する図28中の二点鎖線に示す部分と、共通配線11Pを形成する部分とに分岐している。Pバスバー130の共通配線11Pは、Pライン12及び上配線11Paを接続する上電力配線とも呼ばれる。Nバスバー140は、下配線11Naを形成する図28中の二点鎖線に示す部分と、共通配線11Nを形成する部分とに分岐している。Nバスバー140の共通配線11Nは、Nライン13及び下配線11Naを接続する下電力配線とも呼ばれる。
図28中の矢印Y2は、V相で生じた自己サージ電圧が、V相の閉ループ回路から電力ラインを通じてW相の閉ループ回路へ伝播する場合の経路を示す。このように複数の上下アーム回路10どうしで干渉するサージ電圧は、以下の説明では干渉サージ電圧とも呼ばれる。V相とW相との間で伝播する干渉サージ電圧と同様にして、V相とU相との間やW相とU相との間でも干渉サージ電圧は生じ得る。但し、相間上インダクタンスL2Pは相内上インダクタンスL1Pよりも十分に大きいので、他相から自相へ伝播される干渉サージ電圧は殆ど生じず、その干渉サージ電圧は自己サージ電圧に比べて極めて小さい。
なお、並列接続された上下アーム回路10へ電荷を供給すると、平滑コンデンサC2からコンデンサC1へ瞬時に電荷が供給される。これにより、コンデンサC1が再び電荷を供給可能な状態となる。
次に、上記したパワーモジュール110の効果について説明する。
パワーモジュール110は、上下アーム回路10と、コンデンサC1と、上配線11Paと、下配線11Naと、上電力配線としての共通配線11Pと、下電力配線としての共通配線11Nと、を備える。上配線11Paは、コンデンサC1の正極端子及び上アーム10Uを接続し、下配線11Naは、コンデンサC1の負極端子及び下アーム10Lを接続する。共通配線11P,11Nは、上配線11Pa及び下配線のそれぞれを電力ラインに接続する。
したがって、パワーモジュール110は、電力ラインを含まない閉ループ回路を形成することになる。そのため、上下アーム回路10のスイッチング時に必要な電荷がコンデンサC1から供給されるにあたり、その電荷供給経路には電力ラインが含まれない。よって、その経路の配線、つまり上配線11Paと下配線11Naを短くできる。一方、本実施形態に反してコンデンサC1を廃止した場合には、平滑コンデンサC2からスイッチング時に必要な電荷を供給することになる。その場合には、平滑コンデンサC2から上下アーム回路10へ電荷を供給する電気経路に電力ラインが含まれることになるので、その電気経路を十分に短くすることができない。
以上により、上記パワーモジュール110によれば、サージ電圧発生の要因の1つである配線の長さを短くすることを、コンデンサC1を廃止した場合に比べて容易に実現できる。よって、自己サージ電圧に係る配線インダクタンスL1P,L1Nを小さくでき、上下アーム回路10で生じる自己サージ電圧を低減できる。しかも、上記閉ループ回路は電力ラインを含んでいないので、自己サージ電圧が電力ラインに重畳しにくくなる。そのため、電力ラインを通じて他の上下アーム回路10に自己サージ電圧を干渉させてしまうことを抑制できる。
また、上述の如くサージ電圧を低減できるパワーモジュール110が、各相それぞれに設けられている。そのため、電力ラインを通じた上下アーム回路10同士が自己サージ電圧を干渉し合うことの抑制を促進できる。
さらに本例では、上アーム10Uは、上配線11Paに接続される主端子70Cを複数有し、下アーム10Lは、下配線11Naに接続される主端子70Eを複数有する。そのため、隣合う互いの主端子70C,70Eどうしで自己サージ電圧が打ち消し合うように作用し、相内上インダクタンスL1P及び相内下インダクタンスL1Nを低減することができる。よって、自己サージ電圧の低減が促進される。
さらに本例では、上アーム10Uが有する主端子70E及び下アーム10Lが有する主端子70Cを接続する出力バスバー150(つまり出力配線15)を備える。出力バスバー150は、上配線11Pa及び下配線11Naと対向する対向部154p,154nを有する。そのため、出力バスバー150の対向部154p,154nと上配線11Pa及び下配線11Naとの間で、自己サージ電圧が打ち消し合うように作用し、相内上インダクタンスL1P及び相内下インダクタンスL1Nを低減することができる。よって、自己サージ電圧の低減が促進される。特に本例では、1in1パッケージ構造の半導体装置20を備える構成において、上記したように、Y方向において、Pバスバー130及びNバスバー140と出力バスバー150とを対向させている。また、Y方向の投影視において、出力バスバー150と半導体装置20が重なっており、Y方向において、半導体チップ40Uと出力バスバー150との間に、Pバスバー130の対向部135aが配置されている。同様に、Y方向において、半導体チップ40Lと出力バスバー150との間に、Nバスバー140の対向部145aが配置されている。したがって、半導体チップ40Uを介したPバスバー130から出力バスバー150への電流経路、及び、半導体チップ40Lを介した出力バスバー150からNバスバー140への電流経路は、図23に二点鎖線の矢印で示すようになる。したがって、上下アーム回路10を構成する2つの半導体チップが1パッケージ化された2in1パッケージに較べて、電流ループの面積を小さくすることができる。これにより、自己サージ電圧をさらに低減することができる。
さらに本例では、相間上インピーダンスが相内上インピーダンスより大きい。また、相間下インピーダンスが相内下インピーダンスより大きい。そのため、図28の矢印Y2に示すように、各相の閉ループ回路を跨いでサージ電圧が伝播して干渉することを抑制できる。
さらに本例では、上下アーム回路10に並列に接続され、電力ラインの電圧を平滑化する平滑コンデンサC2を備える。これによれば、電力ラインの電圧変動を抑制することができる。また、コンデンサC1に平滑コンデンサC2から瞬時に電荷を供給できるため、コンデンサC1の静電容量を抑えることができる。これにより、コンデンサC1の小型化が可能となる。
半導体装置20として、1in1パッケージ構造の半導体装置20を2つ用いる例を示したが、これに限定されない。上下アーム回路10を構成する2つのアーム(上アーム10U及び下アーム10L)を構成する要素単位でパッケージ化した2in1パッケージ構造の半導体装置を用いることもできる。
主端子70の配置も上記例に限定されない。1in1パッケージの場合、主端子70C,70Eを少なくとも1本ずつ有せばよい。同電位とされる主端子70を複数に分割してもよい。たとえば主端子70Cを複数本に分割してもよい。複数本の並列化によって、分割した主端子全体のインダクタンスを低減することができる。2in1パッケージの場合、上アーム10U側の主端子70Cと、下アーム10L側の主端子70Eと、出力端子をそれぞれ少なくとも1本有せばよい。
図27に示す例では、共通配線部132,142が、接続部131,141に対して平行部134,144の反対側に延設している。これに対し、図29に示すように、共通配線部132,142が、接続部131,141に対して平行部134,144と同じ側に延設していてもよい。また、上アーム10Uと下アーム10Lとで、共通配線部132,142が延設する向きを異ならせてもよい。例えば、共通配線部132,142は互いに対向配置していなくてもよい。
図27に示す例では、上アーム10U及び下アーム10Lは主端子70C,70Eを複数有しているが、1つの主端子70C,70Eを有していればよい。また、図27に示す例では、主端子70C及び主端子70Eが交互に並べて配置されているが、複数の主端子70Cが並べて配置されていてもよいし、複数の主端子70Eが並べて配置されていてもよい。
図27に示す例に反して、相間上インピーダンスが相内上インピーダンスより小さくてもよい。また、相間下インピーダンスが相内下インピーダンスより小さくてもよい。
上記パワーモジュール110の別例として、上記パワーモジュール110が備える冷却器120、駆動基板160及び保護部材180の少なくとも1つが廃止されていてもよい。また、平滑コンデンサC2が廃止された電力変換装置5であってもよい。コンデンサC1が、保護部材180の外に配置された構成としてもよい。冷却器120の構造は、上記例に限定されない。上下アーム回路10を構成する半導体装置20の一部が、冷却器120内の流路126に挿入され、冷媒に浸漬される構成としてもよい。この構成において、コンデンサC1を冷却器120上に配置し、コンデンサC1と半導体装置20を接続してもよい。浸漬により、半導体装置20を両面側から冷却しつつ、サージ電圧を抑制することができる。
(第2実施形態)
この実施形態は、先行する実施形態を基礎的形態とする変形例である。上記実施形態では、保護部材180として封止樹脂体の例を示した。これに代えて、この実施形態では、保護部材180としてケース187及び封止材188を用いている。
図30~図32に示すように、本実施形態のパワーモジュール110は、半導体装置20と、冷却器120と、コンデンサC1と、Pバスバー130と、Nバスバー140と、出力バスバー150と、駆動基板160と、保護部材180を備えている。図30では、便宜上、半導体装置20の主端子70と、封止材188を省略して図示している。図31及び図32では、パワーモジュール110を構成する要素を簡素化して図示している。
保護部材180を構成するケース187は、筒状をなしている。ケース187は、平面略矩形環状をなしている。ケース187は、樹脂材料を用いて形成されてもよいし、金属材料を用いて形成されてもよい。たとえば射出成形によって形成された樹脂成形体、ダイカスト法によって形成された金属成形体を採用することができる。金属部品を用いたインサート成形体を採用することもできる。
ケース187はZ方向に延設されている。ケース187は、Z方向の両端に、開口部187a,187bを有している。ケース187は、貫通孔187cを有している。貫通孔187cは、開口部187b側の端面187dに開口するとともに、筒状内部の空間に連通している。貫通孔187cは、X方向においてケース187の両端に設けられている。ケース187内には、半導体装置20の少なくとも一部、冷却器120の一部、コンデンサC1、各バスバー130,140,150それぞれの一部が配置されている。
冷却器120は、先行実施形態同様、供給管121と、排出管122と、多段に配置された熱交換部123を有している。そして、熱交換部123の間に、半導体装置20が配置されている。本実施形態でも、上アーム10Uを構成する半導体装置20Uと、下アーム10Lを構成する半導体装置20LがX方向に並んで配置されている。そして、2つの半導体装置20U,20Lが2つの熱交換部123によって挟まれている。本実施形態において、供給管121及び排出管122の並び方向は、X方向に沿っている。供給管121と排出管122の間に、半導体装置20が配置されている。
熱交換部123のひとつには、閉塞プレート127が一体的に設けられている。閉塞プレート127は、ケース187の開口部187aを閉塞するように設けられている。閉塞プレート127は、たとえば平板状に設けられている。閉塞プレート127は、熱交換部123に対して、半導体装置20側の面とは反対の面に固定されている。図31及び図32に示すように、閉塞プレート127が開口部187aを塞ぐように、冷却器120がケース187に組み付けられている。閉塞プレート127は、接着、ねじ締結などによってケース187に固定されている。閉塞プレート127は、ケース187の底として機能する。
本実施形態では、開口部187a側の端面187eに内周側が低い段差が設けられている。端面187eの段差部分に閉塞プレート127の外周縁部が配置され、この配置状態で冷却器120がケース187に固定されている。開口部187aが開口端に相当する。
コンデンサC1は、Pバスバー130、Nバスバー140、及び出力バスバー150とともに、コンデンサユニット190をなしている。コンデンサユニット190は、ケース191を有している。ケース191は、コンデンサC1を収容するハウジングとして機能する。ケース191は、各バスバー130,140,150を外部と接続可能に保持する端子台のハウジングとして機能する。このように、コンデンサC1、Pバスバー130、Nバスバー140、及び出力バスバー150は一体的に保持されている。先行実施形態同様、Pバスバー130には、半導体装置20Uの主端子70Cが電気的に接続されている。Nバスバー140には、半導体装置20Lの主端子70Eが電気的に接続されている。出力バスバー150には、半導体装置20Uの主端子70E及び半導体装置20Lの主端子70Cが電気的に接続されている。
コンデンサユニット190は、ケース187内において、冷却器120上に配置されている。コンデンサユニット190は、閉塞プレート127が設けられていない側の熱交換部123に対して、半導体装置20とは反対側に配置されている。Pバスバー130及びNバスバー140の共通配線部132,142は、X方向の一端側において、貫通孔187cを通じてケース187外へ突出している。共通配線部132,142は、Z方向において熱交換部123とは反対側に延設されている。出力バスバー150は、Pバスバー130及びNバスバー140とは反対側の端部において、貫通孔187cを通じてケース187外へ突出している。出力バスバー150の突出部分も、Z方向において熱交換部123とは反対側に延設されている。
パワーモジュール110は、電流センサ200をさらに備えている。電流センサ200は、出力バスバー150に流れる電流を検出する。このため、電流センサ200は、出力バスバー150の近傍に配置されている。本実施形態では、電流センサ200が、センサ本体部201と、リード202を有している。センサ本体部201には、磁電変換素子が形成されている。磁電変換素子としては、たとえばホール素子や、GMR素子、TMR素子などの磁気抵抗効果素子を採用することができる。電流センサ200のリード202が、駆動基板160に実装、たとえば挿入実装されている。ケース191は駆動基板160側の面に凹部191aを有している。センサ本体部201は、凹部191aに挿入配置された状態で、バスバー150に流れる電流(相電流)を検出する。
駆動基板160は、コンデンサユニット190に対して、冷却器120と反対側に配置されている。本実施形態では、駆動基板160が、ケース187の開口部187bを閉塞するように配置されている。駆動基板160は、開口部187b側の端面187dに配置された状態で、ケース187に固定されている。電流センサ200は、X方向において駆動基板160の一端に実装されている。駆動基板160は、出力バスバー150側の端部に凸部161を有している。凸部161は、開口部187bとは反対側、すなわち外側に突出している。
電流センサ200は、凸部161に実装されている。電流センサ200は、駆動基板160に実装された状態で、Z方向に延設されている。そして、ケース187の外で、出力バスバー150の突出部分の近傍に配置されている。
保護部材180を構成する封止材188は、ケース187内に収容された要素の少なくとも一部を封止している。封止材188としては、電気絶縁性の材料、たとえば樹脂やゲルを採用することができる。封止材188は、ポッティング材と称される場合がある。封止材188は、半導体装置20及びコンデンサC1の少なくとも一部を封止している。封止材188は、異なる電位の部材間に配置されるのが好ましい。
本実施形態では、閉塞プレート127を底側として封止材188が充填されている。封止材188は、半導体装置20が備えるすべての主端子70を一体的に覆うように、主端子70の周辺のみに配置されている。封止材188は、主端子70C,70Eの間に介在している。
このように、本実施形態では、冷却器120がケース187の開口部187aを閉塞している。このため、先行実施形態に記載の効果に加えて、封止材188によって封止しつつ、構成を簡素化することができる。
また、冷却器120を含むケース187は、有底筒状をなしている。したがって、開口部187b側からケース187内に封止材188を充填することができる。これにより、ケース187内に封止材188を保持し、主端子70C,70E間の絶縁を確保することができる。なお、封止材188によって絶縁される異なる電位間とは、主端子70C,70Eに限定されない。バスバー130,140,150間でも良い。主端子70と、該主端子70と電位が異なるバスバーとの間でも良い。特に本実施形態では、封止材188を主端子70の周辺のみに配置させるため、封止材188の使用量を抑制しつつ、主端子70C,70E間の絶縁を確保することができる。
なお、冷却器120によりケース187の開口部187aを閉塞する例を示したが、これに限定されない。駆動基板160によりケース187の開口部187aを閉塞してもよい。
駆動基板160が開口部187a側に配置される例を示したが、これに限定されない。駆動基板160が、冷却器120に対してコンデンサユニット190と反対側に配置された構成としてもよい。この場合、駆動基板160と冷却器120の両方により、開口部187aを閉塞する構成としてもよい。
ケース187内における封止材188の配置は、上記した例に限定されない。たとえば図33に示すように、コンデンサユニット190側の熱交換部123まで、完全に封止されるように、封止材188が充填された構成としてもよい。この場合、熱交換部123と主端子70との間にも、電気絶縁性の封止材188が配置される。したがって、熱交換部123(冷却器120)と主端子70との距離を近づけることができる。
図33では、熱交換部123における主端子70側の端部に、突起部123aを設けている。突起部123aは、熱交換部123における半導体装置20の配置部位に対してZ方向に突出している。金属製の熱交換部123(突起部123a)を主端子70に近づけることで、主端子70のインダクタンスを小さくすることができる。これにより、サージ電圧を低減することができる。また、ケース187を封止材188によって満たしてもよい。
ケース187のZ方向の長さは特に限定されない。金属製のケース187は、ノイズに対する遮蔽板として機能する。よって、金属製のケース187を採用する場合、ケース187のZ方向の長さを、半導体装置20、冷却器120、及びコンデンサユニット190の積層体よりも長くするとよい。これによれば、ケース187によって、外来ノイズを効果的に遮蔽することができる。また、半導体装置20の生じたノイズが外部へ伝搬するのを効果的に遮蔽することができる。
図34~図36に示す例では、金属製のケース187が、信号端子80に対応する貫通孔187fをさらに備えている。貫通孔187fは、端面80dにおける信号端子80側の部分に開口するとともに、筒状内部の空間に連通している。貫通孔187fは、Z方向に延設されている。貫通孔187fは、平面略矩形環状の端面187dにおいて、四辺のひとつに開口している。貫通孔187fは、貫通孔187cとは異なる辺に開口している。本実施形態では、ひとつの貫通孔187fをすべての信号端子80が挿通している。半導体装置20ごとに貫通孔187fを分けてもよい。図35では、便宜上、駆動基板160を省略して図示している。
信号端子80は屈曲部を有し、ZX平面において略L字状をなしている。信号端子80のうち、Z方向に延設された部分が貫通孔187fを挿通している。信号端子80の一部は端面187dから突出している。信号端子80の一部分が、金属製のケース187によって囲まれているため、ケース187によってノイズを効果的に遮蔽することができる。なお、ケース187に、端面187e側に開口する貫通孔を設け、信号端子80を端面187e側に突出させてもよい。
(第3実施形態)
この実施形態は、先行する実施形態を基礎的形態とする変形例である。上記実施形態では、電力配線(共通配線11N,11P)から上配線11Pa及び下配線11Naへの分岐構造について特に言及しなかった。この実施形態では、熱の影響を考慮して分岐構造が決定されている。
図37は、本実施形態のパワーモジュール110の等価回路図を示している。図37は、図1の等価回路図からインバータ7、平滑コンデンサC2、及びモータジェネレータ3を抽出して示した回路図である。
図37に示すように、上配線11Paは、共通配線11P(上電力配線)との接続点Npを基準として、2つの部分に分けられる。上配線11Paは、接続点Npから2つに分岐している。上配線11Paは、第1配線部11Pbと、第2配線部11Pcを有している。第1配線部11Pbは、上アーム10Uのコレクタ電極と接続点Npとを電気的に接続する配線部分である。第2配線部11Pcは、コンデンサC1の正極端子と接続点Npとを電気的に接続する配線部分である。インバータ7の各相において、同様の構成とされている。
下配線11Naは、共通配線11N(下電力配線)との接続点Nnを基準として、2つの部分に分けられる。下配線11Naは、接続点Nnから2つに分岐している。下配線11Naは、第1配線部11Nbと、第2配線部11Ncを有している。第1配線部11Nbは、下アーム10Lのエミッタ電極と接続点Nnとを電気的に接続する配線部分である。第2配線部11Pcは、コンデンサC1の負極端子と接続点Nnとを電気的に接続する配線部分である。インバータ7の各相において、同様の構成とされている。
このように、上配線11Pa及び下配線11Naは、対応する共通配線11P,11N(電力配線)との接続点Np,Nnから対応するアームまでの第1配線部11Pb,11Nbを有している。上配線11Pa及び下配線11Naは、接続点Np,NnからコンデンサC1の対応する端子までの第2配線部11Pc,11Ncを有している。
そして、上配線11Pa及び下配線11Naの少なくとも一方において、第1配線部11Pb,11Nbの配線抵抗が、第2配線部11Pc,11Ncの配線抵抗よりも小さくされている。
ここで、上配線11Paにおいて、第1配線部11Pbの配線抵抗をRpb、第2配線部11Pcの配線抵抗をRpcとする。下配線11Naにおいて、第1配線部11Nbの配線抵抗をRnb、第2配線部11Ncの配線抵抗をRncとする。たとえば上配線11Paが上記した関係を満たす場合、配線抵抗Rpb<配線抵抗Rpcとされている。下配線11Naが上記した関係を満たす場合、配線抵抗Rnb<配線抵抗Rncとされている。
図38は、上記した関係を満たすように構成されたパワーモジュール110を示す模式図である。図38では、パワーモジュール110を簡略化して示している。図38では、パワーモジュール110を構成する要素として、半導体装置20(20U,20L)、Pバスバー130、Nバスバー140、及びコンデンサC1を示している。先行実施形態同様、パワーモジュール110は、これら要素とともに、冷却器120、出力バスバー150、駆動基板160、及び保護部材180の少なくともひとつを備えてもよい。
保護部材180を備える場合、先行実施形態に示したように、封止樹脂体、成形された樹脂ケース、金属ケースなどを用いることができる。ケースの場合、ケース内に封止材を充填してもよい。さらには、樹脂表面に金属が積層配置されたフィルムを用いて保護部材180を構成してもよい。このようなフィルムとしては、たとえば、金属箔を樹脂に貼り合わせたラミネートフィルム、樹脂表面に金属を蒸着させた蒸着フィルムがある。金属としては、たとえばアルミニウムを用いることができる。
上記したように、共通配線11P及び上配線11Paは、Pバスバー130として提供されている。共通配線11N及び下配線11Naは、Nバスバー140として提供されている。Pバスバー130は、共通配線部132と、並列配線部133を有している。Nバスバー140は、共通配線部142と、並列配線部143を有している。図38では、共通配線部132,142が、対応する並列配線部133,143に連なっている。共通配線部132が、共通配線11Pに相当する。共通配線部142が、共通配線11Nに相当する。
半導体装置20とコンデンサC1との並び方向において、半導体装置20とコンデンサC1との間に並列配線部133,143が配置されている。並列配線部133,143は、板面同士が対向するように配置されている。並び方向において、並列配線部133の一端側に図示しない接続部131が設けられ、他端側に半導体装置20Uとの接続部が設けられている。並び方向において、並列配線部143の一端側に図示しない接続部141が設けられ、他端側に半導体装置20Lとの接続部が設けられている。
並列配線部133,143のそれぞれにおいて、厚みがほぼ均一されている。並列配線部133,143のそれぞれにおいて、並び方向に直交する方向の幅がほぼ一定とされている。共通配線部132は、並び方向において半導体装置20に近い位置で、並列配線部133に連なっている。連結点が、接続点Npに相当する。共通配線部132と半導体装置20U、コンデンサC1それぞれとの電流経路は、破線矢印で示すように、共通配線部132から幅方向両側に分岐している。電流経路は、半導体装置20UのほうがコンデンサC1よりも短い。接続点Npからの配線長は、半導体装置20UのほうがコンデンサC1よりも短い。これにより、配線抵抗Rpb<配線抵抗Rpcとなっている。
同様に、共通配線部142は、並び方向において半導体装置20に近い位置で、並列配線部143に連なっている。連結点が、接続点Nnに相当する。共通配線部142と半導体装置20L、コンデンサC1それぞれとの電流経路は、実線矢印で示すように、共通配線部142から幅方向両側に分岐している。電流経路は、半導体装置20LのほうがコンデンサC1よりも短い。接続点Nnからの配線長は、半導体装置20LのほうがコンデンサC1よりも短い。これにより、配線抵抗Rnb<配線抵抗Rncとなっている。
ここで、バスバー130,140には、AC電流とDC電流が流れる。AC電流は、スイッチング素子のスイッチング時に流れる電流である。DC電流は、スイッチング素子がオンされている定常時に流れる電流である。コンデンサC1は、理想的にはAC電流しか通さない。よって、図38に示した電流経路において、コンデンサC1側には主にAC電流が流れる。半導体装置20側には、DC電流とAC電流とが流れる。また、DC電流による発熱量のほうが、AC電流による発熱量に較べて大きい。
本実施形態では、上記したように、半導体装置20UのほうがコンデンサC1よりも、共通配線部132からの配線長が短くされている。これにより、配線抵抗Rpb<配線抵抗Rpcとなっている。DC電流が流れる経路の配線抵抗Rpbを小さくしたため、DC電流による発熱量を抑制することができる。これにより、コンデンサC1に伝わる熱を低減することができる。
同様に、半導体装置20LのほうがコンデンサC1よりも、共通配線部142からの配線長が短くされている。これにより、配線抵抗Rnb<配線抵抗Rncとなっている。DC電流が流れる経路の配線抵抗Rnbを小さくしたため、DC電流による発熱量を抑制することができる。これにより、コンデンサC1に伝わる熱を低減することができる。
配線抵抗Rpb<配線抵抗Rpcと配線抵抗Rnb<配線抵抗Rncの両方の条件を満たす例を示したが、これに限定されない。少なくとも一方の条件を満たせばよい。一方の条件のみを満たす場合でも、いずれの条件も満たさない構成に較べて、DC電流による発熱量を抑制することができる。
上記したように、DC電流による発熱量のほうが、AC電流による発熱量に較べて大きい。バスバー130,140の少なくとも一部を露出構造とすることで、DC電流による熱を効果的に逃がすことができる。バスバー130,140のうち、DC電流が流れる部分、すなわち第1配線部11Pb,11Nbに対応する部分、の少なくとも一部を、封止樹脂体や封止材から露出させるとよい。
本実施形態では、配線長を短くすることで、半導体装置20までの配線抵抗をコンデンサC1までの配線抵抗よりも小さくする例を示した。電流経路の断面積、たとえば厚みや幅を異ならせることで、半導体装置20までの配線抵抗をコンデンサC1までの配線抵抗より小さくしてもよい。
以下に、パワーモジュール110のより具体的な構成例を示す。以下に示す各例でも、パワーモジュール110を構成する要素として、半導体装置20(20U,20L)、Pバスバー130、Nバスバー140、及びコンデンサC1を示している。パワーモジュール110は、これら要素とともに、冷却器120、出力バスバー150、駆動基板160、及び保護部材180の少なくともひとつを備えてもよい。
図39及び図40に示すパワーモジュール110は、先行実施形態(図30参照)に示したパワーモジュール110に対応している。コンデンサC1の正極端子が、Y方向において信号端子80側の側面に設けられている。負極端子が、Y方向において主端子70側の側面に設けられている。
Pバスバー130は、接続部131、共通配線部132、並列配線部133、及び接続部137を有している。共通配線部132は、コンデンサC1に対して、コンデンサC1の長手方向であるX方向の一端側に配置されている。共通配線部132は、並列配線部133に連なっている。共通配線部132は、ひとつの屈曲部を有し、ZX平面において略L字状をなしている。共通配線部132は、板厚方向をZ方向と略平行にして並列配線部133からX方向に延びた部分と、板厚方向をX方向と略平行にしてZ方向に延びた部分を有している。
並列配線部133は、コンデンサC1における半導体装置20との対向面である下面側に配置されている。並列配線部133は、コンデンサC1と半導体装置20との間に配置されている。並列配線部133は、Y方向に延設されている。Y方向において、並列配線部133の一端側、具体的には信号端子80側には、接続部131が連なっている。接続部131は、並列配線部133に対して屈曲されている。接続部131は、Y方向において、コンデンサC1の正極端子に接続されている。並列配線部133において、接続部131とは反対側の端部は主端子70側に屈曲している。並列配線部133は、YZ平面において略L字状をなしている。接続部137は、並列配線部133の屈曲した先端に連なっている。接続部137は、ひとつの屈曲部を有し、YZ平面において略L字状をなしている。接続部137は、半導体装置20Uの主端子70Cに接続されている。Pバスバー130は、主端子70Cと同数(4本)の接続部137を有している。Pバスバー130は、溶接を用いず、一枚の金属板から形成されている。
Nバスバー140は、接続部141、共通配線部142、並列配線部143、接続部147、及び繋ぎ部148を有している。共通配線部142は、共通配線部132と同じ側に配置されている。共通配線部142は、ひとつの屈曲部を有し、ZX平面において略L字状をなしている。共通配線部142は、並列配線部143ではなく、繋ぎ部148に連なっている。共通配線部142は、板厚方向をZ方向と略平行にして繋ぎ部148から延びた部分と、板厚方向をX方向と略平行にしてZ方向に延びた部分を有している。共通配線部142のZ方向延設部分は、共通配線部132のZ方向延設部分とY方向に並んで配置されている。共通配線部142のZ方向延設部分は、共通配線部132のZ方向延設部分よりも、X方向においてコンデンサC1に近い位置に配置されている。共通配線部142の一部と、共通配線部132のX方向延設部分とは、板面同士が対向している。
繋ぎ部148は、コンデンサC1における共通配線部132,142側の側面と、コンデンサC1における半導体装置20側の面と反対の上面に配置されている。繋ぎ部148の側面配置部分に共通配線部142が連なり、上面配置部分に接続部141が連なっている。繋ぎ部148は、共通配線部142と接続部141を繋いでいる。繋ぎ部148は、共通配線部142の一部とも言える。接続部141は、繋ぎ部148の上面配置部分に対して屈曲されており、コンデンサC1の負極端子に接続されている。並列配線部143は、接続部141における繋ぎ部148とは反対の端部に連なっている。
並列配線部143は、Y方向に延設されている。並列配線部143において、接続部141とは反対側の端部は主端子70側に屈曲している。並列配線部143は、YZ平面において略L字状をなしている。並列配線部143は、並列配線部133に対して対向配置されている。接続部147は、並列配線部143の屈曲した先端に連なっている。接続部147は、ひとつの屈曲部を有し、YZ平面において略L字状をなしている。接続部147は、半導体装置20Lの主端子70Eに接続されている。Nバスバー140は、主端子70Eと同数(5本)の接続部147を有している。Nバスバー140は、溶接を用いず、一枚の金属板から形成されている。
このように、図39及び図40に示す例では、Pバスバー130側において、配線抵抗Rpb<配線抵抗Rpcを満たしている。これにより、DC電流による発熱量を抑制することができる。Nバスバー140では、接続部141のほうが接続部147よりも共通配線部142に近い位置とされている。
また、コンデンサC1の上面上にNバスバー140が配置され、下面上にPバスバー130が配置されている。これにより、コンデンサC1の放熱性を向上することができる。
なお、図示しない出力バスバー150は、先行実施形態(図30)同様の構成となっている。出力バスバー150の外部との接続部位は、間にコンデンサC1を挟むように、X方向において共通配線部132,142とは反対側に配置されている。出力バスバー150は、繋ぎ部148、接続部141、並列配線部143に対して対向(積層)するように、延設されている。出力バスバー150の延設先端には、接続部が設けられている。この接続部により、半導体装置20Uの主端子70E及び半導体装置20Lの主端子70Cと接続されている。
また、図示しない冷却器120は、Z方向において両面側から半導体装置20を冷やすように配置されている。冷却器120の熱交換部123のひとつは、Pバスバー130の並列配線部133を介して、半導体装置20とコンデンサC1との間に配置されている。
図41に示す例では、コンデンサC1の端子が図39に示した構成とは逆の配置となっている。コンデンサC1の負極端子が、Y方向において信号端子80側の側面に設けられ、正極端子が主端子70側の側面に設けられている。Nバスバー140は、図39に示した例のPバスバー130と同様の構成となっている。Nバスバー140は、接続部141、共通配線部142、並列配線部143、及び接続部147を有している。共通配線部142は、並列配線部143に連なっている。並列配線部143は、コンデンサC1の下面と半導体装置20との間に配置されている。並列配線部143は、Y方向に延設されており、信号端子80側に接続部141が連なっている。接続部141とは反対側において、並列配線部143は主端子70側に屈曲している。接続部147は、並列配線部143の屈曲した先端に連なっている。
Pバスバー130は、接続部131、共通配線部132、並列配線部133、及び接続部137を有している。共通配線部132は、Y方向において正極端子寄りで、並列配線部133に連なっている。並列配線部133は、コンデンサC1の下面と半導体装置20との間に配置されている。並列配線部133は、並列配線部143とコンデンサC1との間に配置されている。並列配線部133は、Y方向に延設されている。並列配線部133における主端子70側の端部に、接続部131,137が連なっている。X方向において、並列配線部133の端部のうち、X方向において共通配線部132,142側の一部分は、主端子70側に屈曲している。そして、並列配線部133の屈曲した先端に、接続部137が連なっている。X方向において、並列配線部133の残りの部分はZ方向に延設され、接続部131側から延びた部分と溶接されている。以下において、並列配線部133の溶接部分を、溶接部133aと示すことがある。
図41に示す構成では、共通配線部132と接続部131との電流経路に溶接部133aが設けられており、溶接部133aの折り返し部分が長い。これにより、Pバスバー130は、配線抵抗Rpb<配線抵抗Rpcを満たしている。Nバスバー140では、接続部141のほうが接続部147よりも共通配線部142に近い位置とされている。
図39及び図41に示した構成に代えて、Nバスバー140において配線抵抗Rnb<配線抵抗Rncを満たし、Pバスバー130において接続部131のほうが接続部137よりも共通配線部132に近い構成としてもよい。
図42に示す例では、コンデンサC1の正極端子が、Z方向において半導体装置20側の下面に設けられ、負極端子が下面とは反対の上面に設けられている。Pバスバー130は、図示しない接続部131、共通配線部132、並列配線部133、接続部137、及び繋ぎ部138を有している。繋ぎ部138は、共通配線部132と並列配線部133を繋いでいる。繋ぎ部138は、共通配線部132の一部とも言える。繋ぎ部138は、XY平面において延設されており。一端に共通配線部132が連なり、他端に並列配線部133が連なっている。並列配線部133は、図39同様に屈曲部を有しており、屈曲先端に接続部137が連なっている。並列配線部133は、Z方向に延設された溶接部133aを有している。並列配線部133は、溶接部133aからY方向においてコンデンサC1側に延び、屈曲部を介して、コンデンサC1の下面側に延びている。そして、並列配線部133の先端に接続部131が連なっている。
Nバスバー140は、接続部141、共通配線部142、並列配線部143、接続部147、及び繋ぎ部148を有している。繋ぎ部148は、共通配線部142と並列配線部143を繋いでいる。繋ぎ部148の一部は、繋ぎ部138と対向している。並列配線部143は、図39同様に屈曲部を有しており、屈曲先端に接続部147が連なっている。X方向において、並列配線部143の屈曲部は、並列配線部133の屈曲部と並んで配置されている。並列配線部143は、Z方向に延設された溶接部143aを有している。並列配線部143は、溶接部143aからY方向においてコンデンサC1側に延び、屈曲部を介して、コンデンサC1の上面側に延びている。そして、並列配線部143の先端に接続部141が連なっている。並列配線部143の一部は、並列配線部133と対向している。
このように、図42に示す例では、Pバスバー130側において、配線抵抗Rpb<配線抵抗Rpcを満たしている。Nバスバー140側において、配線抵抗Rnb<配線抵抗Rncを満たしている。また、コンデンサC1の上面上にNバスバー140が配置され、下面上にPバスバー130が配置されている。
図43に示す例では、図42同様、コンデンサC1の正極端子が、Z方向において半導体装置20側の下面に設けられ、負極端子が下面とは反対の上面に設けられている。バスバー130,140の溶接部を有していない点で、図42とは異なっている。図39に示した構成同様、並列配線部133,143の屈曲部が、X方向のほぼ全長にわたって互いに対向している。これにより、図42に示す例よりも広範囲にわたって、並列配線部133,143が対向配置されている。
図43に示す例では、Pバスバー130側において、配線抵抗Rpb<配線抵抗Rpcを満たしている。Nバスバー140側において、配線抵抗Rnb<配線抵抗Rncを満たしている。また、コンデンサC1の上面上にNバスバー140が配置され、下面上にPバスバー130が配置されている。なお、図42及び図43に示した構成に代えて、コンデンサC1の負極端子が下面に設けられ、正極端子が上面に設けられた構成としてもよい。
図44に示す例では、コンデンサC1の負極端子が、X方向において共通配線部132,142側の側面に設けられ、正極端子が負極端子とは反対の側面に設けられている。
図44では、便宜上、主端子70C,70Eを省略して図示している。図44では、図42同様、X方向において並列配線部133,143の屈曲部が並んでいる。並列配線部133の屈曲部は、共通配線部132,142に対して遠い側に設けられている。並列配線部133の屈曲先端には、接続部137が連なっている。並列配線部133は溶接部133aを有している。並列配線部133は、溶接部133aを含むZ方向延設部分と、正極端子に向けてXY面内を延設された部分を有している。
並列配線部143の屈曲部は、共通配線部132,142に対して近い側に設けられている。並列配線部143の屈曲先端には、接続部147が連なっている。並列配線部143は溶接部143aを有している。並列配線部143は、溶接部143aを含むZ方向延設部分と、負極端子に向けてXY面内を延設された部分を有している。
図44に示す例では、Pバスバー130側において、配線抵抗Rpb<配線抵抗Rpcを満たしている。Nバスバー140側において、配線抵抗Rnb<配線抵抗Rncを満たしている。なお、図44に示した構成に代えて、コンデンサC1の正極端子が共通配線部132,142側の側面に設けられ、負極端子が正極端子とは反対の側面に設けられた構成としてもよい。
(第4実施形態)
この実施形態は、先行する実施形態を基礎的形態とする変形例である。第2実施形態では、パワーモジュール110が電流センサ200を備える例を示した。この実施形態では、電流センサ200による電流検出の精度を向上できる構成について説明する。
図46に示すように、本実施形態のパワーモジュール110は、出力バスバー150と、駆動基板160と、電流センサ200を備えている。出力バスバー150が、出力配線に相当する。パワーモジュール110は、第2実施形態(図30参照)とほぼ同じ構造となっている。
図示を省略するが、パワーモジュール110は、上下アーム回路10を構成する半導体装置20(20U,20L)を備えている。上アーム10Uを構成する半導体装置20Uの主端子70E、及び、下アーム10Lを構成する半導体装置20Lの主端子70Cは、出力バスバー150に接続されている。
さらにパワーモジュール110は、コンデンサC1と、冷却器120と、Pバスバー130と、Nバスバー140を備えている。コンデンサC1、Pバスバー130、Nバスバー140、及び出力バスバー150は、コンデンサユニット190として、一体化されている。
出力バスバー150は、図46に示すように、被検出部155と、屈曲部156を有している。被検出部155は、出力バスバー150において、電流センサ200により電流が検出される部分である。電流センサ200の本体部201は、被検出部155を流れる電流を検出するように配置されている。
被検出部155は、一方向に延設されている。本実施形態では、X方向に延設されている。被検出部155には、貫通部155aが形成されている。貫通部155aは、被検出部155において、板面である一面155b及び裏面155c間を貫通している。貫通部155aは、貫通孔、又は、側面に開口する切り欠きとして提供される。本実施形態では、貫通部155aとして貫通孔を採用している。
図30に示したように、電流センサ200は、駆動基板160に実装されている。電流センサ200は、駆動基板160からZ方向であって被検出部155側に延びている。本体部201は、ケース191の凹部191a(図30参照)に挿入され、出力バスバー150の貫通部155aを挿通している。本体部201は、貫通部155aを通じて、一面155b側と裏面155c側の両方に配置されている。図示を省略するが、磁電変換素子は、一面155b側、裏面155c側のそれぞれに配置されている。
屈曲部156は、被検出部155に対して屈曲している。屈曲部156の一端は被検出部155に連なっている。屈曲部156は、被検出部155とは異なる方向に延設されている。本実施形態の屈曲部156は、被検出部155に対して略90度の角度を有して屈曲し、Z方向に延設されている。屈曲部156は、端子部156aと、対向部156bを有している。
端子部156aは、屈曲部156において、被検出部155に連なる一端とは反対の他端側に設けられている。端子部156aは、他の部材、すなわちパワーモジュール110を構成する要素とは別の部材が接続される部分である。本実施形態では、出力バスバー150の端部に、端子部156aが設けられている。
対向部156bは、端子部156aから被検出部155側に延び、端子部156aとともに、他の部材と対向する部分である。対向部156bの端部、具体的には被検出部155に対して遠い側の端部は、端子部156aに連なっている。対向部156bは、屈曲部156において、端子部156aから所定範囲の部分である。屈曲部156において、端子部156aを除く部分の少なくとも一部が、対向部156bとされている。
図46では、他の部材として、バスバー241を例示している。後述するように、バスバー241,251が、他の部材に相当する。図46では、パワーモジュール110の出力バスバー150と、バスバー241との接続構造を示している。後述するように、バスバー241は、パワーモジュール110とともに電力変換装置5を構成する要素である。バスバー241は、端子部241aと、延設部241bを有している。端子部241aが、バスバーの接続部に相当する。
端子部241aは、バスバー241において、出力バスバー150の端子部156aが接続される部分である。端子部156aと端子部241aとは、溶接などにより接続されている。端子部156a,241aは、好ましくは板面同士が対向するように配置された状態で、接続されている。出力バスバー150及びバスバー241は、端子部156a,241aの接続部分で、機械的且つ電気的に接続されている。本実施形態では、バスバー241の端部に、端子部241aが設けられている。端子部241aの延設長さは、端子部156aの延設長さと略等しくされている。
延設部241bは、端子部241aから延設された部分である。延設部241bの一端は、端子部241aに連なっている。延設部241bの一部は、端子部241aとともに、出力バスバー150の端子部156a及び対向部156bに対向配置されている。延設部241bにおいて、端子部241aから所定範囲の部分は、対向部156bに対向配置されている。
本実施形態では、延設部241bが、経路の途中で、略90度の角度を有して屈曲している。延設部241bは、屈曲部位241b1を有している。バスバー241において、屈曲部位241b1から端子部241a側の部分は、Z方向に延設されている。屈曲部位241b1から反対側の部分は、X方向であって、被検出部155から離れる方向に延設されている。
そして、出力バスバー150とバスバー241とで、対応する端子部156a,241aを含むZ方向の延設長さが、互いに略等しくされている。具体的には、屈曲部位241b1よりも端子部241a側の延設部241b及び端子部241aの延設長さが、対向部156b及び端子部156aの延設長さと、略等しくされている。出力バスバー150及びバスバー241において、屈曲によりZ方向に延設された部分は、全長のほぼ全域で互いに対向している。出力バスバー150及びバスバー241は、好ましくは、板面が向き合うように対向している。なお、バスバー251についても、バスバー241と同様の構成となっている。
図47は、図46に示したパワーモジュール110を備える電力変換装置5を模式的に示している。この電力変換装置5では、図46に示した出力バスバー150とバスバー241(及びバスバー251)の接続構造を採用している。
電力変換装置5は、パワーモジュール110に加え、筐体220と、入力端子台230と、出力端子台240と、リアクトルモジュール250と、コンデンサモジュール260を備えている。後述するバスバー251を除いて図示を省略するが、電力変換装置5は、さらに配線部材(たとえばバスバー)、冷却器、制御回路部9が形成された制御基板を備えている。配線部材は、電力変換装置5を構成する要素間を電気的に接続する。冷却器は、筐体220内の要素、たとえばパワーモジュール110、リアクトルモジュール250、コンデンサモジュール260を冷却する。
電力変換装置5は、第1実施形態(図1参照)で示したように、8つの上下アーム回路10を構成する。このため、電力変換装置5は、8つのパワーモジュール110を備えている。電力変換装置5は、コンバータ6を構成する2つのパワーモジュール110と、インバータ7,8を構成する6つのパワーモジュール110を備えている。複数のパワーモジュール110は、たとえばY方向に並んで配置されている。パワーモジュール110は、出力バスバー150がX方向の同じ側となるよう配置されている。
筐体220は、パワーモジュール110を構成する他の要素を収容する。筐体220は、複数の部材を組み付けることで構成される。代表的な例としては、ケースとカバーの組み合わせである。筐体220を構成する部材としては、金属部材のみ、樹脂部材のみ、金属部材と樹脂部材の組み合わせが可能である。筐体220は、平面略矩形状をなしている。
入力端子台230は、直流電源2と電力変換装置5とを電気的に接続するための部分である。図示を省略するが、入力端子台230は、正極端子及び負極端子とこれら端子を保持するハウジングを有している。正極端子には、VLライン12Lを構成する配線部材が接続されている。負極端子には、Nライン13を構成する配線部材が接続されている。入力端子台230は、筐体220の四隅のひとつの近傍に配置されている。筐体220の壁面には開口部220aが形成されており、入力端子台230は開口部220aを通じて直流電源2との電気的な接続が可能となっている。
出力端子台240は、モータジェネレータ3,4と電力変換装置5とを電気的に接続するための部分である。出力端子台240は、インバータ7,8を構成する複数のパワーモジュール110に接続される複数のバスバー241と、これらバスバー241を保持するハウジング242を有している。バスバー241は、出力端子と称されることがある。バスバー241は、出力配線15の少なくとも一部を構成している。出力端子台240は、筐体220のY方向の側壁のひとつに隣接して配置されている。この側壁には開口部220bが形成されており、出力端子台240は開口部220bを通じてモータジェネレータ3,4の三相巻線との電気的な接続が可能となっている。
バスバー241は、ハウジング242から、開口部220bを有する側壁とは反対側に突出している。バスバー241の突出部分は、図46に示したように、ZX平面において略L字状をなしている。バスバー241のそれぞれは、上記した接続態様で、対応するパワーモジュール110の出力バスバー150に接続されている。
リアクトルモジュール250は、コンバータ6のリアクトルR1,R2を構成している。リアクトルモジュール250は、Y方向において、コンデンサモジュール260と並んで配置されている。リアクトルモジュール250は、Y方向において、たとえば入力端子台230の隣りに配置されている。X方向において、リアクトルモジュール250及びコンデンサモジュール260と、出力端子台240との間に、パワーモジュール110が配置されている。
リアクトルモジュール250は、図示しない複数の端子を有している。リアクトルモジュール250は、端子のひとつを介して、VLライン12Lを構成する配線部材と電気的に接続されている。リアクトルモジュール250は、端子の他のひとつ及び昇圧配線14を構成するバスバー251を介して、コンバータ6を構成するパワーモジュール110の出力バスバー150と電気的に接続されている。バスバー251と出力バスバー150の接続態様は、バスバー241及び出力バスバー150と同様となっている。バスバー251は、端子部251a及び延設部251bを有している。端子部251aは、出力バスバー150の端子部156aに接続されている。延設部251bは、経路の途中に屈曲部位を有している。屈曲部位よりも端子部251a側の部分が、Z方向に延設されている。バスバー241,251が、電力変換装置5の導電部材に相当する。
コンデンサモジュール260は、平滑コンデンサC2及びフィルタコンデンサC3を構成している。コンデンサモジュール260は、たとえばフィルムコンデンサをケース内に収容してなる。X方向において、コンデンサモジュール260と入力端子台230との間に、リアクトルモジュール250が配置されている。Y方向において、コンデンサモジュール260と出力端子台240との間に、パワーモジュール110が配置されている。
コンデンサモジュール260は、図示しない複数の端子を有している。コンデンサモジュール260は、上記したVHライン12H、VLライン12L、Nライン13のそれぞれに対応する端子を有している。コンデンサモジュール260は、端子のひとつを介して、VHライン12Hを構成する配線部材と電気的に接続されている。コンデンサモジュール260は、端子の他のひとつを介して、VLライン12Lを構成する配線部材と電気的に接続されている。コンデンサモジュール260は、端子の他のひとつを介して、Nライン13を構成する配線部材と電気的に接続されている。
このように、本実施形態では、パワーモジュール110の出力バスバー150が、被検出部155に連なり、被検出部155とは異なる方向に延設された屈曲部156を有している。よって、屈曲部を有さない構成、すなわち、被検出部からX方向に延びる構成に較べて、パワーモジュール110、ひいては電力変換装置5の体格の増大を抑制することができる。
図48は、パワーモジュールの参考例を示す断面図である。図48において、本実施形態の要素と同一又は関連する要素について、本実施形態の符号の末尾にrを付け加えて示している。図48では、ある時点における電流の流れを破線矢印で示している。また、電流による磁界を一点鎖線で示している。磁界は電流を中心として同心円状に生じるが、図48では、分かりやすくするために同心円をずらして図示している。
図48に示すパワーモジュール110rも、出力バスバー150rが、被検出部155rと、屈曲部156rを有している。屈曲部156rの先端にバスバー241rが接続されている。バスバー241rは、Z方向であって被検出部155から離れる方向に延設されている。したがって、電流センサ200rの図示しない磁電変換素子には、被検出部155rに流れる電流による磁界だけでなく、屈曲部156rに流れる電流による磁界も作用する。このため、電流センサ200による電流の検出精度が低下する虞がある。
これに対し、本実施形態では、屈曲部156が、バスバー241が接続される端子部156aと、端子部156aから被検出部155側に延び、端子部156aとともにバスバー241と対向する対向部156bを有している。図49に示すように、端子部156aに端子部241aが接続された状態で、端子部156a及び対向部156bと、端子部241a及び延設部241bの一部とは、折り返し構造となっている。このため、互いに略逆向きの電流が流れる。
したがって、端子部156a及び対向部156bに流れる電流による磁界を、端子部241a及び延設部241bの一部に流れる電流による磁界によって相殺することができる。この結果、屈曲部156を有しつつ、屈曲部156に流れる電流による磁界が電流センサ200に作用するのを抑制することができる。よって、電流センサ200は、被検出部155に流れる電流を精度良く検出することができる。なお、バスバー241について説明したが、バスバー251についても同様である。図49では、図48同様、電流を破線矢印で示し、磁界を一点鎖線で示している。
以上により、本実施形態のパワーモジュール110及び電力変換装置5によれば、体格の増大を抑制しつつ、それにより生じ得る電流検出精度の低下を抑制することができる。
上記したように、対向部156bは、屈曲部156において、端子部156aを除く部分の少なくとも一部に設けられれば良い。たとえば図50に示す例のようにしてもよい。図50では、屈曲部156において、端子部156aを除く部分の一部のみが対向部156bとされている。出力バスバー150とバスバー241とで、対応する端子部156a,241aを含むZ方向の延設長さが異なっている。具体的には、対向部156b及び端子部156aの延設長さが、屈曲部位241b1よりも端子部241a側の延設部241b及び端子部241aの延設長さよりも長くされている。図50に示す構成によっても、出力バスバー150とバスバー241との対向部分において、磁界を相殺することができる。これにより、図48に示した構成に較べて、電流センサ200による電流の検出精度の低下を抑制することができる。
しかしながら、屈曲部156の一部が、バスバー241のZ方向延設部分と対向していない。このため、屈曲部156の非対向部を流れる電流による磁界が、電流センサ200に作用することが考えられる。よって、図46及び図49に示したように、出力バスバー150とバスバー241とで、対応する端子部156a,241aを含むZ方向の延設長さが、互いに略等しくされた構成が好ましい。具体的には、屈曲部位241b1よりも端子部241a側の延設部241b及び端子部241aの延設長さが、対向部156b及び端子部156aの延設長さと、略等しくされた構成とするとよい。これによれば、出力バスバー150及びバスバー241は、Z方向延設部分のほぼ全長において互いに対向している。非対向部が存在しないか、存在しても僅かである。したがって、検出対象以外の磁界が電流センサ200に作用するのを、より効果的に抑制することができる。これにより、電流検出精度をさらに向上することができる。
なお、図50では、バスバー241について示したが、バスバー251についても同様の構成を採用できる。また、図50では、Z方向延設部分において、出力バスバー150(屈曲部156)のほうがバスバー241よりも長い例を示したが、これに限定されない。屈曲部位241b1よりも端子部241a側の部分の延設長さが、屈曲部156の延設長さよりも長くされた構成としてもよい。
上記したパワーモジュール110が適用される例として電力変換装置5を示したが、これに限定されない。すなわち、出力バスバー150に接続される他の部材は、電力変換装置5を構成する要素に限定されない。他の部材は、パワーモジュール110を備える装置において、パワーモジュール110とは別の要素である。
たとえば図51に示す例では、パワーモジュール110が回転電機ユニット290に適用されている。回転電機ユニット290は、たとえば上記したモータジェネレータ3と、平滑コンデンサC2と、インバータを構成する3つのパワーモジュール110を備えている。回転電機ユニット290は、コンバータ6と、フィルタコンデンサC3を備えていない。平滑コンデンサC2とパワーモジュール110により電力変換装置が構成されており、この電力変換装置が、モータジェネレータ3と一体化されている。パワーモジュール110は、図46に示した構造をなしている。
モータジェネレータ3は、図示しない固定子及び回転子を収容するハウジング300と、カバー301を備えている。ハウジング300の外面には、凹部300aが形成されている。平滑コンデンサC2及びパワーモジュール110は、凹部300aに収容されている。そして、平滑コンデンサC2及びパワーモジュール110が収容された状態で、凹部300aは、カバー301により閉塞されている。符号300bは、ハウジング300において、モータジェネレータ3の回転軸の端部周りに設けられた筒部である。
本実施形態では、相ごとに平滑コンデンサC2が分けられている。また、相ごとに凹部300aが形成されている。ハウジング300の凹部300aのひとつには、平滑コンデンサC2と、U相の上下アーム回路10を構成するパワーモジュール110が収容されている。凹部300aの他のひとつには、平滑コンデンサC2と、V相の上下アーム回路10を構成するパワーモジュール110が収容されている。凹部300aの他のひとつには、平滑コンデンサC2と、W相の上下アーム回路10を構成するパワーモジュール110が収容されている。図51では、凹部300a内の構造を示すため、便宜上、真ん中に配置されたV相のパワーモジュール110に対応するカバー301を一点鎖線で示している。残りの二相については、カバー301を実線で示している。
モータジェネレータ3は、ハウジング内に収容された固定子の巻線と、パワーモジュール110の出力バスバー150とを電気的に接続する配線部材を備えている。この配線部材は、バスバー302を含んでいる。バスバー302は、ハウジング300に保持されており、一端が凹部300a内に突出している。そして、凹部300a内において、バスバー302は出力バスバー150に接続されている。パワーモジュール110の出力バスバー150とバスバー302との接続態様は、上記した出力バスバー150とバスバー241,251との接続態様と同等である。
バスバー302は、たとえば凹部300aの側面から、凹部300a内に突出している。バスバー302の突出部分は、略L字状をなしている。バスバー302は、バスバー241同様、端部に設けられた端子部302aと、端子部302aから延びる延設部302bを有している。端子部302aは、出力バスバー150の端子部156aに接続されている。延設部302bは、図示しない屈曲部位を有しており、屈曲部位よりも端子部302a側の部分が一方向に延設されており、端子部156a及び対向部156bと対向している。したがって、磁界の相殺により、体格の増大を抑制しつつ、電流検出精度の低下を抑制することができる。
また、図46同様、バスバー302における屈曲部位よりも端子部302a側の延設部302b及び端子部302aの延設長さと、対向部156b及び端子部156aの延設長さとを略等しくすることで、電流検出精度をさらに向上することができる。
(第5実施形態)
この実施形態は、先行する実施形態を基礎的形態とする変形例である。この実施形態では、駆動基板160の配置を、先行実施形態とは異ならせている。
図52~図54に示すパワーモジュール110も、半導体装置20と、冷却器120と、コンデンサC1と、Pバスバー130と、Nバスバー140と、出力バスバー150と、駆動基板160と、ケース187と、封止材188と、電流センサ200を備えている。この実施形態でも、コンデンサC1は、Pバスバー130、Nバスバー140、及び出力バスバー150とともに、コンデンサユニット190をなしている。図52では、便宜上、封止材188を省略して図示している。図53及び図54では、パワーモジュール110を構成する要素を簡素化して図示している。
ケース187は、図52に示すように筒の一部に設けられた開口部187iを有している。開口部187iは、図54に示すように、筒を内周面187gから外周面187hにわたって貫通している。平面略矩形環状をなすケース187において、長手側の壁面に開口部187iが設けられている。開口部187iは、Y方向における一方の壁面に設けられている。開口部187iは、開口部187aに連なっている。開口部187iは、切り欠き部、貫通部と称することもできる。先行実施形態同様、ケース187内には、半導体装置20の少なくとも一部、冷却器120の一部、コンデンサC1、各バスバー130,140,150それぞれの一部が配置されている。
半導体装置20は、先行実施形態同様、冷却器120の熱交換部123の間に配置されている。本実施形態でも、上アーム10Uを構成する半導体装置20Uと、下アーム10Lを構成する半導体装置20LがX方向に並んで配置されている。そして、2つの半導体装置20U,20Lが2つの熱交換部123によって挟まれている。主端子70(70C,70E)は、Y方向に延設されている。信号端子80は、Y方向であって主端子70C,70Eとは反対側に延設されている。信号端子80は、Y方向に沿って延び、開口部187iを通じてケース187の外まで延設されている。
熱交換部123のひとつには、閉塞プレート127が一体的に設けられている。先行実施形態同様、閉塞プレート127によって開口部187aを塞ぐように、冷却器120がケース187に組み付けられている。この実施形態でも、開口部187a側の端面187eに、内周側が低い段差が設けられている。端面187eの段差部分に閉塞プレート127の外周縁部が配置され、この配置状態で冷却器120がケース187に固定されている。
コンデンサユニット190は、ケース187内において、冷却器120上に配置されている。コンデンサユニット190は、閉塞プレート127が設けられていない側の熱交換部123に対して、半導体装置20とは反対側に配置されている。Pバスバー130及びNバスバー140の共通配線部132,142は、X方向の一端側において、貫通孔187cを通じてケース187外へ突出している。共通配線部132,142は、Z方向において熱交換部123とは反対側に延設されている。出力バスバー150は、Pバスバー130及びNバスバー140とは反対側の端部において、貫通孔187cを通じてケース187外へ突出している。出力バスバー150の突出部分も、Z方向において熱交換部123とは反対側に延設されている。
ケース187内において、コンデンサユニット190のPバスバー130は、半導体装置20Uの主端子70Cと電気的に接続されている。Nバスバー140は、半導体装置20Lの主端子70Eと電気的に接続されている。出力バスバー150は、半導体装置20Uの主端子70E及び半導体装置20Lの主端子70Cと電気的に接続されている。
電流センサ200の少なくとも一部は、ケース187の外(貫通孔187cの近傍)に配置されている。電流センサ200のセンサ本体部201は、出力バスバー150の近傍に配置されている。センサ本体部201は、出力バスバー150の突出部分を含むZ方向の延設部と、コンデンサC1との間に配置されている。センサ本体部201は、たとえばケース191に固定されてもよい。リード202は、信号端子80と同じ方向に延設されている。リード202は、たとえばケース187の外でY方向に延びている。リード202は、信号端子80と同じ方向に延設されている。
駆動基板160は、平面略矩形状をなすケース187に対して、長手側の壁面のひとつに配置されている。駆動基板160は、開口部187iを閉塞するように、外周面187hに配置された状態で、ケース187に固定されている。駆動基板160は、その板厚方向がY方向と略平行となるように配置されている。駆動基板160は、ねじ締結、接着等によって、ケース187に固定されている。
駆動基板160には、信号端子80およびリード202が電気的に接続されている。信号端子80は、たとえば駆動基板170に挿入実装されている。リード202は、駆動基板160の凸部161に挿入実装されている。
封止材188は、ケース187内に充填されて、半導体装置20及びコンデンサC1の少なくとも一部を封止している。この実施形態でも、封止材188は、半導体装置20が備えるすべての主端子70を一体的に覆うように、主端子70の周辺のみに配置されている。封止材188は、主端子70C,70Eの間に介在している。
このように、本実施形態では、駆動基板160が、半導体装置20と熱交換部123(冷却器120)との積層方向であるZ方向ではなく、積層方向に直交する一方向(Y方向)に配置されている。駆動基板160の板厚方向は、Y方向に略平行とされている。そして、半導体装置20の信号端子80は、駆動基板160に接続されている。信号端子80は、屈曲部を有することなく、Y方向に延びて駆動基板160に接続されている。
このような配置により、信号端子80の長さ、すなわち半導体チップ40(パッド43)と駆動基板160とを電気的に接続する配線長、を短くすることができる。よって、駆動信号が入力される配線のインダクタンスを低減することができる。これにより、スイッチング素子Q1,Q2のスイッチング速度を高速化し、損失を低減することができる。
なお、ケース187内に封止材188を配置する例を示したが、これに限定されない。封止材188を備えない構成としてもよい。封止材188を用いる場合にも、上記した配置に限定されない。
パワーモジュール110がケース187を備える例を示したが、これに限定されない。ケース187を備えない構成としてもよい。パワーモジュール110は、半導体装置20、冷却器120、コンデンサC1、Pバスバー130、Nバスバー140、出力バスバー150、および駆動基板160を少なくとも備えればよい。
(その他の実施形態)
この明細書の開示は、例示された実施形態に制限されない。開示は、例示された実施形態と、それらに基づく当業者による変形態様を包含する。たとえば、開示は、実施形態において示された要素の組み合わせに限定されない。開示は、多様な組み合わせによって実施可能である。開示される技術的範囲は、実施形態の記載に限定されない。開示されるいくつかの技術的範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味及び範囲内でのすべての変更を含むものと解されるべきである。
電力変換装置5において、パワーモジュール110の一部が、冷却器120とは別の、パワーモジュール110の外部に配置された外部冷却器の流路に挿入され、冷媒に浸漬される構成としてもよい。たとえば、Y方向において、パワーモジュール110の一部分のみを浸漬させてもよい。具体的には、側面184から半導体装置20及びコンデンサC1の配置部分までを浸漬させ、側面183は浸漬されない構成としてもよい。この場合、出力バスバー150については、側面183から突出するように保護部材180内で引き回せばよい。
電力変換装置5が、多相のコンバータ6、モータジェネレータ3,4用のインバータ7,8、平滑コンデンサC2、及びフィルタコンデンサC3を構成する例をしめしたが、これに限定されない。たとえばコンバータ6としては、多相に限定されず、単層でもよい。
Z方向において、コンデンサC1、冷却器120の熱交換部123、半導体装置20がZ方向に並んで配置される例を示したが、これに限定されない。コンデンサC1は、半導体装置20の近傍に配置されればよい。たとえば図45に示すように、半導体装置20U,20Lの並び方向であるX方向において、コンデンサC1が半導体装置20と並んで配置されてもよい。コンデンサC1は、Z方向における一面側に正極端子を有し、一面とは反対の面側に負極端子を有している。
Pバスバー130は、接続部131、共通配線部132、並列配線部133、及び接続部137を有している。共通配線部132は、接続部131を兼ねている。並列配線部133は、共通配線部132から、コンデンサC1の表面に沿ってZ方向に延設されている。そして、Z方向においてコンデンサC1の途中で屈曲し、X方向であってコンデンサC1から遠ざかる方向に延設されている。並列配線部133は、X方向延設部のY方向の一端から、Z方向であって主端子70C,70E側に延びる部分を有している。接続部137は、並列配線部133の先端に設けられている。
Nバスバー140は、Pバスバー130同様の構造となっている。Nバスバー140は、接続部141、共通配線部142、並列配線部143、及び接続部147を有している。共通配線部142は、接続部141を兼ねている。並列配線部143は、共通配線部142から、コンデンサC1の表面に沿ってZ方向に延設されている。そして、Z方向においてコンデンサC1の途中で屈曲し、X方向であってコンデンサC1から遠ざかる方向に延設されている。並列配線部143は、X方向延設部のY方向の一端から、Z方向であって主端子70C,70E側に延びる部分を有している。接続部147は、並列配線部143の先端に設けられている。並列配線部133,143において、X方向延設部が互いに対向配置されている。並列配線部133,143において、接続部137,147が連なるZ方向延設部が互いに対向している。
図45でも、パワーモジュール110を構成する要素として、半導体装置20(20U,20L)、Pバスバー130、Nバスバー140、及びコンデンサC1を示している。パワーモジュール110は、これら要素とともに、冷却器120、出力バスバー150、駆動基板160、及び保護部材180の少なくともひとつを備えてもよい。
10…上下アーム回路、10L…下アーム、10U…上アーム、11…並列回路、11N…共通配線(下電力配線)、11P…共通配線(上電力配線)、11Na…下配線、11Nb…第1配線部、11Nc…第2配線部、11Pa…上配線、11Pb…第1配線部、11Pc…第2配線部、12…Pライン(電力ライン)、12H…VHライン、12L…VLライン、13…Nライン(電力ライン)、20,20U,20L…半導体装置、70C、70E…主端子、80…信号端子、110…パワーモジュール、120…冷却器、121…供給管、122…排出管、123…熱交換部、123a…突起部、127…閉塞プレート、130…Pバスバー、131,137…接続部、132…共通配線部、133…並列配線部、133a…溶接部、138…繋ぎ部、140…Nバスバー、141,147…接続部、142…共通配線部、143…並列配線部、148…繋ぎ部、150…出力バスバー(出力配線)、154n、154p…対向部、155…被検出部、155a…貫通部、155b…一面、155c…裏面、156…屈曲部、156a…端子部、156b…対向部、160…駆動基板、161…凸部、170…外部接続端子、180…保護部材、187…ケース、187a,187b,187i…開口部、187c,187f…貫通孔、187d,187e…端面、187g…内周面、187h…外周面、188…封止材、190…コンデンサユニット、191…ケース、191a…凹部、200…電流センサ、201…センサ本体部、202…リード、220…筐体、220a,220b…開口部、230…入力端子台、240…出力端子台、241…バスバー、241a…端子部、241b…延設部、241b1…屈曲部位、242…ハウジング、250…リアクトルモジュール、251…バスバー、251a…端子部、251b…延設部、260…コンデンサモジュール、290…回転電機ユニット、300…ハウジング、300a…凹部、300b…筒部、302…バスバー、302a…端子部、302b…延設部、C1…コンデンサ、C2…平滑コンデンサ、Nn,Np…接続点

Claims (11)

  1. 複数の上下アーム回路(10)が並列して電力ライン(12、13)に接続されてなる電力変換装置(5)に適用されるパワーモジュールであって、
    前記上下アーム回路と、
    前記上下アーム回路に並列接続されたコンデンサ(C1)と、
    前記上下アーム回路を構成する上アーム(10U)及び前記コンデンサの正極端子を接続する上配線(11Pa)と、
    前記上下アーム回路を構成する下アーム(10L)及び前記コンデンサの負極端子を接続する下配線(11Na)と、
    前記電力ラインに接続される電力配線であって、前記電力ラインのうち高電位側のライン及び前記上配線を接続する上電力配線(11P)、及び、前記電力ラインのうち低電位側のライン及び前記下配線を接続する下電力配線(11N)と、
    前記上アームが有する主端子(70E)及び前記下アームが有する主端子(70C)を接続する出力配線(150)と、を備え、
    前記出力配線は、前記上配線及び前記下配線のそれぞれと対向する対向部(154p、154n)を有し、前記上配線と対向する対向部(154p)と前記下配線と対向する対向部(154n)とは、前記出力配線の異なる位置に設けられる、パワーモジュール。
  2. 前記上アームは、前記上配線に接続される主端子(70C)を複数有し、
    前記下アームは、前記下配線に接続される主端子(70E)を複数有する請求項に記載のパワーモジュール。
  3. 前記上電力配線及び前記下電力配線は互いに対向配置されている請求項1又は2に記載のパワーモジュール。
  4. 前記上下アーム回路は、半導体装置(20,20U,20L)を含んで構成されており、
    開口端(187a,187b)を有し、前記半導体装置及び前記コンデンサを収容する筒状のケース(187)と、
    前記半導体装置(20,20U,20L)を冷却する冷却器(120)と、
    前記半導体装置に駆動信号を出力する駆動基板(160)と、
    前記開口端のひとつが前記冷却器及び前記駆動基板の少なくとも一方によって閉塞された状態で前記ケース内に充填され、前記半導体装置及び前記コンデンサの少なくとも一部を封止する封止材(188)と、をさらに備える請求項1~3のいずれか1つに記載のパワーモジュール。
  5. 前記上下アーム回路は、半導体装置(20,20U,20L)を含んで構成されており、
    前記半導体装置(20,20U,20L)に積層され、前記半導体装置を冷却する冷却器(120)と、
    前記積層の方向に対して直交する一方向に配置され、前記半導体装置に駆動信号を出力する駆動基板(160)と、をさらに備え、
    前記半導体装置は、前記一方向に延設されて前記駆動基板に接続され、前記駆動信号が入力される信号端子(80)を有する請求項1~3のいずれか1つに記載のパワーモジュール。
  6. 前記上配線及び前記下配線は、対応する前記電力配線との接続点から前記上下アーム回路の対応するアームまでの第1配線部(11Pb,11Nb)と、前記接続点から前記コンデンサの対応する端子までの第2配線部(11Pc,11Nc)と、をそれぞれ有し、
    前記上配線及び前記下配線の少なくとも一方において、前記第1配線部の配線抵抗が、前記第2配線部の配線抵抗よりも小さくされている請求項1~5のいずれか1つに記載のパワーモジュール。
  7. 前記電力ラインと、
    請求項1~のいずれか1つに記載の前記パワーモジュールと、を備え、
    前記パワーモジュールが各相それぞれに設けられている電力変換装置。
  8. 前記各相のうち第1相に設けられた前記パワーモジュールを第1パワーモジュールとし、
    前記各相のうち第2相に設けられた前記パワーモジュールを第2パワーモジュールとし、
    前記第1パワーモジュールにおける、前記正極端子から前記上アームまでの電気経路のインピーダンスを相内上インピーダンスとし、
    前記第1パワーモジュールに係る前記正極端子から、前記第2パワーモジュールに係る前記上アームまでの電気経路のインピーダンスを相間上インピーダンスとし、
    前記相間上インピーダンスが前記相内上インピーダンスより大きい請求項7に記載の電力変換装置。
  9. 前記各相のうち第1相に設けられた前記パワーモジュールを第1パワーモジュールとし、
    前記各相のうち第2相に設けられた前記パワーモジュールを第2パワーモジュールとし、
    前記第1パワーモジュールにおける、前記負極端子から前記下アームまでの電気経路のインピーダンスを相内下インピーダンスとし、
    前記第1パワーモジュールに係る前記負極端子から、前記第2パワーモジュールに係る前記下アームまでの電気経路のインピーダンスを相間下インピーダンスとし、
    前記相間下インピーダンスは前記相内下インピーダンスより大きい請求項7または8に記載の電力変換装置。
  10. 前記上下アーム回路に並列に接続され、前記電力ラインの電圧を平滑化する平滑コンデンサ(C2)を備える請求項7~9のいずれか1つに記載の電力変換装置。
  11. 前記コンデンサの容量は、前記平滑コンデンサの容量より小さい請求項10に記載の電力変換装置。
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