JP7234594B2 - Vibration device and electronic equipment - Google Patents
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Description
本発明の一つの態様は、振動デバイス及び電子機器に関する。 One aspect of the present invention relates to vibration devices and electronic equipment.
圧電素子と、圧電素子が接合されている振動部材と、圧電素子と電気的に接続されている配線部材と、を備えている圧電デバイスが知られている(たとえば、特許文献1)。配線部材は、振動部材の端面に接続されている一端と、振動デバイスが搭載される電子機器に接続される他端と、を有している。配線部材の一端は、振動板に物理的に接続されていると共に、圧電素子と電気的に接続されている。配線部材の他端は、たとえば、コネクタに電気的かつ物理的に接続される。 A piezoelectric device is known that includes a piezoelectric element, a vibrating member to which the piezoelectric element is bonded, and a wiring member electrically connected to the piezoelectric element (for example, Patent Document 1). The wiring member has one end connected to the end face of the vibrating member and the other end connected to an electronic device on which the vibrating device is mounted. One end of the wiring member is physically connected to the diaphragm and electrically connected to the piezoelectric element. The other end of the wiring member is electrically and physically connected to a connector, for example.
特許文献1に記載された振動デバイスでは、以下のように、振動デバイスの信頼性が低下するおそれがある。配線部材の一端は、振動部材に物理的に接続されているので、振動部材から振動が伝わる。配線部材の他端は、外部機器に物理的に接続されるので、振動し難い。したがって、振動部材が振動すると、配線部材の一端と振動部材との接続箇所に機械的負荷が作用する。接続箇所に機械的負荷が作用した場合、配線部材と振動部材との接続強度が低下するおそれがある。配線部材と振動部材との接続強度が低下した場合、たとえば、配線部材と振動部材とが離れ、圧電素子と配線部材との電気的な接続が遮断されるおそれがある。
In the vibrating device described in
本発明の一つの態様は、電気的な信頼性が低下し難い振動デバイスを提供することを目的とする。 An object of one aspect of the present invention is to provide a vibrating device whose electrical reliability is less likely to deteriorate.
本発明の一つの態様に係る振動デバイスは、圧電素子を有する振動部と、圧電素子と電気的に接続されている配線部材と、を備え、圧電素子は、圧電素体と、圧電素体の内部に配置されている内部電極と、内部電極と電気的に接続されている外部電極と、を有し、圧電素体は、互いに対向している第一主面及び第二主面と、第一主面及び第二主面のそれぞれと隣り合い、第一主面及び第二主面の対向方向に延びている側面と、を有し、外部電極は、第一主面上に配置されており、配線部材は、外部電極上に位置し、かつ、外部電極と接合されている第一領域と、第一主面と接合されている第二領域と、第一領域と第二領域との間に位置し、第一主面から離間している第三領域と、を有している。 A vibrating device according to one aspect of the present invention includes a vibrating portion having a piezoelectric element, and a wiring member electrically connected to the piezoelectric element. The piezoelectric body has an internal electrode disposed inside and an external electrode electrically connected to the internal electrode, and the piezoelectric body includes a first main surface and a second main surface facing each other, and a second main surface. a side surface adjacent to each of the one main surface and the second main surface and extending in a direction opposite to the first main surface and the second main surface, and the external electrode is arranged on the first main surface. The wiring member has a first region located on the external electrode and joined to the external electrode, a second region joined to the first main surface, and a region between the first region and the second region. a third region located therebetween and spaced from the first major surface.
上記一つの態様では、配線部材は、外部電極と接合されている第一領域に加え、圧電素体の第一主面に接合されている第二領域を有している。したがって、振動デバイスが振動した場合でも、第一領域と外部電極との接合箇所に機械的負荷が作用し難い。このため、第一領域と外部電極との剥離が生じ難い。 In the one aspect described above, the wiring member has a second region bonded to the first main surface of the piezoelectric element in addition to the first region bonded to the external electrode. Therefore, even when the vibrating device vibrates, a mechanical load is less likely to act on the joint between the first region and the external electrode. Therefore, separation between the first region and the external electrode is less likely to occur.
更に、配線部材は、第一領域と第二領域との間に位置し、圧電素体の第一主面から離間している第三領域を有している。したがって、例えば、第一領域と外部電極とを導電性接合部材で接合し、第二領域と圧電素体の第一主面とを絶縁性接合部材で接合する場合でも、第三領域によって、絶縁性接合部材と導電性接合部材との間に隙間が確保される。これにより、絶縁性接合部材が導電性接合部材を押しのけて、第一領域と外部電極との間に侵入し、導通不良となることが抑制される。 Furthermore, the wiring member has a third region located between the first region and the second region and spaced from the first main surface of the piezoelectric body. Therefore, for example, even when the first region and the external electrode are joined with a conductive joining member and the second region and the first main surface of the piezoelectric element are joined with an insulating joining member, the third region provides insulation. A gap is secured between the conductive joining member and the conductive joining member. This prevents the insulating joining member from pushing the conductive joining member away and entering between the first region and the external electrode, resulting in poor conduction.
以上のことから、上記一つの態様では、外部電極と配線部材との電気的な接続が確保される。よって、振動デバイスの電気的な信頼性が低下し難い。 As described above, according to the one aspect, the electrical connection between the external electrodes and the wiring members is ensured. Therefore, the electrical reliability of the vibrating device is less likely to deteriorate.
上記一つの態様では、第一主面は、長方形状を呈しており、対向方向から見て、配線部材は、第一主面の長辺に沿って延在して、第一主面の短辺と交差し、第二領域は、第一主面の長辺方向の一方の端部に接合されていてもよい。この場合、第一主面は長方形状を呈しているので、圧電素体の変位量は第一主面の長辺方向の中央で最も大きくなり、第一主面の長辺方向の両端で最も小さくなる。したがって、第二領域の変位量は、第二領域が第一主面の短辺方向の端部に接合されている場合に比べて小さい。配線部材において、第二領域の第三領域と反対側に接続されている外部領域は、第二領域の変位に伴って変位しようとするものの、外部領域の振動は、圧電素子の振動と一致せず、圧電素子の振動を阻害するおそれがある。上記一つの態様では、第二領域の変位量が比較的小さいので、第二領域に接続された外部領域の変位が抑制される。このため、圧電素子の振動が阻害され難く、圧電素子の振幅を増大させることができる。 In the above aspect, the first main surface has a rectangular shape, and the wiring member extends along the long sides of the first main surface and extends along the short sides of the first main surface when viewed from the opposing direction. The second region may intersect with the side and be joined to one end in the long side direction of the first main surface. In this case, since the first main surface has a rectangular shape, the amount of displacement of the piezoelectric element is greatest at the center in the long side direction of the first main surface, and is highest at both ends in the long side direction of the first main surface. become smaller. Therefore, the amount of displacement of the second region is smaller than when the second region is joined to the ends in the short side direction of the first main surface. In the wiring member, the external region connected to the second region on the side opposite to the third region tends to be displaced with the displacement of the second region, but the vibration of the external region coincides with the vibration of the piezoelectric element. However, the vibration of the piezoelectric element may be disturbed. In the one aspect described above, since the amount of displacement of the second region is relatively small, the displacement of the external region connected to the second region is suppressed. Therefore, the vibration of the piezoelectric element is less likely to be disturbed, and the amplitude of the piezoelectric element can be increased.
上記一つの態様では、配線部材は、支持部により支持されている第四領域と、第二領域と第四領域との間に位置している第五領域と、を更に有し、長辺方向における第一領域と第二領域との間隔は、長辺方向における第二領域と第四領域との間隔よりも短くてもよい。この場合、第三領域が圧電素子の振動に追従して変形し易く、第五領域の遊びに配線部材の歪みを集中させることができる。したがって、圧電素子の振幅を増大させることができる。 In the aspect described above, the wiring member further has a fourth region supported by the supporting portion and a fifth region located between the second region and the fourth region, and The distance between the first region and the second region in may be shorter than the distance between the second region and the fourth region in the long side direction. In this case, the third area can easily deform following the vibration of the piezoelectric element, and the distortion of the wiring member can be concentrated on the play of the fifth area. Therefore, the amplitude of the piezoelectric element can be increased.
上記一つの態様では、第一主面の長辺方向における振動部の両端部を保持している保持部を更に備えてもよい。この場合、振動部の長辺方向の中央部における振幅を更に増大させることができる。 The one aspect may further include holding portions that hold both end portions of the vibrating portion in the long-side direction of the first main surface. In this case, it is possible to further increase the amplitude at the central portion in the long side direction of the vibrating portion.
上記一つの態様では、対向方向における第二領域と第一主面との間隔は、第二領域が第三領域から離間するにしたがって徐々に大きくなってもよい。この場合、第二領域と第一主面との間隔が、第三領域と第一主面との間隔と変わらず一定である場合と比べて、第二領域と第一主面との間に設けられる接合部材の体積を増やすことができる。これにより、配線部材において、第二領域の第三領域と反対側に接続されている外部領域の振動が吸収され易い。このため、圧電素子の振動が阻害され難く、圧電素子の振幅を更に増大させることができる。 In the one aspect described above, the distance between the second region and the first main surface in the opposing direction may gradually increase as the second region separates from the third region. In this case, compared to the case where the distance between the second region and the first main surface is the same as the distance between the third region and the first main surface, the distance between the second region and the first main surface The volume of the joint member provided can be increased. Thereby, in the wiring member, the vibration of the external region connected to the second region on the side opposite to the third region is easily absorbed. Therefore, the vibration of the piezoelectric element is less likely to be disturbed, and the amplitude of the piezoelectric element can be further increased.
上記一つの態様では、第二領域を第一主面に接合している接合部材を更に備え、接合部材は、側面上に設けられた側面部分を有してもよい。この場合、接合部材が第一主面だけでなく側面にも設けられているので、第二領域と圧電素体との接合強度が向上する。その結果、振動デバイスが振動した場合でも、第一領域と外部電極との接合箇所に機械的負荷が更に作用し難い。このため、第一領域と外部電極との剥離が更に生じ難い。 The one aspect described above may further include a joining member joining the second region to the first main surface, and the joining member may have a side portion provided on the side surface. In this case, since the bonding members are provided not only on the first main surface but also on the side surfaces, the bonding strength between the second region and the piezoelectric body is improved. As a result, even when the vibrating device vibrates, a mechanical load is less likely to act on the joint between the first region and the external electrode. Therefore, separation between the first region and the external electrode is more difficult to occur.
上記一つの態様では、対向方向における第一主面と第二領域との間隔の最大値は、対向方向における第一主面と第一領域との間隔の最大値よりも大きくてもよい。この場合、滑らかに配線部材が変形し易く、より効果的に圧電素子の振幅を増大させることができる。 In the one aspect described above, the maximum distance between the first main surface and the second region in the facing direction may be larger than the maximum distance between the first main surface and the first region in the facing direction. In this case, the wiring member is easily deformed smoothly, and the amplitude of the piezoelectric element can be increased more effectively.
上記一つの態様では、振動部は、圧電素子が接合された振動部材を更に有していてもよい。この場合、圧電素子の振動を増大させることができる。 In the one aspect described above, the vibrating section may further include a vibrating member to which the piezoelectric element is joined. In this case, vibration of the piezoelectric element can be increased.
上記一つの態様では、外部電極は、第一主面の中央部に配置されてもよい。この場合、圧電素子をバランスよく振動させることができる。 In one aspect described above, the external electrode may be arranged in the central portion of the first main surface. In this case, the piezoelectric element can be vibrated in a well-balanced manner.
本発明の一つの態様に係る電子機器は、上記振動デバイスを備える。 An electronic device according to one aspect of the present invention includes the vibration device described above.
上記一つの態様では、上記振動デバイスを備えるので、電気的な信頼性が低下し難い。 In the one aspect, since the vibrating device is provided, the electrical reliability is less likely to deteriorate.
本発明の一つの態様によれば、電気的な信頼性が低下し難い振動デバイスを提供する振動デバイス及び電子機器を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to one aspect of this invention, the vibration device and electronic equipment which provide the vibration device which electric reliability is hard to fall can be provided.
以下、添付図面を参照して、実施形態について詳細に説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用い、重複する説明を省略する。 Hereinafter, embodiments will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description, the same reference numerals are used for the same elements or elements having the same functions, and overlapping descriptions are omitted.
図1は、実施形態に係る振動デバイスの斜視図である。図2は、図1の振動デバイスの分解斜視図である。図3は、図1のIII-III線に沿っての断面図である。図4は、図3の一部を拡大して示す断面図である。図1~図4に示されるように、振動デバイス100は、振動部1と、振動部1に接続された接続構造体2と、振動部1が配置されるケース3と、を備えている。振動デバイス100は、例えば、スピーカー、又はブザーとして用いられる。振動デバイス100は、テレビ、スマートフォン等の電子機器に設けられる。
FIG. 1 is a perspective view of a vibration device according to an embodiment. 2 is an exploded perspective view of the vibration device of FIG. 1. FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view along line III--III in FIG. 4 is a cross-sectional view showing an enlarged part of FIG. 3. FIG. As shown in FIGS. 1 to 4, the vibrating
ケース3は、たとえば、アクリル系樹脂、塩化ビニル系樹脂、成型樹脂等の樹脂材料からなる。ケース3は、たとえば、上面が開放された直方体形状の箱部材である。ケース3は、矩形板状の底部3aと、互いに対向している一対の側部3bと、互いに対向している一対の側部3cと、を有している。
The
底部3aは、厚さ方向から見て、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。長方形状には、たとえば、各角が面取りされている形状、及び、各角が丸められている形状が含まれる。以下では、底部3aの長辺方向をX方向、底部3aの短辺方向をY方向、底部3aの厚さ方向をZ方向とする。
The
底部3aのX方向での長さは、たとえば、33mmである。底部3aのY方向での長さは、たとえば、18mmである。底部3aのZ方向での長さは、たとえば、1.5mmである。底部3aの上面の中央部には、Z方向から見て、長方形状の凹部3dが形成されている。凹部3dのX方向での長さは、たとえば、15mmである。凹部3dのY方向での長さは、たとえば、10mmである。凹部3dのZ方向での長さ(深さ)は、たとえば、1.0mmである。
The length of the
一対の側部3bは、矩形板状を呈し、底部3aの長辺部分からZ方向に沿って延在している。一対の側部3bの対向方向は、Y方向と一致している。一方の側部3bには、側部3bを厚さ方向(Y方向)に貫通する長方形状の貫通孔3eが形成されている。図3では、貫通孔3eの図示が省略されている。振動デバイス100で発生した音は、主に貫通孔3eを通じてケース3の外部に伝わる。一対の側部3cは、矩形板状を呈し、底部3aの短辺部分からZ方向に沿って延在している。一対の側部3cの対向方向は、X方向と一致している。側部3b,3cのZ方向での長さは同等であり、たとえば、7.6mmである。
The pair of
ケース3は、接続構造体2を支持している支持部3fを更に有している。支持部3fは、一方の側部3cにおける底部3aと反対側の端部から、ケース3の外側にX方向に沿って張り出している。
The
振動部1は、底部3aに配置されている。本実施形態では、振動部1は、底部3a上において、一対の側部3b及び一対の側部3cに囲まれている。振動部1は、ケース3に収容されている。振動部1は、圧電素子10と、圧電素子10に接合されている振動部材12と、を有している。
The vibrating
振動部材12は、たとえば、Ni-Fe合金、Ni、黄銅、又はステンレス鋼等金属からなる。本実施形態では、振動部材12は、板状部材である。振動部材12は、Z方向において互いに対向している一対の主面12a,12bを有している。振動部材12は、Z方向から見て、振動部材12の外縁が凹部3dの外縁の外側に位置するように配置されている。振動部材12は、凹部3dを完全に覆っている。
The vibrating
主面12bは、底部3aとZ方向で対向している。主面12bは、たとえば、エポキシ樹脂又はアクリル系樹脂からなる接着層60によって底部3aに接合(接着)されている。接着層60は、導電性のフィラーを含んでおらず、電気絶縁性を有している。主面12bは、底部3aのうち、凹部3dの周縁部に接合され、凹部3dの周縁部によって支持されている。
The
換言すると、底部3aは、主面12aの長辺方向(X方向)における振動部1の両端部1aと、主面12aの短辺方向(Y方向)における振動部1の両端部1bと、を保持している保持部として機能している。本実施形態では、端部1aは振動部材12の長辺方向(X方向)の端部であり、端部1bは振動部材12の短辺方向(Y方向)の端部である。底部3aは、両端部1bを保持していなくてもよい。
In other words, the
各主面12a,12bは、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。すなわち、振動部材12は、平面視で(Z方向から見て)、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。本実施形態では、各主面12a,12bの長辺方向は、X方向と一致している。各主面12a,12bの短辺方向は、Y方向と一致している。
Each
振動部材12のX方向での長さは、たとえば、30mmである。振動部材12のY方向での長さは、たとえば、15mmである。振動部材12のZ方向での長さは、たとえば、100μmである。
The length of the vibrating
圧電素子10は、圧電素体11と、複数の外部電極13,15と、を有している。本実施形態では、圧電素子10は、二つの外部電極13,15を有している。外部電極13及び外部電極15は、互いに極性が異なっている。
The
圧電素体11は、直方体形状を呈している。直方体形状には、たとえば、角部及び稜線部が面取りされている直方体の形状、及び、角部及び稜線部が丸められている直方体の形状が含まれる。圧電素体11は、一対の主面11a,11b(第一主面、第二主面)と、側面11eと、を有している。一対の主面11a,11bは、Z方向において互いに対向している。すなわち、一対の主面11a,11bの対向方向は、Z方向である。一対の主面11a,11bの対向方向は、一対の主面11a,11bのそれぞれに直交する直交方向でもある。
The
側面11eは、一対の主面11a,11bのそれぞれと隣り合っている。一対の主面11a,11bの対向方向に延びている。本実施形態では、圧電素体11は、四つの側面11eを有している。各側面11eは、主面11aと主面11bとを互いに接続している。主面11bは、主面12aとZ方向で対向している。主面11bは、接着層61によって主面12aの中央部に接合(接着)されている。
The
各主面11a,11bは、長方形状を呈している。各主面11a,11bは、一対の長辺11cと一対の短辺11dとを有する長方形状を呈している。すなわち、圧電素子10(圧電素体11)は、平面視で(Z方向から見て)、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。本実施形態では、各主面11a,11bの長辺方向は、X方向と一致している。各主面11a,11bの短辺方向は、Y方向と一致している。
Each
圧電素体11のX方向での長さは、たとえば、20mmである。圧電素体11のY方向での長さは、たとえば、10mmである。圧電素体11のZ方向での長さは、たとえば、200μmである。
The length of the
図5は、圧電素子の構成を示す分解斜視図である。図4及び図5に示されるように、圧電素体11は、複数の圧電体層17a,17b,17c,17dが積層されて構成されている。すなわち、圧電素体11は、積層されている複数の圧電体層17a,17b,17c,17dを有している。本実施形態では、圧電素体11は、四つの圧電体層17a,17b,17c,17dを有している。圧電素体11では、複数の圧電体層17a,17b,17c,17dが積層されている方向がZ方向と一致している。圧電体層17aは、主面11aを有している。圧電体層17dは、主面11bを有している。圧電体層17b,17cは、圧電体層17aと圧電体層17dとの間に位置している。
FIG. 5 is an exploded perspective view showing the configuration of the piezoelectric element. As shown in FIGS. 4 and 5, the
各圧電体層17a,17b,17c,17dは、圧電材料からなる。本実施形態では、各圧電体層17a,17b,17c,17dは、圧電セラミック材料からなる。圧電セラミック材料には、たとえば、PZT[Pb(Zr、Ti)O3]、PT(PbTiO3)、PLZT[(Pb,La)(Zr、Ti)O3]、又はチタン酸バリウム(BaTiO3)が用いられる。各圧電体層17a,17b,17c,17dは、たとえば、上述した圧電セラミック材料を含むセラミックグリーンシートの焼結体から構成される。実際の圧電素体11では、各圧電体層17a,17b,17c,17dは、各圧電体層17a,17b,17c,17dの間の境界が認識できない程度に一体化されている。
Each
圧電素子10は、圧電素体11内に配置されている複数の内部電極19,21,23を備えている。本実施形態では、圧電素子10は、三つの内部電極19,21,23を備えている。各内部電極19,21,23は、導電性材料からなる。導電性材料には、たとえば、Ag、Pd、又はAg-Pd合金が用いられる。各内部電極19,21,23は、たとえば、上記導電性材料を含む導電性ペーストの焼結体として構成されている。本実施形態では、各内部電極19,21,23の外形形状は、長方形状である。
The
各内部電極19,21,23は、Z方向において異なる位置(層)に配置されている。内部電極19と内部電極21とは、Z方向に間隔を有して対向している。内部電極21と内部電極23とは、Z方向に間隔を有して対向している。内部電極19は、圧電体層17aと圧電体層17bとの間に位置している。内部電極21は、圧電体層17bと圧電体層17cとの間に位置している。内部電極23は、圧電体層17cと圧電体層17dとの間に位置している。各内部電極19,21,23は、圧電素体11の表面には露出していない。すなわち、各内部電極19,21,23は、各側面11eには露出していない。各内部電極19,21,23は、Z方向から見て、主面11a,11bの全ての縁(四辺)から離間している。
The
複数の外部電極13,15は、主面11a上に配置されている。外部電極13と外部電極15とは、X方向に並んでいる。外部電極13と外部電極15とは、X方向で隣り合っている。複数の外部電極13,15は、主面11aの中央部に配置されている。複数の外部電極13,15は、Z方向から見て、主面11aの全ての縁(四辺)から離間している。各外部電極13,15は、Z方向から見て、長方形状を呈している。各外部電極13,15は、導電性材料からなる。導電性材料には、たとえば、Ag、Pd、又はAg-Pd合金が用いられる。各外部電極13,15は、たとえば、上記導電性材料を含む導電性ペーストの焼結体として構成されている。
A plurality of
外部電極13は、ビア導体31を通して接続導体25と電気的に接続されている。接続導体25は、内部電極19と同じ層に位置している。接続導体25は、内部電極19の内側に位置している。内部電極19には、Z方向から見て、外部電極13に対応する位置に、開口が形成されている。接続導体25は、内部電極19に形成されている開口内に位置している。Z方向から見て、接続導体25の全縁が、内部電極19で囲まれている。
The
接続導体25は、圧電体層17aと圧電体層17bとの間に位置している。内部電極19と接続導体25とは、離間している。接続導体25は、Z方向で、外部電極13と対向している。ビア導体31は、外部電極13と接続されていると共に、接続導体25と接続されている。接続導体25は、ビア導体33を通して内部電極21と電気的に接続されている。接続導体25は、Z方向で、内部電極21と対向している。ビア導体33は、接続導体25と接続されていると共に、内部電極21と接続されている。
The
内部電極21は、ビア導体35を通して接続導体27と電気的に接続されている。接続導体27は、内部電極23と同じ層に位置している。接続導体27は、内部電極23の内側に位置している。内部電極23には、Z方向から見て、外部電極13(接続導体25)に対応する位置に、開口が形成されている。接続導体27は、内部電極23に形成されている開口内に位置している。Z方向から見て、接続導体27の全縁が、内部電極23で囲まれている。
外部電極15は、ビア導体37を通して内部電極19と電気的に接続されている。内部電極19は、Z方向で、外部電極15と対向している。ビア導体37は、外部電極15と接続されていると共に、内部電極19と接続されている。
The
内部電極19は、ビア導体39を通して接続導体29と電気的に接続されている。接続導体29は、内部電極21と同じ層に位置している。接続導体29は、内部電極21の内側に位置している。内部電極21には、Z方向から見て、外部電極15に対応する位置に、開口が形成されている。接続導体29は、内部電極21に形成されている開口内に位置している。Z方向から見て、接続導体29の全縁が、内部電極21で囲まれている。
The
接続導体29は、圧電体層17bと圧電体層17cとの間に位置している。内部電極21と接続導体29とは、離間している。接続導体29は、Z方向で、内部電極19と対向している。ビア導体39は、内部電極19と接続されていると共に、接続導体29と接続されている。接続導体29は、ビア導体41を通して内部電極23と電気的に接続されている。接続導体29は、Z方向で、内部電極23と対向している。ビア導体41は、接続導体29と接続されていると共に、内部電極23と接続されている。
The
外部電極13は、ビア導体31、接続導体25、及び、ビア導体33を通して、内部電極21と電気的に接続されている。外部電極15は、ビア導体37を通して、内部電極19と電気的に接続されている。外部電極15は、ビア導体37、内部電極19、ビア導体39、接続導体29、及び、ビア導体41を通して、内部電極23と電気的に接続されている。
The
接続導体25,27,29及びビア導体31,33,35,37,39,41は、導電性材料からなる。ビア導体31,33,35,37,39,41のそれぞれは、複数のビア導体からなるビア導体群であるが、単体のビア導体であってもよい。Z方向で互いに隣り合う圧電体層17a,17bに配置されたビア導体31,33は、Z方向から見て互いに離間し、重ならないように配置されている。圧電体層17a,17bに配置されたビア導体37,39は、Z方向から見て互いに離間し、重ならないように配置されている。Z方向で互いに隣り合う圧電体層17b,17cに配置されたビア導体33,35は、Z方向から見て互いに離間し、重ならないように配置されている。圧電体層17b,17cに配置されたビア導体39,41は、Z方向から見て互いに離間し、重ならないように配置されている。
The
導電性材料には、たとえば、Ag、Pd、又はAg-Pd合金が用いられる。接続導体25,27,29及びビア導体31,33,35,37,39,41は、たとえば、上記導電性材料を含む導電性ペーストの焼結体として構成されている。接続導体25,27,29は、長方形状を呈している。ビア導体31,33,35,37,39,41は、対応する圧電体層17a,17b,17cを形成するためのセラミックグリーンシートに形成された貫通孔に充填された導電性ペーストが焼結することにより形成される。
Ag, Pd, or Ag--Pd alloy is used for the conductive material, for example. The
圧電素体11の主面11bには、内部電極19,23と電気的に接続されている導体と、内部電極21と電気的に接続されている導体とは配置されていない。本実施形態では、主面11bをZ方向から見たとき、主面11bの全体が露出している。主面11a,11bは、自然面である。自然面とは、焼成により成長した結晶粒の表面により構成される面である。
A conductor electrically connected to the
圧電素体11の各側面11eにも、内部電極19,23と電気的に接続されている導体と、内部電極21と電気的に接続されている導体とは配置されていない。本実施形態では、圧電素体11の各側面11eをX方向及びY方向から見たとき、後述する絶縁性の接合部材71の側面部分71aに覆われた部分を除き、各側面11eの全体が露出している。本実施形態では、これらの各側面11eも、自然面である。
Neither the conductors electrically connected to the
圧電体層17bにおける内部電極19と内部電極21とで挟まれた領域と、圧電体層17cにおける内部電極21と内部電極23とで挟まれた領域とは、圧電的に活性な領域を構成する。本実施形態では、圧電的に活性な領域は、Z方向から見て、複数の外部電極13,15を囲むように位置している。Z方向から見て、圧電素体11は、外部電極13と外部電極15との間に位置している領域に、圧電的に活性な領域を含んでいる。Z方向から見て、圧電素体11は、外部電極13と外部電極15とが位置している領域の外側にも、圧電的に活性な領域を含んでいる。
A region sandwiched between the
図1~図4に示されるように、接続構造体2は、振動部1に接続された帯状の配線部材50と、配線部材50に接続された複数のリード線80と、を有している。本実施形態では、接続構造体2は、二つのリード線80を有している。
As shown in FIGS. 1 to 4, the
図6は、接続構造体及び圧電素子の上面図である。図1~図6に示されるように、配線部材50は、主面11a,11bの対向方向(Z方向)から見て、主面11aの長辺11cに沿って延在して、主面11aの短辺11dと交差している。本実施形態では、配線部材50は、主面11aの短辺11dと直交するように配置されている。配線部材50が延在している方向は、Y方向と直交している。配線部材50は、X方向に延在している。配線部材50は、圧電素子10と電気的かつ物理的に接続されている一端部と、リード線80と電気的かつ物理的に接続される他端部とを有している。
FIG. 6 is a top view of the connection structure and the piezoelectric element. As shown in FIGS. 1 to 6, the
振動デバイス100は、接合部材70と、接合部材71と、接合部材72とを備えている。配線部材50は、接合部材70及び接合部材71によって振動部1に接合(接着)されている。配線部材50は、接合部材72によってケース3に接合(接着)されている。接合部材70と、接合部材71と、接合部材72とは、互いに離間して配置されている。
The
接合部材70は、複数の導電性粒子(不図示)を含む樹脂層であり、導電性を有している。導電性粒子は、例えば、金属粒子、金めっき粒子である。接合部材70は、例えば熱硬化性エラストマーを含んでいる。接合部材70は、例えば、異方性導電ペースト又は異方性導電性膜が硬化することにより形成される。接合部材71は、導電性粒子を含んでおらず、電気絶縁性を有している。接合部材71は、たとえば、ニトリルゴムを含んでいる。接合部材71は、接合部材70に含まれる樹脂材料と同じ樹脂材料を含んでいてもよい。接合部材72は、導電性粒子を含んでおらず、電気絶縁性を有している。接合部材72は、たとえば、エポキシ樹脂又はアクリル系樹脂からなっている。
The joining
配線部材50は、第一領域R1、第二領域R2、第三領域R3、第四領域R4、及び第五領域R5を有している。
The
第一領域R1は、Z方向において主面11aと対向している。第一領域R1は、複数の外部電極13,15上に位置している。第一領域R1は、複数の外部電極13,15を一体的に覆っている。複数の外部電極13,15は、Z方向から見て、第一領域R1から露出していない。第一領域R1は、接合部材70によって複数の外部電極13,15及び主面11aと接合されている。接合部材70は、Z方向から見て複数の外部電極13,15を一体的に覆うように、第一領域R1と圧電素子10との間に設けられている。第一領域R1は、圧電素子10に支持されている。
The first region R1 faces the
本実施形態では、Z方向から見て、第一領域R1は長方形状を呈している。第一領域R1の長辺方向は、X方向であり、主面11aの長辺方向と一致している。Z方向から見て、第一領域R1の短辺方向は、Y方向であり、主面11aの短辺方向と一致している。第一領域R1のY方向の長さは、配線部材50のY方向の長さよりも短い。
In this embodiment, the first region R1 has a rectangular shape when viewed from the Z direction. The long side direction of the first region R1 is the X direction and coincides with the long side direction of the
第二領域R2は、Z方向において主面11aと対向している。第二領域R2は、X方向において第一領域R1から離間している。第二領域R2は、接合部材71によって主面11aと接合されている。接合部材71は、配線部材50の幅方向(Y方向)の全体を主面11aに接合している。第二領域R2は、主面11aの長辺方向の一方の端部11fに接合されている。第二領域R2は、圧電素子10に支持されている。
The second region R2 faces the
第二領域R2のY方向の長さは、配線部材50の幅(配線部材50のY方向の長さ)と同等である。接合部材71は、主面11aの一方の短辺11dに沿って設けられている。接合部材71は、主面11a(具体的には端部11f)上に設けられた主面部分と、側面11e上に設けられた側面部分71aを有している。側面部分71aは、側面11eの主面11a側の端部に設けられている。
The length of the second region R2 in the Y direction is equivalent to the width of the wiring member 50 (the length of the
Z方向における第二領域R2と主面11aとの間隔は、第二領域R2が第三領域R3から離間するにしたがって徐々に大きくなる。Z方向における主面11aと第二領域R2との間隔の最大値は、Z方向における主面11aと第一領域R1との間隔の最大値よりも大きい。
The distance between the second region R2 and the
第三領域R3は、第一領域R1と第二領域R2との間に位置し、第一領域R1と第二領域R2とを互いに接続している。第三領域R3は、第一領域R1及び第二領域R2のそれぞれと隣り合っている。第三領域R3は、主面11aから離間している。第三領域R3は、圧電素子10に接合されていない。第三領域R3のY方向の長さは、第一領域R1のY方向の長さと一致している。
The third region R3 is located between the first region R1 and the second region R2 and connects the first region R1 and the second region R2 to each other. The third region R3 is adjacent to each of the first region R1 and the second region R2. The third region R3 is separated from the
第一領域R1、第二領域R2、及び第三領域R3は、Z方向から見て、主面11aと重なっている。配線部材50のうち、Z方向から見て、主面11aと重なっている領域は、第一領域R1、第二領域R2、及び第三領域R3を含んでいる。
The first region R1, the second region R2, and the third region R3 overlap the
第四領域R4は、支持部3fにより支持されている。第四領域R4は、Z方向から見て、支持部3fと重なっている。第四領域R4は、接合部材72によって支持部3fに接合(接着)されている。第四領域R4は、支持部3fに固定されている。接合部材72は、第四領域R4のカバー57の表面に設けられている。
The fourth region R4 is supported by the
第五領域R5は、第二領域R2と第四領域R4との間に位置し、第二領域R2と第四領域R4とを互いに接続している。第五領域R5は、第二領域R2及び第四領域R4のそれぞれと隣り合っている。第五領域R5は、Z方向から見て、支持部3f及び主面11aと重なっていない。第五領域R5は、湾曲している。
The fifth region R5 is located between the second region R2 and the fourth region R4 and connects the second region R2 and the fourth region R4 to each other. The fifth region R5 is adjacent to each of the second region R2 and the fourth region R4. The fifth region R5 does not overlap the supporting
X方向における第一領域R1と第二領域R2との間隔L1は、X方向における第二領域R2と第四領域R4との間隔L2よりも短い。間隔L1は、X方向における第三領域R3の長さと同等である。間隔L2は、X方向における第五領域R5の長さと同等である。 The distance L1 between the first region R1 and the second region R2 in the X direction is shorter than the distance L2 between the second region R2 and the fourth region R4 in the X direction. The interval L1 is equivalent to the length of the third region R3 in the X direction. The interval L2 is equivalent to the length of the fifth region R5 in the X direction.
図6は、接続構造体及び圧電素子の上面図である。図7は、接続構造体の下面図である。図1~図7に示されるように、配線部材50は、ベース51、複数の導体層53,55、カバー57、及び補強部材59を有している。本実施形態では、配線部材50は、二つの導体層53,55を備えている。配線部材50は、たとえば、フレキシブルプリント基板(FPC)又はフレキシブルフラットケーブル(FFC)である。
FIG. 6 is a top view of the connection structure and the piezoelectric element. FIG. 7 is a bottom view of the connecting structure. As shown in FIGS. 1 to 7, the
ベース51は、帯状を呈し、互いに対向している一対の主面51a,51bを有している。ベース51は、電気絶縁性を有している。ベース51は、たとえば、ポリイミド樹脂等の樹脂からなる樹脂層である。ベース51の厚さは、たとえば100μmである。
The
各導体層53,55は、ベース51の主面51a上に配置されている。各導体層53,55は、接着層(不図示)によって、主面51aに接合(接着)されている。各導体層53,55は、たとえば、Cuからなる。各導体層53,55は、たとえば、Cu層上にNiメッキ層及びAuメッキ層がこの順に設けられた構成であってもよい。導体層53と導体層55とは、互いに離間して配置されている。各導体層53,55の厚さは、たとえば20μmである。
Each
導体層53は、リード線80に接続された端部53aと、外部電極13に接続された端部53bと、端部53aと端部53bとを接続している接続部53cと、を含んでいる。接続部53cは、配線部材50が延在している方向(X方向)に延在している。端部53aは、接続部53cの一端部と、配線部材50が延在している方向において隣り合っている。端部53bは、接続部53cの他端部と、配線部材50の幅方向(Y方向)において隣り合っている。
The
導体層55は、リード線80に接続された端部55aと、外部電極15に接続された端部55bと、端部55aと端部55bとを接続している接続部55cと、を含んでいる。接続部55cは、配線部材50が延在している方向(X方向)に延在している。端部55aは、接続部55cの一端部と、配線部材50が延在している方向において隣り合っている。端部55bは、接続部55cの他端部と、配線部材50の幅方向(Y方向)において隣り合っている。
The
端部53aと端部55aとは、配線部材50の幅方向において互いに離間して配置されている。端部53bと端部55bとは、配線部材50の延在している方向において互いに離間して配置されている。接続部53cと接続部55cとは、互いに平行、かつ、配線部材50の幅方向において互いに離間して配置されている。
The
端部53aと外部電極13との間には、接合部材70が存在している。端部53aと外部電極13とは、接合部材70に含まれる導電性粒子を通じて電気的に接続されている。端部55aと外部電極15との間には、接合部材70が存在している。端部55aと外部電極15とは、接合部材70に含まれる導電性粒子を通じて電気的に接続されている。
A
カバー57は、特に図7に示されるように、主面51a上に配置されている。カバー57は、各導体層53,55と、主面51aとを覆っている。カバー57は、各導体層53,55と、主面51aのうち、各導体層53,55から露出している領域とに接着層(不図示)によって接合(接着)されている。カバー57は、たとえば、ポリイミド樹脂等の樹脂からなる樹脂層である。カバー57の厚さは、たとえば25μmである。
The
導体層53の端部53a,53bと、導体層55の端部55a,55bと、主面51aの一部領域は、カバー57から露出している。主面51aの一部領域は、Z方向から見て、端部53aと端部55aとの間に配置された領域、及び、端部53bと端部55bとの間に配置された領域である。各端部53a,53b,55a,55bには、たとえば、ニッケルめっき及び金フラッシュめっきが施されている。
補強部材59は、配線部材50の他端部に配置されている。補強部材59は、ベース51の主面51b上に配置されている。補強部材59は、接着層(不図示)によって、主面51bに接合(接着)されている。補強部材59は、電気絶縁性を有する矩形板状の部材である。補強部材59は、たとえば、ポリイミド樹脂からなる。
The reinforcing
リード線80は、複数の心線の束81と、束81を被覆する被覆部材82と、を有している。本実施形態では、リード線80は、12本の心線を有している。被覆部材82は、束81の外周を覆っている。被覆部材82は、複数の心線の全体をまとめて覆っている。束81の端部は、被覆部材82から露出し、各導体層53,55の端部53a,55aに接続されている。束81の端部は、導電性接着剤により各端部53a,55aに接続されている。導電性接着剤は、たとえば、はんだなどの熱溶融性金属である。導電性接着剤は、導電性材料としてAu、Cu等を含む導電性ペーストを用いて形成されていてもよい。
The
振動デバイス100を備える電子機器では、圧電素子10を振動させることによって音を発生させる。圧電素子10の振動により、音だけでなく、触感を生じさせてもよい。
An electronic device having the vibrating
以上説明したように、配線部材50は、外部電極13,15と接合されている第一領域R1に加え、圧電素体11の主面11aに接合されている第二領域R2を有している。したがって、振動デバイス100が振動した場合でも、第一領域R1と外部電極13,15との接合箇所に機械的負荷が作用し難い。このため、第一領域R1と外部電極13,15との剥離が生じ難い。
As described above, the
更に、配線部材50は、第一領域R1と第二領域R2との間に位置し、圧電素体11の主面11aから離間している第三領域R3を有している。したがって、第一領域R1と外部電極13,15とを導電性の接合部材70で接合し、第二領域R2と圧電素体11の主面11aとを絶縁性の接合部材71で接合する場合でも、第三領域R3によって、接合部材70と接合部材71との間に隙間が確保される。すなわち、接合部材70と接合部材71とを互いに離間させた状態に保つことができる。これにより、接合部材71が接合部材70を押しのけて、第一領域R1と外部電極13,15との間に侵入し、配線部材50と外部電極13,15とが導通不良となることが抑制される。
Further, the
以上のことから、振動デバイス100では、外部電極13,15と配線部材50との電気的な接続が確保される。よって、振動デバイス100の電気的な信頼性が低下し難い。
As described above, in the vibrating
主面11aは、長方形状を呈している。このため、圧電素体11の変位量は主面11aの長辺方向(X方向)の中央で最も大きくなり、主面11aの長辺方向の両端、すなわち短辺11dで最も小さくなる。Z方向から見て、配線部材50は、主面11aの長辺11cに沿って延在して、主面11aの短辺11dと交差している。第二領域R2は、主面11aの長辺方向の一方の端部11fに接合されている。したがって、第二領域R2の変位量は、第二領域R2が主面11aの短辺方向(Y方向)の端部、すなわち長辺11cに接合されている場合に比べて小さい。
The
第二領域R2は、圧電素子10により支持されているので、圧電素子10の変位に伴って変位する。配線部材50において、第五領域R5は、第二領域R2に接続されているので、第二領域R2の変位に伴って変位しようとする。しかしながら、第五領域R5は、第四領域R4にも接続されている。第四領域R4は、支持部3fによって支持されているので、変位しない。したがって、第五領域R5の振動は、圧電素子10の振動と一致せず、圧電素子10の振動を阻害するおそれがある。振動デバイス100では、第二領域R2の変位量が比較的小さいので、第二領域R2に接続された第五領域R5の変位が抑制される。このため、圧電素子10の振動が阻害され難く、圧電素子10の振幅を増大させることができる。
Since the second region R2 is supported by the
X方向における第一領域R1と第二領域R2との間隔L1は、X方向における第二領域R2と第四領域R4との間隔L2よりも短い。この場合、第三領域R3が圧電素子10の振動に追従して変形し易く、第五領域R5の遊びに配線部材50の歪みを集中させることができる。このように、第五領域R5が効果的に機能し易いので、圧電素子10の振幅を増大させることができる。
The distance L1 between the first region R1 and the second region R2 in the X direction is shorter than the distance L2 between the second region R2 and the fourth region R4 in the X direction. In this case, the third region R3 is easily deformed following the vibration of the
ケース3の底部3aは、X方向における振動部1の両端部1aを保持している。このため、振動部1のX方向の中央部における振幅を更に増大させることができる。
A
Z方向における第二領域R2と主面11aとの間隔は、第二領域R2が第三領域R3から離間するにしたがって徐々に大きくなる。このため、第二領域R2と主面11aとの間隔が、第三領域R3と主面11aとの間隔と変わらず一定である場合と比べて、第二領域R2と主面11aとの間に設けられる接合部材71の体積を増やすことができる。これにより、配線部材50において、第五領域R5の振動が吸収され易い。したがって、圧電素子10の振動が阻害され難く、圧電素子10の振幅を更に増大させることができる。例えば、第三領域R3に段差部を設け、第二領域R2と主面11aとの間隔を大きくすることも考えられるが、この場合、段差部に機械的負荷が集中し易い。これに対し、振動デバイス100では、第二領域R2が主面11aから徐々に離間しているので、配線部材50に段差部を設ける必要がない。
The distance between the second region R2 and the
接合部材71は、側面11e上に設けられた側面部分71aを有している。接合部材71が主面11aだけでなく側面11eにも設けられているので、第二領域R2と圧電素体11との接合強度が向上する。その結果、振動デバイス100が振動した場合でも、第一領域R1と外部電極13,15との接合箇所に機械的負荷が更に作用し難い。このため、第一領域R1と外部電極13,15との剥離が更に生じ難い。また、接合部材71は絶縁性であるため、短絡の発生が抑制される。
The joining
Z方向における主面11aと第二領域R2との間隔の最大値は、X方向における主面11aと第一領域R1との間隔の最大値よりも大きい。このため、滑らかに配線部材50が変形し易く、より効果的に圧電素子10の振幅を増大させることができる。
The maximum distance between the
振動部1は、圧電素子10が接合された振動部材12を有している。したがって、圧電素子10の振動を増大させることができる。
The vibrating
外部電極13,15は、主面11aの中央部に配置されている。このため、圧電素子10をバランスよく振動させることができる。
The
本実施形態に係る電子機器は、振動デバイス100を備えるので、電気的な信頼性が低下し難い。
Since the electronic device according to the present embodiment includes the vibrating
本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。 The present invention is not necessarily limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible without departing from the scope of the invention.
図8は、変形例に係る振動デバイスの一部拡大断面図である。図8に示されるように、変形例に係る振動デバイス100Aは、ケース3に凹部3dが設けられておらず、振動部材12の主面12bの全面が接着層60により底部3aに接合(接着)されている点で、振動デバイス100と相違している。この場合であっても、外部電極13,15と配線部材50との電気的な接続が確保される。よって、振動デバイス100Aの電気的な信頼性が低下し難い。
FIG. 8 is a partially enlarged cross-sectional view of a vibration device according to a modification. As shown in FIG. 8, in a vibrating
振動デバイス100,100Aでは、振動部1は振動部材12を備えているが、振動部1は振動部材12を備えていなくてもよい。この場合、振動部1の構造を簡単にすることができる。
In the vibrating
1…振動部、1a…端部、3a…底部(保持部)、10…圧電素子、11…圧電素体、11a…主面(第一主面)、11b…主面(第二主面)、11c…長辺、11d…短辺、11e…側面、11f…端部、12…振動部材、13,15…外部電極、19,21,23…内部電極、50…配線部材、71…接合部材、71a…側面部分、100,100A…振動デバイス、R1…第一領域、R2…第二領域、R3…第三領域、R4…第四領域、R5…第五領域。
DESCRIPTION OF
Claims (10)
前記圧電素子と電気的に接続されている配線部材と、
導電性接合部材と、
絶縁性接合部材と、を備え、
前記圧電素子は、圧電素体と、前記圧電素体の内部に配置されている内部電極と、前記内部電極と電気的に接続されている外部電極と、を有し、
前記圧電素体は、互いに対向している第一主面及び第二主面と、前記第一主面及び前記第二主面のそれぞれと隣り合い、前記第一主面及び前記第二主面の対向方向に延びている側面と、を有し、
前記外部電極は、前記第一主面上に配置されており、
前記配線部材は、
前記外部電極上に位置し、かつ、前記外部電極と接合されている第一領域と、
前記第一主面と接合されている第二領域と、
前記第一領域と前記第二領域との間に位置し、前記第一主面から離間している第三領域と、を有しており、
前記導電性接合部材は、前記外部電極と前記第一領域とを接合しており、
前記絶縁性接合部材は、前記対向方向において前記第一主面と前記第二領域との間に配置され、前記第一主面と前記第二領域とを接合している、振動デバイス。 a vibrating portion having a piezoelectric element;
a wiring member electrically connected to the piezoelectric element;
a conductive joining member;
and an insulating joining member ,
The piezoelectric element has a piezoelectric body, an internal electrode arranged inside the piezoelectric body, and an external electrode electrically connected to the internal electrode,
The piezoelectric body has a first main surface and a second main surface facing each other, and the first main surface and the second main surface are adjacent to each other, and the first main surface and the second main surface are adjacent to each other. and side surfaces extending in opposite directions of
The external electrode is arranged on the first main surface,
The wiring member is
a first region located on the external electrode and joined to the external electrode;
a second region joined to the first main surface;
a third region positioned between the first region and the second region and spaced apart from the first major surface ;
The conductive joint member joins the external electrode and the first region,
The vibration device, wherein the insulating joining member is arranged between the first main surface and the second region in the facing direction, and joins the first main surface and the second region.
前記圧電素子と電気的に接続されている配線部材と、を備え、
前記圧電素子は、圧電素体と、前記圧電素体の内部に配置されている内部電極と、前記内部電極と電気的に接続されている外部電極と、を有し、
前記圧電素体は、互いに対向している第一主面及び第二主面と、前記第一主面及び前記第二主面のそれぞれと隣り合い、前記第一主面及び前記第二主面の対向方向に延びている側面と、を有し、
前記外部電極は、前記第一主面上に配置されており、
前記配線部材は、
前記外部電極上に位置し、かつ、前記外部電極と接合されている第一領域と、
前記第一主面と接合されている第二領域と、
前記第一領域と前記第二領域との間に位置し、前記第一主面から離間している第三領域と、を有しており、
前記対向方向における前記第二領域と前記第一主面との間隔は、前記第二領域が前記第三領域から離間するにしたがって徐々に大きくなる、振動デバイス。 a vibrating portion having a piezoelectric element;
a wiring member electrically connected to the piezoelectric element,
The piezoelectric element has a piezoelectric body, an internal electrode arranged inside the piezoelectric body, and an external electrode electrically connected to the internal electrode,
The piezoelectric body has a first main surface and a second main surface facing each other, and the first main surface and the second main surface are adjacent to each other, and the first main surface and the second main surface are adjacent to each other. and side surfaces extending in opposite directions of
The external electrode is arranged on the first main surface,
The wiring member is
a first region located on the external electrode and joined to the external electrode;
a second region joined to the first main surface;
a third region positioned between the first region and the second region and spaced apart from the first major surface ;
The vibrating device , wherein the distance between the second region and the first main surface in the facing direction gradually increases as the second region separates from the third region.
前記対向方向から見て、前記配線部材は、前記第一主面の長辺に沿って延在して、前記第一主面の短辺と交差し、
前記第二領域は、前記第一主面の長辺方向の一方の端部に接合されている、請求項1~3のいずれか一項に記載の振動デバイス。 The first main surface has a rectangular shape,
When viewed from the facing direction, the wiring member extends along the long side of the first main surface and intersects the short side of the first main surface,
The vibration device according to any one of claims 1 to 3 , wherein the second region is joined to one end of the first main surface in the long side direction.
前記長辺方向における前記第一領域と前記第二領域との間隔は、前記長辺方向における前記第二領域と前記第四領域との間隔よりも短い、請求項4に記載の振動デバイス。 The wiring member further has a fourth region supported by a support portion and a fifth region located between the second region and the fourth region,
5. The vibration device according to claim 4 , wherein the distance between said first area and said second area in said long side direction is shorter than the distance between said second area and said fourth area in said long side direction.
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