JP7216483B2 - Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board - Google Patents
Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board Download PDFInfo
- Publication number
- JP7216483B2 JP7216483B2 JP2018070402A JP2018070402A JP7216483B2 JP 7216483 B2 JP7216483 B2 JP 7216483B2 JP 2018070402 A JP2018070402 A JP 2018070402A JP 2018070402 A JP2018070402 A JP 2018070402A JP 7216483 B2 JP7216483 B2 JP 7216483B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin composition
- group
- curable resin
- epoxy
- resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Materials For Photolithography (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Paints Or Removers (AREA)
- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
Description
本発明は硬化性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物およびプリント配線板に関する。 The present invention relates to a curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board.
従来、プリント配線板のソルダーレジスト、層間絶縁層、カバーレイ等の永久被膜を形成する材料として、特許文献1には、カルボキシル基含有ポリウレタンと、全塩素量が0.7質量%未満の多官能脂肪族グリシジルエーテル化合物とを含有する熱硬化性樹脂組成物が開示されている。 Conventionally, as materials for forming permanent films such as solder resists, interlayer insulating layers, and coverlays for printed wiring boards, Patent Document 1 discloses a carboxyl group-containing polyurethane and a polyfunctional polyurethane having a total chlorine content of less than 0.7% by mass. A thermosetting resin composition containing an aliphatic glycidyl ether compound is disclosed.
近年、半導体部品の急速な進歩により、電子機器は軽薄短小化、高性能化、多機能化される傾向にある。この傾向に追従して半導体パッケージの小型化、多ピン化が実用化されている。
具体的には、QFP(クワッド・フラットパック・パッケージ)、SOP(スモール・アウトライン・パッケージ)等と呼ばれるICパッケージに代わって、BGA(ボール・グリッド・アレイ)、CSP(チップ・スケール・パッケージ)等と呼ばれるICパッケージが使用されている。また、近年では、さらに高密度化されたICパッケージとして、FC-BGA(フリップチップ・ボール・グリッド・アレイ)も実用化されている。
このようなICパッケージに用いられるプリント配線板(パッケージ基板ともいう。)においては、SRO(Solder Resist Opening)ピッチが狭く、互いに近接して形成されるため、SRO間でショートやクロストークノイズが生じたりするおそれが高くなる。また、SRO間に形成されるソルダーレジストは、細く薄くなるためクラックが生じやすくなる。そのため、パッケージ基板に用いられるソルダーレジスト等の永久被膜には、長期にわたる高度な信頼性、具体的には高絶縁信頼性が求められる。特に、今後のパッケージ基板の高密度化に伴い、信頼性の要求は一層高まると考えられる。
この信頼性について、上述した特許文献1に記載の熱硬化性樹脂組成物は、近年では十分とはいえないようになってきている。
In recent years, with the rapid progress of semiconductor parts, electronic devices tend to be lighter, thinner, shorter, and more sophisticated, and have more functions. Following this trend, miniaturization and multi-pin semiconductor packages have been put to practical use.
Specifically, instead of IC packages called QFP (quad flat pack package), SOP (small outline package), etc., BGA (ball grid array), CSP (chip scale package), etc. An IC package called is used. In recent years, FC-BGA (Flip Chip Ball Grid Array) has also been put to practical use as an IC package with a higher density.
In printed wiring boards (also called package substrates) used for such IC packages, SROs (Solder Resist Openings) have a narrow pitch and are formed close to each other, so short circuits and crosstalk noise occur between SROs. more likely to fall. In addition, the solder resist formed between the SROs becomes thin and thin, so cracks are likely to occur. Therefore, permanent films such as solder resists used for package substrates are required to have high long-term reliability, specifically high insulation reliability. In particular, the demand for reliability is expected to further increase as the density of package substrates increases in the future.
In recent years, the reliability of the thermosetting resin composition described in Patent Literature 1 has become insufficient.
このような信頼性の要求に応えるものとして、特許文献2には、カルボキシル基含有樹脂と、シルセスキオキサン骨格を有するエポキシ樹脂と、を含有する硬化性樹脂組成物が開示されている。 In order to meet such reliability requirements, Patent Document 2 discloses a curable resin composition containing a carboxyl group-containing resin and an epoxy resin having a silsesquioxane skeleton.
特許文献2に記載の硬化性樹脂組成物は、信頼性に優れているが、信頼性の向上についての要求は止むことがなく、なお改善の余地があった。また、車載用途等では高電圧下での絶縁信頼性の要求が高く、高電圧下におけるHAST試験、すなわちB‐HAST試験によりシルセスキオキサン骨格の分解が汎用の樹脂骨格と比較し加速するため改善の余地があった。 The curable resin composition described in Patent Literature 2 is excellent in reliability, but there is still room for improvement as there is a constant demand for improved reliability. In addition, there is a high demand for insulation reliability under high voltage for automotive applications, and the HAST test under high voltage, that is, the B-HAST test accelerates the decomposition of the silsesquioxane skeleton compared to general-purpose resin skeletons. There was room for improvement.
そこで本発明の目的は、信頼性に優れ、特に、高電圧が負荷される状態での絶縁信頼性に優れた硬化物を得ることができる硬化性樹脂組成物、該組成物から得られる樹脂層を有するドライフィルム、該組成物または該ドライフィルムの樹脂層の硬化物、および、該硬化物を有するプリント配線板を提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a curable resin composition capable of obtaining a cured product having excellent reliability, particularly excellent insulation reliability under high voltage loading, and a resin layer obtained from the composition. , a cured product of the composition or the resin layer of the dry film, and a printed wiring board having the cured product.
本発明者等は信頼性をより向上させ得る硬化性樹脂組成物について鋭意研究開発を重ねた結果、特定のエポキシ当量を有するエポキシ樹脂を用いることにより、電圧が負荷された状態でも信頼性の高い硬化物が得られることを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of extensive research and development on a curable resin composition that can further improve reliability, the present inventors have found that by using an epoxy resin having a specific epoxy equivalent, it is possible to achieve high reliability even when a voltage is applied. The inventors have found that a cured product can be obtained, and have completed the present invention.
本発明の硬化性樹脂組成物は、(A)カルボキシル基含有樹脂と、(B)光重合開始剤と、(C)エポキシ当量が130以下のエポキシ樹脂と、(D)無機フィラーと、を含有することを特徴とするものである。 The curable resin composition of the present invention contains (A) a carboxyl group-containing resin, (B) a photopolymerization initiator, (C) an epoxy resin having an epoxy equivalent of 130 or less, and (D) an inorganic filler. It is characterized by
本発明の硬化性樹脂組成物は、上記(C)エポキシ樹脂のエポキシ当量が100以下であることが好ましく、また、上記(D)無機フィラーが、表面処理されたものであることが好ましく、上記(D)無機フィラーの配合割合が、25~85質量%であることが好ましい。 In the curable resin composition of the present invention, the (C) epoxy resin preferably has an epoxy equivalent of 100 or less, and the (D) inorganic filler is preferably surface-treated. (D) The mixing ratio of the inorganic filler is preferably 25 to 85% by mass.
本発明のドライフィルムは、上記硬化性樹脂組成物を、フィルムに塗布、乾燥して得られる樹脂層を有することを特徴とするものである。
また、本発明の硬化物は、上記硬化性樹脂組成物または前記ドライフィルムの樹脂層を、硬化して得られることを特徴とするものである。
さらに、本発明のプリント配線板は、上記硬化物を有することを特徴とするものである。
The dry film of the present invention is characterized by having a resin layer obtained by coating the curable resin composition on a film and drying the composition.
Moreover, the cured product of the present invention is characterized by being obtained by curing the resin layer of the curable resin composition or the dry film.
Furthermore, the printed wiring board of the present invention is characterized by having the cured product.
本発明によれば、高電圧が負荷される状態での絶縁信頼性に優れた硬化物を得ることができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the hardened|cured material excellent in the insulation reliability in the state where a high voltage is loaded can be obtained.
本発明の硬化性樹脂組成物は、(A)カルボキシル基含有樹脂と、(B)光重合開始剤と、(C)エポキシ当量が130以下のエポキシ樹脂と、(D)無機フィラーと、を含有するものである。 The curable resin composition of the present invention contains (A) a carboxyl group-containing resin, (B) a photopolymerization initiator, (C) an epoxy resin having an epoxy equivalent of 130 or less, and (D) an inorganic filler. It is something to do.
本発明の硬化性樹脂組成物は、カルボキシル基含有樹脂とエポキシ当量が130以下のエポキシ樹脂とを含有するため、得られる硬化物は、ガラス転移温度(Tg)が高く、線膨張係数(CTEα1、α2)が低いだけでなく、高温時の貯蔵弾性率(E)が高い。そのため、高温時において硬化物の流動性が抑制され発生応力を低減し、耐熱性に優れる。言い換えると、本発明の硬化物は、架橋密度が高く、高温でほとんど物性変化を起こさないものとも言える。
さらに本発明の硬化性樹脂組成物は、カルボキシル基含有樹脂とエポキシ当量が130以下のエポキシ樹脂とを含有するため、室温で流動性を有するものが多く低温での硬化性(反応率)が向上し、高温処理による銅回路の酸化を抑え、硬化物とプリント配線板との密着性を維持することができる。
また、本発明の硬化物は、高温での貯蔵弾性率が高いので、架橋密度が高く、吸水率が低いと考えられる。
またさらに、本発明の硬化性樹脂組成物はエポキシ当量が130以下のエポキシ樹脂を含有することにより、架橋密度の高い硬化物を得ることができ、よって、電圧が負荷された状態でも信頼性の高い硬化物とすることができ、また、クラック耐性に優れた硬化物とすることができる。
エポキシ当量が130以下のエポキシ樹脂の具体例は後述するが、従来のシルセスキオキサン骨格を有するエポキシ樹脂は含まれていない。シルセスキオキサン骨格を有するエポキシ樹脂は、そのシルセスキオキサン骨格に由来したSi-O結合を有しているが、本発明者らの研究によれば、このSi-O結合は、陰極における塩基性に弱いため、高電圧における絶縁信頼性は十分でないことが判明した。これに対して、本発明エポキシ当量が130以下のエポキシ樹脂は、Si-O結合を有しておらず、陰極で分解しない結合を有しているものであり、高電圧における絶縁信頼性に優れている。
このような高架橋密度化達成のためにエポキシ当量が130以下のエポキシ樹脂を用いることで耐熱性、低温硬化性、低吸水性を付与することができ、本発明の硬化性樹脂組成物の硬化物はクラック耐性および高電圧における絶縁信頼性に優れていると考えられる。
また、本発明の硬化性樹脂組成物によれば、解像性に優れた硬化物を得ることもできる。
Since the curable resin composition of the present invention contains a carboxyl group-containing resin and an epoxy resin having an epoxy equivalent of 130 or less, the obtained cured product has a high glass transition temperature (Tg) and a linear expansion coefficient (CTEα1, Not only is α2) low, but the storage modulus (E) at high temperatures is high. Therefore, the fluidity of the cured product is suppressed at high temperatures, the generated stress is reduced, and the heat resistance is excellent. In other words, it can be said that the cured product of the present invention has a high crosslink density and hardly changes in physical properties at high temperatures.
Furthermore, since the curable resin composition of the present invention contains a carboxyl group-containing resin and an epoxy resin having an epoxy equivalent of 130 or less, many of them have fluidity at room temperature, and the curability (reaction rate) at low temperatures is improved. In addition, oxidation of the copper circuit due to high-temperature treatment can be suppressed, and adhesion between the cured product and the printed wiring board can be maintained.
In addition, the cured product of the present invention has a high storage elastic modulus at high temperatures, so it is thought that the crosslink density is high and the water absorption is low.
Furthermore, since the curable resin composition of the present invention contains an epoxy resin having an epoxy equivalent of 130 or less, it is possible to obtain a cured product with a high crosslink density. A cured product having high resistance to cracking can be obtained.
Specific examples of epoxy resins having an epoxy equivalent of 130 or less will be described later, but conventional epoxy resins having a silsesquioxane skeleton are not included. Epoxy resins having a silsesquioxane skeleton have Si—O bonds derived from the silsesquioxane skeleton. It was found that the insulation reliability at high voltage is not sufficient because it is vulnerable to basicity. On the other hand, the epoxy resin of the present invention having an epoxy equivalent of 130 or less does not have a Si—O bond and has a bond that does not decompose at the cathode, and has excellent insulation reliability at high voltage. ing.
By using an epoxy resin having an epoxy equivalent of 130 or less to achieve such a high crosslinking density, heat resistance, low-temperature curability, and low water absorption can be imparted, and the cured product of the curable resin composition of the present invention can be obtained. is considered to be excellent in crack resistance and insulation reliability at high voltage.
Moreover, according to the curable resin composition of the present invention, a cured product having excellent resolution can be obtained.
以下に、本発明の硬化性樹脂組成物の各成分について説明する。なお、本明細書において、(メタ)アクリレートとは、アクリレート、メタクリレートおよびそれらの混合物を総称する用語であり、他の類似の表現についても同様である。 Each component of the curable resin composition of the present invention is described below. In this specification, (meth)acrylate is a generic term for acrylate, methacrylate and mixtures thereof, and the same applies to other similar expressions.
[(A)カルボキシル基含有樹脂]
カルボキシル基含有樹脂としては、分子中にカルボキシル基を有している従来公知の各種カルボキシル基含有樹脂を使用できる。特に、分子中にエチレン性不飽和二重結合を有するカルボキシル基含有感光性樹脂が、光硬化性や耐現像性の面から好ましい。エチレン性不飽和二重結合は、アクリル酸もしくはメタクリル酸又はそれらの誘導体由来であることが好ましい。エチレン性不飽和二重結合を有さないカルボキシル基含有樹脂のみを用いる場合、組成物を光硬化性とするためには、後述する分子中に複数のエチレン性不飽和基を有する化合物、即ち光反応性モノマーを併用する必要がある。
カルボキシル基含有樹脂の具体例としては、以下のような化合物(オリゴマー及びポリマーのいずれでもよい)を挙げることができる。
[(A) Carboxyl Group-Containing Resin]
As the carboxyl group-containing resin, conventionally known various carboxyl group-containing resins having a carboxyl group in the molecule can be used. In particular, a carboxyl group-containing photosensitive resin having an ethylenically unsaturated double bond in the molecule is preferable from the viewpoint of photocurability and development resistance. The ethylenically unsaturated double bonds are preferably derived from acrylic acid or methacrylic acid or derivatives thereof. When only a carboxyl group-containing resin having no ethylenically unsaturated double bonds is used, in order to make the composition photocurable, a compound having a plurality of ethylenically unsaturated groups in the molecule, i.e., photo It is necessary to use a reactive monomer together.
Specific examples of the carboxyl group-containing resin include the following compounds (both oligomers and polymers).
(1)(メタ)アクリル酸等の不飽和カルボン酸と、スチレン、α-メチルスチレン、低級アルキル(メタ)アクリレート、イソブチレン等の不飽和基含有化合物との共重合により得られるカルボキシル基含有樹脂。 (1) A carboxyl group-containing resin obtained by copolymerizing an unsaturated carboxylic acid such as (meth)acrylic acid and an unsaturated group-containing compound such as styrene, α-methylstyrene, lower alkyl (meth)acrylate, isobutylene, or the like.
(2)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネートと、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロールブタン酸等のカルボキシル基含有ジアルコール化合物及びポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基及びアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂。 (2) Diisocyanates such as aliphatic diisocyanates, branched aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates, and aromatic diisocyanates; Carboxyl group-containing urethane resins obtained by polyaddition reaction of diol compounds such as polyols, polyester polyols, polyolefin polyols, acrylic polyols, bisphenol A alkylene oxide adduct diols, and compounds having phenolic hydroxyl groups and alcoholic hydroxyl groups.
(3)ジイソシアネートと、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂等の2官能エポキシ樹脂の(メタ)アクリレートもしくはその部分酸無水物変性物、カルボキシル基含有ジアルコール化合物及びジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂。 (3) Diisocyanate and bifunctional epoxy resin such as bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bixylenol type epoxy resin, biphenol type epoxy resin ( A carboxyl group-containing photosensitive urethane resin produced by a polyaddition reaction of a meth)acrylate or its partial acid anhydride modified product, a carboxyl group-containing dialcohol compound and a diol compound.
(4)前記(2)又は(3)の樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の分子内に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂。 (4) During the synthesis of the resin (2) or (3), a compound having one hydroxyl group and one or more (meth)acryloyl groups in the molecule such as hydroxyalkyl (meth)acrylate is added, and the terminal ( Meta) acrylated carboxyl group-containing photosensitive urethane resin.
(5)前記(2)又は(3)の樹脂の合成中に、イソホロンジイソシアネートとペンタエリスリトールトリアクリレートの等モル反応物など、分子内に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂。 (5) During the synthesis of the resin of (2) or (3), one isocyanate group and one or more (meth)acryloyl groups are added in the molecule, such as an equimolar reaction product of isophorone diisocyanate and pentaerythritol triacrylate. A carboxyl group-containing photosensitive urethane resin that is terminally (meth)acrylated by adding a compound having
(6)2官能又はそれ以上の多官能(固形)エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。 (6) A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting (meth)acrylic acid with a polyfunctional (solid) epoxy resin having a functionality of 2 or more and adding a dibasic acid anhydride to the hydroxyl group present in the side chain.
(7)2官能(固形)エポキシ樹脂の水酸基をさらにエピクロロヒドリンでエポキシ化した多官能エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、生じた水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。 (7) A carboxyl obtained by reacting (meth)acrylic acid with a polyfunctional epoxy resin obtained by further epoxidizing the hydroxyl group of a bifunctional (solid) epoxy resin with epichlorohydrin, and adding a dibasic acid anhydride to the resulting hydroxyl group. Group-containing photosensitive resin.
(8)2官能オキセタン樹脂にアジピン酸、フタル酸、ヘキサヒドロフタル酸等のジカルボン酸を反応させ、生じた1級の水酸基に無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有ポリエステル樹脂。 (8) A bifunctional oxetane resin is reacted with a dicarboxylic acid such as adipic acid, phthalic acid, and hexahydrophthalic acid, and the resulting primary hydroxyl group is treated with a dibasic such as phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, and hexahydrophthalic anhydride. Carboxyl group-containing polyester resin to which acid anhydride is added.
(9)1分子中に複数のエポキシ基を有するエポキシ化合物に、p-ヒドロキシフェネチルアルコール等の1分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と1個のフェノール性水酸基を有する化合物と、(メタ)アクリル酸等の不飽和基含有モノカルボン酸とを反応させ、得られた反応生成物のアルコール性水酸基に対して、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、アジピン酸等の多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (9) an epoxy compound having a plurality of epoxy groups in one molecule, a compound having at least one alcoholic hydroxyl group and one phenolic hydroxyl group in one molecule, such as p-hydroxyphenethyl alcohol; Maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, adipic acid to the alcoholic hydroxyl group of the reaction product obtained by reacting with a monocarboxylic acid containing an unsaturated group such as acrylic acid. A carboxyl group-containing resin obtained by reacting a polybasic acid anhydride such as an acid.
(10)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンオキシド、プロピレンオキシド等のアルキレンオキシドとを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。 (10) A reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide and reacting an unsaturated group-containing monocarboxylic acid to obtain a reaction product A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting a polybasic acid anhydride with a substance.
(11)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等の環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。 (11) Obtained by reacting a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate or propylene carbonate with a monocarboxylic acid containing an unsaturated group. A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting a reaction product with a polybasic acid anhydride.
(12)前記(1)~(11)の樹脂にさらに1分子内に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなるカルボキシル基含有感光性樹脂。
なお、本明細書において、(メタ)アクリレートとは、アクリレート、メタクリレート及びそれらの混合物を総称する用語で、他の類似の表現についても同様である。
(12) A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by further adding a compound having one epoxy group and one or more (meth)acryloyl groups in one molecule to the resins of (1) to (11).
In this specification, (meth)acrylate is a generic term for acrylate, methacrylate and mixtures thereof, and the same applies to other similar expressions.
(A)カルボキシル基含有樹脂の酸価は、20~200mgKOH/gであることが好ましい。(A)カルボキシル基含有樹脂の酸価が20~200mgKOH/gであると、硬化物のパターンの形成が容易となる。より好ましくは、50~130mgKOH/gである。
また、前記カルボキシル基含有樹脂の重量平均分子量は、樹脂骨格により異なるが、一般的に2,000~150,000、さらには5,000~100,000の範囲にあるものが好ましい。重量平均分子量が2,000以上であると、露光部の被膜の耐現像性が向上し、解像性に優れる。一方、重量平均分子量が150,000以下であると、未露光部の溶解性が良好で解像性に優れるとともに、貯蔵安定性においても向上することがある。重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより測定することができる。
(A) The acid value of the carboxyl group-containing resin is preferably 20 to 200 mgKOH/g. When the acid value of (A) the carboxyl group-containing resin is 20 to 200 mgKOH/g, the pattern formation of the cured product is facilitated. More preferably, it is 50 to 130 mgKOH/g.
Although the weight average molecular weight of the carboxyl group-containing resin differs depending on the resin skeleton, it is generally preferably in the range of 2,000 to 150,000, more preferably in the range of 5,000 to 100,000. When the weight average molecular weight is 2,000 or more, the development resistance of the film in the exposed area is improved and the resolution is excellent. On the other hand, when the weight average molecular weight is 150,000 or less, the solubility of the unexposed area is good, the resolution is excellent, and the storage stability may be improved. A weight average molecular weight can be measured by a gel permeation chromatography.
(A)カルボキシル基含有樹脂の配合量は、溶剤を除いた硬化性樹脂組成物全量基準で、例えば、10~60質量%であり、20~60質量%であることが好ましい。10質量%以上、好ましくは20質量%以上とすることにより塗膜強度を向上させることができる。また60質量%以下とすることで粘性が適当となり加工性が向上する。より好ましくは、30~50質量%である。
これらカルボキシル基含有樹脂は、前記列挙したものに限らず使用することができ、1種類を単独で用いてもよく、複数種を混合して用いてもよい。中でも、前記カルボキシル基含有樹脂(10)、(11)のごときフェノール化合物を出発原料と使用して合成されるカルボキシル基含有樹脂はB-HAST耐性、PCT耐性に優れるため好適に用いることができる。
The amount of the carboxyl group-containing resin (A) is, for example, 10 to 60% by mass, preferably 20 to 60% by mass, based on the total amount of the curable resin composition excluding the solvent. A coating strength of 10% by mass or more, preferably 20% by mass or more, can be improved. Moreover, by making it 60% by mass or less, the viscosity becomes appropriate and the workability improves. More preferably, it is 30 to 50% by mass.
These carboxyl group-containing resins are not limited to those listed above, and one type may be used alone, or a plurality of types may be mixed and used. Among them, carboxyl group-containing resins such as the carboxyl group-containing resins (10) and (11) synthesized using phenolic compounds as starting materials are excellent in B-HAST resistance and PCT resistance, and can be preferably used.
[(B)光重合開始剤]
光重合開始剤としては、光重合開始剤や光ラジカル発生剤として公知の光重合開始剤であれば、いずれのものを用いることもできる。
[(B) Photoinitiator]
As the photopolymerization initiator, any photopolymerization initiator known as a photopolymerization initiator or a photoradical generator can be used.
光重合開始剤としては、例えば、ビス-(2,6-ジクロロベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス-(2,6-ジクロロベンゾイル)-2,5-ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス-(2,6-ジクロロベンゾイル)-4-プロピルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス-(2,6-ジクロロベンゾイル)-1-ナフチルフォスフィンオキサイド、ビス-(2,6-ジメトキシベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス-(2,6-ジメトキシベンゾイル)-2,4,4-トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド、ビス-(2,6-ジメトキシベンゾイル)-2,5-ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス-(2,4,6-トリメチルベンゾイル)-フェニルフォスフィンオキサイド(IGM Resins社製Omnirad(オムニラッド)819)等のビスアシルフォスフィンオキサイド類;2,6-ジメトキシベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、2,6-ジクロロベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、2,4,6-トリメチルベンゾイルフェニルフォスフィン酸メチルエステル、2-メチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ピバロイルフェニルフォスフィン酸イソプロピルエステル、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド(IGM Resins社製Omnirad(オムニラッド)TPO)等のモノアシルフォスフィンオキサイド類;1-ヒドロキシ-シクロヘキシルフェニルケトン、1-[4-(2-ヒドロキシエトキシ)-フェニル]-2-ヒドロキシ-2-メチル-1-プロパン-1-オン、2-ヒドロキシ-1-{4-[4-(2-ヒドロキシ-2-メチル-プロピオニル)-ベンジル]フェニル}-2-メチル-プロパン-1-オン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニルプロパン-1-オン等のヒドロキシアセトフェノン類;ベンゾイン、ベンジル、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインn-プロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインn-ブチルエーテル等のベンゾイン類;ベンゾインアルキルエーテル類;ベンゾフェノン、p-メチルベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、メチルベンゾフェノン、4,4’-ジクロロベンゾフェノン、4,4’-ビスジエチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;アセトフェノン、2,2-ジメトキシ-2-フェニルアセトフェノン、2,2-ジエトキシ-2-フェニルアセトフェノン、1,1-ジクロロアセトフェノン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルフォリノ-1-プロパノン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-ブタノン-1、2-(ジメチルアミノ)-2-[(4-メチルフェニル)メチル)-1-[4-(4-モルホリニル)フェニル]-1-ブタノン、N,N-ジメチルアミノアセトフェノン等のアセトフェノン類;チオキサントン、2-エチルチオキサントン、2-イソプロピルチオキサントン、2,4-ジメチルチオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、2-クロロチオキサントン、2,4-ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類;アントラキノン、クロロアントラキノン、2-メチルアントラキノン、2-エチルアントラキノン、2-tert-ブチルアントラキノン、1-クロロアントラキノン、2-アミルアントラキノン、2-アミノアントラキノン等のアントラキノン類;アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類;エチル-4-ジメチルアミノベンゾエート、2-(ジメチルアミノ)エチルベンゾエート、p-ジメチル安息香酸エチルエステル等の安息香酸エステル類;1,2-オクタンジオン,1-[4-(フェニルチオ)-,2-(O-ベンゾイルオキシム)]、エタノン,1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-(O-アセチルオキシム)等のオキシムエステル類;ビス(η5-2,4-シクロペンタジエン-1-イル)-ビス(2,6-ジフルオロ-3-(1H-ピロール-1-イル)フェニル)チタニウム、ビス(シクロペンタジエニル)-ビス[2,6-ジフルオロ-3-(2-(1-ピル-1-イル)エチル)フェニル]チタニウム等のチタノセン類;フェニルジスルフィド2-ニトロフルオレン、ブチロイン、アニソインエチルエーテル、アゾビスイソブチロニトリル、テトラメチルチウラムジスルフィド等を挙げることができる。光重合開始剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。中でもモノアシルフォスフィンオキサイド類、オキシムエステル類が好ましく、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、エタノン,1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-(O-アセチルオキシム)がより好ましい。 Examples of photopolymerization initiators include bis-(2,6-dichlorobenzoyl)phenylphosphine oxide, bis-(2,6-dichlorobenzoyl)-2,5-dimethylphenylphosphine oxide, bis-(2, 6-dichlorobenzoyl)-4-propylphenylphosphine oxide, bis-(2,6-dichlorobenzoyl)-1-naphthylphosphine oxide, bis-(2,6-dimethoxybenzoyl)phenylphosphine oxide, bis-( 2,6-dimethoxybenzoyl)-2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide, bis-(2,6-dimethoxybenzoyl)-2,5-dimethylphenylphosphine oxide, bis-(2,4,6- bisacylphosphine oxides such as trimethylbenzoyl)-phenylphosphine oxide (OMnirad 819 manufactured by IGM Resins); 2,6-dimethoxybenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,6-dichlorobenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoylphenylphosphinic acid methyl ester, 2-methylbenzoyldiphenylphosphine oxide, pivaloylphenylphosphinic acid isopropyl ester, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide (IGM Resins) Monoacylphosphine oxides such as Omnirad (TPO); 1-hydroxy-cyclohexylphenyl ketone, 1-[4-(2-hydroxyethoxy)-phenyl]-2-hydroxy-2-methyl-1-propane -1-one, 2-hydroxy-1-{4-[4-(2-hydroxy-2-methyl-propionyl)-benzyl]phenyl}-2-methyl-propan-1-one, 2-hydroxy-2- Hydroxyacetophenones such as methyl-1-phenylpropan-1-one; benzoins such as benzoin, benzyl, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin n-propyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin n-butyl ether; benzoin alkyl ethers benzophenone such as benzophenone, p-methylbenzophenone, Michler's ketone, methylbenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone amines; acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone, 1-hydroxycyclohexylphenylketone, 2-methyl-1-[4- (Methylthio)phenyl]-2-morpholino-1-propanone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-butanone-1,2-(dimethylamino)-2-[(4- Acetophenones such as methylphenyl)methyl)-1-[4-(4-morpholinyl)phenyl]-1-butanone and N,N-dimethylaminoacetophenone; thioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2,4 -thioxanthones such as dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone; - anthraquinones such as chloroanthraquinone, 2-amyl anthraquinone, and 2-aminoanthraquinone; ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal; ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 2-(dimethylamino)ethylbenzoate, p-dimethyl Benzoates such as ethyl benzoate; 1,2-octanedione, 1-[4-(phenylthio)-, 2-(O-benzoyloxime)], ethanone, 1-[9-ethyl-6-( 2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-, 1-(O-acetyloxime) and other oxime esters; bis(η5-2,4-cyclopentadien-1-yl)-bis(2, 6-difluoro-3-(1H-pyrrol-1-yl)phenyl)titanium, bis(cyclopentadienyl)-bis[2,6-difluoro-3-(2-(1-pyrr-1-yl)ethyl ) Titanocenes such as phenyl]titanium; phenyl disulfide 2-nitrofluorene, butyroin, anisoine ethyl ether, azobisisobutyronitrile, tetramethylthiuram disulfide and the like. A photoinitiator may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type. Among them, monoacylphosphine oxides and oxime esters are preferred, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, ethanone, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazole-3 -yl]-,1-(O-acetyloxime) is more preferred.
光重合開始剤の配合量は、(A)カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して0.5~20質量部であることが好ましい。0.5質量部以上の場合、表面硬化性が良好となり、20質量部以下の場合、ハレーションが生じにくく良好な解像性が得られる。 The blending amount of the photopolymerization initiator is preferably 0.5 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin (A). When the amount is 0.5 parts by mass or more, good surface curability is achieved, and when the amount is 20 parts by mass or less, halation is less likely to occur and good resolution can be obtained.
[(C)エポキシ当量が130以下のエポキシ樹脂]
本発明の硬化性樹脂組成物に含有されるエポキシ樹脂は、エポキシ当量が130以下のエポキシ樹脂であれば特に限定されない。エポキシ当量が130以下であることにより、架橋密度を高めることができ、よってクラック耐性に優れ、また、吸水率を抑えることができるので高電圧をかけた状態での信頼性が良好となる。ここに、電圧をかけた状態での信頼性は、電圧15Vを印加したときの信頼性で評価することができる。また、エポキシ当量が低いエポキシ樹脂は、液状を呈するため、無機フィラーの高充填に寄与し、よって無機フィラーの含有量の上限を高め、具体的には85質量%まで無機フィラーを配合することができる。
[(C) epoxy resin having an epoxy equivalent of 130 or less]
The epoxy resin contained in the curable resin composition of the present invention is not particularly limited as long as it has an epoxy equivalent of 130 or less. When the epoxy equivalent is 130 or less, the cross-linking density can be increased, so the crack resistance is excellent, and the water absorption can be suppressed, so the reliability under high voltage is improved. Here, the reliability in a voltage-applied state can be evaluated by the reliability when a voltage of 15 V is applied. In addition, since the epoxy resin with a low epoxy equivalent is in a liquid state, it contributes to high filling of the inorganic filler. can.
なお、エポキシ樹脂として、(C)エポキシ樹脂の中でも脂肪族エポキシ化合物をエピクロロヒドリン経路で合成したものである場合、アルコール付加生成物である中間体と、原料アルコールが求核付加体として競争反応を引き起こすため、有機塩素化物を含む高分子量体が生成しやすい。一般に脂肪族エポキシ化合物における含有塩素は高まり、特に反応点の多い多官能エポキシでは、その傾向が強く、%オーダーでの塩素不純物が混入する。そのため、エポキシ当量が大きくなって130を上回ってしまう。そこで、本発明では、有機塩素化合物を含まないアリルエーテルを酸化することによるエポキシ合成が望ましい。
この合成法により、エポキシ当量を低く設計することができる上、ハロゲン不純物を含まないためさらなる絶縁信頼性向上に寄与できる。
As the epoxy resin, when an aliphatic epoxy compound among the epoxy resins (C) is synthesized by the epichlorohydrin route, the intermediate, which is an alcohol addition product, and the raw material alcohol compete as nucleophilic adducts. Since it induces a reaction, high molecular weight substances containing organic chlorides are likely to be produced. In general, the content of chlorine in aliphatic epoxy compounds increases, and this tendency is particularly strong in polyfunctional epoxies having many reaction points, and chlorine impurities are mixed in on the order of %. Therefore, the epoxy equivalent becomes large and exceeds 130. Therefore, in the present invention, it is desirable to synthesize epoxy by oxidizing an allyl ether that does not contain an organic chlorine compound.
By this synthesis method, the epoxy equivalent can be designed to be low, and since it does not contain halogen impurities, it can contribute to further improvement in insulation reliability.
(C)エポキシ当量が130以下のエポキシ樹脂としては、グリシジルエーテル基を有する化合物が挙げられる。グリシジルエーテル基を有する化合物としては、次の(1)~(7)の骨格を有する化合物があり、例えばペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテル、2,2-ビス(3-グリシジル-4-グリシジルオキシフェニル)プロパン、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル等がある。
(C) Epoxy resins having an epoxy equivalent of 130 or less include compounds having a glycidyl ether group. Compounds having a glycidyl ether group include compounds having the following skeletons (1) to (7), such as pentaerythritol tetraglycidyl ether and 2,2-bis(3-glycidyl-4-glycidyloxyphenyl)propane. , trimethylolpropane triglycidyl ether, and the like.
グリシジルエーテル基を有するエポキシ樹脂は、上述した(1)~(6)の骨格を有する化合物から理解されるように、ペンタエリスリトール型、トリメチロールプロパン型、グリセリン型など、構造は特に限定されない。公知慣用の構造で、エポキシ当量が130以下のものを用いることができる。 Epoxy resins having a glycidyl ether group are not particularly limited in structure, such as pentaerythritol type, trimethylolpropane type, glycerin type, etc., as understood from the compounds having the above skeletons (1) to (6). A known and commonly used structure having an epoxy equivalent of 130 or less can be used.
(C)エポキシ樹脂のエポキシ当量は、130g/eq.以下であることが好ましく、100g/eq.以下であることがより好ましい。 (C) The epoxy equivalent of the epoxy resin is 130 g/eq. It is preferably less than or equal to 100 g/eq. The following are more preferable.
本発明の硬化性樹脂組成物は、上記(C)エポキシ当量が130以下のエポキシ樹脂と共に、本発明特有の効果を損なわない範囲で、エポキシ当量が130を超える公知慣用のエポキシ樹脂を含むことができる。 The curable resin composition of the present invention may contain (C) an epoxy resin having an epoxy equivalent of 130 or less and a commonly used epoxy resin having an epoxy equivalent of more than 130 within a range that does not impair the unique effects of the present invention. can.
(C)エポキシ樹脂の配合量は、(A)カルボキシル基含有樹脂100質量部に対し、例えば、1~100質量部であり、10~80質量部が好ましく、20~60質量部がより好ましい。(C)エポキシ樹脂の配合量が10質量部以上であると、クラック耐性および絶縁信頼性がより向上し、100質量部以下であると、保存安定性が向上する。 The amount of epoxy resin (C) to be blended is, for example, 1 to 100 parts by mass, preferably 10 to 80 parts by mass, more preferably 20 to 60 parts by mass, per 100 parts by mass of carboxyl group-containing resin (A). When the amount of the epoxy resin (C) is 10 parts by mass or more, the crack resistance and insulation reliability are further improved, and when it is 100 parts by mass or less, the storage stability is improved.
[(D)無機フィラー]
本発明の硬化性樹脂組成物は、(D)無機フィラーを含有する。また、無機フィラーが表面処理された無機フィラーであることが好ましい。(D)無機フィラーを含むことにより、硬化物のクラック耐性がより向上する。
[(D) inorganic filler]
The curable resin composition of the present invention contains (D) an inorganic filler. Moreover, it is preferable that the inorganic filler is a surface-treated inorganic filler. (D) Including an inorganic filler further improves the crack resistance of the cured product.
無機フィラーとしては、特に限定されず、公知慣用の充填剤、例えばシリカ、結晶性シリカ、ノイブルグ珪土、水酸化アルミニウム、ガラス粉末、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、天然マイカ、合成マイカ、水酸化アルミニウム、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、酸化鉄、非繊維状ガラス、ハイドロタルサイト、ミネラルウール、アルミニウムシリケート、カルシウムシリケート、亜鉛華等の無機フィラーを用いることができる。中でも、シリカが好ましく、表面積が小さく、応力が全体に分散するためクラックの起点になりにくいことから球状シリカであることがより好ましい。 The inorganic filler is not particularly limited, and known and commonly used fillers such as silica, crystalline silica, Neuburg silica, aluminum hydroxide, glass powder, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, natural mica, synthetic mica, Inorganic fillers such as aluminum hydroxide, barium sulfate, barium titanate, iron oxide, non-fibrous glass, hydrotalcite, mineral wool, aluminum silicate, calcium silicate, and zinc white can be used. Among them, silica is preferable, and spherical silica is more preferable because it has a small surface area and is less likely to cause cracks because stress is dispersed over the entire surface.
ここで、表面処理された(D)無機フィラーは、(A)カルボキシル基含有樹脂および(C)エポキシ樹脂の少なくとも一方と反応し、の相溶性を向上させるための処理が施されたものをいう。この表面処理は特に限定されるものではなく、無機フィラーの表面に硬化性反応基を導入可能な表面処理が好ましい。
硬化性反応基は、熱硬化性反応基でも光硬化性反応基でもよい。熱硬化性反応基としては、水酸基、カルボキシル基、イソシアネート基、アミノ基、イミノ基、エポキシ基、オキセタニル基、メルカプト基、メトキシメチル基、メトキシエチル基、エトキシメチル基、エトキシエチル基、オキサゾリン基等が挙げられる。光硬化性反応基としては、ビニル基、スチリル基、メタクリル基、アクリル基等が挙げられる。中でも、光硬化性反応基としては、メタクリル基、アクリル基、ビニル基が好ましく、熱硬化性反応基としては、エポキシ基、アミノ基が好ましい。また、(D)無機フィラーは2種以上の硬化性反応基を有していてもよい。(D)無機フィラーとしては、表面処理されたシリカが好ましい。表面処理されたシリカを含むことにより、CTEを低く、ガラス転移温度を高くさせることができる。
Here, the surface-treated (D) inorganic filler refers to a filler that has undergone a treatment to react with at least one of (A) the carboxyl group-containing resin and (C) the epoxy resin to improve compatibility therebetween. . This surface treatment is not particularly limited, and a surface treatment capable of introducing a curable reactive group onto the surface of the inorganic filler is preferred.
The curable reactive group may be a thermosetting reactive group or a photocurable reactive group. Thermosetting reactive groups include hydroxyl group, carboxyl group, isocyanate group, amino group, imino group, epoxy group, oxetanyl group, mercapto group, methoxymethyl group, methoxyethyl group, ethoxymethyl group, ethoxyethyl group, oxazoline group, etc. is mentioned. A vinyl group, a styryl group, a methacryl group, an acryl group etc. are mentioned as a photocurable reactive group. Among them, the photocurable reactive group is preferably a methacrylic group, an acrylic group, or a vinyl group, and the thermosetting reactive group is preferably an epoxy group or an amino group. In addition, (D) the inorganic filler may have two or more curable reactive groups. (D) The inorganic filler is preferably surface-treated silica. Including surface-treated silica can lower the CTE and increase the glass transition temperature.
(D)無機フィラーの表面に硬化性反応基の導入方法は特に限定されず、公知慣用の方法を用いて導入すればよく、硬化性反応基を有する表面処理剤、例えば、硬化性反応基を有するカップリング剤等で無機フィラーの表面を処理すればよい。 (D) The method of introducing the curable reactive group on the surface of the inorganic filler is not particularly limited, and may be introduced using a known and commonly used method. The surface of the inorganic filler may be treated with a coupling agent or the like.
(D)無機フィラーの表面処理としては、カップリング剤による表面処理が好ましい。カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤、ジルコニウムカップリング剤、アルミニウムカップリング剤等を用いることができる。中でも、シランカップリング剤が好ましい。 (D) Surface treatment with a coupling agent is preferable as the surface treatment of the inorganic filler. A silane coupling agent, a titanium coupling agent, a zirconium coupling agent, an aluminum coupling agent, or the like can be used as the coupling agent. Among them, silane coupling agents are preferred.
シランカップリング剤としては、(D)無機フィラーに、硬化反応性基を導入可能なシランカップリング剤が好ましい。熱硬化反応性基を導入可能なシランカップリング剤としては、エポキシ基を有するシランカップリング剤、アミノ基を有するシランカップリング剤、メルカプト基を有するシランカップリング剤、イソシアネート基を有するシランカップリング剤が挙げられ、中でもエポキシ基を有するシランカップリング剤がより好ましい。光硬化反応性基を導入可能なシランカップリング剤としては、ビニル基を有するシランカップリング剤、スチリル基を有するシランカップリング剤、メタクリル基を有するシランカップリング剤、アクリル基を有するシランカップリング剤が好ましく、中でもメタクリル基を有するシランカップリング剤がより好ましい。 As the silane coupling agent, a silane coupling agent capable of introducing a curing reactive group into the (D) inorganic filler is preferable. Examples of the silane coupling agent capable of introducing a thermosetting reactive group include a silane coupling agent having an epoxy group, a silane coupling agent having an amino group, a silane coupling agent having a mercapto group, and a silane coupling agent having an isocyanate group. Among them, a silane coupling agent having an epoxy group is more preferable. Silane coupling agents capable of introducing photocurable reactive groups include silane coupling agents having a vinyl group, silane coupling agents having a styryl group, silane coupling agents having a methacryl group, and silane coupling agents having an acryl group. Among them, a silane coupling agent having a methacrylic group is more preferable.
また、硬化性反応基を有しない(D)無機フィラーとしては、例えば、アルミナ表面処理がされた無機フィラー等が挙げられる。 Examples of (D) inorganic fillers having no curable reactive group include inorganic fillers surface-treated with alumina.
(D)無機フィラーは、表面処理された状態で本発明の硬化性樹脂組成物に配合されていればよく、表面未処理の無機フィラーと表面処理剤とを別々に配合して組成物中で無機フィラーが表面処理されてもよいが、予め表面処理した無機フィラーを配合することが好ましい。予め表面処理した無機フィラーを配合することによって、別々に配合した場合に残存しうる表面処理で消費されなかった表面処理剤によるクラック耐性等の低下を防ぐことができる。予め表面処理する場合は、溶剤や樹脂成分に(D)無機フィラーを予備分散した予備分散液を配合することが好ましく、表面処理した無機フィラーを溶剤に予備分散し、該予備分散液を組成物に配合するか、表面未処理の無機フィラーを溶剤に予備分散する際に十分に表面処理した後、該予備分散液を組成物に配合することがより好ましい。 (D) The inorganic filler may be blended in the curable resin composition of the present invention in a surface-treated state, and the surface-untreated inorganic filler and the surface treatment agent are separately blended in the composition. Although the inorganic filler may be surface-treated, it is preferable to incorporate a surface-treated inorganic filler in advance. By blending the inorganic filler which has been surface-treated in advance, it is possible to prevent deterioration in crack resistance and the like caused by the surface-treating agent not consumed in the surface treatment, which may remain when blended separately. In the case of pre-surface treatment, it is preferable to blend a pre-dispersed liquid (D) in which an inorganic filler is pre-dispersed in a solvent or a resin component. It is more preferable to mix the predispersed liquid into the composition after sufficiently surface-treating the surface-untreated inorganic filler when pre-dispersing it in the solvent.
本発明の硬化性樹脂組成物において、無機フィラーは、平均粒径が2μm以下であることが、クラック耐性により優れることから好ましい。より好ましくは、1μm以下である。尚、本明細書において、平均粒径とは日機装社製マイクロトラック粒度分析計を用いて測定したD50の値である。 In the curable resin composition of the present invention, the inorganic filler preferably has an average particle size of 2 μm or less because crack resistance is excellent. More preferably, it is 1 μm or less. In the present specification, the average particle size is the value of D50 measured using a Microtrac particle size analyzer manufactured by Nikkiso Co., Ltd.
無機フィラーの配合量は、硬化性樹脂組成物の固形分の全量あたり25~85質量%であることが好ましく、30~75質量%であることがより好ましく、35~70質量%であることがさらに好ましい。 The amount of the inorganic filler is preferably 25 to 85% by mass, more preferably 30 to 75% by mass, more preferably 35 to 70% by mass based on the total solid content of the curable resin composition. More preferred.
本発明の硬化性樹脂組成物は、(D)無機フィラーが、表面処理された無機フィラーと、表面処理されていない無機フィラーを併用してもよい。その場合、表面処理された無機フィラーは、表面処理された無機フィラーと表面処理されていない無機フィラーとの総量あたり、30質量%以上であることが好ましく、50質量%以上であることがより好ましく、70質量%以上であることがさらに好ましい。また、表面処理されていない無機フィラーは、球状シリカであることが好ましい。 In the curable resin composition of the present invention, the (D) inorganic filler may be a combination of a surface-treated inorganic filler and an unsurface-treated inorganic filler. In that case, the surface-treated inorganic filler is preferably 30% by mass or more, more preferably 50% by mass or more, based on the total amount of the surface-treated inorganic filler and the non-surface-treated inorganic filler. , more preferably 70% by mass or more. Moreover, the inorganic filler that is not surface-treated is preferably spherical silica.
(エチレン性不飽和基を有する化合物)
本発明の硬化性樹脂組成物においては、分子中に1個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物が好ましく用いられる。エチレン性不飽和基を有する化合物としては、公知慣用の感光性モノマーである光重合性オリゴマー、光重合性ビニルモノマー等を用いることができる。なお、ここで言うエチレン性不飽和基を有する化合物には、エチレン性不飽和基を有する(A)カルボキシル基含有樹脂は含まれないものとする。
(Compound having an ethylenically unsaturated group)
A compound having one or more ethylenically unsaturated groups in the molecule is preferably used in the curable resin composition of the present invention. As the compound having an ethylenically unsaturated group, photopolymerizable oligomers, photopolymerizable vinyl monomers, and the like, which are known and commonly used photosensitive monomers, can be used. The compound having an ethylenically unsaturated group as used herein does not include the (A) carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group.
光重合性オリゴマーとしては、不飽和ポリエステル系オリゴマー、(メタ)アクリレート系オリゴマー等が挙げられる。(メタ)アクリレート系オリゴマーとしては、フェノールノボラックエポキシ(メタ)アクリレート、クレゾールノボラックエポキシ(メタ)アクリレート、ビスフェノール型エポキシ(メタ)アクリレート等のエポキシ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、エポキシウレタン(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート、ポリエーテル(メタ)アクリレート、ポリブタジエン変性(メタ)アクリレート等が挙げられる。 Examples of photopolymerizable oligomers include unsaturated polyester-based oligomers and (meth)acrylate-based oligomers. (Meth)acrylate oligomers include epoxy (meth)acrylates such as phenol novolac epoxy (meth)acrylate, cresol novolak epoxy (meth)acrylate, bisphenol type epoxy (meth)acrylate, urethane (meth)acrylate, epoxyurethane (meth)acrylate, ) acrylates, polyester (meth)acrylates, polyether (meth)acrylates, polybutadiene-modified (meth)acrylates, and the like.
光重合性ビニルモノマーとしては、公知慣用のもの、例えば、スチレン、クロロスチレン、α-メチルスチレンなどのスチレン誘導体;酢酸ビニル、酪酸ビニルまたは安息香酸ビニルなどのビニルエステル類;ビニルイソブチルエーテル、ビニル-n-ブチルエーテル、ビニル-t-ブチルエーテル、ビニル-n-アミルエーテル、ビニルイソアミルエーテル、ビニル-n-オクタデシルエーテル、ビニルシクロヘキシルエーテル、エチレングリコールモノブチルビニルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルビニルエーテルなどのビニルエーテル類;アクリルアミド、メタクリルアミド、N-ヒドロキシメチルアクリルアミド、N-ヒドロキシメチルメタクリルアミド、N-メトキシメチルアクリルアミド、N-エトキシメチルアクリルアミド、N-ブトキシメチルアクリルアミドなどの(メタ)アクリルアミド類;トリアリルイソシアヌレート、フタル酸ジアリル、イソフタル酸ジアリルなどのアリル化合物;2-エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリール(メタ)アクリレート、イソボロニル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレートなどの(メタ)アクリル酸のエステル類;ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートなどのヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類;メトキシエチル(メタ)アクリレート、エトキシエチル(メタ)アクリレートなどのアルコキシアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート類;エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ブタンジオールジ(メタ)アクリレート類、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートなどのアルキレンポリオールポリ(メタ)アクリレート;ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレートなどのポリオキシアルキレングリコールポリ(メタ)アクリレート類;ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールエステルジ(メタ)アクリレートなどのポリ(メタ)アクリレート類;トリス[(メタ)アクリロキシエチル]イソシアヌレートなどのイソシアヌルレート型ポリ(メタ)アクリレート類などが挙げられる。これらは、要求特性に合わせて、単独で、または、2種以上を組み合わせて用いることができる。 Examples of photopolymerizable vinyl monomers include known and commonly used monomers, for example, styrene derivatives such as styrene, chlorostyrene and α-methylstyrene; vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl butyrate and vinyl benzoate; vinyl isobutyl ether, vinyl- Vinyl ethers such as n-butyl ether, vinyl-t-butyl ether, vinyl-n-amyl ether, vinyl isoamyl ether, vinyl-n-octadecyl ether, vinylcyclohexyl ether, ethylene glycol monobutyl vinyl ether, triethylene glycol monomethyl vinyl ether; acrylamide, (Meth)acrylamides such as methacrylamide, N-hydroxymethylacrylamide, N-hydroxymethylmethacrylamide, N-methoxymethylacrylamide, N-ethoxymethylacrylamide, N-butoxymethylacrylamide; triallyl isocyanurate, diallyl phthalate, Allyl compounds such as diallyl isophthalate; 2-ethylhexyl (meth)acrylate, lauryl (meth)acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth)acrylate, isobornyl (meth)acrylate, phenyl (meth)acrylate, phenoxyethyl (meth)acrylate, etc. Esters of (meth)acrylic acid; hydroxyalkyl (meth)acrylates such as hydroxyethyl (meth)acrylate, hydroxypropyl (meth)acrylate, and pentaerythritol tri(meth)acrylate; methoxyethyl (meth)acrylate, ethoxyethyl Alkoxyalkylene glycol mono (meth) acrylates such as (meth) acrylate; ethylene glycol di (meth) acrylate, butanediol di (meth) acrylates, neopentyl glycol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di ( Alkylene polyol poly(meth)acrylates such as meth)acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate; diethylene glycol di(meth)acrylate, triethylene glycol di(meth)acrylate; Polyoxyalkylene glycol poly(meth)acrylates such as (meth)acrylates, ethoxylated trimethylolpropane triacrylate, propoxylated trimethylolpropane tri(meth)acrylates, etc. i) Acrylates; poly(meth)acrylates such as neopentylglycol hydroxypivalate di(meth)acrylate; isocyanurate-type poly(meth)acrylates such as tris[(meth)acryloxyethyl]isocyanurate, etc. mentioned. These can be used alone or in combination of two or more according to the required properties.
エチレン性不飽和結合を有する化合物の配合量は、(A)カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して3~40質量部であることが好ましい。3質量部以上の場合、表面硬化性が向上し、40質量部以下の場合、ハレーションが抑制される。より好ましくは、5~30質量部である。 The compounding amount of the compound having an ethylenically unsaturated bond is preferably 3 to 40 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin (A). When it is 3 parts by mass or more, the surface curability is improved, and when it is 40 parts by mass or less, halation is suppressed. More preferably, it is 5 to 30 parts by mass.
(熱硬化触媒)
本発明の硬化性樹脂組成物は、熱硬化触媒を含有することが好ましい。そのような熱硬化触媒としては、例えば、イミダゾール、2-メチルイミダゾール、2-エチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、4-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾール、1-(2-シアノエチル)-2-エチル-4-メチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4-(ジメチルアミノ)-N,N-ジメチルベンジルアミン、4-メトキシ-N,N-ジメチルベンジルアミン、4-メチル-N,N-ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物、アジピン酸ジヒドラジド、セバシン酸ジヒドラジド等のヒドラジン化合物;トリフェニルホスフィン等のリン化合物等が挙げられる。また、グアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、メラミン、2,4-ジアミノ-6-メタクリロイルオキシエチル-S-トリアジン、2-ビニル-2,4-ジアミノ-S-トリアジン、2-ビニル-4,6-ジアミノ-S-トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4-ジアミノ-6-メタクリロイルオキシエチル-S-トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のS-トリアジン誘導体を用いることもでき、好ましくはこれら密着性付与剤としても機能する化合物を熱硬化触媒と併用する。
(Thermosetting catalyst)
The curable resin composition of the present invention preferably contains a thermosetting catalyst. Such thermosetting catalysts include, for example, imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole. , 1-(2-cyanoethyl)-2-ethyl-4-methylimidazole; dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4-(dimethylamino)-N,N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N,N amine compounds such as -dimethylbenzylamine and 4-methyl-N,N-dimethylbenzylamine; hydrazine compounds such as adipic acid dihydrazide and sebacic acid dihydrazide; and phosphorus compounds such as triphenylphosphine. Also, guanamine, acetoguanamine, benzoguanamine, melamine, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-2,4-diamino-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino S-triazine derivatives such as S-triazine/isocyanuric acid adducts and 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine/isocyanuric acid adducts can also be used, and these adhesion-imparting agents are preferred. A compound that also functions is used in conjunction with a thermosetting catalyst.
熱硬化触媒の配合量は、(C)エポキシ樹脂100質量部に対して、好ましくは0.05~40質量部、より好ましくは0.1~30質量部である。 The amount of the thermosetting catalyst is preferably 0.05 to 40 parts by mass, more preferably 0.1 to 30 parts by mass, per 100 parts by mass of the epoxy resin (C).
(硬化剤)
本発明の硬化性樹脂組成物は硬化剤を含有することができる。硬化剤としては、フェノール樹脂、ポリカルボン酸およびその酸無水物、シアネートエステル樹脂、活性エステル樹脂、マレイミド化合物、脂環式オレフィン重合体等が挙げられる。硬化剤は1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。
(curing agent)
The curable resin composition of the present invention can contain a curing agent. Curing agents include phenol resins, polycarboxylic acids and their acid anhydrides, cyanate ester resins, active ester resins, maleimide compounds, alicyclic olefin polymers, and the like. Curing agents may be used singly or in combination of two or more.
硬化剤は、(C)エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂のエポキシ基等の熱硬化反応が可能な官能基と、その官能基と反応する硬化剤中の官能基との比率が、硬化剤の官能基/熱硬化反応が可能な官能基(当量比)=0.2~3となるような割合で配合することが好ましい。上記範囲とすることにより、保存安定性と硬化性のバランスに優れる。 In the curing agent, the ratio of the functional group capable of thermosetting reaction such as the epoxy group of the thermosetting resin such as (C) epoxy resin and the functional group in the curing agent that reacts with the functional group is It is preferable to blend the functional group/functional group capable of thermosetting reaction (equivalence ratio) in a ratio of 0.2 to 3. By setting it as the said range, it is excellent in the balance of storage stability and curability.
(着色剤)
本発明の硬化性樹脂組成物には、着色剤が含まれていてもよい。着色剤としては、赤、青、緑、黄、黒、白等の公知の着色剤を使用することができ、顔料、染料、色素のいずれでもよい。但し、環境負荷低減並びに人体への影響の観点からハロゲンを含有しないことが好ましい。
(coloring agent)
The curable resin composition of the present invention may contain a coloring agent. As the coloring agent, known coloring agents such as red, blue, green, yellow, black, and white can be used, and any of pigments, dyes, and pigments can be used. However, it is preferable not to contain a halogen from the viewpoint of environmental load reduction and influence on the human body.
着色剤の添加量は特に制限はないが、(A)カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、好ましくは10質量部以下、特に好ましくは0.1~7質量部の割合で充分である。 The amount of the colorant to be added is not particularly limited, but is preferably 10 parts by mass or less, particularly preferably 0.1 to 7 parts by mass, per 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin (A).
(有機溶剤)
本発明の硬化性樹脂組成物には、組成物の調製や、基板やキャリアフィルムに塗布する際の粘度調整等の目的で、有機溶剤を含有させることができる。有機溶剤としては、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、炭酸プロピレン等のエステル類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素類;石油エーテル、石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤など、公知慣用の有機溶剤が使用できる。これらの有機溶剤は、単独で、または二種類以上組み合わせて用いることができる。
(Organic solvent)
The curable resin composition of the present invention may contain an organic solvent for the purpose of preparing the composition and adjusting the viscosity when applied to a substrate or carrier film. Examples of organic solvents include ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethylbenzene; cellosolve, methyl cellosolve, butyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, butyl carbitol, propylene glycol monomethyl ether; , dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether acetate, tripropylene glycol monomethyl ether; ethyl acetate, butyl acetate, butyl lactate, cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, butyl carbi Esters such as tall acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, and propylene carbonate; aliphatic hydrocarbons such as octane and decane; petroleum solvents such as petroleum ether, petroleum naphtha, and solvent naphtha; Conventional organic solvents can be used. These organic solvents can be used alone or in combination of two or more.
(その他の任意成分)
さらに、本発明の硬化性樹脂組成物には、電子材料の分野において公知慣用の他の添加剤を配合してもよい。他の添加剤としては、熱重合禁止剤、紫外線吸収剤、シランカップリング剤、可塑剤、難燃剤、帯電防止剤、老化防止剤、抗菌・防黴剤、消泡剤、レベリング剤、増粘剤、密着性付与剤、チキソ性付与剤、光開始助剤、増感剤、熱可塑性樹脂、有機フィラー、離型剤、表面処理剤、分散剤、分散助剤、表面改質剤、安定剤、蛍光体等が挙げられる。
(Other optional ingredients)
Furthermore, the curable resin composition of the present invention may be blended with other known and commonly used additives in the field of electronic materials. Other additives include thermal polymerization inhibitors, ultraviolet absorbers, silane coupling agents, plasticizers, flame retardants, antistatic agents, anti-aging agents, antibacterial/antifungal agents, antifoaming agents, leveling agents, and thickeners. agent, adhesion imparting agent, thixotropy imparting agent, photoinitiation aid, sensitizer, thermoplastic resin, organic filler, release agent, surface treatment agent, dispersant, dispersion aid, surface modifier, stabilizer , phosphors, and the like.
本発明の硬化性樹脂組成物は、本発明の効果を損なわない範囲で(C)エポキシ樹脂以外の熱硬化性樹脂を含有してもよい。熱硬化性樹脂としては、加熱により硬化して電気絶縁性を示す樹脂であればよく、例えば、(C)エポキシ樹脂以外のエポキシ化合物、オキセタン化合物、メラミン樹脂、シリコーン樹脂などが挙げることができ、これらは併用してもよい。 The curable resin composition of the present invention may contain (C) a thermosetting resin other than the epoxy resin within a range that does not impair the effects of the present invention. The thermosetting resin may be a resin that cures by heating and exhibits electrical insulation. Examples include (C) epoxy compounds other than epoxy resins, oxetane compounds, melamine resins, and silicone resins. These may be used in combination.
本発明の硬化性樹脂組成物は、ドライフィルム化して用いても液状として用いても良い。液状として用いる場合は、1液性でも2液性以上でもよい。 The curable resin composition of the present invention may be used as a dry film or as a liquid. When used as a liquid, it may be one-liquid or two-liquid or more.
次に、本発明のドライフィルムは、キャリアフィルム上に、本発明の硬化性樹脂組成物を塗布、乾燥させることにより得られる樹脂層を有する。ドライフィルムを形成する際には、まず、本発明の硬化性樹脂組成物を上記有機溶剤で希釈して適切な粘度に調整した上で、コンマコーター、ブレードコーター、リップコーター、ロッドコーター、スクイズコーター、リバースコーター、トランスファロールコーター、グラビアコーター、スプレーコーター等により、キャリアフィルム上に均一な厚さに塗布する。その後、塗布された組成物を、通常、40~130℃の温度で1~30分間乾燥することで、樹脂層を形成することができる。塗布膜厚については特に制限はないが、一般に、乾燥後の膜厚で、3~150μm、好ましくは5~60μmの範囲で適宜選択される。 Next, the dry film of the present invention has a resin layer obtained by coating and drying the curable resin composition of the present invention on a carrier film. When forming a dry film, first, the curable resin composition of the present invention is diluted with the above organic solvent to adjust the viscosity to an appropriate value, and then a comma coater, blade coater, lip coater, rod coater, and squeeze coater are used. , a reverse coater, a transfer roll coater, a gravure coater, a spray coater, or the like to a uniform thickness on the carrier film. After that, the applied composition is usually dried at a temperature of 40 to 130° C. for 1 to 30 minutes to form a resin layer. The coating thickness is not particularly limited, but is generally selected as appropriate in the range of 3 to 150 μm, preferably 5 to 60 μm, in terms of thickness after drying.
キャリアフィルムとしては、プラスチックフィルムが用いられ、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)等のポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム等を用いることができる。キャリアフィルムの厚さについては特に制限はないが、一般に、10~150μmの範囲で適宜選択される。より好ましくは15~130μmの範囲である。 As the carrier film, a plastic film is used, and for example, a polyester film such as polyethylene terephthalate (PET), a polyimide film, a polyamideimide film, a polypropylene film, a polystyrene film, or the like can be used. The thickness of the carrier film is not particularly limited, but is generally selected appropriately within the range of 10 to 150 μm. More preferably, it is in the range of 15 to 130 μm.
キャリアフィルム上に本発明の硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成した後、樹脂層の表面に塵が付着することを防ぐ等の目的で、さらに、樹脂層の表面に、剥離可能なカバーフィルムを積層することが好ましい。剥離可能なカバーフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルムやポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、表面処理した紙等を用いることができる。カバーフィルムとしては、カバーフィルムを剥離するときに、樹脂層とキャリアフィルムとの接着力よりも小さいものであればよい。 After forming the resin layer composed of the curable resin composition of the present invention on the carrier film, for the purpose of preventing dust from adhering to the surface of the resin layer, a peelable cover is further placed on the surface of the resin layer. It is preferred to laminate the films. As the peelable cover film, for example, a polyethylene film, a polytetrafluoroethylene film, a polypropylene film, surface-treated paper, or the like can be used. Any cover film may be used as long as the adhesive force is smaller than the adhesive force between the resin layer and the carrier film when the cover film is peeled off.
なお、本発明においては、上記カバーフィルム上に本発明の硬化性樹脂組成物を塗布、乾燥させることにより樹脂層を形成して、その表面にキャリアフィルムを積層するものであってもよい。すなわち、本発明においてドライフィルムを製造する際に本発明の硬化性樹脂組成物を塗布するフィルムとしては、キャリアフィルムおよびカバーフィルムのいずれを用いてもよい。 In the present invention, the curable resin composition of the present invention may be coated on the cover film and dried to form a resin layer, and a carrier film may be laminated on the surface of the resin layer. That is, either a carrier film or a cover film may be used as the film to which the curable resin composition of the present invention is applied when producing the dry film in the present invention.
本発明のプリント配線板は、本発明の硬化性樹脂組成物またはドライフィルムの樹脂層から得られる硬化物を有するものである。本発明のプリント配線板の製造方法としては、例えば、本発明の硬化性樹脂組成物を、上記有機溶剤を用いて塗布方法に適した粘度に調整して、基材上に、ディップコート法、フローコート法、ロールコート法、バーコーター法、スクリーン印刷法、カーテンコート法等の方法により塗布した後、60~100℃の温度で組成物中に含まれる有機溶剤を揮発乾燥(仮乾燥)させることで、タックフリーの樹脂層を形成する。また、ドライフィルムの場合、ラミネーター等により樹脂層が基材と接触するように基材上に貼り合わせた後、キャリアフィルムを剥がすことにより、基材上に樹脂層を形成する。 The printed wiring board of the present invention has a cured product obtained from the curable resin composition or the resin layer of the dry film of the present invention. As a method for producing the printed wiring board of the present invention, for example, the curable resin composition of the present invention is adjusted to a viscosity suitable for the coating method using the above organic solvent, and is coated on the substrate by a dip coating method, After applying by a method such as flow coating, roll coating, bar coating, screen printing, or curtain coating, the organic solvent contained in the composition is volatilized and dried (temporary drying) at a temperature of 60 to 100 ° C. Thus, a tack-free resin layer is formed. In the case of a dry film, the resin layer is formed on the substrate by laminating it on the substrate with a laminator or the like so that the resin layer is in contact with the substrate, and then peeling off the carrier film.
上記基材としては、あらかじめ銅等により回路形成されたプリント配線板やフレキシブルプリント配線板の他、紙フェノール、紙エポキシ、ガラス布エポキシ、ガラスポリイミド、ガラス布/不繊布エポキシ、ガラス布/紙エポキシ、合成繊維エポキシ、フッ素樹脂・ポリエチレン・ポリフェニレンエーテル,ポリフェニレンオキシド・シアネート等を用いた高周波回路用銅張積層板等の材質を用いたもので、全てのグレード(FR-4等)の銅張積層板、その他、金属基板、ポリイミドフィルム、PETフィルム、ポリエチレンナフタレート(PEN)フィルム、ガラス基板、セラミック基板、ウエハ板等を挙げることができる。 Examples of the substrate include printed wiring boards and flexible printed wiring boards on which circuits are formed in advance using copper or the like, paper phenol, paper epoxy, glass cloth epoxy, glass polyimide, glass cloth/non-woven cloth epoxy, glass cloth/paper epoxy. , Synthetic fiber epoxy, fluororesin, polyethylene, polyphenylene ether, polyphenylene oxide, cyanate, and other materials such as copper-clad laminates for high-frequency circuits, and copper-clad laminates of all grades (FR-4, etc.) Plates, metal substrates, polyimide films, PET films, polyethylene naphthalate (PEN) films, glass substrates, ceramic substrates, wafer plates and the like can also be used.
本発明の硬化性樹脂組成物を塗布した後に行う揮発乾燥は、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブン等(蒸気による空気加熱方式の熱源を備えたものを用いて乾燥機内の熱風を向流接触せしめる方法およびノズルより支持体に吹き付ける方式)を用いて行うことができる。 Volatilization drying performed after applying the curable resin composition of the present invention can be performed using a hot air circulation drying oven, an IR oven, a hot plate, a convection oven, etc. A method of bringing hot air into countercurrent contact and a method of blowing hot air onto the support from a nozzle) can be used.
プリント配線板上に樹脂層を形成後、所定のパターンを形成したフォトマスクを通して選択的に活性エネルギー線により露光し、未露光部を希アルカリ水溶液(例えば、0.3~3質量%炭酸ソーダ水溶液)により現像して硬化物のパターンを形成する。さらに、硬化物に活性エネルギー線を照射後加熱硬化(例えば、100~220℃)、もしくは加熱硬化後活性エネルギー線を照射、または、加熱硬化のみで最終仕上げ硬化(本硬化)させることにより、密着性、硬度等の諸特性に優れた硬化膜を形成する。
なお、本発明の硬化性樹脂組成物が、光塩基発生剤を含む場合、露光後現像前に加熱することが好ましく、露光後現像前の加熱条件としては、例えば、60~150℃で1~60分加熱することが好ましい。
After forming a resin layer on the printed wiring board, it is selectively exposed to active energy rays through a photomask having a predetermined pattern, and the unexposed area is treated with a dilute alkaline aqueous solution (e.g., 0.3 to 3% by mass sodium carbonate aqueous solution). ) to form a pattern of the cured product. Furthermore, the cured product is cured by heat after irradiation with active energy rays (for example, 100 to 220 ° C), or by irradiation with active energy rays after heat curing, or by final curing (main curing) only by heat curing. Forms a cured film with excellent properties such as toughness and hardness.
When the curable resin composition of the present invention contains a photobase generator, it is preferably heated after exposure and before development. Heating for 60 minutes is preferred.
上記活性エネルギー線照射に用いられる露光機としては、高圧水銀灯ランプ、超高圧水銀灯ランプ、メタルハライドランプ、水銀ショートアークランプ等を搭載し、350~450nmの範囲で紫外線を照射する装置であればよく、さらに、直接描画装置(例えば、コンピューターからのCADデータにより直接レーザーで画像を描くレーザーダイレクトイメージング装置)も用いることができる。直描機のランプ光源またはレーザー光源としては、最大波長が350~450nmの範囲にあるものでよい。画像形成のための露光量は膜厚等によって異なるが、一般には10~1000mJ/cm2、好ましくは20~800mJ/cm2の範囲内とすることができる。 The exposure machine used for the active energy ray irradiation may be any device equipped with a high-pressure mercury lamp, ultra-high pressure mercury lamp, metal halide lamp, mercury short arc lamp, etc., and irradiating ultraviolet rays in the range of 350 to 450 nm. In addition, a direct writing device (eg, a laser direct imaging device that draws an image with a laser directly from CAD data from a computer) can also be used. The lamp light source or laser light source of the direct drawing machine may have a maximum wavelength in the range of 350 to 450 nm. The amount of exposure for image formation varies depending on the film thickness and the like, but can generally be in the range of 10-1000 mJ/cm 2 , preferably in the range of 20-800 mJ/cm 2 .
上記現像方法としては、ディッピング法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法等によることができ、現像液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、アミン類等のアルカリ水溶液が使用できる。 Examples of the developing method include a dipping method, a shower method, a spray method, a brush method, and the like. Alkaline aqueous solutions such as ammonia and amines can be used.
本発明の硬化性樹脂組成物は、プリント配線板上に硬化膜を形成するために好適に使用され、より好適には、永久被膜を形成するために使用され、さらに好適には、ソルダーレジスト、層間絶縁層、カバーレイを形成するために使用される。また、本発明の硬化性樹脂組成物によれば、クラック耐性および絶縁信頼性に優れた硬化物を得ることができることから、高度な信頼性が求められるファインピッチの配線パターンを備えるプリント配線板、例えばパッケージ基板、特にFC-BGA用の永久被膜(特にソルダーレジスト)の形成に好適に用いることができる。 The curable resin composition of the present invention is preferably used to form a cured film on a printed wiring board, more preferably used to form a permanent film, and more preferably a solder resist, Used to form interlayer insulating layers, coverlays. Further, according to the curable resin composition of the present invention, it is possible to obtain a cured product having excellent crack resistance and insulation reliability. For example, it can be suitably used for forming a package substrate, especially a permanent film (especially a solder resist) for FC-BGA.
以下、本発明を、実施例を用いてより詳細に説明するが、本発明は下記実施例に限定されるものではない。なお、以下において「部」および「%」とあるのは、特に断りのない限り全て質量基準である。
表1~3に示す各成分を表1~3に示す割合で配合し、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルで混練して実施例1~23、参考例1~5、比較例1~4の硬化性樹脂組成物を調製した。得られた硬化性組成物について諸特性を評価し、その結果を表1~3に併記した。
EXAMPLES The present invention will be described in more detail below using examples, but the present invention is not limited to the following examples. In the following description, "parts" and "%" are based on mass unless otherwise specified.
Each component shown in Tables 1 to 3 was blended in the ratio shown in Tables 1 to 3, premixed with a stirrer, and then kneaded with a three-roll mill for Examples 1 to 23, Reference Examples 1 to 5, and Comparative Example 1. ~4 curable resin compositions were prepared. Various properties of the resulting curable composition were evaluated, and the results are shown in Tables 1-3.
表1~3におけるアルカリ現像性樹脂は、次のようにして調製した。
[(A-1) アルカリ現像性樹脂の合成]
温度計、窒素導入装置兼アルキレンオキシド導入装置および撹拌装置を備えたオートクレーブに、ノボラック型クレゾール樹脂(昭和電工社製ショウノールCRG951、OH当量:119.4)119.4部、水酸化カリウム1.19部およびトルエン119.4部を導入し、撹拌しつつ系内を窒素置換し、加熱昇温した。次に、プロピレンオキシド63.8部を徐々に滴下し、125~132℃、0~4.8kg/cm2で16時間反応させた。その後、室温まで冷却し、この反応溶液に89%リン酸1.56部を添加混合して水酸化カリウムを中和し、不揮発分62.1%、水酸基価が182.2mgKOH/g(307.9g/eq.)であるノボラック型クレゾール樹脂のプロピレンオキシド反応溶液を得た。これは、フェノール性水酸基1当量当りプロピレンオキシドが平均1.08モル付加したものであった。
得られたノボラック型クレゾール樹脂のプロピレンオキシド反応溶液293.0部、アクリル酸43.2部、メタンスルホン酸11.53部、メチルハイドロキノン0.18部およびトルエン252.9部を、撹拌機、温度計および空気吹き込み管を備えた反応器に導入し、空気を10ml/分の速度で吹き込み、撹拌しながら、110℃で12時間反応させた。反応により生成した水は、トルエンとの共沸混合物として、12.6部の水が留出した。その後、室温まで冷却し、得られた反応溶液を15%水酸化ナトリウム水溶液35.35部で中和し、次いで水洗した。その後、エバポレーターにてトルエンをジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート118.1部で置換しつつ留去し、ノボラック型アクリレート樹脂溶液を得た。次に、得られたノボラック型アクリレート樹脂溶液332.5部およびトリフェニルホスフィン1.22部を、撹拌器、温度計および空気吹き込み管を備えた反応器に導入し、空気を10ml/分の速度で吹き込み、撹拌しながら、テトラヒドロフタル酸無水物60.8部を徐々に加え、95~101℃で6時間反応させ、冷却後、取り出した。このようにして、固形分65%、固形分の酸価87.7mgKOH/gの感光性のカルボキシル基含有樹脂A-1の溶液を得た。以下、このカルボキシル基含有感光性樹脂の溶液を樹脂溶液A-1と称す。
The alkali-developable resins in Tables 1-3 were prepared as follows.
[(A-1) Synthesis of alkali-developable resin]
An autoclave equipped with a thermometer, a nitrogen introduction device/alkylene oxide introduction device and a stirrer was charged with 119.4 parts of a novolak cresol resin (Showol CRG951 manufactured by Showa Denko Co., Ltd., OH equivalent: 119.4) and 1.5 parts of potassium hydroxide. 19 parts and 119.4 parts of toluene were introduced, the inside of the system was replaced with nitrogen while stirring, and the temperature was raised. Next, 63.8 parts of propylene oxide was gradually added dropwise and reacted at 125-132° C. and 0-4.8 kg/cm 2 for 16 hours. After cooling to room temperature, 1.56 parts of 89% phosphoric acid was added to and mixed with the reaction solution to neutralize potassium hydroxide. 9 g/eq.) of a novolak-type cresol resin propylene oxide reaction solution was obtained. This was an average addition of 1.08 moles of propylene oxide per equivalent of phenolic hydroxyl group.
293.0 parts of the propylene oxide reaction solution of the obtained novolak-type cresol resin, 43.2 parts of acrylic acid, 11.53 parts of methanesulfonic acid, 0.18 parts of methylhydroquinone and 252.9 parts of toluene were mixed with a stirrer at a temperature of The mixture was introduced into a reactor equipped with a meter and an air blowing tube, air was blown in at a rate of 10 ml/min, and reaction was carried out at 110° C. for 12 hours while stirring. As for the water produced by the reaction, 12.6 parts of water was distilled as an azeotrope with toluene. After cooling to room temperature, the resulting reaction solution was neutralized with 35.35 parts of a 15% aqueous sodium hydroxide solution and then washed with water. After that, the toluene was removed by an evaporator while replacing it with 118.1 parts of diethylene glycol monoethyl ether acetate to obtain a novolac type acrylate resin solution. Next, 332.5 parts of the resulting novolac acrylate resin solution and 1.22 parts of triphenylphosphine were introduced into a reactor equipped with a stirrer, thermometer and air blowing tube, and air was added at a rate of 10 ml/min. 60.8 parts of tetrahydrophthalic anhydride was gradually added while stirring, reacted at 95 to 101° C. for 6 hours, cooled, and taken out. Thus, a solution of photosensitive carboxyl group-containing resin A-1 having a solid content of 65% and a solid acid value of 87.7 mgKOH/g was obtained. Hereinafter, the solution of this carboxyl group-containing photosensitive resin is referred to as resin solution A-1.
[(A-2) アルカリ現像性樹脂の合成]
ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート600gにオルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(DIC社製EPICLON N-695、軟化点95℃、エポキシ当量214、平均官能基数7.6)1070g(グリシジル基数(芳香環総数):5.0モル)、アクリル酸360g(5.0モル)、およびハイドロキノン1.5gを仕込み、100℃に加熱攪拌し、均一溶解した。
次いで、トリフェニルホスフィン4.3gを仕込み、110℃に加熱して2時間反応後、120℃に昇温してさらに12時間反応を行った。得られた反応液に、芳香族系炭化水素(ソルベッソ150)415g、テトラヒドロ無水フタル酸456.0g(3.0モル)を仕込み、110℃で4時間反応を行い、冷却し、感光性のカルボキシル基含有樹脂溶液を得た。このようにして得られた樹脂溶液の固形分は65%、固形分の酸価は89mgKOH/gであった。以下、このカルボキシル基含有感光性樹脂の溶液を樹脂溶液A-2と称す。
[(A-2) Synthesis of alkali-developable resin]
To 600 g of diethylene glycol monoethyl ether acetate was added 1070 g of an ortho-cresol novolac type epoxy resin (EPICLON N-695 manufactured by DIC, softening point 95°C, epoxy equivalent weight 214, average functional group number 7.6) (number of glycidyl groups (total number of aromatic rings): 5. 0 mol), 360 g (5.0 mol) of acrylic acid, and 1.5 g of hydroquinone were charged, heated to 100° C. with stirring, and uniformly dissolved.
Then, 4.3 g of triphenylphosphine was charged, heated to 110° C. and reacted for 2 hours, then heated to 120° C. and reacted for further 12 hours. 415 g of an aromatic hydrocarbon (Solvesso 150) and 456.0 g (3.0 mol) of tetrahydrophthalic anhydride were added to the resulting reaction solution, reacted at 110° C. for 4 hours, cooled, and photosensitive carboxyl A group-containing resin solution was obtained. The solid content of the resin solution thus obtained was 65%, and the acid value of the solid content was 89 mgKOH/g. Hereinafter, the solution of this carboxyl group-containing photosensitive resin is referred to as resin solution A-2.
[(A-3) アルカリ現像性樹脂の合成]
温度計、撹拌機、滴下ロート、および還流冷却器を備えたフラスコに、溶媒としてジプロピレングリコールモノメチルエーテル325.0部を110℃まで加熱し、メタクリル酸174.0部、ε-カプロラクトン変性メタクリル酸(平均分子量314)174.0部、メタクリル酸メチル77.0部、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル222.0部、および重合触媒としてt-ブチルパーオキシ2-エチルヘキサノエート(日油社製パーブチルO)12.0部の混合物を、3時間かけて滴下し、さらに110℃で3時間攪拌し、重合触媒を失活させて、樹脂溶液を得た。
この樹脂溶液を冷却後、ダイセル化学工業社製サイクロマーA200を289.0部、トリフェニルホスフィン3.0部、ハイドロキノンモノメチルエーテル1.3部を加え、100℃に昇温し、攪拌することによってエポキシ基の開環付加反応を行い、感光性のカルボキシル基含有樹脂溶液を得た。
このようにして得られた樹脂溶液は、重量平均分子量(Mw)が15,000で、かつ、固形分が57%、固形物の酸価が79.8mgKOH/gであった。以下、このカルボキシル基含有感光性樹脂の溶液を樹脂溶液A-3と称す。
[(A-3) Synthesis of alkali-developable resin]
A flask equipped with a thermometer, a stirrer, a dropping funnel, and a reflux condenser was heated with 325.0 parts of dipropylene glycol monomethyl ether as a solvent to 110° C., and 174.0 parts of methacrylic acid and ε-caprolactone-modified methacrylic acid were added. (Average molecular weight 314) 174.0 parts, 77.0 parts of methyl methacrylate, 222.0 parts of dipropylene glycol monomethyl ether, and t-butyl peroxy 2-ethylhexanoate as a polymerization catalyst (Perbutyl O ) 12.0 parts of the mixture was added dropwise over 3 hours and stirred at 110° C. for 3 hours to deactivate the polymerization catalyst to obtain a resin solution.
After cooling this resin solution, 289.0 parts of Cychromer A200 manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd., 3.0 parts of triphenylphosphine, and 1.3 parts of hydroquinone monomethyl ether are added, heated to 100° C., and stirred. A ring-opening addition reaction of the epoxy group was carried out to obtain a photosensitive carboxyl group-containing resin solution.
The resin solution thus obtained had a weight average molecular weight (Mw) of 15,000, a solid content of 57%, and an acid value of the solid matter of 79.8 mgKOH/g. Hereinafter, the solution of this carboxyl group-containing photosensitive resin is referred to as resin solution A-3.
表1~3において、光重合開始剤は、次のものである。
(B-1):IGM Resins社製OmniradTPO(2,4,6-トリメチルベンゾイル-ジフェニル-フォスフィンオキサイド)
(B-2):IGM Resins社製Omnirad907(2-メチル-1-(4-メチルチオフェニル)-2-モルフォリノプロパン-1-オン)
(B-3):BASFジャパン社製イルガキュアOXE02(エタノン,1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-1-(o-アセチルオキシム)
In Tables 1-3, the photopolymerization initiators are as follows.
(B-1): Omnirad TPO (2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide) manufactured by IGM Resins
(B-2): Omnirad 907 (2-methyl-1-(4-methylthiophenyl)-2-morpholinopropan-1-one) manufactured by IGM Resins
(B-3): BASF Japan Irgacure OXE02 (ethanone, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-1-(o-acetyloxime)
表1~3において、(C)エポキシ当量が130以下のエポキシ樹脂は、次のものである。
(C-1):前記(1)の骨格を有するエポキシ樹脂(エポキシ当量96)
(C-2):前記(2)の骨格を有するエポキシ樹脂(エポキシ当量113)
(C-3):前記(3)の骨格を有するエポキシ樹脂(エポキシ当量91)
(C-4):前記(4)の骨格を有するエポキシ樹脂(エポキシ当量119)
(C-5):前記(5)の骨格を有するエポキシ樹脂(エポキシ当量120)
(C-6):前記(6)の骨格を有するエポキシ樹脂(エポキシ当量130)
(C-7):前記(7)の骨格を有するエポキシ樹脂(エポキシ当量130)
In Tables 1 to 3, (C) epoxy resins having an epoxy equivalent of 130 or less are as follows.
(C-1): an epoxy resin having the skeleton of (1) (epoxy equivalent 96)
(C-2): epoxy resin having the skeleton of (2) (epoxy equivalent: 113)
(C-3): Epoxy resin having the skeleton of (3) (epoxy equivalent 91)
(C-4): an epoxy resin having the skeleton of (4) (epoxy equivalent: 119)
(C-5): epoxy resin having the skeleton of (5) (epoxy equivalent: 120)
(C-6): an epoxy resin having the skeleton of (6) (epoxy equivalent: 130)
(C-7): epoxy resin having the skeleton of (7) (epoxy equivalent: 130)
また表1~3の硬化樹脂組成物は、(C)エポキシ当量が130以下のエポキシ樹脂以外のエポキシ樹脂として次のエポキシ樹脂(C-8)~(C-12)を含むことがある。
(C-8):下記シルセスキオキサン骨格を有する特殊エポキシ樹脂
(C-9)ダウケミカル社製DEN431(フェノールノボラックエポキシ樹脂)
(C-10)DIC社製N-870 75EA(ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂)
(C-11)DIC社製EXA-7241(トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂)
(C-12)下記骨格を有する特殊エポキシ樹脂
The cured resin compositions in Tables 1 to 3 may contain the following epoxy resins (C-8) to (C-12) as epoxy resins other than (C) epoxy resins having an epoxy equivalent of 130 or less.
(C-8): Special epoxy resin having the following silsesquioxane skeleton
(C-9) DEN431 manufactured by Dow Chemical Co. (phenol novolac epoxy resin)
(C-10) N-870 75EA manufactured by DIC (bisphenol A novolak type epoxy resin)
(C-11) DIC EXA-7241 (trisphenolmethane type epoxy resin)
(C-12) Special epoxy resin having the following skeleton
表1~3における無機フィラーは、次のようにして調製または調達した。
[(D-1) 無機処理→メタクリルシラン処理シリカスラリーの調製]
球状シリカ粒子(デンカ社製SFP-20M、平均粒径:400nm)50gの水スラリーを70℃に昇温後、10%ケイ酸ナトリウム水溶液をシリカ粒子に対して、シリカ粒子換算で1%添加した。このスラリ-に塩酸を加えてpHを4とし、30分間熟成し、さらに、塩酸によりpHを7±1に維持しながら、20%アルミン酸ナトリウム(NaAlO2)水溶液をシリカ粒子に対してアルミナ(Al2O3)換算で5%添加した。この後、20%水酸化ナトリウム水浴液を加え、pHを7に調整し、30分間熟成した。この後、スラリーをフィルタープレスにてろ過水洗し、真空乾燥し、ケイ素の水和酸化物およびアルミニウムの水和酸化物で被覆されたシリカ粒子の固形物を得た。上記と同様にして得られたケイ素の水和酸化物で被覆されたシリカ粒子50gと、溶剤としてPMA48gと、メタクリル基を有するシランカップリング剤(信越化学工業社製KBM-503)2gとを均一分散させたシリカ溶剤分散品を得た。
The inorganic fillers in Tables 1-3 were prepared or procured as follows.
[(D-1) Inorganic treatment → Preparation of methacrylsilane-treated silica slurry]
A water slurry of 50 g of spherical silica particles (SFP-20M manufactured by Denka, average particle size: 400 nm) was heated to 70° C., and then 1% of a 10% sodium silicate aqueous solution was added to the silica particles in terms of silica particles. . Hydrochloric acid was added to this slurry to adjust the pH to 4, and the slurry was aged for 30 minutes. Further, while maintaining the pH at 7±1 with hydrochloric acid, a 20% sodium aluminate (NaAlO 2 ) aqueous solution was added to the silica particles to form alumina ( 5% in terms of Al 2 O 3 ) was added. After this, a 20% aqueous sodium hydroxide solution was added to adjust the pH to 7 and aged for 30 minutes. Thereafter, the slurry was filtered with a filter press, washed with water, and dried in a vacuum to obtain a solid of silica particles coated with hydrated oxide of silicon and hydrated oxide of aluminum. 50 g of silica particles coated with hydrated oxide of silicon obtained in the same manner as above, 48 g of PMA as a solvent, and 2 g of a silane coupling agent having a methacrylic group (KBM-503 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) were uniformly mixed. A dispersed silica solvent dispersion was obtained.
[(D-2) 無機処理シリカスラリーの調製]
球状シリカ粒子(デンカ社製SFP-20M、平均粒径:400nm)50gの水スラリーを70℃に昇温後、10%ケイ酸ナトリウム水溶液をシリカ粒子に対して、シリカ粒子換算で1%添加した。このスラリ-に塩酸を加えてpHを4とし、30分間熟成し、さらに、塩酸によりpHを7±1に維持しながら、20%アルミン酸ナトリウム(NaAlO2)水溶液をシリカ粒子に対してアルミナ(Al2O3)換算で5%添加した。この後、20%水酸化ナトリウム水浴液を加え、pHを7に調整し、30分間熟成した。この後、スラリーをフィルタープレスにてろ過水洗し、真空乾燥し、ケイ素の水和酸化物およびアルミニウムの水和酸化物で被覆されたシリカ粒子の固形物を得た。上記と同様にして得られたケイ素の水和酸化物で被覆されたシリカ粒子50gと、溶剤としてPMA48gと、分散剤(BYK-111)2gとを均一分散させたシリカ溶剤分散品を得た。
[(D-3)メタクリルシラン処理シリカスラリーの調製]
球状シリカ粒子(デンカ社製SFP-20M、平均粒径:400nm)50gと、溶剤としてPMA48gと、メタクリル基を有するシランカップリング剤(信越化学工業社製KBM-503)2gとを均一分散させたシリカ溶剤分散品を得た。
[(D-4)シリカスラリーの調製]
球状シリカ粒子(デンカ社製SFP-20M、平均粒径:400nm)50gと、溶剤としてPMA48gと、分散剤(BYK-111)2gとを均一分散させたシリカ溶剤分散品を得た。
[(D-5) 無機処理→メタクリルシラン処理硫酸バリウムスラリーの調製]
硫酸バリウム粒子(堺化学工業社製沈降性バリウム100)50gの水スラリーを70℃に昇温後、10%ケイ酸ナトリウム水溶液をシリカ粒子に対して、シリカ粒子換算で1%添加した。このスラリ-に塩酸を加えてpHを4とし、30分間熟成し、さらに、塩酸によりpHを7±1に維持しながら、20%アルミン酸ナトリウム(NaAlO2)水溶液をシリカ粒子に対してアルミナ(Al2O3)換算で5%添加した。この後、20%水酸化ナトリウム水浴液を加え、pHを7に調整し、30分間熟成した。この後、スラリーをフィルタープレスにてろ過水洗し、真空乾燥し、ケイ素の水和酸化物およびアルミニウムの水和酸化物で被覆された硫酸バリウム粒子の固形物を得た。上記と同様にして得られたケイ素の水和酸化物で被覆された硫酸バリウム粒子50gと、溶剤としてPMA48gと、メタクリル基を有するシランカップリング剤(信越化学工業社製KBM-503)2gとを均一分散させたシリカ溶剤分散品を得た。
[(D-6) 無機処理硫酸バリウムスラリーの調製]
硫酸バリウム粒子(堺化学工業社製沈降性バリウム100)50gの水スラリーを70℃に昇温後、10%ケイ酸ナトリウム水溶液をシリカ粒子に対して、シリカ粒子換算で1%添加した。このスラリ-に塩酸を加えてpHを4とし、30分間熟成し、さらに、塩酸によりpHを7±1に維持しながら、20%アルミン酸ナトリウム(NaAlO2)水溶液をシリカ粒子に対してアルミナ(Al2O3)換算で5%添加した。この後、20%水酸化ナトリウム水浴液を加え、pHを7に調整し、30分間熟成した。この後、スラリーをフィルタープレスにてろ過水洗し、真空乾燥し、ケイ素の水和酸化物およびアルミニウムの水和酸化物で被覆された硫酸バリウム粒子の固形物を得た。上記と同様にして得られたケイ素の水和酸化物で被覆された硫酸バリウム粒子50gと、溶剤としてPMA48gと、分散剤(BYK-111)2gとを均一分散させたシリカ溶剤分散品を得た。
[(D-7)メタクリルシラン処理硫酸バリウムスラリーの調製]
硫酸バリウム粒子(堺化学工業社製沈降性バリウム100)50gと、溶剤としてPMA48gと、メタクリル基を有するシランカップリング剤(信越化学工業社製KBM-503)2gとを均一分散させた硫酸バリウム溶剤分散品を得た。
[(D-8)硫酸バリウムスラリーの調製]
硫酸バリウム粒子(堺化学工業社製沈降性バリウム100)50gと、溶剤としてPMA48gと、分散剤(BYK-111)2gとを均一分散させた硫酸バリウム溶剤分散品を得た。
[(D-2) Preparation of inorganically treated silica slurry]
A water slurry of 50 g of spherical silica particles (SFP-20M manufactured by Denka, average particle size: 400 nm) was heated to 70° C., and then 1% of a 10% sodium silicate aqueous solution was added to the silica particles in terms of silica particles. . Hydrochloric acid was added to this slurry to adjust the pH to 4, and the slurry was aged for 30 minutes. Further, while maintaining the pH at 7±1 with hydrochloric acid, a 20% sodium aluminate (NaAlO 2 ) aqueous solution was added to the silica particles to form alumina ( 5% in terms of Al 2 O 3 ) was added. After this, a 20% aqueous sodium hydroxide solution was added to adjust the pH to 7 and aged for 30 minutes. Thereafter, the slurry was filtered with a filter press, washed with water, and dried in a vacuum to obtain a solid of silica particles coated with hydrated oxide of silicon and hydrated oxide of aluminum. A silica solvent dispersion product was obtained by uniformly dispersing 50 g of silica particles coated with a hydrated oxide of silicon obtained in the same manner as above, 48 g of PMA as a solvent, and 2 g of a dispersant (BYK-111).
[(D-3) Preparation of methacrylsilane-treated silica slurry]
50 g of spherical silica particles (SFP-20M manufactured by Denka, average particle size: 400 nm), 48 g of PMA as a solvent, and 2 g of a silane coupling agent having a methacrylic group (KBM-503 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) were uniformly dispersed. A silica solvent dispersion was obtained.
[(D-4) Preparation of silica slurry]
A silica solvent dispersion product was obtained by uniformly dispersing 50 g of spherical silica particles (SFP-20M manufactured by Denka, average particle size: 400 nm), 48 g of PMA as a solvent, and 2 g of a dispersant (BYK-111).
[(D-5) Inorganic treatment → preparation of methacrylsilane-treated barium sulfate slurry]
After heating an aqueous slurry of 50 g of barium sulfate particles (precipitated barium 100 manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.) to 70° C., 10% sodium silicate aqueous solution was added to the silica particles in an amount of 1% in terms of silica particles. Hydrochloric acid was added to this slurry to adjust the pH to 4, and the slurry was aged for 30 minutes. Further, while maintaining the pH at 7±1 with hydrochloric acid, a 20% sodium aluminate (NaAlO 2 ) aqueous solution was added to the silica particles to form alumina ( 5% in terms of Al 2 O 3 ) was added. After this, a 20% aqueous sodium hydroxide solution was added to adjust the pH to 7 and aged for 30 minutes. Thereafter, the slurry was filtered with a filter press, washed with water, and dried in a vacuum to obtain a solid of barium sulfate particles coated with hydrated oxide of silicon and hydrated oxide of aluminum. 50 g of barium sulfate particles coated with hydrated oxide of silicon obtained in the same manner as above, 48 g of PMA as a solvent, and 2 g of a silane coupling agent having a methacrylic group (KBM-503 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.). A uniformly dispersed silica solvent dispersion product was obtained.
[(D-6) Preparation of inorganically treated barium sulfate slurry]
After heating an aqueous slurry of 50 g of barium sulfate particles (precipitated barium 100 manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.) to 70° C., 10% sodium silicate aqueous solution was added to the silica particles in an amount of 1% in terms of silica particles. Hydrochloric acid was added to this slurry to adjust the pH to 4, and the slurry was aged for 30 minutes. Further, while maintaining the pH at 7±1 with hydrochloric acid, a 20% sodium aluminate (NaAlO 2 ) aqueous solution was added to the silica particles to form alumina ( 5% in terms of Al 2 O 3 ) was added. After this, a 20% aqueous sodium hydroxide solution was added to adjust the pH to 7 and aged for 30 minutes. Thereafter, the slurry was filtered with a filter press, washed with water, and dried in a vacuum to obtain a solid of barium sulfate particles coated with hydrated oxide of silicon and hydrated oxide of aluminum. A silica solvent dispersion product was obtained by uniformly dispersing 50 g of barium sulfate particles coated with hydrated oxide of silicon obtained in the same manner as above, 48 g of PMA as a solvent, and 2 g of a dispersant (BYK-111). .
[(D-7) Preparation of methacrylsilane-treated barium sulfate slurry]
A barium sulfate solvent prepared by uniformly dispersing 50 g of barium sulfate particles (precipitated barium 100 manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.), 48 g of PMA as a solvent, and 2 g of a silane coupling agent having a methacrylic group (KBM-503 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.). A dispersed product was obtained.
[(D-8) Preparation of barium sulfate slurry]
A barium sulfate solvent-dispersed product was obtained by uniformly dispersing 50 g of barium sulfate particles (precipitated barium 100 manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.), 48 g of PMA as a solvent, and 2 g of a dispersant (BYK-111).
また表1~3の硬化樹脂組成物は、次の成分を含むことがある。
・日本化薬社製DPHA(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート)
・日弘ビックス社製CZ-601D(青色着色剤)、着色剤含有量12質量%
・日弘ビックス社製CZ-309D(黄色着色剤)、着色剤含有量10質量%
・DICY(ジシアンジアミド)
The cured resin compositions of Tables 1-3 may also contain the following components.
・DPHA (dipentaerythritol hexaacrylate) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.
・ CZ-601D (blue colorant) manufactured by Nikko Bix Co., Ltd., colorant content 12% by mass
・ CZ-309D (yellow coloring agent) manufactured by Nikko Bix Co., Ltd., coloring agent content 10% by mass
・DICY (dicyandiamide)
(ドライフィルムの作製)
表1~3に示す各実施例、各比較例の硬化性樹脂組成物は、それぞれ実施例、比較例ごとに硬化性樹脂組成物を、ダイコーターを用いてPET上に10m/minで60~120℃の乾燥炉を通過させ、溶剤を揮発させることによりドライフィルムを得た。
(Preparation of dry film)
The curable resin composition of each example and each comparative example shown in Tables 1 to 3 was coated on PET at 10 m / min using a die coater. A dry film was obtained by passing through a drying oven at 120° C. to volatilize the solvent.
(標準評価基板の作製)
上記の方法で得られたドライフィルムを真空ラミネーターCVP-300(ニッコーマテリアルズ社製)を用いて試験基板にラミネートし、感光性樹脂組成物の積層体を得た。この積層体にDXP-3580(ORC社製、超高圧水銀灯DI露光機)を用いてStouffer41段ステップタブレットで10段の硬化段数になるよう評価項目にあわせてパターン露光を実施した。露光後10分後にPETフィルムを剥離させ、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液でブレイクポイント(最短現像時間)の2倍の現像時間で現像を行った。その後UVコンベア(ORC社製、メタルハライドランプ)で2000mJで露光、熱循環式Box炉で170℃60分硬化させることにより評価基板を得た。
(Preparation of standard evaluation board)
The dry film obtained by the above method was laminated on a test substrate using a vacuum laminator CVP-300 (manufactured by Nikko Materials Co., Ltd.) to obtain a laminate of the photosensitive resin composition. Using DXP-3580 (manufactured by ORC Co., Ltd., ultra-high pressure mercury lamp DI exposure machine), the laminate was subjected to pattern exposure with a Stouffer 41-step tablet so as to obtain 10 curing steps according to the evaluation items. After 10 minutes from the exposure, the PET film was peeled off, and development was carried out with a 1% by mass sodium carbonate aqueous solution at 30° C. for a development time twice the break point (shortest development time). After that, the substrate was exposed at 2000 mJ with a UV conveyor (a metal halide lamp manufactured by ORC) and cured at 170° C. for 60 minutes in a thermal circulation box furnace to obtain an evaluation substrate.
<ガラス転移温度Tgおよび熱膨張係数CTE>
銅箔基板上に、各硬化性樹脂組成物が膜厚約40μmになるように形成し、50mm×3mmの短冊状のパターンで露光を行った。その後、既定の条件で現像、硬化を実施した。
上記により得られた評価基板の硬化被膜を銅箔より剥離し、評価を実施した。測定は、TMA測定装置 (島津製作所社製 機種名:TMA6000)を用いて行い、TgとCTEα1(0℃-50°)、CTEα2(200℃-250℃)ついて評価を行った。評価基準は以下の通りである。
Tg
◎…180℃以上
○…170℃以上180未満
△…160℃以上170未満
×…160℃未満
CTEα1
◎…35ppm未満
○…35ppm以上40ppm未満
△…40ppm以上45ppm未満
×…45ppm以上
CTEα2
◎…100ppm未満
○…100ppm以上105ppm未満
△…105ppm以上110ppm未満
×…110ppm以上
<Glass transition temperature Tg and coefficient of thermal expansion CTE>
Each curable resin composition was formed on a copper foil substrate so as to have a film thickness of about 40 μm, and exposed in a strip-shaped pattern of 50 mm×3 mm. After that, development and curing were performed under predetermined conditions.
The cured film of the evaluation substrate obtained above was peeled off from the copper foil and evaluated. The measurement was performed using a TMA measurement device (manufactured by Shimadzu Corporation, model name: TMA6000), and Tg, CTEα1 (0° C.-50°) and CTEα2 (200° C.-250° C.) were evaluated. Evaluation criteria are as follows.
Tg
◎ ... 180 ° C. or higher ○ ... 170 ° C. or higher and less than 180 △ ... 160 ° C. or higher and less than 170 × ... less than 160 ° C. CTEα1
◎ ... less than 35 ppm ○ ... 35 ppm or more and less than 40 ppm △ ... 40 ppm or more and less than 45 ppm × ... 45 ppm or more CTEα2
◎ ... less than 100 ppm ○ ... 100 ppm or more and less than 105 ppm △ ... 105 ppm or more and less than 110 ppm × ... 110 ppm or more
<弾性率E>
前記ガラス転移温度Tgの評価方法で記載した方法と同様にして、硬化膜を有する評価基板を得た。
上記により得られた評価基板の硬化膜を銅箔より剥離し、評価を実施した。測定は、DMA測定装置(島津製作所社製、機種名:DMS6100)を用いて行い、250℃におけるE(弾性率)について評価を行った。評価基準は以下の通りである。
◎…1×109Pa以上
○…5×108Pa以上1×109Pa未満
△…1×108Pa以上5×108Pa未満
×…1×108Pa未満
<Modulus E>
An evaluation substrate having a cured film was obtained in the same manner as in the evaluation method of the glass transition temperature Tg.
The cured film of the evaluation substrate obtained above was peeled off from the copper foil and evaluated. The measurement was performed using a DMA measurement device (manufactured by Shimadzu Corporation, model name: DMS6100), and the E (elastic modulus) at 250°C was evaluated. Evaluation criteria are as follows.
⊚: 1 × 10 9 Pa or more ○: 5 × 10 8 Pa or more and less than 1 × 10 9 Pa △: 1 × 10 8 Pa or more and less than 5 × 10 8 Pa x: less than 1 × 10 8 Pa
<強靭性評価(樹脂層を備える銅箔基板の作製)>
銅箔基板上に、硬化性樹脂組成物が膜厚約40μmになるように形成し、80mm×10mmの短冊状のパターンで露光を行った。その後、既定の条件で現像、硬化を実施した。
上記により得られた評価基板の硬化被膜を銅箔より剥離し、評価を実施した。測定は、引張試験機(島津製作所社製 機種名:AGS-G 100N)を用いて行い、最大点応力または破断点伸び率について評価を行った。評価基準は以下の通りである。
◎…最大点応力80MPa以上、または破断点伸び率6%以上
○…最大点応力70MPa以上80MPa未満、または破断点伸び率4%以上6%未満
△…最大点応力50MPa以上70MPa未満、破断点伸び率2%以上4%未満
×…最大点応力50MPa未満、または破断点伸び率2%未満
<Toughness evaluation (preparation of copper foil substrate with resin layer)>
A curable resin composition was formed on a copper foil substrate so as to have a film thickness of about 40 μm, and was exposed in a strip-shaped pattern of 80 mm×10 mm. After that, development and curing were performed under predetermined conditions.
The cured film of the evaluation substrate obtained above was peeled off from the copper foil and evaluated. The measurement was performed using a tensile tester (manufactured by Shimadzu Corporation, model name: AGS-G 100N), and the maximum point stress or elongation at break was evaluated. Evaluation criteria are as follows.
◎: Maximum stress of 80 MPa or more, or elongation at break of 6% or more ○: Maximum stress of 70 MPa or more and less than 80 MPa, or elongation at break of 4% or more and less than 6% △: Maximum stress of 50 MPa or more and less than 70 MPa, elongation at break rate 2% or more and less than 4% × ... maximum point stress less than 50 MPa, or elongation at break less than 2%
<解像性評価>
CZ-8101Bでエッチングレート1.0μm/m2の条件で処理されためっき銅基板に、硬化性樹脂組成物を膜厚約20μmになるように形成し、各種開口パターンで露光を行った。その後、既定の条件で現像、評価条件で硬化を実施した。
上記により得られた評価基板の開口径を観測し、ハレーション、アンダーカットの発生がない確認し評価を行った。
◎…60μmにて良好な開口径
○…70μmにて良好な開口径
△…80μmにて良好な開口径
×…80μmにて良好な開口径がえられない、または現像不可
<Resolution evaluation>
A curable resin composition was formed to a film thickness of about 20 μm on a plated copper substrate treated with CZ-8101B at an etching rate of 1.0 μm/m 2 and exposed with various opening patterns. Thereafter, development was performed under predetermined conditions, and curing was performed under evaluation conditions.
The opening diameter of the evaluation substrate obtained above was observed, and evaluation was performed by confirming that there was no occurrence of halation or undercut.
⊚: Good opening diameter at 60 µm ○: Good opening diameter at 70 µm △: Good opening diameter at 80 µm ×: No good opening diameter at 80 µm or development impossible
<HAST耐性>
CZ-8101Bでエッチングレート1.0μm/m2の条件で処理されたL/S=20/20μmの櫛形パターンが形成された基板に硬化性樹脂組成物を膜厚約20μmになるように形成し、全面露光を行った。その後、既定の条件で現像、硬化を実施した。
その後電極をつなぎ130℃、85%、5Vの条件でHAST試験を実施。
◎:400h pass
○:350h pass
△:300h pass
×:250h以内でNG
<HAST resistance>
A curable resin composition was formed to a film thickness of about 20 μm on a substrate having a comb pattern of L/S=20/20 μm which had been treated with CZ-8101B at an etching rate of 1.0 μm/m 2 . , a full-surface exposure was performed. After that, development and curing were performed under predetermined conditions.
After that, the electrodes were connected and a HAST test was performed under the conditions of 130°C, 85%, and 5V.
◎: 400h pass
○: 350h pass
△: 300h pass
×: NG within 250 hours
<高電圧HAST耐性(B-HAST耐性)>
CZ-8101Bでエッチングレート1.0μm/m2の条件で処理されたL/S=20/20μmの櫛形パターンが形成された基板に硬化性樹脂組成物を膜厚約20μmになるように形成し、全面露光を行った。その後、既定の条件で現像、硬化を実施した。
その後電極をつなぎ130度、85%、15Vの条件でHAST試験を実施。
◎:300h pass
○:250h pass
△:200h pass
×:150h以内でNG
<High voltage HAST resistance (B-HAST resistance)>
A curable resin composition was formed to a film thickness of about 20 μm on a substrate having a comb pattern of L/S=20/20 μm which had been treated with CZ-8101B at an etching rate of 1.0 μm/m 2 . , a full-surface exposure was performed. After that, development and curing were performed under predetermined conditions.
After that, the electrodes were connected and the HAST test was performed under the conditions of 130 degrees, 85%, and 15V.
◎: 300h pass
○: 250h pass
△: 200h pass
×: NG within 150 hours
<クラック耐性(TCT耐性)>
CZ-8101Bでエッチングレート1.0μm/m2の条件で処理されたパッケージ基板上に、硬化性樹脂組成物をCu上膜厚約18μmになるように形成し、銅パッド上にSRO80μm露光を行った。その後、既定の条件で現像、硬化を実施した。その後、Auめっき処理、はんだバンプ形成、Siチップを実装し、評価基板を得た。
上記により得られた評価基板を、-65℃と150℃の間で温度サイクルが行われる冷熱サイクル機に入れ、TCT(Thermal Cycle Test)を行った。そして、600サイクル時、800サイクル時および1000サイクル時の硬化被膜の表面を観察した。判定基準は以下の通りである。
◎:1000サイクルで異常なし
○:800サイクルで異常なし、1000サイクルでクラック発生
△:600サイクルで異常なし、800サイクルでクラック発生
×:600サイクルでクラック発生
<Crack resistance (TCT resistance)>
On a package substrate treated with CZ-8101B at an etching rate of 1.0 μm/m 2 , a curable resin composition was formed to a film thickness of about 18 μm on Cu, and the copper pad was exposed to SRO 80 μm. rice field. After that, development and curing were performed under predetermined conditions. After that, Au plating treatment, solder bump formation, and Si chip mounting were performed to obtain an evaluation substrate.
The evaluation substrate obtained above was placed in a thermal cycler in which temperature cycles were performed between −65° C. and 150° C., and a TCT (Thermal Cycle Test) was performed. Then, the surface of the cured film after 600 cycles, 800 cycles and 1000 cycles was observed. Judgment criteria are as follows.
◎: No abnormalities after 1000 cycles ○: No abnormalities after 800 cycles, cracks after 1000 cycles △: No abnormalities after 600 cycles, cracks after 800 cycles ×: Cracks after 600 cycles
表1~3に示す結果から、本発明の実施例1~23、参考例1~5の硬化性樹脂組成物の硬化物は、クラック耐性および絶縁信頼性に優れ、特に高電圧における絶縁信頼性に優れることがわかる。これに対し、比較例1~4の硬化性樹脂組成物を用いると、高電圧における絶縁信頼性を得ることが困難であった。 From the results shown in Tables 1 to 3, the cured products of the curable resin compositions of Examples 1 to 23 and Reference Examples 1 to 5 of the present invention are excellent in crack resistance and insulation reliability, especially insulation reliability at high voltage. It can be seen that it is superior to In contrast, when the curable resin compositions of Comparative Examples 1 to 4 were used, it was difficult to obtain insulation reliability at high voltage.
Claims (6)
(B)光重合開始剤と、
(C)エポキシ当量が100以下のグリシジルエーテル基を有するエポキシ樹脂と、
(D)無機フィラーと、
を含有することを特徴とする硬化性樹脂組成物。 (A) a carboxyl group-containing resin;
(B) a photoinitiator;
(C) an epoxy resin having a glycidyl ether group with an epoxy equivalent of 100 or less;
(D) an inorganic filler;
A curable resin composition comprising:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018070402A JP7216483B2 (en) | 2018-03-30 | 2018-03-30 | Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018070402A JP7216483B2 (en) | 2018-03-30 | 2018-03-30 | Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019179231A JP2019179231A (en) | 2019-10-17 |
JP7216483B2 true JP7216483B2 (en) | 2023-02-01 |
Family
ID=68278510
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018070402A Active JP7216483B2 (en) | 2018-03-30 | 2018-03-30 | Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7216483B2 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021256361A1 (en) * | 2020-06-15 | 2021-12-23 | 富士フイルム株式会社 | Coloring composition, film, color filter, solid-state imaging element and image display device |
US20230047699A1 (en) * | 2020-11-17 | 2023-02-16 | Showa Denko Materials Co., Ltd. | Photosensitive resin composition, photosensitive resin film, multilayered printed wiring board, semiconductor package, and method for producing multilayered printed wiring board |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009145882A (en) | 2007-11-22 | 2009-07-02 | Dainippon Printing Co Ltd | Negative resist composition for batch formation of different members |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002107921A (en) * | 2000-09-29 | 2002-04-10 | Nippon Shokubai Co Ltd | Photosensitive resin composition |
JP6463079B2 (en) * | 2014-03-18 | 2019-01-30 | 太陽インキ製造株式会社 | Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board |
-
2018
- 2018-03-30 JP JP2018070402A patent/JP7216483B2/en active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009145882A (en) | 2007-11-22 | 2009-07-02 | Dainippon Printing Co Ltd | Negative resist composition for batch formation of different members |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019179231A (en) | 2019-10-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN109073969B (en) | Curable resin composition, dry film, cured product, and printed wiring board | |
JP2013522687A (en) | Photocurable and thermosetting resin composition, and dry film solder resist | |
KR102167486B1 (en) | Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board | |
KR20120060938A (en) | Photo-sensitive resin composition, dry film solder resist, and circuit board | |
JP6951323B2 (en) | Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board | |
WO2020066601A1 (en) | Curable resin composition, dry film, cured product, printed circuit board, and electronic component | |
JP2018173609A (en) | Curable resin composition, dry film, cured product, and printed wiring board | |
JP7216483B2 (en) | Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board | |
WO2019189219A1 (en) | Curable resin composition, dry film, cured product, and printed wiring board | |
KR20190114827A (en) | Curable resin composition, dry film comprising the composition, cured product, and printed wiring board having the cured product | |
JP7339103B2 (en) | Curable resin composition, dry film, cured product, and electronic component | |
JP2020047654A (en) | Curable resin composition, dry film, cured product, and printed wiring board | |
JP6724097B2 (en) | Curable resin composition, dry film, cured product, printed wiring board and electronic component | |
JP2022155116A (en) | Photosensitive resin composition, dry film, hardened material, and electronic component | |
JP7316071B2 (en) | Curable resin compositions, dry films, cured products and electronic components | |
CN114945611A (en) | Curable composition, dry film thereof, and cured product thereof | |
WO2013125854A1 (en) | Radiation curable and thermosettable resin composition, and dry film solder resist | |
TW202415724A (en) | Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board capable of forming a cured product that achieves both good resolution and good crack resistance under harsher conditions than conventional TCT | |
TW202433167A (en) | Photosensitive resin composition, dry film, hardened material and printed wiring board | |
WO2024075714A1 (en) | Photosensitive resin composition, dry film, cured product and printed wiring board | |
WO2023100843A1 (en) | Curable resin composition, cured object, printed wiring board, and method for producing printed wiring board | |
JP2021144097A (en) | Curable resin composition, dry film, cured product, and electronic component | |
CN117908328A (en) | Photosensitive resin composition, dry film, cured product, and printed wiring board | |
TW202003650A (en) | Dry film, cured product, and printed wiring board |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210323 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220301 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220428 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220816 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221014 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20221227 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230120 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7216483 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |