JP7174350B2 - テーブル - Google Patents

Description

本発明は、ガラス板に所定の処理を行う際に、ガラス板を載置するためのテーブルに関する。

ガラス板の製造工程には、ガラス板を所定サイズに切断する切断工程や、ガラス板の切断された端面に対して面取りなどの仕上げ加工を施す端面加工工程が含まれる。

更に、ガラス板の製造工程には、切断工程や端面加工工程の後に、ガラス板の寸法や角部の直角度などを含むガラス板の形状データを測定する形状測定工程が実施される場合もある。

このような様々な加工や測定などの処理を正確にガラス板に行うためには、各処理時にガラス板を位置決めする必要がある。

そこで、例えば、特許文献１には、ガラス板の形状測定時に、ガラス板をフッ素樹脂プレート上に載置した後に、ガラス板をフッ素樹脂プレート上で摺動させることで、ガラス板を位置決めすることが開示されている。

特開２００３－７５１２１号公報

特許文献１では、比較的小寸法のフォトマスク用の方形のガラス板を対象としているが、仮に大寸法化が進められているフラットパネルディスプレイ用のガラス基板などに適用した場合には、大寸法のフッ素樹脂プレートを用いる必要があるため、コストアップは避けられない。

本発明は、大寸法のガラス板であっても、ガラス板の位置決めを容易かつ低コストで実現することを課題とする。

上記の課題を解決するために創案された本発明は、ガラス板に所定の処理を行うために、ガラス板が載置される載置部を有するテーブルであって、載置部が、ガラス板との接触部が第一方向に沿って長尺な第一凸条部と、ガラス板との接触部が第一方向と異なる第二方向に沿って長尺な第二凸条部と、を備えている。

このような構成によれば、ガラス板が、載置部の第一凸条部および第二凸条部によって支持される。第一凸条部の接触部は第一方向に沿って細長いため、ガラス板を第一方向に沿って移動させる際に、第一凸条部はガラス板に対して大きな抵抗にならない。そのため、第一凸条部でガラス板を支持した状態のまま、ガラス板を第一方向にスムーズに移動させることができる。同様に、第二凸条部の接触部は第二方向に沿って細長いため、ガラス板を第二方向に沿って移動させる際に、第二凸条部はガラス板に対して大きな抵抗にならない。そのため、第二凸条部でガラス板を支持した状態のまま、ガラス板を第二方向にスムーズに移動させることができる。したがって、第一凸条部および第二凸条部でガラス板を支持した状態のまま、ガラス板を異なる二方向にスムーズに移動させることができるため、ガラス板を容易に位置決めできる。また、第一凸条部および第二凸条部は、ガラス板の全面を面で支持する場合に比べて支持面積を十分小さくできるため、大寸法のガラス板を支持する場合であっても、支持面積の拡大に伴うコストアップを抑制できる。

上記の構成において、ガラス板が矩形状をなし、第一凸条部の接触部が、ガラス板の対向する一対の辺に沿って延び、第二凸条部の接触部が、ガラス板の対向する他の一対の辺に沿って延びることが好ましい。

このようにすれば、第一方向がガラス板の対向する一対の辺と実質的に平行となり、第二方向がガラス板の対向する他の一対の辺と実質的に平行になる。そのため、ガラス板を各辺に沿った方向にスムーズに移動させることができるため、ガラス板の位置決めが更に容易になる。

上記の構成において、載置部が、ガラス板を支持する球状ローラを更に備えていることが好ましい。

このようにすれば、載置部上でのガラス板の移動がよりスムーズになる。

上記の構成において、第一凸状部の接触部および第二凸条部の接触部が、樹脂で形成されていることが好ましい。

このようにすれば、ガラス板の滑りがよくなるため、ガラス板が破損しにくくなる。

本発明によれば、大寸法のガラス板であっても、ガラス板の位置決めを容易かつ低コストで実現できる。

本発明の実施形態に係るガラス板測定装置を示す平面図である。 第一凸条部の短手方向の断面図である。 （ａ）～（ｄ）は、第一凸条部の変形例を示す短手方向の断面図である。 図１のＡ－Ａ断面図であって、直定規と倣い機構のローラとの接触状態の一例を示す断面図である。 図１のＢ－Ｂ断面図であって、載置治具を用いてガラス板をテーブルに載置する準備工程を示す図である。 本発明の実施形態に係るガラス板測定装置の平面図であって、ガラス板の端面の真直度を測定する真直度測定工程を示す図である。 図６の真直度測定工程において、ガラス板を介して錘を支持部材で支持した状態を示す斜視図である。 図６の真直度測定工程における、距離計の接触子とガラス板の端面との接触状態の一例を示す断面図である。 本発明の実施形態に係るガラス板測定装置の平面図であって、ガラス板の寸法を測定する寸法測定工程を示す図である。 本発明の実施形態に係るガラス板測定装置の平面図であって、ガラス板の直角度を測定する直角度測定工程を示す図である。 図１０の直角度測定工程において、距離計の測定値から直角度を得る方法を説明するための概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス板測定装置の平面図であって、校正治具を用いて寸法測定計を校正する第一校正工程を示す図である。 図１２のＤ－Ｄ断面図であって、校正工程における校正治具の配置態様を示す図である。 図１２のＣ－Ｃ断面図であって、校正治具の支持部とガラス板との高さ方向の位置関係を示す図である。 本発明の実施形態に係るガラス板測定装置の平面図であって、校正治具を用いて距離計を校正する第二校正工程の序盤の状態を示す概略図である。 本発明の実施形態に係るガラス板測定装置の平面図であって、校正治具を用いて距離計を校正する第二校正工程の終盤の状態を示す概略図である。

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。なお、図中のＸＹＺは直交座標系である。Ｘ方向およびＹ方向は水平方向であり、Ｚ方向は鉛直方向である。

図１に示すように、本実施形態に係るガラス板測定装置１は、矩形状のガラス板Ｇの形状データを測定するための装置である。本実施形態では、ガラス板測定装置１は、形状データとして、ガラス板Ｇの少なくとも一つの端面Ｇａ～Ｇｄの真直度と、ガラス板Ｇの縦横寸法（Ｘ方向寸法およびＹ方向寸法）と、ガラス板Ｇの少なくとも一つの角部Ｇ１～Ｇ４で交差する端面Ｇａ～Ｇｄの直角度と、を測定するようになっている。すなわち、ガラス板測定装置１は、真直度測定装置と、寸法測定装置と、直角度測定装置と、を備えている。

（テーブル）
ガラス板測定装置１は、ガラス板Ｇが載置される載置部２ｘを有するテーブル２を基本的な構成として備えている。ガラス板Ｇは、端面Ｇａ，ＧｂがＸ方向と実質的に平行となり、端面Ｇｃ，ＧｄがＹ方向に実質的に平行となるように、テーブル２の載置部２ｘに載置される。

ここで、ガラス板Ｇの厚みは、例えば０．２～１０ｍｍであり、ガラス板Ｇのサイズは、例えば７００ｍｍ×７００ｍｍ～３０００ｍｍ×３０００ｍｍである。ガラス板Ｇは、ダウンドロー法（例えばオーバーフローダウンドロー法）、フロート法などの公知の方法により製造される。ガラス板Ｇは、例えば、液晶ディスプレイなどのフラットパネルディスプレイの基板や、タッチパネルなどのカバーガラスに利用される。

載置部２ｘは、単一又は複数の平面から形成されていてもよいが、本実施形態では、ガラス板Ｇと接触する長尺な接触部を有する第一凸条部２ａおよび第二凸条部２ｂを備えている。

第一凸条部２ａの接触部は、ガラス板Ｇの対向する一対の端面Ｇａ，Ｇｂ、すなわちＸ方向に沿って延びており、第二凸条部２ｂの接触部は、ガラス板Ｇの対向する一対の端面Ｇｃ，Ｇｄ、すなわちＹ方向に沿って延びている。

このようにすれば、第一凸条部２ａの接触部はＸ方向に沿って細長くなるため、ガラス板ＧをＸ方向に沿って移動させる際に、第一凸条部２ａはガラス板Ｇに対して大きな抵抗にならない。そのため、第一凸条部２ａでガラス板Ｇを下方から支持した状態のまま、ガラス板ＧをＸ方向にスムーズに移動（摺動）させることができる。同様に、第二凸条部２ｂの接触部はＹ方向に沿って細長くなるため、ガラス板ＧをＹ方向に沿って移動させる際に、第二凸条部２ｂはガラス板Ｇに対して大きな抵抗にならない。そのため、第二凸条部２ｂでガラス板Ｇを下方から支持した状態のまま、ガラス板ＧをＹ方向にスムーズに移動（摺動）させることができる。したがって、第一凸条部２ａおよび第二凸条部２ｂでガラス板Ｇを支持した状態のまま、ガラス板ＧをＸ方向およびＹ方向の異なる二方向にスムーズに移動させて容易に位置決めすることができる。また、第一凸条部２ａおよび第二凸条部２ｂは、ガラス板Ｇの全面を面で支持する場合に比べて支持面積を小さくできるため、大寸法のガラス板Ｇを支持する場合であっても、載置部２ｘの支持面積の拡大に伴うコストアップを抑制できる。

第一凸条部２ａは、Ｙ方向の複数箇所で、Ｘ方向に間隔を置いて複数設けられており、第二凸条部２ｂは、Ｘ方向の複数箇所で、Ｙ方向に間隔を置いて複数設けられている。すなわち、第一凸条部２ａおよび第二凸条部２ｂは、ガラス板Ｇを安定した姿勢で支持できるように、互いに間隔を置いてテーブル２上に点在している。

第一凸条部２ａおよび第二凸条部２ｂは、ネジなどの締結具（図示しない）によってテーブル２に着脱可能に固定されている。したがって、複数の凸条部２ａ，２ｂのうちの任意の部材を個別に交換できる。

なお、第一凸条部２ａおよび第二凸条部２ｂの配列態様は、特に限定されるものではなく、例えば、碁盤目状や千鳥状などの規則的な配列であってもよいし、不規則的な配列であってもよい。また、第一凸条部２ａの接触部の長手方向および第二凸条部２ｂの接触部の長手方向は、Ｘ方向やＹ方向に限定されるものではなく、互いに異なる方向であればよい。更に、凸条部２ａ，２ｂと異なる方向（例えば、Ｘ方向とのなす角が４５°の方向）に沿って長尺な接触部を有する別の凸条部を更に設けてもよい。

図２に示すように、第一凸条部２ａの短手方向（Ｙ方向）の断面形状は、第一凸条部２ａのテーブル２上での姿勢安定性を考慮し、台形状である。すなわち、第一凸条部２ａは、底部２ａａ側が上部２ａｂ側に比べて幅広になっており、底部２ａａをテーブル２に接地させた状態でテーブル２に固定されている。ここで、第一凸条部２ａの上部２ａｂ（ガラス板Ｇとの接触部）は、平面であってもよいし、曲面であってもよい。あるいは、凸条部２ａの上部２ａｂは、短手方向の幅を狭くして線状としてもよく、この場合、第一凸条部２ａの短手方向（Ｙ方向）の断面形状は、例えば三角形状とすることができる。なお、第一凸条部２ａの短手方向の断面形状は、特に限定されるものではなく、種々の変更が可能である。第一凸条部２ａは、例えば図３（ａ）～（ｄ）に示すような断面形状を採用できる。図３（ａ）では、第一凸条部２ａは、先端部（ガラス板Ｇ側）が台形状であり、基端部（テーブル２側）が矩形状である。図３（ｂ）では、第一凸条部２ａは、凸曲面を構成する半円状である。図３（ｃ）では、第一凸条部２ａは、並列に配列された二本の凸条を有するＵ字状である。図３（ｄ）では、第一凸条部２ａは、ブラシ状であり、つまり、第一凸条部２ａがブラシで構成されてもよい。第二凸条部２ｂの短手方向（Ｘ方向）の断面形状は、特に限定されるものではないが、第一凸条部２ａの短手方向（Ｙ方向）の断面形状と同様の形状を採用できる。

第一凸条部２ａの接触部および第二凸条部２ｂの接触部は、例えばナイロンなどの樹脂であることが好ましい。このようにすれば、ガラス板Ｇが凸条部２ａ，２ｂ上で滑りやすくなる。なお、本実施形態では、第一凸条部２ａおよび第二凸条部２ｂの全体が、樹脂で形成されている。

第一凸条部２ａの接触部の長手方向の寸法（Ｘ方向寸法）および第二凸条部２ｂの接触部の長手方向の寸法（Ｙ方向寸法）は、例えば０．２～２０ｍｍであることが好ましい。また、第一凸条部２ａの接触部の短手方向の寸法（Ｙ方向寸法）および第二凸条部２ｂの接触部の短手方向の寸法（Ｘ方向寸法）は、例えば５～４００ｍｍであることが好ましい。

図１に示すように、本実施形態では、載置部２ｘは、複数の柱状の突起部２ｃを更に備えている。突起部２ｃは、先端部でガラス板Ｇを下方から支持する。突起部２ｃの先端部は、ガラス板Ｇの位置決めを容易にするために、フロート機構を備えていてもよいが、本実施形態では球状ローラで構成されている。突起部２ｃは、互いに間隔を置いてテーブル２上に点在している。なお、突起部２ｃの配列態様は、特に限定されるものではなく、例えば、碁盤目状や千鳥状などの規則的な配列であってもよいし、不規則的な配列であってもよい。また、突起部２ｃの先端部は、非転動体であってもよく、例えば、凸曲面や平面などの任意の形状を取り得る。突起部２ｃは省略してもよい。

（真直度測定装置）
図１に示すように、ガラス板測定装置１は、ガラス板Ｇの端面Ｇａ～Ｇｄの真直度（直進度）を測定するための構成として、距離計３と、保持機構４と、直定規５と、倣い機構６と、をテーブル２上に備えている。ここで、真直度は、直線形状の幾何学的に正しい直線からの狂いの大きさを意味する。

距離計３は、テーブル２の載置部２ｘに載置されたガラス板Ｇの端面Ｇａまでの距離、すなわち、ガラス板Ｇの端面Ｇａの基準位置からの変位を測定するようになっている。ここで、本実施形態では、基準位置は、ガラス板Ｇの端面ＧａのＸ方向両端部の位置に設定されている。つまり、ガラス板Ｇの端面ＧａのＸ方向両端部において距離計３の測定値が零を示すように、距離計３が校正されると共にガラス板Ｇの載置位置が調整されている。

距離計３は、測定対象の端面Ｇａと接触する接触子３ａと、接触子３ａをＹ方向に進退動可能に保持するスピンドル３ｂと、を備える接触式の距離計（例えばダイヤルゲージ）である。本実施形態では、接触子３ａは円筒状のローラであり、ガラス板Ｇの端面Ｇａと接触しながら転動するようになっている（後述する図８を参照）。また、接触子３ａは、測定対象の端面Ｇａ側に付勢されており、測定対象の端面Ｇａに倣うことが可能である。なお、接触子３ａは、例えば、円筒状以外の形状をなす転動体（例えば球状ローラ）や、ガラス板Ｇの端面Ｇａ上を摺動する非転動体（例えば針状部材や円筒状部材など）であってもよい。

保持機構４は、距離計３を、Ｙ方向（ガラス板Ｇの端面Ｇａから離間する方向）およびＸ方向（ガラス板Ｇの端面Ｇａに沿う方向）に移動可能に保持している。

保持機構４は、テーブル２上に設けられたレール４ａに沿ってＸ方向に移動可能な第一ステージ４ｂと、第一ステージ４ｂ上に設けられたレール４ｃに沿ってＹ方向に移動可能な第二ステージ４ｄと、を備えている。第一ステージ４ｂは、手動又は自動でＸ方向に移動可能である。第二ステージ４ｄ上には、距離計３が取り付けられている。なお、第二ステージ４ｄの移動方向は、Ｙ方向と平行であるが、Ｙ方向に対して角度を有してもよい。

保持機構４は、テーブル２上に設けられ、距離計３のＸ方向における位置を示すスケール４ｅを更に備えている。本実施形態では、スケール４ｅ上には、距離計３による測定位置を示す所定のマークが等間隔で付されている。なお、スケール４ｅの配置位置は、例えば直定規５上などの任意の位置を取り得る。スケール４ｅは省略してもよい。

直定規５は、テーブル２上にＸ方向に沿って設けられている。直定規５の真直度は、予め測定されて記録されている。

倣い機構６は、保持機構４に取り付けられた距離計３を直定規５に沿わせるための機構である。倣い機構６は、押圧部材６ａと、バネ６ｂと、を備えている。

押圧部材６ａは、基端部が第二ステージ４ｄに取り付けられて、先端部が直定規５と接触するようになっている。

バネ６ｂは、第二ステージ４ｄを直定規５側に引き寄せるように、第一ステージ４ｂと第二ステージ４ｄとの間に跨って設けられている。このようなバネ６ｂの引き寄せ力により、押圧部材６ａが直定規５に押圧されるため、距離計３のＸ方向位置が安定する。なお、バネ６ｂは、第二ステージ４ｄを押して直定規５側に寄せるように設けてもよい。また、バネ６ｂは、例えばゴムなどの他の弾性体であってもよいし、省略してもよい。

図４に示すように、押圧部材６ａは、先端部に円筒状のローラ６ｃを備えている。直定規５は、ローラ６ｃを受け入れる凹状の案内溝５ａを備えている。すなわち、ローラ６ｃは、案内溝５ａに受け入れられた状態で、直定規５上を転動するようになっている。本実施形態では、直定規５の真直度として、案内溝５ａの真直度が予め測定されて記録されている。なお、押圧部材６ａの先端部は、例えば、円筒状以外の形状をなす転動体（例えば球状ローラ）や、直定規５上を摺動する非転動体（例えば球状部材や円筒状部材など）であってもよい。

（寸法測定装置）
図１に示すように、ガラス板測定装置１は、ガラス板ＧのＸ方向寸法およびＹ方向寸法を測定するための構成として、第一ピン７と、第二ピン８と、第一寸法測定計９と、第二寸法測定計１０と、をテーブル２上に備えている。

第一ピン７は、テーブル２の載置部２ｘに載置されたガラス板ＧのＹ方向と実質的に平行な端面Ｇｃに接触するようになっている。第二ピン８は、テーブル２の載置部２ｘに載置されたガラス板ＧのＸ方向と実質的に平行な端面Ｇａに接触するようになっている。すなわち、第二ピン８は、第一ピン７が接触する端面Ｇｃと略直角に交差する端面Ｇａと接触する。

第一寸法測定計９は、Ｙ方向と実質的に平行な端面Ｇｃ，Ｇｄの間の寸法、すなわち、ガラス板ＧのＸ方向寸法（第一寸法）を測定するようになっている。第二寸法測定計１０は、Ｘ方向と実質的に平行な端面Ｇａ，Ｇｂの間の寸法、すなわち、ガラス板ＧのＹ方向寸法（第二寸法）を測定するようになっている。

第一寸法測定計９は、端面Ｇｄと接触する接触子９ａと、接触子９ａをＸ方向に進退動可能に保持するスピンドル９ｂと、を備える接触式の距離計（例えばダイヤルゲージ）である。同様に、第二寸法測定計１０は、端面Ｇｂと接触する接触子１０ａと、接触子１０ａをＹ方向に進退動可能に保持するスピンドル１０ｂと、を備える接触式の距離計（例えばダイヤルゲージ）である。本実施形態では、接触子９ａ，１０ａは円筒状の非転動体である。なお、接触子９ａ，１０ａは、例えば、円筒状以外の形状をなす非転動体（例えば球状部材や針状部材）や、転動体（例えば円筒状ローラや球状ローラ）であってもよい。

第一寸法測定計９は、そのＸ方向位置を調整可能な第一位置調整機構Ｆ上に設けられている。これにより、寸法の異なるガラス板Ｇを測定可能なように、第一寸法測定計９の位置を容易に変更できる。また、ガラス板Ｇの寸法以外の他の形状データを測定する際などに、第一寸法測定計９を邪魔にならない位置まで退避させることができる。第一位置調整機構Ｆは、第一寸法測定計９のＸ方向位置を調整可能であれば特に限定されるものではないが、本実施形態では、テーブル２上に設けられた第一レールＦａと、第一レールＦａに沿ってＸ方向に移動可能な第一スライダーＦｂと、を備えている。第一スライダーＦｂは、手動又は自動でＸ方向に移動可能である。第一スライダーＦｂ上には、第一寸法測定計９が取り付けられている。

第二寸法測定計１０は、そのＹ方向位置を調整可能な第二位置調整機構Ｓ上に設けられている。これにより、寸法の異なるガラス板Ｇを測定可能なように、第二寸法測定計１０の位置を容易に変更できる。また、ガラス板Ｇの寸法以外の他の形状データを測定する際などに、第二寸法測定計１０を邪魔にならない位置まで退避させることができる。第二位置調整機構Ｓは、第二寸法測定計１０のＹ方向位置を調整可能であれば特に限定されるものではないが、本実施形態では、テーブル２上に設けられた第二レールＳａと、第二レールＳａに沿ってＹ方向に移動可能な第二スライダーＳｂと、を備えている。第二スライダーＳｂは、手動又は自動でＹ方向に移動可能である。第二スライダーＳｂ上には、第二寸法測定計１０が取り付けられている。

第一ピン７および第一寸法測定計９は二組設けられると共に、第二ピン８および第二寸法測定計１０は二組設けられている。すなわち、ガラス板ＧのＸ方向寸法およびＹ方向寸法のそれぞれが二箇所で測定されるようになっている。なお、Ｘ方向寸法およびＹ方向寸法は、二箇所の平均値としてもよい。

組をなす第一ピン７および第一寸法測定計９の接触子９ａは、Ｘ方向で正対している。すなわち、組をなす第一ピン７および第一寸法測定計９の接触子９ａは、Ｙ方向位置が実質的に同じである。同様に、組をなす第二ピン８および第二寸法測定計１０の接触子１０ａは、Ｙ方向で正対している。すなわち、組をなす第二ピン８および第二寸法測定計１０の接触子１０ａは、Ｘ方向位置が実質的に同じである。

第一ピン７および第二ピン８は、テーブル２に着脱可能に保持されている。本実施形態では、ピン７，８を保持するための係合孔（図示しない）がテーブル２上に設けられている。係合孔は、ガラス板Ｇのサイズが変更された場合に、ピン７，８の取り付け位置を調整できるように、テーブル２の複数箇所に設けられていることが好ましい。

なお、組をなす第一ピン７および第一寸法測定計９、並びに、組をなす第二ピン８および第二寸法測定計１０のいずれか一方を省略し、第一寸法及び第二寸法のいずれか一方のみを測定する構成としてもよい。ガラス板Ｇの縦寸法及び横寸法を効率よく測定する観点では、組をなす第一ピン７および第一寸法測定計９、並びに、組をなす第二ピン８および第二寸法測定計１０の両方を備えることが好ましい。

（直角度測定装置）
図１に示すように、ガラス板測定装置１は、ガラス板Ｇの端面Ｇａ～Ｇｄの直角度を測定するための構成として、第一ピン１１と、第二ピン１２と、距離計１３と、をテーブル２上に備えている。なお、図中の符号１４は、距離計１３を校正するための校正用距離計である。

第一ピン１１は、テーブル２の載置部２ｘに載置されたガラス板ＧのＹ方向と実質的に平行な端面Ｇｃ（第一端面）に接触するようになっている。第二ピン１２は、テーブル２の載置部２ｘに載置されたガラス板ＧのＸ方向と実質的に平行な端面Ｇｂ（第二端面）に接触するようになっている。すなわち、第一ピン１１および第二ピン１２は、直角度を測定する対象である角部Ｇ１で交差する端面Ｇｃ，Ｇｂにそれぞれ接触するようになっている。

第一ピン１１は、Ｙ方向に間隔を置いて設けられた一対のピンで構成されており、第二ピン１２は、Ｘ方向に一つだけ設けられた単一のピンで構成されている。端面Ｇｃは、一対の第一ピン１１と接触することで、一対の第一ピン１１の間を結ぶ直線と平行に保持される。すなわち、端面Ｇｃが予め設定された所定の傾きで保持される。第二ピン１２は、このような端面Ｇｃの傾きを維持しつつ端面Ｇｂと接触する。これにより、一対の第一ピン１１、および第二ピン１２の計三点によって、ガラス板Ｇが位置決めされる。

第一ピン１１および第二ピン１２は、テーブル２に着脱可能に保持されている。本実施形態では、ピン１１，１２を保持するための係合孔（図示しない）がテーブル２上に設けられている。係合孔は、ガラス板Ｇのサイズが変更された場合に、ピン１１，１２の取り付け位置を調整できるように、テーブル２の複数箇所に設けられていることが好ましい。

距離計１３は、第一ピン１１および第二ピン１２によって位置決めされたガラス板Ｇについて、端面Ｇｃと端面Ｇｂとが直角である場合に端面Ｇｂが位置する基準位置（図１１の一点鎖線で示す位置を参照）に対する、実際の端面Ｇｂの位置の変位（基準位置からのＹ方向のずれ）を測定するようになっている。

距離計１３は、端面Ｇｂと接触する接触子１３ａと、接触子１３ａをＹ方向に進退動可能に保持するスピンドル１３ｂと、を備える接触式の距離計（例えばダイヤルゲージ）である。本実施形態では、接触子１３ａは円筒状の非転動体である。なお、接触子１３ａは、例えば、円筒状以外の形状をなす非転動体（例えば球状部材や針状部材）や、転動体（例えば円筒状ローラや球状ローラ）であってもよい。

距離計１３は、第二ピン１２が端面Ｇｂと接触する位置と異なる位置で、端面Ｇｂと接触するようになっている。本実施形態では、距離計１３は、第二ピン１２が端面Ｇｂと接触する位置と、端面Ｇｂが端面Ｇｃと交差する位置との間で、端面Ｇｂと接触するようになっている。

校正用距離計１４も、距離計１３と同様に、端面Ｇｂと接触する接触子１４ａと、接触子１４ａをＹ方向に進退動可能に保持するスピンドル１４ｂと、を備える接触式の距離計（例えばダイヤルゲージ）である。

校正用距離計１４は、第二ピン１２および距離計１３が端面Ｇｂと接触する位置と異なる位置で、端面Ｇｂと接触するようになっている。本実施形態では、校正用距離計１４は、第二ピン１２が端面Ｇｂと接触する位置と、距離計１３が端面Ｇｂと接触する位置との間で、端面Ｇｂと接触するようになっている。

距離計１３，１４は、保持機構（例えばスライド機構）によってＹ方向に移動可能に保持されている。これにより、ガラス板Ｇの直角度以外の他の形状データを測定する際に、距離計１３，１４を邪魔にならない位置まで退避させることができる。また、ガラス板Ｇのサイズが変更された場合に、距離計１３，１４の位置を容易に調整できる。

（載置治具）
図１に示すように、ガラス板測定装置１は、ガラス板Ｇをテーブル２の載置部２ｘに載置するための構成として、ガラス板Ｇを下方から支持する載置治具１５を備えている。載置治具１５は、テーブル２の凸条部２ａ，２ｂおよび突起部２ｃを挿通可能な開口部１５ａを備えた梯子状の部材である。載置治具１５は、ガラス板Ｇを載置治具１５から凸条部２ａ，２ｂおよび突起部２ｃに載せ替えた後、テーブル２上に載置される。なお、凸条部２ａ，２ｂおよび／又は突起部２ｃは、載置治具１５と干渉しなければ、開口部１５ａの内側に加え、開口部１５ａの外側に設けられていてもよい。載置治具１５は、例えば格子状の部材などでもよく、凸条部２ａ，２ｂおよび突起部２ｃを挿通可能な開口部を備えた任意の形状を取り得る。

次に、以上のように構成されたガラス板測定装置１を用いたガラス板測定方法を説明する。

本実施形態に係るガラス板測定方法は、ガラス板Ｇをテーブル２の載置部２ｘに載置する準備工程と、ガラス板Ｇの端面の真直度を測定する真直度測定工程と、ガラス板Ｇの縦横寸法を測定する寸法測定工程と、ガラス板Ｇの端面の直角度を測定する直角度測定工程と、をこの順に備えている。なお、例えば、寸法測定工程、真直度測定工程、直角度測定工程の順に行うなど、準備工程以降のこれら工程の順番は入れ替えてもよい。

（準備工程）
図５に示すように、準備工程では、まず、ガラス板Ｇを載置治具１５に載置した状態でテーブル２の上方位置まで運ぶ（図中の鎖線で示す状態）。次に、この状態から載置治具１５を降下させ、載置治具１５の開口部１５ａに、テーブル２の載置部２ｘの凸条部２ａ，２ｂおよび突起部（球状ローラ）２ｃを挿通させる。この過程で、載置治具１５に載置されたガラス板Ｇが凸条部２ａ，２ｂおよび突起部２ｃにより押し上げられ、ガラス板Ｇが載置治具１５から凸条部２ａ，２ｂおよび突起部２ｃに載せ換えられる。なお、載置治具１５は、テーブル２上に載置した状態で、凸条部２ａ，２ｂおよび突起部２ｃよりも低い。そのため、ガラス板Ｇを載置治具１５から凸条部２ａ，２ｂおよび突起部２ｃに載せ換えた後、載置治具１５をテーブル２上に載置して収容できる。

（真直度測定工程）
図６に示すように、真直度測定工程では、まず、載置部２ｘで支持されたガラス板Ｇの位置決めがなされる。本実施形態では、ガラス板Ｇの端面ＧａのＸ方向一端部とＸ方向他端部とが所定の基準位置に来るようにガラス板Ｇを位置決めする。具体的には、端面ＧａのＸ方向両端部を測定するための第一位置Ｐ１および第二位置Ｐ２で、距離計３により測定される基準位置からの変位が零になるようにガラス板Ｇを位置決めする。このようなガラス板Ｇの位置決め作業において、距離計３を第一位置Ｐ１と第二位置Ｐ２との間で移動させる際は、距離計３の接触子３ａの損耗を防止するために、接触子３ａをガラス板Ｇの端面Ｇａから退避させた状態とすることが好ましい。次に、ガラス板Ｇを位置決めした状態で、ガラス板Ｇが移動しないようにガラス板Ｇ上に錘１６を載置する。その後、スケール４ｅで位置を確認しながら保持機構４により距離計３をＸ方向に所定距離ずつ移動させ、ガラス板Ｇの端面Ｇａの真直度を測定する。なお、錘１６は、真直度測定工程が終了した段階で、ガラス板Ｇの上から取り除く。

図７に示すように、本実施形態では、ガラス板Ｇ上に載置される錘１６は、ガラス板Ｇの端面Ｇａの近傍で、端面Ｇａ（すなわち直定規５）に沿って配置される。テーブル２には、ガラス板Ｇの端面Ｇａの近傍で、端面Ｇａ（すなわち直定規５）に沿って延び、ガラス板Ｇを介して錘１６を支持する支持部材１７が配置されている。これにより、真直度を測定するガラス板Ｇの端面Ｇａの近傍が、錘１６の荷重によって下方に撓むのを防止している。

なお、真直度測定工程では、ピン７，８，１１，１２はテーブル２から取り外すと共に、寸法測定計９，１０および距離計１３，１４は邪魔にならない位置に退避させることが好ましい。寸法測定計９，１０および距離計１３，１４の退避方法としては、例えば、寸法測定計９，１０および距離計１３，１４の各々の全体を退避位置まで後退させる方法や、接触子９ａ，１０ａ，１３ａ，１４ａのみを退避位置まで後退させる方法（図６の状態）などが挙げられる。

図８に示すように、距離計３の接触子３ａは円筒状のローラであり、ガラス板Ｇの端面Ｇａと接触しながら転動する。このようにすれば、接触子３ａの回転に伴って、接触子３ａのうち、ガラス板Ｇの端面Ｇａと接触する部分が順に変化するため、接触子３ａの摩耗を抑制できる。また、接触子３ａが円筒状であるため、ガラス板Ｇの端面Ｇａが傾斜している場合でも、端面Ｇａの最突出部の変位が常に測定される。したがって、距離計３による真直度の測定誤差が小さくなる。なお、接触子３ａの回転軸は、ガラス板Ｇの厚み方向（Ｚ方向）と実質的に平行である。

図６に示すように、距離計３のＹ方向の位置は、直定規５を基準として決定されるため、距離計３で測定されるガラス板Ｇの端面Ｇａの変位（真直度）は、直定規５の真直度の影響を受ける。そのため、測定されたガラス板Ｇの端面Ｇａの真直度Ｓ１と、既知の直定規５の真直度Ｓ２との差（Ｓ１－Ｓ２）が、最終的なガラス板Ｇの端面Ｇａの真直度として記録される。

なお、ガラス板Ｇの端面Ｇａの真直度の測定後に、位置Ｐ１，Ｐ２で距離計３によりガラス板Ｇの端面Ｇａを再度測定し、ガラス板Ｇの位置ずれの有無を確認することが好ましい。すなわち、両方の位置Ｐ１，Ｐ２で距離計３により測定される基準位置からの変位が零であれば、測定前後でガラス板Ｇに位置ずれがないことが確認できる。

上記ではガラス板Ｇの端面Ｇａの真直度を測定する場合を例示したが、ガラス板Ｇの四つの端面Ｇａ～Ｇｄのそれぞれの真直度を測定することが好ましい。この場合、ガラス板Ｇの端面Ｇａの真直度を測定した後に、載置治具１５やその他の手段により、テーブル２に対するガラス板Ｇの向きを変更し、残りの端面Ｇｂ～Ｇｄの真直度を同様の手順で測定する。ガラス板Ｇの四つの端面Ｇａ～Ｇｄのそれぞれの真直度を測定すれば、例えば、ガラス板Ｇの製造工程に含まれる端面加工工程において、ガラス板Ｇの各端面Ｇａ～Ｇｄの真直度に基づいて加工工具の位置を正確に調整できる。そのため、ガラス板Ｇの各端面Ｇａ～Ｇｄを一定研削量で加工し易くなる。なお、このような真直度に基づいて加工工具の位置を調整する方法は、定圧研削を実施する場合にも適用できる。

（寸法測定工程）
図９に示すように、寸法測定工程では、まず、第一ピン７および第二ピン８をガラス板Ｇの端面Ｇａ，Ｇｃに接触させ、載置部２ｘで支持されたガラス板Ｇを位置決めする。この状態で、寸法測定計９，１０の接触子９ａ，１０ａをガラス板Ｇの端面Ｇｂ，Ｇｄに接触させ、ガラス板ＧのＸ方向寸法およびＹ方向寸法を測定する。寸法測定計９，１０の接触子９ａ，１０ａは円筒状であるため、距離計３の接触子３ａと同様に、ガラス板Ｇの端面Ｇｂ，Ｇｄの最突出部の位置が測定される。

ガラス板ＧのＸ方向寸法およびＹ方向寸法は、同時に測定してもよいし、別々に測定してもよい。別々に測定する場合には、例えば、第一ピン７をガラス板Ｇの端面Ｇｃに接触させて、第一寸法測定計９によりガラス板ＧのＸ方向の寸法を測定した後に、第一ピン７および第一寸法測定計９とガラス板Ｇとの接触を解除すると共に、第二ピン８をガラス板Ｇの端面Ｇａに接触させて、第二寸法測定計１０によりガラス板ＧのＹ方向の寸法を測定する。

なお、本実施形態では、Ｘ方向寸法およびＹ方向寸法のそれぞれを二箇所で測定しているが、ピンとこれに正対する寸法測定計の組数は、適宜変更可能である。すなわち、Ｘ方向寸法およびＹ方向寸法のそれぞれは、一箇所のみで測定してもよいし、三箇所以上で測定してもよい。

寸法測定工程では、距離計３，１３，１４を邪魔にならない位置に退避させることが好ましい。距離計３，１３，１４の退避方法としては、例えば、距離計３，１３，１４の各々の全体を退避位置まで後退させる方法や、接触子３ａ，１３ａ，１４ａのみを退避位置まで後退させる方法（図９の状態）などが挙げられる。

（直角度測定工程）
図１０に示すように、直角度測定工程では、まず、第一ピン１１および第二ピン１２をガラス板Ｇの端面Ｇｂ，Ｇｃに接触させ、載置部２ｘで支持されたガラス板Ｇを位置決めする。この状態で、距離計１３の接触子１３ａをガラス板Ｇの端面Ｇｂに接触させ、端面Ｇｂの基準位置からの変位（Ｙ方向の変位）を測定する。距離計１３の接触子１３ａは円筒状であるため、距離計３の接触子３ａと同様に、ガラス板Ｇの端面Ｇａの最突出部の位置が測定される。

距離計１３によって測定された変位は、端面Ｇｃの垂直面に対する端面Ｇｂの傾きに換算され、この傾きは直角度を示す。図１１に示すように、端面Ｇｃの垂直面に対する端面Ｇｂの傾き（直角度）は、例えば、端面Ｇｃと端面Ｇｂとが交差する位置から、端面Ｇｂと端面Ｇｂとが交差する位置までのＹ方向の変位Ｍ（＝ｄ１×ｄ３／ｄ２）、又は端面Ｇｃの垂直面と端面Ｇｂとのなす角θ（＝ｔａｎ^－１(ｄ１／ｄ２)）で表される。ここで、ｄ１は距離計１３により測定されたＹ方向の変位、ｄ２は既知である距離計１３と第二ピン１２との間のＸ方向距離、ｄ３は既知であるガラス板ＧのＸ方向寸法（設計値）である。端面Ｇｃの垂直面に対する端面Ｇｂの傾きは、例えば、距離計１３で測定された変位から演算装置で自動演算するようにしてもよいし、距離計１３で測定された変位を傾きに換算する換算表を予め作成しておき、その換算表から読み取るようにしてもよい。

このように直角度を測定し、製造されるガラス板Ｇの直角度を管理することで、例えば、加工・洗浄・検査などの各種工程（納入先の工程を含む）でガラス板Ｇのアライメント（位置決め）のずれが生じるのを防止できる。

上記ではガラス板Ｇの角部Ｇ１で交差する端面の直角度を測定する場合を例示したが、ガラス板Ｇの四つの角部Ｇ１～Ｇ４のそれぞれで交差する端面の直角度を全て測定するようにしてもよい。この場合、ガラス板Ｇの角部Ｇ１で交差する端面の直角度を測定した後に、載置治具１５やその他の手段により、テーブル２に対するガラス板Ｇの向きを変更し、残りの角部Ｇ２～Ｇ４で交差する端面の直角度を同様の手順で測定する。

なお、直角度測定工程では、ピン７，８はテーブル２から取り外すと共に、距離計３，１４および寸法測定計９，１０は邪魔にならない位置に退避させることが好ましい。距離計３，１４および寸法測定計９，１０の退避方法としては、例えば、距離計３，１４および寸法測定計９，１０の各々の全体を退避位置まで後退させる方法や、接触子３ａ，９ａ，１０ａ，１４ａのみを退避位置まで後退させる方法（図１０の状態）などが挙げられる。

（校正工程）
本実施形態に係るガラス板測定方法は、準備工程の前に、寸法測定工程で使用する寸法測定計９，１０を校正する第一校正工程と、直角度測定で使用する距離計１３を校正する第二校正工程と、を更に備えている。これら校正工程は、ガラス板Ｇの測定の度に毎回実施してもよいし、ガラス板Ｇの測定を所定回数又は所定時間行った後に実施してもよい。また、測定対象のガラス板Ｇのサイズが変わる場合に実施してもよい。もちろん、第一校正工程のみを実施してもよいし、第二校正工程のみを実施してもよい。

図１２及び図１３に示すように、第一校正工程では、棒状の第一校正治具１８を用いて第一寸法測定計９を校正し、棒状の第二校正治具１９を用いて第二寸法測定計１０を校正する。図１２は、第一校正治具１８を用いて第一寸法測定計９を校正する状態を実線で示し、第二校正治具１９を用いて第二寸法測定計１０を校正する状態を鎖線で示している。なお、第一寸法測定計９の校正と第二寸法測定計１０の校正とは別々に実施される。

第一校正治具１８および第二校正治具１９の長さは既知である。本実施形態では、第一校正治具１８の長さは、ガラス板ＧのＸ方向寸法の基準寸法（設計寸法）に設定されており、第二校正治具１９の長さは、ガラス板ＧのＹ方向寸法の基準寸法（設計寸法）に設定されている。なお、校正治具１８，１９自体の校正も定期的（例えば年一回程度）に実施することが好ましい。

第一寸法測定計９の校正時には、第一校正治具１８の一端を第一ピン７に接触させると共に、第一校正治具１８の他端を第一寸法測定計９の接触子９ａに接触させる。第二寸法測定計１０の校正時には、第二校正治具１９の一端を第二ピン８に接触させると共に、第二校正治具１９の他端を第二寸法測定計１０の接触子１０ａに接触させる。

第一寸法測定計９の基準位置（例えば零点）は、接触子９ａが第一校正治具１８と接触する位置に校正され、第二寸法測定計１０の基準位置（例えば零点）は、接触子１０ａが第二校正治具１９と接触する位置に校正される。

本実施形態では、第一寸法測定計９は、ガラス板Ｇの端面Ｇｄの基準位置からの変位を測定し、第二寸法測定計１０は、ガラス板Ｇの端面Ｇｂの基準位置からの変位を測定する。すなわち、各方向の基準寸法と測定された変位（基準寸法よりも短い場合が負の変位、基準寸法よりも長い場合が正の変位）との和が、ガラス板ＧのＸ方向寸法およびＹ方向寸法として記録される。したがって、上記のように寸法測定計９，１０の基準位置を校正すれば、Ｘ方向寸法およびＹ方向寸法の測定精度が向上する。

第一校正治具１８は、小径部１８ａと、小径部１８ａよりも径が大きくなる大径部１８ｂと、を備えている。同様に、第二校正治具１９は、小径部１９ａと、小径部１９ａよりも径が大きくなる大径部１９ｂと、を備えている。小径部１８ａ，１９ａおよび大径部１８ｂ，１９ｂの材質は特に限定されるものではないが、本実施形態では、小径部１８ａ，１９ａは金属で形成されており、大径部１８ｂ，１９ｂはゴムで形成されている。

テーブル２上には、第一校正治具１８の大径部１８ｂを支持する第一支持部２０、および第二校正治具１９の大径部１９ｂを支持する第二支持部２１が設けられている。支持部２０，２１の上面は、円筒状の大径部１８ｂ，１９ｂを支持するために、半円筒状の凹溝が形成されている。校正治具１８，１９の大径部１８ｂ，１９ｂを支持部２０，２１で支持することにより、校正治具１８，１９の高さが自動的に調整される。そのため、寸法測定計９，１０の校正作業が容易になる。

第一支持部２０および第二支持部２１は、テーブル２の載置部２ｘ、すなわち凸条部２ａ，２ｂおよび突起部２ｃよりも低い。これにより、図１４に示すように、校正作業を実施しないときに、これら支持部２０，２１が載置部２ｘに載置されたガラス板Ｇと接触することがない。

図１５及び図１６に示すように、第二校正工程では、第一ピン１１および第二ピン１２と接触可能で、かつ、互いに直角をなす第一保証面２２ａおよび第二保証面２２ｂを有する校正用治具（例えばスコヤ）２２と、第一保証面２２ａを第一ピン１１に接触させた状態で、第二保証面２２ｂの位置の基準位置からの変位を測定する校正用距離計１４と、を用いて、距離計１３を校正する。なお、校正用治具２２自体の校正も定期的（例えば年一回程度）に実施することが好ましい。

距離計１３の校正時に校正用治具２２を正確に設置することは非常に難しく、その作業に熟練を要する。そこで、一対の第一ピン１１に校正用治具２２の第一保証面２２ａを接触させた状態で、校正用治具２２の第二保証面２２ｂに関する、距離計１３および校正用距離計１４の数値が一致していることを確認しながら、校正用治具２２を第二ピン１２側（Ｙ方向）に移動させる。このようにすれば、校正用治具２２を正しい姿勢に維持した状態で、校正用治具２２の第二保証面２２ｂを第二ピン１２に接触させることができる。その結果、校正用治具２２の設置を簡単かつ正確に行うことができる。そして、このように設置された校正用治具２２の第二保証面２２ｂの位置を距離計１３で測定して基準位置（零点）を補正すれば、距離計１３を正しく校正できる。

なお、第二校正工程が終了した後は、校正用距離計１４は、ガラス板Ｇの端面Ｇｂと接触しない位置まで退避させることが好ましい。このようにすれば、距離計１３でガラス板Ｇの端面Ｇｂを測定する際に、校正用距離計１４が距離計１３の測定の邪魔にならない。この際、校正用距離計１４は、上述した方法で退避させる以外に、テーブル２から取り外して退避させてもよい。

ここで、本実施形態に係るガラス板測定方法は、例えばガラス板製造工程の中で実施される。ガラス板製造工程は、ガラス板を成形する成形工程と、成形されたガラス板を所定サイズに切断する切断工程と、ガラス板の切断された端面に対して面取りなどの仕上げ加工を施す端面加工工程とを含む。ガラス板測定方法は、例えば、切断工程および／又は端面加工工程の後に実施される。この場合、ガラス板測定方法の測定試料として、製造途中のガラス板の中から一枚又は複数枚のガラス板を抜き取る。なお、抜き取られたガラス板（測定試料）は、形状データを測定した後に廃棄され、例えばカレットとして再利用される。

以上のように、本実施形態に係るガラス板測定装置１によれば、高度な画像処理等を用いることなく、ガラス板Ｇの端面の真直度、縦横寸法、端面の直角度を含む形状データを簡単かつ確実に測定できる。また、ガラス板Ｇのこれら形状データは、載置部２ｘ上で全て測定できるため、省スペース化を図ることができる。更に、ガラス板Ｇは、凸条部２ａ，２ｂおよび突起部２ｃにより支持されているため、ガラス板Ｇが大寸法の場合であっても、その位置決めを容易かつ低コストで実現できる。

なお、本発明は上記の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、更に種々なる形態で実施し得る。

上記の実施形態では、ガラス板Ｇの端面の真直度を、端面の複数箇所で断続的に測定する場合を説明したが、端面で連続的に測定してもよい。同様に、ガラス板Ｇの寸法を一つの端面の二箇所で測定する場合を説明したが、ガラス板Ｇの寸法は端面の一箇所で測定してもよいし、三箇所以上あるいは端面に沿って連続的に測定してもよい。

上記の実施形態では、ガラス板Ｇの形状データとして、真直度、寸法および直角度を測定する場合を説明したが、形状データはこれに限定されない。例えば、形状データは、真直度、寸法および直角度のいずれか一つのデータのみを含んでいてもよいし、ガラス板Ｇの厚みや反り等の他のデータを含んでいてもよい。

上記の実施形態において、距離計３，１３，１４や寸法測定計９，１０は、光学式（例えばレーザー距離計）などの非接触式の距離計であってもよい。

上記の実施形態では、テーブル２の載置部２ｘにガラス板Ｇを載置した状態で、ガラス板Ｇの形状データを測定する場合を説明したが、載置部２ｘを有するテーブル２は、ガラス板Ｇの切断や端面加工などの他の製造関連処理時にガラス板Ｇを載置するために使用してもよい。

１ ガラス板測定装置
２ テーブル
２ｘ 載置部
２ａ 第一凸条部
２ｂ 第二凸条部
２ｃ 突起部（球状ローラ）
３ 距離計（真直度測定用）
４ 保持機構
５ 直定規
６ 倣い機構
７ 第一ピン（寸法測定用）
８ 第二ピン（寸法測定用）
９ 第一寸法測定計
１０ 第二寸法測定計
１１ 第一ピン（直角度測定用）
１２ 第二ピン（直角度測定用）
１３ 距離計（直角度測定用）
１４ 校正用距離計
１５ 載置治具
１６ 錘
１７ 支持部材
１８ 第一校正治具（寸法測定用）
１９ 第二校正治具（寸法測定用）
２０ 第一支持部
２１ 第二支持部
２２ 校正用治具（直角度測定用）
Ｇ ガラス板
Ｇａ～Ｇｄ 端面
Ｇ１～Ｇ４ 角部
Ｆ 第一位置調整機構
Ｓ 第二位置調整機構

Claims (4)

1. ガラス板に所定の処理を行うために、前記ガラス板が載置される載置部を有するテーブルであって、
   前記載置部は、前記ガラス板との接触部が第一方向に沿って長尺な複数の第一凸条部と、前記ガラス板との接触部が前記第一方向と異なる第二方向に沿って長尺な複数の第二凸条部と、を備え、
   前記複数の第一凸条部および前記複数の第二凸条部は、互いに間隔を置いて前記テーブル上に点在していることを特徴とするテーブル。
2. 前記ガラス板が矩形状をなし、
   前記第一凸条部の前記接触部が、前記ガラス板の対向する一対の辺に沿って延び、前記第二凸条部の前記接触部が、前記ガラス板の対向する他の一対の辺に沿って延びることを特徴とする請求項１に記載のテーブル。
3. 前記載置部が、前記ガラス板を支持する球状ローラを更に備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載のテーブル。
4. 前記第一凸状部の前記接触部および前記第二凸条部の前記接触部が、樹脂で形成されていることを特徴とする請求項１～３のいずれか１項に記載のテーブル。

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