Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

JP7016198B2 - 圧電センサ - Google Patents

圧電センサ Download PDF

Info

Publication number
JP7016198B2
JP7016198B2 JP2021511998A JP2021511998A JP7016198B2 JP 7016198 B2 JP7016198 B2 JP 7016198B2 JP 2021511998 A JP2021511998 A JP 2021511998A JP 2021511998 A JP2021511998 A JP 2021511998A JP 7016198 B2 JP7016198 B2 JP 7016198B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
electrodes
sensitive layer
pair
piezoelectric sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2021511998A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2020203771A1 (ja
Inventor
大介 熊木
純一 東海林
静士 時任
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yamagata University NUC
Original Assignee
Yamagata University NUC
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yamagata University NUC filed Critical Yamagata University NUC
Publication of JPWO2020203771A1 publication Critical patent/JPWO2020203771A1/ja
Priority to JP2022005908A priority Critical patent/JP2022058651A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7016198B2 publication Critical patent/JP7016198B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/16Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B5/00Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
    • A61B5/68Arrangements of detecting, measuring or recording means, e.g. sensors, in relation to patient
    • A61B5/6801Arrangements of detecting, measuring or recording means, e.g. sensors, in relation to patient specially adapted to be attached to or worn on the body surface
    • A61B5/6843Monitoring or controlling sensor contact pressure
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B5/00Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
    • A61B5/103Detecting, measuring or recording devices for testing the shape, pattern, colour, size or movement of the body or parts thereof, for diagnostic purposes
    • A61B5/11Measuring movement of the entire body or parts thereof, e.g. head or hand tremor, mobility of a limb
    • A61B5/1102Ballistocardiography
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/30Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
    • H10N30/302Sensors
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/85Piezoelectric or electrostrictive active materials
    • H10N30/857Macromolecular compositions
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B2562/00Details of sensors; Constructional details of sensor housings or probes; Accessories for sensors
    • A61B2562/02Details of sensors specially adapted for in-vivo measurements
    • A61B2562/0247Pressure sensors
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B5/00Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
    • A61B5/08Detecting, measuring or recording devices for evaluating the respiratory organs
    • A61B5/0816Measuring devices for examining respiratory frequency
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B5/00Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
    • A61B5/68Arrangements of detecting, measuring or recording means, e.g. sensors, in relation to patient
    • A61B5/6887Arrangements of detecting, measuring or recording means, e.g. sensors, in relation to patient mounted on external non-worn devices, e.g. non-medical devices
    • A61B5/6891Furniture
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B5/00Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
    • A61B5/68Arrangements of detecting, measuring or recording means, e.g. sensors, in relation to patient
    • A61B5/6887Arrangements of detecting, measuring or recording means, e.g. sensors, in relation to patient mounted on external non-worn devices, e.g. non-medical devices
    • A61B5/6892Mats

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Medical Informatics (AREA)
  • Surgery (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Biophysics (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • Oral & Maxillofacial Surgery (AREA)
  • Cardiology (AREA)
  • Physiology (AREA)
  • Dentistry (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Pulse, Heart Rate, Blood Pressure Or Blood Flow (AREA)
  • Measurement Of The Respiration, Hearing Ability, Form, And Blood Characteristics Of Living Organisms (AREA)
  • Measuring And Recording Apparatus For Diagnosis (AREA)

Description

この発明は、圧電センサに係り、特に、所定の場所における心拍および呼吸に起因して生体から生じる圧力変化を検出する圧電センサに関する。
従来から、心拍および呼吸などに起因して生体から生じる圧力変化を検出する圧電センサが実用化されている。例えば、圧電センサを病院のベッドに配置することにより、生体からの圧力変化を継時的に検出して、生体の状態を容易に把握することができる。
このような圧電センサとしては、例えば、複数の圧電素子を配置したものが提案されている。複数の圧電素子を配置することで生体の部分的な圧力変化を検出して、生体の状態を精細に把握することができる。しかしながら、それぞれの圧電素子からの電気信号を別々の演算回路で解析するなど、装置構成が複雑化するといった問題があった。
そこで、構成を簡単化する技術として、例えば、特許文献1には、何れの位置においても生体信号を精度良く測定することができる圧電センサ構造体が提案されている。この圧電センサ構造体は、電極がベッドの幅方向に面状に拡がるように形成されているため、広い面積における圧力変化を簡単な構成で検出することができる。
特開2018-33497号公報
しかしながら、特許文献1の圧電センサ構造体は、電極の全面にわたるように感圧層を配置するため、生体の圧力変化に応じて生じた電気信号が電極を伝搬して端子まで到達する間に、感圧層との間で静電結合などが生じて、その波形が変化するおそれがあった。
この発明は、このような従来の問題点を解消するためになされたもので、電極を伝搬する電気信号に対する感圧層の影響を抑制する圧電センサを提供することを目的とする。
この発明に係る圧電センサは、所定の場所における生体からの圧力変化を検出する圧電センサであって、互いに間隔を空けて配置され、面状に拡がるように形成された一対の電極と、一対の電極の間に配置され、圧力変化に応じて電荷を生じる感圧層と、一対の電極にそれぞれ接続され、生体の圧力変化に応じて一対の電極から供給される電気信号を出力するための一対の端子とを備え、一対の電極のうち少なくとも一方の電極は、一対の端子に向かって延びる縁部が感圧層に対して外側に張り出すように配置され、電気信号が縁部を伝搬して一対の端子から出力されるである。
ここで、一対の電極は、それぞれ、縁部が感圧層に対して外側に張り出すように配置されることが好ましい。
また、少なくとも一方の電極は、縁部が全周にわたって感圧層に対して外側に張り出すように配置されることが好ましい。
また、一対の電極は、長尺形状を有し、少なくとも一方の電極は、長手方向に対して交差する方向に感圧層と重なる部分を延びる切れ込みにより互いに分割された複数の検出部を有することが好ましい。
また、複数の検出部は、長手方向に延びる切れ込みによりさらに分割して配置することができる。
また、一対の端子は、一対の電極において短手方向に延びる縁部に接続することができる。
この発明によれば、一対の電極のうち少なくとも一方の電極は、一対の端子に向かって延びる縁部が感圧層に対して外側に張り出すように配置され、電気信号が縁部を伝搬して一対の端子から出力されるので、電極を伝搬する電気信号に対する感圧層の影響を抑制する圧電センサを提供することが可能となる。
この発明の実施の形態1に係る圧電センサを備えた生体情報解析装置の構成を示し、(a)は平面図、(b)は図1(a)のA-A線断面図である。 寝床に圧電センサを配置した様子を示す図である。 実施の形態2に係る圧電センサの構成を示し、(a)は平面図、(b)は図3(a)のB-B線断面図である。 実施の形態3に係る圧電センサの構成を示し、(a)は平面図、(b)は図4(a)のC-C線断面図である。 実施の形態4に係る圧電センサの構成を示す図である。 実施の形態5に係る圧電センサの構成を示す図である。 実施例1の圧電センサを押圧したときの電気信号の強度変化を示すグラフである。 比較例1の圧電センサを押圧したときの電気信号の強度変化を示すグラフである。
以下、この発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
実施の形態1
図1(a)および(b)に、この発明の実施の形態1に係る圧電センサを備えた生体情報解析装置の構成を示す。この生体情報解析装置は、圧電センサ1と、解析部2とを有する。
圧電センサ1は、所定の場所における生体からの圧力変化を検出するもので、一対の電極3aおよび3bと、感圧層4と、一対の端子5aおよび5bとを有する。ここで、圧力変化は、生体全体から加わる大きな圧力変化だけでなく、生体表面の振動などの小さな圧力変化も含むものである。
電極3aおよび3bは、互いに間隔を空けて配置され、同形状の長尺な矩形状に形成されている。電極3aおよび3bは、例えば、金属材料および有機導電性材料などの導電性材料から構成することができる。
感圧層4は、圧力変化に応じて電荷を生じるもので、電極3aおよび3bの間に配置されている。感圧層4は、例えば、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)およびポリ(ビニリデン-トリフルオロエチレン)共重合体(P(VDF-TrFE))などの強誘電性を有する材料から構成することができる。また、感圧層4は、ポリ乳酸およびポリ尿素などの材料、および多孔質フィルムを帯電させたエレクトレット材料などから構成することもできる。
ここで、感圧層4は、電極3aおよび3bより小さな面積で形成されている。具体的には、電極3aおよび3bにおいて長手方向に延びる2の縁部6aおよび6bと、短手方向に延びる2つの縁部6cおよび6dとが感圧層4に対して外側に張り出すように配置、すなわち電極3aおよび3bの縁部6a~6dが全周にわたって感圧層4に対して外側に張り出すように配置されている。これにより、電極3aおよび3bは、電極3aおよび3bの積層方向において感圧層4と重なる部分に感圧層4と電気的に接続された検出部7が配置され、その検出部7の周りを囲むように感圧層4と重ならない縁部6a~6dが配置されることになる。
なお、検出部7は、最も幅広く形成された部分が10cm以上の幅を有するように面状に拡がるように形成することが好ましい。
端子5aおよび5bは、電極3aおよび3bにそれぞれ接続され、生体の圧力変化に応じて電極3aおよび3bから供給される電気信号を解析部2に順次出力する。
解析部2は、端子5aおよび5bから出力される電気信号に基づいて、生体の生体情報を解析するものである。解析部2は、例えば、電気信号の周波数に基づいて、心拍数、呼吸数および体動などの生体情報を算出することができる。
次に、実施の形態1の動作について説明する。
まず、図2に示すように、生体Sが横になるための所定の場所、例えばベッドなどの寝床Lに圧電センサ1が配置される。圧電センサ1は、寝床Lを幅方向にわたるような長尺形状に形成されているため、生体Sから生じる圧力変化を確実に検出することができる。
図1(a)および(b)に示すように、生体Sから生じる圧力変化が圧電センサ1に加わると、生体Sから生じる圧力変化に応じた電気信号が検出部7から供給される。この電気信号は、生体Sから生じる圧力変化が加えられた押圧位置から端子5aおよび5bまで電極3aおよび3bを伝搬することになる。ここで、電極3aおよび3bにおいて検出部7を伝搬した電気信号は、検出部7と感圧層4との間で生じる静電結合の影響で、その強度が大きく減衰するおそれがある。特に、検出部7において端子5aおよび5bから遠い押圧位置P2が押圧された場合に、端子5aおよび5bに近い押圧位置P1が押圧された場合と比較して、電気信号の伝搬距離が長いため感圧層4との間で生じる静電結合の影響をより大きく受けることになる。
そこで、電極3aおよび3bには、押圧位置P2から端子5aおよび5bに向かって延びる縁部6a~6dが形成されている。この縁部6a~6dは、感圧層4に対して外側に張り出すように配置、すなわち積層方向において感圧層4と重ならないように配置されているため、縁部6a~6dを伝搬した電気信号は、検出部7と感圧層4との間で生じる静電結合の影響を受けることなく、端子5aおよび5bまで伝搬することができる。
特に、端子5aおよび5bから遠い押圧位置P2で生じた電気信号が静電結合の影響で減衰することを抑制するため、端子5aおよび5bからの距離に関わらず、全ての電気信号の強度をある程度維持したまま端子5aおよび5bから解析部2に出力することができる。
ここで、電極3aおよび3bにおいて全周にわたる縁部6a~6dが、感圧層4に対して外側に張り出すように配置されているため、どの押圧位置P1およびP2を押圧しても縁部6a~6dを介して電気信号を確実に伝搬させることができる。
なお、縁部6a~6dは、例えば、約1cmの幅をそれぞれ有するように形成することができる。
このようにして、端子5aおよび5bから解析部2に出力された電気信号は、縁部6a~6dを伝搬した電気信号を含むため、強度が維持されることになる。このため、解析部2は、強度が維持された電気信号に基づいて生体Sの生体情報を算出することにより、生体情報を高精度に算出することができる。特に、心拍に起因する電気信号は、例えば1Hz~10Hzといった比較的高い周波数であるため減衰しやすい傾向を有するが、電気信号の減衰を抑制することで比較的高い周波数を有する生体情報を確実に算出することができる。
本実施の形態によれば、電極3aおよび3bは、端子5aおよび5bに向かって延びる縁部6a~6dが感圧層4に対して外側に張り出すように配置されて、電気信号が縁部6a~6dを伝搬して端子5aおよび5bから出力されるため、電極3aおよび3bを伝搬する電気信号に対する感圧層4の影響を抑制することができる。
実施の形態2
上記の実施の形態1では、電極3aおよび3bは、縁部6a~6dが全周にわたって感圧層4に対して外側に張り出すように配置されたが、端子5aおよび5bに向かって延びる縁部が感圧層4に対して外側に張り出すように配置されていればよく、これに限られるものではない。
例えば、図3に示すように、実施の形態1の感圧層4に換えて感圧層21を配置することができる。この感圧層21は、電極3aおよび3bに対して縁部6b分だけ小さい面積で形成されている。すなわち、電極3aおよび3bは、端子5aおよび5bに向かって延びる縁部6bのみが感圧層21に対して外側に張り出すように配置されている。
なお、端子5bは、縁部6bの延長線上に配置して縁部6bに直接接続されることが好ましい。また、端子5aを縁部6bの延長線上に配置して縁部6bに直接接続することもできる。
このような構成により、検出部7において端子5aおよび5bから遠い押圧位置P2が押圧された場合でも、縁部6bを伝搬した電気信号は、感圧層21との静電結合の影響で減衰することを抑制することができ、電気信号の強度を維持したまま端子5aおよび5bから出力することができる。
本実施の形態によれば、電極3aおよび3bは、端子5aおよび5bに向かって延びる縁部6bが感圧層21に対して外側に張り出すように配置され、電気信号が縁部6bを伝搬して端子5aおよび5bから出力されるため、電極3aおよび3bを伝搬する電気信号に対する感圧層21の影響を抑制することができる。
実施の形態3
上記の実施の形態1および2では、電極3aおよび3bは、互いに対向する縁部が感圧層に対して外側に張り出すように配置されたが、端子5aおよび5bに向かって延びる縁部が感圧層に対して外側に張り出すように配置されていればよく、これに限られるものではない。
例えば、図4に示すように、実施の形態2の電極3aおよび3bに換えて電極31aおよび31bを配置することができる。ここで、電極31aは、端子5aおよび5bに向かって延びる縁部6aが感圧層21に対して外側に張り出すように配置されている。一方、電極31bは、端子5aおよび5bに向かって延びる縁部6bが感圧層21に対して外側に張り出すように配置されている。すなわち、電極3aおよび3bは、互いに反対側を向いた縁部6aおよび6bが感圧層21に対して外側に張り出すように配置されている。
なお、端子5aは縁部6aの延長線上に配置して縁部6aに直接接続されることが好ましく、端子5bは縁部6bの延長線上に配置して縁部6bに直接接続されることが好ましい。
このような構成により、検出部7において端子5aおよび5bから遠い押圧位置P2が押圧された場合でも、縁部6aおよび6bを伝搬した電気信号は、感圧層21との静電結合の影響で減衰することを抑制することができ、電気信号の強度を維持したまま端子5aおよび5bから出力することができる。
また、電極3aおよび3bは、互いに反対側の縁部6aおよび6bが感圧層21に対して外側に張り出すように配置されているため、縁部6aと縁部6bが接触して短絡することを防ぐことができる。
本実施の形態によれば、電極31aおよび31bは、互いに反対側の縁部6aおよび6bが感圧層21に対して外側に張り出すように配置されているため、縁部6aと縁部6bが接触して電気的な短絡が生じることを防ぐことができる。
実施の形態4
上記の実施の形態1~3では、電極3aおよび3bは、積層方向において感圧層4と重なる部分に1つの検出部7が配置されたが、生体Sからの圧力変化を検出できればよく、複数の検出部を配置することもできる。
具体的には、電極3aおよび3bは、長手方向に対して交差する方向に感圧層4と重なる部分を延びる切れ込みにより互いに分割された複数の検出部を配置することができる。
例えば、図5に示すように、実施の形態1の電極3aおよび3bにおいて、検出部7に換えて検出部41a,41bおよび41cを配置することができる。この検出部41a~41cは、電極3aおよび3bの長手方向に対して直交する方向に感圧層4と重なる部分を延びる2つの切れ込み42により互いに分割されている。ここで、検出部41a~41cを分割する切れ込み42は、感圧層4の幅より長く延びて感圧層4を完全に横断するように形成されている。
このような構成により、生体Sの圧力変化に応じて検出部41a~41cから供給される電気信号は、切れ込み42に遮られて検出部41a~41cの間を伝搬できず、縁部6a~6dを伝搬して端子5aおよび5bまで到達することになる。このように、電気信号が、縁部6a~6dを伝搬して端子5aおよび5bまで到達するため、感圧層4との静電結合の影響で強度が減衰することを確実に抑制することができる。
本実施の形態によれば、電極3aおよび3bの検出部41a~41cが、切れ込み42により互いに分割されているため、検出部41a~41cから端子5aおよび5bまで縁部6a~6dを介して電気信号を伝搬させることができ、電気信号に対する感圧層4の影響を確実に抑制することができる。
実施の形態5
上記の実施の形態4では、電極3aおよび3bは、長手方向に対して交差する方向に感圧層4と重なる部分を延びる切れ込み42により互いに分割された検出部41a~41cを配置したが、長手方向に延びる切り込みにより互いに分割された複数の検出部を配置することもできる。
例えば、図6に示すように、実施の形態4の電極3aおよび3bにおいて、検出部41a~41cに換えて検出部51a,51b,51c,51d,51eおよび51fを配置することができる。この検出部51a~51fは、実施の形態4と同様に切れ込み42により長手方向に互いに分割されると共に、感圧層4と重なる部分を長手方向に延びる切れ込み52により短手方向に互いに分割されている。ここで、検出部51a~51fを分割する切れ込み52は、感圧層4の長手方向の長さより長く延びて感圧層4を完全に縦断するように形成されている。同様に、切れ込み42は、感圧層4の短手方向の幅より長く延びて感圧層4を完全に横断するように形成されている。
このような構成により、生体Sの圧力変化に応じて検出部51a~51fから供給される電気信号は、切れ込み42および52に遮られて検出部51a~51fの間を伝搬できず、縁部6a~6dを伝搬して端子5aおよび5bまで到達することになる。このとき、切れ込み52が長手方向に延びるように形成されているため、検出部51a~51cから供給された電気信号は縁部6aを介して伝搬され、検出部51d~51fから供給された電気信号は縁部6bを介して伝搬される。すなわち、検出部51a~51fから最も近い縁部6a~6dを介して電気信号を伝搬させることができ、感圧層4との静電結合の影響で電気信号が減衰することをより確実に抑制することができる。
本実施の形態によれば、電極3aおよび3bの検出部51a~51fが、切れ込み42および52により互いに分割されているため、検出部51a~51fから最も近い縁部6a~6dを介して電気信号を伝搬させることができ、電気信号に対する感圧層4の影響をより確実に抑制することができる。
なお、上記の実施の形態1~5では、電極3aおよび3bは、それぞれ、縁部が感圧層4に対して外側に張り出すように配置されたが、電極3aおよび3bのうち少なくとも一方の電極の縁部が感圧層4に対して外側に張り出すように配置されていればよく、これに限られるものではない。
例えば、電極3aの端子5aを解析部2に接続すると共に電極3bの端子5bを接地した場合には、電極3aの縁部のみが感圧層4に対して外側に張り出すように配置し、電極3bは全面が感圧層4と対向するように配置することができる。
また、上記の実施の形態1~5では、電極3aおよび3bは、長尺な矩形状に形成されたが、面状に拡がるように形成されていればよく、矩形状に限られるものではない。
また、上記の実施の形態1~5では、電極3aおよび3bは、平面状に拡がるように形成されていたが、立体的に湾曲するように形成することもできる。
また、上記の実施の形態1~5では、圧電センサ1は、寝床Lに配置された寝具用として用いられたが、所定の場所における生体Sからの圧力変化を検出できればよく、寝具用に限られるものではない。例えば、圧電センサ1は、生体Sが座る座席に配置される座席用として用いることもできる。
次に、実施例を示して本発明を具体的に説明する。
(実施例1)
導電性接着層付きの銅箔フィルムを幅8.5cm×長さ61cmの大きさで2枚切り出して電極3aおよび3bを作製すると共に、PVDFフィルム(クレハKFポリマー、株式会社クレハ製)を幅6.5cm×長さ60cmの大きさで切り出して感圧層4を作製した。電極3b上に感圧層4を張り合わせた後、感圧層4上に電極3aを張り合わせた。ここで、電極3aおよび3bは、3つの縁部6a,6bおよび6cがそれぞれ1cmだけ感圧層4に対して外側に張り出すように配置した。このため、検出部7は、幅6.5cm×長さ60cmの大きさで形成された。これにより、圧電センサが作製された。
(比較例1)
導電性接着層付きの銅箔フィルムを幅6.5cm×長さ60cmの大きさで2枚切り出して一対の電極を作製すると共に、PVDFフィルム(クレハKFポリマー、株式会社クレハ製)を幅8.5cm×長さ61cmの大きさで切り出して感圧層を作製した。一方の電極上に感圧層を張り合わせた後、その感圧層上に他方の電極を張り合わせた。ここで、一対の電極は、全面が感圧層に対向するように配置され、検出部は幅6.5cm×長さ60cmの大きさで形成された。これにより、圧電センサが作製された。
(評価方法)
作製された圧電センサに増幅器を介してオシロスコープを接続し、加振器により10Nの予圧を与えた状態でさらに17.5Nで押圧したときの電気信号の強度を計測した。加振器による押圧は、オシロスコープの接続箇所に近い押圧位置P1と、接続箇所から遠い押圧位置P2とをそれぞれ0.25Hz~10Hzの異なる周波数で振動を加えることにより行った。その結果を図7および8に示す。
図7および8に示す結果から、3つの縁部6a,6bおよび6cが感圧層4に対して外側に張り出すように配置した実施例1は、電極の全面が感圧層に対向するように配置された比較例1と比較して、電気信号が約3倍の強度で計測され、感圧層の影響で電気信号が減衰するのを抑制できることがわかった。
また、比較例1は、押圧位置P1を押圧した電気信号に対して押圧位置P2を押圧した電気信号が6割程度減衰しているのに対して、実施例1は、押圧位置P1を押圧した電気信号に対して押圧位置P2を押圧した電気信号が5割程度の減衰に留められており、オシロスコープの接続箇所から遠い押圧位置P2を押圧したときの電気信号の減衰をより確実に抑制できることがわかった。
さらに、実施例1は、比較例1と比較して、5Hz~10Hzの電気信号の減衰が抑制されており、比較的高い周波数の減衰を抑制できることがわかった。
1 圧電センサ、2 解析部、3a,3b,31a,31b 電極、4,21 感圧層、5a,5b 端子、6a~6d 縁部、7,41a~41c,51a~51f 検出部、42,52 切れ込み、P1,P2 押圧位置、L 寝床、S 生体。

Claims (6)

  1. 所定の場所における生体からの圧力変化を検出する圧電センサであって、
    互いに間隔を空けて配置され、面状に拡がるように形成された一対の電極と、
    前記一対の電極の間に配置され、圧力変化に応じて電荷を生じる感圧層と、
    前記一対の電極にそれぞれ接続され、生体の圧力変化に応じて前記一対の電極から供給される電気信号を出力するための一対の端子と
    を備え、
    前記一対の電極のうち少なくとも一方の電極は、前記一対の端子に向かって延びる縁部が前記感圧層に対して外側に張り出すように配置され、前記電気信号が前記縁部を伝搬して前記一対の端子から出力される圧電センサ。
  2. 前記一対の電極は、それぞれ、前記縁部が前記感圧層に対して外側に張り出すように配置される請求項1に記載の圧電センサ。
  3. 前記少なくとも一方の電極は、前記縁部が全周にわたって前記感圧層に対して外側に張り出すように配置される請求項1または2に記載の圧電センサ。
  4. 前記一対の電極は、長尺形状を有し、
    前記少なくとも一方の電極は、長手方向に対して交差する方向に前記感圧層と重なる部分を延びる切れ込みにより互いに分割された複数の検出部を有する請求項1~3のいずれか一項に記載の圧電センサ。
  5. 前記複数の検出部は、前記長手方向に延びる切れ込みによりさらに分割して配置された請求項4に記載の圧電センサ。
  6. 前記一対の端子は、前記一対の電極において短手方向に延びる縁部に接続される請求項4または5に記載の圧電センサ。
JP2021511998A 2019-03-29 2020-03-27 圧電センサ Active JP7016198B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022005908A JP2022058651A (ja) 2019-03-29 2022-01-18 圧電センサ

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019068025 2019-03-29
JP2019068025 2019-03-29
PCT/JP2020/014016 WO2020203771A1 (ja) 2019-03-29 2020-03-27 圧電センサ

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022005908A Division JP2022058651A (ja) 2019-03-29 2022-01-18 圧電センサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2020203771A1 JPWO2020203771A1 (ja) 2021-11-25
JP7016198B2 true JP7016198B2 (ja) 2022-02-04

Family

ID=72668126

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021511998A Active JP7016198B2 (ja) 2019-03-29 2020-03-27 圧電センサ
JP2022005908A Pending JP2022058651A (ja) 2019-03-29 2022-01-18 圧電センサ

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022005908A Pending JP2022058651A (ja) 2019-03-29 2022-01-18 圧電センサ

Country Status (5)

Country Link
US (1) US11389115B2 (ja)
EP (1) EP3825670A4 (ja)
JP (2) JP7016198B2 (ja)
CN (1) CN112639425A (ja)
WO (1) WO2020203771A1 (ja)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5044196B2 (ja) 2006-11-13 2012-10-10 アイシン精機株式会社 圧電センサ及びその製造方法
JP5831542B2 (ja) 2011-04-08 2015-12-09 株式会社村田製作所 変位センサ、変位検出装置
JP5887911B2 (ja) 2011-12-20 2016-03-16 セイコーエプソン株式会社 センサーモジュール、力検出装置、ロボット
JP5895615B2 (ja) 2012-03-09 2016-03-30 セイコーエプソン株式会社 センサーモジュール、力検出装置及びロボット
EP2291626B1 (en) 2008-05-29 2016-11-23 Nokia Technologies Oy A flexural deformation sensing device and a user interface using the same
JP6226079B2 (ja) 2014-08-19 2017-11-08 株式会社村田製作所 圧電フィルムセンサ

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5831542B2 (ja) * 1979-02-28 1983-07-06 京都大学長 液体の熱伝導率測定装置
JP2005044196A (ja) * 2003-07-23 2005-02-17 Sharp Corp 移動体周辺監視装置、自動車、移動体周辺監視方法、制御プログラムおよび可読記録媒体
JP2006226079A (ja) * 2005-02-21 2006-08-31 Matsushita Electric Works Ltd 折戸構造
WO2012033837A2 (en) * 2010-09-08 2012-03-15 Micropen Technologies Corporation Pressure sensing or force generating device
JP2018033497A (ja) 2016-08-29 2018-03-08 積水化学工業株式会社 圧電センサ構造体
US10518293B2 (en) * 2016-12-09 2019-12-31 Sensus USA, Inc. Thickness-planar mode transducers and related devices

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5044196B2 (ja) 2006-11-13 2012-10-10 アイシン精機株式会社 圧電センサ及びその製造方法
EP2291626B1 (en) 2008-05-29 2016-11-23 Nokia Technologies Oy A flexural deformation sensing device and a user interface using the same
JP5831542B2 (ja) 2011-04-08 2015-12-09 株式会社村田製作所 変位センサ、変位検出装置
JP5839091B2 (ja) 2011-04-08 2016-01-06 株式会社村田製作所 操作デバイス
JP5887911B2 (ja) 2011-12-20 2016-03-16 セイコーエプソン株式会社 センサーモジュール、力検出装置、ロボット
JP5895615B2 (ja) 2012-03-09 2016-03-30 セイコーエプソン株式会社 センサーモジュール、力検出装置及びロボット
JP6226079B2 (ja) 2014-08-19 2017-11-08 株式会社村田製作所 圧電フィルムセンサ

Also Published As

Publication number Publication date
US11389115B2 (en) 2022-07-19
CN112639425A (zh) 2021-04-09
US20220039748A1 (en) 2022-02-10
EP3825670A1 (en) 2021-05-26
JP2022058651A (ja) 2022-04-12
EP3825670A4 (en) 2021-12-08
WO2020203771A1 (ja) 2020-10-08
JPWO2020203771A1 (ja) 2021-11-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
USRE32180E (en) Composite sheets constituting electromechanical transducers and transducers equipped with such sheets
US20070049837A1 (en) Acoustic sensor
US20180100913A1 (en) Device and method for detecting at least one structure-borne sound signal
JP5913577B2 (ja) 圧力及び/又は力を測定するためのセンサ
JP2003524156A (ja) 2つの導電部材間に圧力依存の接触抵抗を有する接触センサ
JP5811588B2 (ja) 複合センサ
JP6226079B2 (ja) 圧電フィルムセンサ
JP5036412B2 (ja) 圧電センサおよび電子弦楽器
JP2008253310A (ja) 筋電・筋音測定用センサ
JP7016198B2 (ja) 圧電センサ
JP5348451B2 (ja) 荷重検出装置
JP6742797B2 (ja) 振動波形センサ
US7781938B2 (en) Ultrasonic sensor including a piezoelectric element
KR102051215B1 (ko) 정전용량 압력검출방식의 매트형 센싱 장치 및 그의 제작 방법
JP5036413B2 (ja) 電極一体型シールド端子
JP2018036060A (ja) 圧電センサ構造体
US20210204812A1 (en) Biosensor
JP2020202357A (ja) 圧電センサ及び積層体
WO2021070607A1 (ja) 生体センサ及び生体センサの使用方法
WO2020202631A1 (ja) 押圧センサの配置構造及び電子機器
JP2017005526A (ja) 振動体
JP2007061468A (ja) 生体信号検出装置とそれを設置した生体信号検出機能付器具
JP5699818B2 (ja) 筋電センサ
JP2021173586A (ja) 静電容量型センサ
JPWO2020202631A1 (ja) 押圧センサの配置構造及び電子機器

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210219

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210708

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20211221

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220118