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JP6963444B2 - Magnetic recording medium board, magnetic recording medium, hard disk drive - Google Patents

Magnetic recording medium board, magnetic recording medium, hard disk drive Download PDF

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JP6963444B2
JP6963444B2 JP2017163317A JP2017163317A JP6963444B2 JP 6963444 B2 JP6963444 B2 JP 6963444B2 JP 2017163317 A JP2017163317 A JP 2017163317A JP 2017163317 A JP2017163317 A JP 2017163317A JP 6963444 B2 JP6963444 B2 JP 6963444B2
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recording medium
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aluminum alloy
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公徳 杉本
泰彦 奈良
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Description

本発明は、磁気記録媒体用基板、磁気記録媒体及びハードディスクドライブに関する。 The present invention relates to a magnetic recording medium substrate, a magnetic recording medium, and a hard disk drive.

近年、ハードディスクドライブに用いられる磁気記録媒体は、記録密度の著しい向上が図られつつある。特に、MR(magneto resistive)ヘッドやPRML(Partial Response Maximum Likelihood)技術が導入されて以来、磁気記録媒体の面記録密度の上昇は、更に激しさを増している。 In recent years, the magnetic recording medium used for a hard disk drive has been remarkably improved in recording density. In particular, since the introduction of MR (magneto magnetized) heads and PRML (Partial Response Maximum Likelihood) technology, the increase in the surface recording density of magnetic recording media has become even more intense.

また、近年のインタ−ネット網の発展やビッグデータの活用の拡大から、データセンターにおけるデータの蓄積量も増大を続けている。そして、データセンターのスペース上の問題から、データセンターの単位体積当たりの記憶容量を高める必要性が生じている。すなわち、規格化されたハードディスクドライブの一台当たりの記憶容量を高めるため、磁気記録媒体の一枚当たりの記憶容量を高めることに加え、ドライブケースの内部に納める磁気記録媒体の枚数を増やすことが試みられている。 In addition, the amount of data accumulated in data centers continues to increase due to the recent development of the Internet network and the expansion of the use of big data. And, due to the space problem of the data center, it is necessary to increase the storage capacity per unit volume of the data center. That is, in order to increase the storage capacity per standardized hard disk drive, in addition to increasing the storage capacity per magnetic recording medium, it is possible to increase the number of magnetic recording media stored inside the drive case. Attempted.

磁気記録媒体用基板としては、主に、アルミニウム合金基板とガラス基板が用いられている。このうち、アルミニウム合金基板は、ガラス基板に比べて、靱性が高く、製造が容易であることから、外径が比較的大きい磁気記録媒体に用いられている。3.5インチのハードディスクドライブの磁気記録媒体に用いられるアルミニウム合金基板の厚さは、通常、1.27mmであるため、ドライブケースの内部には、最大で5枚の磁気記録媒体を納めることができる。 As the substrate for the magnetic recording medium, an aluminum alloy substrate and a glass substrate are mainly used. Of these, the aluminum alloy substrate is used as a magnetic recording medium having a relatively large outer diameter because it has higher toughness and is easier to manufacture than the glass substrate. Since the thickness of the aluminum alloy substrate used for the magnetic recording medium of a 3.5-inch hard disk drive is usually 1.27 mm, a maximum of five magnetic recording media can be stored inside the drive case. can.

ドライブケースの内部に納める磁気記録媒体の枚数を増やすため、磁気記録媒体に用いられる基板を薄くすることが試みられている。 In order to increase the number of magnetic recording media stored inside the drive case, attempts have been made to make the substrate used for the magnetic recording medium thinner.

しかしながら、基板を薄くした場合、アルミニウム合金基板は、ガラス基板に比べて、フラッタリングが生じやすい。 However, when the substrate is made thin, the aluminum alloy substrate is more likely to cause fluttering than the glass substrate.

フラッタリングとは、磁気記録媒体を高速回転させた場合に生じる磁気記録媒体のばたつきであり、フラッタリングが大きくなると、ハードディスクドライブにおける安定した読み取りが困難になる。 Fluttering is the fluttering of the magnetic recording medium that occurs when the magnetic recording medium is rotated at high speed, and when the fluttering becomes large, stable reading in the hard disk drive becomes difficult.

例えば、ガラス基板においては、フラッタリングを抑制するために、磁気記録媒体用基板の材料として、比弾性(比ヤング率)の高い材料を使用することが知られている(例えば、特許文献1参照)。 For example, in a glass substrate, it is known to use a material having high specific elasticity (specific Young's modulus) as a material for a substrate for a magnetic recording medium in order to suppress fluttering (see, for example, Patent Document 1). ).

また、3.5インチのハードディスクドライブのドライブケースの内部にヘリウムガスを充填することで、フラッタリングを低減し、これにより、アルミニウム合金基板を薄くし、ドライブケースの内部に6枚以上の磁気記録媒体を収納することが試みられている。 In addition, by filling the inside of the drive case of a 3.5-inch hard disk drive with helium gas, fluttering is reduced, which makes the aluminum alloy substrate thinner and records 6 or more magnetic sheets inside the drive case. Attempts have been made to store the medium.

磁気記録媒体用基板は、一般的には、以下の工程によって製造される。先ず、アルミニウム合金鋳塊を圧延して、厚さ2mm以下程度のアルミニウム合金板材を得て、得られたアルミニウム合金板材を円盤状に打ち抜いて所望の寸法にする。次に、打ち抜かれたアルミニウム合金板材の円盤に対して、内外径の面取り加工およびデータ面の旋削加工を施した後、旋削加工後のアルミニウム合金板材の表面粗さやうねりを下げるために、砥石による研削加工を施し、アルミニウム合金基板とする。その後、表面硬さの付与と表面欠陥の抑制を目的として、アルミニウム合金基板の表面にNiPめっきを施す。次に、NiPめっき被膜が形成されたアルミニウム合金基板の両面(データ面)に対して、研磨加工を施す。 The magnetic recording medium substrate is generally manufactured by the following steps. First, an aluminum alloy ingot is rolled to obtain an aluminum alloy plate having a thickness of about 2 mm or less, and the obtained aluminum alloy plate is punched into a disk shape to obtain a desired size. Next, after chamfering the inner and outer diameters and turning the data surface of the punched aluminum alloy plate disk, a grindstone is used to reduce the surface roughness and waviness of the turned aluminum alloy plate. Grind to make an aluminum alloy substrate. Then, NiP plating is applied to the surface of the aluminum alloy substrate for the purpose of imparting surface hardness and suppressing surface defects. Next, both sides (data surfaces) of the aluminum alloy substrate on which the NiP plating film is formed are polished.

磁気記録媒体用基板は、大量生産品であり、高いコストパフォーマンスが求められるため、アルミニウム合金には、高い機械加工性と廉価性が求められる。 Substrates for magnetic recording media are mass-produced products and are required to have high cost performance. Therefore, aluminum alloys are required to have high machinability and low cost.

特許文献2には、Mg:0.3〜6質量%、Si:0.3〜10質量%、Zn:0.05〜1質量%およびSr:0.001〜0.3質量%を含み、残部がAlおよび不純物からなるアルミニウム合金が開示されている。 Patent Document 2 contains Mg: 0.3 to 6% by mass, Si: 0.3 to 10% by mass, Zn: 0.05 to 1% by mass, and Sr: 0.001 to 0.3% by mass. An aluminum alloy in which the balance is composed of Al and impurities is disclosed.

また、特許文献3には、0.5質量%以上24.0質量%以下のSiと、0.01質量%以上3.00質量%以下のFeとを含有し、残部Alと不可避的不純物からなる磁気ディスク用アルミニウム合金基板が開示されている。 Further, Patent Document 3 contains Si of 0.5% by mass or more and 24.0% by mass or less and Fe of 0.01% by mass or more and 3.00% by mass or less, and is composed of the balance Al and unavoidable impurities. An aluminum alloy substrate for a magnetic disk is disclosed.

また、特許文献4には、Zr0.1wt%以下を含有するAl−Mg系合金を板厚が4〜10mmの薄板に連続鋳造を行い、この鋳造板を均熱処理を行わずに50%以上の強加工率で冷間圧延を行った後、300〜400℃の温度において焼鈍を行い、表層部の平均結晶粒径が15μm以下の圧延板を製造する磁気ディスク用Al−Mg系合金圧延板の製造法が開示されている。ここで、Al−Mg系合金は、Mg2.0〜6.0wt%、Ti、Bの1種または2種0.01〜0.1wt%含有し、さらに、Cr0.03〜0.3wt%、Mn0.03〜0.3wt%の1種または2種を含有する。 Further, in Patent Document 4, an Al—Mg-based alloy containing 0.1 wt% or less of Zr is continuously cast on a thin plate having a plate thickness of 4 to 10 mm, and the cast plate is 50% or more without subjecting heat treatment. An Al-Mg alloy rolled plate for magnetic disks that is cold-rolled at a high processing rate and then annealed at a temperature of 300 to 400 ° C. to produce a rolled plate with an average crystal grain size of 15 μm or less on the surface layer. The manufacturing method is disclosed. Here, the Al—Mg-based alloy contains Mg 2.0 to 6.0 wt%, one or two types of Ti and B 0.01 to 0.1 wt%, and further contains Cr 0.03 to 0.3 wt%. Contains one or two types of Mn 0.03 to 0.3 wt%.

また、特許文献5には、ヤング率が高く機械加工性に優れた磁気記録媒体用基板を提供するため、Mgを0.2〜6質量%の範囲内、Siを3〜17質量%の範囲内、Znを0.05〜2質量%の範囲内、Srを0.001〜1質量%の範囲内で含み、アルミニウム合金基板の合金組織においてSi粒子の平均粒径が2μm以下とすることが開示されている。 Further, in Patent Document 5, in order to provide a substrate for a magnetic recording medium having a high Young's modulus and excellent machinability, Mg is in the range of 0.2 to 6% by mass and Si is in the range of 3 to 17% by mass. Among them, Zn is contained in the range of 0.05 to 2% by mass and Sr is contained in the range of 0.001 to 1% by mass, and the average particle size of Si particles in the alloy structure of the aluminum alloy substrate may be 2 μm or less. It is disclosed.

特開2015−26414号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-26414 特開2009−24265号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2009-24265 国際公開第2016/068293号International Publication No. 2016/068293 特開平6−145927号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 6-145927 特開2017−120680号公報JP-A-2017-120680

ハードディスクドライブ用の磁気記録媒体の基材として用いる磁気記録媒体用基板は、フラッタリングが抑制されていること、即ちフラッタリングによる変位の幅:NRRO(None Repeatable Run−Out)が小さいこと、また、めっき性に優れていること、即ちNiP系めっき被膜が均一に形成されていることが望まれている。特許文献2〜5に記載されているように、これらの性能を向上させるために、アルミニウム合金基板に種々の元素を添加することが、盛んに検討されている。 The substrate for a magnetic recording medium used as a base material for a magnetic recording medium for a hard disk drive has suppressed fluttering, that is, the width of displacement due to fluttering: NRRO (None Repeatable Run-Out) is small, and It is desired that the plating property is excellent, that is, the NiP-based plating film is uniformly formed. As described in Patent Documents 2 to 5, it has been actively studied to add various elements to an aluminum alloy substrate in order to improve these performances.

しかしながら、本発明の発明者らの検討によると、特許文献2〜5に記載されている従来のアルミニウム合金の組成では、例えば、3.5インチサイズなどのハードディスクドライブのドライブケースに6枚以上と、規格化されたハードディスクドライブのドライブケースに従来よりも多数枚収容することができるような薄型形状とすると、フラッタリングを抑制しながらめっき性を向上させることは難しい。また、アルミニウム合金鋳塊を鋳造する際の鋳造性やアルミニウム合金板材の円盤を切削加工する際の加工性が低下し、工業的に安定してアルミニウム合金基板を製造することが困難となる場合があった。 However, according to the study by the inventors of the present invention, the composition of the conventional aluminum alloy described in Patent Documents 2 to 5 is 6 or more in the drive case of a hard disk drive such as 3.5 inch size. If the drive case of a standardized hard disk drive has a thin shape that can accommodate a larger number of hard disks than before, it is difficult to improve the plating property while suppressing fluttering. In addition, the castability when casting an aluminum alloy ingot and the workability when cutting a disk of an aluminum alloy plate material may deteriorate, and it may be difficult to industrially stably manufacture an aluminum alloy substrate. there were.

本発明は、前述した事情に鑑みてなされたものであって、規格化されたハードディスクドライブのドライブケースに従来よりも多数枚収容することができる薄型形状であっても、フラッタリングが抑制され、めっき性が向上した磁気記録媒体用基板を提供することを目的とする。本発明はまた、上記の磁気記録媒体用基板を有する磁気記録媒体及びこれを具備したハードディスクドライブを提供することも、その目的とする。 The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and fluttering is suppressed even in a thin shape capable of accommodating a large number of sheets in a standardized hard disk drive drive case as compared with the conventional case. An object of the present invention is to provide a substrate for a magnetic recording medium having improved plating property. It is also an object of the present invention to provide a magnetic recording medium having the above-mentioned substrate for a magnetic recording medium and a hard disk drive including the magnetic recording medium.

上記の課題を解決するため、本発明の発明者らは鋭意研究を行った結果、SiとCuを所定の範囲で含むアルミニウム合金基板は剛性が向上し、そのアルミニウム合金基板に、NiP系めっき被膜を形成した磁気記録媒体用基板は薄型形状であっても、フラッタリングによるNRROの増大を抑えられることを見出した。しかしながら、SiとCuを含むアルミニウム合金基板は、粗大なSi粒子が生成しやすく、NiP系めっき被膜を均一に形成しにくいことが判明した。さらに研究を重ねた結果、アルミニウム合金基板にSrを所定の範囲で添加することによって、粗大なSi粒子の生成を抑えることができ、アルミニウム合金基板にNiP系めっき被膜を均一に形成することが可能となることを見出した。 As a result of diligent research conducted by the inventors of the present invention in order to solve the above problems, the rigidity of the aluminum alloy substrate containing Si and Cu in a predetermined range is improved, and the aluminum alloy substrate is coated with a NiP-based plating film. It was found that the increase in NRRO due to fluttering can be suppressed even if the substrate for the magnetic recording medium in which the above is formed has a thin shape. However, it has been found that the aluminum alloy substrate containing Si and Cu tends to generate coarse Si particles, and it is difficult to uniformly form a NiP-based plating film. As a result of further research, by adding Sr to the aluminum alloy substrate in a predetermined range, it is possible to suppress the formation of coarse Si particles, and it is possible to uniformly form a NiP-based plating film on the aluminum alloy substrate. I found that

また、上記の組成のアルミニウム合金は、アルミニウム合金基板を製造する際の研削加工時にスクラッチが生成し易いことが判明した。さらに研究を重ねた結果、アルミニウム合金のFeの含有量を低減させることによって、研削加工時のスクラッチの発生を抑制できることを見出した。そして、Si、Cu、Sr、Feの各元素を所定の量で含むアルミニウム合金基板に、NiP系めっき被膜を形成することによって、フラッタリングを抑制しながらめっき性が向上した磁気記録媒体用基板を得ることが可能となることを確認して、本発明を完成させた。 Further, it has been found that the aluminum alloy having the above composition tends to generate scratches during the grinding process when manufacturing the aluminum alloy substrate. As a result of further research, it was found that the occurrence of scratches during grinding can be suppressed by reducing the Fe content of the aluminum alloy. Then, by forming a NiP-based plating film on an aluminum alloy substrate containing each element of Si, Cu, Sr, and Fe in a predetermined amount, a substrate for a magnetic recording medium having improved plating property while suppressing fluttering can be obtained. The present invention was completed after confirming that it was possible to obtain it.

さらに、本発明者らの検討により、通常の使用時において、5000rpm以上と極めて速い回転速度で回転させる磁気記録媒体においては、磁気記録媒体用基板の剛性のみでなく、密度によってもフラッタリングによるNRROが変動することが判明した。そして、材料の剛性を指標する一つの物性値であるヤング率に着目し、ヤング率E(単位:GPa)と密度ρ(単位:g/cm)とNRROとの関係を検討し、ヤング率Eと密度ρとの比E/ρが所定の値以上となると、NRROの増大が抑えられることを見出して、本発明を完成させた。
すなわち、本発明は、上記の課題を解決するため、以下の手段を提供する。
Furthermore, according to the study by the present inventors, in a magnetic recording medium that rotates at an extremely high rotation speed of 5000 rpm or more during normal use, NRRO due to fluttering depends not only on the rigidity of the substrate for the magnetic recording medium but also on the density. Turned out to fluctuate. Then, paying attention to Young's modulus, which is one physical property value that indicates the rigidity of the material, the relationship between Young's modulus E (unit: GPa), density ρ (unit: g / cm 3 ), and NRRO is examined, and Young's modulus is examined. The present invention has been completed by finding that the increase in NRRO is suppressed when the ratio E / ρ of E and the density ρ becomes a predetermined value or more.
That is, the present invention provides the following means for solving the above problems.

(1)本発明の一態様に係る磁気記録媒体用基板は、アルミニウム合金基板と、前記アルミニウム合金基板の少なくとも一方の表面に形成されているNiP系めっき被膜とを含む磁気記録媒体用基板であって、単位がGPaで表されるヤング率Eと、単位がg/cmで表される密度ρとの比E/ρが29以上であり、前記アルミニウム合金基板は、Siを9.5質量%以上13.0質量%以下の範囲内、Cuを0.5質量%以上3.0質量%以下の範囲内、Srを0.005質量%以上0.1質量%以下の範囲内で含み、Feの含有量が0.01質量%未満であって、残部がAlであり、直径が53mm以上97mm以下の範囲内にあって、厚さが0.4mm以上0.9mm以下の範囲内にあることを特徴とする。 (1) The substrate for a magnetic recording medium according to one aspect of the present invention is a substrate for a magnetic recording medium including an aluminum alloy substrate and a NiP-based plating film formed on at least one surface of the aluminum alloy substrate. The ratio E / ρ of the Young's ratio E represented by GPa and the density ρ represented by g / cm 3 is 29 or more, and the aluminum alloy substrate contains 9.5 mass of Si. % Or more and 13.0% by mass or less, Cu in the range of 0.5% by mass or more and 3.0% by mass or less, and Sr in the range of 0.005% by mass or more and 0.1% by mass or less. The Fe content is less than 0.01% by mass, the balance is Al, the diameter is in the range of 53 mm or more and 97 mm or less, and the thickness is in the range of 0.4 mm or more and 0.9 mm or less. It is characterized by that.

(2)本発明の一態様に係る磁気記録媒体は、磁気記録媒体用基板と、前記磁気記録媒体用基板の表面に備えられている磁性層とを有する磁気記録媒体であって、前記磁気記録媒体用基板が、上記(1)に記載の磁気記録媒体用基板であって、前記磁性層が、前記磁気記録媒体用基板の前記NiP系めっき被膜が形成されている側の表面に備えられていることを特徴とする。 (2) The magnetic recording medium according to one aspect of the present invention is a magnetic recording medium having a magnetic recording medium substrate and a magnetic layer provided on the surface of the magnetic recording medium substrate, and the magnetic recording medium. The medium substrate is the magnetic recording medium substrate according to (1) above, and the magnetic layer is provided on the surface of the magnetic recording medium substrate on the side where the NiP-based plating film is formed. It is characterized by being.

(3)本発明の一態様に係るハードディスクドライブは、磁気記録媒体を具備したハードディスクドライブであって、前記磁気記録媒体が上記(2)に記載の磁気記録媒体であることを特徴とする。 (3) The hard disk drive according to one aspect of the present invention is a hard disk drive including a magnetic recording medium, and the magnetic recording medium is the magnetic recording medium according to the above (2).

本発明によれば、規格化されたハードディスクドライブのドライブケースに従来よりも多数枚収容することができる薄型形状であっても、フラッタリングが抑制され、めっき性が向上した磁気記録媒体用基板を提供することができる。また、本発明によれば、上記の磁気記録媒体用基板を有する磁気記録媒体及びこれを具備したハードディスクドライブを提供することができる。 According to the present invention, even if the drive case of a standardized hard disk drive has a thin shape that can accommodate a larger number of sheets than before, a substrate for a magnetic recording medium in which fluttering is suppressed and the plating property is improved can be obtained. Can be provided. Further, according to the present invention, it is possible to provide a magnetic recording medium having the above-mentioned substrate for a magnetic recording medium and a hard disk drive including the magnetic recording medium.

本実施形態における磁気記録媒体用基板の一例を示す断面模式図である。It is sectional drawing which shows an example of the substrate for magnetic recording medium in this embodiment. 本実施形態における磁気記録媒体用基板の製造において用いることができる研磨盤の一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of the polishing machine which can be used in the manufacture of the substrate for a magnetic recording medium in this embodiment. 本実施形態における磁気記録媒体の一例を示す断面模式図である。It is sectional drawing which shows an example of the magnetic recording medium in this embodiment. 本実施形態におけるハードディスクドライブの一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of the hard disk drive in this embodiment.

以下、本発明の実施形態に係る磁気記録媒体用基板、磁気記録媒体、ハードディスクドライブについて、図面を適宜参照しながら詳細に説明する。なお、以下の説明で用いる図面は、本発明の特徴をわかりやすくするために便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などは実際とは異なっていることがある。 Hereinafter, the magnetic recording medium substrate, the magnetic recording medium, and the hard disk drive according to the embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as appropriate. In addition, in the drawings used in the following description, in order to make the features of the present invention easy to understand, the featured portions may be enlarged and shown, and the dimensional ratios of the respective components are different from the actual ones. Sometimes.

<磁気記録媒体用基板>
図1は、本実施形態に係る磁気記録媒体用基板の一例の断面図である。
図1に示すように、磁気記録媒体用基板10は、アルミニウム合金基板11と、アルミニウム合金基板11の少なくとも一方の表面に形成されているNiP系めっき被膜12とを有する。本実施形態の磁気記録媒体用基板10は、単位がGPaで表されるヤング率Eと、単位がg/cmで表される密度ρとの比E/ρは29以上とされている。
<Substrate for magnetic recording medium>
FIG. 1 is a cross-sectional view of an example of a magnetic recording medium substrate according to the present embodiment.
As shown in FIG. 1, the magnetic recording medium substrate 10 has an aluminum alloy substrate 11 and a NiP-based plating film 12 formed on at least one surface of the aluminum alloy substrate 11. In the magnetic recording medium substrate 10 of the present embodiment, the ratio E / ρ of the Young's modulus E whose unit is expressed in GPa and the density ρ whose unit is expressed in g / cm 3 is 29 or more.

[ヤング率Eと密度ρとの比E/ρ]
磁気記録媒体用基板のフラッタリング特性を抑制し、フラッタリングによる変位の幅(NRRO)の増大を抑えるために、磁気記録媒体用基板の剛性を高くすることは有効な方法の一つであると考えられる。一方、本発明者らの検討によると、通常の使用時において、5000rpm以上と極めて速い回転速度で回転させる磁気記録媒体においては、磁気記録媒体用基板の密度によってもフラッタリング特性が変動することが判明した。そして、材料の剛性を指標する一つの物性値であるヤング率に着目し、磁気記録媒体用基板のヤング率E(単位:GPa)と密度ρ(単位:g/cm)とフラッタリング特性との関係を検討し、ヤング率Eと密度ρとの比E/ρが29以上となると、フラッタリング特性が向上すること、即ちフラッタリングが小さくなることを見出した。
このため、本実施形態では、ヤング率Eと密度ρとの比E/ρは29以上とされている。比E/ρは、32以下であることが好ましい。
[Ratio of Young's modulus E and density ρ E / ρ]
It is said that increasing the rigidity of the magnetic recording medium substrate is one of the effective methods in order to suppress the fluttering characteristics of the magnetic recording medium substrate and suppress the increase in the displacement width (NRRO) due to fluttering. Conceivable. On the other hand, according to the study by the present inventors, in a magnetic recording medium that is rotated at an extremely high rotation speed of 5000 rpm or more during normal use, the fluttering characteristics may fluctuate depending on the density of the magnetic recording medium substrate. found. Then, paying attention to Young's modulus, which is one physical property value that indicates the rigidity of the material, Young's modulus E (unit: GPa), density ρ (unit: g / cm 3 ), and fluttering characteristics of the substrate for the magnetic recording medium are used. It was found that when the ratio E / ρ of Young's modulus E and density ρ is 29 or more, the fluttering characteristic is improved, that is, the fluttering is reduced.
Therefore, in the present embodiment, the ratio E / ρ of the Young's modulus E and the density ρ is 29 or more. The ratio E / ρ is preferably 32 or less.

本実施形態の磁気記録媒体用基板10は、ヤング率Eが79GPa以上87GPa以下の範囲内にあって、密度ρが2.6g/cm以上3.0g/cm以下の範囲内にあることによって、比E/ρが29以上とされていることが好ましい。 The substrate 10 for a magnetic recording medium of the present embodiment has a Young's modulus E in the range of 79 GPa or more and 87 GPa or less, and a density ρ in the range of 2.6 g / cm 3 or more and 3.0 g / cm 3 or less. Therefore, it is preferable that the ratio E / ρ is 29 or more.

[アルミニウム合金基板]
アルミニウム合金基板11は、Siを9.5質量%以上13.0質量%以下の範囲内、Cuを0.5質量%以上3.0質量%以下の範囲内、Srを0.005質量%以上0.1質量%以下の範囲内で含む。アルミニウム合金基板11は、さらに、Znを0.01質量%以上0.4質量%以下の範囲内で、Cr、TiおよびNiからなる群より選ばれる少なくとも1種以上の金属元素を合計で0.005質量%以上1.0質量%以下の範囲内で、Mnを0.05質量%以上0.4質量%以下の範囲内で、Zrを0.03質量%以上0.3質量%以下の範囲内でそれぞれ含んでいてもよい。
[Aluminum alloy substrate]
The aluminum alloy substrate 11 contains Si in the range of 9.5% by mass or more and 13.0% by mass or less, Cu in the range of 0.5% by mass or more and 3.0% by mass or less, and Sr in the range of 0.005% by mass or more. Included within the range of 0.1% by mass or less. Further, the aluminum alloy substrate 11 contains at least one metal element selected from the group consisting of Cr, Ti and Ni in a range of 0.01% by mass or more and 0.4% by mass or less of Zn in total. In the range of 005% by mass or more and 1.0% by mass or less, Mn in the range of 0.05% by mass or more and 0.4% by mass or less, and Zr in the range of 0.03% by mass or more and 0.3% by mass or less. It may be included in each.

アルミニウム合金基板11は、上記の金属元素と、不可避不純物と、残部のAlによって構成されている。不可避不純物は、原料及び製造工程から不回避的に混入する不純物である。本実施形態では、不可避不純物として、Feの含有量が0.01質量%未満とされている。また、Mgの含有量は0.05質量%未満、Bの含有量は0.001質量%未満、Pの含有量は0.001質量%未満とされていることが好ましい。 The aluminum alloy substrate 11 is composed of the above metal elements, unavoidable impurities, and the remaining Al. Inevitable impurities are impurities that are unavoidably mixed from the raw materials and the manufacturing process. In the present embodiment, the Fe content is less than 0.01% by mass as an unavoidable impurity. Further, it is preferable that the Mg content is less than 0.05% by mass, the B content is less than 0.001% by mass, and the P content is less than 0.001% by mass.

また、アルミニウム合金基板11は、最長径が0.5μm以上のSi粒子の平均粒子が2μm以下とされていることが好ましい。 Further, in the aluminum alloy substrate 11, it is preferable that the average particle size of Si particles having a maximum diameter of 0.5 μm or more is 2 μm or less.

さらに、アルミニウム合金基板11は、中心に開口部を有する円盤状とされている。アルミニウム合金基板11のサイズは、直径が53mm以上97mm以下の範囲内にあり、厚さが0.4mm以上0.9mm以下の範囲内とされている。
以下、このような構成とされたアルミニウム合金基板11に含まれている各元素、Si粒子の平均粒子径、サイズ(直径、厚さ)について説明する。
Further, the aluminum alloy substrate 11 has a disk shape having an opening in the center. The size of the aluminum alloy substrate 11 is within the range of 53 mm or more and 97 mm or less in diameter, and 0.4 mm or more and 0.9 mm or less in thickness.
Hereinafter, the average particle diameter and size (diameter, thickness) of each element and Si particles contained in the aluminum alloy substrate 11 having such a configuration will be described.

(Si)
Siは、Al中への固溶量が少ないため、主にSi単体のSi粒子としてアルミニウム合金組織中に分散している。Si粒子が分散しているアルミニウム合金基板は、剛性が向上する。また、切削工具による加工時において、Si粒子の粉砕、あるいは、Si粒子とAl母相との界面での剥離により、切屑が分断し易い、即ち切屑分断性が向上する。このため、アルミニウム合金基板を製造する際の加工性が向上する。
(Si)
Since Si has a small amount of solid solution in Al, it is mainly dispersed in the aluminum alloy structure as Si particles of Si alone. The rigidity of the aluminum alloy substrate in which the Si particles are dispersed is improved. Further, during machining with a cutting tool, chips are easily divided, that is, chip fragmentability is improved by crushing Si particles or peeling at the interface between Si particles and the Al matrix. Therefore, the workability when manufacturing the aluminum alloy substrate is improved.

Si含有量が9.5質量%未満であると、上記の効果が得られにくくなるおそれがある。一方、Si含有量が13.0質量%を超えると、アルミニウム合金組織中に分散しているSi粒子の平均粒子径が大きくなり、アルミニウム合金の切屑分断性は向上するものの、加工後の切削工具の摩耗が著しく大きくなって、アルミニウム合金基板の生産性が低下するおそれがある。また、Si粒子はNiP系めっき被膜を形成しにくいため、平均粒子径が過度に大きいSi粒子が分散しているアルミニウム合金基板は、均一なNiP系めっき被膜を形成しにくく、このアルミニウム合金基板を用いた磁気記録媒体用基板はめっき性が低下するおそれがある。
このため、本実施形態では、Siの含有量は9.5質量%以上13.0質量%以下の範囲内とされている。Siの含有量は、10.0質量%以上12.0質量%以下の範囲内にあることが好ましい。
If the Si content is less than 9.5% by mass, it may be difficult to obtain the above effect. On the other hand, when the Si content exceeds 13.0% by mass, the average particle size of the Si particles dispersed in the aluminum alloy structure becomes large, and the chip breakability of the aluminum alloy is improved, but the cutting tool after machining is improved. There is a risk that the wear of the aluminum alloy substrate will increase significantly and the productivity of the aluminum alloy substrate will decrease. Further, since Si particles are difficult to form a NiP-based plating film, an aluminum alloy substrate in which Si particles having an excessively large average particle diameter are dispersed is difficult to form a uniform NiP-based plating film. The substrate for the magnetic recording medium used may have reduced plating properties.
Therefore, in the present embodiment, the Si content is in the range of 9.5% by mass or more and 13.0% by mass or less. The Si content is preferably in the range of 10.0% by mass or more and 12.0% by mass or less.

(Cu)
Cuは、アルミニウム合金組織中に固溶することにより、アルミニウム合金基板の剛性を向上させる効果を有する。また、Cuは、アルミニウム合金組織中にAlCu相を形成することによって、アルミニウム合金基板の剛性をさらに向上させる効果を有する。
(Cu)
Cu has the effect of improving the rigidity of the aluminum alloy substrate by being dissolved in the aluminum alloy structure. Further, Cu has an effect of further improving the rigidity of the aluminum alloy substrate by forming an Al 2 Cu phase in the aluminum alloy structure.

Cuの含有量が0.5質量%未満であると、上記の効果が得られにくくなるおそれがある。一方、Cuの含有量が3.0質量%を超えると、アルミニウム合金基板の密度が高くなり、これを用いた磁気記録媒体用基板は、フラッタリングが悪化するおそれがある。
このため、本実施形態では、Cuの含有量は0.5質量%以上3.0質量%以下の範囲内とされている。Cuの含有量は、1.0質量%以上2.8質量%以下の範囲内にあることが好ましい。
If the Cu content is less than 0.5% by mass, it may be difficult to obtain the above effect. On the other hand, if the Cu content exceeds 3.0% by mass, the density of the aluminum alloy substrate becomes high, and the substrate for a magnetic recording medium using this may deteriorate fluttering.
Therefore, in the present embodiment, the Cu content is in the range of 0.5% by mass or more and 3.0% by mass or less. The Cu content is preferably in the range of 1.0% by mass or more and 2.8% by mass or less.

(Sr)
Srは、Siと共存することで、凝固時の共晶Si、初晶Siを球状化させると共に、Si粒子を微細化させる効果を有する。このSi粒子を微細化させる効果によって、間接的にアルミニウム合金の切屑分断性が良好となり、アルミニウム合金の加工性が向上すると共に、加工時の切削工具の摩耗や損傷を抑制することができる。また、鋳造、押出、引抜き等の工程で、Si粒子を均一かつ微細に分散させ、合金の切削性を一層向上させる効果を有する。加えて、アルミニウム合金基板の表面に形成するNiP系めっき被膜の組織を均一とし、そして、NiP系めっき被膜の膜質も均一とする効果を有する。
(Sr)
By coexisting with Si, Sr has the effect of spheroidizing eutectic Si and primary Si at the time of solidification and miniaturizing Si particles. Due to the effect of miniaturizing the Si particles, the chip breakability of the aluminum alloy is indirectly improved, the workability of the aluminum alloy is improved, and the wear and damage of the cutting tool during machining can be suppressed. In addition, it has the effect of uniformly and finely dispersing Si particles in steps such as casting, extrusion, and drawing to further improve the machinability of the alloy. In addition, it has the effect of making the structure of the NiP-based plating film formed on the surface of the aluminum alloy substrate uniform, and also making the film quality of the NiP-based plating film uniform.

Srの含有量が0.005質量%未満であると、上記の効果が得られにくくなるおそれがある。すなわち、Si粒子が球状化せず、鋭角部が生じることで、加工時の切削工具の摩耗や損傷が起こり易くなるおそれがある。一方、Srの含有量が0.1質量%を超えると、合金の切削性を向上させる効果が飽和して、それ以上添加する意味が乏しくなる。また、Srの含有量が多くなると、SrAlが生成し、このSrAlが核として作用して、初晶のSiが粗大になり、Si粒子の平均粒子径が大きくなることがある。
このため、本実施形態では、Srの含有量は0.005質量%以上0.1質量%以下の範囲内とされている。Srの含有量は、0.01質量%以上0.05質量%以下の範囲内にあることが好ましい。
If the Sr content is less than 0.005% by mass, the above effect may be difficult to obtain. That is, since the Si particles do not become spheroidized and sharp corners are formed, there is a possibility that the cutting tool is easily worn or damaged during machining. On the other hand, when the content of Sr exceeds 0.1% by mass, the effect of improving the machinability of the alloy is saturated, and it becomes meaningless to add more. Further, when the content of Sr is increased, SrAl 4 is generated, and this SrAl 4 acts as a nucleus, the Si of the primary crystal becomes coarse, and the average particle size of the Si particles may become large.
Therefore, in the present embodiment, the Sr content is in the range of 0.005% by mass or more and 0.1% by mass or less. The content of Sr is preferably in the range of 0.01% by mass or more and 0.05% by mass or less.

(Zn)
Znは、アルミニウム合金組織中に固溶すると共に、他の添加物と結合して、析出物として、アルミニウム合金組織中に分散する。これによって、アルミニウム合金の機械的強度を高めると共に、他の固溶型元素との相乗効果により、アルミニウム合金基板を製造する際の加工性(切削性)を向上させる他、NiP系めっき膜形成を促進させる効果を有する。
(Zn)
Zn dissolves in the aluminum alloy structure as a solid solution, combines with other additives, and disperses in the aluminum alloy structure as a precipitate. As a result, the mechanical strength of the aluminum alloy is increased, and the synergistic effect with other solid solution type elements improves the workability (cutability) when manufacturing the aluminum alloy substrate, and also forms a NiP-based plating film. It has the effect of promoting.

Znの含有量が0.01質量%未満であると、上記の効果が得られにくくなるおそれがある。一方、Znの含有量が0.4質量%を超えると、合金の耐食性が低下するおそれがある。
このため、本実施形態では、Znの含有量は0.01質量%以上0.4質量%以下の範囲内とされている。
If the Zn content is less than 0.01% by mass, it may be difficult to obtain the above effect. On the other hand, if the Zn content exceeds 0.4% by mass, the corrosion resistance of the alloy may decrease.
Therefore, in the present embodiment, the Zn content is in the range of 0.01% by mass or more and 0.4% by mass or less.

(Cr、TiおよびNi)
Crは圧延組織を微細化するので強度が向上でき、Tiは鋳造組織が微細化できるので鋳造時の漏れ防止に効果があり、Niはヤング率を向上する効果がある。これらの効果によって、Cr、TiおよびNiのうちの1種を添加することによって、アルミニウム合金鋳塊を鋳造する際の鋳造性(原料混合物の溶湯の流動性、引け特性、耐熱間割れ性)が向上すると共に、機械的強度が高くなり、アルミニウム合金基板を製造する際の加工性(切削性)が向上する。Cr、TiおよびNiは、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を組合せて使用してもよい。
(Cr, Ti and Ni)
Cr can improve the strength because the rolled structure is miniaturized, Ti is effective in preventing leakage during casting because the cast structure can be miniaturized, and Ni is effective in improving Young's modulus. Due to these effects, by adding one of Cr, Ti and Ni, the castability (fluidity of molten metal of raw material mixture, shrinkage property, heat-resistant cracking property) when casting an aluminum alloy ingot is improved. At the same time, the mechanical strength is increased, and the workability (cutability) when manufacturing an aluminum alloy substrate is improved. One type of Cr, Ti and Ni may be used alone, or two or more types may be used in combination.

Cr、TiおよびNiの合計含有量が0.005質量%未満であると、上記の効果が得られにくくなるおそれがある。一方、Cr、TiおよびNiの合計含有量が1.0質量%を超えると、上記の効果が飽和して、それ以上添加する意味が乏しくなる。
このため、本実施形態では、Cr、TiおよびNiの合計含有量は0.005質量%以上1.0質量%以下の範囲内とされている。
If the total content of Cr, Ti and Ni is less than 0.005% by mass, the above effect may be difficult to obtain. On the other hand, when the total content of Cr, Ti and Ni exceeds 1.0% by mass, the above effect is saturated and it becomes meaningless to add more.
Therefore, in the present embodiment, the total content of Cr, Ti, and Ni is in the range of 0.005% by mass or more and 1.0% by mass or less.

(Mn)
Mnは、アルミニウム合金組織中に微細析出し、合金の機械的強度を高めて、アルミニウム合金基板を製造する際の加工性を向上させる効果がある。
Mnの含有量が0.05質量%未満であると、上記の効果が得られにくくなるおそれがある。一方、Mnの含有量が0.4質量%を超えると、上記の効果が飽和して、それ以上添加する意味が乏しくなる。
このため、本実施形態では、Mnの含有量は0.05質量%以上0.4質量%以下の範囲内とされている。
(Mn)
Mn has the effect of finely precipitating in the aluminum alloy structure, increasing the mechanical strength of the alloy, and improving the workability when manufacturing the aluminum alloy substrate.
If the Mn content is less than 0.05% by mass, it may be difficult to obtain the above effect. On the other hand, when the Mn content exceeds 0.4% by mass, the above effect is saturated and the meaning of adding more is lost.
Therefore, in the present embodiment, the Mn content is in the range of 0.05% by mass or more and 0.4% by mass or less.

(Zr)
Zrは、Srと同様にSi粒子を微細化させる効果を有する。また、アルミニウム合金組織内に微細なSiZr化合物を形成することによって、アルミニウム合金基板の剛性を向上させる効果がある。
(Zr)
Zr has the effect of miniaturizing Si particles in the same manner as Sr. Further, by forming a fine Si 2 Zr compound in the aluminum alloy structure, there is an effect of improving the rigidity of the aluminum alloy substrate.

Zrの含有量が0.03質量%未満であると、上記の効果が得られにくくなるおそれがある。一方、Zrの含有量が0.3質量%を超えると、上記の効果が飽和して、それ以上添加する意味が乏しくなる。
このため、本実施形態では、Zrの含有量は0.03質量%以上0.3質量%以下の範囲内とされている。
If the Zr content is less than 0.03% by mass, the above effect may be difficult to obtain. On the other hand, when the content of Zr exceeds 0.3% by mass, the above effect is saturated and the meaning of adding more is lost.
Therefore, in the present embodiment, the Zr content is in the range of 0.03% by mass or more and 0.3% by mass or less.

(Fe)
Feは、原料から不回避的に混入する不純物である。Feの含有量が0.01質量%以上であると、Al−Si−Fe化合物の粗大な晶出物がアルミニウム合金組織に生成することがある。粗大なAl−Si−Fe化合物の晶出物が生成すると、アルミニウム合金基板を製造する際の研削加工時に多数のスクラッチが生成して、磁気記録媒体用として使用できない部分が多く発生するなど加工性が低下するおそれがある。また、粗大なAl−Si−Fe化合物の晶出物が生成したアルミニウム合金基板を用いた磁気記録媒体用基板は、Al−Si−Fe化合物が加工時に脱落してくぼみができ、めっき性が低下するおそれがある。
このため、本実施形態では、Feの含有量は0.01質量%未満とされている。
(Fe)
Fe is an impurity that is unavoidably mixed from the raw material. When the Fe content is 0.01% by mass or more, coarse crystals of the Al—Si—Fe compound may be formed in the aluminum alloy structure. When coarse Al-Si-Fe compound crystallization is generated, a large number of scratches are generated during grinding when manufacturing an aluminum alloy substrate, and many parts that cannot be used for a magnetic recording medium are generated. May decrease. Further, in the substrate for a magnetic recording medium using an aluminum alloy substrate in which a crystallized product of a coarse Al—Si—Fe compound is generated, the Al—Si—Fe compound falls off during processing to form a dent, and the plating property is deteriorated. There is a risk of
Therefore, in the present embodiment, the Fe content is less than 0.01% by mass.

(Mg)
Mgは、主に原料から不回避的に混入する不純物である。Mgの含有量が0.05質量%以上であると、アルミニウム合金鋳塊を鋳造する際の鋳造性が低下するおそれがある。
このため、本実施形態では、Mgの含有量は0.05質量%未満とされている。
(Mg)
Mg is an impurity that is unavoidably mixed from the raw material. If the Mg content is 0.05% by mass or more, the castability at the time of casting an aluminum alloy ingot may decrease.
Therefore, in the present embodiment, the Mg content is less than 0.05% by mass.

(B)
Bは、主に原料から不回避的に混入する不純物である。Bの含有量が0.001質量%以上であると、Sr添加によるSi粒子の微細化の効果が低下するおそれがある。
このため、本実施形態では、Bの含有量は0.001質量%未満とされている。
(B)
B is an impurity that is unavoidably mixed from the raw material. If the B content is 0.001% by mass or more, the effect of miniaturizing Si particles by adding Sr may decrease.
Therefore, in the present embodiment, the content of B is less than 0.001% by mass.

(P)
Pは、主に原料から不回避的に混入する不純物である。P含有量が0.001質量%以上であると、AlP粒子を核とした粗大なSi粒子が生成し、アルミニウム合金基板製造時の加工性やめっき性が低下するおそれがある。
このため、本実施形態では、Pの含有量は0.001質量%未満とされている。
(P)
P is an impurity that is unavoidably mixed from the raw material. When the P content is 0.001% by mass or more, coarse Si particles having AlP particles as nuclei are generated, and there is a possibility that the processability and plating property at the time of manufacturing the aluminum alloy substrate may be deteriorated.
Therefore, in the present embodiment, the content of P is less than 0.001% by mass.

(Si粒子の平均粒子径)
前述のとおり、平均粒子径が過度に大きいSi粒子が分散しているアルミニウム合金基板を用いた磁気記録媒体用基板はめっき性が低下するおそれがある。
本発明者らの検討によると、最長径が0.5μm以上のSi粒子の平均粒子径が2μmを超えるアルミニウム合金基板を用いた磁気記録媒体用基板は、めっき性が大きく低下する傾向があることが範囲した。
このため、本実施形態では、最長径が0.5μm以上のSi粒子の平均粒子径は2μm以下とされている。
(Average particle size of Si particles)
As described above, a substrate for a magnetic recording medium using an aluminum alloy substrate in which Si particles having an excessively large average particle diameter are dispersed may have a reduced plating property.
According to the study by the present inventors, a substrate for a magnetic recording medium using an aluminum alloy substrate having an average particle diameter of Si particles having a maximum diameter of 0.5 μm or more and an average particle diameter of more than 2 μm tends to have a significantly reduced plating property. Ranged.
Therefore, in the present embodiment, the average particle size of Si particles having the longest diameter of 0.5 μm or more is 2 μm or less.

なお、Si粒子の平均粒子径は、アルミニウム合金基板の断面画像から画像解析法によって求めた値である。より具体的には、Si粒子の平均粒子径は、FE−SEMなどの電子顕微鏡を用いてアルミニウム合金基板の断面画像を撮影し、次いで、得られた断面画像から画像解析法によって最長径が0.5μm以上のSi粒子を抽出して、その抽出されたSi粒子の最長径を測定し、測定した最長径の平均値を算出することによって求めた値である。 The average particle size of the Si particles is a value obtained by an image analysis method from a cross-sectional image of an aluminum alloy substrate. More specifically, the average particle size of Si particles has a maximum diameter of 0 by an image analysis method after taking a cross-sectional image of an aluminum alloy substrate using an electron microscope such as FE-SEM. It is a value obtained by extracting Si particles of .5 μm or more, measuring the longest diameter of the extracted Si particles, and calculating the average value of the measured longest diameters.

(サイズ:直径、厚さ)
磁気記録媒体用基板10は、主として、ハードディスクドライブの磁気記録媒体用として使用される。磁気記録媒体は、規格化されたハードディスクドライブ、すなわち、2.5インチのハードディスクドライブ、3.5インチのハードディスクドライブ等に収納することができる必要がある。例えば、2.5インチのハードディスクドライブでは、最大直径で約67mmの磁気記録媒体が用いられ、3.5インチのハードディスクドライブでは、最大直径で約97mmの磁気記録媒体が用いられる。
このため、本実施形態では、アルミニウム合金基板11の直径を53mm以上97mm以下の範囲内とされている。
(Size: diameter, thickness)
The magnetic recording medium substrate 10 is mainly used for a magnetic recording medium of a hard disk drive. The magnetic recording medium needs to be able to be stored in a standardized hard disk drive, that is, a 2.5-inch hard disk drive, a 3.5-inch hard disk drive, or the like. For example, a 2.5-inch hard disk drive uses a magnetic recording medium with a maximum diameter of about 67 mm, and a 3.5-inch hard disk drive uses a magnetic recording medium with a maximum diameter of about 97 mm.
Therefore, in the present embodiment, the diameter of the aluminum alloy substrate 11 is set to be within the range of 53 mm or more and 97 mm or less.

また、ハードディスクドライブでは、記録容量を増加させるために、ケース内に収納する磁気記録媒体の枚数を増やすることが有効である。例えば、通常の3.5インチのハードディスクドライブでは、厚さ1.27mmの磁気記録媒体が最大で5枚収納されているが、磁気記録媒体を6枚以上収納することができれば、記録容量を増加させることが可能となる。
このため、本実施形態では、アルミニウム合金基板11の厚さは0.4mm以上0.9mm以下の範囲内とされている。
Further, in the hard disk drive, it is effective to increase the number of magnetic recording media stored in the case in order to increase the recording capacity. For example, a normal 3.5-inch hard disk drive can store up to five magnetic recording media with a thickness of 1.27 mm, but if six or more magnetic recording media can be stored, the recording capacity will increase. It becomes possible to make it.
Therefore, in the present embodiment, the thickness of the aluminum alloy substrate 11 is set to be within the range of 0.4 mm or more and 0.9 mm or less.

[アルミニウム合金基板の製造方法]
アルミニウム合金基板11は、例えば、上述の元素を含有するアルミニウム合金鋳塊を作製する鋳造工程と、アルミニウム合金鋳塊を板状に圧延してアルミニウム合金板材を得る圧延工程と、アルミニウム合金板材をアルミニウム合金基板に成形する加工工程とを含む方法によって製造することができる。
[Manufacturing method of aluminum alloy substrate]
The aluminum alloy substrate 11 includes, for example, a casting step of producing an aluminum alloy ingot containing the above-mentioned elements, a rolling step of rolling an aluminum alloy ingot into a plate shape to obtain an aluminum alloy plate material, and an aluminum alloy plate material of aluminum. It can be manufactured by a method including a processing step of forming into an alloy substrate.

(鋳造工程)
鋳造工程では、上述の元素を含有する原料の混合物を鋳造して、アルミニウム合金鋳塊を作製する。
原料の混合物を鋳造する方法としては、例えば、ダイレクトチル鋳造法(DC鋳造法)を用いることができる。ダイレクトチル鋳造法とは、原料混合物の溶湯を、鋳型に注湯し、その後鋳型を直接冷却水に接触させて、アルミニウム合金鋳塊を鋳造する方法である。
(Casting process)
In the casting step, a mixture of raw materials containing the above-mentioned elements is cast to produce an aluminum alloy ingot.
As a method for casting a mixture of raw materials, for example, a direct chill casting method (DC casting method) can be used. The direct chill casting method is a method in which a molten metal of a raw material mixture is poured into a mold, and then the mold is brought into direct contact with cooling water to cast an aluminum alloy ingot.

得られたアルミニウム合金鋳塊は、均質化処理を行うことが好ましい。均質化処理は、例えば、アルミニウム合金鋳塊を、300℃以上600℃以下の温度で、1時間以上5時間以下の範囲内で加熱することによって行う。 The obtained aluminum alloy ingot is preferably homogenized. The homogenization treatment is performed, for example, by heating an aluminum alloy ingot at a temperature of 300 ° C. or higher and 600 ° C. or lower within a range of 1 hour or more and 5 hours or less.

(圧延工程)
圧延工程では、上記の鋳造工程で得られたアルミニウム合金鋳塊を板状に圧延してアルミニウム合金板材を得る。圧延方法としては、特に制限はなく、熱間圧延法および冷間圧延法を用いることができる。圧延の条件には、特に制限はなく、アルミニウム合金鋳塊の圧延で行われている通常の条件とすることができる。
(Rolling process)
In the rolling step, the aluminum alloy ingot obtained in the above casting step is rolled into a plate shape to obtain an aluminum alloy plate material. The rolling method is not particularly limited, and a hot rolling method and a cold rolling method can be used. The rolling conditions are not particularly limited, and can be the normal conditions used for rolling an aluminum alloy ingot.

(加工工程)
加工工程では、まず、上記圧延工程で得られたアルミニウム合金板材を円盤状に打ち抜いて、アルミニウム合金円盤を得る。次いで、アルミニウム合金円盤を300℃以上500℃以下の温度で、0.5時間以上5時間以下の範囲内で加熱して、焼鈍する。焼鈍を行うることによって、アルミニウム合金円盤基板に内在する歪を緩和し、得られるアルミニウム合金基板の剛性を適正な範囲内に調整することができる。次に、焼鈍したアルミニウム合金円盤の表面、端面を、切削工具を用いて切削加工する。切削工具としては、例えば、ダイヤモンドバイトを用いることができる。なお、焼鈍は切削加工後に行ってもよい。
(Processing process)
In the processing step, first, the aluminum alloy plate material obtained in the rolling step is punched into a disk shape to obtain an aluminum alloy disk. Next, the aluminum alloy disk is heated at a temperature of 300 ° C. or higher and 500 ° C. or lower within a range of 0.5 hours or more and 5 hours or less to be annealed. By performing annealing, the strain inherent in the aluminum alloy disk substrate can be alleviated, and the rigidity of the obtained aluminum alloy substrate can be adjusted within an appropriate range. Next, the surface and end face of the annealed aluminum alloy disk are cut using a cutting tool. As the cutting tool, for example, a diamond bite can be used. Annealing may be performed after cutting.

[NiP系めっき被膜]
NiP系めっき被膜12は、磁気記録媒体用基板10の剛性(ヤング率)を向上させる効果を有する。
NiP系めっき被膜12は、NiとP以外の元素を含有していてもよい。NiP系めっき被膜12は、NiとPとを含むNiP合金、もしくはNiとWとPとを含むNiWP合金で形成されていることが好ましい。NiP合金は、Pを10質量%以上15質量%以下の範囲内で含み、残部がNi及び不可避不純物であることが好ましい。NiWP合金は、Wを15質量%以上22質量%以下の範囲内で、Pを3質量%以上10質量%以下の範囲内で含み、残部がNi及び不可避不純物であることが好ましい。NiP系めっき被膜12を、上記の組成を有するNiP合金もしくはNiWP合金で形成することによって、磁気記録媒体用基板10の剛性を確実に向上させることができる。
[NiP-based plating film]
The NiP-based plating film 12 has the effect of improving the rigidity (Young's modulus) of the magnetic recording medium substrate 10.
The NiP-based plating film 12 may contain elements other than Ni and P. The NiP-based plating film 12 is preferably formed of a NiP alloy containing Ni and P, or a NiWP alloy containing Ni, W and P. It is preferable that the NiP alloy contains P in the range of 10% by mass or more and 15% by mass or less, and the balance is Ni and unavoidable impurities. The NiWP alloy preferably contains W in the range of 15% by mass or more and 22% by mass or less, P in the range of 3% by mass or more and 10% by mass or less, and the balance is Ni and unavoidable impurities. By forming the NiP-based plating film 12 with a NiP alloy or a NiWP alloy having the above composition, the rigidity of the magnetic recording medium substrate 10 can be reliably improved.

NiP系めっき被膜12の厚さは、7μm以上であることが好ましく、9μm以上であることが特に好ましい。NiP系めっき被膜12の厚さをこの厚さとすることによって、磁気記録媒体用基板10の剛性を確実に向上させることができる。
また、NiP系めっき被膜12の厚さは、20μm以下であることが好ましく、17μm以下であることが特に好ましい。NiP系めっき被膜12の厚さをこの厚さとすることによって、磁気記録媒体用基板10の平坦性と軽量性を両立できる。
The thickness of the NiP-based plating film 12 is preferably 7 μm or more, and particularly preferably 9 μm or more. By setting the thickness of the NiP-based plating film 12 to this thickness, the rigidity of the magnetic recording medium substrate 10 can be reliably improved.
The thickness of the NiP-based plating film 12 is preferably 20 μm or less, and particularly preferably 17 μm or less. By setting the thickness of the NiP-based plating film 12 to this thickness, the flatness and light weight of the magnetic recording medium substrate 10 can be achieved at the same time.

[磁気記録媒体用基板の製造方法]
本実施形態の磁気記録媒体用基板は、例えば、アルミニウム合金基板11にめっき法によってNiP系めっき被膜を形成するめっき工程と、NiP系めっき被膜付アルミニウム合金基板の表面に対して研磨加工を施す研磨加工工程とを含む方法によって製造することができる。
[Manufacturing method of substrate for magnetic recording medium]
The substrate for a magnetic recording medium of the present embodiment is, for example, a plating step of forming a NiP-based plating film on an aluminum alloy substrate 11 by a plating method and polishing of the surface of an aluminum alloy substrate with a NiP-based plating film. It can be manufactured by a method including a processing step.

(めっき工程)
めっき工程において、アルミニウム合金基板にNiP系めっき被膜を形成する方法としては、無電解めっき法を用いることが好ましい。NiP合金からなるめっき被膜は、従来から使用されている方法を用いて形成することができる。NiWP合金からなるめっき被膜は、NiP合金用のめっき液に、タングステン塩を添加しためっき液を用いることができる。タングステン塩としては、例えば、タングステン酸ナトリウム、タングステン酸カリウム、タングステン酸アンモニウム等を用いることができる。
(Plating process)
In the plating step, it is preferable to use an electroless plating method as a method for forming a NiP-based plating film on an aluminum alloy substrate. The plating film made of NiP alloy can be formed by using a conventionally used method. As the plating film made of NiWP alloy, a plating solution obtained by adding a tungsten salt to the plating solution for NiP alloy can be used. As the tungsten salt, for example, sodium tungstate, potassium tungstate, ammonium tungstate and the like can be used.

NiP系めっき被膜の厚さは、めっき液への浸漬時間、めっき液の温度によって調整することが可能である。めっき条件は、特に限定されるものではないが、めっき液のpHを5.0〜8.6とし、めっき液の温度を70〜100℃、好ましくは85〜95℃とし、めっき液への浸漬時間を90〜150分間とするのが好ましい。 The thickness of the NiP-based plating film can be adjusted by the immersion time in the plating solution and the temperature of the plating solution. The plating conditions are not particularly limited, but the pH of the plating solution is 5.0 to 8.6, the temperature of the plating solution is 70 to 100 ° C., preferably 85 to 95 ° C., and the plating solution is immersed in the plating solution. The time is preferably 90 to 150 minutes.

得られたNiP系めっき被膜付アルミニウム合金基板は、加熱処理を施すことが好ましい。これにより、NiP系めっき被膜の硬度をより高め、磁気記録媒体用基板のヤング率をさらに高めることができる。加熱処理の温度は、300℃以上とすることが好ましい。 The obtained aluminum alloy substrate with a NiP-based plating film is preferably heat-treated. As a result, the hardness of the NiP-based plating film can be further increased, and the Young's modulus of the substrate for the magnetic recording medium can be further increased. The temperature of the heat treatment is preferably 300 ° C. or higher.

(研磨加工工程)
研磨加工工程では、めっき工程で得られたNiP系めっき被膜付アルミニウム合金基板の表面を研磨する。研磨加工工程は、平滑で、傷が少ないといった表面品質の向上と生産性の向上との両立の観点から、複数の独立した研磨盤を用いた2段階以上の研磨工程を有する多段階研磨方式を採用するのが好ましい。例えば、第1の研磨盤を用いて、アルミナ砥粒を含む研磨液を供給しながら研磨する粗研磨工程と、研磨されたアルミニウム合金基板を洗浄した後に、第2の研磨盤を用いて、コロイダルシリカ砥粒を含む研磨液を供給しながら研磨する仕上げ研磨工程を行う。
(Polishing process)
In the polishing process, the surface of the aluminum alloy substrate with a NiP-based plating film obtained in the plating process is polished. The polishing process is a multi-step polishing method that has two or more stages of polishing using multiple independent polishing machines from the viewpoint of achieving both improvement in surface quality such as smoothness and few scratches and improvement in productivity. It is preferable to adopt it. For example, a rough polishing step of polishing while supplying a polishing liquid containing alumina abrasive grains using a first polishing machine, and a colloidal using a second polishing machine after cleaning the polished aluminum alloy substrate. A finish polishing step is performed in which polishing is performed while supplying a polishing liquid containing silica abrasive grains.

図2は、研磨加工工程で用いることができる研磨盤の一例を示す斜視図である。
図2に示すように、第1及び第2の研磨盤20は、上下一対の定盤21、22を備え、互いに逆向きに回転する定盤21、22の間で複数枚の基板Wを挟み込みながら、これら基板Wの両面を定盤21、22に設けられた研磨パッド23により研磨する。
FIG. 2 is a perspective view showing an example of a polishing machine that can be used in the polishing process.
As shown in FIG. 2, the first and second polishing machines 20 include a pair of upper and lower surface plates 21 and 22, and sandwich a plurality of substrates W between the surface plates 21 and 22 rotating in opposite directions. However, both sides of the substrate W are polished by the polishing pads 23 provided on the surface plates 21 and 22.

<磁気記録媒体>
図3は、本実施形態における磁気記録媒体の一例を示す断面模式図である。
図3に示すように、磁気記録媒体30は、上述の磁気記録媒体用基板10と、磁気記録媒体用基板10のNiP系めっき被膜12の表面に備えられている磁性層31とを含む。磁性層31の表面には、さらに、保護層32と潤滑剤層33とがこの順序で積層されている。
<Magnetic recording medium>
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an example of the magnetic recording medium according to the present embodiment.
As shown in FIG. 3, the magnetic recording medium 30 includes the above-mentioned magnetic recording medium substrate 10 and a magnetic layer 31 provided on the surface of the NiP-based plating film 12 of the magnetic recording medium substrate 10. The protective layer 32 and the lubricant layer 33 are further laminated on the surface of the magnetic layer 31 in this order.

磁性層31は、磁化容易軸が基板面に対して垂直方向を向いた磁性膜からなる。磁性層31は、CoとPtを含むものであり、更にSNR特性を改善するために、酸化物や、Cr、B、Cu、Ta、Zrなどを含むものであってもよい。磁性層31に含有される酸化物としては、SiO、SiO、Cr、CoO、Ta、TiOなどが挙げられる。磁性層31は、1層からなるものであってもよいし、組成の異なる材料からなる複数層からなるものであってもよい。
磁性層31の厚みは、5〜25nmとすることが好ましい。
The magnetic layer 31 is made of a magnetic film whose axis for easy magnetization is oriented perpendicular to the substrate surface. The magnetic layer 31 contains Co and Pt, and may contain oxides, Cr, B, Cu, Ta, Zr, and the like in order to further improve the SNR characteristics. Examples of the oxide contained in the magnetic layer 31 include SiO 2 , SiO, Cr 2 O 3 , CoO, Ta 2 O 3 , and TiO 2 . The magnetic layer 31 may be composed of one layer or may be composed of a plurality of layers made of materials having different compositions.
The thickness of the magnetic layer 31 is preferably 5 to 25 nm.

保護層32は、磁性層31を保護するものである。保護層32の材料としては、例えば窒化炭素を用いることができる。保護層32は、一層からなるものであってもよいし、複数層からなるものであってもよい。
保護層32の膜厚は1nm〜10nmの範囲内であることが好ましい。
The protective layer 32 protects the magnetic layer 31. As the material of the protective layer 32, for example, carbon nitride can be used. The protective layer 32 may be composed of one layer or may be composed of a plurality of layers.
The film thickness of the protective layer 32 is preferably in the range of 1 nm to 10 nm.

潤滑剤層33は、磁気記録媒体30の汚染を防止すると共に、磁気記録媒体30上を摺動する磁気記録再生装置の磁気ヘッドの摩擦力を低減させて、磁気記録媒体30の耐久性を向上させるものである。潤滑剤層33の材料としては、例えば、パーフルオロポリエーテル系潤滑剤や脂肪族炭化水素系潤滑剤を用いることができる。
潤滑剤層33の膜厚は0.5nm〜2nmの範囲内であることが好ましい。
The lubricant layer 33 prevents the magnetic recording medium 30 from being contaminated and reduces the frictional force of the magnetic head of the magnetic recording / reproducing device that slides on the magnetic recording medium 30 to improve the durability of the magnetic recording medium 30. It is something that makes you. As the material of the lubricant layer 33, for example, a perfluoropolyether-based lubricant or an aliphatic hydrocarbon-based lubricant can be used.
The film thickness of the lubricant layer 33 is preferably in the range of 0.5 nm to 2 nm.

本実施形態における磁気記録媒体30の層構成には、特に制限はなく、公知の積層構造を適用することができる。例えば、磁気記録媒体30は、磁気記録媒体用基板10と磁性層31との間に、密着層(不図示)と軟磁性下地層(不図示)とシード層(不図示)と配向制御層(不図示)とがこの順序で積層されていてもよい。 The layer structure of the magnetic recording medium 30 in the present embodiment is not particularly limited, and a known laminated structure can be applied. For example, the magnetic recording medium 30 has an adhesion layer (not shown), a soft magnetic base layer (not shown), a seed layer (not shown), and an orientation control layer (not shown) between the magnetic recording medium substrate 10 and the magnetic layer 31. (Not shown) may be laminated in this order.

<ハードディスクドライブ>
図4は、本実施形態におけるハードディスクドライブの一例を示す斜視図である。
図4に示すように、ハードディスクドライブ40は、上述の磁気記録媒体30と、磁気記録媒体30を記録方向に駆動する媒体駆動部41と、記録部と再生部からなる磁気ヘッド42と、磁気ヘッド42を磁気記録媒体30に対して相対移動させるヘッド移動部43と、磁気ヘッド42からの記録再生信号の処理を行う記録再生信号処理部44とを具備する。
<Hard disk drive>
FIG. 4 is a perspective view showing an example of the hard disk drive in the present embodiment.
As shown in FIG. 4, the hard disk drive 40 includes the above-mentioned magnetic recording medium 30, a medium drive unit 41 for driving the magnetic recording medium 30 in the recording direction, a magnetic head 42 including a recording unit and a playback unit, and a magnetic head. It includes a head moving unit 43 that moves the 42 relative to the magnetic recording medium 30, and a recording / reproducing signal processing unit 44 that processes the recording / reproducing signal from the magnetic head 42.

磁気記録媒体用基板10は、フラッタリングが低減されるため、薄くすることが可能である。このため、規格化されたハードディスクドライブのドライブケースの内部に納められる磁気記録媒体30の枚数を増やすことにより、高記録容量のハードディスクドライブ40を提供することを可能とする。 The magnetic recording medium substrate 10 can be made thinner because fluttering is reduced. Therefore, by increasing the number of magnetic recording media 30 housed inside the drive case of the standardized hard disk drive, it is possible to provide the hard disk drive 40 having a high recording capacity.

また、磁気記録媒体用基板10は、機械加工性が高く、廉価で製造することが可能であるため、高記録容量のハードディスクドライブのビット単価を下げることができる。 Further, since the magnetic recording medium substrate 10 has high machinability and can be manufactured at low cost, the bit unit price of a hard disk drive having a high recording capacity can be reduced.

また、磁気記録媒体用基板10は、大気中でのフラッタリングが低減されるため、ハードディスクドライブケースの内部にヘリウム等の低分子量のガスを封入する必要がなくなり、高記録容量のハードディスクドライブ40の製造コストを低減することができる。 Further, since the magnetic recording medium substrate 10 reduces fluttering in the atmosphere, it is not necessary to enclose a low molecular weight gas such as helium inside the hard disk drive case, and the hard disk drive 40 having a high recording capacity has a high recording capacity. The manufacturing cost can be reduced.

また、ハードディスクドライブ40は、特に、高記録容量の3.5インチのハードディスクドライブに用いるのが好ましい。 Further, the hard disk drive 40 is particularly preferably used for a 3.5-inch hard disk drive having a high recording capacity.

以上のような構成とされた本実施形態の磁気記録媒体用基板10では、基材のアルミニウム合金基板が、Si、Cu、Srを上述の量にて含むので、剛性が高く、また粗大なSi粒子の含有量が少ないので、均一なNiP形めっき被膜の形成が容易である。 In the magnetic recording medium substrate 10 of the present embodiment having the above configuration, since the aluminum alloy substrate of the base material contains Si, Cu, and Sr in the above amounts, the rigidity is high and the coarse Si Since the content of particles is small, it is easy to form a uniform NiP type plating film.

以上のような構成とされた本実施形態の磁気記録媒体用基板は、上述のアルミニウム合金基板とNiP系めっき被膜とを有し、さらにヤング率Eと密度ρとの比E/ρが29以上とされているので、直径が53mm以上97mm以下の範囲内にあり、厚さが0.4mm以上0.9mm以下の範囲内にある薄型形状であっても、フラッタリングを抑制しながらめっき性を向上させることができる。 The substrate for a magnetic recording medium of the present embodiment having the above configuration has the above-mentioned aluminum alloy substrate and NiP-based plating film, and further has a ratio E / ρ of Young's modulus E and density ρ of 29 or more. Therefore, even if the thin shape has a diameter in the range of 53 mm or more and 97 mm or less and a thickness in the range of 0.4 mm or more and 0.9 mm or less, the plating property can be improved while suppressing fluttering. Can be improved.

また、本実施形態の磁気記録媒体は、上述の磁気記録媒体用基板の表面に磁性層を備えるので、規格化されたハードディスクドライブのドライブケースに、従来よりも多数枚収容することができる薄型形状とすることができる。 Further, since the magnetic recording medium of the present embodiment is provided with a magnetic layer on the surface of the above-mentioned magnetic recording medium substrate, it has a thin shape that can accommodate a larger number of sheets in a standardized hard disk drive drive case than before. Can be.

そして、本実施形態のハードディスクドライブは、上述の磁気記録媒体を具備するので、従来よりも多数枚の磁気記録媒体をドライブケースに収納することができ、これにより、記録容量が増加する。 Since the hard disk drive of the present embodiment includes the above-mentioned magnetic recording medium, a larger number of magnetic recording media than before can be stored in the drive case, which increases the recording capacity.

<実施例1〜24、比較例1〜7>
以下、実施例により本発明の効果をより明らかなものとする。なお、本発明は、以下の実施例に限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することができる。
<Examples 1 to 24, Comparative Examples 1 to 7>
Hereinafter, the effects of the present invention will be made clearer by examples. The present invention is not limited to the following examples, and can be appropriately modified and implemented without changing the gist thereof.

[アルミニウム合金基板の製造]
Al原料として純Al塊、Si、Cu、Sr、Zn、Cr、Ti、Ni、Mn、Zr、Fe、Mg、Bの原料としては単体あるいはAlとの合金塊、PについてはSiとの混合物塊を用意した。なお、Al、Si、Cu、Sr、Zn、Cr、Ti、Ni、Mn、Zrの各原料については、Feの含有量が0.01質量%未満、Mgの含有量が0.05質量%未満、Bの含有量が0.001質量%未満、Pの含有量が0.001質量%未満のものを用意した。
[Manufacturing of aluminum alloy substrate]
Pure Al lumps as Al raw materials, Si, Cu, Sr, Zn, Cr, Ti, Ni, Mn, Zr, Fe, Mg, B raw materials are simple substances or alloy lumps with Al, and P is a mixture lump with Si. I prepared. For each raw material of Al, Si, Cu, Sr, Zn, Cr, Ti, Ni, Mn, and Zr, the Fe content is less than 0.01% by mass and the Mg content is less than 0.05% by mass. , B content was less than 0.001% by mass, and P content was less than 0.001% by mass.

用意した各元素の原料を、鋳造後の組成が表1に示す組成となるように秤量し、これらを大気中で820℃で溶解し、ダイレクトチル鋳造法(DC鋳造法)を用いて、アルミニウム合金鋳塊を作製した。なお、鋳造の温度は700℃、鋳造速度は40〜60mm/分とした。次に、得られたアルミニウム合金鋳塊を460℃で2時間保持して均質化処理した。その後、圧延して厚さ1.2mmの板材とした。得られたアルミニウム合金板材を、中央に開口部を有する直径97mmの円盤状に打ち抜き、380℃で1時間焼鈍した。その後、アルミニウム合金円盤の表面と端面をダイヤモンドバイトにより切削加工し、直径96mm、厚さ0.8mmのアルミニウム合金基板を得た。ただし、実施例4は、本願発明の実施例ではない。
The raw materials of each of the prepared elements are weighed so that the composition after casting becomes the composition shown in Table 1, these are melted in the air at 820 ° C., and aluminum is used by the direct chill casting method (DC casting method). An alloy ingot was prepared. The casting temperature was 700 ° C. and the casting speed was 40 to 60 mm / min. Next, the obtained aluminum alloy ingot was held at 460 ° C. for 2 hours for homogenization treatment. Then, it was rolled into a plate material having a thickness of 1.2 mm. The obtained aluminum alloy plate was punched into a disk shape having a diameter of 97 mm having an opening in the center, and annealed at 380 ° C. for 1 hour. Then, the surface and the end face of the aluminum alloy disk were cut with a diamond tool to obtain an aluminum alloy substrate having a diameter of 96 mm and a thickness of 0.8 mm. However, Example 4 is not an example of the present invention.

[磁気記録媒体用基板の製造]
アルミニウム合金基板をNiP系めっき液に浸漬し、無電解めっき法を用いてアルミニウム合金基板の表面に、NiP系めっき被膜としてNi8812(Pの含有量12質量%、残部Ni)膜を形成した。
[Manufacturing of substrates for magnetic recording media]
The aluminum alloy substrate is immersed in a NiP-based plating solution, and a Ni 88 P 12 (P content 12% by mass, balance Ni) film is formed as a NiP-based plating film on the surface of the aluminum alloy substrate using an electroless plating method. bottom.

NiP系めっき液には、硫酸ニッケル(ニッケル源)と、次亜リン酸ナトリウム(リン源)とを含み、酢酸鉛、クエン酸ナトリウム、ホウ酸ナトリウムを適宜加えて、上記組成のNiP系めっき被膜が得られるように、成分の分量を調整したものを用いた。NiP系めっき被膜の形成時のNiP系めっき液はpHを6、液温を90℃に調整した。アルミニウム合金基板のNiP系めっき液への浸漬時間は2時間とした。
次いで、NiP系めっき被膜を形成したアルミニウム合金基板を300℃で3分間加熱して、NiP系めっき被膜付アルミニウム合金基板を得た。
The NiP-based plating solution contains nickel sulfate (nickel source) and sodium hypophosphite (phosphorus source), and lead acetate, sodium citrate, and sodium borate are appropriately added to form a NiP-based plating film having the above composition. The amount of the component adjusted was used so that The pH of the NiP-based plating solution at the time of forming the NiP-based plating film was adjusted to 6, and the solution temperature was adjusted to 90 ° C. The immersion time of the aluminum alloy substrate in the NiP-based plating solution was 2 hours.
Next, the aluminum alloy substrate on which the NiP-based plating film was formed was heated at 300 ° C. for 3 minutes to obtain an aluminum alloy substrate with a NiP-based plating film.

次に、研磨盤として、上下一対の定盤を備える3段のラッピングマシーンを用いて、NiP系めっき被膜付アルミニウム合金基板の表面に対して、研磨加工を施し、磁気記録媒体用基板を作製した。このとき、研磨パッドには、スエードタイプ(Filwel社製)を用いた。そして、第1段目の研磨には、D50が0.5μmのアルミナ砥粒を、第2段目の研磨には、D50が30nmのコロイダルシリカ砥粒を、第3段目の研磨には、D50が10nmのコロイダルシリカ砥粒を用いた。また、研磨時間を各段5分間とした。 Next, using a three-stage lapping machine equipped with a pair of upper and lower surface plates as a polishing machine, the surface of an aluminum alloy substrate with a NiP-based plating film was polished to prepare a substrate for a magnetic recording medium. .. At this time, a suede type (manufactured by Filwel) was used as the polishing pad. Alumina abrasive grains with a D50 of 0.5 μm are used for the first-stage polishing, colloidal silica abrasive grains with a D50 of 30 nm are used for the second-stage polishing, and colloidal silica abrasive grains with a D50 of 30 nm are used for the third-stage polishing. Colloidal silica abrasive grains having a D50 of 10 nm were used. The polishing time was set to 5 minutes for each stage.

[評価]
以下の項目を、評価した。
(アルミニウム合金基板の組成)
得られたアルミニウム基板について、Srについては湿式分析、その他の元素についてはカントレット分析により組成を確認した。その結果、各金属元素の含有量は、表1に記載の含有量と同じであることが確認された。
[evaluation]
The following items were evaluated.
(Composition of aluminum alloy substrate)
The composition of the obtained aluminum substrate was confirmed by wet analysis for Sr and cantlet analysis for other elements. As a result, it was confirmed that the content of each metal element was the same as the content shown in Table 1.

(鋳造性)
鋳造性を、圧延前のアルミニウム合金鋳塊と圧延後のアルミニウム合金板材の形状を目視により評価した。アルミニウム合金鋳塊とアルミニウム合金板材ともに形状に異常がない場合を◎、アルミニウム合金板材の端部に微細なひびや割れが見られるが実用上問題ない場合を○、アルミニウム合金板材の端部に歪みが見られるが実用上問題ない場合を△として、判定した。その結果を、下記の表2に示す。
(Castability)
The castability was visually evaluated for the shapes of the aluminum alloy ingot before rolling and the aluminum alloy plate after rolling. ◎ when there is no abnormality in the shape of both the aluminum alloy ingot and the aluminum alloy plate, ○ when there are fine cracks and cracks at the end of the aluminum alloy plate but there is no problem in practical use, and the end of the aluminum alloy plate is distorted. However, the case where there is no problem in practical use was judged as Δ. The results are shown in Table 2 below.

出願予定のマテ17P01003表が組み込まれている表
(加工性)
アルミニウム合金基板の製造時の加工性を、切削加工後のアルミニウム合金基板の表面を1000倍の微分干渉型光学顕微鏡で観察し、その平坦性から評価した。なお、平坦性が優れている場合を◎、わずかにスクラッチが見られるが実用上問題がない場合を○、多数のスクラッチが見られ、使用できない部分が多く発生した場合を×として、判定した。その結果を、下記の表2に示す。
また、加工後の切削工具の表面を目視で観察した。その結果、切削工具の摩耗が大きいものは、表2に「切削工具の摩耗大」と記載した。
Table in which the mate 17P01003 table to be applied is incorporated (workability)
The processability of the aluminum alloy substrate during production was evaluated from the flatness of the surface of the aluminum alloy substrate after cutting by observing it with a 1000-fold differential interference contrast optical microscope. The case where the flatness was excellent was judged as ⊚, the case where a slight scratch was observed but there was no problem in practical use was evaluated as ◯, and the case where a large number of scratches were observed and many unusable parts were generated was evaluated as ×. The results are shown in Table 2 below.
In addition, the surface of the cutting tool after processing was visually observed. As a result, those with large wear of the cutting tool are described in Table 2 as "large wear of the cutting tool".

(Si粒子の平均粒子径)
アルミニウム合金基板の合金組織を断面観察し、Si粒子の最長径、最長径が0.5μm以上の粒子の分布密度を測定した。そして、測定した最長径が0.5μm以上の粒子の分布密度から平均粒子径を算出した。
(Average particle size of Si particles)
The alloy structure of the aluminum alloy substrate was observed in cross section, and the distribution density of Si particles having the longest diameter and the longest diameter of 0.5 μm or more was measured. Then, the average particle size was calculated from the distributed density of the measured particles having the longest diameter of 0.5 μm or more.

具体的には、アルミニウム合金基板を10mm角に切断して、樹脂包埋させ、サンプルを作製した。このとき、包埋樹脂としては、Demotec20(Bodson Quality Control社製)(粉:液=2:1(質量比)で混合、常温硬化タイプ)を使用した。次に、サンプルに対して、湿式研磨により、圧延方向に対して、水平な方向に断面出しした後に、サンプルをエッチングした。このとき、常温において、2.3質量%フッ化水素酸水溶液にサンプルを30秒間浸漬し、取り出した後、流水で1分間洗浄することで、サンプルをエッチングした。 Specifically, an aluminum alloy substrate was cut into 10 mm squares and embedded in resin to prepare a sample. At this time, as the embedding resin, Demotoc 20 (manufactured by Bodson Quality Control Co., Ltd.) (powder: liquid = 2: 1 (mass ratio) mixed, room temperature curing type) was used. Next, the sample was subjected to wet polishing to form a cross section in a direction horizontal to the rolling direction, and then the sample was etched. At this time, the sample was etched by immersing the sample in a 2.3 mass% hydrofluoric acid aqueous solution at room temperature for 30 seconds, taking it out, and then washing it with running water for 1 minute.

ここで、FE−SEMのJSM−7000F(日本電子社製)を用いて、エッチング後のサンプルの合金組織の反射電子像を撮影した。このとき、サンプルは、あらかじめ、カーボン蒸着により導電処理し、倍率を2000倍に設定して反射電子像を撮影した。視野面積2774μmであるこの反射電子像より、WinROOF(Ver6.5)を使用して2値化処理し、Si粒子の最長径および最長径が0.5μm以上である粒子の分布密度を測定した。具体的には、判別分析法により、閾値を200〜255(2値化が上手くいかない場合は、135〜255)に設定し、2値化処理した。得られた画像に対して、穴うめ処理および粒子径が0.5μm以下である粒子を除去する処理を実施し、最長径が0.5μm以上であるSi粒子の最長径の分布密度を測定した。 Here, a reflected electron image of the alloy structure of the sample after etching was photographed using JSM-7000F (manufactured by JEOL Ltd.) of FE-SEM. At this time, the sample was subjected to conductive treatment by carbon vapor deposition in advance, the magnification was set to 2000 times, and a reflected electron image was taken. From this reflected electron image having a visual field area of 2774 μm 2 , binarization treatment was performed using WinROOF (Ver6.5), and the distribution density of the Si particles having the longest diameter and the longest diameter of 0.5 μm or more was measured. .. Specifically, the threshold value was set to 200 to 255 (135 to 255 when binarization did not work) by the discriminant analysis method, and the binarization process was performed. The obtained image was subjected to a hole filling treatment and a treatment for removing particles having a particle size of 0.5 μm or less, and the distribution density of the longest diameter of Si particles having a maximum diameter of 0.5 μm or more was measured. ..

(めっき性)
アルミニウム合金基板をNiP系めっき液に浸漬し、無電解めっき法を用いてアルミニウム合金基板の表面に、NiP系めっき被膜としてNi8812膜を形成し、次いで、アルミニウム合金基板を300℃で3分間加熱して、NiP系めっき被膜付アルミニウム合金基板を製造した。NiP系めっき被膜の形成条件は、磁気記録媒体用基板の製造のときと同じ条件とした。
(Plating property)
The aluminum alloy substrate is immersed in a NiP-based plating solution to form a Ni 88 P 12 film as a NiP-based plating film on the surface of the aluminum alloy substrate using an electroless plating method, and then the aluminum alloy substrate is 3 at 300 ° C. It was heated for a minute to produce an aluminum alloy substrate with a NiP-based plating film. The conditions for forming the NiP-based plating film were the same as those for manufacturing the substrate for the magnetic recording medium.

NiP系めっき被膜付アルミニウム合金基板のNiP系めっき被膜の表面を、倍率1000倍の微分干渉型光学顕微鏡で観察し、平坦性、細穴の有無からめっき性を評価した。なお、めっき性が特に優れている場合を◎、めっき性が特に優れている場合を○、使用することが可能な範囲である場合を△、劣っている場合を×として、判定した。その結果を、下記の表2に示す。 The surface of the NiP-based plating film of the aluminum alloy substrate with the NiP-based plating film was observed with a differential interference type optical microscope having a magnification of 1000 times, and the plating property was evaluated from the flatness and the presence or absence of fine holes. The case where the plating property was particularly excellent was evaluated as ⊚, the case where the plating property was particularly excellent was evaluated as ◯, the case where the plating property was within the usable range was evaluated as Δ, and the case where the plating property was inferior was evaluated as ×. The results are shown in Table 2 below.

(ヤング率E、密度ρ、比E/ρ)
磁気記録媒体用基板のヤング率を、日本工業規格JIS Z 2280−1993に基づいて、常温で測定した。なお、ヤング率は、磁気記録媒体用基板を、長さ50mm、幅10mm、厚さ0.8mmの短冊状に切り出し、これを試験片として測定した。
(Young's modulus E, density ρ, ratio E / ρ)
The Young's modulus of the magnetic recording medium substrate was measured at room temperature based on the Japanese Industrial Standards JIS Z 2280-1993. The Young's modulus was measured by cutting a substrate for a magnetic recording medium into strips having a length of 50 mm, a width of 10 mm, and a thickness of 0.8 mm, which were used as test pieces.

磁気記録媒体用基板の密度を、構成元素の密度の文献値を用いて求めた。
そして、上記のヤング率Eと密度ρとの比E/ρを算出した。その結果を、下記の表2に示す。
The density of the substrate for the magnetic recording medium was determined using the literature values of the densities of the constituent elements.
Then, the ratio E / ρ of the Young's modulus E and the density ρ was calculated. The results are shown in Table 2 below.

(フラッタリング特性)
フラッタリングはNRROを測定して評価した。NRROは磁気記録媒体用基板を10000rpmで1分間回転させ、磁気記録媒体用基板の最外周面で生ずるフラッタリングによる変位の幅を、He−Neレーザー変位計を用いて測定し、得られた変位の幅の最大値をNRROとした。
NRROが3.2μm以下であったものを◎、3.2μmを超え3.4μm以下であったものを○、3.4μmを超え3.6μm以下であったものを△、3.6μmを超えたものを×と評価した。その結果を、下記の表2に示す。
(Fluttering characteristics)
Fluttering was evaluated by measuring NRRO. NRRO rotates the magnetic recording medium substrate at 10000 rpm for 1 minute, measures the width of displacement due to fluttering occurring on the outermost peripheral surface of the magnetic recording medium substrate using a He-Ne laser displacement meter, and obtains the displacement. The maximum value of the width of is NRRO.
NRRO of 3.2 μm or less is ◎, that is more than 3.2 μm and 3.4 μm or less is ○, that is more than 3.4 μm and 3.6 μm or less is Δ, and that is more than 3.6 μm. It was evaluated as x. The results are shown in Table 2 below.

Figure 0006963444
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Figure 0006963444
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比較例1では、比E/ρが29以下で、フラッタリング特性が悪化した。また、アルミニウム合金基板製造時の加工性が低下した。これは、Siの含有量が本発明の範囲よりも少ないためであると考えられる。一方、比較例2では、アルミニウム合金基板のSi粒子の平均粒子径が3.0μmと大きく、磁気記録媒体用基板はめっき性が低下した。また、加工(切削)時の切削工具の摩耗が大きくなった。これは、Siの含有量が本発明の範囲を超えたためであると考えられる。 In Comparative Example 1, the ratio E / ρ was 29 or less, and the fluttering characteristics deteriorated. In addition, the workability at the time of manufacturing the aluminum alloy substrate was lowered. It is considered that this is because the content of Si is less than the range of the present invention. On the other hand, in Comparative Example 2, the average particle size of the Si particles of the aluminum alloy substrate was as large as 3.0 μm, and the substrate for the magnetic recording medium had reduced plating property. In addition, the wear of the cutting tool during machining (cutting) has increased. It is considered that this is because the content of Si exceeds the range of the present invention.

比較例3では、比E/ρが29以下で、フラッタリングが悪化した。これは、Cuの含有量が本発明の範囲よりも少ないため、ヤング率が低下したことによるものと推察される。一方、比較例4では、比E/ρが29以下で、フラッタリング特性が低下した。これは、Cuの含有量が本発明の範囲を超えたため、磁気記録媒体用基板の密度ρが高くなりすぎたことによるものと推察される。 In Comparative Example 3, the ratio E / ρ was 29 or less, and the fluttering deteriorated. It is presumed that this is because the Cu content is less than the range of the present invention and the Young's modulus is lowered. On the other hand, in Comparative Example 4, the ratio E / ρ was 29 or less, and the fluttering characteristic was lowered. It is presumed that this is because the Cu content exceeds the range of the present invention and the density ρ of the magnetic recording medium substrate becomes too high.

比較例5では、アルミニウム合金基板のSi粒子の平均粒子径が5.0μmと大きく、磁気記録媒体用基板はめっき性が低下した。また、加工(切削)時の切削工具の摩耗が大きくなった。これは、Srの含有量が少ないことによって、Si粒子が粗大になったためと考えられる。一方、比較例6では、アルミニウム合金基板のSi粒子の平均粒子径が11.0μmと大きく、磁気記録媒体用基板はめっき性が低下した。また、加工(切削)時の切削工具の摩耗が大きくなった。これは、Srの含有量が多いことによって、SrAlが核となり、初晶のSi粒子が粗大になったためと考えられる。 In Comparative Example 5, the average particle size of the Si particles of the aluminum alloy substrate was as large as 5.0 μm, and the substrate for the magnetic recording medium had reduced plating property. In addition, the wear of the cutting tool during machining (cutting) has increased. It is considered that this is because the Si particles became coarse due to the low content of Sr. On the other hand, in Comparative Example 6, the average particle size of the Si particles of the aluminum alloy substrate was as large as 11.0 μm, and the substrate for the magnetic recording medium had reduced plating property. In addition, the wear of the cutting tool during machining (cutting) has increased. This is because the content of Sr is large, SrAl 4 becomes a nucleus, Si particles primary crystal is considered to be because became coarse.

比較例7では、アルミニウム合金基板製造の際の加工時にスクラッチが多く発生し、加工性が低下した。また、磁気記録媒体用基板はめっき性が低下した。これは、Feの含有量が本発明の範囲を超えたことによって、Al−Si−Fe化合物の粗大な晶出物が発生したためであると考えられる。 In Comparative Example 7, many scratches were generated during processing during the production of the aluminum alloy substrate, and the processability was lowered. Further, the substrate for the magnetic recording medium has deteriorated plating property. It is considered that this is because the content of Fe exceeds the range of the present invention, so that coarse crystallization of the Al—Si—Fe compound is generated.

これに対して、アルミニウム合金基板がSi、Cu、Srを本発明の範囲で含み、比E/ρが29以上である実施例1〜24では、磁気記録媒体用基板は、フラッタリングを抑制しながらめっき性が向上した。 On the other hand, in Examples 1 to 24 in which the aluminum alloy substrate contains Si, Cu, and Sr within the scope of the present invention and the ratio E / ρ is 29 or more, the substrate for the magnetic recording medium suppresses fluttering. However, the plating property was improved.

また、Zn、Cr、Ti、Mn、Zr、Mg、B、Pの各元素をそれぞれ所定の範囲で含む実施例8では、鋳造性と加工性がさらに向上し、磁気記録媒体用基板のめっき性がさらに向上し、フラッタリングさらに抑制された。 Further, in Example 8 in which each element of Zn, Cr, Ti, Mn, Zr, Mg, B, and P is contained in a predetermined range, the castability and workability are further improved, and the plating property of the substrate for the magnetic recording medium is further improved. Was further improved, and fluttering was further suppressed.

また、Znを所定の範囲で含む実施例9〜10では、加工性がさらに向上し、磁気記録媒体用基板はフラッタリングがさらに抑制された。 Further, in Examples 9 to 10 containing Zn in a predetermined range, the workability was further improved, and the fluttering of the magnetic recording medium substrate was further suppressed.

また、Cr、Ti、Niを所定の範囲で含む実施例11〜17では、鋳造性と加工性とがさらに向上した。 Further, in Examples 11 to 17 containing Cr, Ti, and Ni in a predetermined range, castability and workability were further improved.

また、Mnを所定の範囲で含む実施例18〜19では、加工性がさらに向上した。 Further, in Examples 18 to 19 in which Mn was contained in a predetermined range, the workability was further improved.

また、Zrを所定の範囲で含む実施例20〜21では、磁気記録媒体用基板のめっき性がさらに向上し、フラッタリングがさらに抑制された。 Further, in Examples 20 to 21 containing Zr in a predetermined range, the plating property of the magnetic recording medium substrate was further improved, and fluttering was further suppressed.

また、Mgの含有量がやや多い実施例22では、鋳造性がわずかに低下した。
また、Bの含有量がやや多い実施例23では、Siの平均粒子径が大きくなった。
そして、Pの含有量がやや多い実施例24では、加工性とめっき性がわずかに低下した。
Further, in Example 22 in which the Mg content was slightly high, the castability was slightly lowered.
Further, in Example 23 in which the B content was slightly high, the average particle size of Si was large.
Then, in Example 24 in which the P content was slightly high, the processability and the plating property were slightly lowered.

10…磁気記録媒体用基板、11…アルミニウム合金基板、12…NiP系めっき被膜、20…研磨盤、21、22…定盤、23…研磨パッド、30…磁気記録媒体、31…磁性層、32…保護層、33…潤滑剤層、ハードディスクドライブ40…、41…媒体駆動部、42…磁気ヘッド、43…ヘッド移動部、44…記録再生信号処理部 10 ... Magnetic recording medium substrate, 11 ... Aluminum alloy substrate, 12 ... NiP-based plating film, 20 ... Polishing machine, 21, 22 ... Standard plate, 23 ... Polishing pad, 30 ... Magnetic recording medium, 31 ... Magnetic layer, 32 ... protective layer, 33 ... lubricant layer, hard disk drive 40 ..., 41 ... medium drive unit, 42 ... magnetic head, 43 ... head moving unit, 44 ... recording / playback signal processing unit

Claims (3)

アルミニウム合金基板と、前記アルミニウム合金基板の少なくとも一方の表面に形成されているNiP系めっき被膜とを含む磁気記録媒体用基板であって、
単位がGPaで表されるヤング率Eと、単位がg/cmで表される密度ρとの比E/ρが29以上32以下であり、
前記アルミニウム合金基板は、Siを9.5質量%以上13.0質量%以下の範囲内、Cuを2.0質量%以上3.0質量%以下の範囲内、Srを0.005質量%以上0.1質量%以下の範囲内で含み、Feの含有量が0.01質量%未満であって、残部がAlであり、
直径が53mm以上97mm以下の範囲内にあって、厚さが0.4mm以上0.9mm以下の範囲内にあることを特徴とする磁気記録媒体用基板。
A substrate for a magnetic recording medium including an aluminum alloy substrate and a NiP-based plating film formed on at least one surface of the aluminum alloy substrate.
The ratio E / ρ of the Young's modulus E whose unit is expressed in GPa and the density ρ whose unit is expressed in g / cm 3 is 29 or more and 32 or less .
The aluminum alloy substrate contains Si in the range of 9.5% by mass or more and 13.0% by mass or less, Cu in the range of 2.0 % by mass or more and 3.0% by mass or less, and Sr in the range of 0.005% by mass or more. It is contained within the range of 0.1% by mass or less, the Fe content is less than 0.01% by mass, and the balance is Al.
A substrate for a magnetic recording medium, characterized in that the diameter is within the range of 53 mm or more and 97 mm or less, and the thickness is within the range of 0.4 mm or more and 0.9 mm or less.
磁気記録媒体用基板と、前記磁気記録媒体用基板の表面に備えられている磁性層とを有する磁気記録媒体であって、
前記磁気記録媒体用基板が、請求項1に記載の磁気記録媒体用基板であって、前記磁性層が、前記磁気記録媒体用基板の前記NiP系めっき被膜が形成されている側の表面に備えられていることを特徴とする磁気記録媒体。
A magnetic recording medium having a magnetic recording medium substrate and a magnetic layer provided on the surface of the magnetic recording medium substrate.
The magnetic recording medium substrate is the magnetic recording medium substrate according to claim 1, and the magnetic layer is provided on the surface of the magnetic recording medium substrate on the side on which the NiP-based plating film is formed. A magnetic recording medium characterized by being plated.
磁気記録媒体を具備したハードディスクドライブであって、
前記磁気記録媒体が請求項2に記載の磁気記録媒体であることを特徴とするハードディスクドライブ。
A hard disk drive equipped with a magnetic recording medium
A hard disk drive, wherein the magnetic recording medium is the magnetic recording medium according to claim 2.
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