JP6845772B2 - Photosensitive film laminate and cured product formed using it - Google Patents
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Description
本発明は、感光性フィルム積層体およびそれを用いて形成された硬化物に関する。 The present invention relates to a photosensitive film laminate and a cured product formed by using the photosensitive film laminate.
一般に、電子機器などに用いられるプリント配線板において、プリント配線板に電子部品を実装する際には、不必要な部分にはんだが付着するのを防止するために、回路パターンの形成された基板上の接続孔を除く領域にソルダーレジスト層が形成されている。 Generally, in a printed wiring board used for electronic devices and the like, when mounting electronic components on the printed wiring board, on a substrate on which a circuit pattern is formed in order to prevent solder from adhering to unnecessary parts. A solder resist layer is formed in the region other than the connection hole of the above.
近年の電子機器の軽薄短小化によるプリント配線板の高精度、高密度化に伴い、現在、ソルダーレジスト層は、基板に感光性樹脂組成物を塗布、乾燥し、露光、現像によりパターン形成した後、パターン形成された樹脂を加熱ないし光照射によって本硬化させる、いわゆるフォトソルダーレジストによって形成されるのが主流となっている。 With the recent increase in precision and density of printed wiring boards due to lighter, thinner, shorter and smaller electronic devices, the solder resist layer is currently coated with a photosensitive resin composition on a substrate, dried, and then patterned by exposure and development. The mainstream is that the patterned resin is formed by a so-called photosolder resist, which is mainly cured by heating or light irradiation.
また、上記したような液状の感光性樹脂組成物を使用することなく、感光性フィルムを備える、いわゆる感光性フィルム積層体を使用してソルダーレジスト層を形成することも提案されている。このような感光性フィルム積層体は、一般的には、支持フィルム上に感光性樹脂組成物により形成された感光性フィルムを貼り合わせたものであり、必要に応じて感光性フィルム表面には保護フィルムが貼り合わされていることもある。このような感光性フィルム積層体は、使用時に保護フィルムを剥離して配線基板に加熱圧着によりラミネートし、露光前に、または支持フィルム側から露光した後に、支持フィルムを剥離して現像を行うことにより、パターン形成されたソルダーレジスト層を形成することができる。感光性フィルム積層体を用いることにより、ウエットコーティングの場合と比べて、塗布後の乾燥工程を不要にできることに加え、得られたソルダーレジスト層の表面平滑性や表面硬度にも優れる。さらに近年では、作業性の観点から、感光性フィルムを薄くする傾向にあり、感光性フィルムだけでなく、感光性フィルムが積層された支持フィルムも薄膜化の傾向にある。 It has also been proposed to form a solder resist layer using a so-called photosensitive film laminate provided with a photosensitive film without using the liquid photosensitive resin composition as described above. Such a photosensitive film laminate is generally formed by laminating a photosensitive film formed of a photosensitive resin composition on a support film, and protects the surface of the photosensitive film as necessary. The film may be stuck together. Such a photosensitive film laminate is developed by peeling off the protective film at the time of use, laminating it on a wiring substrate by heat bonding, and peeling off the support film before exposure or after exposure from the support film side. Therefore, a patterned solder resist layer can be formed. By using the photosensitive film laminate, in addition to eliminating the need for a drying step after coating, the surface smoothness and surface hardness of the obtained solder resist layer are also excellent as compared with the case of wet coating. Further, in recent years, from the viewpoint of workability, the photosensitive film tends to be thinned, and not only the photosensitive film but also the support film on which the photosensitive film is laminated tends to be thinned.
上記のように配線基板上にソルダーレジスト層を形成する工程において、感光性フィルム積層体を配線基板にラミネートした後、次の工程に進むまでの間に、ラミネートされた配線基板を順次重ねて一時的に保管する場合がある。その場合、感光性フィルム積層体を貼り合わせた配線基板を重ねる際の衝撃や、重ね合わせた際の自重により、配線基板上に設けた感光性フィルム積層体の表面が傷ついてしまうことがある。特に、最近の感光性フィルム積層体の薄膜化の影響により、重ねあわせる際の衝撃や自重による押圧に起因して支持フィルムのみならず、支持フィルムに積層された感光性フィルム表面まで傷ついてしまうことがある。 In the step of forming the solder resist layer on the wiring board as described above, after laminating the photosensitive film laminate on the wiring board, the laminated wiring boards are sequentially stacked and temporarily before proceeding to the next step. May be stored as a target. In that case, the surface of the photosensitive film laminate provided on the wiring board may be damaged by the impact when stacking the wiring boards to which the photosensitive film laminates are laminated or the weight of the wiring boards when the photosensitive film laminates are laminated. In particular, due to the recent thinning of the photosensitive film laminate, not only the support film but also the surface of the photosensitive film laminated on the support film is damaged due to the impact at the time of stacking and the pressing due to its own weight. There is.
したがって、本発明の目的は、感光性フィルム積層体がラミネートされた基板等を重ね合せた際の強い衝撃や押圧によっても、感光性フィルム表面への影響を抑制することができる感光性フィルム積層体を提供することである。また、本発明の別の目的は、前記感光性フィルム積層体を用いて形成された硬化物を提供することである。 Therefore, an object of the present invention is a photosensitive film laminate capable of suppressing an influence on the photosensitive film surface even by a strong impact or pressure when a substrate or the like on which the photosensitive film laminate is laminated is laminated. Is to provide. Another object of the present invention is to provide a cured product formed by using the photosensitive film laminate.
本発明者らは今般、感光性フィルム積層体がラミネートされた基板等を重ね合せた際の衝撃や押圧による感光性フィルム表面の損傷が、感光性フィルム自体の耐衝撃性のみに起因するのではなく、感光性フィルム表面に接する層、すなわち感光性フィルムと直接に接した層の材質に大きく関係することを見いだした。そして、本発明者らは、特定の成分を含有した中間層を備えた支持フィルムと感光性フィルムとの間に設けた積層体とすることにより、感光性フィルム積層体がラミネートされた基板等を重ね合せた際の強い衝撃や押圧によっても、感光性フィルム表面への影響を抑制することができる、との知見を得た。
さらに本発明者らは、上記のような特定の成分を含有した中間層を備えた感光性フィルム積層体を使用して形成したソルダーレジスト層は、その表面に衝撃による影響を及ぼさないため、歩留りを改善することができる、との知見を得た。本発明はかかる知見によるものである。
The present inventors have now said that the damage to the surface of the photosensitive film due to impact or pressing when the substrates or the like on which the photosensitive film laminates are laminated is caused only by the impact resistance of the photosensitive film itself. However, it was found that it is largely related to the material of the layer in contact with the surface of the photosensitive film, that is, the layer in direct contact with the photosensitive film. Then, the present inventors have made a substrate or the like on which the photosensitive film laminate is laminated by forming a laminate provided between the support film having an intermediate layer containing a specific component and the photosensitive film. It was found that the influence on the surface of the photosensitive film can be suppressed even by a strong impact or pressure when the films are overlapped.
Furthermore, the present inventors have determined that the solder resist layer formed by using the photosensitive film laminate provided with the intermediate layer containing the above-mentioned specific component does not affect the surface thereof due to impact, and therefore the yield is high. It was found that it can be improved. The present invention is based on such findings.
すなわち、本発明による感光性フィルム積層体は、支持フィルムと、中間層と、感光性樹脂組成物により形成されてなる感光性フィルムと、を順次備えた感光性フィルム積層体であって、
前記中間層が、メラミンおよびメラミン化合物の少なくともいずれか1種を含んでなることを特徴とするものである。
That is, the photosensitive film laminate according to the present invention is a photosensitive film laminate comprising a support film, an intermediate layer, and a photosensitive film formed of a photosensitive resin composition in that order.
The intermediate layer is characterized by containing at least one of melamine and a melamine compound.
本発明の態様においては、前記支持フィルムの厚みが、10〜150μmであることが好ましい。 In the aspect of the present invention, the thickness of the support film is preferably 10 to 150 μm.
本発明の態様においては、前記感光性樹脂組成物が、フィラーおよび架橋成分を含んでなることが好ましい。 In the aspect of the present invention, it is preferable that the photosensitive resin composition contains a filler and a cross-linking component.
本発明の態様においては、前記感光性フィルムの、前記中間層とは反対の面側に保護フィルムをさらに備えてなることが好ましい。 In the aspect of the present invention, it is preferable that the photosensitive film is further provided with a protective film on the side opposite to the intermediate layer.
また、本発明の別の態様による硬化物は、上記感光性フィルム積層体を用いて形成されたことを特徴とするものである。 Further, the cured product according to another aspect of the present invention is characterized in that it is formed by using the above-mentioned photosensitive film laminate.
本発明によれば、感光性フィルムと支持フィルムとの間に上記のような特定の成分を含有した中間層を設けた感光性フィルム積層体とすることにより、感光性フィルム積層体をラミネートした基板等を重ね合せた際の強い衝撃や押圧によっても、感光性フィルム表面への影響を抑制することができる。特に、上記感光性フィルム積層体をソルダーレジスト層の形成に用いた場合に有効である。また、上記支持フィルムが薄膜であっても上記効果を奏する点で有効である。さらに、本発明の別の態様によれば、前記感光性フィルム積層体を用いて形成された硬化物を実現できる。 According to the present invention, a substrate in which a photosensitive film laminate is laminated by forming a photosensitive film laminate in which an intermediate layer containing a specific component as described above is provided between the photosensitive film and a support film. It is possible to suppress the influence on the surface of the photosensitive film even by a strong impact or pressing when the above is superposed. In particular, it is effective when the above-mentioned photosensitive film laminate is used for forming a solder resist layer. Further, even if the support film is a thin film, it is effective in that the above effect is obtained. Further, according to another aspect of the present invention, a cured product formed by using the photosensitive film laminate can be realized.
本発明による感光性フィルム積層体について、図面を参照しながら説明する。図1は、本発明による感光性フィルム積層体の一実施形態を示した概略断面図である。本発明による感光性フィルム積層体1は、支持フィルム10と、中間層20と、感光性樹脂組成物により形成されてなる感光性フィルム30と、をこの順で積層した構造を備えている。ここで感光性フィルムとは、感光性樹脂組成物をフィルム形状としたものであって、支持フィルムや保護フィルムといった他の層が積層されていないものをいう。また、本発明においては、上記構成に加えて他のフィルム等を備えていてもよい。例えば、感光性フィルムの表面に塵等が付着するのを防止するとともに、感光性フィルム積層体の取扱性を考慮して、図2に示すように、感光性フィルム積層体1には、感光性フィルム30の、中間層20とは反対の面側に、更に保護フィルム40が設けられていてもよい。以下、本発明によるフィルム積層体を構成する各構成要素について説明する。
The photosensitive film laminate according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of a photosensitive film laminate according to the present invention. The
[支持フィルム]
本発明の感光性フィルム積層体における支持フィルムは、後記する感光性フィルムを支持するとともに、後記するように感光性フィルムの露光、現像時に、感光性フィルムの支持フィルムと接する側の表面に所定の表面形態を賦型する役割を有するものである。
[Support film]
The support film in the photosensitive film laminate of the present invention supports the photosensitive film described later, and is predetermined on the surface of the photosensitive film on the side in contact with the support film during exposure and development as described later. It has a role of shaping the surface morphology.
本発明の感光性フィルム積層体における支持フィルムとしては、公知のものであれば特に制限なく使用することができ、例えば、ポリエチレンテレフタレートやポリエチレンナフタレート等のポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム等の熱可塑性樹脂からなるフィルムを好適に使用することができる。また、前記熱可塑性樹脂フィルムを使用する場合、フィルムを成膜する際の樹脂中にフィラーを添加(練り込み処理)したり、マットコーティング(コーティング処理)したり、フィルム表面をサンドブラスト処理のようなブラスト処理をしたり、あるいはヘアライン加工、またはケミカルエッチング等の処理を施したものであってもよい。これらの中でも、耐熱性、機械的強度、取扱性等の観点から、ポリエステルフィルムを好適に使用することができる。支持フィルムは単層でもよく、2層以上が積層されていてもよい。 As the support film in the photosensitive film laminate of the present invention, any known one can be used without particular limitation. For example, a polyester film such as polyethylene terephthalate or polyethylene naphthalate, a polyimide film, a polyamideimide film, or polypropylene can be used. A film made of a thermoplastic resin such as a film or a polystyrene film can be preferably used. When the thermoplastic resin film is used, a filler is added (kneaded) into the resin when the film is formed, a matte coating (coating treatment) is applied, and the film surface is sandblasted. It may be blasted, hairlined, or chemically etched. Among these, a polyester film can be preferably used from the viewpoints of heat resistance, mechanical strength, handleability and the like. The support film may be a single layer, or two or more layers may be laminated.
また、上記したような熱可塑性樹脂フィルムは、強度を向上させる目的で、一軸方向または二軸方向に延伸されたフィルムを使用することが好ましい。 Further, as the thermoplastic resin film as described above, it is preferable to use a film stretched in the uniaxial direction or the biaxial direction for the purpose of improving the strength.
支持フィルムの厚さは、取扱い性の観点より10〜150μmの範囲が好ましく、10〜100μmの範囲がより好ましく、10〜50μmの範囲がさらに好ましい。 The thickness of the support film is preferably in the range of 10 to 150 μm, more preferably in the range of 10 to 100 μm, and even more preferably in the range of 10 to 50 μm from the viewpoint of handleability.
また、支持フィルムにコーティングにより後述する中間層が設けられている支持フィルムと中間層とが一体化したものを用いてもよい。 Further, a support film in which an intermediate layer described later is provided by coating on the support film and the intermediate layer may be integrated.
<中間層>
本発明の感光性フィルム積層体における中間層は、メラミンおよびメラミン化合物の少なくともいずれか1種を含む。本発明者等は鋭意研究した結果、支持フィルムと感光性フィルムとの間に特定の材料からなる中間層を設けることにより、感光性フィルムの表面が強い衝撃による影響を受けないことを見出した。その理由は必ずしも明らかではないが、中間層が、積層された感光性フィルムの表面を強い衝撃から保護し、その結果、感光性フィルム表面状態に影響を及ぼさなくなると推測されるが、あくまでも推測の範囲であり、必ずしもこの限りではない。
<Middle layer>
The intermediate layer in the photosensitive film laminate of the present invention contains at least one of melamine and a melamine compound. As a result of diligent research, the present inventors have found that the surface of the photosensitive film is not affected by a strong impact by providing an intermediate layer made of a specific material between the supporting film and the photosensitive film. The reason is not always clear, but it is presumed that the intermediate layer protects the surface of the laminated photosensitive film from strong impact, and as a result, it does not affect the surface condition of the photosensitive film. It is a range, not necessarily this.
中間層の厚さは、感光性フィルム保護の観点より0.1〜10μmの範囲が好ましく、1〜8μmの範囲がより好ましい。 The thickness of the intermediate layer is preferably in the range of 0.1 to 10 μm, more preferably in the range of 1 to 8 μm from the viewpoint of protecting the photosensitive film.
中間層に含まれるメラミン、メラミン化合物は公知慣用のものを使用することができる。また本発明において、メラミン化合物にはメラミン化合物と他の物質との混合物も含むものとする。なお、本発明において「メラミン」とは、メラミン(2,4,6−トリアミノ−1,3,5−トリアジン)とホルムアルデヒドの付加縮合により硬化された樹脂をいうが、かかるメラミンとホルムアルデヒドとの初期反応物であるメチロールメラミンおよびそのアルキル化物であるアルキル化メチロールメラミンも含む概念である。メラミンとしては、メチル化メチロールメラミン、プロピル化メチロールメラミン、ブチル化メチロールメラミン、イソブチル化メチロールメラミン等の変性メラミンも含まれる。また、メラミン(メタ)アクリレートのようなメラミン変性物も含まれる。 As the melamine and the melamine compound contained in the intermediate layer, known and commonly used compounds can be used. Further, in the present invention, the melamine compound also includes a mixture of the melamine compound and another substance. In the present invention, "melamine" refers to a resin cured by polycondensation of melamine (2,4,6-triamino-1,3,5-triazine) and formaldehyde, and the initial stage of such melamine and formaldehyde. The concept also includes methylol melamine, which is a reaction product, and alkylated methylol melamine, which is an alkylated product thereof. The melamine also includes modified melamines such as methylated methylol melamine, propylated methylol melamine, butylated methylol melamine, and isobutylized methylol melamine. It also includes melamine-modified products such as melamine (meth) acrylate.
また、メラミン化合物とは、上記したメラミンと、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、アルキド樹脂等の他の樹脂との混合物であり、例えば、アクリルメラミン、アルキドメラミン、ポリエステルメラミン、エポキシメラミン等が挙げられる。これらのなかでも、より優れた耐衝撃性が得られることよりアクリルメラミン、エポキシメラミンが好ましく、アクリルメラミンがより好ましい。なお、ここでのアクリルメラミンとは、アクリル樹脂とメラミン樹脂との混合物であり、アクリル樹脂をメラミン樹脂で硬化させるタイプものをいう。またエポキシメラミンとは、エポキシ樹脂とメラミン樹脂との混合物であり、エポキシ樹脂をメラミン樹脂で硬化させるタイプのものをいう。メラミンの具体例としては、DIC株式会社製アミディアJ−820−60、L−109−65、L−117−60、L−127−60、13−548、G−821−60、L−110−60G、L−125−60、L−166−60B、L−105−60、三井化学株式会社製ユーバン20SE60、20SB、22R、125、132、62、60R、169等が挙げられる。また、アクリル樹脂やエポキシ樹脂も特に制限なく公知慣用のものを使用することができる。アクリル樹脂の具体例としては、DIC株式会社製アクリディック54−172−60、A−322、A−405、A−452等が挙げられる。また、エポキシ樹脂の具体例としては、三井化学株式会社製エポミックR301等が挙げられる。メラミン樹脂の含有量はアクリル樹脂またはエポキシ樹脂との合計量に対して、0.1〜50質量%とすることが好ましく、1〜40質量%とすることがより好ましい。 The melamine compound is a mixture of the above-mentioned melamine and another resin such as an acrylic resin, an epoxy resin, and an alkyd resin, and examples thereof include acrylic melamine, alkyd melamine, polyester melamine, and epoxy melamine. Among these, acrylic melamine and epoxy melamine are preferable, and acrylic melamine is more preferable, because more excellent impact resistance can be obtained. The acrylic melamine here is a mixture of an acrylic resin and a melamine resin, and refers to a type in which the acrylic resin is cured with the melamine resin. The epoxy melamine is a mixture of an epoxy resin and a melamine resin, and refers to a type in which the epoxy resin is cured with the melamine resin. Specific examples of melamine include Amidia J-820-60, L-109-65, L-117-60, L-127-60, 13-548, G-821-60, L-110- manufactured by DIC Corporation. Examples thereof include 60G, L-125-60, L-166-60B, L-105-60, Uban 20SE60, 20SB, 22R, 125, 132, 62, 60R and 169 manufactured by Mitsui Chemicals, Inc. Further, as the acrylic resin and the epoxy resin, known and commonly used ones can be used without particular limitation. Specific examples of the acrylic resin include Acrydic 54-172-60, A-322, A-405, and A-452 manufactured by DIC Corporation. Specific examples of the epoxy resin include Epomic R301 manufactured by Mitsui Chemicals, Inc. The content of the melamine resin is preferably 0.1 to 50% by mass, more preferably 1 to 40% by mass, based on the total amount of the acrylic resin or epoxy resin.
このような中間層に含まれるメラミンおよびメラミン化合物の配合量は、層全体に対して10〜90質量%であることが好ましく、20〜80質量%であることがより好ましい。 The blending amount of melamine and the melamine compound contained in such an intermediate layer is preferably 10 to 90% by mass, more preferably 20 to 80% by mass with respect to the entire layer.
中間層は、効果を損なわない範囲で他の樹脂が含まれていてもよい。特に、樹脂成分としてシリコーン系樹脂が中間層に含まれていることが好ましい。本発明による感光性フィルム積層体は、感光性フィルムを硬化させて硬化被膜を形成した際に、支持フィルムおよび中間層を感光性フィルム(硬化被膜)から剥離する必要があるが、中間層にシリコーン系樹脂が含まれることにより、感光性フィルムから支持フィルムおよび中間層を剥離し易くなるとともに、支持フィルムと中間層との密着性を維持することができる。また、中間層に上記したメラミンまたはメラミン化合物とシリコーン系樹脂とが含まれることにより、衝撃や押圧によって感光性フィルムの表面が損傷するのをより一層抑制することができる。シリコーン系樹脂としては、特に制限なく使用することができるが、例えば、東亜合成株式会社製のサイマックUS−120、US−150、US−270、US−350およびアロンGS−30等が挙げられる。 The intermediate layer may contain other resins as long as the effect is not impaired. In particular, it is preferable that the intermediate layer contains a silicone-based resin as a resin component. In the photosensitive film laminate according to the present invention, when the photosensitive film is cured to form a cured film, it is necessary to peel off the support film and the intermediate layer from the photosensitive film (cured film), but the intermediate layer is made of silicone. By containing the based resin, the support film and the intermediate layer can be easily peeled off from the photosensitive film, and the adhesion between the support film and the intermediate layer can be maintained. Further, when the above-mentioned melamine or melamine compound and the silicone-based resin are contained in the intermediate layer, it is possible to further suppress damage to the surface of the photosensitive film due to impact or pressing. The silicone-based resin can be used without particular limitation, and examples thereof include Cymac US-120, US-150, US-270, US-350, and Aron GS-30 manufactured by Toagosei Co., Ltd.
また、中間層には、樹脂以外の成分として、フィラー、硬化促進剤、添加剤、帯電防止剤等が適宜含有されていてもよい。フィラーとしては、特に制限なく公知のものを使用でき、例えば、シリカ、炭酸カルシウム等が挙げられる。それらのなかでもシリカが好ましい。フィラーの平均粒子径は、特に限定されないが、1.0〜5.5μmが好ましく、2.0〜4.5μmであることがより好ましく、2.0〜3.0μmであることがさらに好ましい。また、帯電防止剤としては、従来公知の停電防止剤を使用できるが、それらのなかでも下記一般式(I)で表される第4級アンモニウム塩を主成分とするカチオン系界面活性剤を好適に使用することができる。下記式で表されるようなカチオン系界面活性剤が中間層に含まれることにより、衝撃や押圧によって感光性フィルムの表面が損傷するのをより一層抑制することができる。 Further, the intermediate layer may appropriately contain a filler, a curing accelerator, an additive, an antistatic agent and the like as components other than the resin. As the filler, known fillers can be used without particular limitation, and examples thereof include silica and calcium carbonate. Among them, silica is preferable. The average particle size of the filler is not particularly limited, but is preferably 1.0 to 5.5 μm, more preferably 2.0 to 4.5 μm, and even more preferably 2.0 to 3.0 μm. Further, as the antistatic agent, conventionally known power failure prevention agents can be used, and among them, a cationic surfactant containing a quaternary ammonium salt represented by the following general formula (I) as a main component is preferable. Can be used for. By including a cationic surfactant as represented by the following formula in the intermediate layer, it is possible to further suppress damage to the surface of the photosensitive film due to impact or pressing.
上記式(I)のカチオン系界面活性剤のなかでも、下記一般式(II)で表されるものをより好ましく使用することができる。
<感光性フィルム>
本発明の感光性フィルム積層体を構成する感光性フィルムは、露光、現像することによってパターニングされ、回路基板上に設けられた硬化被膜となる。硬化被膜としては、ソルダーレジスト層であることが好ましい。このような感光性フィルムは感光性樹脂組成物を用いて形成され、感光性樹脂組成物は従来公知のソルダーレジストインキ等を制限なく使用できるが、以下、本発明による感光性フィルムに好ましく使用できる感光性樹脂組成物の一例を説明する。
<Photosensitive film>
The photosensitive film constituting the photosensitive film laminate of the present invention is patterned by exposure and development, and becomes a cured film provided on a circuit board. The cured film is preferably a solder resist layer. Such a photosensitive film is formed by using a photosensitive resin composition, and a conventionally known solder resist ink or the like can be used without limitation in the photosensitive resin composition, but the photosensitive film according to the present invention can be preferably used below. An example of the photosensitive resin composition will be described.
本発明において、感光性樹脂組成物は、架橋成分およびフィラーを含むことが好ましい。さらに、光重合開始剤を含むことがより好ましい。架橋成分はカルボキシル基含有感光性樹脂や感光性モノマーが好ましく、さらに加熱する場合、熱によって架橋する成分を含むことが好ましい。以下、各成分について説明する。 In the present invention, the photosensitive resin composition preferably contains a cross-linking component and a filler. Further, it is more preferable to include a photopolymerization initiator. The cross-linking component is preferably a carboxyl group-containing photosensitive resin or a photosensitive monomer, and when further heated, it preferably contains a component that is cross-linked by heat. Hereinafter, each component will be described.
[架橋成分]
架橋成分は架橋する成分であれば特に制限はされず、公知慣用のものを使用することができる。特にカルボキシル基含有感光性樹脂や感光性モノマーが好ましく、さらに加熱する場合、熱によって架橋する成分(以下、熱架橋成分)を含むことが好ましい。
[Crosslink component]
The cross-linking component is not particularly limited as long as it is a cross-linking component, and known and commonly used components can be used. In particular, a carboxyl group-containing photosensitive resin or a photosensitive monomer is preferable, and when further heated, it is preferable to contain a component that is crosslinked by heat (hereinafter, a thermally crosslinked component).
カルボキシル基含有感光性樹脂は、光照射により重合ないし架橋して硬化する成分であり、カルボキシル基が含まれることによりアルカリ現像性とすることができる。また、光硬化性や耐現像性の観点から、カルボキシル基の他に、分子内にエチレン性不飽和結合を有することが好ましい。エチレン性不飽和二重結合としては、アクリル酸もしくはメタアクリル酸またはそれらの誘導体由来のものが好ましい。 The carboxyl group-containing photosensitive resin is a component that is polymerized or crosslinked and cured by light irradiation, and can be made alkaline developable by containing a carboxyl group. Further, from the viewpoint of photocurability and development resistance, it is preferable to have an ethylenically unsaturated bond in the molecule in addition to the carboxyl group. The ethylenically unsaturated double bond is preferably derived from acrylic acid or methacrylic acid or a derivative thereof.
また、カルボキシル基含有感光性樹脂として、エポキシ樹脂を出発原料として使用していないカルボキシル基含有感光性樹脂を用いることが好ましい。エポキシ樹脂を出発原料として使用していないカルボキシル基含有感光性樹脂は、ハロゲン化物イオン含有量が非常に少なく、絶縁信頼性の劣化を抑えることができる。カルボキシル基含有感光性樹脂の具体例としては、以下に列挙するような化合物(オリゴマーまたはポリマーのいずれでもよい)が挙げられる。 Further, as the carboxyl group-containing photosensitive resin, it is preferable to use a carboxyl group-containing photosensitive resin that does not use an epoxy resin as a starting material. The carboxyl group-containing photosensitive resin that does not use an epoxy resin as a starting material has a very low halide ion content and can suppress deterioration of insulation reliability. Specific examples of the carboxyl group-containing photosensitive resin include compounds (either oligomers or polymers) listed below.
(1)2官能またはそれ以上の多官能(固形)エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸などの2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂、
(2)2官能(固形)エポキシ樹脂の水酸基を、さらにエピクロロヒドリンでエポキシ化した多官能エポキシ樹脂に、(メタ)アクリル酸を反応させ、生じた水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂、
(3)1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物に、1分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と1個のフェノール性水酸基を有する化合物と、(メタ)アクリル酸などの不飽和基含有モノカルボン酸とを反応させ、得られた反応生成物のアルコール性水酸基に対して、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、アジピン酸などの多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂、
(4)ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、ノボラック型フェノール樹脂、ポリ−p−ヒドロキシスチレン、ナフトールとアルデヒド類の縮合物、ジヒドロキシナフタレンとアルデヒド類との縮合物などの1分子中に2個以上のフェノール性水酸基を有する化合物と、エチレンオキシド、プロピレンオキシドなどのアルキレンオキシドとを反応させて得られる反応生成物に、(メタ)アクリル酸などの不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂、
(5)1分子中に2個以上のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネートなどの環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に、不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂、
(6)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネートなどのジイソシアネート化合物と、ポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基およびアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物などのジオール化合物の重付加反応によるウレタン樹脂の末端に、酸無水物を反応させてなる末端カルボキシル基含有ウレタン樹脂、
(7)ジイソシアネートと、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロール酪酸などのカルボキシル基含有ジアルコール化合物と、ジオール化合物との重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートなどの分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有ウレタン樹脂、
(8)ジイソシアネートと、カルボキシル基含有ジアルコール化合物と、ジオール化合物との重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂の合成中に、イソホロンジイソシアネートとペンタエリスリトールトリアクリレートの等モル反応物など、分子中に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有ウレタン樹脂、
(9)(メタ)アクリル酸などの不飽和カルボン酸と、スチレン、α−メチルスチレン、低級アルキル(メタ)アクリレート、イソブチレンなどの不飽和基含有化合物との共重合により得られるカルボキシル基含有感光性樹脂、
(10)後述するような多官能オキセタン樹脂に、アジピン酸、フタル酸、ヘキサヒドロフタル酸などのジカルボン酸を反応させ、生じた1級の水酸基に、2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有ポリエステル樹脂に、さらにグリシジル(メタ)アクリレート、α−メチルグリシジル(メタ)アクリレートなどの1分子中に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなるカルボキシル基含有感光性樹脂、および
(11)上述した(1)〜(10)のいずれかのカルボキシル基含有感光性樹脂に、1分子中に環状エーテル基と(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂、等が挙げられる。なお、ここで(メタ)アクリレートとは、アクリレート、メタクリレートおよびそれらの混合物を総称する用語で、以下他の類似の表現についても同様である。
(1) A bifunctional or higher polyfunctional (solid) epoxy resin is reacted with (meth) acrylic acid, and the hydroxyl groups present in the side chains are subjected to two bases such as phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, and hexahydrophthalic anhydride. Carboxyl group-containing photosensitive resin with acid anhydride added,
(2) A (meth) acrylic acid is reacted with a polyfunctional epoxy resin obtained by epoxidizing a hydroxyl group of a bifunctional (solid) epoxy resin with epichlorohydrin, and a dibasic acid anhydride is added to the generated hydroxyl group. Carboxyl group-containing photosensitive resin,
(3) An epoxy compound having two or more epoxy groups in one molecule, a compound having at least one alcoholic hydroxyl group and one phenolic hydroxyl group in one molecule, and non-hydride such as (meth) acrylic acid. A multi-base such as maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, adipic acid, etc., with respect to the alcoholic hydroxyl group of the reaction product obtained by reacting with a saturated group-containing monocarboxylic acid. Carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting acid anhydride,
(4) Two or more in one molecule such as bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, novolak type phenol resin, poly-p-hydroxystyrene, condensate of naphthol and aldehydes, condensate of dihydroxynaphthalene and aldehydes, etc. A reaction obtained by reacting a reaction product obtained by reacting a compound having a phenolic hydroxyl group with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid such as (meth) acrylic acid. A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting a product with a polybasic acid anhydride,
(5) An unsaturated group-containing monocarboxylic acid is reacted with a reaction product obtained by reacting a compound having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule with a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate or propylene carbonate. , A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting the obtained reaction product with a polybasic acid anhydride,
(6) Aliphatic compounds such as aliphatic diisocyanates, branched aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates, and aromatic diisocyanates, and polycarbonate-based polyols, polyether-based polyols, polyester-based polyols, polyolefin-based polyols, acrylic-based polyols, and bisphenol A-based An alkylene oxide adduct diol, a terminal carboxyl group-containing urethane resin obtained by reacting an acid anhydride with the end of a urethane resin produced by a double addition reaction of a diol compound such as a compound having a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group.
(7) Molecules such as hydroxyalkyl (meth) acrylate during the synthesis of a carboxyl group-containing urethane resin by a double addition reaction between a diisocyanate, a carboxyl group-containing dialcohol compound such as dimethylolpropionic acid and dimethylolbutyric acid, and a diol compound. A carboxyl group-containing urethane resin obtained by adding a compound having one hydroxyl group and one or more (meth) acryloyl groups to the terminal (meth) acrylic.
(8) During the synthesis of the carboxyl group-containing urethane resin by the double addition reaction of the diisocyanate, the carboxyl group-containing dialcohol compound, and the diol compound, 1 in the molecule, such as an equimolar reaction product of isophorone diisocyanate and pentaerythritol triacrylate. A carboxyl group-containing urethane resin that is terminally (meth) acrylicated by adding a compound having one isocyanate group and one or more (meth) acryloyl groups.
(9) Carboxyl group-containing photosensitive obtained by copolymerization of an unsaturated carboxylic acid such as (meth) acrylic acid with an unsaturated group-containing compound such as styrene, α-methylstyrene, lower alkyl (meth) acrylate, and isobutylene. resin,
(10) A carboxyl group obtained by reacting a polyfunctional oxetane resin as described later with a dicarboxylic acid such as adipic acid, phthalic acid, or hexahydrophthalic acid, and adding a dibasic acid anhydride to the generated primary hydroxyl group. A carboxyl group formed by adding a compound having one epoxy group and one or more (meth) acryloyl groups in one molecule such as glycidyl (meth) acrylate and α-methylglycidyl (meth) acrylate to the contained polyester resin. A compound having a cyclic ether group and a (meth) acryloyl group in one molecule was added to the containing photosensitive resin and (11) the carboxyl group-containing photosensitive resin according to any one of (1) to (10) described above. Examples thereof include a photosensitive resin containing a carboxyl group. Here, (meth) acrylate is a general term for acrylate, methacrylate and a mixture thereof, and the same applies to other similar expressions below.
上記したカルボキシル基含有感光性樹脂の中でも、上述したように、エポキシ樹脂を出発原料として用いていないカルボキシル基含有感光性樹脂を好適に用いることができる。従って、上述したカルボキシル基含有感光性樹脂の具体例のうち、(4)〜(8)のいずれか1種以上のカルボキシル基含有感光性樹脂を特に好適に用いることができる。 Among the above-mentioned carboxyl group-containing photosensitive resins, as described above, a carboxyl group-containing photosensitive resin that does not use an epoxy resin as a starting material can be preferably used. Therefore, among the specific examples of the above-mentioned carboxyl group-containing photosensitive resin, one or more of the carboxyl group-containing photosensitive resins (4) to (8) can be particularly preferably used.
このように、エポキシ樹脂を出発原料として用いないことにより、塩素イオン不純物量を例えば100ppm以下と非常に少なく抑えることができる。本発明において好適に用いられるカルボキシル基含有感光性樹脂の塩素イオン不純物含有量は0〜100ppm、より好ましくは0〜50ppm、さらに好ましくは0〜30ppmである。 As described above, by not using the epoxy resin as a starting material, the amount of chlorine ion impurities can be suppressed to a very small value of 100 ppm or less, for example. The chlorine ion impurity content of the carboxyl group-containing photosensitive resin preferably used in the present invention is 0 to 100 ppm, more preferably 0 to 50 ppm, still more preferably 0 to 30 ppm.
また、エポキシ樹脂を出発原料として用いないことにより、水酸基を含まない(もしくは、水酸基の量が低減された)樹脂を容易に得ることができる。一般的に水酸基の存在は水素結合による密着性の向上など優れた特徴も有しているが、著しく耐湿性を低下させることが知られており、水酸基を含まないカルボキシル基含有感光性樹脂とすることにより、耐湿性を向上させることが可能となる。 Further, by not using an epoxy resin as a starting material, a resin containing no hydroxyl group (or a resin having a reduced amount of hydroxyl groups) can be easily obtained. Generally, the presence of a hydroxyl group also has excellent characteristics such as improvement of adhesion due to hydrogen bonding, but it is known that the moisture resistance is significantly reduced, and a carboxyl group-containing photosensitive resin containing no hydroxyl group is used. This makes it possible to improve the moisture resistance.
なお、ホスゲンを出発原料として用いていないイソシアネート化合物、エピハロヒドリンを使用しない原料から合成され、塩素イオン不純物量が0〜30ppmのカルボキシル基含有ウレタン樹脂も好適に用いられる。このようなウレタン樹脂において、水酸基とイソシアネート基の当量を合わせることにより、水酸基を含まない樹脂を容易に合成することができる。 A carboxyl group-containing urethane resin synthesized from an isocyanate compound that does not use phosgene as a starting material and a raw material that does not use epihalohydrin and having a chlorine ion impurity amount of 0 to 30 ppm is also preferably used. In such a urethane resin, a resin containing no hydroxyl group can be easily synthesized by matching the equivalents of the hydroxyl group and the isocyanate group.
また、ウレタン樹脂の合成の際に、ジオール化合物としてエポキシアクリレート変性原料を使用することもできる。塩素イオン不純物は入ってしまうが、塩素イオン不純物量をコントロールできるといった点から使用することは可能である。 Further, when synthesizing the urethane resin, an epoxy acrylate-modified raw material can also be used as the diol compound. Although chlorine ion impurities are included, it can be used from the viewpoint that the amount of chlorine ion impurities can be controlled.
このような観点から、例えば半導体パッケージ用ソルダーレジストとしてより優れたPCT耐性、HAST耐性、冷熱衝撃耐性を有する感光性樹脂組成物を得るためには、上述したカルボキシル基含有感光性樹脂(4)〜(8)のいずれか1種以上のカルボキシル基含有感光性樹脂を、より好適に用いることができる。 From this point of view, for example, in order to obtain a photosensitive resin composition having more excellent PCT resistance, HAST resistance, and thermal shock resistance as a solder resist for a semiconductor package, the above-mentioned carboxyl group-containing photosensitive resin (4) to The carboxyl group-containing photosensitive resin of any one or more of (8) can be more preferably used.
また、先に示した不飽和基含有化合物との共重合により得られるカルボキシル基含有感光性樹脂(9)に対し、一分子中に環状エーテル基と(メタ)アクリロイル基を有する化合物として3,4−エポキシシクロヘキシルメチルメタアクリレートを反応させたカルボキシル基含有感光性樹脂も、脂環式エポキシを使用していることから、塩素イオン不純物が少なく、好適に用いることができる。 Further, with respect to the carboxyl group-containing photosensitive resin (9) obtained by copolymerization with the unsaturated group-containing compound shown above, 3, 4 as a compound having a cyclic ether group and a (meth) acryloyl group in one molecule. -Since the carboxyl group-containing photosensitive resin reacted with the epoxycyclohexylmethylmethacrylate also uses the alicyclic epoxy, it has few chlorine ion impurities and can be preferably used.
また、上記(4)〜(8)のいずれか一種以上のカルボキシル基含有感光性樹脂と前記(9)のカルボキシル基含有感光性樹脂を併用することでモールド材との密着性がより向上する為、好ましい。 Further, by using any one or more of the above-mentioned carboxyl group-containing photosensitive resins (4) to (8) in combination with the above-mentioned (9) carboxyl group-containing photosensitive resin, the adhesion to the molding material is further improved. ,preferable.
上記のようなカルボキシル基含有感光性樹脂は、バックボーン・ポリマーの側鎖に多数のカルボキシル基を有するため、アルカリ水溶液による現像が可能である。 Since the above-mentioned carboxyl group-containing photosensitive resin has a large number of carboxyl groups in the side chain of the backbone polymer, it can be developed with an alkaline aqueous solution.
カルボキシル基含有感光性樹脂の酸価は、40〜150mgKOH/gであることが好ましい。カルボキシル基含有感光性樹脂の酸価が40mgKOH/g以上とすることにより、アルカリ現像が良好になる。また、酸価を150mgKOH/gを以下とすることで、正常なレジストパターンの描画をし易くできる。より好ましくは、50〜130mgKOH/gである。 The acid value of the carboxyl group-containing photosensitive resin is preferably 40 to 150 mgKOH / g. When the acid value of the carboxyl group-containing photosensitive resin is 40 mgKOH / g or more, alkaline development becomes good. Further, by setting the acid value to 150 mgKOH / g or less, it is possible to easily draw a normal resist pattern. More preferably, it is 50 to 130 mgKOH / g.
カルボキシル基含有感光性樹脂の重量平均分子量は、樹脂骨格により異なるが、一般的に2,000〜150,000であることが好ましい。重量平均分子量が2,000以上とすることにより、タックフリー性能や解像度を向上させることができる。また、重量平均分子量が150,000以下とすることで、現像性や貯蔵安定性を向上させることができる。より好ましくは、5,000〜100,000である。 The weight average molecular weight of the carboxyl group-containing photosensitive resin varies depending on the resin skeleton, but is generally preferably 2,000 to 150,000. By setting the weight average molecular weight to 2,000 or more, tack-free performance and resolution can be improved. Further, by setting the weight average molecular weight to 150,000 or less, developability and storage stability can be improved. More preferably, it is 5,000 to 100,000.
カルボキシル基含有感光性樹脂の配合量は、固形分換算で全組成物中に、20〜60質量%であることが好ましい。20質量%以上とすることにより塗膜強度を向上させることができる。また60質量%以下とすることで粘性が適当となり加工性が向上する。より好ましくは、30〜50質量%である。 The blending amount of the carboxyl group-containing photosensitive resin is preferably 20 to 60% by mass in the total composition in terms of solid content. The coating film strength can be improved by setting the content to 20% by mass or more. Further, when the content is 60% by mass or less, the viscosity becomes appropriate and the workability is improved. More preferably, it is 30 to 50% by mass.
感光性モノマーとして用いられる化合物としては、例えば、慣用公知のポリエステル(メタ)アクリレート、ポリエーテル(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、カーボネート(メタ)アクリレート、エポキシ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。具体的には、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレートなどのヒドロキシアルキルアクリレート類;エチレングリコール、メトキシテトラエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコールなどのグリコールのジアクリレート類;N,N−ジメチルアクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、N,N−ジメチルアミノプロピルアクリルアミドなどのアクリルアミド類;N,N−ジメチルアミノエチルアクリレート、N,N−ジメチルアミノプロピルアクリレートなどのアミノアルキルアクリレート類;ヘキサンジオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリス−ヒドロキシエチルイソシアヌレートなどの多価アルコールまたはこれらのエチレオキサイド付加物、プロピレンオキサイド付加物、もしくはε−カプロラクトン付加物などの多価アクリレート類;フェノキシアクリレート、ビスフェノールAジアクリレート、およびこれらのフェノール類のエチレンオキサイド付加物もしくはプロピレンオキサイド付加物などの多価アクリレート類;グリセリンジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレートなどのグリシジルエーテルの多価アクリレート類;前記に限らず、ポリエーテルポリオール、ポリカーボネートジオール、水酸基末端ポリブタジエン、ポリエステルポリオールなどのポリオールを直接アクリレート化、もしくは、ジイソシアネートを介してウレタンアクリレート化したアクリレート類およびメラミンアクリレート、および前記アクリレートに対応する各メタクリレート類のいずれか少なくとも1種から適宜選択して用いることができる。 Examples of the compound used as the photosensitive monomer include commonly known polyester (meth) acrylate, polyether (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, carbonate (meth) acrylate, and epoxy (meth) acrylate. Specifically, hydroxyalkyl acrylates such as 2-hydroxyethyl acrylate and 2-hydroxypropyl acrylate; diacrylates of glycols such as ethylene glycol, methoxytetraethylene glycol, polyethylene glycol and propylene glycol; N, N-dimethylacrylamide. , N-methylol acrylamide, acrylamides such as N, N-dimethylaminopropyl acrylamide; aminoalkyl acrylates such as N, N-dimethylaminoethyl acrylate, N, N-dimethylaminopropyl acrylate; Polyhydric alcohols such as pentaerythritol, dipentaerythritol, tris-hydroxyethyl isocyanurate or polyhydric acrylates such as their ethireoxyside adducts, propylene oxide adducts, or ε-caprolactone adducts; phenoxyacrylates, bisphenol A di. Acrylate, and polyvalent acrylates such as ethylene oxide adducts or propylene oxide adducts of these phenols; glycidyl ethers such as glycerin diglycidyl ether, glycerin triglycidyl ether, trimethylolpropan triglycidyl ether, triglycidyl isocyanurate. Polyvalent acrylates; Not limited to the above, acrylates and melamine acrylates obtained by directly acrylated polyols such as polyether polyols, polycarbonate diols, hydroxyl group-terminated polybutadienes, and polyester polyols, or urethane acrylates via diisocyanates, and the acrylates. It can be appropriately selected and used from at least one of each methacrylate corresponding to the above.
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂などの多官能エポキシ樹脂に、アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート樹脂や、さらにそのエポキシアクリレート樹脂の水酸基に、ペンタエリスリトールトリアクリレートなどのヒドロキシアクリレートとイソホロンジイソシアネートなどのジイソシアネートのハーフウレタン化合物を反応させたエポキシウレタンアクリレート化合物などを感光性モノマーとして用いてもよい。このようなエポキシアクリレート系樹脂は、指触乾燥性を低下させることなく、光硬化性を向上させることができる。 An epoxy acrylate resin obtained by reacting a polyfunctional epoxy resin such as cresol novolac type epoxy resin with acrylic acid, and a hydroxy acrylate such as pentaerythritol triacrylate and a diisocyanate half urethane such as isophorone diisocyanate on the hydroxyl group of the epoxy acrylate resin. An epoxy urethane acrylate compound obtained by reacting the compound or the like may be used as the photosensitive monomer. Such an epoxy acrylate-based resin can improve the photocurability without lowering the dryness to the touch.
感光性モノマーとして用いられる分子中にエチレン性不飽和基を有する化合物の配合量は、組成物中にカルボキシル基含有樹脂を含む場合、固形分換算でカルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、好ましくは5〜100質量部、より好ましくは、5〜70質量部の割合である。エチレン性不飽和基を有する化合物の配合量を5質量部以上とすることにより、光硬化性樹脂組成物の光硬化性が向上する。また、配合量を100質量部以下とすることにより、塗膜硬度を向上させることができる。ここでいう、カルボキシル基含有樹脂とは、カルボキシル基含有感光性樹脂およびカルボキシル基非感光性樹脂のいずれをも含むものである。すなわち、組成物中にいずれか単独で配合されている場合は単独、いずれも配合されている場合はその合計をいう(以降の段落において同じ)。 When the composition contains a carboxyl group-containing resin, the amount of the compound having an ethylenically unsaturated group in the molecule used as the photosensitive monomer is preferably 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin in terms of solid content. Is 5 to 100 parts by mass, more preferably 5 to 70 parts by mass. By setting the blending amount of the compound having an ethylenically unsaturated group to 5 parts by mass or more, the photocurability of the photocurable resin composition is improved. Further, the hardness of the coating film can be improved by setting the blending amount to 100 parts by mass or less. The carboxyl group-containing resin referred to here includes both a carboxyl group-containing photosensitive resin and a carboxyl group non-photosensitive resin. That is, when any one of them is blended alone in the composition, it means a single blend, and when both are blended, it means the total (the same applies in the following paragraphs).
感光性モノマーは、特にエチレン性不飽和二重結合を有さないカルボキシル基含有非感光性樹脂を使用した場合、組成物を光硬化性とするために分子中に1個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物(感光性モノマー)を併用する必要があるため、有効である。 When a carboxyl group-containing non-photosensitive resin having no ethylenically unsaturated double bond is used as the photosensitive monomer, one or more ethylenically unsaturated in the molecule is used to make the composition photocurable. It is effective because it is necessary to use a compound having a group (photosensitive monomer) in combination.
熱架橋成分としては、熱硬化性樹脂などが挙げられる。熱硬化性樹脂としては、イソシアネート化合物、ブロックイソシアネート化合物、アミノ樹脂、マレイミド化合物、ベンゾオキサジン樹脂、カルボジイミド樹脂、シクロカーボネート化合物、多官能エポキシ化合物、多官能オキセタン化合物、エピスルフィド樹脂などの公知慣用のものが使用できる。これらの中でも好ましい熱架橋成分は、1分子中に複数の環状エーテル基および環状チオエーテル基の少なくともいずれか1種(以下、環状(チオ)エーテル基と略称する)を有する熱架橋成分である。これら環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性成分は、市販されている種類が多く、その構造によって多様な特性を付与することができる。 Examples of the heat-crosslinking component include thermosetting resins. Examples of the thermosetting resin include known and commonly used resins such as isocyanate compounds, blocked isocyanate compounds, amino resins, maleimide compounds, benzoxazine resins, carbodiimide resins, cyclocarbonate compounds, polyfunctional epoxy compounds, polyfunctional oxetane compounds, and episulfide resins. Can be used. Among these, a preferable heat-crosslinking component is a heat-crosslinking component having at least one of a plurality of cyclic ether groups and cyclic thioether groups (hereinafter, abbreviated as cyclic (thio) ether group) in one molecule. Many of these thermosetting components having a cyclic (thio) ether group are commercially available, and various properties can be imparted depending on the structure thereof.
分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性成分は、分子中に3、4または5員環の環状エーテル基、または環状チオエーテル基のいずれか一方または2種類の基を複数有する化合物であり、例えば、分子中に複数のエポキシ基を有する化合物、すなわち多官能エポキシ化合物、分子中に複数のオキセタニル基を有する化合物、すなわち多官能オキセタン化合物、分子中に複数のチオエーテル基を有する化合物、すなわちエピスルフィド樹脂などが挙げられる。 A thermosetting component having a plurality of cyclic (thio) ether groups in a molecule has a plurality of one or two types of a 3, 4 or 5 membered cyclic ether group or a cyclic thio ether group in the molecule. A compound, for example, a compound having a plurality of epoxy groups in the molecule, that is, a polyfunctional epoxy compound, a compound having a plurality of oxetanyl groups in the molecule, that is, a polyfunctional oxetane compound, a compound having a plurality of thioether groups in the molecule. That is, an episulfide resin and the like can be mentioned.
多官能エポキシ化合物としては、例えば、三菱化学社製のjER828、jER834、jER1001、jER1004、DIC社製のエピクロン840、エピクロン840−S、エピクロン850、エピクロン1050、エピクロン2055、東都化成社製のエポトートYD−011、YD−013、YD−127、YD−128、ダウケミカル社製のD.E.R.317、D.E.R.331、D.E.R.661、D.E.R.664、住友化学工業社製のスミ−エポキシESA−011、ESA−014、ELA−115、ELA−128、旭化成工業社製のA.E.R.330、A.E.R.331、A.E.R.661、A.E.R.664等(何れも商品名)のビスフェノールA型エポキシ樹脂;三菱化学社製のjERYL903、DIC社製のエピクロン152、エピクロン165、東都化成社製のエポトートYDB−400、YDB−500、ダウケミカル社製のD.E.R.542、住友化学工業社製のスミ−エポキシESB−400、ESB−700、旭化成工業社製のA.E.R.711、A.E.R.714等(何れも商品名)のブロム化エポキシ樹脂;三菱化学社製のjER152、jER154、ダウケミカル社製のD.E.N.431、D.E.N.438、DIC社製のエピクロンN−730、エピクロンN−770、エピクロンN−865、東都化成社製のエポトートYDCN−701、YDCN−704、日本化薬社製のEPPN−201、EOCN−1025、EOCN−1020、EOCN−104S、RE−306、NC−3000H、住友化学工業社製のスミ−エポキシESCN−195X、ESCN−220、旭化成工業社製のA.E.R.ECN−235、ECN−299等(何れも商品名)のノボラック型エポキシ樹脂;DIC社製のエピクロン830、三菱化学社製jER807、東都化成社製のエポトートYDF−170、YDF−175、YDF−2004等(何れも商品名)のビスフェノールF型エポキシ樹脂;東都化成社製のエポトートST−2004、ST−2007、ST−3000(商品名)等の水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂;三菱化学社製のjER604、東都化成社製のエポトートYH−434、住友化学工業社製のスミ−エポキシELM−120等(何れも商品名)のグリシジルアミン型エポキシ樹脂;ダイセル化学工業社製のセロキサイド2021等(商品名)の脂環式エポキシ樹脂;三菱化学社製のYL−933、ダウケミカル社製のT.E.N.、EPPN−501、EPPN−502等(何れも商品名)のトリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂;三菱化学社製のYL−6056、YX−4000、YL−6121(何れも商品名)等のビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂またはそれらの混合物;日本化薬社製EBPS−200、旭電化工業社製EPX−30、DIC社製のEXA−1514(商品名)等のビスフェノールS型エポキシ樹脂;三菱化学社製のjER157S(商品名)等のビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂;三菱化学社製のjERYL−931等(商品名)のテトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂;日産化学工業社製のTEPIC等(商品名)の複素環式エポキシ樹脂;日本油脂社製ブレンマーDGT等のジグリシジルフタレート樹脂;東都化成社製ZX−1063等のテトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂;新日鐵化学社製ESN−190、ESN−360、DIC社製HP−4032、EXA−4750、EXA−4700等のナフタレン基含有エポキシ樹脂;DIC社製HP−7200、HP−7200H等のジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂、EXA−4816、EXA−4822、EXA−4850シリーズの柔軟強靭エポキシ樹脂;日本油脂社製CP−50S、CP−50M等のグリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂;さらにシクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂等が挙げられるが、これらに限られるものではない。これらのエポキシ樹脂は、単独でまたは2種以上を組み合わせて用いることができる。 Examples of the polyfunctional epoxy compound include jER828, jER834, jER1001, jER1004 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, Epicron 840, Epicron 840-S manufactured by DIC Corporation, Epicron 850, Epicron 1050, Epicron 2055, and Epototo YD manufactured by Toto Kasei Co., Ltd. -011, YD-013, YD-127, YD-128, DIC manufactured by Dow Chemical Corporation. E. R. 317, D.I. E. R. 331, D.I. E. R. 661, D.I. E. R. 664, Sumitomo Chemical Co., Ltd. Sumi-Epoxy ESA-011, ESA-014, ELA-115, ELA-128, Asahi Kasei Kogyo Co., Ltd. E. R. 330, A. E. R. 331, A. E. R. 661, A. E. R. Bisphenol A type epoxy resin of 664 etc. (all trade names); jERYL903 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, Epicron 152 and Epicron 165 manufactured by DIC, Epototo YDB-400, YDB-500 manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., manufactured by Dow Chemical Corporation D. E. R. 542, Sumitomo Chemical Co., Ltd. Sumi-Epoxy ESB-400, ESB-700, Asahi Kasei Kogyo Co., Ltd. E. R. 711, A. E. R. Brominated epoxy resin of 714 etc. (both are trade names); jER152, jER154 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, and D.C. E. N. 431, D.I. E. N. 438, Epicron N-730, Epicron N-770, Epicron N-865 manufactured by DIC, Epototo YDCN-701, YDCN-704 manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., EPPN-201, EOCN-1025, EOCN manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. -1020, EOCN-104S, RE-306, NC-3000H, Sumitomo Chemical Co., Ltd. Sumi-Epoxy ESCN-195X, ESCN-220, Asahi Kasei Kogyo Co., Ltd. E. R. Novolak type epoxy resins such as ECN-235 and ECN-299 (all trade names); Epicron 830 manufactured by DIC, jER807 manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd., Epototo YDF-170, YDF-175, YDF-2004 manufactured by Toto Kasei Co., Ltd. Etc. (trade names); hydrogenated bisphenol A type epoxy resins such as Epototo ST-2004, ST-2007, ST-3000 (trade name) manufactured by Toto Kasei Co., Ltd .; manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd. glycidylamine type epoxy resin such as jER604, Epototo YH-434 manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., Sumi-epoxy ELM-120 manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd .; ) Alicyclic epoxy resin; YL-933 manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd., T.K. E. N. , EPPN-501, EPPN-502, etc. (all trade names) trihydroxyphenylmethane type epoxy resins; Mitsubishi Chemical Co., Ltd. YL-6056, YX-4000, YL-6121 (all trade names), etc. Mold or biphenol type epoxy resin or a mixture thereof; Bisphenol S type epoxy resin such as EBPS-200 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., EPX-30 manufactured by Asahi Denka Kogyo Co., Ltd., EXA-1514 (trade name) manufactured by DIC Co., Ltd .; Mitsubishi Chemical Bisphenol A novolac type epoxy resin such as jER157S (trade name) manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd .; Tetraphenylol ethane type epoxy resin such as jERYL-931 (trade name) manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd .; TEPIC etc. manufactured by Nissan Chemical Industry Co., Ltd. (trade name) ) Diglycidyl phthalate resin such as Blemmer DGT manufactured by Nippon Yushi Co., Ltd .; Tetraglycidyl xylenoyl ethane resin manufactured by Toto Kasei Co., Ltd. such as ZX-1063; ESN-190, ESN- Epoxy resin containing naphthalene group such as 360, HP-4032, EXA-4750, EXA-4700 manufactured by DIC; epoxy resin having a dicyclopentadiene skeleton such as HP-7200, HP-7200H manufactured by DIC, EXA-4816, EXA -4822, EXA-4850 series flexible tough epoxy resin; glycidyl methacrylate copolymerized epoxy resin such as CP-50S, CP-50M manufactured by Nippon Oil & Fats Co., Ltd .; and glycidyl methacrylate copolymerized epoxy resin of cyclohexyl maleimide and glycidyl methacrylate. However, it is not limited to these. These epoxy resins can be used alone or in combination of two or more.
多官能オキセタン化合物としては、ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、1,4−ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、1,4−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレートやそれらのオリゴマーまたは共重合体等の多官能オキセタン類の他、オキセタンアルコールとノボラック樹脂、ポリ(p−ヒドロキシスチレン)、カルド型ビスフェノール類、カリックスアレーン類、カリックスレゾルシンアレーン類、またはシルセスキオキサンなどの水酸基を有する樹脂とのエーテル化物などが挙げられる。その他、オキセタン環を有する不飽和モノマーとアルキル(メタ)アクリレートとの共重合体なども挙げられる。 Examples of the polyfunctional oxetane compound include bis [(3-methyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, and 1,4-bis [(3-methyl-). 3-Oxetanylmethoxy) methyl] benzene, 1,4-bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl acrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) In addition to polyfunctional oxetane such as methyl acrylate, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate and their oligomers or copolymers, oxetane alcohol and novolak resin, poly (P-Hydroxystyrene), cardo-type bisphenols, calix arrayes, calix resorcinarenes, etherified compounds with a resin having a hydroxyl group such as silsesquioxane, and the like can be mentioned. In addition, a copolymer of an unsaturated monomer having an oxetane ring and an alkyl (meth) acrylate can also be mentioned.
分子中に複数の環状チオエーテル基を有するエピスルフィド樹脂としては、例えば、三菱化学社製のYL7000(ビスフェノールA型エピスルフィド樹脂)などが挙げられる。また、同様の合成方法を用いて、ノボラック型エポキシ樹脂のエポキシ基の酸素原子を硫黄原子に置き換えたエピスルフィド樹脂なども用いることができる。 Examples of the episulfide resin having a plurality of cyclic thioether groups in the molecule include YL7000 (bisphenol A type episulfide resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. Further, using the same synthesis method, an episulfide resin in which the oxygen atom of the epoxy group of the novolak type epoxy resin is replaced with a sulfur atom can also be used.
分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性成分の配合量は、組成物中に、分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性成分を含む場合、固形分換算でカルボキシル基含有樹脂のカルボキシル基1当量に対して、好ましくは0.3〜2.5当量、より好ましくは、0.5〜2.0当量となる範囲である。分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性成分の配合量を0.3当量以上とすることにより、硬化被膜にカルボキシル基が残存せず、耐熱性、耐アルカリ性、電気絶縁性などが向上する。また、2.5当量以下とすることにより、低分子量の環状(チオ)エーテル基が乾燥塗膜に残存せず、硬化被膜の強度などが向上する。 The blending amount of the thermosetting component having a plurality of cyclic (thio) ether groups in the molecule is the solid content when the composition contains a thermosetting component having a plurality of cyclic (thio) ether groups in the molecule. In terms of conversion, it is preferably in the range of 0.3 to 2.5 equivalents, more preferably 0.5 to 2.0 equivalents, with respect to 1 equivalent of the carboxyl groups of the carboxyl group-containing resin. By setting the blending amount of the thermosetting component having a plurality of cyclic (thio) ether groups in the molecule to 0.3 equivalent or more, no carboxyl group remains in the cured film, and heat resistance, alkali resistance, and electrical insulation are provided. Etc. are improved. Further, when the amount is 2.5 equivalents or less, low molecular weight cyclic (thio) ether groups do not remain in the dry coating film, and the strength of the cured film is improved.
分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性成分を使用する場合、熱硬化触媒を配合することが好ましい。そのような熱硬化触媒としては、例えば、イミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、4−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−(2−シアノエチル)−2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4−(ジメチルアミノ)−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メトキシ−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メチル−N,N−ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物、アジピン酸ジヒドラジド、セバシン酸ジヒドラジド等のヒドラジン化合物;トリフェニルホスフィン等のリン化合物などが挙げられる。また、市販されているものとしては、例えば四国化成工業社製の2MZ−A、2MZ−OK、2PHZ、2P4BHZ、2P4MHZ(いずれもイミダゾール系化合物の商品名)、サンアプロ社製のU−CAT(登録商標)3503N、U−CAT3502T(いずれもジメチルアミンのブロックイソシアネート化合物の商品名)、DBU、DBN、U−CATSA102、U−CAT5002(いずれも二環式アミジン化合物およびその塩)などが挙げられる。特に、これらに限られるものではなく、エポキシ樹脂やオキセタン化合物の熱硬化触媒、もしくはエポキシ基および/またはオキセタニル基とカルボキシル基の反応を促進するものであればよく、単独でまたは2種以上を混合して使用してもかまわない。また、グアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、メラミン、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン、2−ビニル−2,4−ジアミノ−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のS−トリアジン誘導体を用いることもでき、好ましくはこれら密着性付与剤としても機能する化合物を熱硬化触媒と併用する。 When a thermosetting component having a plurality of cyclic (thio) ether groups in the molecule is used, it is preferable to add a thermosetting catalyst. Examples of such a thermocuring catalyst include imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole. , 1- (2-Cyanoethyl) -2-ethyl-4-methylimidazole and other imidazole derivatives; dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4- (dimethylamino) -N, N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N, N Examples thereof include amine compounds such as -dimethylbenzylamine, 4-methyl-N, N-dimethylbenzylamine, hydrazine compounds such as adipate dihydrazide and sebacic acid dihydrazide; and phosphorus compounds such as triphenylphosphine. Commercially available products include, for example, 2MZ-A, 2MZ-OK, 2PHZ, 2P4BHZ, 2P4MHZ (both are trade names of imidazole compounds) manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd., and U-CAT (registered) manufactured by San Apro Co., Ltd. Examples thereof include (trademarks) 3503N, U-CAT3502T (trade names of blocked isocyanate compounds of dimethylamine), DBU, DBN, U-CATSA102, U-CAT5002 (all of which are bicyclic amidine compounds and salts thereof). In particular, the present invention is not limited to these, as long as it is a thermosetting catalyst of an epoxy resin or an oxetane compound, or one that promotes the reaction of an epoxy group and / or an oxetaneyl group and a carboxyl group, and is used alone or in combination of two or more. You may use it. In addition, guanamine, acetoguanamine, benzoguanamine, melamine, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-2,4-diamino-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino S-triazine derivatives such as -S-triazine-isocyanuric acid adduct and 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine-isocyanulic acid adduct can also be used, preferably as these adhesion-imparting agents. A compound that also functions is used in combination with a thermosetting catalyst.
熱硬化触媒の配合量は、組成物中に、分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性成分を含む場合、固形分換算で、分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性成分100質量部に対して、好ましくは0.1〜20質量部、より好ましくは0.5〜15.0質量部である。 When the composition contains a thermosetting component having a plurality of cyclic (thio) ether groups in the molecule, the amount of the thermosetting catalyst blended is such that a plurality of cyclic (thio) ether groups in the molecule are contained in terms of solid content. It is preferably 0.1 to 20 parts by mass, and more preferably 0.5 to 15.0 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the thermosetting component having.
アミノ樹脂としては、メラミン誘導体、ベンゾグアナミン誘導体などのアミノ樹脂が挙げられる。例えばメチロールメラミン化合物、メチロールベンゾグアナミン化合物、メチロールグリコールウリル化合物およびメチロール尿素化合物などがある。さらに、アルコキシメチル化メラミン化合物、アルコキシメチル化ベンゾグアナミン化合物、アルコキシメチル化グリコールウリル化合物およびアルコキシメチル化尿素化合物は、それぞれのメチロールメラミン化合物、メチロールベンゾグアナミン化合物、メチロールグリコールウリル化合物およびメチロール尿素化合物のメチロール基をアルコキシメチル基に変換することにより得られる。このアルコキシメチル基の種類については特に限定されるものではなく、例えばメトキシメチル基、エトキシメチル基、プロポキシメチル基、ブトキシメチル基等とすることができる。特に人体や環境に優しいホルマリン濃度が0.2%以下のメラミン誘導体が好ましい。 Examples of the amino resin include amino resins such as melamine derivatives and benzoguanamine derivatives. For example, there are a methylol melamine compound, a methylol benzoguanamine compound, a methylol glycol uryl compound and a methylol urea compound. Further, the alkoxymethylated melamine compound, the alkoxymethylated benzoguanamine compound, the alkoxymethylated glycol uryl compound and the alkoxymethylated urea compound have the methylol groups of the methylol melamine compound, the methylol benzoguanamine compound, the methylol glycol uryl compound and the methylol urea compound, respectively. It is obtained by converting to an alkoxymethyl group. The type of the alkoxymethyl group is not particularly limited, and may be, for example, a methoxymethyl group, an ethoxymethyl group, a propoxymethyl group, a butoxymethyl group, or the like. In particular, a melamine derivative having a formalin concentration of 0.2% or less, which is friendly to the human body and the environment, is preferable.
アミノ樹脂の市販品としては、例えばサイメル300、同301、同303、同370、同325、同327、同701、同266、同267、同238、同1141、同272、同202、同1156、同1158、同1123、同1170、同1174、同UFR65、同300(以上、三井サイアナミッド社製)、ニカラックMx−750、同Mx−032、同Mx−270、同Mx−280、同Mx−290、同Mx−706、同Mx−708、同Mx−40、同Mx−31、同Ms−11、同Mw−30、同Mw−30HM、同Mw−390、同Mw−100LM、同Mw−750LM、(以上、三和ケミカル社製)等を挙げることができる。 Examples of commercially available amino resins include Cymel 300, 301, 303, 370, 325, 327, 701, 266, 267, 238, 1141, 272, 202, and 1156. , 1158, 1123, 1170, 1174, UFR65, 300 (all manufactured by Mitsui Siana Mid), Nicarac Mx-750, Mx-032, Mx-270, Mx-280, Mx- 290, Mx-706, Mx-708, Mx-40, Mx-31, Ms-11, Mw-30, Mw-30HM, Mw-390, Mw-100LM, Mw- 750LM, (all manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd.) and the like can be mentioned.
イソシアネート化合物としては、分子中に複数のイソシアネート基を有するポリイソシアネート化合物を用いることができる。ポリイソシアネート化合物としては、例えば、芳香族ポリイソシアネート、脂肪族ポリイソシアネートまたは脂環式ポリイソシアネートが用いられる。芳香族ポリイソシアネートの具体例としては、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート、ナフタレン−1,5−ジイソシアネート、o−キシリレンジイソシアネート、m−キシリレンジイソシアネートおよび2,4−トリレンダイマーが挙げられる。脂肪族ポリイソシアネートの具体例としては、テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、メチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、4,4−メチレンビス(シクロヘキシルイソシアネート)およびイソホロンジイソシアネートが挙げられる。脂環式ポリイソシアネートの具体例としてはビシクロヘプタントリイソシアネートが挙げられる。並びに先に挙げられたイソシアネート化合物のアダクト体、ビューレット体およびイソシアヌレート体が挙げられる。 As the isocyanate compound, a polyisocyanate compound having a plurality of isocyanate groups in the molecule can be used. As the polyisocyanate compound, for example, aromatic polyisocyanate, aliphatic polyisocyanate or alicyclic polyisocyanate is used. Specific examples of the aromatic polyisocyanate include 4,4'-diphenylmethane diisocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, naphthalene-1,5-diisocyanate, o-xylylene diisocyanate, and m-. Examples include xylylene diisocyanate and 2,4-tolylen dimer. Specific examples of the aliphatic polyisocyanate include tetramethylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, methylene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate, 4,4-methylene bis (cyclohexyl isocyanate) and isophorone diisocyanate. Specific examples of the alicyclic polyisocyanate include bicycloheptane triisocyanate. In addition, the adduct form, the burette form and the isocyanurate form of the isocyanate compounds mentioned above can be mentioned.
ブロックイソシアネート化合物に含まれるブロック化イソシアネート基は、イソシアネート基がブロック剤との反応により保護されて一時的に不活性化された基である。所定温度に加熱されたときにそのブロック剤が解離してイソシアネート基が生成する。 The blocked isocyanate group contained in the blocked isocyanate compound is a group in which the isocyanate group is protected by the reaction with the blocking agent and temporarily inactivated. When heated to a predetermined temperature, the blocking agent dissociates to form an isocyanate group.
ブロックイソシアネート化合物としては、イソシアネート化合物とイソシアネートブロック剤との付加反応生成物が用いられる。ブロック剤と反応し得るイソシアネート化合物としては、イソシアヌレート型、ビウレット型、アダクト型等が挙げられる。ブロックイソシアネート化合物を合成する為に用いられるイソシアネート化合物としては、例えば、芳香族ポリイソシアネート、脂肪族ポリイソシアネートまたは脂環式ポリイソシアネートが挙げられる。芳香族ポリイソシアネート、脂肪族ポリイソシアネート、脂環式ポリイソシアネートの具体例としては、先に例示したような化合物が挙げられる。 As the blocked isocyanate compound, an addition reaction product of the isocyanate compound and the isocyanate blocking agent is used. Examples of the isocyanate compound capable of reacting with the blocking agent include isocyanurate type, biuret type, adduct type and the like. Examples of the isocyanate compound used for synthesizing the blocked isocyanate compound include aromatic polyisocyanates, aliphatic polyisocyanates and alicyclic polyisocyanates. Specific examples of the aromatic polyisocyanate, the aliphatic polyisocyanate, and the alicyclic polyisocyanate include compounds as exemplified above.
イソシアネートブロック剤としては、例えば、フェノール、クレゾール、キシレノール、クロロフェノールおよびエチルフェノール等のフェノール系ブロック剤;ε−カプロラクタム、δ−パレロラクタム、γ−ブチロラクタムおよびβ−プロピオラクタム等のラクタム系ブロック剤;アセト酢酸エチルおよびアセチルアセトンなどの活性メチレン系ブロック剤;メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、アミルアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ベンジルエーテル、グリコール酸メチル、グリコール酸ブチル、ジアセトンアルコール、乳酸メチルおよび乳酸エチル等のアルコール系ブロック剤;ホルムアルデヒドキシム、アセトアルドキシム、アセトキシム、メチルエチルケトキシム、ジアセチルモノオキシム、シクロヘキサンオキシム等のオキシム系ブロック剤;ブチルメルカプタン、ヘキシルメルカプタン、t−ブチルメルカプタン、チオフェノール、メチルチオフェノール、エチルチオフェノール等のメルカプタン系ブロック剤;酢酸アミド、ベンズアミド等の酸アミド系ブロック剤;コハク酸イミドおよびマレイン酸イミド等のイミド系ブロック剤;キシリジン、アニリン、ブチルアミン、ジブチルアミン等のアミン系ブロック剤;イミダゾール、2−エチルイミダゾール等のイミダゾール系ブロック剤;メチレンイミンおよびプロピレンイミン等のイミン系ブロック剤等が挙げられる。 Examples of the isocyanate blocking agent include phenolic blocking agents such as phenol, cresol, xylenol, chlorophenol and ethylphenol; lactam blocking agents such as ε-caprolactam, δ-parellolactam, γ-butyrolactam and β-propiolactam; Active methylene blocking agents such as ethyl acetoacetate and acetylacetone; methanol, ethanol, propanol, butanol, amyl alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, benzyl Alcohol-based blocking agents such as ether, methyl glycolate, butyl glycolate, diacetone alcohol, methyl lactate and ethyl lactate; oxime-based blocking agents such as formaldehyde oxime, acetoaldoxime, acetoxime, methyl ethyl ketoxim, diacetyl monooxime and cyclohexane oxime. Mercaptan-based blocking agents such as butyl mercaptan, hexyl mercaptan, t-butyl mercaptan, thiophenol, methyl thiophenol, ethyl thiophenol; acid amide-based blocking agents such as acetate amide and benzamide; imides such as succinate imide and maleate imide. Examples thereof include amine-based blocking agents such as xylidine, aniline, butylamine, and dibutylamine; imidazole-based blocking agents such as imidazole and 2-ethylimidazole; imine-based blocking agents such as methyleneimine and propyleneimine.
ブロックイソシアネート化合物は市販のものであってもよく、例えば、スミジュールBL−3175、BL−4165、BL−1100、BL−1265、デスモジュールTPLS−2957、TPLS−2062、TPLS−2078、TPLS−2117、デスモサーム2170、デスモサーム2265(以上、住友バイエルウレタン社製、商品名)、コロネート2512、コロネート2513、コロネート2520(以上、日本ポリウレタン工業社製、商品名)、B−830、B−815、B−846、B−870、B−874、B−882(以上、三井武田ケミカル社製、商品名)、TPA−B80E、17B−60PX、E402−B80T(以上、旭化成ケミカルズ社製、商品名)等が挙げられる。なお、スミジュールBL−3175、BL−4265はブロック剤としてメチルエチルオキシムを用いて得られるものである。 The blocked isocyanate compound may be commercially available, for example, Sumijour BL-3175, BL-4165, BL-1100, BL-1265, Death Module TPLS-2957, TPLS-2062, TPLS-2078, TPLS-2117. , Desmotherm 2170, Desmotherm 2265 (above, Sumitomo Bayer Urethane, trade name), Coronate 2512, Coronate 2513, Coronate 2520 (above, Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd., trade name), B-830, B-815, B- 846, B-870, B-874, B-882 (above, Mitsui Takeda Chemicals, trade name), TPA-B80E, 17B-60PX, E402-B80T (above, Asahi Kasei Chemicals, trade name), etc. Can be mentioned. Sumijour BL-3175 and BL-4265 are obtained by using methyl ethyl oxime as a blocking agent.
感光性樹脂組成物には、水酸基やカルボキシル基とイソシアネート基との硬化反応を促進させるためにウレタン化触媒を配合してもよい。ウレタン化触媒としては、錫系触媒、金属塩化物、金属アセチルアセトネート塩、金属硫酸塩、アミン化合物、およびアミン塩の少なくとも何れか1種から選択されるウレタン化触媒を使用することが好ましい。 The photosensitive resin composition may contain a urethanization catalyst in order to accelerate the curing reaction between the hydroxyl group or carboxyl group and the isocyanate group. As the urethanization catalyst, it is preferable to use a urethanization catalyst selected from at least one of a tin-based catalyst, a metal chloride, a metal acetylacetonate salt, a metal sulfate, an amine compound, and an amine salt.
錫系触媒としては、例えばスタナスオクトエート、ジブチル錫ジラウレートなどの有機すず化合物、無機すず化合物などが挙げられる。また、金属塩化物としては、Cr、Mn、Co、Ni、Fe、CuおよびAlからなる群から選ばれる金属の塩化物で、例えば、塩化第二コバルト、塩化第一ニッケル、塩化第二鉄などが挙げられる。また、金属アセチルアセトネート塩は、Cr、Mn、Co、Ni、Fe、CuおよびAlからなる群から選ばれる金属のアセチルアセトネート塩であり、例えば、コバルトアセチルアセトネート、ニッケルアセチルアセトネート、鉄アセチルアセトネートなどが挙げられる。さらに、金属硫酸塩としては、Cr、Mn、Co、Ni、Fe、CuおよびAlからなる群から選ばれる金属の硫酸塩で、例えば、硫酸銅などが挙げられる。 Examples of the tin-based catalyst include organic tin compounds such as stanas octoate and dibutyltin dilaurate, and inorganic tin compounds. Further, the metal chloride is a chloride of a metal selected from the group consisting of Cr, Mn, Co, Ni, Fe, Cu and Al, for example, ferric chloride, nickel monochloride, ferric chloride and the like. Can be mentioned. The metal acetylacetonate salt is a metal acetylacetonate salt selected from the group consisting of Cr, Mn, Co, Ni, Fe, Cu and Al, and is, for example, cobalt acetylacetonate, nickel acetylacetonate, and iron. Examples include acetylacetonate. Further, the metal sulfate is a sulfate of a metal selected from the group consisting of Cr, Mn, Co, Ni, Fe, Cu and Al, and examples thereof include copper sulfate.
アミン化合物としては、例えば、従来公知のトリエチレンジアミン、N,N,N’,N’−テトラメチル−1,6−ヘキサンジアミン、ビス(2−ジメチルアミノエチル)エーテル、N,N,N’,N”,N”−ペンタメチルジエチレントリアミン、N−メチルモルフォリン、N−エチルモルフォリン、N,N−ジメチルエタノールアミン、ジモルホリノジエチルエーテル、N−メチルイミダゾール、ジメチルアミノピリジン、トリアジン、N’−(2−ヒドロキシエチル)−N,N,N’−トリメチルービス(2−アミノエチル)エーテル、N,N−ジメチルヘキサノールアミン、N,N−ジメチルアミノエトキシエタノール、N,N,N’−トリメチル−N’−(2−ヒドロキシエチル)エチレンジアミン、N−(2−ヒドロキシエチル)−N,N’,N”,N”−テトラメチルジエチレントリアミン、N−(2−ヒドロキシプロピル)−N,N’,N”,N”−テトラメチルジエチレントリアミン、N,N,N’−トリメチル−N’−(2−ヒドロキシエチル)プロパンジアミン、N−メチル−N’−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、ビス(N,N−ジメチルアミノプロピル)アミン、ビス(N,N−ジメチルアミノプロピル)イソプロパノールアミン、2−アミノキヌクリジン、3−アミノキヌクリジン、4−アミノキヌクリジン、2−キヌクリジオール、3−キヌクリジノール、4−キヌクリジノール、1−(2’−ヒドロキシプロピル)イミダゾール、1−(2’−ヒドロキシプロピル)−2−メチルイミダゾール、1−(2’−ヒドロキシエチル)イミダゾール、1−(2’−ヒドロキシエチル)−2−メチルイミダゾール、1−(2’−ヒドロキシプロピル)−2−メチルイミダゾール、1−(3’−アミノプロピル)イミダゾール、1−(3’−アミノプロピル)−2−メチルイミダゾール、1−(3’−ヒドロキシプロピル)イミダゾール、1−(3’−ヒドロキシプロピル)−2−メチルイミダゾール、N,N−ジメチルアミノプロピル−N’−(2−ヒドロキシエチル)アミン、N,N−ジメチルアミノプロピル−N’,N’−ビス(2−ヒドロキシエチル)アミン、N,N−ジメチルアミノプロピル−N’,N’−ビス(2−ヒドロキシプロピル)アミン、N,N−ジメチルアミノエチル−N’,N’−ビス(2−ヒドロキシエチル)アミン、N,N−ジメチルアミノエチル−N’,N’−ビス(2−ヒドロキシプロピル)アミン、メラミンおよびベンゾグアナミンのいずれか少なくとも1種などが挙げられる。 Examples of the amine compound include conventionally known triethylenediamine, N, N, N', N'-tetramethyl-1,6-hexanediamine, bis (2-dimethylaminoethyl) ether, N, N, N', N ", N" -pentamethyldiethylenetriamine, N-methylmorpholine, N-ethylmorpholine, N, N-dimethylethanolamine, dimorpholinodiethyl ether, N-methylimidazole, dimethylaminopyridine, triazine, N'-( 2-Hydroxyethyl) -N, N, N'-trimethyl-bis (2-aminoethyl) ether, N, N-dimethylhexanolamine, N, N-dimethylaminoethoxyethanol, N, N, N'-trimethyl-N' -(2-Hydroxyethyl) ethylenediamine, N- (2-hydroxyethyl) -N, N', N ", N" -tetramethyldiethylenetriamine, N- (2-hydroxypropyl) -N, N', N ", N "-tetramethyldiethylenetriamine, N, N, N'-trimethyl-N'-(2-hydroxyethyl) propanediamine, N-methyl-N'-(2-hydroxyethyl) piperazine, bis (N, N-dimethyl) Aminopropyl) amine, bis (N, N-dimethylaminopropyl) isopropanolamine, 2-aminoquinuclidine, 3-aminoquinuclidine, 4-aminoquinuclidine, 2-quinuclidiol, 3-quinuclidinol, 4 -Kinucridinol, 1- (2'-hydroxypropyl) imidazole, 1- (2'-hydroxypropyl) -2-methylimidazole, 1- (2'-hydroxyethyl) imidazole, 1- (2'-hydroxyethyl)- 2-Methylimidazole, 1- (2'-hydroxypropyl) -2-methylimidazole, 1- (3'-aminopropyl) imidazole, 1- (3'-aminopropyl) -2-methylimidazole, 1- (3) '-Hydroxypropyl) imidazole, 1- (3'-hydroxypropyl) -2-methylimidazole, N, N-dimethylaminopropyl-N'-(2-hydroxyethyl) amine, N, N-dimethylaminopropyl-N ', N'-bis (2-hydroxyethyl) amine, N, N-dimethylaminopropyl-N', N'-bis (2-hydroxypropyl) amine, N, N-dimethylaminoethyl-N', N' -Bis (2-hydroxyethyl) amine, N, N-dimethylaminoethyl-N', N' -At least one of bis (2-hydroxypropyl) amine, melamine and benzoguanamine and the like can be mentioned.
アミン塩としては、例えば、DBU(1,8−ジアザ−ビシクロ[5.4.0]ウンデセン−7)等の有機酸塩系のアミン塩などが挙げられる。 Examples of the amine salt include organic acid salt-based amine salts such as DBU (1,8-diazabicyclo [5.4.0] undecene-7).
[フィラー]
フィラーとしては、公知慣用の無機または有機フィラーが使用できるが、特に硫酸バリウム、球状シリカ、酸化チタン、ノイブルグ珪土粒子、およびタルクが好ましく用いられる。また、難燃性を付与する目的で、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、ベーマイトなども使用することができる。さらに、1個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物や前記多官能エポキシ樹脂にナノシリカを分散したHanse−Chemie社製のNANOCRYL(商品名) XP 0396、XP 0596、XP 0733、XP 0746、XP 0765、XP 0768、XP 0953、XP 0954、XP 1045(何れも製品グレード名)や、Hanse−Chemie社製のNANOPOX(商品名) XP 0516、XP 0525、XP 0314(何れも製品グレード名)も使用できる。これらを単独でまたは2種以上配合することができる。フィラーを含むことにより、得られる硬化物の物理的強度等を上げることができる。
[Filler]
As the filler, known and commonly used inorganic or organic fillers can be used, but barium sulfate, spherical silica, titanium oxide, Neuburg diatomaceous earth particles, and talc are particularly preferably used. Further, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, boehmite and the like can also be used for the purpose of imparting flame retardancy. Further, NANOCRYL (trade name) XP 0396, XP 0596, XP 0733, XP 0746, XP 0765 manufactured by Hanse-Chemie, in which nanosilica is dispersed in a compound having one or more ethylenically unsaturated groups or the polyfunctional epoxy resin. , XP 0768, XP 0953, XP 0954, XP 1045 (all product grade names) and Hanse-Chemie NANOPOX (trade name) XP 0516, XP 0525, XP 0314 (all product grade names) can also be used. .. These can be used alone or in combination of two or more. By including the filler, the physical strength of the obtained cured product can be increased.
フィラーの配合量は、組成物中にカルボキシル基含有樹脂を含む場合、固形分換算でカルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、好ましくは500質量部以下、より好ましくは0.1〜300質量部、特に好ましくは、0.1〜150質量部である。フィラーの配合量が500質量部以下の場合、光硬化性熱硬化性樹脂組成物の粘度が高くなりすぎず、印刷性が良く、硬化物が脆くなりにくい。 When the composition contains a carboxyl group-containing resin, the amount of the filler is preferably 500 parts by mass or less, more preferably 0.1 to 300 parts by mass, based on 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin in terms of solid content. Particularly preferably, it is 0.1 to 150 parts by mass. When the blending amount of the filler is 500 parts by mass or less, the viscosity of the photocurable thermosetting resin composition does not become too high, the printability is good, and the cured product is less likely to become brittle.
[光重合開始剤]
本発明において、上記したカルボキシル基含有感光性樹脂を光重合させるために使用される光重合開始剤としては、公知のものを用いることができるが、なかでも、オキシムエステル基を有するオキシムエステル系光重合開始剤、α−アミノアセトフェノン系光重合開始剤、アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤が好ましい。光重合開始剤は1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用して用いてもよい。
[Photopolymerization initiator]
In the present invention, known photopolymerization initiators can be used as the photopolymerization initiator used for photopolymerizing the above-mentioned carboxyl group-containing photosensitive resin, and among them, oxime ester-based light having an oxime ester group is used. A polymerization initiator, an α-aminoacetophenone-based photopolymerization initiator, and an acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator are preferable. One type of photopolymerization initiator may be used alone, or two or more types may be used in combination.
オキシムエステル系光重合開始剤としては、市販品として、BASFジャパン社製のCGI−325、イルガキュアー(登録商標)OXE01、イルガキュアーOXE02、ADEKA社製N−1919、アデカアークルズ(登録商標)NCI−831などが挙げられる。 Commercially available oxime ester-based photopolymerization initiators include BASF Japan's CGI-325, Irgacure (registered trademark) OXE01, Irgacure OXE02, ADEKA's N-1919, and ADEKA Arkuru's (registered trademark) NCI. -831 and the like can be mentioned.
また、分子内に2個のオキシムエステル基を有する光重合開始剤も好適に用いることができ、具体的には、下記一般式(III)で表されるカルバゾール構造を有するオキシムエステル化合物が挙げられる。
特に、上記式中、X1、Y1が、それぞれ、メチル基またはエチル基であり、Zがメチルまたはフェニルであり、nが0であり、Arが、フェニレン、ナフチレン、チオフェンまたはチエニレンであるオキシムエステル系光重合開始剤が好ましい。 In particular, in the above formula, X 1 and Y 1 are methyl groups or ethyl groups, respectively, Z is methyl or phenyl, n is 0, and Ar is phenylene, naphthylene, thiophene or thienylene, respectively. Ester-based photopolymerization initiators are preferred.
好ましいカルバゾールオキシムエステル化合物として、下記一般式(IV)で表すことができる化合物を挙げることもできる。 As a preferable carbazole oxime ester compound, a compound represented by the following general formula (IV) can also be mentioned.
R4は、炭素原子数1〜4のアルキル基、炭素原子数1〜4のアルコキシ基、または、炭素原子数1〜4のアルキル基もしくはアルコキシ基で置換されていてもよいフェニル基を表す。
R5は、酸素原子または硫黄原子で連結されていてもよく、フェニル基で置換されていてもよい炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数1〜4のアルコキシ基で置換されていてもよいベンジル基を表す。
R6は、ニトロ基、または、X2−C(=O)−で表されるアシル基を表す。
X2は、炭素原子数1〜4のアルキル基で置換されていてもよいアリール基、チエニル基、モルホリノ基、チオフェニル基、または、下記式(V)で示される構造を表す。)
R 4 represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, or a phenyl group which may be substituted with an alkyl group or an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms.
R 5 may be linked with an oxygen atom or a sulfur atom, may be substituted with a phenyl group, and may be substituted with an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms and an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms. Represents a good benzyl group.
R 6 is a nitro group or a,, X 2 -C (= O ) - represents an acyl group represented.
X 2 represents an aryl group, a thienyl group, a morpholino group, a thiophenyl group, or a structure represented by the following formula (V), which may be substituted with an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. )
その他、特開2004−359639号公報、特開2005−097141号公報、特開2005−220097号公報、特開2006−160634号公報、特開2008−094770号公報、特表2008−509967号公報、特表2009−040762号公報、特開2011−80036号公報記載のカルバゾールオキシムエステル化合物等を挙げることができる。 In addition, JP-A-2004-359639, JP-A-2005-097141, JP-A-2005-22097, JP-A-2006-160634, JP-A-2008-09470, JP-A-2008-50967, Examples thereof include carbazole oxime ester compounds described in JP-A-2009-040762 and JP-A-2011-80036.
オキシムエステル系光重合開始剤を使用する場合の配合量は、組成物中にカルボキシル基含有樹脂を含む場合、固形分換算でカルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、0.01〜5質量部とすることが好ましい。0.01質量部以上とすることにより、銅上での光硬化性がより確実となり、耐薬品性などの塗膜特性が向上する。また、5質量部以下とすることにより、塗膜表面での光吸収が抑えられ、深部の硬化性も向上する傾向がある。より好ましくは、カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して0.5〜3質量部である。 When the oxime ester-based photopolymerization initiator is used, the blending amount is 0.01 to 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin in terms of solid content when the composition contains a carboxyl group-containing resin. Is preferable. By setting the amount to 0.01 parts by mass or more, the photocurability on copper becomes more reliable, and the coating film characteristics such as chemical resistance are improved. Further, when the amount is 5 parts by mass or less, light absorption on the surface of the coating film is suppressed, and the curability of the deep part tends to be improved. More preferably, it is 0.5 to 3 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin.
α−アミノアセトフェノン系光重合開始剤としては、具体的には、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパノン−1、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン、N,N−ジメチルアミノアセトフェノンなどが挙げられる。市販品としては、BASFジャパン社製のイルガキュアー907、イルガキュアー369、イルガキュアー379などが挙げられる。 Specific examples of the α-aminoacetophenone-based photopolymerization initiator include 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropanone-1, 2-benzyl-2-dimethylamino-1. -(4-Molholinophenyl) -butane-1-one, 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone, Examples thereof include N, N-dimethylaminoacetophenone. Examples of commercially available products include Irgacure 907, Irgacure 369, and Irgacure 379 manufactured by BASF Japan Ltd.
アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤としては、具体的には2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルホスフィンオキサイドなどが挙げられる。市販品としては、BASFジャパン社製のイルガキュアーTPO、IGM Resins社製Omnirad(オムニラッド)819(旧Irgacure(イルガキュアー)819)などが挙げられる。 Specific examples of the acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator include 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, and bis (2,6-dimethoxy). Benzoyl) -2,4,4-trimethyl-pentylphosphine oxide and the like can be mentioned. Examples of commercially available products include Irgacure TPO manufactured by BASF Japan Ltd. and Omnirad 819 (formerly Irgacure 819) manufactured by IGM Resins.
また、光重合開始剤としてはBASFジャパン社製のイルガキュアー389、イルガキュアー784も好適に用いることができる。 Further, as the photopolymerization initiator, Irgacure 389 and Irgacure 784 manufactured by BASF Japan Ltd. can also be preferably used.
オキシムエステル系光重合開始剤以外の光重合開始剤を用いる場合の配合量は、組成物中にカルボキシル基含有樹脂を含む場合、固形分換算でカルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、0.01〜15質量部であることが好ましい。0.01質量部以上とすることにより、銅上での光硬化性がより確実となり、耐薬品性などの塗膜特性が向上する。また、15質量部以下とすることにより、十分なアウトガスの低減効果が得られ、さらに硬化被膜表面での光吸収が抑えられ、深部の硬化性も向上する。より好ましくはカルボキシル基含有樹脂100質量部に対して0.5〜10質量部である。 When a photopolymerization initiator other than the oxime ester-based photopolymerization initiator is used, the blending amount is 0, when the composition contains a carboxyl group-containing resin, with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin in terms of solid content. It is preferably 01 to 15 parts by mass. By setting the amount to 0.01 parts by mass or more, the photocurability on copper becomes more reliable, and the coating film characteristics such as chemical resistance are improved. Further, by setting the amount to 15 parts by mass or less, a sufficient effect of reducing outgas can be obtained, light absorption on the surface of the cured film is suppressed, and the curability of the deep portion is also improved. More preferably, it is 0.5 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin.
上記した光重合開始剤と併用して、光開始助剤または増感剤を用いてもよい。光開始助剤または増感剤としては、ベンゾイン化合物、アセトフェノン化合物、アントラキノン化合物、チオキサントン化合物、ケタール化合物、ベンゾフェノン化合物、3級アミン化合物、およびキサントン化合物などを挙げることができる。これらの化合物は、光重合開始剤として用いることができる場合もあるが、光重合開始剤と併用して用いることが好ましい。また、光開始助剤または増感剤は1種類を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。 A photoinitiator or sensitizer may be used in combination with the photopolymerization initiator described above. Examples of the photoinitiator aid or sensitizer include benzoin compounds, acetophenone compounds, anthraquinone compounds, thioxanthone compounds, ketal compounds, benzophenone compounds, tertiary amine compounds, and xanthone compounds. Although these compounds may be used as a photopolymerization initiator, they are preferably used in combination with a photopolymerization initiator. In addition, one type of photoinitiator aid or sensitizer may be used alone, or two or more types may be used in combination.
ベンゾイン化合物としては、例えばベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテルなどが挙げられる。また、アセトフェノン化合物としては、例えばアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノンなどが挙げられる。また、アントラキノン化合物としては、例えば2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノンなどが挙げられる。また、チオキサントン化合物としては、例えば2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントンなどが挙げられる。また、 ケタール化合物としては、例えばアセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタールなどが挙げられる。さらに、ベンゾフェノン化合物としては、例えばベンゾフェノン、4−ベンゾイルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−エチルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−プロピルジフェニルスルフィドなどが挙げられる。 Examples of the benzoin compound include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether and the like. Examples of the acetophenone compound include acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, and 1,1-dichloroacetophenone. Examples of the anthraquinone compound include 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-t-butyl anthraquinone, and 1-chloroanthraquinone. Examples of the thioxanthone compound include 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, and 2,4-diisopropylthioxanthone. Examples of the ketal compound include acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal. Further, examples of the benzophenone compound include benzophenone, 4-benzoyldiphenyl sulfide, 4-benzoyl-4'-methyldiphenyl sulfide, 4-benzoyl-4'-ethyldiphenyl sulfide, 4-benzoyl-4'-propyldiphenyl sulfide and the like. Can be mentioned.
3級アミン化合物としては、例えばエタノールアミン化合物、ジアルキルアミノベンゼン構造を有する化合物、例えば、市販品では、4,4’−ジメチルアミノベンゾフェノン(日本曹達社製ニッソキュアー(登録商標)MABP)、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノン(保土ヶ谷化学社製EAB)などのジアルキルアミノベンゾフェノン、7−(ジエチルアミノ)−4−メチル−2H−1−ベンゾピラン−2−オン(7−(ジエチルアミノ)−4−メチルクマリン)などのジアルキルアミノ基含有クマリン化合物、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル(日本化薬社製カヤキュアー(登録商標)EPA)、2−ジメチルアミノ安息香酸エチル(インターナショナルバイオ−シンセティクス社製Quantacure DMB)、4−ジメチルアミノ安息香酸(n−ブトキシ)エチル(インターナショナルバイオ−シンセエティックス社製Quantacure BEA)、p−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエチルエステル(日本化薬社製カヤキュアーDMBI)、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル(Van Dyk社製Esolol 507)などが挙げられる。3級アミン化合物としては、ジアルキルアミノベンゼン構造を有する化合物が好ましく、中でも、ジアルキルアミノベンゾフェノン化合物、最大吸収波長が350〜450nmにあるジアルキルアミノ基含有クマリン化合物およびケトクマリン類が特に好ましい。 Examples of the tertiary amine compound include ethanolamine compounds and compounds having a dialkylaminobenzene structure. For example, commercially available products include 4,4'-dimethylaminobenzophenone (NissoCure (registered trademark) MABP manufactured by Nippon Soda Co., Ltd.), 4,4. Dialkylaminobenzophenone such as'-diethylaminobenzophenone (EAB manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.), 7- (diethylamino) -4-methyl-2H-1-benzopyran-2-one (7- (diethylamino) -4-methylcoumarin), etc. Dialkylamino group-containing coumarin compound, ethyl 4-dimethylaminobenzoate (Kayacure (registered trademark) EPA manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), ethyl 2-dimethylaminobenzoate (Quantacure DMB manufactured by International Bio-Synthetics Co., Ltd.), 4-dimethyl Aminobenzoic acid (n-butoxy) ethyl (Quantacure BEA manufactured by International Bio-Synthetics), p-dimethylaminobenzoic acid isoamylethyl ester (Kayacure DMBI manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate (Esolol 507 manufactured by Van Dyk) and the like. As the tertiary amine compound, a compound having a dialkylaminobenzene structure is preferable, and among them, a dialkylaminobenzophenone compound, a dialkylamino group-containing coumarin compound having a maximum absorption wavelength of 350 to 450 nm, and ketocoumarins are particularly preferable.
ジアルキルアミノベンゾフェノン化合物としては、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノンが毒性が低いことから好ましい。ジアルキルアミノ基含有クマリン化合物は、最大吸収波長が350〜410nmと紫外線領域にあるため、着色が少なく、無色透明な感光性樹脂組成物はもとより、着色顔料を用い、着色顔料自体の色を反映した着色感光性フィルムを得ることが可能となる。特に、7−(ジエチルアミノ)−4−メチル−2H−1−ベンゾピラン−2−オンが、波長400〜410nmのレーザー光に対して優れた増感効果を示すことから好ましい。 As the dialkylaminobenzophenone compound, 4,4'-diethylaminobenzophenone is preferable because it has low toxicity. Since the dialkylamino group-containing coumarin compound has a maximum absorption wavelength of 350 to 410 nm in the ultraviolet region, it is less colored and uses a colorless and transparent photosensitive resin composition as well as a colored pigment to reflect the color of the colored pigment itself. It becomes possible to obtain a colored photosensitive film. In particular, 7- (diethylamino) -4-methyl-2H-1-benzopyran-2-one is preferable because it exhibits an excellent sensitizing effect on laser light having a wavelength of 400 to 410 nm.
これらのうち、チオキサントン化合物および3級アミン化合物が好ましい。特に、チオキサントン化合物が含まれることにより、深部硬化性を向上させることができる。 Of these, thioxanthone compounds and tertiary amine compounds are preferred. In particular, the inclusion of the thioxanthone compound can improve the deep curability.
光重合開始剤、光開始助剤、および増感剤の総量は、組成物中にカルボキシル基含有樹脂を含む場合、固形分換算でカルボキシル基含有樹脂100質量部に対して35質量部以下であることが好ましい。35質量部以下とすることにより、これらの光吸収が抑えられ、深部の硬化性も向上する。 When the composition contains a carboxyl group-containing resin, the total amount of the photopolymerization initiator, photoinitiator aid, and sensitizer is 35 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin in terms of solid content. Is preferable. By setting the amount to 35 parts by mass or less, these light absorptions are suppressed and the curability of the deep part is also improved.
なお、これら光重合開始剤、光開始助剤、および増感剤は、特定の波長を吸収するため、場合によっては感度が低くなり、紫外線吸収剤として機能することがある。しかしながら、これらは組成物の感度を向上させることだけの目的に用いられるものではない。必要に応じて特定の波長の光を吸収させて、表面の光反応性を高め、レジストのライン形状および開口を垂直、テーパー状、逆テーパー状に変化させるとともに、ライン幅や開口径の加工精度を向上させることができる。 Since these photopolymerization initiators, photoinitiator aids, and sensitizers absorb specific wavelengths, their sensitivity may be lowered in some cases, and they may function as ultraviolet absorbers. However, these are not used solely for the purpose of improving the sensitivity of the composition. If necessary, it absorbs light of a specific wavelength to enhance the photoreactivity of the surface, change the line shape and opening of the resist into vertical, tapered, and reverse tapered shapes, and process accuracy of the line width and opening diameter. Can be improved.
本発明による感光性フィルムに使用される感光性樹脂組成物は、上記した成分以外にも、ブロック共重合体、着色剤、エラストマー、熱可塑性樹脂等の他の成分が含まれていてもよい。以下、これら成分についても説明する。 The photosensitive resin composition used in the photosensitive film according to the present invention may contain other components such as block copolymers, colorants, elastomers, and thermoplastic resins in addition to the above-mentioned components. Hereinafter, these components will also be described.
上記した感光性樹脂組成物には、ブロック共重合体を好適に配合することができる。ブロック共重合体とは、性質の異なる二種類以上のポリマーが、共有結合で繋がり長い連鎖になった分子構造の共重合体のことである。20℃〜30℃の範囲において固体であるものが好ましい。この範囲内において固体であればよく、この範囲外の温度においても固体であってもよい。上記温度範囲において固体であることにより、感光性フィルムとしたときや支持フィルムに塗布し仮乾燥したときのタック性に優れる。 A block copolymer can be suitably blended in the above-mentioned photosensitive resin composition. A block copolymer is a copolymer having a molecular structure in which two or more kinds of polymers having different properties are connected by a covalent bond to form a long chain. Those that are solid in the range of 20 ° C to 30 ° C are preferable. It may be a solid within this range, and may be a solid at a temperature outside this range. Since it is a solid in the above temperature range, it has excellent tackiness when it is used as a photosensitive film or when it is applied to a support film and temporarily dried.
ブロック共重合体としてはXYX、あるいはXYX’型ブロック共重合体が好ましい。XYXあるいはXYX’型ブロック共重合体のうち、中央のBがソフトブロックでありガラス転移点Tgが低く、好ましくは0℃未満であり、その両外側AないしX’がハードブロックでありTgが高く、好ましくは0℃以上のポリマー単位により構成されているものが好ましい。ガラス転移点Tgは示差走査熱量測定(DSC)により測定される。 As the block copolymer, XYX or XYX'type block copolymer is preferable. Of the XYX or XYX'type block copolymers, B in the center is a soft block and the glass transition point Tg is low, preferably less than 0 ° C., and both outer sides A to X'are hard blocks and have a high Tg. , Preferably those composed of polymer units at 0 ° C. or higher. The glass transition point Tg is measured by differential scanning calorimetry (DSC).
また、XYXあるいはXYX’型ブロック共重合体のうち、XないしX’のTgが50℃以上のポリマー単位からなり、YのTgが−20℃以下であるポリマー単位からなるブロック共重合体がさらに好ましい。また、XYXあるいはXYX’型ブロック共重合体のうち、XないしX’が、カルボキシル基含有樹脂との相溶性が高いものが好ましく、Yがカルボキシル基含有樹脂との相溶性が低いものが好ましい。このように、両端のブロックがマトリックスに相溶であり、中央のブロックがマトリックスに不相溶であるブロック共重合体とすることで、マトリックス中において特異的な構造を示しやすくなると考えられる。 Further, among the XYX or XYX'type block copolymers, a block copolymer composed of a polymer unit in which the Tg of X to X'is 50 ° C. or higher and the Tg of Y is −20 ° C. or lower is further added. preferable. Further, among the XYX or XYX'type block copolymers, those in which X to X'are highly compatible with the carboxyl group-containing resin are preferable, and those in which Y is low in compatibility with the carboxyl group-containing resin are preferable. As described above, it is considered that by making the blocks at both ends compatible with the matrix and the central block a block copolymer incompatible with the matrix, it becomes easy to show a specific structure in the matrix.
なお、ブロック共重合体はXYXあるいはXYX‘型だけではなくハードブロックとソフトブロック成分がそれぞれ少なくとも一種以上あれば特に限定されることなく使用することができる。 The block copolymer can be used without particular limitation as long as it contains at least one hard block component and at least one soft block component as well as the XYX or XYX'type.
XないしX’成分としてはポリメチルメタアクリレート(PMMA)、ポリスチレン(PS)などが好ましく、B成分としてはポリn−ブチルアクリレート(PBA)、ポリブタジエン(PB)などが好ましい。また、XないしX’成分の一部にスチレンユニット、水酸基含有ユニット、カルボキシル基含有ユニット、エポキシ含有ユニット、N置換アクリルアミドユニット等に代表される上記カルボキシル基含有樹脂と相溶性に優れる親水性ユニットを導入し、更に相溶性を向上させることが可能となる。本発明者等は、このようにして得られたブロック共重合体が上記したカルボキシル基含有樹脂との相溶性が特に良好であること、そして、驚くべきことに冷熱衝撃耐性を向上させることができ、さらに驚くべきことにエラストマーを添加した物はガラス転移温度(Tg)が下がる傾向にあるのに対し、前記ブロック共重合体を添加した物はTgが下がらない傾向があることを見いだした。 As the X to X'component, polymethylmethacrylate (PMMA), polystyrene (PS) and the like are preferable, and as the B component, polyn-butyl acrylate (PBA), polybutadiene (PB) and the like are preferable. Further, as a part of the X to X'components, a hydrophilic unit having excellent compatibility with the above-mentioned carboxyl group-containing resin represented by a styrene unit, a hydroxyl group-containing unit, a carboxyl group-containing unit, an epoxy-containing unit, an N-substituted acrylamide unit and the like is provided. It can be introduced and the compatibility can be further improved. The present inventors have particularly good compatibility with the above-mentioned carboxyl group-containing resin in the block copolymer thus obtained, and can surprisingly improve the thermal shock resistance. More surprisingly, it was found that the glass transition temperature (Tg) of the product to which the elastomer was added tends to decrease, whereas the Tg of the product to which the block copolymer was added tends to decrease.
ブロック共重合体の製造方法としては、例えば、特願2005−515281号、特願2007−516326号に記載の方法が挙げられる。 ブロック共重合体の市販品としては、アルケマ社製のリビング重合を用いて製造されるアクリル系トリブロックコポリマーが挙げられる。ポリスチレン−ポリブタジエン−ポリメチルメタアクリレートに代表されるSBMタイプ、ポリメチルメタアクリレート−ポリブチルアクリレート−ポリメチルメタアクリレートに代表されるMAMタイプ、更にはカルボン酸変性や親水基変性処理されたMAM NタイプやMAM Aタイプが挙げられる。SBMタイプとしてはE41、E40、E21、E20等が挙げられ、MAMタイプとしてはM51、M52、M53、M22等が挙げられ、MAM Nタイプとしては52N、22N、MAM AタイプとしてはSM4032XM10等が挙げられる。また、クラレ社製のクラリティもメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルより誘導されるブロック共重合である。 Examples of the method for producing a block copolymer include the methods described in Japanese Patent Application No. 2005-515281 and Japanese Patent Application No. 2007-516326. Examples of commercially available block copolymers include acrylic triblock copolymers produced by using living polymerization manufactured by Arkema. SBM type represented by polystyrene-polybutadiene-polymethyl methacrylate, MAM type represented by polymethyl methacrylate-polybutyl acrylate-polymethyl methacrylate, and MAM N type treated with carboxylic acid modification or hydrophilic group modification. And MAM A type. Examples of the SBM type include E41, E40, E21, E20, etc., examples of the MAM type include M51, M52, M53, M22, etc., examples of the MAM N type include 52N, 22N, and examples of the MAM A type include SM4032XM10. Be done. Clarity manufactured by Kuraray Co., Ltd. is also a block copolymer derived from methyl methacrylate and butyl acrylate.
ブロック共重合体としては3元以上のブロック共重合体が好ましく、リビング重合法により合成された分子構造が精密にコントロールされたブロック共重合体が本発明の効果を得る上でより好ましい。これは、リビング重合法により合成されたブロック共重合体は分子量分布が狭く、それぞれのユニットの特徴が明確になったためであると考えられる。用いるブロック共重合体の分子量分布は2.5以下が好ましく、更に好ましくは2.0以下である。 As the block copolymer, a block copolymer having three or more elements is preferable, and a block copolymer whose molecular structure is precisely controlled by the living polymerization method is more preferable for obtaining the effect of the present invention. It is considered that this is because the block copolymer synthesized by the living polymerization method has a narrow molecular weight distribution and the characteristics of each unit have been clarified. The molecular weight distribution of the block copolymer used is preferably 2.5 or less, more preferably 2.0 or less.
ブロック共重合体の重量平均分子量は一般的に20,000〜400,000、さらには30,000〜300,000の範囲にあるものが好ましい。重量平均分子量が20,000未満であると、目的とする強靭性、柔軟性の効果が得られず、タック性にも劣る。一方、重量平均分子量が400,000を超えると、光硬化性樹脂組成物の粘度が高くなり、印刷性、現像性が著しく悪くなる。 The weight average molecular weight of the block copolymer is generally in the range of 20,000 to 400,000, more preferably 30,000 to 300,000. If the weight average molecular weight is less than 20,000, the desired toughness and flexibility effects cannot be obtained, and the tackiness is also inferior. On the other hand, when the weight average molecular weight exceeds 400,000, the viscosity of the photocurable resin composition becomes high, and the printability and developability are remarkably deteriorated.
ブロック共重合体の配合量は、組成物中にカルボキシル基含有樹脂を含む場合、固形分換算でカルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、1〜50質量部が好ましく、より好ましくは5〜35質量部である。1質量部以上でその効果は期待でき、50質量部以下で光硬化性樹脂組成物として現像性や塗布性が良好となる。 When the composition contains a carboxyl group-containing resin, the amount of the block copolymer is preferably 1 to 50 parts by mass, more preferably 5 to 35 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin in terms of solid content. It is a mass part. The effect can be expected at 1 part by mass or more, and the developability and coatability are good as a photocurable resin composition at 50 parts by mass or less.
感光性樹脂組成物には、着色剤が含まれていてもよい。着色剤としては、赤、青、緑、黄などの公知の着色剤を使用することができ、顔料、染料、色素のいずれでもよい。但し、環境負荷低減並びに人体への影響の観点からハロゲンを含有しないことが好ましい。 The photosensitive resin composition may contain a colorant. As the colorant, known colorants such as red, blue, green, and yellow can be used, and any of pigments, dyes, and pigments may be used. However, it is preferable not to contain halogen from the viewpoint of reducing the environmental load and affecting the human body.
赤色着色剤としてはモノアゾ系、ジスアゾ系、アゾレーキ系、ベンズイミダゾロン系、ペリレン系、ジケトピロロピロール系、縮合アゾ系、アントラキノン系、キナクリドン系などがあり、具体的には以下のようなカラ−インデックス(C.I.;ザ ソサイエティ オブ ダイヤーズ アンド カラリスツ(The Society of Dyersand Colourists)発行)番号が付されているものが挙げられる。 Examples of red colorants include monoazo, disazo, azolake, benzimidazolone, perylene, diketopyrrolopyrrole, condensed azo, anthraquinone, and quinacridone. -Indexed (CI; issued by The Society of Dyersand Colorists).
モノアゾ系赤色着色剤としては、Pigment Red 1,2,3,4,5,6,8,9,12,14,15,16,17,21,22,23,31,32,112,114,146,147,151,170,184,187,188,193,210,245,253,258,266,267,268,269等が挙げられる。また、ジスアゾ系赤色着色剤としては、Pigment Red 37,38,41等が挙げられる。また、モノアゾレーキ系赤色着色剤としては、Pigment Red 48:1,48:2,48:3,48:4,49:1,49:2,50:1,52:1,52:2,53:1,53:2,57:1,58:4,63:1,63:2,64:1,68等が挙げられる。また、ベンズイミダゾロン系赤色着色剤としては、Pigment Red 171,175,176、185、208等が挙げられる。また、ぺリレン系赤色着色剤としては、Solvent Red 135,179,Pigment Red 123,149,166,178,179,190,194,224等が挙げられる。また、ジケトピロロピロール系赤色着色剤としては、Pigment Red 254,255,264,270,272等が挙げられる。また、縮合アゾ系赤色着色剤としては、Pigment Red 220,144,166,214,220,221,242等が挙げられる。また、アントラキノン系赤色着色剤としては、Pigment Red 168,177,216、Solvent Red 149,150,52,207等が挙げられる。また、キナクリドン系赤色着色剤としては、Pigment Red 122,202,206,207,209等が挙げられる。
Examples of monoazo red colorants include
青色着色剤としてはフタロシアニン系、アントラキノン系があり、顔料系はピグメント(Pigment)に分類されている化合物が挙げられ、例えば、Pigment Blue 15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6,16,60。染料系としては、Solvent Blue 35,63,68,70,83,87,94,97,122,136,67,70等を使用することができる。上記以外にも、金属置換もしくは無置換のフタロシアニン化合物も使用することができる。 Examples of the blue colorant include phthalocyanine-based and anthraquinone-based compounds, and pigment-based compounds include compounds classified as Pigment. For example, Pigment Blue 15,15: 1,15: 2,15: 3,15: 4,15: 6,16,60. As the dye system, Solvent Blue 35, 63, 68, 70, 83, 87, 94, 97, 122, 136, 67, 70 and the like can be used. In addition to the above, metal-substituted or unsubstituted phthalocyanine compounds can also be used.
黄色着色剤としてはモノアゾ系、ジスアゾ系、縮合アゾ系、ベンズイミダゾロン系、イソインドリノン系、アントラキノン系等が挙げられ、例えば、アントラキノン系黄色着色剤としては、Solvent Yellow 163,Pigment Yellow 24,108,193,147,199,202等が挙げられる。イソインドリノン系黄色着色剤としては、Pigment Yellow 110,109,139,179,185等が挙げられる。縮合アゾ系黄色着色剤としては、Pigment Yellow 93,94,95,128,155,166,180等が挙げられる。ベンズイミダゾロン系黄色着色剤としては、Pigment Yellow 120,151,154,156,175,181等が挙げられる。また、モノアゾ系黄色着色剤としては、Pigment Yellow 1,2,3,4,5,6,9,10,12,61,62,62:1,65,73,74,75,97,100,104,105,111,116,167,168,169,182,183等が挙げられる。また、ジスアゾ系黄色着色剤としては、Pigment Yellow 12,13,14,16,17,55,63,81,83,87,126,127,152,170,172,174,176,188,198等が挙げられる。
Examples of the yellow colorant include monoazo type, disazo type, condensed azo type, benzimidazolone type, isoindolinone type, anthraquinone type, and the like. For example, the anthraquinone type yellow colorant includes Solvent Yellow 163, Pigment Yellow 24, 108, 193, 147, 199, 202 and the like can be mentioned. Examples of the isoindolinone-based yellow colorant include Pigment Yellow 110, 109, 139, 179, 185 and the like. Examples of the condensed azo-based yellow colorant include Pigment Yellow 93, 94, 95, 128, 155, 166, 180 and the like. Examples of the benzimidazolone-based yellow colorant include Pigment Yellow 120, 151, 154, 156, 175, 181 and the like. In addition, as a monoazo yellow colorant,
その他、紫、オレンジ、茶色、黒、白などの着色剤を加えてもよい。具体的には、Pigment Black 1,6,7,8,9,10,11,12,13,18,20,25,26,28,29,30,31,32、Pigment Violet 19、23、29、32、36、38、42、Solvent Violet13,36、C.I.Pigment Orange 1,5,13,14,16,17,24,34,36,38,40,43,46,49,51,61,63,64,71,73、PigmentBrown 23,25,酸化チタン、カーボンブラック等が挙げられる。
In addition, colorants such as purple, orange, brown, black, and white may be added. Specifically,
着色剤の配合量は特に制限はないが、組成物中にカルボキシル基含有樹脂を含む場合、固形分換算でカルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、好ましくは10質量部以下、より好ましくは0.1〜7質量部である。但し、酸化チタンなどの白色着色剤の配合量は、固形分換算でカルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、好ましくは0.1〜200質量部、より好ましくは1〜100質量部、より好ましくは3〜80質量部である。 The amount of the colorant to be blended is not particularly limited, but when the composition contains a carboxyl group-containing resin, it is preferably 10 parts by mass or less, more preferably 0 parts by mass, based on 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin in terms of solid content. .1 to 7 parts by mass. However, the blending amount of the white colorant such as titanium oxide is preferably 0.1 to 200 parts by mass, more preferably 1 to 100 parts by mass, more preferably 1 part by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin in terms of solid content. Is 3 to 80 parts by mass.
また、感光性樹脂組成物には、得られる硬化物に対する柔軟性の付与、硬化物の脆さの改善などを目的にエラストマーを配合することができる。エラストマーとしては、例えばポリエステル系エラストマー、ポリウレタン系エラストマー、ポリエステルウレタン系エラストマー、ポリアミド系エラストマー、ポリエステルアミド系エラストマー、アクリル系エラストマー、オレフィン系エラストマーが挙げられる。また、種々の骨格を有するエポキシ樹脂の一部または全部のエポキシ基を両末端カルボン酸変性型ブタジエン−アクリロニトリルゴムで変性した樹脂なども使用できる。更にはエポキシ含有ポリブタジエン系エラストマー、アクリル含有ポリブタジエン系エラストマー、水酸基含有ポリブタジエン系エラストマー、水酸基含有イソプレン系エラストマー等も使用することができる。エラストマーは、1種を単独で用いてもよく、2種類以上の混合物として使用してもよい。 In addition, an elastomer can be added to the photosensitive resin composition for the purpose of imparting flexibility to the obtained cured product, improving the brittleness of the cured product, and the like. Examples of the elastomer include polyester-based elastomers, polyurethane-based elastomers, polyester-urethane-based elastomers, polyamide-based elastomers, polyesteramide-based elastomers, acrylic-based elastomers, and olefin-based elastomers. Further, a resin obtained by modifying a part or all of the epoxy groups of the epoxy resin having various skeletons with both-terminal carboxylic acid-modified butadiene-acrylonitrile rubber can also be used. Further, epoxy-containing polybutadiene-based elastomers, acrylic-containing polybutadiene-based elastomers, hydroxyl group-containing polybutadiene-based elastomers, hydroxyl group-containing isoprene-based elastomers, and the like can also be used. The elastomer may be used alone or as a mixture of two or more.
また、得られる硬化物の可撓性、指触乾燥性の向上を目的に慣用公知のバインダーポリマーを使用することができる。バインダーポリマーとしてはセルロース系、ポリエステル系、フェノキシ樹脂系ポリマーが好ましい。セルロース系ポリマーとしてはイーストマン社製セルロースアセテートブチレート(CAB)、セルロースアセテートプロピオネート(CAP)シリーズが挙げられ、ポリエステル系ポリマーとしては東洋紡社製バイロンシリーズ、フェノキシ樹脂系ポリマーとしてはビスフェノールA、ビスフェノールFおよびそれらの水添化合物のフェノキシ樹脂が好ましい。 Further, a commonly known binder polymer can be used for the purpose of improving the flexibility and the dryness to the touch of the obtained cured product. As the binder polymer, cellulose-based, polyester-based, and phenoxy resin-based polymers are preferable. Examples of the cellulose-based polymer include cellulose acetate butyrate (CAB) and cellulose acetate propionate (CAP) series manufactured by Eastman Co., Ltd., as the polyester-based polymer, the Byron series manufactured by Toyo Boseki Co., Ltd. Phenoxy resins of bisphenol F and their hydrogenated polymers are preferred.
バインダーポリマーの配合量は、組成物中にカルボキシル基含有樹脂を含む場合、固形分換算でカルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、好ましくは50質量部以下、より好ましくは1〜30質量部、特に好ましくは、5〜30質量部である。バインダーポリマーの配合量が50質量部以下であると、感光性樹脂組成物のアルカリ現像性により優れ、現像可能な可使時間が長くなる。 When the composition contains a carboxyl group-containing resin, the amount of the binder polymer is preferably 50 parts by mass or less, more preferably 1 to 30 parts by mass, based on 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin in terms of solid content. Particularly preferably, it is 5 to 30 parts by mass. When the blending amount of the binder polymer is 50 parts by mass or less, the photosensitive resin composition is more excellent in alkali developability, and the developable pot life becomes longer.
また、感光性樹脂組成物には、必要に応じてさらに、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤などの成分を配合することができる。これらは、電子材料の分野において公知の物を使用することができる。また、微粉シリカ、ハイドロタルサイト、有機ベントナイト、モンモリロナイトなどの公知慣用の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系などの消泡剤およびレベリング剤の少なくとも何れか1種、イミダゾール系、チアゾール系、トリアゾール系等のシランカップリング剤、防錆剤、蛍光増白剤などのような公知慣用の添加剤類の少なくとも何れか一種を配合することができる。 Further, if necessary, the photosensitive resin composition may further contain components such as an adhesion accelerator, an antioxidant, and an ultraviolet absorber. As these, those known in the field of electronic materials can be used. In addition, at least one of known and commonly used thickeners such as fine silica, hydrotalcite, organic bentonite, and montmorillonite, antifoaming agents such as silicone-based, fluorine-based, and polymer-based and leveling agents, imidazole-based, and thiazole-based. At least one of known and commonly used additives such as a silane coupling agent such as a system or a triazole system, a rust preventive agent, and a fluorescent whitening agent can be blended.
感光性フィルムは、支持フィルムの一方の面に、上記した感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥させて形成することができる。感光性樹脂組成物の塗布性を考慮して、感光性樹脂組成物を有機溶剤で希釈して適切な粘度に調整し、コンマコーター、ブレードコーター、リップコーター、ロッドコーター、スクイズコーター、リバースコーター、トランスファロールコーター、グラビアコーター、スプレーコーター等で支持フィルムの一方の面に均一な厚さに塗布し、通常、50〜130℃の温度で1〜30分間乾燥して有機溶剤を揮発させて、タックフリーの塗膜を得ることができる。塗布膜厚については特に制限はないが、一般に、乾燥後の膜厚で、5〜150μm、好ましくは10〜60μmの範囲で適宜選択される。 The photosensitive film can be formed by applying the above-mentioned photosensitive resin composition to one surface of the support film and drying it. Considering the coatability of the photosensitive resin composition, the photosensitive resin composition is diluted with an organic solvent to adjust the viscosity to an appropriate level, and a comma coater, a blade coater, a lip coater, a rod coater, a squeeze coater, a reverse coater, etc. Apply to one surface of the support film with a transfer coater, gravure coater, spray coater, etc. to a uniform thickness, and usually dry at a temperature of 50 to 130 ° C. for 1 to 30 minutes to volatilize the organic solvent and tack. A free coating film can be obtained. The coating film thickness is not particularly limited, but in general, the film thickness after drying is appropriately selected in the range of 5 to 150 μm, preferably 10 to 60 μm.
使用できる有機溶剤としては、特に制限はないが、例えば、ケトン類、芳香族炭化水素類、グリコールエーテル類、グリコールエーテルアセテート類、エステル類、アルコール類、脂肪族炭化水素、石油系溶剤などが挙げることができる。より具体的には、メチルエチルケトン(MEK)、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールブチルエーテルアセテートなどのエステル類;エタノール、プロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素;石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤などである。このような有機溶剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上の混合物として用いてもよい。 The organic solvent that can be used is not particularly limited, and examples thereof include ketones, aromatic hydrocarbons, glycol ethers, glycol ether acetates, esters, alcohols, aliphatic hydrocarbons, and petroleum solvents. be able to. More specifically, ketones such as methyl ethyl ketone (MEK) and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethylbenzene; cellosolve, methyl cellosolve, butyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, butyl carbitol, Glycol ethers such as propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether; ethyl acetate, butyl acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol Esters such as methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, propylene glycol butyl ether acetate; alcohols such as ethanol, propanol, ethylene glycol and propylene glycol; aliphatic hydrocarbons such as octane and decane; petroleum ether, petroleum naphtha, water Additives Petroleum-based solvents such as naphtha and solvent naphtha. Such an organic solvent may be used alone or as a mixture of two or more.
有機溶剤の揮発乾燥は、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブンなど(蒸気による空気加熱方式の熱源を備えたものを用い乾燥機内の熱風を向流接触せしめる方法およびノズルより支持体に吹き付ける方式)を用いて行うことができる。 Volatile drying of organic solvents is supported by hot air circulation type drying furnaces, IR furnaces, hot plates, convection ovens, etc. It can be done by using the method of spraying on the body).
[保護フィルム]
本発明による感光性フィルム積層体は、上記した感光性フィルムの表面に塵等が付着するのを防止するとともに取扱性を向上させる目的で、感光性フィルムの中間層とは反対の面に保護フィルムが設けられていてもよい。
[Protective film]
The photosensitive film laminate according to the present invention has a protective film on the surface opposite to the intermediate layer of the photosensitive film for the purpose of preventing dust and the like from adhering to the surface of the photosensitive film and improving handleability. May be provided.
保護フィルムとしては、例えば、ポリエステルフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、表面処理した紙等を用いることができるが、保護フィルムと感光性樹脂層との接着力が、支持フィルムと感光性樹脂層との接着力よりも小さくなるような材料を選定することが好ましい。また、感光性フィルム積層体の使用時に、保護フィルムを剥離し易くするため、保護フィルムの感光性樹脂層と接する面に上記したような離型処理を施してもよい。 As the protective film, for example, a polyester film, a polyethylene film, a polytetrafluoroethylene film, a polypropylene film, a surface-treated paper or the like can be used, but the adhesive strength between the protective film and the photosensitive resin layer is different from that of the support film. It is preferable to select a material that has a smaller adhesive force with the photosensitive resin layer. Further, in order to facilitate the peeling of the protective film when the photosensitive film laminate is used, the surface of the protective film in contact with the photosensitive resin layer may be subjected to the above-mentioned mold release treatment.
保護フィルムの厚さは、特に制限されるものではないが概ね10〜150μmの範囲で用途に応じて適宜選択される。 The thickness of the protective film is not particularly limited, but is appropriately selected in the range of approximately 10 to 150 μm according to the application.
<硬化物およびプリント配線板の製造方法>
本発明の感光性フィルム、または、感光性フィルム積層体を用いて硬化物が形成される。かかる硬化物の形成方法および回路パターンが形成された基板上に上記硬化物(硬化被膜)を備えたプリント配線板を製造する方法を説明する。一例として、保護フィルムを備えた感光性フィルム積層体を用いてプリント配線板を製造する方法を説明する。先ず、i)上記した感光性フィルム積層体から保護フィルムを剥離して、感光性フィルムを露出させ、ii)前記回路パターンが形成された基板上に、前記感光性フィルム積層体の感光性フィルムを貼合し、iii)前記感光性フィルム積層体の支持フィルム上から露光を行い、iv)前記感光性フィルム積層体から支持フィルムを剥離して現像を行うことにより、前記基板上にパターニングされた感光性フィルムを形成し、v)前記パターニングされた感光性フィルムを光照射ないし熱により硬化させて、硬化被膜を形成する、ことによりプリント配線板が形成される。なお、保護フィルムが設けられていない感光性フィルム積層体を使用する場合は、保護フィルムの剥離工程(i工程)が不要であることは言うまでもない。以下、各工程について説明する。
<Manufacturing method of cured product and printed wiring board>
A cured product is formed using the photosensitive film of the present invention or the photosensitive film laminate. A method of forming such a cured product and a method of manufacturing a printed wiring board having the cured product (cured film) on a substrate on which a circuit pattern is formed will be described. As an example, a method of manufacturing a printed wiring board using a photosensitive film laminate provided with a protective film will be described. First, i) the protective film is peeled off from the above-mentioned photosensitive film laminate to expose the photosensitive film, and ii) the photosensitive film of the photosensitive film laminate is formed on the substrate on which the circuit pattern is formed. Photosensitivity patterned on the substrate by laminating, iii) exposing from the support film of the photosensitive film laminate, and iv) peeling the support film from the photosensitive film laminate and developing. A printed wiring board is formed by forming a sex film and v) curing the patterned photosensitive film by light irradiation or heat to form a cured film. Needless to say, when a photosensitive film laminate without a protective film is used, the protective film peeling step (step i) is unnecessary. Hereinafter, each step will be described.
まず、感光性フィルム積層体から保護フィルムを剥離して感光性樹脂層を露出させ、回路パターンが形成された基板上に、感光性フィルム積層体の感光性樹脂層を貼合する。回路パターンが形成された基板としては、予め回路形成されたプリント配線板やフレキシブルプリント配線板の他、紙フェノール、紙エポキシ、ガラス布エポキシ、ガラスポリイミド、ガラス布/不繊布エポキシ、ガラス布/紙エポキシ、合成繊維エポキシ、フッ素樹脂・ポリエチレン・ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンオキシド・シアネートエステル等を用いた高周波回路用銅張積層版等の材質を用いたもので全てのグレード(FR−4等)の銅張積層版、その他ポリイミドフィルム、PETフィルム、ガラス基板、セラミック基板、ウエハ板等を挙げることができる。 First, the protective film is peeled off from the photosensitive film laminate to expose the photosensitive resin layer, and the photosensitive resin layer of the photosensitive film laminate is bonded onto the substrate on which the circuit pattern is formed. As the substrate on which the circuit pattern is formed, in addition to the printed wiring board and the flexible printed wiring board in which the circuit is formed in advance, paper phenol, paper epoxy, glass cloth epoxy, glass polyimide, glass cloth / non-woven cloth epoxy, glass cloth / paper. All grades (FR-4, etc.) of copper-clad are made of materials such as copper-clad laminates for high-frequency circuits using epoxy, synthetic fiber epoxy, fluororesin / polyethylene / polyimideene ether, polyphenylene oxide / cyanate ester, etc. Laminated plates, other polyimide films, PET films, glass substrates, ceramic substrates, wafer plates and the like can be mentioned.
感光性フィルム積層体の感光性フィルムを回路基板上に貼合するには、真空ラミネーター等を用いて、加圧および加熱下で貼合することが好ましい。このような真空ラミネーターを使用することにより、感光性樹脂組成物層が回路基板に密着するため、気泡の混入がなく、また、基板表面への穴埋め性も向上する。加圧条件は、0.1〜2.0MPa程度であることが好ましく、また、加熱条件は、40〜120℃であることが好ましい。 In order to bond the photosensitive film of the photosensitive film laminate onto the circuit board, it is preferable to bond the photosensitive film under pressure and heating using a vacuum laminator or the like. By using such a vacuum laminator, the photosensitive resin composition layer adheres to the circuit board, so that air bubbles are not mixed in and the hole filling property on the substrate surface is improved. The pressurizing condition is preferably about 0.1 to 2.0 MPa, and the heating condition is preferably 40 to 120 ° C.
次に、感光性フィルム積層体の支持フィルム上から露光(活性エネルギー線の照射)を行う。この工程により、露光された感光性樹脂層のみが硬化する。露光工程は特に限定されるものではなく、例えば、接触式(または非接触方式)により、所望のパターンを形成したフォトマスクを通して選択的に活性エネルギー線により露光してもよいが、直接描画装置により所望パターンを活性エネルギー線により露光してもよい。 Next, exposure (irradiation with active energy rays) is performed from the support film of the photosensitive film laminate. By this step, only the exposed photosensitive resin layer is cured. The exposure process is not particularly limited, and for example, it may be selectively exposed by active energy rays through a photomask having a desired pattern formed by a contact method (or a non-contact method), but it may be exposed by a direct drawing apparatus. The desired pattern may be exposed by active energy rays.
活性エネルギー線照射に用いられる露光機としては、高圧水銀灯ランプ、超高圧水銀灯ランプ、メタルハライドランプ等を搭載し、350〜450nmの範囲で紫外線を照射する装置であればよく、さらに、直接描画装置(例えばコンピューターからのCADデータにより直接レーザーで画像を描くレーザーダイレクトイメージング装置)も用いることができる。直描機のレーザー光源としては、最大波長が350〜410nmの範囲にあるレーザー光を用いていればガスレーザー、固体レーザーどちらでもよい。画像形成のための露光量は膜厚等によって異なるが、一般には20〜800mJ/cm2、好ましくは20〜600mJ/cm2の範囲内とすることができる。 The exposure machine used for irradiating active energy rays may be a device equipped with a high-pressure mercury lamp, an ultra-high-pressure mercury lamp, a metal halide lamp, etc., and irradiates ultraviolet rays in the range of 350 to 450 nm. For example, a laser direct imaging apparatus that directly draws an image with a laser based on CAD data from a computer can also be used. As the laser light source of the direct drawing machine, either a gas laser or a solid-state laser may be used as long as a laser light having a maximum wavelength in the range of 350 to 410 nm is used. The amount of exposure for image formation varies depending on the film thickness and the like, but is generally 20 to 800 mJ / cm 2 , preferably 20 to 600 mJ / cm 2 .
露光後、感光性フィルム積層体から支持フィルムおよび中間層を剥離して現像を行うことにより、基板上にパターニングされた感光性フィルムを形成する。支持フィルムおよび中間層を剥離した際、露光されて硬化した感光性フィルムの表面に、中間層表面の形態が賦型される。 After the exposure, the support film and the intermediate layer are peeled off from the photosensitive film laminate and developed to form a patterned photosensitive film on the substrate. When the support film and the intermediate layer are peeled off, the morphology of the surface of the intermediate layer is formed on the surface of the photosensitive film that has been exposed and cured.
現像工程は特に限定されるものではなく、ディッピング法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法などを用いることができる。また、現像液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、アミン類などのアルカリ水溶液が使用できる。 The developing process is not particularly limited, and a dipping method, a shower method, a spray method, a brush method, or the like can be used. Further, as the developing solution, an alkaline aqueous solution such as potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, ammonia and amines can be used.
次いで、パターニングされた感光性フィルムを、活性エネルギー線(光)照射ないし熱により硬化させて、硬化物(硬化被膜)を形成する。この工程は本硬化または追加硬化と呼ばれるものであり、感光性フィルム中の未反応モノマーの重合を促進させ、さらには、カルボキシル基含有感光性樹脂とエポキシ樹脂とを熱硬化させて、残存するカルボキシル基の量を低減することができる。活性エネルギー線照射は、上記した露光と同様にして行うことができるが、露光時の照射エネルギーよりも強い条件で行うことが好ましい。例えば、500〜3000mJ/cm2とすることができる。また、熱硬化は、100〜200℃で20〜90分間程度の加熱条件で行うことができる。なお、本硬化は、光硬化させた後に熱硬化を行うことが好ましい。光硬化を先に行うことで加熱硬化時においても樹脂の流動が抑制され、賦型された表面が維持されることがある。 Next, the patterned photosensitive film is cured by irradiation with active energy rays (light) or heat to form a cured product (cured film). This step is called main curing or additional curing, which promotes the polymerization of unreacted monomers in the photosensitive film, and further heat-cures the carboxyl group-containing photosensitive resin and the epoxy resin to obtain the remaining carboxyl. The amount of groups can be reduced. The activation energy ray irradiation can be performed in the same manner as the above-mentioned exposure, but it is preferably performed under conditions stronger than the irradiation energy at the time of exposure. For example, it can be 500 to 3000 mJ / cm 2. Further, the thermosetting can be performed at 100 to 200 ° C. under heating conditions of about 20 to 90 minutes. It is preferable that the main curing is performed by heat curing after photo-curing. By performing photocuring first, the flow of the resin may be suppressed even during heat curing, and the shaped surface may be maintained.
本発明による感光性フィルム積層体は、とりわけICパッケージ用のソルダーレジスト層の形成に好適に使用できる。 The photosensitive film laminate according to the present invention can be particularly suitably used for forming a solder resist layer for an IC package.
次に実施例を挙げて、本発明をさらに詳細に説明するが、本発明は、これら実施例に限定されるものではない。 Next, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples.
<カルボキシル基含有感光性樹脂の調製>
温度計、窒素導入装置兼アルキレンオキシド導入装置および撹拌装置を備えたオートクレーブに、ノボラック型クレゾール樹脂(昭和電工社製ショーノールCRG951、OH当量:119.4)119.4gと、水酸化カリウム1.19gとトルエン119.4gとを仕込み、撹拌しつつ系内を窒素置換し、加熱昇温した。次に、プロピレンオキシド63.8gを徐々に滴下し、125〜132℃、0〜4.8kg/cm2で16時間反応させた。その後、室温まで冷却し、この反応溶液に89%リン酸1.56gを添加混合して水酸化カリウムを中和し、不揮発分62.1%、水酸基価が182.2g/eq.であるノボラック型クレゾール樹脂のプロピレンオキシド反応溶液を得た。得られたノボラック型クレゾール樹脂は、フェノール性水酸基1当量当りアルキレンオキシドが平均1.08モル付加しているものであった。
<Preparation of Carboxyl Group-Containing Photosensitive Resin>
In an autoclave equipped with a thermometer, a nitrogen introduction device and an alkylene oxide introduction device, and a stirring device, 119.4 g of a novolak type cresol resin (Shonol CRG951 manufactured by Showa Denko Co., Ltd., OH equivalent: 119.4) and
得られたノボラック型クレゾール樹脂のアルキレンオキシド反応溶液293.0gと、アクリル酸43.2gと、メタンスルホン酸11.53gと、メチルハイドロキノン0.18gとトルエン252.9gとを、撹拌機、温度計および空気吹き込み管を備えた反応器に仕込み、空気を10ml/分の速度で吹き込み、撹拌しながら、110℃で12時間反応させた。反応により生成した水は、トルエンとの共沸混合物として、12.6gの水が留出した。その後、室温まで冷却し、得られた反応溶液を15%水酸化ナトリウム水溶液35.35gで中和し、次いで水洗した。その後、エバポレーターにてトルエンをジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート118.1gで置換しつつ留去し、ノボラック型アクリレート樹脂溶液を得た。次に、得られたノボラック型アクリレート樹脂溶液332.5gおよびトリフェニルホスフィン1.22gを、撹拌器、温度計および空気吹き込み管を備えた反応器に仕込み、空気を10ml/分の速度で吹き込み、撹拌しながら、テトラヒドロフタル酸無水物62.3gを徐々に加え、95〜101℃で6時間反応させて、酸価88mgKOH/gの、不揮発分71%としてカルボキシル基含有感光性樹脂ワニス1を得た。
293.0 g of the alkylene oxide reaction solution of the obtained novolak type cresol resin, 43.2 g of acrylic acid, 11.53 g of methanesulfonic acid, 0.18 g of methylhydroquinone and 252.9 g of toluene were mixed with a stirrer and a thermometer. And a reactor equipped with an air blowing tube was charged, air was blown at a rate of 10 ml / min, and the reaction was carried out at 110 ° C. for 12 hours with stirring. As for the water produced by the reaction, 12.6 g of water was distilled off as an azeotropic mixture with toluene. Then, the mixture was cooled to room temperature, the obtained reaction solution was neutralized with 35.35 g of a 15% aqueous sodium hydroxide solution, and then washed with water. Then, toluene was distilled off while substituting 118.1 g of diethylene glycol monoethyl ether acetate with an evaporator to obtain a novolak type acrylate resin solution. Next, 332.5 g of the obtained novolak-type acrylate resin solution and 1.22 g of triphenylphosphine were charged into a reactor equipped with a stirrer, a thermometer and an air blowing tube, and air was blown at a rate of 10 ml / min. While stirring, 62.3 g of tetrahydrophthalic anhydride was gradually added and reacted at 95 to 101 ° C. for 6 hours to obtain a carboxyl group-containing
<感光性樹脂組成物の調製>
上記のようにして得られたカルボキシル基含有感光性樹脂ワニス1と、アクリレート化合物として感光性モノマーであるジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(日本化薬社製KAYARAD DPHA)と、熱硬化性成分であるエポキシ樹脂として、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(DIC社製EPICLON840−S)およびビフェノールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬社製NC−3000H)と、光重合開始剤としてBASFジャパン社製IRGACURE TPOまたはBASFジャパン社製IRGACURE OXE02と、フィラーとして硫酸バリウム(堺化学工業社製B−30)および/または球状シリカ(アドマテックス社製アドマファイン SO−E2)と、熱硬化触媒としてメラミンと、着色剤として、三菱化学社製カーボンブラックM−50、ジオキサジンバイオレットC.I.Pigment Violet 23、C.I.Pigment Yellow 147、C.I.Pigment Blue 15:3およびC.I.Pigment Red 177から選択される各成分と、有機溶剤としてジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートと、を下記表1に示す割合(質量部)にて配合し、攪拌機にて予備混合した後3本ロールミルで混練して、感光性樹脂組成物1および2を調製した。
<Preparation of photosensitive resin composition>
The carboxyl group-containing
<アクリルメラミン樹脂1の調製>
DIC株式会社製アミディアG−821−60(iso−ブチル化メラミン樹脂、固形分60%)およびDIC株式会社製アクリディックA−405(メラミン焼き付け用アクリル樹脂、固形分50%)を質量割合が固形分換算で25:75となるように配合し、撹拌機にて予備撹拌した後3本ロールミルで混練して、アクリルメラミン樹脂1を調製した。
<Preparation of
Amidia G-821-60 (iso-butylated melamine resin, solid content 60%) manufactured by DIC Corporation and Acrydic A-405 (acrylic resin for melamine baking, solid content 50%) manufactured by DIC Corporation are solid in mass ratio.
<エポキシメラミン樹脂2の調製>
三井化学株式会社製ユーバン62(iso−ブチル化メラミン樹脂、固形分60%)および三井化学株式会社製エポミックR301MIBK溶液(ビスフェノールA型エポキシ樹脂、固形分60%)を質量割合が固形分換算で25:75となるように配合し、撹拌機にて予備撹拌した後3本ロールミルで混練して、エポキシメラミン樹脂2を調製した。
<Preparation of epoxy melamine resin 2>
Uban 62 (iso-butylated melamine resin, solid content 60%) manufactured by Mitsui Chemicals Co., Ltd. and Epomic R301MIBK solution (bisphenol A type epoxy resin, solid content 60%) manufactured by Mitsui Chemicals Co., Ltd. have a mass ratio of 25 in terms of solid content. The epoxy melamine resin 2 was prepared by blending the mixture so as to have a ratio of 75, pre-stirring with a stirrer, and kneading with a three-roll mill.
<中間層1を有する支持フィルム1の作製>
上記のようにして得られたアクリルメラミン樹脂1をメチルエチルケトンで希釈し固形分濃度35質量%の樹脂溶液を調製した。この樹脂液に、さらに塗膜の厚みに応じて適当な固形分濃度となるようにメチルエチルケトンを加えた後、シリコーン系樹脂(東亜合成株式会社製サイマックUS−270)とシリカとを、アクリルメラミン樹脂1とシリコーン系樹脂と平均粒子径2.3μmのシリカとの各質量割合が59.7:0.3:40となるように添加し、室温で十分に撹拌し、均一な塗布液を得た。この塗布液を支持フィルムであるポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ株式会社製ルミラーT60)の一方の面にグラビアロール法により塗布し、130℃で、20秒間乾燥させ、中間層1を有する支持フィルム1(中間層の厚さ3μm、支持フィルムの厚さ25μm、総厚28μm)を作製した。
<Preparation of
The
<中間層2を有する支持フィルム2の作製>
中間層1を有する支持フィルム1の作製において、アクリルメラミン樹脂1に代えて、上記のようにして得られたエポキシメラミン樹脂2を使用した以外は上記と同様にして中間層2を有する支持フィルム2(中間層の厚さ3μm、支持フィルムの厚さ25μm、総厚28μm)を作製した。
<Preparation of support film 2 having intermediate layer 2>
In the production of the
実施例1
<感光性フィルム積層体の作製>
上記のようにして得られた感光性樹脂組成物1にメチルエチルケトン300gを加えて希釈し、攪拌機で15分間撹拌して塗工液を得た。塗工液を、中間層1を有する支持フィルム1の、中間層側の面に塗布し、80℃の温度で15分間乾燥し、厚み20μmの感光性フィルムを形成した。次いで、感光性フィルム上に、厚み18μmのポリプロピレンフィルム(フタムラ社製OPP−FOA)を貼り合わせて、感光性フィルム積層体を作製した。
Example 1
<Preparation of photosensitive film laminate>
300 g of methyl ethyl ketone was added to the
<試験基板の作製>
回路形成されたFR−4銅張積層板(100mm×150mm×0.8mmt、両面銅箔、銅箔の厚みは両面ともに18μm)表面をメック(株)社製のCZ8101により化学研磨し、基板の化学研磨された表面に、上記のようにして得られた感光性フィルム積層体からポリプロピレンフィルムを剥離して露出した感光性フィルムの露出面を貼り合わせ、続いて、真空ラミネーター(名機製作所製 MVLP−500)を用いて加圧度:0.8Mpa、70℃、1分、真空度:133.3Paの条件で加熱ラミネートして、基板と感光性フィルムとを密着させ、試験基板1を作製した。
<Preparation of test board>
The circuit-formed FR-4 copper-clad laminate (100 mm x 150 mm x 0.8 mmt, double-sided copper foil, copper foil thickness is 18 μm on both sides) The surface is chemically polished with CZ8101 manufactured by MEC Co., Ltd. to form a substrate. The exposed surface of the photosensitive film exposed by peeling the polypropylene film from the photosensitive film laminate obtained as described above is attached to the chemically polished surface, and then a vacuum laminator (MVLP manufactured by Meiki Seisakusho) is attached.
実施例2
実施例1において、感光性樹脂組成物1に代えて、感光性樹脂組成物2を使用した以外は、実施例1と同様にして試験基板2を作製した。
Example 2
A test substrate 2 was produced in the same manner as in Example 1 except that the photosensitive resin composition 2 was used instead of the
実施例3
実施例1において、中間層1を有する支持フィルム1に代えて、中間層2を有するポリエチレンテレフタレートフィルム2を使用した以外は、実施例1と同様にして試験基板3を作製した。
Example 3
In Example 1, the test substrate 3 was produced in the same manner as in Example 1 except that the polyethylene terephthalate film 2 having the intermediate layer 2 was used instead of the
実施例4
実施例3において、感光性樹脂組成物1に代えて、感光性樹脂組成物2を使用した以外は、実施例3と同様にして試験基板4を作製した。
Example 4
A test substrate 4 was produced in the same manner as in Example 3 except that the photosensitive resin composition 2 was used instead of the
比較例1
実施例1において、中間層1を有する支持フィルム1に代えて、厚さ25μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ株式会社製ルミラーT60)を使用した以外は、実施例1と同様にして試験基板5を作製した。
Comparative Example 1
In Example 1, a test substrate 5 was prepared in the same manner as in Example 1 except that a polyethylene terephthalate film having a thickness of 25 μm (Lumirror T60 manufactured by Toray Industries, Inc.) was used instead of the
比較例2
比較例1において、感光性樹脂組成物1に代えて、感光性樹脂組成物2を使用した以外は、比較例1と同様にして試験基板6を作製した。
Comparative Example 2
In Comparative Example 1, a test substrate 6 was produced in the same manner as in Comparative Example 1 except that the photosensitive resin composition 2 was used instead of the
比較例3
実施例1において、中間層1を有する支持フィルム1に代えて、厚さ38μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ株式会社製ルミラーT60)を使用した以外は、実施例1と同様にして試験基板7を作製した。
Comparative Example 3
In Example 1, a test substrate 7 was produced in the same manner as in Example 1 except that a polyethylene terephthalate film having a thickness of 38 μm (Lumirror T60 manufactured by Toray Industries, Inc.) was used instead of the
比較例4
比較例3において、感光性樹脂組成物1に代えて、感光性樹脂組成物2を使用した以外は、比較例3と同様にして試験基板8を作製した。
Comparative Example 4
In Comparative Example 3, the test substrate 8 was produced in the same manner as in Comparative Example 3 except that the photosensitive resin composition 2 was used instead of the
<耐おもり落下性>
上記のようにして作製した実施例1〜4および比較例1〜4の各試験基板をコンクリートの上に置き、前記各試験基板のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、おもりとして、直径30mm、重さ120gの真鍮製の球を、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に対して垂直方向、高さ30cmから落下させた。次に、ショートアーク型高圧水銀灯搭載の平行光露光装置を用いて、露光マスクを介して、ポリエチレンテレフタレートフィルム上からベタ露光した後、ポリエチレンテレフタレートフィルムおよび中間層を剥離して感光性フィルムを露出させた。なお、露光量は、感光性フィルムに接するポリエチレンテレフタレートフィルム上から、Stouffer41段を用いて露光した際に7段となる露光量とした。露出させた感光性フィルムの表面の、落下したおもりによる窪みを目視により評価した。おもりの落下は、実施例1〜4および比較例1〜4の各試験基板について、それぞれ10枚ずつ実施した。評価基準は以下のとおりとした。なお、各試験基板とも上記<試験基板の作製>における加熱ラミネートをしてから5分後に本試験、評価を行った。また、23℃、相対湿度50%の試験環境下で本試験、評価を行った。
○:10枚の露出させた感光性フィルムの表面すべてで窪みが確認されない
×:10枚の露出させた感光性フィルムの表面中、1枚以上窪みが確認された
評価結果は、下記の表2に示されるとおりであった。
<Weight drop resistance>
Each of the test substrates of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 4 produced as described above was placed on concrete, and on the surface of the polyethylene terephthalate film of each of the test substrates, as a weight, a diameter of 30 mm and a weight of 120 g. The brass ball of No. 1 was dropped from a height of 30 cm in the direction perpendicular to the surface of the polyethylene terephthalate film. Next, using a parallel light exposure device equipped with a short arc type high-pressure mercury lamp, a solid exposure is performed on the polyethylene terephthalate film via an exposure mask, and then the polyethylene terephthalate film and the intermediate layer are peeled off to expose the photosensitive film. It was. The exposure amount was set to 7 steps when the polyethylene terephthalate film in contact with the photosensitive film was exposed using the 41 steps of Staffer. The dents on the surface of the exposed photosensitive film due to the dropped weights were visually evaluated. Ten weights were dropped for each of the test substrates of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 4. The evaluation criteria were as follows. In addition, each test substrate was subjected to the main test and evaluation 5 minutes after the heat laminating in the above <Preparation of test substrate>. In addition, the main test and evaluation were carried out in a test environment of 23 ° C. and a relative humidity of 50%.
◯: No dents were confirmed on all the surfaces of 10 exposed photosensitive films ×: One or more dents were confirmed on the surface of 10 exposed photosensitive films The evaluation results are shown in Table 2 below. It was as shown in.
感光性フィルム表面の耐衝撃性を簡易的に確認する方法として、耐おもり落下性試験を行い、評価した。実施例から明らかなように本発明の感光性フィルム積層体を用いることにより、ラミネートされた基板等を重ね合せた際の強い衝撃によっても、感光性フィルム表面に影響を及ぼさない感光性フィルム積層体を実現できることがわかる。一方、比較例から明らかなように本発明の要件を満たさない感光性フィルム積層体を用いても上記効果を実現できないことがわかる。 As a method for simply confirming the impact resistance of the surface of the photosensitive film, a weight drop resistance test was conducted and evaluated. As is clear from the examples, by using the photosensitive film laminate of the present invention, the photosensitive film laminate does not affect the photosensitive film surface even by a strong impact when the laminated substrates and the like are laminated. It turns out that can be realized. On the other hand, as is clear from the comparative example, it can be seen that the above effect cannot be realized even if a photosensitive film laminate that does not satisfy the requirements of the present invention is used.
Claims (5)
前記中間層が、メラミンおよびメラミン化合物の少なくともいずれか1種と、シリコーン系樹脂とを含んでなり、
前記感光性樹脂組成物が、1分子中に複数の環状エーテル基および環状チオエーテル基の少なくともいずれか1種を有する熱架橋成分を含んでなる、ことを特徴とする、感光性フィルム積層体。 A photosensitive film laminate comprising a support film, an intermediate layer, and a photosensitive film formed of a photosensitive resin composition in that order.
The intermediate layer comprises at least one of melamine and a melamine compound and a silicone-based resin.
A photosensitive film laminate, wherein the photosensitive resin composition contains a heat-crosslinking component having at least one of a plurality of cyclic ether groups and cyclic thioether groups in one molecule.
前記感光性フィルム積層体の感光性フィルムを露光し、
前記感光性フィルム積層体から、支持フィルムおよび中間層を剥離し、
前記感光性フィルムを構成する感光性樹脂組成物を硬化させて、硬化物を形成する、
ことを含む、方法。 A method for producing a cured product using the photosensitive film laminate according to any one of claims 1 to 4.
The photosensitive film of the photosensitive film laminate is exposed and
The support film and the intermediate layer are peeled off from the photosensitive film laminate.
The photosensitive resin composition constituting the photosensitive film is cured to form a cured product.
The method, including that .
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