JP6778710B2

JP6778710B2 - Setters, saggars, heat treatment furnaces and heat treatment systems

Info

Publication number: JP6778710B2
Application number: JP2018069031A
Authority: JP
Inventors: 隆規磯野; 良充浅野
Original assignee: NGK Insulators Ltd; NGK Kilntech Corp
Current assignee: NGK Insulators Ltd; NGK Kilntech Corp
Priority date: 2018-03-30
Filing date: 2018-03-30
Publication date: 2020-11-04
Anticipated expiration: 2038-03-30
Also published as: JP2019178819A

Description

本明細書に開示する技術は、被処理物を載置して熱処理炉内を搬送されるセッター、被処理物を収容して熱処理炉内を搬送される匣鉢、セッター又は匣鉢を搬送して被処理物を熱処理する熱処理炉、及びセッター又は匣鉢と熱処理炉とを備える熱処理システムに関する。 The technique disclosed in the present specification transports a setter on which an object to be processed is placed and transported in a heat treatment furnace, and a pot, a setter or a pot which accommodates the object to be processed and is transported in the heat treatment furnace. The present invention relates to a heat treatment furnace for heat-treating an object to be treated, and a heat treatment system including a setter or a bowl and a heat treatment furnace.

熱処理炉（例えば、ローラーハースキルン等）を用いて、被処理物を熱処理することがある。この種の熱処理炉は、複数の搬送ローラを備えており、搬送ローラに被処理物を収容した搬送物（例えば、セッターや匣鉢等）を載置した状態で搬送ローラを回転させることによって被処理物を搬送する。例えば、特許文献１には、熱処理炉の一例が開示されている。 The object to be treated may be heat-treated using a heat treatment furnace (for example, a roller hers kiln). This type of heat treatment furnace is provided with a plurality of transfer rollers, and is covered by rotating the transfer rollers with the transfer object (for example, a setter, a sackgar, etc.) containing the object to be processed placed on the transfer rollers. Transport the processed material. For example, Patent Document 1 discloses an example of a heat treatment furnace.

特開２０１５−６４１８９号公報JP-A-2015-64189

この種の熱処理炉では、生産性を高くするため、搬送ローラ上に搬送方向（以下、第１方向ともいう）と垂直かつ水平な方向（以下、第２方向ともいう）に複数の搬送物を並べて載置し、これら複数の搬送物を同時に搬送することがある。このような場合には、複数の搬送物は第２方向に並んだ状態で熱処理炉内を搬入されて搬送される。しかしながら、搬送ローラには、製造時に生じる反り等の歪みが生じることがある。このため、搬送ローラに生じる歪みによって、搬送中に搬送物が傾いてしまうことがある。搬送物が傾いて搬送されると搬送物の蛇行が生じ整列が、第２方向に並んで載置される他の搬送物の搬送を妨害したり、熱処理炉内の側壁に衝突したりするという問題が生じ得る。 In this type of heat treatment furnace, in order to increase productivity, a plurality of objects to be conveyed are placed on the transfer rollers in a direction perpendicular to and horizontal to the transfer direction (hereinafter, also referred to as the first direction) (hereinafter, also referred to as the second direction). They may be placed side by side and these multiple items may be conveyed at the same time. In such a case, the plurality of transported objects are carried in and transported in the heat treatment furnace in a state of being lined up in the second direction. However, the transport roller may be distorted such as warpage that occurs during manufacturing. For this reason, the strain generated in the transport roller may cause the transported object to tilt during transport. When the transported object is tilted and transported, meandering of the transported object occurs and the alignment interferes with the transport of other transported objects placed side by side in the second direction or collides with the side wall in the heat treatment furnace. Problems can arise.

本明細書は、被処理物を収容した搬送物が蛇行して搬送されることを抑制する技術を開示する。 The present specification discloses a technique for suppressing meandering and transporting a transported object containing an object to be processed.

本明細書に開示するセッターは、搬送ローラを備える熱処理炉で熱処理される被処理物を載置して、搬送ローラによって熱処理炉内を搬送される。セッターは、被処理物を収容した収容体を載置可能である。搬送方向である第１方向の寸法は、Ｍ個（Ｍは２以上の自然数）の収容体を載置可能な寸法である。セッターを平面視したときに搬送方向と直交する第２方向の寸法は、Ｎ個（Ｎは１以上の自然数）の収容体を載置可能である。第１方向の寸法は、第２方向の寸法より大きい。 The setter disclosed in the present specification carries an object to be heat-treated in a heat treatment furnace provided with a transfer roller, and is conveyed in the heat treatment furnace by the transfer roller. The setter can place a container containing the object to be processed. The dimension in the first direction, which is the transport direction, is a dimension in which M (M is a natural number of 2 or more) accommodating bodies can be placed. The size of the second direction orthogonal to the transport direction when the setter is viewed in a plan view allows N (N is a natural number of 1 or more) accommodating bodies to be placed. The dimensions in the first direction are larger than the dimensions in the second direction.

上記のセッターは、第１方向（搬送方向）の寸法が大きいため、搬送ローラを配置するピッチ（間隔）を大きくすることができる。これによって、熱処理炉全体に配置される搬送ローラの数が減少し、搬送中にセッターが搬送ローラを乗り継ぐ回数を減少させることができる。セッターの蛇行は、セッターが隣接する搬送ローラに乗り継ぐ際に発生し易い。このため、上記のセッターを用いることによって、セッターの蛇行を抑制することができる。また、上記のセッターは、被処理物が収容された収容体を載置して搬送するため、被処理物がセッターに直接接触しない。これによって、熱処理中にセッターと被処理物とが反応してセッターの底面の形状が変化することを回避できる。このため、セッターの蛇行を抑制することができる。 Since the above setter has a large dimension in the first direction (conveying direction), the pitch (interval) in which the transport rollers are arranged can be increased. As a result, the number of transfer rollers arranged in the entire heat treatment furnace can be reduced, and the number of times the setter transfers the transfer rollers during transfer can be reduced. Meandering of the setter is likely to occur when the setter transfers to an adjacent transport roller. Therefore, by using the above setter, the meandering of the setter can be suppressed. Further, since the setter described above carries the container in which the object to be processed is placed, the object to be processed does not come into direct contact with the setter. This makes it possible to prevent the setter and the object to be processed from reacting with each other during the heat treatment to change the shape of the bottom surface of the setter. Therefore, the meandering of the setter can be suppressed.

また、本明細書に開示する匣鉢は、搬送ローラを備える熱処理炉で熱処理される被処理物を直接収容して、搬送ローラによって熱処理炉内を搬送される。匣鉢は、底板と、底板の周縁に突設された周壁と、を備えている。被処理物は、底板と周壁によって形成される空間内に直接収容される。搬送方向である第１方向の底板の寸法は、平面視したときに搬送方向と直交する第２方向の底板の寸法より大きい。 Further, the saggar disclosed in the present specification directly accommodates the object to be heat-treated in a heat treatment furnace provided with a transfer roller, and is conveyed in the heat treatment furnace by the transfer roller. The saggar includes a bottom plate and a peripheral wall projecting from the periphery of the bottom plate. The object to be treated is housed directly in the space formed by the bottom plate and the peripheral wall. The size of the bottom plate in the first direction, which is the transport direction, is larger than the size of the bottom plate in the second direction, which is orthogonal to the transport direction when viewed in a plan view.

上記の匣鉢は、第１方向（搬送方向）の寸法が大きいため、搬送ローラを配置するピッチを大きくすることができ、熱処理炉全体に配置される搬送ローラの数を減少させることができる。このため、上記の匣鉢を用いることによって、匣鉢の蛇行を抑制することができる。 Since the above-mentioned saggar has a large dimension in the first direction (transportation direction), the pitch at which the transfer rollers are arranged can be increased, and the number of transfer rollers arranged in the entire heat treatment furnace can be reduced. Therefore, by using the above-mentioned saggar, the meandering of the saggar can be suppressed.

また、本明細書に開示する熱処理炉は、上記のセッター又は上記の匣鉢に収容された被処理物を熱処理する。熱処理炉は、被処理物を熱処理する空間を備える熱処理部と、セッター又は匣鉢を熱処理部から搬出する搬出部と、熱処理部及び搬出部に配置され、セッター又は匣鉢を搬送する複数の搬送ローラと、搬送ローラを駆動可能な駆動装置と、を備えている。熱処理部に配置される搬送ローラは、搬送方向に略等しいピッチで配置されていると共に、駆動装置によって駆動される駆動ローラである。搬出部に配置される搬送ローラのうち熱処理部側に配置される搬送ローラは、熱処理部に配置される搬送ローラより小さいピッチで配置されていると共に、駆動装置によって駆動されない従動ローラである。 In addition, the heat treatment furnace disclosed in the present specification heat-treats the object to be treated contained in the setter or the sack. The heat treatment furnace is arranged in a heat treatment section having a space for heat-treating the object to be treated, a carry-out section for carrying out the setter or the sackgar from the heat treatment section, and the heat treatment section and the unloading section, and transports the setter or the sackgar. It is provided with a roller and a drive device capable of driving the transfer roller. The transfer rollers arranged in the heat treatment section are drive rollers that are arranged at substantially the same pitch in the transfer direction and are driven by a drive device. Of the transfer rollers arranged in the carry-out section, the transfer rollers arranged on the heat treatment section side are driven rollers that are arranged at a pitch smaller than that of the transfer rollers arranged in the heat treatment section and are not driven by the drive device.

また、本明細書に開示する熱処理システムは、被処理物を熱処理する熱処理炉と、被処理物を収容して、熱処理炉内を搬送される搬送物と、を備えている。熱処理炉は、被処理物を熱処理する空間を備える熱処理部と、搬送物を熱処理部から搬出する搬出部と、熱処理部及び搬出部に配置され、搬送物を搬送する複数の搬送ローラと、搬送ローラを駆動可能な駆動装置と、を備えている。搬送物は、搬送方向である第１方向の寸法が、搬送物を平面視したときに第１方向と垂直な第２方向の寸法より大きい。熱処理部に配置される搬送ローラは、搬送方向に略等しいピッチで配置されていると共に、駆動装置によって駆動される駆動ローラである。搬出部に配置される搬送ローラのうち熱処理部側に配置される搬送ローラは、熱処理部に配置される搬送ローラより小さいピッチで配置されていると共に、駆動装置によって駆動されない従動ローラである。 Further, the heat treatment system disclosed in the present specification includes a heat treatment furnace for heat-treating the object to be processed, and a transported object for accommodating the object to be processed and being conveyed in the heat treatment furnace. The heat treatment furnace includes a heat treatment section provided with a space for heat-treating the object to be processed, a carry-out section for carrying out the conveyed object from the heat-treated section, and a plurality of transfer rollers arranged in the heat-treated section and the carry-out section to convey the conveyed object. It is equipped with a drive device capable of driving a roller. The dimension of the conveyed object in the first direction, which is the conveyed direction, is larger than the dimension of the second direction perpendicular to the first direction when the conveyed object is viewed in a plan view. The transfer rollers arranged in the heat treatment section are drive rollers that are arranged at substantially the same pitch in the transfer direction and are driven by a drive device. Of the transfer rollers arranged in the carry-out section, the transfer rollers arranged on the heat treatment section side are driven rollers that are arranged at a pitch smaller than that of the transfer rollers arranged in the heat treatment section and are not driven by the drive device.

上記の熱処理システムでは、搬送物の第１方向（搬送方向）の寸法が大きい。このため、上記のセッターや匣鉢と同様の作用効果を奏することができる。また、上記の熱処理システムでは、搬出部に配置される搬送ローラのうち熱処理部側に配置される搬送ローラは、駆動装置によって駆動されない従動ローラであり、熱処理部に配置される搬送ローラより小さいピッチで配置されている。このため、上記の熱処理炉と同様の作用効果を奏することができる。 In the above heat treatment system, the size of the transported object in the first direction (conveyed direction) is large. Therefore, it is possible to obtain the same action and effect as the above-mentioned setter and saggar. Further, in the above heat treatment system, among the transfer rollers arranged in the carry-out section, the transfer rollers arranged on the heat treatment section side are driven rollers that are not driven by the drive device, and have a pitch smaller than that of the transfer rollers arranged in the heat treatment section. It is arranged in. Therefore, the same effect as that of the above heat treatment furnace can be obtained.

実施例１に係る熱処理システムの概略構成を示す図であり、被処理物の搬送方向に平行な平面で熱処理炉を切断したときの縦断面図。It is a figure which shows the schematic structure of the heat treatment system which concerns on Example 1, and is the vertical sectional view when the heat treatment furnace is cut in the plane parallel to the transport direction of the object to be processed. 図１のＩＩ−ＩＩ線における断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 搬送装置の構成を説明するための図。The figure for demonstrating the structure of the transport device. セッターを示す図であり、（ａ）は上面図であり、（ｂ）は側面図である。It is a figure which shows a setter, (a) is a top view, and (b) is a side view. セッターが熱処理部から搬出部に搬送される状態を模式的に示す側面図であり、（ａ）はセッターが熱処理部の下流に位置する状態を示し、（ｂ）は（ａ）の状態から下流に搬送され、熱処理部と搬出部との間に位置する状態を示し、（ｃ）は（ｂ）の状態からさらに下流に搬送され、熱処理部と搬出部との間に位置する状態を示す。It is a side view which shows typically the state which the setter is transported from the heat treatment part to the carry-out part, (a) shows the state which a setter is located downstream of a heat treatment part, (b) is downstream from the state of (a). (C) shows a state of being transported further downstream from the state of (b) and being located between the heat treatment section and the carry-out section. 実施例２の熱処理システムが備える匣鉢を示す図であり、（ａ）は上面図であり、（ｂ）は側面図である。It is a figure which shows the bowl provided in the heat treatment system of Example 2, (a) is a top view, (b) is a side view.

（実施例１）
以下、実施例に係る熱処理システム１００について説明する。図１に示すように、熱処理システム１００は、熱処理炉１０と、セッター１２を備えている。セッター１２は、被処理物を載置して熱処理炉１０内を搬送される。熱処理炉１０は、セッター１２が熱処理炉１０内を搬送される間に、セッター１２に載置される被処理物を熱処理する。以下の説明では、熱処理炉１０においてセッター１２が搬送される方向（図１のＹＺ平面に垂直な方向）を「搬送方向」又は「第１方向」と称することがあり、水平かつ第１方向に垂直な方向（図１のＸＺ平面に垂直な方向）を「第２方向」と称することがある。 (Example 1)
Hereinafter, the heat treatment system 100 according to the embodiment will be described. As shown in FIG. 1, the heat treatment system 100 includes a heat treatment furnace 10 and a setter 12. The setter 12 is conveyed in the heat treatment furnace 10 on which the object to be processed is placed. The heat treatment furnace 10 heat-treats the object to be processed placed on the setter 12 while the setter 12 is conveyed in the heat treatment furnace 10. In the following description, the direction in which the setter 12 is conveyed in the heat treatment furnace 10 (the direction perpendicular to the YZ plane in FIG. 1) may be referred to as a "transportation direction" or a "first direction", and is horizontally and in the first direction. The vertical direction (direction perpendicular to the XZ plane of FIG. 1) may be referred to as a "second direction".

図１〜図３を参照して、熱処理炉１０について説明する。熱処理炉１０は、熱処理部２０と、搬入部３４と、搬出部４０と、搬送装置５０（図３参照）を備えている。 The heat treatment furnace 10 will be described with reference to FIGS. 1 to 3. The heat treatment furnace 10 includes a heat treatment section 20, a carry-in section 34, a carry-out section 40, and a transfer device 50 (see FIG. 3).

熱処理部２０は、略直方形の箱型の炉体を備えており、炉体の内部には周囲を外壁２２で囲まれた空間２４が設けられている。外壁２２の前端面（図１の−Ｘ側の端面）には、開口２６が形成されており、外壁２２の後端面（図１の＋Ｘ側の端面）には、開口２８が形成されている。セッター１２は、搬送装置５０によって開口２６から熱処理部２０内に搬送され、開口２８から熱処理部２０外へ搬送される。すなわち、開口２６は熱処理部２０の搬入口として用いられ、開口２８は熱処理部２０の搬出口として用いられる。 The heat treatment section 20 includes a substantially rectangular box-shaped furnace body, and a space 24 surrounded by an outer wall 22 is provided inside the furnace body. An opening 26 is formed in the front end surface of the outer wall 22 (the end surface on the −X side in FIG. 1), and an opening 28 is formed in the rear end surface (the end surface on the + X side in FIG. 1) of the outer wall 22. .. The setter 12 is conveyed from the opening 26 into the heat treatment section 20 by the transfer device 50, and is conveyed from the opening 28 to the outside of the heat treatment section 20. That is, the opening 26 is used as a carry-in port of the heat treatment section 20, and the opening 28 is used as a carry-out port of the heat treatment section 20.

空間２４には、複数の搬送ローラ５２と、複数のヒータ３０、３２が配置されている。ヒータ３０は、搬送ローラ５２の上方の位置に搬送方向に等間隔で配置され、ヒータ３２は搬送ローラ５２の下方の位置に搬送方向に等間隔で配置されている。ヒータ３０，３２が発熱することで、空間２４内が加熱される。なお、本実施例では、ヒータ３０、３２はそれぞれ搬送方向に等間隔で配置されているが、このような構成に限定されない。ヒータは、例えば、被処理物の種類や熱処理部２０の熱処理の条件等に合わせて、所望の位置に適宜変更して配置してもよい。また、本実施例では、空間２４内にヒータ３０、３２を配置しているが、このような構成に限定されない。空間２４内を加熱できればよく、例えば、空間２４内にガスバーナー等を設置してもよい。 A plurality of transfer rollers 52 and a plurality of heaters 30 and 32 are arranged in the space 24. The heaters 30 are arranged at positions above the transport roller 52 at equal intervals in the transport direction, and the heaters 32 are arranged at positions below the transport roller 52 at equal intervals in the transport direction. The heat generated by the heaters 30 and 32 heats the space 24. In this embodiment, the heaters 30 and 32 are arranged at equal intervals in the transport direction, but the configuration is not limited to this. The heater may be appropriately changed and arranged at a desired position according to, for example, the type of the object to be treated, the heat treatment conditions of the heat treatment unit 20, and the like. Further, in this embodiment, the heaters 30 and 32 are arranged in the space 24, but the present invention is not limited to such a configuration. As long as the space 24 can be heated, for example, a gas burner or the like may be installed in the space 24.

図２に示すように、熱処理部２０では、セッター１２は第２方向に複数並べて搬送される。本実施例では、熱処理部２０（すなわち、熱処理炉１０全体）において、３つのセッター１２を第２方向に並べて搬送する。このため、本実施例では、熱処理部２０の第２方向の寸法は、セッター１２を第２方向に３つ並べた寸法より大きくされているが、熱処理部２０の第２方向の寸法は、特に限定されない。熱処理部２０の第２方向の寸法は、セッター１２を第２方向に３つより多く並べて搬送可能な大きさであってもよい。また、熱処理部２０の第２方向の寸法は、セッター１２を第２方向に２つ並べて搬送可能な大きさであってもよいし、セッター１２を第２方向に複数並べることなく、第２方向に１つのセッター１２を搬送可能な大きさであってもよい。なお、セッター１２は、搬送方向に所定の間隔を空けて熱処理部２０に連続して搬入される。このため、セッター１２は、第２方向だけでなく搬送方向にも並んで配置されていることになる。 As shown in FIG. 2, in the heat treatment unit 20, a plurality of setters 12 are conveyed side by side in the second direction. In this embodiment, in the heat treatment section 20 (that is, the entire heat treatment furnace 10), the three setters 12 are conveyed side by side in the second direction. Therefore, in this embodiment, the dimension of the heat treatment section 20 in the second direction is larger than the dimension in which three setters 12 are arranged in the second direction, but the dimension of the heat treatment section 20 in the second direction is particularly large. Not limited. The size of the heat treatment unit 20 in the second direction may be such that more than three setters 12 can be arranged and conveyed in the second direction. Further, the dimension of the heat treatment unit 20 in the second direction may be a size capable of transporting two setters 12 side by side in the second direction, or the setters 12 may be arranged in the second direction without arranging a plurality of setters 12 in the second direction. It may be large enough to carry one setter 12. The setter 12 is continuously carried into the heat treatment unit 20 at a predetermined interval in the transport direction. Therefore, the setters 12 are arranged side by side not only in the second direction but also in the transport direction.

搬入部３４は、熱処理部２０の上流側（すなわち、搬送方向の上流側であり、図１では熱処理部２０の−Ｘ方向）に位置している。搬入部３４は、熱処理炉１０の外部から運ばれるセッター１２を受け取り、受け取ったセッター１２を熱処理部２０の空間２４内に搬入する。搬入部３４には、搬送ローラ５２が設置されており、熱処理炉１０の外部から運ばれたセッター１２を搬送ローラ５２によって搬送する。 The carry-in section 34 is located on the upstream side of the heat treatment section 20 (that is, on the upstream side in the transport direction, and in FIG. 1, in the −X direction of the heat treatment section 20). The carry-in unit 34 receives the setter 12 carried from the outside of the heat treatment furnace 10 and carries the received setter 12 into the space 24 of the heat treatment unit 20. A transfer roller 52 is installed in the carry-in section 34, and the setter 12 carried from the outside of the heat treatment furnace 10 is conveyed by the transfer roller 52.

搬出部４０は、熱処理部２０の下流側（すなわち、搬送方向の下流側であり、図１では熱処理部２０の＋Ｘ方向）に位置している。搬出部４０は、熱処理部２０の空間２４からセッター１２を搬出し、搬出されたセッター１２を熱処理炉１０の外部に受け渡す。搬出部４０には、搬送ローラ５２が設置されており、セッター１２を搬送ローラ５２によって空間２４外に搬送する。 The carry-out section 40 is located on the downstream side of the heat treatment section 20 (that is, on the downstream side in the transport direction, and in FIG. 1, in the + X direction of the heat treatment section 20). The carry-out unit 40 carries out the setter 12 from the space 24 of the heat treatment unit 20, and delivers the carried-out setter 12 to the outside of the heat treatment furnace 10. A transfer roller 52 is installed in the carry-out unit 40, and the setter 12 is conveyed out of the space 24 by the transfer roller 52.

搬送装置５０は、搬入部３４に運ばれたセッター１２を、搬入部３４から開口２６を通って熱処理部２０の空間２４内に搬送する。さらに、搬送装置５０は、空間２４内において、開口２６から開口２８までセッター１２を搬送する。そして、搬送装置５０は、空間２４から開口２８を通って搬出部４０までセッター１２を搬送する。図３に示すように、搬送装置５０は、複数の搬送ローラ５２と、第１駆動装置５４と、第２駆動装置５６と、制御装置５８を備えている。セッター１２は、搬送ローラ５２によって搬入部３４から搬出部４０まで搬送される。 The transport device 50 transports the setter 12 carried to the carry-in section 34 from the carry-in section 34 through the opening 26 into the space 24 of the heat treatment section 20. Further, the transport device 50 transports the setter 12 from the opening 26 to the opening 28 in the space 24. Then, the transport device 50 transports the setter 12 from the space 24 through the opening 28 to the carry-out portion 40. As shown in FIG. 3, the transfer device 50 includes a plurality of transfer rollers 52, a first drive device 54, a second drive device 56, and a control device 58. The setter 12 is conveyed from the carry-in section 34 to the carry-out section 40 by the transfer roller 52.

搬送ローラ５２は円筒状であり、その軸線は搬送方向と直交する方向に伸びている。本実施例では、複数の搬送ローラ５２は全て同じ直径を有しているが、このような構成に限定されない。例えば、熱処理部２０の搬送方向の距離が比較的長いと、熱処理部２０に設置される搬送ローラ５２を回転させるために複数の駆動装置が設置されることがある。このような場合には、搬送ローラ５２の直径は、接続される駆動装置毎に異なっていてもよい。搬送ローラ５２の軸線方向の寸法は、熱処理部２０の第２方向の寸法より大きい（図２参照）。搬送ローラ５２は、熱処理部２０、搬入部３４及び搬出部４０に複数配置されている。以下、図３に示すように、複数の搬送ローラ５２のうち、搬入部３４及び熱処理部２０に配置され、第１駆動装置５４に接続されているものを搬送ローラ５２ａとし、搬出部４０に配置され、第１駆動装置５４及び第２駆動装置５６のいずれにも接続されていないものを搬送ローラ５２ｂとし、搬出部４０に配置され、第２駆動装置５６に接続されているものを搬送ローラ５２ｃとして区別することがある。 The transport roller 52 has a cylindrical shape, and its axis extends in a direction orthogonal to the transport direction. In this embodiment, the plurality of transfer rollers 52 all have the same diameter, but are not limited to such a configuration. For example, if the distance of the heat treatment unit 20 in the transport direction is relatively long, a plurality of drive devices may be installed to rotate the transport roller 52 installed in the heat treatment unit 20. In such a case, the diameter of the transport roller 52 may be different for each connected drive device. The axial dimension of the transport roller 52 is larger than the second direction dimension of the heat treatment unit 20 (see FIG. 2). A plurality of transfer rollers 52 are arranged in the heat treatment section 20, the carry-in section 34, and the carry-out section 40. Hereinafter, as shown in FIG. 3, among the plurality of transfer rollers 52, those arranged in the carry-in section 34 and the heat treatment section 20 and connected to the first drive device 54 are referred to as the transfer rollers 52a and arranged in the carry-out section 40. The one that is not connected to either the first drive device 54 or the second drive device 56 is the transfer roller 52b, and the one that is arranged in the carry-out unit 40 and is connected to the second drive device 56 is the transfer roller 52c. May be distinguished as.

搬送ローラ５２ａは、搬入部３４及び熱処理部２０に配置されている。搬送ローラ５２ａは、搬送方向に一定のピッチＰ１で等間隔に配置されている。搬送ローラ５２ａのピッチＰ１は、セッター１２が搬入部３４又は熱処理部２０に配置されるとき（すなわち、セッター１２が搬送ローラ５２ａのみに載置されるとき）、セッター１２が常に所定の数の搬送ローラ５２ａ上に載置されるように設定されている。本実施例では、搬送ローラ５２ａのピッチＰ１は、セッター１２が常に４本の搬送ローラ５２ａ上に載置されるように設定されている。搬送ローラ５２ａは、その軸線回りに回転可能に支持されており、第１駆動装置５４の駆動力が伝達されることによって回転する。 The transfer roller 52a is arranged in the carry-in section 34 and the heat treatment section 20. The transport rollers 52a are arranged at equal intervals at a constant pitch P1 in the transport direction. The pitch P1 of the transfer roller 52a is such that when the setter 12 is arranged in the carry-in section 34 or the heat treatment section 20 (that is, when the setter 12 is placed only on the transfer roller 52a), the setter 12 always transfers a predetermined number. It is set to be mounted on the roller 52a. In this embodiment, the pitch P1 of the transfer rollers 52a is set so that the setter 12 is always placed on the four transfer rollers 52a. The transport roller 52a is rotatably supported around its axis, and rotates by transmitting the driving force of the first driving device 54.

搬送ローラ５２ｂは、搬出部４０の熱処理部２０側（図３の−Ｘ側）に配置されている。搬送ローラ５２ｂは、搬送方向に一定のピッチＰ２で等間隔に配置されており、搬送ローラ５２ｂのピッチＰ２は、搬送ローラ５２ａのピッチＰ１より小さくされている。本実施例では、搬送ローラ５２ｂのピッチＰ２は、搬送ローラ５２ａのピッチＰ１の約１／２にされている。搬送ローラ５２ｂは、その軸線回りに回転可能に支持されており、第１駆動装置５４及び第２駆動装置５６のいずれにも接続されていない。このため、搬送ローラ５２ｂは、搬送ローラ５２ｂ上をセッター１２が搬送される際に、セッター１２の下面と搬送ローラ５２ｂとの間に生じる摩擦力によって回転する。搬送ローラ５２ｂが配置される範囲（すなわち、最も熱処理部２０に近い位置に配置される搬送ローラ５２ｂと、最も熱処理部２０から遠い位置に配置される搬送ローラ５２ｂとの間の距離）は、セッター１２の搬送方向の寸法Ｌ１より小さくされている。上述したように、搬送ローラ５２ｂは、第１駆動装置５４及び第２駆動装置５６のいずれにも接続されていない。このため、セッター１２が搬送ローラ５２ｂのみに載置されることがないように、搬送ローラ５２ｂの数が設定される。本実施例では、搬送ローラ５２ｂは３本配置されている。 The transport roller 52b is arranged on the heat treatment section 20 side (−X side in FIG. 3) of the carry-out section 40. The transfer rollers 52b are arranged at equal intervals at a constant pitch P2 in the transfer direction, and the pitch P2 of the transfer rollers 52b is smaller than the pitch P1 of the transfer rollers 52a. In this embodiment, the pitch P2 of the transfer roller 52b is set to about ½ of the pitch P1 of the transfer roller 52a. The transport roller 52b is rotatably supported around its axis and is not connected to either the first drive device 54 or the second drive device 56. Therefore, the transfer roller 52b rotates due to the frictional force generated between the lower surface of the setter 12 and the transfer roller 52b when the setter 12 is conveyed on the transfer roller 52b. The range in which the transfer roller 52b is arranged (that is, the distance between the transfer roller 52b arranged at the position closest to the heat treatment unit 20 and the transfer roller 52b arranged at the position farthest from the heat treatment unit 20) is setter. It is made smaller than the dimension L1 in the transport direction of 12. As described above, the transport roller 52b is not connected to either the first drive device 54 or the second drive device 56. Therefore, the number of the transfer rollers 52b is set so that the setter 12 is not placed only on the transfer rollers 52b. In this embodiment, three transfer rollers 52b are arranged.

搬送ローラ５２ｃは、搬送ローラ５２ｂの下流側（図３の＋Ｘ側）に配置されている。搬送ローラ５２ｃは、搬送方向に一定のピッチＰ１で等間隔に配置されている。すなわち、搬送ローラ５２ｃは、搬入部３４及び熱処理部２０に配置される搬送ローラ５２ａと同一のピッチＰ１で配置されている。搬送ローラ５２ｃは、その軸線回りに回転可能に支持されており、第２駆動装置５６の駆動力が伝達されることによって回転する。 The transfer roller 52c is arranged on the downstream side (+ X side in FIG. 3) of the transfer roller 52b. The transport rollers 52c are arranged at equal intervals at a constant pitch P1 in the transport direction. That is, the transfer rollers 52c are arranged at the same pitch P1 as the transfer rollers 52a arranged in the carry-in section 34 and the heat treatment section 20. The transport roller 52c is rotatably supported around its axis, and rotates by transmitting the driving force of the second driving device 56.

第１駆動装置５４は、搬送ローラ５２ａを駆動する駆動装置（例えば、モータ）である。第１駆動装置５４は、動力伝達機構を介して、搬送ローラ５２ａに接続されている。第１駆動装置５４の駆動力が動力伝達機構を介して搬送ローラ５２ａに伝達されると、搬送ローラ５２ａは回転するようになっている。動力伝達機構としては、公知のものを用いることができ、例えば、スプロケットとチェーンによる機構が用いられている。第１駆動装置５４は、搬送ローラ５２ａが略同一の速度で回転するように、搬送ローラ５２ａのそれぞれを駆動する。第１駆動装置５４は、制御装置５８によって制御されている。 The first drive device 54 is a drive device (for example, a motor) that drives the transfer roller 52a. The first drive device 54 is connected to the transfer roller 52a via a power transmission mechanism. When the driving force of the first drive device 54 is transmitted to the transfer roller 52a via the power transmission mechanism, the transfer roller 52a rotates. As the power transmission mechanism, a known one can be used, and for example, a mechanism using a sprocket and a chain is used. The first drive device 54 drives each of the transfer rollers 52a so that the transfer rollers 52a rotate at substantially the same speed. The first drive device 54 is controlled by the control device 58.

第２駆動装置５６は、搬送ローラ５２ｃを駆動する駆動装置（例えば、モータ）である。第２駆動装置５６は、動力伝達機構を介して、搬送ローラ５２ｃに接続されている。第２駆動装置５６の駆動力が動力伝達機構を介して搬送ローラ５２ｃに伝達されると、搬送ローラ５２ｃは回転するようになっている。動力伝達機構としては、公知のものを用いることができ、例えば、スプロケットとチェーンによる機構が用いられている。第２駆動装置５６は、出力を調整することによって、搬送ローラ５２ｃの回転速度を変更することができる構成となっている。第２駆動装置５６の出力を調整することによって、第２駆動装置５６に接続される搬送ローラ５２ｃは、第１駆動装置５４に接続される搬送ローラ５２ａと略同一の速度で回転したり（以下、低速回転ともいう）、第１駆動装置５４に接続される搬送ローラ５２ａより高速で回転したり（以下、高速回転ともいう）する。第２駆動装置５６は、制御装置５８によって制御されている。 The second drive device 56 is a drive device (for example, a motor) that drives the transfer roller 52c. The second drive device 56 is connected to the transfer roller 52c via a power transmission mechanism. When the driving force of the second driving device 56 is transmitted to the transport roller 52c via the power transmission mechanism, the transport roller 52c rotates. As the power transmission mechanism, a known one can be used, and for example, a mechanism using a sprocket and a chain is used. The second drive device 56 has a configuration in which the rotation speed of the transport roller 52c can be changed by adjusting the output. By adjusting the output of the second drive device 56, the transfer roller 52c connected to the second drive device 56 may rotate at substantially the same speed as the transfer roller 52a connected to the first drive device 54 (hereinafter,). , Also referred to as low-speed rotation), or rotate at a higher speed than the transfer roller 52a connected to the first drive device 54 (hereinafter, also referred to as high-speed rotation). The second drive device 56 is controlled by the control device 58.

図４を参照して、セッター１２について説明する。図４に示すように、セッター１２は、略矩形の平板状である。セッター１２の上面には、箱状の匣鉢１４が複数載置される。なお、匣鉢１４の種類や形状は特に限定されない。本実施例では、搬送方向（図２のＸ方向）の寸法と第２方向（図２のＹ方向）の寸法が共に３００ｍｍの匣鉢１４を用いている。匣鉢１４内には、被処理物が収容される。被処理物としては、例えば、セラミックス製の誘電体（基材）と電極とを積層した積層体や、リチウムイオン電池の正極材や負極材等が挙げられる。セッター１２は、その上面に被処理物が収容された匣鉢１４が載置された状態で熱処理炉１０内を搬送される。匣鉢１４を直接搬送ローラ５２に載置して熱処理炉１０内を搬送させると、熱処理部２０の雰囲気ガスや雰囲気温度の設定条件又は被処理物の種類等によって、匣鉢１４と被処理物とが反応して匣鉢１４の底面の形状が変化することがある。匣鉢１４の底面と搬送ローラ５２とが直接接触する場合、匣鉢１４の底面の形状が変化すると、匣鉢１４は蛇行し易くなる。被処理物を収容した匣鉢１４をセッター１２に載置して熱処理炉１０内を搬送させることによって、被処理物を搬送するために用いる搬送物（すなわち、セッター１２）の蛇行を抑制することができる。 The setter 12 will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 4, the setter 12 has a substantially rectangular flat plate shape. A plurality of box-shaped sags 14 are placed on the upper surface of the setter 12. The type and shape of the saggar 14 are not particularly limited. In this embodiment, a saggar 14 having a transport direction (X direction in FIG. 2) and a second direction (Y direction in FIG. 2) of 300 mm is used. The object to be processed is housed in the saggar 14. Examples of the object to be treated include a laminate in which a ceramic dielectric (base material) and an electrode are laminated, a positive electrode material and a negative electrode material of a lithium ion battery, and the like. The setter 12 is conveyed in the heat treatment furnace 10 with a sack 14 containing an object to be processed placed on the upper surface thereof. When the saggar 14 is placed directly on the transfer roller 52 and conveyed in the heat treatment furnace 10, the saggar 14 and the object to be processed depend on the setting conditions of the atmospheric gas and the atmospheric temperature of the heat treatment unit 20, the type of the object to be processed, and the like. The shape of the bottom surface of the saggar 14 may change due to the reaction with. When the bottom surface of the saggar 14 and the transport roller 52 come into direct contact with each other, if the shape of the bottom surface of the saggar 14 changes, the saggar 14 tends to meander. Saggar 14 containing the object to be processed is placed on the setter 12 and conveyed in the heat treatment furnace 10 to suppress meandering of the object to be conveyed (that is, the setter 12). Can be done.

セッター１２の搬送方向（図２のＸ方向）の寸法Ｌ１は、匣鉢１４の搬送方向の寸法の２倍より大きくされている。セッター１２の第２方向（図２のＹ方向）の寸法Ｌ２は、匣鉢１４の第２方向の寸法より大きく、かつ、セッター１２の搬送方向の寸法Ｌ１より小さくされている。セッター１２を上記のような寸法にすることによって、セッター１２の上面には、２個以上の匣鉢１４が載置可能とされる。本実施例では、セッター１２の搬送方向の寸法Ｌ１は６４０ｍｍであり、セッター１２の第２方向の寸法Ｌ２は３２０ｍｍである。このため、セッター１２の上面に、搬送方向に２個、かつ、第２方向に１個（すなわち、合計２個）の匣鉢１４が載置可能となっている。セッター１２の搬送方向の寸法Ｌ１を匣鉢１４の搬送方向の寸法より大きくすることによって、匣鉢１４を直接搬送ローラに載置して熱処理炉内を搬送させる場合と比較して熱処理炉１０内に配置する搬送ローラ５２のピッチを大きくでき、セッター１２を搬送できる。このため、熱処理炉１０内に配置する搬送ローラ５２の数を少なくすることができる。これによって、熱処理炉１０内の搬送中にセッター１２が搬送ローラ５２を乗り継ぐ回数を減少させることができる。搬送ローラ５２には製造上の反りが生じることがあるため、搬送中のセッター１２は搬送ローラ５２を乗り継ぐ際に蛇行し易い。このため、セッター１２が搬送ローラ５２を乗り継ぐ回数を減少させることによって、セッター１２の蛇行を抑制することができる。また、熱処理部２０内に配置される搬送ローラ５２の数が少なくなることによって、熱処理部２０内を効率よく加熱することができる。 The dimension L1 in the transport direction of the setter 12 (X direction in FIG. 2) is larger than twice the dimension in the transport direction of the saggar 14. The dimension L2 in the second direction (Y direction in FIG. 2) of the setter 12 is larger than the dimension L2 in the second direction of the saggar 14 and smaller than the dimension L1 in the transport direction of the setter 12. By making the setter 12 having the above-mentioned dimensions, two or more bowls 14 can be placed on the upper surface of the setter 12. In this embodiment, the dimension L1 of the setter 12 in the transport direction is 640 mm, and the dimension L2 of the setter 12 in the second direction is 320 mm. Therefore, two sags 14 in the transport direction and one in the second direction (that is, a total of two) can be placed on the upper surface of the setter 12. By making the dimension L1 in the transport direction of the setter 12 larger than the dimension in the transport direction of the saggar 14, the inside of the heat treatment furnace 10 is compared with the case where the saggar 14 is directly placed on the transport roller and transported in the heat treatment furnace. The pitch of the transfer rollers 52 arranged in can be increased, and the setter 12 can be conveyed. Therefore, the number of transfer rollers 52 arranged in the heat treatment furnace 10 can be reduced. As a result, the number of times the setter 12 transfers to the transfer roller 52 during transfer in the heat treatment furnace 10 can be reduced. Since the transfer roller 52 may be warped in manufacturing, the setter 12 during transfer tends to meander when connecting to the transfer roller 52. Therefore, the meandering of the setter 12 can be suppressed by reducing the number of times the setter 12 transfers to the transport roller 52. Further, by reducing the number of transfer rollers 52 arranged in the heat treatment section 20, the inside of the heat treatment section 20 can be efficiently heated.

上述したように、搬送ローラ５２ａのピッチＰ１を大きくすると、セッター１２が搬送ローラ５２を乗り継ぐ回数を減少させることができ、セッター１２の蛇行を抑制することができる。一方で、搬送ローラ５２ａのピッチＰ１を小さくすると、セッター１２を支持する搬送ローラ５２の数が増えるため、安全性を向上させることができる。このため、セッター１２の搬送方向の寸法Ｌ１は、搬送ローラ５２ａのピッチＰ１の４倍以上であってもよい。このような寸法にすることによって、熱処理部２０及び搬入部３４に配置される搬送ローラ５２ａが１本折損した場合であっても、熱処理部２０及び搬入部３４を搬送されるセッター１２が搬送ローラ５２ａから落下することを回避することができる。 As described above, if the pitch P1 of the transfer roller 52a is increased, the number of times the setter 12 transfers to the transfer roller 52 can be reduced, and the meandering of the setter 12 can be suppressed. On the other hand, if the pitch P1 of the transport roller 52a is reduced, the number of transport rollers 52 that support the setter 12 increases, so that safety can be improved. Therefore, the dimension L1 of the setter 12 in the transport direction may be four times or more the pitch P1 of the transport roller 52a. With such dimensions, even if one of the transport rollers 52a arranged in the heat treatment section 20 and the carry-in section 34 is broken, the setter 12 that transports the heat treatment section 20 and the carry-in section 34 can still carry the transport rollers. It is possible to avoid falling from 52a.

なお、本実施例では、セッター１２の上面に、搬送方向に２個の匣鉢１４が載置可能とされているが、このような構成に限定されない。セッター１２の搬送方向に２個以上の匣鉢１４が載置可能であり、かつ、セッター１２の搬送方向の寸法Ｌ１が、セッター１２の第２方向の寸法Ｌ２より大きくされていればよく、セッター１２の上面に載置可能な匣鉢１４の数は限定されない。例えば、セッター１２の搬送方向の寸法Ｌ１は、匣鉢１４を３個以上載置可能な寸法であってもよいし、セッター１２の第２方向の寸法Ｌ２は、匣鉢１４を２個以上載置可能な寸法であってもよい。すなわち、セッター１２は、匣鉢１４を３個以上載置可能であってもよい。 In this embodiment, two sags 14 can be placed on the upper surface of the setter 12 in the transport direction, but the configuration is not limited to this. It suffices that two or more sags 14 can be placed in the transport direction of the setter 12, and that the dimension L1 of the setter 12 in the transport direction is larger than the dimension L2 of the setter 12 in the second direction. The number of pots 14 that can be placed on the upper surface of 12 is not limited. For example, the dimension L1 in the transport direction of the setter 12 may be a dimension in which three or more saggars 14 can be placed, and the dimension L2 in the second direction of the setter 12 may be a dimension in which two or more saggars 14 can be placed. It may be a size that can be placed. That is, the setter 12 may be capable of placing three or more bowls 14.

次に、被処理物を熱処理する際の熱処理炉１０の動作について説明する。被処理物を熱処理するためには、まず、ヒータ３０、３２を作動させて、空間２４の雰囲気温度を設定した温度とする。次いで、被処理物を収容した匣鉢１４を載置した３つのセッター１２を、熱処理炉１０の外部から搬入部３４に設置される搬送ローラ５２上にそれぞれ移動させる。このとき、セッター１２は第２方向に３つ並べて載置される。次いで、第１駆動装置５４を作動させて、搬入部３４から開口２６を通って、第２方向に並べた３つのセッター１２を熱処理部２０の空間２４内に搬送する。空間２４内に搬送されたセッター１２は、空間２４内を開口２６から開口２８まで搬送される。これによって、被処理物は熱処理される。そして、熱処理されたセッター１２は、開口２８を通って搬出部４０に搬送され、搬出部４０から運び出される。 Next, the operation of the heat treatment furnace 10 when heat-treating the object to be processed will be described. In order to heat-treat the object to be treated, first, the heaters 30 and 32 are operated to set the ambient temperature of the space 24 to a set temperature. Next, the three setters 12 on which the bowl 14 containing the object to be processed is placed are moved from the outside of the heat treatment furnace 10 onto the transfer rollers 52 installed in the carry-in section 34. At this time, three setters 12 are placed side by side in the second direction. Next, the first drive device 54 is operated to convey the three setters 12 arranged in the second direction from the carry-in section 34 through the opening 26 into the space 24 of the heat treatment section 20. The setter 12 conveyed in the space 24 is conveyed in the space 24 from the opening 26 to the opening 28. As a result, the object to be treated is heat-treated. Then, the heat-treated setter 12 is conveyed to the carry-out section 40 through the opening 28, and is carried out from the carry-out section 40.

図５を参照して、セッター１２の熱処理部２０から搬出部４０への搬送についてさらに詳細に説明する。上述したように、熱処理部２０（及び搬入部３４）に配置される搬送ローラ５２ａは、第１駆動装置５４に接続されており、搬出部４０（詳細には、搬出部４０の下流側）に配置される搬送ローラ５２ｃは、第２駆動装置５６に接続されている（図３参照）。そして、第２駆動装置５６は、出力を調整することによって、搬送ローラ５２ｃを第１駆動装置５４に接続される搬送ローラ５２ａと略同一の速度で回転（すなわち、低速回転）させたり、搬送ローラ５２ａより高速で回転（すなわち、高速回転）させたりするように駆動している。具体的には、第２駆動装置５６は、セッター１２の一部が搬送ローラ５２ａ上に載置されている間、搬送ローラ５２ｃを低速回転させ、セッター１２全体が搬送ローラ５２ａ上に載置されていない状態になると、搬送ローラ５２ｃを高速回転させる。このため、第２方向に複数並べて載置されるセッター１２が搬送方向にずれていると、第２方向に複数並べて載置されるセッター１２の全てが搬送ローラ５２ａ上に載置されていない状態になるまで、搬送ローラ５２ｃを低速回転から高速回転に変更できない。このような搬送ローラ５２ｃの低速回転から高速回転への変更のタイミングを調整するために、搬送ローラ５２ａと搬送ローラ５２ｃの間に、第１駆動装置５４及び第２駆動装置５６のいずれにも接続されていない搬送ローラ５２ｂ（以下、「従動ローラ５２ｂ」ともいう）が配置されている。 With reference to FIG. 5, the transfer from the heat treatment section 20 of the setter 12 to the carry-out section 40 will be described in more detail. As described above, the transport roller 52a arranged in the heat treatment section 20 (and the carry-in section 34) is connected to the first drive device 54, and is connected to the carry-out section 40 (specifically, the downstream side of the carry-out section 40). The arranged transfer roller 52c is connected to the second drive device 56 (see FIG. 3). Then, by adjusting the output, the second drive device 56 rotates the transfer roller 52c at substantially the same speed as the transfer roller 52a connected to the first drive device 54 (that is, low-speed rotation), or the transfer roller. It is driven so as to rotate (that is, rotate at a high speed) at a speed higher than 52a. Specifically, the second drive device 56 rotates the transport roller 52c at a low speed while a part of the setter 12 is mounted on the transport roller 52a, and the entire setter 12 is mounted on the transport roller 52a. When it is not in the state, the transport roller 52c is rotated at high speed. Therefore, if the setters 12 placed side by side in the second direction are displaced in the transport direction, all the setters 12 placed side by side in the second direction are not placed on the transport roller 52a. The transfer roller 52c cannot be changed from low speed rotation to high speed rotation until In order to adjust the timing of changing the transfer roller 52c from low speed rotation to high speed rotation, a connection is made between the transfer roller 52a and the transfer roller 52c to both the first drive device 54 and the second drive device 56. A transport roller 52b (hereinafter, also referred to as a “driven roller 52b”) that is not provided is arranged.

図５（ａ）に示すように、セッター１２は、熱処理部２０（及び搬入部３４）では、第１駆動装置５４に接続される搬送ローラ５２ａ（以下、「駆動ローラ５２ａ」ともいう）のみに当接する。このため、熱処理部２０（及び搬入部３４）では、セッター１２は駆動ローラ５２ａによって搬送される。熱処理部２０からセッター１２の一部が搬出されると、セッター１２は、上流側（図５の−Ｘ側）において駆動ローラ５２ａ上に当接し、下流側（図５の＋Ｘ側）において従動ローラ５２ｂ上に当接する（図示省略）。このような状態では、セッター１２はセッター１２の上流側で当接する駆動ローラ５２ａによって搬送され、従動ローラ５２ｂはセッター１２との摩擦力によって回転する。すなわち、駆動ローラ５２ａと従動ローラ５２ｂは、セッター１２との間に滑りが生じていない状態で回転している。 As shown in FIG. 5A, the setter 12 is provided only on the transport roller 52a (hereinafter, also referred to as “drive roller 52a”) connected to the first drive device 54 in the heat treatment unit 20 (and the carry-in unit 34). Contact. Therefore, in the heat treatment section 20 (and the carry-in section 34), the setter 12 is conveyed by the drive roller 52a. When a part of the setter 12 is carried out from the heat treatment unit 20, the setter 12 comes into contact with the drive roller 52a on the upstream side (-X side in FIG. 5) and the driven roller on the downstream side (+ X side in FIG. 5). It abuts on 52b (not shown). In such a state, the setter 12 is conveyed by the drive roller 52a that comes into contact with the setter 12 on the upstream side, and the driven roller 52b is rotated by the frictional force with the setter 12. That is, the driving roller 52a and the driven roller 52b are rotating in a state where no slip occurs between the setter 12 and the driven roller 52a.

図５（ｂ）に示すように、セッター１２がさらに下流側に搬送されると、セッター１２は、上流側において駆動ローラ５２ａに当接し、中間において従動ローラ５２ｂに当接し、下流側において第２駆動装置５６に接続される搬送ローラ５２ｃ（以下、「駆動ローラ５２ｃ」ともいう）に当接する。図５（ｂ）では、セッター１２は、３本の従動ローラ５２ｂに当接すると共に、２本の駆動ローラ５２ａと、１本の駆動ローラ５２ｃに当接している。このような状態では、第２駆動装置５６は駆動ローラ５２ｃを低速回転させる出力で駆動しており、駆動ローラ５２ｃは駆動ローラ５２ａと略同一の速度で回転している。したがって、セッター１２は、駆動ローラ５２ａが回転する速度と対応する速度で搬送される。このとき、従動ローラ５２ｂは、セッター１２との摩擦力によって回転し、セッター１２の搬送速度と対応する速度で回転する。したがって、セッター１２と従動ローラ５２ｂとの間に滑りは生じておらず、セッター１２が搬送ローラ５２上に安定して支持される。 As shown in FIG. 5B, when the setter 12 is further transported to the downstream side, the setter 12 abuts on the drive roller 52a on the upstream side, abuts on the driven roller 52b in the middle, and a second on the downstream side. It comes into contact with the transport roller 52c (hereinafter, also referred to as "drive roller 52c") connected to the drive device 56. In FIG. 5B, the setter 12 is in contact with the three driven rollers 52b, and is in contact with the two drive rollers 52a and one drive roller 52c. In such a state, the second drive device 56 is driven by an output that rotates the drive roller 52c at a low speed, and the drive roller 52c is rotating at substantially the same speed as the drive roller 52a. Therefore, the setter 12 is conveyed at a speed corresponding to the speed at which the drive roller 52a rotates. At this time, the driven roller 52b rotates due to the frictional force with the setter 12, and rotates at a speed corresponding to the transport speed of the setter 12. Therefore, no slip occurs between the setter 12 and the driven roller 52b, and the setter 12 is stably supported on the transport roller 52.

図５（ｃ）に示すように、セッター１２がさらに下流側に搬送されると、セッター１２は、３本の従動ローラ５２ｂに当接すると共に、３本の駆動ローラ５２ｃに当接する。このような状態では、セッター１２は、セッター１２に当接する３本の駆動ローラ５２ｃによって搬送される。したがって、セッター１２は、駆動ローラ５２ｃが回転する速度と対応する速度で搬送される。このような状態になると、第２駆動装置５６は、駆動ローラ５２ｃを低速回転させる出力から高速回転させる出力に変える。これによって、セッター１２は、搬出部４０を高速搬送される。このとき、従動ローラ５２ｂは、セッター１２との摩擦力によって回転し、セッター１２の搬送速度と対応する速度で回転する。したがって、セッター１２と従動ローラ５２ｂとの間に滑りは生じておらず、セッター１２が搬送ローラ５２上に安定して支持される。 As shown in FIG. 5C, when the setter 12 is further downstream, the setter 12 comes into contact with the three driven rollers 52b and also with the three drive rollers 52c. In such a state, the setter 12 is conveyed by the three drive rollers 52c that come into contact with the setter 12. Therefore, the setter 12 is conveyed at a speed corresponding to the speed at which the drive roller 52c rotates. In such a state, the second drive device 56 changes the output for rotating the drive roller 52c from the output for rotating at high speed to the output for rotating at high speed. As a result, the setter 12 is transported to the carry-out unit 40 at high speed. At this time, the driven roller 52b rotates due to the frictional force with the setter 12, and rotates at a speed corresponding to the transport speed of the setter 12. Therefore, no slip occurs between the setter 12 and the driven roller 52b, and the setter 12 is stably supported on the transport roller 52.

上述したように、セッター１２は第２方向に複数並べて搬送される。このため、第２方向に複数並べて載置されるセッター１２の全てが駆動ローラ５２ａ上に載置されていない状態になると、駆動ローラ５２ｃは低速回転から高速回転に変更される。例えば、各従動ローラ５２ｂ間にセンサが配置されており、センサによって第２方向に複数並んで搬送される各セッター１２が検出される。各セッター１２のうちのいずれかが駆動ローラ５２ａ上に載置されている間は、駆動ローラ５２ｃは、低速で回転される。そして、全てのセッター１２が駆動ローラ５２ａから従動ローラ５２ｂに移動したことが検出されると、駆動ローラ５２ｃの回転速度は、低速から高速に変更される。本実施例では、従動ローラ５２ｂのピッチＰ２は、駆動ローラ５２ａ、５２ｃのピッチＰ１より小さくされている。このため、各従動ローラ５２ｂ間に設置されるセンサが短い間隔で設置される。従動ローラ５２ｂのピッチを駆動ローラ５２ａ、５２ｃのピッチＰ１と同様に大きくすると、各従動ローラ５２ｂ間に設置されるセンサの間隔が広くなる。すると、第２方向に複数並べて載置されるセッター１２の全てが駆動ローラ５２ａ上に載置されていない状態になっても、これを検出するまでにタイムロスが生じる。したがって、従動ローラ５２ｂのピッチＰ２を小さくすることによって、第２方向に複数並べて載置されるセッター１２の全てが駆動ローラ５２ａ上に載置されていない状態を迅速に検出することができ、駆動ローラ５２ｃの回転速度を迅速に変更することができる。 As described above, a plurality of setters 12 are transported side by side in the second direction. Therefore, when all of the setters 12 mounted side by side in the second direction are not mounted on the drive roller 52a, the drive roller 52c is changed from low speed rotation to high speed rotation. For example, sensors are arranged between the driven rollers 52b, and the sensors detect each setter 12 that is conveyed side by side in the second direction. While any of the setters 12 is mounted on the drive rollers 52a, the drive rollers 52c are rotated at a low speed. When it is detected that all the setters 12 have moved from the drive roller 52a to the driven roller 52b, the rotation speed of the drive roller 52c is changed from low speed to high speed. In this embodiment, the pitch P2 of the driven roller 52b is made smaller than the pitch P1 of the driving rollers 52a and 52c. Therefore, the sensors installed between the driven rollers 52b are installed at short intervals. When the pitch of the driven rollers 52b is increased in the same manner as the pitchs P1 of the driving rollers 52a and 52c, the distance between the sensors installed between the driven rollers 52b becomes wider. Then, even if all of the setters 12 mounted side by side in the second direction are not mounted on the drive roller 52a, a time loss occurs before detecting the setters 12. Therefore, by reducing the pitch P2 of the driven roller 52b, it is possible to quickly detect a state in which all of the setters 12 mounted side by side in the second direction are not mounted on the drive roller 52a, and the drive roller 52a can be driven. The rotation speed of the roller 52c can be changed quickly.

また、搬出部４０の熱処理部２０側に従動ローラ５２ｂを配置することによって、回転速度が異なる駆動ローラ５２が隣接して配置されることを回避することができる。これによって、第２方向に複数並べて搬送されるセッター１２が搬送方向にずれた場合であっても、セッター１２の搬送速度の切り替えをスムーズに行うことができる。また、従動ローラ５２ｂのピッチＰ２は、駆動ローラ５２ａ、５２ｃのピッチＰ１より小さくされているため、セッター１２の搬送速度が切り替わる際にセッター１２に当接する従動ローラ５２ｂの数を増加させることができる。このため、セッター１２の搬送速度の切り替えをよりスムーズに行うことができる。 Further, by arranging the driven roller 52b on the heat treatment portion 20 side of the carry-out portion 40, it is possible to prevent the drive rollers 52 having different rotation speeds from being arranged adjacent to each other. As a result, even when a plurality of setters 12 transported side by side in the second direction are displaced in the transport direction, the transport speed of the setters 12 can be smoothly switched. Further, since the pitch P2 of the driven roller 52b is smaller than the pitch P1 of the driving rollers 52a and 52c, the number of the driven rollers 52b that come into contact with the setter 12 when the transport speed of the setter 12 is switched can be increased. .. Therefore, the transfer speed of the setter 12 can be switched more smoothly.

（実施例２）
上記の熱処理システム１００では、被処理物（詳細には、被処理物を収容した匣鉢１４）を載置したセッター１２を熱処理炉１０内に搬送して被処理物を熱処理していたが、このような構成に限定されない。例えば、熱処理条件や被処理物の種類によって、匣鉢１１４の底面の形状が変形しにくい場合には、熱処理炉１０内に匣鉢１１４を直接搬送してもよい。なお、本実施例の熱処理システムは、熱処理炉１０内に匣鉢１１４を直接搬送する点が実施例１の熱処理システム１００と相違しており、その他の構成については略同一となっている。そこで、実施例１の熱処理システム１００と同一の構成については、その説明を省略する。 (Example 2)
In the above heat treatment system 100, the setter 12 on which the object to be treated (specifically, the saggar 14 containing the object to be processed) is placed is conveyed into the heat treatment furnace 10 to heat-treat the object to be processed. It is not limited to such a configuration. For example, if the shape of the bottom surface of the saggar 114 is not easily deformed depending on the heat treatment conditions and the type of the object to be treated, the saggar 114 may be directly conveyed into the heat treatment furnace 10. The heat treatment system of this example is different from the heat treatment system 100 of Example 1 in that the bowl 114 is directly transported into the heat treatment furnace 10, and the other configurations are substantially the same. Therefore, the description of the same configuration as that of the heat treatment system 100 of the first embodiment will be omitted.

図６に示すように、匣鉢１１４は箱状であり、底板１１４ａと、底板１１４ａの周縁から上方に（図６の＋Ｚ方向に）向かって突設される周壁１１４ｂを備えている。被処理物は、底板１１４ａと周壁１１４ｂによって形成される空間１１４ｃ内に直接収容される。匣鉢１１４は、例えば、金属製であり、底板１１４ａ及び周壁１１４ｂの板厚は一定である。底板１１４ａ及び周壁１１４ｂの板厚は特に限定されないが、本実施例では、約２ｍｍである。なお、匣鉢１１４は金属製に限定されるものではなく、例えば、セラミック等の耐火物で形成されていてもよい。また、匣鉢をセラミック等の耐火物で形成する場合には、底板の板厚を周壁の板厚より厚くしてもよい。これによって、底板の強度が増し、匣鉢と被処理物とが反応して匣鉢の底面の形状が変化することを抑制することができる。また、匣鉢１１４の高さ方向（図６のＺ方向）の寸法Ｈは、匣鉢１１４内に収容した被処理物が搬送中に飛び出すことがない寸法であれば特に限定されない。本実施例では、匣鉢１１４の高さ方向の寸法Ｈは８０ｍｍである。 As shown in FIG. 6, the saggar 114 is box-shaped and includes a bottom plate 114a and a peripheral wall 114b projecting upward (in the + Z direction of FIG. 6) from the peripheral edge of the bottom plate 114a. The object to be processed is directly housed in the space 114c formed by the bottom plate 114a and the peripheral wall 114b. The saggar 114 is made of metal, for example, and the thickness of the bottom plate 114a and the peripheral wall 114b is constant. The thickness of the bottom plate 114a and the peripheral wall 114b is not particularly limited, but in this embodiment, it is about 2 mm. The saggar 114 is not limited to metal, and may be made of, for example, a refractory material such as ceramic. When the saggar is made of a refractory material such as ceramic, the thickness of the bottom plate may be thicker than the thickness of the peripheral wall. As a result, the strength of the bottom plate is increased, and it is possible to suppress the reaction between the saggar and the object to be processed to change the shape of the bottom surface of the saggar. Further, the dimension H in the height direction (Z direction in FIG. 6) of the saggar 114 is not particularly limited as long as the object to be processed contained in the saggar 114 does not pop out during transportation. In this embodiment, the height dimension H of the saggar 114 is 80 mm.

匣鉢１１４の搬送方向（図６のＸ方向）の寸法Ｌ３は、匣鉢１１４の第２方向（図６のＹ方向）の寸法Ｌ４より大きくされている。匣鉢１１４の搬送方向の寸法Ｌ３及び匣鉢１１４の第２方向の寸法Ｌ４は特に限定されないが、本実施例では、匣鉢１１４の搬送方向の寸法Ｌ３は６４０ｍｍであり、匣鉢１１４の第２方向の寸法Ｌ４は３２０ｍｍである。匣鉢１１４の搬送方向の寸法Ｌ３が、匣鉢１１４の第２方向の寸法Ｌ４より大きくされていることによって、熱処理炉１０内に配置する搬送ローラ５２のピッチを大きくすることができ、熱処理炉１０内に配置する搬送ローラ５２の数を少なくすることができる。これによって、匣鉢１１４の蛇行を抑制することができる。 The dimension L3 in the transport direction (X direction in FIG. 6) of the saggar 114 is larger than the dimension L4 in the second direction (Y direction in FIG. 6) of the saggar 114. The dimension L3 in the transport direction of the saggar 114 and the dimension L4 in the second direction of the saggar 114 are not particularly limited, but in this embodiment, the dimensional L3 in the transport direction of the saggar 114 is 640 mm. The dimension L4 in the two directions is 320 mm. Since the dimension L3 in the transport direction of the saggar 114 is larger than the dimension L4 in the second direction of the saggar 114, the pitch of the transport rollers 52 arranged in the heat treatment furnace 10 can be increased, and the heat treatment furnace The number of transport rollers 52 arranged in 10 can be reduced. As a result, the meandering of the saggar 114 can be suppressed.

熱処理炉１０内において匣鉢１１４が搬送される際には、被処理物の上面が略平坦となるように、被処理物を匣鉢１１４内に収容する。例えば、匣鉢１１４の搬送前に、被処理物が収容された状態の匣鉢１１４を振動させることによって被処理物の上面を略平坦にしてもよいし、匣鉢１１４の上方の複数箇所から被処理物を落下させることによって収容してもよい。被処理物の上面が略平坦にすることによって、匣鉢１１４内に収容された被処理物を均等に熱処理することができる。 When the saggar 114 is transported in the heat treatment furnace 10, the saggar 114 is housed so that the upper surface of the object to be processed is substantially flat. For example, before transporting the saggar 114, the upper surface of the saggar 114 may be made substantially flat by vibrating the saggar 114 in which the saggar is housed, or from a plurality of locations above the saggar 114. The object to be processed may be contained by dropping it. By making the upper surface of the object to be treated substantially flat, the object to be processed contained in the saggar 114 can be uniformly heat-treated.

なお、匣鉢１１４の搬送方向の寸法Ｌ３は、搬送ローラ５２ａのピッチＰ１の４倍であってもよい。このような寸法にすることによって、熱処理部２０及び搬入部３４に配置される搬送ローラ５２ａが１本折損した場合であっても、熱処理部２０及び搬入部３４を搬送されるセッター１２が搬送ローラ５２ａから落下することを回避することができる。 The size L3 of the saggar 114 in the transport direction may be four times the pitch P1 of the transport roller 52a. With such dimensions, even if one of the transport rollers 52a arranged in the heat treatment section 20 and the carry-in section 34 is broken, the setter 12 that transports the heat treatment section 20 and the carry-in section 34 can still carry the transport rollers. It is possible to avoid falling from 52a.

以上、本明細書に開示の技術の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。 Although specific examples of the disclosed techniques have been described in detail in the present specification, these are merely examples and do not limit the scope of claims. The techniques described in the claims include various modifications and modifications of the specific examples illustrated above. In addition, the technical elements described in the present specification or the drawings exhibit technical usefulness alone or in various combinations, and are not limited to the combinations described in the claims at the time of filing.

１０：熱処理炉
１２：セッター
１４、１１４：匣鉢
２０：熱処理部
２２：外壁
２４：空間
２６、２８：開口
３０、３２：ヒータ
３４：搬入部
４０：搬出部
５０：搬送装置
５２：搬送ローラ
５４：第１駆動装置
５６：第２駆動装置
５８：制御装置
１００：熱処理システム 10: Heat treatment furnace 12: Setter 14, 114: Bowl 20: Heat treatment part 22: Outer wall 24: Space 26, 28: Opening 30, 32: Heater 34: Carry-in part 40: Carry-out part 50: Transfer device 52: Transfer roller 54 : First drive device 56: Second drive device 58: Control device 100: Heat treatment system

Claims

A setter on which an object to be heat-treated in a heat treatment furnace provided with a transfer roller is placed and conveyed in the heat treatment furnace by the transfer roller.
An container containing the object to be processed can be placed on the container.
The dimension in the first direction, which is the transport direction, is a dimension on which M (M is a natural number of 2 or more) can be placed.
When the setter is viewed in a plan view, the dimension in the second direction orthogonal to the transport direction is such that N (N is a natural number of 1 or more) can be placed.
The setter whose dimensions in the first direction are larger than those in the second direction.

A sack that directly accommodates an object to be heat-treated in a heat treatment furnace provided with a transfer roller and is conveyed in the heat treatment furnace by the transfer roller.
With the bottom plate
It is provided with a peripheral wall projecting from the peripheral edge of the bottom plate.
The object to be treated is directly housed in the space formed by the bottom plate and the peripheral wall.
A saggar whose bottom plate in the first direction, which is the transport direction, is larger than the size of the bottom plate in the second direction, which is orthogonal to the transport direction when viewed in a plan view.

A heat treatment furnace for heat-treating an object to be processed contained in the setter according to claim 1 or the sack according to claim 2.
A heat treatment unit provided with a space for heat-treating the object to be treated,
A unloading unit that carries out the setter or the saggar from the heat treatment unit, and a unloading unit.
A plurality of transport rollers arranged in the heat treatment section and the carry-out section to transport the setter or the saggar, and
It is provided with a drive device capable of driving the transfer roller.
The transfer rollers arranged in the heat treatment section are drive rollers that are arranged at substantially the same pitch in the transfer direction and are driven by the drive device.
Of the transfer rollers arranged in the carry-out section, the transfer rollers arranged on the heat treatment section side are arranged at a pitch smaller than that of the transfer rollers arranged in the heat treatment section, and are driven rollers that are not driven by the drive device. Is a heat treatment furnace.

A heat treatment furnace that heat-treats the object to be treated,
It is provided with a transported object that accommodates the object to be processed and is transported in the heat treatment furnace.
The heat treatment furnace
A heat treatment unit having a space for heat-treating the object to be treated
A unloading unit that carries out the transported material from the heat treatment unit,
A plurality of transport rollers arranged in the heat treatment section and the carry-out section to transport the transported object, and
It is provided with a drive device capable of driving the transfer roller.
The dimensions of the transported object in the first direction, which is the transport direction, are larger than the dimensions of the second direction perpendicular to the first direction when the transported object is viewed in a plan view.
The transfer rollers arranged in the heat treatment section are drive rollers that are arranged at substantially the same pitch in the transfer direction and are driven by the drive device.
Of the transfer rollers arranged in the carry-out section, the transfer rollers arranged on the heat treatment section side are arranged at a pitch smaller than that of the transfer rollers arranged in the heat treatment section, and are driven rollers that are not driven by the drive device. Is a heat treatment system.