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JP6741055B2 - Liquid jet head - Google Patents

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JP6741055B2
JP6741055B2 JP2018187210A JP2018187210A JP6741055B2 JP 6741055 B2 JP6741055 B2 JP 6741055B2 JP 2018187210 A JP2018187210 A JP 2018187210A JP 2018187210 A JP2018187210 A JP 2018187210A JP 6741055 B2 JP6741055 B2 JP 6741055B2
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Description

本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを噴射するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。 The present invention relates to a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus, and more particularly to an inkjet recording head and an inkjet recording apparatus that eject ink as a liquid.

液体噴射ヘッドとして、例えば、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室を圧電素子等の圧力発生手段により変形させ、ノズル開口からインク滴を吐出させるヘッド本体と、該ヘッド本体に供給されるインクの流路を構成する流路部材とを備えたインクジェット式記録ヘッドが知られている。 As a liquid ejecting head, for example, a pressure generating chamber that communicates with a nozzle opening for ejecting ink droplets is deformed by pressure generating means such as a piezoelectric element, and a head body for ejecting ink droplets from the nozzle opening, and a head body are supplied to the head body. An ink jet recording head including a flow path member that forms a flow path for ink is known.

ヘッド本体は流路部材に接続され、流路からのインクがヘッド本体に供給され、又はヘッド本体からのインクが流路に排出されるようになっている。また、流路部材には、厚さ方向に貫通して、フレキシブル配線基板が挿通される開口部が設けられている。フレキシブル配線基板は、当該開口部を挿通してヘッド本体の圧力発生手段にリード電極を介して接続されている。さらに、フレキシブル配線基板は、流路部材のヘッド本体とは反対側に配置された接続基板に接続されている。接続基板は制御部に接続されており、該制御部の制御信号が接続基板、フレキシブル配線基板を介して圧力発生手段に伝達されるようになっている(例えば、特許文献1参照)。 The head main body is connected to the flow path member, and ink from the flow path is supplied to the head main body or ink from the head main body is discharged to the flow path. Further, the flow path member is provided with an opening that penetrates in the thickness direction and through which the flexible wiring board is inserted. The flexible wiring board is inserted through the opening and connected to the pressure generating means of the head body via the lead electrode. Furthermore, the flexible wiring board is connected to a connection board arranged on the side of the flow path member opposite to the head body. The connection board is connected to the control section, and the control signal of the control section is transmitted to the pressure generating means via the connection board and the flexible wiring board (for example, see Patent Document 1).

特開2012−81644号公報JP2012-81644A

一方、液体噴射ヘッドは、高解像度とともに小型化が要求されており、流路部材も特に液体噴射面に平行な水平面における大きさを小型化することが要求されている。 On the other hand, the liquid jet head is required to have a high resolution and a small size, and the flow path member is also required to have a small size particularly in a horizontal plane parallel to the liquid jet surface.

しかしながら、流路部材の小型化により、流路部材のうち、フレキシブル配線基板が挿通される開口部を除いた、流路を形成可能な領域が狭くなってしまう。すなわち、前記水平面内でインクが流通するような水平流路を流路部材に設けることが困難となる。また、流路部材の流路を形成可能な領域が狭いと、流路を引き回す自由度が制約されるため、例えば、ヘッド本体の配置などに応じた最適な流路を構成することも困難となる。 However, due to the miniaturization of the flow path member, the area in which the flow path can be formed in the flow path member, excluding the opening through which the flexible wiring board is inserted, becomes narrow. That is, it becomes difficult to provide the flow path member with a horizontal flow path through which the ink flows in the horizontal plane. Further, if the region of the flow channel member in which the flow channel can be formed is narrow, the degree of freedom for routing the flow channel is limited, so that it is difficult to configure an optimal flow channel according to the arrangement of the head body, for example. Become.

なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置においても同様に存在する。 Note that such a problem similarly exists not only in an ink jet recording head that ejects ink, but also in a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that ejects a liquid other than ink.

本発明はこのような事情に鑑み、小型化を図り、かつ、液体流路を配置可能な領域をより大きく確保することができる流路部材を備えた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。 In view of such circumstances, the present invention provides a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that include a flow channel member that can be downsized and that can secure a larger area in which a liquid flow channel can be arranged. With the goal.

上記課題を解決する本発明の態様は、第1方向に積層された複数の基板から構成された液体噴射ヘッドであって、複数の圧力発生室と、複数の圧力発生室と連通し、前記第1方向に対して垂直な第2方向を長手方向とする複数のマニホールドと、前記第2方向に沿う複数の分岐流路と、複数の前記マニホールドと複数の前記分岐流路とをそれぞれ接続し、前記第1方向に貫通する複数の貫通孔と、複数の前記分岐流路と接続され、前記第1方向に対して垂直な第3方向を長手方向とする流路と、を備え、前記第3方向は、前記第1方向から見て、0度よりも大きく90度よりも小さい角度で前記第2方向に対して交差し、複数の前記マニホールドは、前記第3方向に配列され、複数の前記分岐流路は、前記第3方向に配列されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
上記課題を解決する本発明の態様は、液体が噴射される液体噴射面を有する複数のヘッド本体と、前記ヘッド本体ごとに接続されたフレキシブル配線基板と、前記ヘッド本体ごとに液体を供給する流路が設けられた流路部材とを備え、前記流路部材は、前記フレキシブル配線基板を挿通する開口部を複数有し、前記フレキシブル配線基板は、前記ヘッド本体に対して前記流路部材側に延設され、かつ、前記ヘッド本体と前記流路部材との間において、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第1面側に傾けられ、前記流路は、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた部分を有し、前記ヘッド本体には、第1流路と第2流路とが接続されており、前記第1流路は、前記第1面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第1分岐流路を有し、前記第2流路は、前記第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第2分岐流路を有し、前記第1分岐流路は、前記第2分岐流路よりも前記液体噴射面に直交する方向において前記ヘッド本体に近いことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、フレキシブル配線基板を第1面側に傾斜させたことで、流路部材の開口部も第1面側に移動させることができ、流路部材の流路を形成可能な領域に疎密を設けることができる。流路部材の開口部よりも第1面側の密な領域をP、第2面側の疎な領域をQとする。このように、流路をより広い領域Qに配置することができるので、ヘッド本体の配置などに応じた最適な流路を構成することが容易となる。特に、液体噴射面に沿った流路を設ける場合に、流路がフレキシブル配線基板に干渉することを防ぐことができる。また、フレキシブル配線基板との干渉を防ぐために、液体噴射面に沿った流路を第2面側に移動させて流路部材を拡幅する場合と比較すると、液体噴射ヘッドの前記方向の幅を小型化することができる。
さらに、領域Qにおいて、液体噴射面に垂直な方向においてヘッド本体に近い第1分岐流路を設ける場合に比べて、第2分岐流路をより高い自由度で流路部材に形成することができる。また、複数の流路を液体噴射面に直交する方向において重ねて配置することができるので、液体噴射面内における液体噴射ヘッドの形状を小型化することができる。
ここで、前記第1流路は、前記第1面側において、前記第1分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第1垂直流路を有し、前記第2流路は、前記第2面側において、前記第2分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第2垂直流路を有することが好ましい。これによれば、液体噴射面に垂直な方向から見た平面視において流路部材に占める第1垂直流路及び第2垂直流路の範囲は、第1分岐流路及び第2分岐流路とヘッド本体とをそれぞれ傾斜して接続する流路が占める範囲よりも小さい。すなわち、第1分岐流路及び第2分岐流路とヘッド本体とをそれぞれ第1垂直流路及び第2垂直流路で接続することで、流路部材の前記平面視における大きさを小型化することが可能となる。
また、液体が噴射される液体噴射面を有する複数のヘッド本体と、前記ヘッド本体ごとに接続されたフレキシブル配線基板と、前記ヘッド本体ごとに液体を供給する流路が設けられた流路部材とを備え、前記流路部材は、前記フレキシブル配線基板を挿通する開口部を複数有し、前記フレキシブル配線基板は、前記ヘッド本体に対して前記流路部材側に延設され、かつ、前記ヘッド本体と前記流路部材との間において、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第1面側に傾けられ、前記流路は、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた部分を有し、前記ヘッド本体には、第1流路と第2流路とが接続されており、前記第1流路は、前記フレキシブル配線基板の前記第1面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第1分岐流路と、複数の前記第1分岐流路と接続された第1交差流路と、を有し、前記第2流路は、前記フレキシブル配線基板の前記第2面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第2分岐流路と、複数の前記第2分岐流路と接続された第2交差流路と、を有し、前記第1交差流路と前記第2交差流路とは、前記フレキシブル配線基板の面方向において、前記フレキシブル配線基板に対して反対側にあることが好ましい。これによれば、領域Pにおいて分岐流路を設ける場合に比べて、分岐流路をより高い自由度で流路部材に形成することができる。また、交差流路が、フレキシブル配線基板の面方向において、互いにフレキシブル配線基板に対して反対側にあるので、複数の流路を液体噴射面に直交する方向において重ねずに配置することができ、液体噴射面に直交する方向における液体噴射ヘッドの形状を小型化することができる。
また、前記フレキシブル配線基板は、前記液体噴射面に垂直な方向において前記ヘッド本体に近い一端部、及び前記ヘッド本体から遠い他端部を有し、前記他端部は、前記一端部よりも前記フレキシブル配線基板の面方向の幅が狭く形成され、前記第2流路は、前記他端部の前記面方向の外側の領域を通るように前記流路部材に形成されていることが好ましい。これによれば、フレキシブル配線基板の面方向(面に平行な方向)においてフレキシブル配線基板の外側に第2流路を形成する領域を設けることができる。これにより、より一層、流路部材に第2流路を配置する自由度が向上する。
また、前記フレキシブル配線基板の前記第2面側に駆動回路が設けられていることが好ましい。これによれば、開口部の幅を第1面側に拡幅することで駆動回路が開口部の内面に接触することをより効果的に抑制することができ、駆動回路を保護することができる。そして、開口部の幅を第1面側に拡幅しても、上述した密な領域P側がさらに狭くなるだけであり、疎な領域Q側が狭くなることを避けることができる。
本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、小型化を図り、かつ、液体流路を配置可能な領域をより大きく確保することができる流路部材を備えた液体噴射装置が提供される。
上記課題を解決する本発明の他の態様は、液体が噴射される液体噴射面を有する複数のヘッド本体と、前記ヘッド本体ごとに接続されたフレキシブル配線基板と、前記ヘッド本体ごとに液体を供給する流路が設けられた流路部材とを備え、前記流路部材は、前記フレキシブル配線基板を挿通する開口部を複数有し、前記フレキシブル配線基板は、前記ヘッド本体に対して前記流路部材側に延設され、かつ、前記ヘッド本体と前記流路部材との間において、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第1面側に傾けられ、前記流路は、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた部分を有することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、フレキシブル配線基板を第1面側に傾斜させたことで、流路部材の開口部も第1面側に移動させることができ、流路部材の流路を形成可能な領域に疎密を設けることができる。流路部材の開口部よりも第1面側の密な領域をP、第2面側の疎な領域をQとする。このように、流路をより広い領域Qに配置することができるので、ヘッド本体の配置などに応じた最適な流路を構成することが容易となる。特に、液体噴射面に沿った流路を設ける場合に、流路がフレキシブル配線基板に干渉することを防ぐことができる。また、フレキシブル配線基板との干渉を防ぐために、液体噴射面に沿った流路を第2面側に移動させて流路部材を拡幅する場合と比較すると、液体噴射ヘッドの前記方向の幅を小型化することができる。
An aspect of the present invention that solves the above-mentioned problems is a liquid jet head configured of a plurality of substrates stacked in a first direction, the plurality of pressure generating chambers being in communication with the plurality of pressure generating chambers. A plurality of manifolds having a second direction perpendicular to one direction as a longitudinal direction, a plurality of branch flow channels along the second direction, a plurality of the manifolds and a plurality of the branch flow channels, respectively, A plurality of through holes penetrating in the first direction, and a flow path that is connected to the plurality of branch flow paths and has a third direction perpendicular to the first direction as a longitudinal direction, The direction intersects with the second direction at an angle larger than 0 degree and smaller than 90 degrees when viewed from the first direction, the plurality of manifolds are arranged in the third direction, and the plurality of manifolds are arranged. The branched flow paths are arranged in the third direction in the liquid jet head.
An aspect of the present invention that solves the above problems is to provide a plurality of head main bodies having a liquid ejection surface on which liquid is ejected, a flexible wiring board connected to each head main body, and a flow for supplying a liquid to each head main body. A flow path member provided with a path, the flow path member has a plurality of openings through which the flexible wiring board is inserted, and the flexible wiring board is provided on the flow path member side with respect to the head body. The extension is provided and is inclined between the head body and the flow path member toward the first surface side of both surfaces of the flexible wiring board, and the flow path is provided on the second side of both surfaces of the flexible wiring board. On the surface side, there is a portion provided along the liquid ejecting surface, and a first flow path and a second flow path are connected to the head main body, and the first flow path is the first flow path. The first surface has a first branch flow path provided along the liquid ejection surface, and the second flow path has a second flow path provided on the second surface side along the liquid ejection surface. A liquid jet head having a branch flow channel, wherein the first branch flow channel is closer to the head main body than the second branch flow channel in a direction orthogonal to the liquid jet surface.
In such an aspect, by tilting the flexible wiring board to the first surface side, the opening of the flow path member can also be moved to the first surface side, and the area of the flow path member in which the flow path can be formed is sparse and dense. Can be provided. A dense area on the first surface side of the opening of the flow path member is P, and a sparse area on the second surface side is Q. In this way, since the flow passage can be arranged in a wider area Q, it becomes easy to configure an optimum flow passage according to the arrangement of the head body. In particular, when the flow path is provided along the liquid ejection surface, it is possible to prevent the flow path from interfering with the flexible wiring board. In addition, in order to prevent interference with the flexible wiring board, the width of the liquid ejecting head in the above direction can be reduced as compared with the case where the flow passage member along the liquid ejecting surface is moved to the second surface side to widen the flow passage member. Can be converted.
Further, in the region Q, the second branch flow channel can be formed in the flow channel member with a higher degree of freedom than in the case where the first branch flow channel near the head body is provided in the direction perpendicular to the liquid ejection surface. .. In addition, since the plurality of flow paths can be arranged in an overlapping manner in the direction orthogonal to the liquid ejecting surface, the shape of the liquid ejecting head in the liquid ejecting surface can be downsized.
Here, the first flow path has, on the first surface side, a first vertical flow path that connects the first branch flow path and the head body and extends along a direction perpendicular to the liquid ejection surface. It is preferable that the second flow path has a second vertical flow path on the second surface side, which connects the second branch flow path and the head main body and extends along a direction perpendicular to the liquid ejection surface. .. According to this, the range of the first vertical flow path and the second vertical flow path occupying the flow path member in the plan view viewed from the direction perpendicular to the liquid ejection surface is the first branch flow path and the second branch flow path. It is smaller than the range occupied by the flow paths connecting the head body and the head body at an angle. That is, the size of the flow path member in the plan view is reduced by connecting the first branch flow path and the second branch flow path to the head main body by the first vertical flow path and the second vertical flow path, respectively. It becomes possible.
Further, a plurality of head main bodies having a liquid ejecting surface on which liquid is ejected, a flexible wiring board connected to each of the head main bodies, and a flow channel member provided with a flow channel for supplying liquid to each of the head main bodies. The flow path member has a plurality of openings for inserting the flexible wiring board, the flexible wiring board is extended to the flow path member side with respect to the head body, and the head body Between the flow path member and the flow path member, the flow path is inclined to the first surface side of the both surfaces of the flexible wiring board, and the flow path is formed on the liquid ejection surface on the second surface side of the both surfaces of the flexible wiring board. A first flow path and a second flow path are connected to the head body, and the first flow path is provided on the first surface side of the flexible wiring board. A first branch flow channel provided in a direction parallel to the liquid ejection surface, and a first cross flow channel connected to the plurality of first branch flow channels, wherein the second flow channel is A second branch channel provided in a direction parallel to the liquid ejecting surface on the second surface side of the flexible wiring board; and a second intersecting channel connected to the plurality of second branch channels. It is preferable that the first crossing channel and the second crossing channel are on opposite sides of the flexible wiring board in the plane direction of the flexible wiring board. According to this, compared with the case where the branch flow path is provided in the region P, the branch flow path can be formed in the flow path member with a higher degree of freedom. Further, since the intersecting flow paths are on the opposite sides of the flexible wiring board in the plane direction of the flexible wiring board, it is possible to arrange the plurality of flow paths without overlapping in the direction orthogonal to the liquid ejecting surface, It is possible to reduce the size of the liquid ejecting head in the direction orthogonal to the liquid ejecting surface.
Further, the flexible wiring board has one end near the head body in a direction perpendicular to the liquid ejecting surface and another end far from the head body, and the other end is more than the one end. It is preferable that the width of the flexible wiring board in the surface direction is narrow, and the second flow path is formed in the flow path member so as to pass through a region outside the other end of the flexible wiring board in the surface direction. According to this, the region for forming the second flow path can be provided outside the flexible wiring board in the surface direction (direction parallel to the surface) of the flexible wiring board. This further improves the degree of freedom in arranging the second flow path in the flow path member.
Further, it is preferable that a drive circuit is provided on the second surface side of the flexible wiring board. According to this, by increasing the width of the opening to the first surface side, it is possible to more effectively prevent the drive circuit from coming into contact with the inner surface of the opening, and it is possible to protect the drive circuit. Further, even if the width of the opening is increased to the first surface side, the dense region P side is only further narrowed, and the sparse region Q side is not narrowed.
Another aspect of the present invention is a liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head.
In this aspect, a liquid ejecting apparatus is provided that includes a flow path member that can be downsized and can secure a larger area in which the liquid flow path can be arranged.
Another aspect of the present invention for solving the above-mentioned problems is to supply a liquid to each of the head main bodies having a plurality of head main bodies having a liquid ejection surface on which liquid is ejected, a flexible wiring board connected to each of the head main bodies, and the head main bodies. And a flow path member provided with a flow path, wherein the flow path member has a plurality of openings through which the flexible wiring board is inserted, and the flexible wiring board is the flow path member with respect to the head body. Of the flexible wiring board between the head body and the flow path member, the flow path is inclined to the first surface side of the both surfaces of the flexible wiring board. The liquid ejecting head has a portion provided along the liquid ejecting surface on the second surface side.
In such an aspect, by tilting the flexible wiring board to the first surface side, the opening of the flow path member can also be moved to the first surface side, and the area of the flow path member in which the flow path can be formed is sparse and dense. Can be provided. A dense area on the first surface side of the opening of the flow path member is P, and a sparse area on the second surface side is Q. In this way, since the flow passage can be arranged in a wider area Q, it becomes easy to configure an optimum flow passage according to the arrangement of the head body. In particular, when the flow path is provided along the liquid ejection surface, it is possible to prevent the flow path from interfering with the flexible wiring board. In addition, in order to prevent interference with the flexible wiring board, the width of the liquid ejecting head in the above direction can be reduced as compared with the case where the flow passage member along the liquid ejecting surface is moved to the second surface side to widen the flow passage member. Can be converted.

ここで、前記ヘッド本体には、第1流路と第2流路とが接続されており、前記第1流路は、前記第1面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第1分岐流路を有し、前記第2流路は、前記第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第2分岐流路を有し、前記第1分岐流路は、前記第2分岐流路よりも前記液体噴射面に直交する方向において前記ヘッド本体に近いことが好ましい。これによれば、領域Qにおいて、液体噴射面に垂直な方向においてヘッド本体に近い第1分岐流路を設ける場合に比べて、第2分岐流路をより高い自由度で流路部材に形成することができる。また、複数の流路を液体噴射面に直交する方向において重ねて配置することができるので、液体噴射面内における液体噴射ヘッドの形状を小型化することができる。 Here, a first flow path and a second flow path are connected to the head body, and the first flow path is provided on the first surface side along the liquid ejecting surface. 1 branch flow channel, the 2nd flow channel has the 2nd branch flow channel provided along the above-mentioned liquid jetting side in the 2nd surface side, and the 1st branch flow channel is the above-mentioned. It is preferable that the head main body is closer to the liquid ejection surface than the second branch flow path. According to this, in the region Q, the second branch flow channel is formed in the flow channel member with a higher degree of freedom than in the case where the first branch flow channel near the head body is provided in the direction perpendicular to the liquid ejection surface. be able to. In addition, since the plurality of flow paths can be arranged in an overlapping manner in the direction orthogonal to the liquid ejecting surface, the shape of the liquid ejecting head in the liquid ejecting surface can be downsized.

また、前記第1流路は、前記第1面側において、前記第1分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第1垂直流路を有し、前記第2流路は、前記第2面側において、前記第2分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第2垂直流路を有することが好ましい。これによれば、液体噴射面に垂直な方向から見た平面視において流路部材に占める第1垂直流路及び第2垂直流路の範囲は、第1分岐流路及び第2分岐流路とヘッド本体とをそれぞれ傾斜して接続する流路が占める範囲よりも小さい。すなわち、第1分岐流路及び第2分岐流路とヘッド本体とをそれぞれ第1垂直流路及び第2垂直流路で接続することで、流路部材の前記平面視における大きさを小型化することが可能となる。 Further, the first flow path has, on the first surface side, a first vertical flow path that connects the first branch flow path and the head body and extends along a direction perpendicular to the liquid ejection surface, It is preferable that the second flow path has a second vertical flow path on the second surface side, which connects the second branch flow path and the head main body and extends along a direction perpendicular to the liquid ejection surface. According to this, the range of the first vertical flow path and the second vertical flow path occupying the flow path member in the plan view viewed from the direction perpendicular to the liquid ejection surface is the first branch flow path and the second branch flow path. It is smaller than the range occupied by the flow paths connecting the head body and the head body at an angle. That is, the size of the flow path member in the plan view is reduced by connecting the first branch flow path and the second branch flow path to the head main body by the first vertical flow path and the second vertical flow path, respectively. It becomes possible.

また、前記ヘッド本体には、第1流路と第2流路とが接続されており、前記第1流路は、前記フレキシブル配線基板の前記第2面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第1分岐流路と、複数の前記第1分岐流路と接続された第1交差流路と、を有し、前記第2流路は、前記フレキシブル配線基板の前記第2面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第2分岐流路と、複数の前記第2分岐流路と接続された第2交差流路と、を有し、前記第1交差流路と前記第2交差流路とは、前記フレキシブル配線基板の面方向において、前記フレキシブル配線基板に対して反対側にあることが好ましい。これによれば、領域Pにおいて分岐流路を設ける場合に比べて、分岐流路をより高い自由度で流路部材に形成することができる。また、交差流路が、フレキシブル配線基板の面方向において、互いにフレキシブル配線基板に対して反対側にあるので、複数の流路を液体噴射面に直交する方向において重ねずに配置することができ、液体噴射面に直交する方向における液体噴射ヘッドの形状を小型化することができる。 A first flow path and a second flow path are connected to the head body, and the first flow path is parallel to the liquid ejection surface on the second surface side of the flexible wiring board. A first branch flow path provided in a direction, and a first cross flow path connected to the plurality of first branch flow paths, wherein the second flow path is the second of the flexible wiring board. On the surface side, there is provided a second branch flow channel provided in a direction parallel to the liquid ejection surface, and a second cross flow channel connected to the plurality of second branch flow channels. It is preferable that the flow path and the second intersecting flow path are on opposite sides to the flexible wiring board in the surface direction of the flexible wiring board. According to this, compared with the case where the branch flow path is provided in the region P, the branch flow path can be formed in the flow path member with a higher degree of freedom. Further, since the intersecting flow paths are on the opposite sides of the flexible wiring board in the plane direction of the flexible wiring board, it is possible to arrange the plurality of flow paths without overlapping in the direction orthogonal to the liquid ejecting surface, It is possible to reduce the size of the liquid ejecting head in the direction orthogonal to the liquid ejecting surface.

また、前記フレキシブル配線基板は、前記液体噴射面に垂直な方向において前記ヘッド本体に近い一端部、及び前記ヘッド本体から遠い他端部を有し、前記他端部は、前記一端部よりも前記フレキシブル配線基板の面方向の幅が狭く形成され、前記第2流路は、前記他端部の前記面方向の外側の領域を通るように前記流路部材に形成されていることが好ましい。これによれば、フレキシブル配線基板の面方向(面に平行な方向)においてフレキシブル配線基板の外側に第2流路を形成する領域を設けることができる。これにより、より一層、流路部材に第2流路を配置する自由度が向上する。 Further, the flexible wiring board has one end near the head body in a direction perpendicular to the liquid ejecting surface and another end far from the head body, and the other end is more than the one end. It is preferable that the width of the flexible wiring board in the surface direction is narrow, and the second flow path is formed in the flow path member so as to pass through a region outside the other end of the flexible wiring board in the surface direction. According to this, the region for forming the second flow path can be provided outside the flexible wiring board in the surface direction (direction parallel to the surface) of the flexible wiring board. This further improves the degree of freedom in arranging the second flow path in the flow path member.

また、前記フレキシブル配線基板の前記第2面側に駆動回路が設けられていることが好ましい。これによれば、開口部の幅を第1面側に拡幅することで駆動回路が開口部の内面に接触することをより効果的に抑制することができ、駆動回路を保護することができる。そして、開口部の幅を第1面側に拡幅しても、上述した密な領域P側がさらに狭くなるだけであり、疎な領域Q側が狭くなることを避けることができる。 Further, it is preferable that a drive circuit is provided on the second surface side of the flexible wiring board. According to this, by increasing the width of the opening to the first surface side, it is possible to more effectively prevent the drive circuit from coming into contact with the inner surface of the opening, and it is possible to protect the drive circuit. Further, even if the width of the opening is increased to the first surface side, the dense region P side is only further narrowed, and the sparse region Q side is not narrowed.

本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、小型化を図り、かつ、液体流路を配置可能な領域をより大きく確保することができる流路部材を備えた液体噴射装置が提供される。
Another aspect of the present invention is a liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head.
In this aspect, a liquid ejecting apparatus is provided that includes a flow path member that can be downsized and can secure a larger area in which the liquid flow path can be arranged.

本発明の実施形態1に係る記録装置の概略斜視図。1 is a schematic perspective view of a recording apparatus according to a first embodiment of the invention. 本発明の実施形態1に係るヘッドユニットの分解斜視図。FIG. 3 is an exploded perspective view of the head unit according to the first embodiment of the present invention. 本発明の実施形態1に係るヘッドユニットの底面図。FIG. 3 is a bottom view of the head unit according to the first embodiment of the present invention. 本発明の実施形態1に係る記録ヘッドの平面図。FIG. 3 is a plan view of the recording head according to the first embodiment of the invention. 本発明の実施形態1に係る記録ヘッドの底面図。FIG. 3 is a bottom view of the recording head according to the first embodiment of the invention. 図4のA−A’線断面図。FIG. 5 is a sectional view taken along line A-A′ of FIG. 4. 本発明の実施形態1に係るヘッド本体の分解斜視図。FIG. 3 is an exploded perspective view of the head body according to the first embodiment of the invention. 本発明の実施形態1に係るヘッド本体の断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view of the head body according to the first embodiment of the invention. 本発明の実施形態1のノズル開口の配置を模式的に示した図。The figure which showed typically the arrangement|positioning of the nozzle opening of Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施形態1に係る流路部材(第1流路部材)の平面図。FIG. 3 is a plan view of the flow path member (first flow path member) according to the first embodiment of the present invention. 本発明の実施形態1に係る第2流路部材の平面図。FIG. 3 is a plan view of the second flow path member according to the first embodiment of the present invention. 本発明の実施形態1に係る第3流路部材の平面図。FIG. 3 is a plan view of a third flow path member according to the first embodiment of the present invention. 本発明の実施形態1に係る第3流路部材の底面図。The bottom view of the 3rd flow path member which concerns on Embodiment 1 of this invention. 図11〜図13のB−B’線断面図。FIG. 14 is a sectional view taken along line B-B′ of FIGS. 11 to 13. 図11〜図13のC−C’線断面図。FIG. 14 is a cross-sectional view taken along the line C-C′ of FIGS. 11 to 13. 図11〜図13のD−D’線断面図。FIG. 14 is a sectional view taken along the line D-D′ of FIGS. 11 to 13. 図11〜図13のE−E’線断面図及び従来のヘッド本体の断面図。11 is a sectional view taken along line E-E′ of FIG. 11 to FIG. 13 and a sectional view of a conventional head body. 本発明の実施形態1に係るヘッド本体の概略平面図。FIG. 3 is a schematic plan view of the head body according to the first embodiment of the invention.

〈実施形態1〉
本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。インクジェット式記録ヘッドは液体噴射ヘッドの一例であり、単に記録ヘッドともいう。インクジェット式記録ヘッドユニットは、液体噴射ヘッドユニットの一例であり、単にヘッドユニットともいう。インクジェット式記録装置は、液体噴射装置の一例である。図1は、本実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略構成を示す斜視図である。
<Embodiment 1>
The present invention will be described in detail based on the embodiments. The inkjet recording head is an example of a liquid ejecting head, and is also simply referred to as a recording head. The inkjet recording head unit is an example of a liquid ejecting head unit, and is also simply referred to as a head unit. The ink jet recording apparatus is an example of a liquid ejecting apparatus. FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of an ink jet recording apparatus according to this embodiment.

図1に示すように、インクジェット式記録装置1は、ヘッドユニット101を備え、被噴射媒体である紙などの記録シートSを搬送することで印刷を行う、所謂ライン式記録装置である。 As shown in FIG. 1, the inkjet recording apparatus 1 is a so-called line recording apparatus that includes a head unit 101 and prints by conveying a recording sheet S such as paper as an ejection medium.

具体的には、インクジェット式記録装置1は、装置本体2と、複数の記録ヘッド100を有するヘッドユニット101と、記録シートSを搬送する搬送手段4と、ヘッドユニット101と相対向する記録シートSを支持する支持部材7とを具備する。なお、本実施形態では、記録シートSの搬送方向をX方向とする。また、ヘッドユニット101のノズル開口が設けられた液体噴射面内において、X方向と直交する方向をY方向とする。さらに、X方向及びY方向に直交する方向をZ方向とする。また、X方向において、記録シートSを搬送する上流側をX1側、下流側をX2側とし、Y方向において一方をY1側、他方をY2側とし、Z方向において液体噴射方向側(記録シートS側)をZ1側、反対側をZ2側とする。 Specifically, the inkjet recording apparatus 1 includes an apparatus main body 2, a head unit 101 having a plurality of recording heads 100, a conveying unit 4 that conveys a recording sheet S, and a recording sheet S that faces the head unit 101. And a support member 7 for supporting the. In the present embodiment, the conveyance direction of the recording sheet S is the X direction. Further, in the liquid ejecting surface where the nozzle openings of the head unit 101 are provided, the direction orthogonal to the X direction is the Y direction. Furthermore, the direction orthogonal to the X and Y directions is the Z direction. Further, in the X direction, the upstream side that conveys the recording sheet S is the X1 side, the downstream side is the X2 side, one is the Y1 side and the other is the Y2 side in the Y direction, and the liquid ejection direction side (recording sheet S The side) is the Z1 side, and the opposite side is the Z2 side.

ヘッドユニット101は、複数の記録ヘッド100と、複数の記録ヘッド100を保持するヘッド固定基板102とを具備する。 The head unit 101 includes a plurality of recording heads 100 and a head fixing substrate 102 that holds the plurality of recording heads 100.

複数の記録ヘッド100は、搬送方向であるX方向に交差する方向であるY方向に並設されてヘッド固定基板102に固定されている。なお、本実施形態では、複数の記録ヘッド100は、Y方向の直線上に並設されている。すなわち、複数の記録ヘッド100は、X方向にずれて配置されていない。これにより、ヘッドユニット101のX方向の幅を狭くして、ヘッドユニット101の小型化を図ることができる。 The plurality of recording heads 100 are arranged in parallel in the Y direction, which is a direction that intersects the X direction that is the transport direction, and are fixed to the head fixing substrate 102. In the present embodiment, the plurality of recording heads 100 are arranged side by side on a straight line in the Y direction. That is, the plurality of recording heads 100 are not displaced in the X direction. As a result, the width of the head unit 101 in the X direction can be narrowed and the head unit 101 can be downsized.

ヘッド固定基板102は、複数の記録ヘッド100のノズル開口が記録シートS側に向くように、複数の記録ヘッド100を保持するものであり、装置本体2に固定されている。 The head fixing substrate 102 holds the plurality of recording heads 100 so that the nozzle openings of the plurality of recording heads 100 face the recording sheet S side, and is fixed to the apparatus main body 2.

搬送手段4は、記録シートSをヘッドユニット101に対して、X方向に搬送する。搬送手段4は、例えば、ヘッドユニット101に対して記録シートSの搬送方向であるX方向の両側に設けられた第1の搬送ローラー5と、第2の搬送ローラー6とを具備する。このような第1の搬送ローラー5と第2の搬送ローラー6とによって、記録シートSをX方向に搬送する。なお、記録シートSを搬送する搬送手段4は、搬送ローラーに限定されず、ベルトやドラム等であってもよい。 The transport unit 4 transports the recording sheet S to the head unit 101 in the X direction. The transport unit 4 includes, for example, a first transport roller 5 and a second transport roller 6 provided on both sides of the head unit 101 in the X direction, which is the transport direction of the recording sheet S. The recording sheet S is transported in the X direction by the first transport roller 5 and the second transport roller 6 as described above. The transporting means 4 that transports the recording sheet S is not limited to a transport roller, and may be a belt, a drum, or the like.

支持部材7は、ヘッドユニット101に相対向する位置で、搬送手段4によって搬送される記録シートSを支持する。支持部材7は、例えば、断面が矩形状を有する金属又は樹脂等からなり、第1の搬送ローラー5と第2の搬送ローラー6との間にヘッドユニット101に相対向して設けられている。 The supporting member 7 supports the recording sheet S conveyed by the conveying unit 4 at a position facing the head unit 101. The support member 7 is made of, for example, metal or resin having a rectangular cross section, and is provided between the first transport roller 5 and the second transport roller 6 so as to face the head unit 101.

なお、支持部材7には、搬送された記録シートSを支持部材7上で吸着する吸着手段が設けられていてもよい。吸着手段としては、例えば、記録シートSを吸引することで吸引吸着するものや、静電気力で記録シートSを静電吸着するもの等が挙げられる。また、例えば、搬送手段4がベルトやドラムである場合、支持部材7は、ヘッドユニット101に相対向する位置で、ベルト上やドラム上に記録シートSを支持する。 The support member 7 may be provided with suction means for sucking the conveyed recording sheet S on the support member 7. Examples of the suction means include a suction means for sucking the recording sheet S by suction and a suction means for electrostatically sucking the recording sheet S by electrostatic force. Further, for example, when the transporting means 4 is a belt or a drum, the supporting member 7 supports the recording sheet S on the belt or the drum at a position facing the head unit 101.

ヘッドユニット101の各記録ヘッド100には、図示していないが、インクが貯留されたインクタンクやインクカートリッジなどの液体貯留手段がインクを供給可能に接続されている。液体貯留手段は、例えば、ヘッドユニット101上に保持されていても、また、装置本体2内のヘッドユニット101とは異なる位置に保持されていてもよい。また、液体貯留手段から供給されたインクを記録ヘッド100に供給するための流路等をヘッド固定基板102の内部に設けるようにしてもよく、ヘッド固定基板102にインク流路部材を設け、インク流路部材を介して液体貯留手段からのインクを記録ヘッド100に供給するようにしてもよい。もちろん、液体貯留手段からヘッド固定基板102又はヘッド固定基板102に固定されたインク流路部材等を介さずに、記録ヘッド100に直接インクが供給されてもよい。 Although not shown, each recording head 100 of the head unit 101 is connected to a liquid storage unit such as an ink tank or an ink cartridge in which ink is stored so that the ink can be supplied. The liquid storage means may be held, for example, on the head unit 101, or may be held at a position different from the head unit 101 in the apparatus main body 2. In addition, a flow path or the like for supplying the ink supplied from the liquid storage unit to the recording head 100 may be provided inside the head fixed substrate 102, and an ink flow path member may be provided on the head fixed substrate 102. Ink from the liquid storage means may be supplied to the recording head 100 via the flow path member. Of course, the ink may be directly supplied from the liquid storage means to the recording head 100 without using the head fixed substrate 102 or the ink flow path member fixed to the head fixed substrate 102.

このようなインクジェット式記録装置1では、第1の搬送ローラー5によって記録シートSがX方向に搬送され、ヘッドユニット101によって支持部材7上で支持された記録シートSに印刷が実行される。印刷された記録シートSは、第2の搬送ローラー6によってX方向に搬送される。 In such an inkjet recording apparatus 1, the recording sheet S is conveyed in the X direction by the first conveying roller 5, and printing is performed on the recording sheet S supported on the supporting member 7 by the head unit 101. The printed recording sheet S is transported in the X direction by the second transport roller 6.

ヘッドユニット101について図2及び図3を参照して詳細に説明する。図2は本実施形態に係るヘッドユニットを示す分解斜視図であり、図3はヘッドユニットの液体噴射面側の底面図である。 The head unit 101 will be described in detail with reference to FIGS. 2 and 3. FIG. 2 is an exploded perspective view showing the head unit according to the present embodiment, and FIG. 3 is a bottom view of the head unit on the liquid ejection surface side.

本実施形態のヘッドユニット101は、複数の記録ヘッド100と、複数の記録ヘッド100を保持するヘッド固定基板102とを具備する。記録ヘッド100は、ノズル開口21が設けられた液体噴射面20aをZ方向のZ1側に有する。各記録ヘッド100は、ヘッド固定基板102の記録シートSに相対向する面側、すなわち、Z方向の記録シートS側であるZ1側に固定されている。 The head unit 101 of this embodiment includes a plurality of recording heads 100 and a head fixing substrate 102 that holds the plurality of recording heads 100. The recording head 100 has a liquid ejection surface 20a provided with the nozzle openings 21 on the Z1 side in the Z direction. Each recording head 100 is fixed to the surface side of the head fixing substrate 102 facing the recording sheet S, that is, the Z1 side which is the recording sheet S side in the Z direction.

前述のように、複数の記録ヘッド100は、搬送方向であるX方向に直交するY方向に直線上に並設されてヘッド固定基板102に固定されている。すなわち、複数の記録ヘッド100は、X方向にずれて配置されていない。これにより、ヘッドユニット101のX方向の幅を狭くして、ヘッドユニット101の小型化を図ることができる。もちろん、Y方向に並設された記録ヘッド100をX方向にずらして配置するようにしてもよいが、記録ヘッド100をX方向に大きくずらすと、ヘッド固定基板102等のX方向の幅が広くなってしまう。このようにヘッドユニット101のX方向の大きさが大きくなると、インクジェット式記録装置1における第1の搬送ローラー5と第2の搬送ローラー6とのX方向の距離が遠くなり、記録シートSの姿勢の固定が困難になる。また、ヘッドユニット101及びインクジェット式記録装置1が大型化してしまう。 As described above, the plurality of recording heads 100 are arranged in a straight line in the Y direction orthogonal to the X direction, which is the transport direction, and fixed to the head fixing substrate 102. That is, the plurality of recording heads 100 are not displaced in the X direction. As a result, the width of the head unit 101 in the X direction can be narrowed and the head unit 101 can be downsized. Of course, the recording heads 100 juxtaposed in the Y direction may be arranged so as to be displaced in the X direction, but when the recording heads 100 are largely displaced in the X direction, the width of the head fixing substrate 102 and the like in the X direction becomes wider. turn into. When the size of the head unit 101 in the X direction increases in this way, the distance between the first transport roller 5 and the second transport roller 6 in the inkjet recording apparatus 1 in the X direction increases, and the posture of the recording sheet S increases. Becomes difficult to fix. In addition, the head unit 101 and the ink jet recording apparatus 1 are increased in size.

なお、本実施形態では、ヘッド固定基板102に4個の記録ヘッド100を固定するようにしたが、記録ヘッド100の数は2個以上であれば、特にこれに限定されるものではない。 In this embodiment, the four recording heads 100 are fixed to the head fixing substrate 102, but the number of the recording heads 100 is not particularly limited as long as it is two or more.

図2、図4〜図6を用いて記録ヘッド100について説明する。図4は記録ヘッドの平面図であり、図5は記録ヘッドの底面図であり、図6は図4のA−A’線断面図である。なお、図4は記録ヘッド100のZ方向のZ2側の平面図であり、保持部材120の図示を省略している。 The recording head 100 will be described with reference to FIGS. 2 and 4 to 6. 4 is a plan view of the recording head, FIG. 5 is a bottom view of the recording head, and FIG. 6 is a sectional view taken along the line A-A′ of FIG. 4 is a plan view of the recording head 100 on the Z2 side in the Z direction, and the holding member 120 is not shown.

記録ヘッド100は、複数のヘッド本体110と、各ヘッド本体110に接続されたCOF基板98と、各ヘッド本体にインクを供給する流路が設けられた流路部材200とを備えている。さらに、本実施形態では、記録ヘッド100は複数のヘッド本体110を保持する保持部材120と、ヘッド本体110の液体噴射面20a側に設けられた固定板130と、中継基板140とを備えている。 The recording head 100 includes a plurality of head bodies 110, a COF substrate 98 connected to each head body 110, and a channel member 200 provided with a channel for supplying ink to each head body. Further, in the present embodiment, the recording head 100 includes a holding member 120 that holds the plurality of head main bodies 110, a fixing plate 130 provided on the liquid ejecting surface 20a side of the head main body 110, and a relay substrate 140. ..

ヘッド本体110は、インクの流路が設けられた保持部材120及び流路部材200からインクが供給され、インクジェット式記録装置1に設けられた制御部(図示せず)から中継基板140及びCOF基板98を介して制御信号が伝達され、該制御信号に基づいてインク滴を吐出するものである。ヘッド本体110の詳細な構成は後述する。 The head body 110 is supplied with ink from a holding member 120 provided with an ink flow path and a flow path member 200, and a relay board 140 and a COF board from a control unit (not shown) provided in the inkjet recording apparatus 1. A control signal is transmitted via 98, and ink droplets are ejected based on the control signal. The detailed configuration of the head body 110 will be described later.

各ヘッド本体110は、Z方向のZ1側にノズル開口21が設けられた液体噴射面20aを有する。また、複数のヘッド本体110のZ2側が、流路部材200のZ1側の面に接着されている。 Each head body 110 has a liquid ejecting surface 20a provided with a nozzle opening 21 on the Z1 side in the Z direction. Further, the Z2 sides of the plurality of head main bodies 110 are adhered to the Z1 side surface of the flow path member 200.

流路部材200は、ヘッド本体110に供給されるインクの液体流路が設けられた部材である。流路部材200の詳細な構成は後述するが、流路部材200には、Z1側の面に、複数のヘッド本体110がY方向に並設されて接着されている。また、流路部材200に設けられた液体流路は、各ヘッド本体110の液体流路に連通しており、流路部材200から各ヘッド本体110にインクが供給されるようになっている。 The flow path member 200 is a member provided with a liquid flow path for ink to be supplied to the head body 110. Although a detailed configuration of the flow path member 200 will be described later, a plurality of head main bodies 110 are arranged in parallel in the Y direction and bonded to the surface on the Z1 side of the flow path member 200. In addition, the liquid flow path provided in the flow path member 200 communicates with the liquid flow path of each head main body 110, and ink is supplied from the flow path member 200 to each head main body 110.

本実施形態では、1つの流路部材200に6個のヘッド本体110が接着されている。もちろん、1つの流路部材200に固定するヘッド本体110の数は上述したものに限定されず、1つの流路部材200に対してヘッド本体110が1個であっても、また、2個以上の複数であってもよい。 In this embodiment, six head bodies 110 are bonded to one flow path member 200. Of course, the number of head main bodies 110 fixed to one flow path member 200 is not limited to the above-described number, and even if there is one head main body 110 for one flow path member 200, or two or more. May be plural.

また、流路部材200には、Z方向に貫通した開口部201が設けられており、該開口部201には、一端がヘッド本体110に接続されたCOF基板98が挿通している。 Further, the flow path member 200 is provided with an opening 201 penetrating in the Z direction, and the COF substrate 98 having one end connected to the head body 110 is inserted into the opening 201.

COF基板98は、フレキシブル配線基板の一例である。フレキシブル配線基板は、可撓性を有する基板上に配線が形成されたものである。また、COF基板98は、ヘッド本体110に設けられた圧力発生手段を駆動する駆動回路97(図7参照)を備えている。 The COF board 98 is an example of a flexible wiring board. The flexible wiring board is one in which wiring is formed on a flexible board. The COF substrate 98 also includes a drive circuit 97 (see FIG. 7) that drives the pressure generating means provided in the head body 110.

中継基板140は、表面に配線、IC、抵抗等の電装部品が実装された基板であり、保持部材120と流路部材200との間に配置されている。中継基板140には、流路部材200に設けられた開口部201と連通した貫通部141が形成されている。各貫通部141の開口形状は、流路部材200の開口部201よりも大きく形成されている。 The relay board 140 is a board on the surface of which electrical components such as wiring, IC, and resistors are mounted, and is arranged between the holding member 120 and the flow path member 200. The relay substrate 140 is formed with a penetrating portion 141 that communicates with the opening 201 provided in the flow path member 200. The opening shape of each penetration portion 141 is formed larger than the opening portion 201 of the flow path member 200.

ヘッド本体110の圧力発生手段に接続されたCOF基板98は、開口部201及び貫通部141を挿通し、中継基板140のZ2側の面に設けられた端子(図示せず)に接続されている。 The COF substrate 98 connected to the pressure generating means of the head body 110 is inserted through the opening 201 and the penetrating portion 141 and is connected to a terminal (not shown) provided on the surface of the relay substrate 140 on the Z2 side. ..

特に図示しないが、中継基板140には、インクジェット式記録装置1の制御部に接続されている。このため、当該制御部から送られる駆動信号等を中継基板140を通じてCOF基板98の駆動回路97に伝達され、駆動回路97によりヘッド本体110の圧力発生手段が駆動されるようになっている。これにより、記録ヘッド100のインクの噴射動作が制御されている。 Although not particularly shown, the relay board 140 is connected to the control unit of the inkjet recording apparatus 1. Therefore, the drive signal sent from the control unit is transmitted to the drive circuit 97 of the COF substrate 98 through the relay substrate 140, and the drive circuit 97 drives the pressure generating means of the head body 110. As a result, the ink ejection operation of the recording head 100 is controlled.

保持部材120は、Z1側に溝状の空間を形成する保持部121を有する。保持部121は、保持部材120のZ1側の面に、Y方向に亘って連続して設けられることで、Y方向の両側面に開口して設けられている。また、保持部材120は、保持部121をX方向の略中央部に設けることで、当該保持部121のX方向の両側には、足部122が形成されている。すなわち、足部122は、保持部材120のZ1側の面に、X方向の両端部のみに設けられており、Y方向の両端部には設けられていない。なお、本実施形態では保持部材120は一部材からなるが、このような態様に限定されず、複数の部材がZ方向に積層されて構成されていてもよい。 The holding member 120 has a holding portion 121 that forms a groove-shaped space on the Z1 side. The holding portion 121 is continuously provided on the surface of the holding member 120 on the Z1 side in the Y direction, and is provided with openings on both side surfaces in the Y direction. Further, the holding member 120 is provided with the holding portions 121 at substantially the central portion in the X direction, so that the foot portions 122 are formed on both sides of the holding portion 121 in the X direction. That is, the foot portions 122 are provided only on both end portions in the X direction on the surface of the holding member 120 on the Z1 side, and are not provided on both end portions in the Y direction. In addition, although the holding member 120 is made of one member in the present embodiment, the holding member 120 is not limited to such an aspect and may be formed by stacking a plurality of members in the Z direction.

このような保持部121内に、中継基板140、流路部材200、複数のヘッド本体110が収容されている。具体的には、流路部材200のZ1側の面に各ヘッド本体110が接着剤等で接合され、流路部材200のZ2側の面に中継基板140が固定されている。このように一体的に構成された中継基板140、流路部材200及び複数のヘッド本体110が保持部121内に収容されている。 The relay substrate 140, the flow path member 200, and the plurality of head bodies 110 are accommodated in the holding portion 121. Specifically, each head body 110 is bonded to the surface of the flow path member 200 on the Z1 side with an adhesive or the like, and the relay substrate 140 is fixed to the surface of the flow path member 200 on the Z2 side. The relay substrate 140, the flow path member 200, and the plurality of head main bodies 110 that are integrally configured as described above are housed in the holding portion 121.

保持部材120と流路部材200とは、保持部121及び流路部材200のZ方向で相対向する面同士が接着剤によって接着されている。中継基板140は、保持部121と流路部材200とで挟まれた空間に収容されている。なお、接着剤による接着に代わり、ネジなどの固定手段により保持部材120と流路部材200とを一体化してもよい。 The holding member 120 and the flow path member 200 are bonded to each other by adhesives on the surfaces of the holding portion 121 and the flow path member 200 that face each other in the Z direction. The relay substrate 140 is housed in the space sandwiched between the holding portion 121 and the flow path member 200. Note that the holding member 120 and the flow path member 200 may be integrated with each other by a fixing means such as a screw, instead of adhering with an adhesive.

また、保持部材120には、特に図示しないが、インクが流通する流路や異物等を捕獲するフィルター等が形成されている。これらの保持部材120の流路は、流路部材200の液体流路に連通している。これにより、インクジェット式記録装置1に設けられた液体貯留手段からのインクが保持部材120及び流路部材200を介してヘッド本体110に供給されるようになっている。 Further, although not shown in the drawing, the holding member 120 is provided with a flow path through which the ink flows, a filter for capturing foreign matters, and the like. The flow paths of these holding members 120 communicate with the liquid flow paths of the flow path member 200. As a result, the ink from the liquid storage means provided in the inkjet recording apparatus 1 is supplied to the head main body 110 via the holding member 120 and the flow path member 200.

固定板130は、記録ヘッド100の液体噴射面20a側、すなわち、記録ヘッド100のZ方向のZ1側に設けられ、各記録ヘッド100を保持する部材である。固定板130は、例えば、金属等の板状部材を折り曲げることで形成されたものである。具体的には固定板130は、液体噴射面20a側に設けられたベース部131と、ベース部131のY方向の両端部がZ方向のZ2側に屈曲して設けられた折り曲げ部132とを具備する。 The fixing plate 130 is a member that is provided on the liquid ejection surface 20a side of the recording head 100, that is, on the Z1 side of the recording head 100 in the Z direction, and holds each recording head 100. The fixed plate 130 is formed by bending a plate-shaped member such as metal. Specifically, the fixed plate 130 includes a base portion 131 provided on the liquid ejecting surface 20a side and a bent portion 132 provided by bending both ends in the Y direction of the base portion 131 toward the Z2 side in the Z direction. To have.

また、ベース部131には、各ヘッド本体110のノズル開口21を露出するための開口である露出開口部133が設けられている。本実施形態では、露出開口部133は、ヘッド本体110毎に独立して開口するように設けられている。すなわち、本実施形態の記録ヘッド100は、6個のヘッド本体110を有するため、ベース部131には6個の独立した露出開口部133が設けられている。もちろん、ヘッド本体110の構成等によっては、複数のヘッド本体110で構成されるヘッド本体群に対して1つの共通する露出開口部133を設けるようにしてもよい。 Further, the base portion 131 is provided with an exposure opening portion 133 that is an opening for exposing the nozzle opening 21 of each head body 110. In the present embodiment, the exposure opening 133 is provided so as to be opened independently for each head body 110. That is, since the recording head 100 of this embodiment has the six head main bodies 110, the base portion 131 is provided with six independent exposure openings 133. Of course, depending on the configuration of the head main body 110 and the like, one common exposure opening 133 may be provided for the head main body group composed of a plurality of head main bodies 110.

このようなベース部131によって、保持部材120の保持部121のZ1側が覆われている。ベース部131は、図6に示すように、保持部材120のZ方向のZ1側の面、すなわち、足部122のZ1側の端面に接着剤を介して接合されている。 The Z1 side of the holding portion 121 of the holding member 120 is covered with such a base portion 131. As shown in FIG. 6, the base portion 131 is joined to the surface of the holding member 120 on the Z1 side in the Z direction, that is, the end surface of the foot portion 122 on the Z1 side via an adhesive.

また、折り曲げ部132は、ベース部131のY方向の両端部に設けられており、保持部121のY方向の側面に開口する開口面積を覆う大きさで形成されている。すなわち、折り曲げ部132は、ベース部131のY方向の端部から固定板130の縁部までの領域のことである。そして、このような折り曲げ部132は、保持部材120のY方向の側面に接着剤を介して接合されている。これにより、保持部121のY方向の側面への開口は、折り曲げ部132によって覆われて封止されている。 Further, the bent portions 132 are provided at both ends of the base portion 131 in the Y direction, and are formed in a size that covers an opening area of the holding portion 121 that opens to the side surface in the Y direction. That is, the bent portion 132 is a region from the end of the base 131 in the Y direction to the edge of the fixed plate 130. The bent portion 132 is joined to the side surface of the holding member 120 in the Y direction with an adhesive. Thus, the opening of the holding portion 121 on the side surface in the Y direction is covered and sealed by the bent portion 132.

このように、固定板130が保持部材120に接着剤により接着されることで、保持部材120と固定板130との間の空間である保持部121内にヘッド本体110が配置される。 In this way, the fixing plate 130 is adhered to the holding member 120 with the adhesive, so that the head main body 110 is arranged in the holding portion 121, which is a space between the holding member 120 and the fixing plate 130.

上述したように、本実施形態に係る記録ヘッド100は、1つの記録ヘッド100に対して複数のヘッド本体110を設けてノズル列の多列化を図ることで、1つの記録ヘッド100に対して1つのヘッド本体110のみにノズル列を複数列設けて多列化する場合に比べて、歩留まりを向上することができる。すなわち、単体のヘッド本体110でのノズル列の多列化を行うのは、ヘッド本体110の歩留まりが低下すると共に製造コストが高価になってしまう。これに対して、複数のヘッド本体110によってノズル列の多列化を行うことで、ヘッド本体110の歩留まりを向上して製造コストを低減することができる。 As described above, the recording head 100 according to the present embodiment is provided with a plurality of head main bodies 110 for one recording head 100 to increase the number of nozzle rows, and The yield can be improved as compared with the case where a plurality of nozzle rows are provided in only one head main body 110 to make multiple rows. That is, if the nozzle row is provided in multiple rows in the single head body 110, the yield of the head body 110 is reduced and the manufacturing cost is increased. On the other hand, by making the nozzle row multi-row by the plurality of head main bodies 110, the yield of the head main bodies 110 can be improved and the manufacturing cost can be reduced.

また、保持部材120のY方向の側面の開口は、固定板130の折り曲げ部132により封止される。これにより、保持部材120のY方向の両側(図3に示したハッチ部分)に固定板130のベース部131と接着するために足部がなくても、保持部121のY方向の側面に設けられた開口からの水分蒸発を抑制することができる。 The opening on the side surface of the holding member 120 in the Y direction is sealed by the bent portion 132 of the fixed plate 130. As a result, even if there is no leg portion for adhering to the base portion 131 of the fixing plate 130 on both sides of the holding member 120 in the Y direction (the hatched portion shown in FIG. 3), it is provided on the side surface of the holding portion 121 in the Y direction. Moisture evaporation from the formed opening can be suppressed.

したがって、Y方向に記録ヘッド100を並設したヘッドユニット101は、Y方向において隣り合う記録ヘッド100側に足部122が存在しないことから、Y方向で隣り合う記録ヘッド100の間隔を狭くすることができる。これにより、Y方向で隣り合う記録ヘッド100のヘッド本体110同士を近接して設けることができ、隣り合う記録ヘッド100の各ヘッド本体110に設けられたノズル開口21をY方向で近接させて設けることができる。 Therefore, in the head unit 101 in which the recording heads 100 are arranged side by side in the Y direction, the foot portion 122 does not exist on the side of the recording heads 100 adjacent to each other in the Y direction. Therefore, the interval between the recording heads 100 adjacent to each other in the Y direction is narrowed. You can Accordingly, the head bodies 110 of the recording heads 100 adjacent to each other in the Y direction can be provided close to each other, and the nozzle openings 21 provided in the head bodies 110 of the adjacent recording heads 100 can be provided close to each other in the Y direction. be able to.

なお、本実施形態に係る記録ヘッド100は、保持部材120のX方向の両側に足部122を設けるようにしたが、足部122を設けないようにしてもよい。すなわち、保持部材120のZ1側の面にヘッド本体110が接着され、固定板130のX方向及びY方向の両側に折り曲げ部132を設けるようにしてもよい。すなわち、固定板130には、液体噴射面20aの面内方向における全周に亘って折り曲げ部132が設けられており、保持部材120の側面の全周に亘って固定板130が接着されていてもよい。ただし、本実施形態のように保持部材120のX方向の両側に足部122を設けることで、足部122のZ1側の端面を固定板130のベース部131に接着することにより、インクジェット式記録ヘッド100のZ方向の強度を向上することができるとともに、足部122からの水分蒸発を抑制することができる。 Although the recording head 100 according to this embodiment is provided with the foot portions 122 on both sides of the holding member 120 in the X direction, the foot portions 122 may be omitted. That is, the head body 110 may be adhered to the surface of the holding member 120 on the Z1 side, and the bent portions 132 may be provided on both sides of the fixed plate 130 in the X direction and the Y direction. That is, the fixed plate 130 is provided with the bent portion 132 over the entire circumference in the in-plane direction of the liquid ejection surface 20 a, and the fixed plate 130 is adhered over the entire circumference of the side surface of the holding member 120. Good. However, by providing the foot portions 122 on both sides of the holding member 120 in the X direction as in the present embodiment, the end surface of the foot portion 122 on the Z1 side is adhered to the base portion 131 of the fixing plate 130, so that the inkjet recording is performed. The strength of the head 100 in the Z direction can be improved, and the evaporation of water from the foot portion 122 can be suppressed.

図7及び図8を用いて、ヘッド本体110について説明する。図7は本実施形態に係るヘッド本体の斜視図であり、図8はヘッド本体のY方向の断面図である。もちろん、ヘッド本体110の構成は以下の構成に限定されない。 The head body 110 will be described with reference to FIGS. 7 and 8. FIG. 7 is a perspective view of the head body according to the present embodiment, and FIG. 8 is a cross-sectional view of the head body in the Y direction. Of course, the configuration of the head body 110 is not limited to the following configuration.

本実施形態のヘッド本体110は、圧力発生室12、ノズル開口21、マニホールド95、圧力発生手段等を備える。そのために、流路形成基板10、連通板15、ノズルプレート20、保護基板30、コンプライアンス基板45、ケース40等の複数の部材が接着剤等によって接合されている。 The head main body 110 of this embodiment includes a pressure generating chamber 12, a nozzle opening 21, a manifold 95, a pressure generating means, and the like. Therefore, a plurality of members such as the flow path forming substrate 10, the communication plate 15, the nozzle plate 20, the protective substrate 30, the compliance substrate 45, and the case 40 are bonded by an adhesive or the like.

流路形成基板10には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室12が複数のノズル開口21の並設方向に沿って並設されている。なお、本実施形態では、この圧力発生室12の並設方向は、Xa方向と称する。また、流路形成基板10には、圧力発生室12がXa方向に並設された列が複数列、本実施形態では、2列設けられている。この圧力発生室12の列が複数列設された列設方向を、以降、Ya方向と称する。なお、本実施形態では、Xa方向及びYa方向に直交する方向は、Z方向と一致する。また、本実施形態のヘッド本体110は、ノズル開口21の並設方向であるXa方向が、記録シートSの搬送方向であるX方向に対して傾斜した方向となるようにヘッドユニット101に搭載される。 By anisotropically etching from one side of the flow path forming substrate 10, the pressure generating chambers 12 partitioned by a plurality of partition walls are juxtaposed along the juxtaposed direction of the plurality of nozzle openings 21. In the present embodiment, the direction in which the pressure generating chambers 12 are arranged in parallel is referred to as the Xa direction. Further, the flow path forming substrate 10 is provided with a plurality of rows in which the pressure generating chambers 12 are arranged in parallel in the Xa direction, and in this embodiment, two rows are provided. The row-arranging direction in which a plurality of rows of the pressure generating chambers 12 are arranged is hereinafter referred to as the Ya direction. In the present embodiment, the direction orthogonal to the Xa direction and the Ya direction coincides with the Z direction. Further, the head main body 110 of the present embodiment is mounted on the head unit 101 so that the Xa direction, which is the juxtaposed direction of the nozzle openings 21, is inclined with respect to the X direction, which is the conveyance direction of the recording sheet S. It

また、流路形成基板10には、圧力発生室12のYa方向の一端部側に、当該圧力発生室12よりも開口面積が狭く、圧力発生室12に流入するインクの流路抵抗を付与する供給路等が設けられていてもよい。 In addition, the flow path forming substrate 10 is provided with a flow path resistance of ink flowing into the pressure generating chamber 12 on one end side in the Ya direction of the pressure generating chamber 12 having an opening area smaller than that of the pressure generating chamber 12. A supply path or the like may be provided.

流路形成基板10の一方面側には、連通板15が接合されている。また、連通板15には、各圧力発生室12に連通する複数のノズル開口21が設けられたノズルプレート20が接合されている。本実施形態では、ノズルプレート20のノズル開口21が開口するZ方向のZ1側が液体噴射面20aとなっている。 A communication plate 15 is joined to one surface side of the flow path forming substrate 10. A nozzle plate 20 having a plurality of nozzle openings 21 communicating with each pressure generating chamber 12 is joined to the communication plate 15. In the present embodiment, the Z1 side in the Z direction in which the nozzle opening 21 of the nozzle plate 20 opens is the liquid ejection surface 20a.

連通板15には、圧力発生室12とノズル開口21とを連通するノズル連通路16が設けられている。連通板15は、流路形成基板10よりも大きな面積を有し、ノズルプレート20は流路形成基板10よりも小さい面積を有する。このようにノズルプレート20の面積を比較的小さくすることでコストの削減を図ることができる。 The communication plate 15 is provided with a nozzle communication passage 16 that connects the pressure generating chamber 12 and the nozzle opening 21. The communication plate 15 has a larger area than the flow path forming substrate 10, and the nozzle plate 20 has a smaller area than the flow path forming substrate 10. By relatively reducing the area of the nozzle plate 20 in this way, it is possible to reduce costs.

また、連通板15には、マニホールド95の一部を構成する第1マニホールド17と、第2マニホールド18とが設けられている。第1マニホールド17は、連通板15をZ方向に貫通して設けられている。第2マニホールド18は、連通板15をZ方向に貫通することなく、連通板15のノズルプレート20側に開口してZ方向の途中まで設けられている。 Further, the communication plate 15 is provided with a first manifold 17 and a second manifold 18, which form a part of the manifold 95. The first manifold 17 is provided so as to penetrate the communication plate 15 in the Z direction. The second manifold 18 does not penetrate the communication plate 15 in the Z direction, is opened to the nozzle plate 20 side of the communication plate 15, and is provided halfway in the Z direction.

さらに、連通板15には、圧力発生室12のY方向の一端部に連通する供給連通路19が、圧力発生室12毎に独立して設けられている。この供給連通路19は、第2マニホールド18と圧力発生室12とを連通する。 Further, the communication plate 15 is provided with a supply communication passage 19 that communicates with one end of the pressure generation chambers 12 in the Y direction, independently for each pressure generation chamber 12. The supply communication passage 19 connects the second manifold 18 and the pressure generating chamber 12.

ノズルプレート20には、各圧力発生室12とノズル連通路16を介して連通するノズル開口21が形成されている。複数のノズル開口21がXa方向に並設され、それぞれの並設されたノズル開口21が2つのノズル列a及びノズル列bをなし、このノズル列a、ノズル列bがYa方向に並設されている。なお、本実施形態では、詳細は後述するが、ノズル列a及びノズル列bのそれぞれは、2つに分割して1列で2種類の液体を噴射できるようになっている。 Nozzle openings 21 are formed in the nozzle plate 20 so as to communicate with the respective pressure generating chambers 12 via the nozzle communication passages 16. A plurality of nozzle openings 21 are arranged side by side in the Xa direction, each of the nozzle openings 21 arranged side by side forms two nozzle rows a and nozzle rows b, and these nozzle rows a and nozzle rows b are arranged side by side in the Ya direction. ing. In the present embodiment, although details will be described later, each of the nozzle row a and the nozzle row b is divided into two, and one row can eject two types of liquid.

一方、流路形成基板10の連通板15とは反対面側には、振動板50が形成されている。また、振動板50上には、第1電極60と圧電体層70と第2電極80とが順次積層されることで、本実施形態の圧力発生手段である圧電アクチュエーター300が構成されている。一般的には圧電アクチュエーター300の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層を圧力発生室12毎にパターニングして構成する。 On the other hand, a vibration plate 50 is formed on the surface of the flow path forming substrate 10 opposite to the communication plate 15. In addition, the first electrode 60, the piezoelectric layer 70, and the second electrode 80 are sequentially stacked on the vibration plate 50 to form the piezoelectric actuator 300 that is the pressure generating means of the present embodiment. Generally, one of the electrodes of the piezoelectric actuator 300 is used as a common electrode, and the other electrode and the piezoelectric layer are patterned for each pressure generating chamber 12.

また、流路形成基板10の圧電アクチュエーター300側の面には、流路形成基板10と略同じ大きさを有する保護基板30が接合されている。保護基板30は、圧電アクチュエーター300を保護するための空間である保持部31を有する。また、保護基板30には、Z方向に貫通する貫通孔32が設けられている。圧電アクチュエーター300の電極から引き出されたリード電極90の端部は、この貫通孔32内に露出するように延設され、リード電極90とCOF基板98とが、貫通孔32内で電気的に接続されている。 Further, a protective substrate 30 having substantially the same size as the flow channel forming substrate 10 is bonded to the surface of the flow channel forming substrate 10 on the piezoelectric actuator 300 side. The protective substrate 30 has a holding portion 31 which is a space for protecting the piezoelectric actuator 300. Further, the protective substrate 30 is provided with a through hole 32 penetrating in the Z direction. The end portion of the lead electrode 90 extracted from the electrode of the piezoelectric actuator 300 is extended to be exposed in the through hole 32, and the lead electrode 90 and the COF substrate 98 are electrically connected in the through hole 32. Has been done.

また、保護基板30及び連通板15には、複数の圧力発生室12に連通するマニホールド95を画成するケース40が固定されている。ケース40は、平面視において上述した連通板15と略同一形状を有し、保護基板30に接合されると共に、上述した連通板15にも接合されている。具体的には、ケース40は、保護基板30側に流路形成基板10及び保護基板30が収容される深さの凹部41を有する。この凹部41は、保護基板30の流路形成基板10に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部41に流路形成基板10等が収容された状態で凹部41のノズルプレート20側の開口面が連通板15によって封止されている。これにより、流路形成基板10の外周部には、ケース40と流路形成基板10及び保護基板30とによって第3マニホールド42が画成されている。そして、この第3マニホールド42と、連通板15に設けられた第1マニホールド17及び第2マニホールド18とによって本実施形態のマニホールド95が構成されている。なお、上述したように1列のノズル列で2種類の液体を噴射できるようになっているので、マニホールド95を構成する第1マニホールド17、第2マニホールド18及び第3マニホールド42は、それぞれノズル列方向、すなわち、Xa方向で2つに分割されている。例えば、第1マニホールド17は、図7に示すように、第1マニホールド17aと第1マニホールド17bとからなる。第2マニホールド18及び第3マニホールド42も同様に2つに分割され、マニホールド95全体としてもXa方向に2つ分割されている。 Further, a case 40 that defines a manifold 95 that communicates with the plurality of pressure generating chambers 12 is fixed to the protective substrate 30 and the communication plate 15. The case 40 has substantially the same shape as the communication plate 15 described above in a plan view, and is bonded to the protective substrate 30 and also to the communication plate 15 described above. Specifically, the case 40 has, on the protective substrate 30 side, a recess 41 having a depth in which the flow path forming substrate 10 and the protective substrate 30 are accommodated. The recess 41 has a larger opening area than the surface of the protective substrate 30 joined to the flow path forming substrate 10. The opening surface of the recess 41 on the nozzle plate 20 side is sealed by the communication plate 15 with the flow path forming substrate 10 and the like accommodated in the recess 41. As a result, the third manifold 42 is defined by the case 40, the flow channel forming substrate 10 and the protective substrate 30 on the outer peripheral portion of the flow channel forming substrate 10. The third manifold 42 and the first manifold 17 and the second manifold 18 provided on the communication plate 15 constitute a manifold 95 of this embodiment. Since two types of liquid can be ejected by one nozzle row as described above, the first manifold 17, the second manifold 18, and the third manifold 42 that form the manifold 95 are respectively nozzle rows. Direction, that is, the Xa direction, is divided into two. For example, as shown in FIG. 7, the first manifold 17 includes a first manifold 17a and a first manifold 17b. Similarly, the second manifold 18 and the third manifold 42 are also divided into two, and the manifold 95 as a whole is also divided into two in the Xa direction.

本実施形態では、マニホールド95を構成する第1マニホールド17、第2マニホールド18及び第3マニホールド42は、それぞれノズル列a及びノズル列bを挟んで対称に配置されている。これによれば、ノズル列a及びノズル列b毎に異なる液体を噴射することも可能となる。勿論、マニホールドの配置はこれに限定されるものではない。 In the present embodiment, the first manifold 17, the second manifold 18, and the third manifold 42 that form the manifold 95 are symmetrically arranged with the nozzle row a and the nozzle row b interposed therebetween. According to this, it is possible to eject different liquids for each of the nozzle row a and the nozzle row b. Of course, the arrangement of the manifolds is not limited to this.

また、本実施形態では、後述するように4種の液体を噴射できるように、各ノズル列に対応するマニホールドをXa方向で2つに分割して合計4つのマニホールド95としているが、ノズル列a及びノズル列b毎に形成されたマニホールドとしてもよいし、また、ノズル列a及びノズル列bの2列に対して共通の1つのマニホールドとしてもよい。 Further, in the present embodiment, the manifold corresponding to each nozzle row is divided into two in the Xa direction to form a total of four manifolds 95 so that four types of liquid can be ejected, as will be described later. And a manifold formed for each nozzle row b, or one common manifold for the two nozzle rows a and b.

また、連通板15の第1マニホールド17及び第2マニホールド18が開口する面には、コンプライアンス基板45が設けられている。このコンプライアンス基板45が、第1マニホールド17と第2マニホールド18の開口を封止している。 A compliance substrate 45 is provided on the surface of the communication plate 15 where the first manifold 17 and the second manifold 18 are open. The compliance substrate 45 seals the openings of the first manifold 17 and the second manifold 18.

このようなコンプライアンス基板45は、本実施形態では、封止膜46と、固定基板47とを具備する。封止膜46は、可撓性を有する薄膜(例えば、ポリフェニレンサルファイド(PPS)やステンレス鋼(SUS)等)により形成されている。また、固定基板47は、ステンレス鋼(SUS)等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板47のマニホールド95に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部48となっているため、マニホールド95の一方面は可撓性を有する封止膜46のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部49となっている。 In this embodiment, such a compliance substrate 45 includes a sealing film 46 and a fixed substrate 47. The sealing film 46 is formed of a flexible thin film (for example, polyphenylene sulfide (PPS) or stainless steel (SUS)). The fixed substrate 47 is formed of a hard material such as metal such as stainless steel (SUS). Since the region of the fixed substrate 47 facing the manifold 95 is the opening 48 that is completely removed in the thickness direction, one surface of the manifold 95 is sealed with only the flexible sealing film 46. It is a compliance part 49 which is a flexible part.

また、固定板130は、コンプライアンス基板45の連通板15とは反対面側に接着される。すなわち、固定板130のベース部131に設けられた露出開口部133は、ノズルプレート20の面積よりも広い開口面積を有し、露出開口部133内でノズルプレート20の液体噴射面20aを露出する。もちろん、固定板130は、これに限定されず、例えば、固定板130の露出開口部133をノズルプレート20の外形よりも小さな開口面積とし、固定板130をノズルプレート20の液体噴射面20aに当接又は接着するようにしてもよい。また、固定板130の露出開口部133をノズルプレート20の外形よりも小さな開口面積とした場合であっても、固定板130と液体噴射面20aとが接しないように設けるようにしてもよい。すなわち、固定板130が液体噴射面20a側に設けられているとは、液体噴射面20aに接していないものも、また、液体噴射面20aに接するものも含むものである。 Further, the fixing plate 130 is bonded to the surface of the compliance substrate 45 opposite to the communication plate 15. That is, the exposure opening 133 provided in the base 131 of the fixed plate 130 has an opening area larger than the area of the nozzle plate 20, and the liquid ejection surface 20 a of the nozzle plate 20 is exposed in the exposure opening 133. .. Of course, the fixed plate 130 is not limited to this, and for example, the exposed opening 133 of the fixed plate 130 has an opening area smaller than the outer shape of the nozzle plate 20, and the fixed plate 130 contacts the liquid ejection surface 20 a of the nozzle plate 20. You may make it contact or adhere. Further, even when the exposed opening 133 of the fixed plate 130 has an opening area smaller than the outer shape of the nozzle plate 20, the fixed plate 130 may be provided so as not to contact the liquid ejection surface 20a. That is, the fixed plate 130 being provided on the liquid ejecting surface 20a side includes those which are not in contact with the liquid ejecting surface 20a and those which are in contact with the liquid ejecting surface 20a.

なお、ケース40には、マニホールド95に連通して各マニホールド95にインクを供給するための導入路44が設けられている。また、ケース40には、保護基板30の貫通孔32に連通してCOF基板98が挿通される接続口43が設けられている。 The case 40 is provided with an introduction path 44 that communicates with the manifolds 95 and supplies ink to the manifolds 95. Further, the case 40 is provided with a connection port 43 communicating with the through hole 32 of the protective substrate 30 and into which the COF substrate 98 is inserted.

このような構成のヘッド本体110では、インクを噴射する際に、貯留手段から導入路44を介してインクを取り込み、マニホールド95からノズル開口21に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路97からの信号に従い、圧力発生室12に対応する各圧電アクチュエーター300に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター300と共に振動板をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室12内の圧力が高まり所定のノズル開口21からインク滴が噴射される。 In the head main body 110 having such a configuration, when ejecting ink, the ink is taken in from the storage means through the introduction passage 44 and the inside of the passage is filled with ink from the manifold 95 to the nozzle opening 21. After that, according to a signal from the drive circuit 97, a voltage is applied to each piezoelectric actuator 300 corresponding to the pressure generating chamber 12, whereby the piezoelectric actuator 300 and the diaphragm are flexibly deformed. As a result, the pressure inside the pressure generating chamber 12 increases, and ink droplets are ejected from the predetermined nozzle openings 21.

ここで、図5及び図9を用いて、ヘッド本体110のノズル列を構成するノズル開口21の並設方向が、記録シートSの搬送方向であるX方向に対して傾斜して設けられている点について詳細に説明する。図9は本実施形態に係るヘッド本体のノズル開口の配置を模式的に示した説明図である。 Here, with reference to FIGS. 5 and 9, the nozzle openings 21 forming the nozzle rows of the head body 110 are arranged in parallel with respect to the X direction, which is the conveyance direction of the recording sheet S. The points will be described in detail. FIG. 9 is an explanatory view schematically showing the arrangement of the nozzle openings of the head body according to this embodiment.

複数のヘッド本体110は、液体噴射面20aの面内方向において、記録シートSの搬送方向であるX方向に対してノズル列a、ノズル列bが傾斜するように固定されている。ここでいうノズル列は複数のノズル開口21が所定の方向に並設されたものをいう。本実施形態では、液体噴射面20aには、所定の方向としてXa方向に複数のノズル開口21が並設された2列のノズル列a及びノズル列bが液体噴射面20aに設けられている。Xa方向は、前記X方向に対して、0度より大きく90度未満の角度で交差した方向となっている。ここで、X方向とXa方向とは、0度より大きく45度未満の角度で交差することが好ましい。これによると、45度より大きく90度未満の角度で交差する場合と比較すると、Y方向におけるノズル開口21同士の間隔D1をより小さくでき、Y方向に高解像度の記録ヘッド100を実現することができる。もちろん、X方向とXa方向とを、45度より大きく90度未満の角度で交差するようにしてもよい。 In the in-plane direction of the liquid ejection surface 20a, the plurality of head main bodies 110 are fixed such that the nozzle rows a and nozzle rows b are inclined with respect to the X direction, which is the conveyance direction of the recording sheet S. The nozzle row mentioned here is one in which a plurality of nozzle openings 21 are arranged in parallel in a predetermined direction. In the present embodiment, the liquid jetting surface 20a is provided with two rows of nozzles a and b in which a plurality of nozzle openings 21 are juxtaposed in the Xa direction as the predetermined direction. The Xa direction is a direction that intersects the X direction at an angle greater than 0 degrees and less than 90 degrees. Here, it is preferable that the X direction and the Xa direction intersect at an angle greater than 0 degrees and less than 45 degrees. According to this, the distance D1 between the nozzle openings 21 in the Y direction can be made smaller than that in the case of intersecting at an angle of more than 45 degrees and less than 90 degrees, and the recording head 100 with high resolution in the Y direction can be realized. it can. Of course, the X direction and the Xa direction may intersect at an angle greater than 45 degrees and less than 90 degrees.

なお、X方向とXa方向とが0度より大きく45度未満の角度で交差するとは、液体噴射面20aの面内においてX方向と45度で交差する直線よりも、ノズル列がX方向に向けてより傾斜している状態をいう。また、ここでいう間隔D1は、ノズル列a及びノズル列bのノズル開口21を、Y方向の仮想線に対して、X方向に投影した場合のノズル開口21同士の間隔である。また、ノズル列a及びノズル列bのノズル開口21をX方向の仮想線に対して、Y方向に投影した場合のノズル開口21同士の間隔をD2とする。 It should be noted that when the X direction and the Xa direction intersect at an angle greater than 0 degrees and less than 45 degrees, the nozzle row is oriented in the X direction rather than the straight line intersecting the X direction at the angle of 45 degrees in the plane of the liquid ejecting surface 20a. It means a state of being more inclined. Further, the interval D1 mentioned here is an interval between the nozzle openings 21 when the nozzle openings 21 of the nozzle array a and the nozzle array b are projected in the X direction with respect to the virtual line in the Y direction. Further, when the nozzle openings 21 of the nozzle rows a and b are projected in the Y direction with respect to the virtual line in the X direction, the distance between the nozzle openings 21 is D2.

また、図9に示すように、本実施形態では、1つのノズル列で2種類、2つのノズル列で4種類の液体を噴射できるようになっている。すなわち、4色のインクを使用すると仮定すると、例えば、ノズル列aでは、ブラックBkとマゼンタM、ノズル列bでは、シアンCとイエローYを噴射できるようになっている。また、ノズル列aとノズル列bとは同じ数のノズル開口21を有し、ノズル列aのノズル開口21のY方向の位置と、ノズル列bのノズル開口21のY方向の位置とは、X方向で重なっている。 Further, as shown in FIG. 9, in the present embodiment, one nozzle row can eject two types of liquid and two nozzle rows can eject four types of liquid. That is, assuming that four colors of ink are used, for example, black Bk and magenta M can be ejected in the nozzle row a, and cyan C and yellow Y can be ejected in the nozzle row b. Further, the nozzle row a and the nozzle row b have the same number of nozzle openings 21, and the position of the nozzle opening 21 of the nozzle row a in the Y direction and the position of the nozzle opening 21 of the nozzle row b in the Y direction are: They overlap in the X direction.

ヘッド本体110a〜110cは、同様なノズル列a、bを有しており、ヘッド本体110a〜110cがY方向に近接して設けられることにより、Y方向に隣接するヘッド本体110の各ノズル開口21が、互いにX方向で重なるように並設されている。よって、例えばヘッド本体110aのマゼンタMのノズル列aとイエローYのノズル列bとが、ヘッド本体110bのブラックBkのノズル列aとシアンCのノズル列bとにX方向で重なることで、X方向の一列に4色が並ぶようになり、カラーイメージを印刷することができる。また、Y方向に隣接するヘッド本体110bとヘッド本体110cについても、同様に、各ノズル開口21が、互いにX方向で重なるように並設されている。 The head main bodies 110a to 110c have the same nozzle rows a and b, and by providing the head main bodies 110a to 110c close to each other in the Y direction, each nozzle opening 21 of the head main body 110 adjacent in the Y direction. Are juxtaposed to each other in the X direction. Therefore, for example, the nozzle row a of magenta M and the nozzle row b of yellow Y of the head body 110a overlap the nozzle row a of black Bk and the nozzle row b of cyan C of the head body 110b in the X direction, so that X The four colors are arranged in a line in the direction, and a color image can be printed. Similarly, with respect to the head main body 110b and the head main body 110c that are adjacent to each other in the Y direction, the nozzle openings 21 are also juxtaposed so as to overlap each other in the X direction.

さらに、隣接するヘッド本体110が有する同じ色のノズル列のうち少なくとも一部のノズル開口21が互いにX方向で重なるように配置されていることで、ヘッド本体110間のつなぎ目の画質を向上することができる。すなわち、例えば、ヘッド本体110aのマゼンタMのノズル列aの1つのノズル開口21とヘッド本体110bのマゼンタMのノズル列aの1つのノズル開口21とが、互いにX方向で重なるように配置されており、この互いに重なる2つのノズル開口21からの噴射を制御することにより、隣接するヘッド本体110間のつなぎ目においてバンディングや筋といった画質の劣化を防ぐことができる。また、図9に示す例では、1つのノズル開口21のみがX方向に重なっているが、2つ以上のノズル開口21がX方向に重なっていてもよい。 Further, since the nozzle openings 21 of at least some of the nozzle rows of the same color included in the adjacent head bodies 110 are arranged so as to overlap each other in the X direction, the image quality of the joint between the head bodies 110 is improved. You can That is, for example, one nozzle opening 21 of the nozzle row a of magenta M of the head body 110a and one nozzle opening 21 of the nozzle row a of magenta M of the head body 110b are arranged so as to overlap each other in the X direction. Therefore, by controlling the ejection from the two nozzle openings 21 that overlap each other, it is possible to prevent the deterioration of the image quality such as banding and streaks at the joint between the adjacent head main bodies 110. Further, in the example shown in FIG. 9, only one nozzle opening 21 overlaps in the X direction, but two or more nozzle openings 21 may overlap in the X direction.

このような色の配置は、勿論これに限定されるものではない。例えば、特に図示しないが、1つのノズル列で、ブラックBk、マゼンタM、シアンC及びイエローYの4色を噴射できるように配置してもよい。 Of course, the arrangement of such colors is not limited to this. For example, although not particularly shown, one nozzle row may be arranged so that four colors of black Bk, magenta M, cyan C, and yellow Y can be ejected.

上述したように、ヘッド本体110を複数有する記録ヘッド100をヘッド固定基板102に4個固定してヘッドユニット101を構成しているが、図5の直線Lに示すように、隣接する記録ヘッド100同士でノズル列の一部がX方向で重なるように配置されている。すなわち、1つの記録ヘッド100において隣接するヘッド本体110の関係と同様に、Y方向に隣接する記録ヘッド100間において隣接するヘッド本体110がY方向に近接して設けられることにより、隣接する記録ヘッド100間において、カラーイメージを印刷できるとともに、隣接する記録ヘッド100間のつなぎ目の画質を向上することができる。もちろん、隣接する記録ヘッド100間においてX方向に重なるノズル開口21の数は、1つの記録ヘッド100におけるヘッド本体110間においてX方向に重なるノズル開口21の数と同じである必要はない。 As described above, the four recording heads 100 having the plurality of head bodies 110 are fixed to the head fixing substrate 102 to form the head unit 101. As shown by the straight line L in FIG. Part of the nozzle rows are arranged so as to overlap each other in the X direction. That is, similar to the relationship between the adjacent head main bodies 110 in one recording head 100, the adjacent head main bodies 110 are provided close to each other in the Y direction between the adjacent recording heads 100 in the Y direction. A color image can be printed between the recording heads 100, and the image quality of the joint between the adjacent recording heads 100 can be improved. Of course, the number of nozzle openings 21 that overlap in the X direction between adjacent print heads 100 does not have to be the same as the number of nozzle openings 21 that overlap in the X direction between head bodies 110 in one print head 100.

このように、ヘッド本体110間のノズル列と、記録ヘッド100間のノズル列とがX方向で一部重なることにより、つなぎ目の画質を向上することができる。 In this way, the nozzle rows between the head main bodies 110 and the nozzle rows between the recording heads 100 partially overlap each other in the X direction, so that the image quality at the joint can be improved.

また、各ノズル列のXa方向において隣接するノズル開口21間において、X方向の間隔D1とY方向の間隔D2とは整数比となるように、ノズルピッチやX方向とXa方向の角度を設定するのが好ましい。これによれば、X方向及びY方向にマトリクス状に配置された画素から構成されるイメージデータを印刷する場合に、各ノズルと画素との対応付けが容易となる。なお、もちろん、このような整数比に限定されるものではない。 Further, the nozzle pitch and the angle between the X direction and the Xa direction are set such that the distance D1 in the X direction and the distance D2 in the Y direction are integer ratios between the nozzle openings 21 adjacent to each other in the Xa direction of each nozzle row. Is preferred. According to this, when printing the image data composed of pixels arranged in a matrix in the X and Y directions, it becomes easy to associate each nozzle with the pixel. Of course, it is not limited to such an integer ratio.

本実施形態の記録ヘッド100は、図5に示すように、液体噴射面20a側から平面視した際に、略平行四辺形となる形状を有する。これは、上述したように、各ヘッド本体110のノズル列a、ノズル列bを構成するノズル開口21の並設方向であるXa方向が、記録シートSの搬送方向であるX方向に対して傾斜して設けられており、このノズル列a、ノズル列bの傾斜する方向であるXa方向と同じように記録ヘッド100の外形、すなわち、固定板130を略平行四辺形となるように形成したからである。もちろん、記録ヘッド100の液体噴射面20a側から平面視した際の形状は、略平行四辺形に限定されず、台形の矩形状や多角形状等であってもよい。 As shown in FIG. 5, the recording head 100 of the present embodiment has a shape that is a substantially parallelogram when viewed in plan from the liquid ejection surface 20a side. This is because, as described above, the Xa direction which is the juxtaposed direction of the nozzle openings a forming the nozzle rows a and the nozzle rows b of each head body 110 is inclined with respect to the X direction which is the conveyance direction of the recording sheet S. Since the outer shape of the recording head 100, that is, the fixing plate 130 is formed to have a substantially parallelogram shape in the same manner as the Xa direction which is the direction in which the nozzle rows a and the nozzle rows b incline. Is. Of course, the shape of the recording head 100 when viewed in plan from the liquid ejection surface 20a side is not limited to a substantially parallelogram, and may be a trapezoidal rectangular shape, a polygonal shape, or the like.

なお、以上説明した実施形態では、1つのヘッド本体に2列のノズル列を設けた例を説明したが、3列以上のノズル列を有するものであっても同様に上述した効果を奏することはいうまでもない。なお、本実施形態のように、1つのヘッド本体110に設けられたノズル列が2列であれば、図7のように、それぞれのノズル列に対応した2つのマニホールド95の間に、それぞれのノズル列のノズル開口21を配置することができるので、複数のノズル列のノズル開口21がそれぞれのノズル列に対応したマニホールドに対して同じ側に配置される場合と比較すると、2列のノズル列のYa方向の間隔を狭めることができる。ゆえに、2列のノズル列に対して1つのノズルプレート20に要する面積を小さくすることができる。また、2列のノズル列のそれぞれの圧電アクチュエーター300とCOF基板98との接続も容易になる。 In addition, in the above-described embodiment, an example in which two nozzle rows are provided in one head main body has been described. However, even if the head body has three or more nozzle rows, the same effect as described above can be obtained. Needless to say. As in the present embodiment, if there are two nozzle rows provided in one head body 110, as shown in FIG. 7, each nozzle row is provided between the two manifolds 95 corresponding to each nozzle row. Since the nozzle openings 21 of the nozzle rows can be arranged, compared with the case where the nozzle openings 21 of the plurality of nozzle rows are arranged on the same side with respect to the manifolds corresponding to the respective nozzle rows, two nozzle rows are arranged. The distance in the Ya direction can be narrowed. Therefore, it is possible to reduce the area required for one nozzle plate 20 for two nozzle rows. Also, the piezoelectric actuators 300 of the two nozzle rows and the COF substrate 98 can be easily connected.

また、本実施形態では、各ノズル列a、bは、同じ数のノズル開口21を有している。これによれば、各ノズル列間のX方向におけるオーバーラップ数を同じにでき、効率的な液体噴射ができる。しかしながら、各ノズル列のノズル開口の数は、必ずしも同じである必要はない。さらに、ノズル列a、bが噴射する液体の種類は全て同じであってもよく、例えば全て同じ色のインクを使用してもよい。 Further, in this embodiment, each nozzle row a and b has the same number of nozzle openings 21. According to this, the number of overlaps in the X direction between the nozzle rows can be made equal, and efficient liquid ejection can be performed. However, the number of nozzle openings in each nozzle row does not necessarily have to be the same. Furthermore, the types of liquid ejected by the nozzle rows a and b may all be the same, and, for example, all inks of the same color may be used.

また、本実施形態では、ヘッド本体110は、2列のノズル列に対して1つのノズルプレート20を有することが好ましい。これによれば、各ノズル列の配置がさらに高精度に実現できる。もちろん、ノズル列毎に別のノズルプレート20を設けてもよい。なお、ノズルプレート20は、ステンレス鋼(SUS)板やシリコン基板などから構成される。 Further, in the present embodiment, it is preferable that the head main body 110 has one nozzle plate 20 for two nozzle rows. According to this, the arrangement of each nozzle row can be realized with higher accuracy. Of course, another nozzle plate 20 may be provided for each nozzle row. The nozzle plate 20 is composed of a stainless steel (SUS) plate, a silicon substrate, or the like.

図10〜図16を用いて、本実施形態に係る流路部材200について詳細に説明する。図10は流路部材200としての第1流路部材の平面図であり、図11は流路部材200としての第2流路部材の平面図であり、図12は流路部材200としての第3流路部材の平面図であり、図13は第3流路部材の底面図であり、図14は図10〜図13のB−B’線断面図であり、図15は図10〜図13のC−C’線断面図であり、図16は図10〜図15のD−D’線断面図である。なお、図10〜図12はZ2側の平面図であり、図13はZ1側の底面図である。 The flow path member 200 according to the present embodiment will be described in detail with reference to FIGS. 10 to 16. 10 is a plan view of a first flow path member as the flow path member 200, FIG. 11 is a plan view of a second flow path member as the flow path member 200, and FIG. It is a top view of a 3 channel member, FIG. 13 is a bottom view of a 3rd channel member, FIG. 14 is a BB' sectional view taken on the line of FIGS. 10-13, and FIG. 13 is a sectional view taken along line CC′ of FIG. 13, and FIG. 16 is a sectional view taken along line DD′ of FIGS. 10 to 15. 10 to 12 are plan views on the Z2 side, and FIG. 13 is a bottom view on the Z1 side.

流路部材200は、インクが流通する流路240が設けられた部材である。本実施形態では、Z方向に積層された3つの第1流路部材210、第2流路部材220及び第3流路部材230と、複数の流路240とを備えている。Z方向において、保持部材120側(図2参照)からヘッド本体110側に向かって、第1流路部材210、第2流路部材220、第3流路部材230の順で積層されている。特に図示しないが、接着剤により第1流路部材210、第2流路部材220及び第3流路部材230は接着固定されているが、このような態様に限定されず、例えばネジなどの固定手段により第1流路部材210、第2流路部材220及び第3流路部材230を一体化してもよい。また、特に材料の限定はないが、例えばSUSなどの金属や樹脂により形成することができる。 The flow path member 200 is a member provided with a flow path 240 through which ink flows. In the present embodiment, three first flow path members 210, second flow path members 220 and third flow path members 230, which are stacked in the Z direction, and a plurality of flow paths 240 are provided. In the Z direction, the first flow path member 210, the second flow path member 220, and the third flow path member 230 are stacked in this order from the holding member 120 side (see FIG. 2) toward the head main body 110 side. Although not particularly shown, the first flow path member 210, the second flow path member 220, and the third flow path member 230 are adhesively fixed by an adhesive, but the present invention is not limited to such an aspect, and is fixed by, for example, a screw. The first flow path member 210, the second flow path member 220, and the third flow path member 230 may be integrated by means. The material is not particularly limited, but it can be formed of a metal such as SUS or a resin.

流路240は、上流の部材(本実施形態では保持部材120)から供給されるインクが導入される導入流路280と、該インクをヘッドに供給する出口となる接続部290とを両端とする流路である。本実施形態では、4つの流路240が形成されており、各流路240は、一つの導入流路280にインクが供給され、途中で分岐して複数の接続部290からインクがヘッド本体110に供給するように構成されている。 The flow path 240 has both ends of an introduction flow path 280 into which ink supplied from an upstream member (holding member 120 in this embodiment) is introduced and a connecting portion 290 serving as an outlet for supplying the ink to the head. It is a flow path. In the present embodiment, four flow paths 240 are formed, and each flow path 240 is supplied with ink to one introduction flow path 280 and branches in the middle to receive ink from a plurality of connecting portions 290. Is configured to supply.

4つの流路240のうち一部は第1流路241、残りは第2流路242とされている。本実施形態では、第1流路241及び第2流路242は2つずつ形成されている。2つの第1流路241のそれぞれを第1流路241a、第1流路241bとする。以降、第1流路241と記載した際には、第1流路241a及び第1流路241bの双方を指しているものとする。第2流路242についても同様である。 Part of the four flow paths 240 is the first flow path 241, and the rest are the second flow paths 242. In this embodiment, two first flow paths 241 and two second flow paths 242 are formed. Each of the two first flow paths 241 is referred to as a first flow path 241a and a first flow path 241b. Hereinafter, when the term “first flow channel 241” is used, it means both the first flow channel 241a and the first flow channel 241b. The same applies to the second flow path 242.

第1流路241は、第1導入流路281を備えている。第1導入流路281は、第1流路241のうち、後述する第1交差流路251と、流路部材200よりも上流の流路(本実施形態では保持部材120が有する流路)とを接続する流路である。本実施形態では、2つの第1流路241a及び第1流路241bは、それぞれ第1導入流路281a及び第1導入流路281bを有している。 The first flow channel 241 includes a first introduction flow channel 281. The first introduction flow channel 281 includes a first cross flow channel 251 to be described later in the first flow channel 241, and a flow channel upstream of the flow channel member 200 (flow channel included in the holding member 120 in the present embodiment). Is a flow path for connecting the. In the present embodiment, the two first flow paths 241a and 241b have a first introduction flow path 281a and a first introduction flow path 281b, respectively.

具体的には、第1導入流路281aは、第1流路部材210のZ2側の表面に設けられた突部212の頂面に開口してZ方向に貫通した貫通孔211と、第2流路部材220のZ方向に貫通した貫通孔221とが連通したものである。第1導入流路281bも同様である。以降、第1導入流路281と記載した際には、第1導入流路281a及び第1導入流路281bを指すものとする。 Specifically, the first introduction flow channel 281a has a through hole 211 that opens in the top surface of the protrusion 212 provided on the surface of the first flow channel member 210 on the Z2 side and penetrates in the Z direction, and The flow path member 220 communicates with a through hole 221 that penetrates in the Z direction. The same applies to the first introduction flow path 281b. Hereinafter, when the term “first introduction channel 281” is used, it means the first introduction channel 281a and the first introduction channel 281b.

第2流路242は、第2導入流路282を備えている。第2導入流路282は、第2流路242のうち、後述する第2交差流路252と、流路部材200よりも上流の流路(本実施形態では保持部材120が有する流路)とを接続する流路である。本実施形態では、2つの第2流路242a及び第2流路242bは、それぞれ第2導入流路282a及び第2導入流路282bを有している。 The second flow path 242 includes a second introduction flow path 282. The second introduction flow path 282 includes a second intersecting flow path 252, which will be described later, of the second flow path 242, and a flow path upstream of the flow path member 200 (a flow path included in the holding member 120 in this embodiment). Is a flow path for connecting the. In the present embodiment, the two second flow paths 242a and 242b have a second introduction flow path 282a and a second introduction flow path 282b, respectively.

具体的には、第2導入流路282aは、第1流路部材210のZ2側の表面に設けられた突部213の頂面に開口してZ方向に貫通した貫通孔である。第2導入流路282bも同様である。以降、第2導入流路282と記載した際には、第2導入流路282a及び第2導入流路282bを指すものとする。 Specifically, the second introduction flow path 282a is a through hole that opens in the top surface of the protrusion 213 provided on the surface of the first flow path member 210 on the Z2 side and penetrates in the Z direction. The same applies to the second introduction channel 282b. Hereinafter, when the term “second introduction channel 282” is used, it means the second introduction channel 282a and the second introduction channel 282b.

さらに、導入流路280と記載した際には、上述した4つの導入流路の全てを指しているものとする。 Furthermore, when the term “introduction channel 280” is used, it means that all of the above-mentioned four introduction channels are referred to.

本実施形態では、図10に示す平面視においては、第1流路部材210の左上隅の近傍に第1導入流路281aが配置され、第1流路部材210の右下隅の近傍に第1導入流路281bが配置されている。また、図10に示す平面視においては、第1流路部材210の右上隅の近傍に第2導入流路282aが配置され、第1流路部材210の左下隅の近傍に第2導入流路282bが配置されている。 In the present embodiment, in the plan view shown in FIG. 10, the first introduction flow path 281a is arranged near the upper left corner of the first flow path member 210, and the first introduction flow path 281a is provided near the lower right corner of the first flow path member 210. The introduction flow path 281b is arranged. In the plan view shown in FIG. 10, the second introduction flow passage 282a is arranged near the upper right corner of the first flow passage member 210, and the second introduction flow passage 282a is formed near the lower left corner of the first flow passage member 210. 282b is arranged.

第1流路241は、第2流路部材220と第3流路部材230とで形成された第1交差流路251を含む。第1交差流路251は、第1流路241のうち、液体噴射面20aに平行な方向にインクを流通させる一部分である。本実施形態では、2つの第1流路241が形成されているため、第1交差流路251も2つ形成されている。2つの第1交差流路251のそれぞれを第1交差流路251a、第1交差流路251bとする。 The first flow channel 241 includes a first intersecting flow channel 251 formed by the second flow channel member 220 and the third flow channel member 230. The first intersecting flow channel 251 is a part of the first flow channel 241 that allows the ink to flow in a direction parallel to the liquid ejection surface 20a. In the present embodiment, since the two first flow paths 241 are formed, two first intersecting flow paths 251 are also formed. Each of the two first intersecting channels 251 is referred to as a first intersecting channel 251a and a first intersecting channel 251b.

第1交差流路251aは、第2流路部材220のZ1側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部226aと、第3流路部材230のZ2側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部231aとを合わせて封止することにより形成されている。第1交差流路251bは、第2流路部材220のZ1側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部226bと、第3流路部材230のZ2側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部231bとを合わせて封止することにより形成されている。 The first intersecting flow passage 251a is formed on the surface of the second flow passage member 220 on the Z1 side along the Y direction and the intersecting groove portion 226a on the surface of the third flow passage member 230 on the Z2 side along the Y direction. It is formed by sealing together the formed crossing groove portion 231a. The first intersecting flow passage 251b is formed on the surface of the second flow passage member 220 on the Z1 side along the Y direction, and the first intersecting flow passage 251b is formed on the surface of the third flow passage member 230 on the Z2 side along the Y direction. It is formed by sealing together the formed crossing groove portion 231b.

いずれの第1交差流路251a、251bについても、第2流路部材220及び第3流路部材230に交差溝部226a、226b、231a、231bをそれぞれ形成することで、第1交差流路251a、251bそれぞれの断面積を広げ、第1交差流路251a、251bにおける圧力損失を低減させている。なお、第1交差流路251a、251bは、第2流路部材220のみに形成された交差溝部226a、226b、により形成されていてもよいし、又は、第3流路部材230のみに形成された交差溝部231a、231bにより形成されていてもよい。例えば、Z2側にある第2流路部材220のみに交差溝部226a、226bを形成することで、後述するように、Xa方向の幅がZ1側からZ2側に向けて狭くなるCOF基板98と、これらの第1交差流路251a、251bとの干渉を防ぎつつ、第1流路241を配置する自由度を向上させることができる。 For any of the first cross flow channels 251a and 251b, the first cross flow channels 251a and 231b are formed by forming the cross groove portions 226a, 226b, 231a, and 231b in the second flow channel member 220 and the third flow channel member 230, respectively. The cross-sectional area of each 251b is widened to reduce the pressure loss in the first cross flow passages 251a and 251b. The first intersecting flow channels 251a and 251b may be formed by the intersecting groove portions 226a and 226b formed only in the second flow channel member 220, or may be formed only in the third flow channel member 230. The cross groove portions 231a and 231b may be formed. For example, by forming the intersecting groove portions 226a and 226b only on the second flow path member 220 on the Z2 side, as will be described later, a COF substrate 98 whose width in the Xa direction becomes narrower from the Z1 side toward the Z2 side, It is possible to improve the degree of freedom in arranging the first flow channel 241 while preventing interference with the first cross flow channels 251a and 251b.

第1交差流路251aと第1交差流路251bとは、COF基板98が挿通する開口部201(第3開口部235)のX方向における両外側に配置されている。 The first intersecting flow passage 251a and the first intersecting flow passage 251b are arranged on both outer sides in the X direction of the opening 201 (third opening 235) through which the COF substrate 98 is inserted.

第2流路242は、第1流路部材210と第2流路部材220とで形成された第2交差流路252を含む。第2交差流路252は、第2流路242のうち、液体噴射面20aに平行な方向にインクを流通させる一部分である。本実施形態では、2つの第2流路242が形成されているため、第2交差流路252も2つ形成されている。2つの第2交差流路252のそれぞれを第2交差流路252a、第2交差流路252bとする。 The second flow path 242 includes a second intersecting flow path 252 formed by the first flow path member 210 and the second flow path member 220. The second intersecting flow passage 252 is a part of the second flow passage 242 that allows the ink to flow in a direction parallel to the liquid ejection surface 20a. In this embodiment, since the two second flow paths 242 are formed, two second intersecting flow paths 252 are also formed. Each of the two second intersecting channels 252 is referred to as a second intersecting channel 252a and a second intersecting channel 252b.

第2交差流路252aは、第1流路部材210のZ1側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部213aと、第2流路部材220のZ2側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部222aとを合わせて封止することにより形成されている。第2交差流路252bは、第1流路部材210のZ1側の表面に形成された交差溝部213bと、第2流路部材220のZ2側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部222bとを合わせて封止することにより形成されている。 The second intersecting flow passage 252a is formed on the surface of the first flow passage member 210 on the Z1 side along the Y direction and the intersecting groove portion 213a, and on the surface of the second flow passage member 220 on the Z2 side along the Y direction. It is formed by sealing together the formed crossing groove portion 222a. The second intersecting channel 252b includes an intersecting groove portion 213b formed on the surface of the first channel member 210 on the Z1 side and an intersecting groove portion formed on the surface of the second channel member 220 on the Z2 side along the Y direction. It is formed by sealing together with 222b.

いずれの第2交差流路252a、252bについても、第1流路部材210及び第2流路部材220に交差溝部213a、213b、222a、222bをそれぞれ形成することで、第2交差流路252a、252bそれぞれの断面積を広げ、第2交差流路252a、252bにおける圧力損失を低減させている。なお、第2交差流路252a、252bは、第1流路部材210のみに形成された交差溝部213a、213bのみにより形成されていてもよいし、又は、第2流路部材220のみに形成された交差溝部222a、222bにより形成されていてもよい。例えば、Z2側にある第1流路部材210のみに交差溝部222a、222bを形成することで、上述した第1交差流路251a、251bと同様に、COF基板98との干渉を防ぎつつ、第2流路242を配置する自由度を向上させることができる。 For any of the second cross flow channels 252a and 252b, by forming the cross groove portions 213a, 213b, 222a, 222b in the first flow channel member 210 and the second flow channel member 220, respectively, the second cross flow channel 252a, The cross-sectional area of each 252b is widened to reduce the pressure loss in the second cross flow passages 252a and 252b. The second intersecting channels 252a, 252b may be formed only by the intersecting groove portions 213a, 213b formed only in the first channel member 210, or only in the second channel member 220. It may be formed by the intersecting groove portions 222a and 222b. For example, by forming the intersecting groove portions 222a and 222b only in the first flow path member 210 on the Z2 side, the interference with the COF substrate 98 is prevented while preventing the interference with the COF substrate 98, like the above-described first cross flow paths 251a and 251b. The degree of freedom in arranging the two flow paths 242 can be improved.

第2交差流路252aと第2交差流路252bとは、COF基板98が挿通する開口部201(第2開口部225)のX方向における両外側に配置されている。 The second intersecting flow channel 252a and the second intersecting flow channel 252b are arranged on both outer sides in the X direction of the opening 201 (second opening 225) through which the COF substrate 98 is inserted.

以降、第1交差流路251と記載した際には、第1交差流路251a及び第1交差流路251bの双方を指しているものとする。第2交差流路252と記載した際には、第2交差流路252a及び第2交差流路252bの双方を指しているものとする。また、交差流路250と記載した際には、上述した4つの交差流路の全てを指しているものとする。 Hereinafter, when the term "first crossing channel 251" is used, it means both the first crossing channel 251a and the first crossing channel 251b. When the term "second crossing channel 252" is used, it means both the second crossing channel 252a and the second crossing channel 252b. Further, when the cross flow channel 250 is described, it means all of the four cross flow channels described above.

また、本実施形態では、第1流路241は一つの導入流路280から複数の接続部290に分岐するように構成されている。すなわち、第1交差流路251から、複数の第1分岐流路261が第1交差流路251と同じ平面(第2流路部材220と第3流路部材230とが接合された境界面)において分岐している。 In addition, in the present embodiment, the first flow path 241 is configured to branch from one introduction flow path 280 to a plurality of connecting portions 290. That is, from the first cross flow channel 251, a plurality of first branch flow channels 261 are on the same plane as the first cross flow channel 251 (a boundary surface where the second flow channel member 220 and the third flow channel member 230 are joined). Is branched at.

本実施形態では、液体噴射面20aに平行な平面内(第2流路部材220と第3流路部材230との境界面)において、第1交差流路251から6つの第1分岐流路261が分岐している。第1交差流路251aから分岐した6つの第1分岐流路261のそれぞれを第1分岐流路261a1〜第1分岐流路261a6とする。以降、第1分岐流路261aと記載した際には、第1分岐流路261aに接続された6つの分岐流路の全てを指しているものとする。 In the present embodiment, in the plane parallel to the liquid ejection surface 20a (the boundary surface between the second flow path member 220 and the third flow path member 230), the first cross flow paths 251 to the six first branch flow paths 261 are arranged. Is branched. The six first branch channels 261 branched from the first intersecting channel 251a are referred to as first branch channel 261a1 to first branch channel 261a6. Hereinafter, when it is described as the first branch flow channel 261a, it means that all of the six branch flow channels connected to the first branch flow channel 261a are referred to.

同様に、第1交差流路251bから分岐した6つの第1分岐流路261のそれぞれを第1分岐流路261b1〜第1分岐流路261b6とする。以降、第1分岐流路261bと記載した際には、第1分岐流路261bに接続された6つの分岐流路の全てを指しているものとする。さらに、第1分岐流路261と記載した際には、第1分岐流路261a及び第1分岐流路261bに接続された12個の分岐流路の全てを指しているものとする。 Similarly, each of the six first branch channels 261 branched from the first intersecting channel 251b is referred to as a first branch channel 261b1 to a first branch channel 261b6. Hereinafter, when the term “first branch channel 261b” is used, it means that all of the six branch channels connected to the first branch channel 261b are referred to. Furthermore, when described as the first branch flow channel 261, it is assumed that all of the 12 branch flow channels connected to the first branch flow channel 261a and the first branch flow channel 261b are referred to.

なお、図ではY方向に並んだ6つの第1分岐流路261a1〜第1分岐流路261a6のうち、第1分岐流路261a2〜第1分岐流路261a5の符号の図示は省略しているが、Y1側からY2側に順番に並んでいるものとする。第1分岐流路261b1〜第1分岐流路261b6についても同様である。 In addition, although the illustration of the symbols of the first branch flow channel 261a2 to the first branch flow channel 261a5 among the six first branch flow channels 261a1 to 261a6 arranged in the Y direction is omitted in the drawing. , Y1 side to Y2 side. The same applies to the first branch flow channel 261b1 to the first branch flow channel 261b6.

具体的には、第3流路部材230のZ2側の表面には、交差溝部231aに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部232aが設けられている。第2流路部材220のZ1側の表面には、交差溝部226aに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部227aが設けられている。第1分岐流路261aは、分岐溝部227aに分岐溝部232aが互いに相対向して封止されることにより形成されている。 Specifically, the Z2 side surface of the third flow path member 230 is provided with a plurality of branch groove portions 232a that communicate with the intersecting groove portions 231a and extend toward the opening 201 side. On the surface of the second flow path member 220 on the Z1 side, a plurality of branch groove portions 227a that communicate with the intersecting groove portions 226a and extend toward the opening 201 side are provided. The first branch flow channel 261a is formed by sealing the branch groove portions 227a with the branch groove portions 232a facing each other.

第3流路部材230のZ2側の表面には、交差溝部231bに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部232bが設けられている。第2流路部材220のZ1側の表面には、交差溝部226bに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部227bが設けられている。第1分岐流路261bは、分岐溝部227bに分岐溝部232bが互いに相対向して封止されることにより形成されている。 On the surface of the third flow path member 230 on the Z2 side, a plurality of branch groove portions 232b that communicate with the intersecting groove portions 231b and extend toward the opening 201 side are provided. On the surface of the second flow path member 220 on the Z1 side, a plurality of branch groove portions 227b that communicate with the intersecting groove portions 226b and extend toward the opening 201 side are provided. The first branch flow path 261b is formed by sealing the branch groove portions 232b so that the branch groove portions 232b face each other.

いずれの第1分岐流路261a、261bについても、第2流路部材220及び第3流路部材230に分岐溝部227a、227b、232a、232bをそれぞれ形成することで、第1分岐流路261a、261bそれぞれの断面積を広げ、第1分岐流路261a、261bにおける圧力損失を低減させている。なお、第1分岐流路261a、261bは、第2流路部材220のみに形成された分岐溝部227a、227bにより形成されていてもよいし、又は、第3流路部材230のみに形成された交差溝部232a、232bにより形成されていてもよい。例えば、後述するように、Ya方向に傾斜することでZ1側からZ2側に向けてYa方向の幅が広がる領域Qにおいて、Z2側にある第2流路部材220のみに分岐溝部227a、227bを形成することで、COF基板98との干渉を防ぎつつ、第1流路241を配置する自由度を向上させることができる。また、Z2側からZ1側に向けてYa方向の幅が広がる領域Pにおいて、Z1側にある第3流路部材230のみに分岐溝部232a、232bを形成することで、COF基板98との干渉を防ぎつつ、第1流路241を配置する自由度を向上させることができる。 With respect to any of the first branch flow paths 261a and 261b, by forming branch groove portions 227a, 227b, 232a, and 232b in the second flow path member 220 and the third flow path member 230, respectively, the first branch flow path 261a, The cross-sectional area of each 261b is widened to reduce the pressure loss in the first branch flow paths 261a and 261b. The first branch flow paths 261a and 261b may be formed by the branch groove portions 227a and 227b formed only in the second flow path member 220, or may be formed only in the third flow path member 230. It may be formed by the intersecting groove portions 232a and 232b. For example, as will be described later, in the region Q in which the width in the Ya direction expands from the Z1 side to the Z2 side by inclining in the Ya direction, the branch groove portions 227a and 227b are provided only in the second flow path member 220 on the Z2 side. By forming it, it is possible to improve the degree of freedom in arranging the first channel 241 while preventing interference with the COF substrate 98. Further, in the region P in which the width in the Ya direction expands from the Z2 side toward the Z1 side, the branch groove portions 232a and 232b are formed only in the third flow path member 230 on the Z1 side, so that the interference with the COF substrate 98 is prevented. The degree of freedom in arranging the first flow path 241 can be improved while preventing it.

また、第2流路242は一つの導入流路280から複数の接続部290に分岐するように構成されている。詳細は後述するが、第2交差流路252から、複数の第2分岐流路262が第2交差流路252と同じ平面(第1流路部材210と第2流路部材220とが接合された境界面)において分岐している。 In addition, the second flow path 242 is configured to branch from one introduction flow path 280 to a plurality of connecting portions 290. As will be described later in detail, a plurality of second branch flow passages 262 are formed on the same plane as the second cross flow passage 252 (the first flow passage member 210 and the second flow passage member 220 are joined together). The boundary surface).

本実施形態では、液体噴射面20aに平行な平面内(第1流路部材210と第2流路部材220との境界面)において、第2交差流路252から6つの第2分岐流路262が分岐している。第2交差流路252aから分岐した6つの第2分岐流路262のそれぞれを第2分岐流路262a1〜第2分岐流路262a6とする。 In the present embodiment, in the plane parallel to the liquid ejection surface 20a (the boundary surface between the first flow path member 210 and the second flow path member 220), the six second branch flow paths 262 from the second intersecting flow path 252. Is branched. Each of the six second branch channels 262 branched from the second intersecting channel 252a is referred to as a second branch channel 262a1 to a second branch channel 262a6.

同様に、第2交差流路252bから分岐した6つの第2分岐流路262のそれぞれを第2分岐流路262b1〜第2分岐流路262b6とする。 Similarly, each of the six second branch channels 262 branched from the second intersecting channel 252b is referred to as a second branch channel 262b1 to a second branch channel 262b6.

以降、第2分岐流路262aと記載した際には、第2分岐流路262aに接続された6つの分岐流路の全てを指しているものとする。第2分岐流路262bと記載した際には、第2分岐流路262bに接続された6つの分岐流路の全てを指しているものとする。また、第2分岐流路262と記載した際には、第2分岐流路262a及び第2分岐流路262bに接続された12個の分岐流路の全てを指しているものとする。さらに、分岐流路260と記載した際には、上述した24個の分岐流路の全てを指しているものとする。 Hereinafter, when it is described as the second branch flow channel 262a, it means that all of the six branch flow channels connected to the second branch flow channel 262a are referred to. When it is described as the second branch flow channel 262b, it means that all the six branch flow channels connected to the second branch flow channel 262b are referred to. Moreover, when described as the second branch flow channel 262, it is assumed that all of the 12 branch flow channels connected to the second branch flow channel 262a and the second branch flow channel 262b are referred to. Furthermore, when described as the branch flow channel 260, it is assumed to refer to all of the 24 branch flow channels described above.

なお、図ではY方向に並んだ6つの第2分岐流路262a1〜第2分岐流路262a6のうち、第2分岐流路262a2〜第2分岐流路262a5の符号の図示は省略しているが、Y1側からY2側に順番に並んでいるものとする。第2分岐流路262b1〜第2分岐流路262b6についても同様である。 In addition, although the illustration of the reference numerals of the second branch flow channel 262a2 to the second branch flow channel 262a5 among the six second branch flow channels 262a1 to the second branch flow channel 262a6 arranged in the Y direction is omitted in the drawing. , Y1 side to Y2 side. The same applies to the second branch flow channel 262b1 to the second branch flow channel 262b6.

具体的には、第2流路部材220のZ2側の表面には、交差溝部222aに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部223aが設けられている。第1流路部材210のZ1側の表面には、交差溝部213aに連通して開口部201側とは反対側に向けて延設された複数の分岐溝部214aが設けられている。第2分岐流路262aは、分岐溝部223aに分岐溝部214aが互いに相対向して封止されることにより形成されている。 Specifically, the Z2 side surface of the second flow path member 220 is provided with a plurality of branch groove portions 223a that communicate with the intersecting groove portions 222a and extend toward the opening 201 side. On the surface of the first flow path member 210 on the Z1 side, a plurality of branch groove portions 214a that communicate with the intersecting groove portions 213a and extend toward the side opposite to the opening portion 201 side are provided. The second branch flow passage 262a is formed by sealing the branch groove portions 223a with the branch groove portions 214a facing each other.

第2流路部材220のZ2側の表面には、交差溝部222bに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部223bが設けられている。第1流路部材210のZ1側の表面には、交差溝部213bに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部214bが設けられている。第2分岐流路262bは、分岐溝部223bに分岐溝部214bが互いに相対向して封止されることにより形成されている。 On the surface of the second flow path member 220 on the Z2 side, a plurality of branch groove portions 223b that communicate with the intersecting groove portions 222b and extend toward the opening 201 side are provided. On the surface of the first flow path member 210 on the Z1 side, a plurality of branch groove portions 214b that communicate with the intersecting groove portions 213b and extend toward the opening 201 side are provided. The second branch flow path 262b is formed by sealing the branch groove portions 223b with the branch groove portions 214b facing each other.

いずれの第2分岐流路262a、262bについても、第1流路部材210及び第2流路部材220に分岐溝部214a、214b、223a、223bをそれぞれ形成することで、第2分岐流路262a、262bそれぞれの断面積を広げ、第2分岐流路262a、262bにおける圧力損失を低減させている。なお、第2分岐流路262a、262bは、第1流路部材210のみに形成された分岐溝部214a、214bにより形成されていてもよいし、又は、第2流路部材220のみに形成された分岐溝部223a、223bにより形成されていてもよい。例えば、後述するように、Ya方向に傾斜することでZ1側からZ2側に向けてYa方向の幅が広がる領域Qにおいて、Z2側にある第1流路部材210のみに分岐溝部214a、214bを形成することで、COF基板98との干渉を防ぎつつ、第2流路242を配置する自由度を向上させることができる。また、Z2側からZ1側に向けてYa方向の幅が広がる領域Pにおいて、Z1側にある第2流路部材220のみに分岐溝部223a、223bを形成することで、COF基板98との干渉を防ぎつつ、第2流路242を配置する自由度を向上させることができる。 With respect to any of the second branch channels 262a and 262b, by forming the branch groove portions 214a, 214b, 223a, and 223b in the first channel member 210 and the second channel member 220, respectively, the second branch channel 262a, The cross-sectional area of each 262b is widened to reduce the pressure loss in the second branch flow passages 262a and 262b. The second branch flow paths 262a and 262b may be formed by the branch groove portions 214a and 214b formed only in the first flow path member 210, or may be formed only in the second flow path member 220. It may be formed by the branch groove portions 223a and 223b. For example, as described later, in the region Q in which the width in the Ya direction increases from the Z1 side to the Z2 side by inclining in the Ya direction, the branch groove portions 214a and 214b are provided only in the first flow path member 210 on the Z2 side. By forming it, it is possible to improve the degree of freedom in arranging the second flow path 242 while preventing interference with the COF substrate 98. Further, in the region P in which the width in the Ya direction expands from the Z2 side toward the Z1 side, the branch groove portions 223a and 223b are formed only in the second flow path member 220 on the Z1 side, so that the interference with the COF substrate 98 is prevented. The degree of freedom in arranging the second flow path 242 can be improved while preventing it.

第1分岐流路261には、第1交差流路251とは反対側の端部に第1垂直流路271が接続されている。具体的には、第3流路部材230をZ方向に貫通した貫通孔として第1垂直流路271が形成されている。 A first vertical flow path 271 is connected to the first branch flow path 261 at an end opposite to the first intersecting flow path 251. Specifically, the first vertical flow path 271 is formed as a through hole penetrating the third flow path member 230 in the Z direction.

本実施形態では、第1分岐流路261a1〜261a6、第1分岐流路261b1〜261b6のそれぞれに対して1個ずつ、すなわち全体として12個の第1垂直流路271a1〜271a6、第1垂直流路271b1〜271b6が接続されている。 In the present embodiment, one for each of the first branch flow channels 261a1-261a6 and the first branch flow channels 261b1-261b6, that is, 12 first vertical flow channels 271a1-271a6, the first vertical flow channel as a whole. The paths 271b1-271b6 are connected.

同様に、第2分岐流路262には、第2交差流路252とは反対側の端部に第2垂直流路272が接続されている。具体的には、第2流路部材220には、Z方向に貫通した貫通孔224が設けられ、第3流路部材230にはZ方向に貫通した貫通孔233が設けられている。これらの貫通孔224及び貫通孔233が連通して第2垂直流路272が形成されている。 Similarly, the second vertical flow channel 272 is connected to the second branch flow channel 262 at the end opposite to the second cross flow channel 252. Specifically, the second flow path member 220 is provided with a through hole 224 penetrating in the Z direction, and the third flow path member 230 is provided with a through hole 233 penetrating in the Z direction. The through hole 224 and the through hole 233 communicate with each other to form a second vertical flow path 272.

本実施形態では、第2分岐流路262a1〜262a6、第2分岐流路262b1〜262b6のそれぞれに対して1個ずつ、すなわち全体として12個の第2垂直流路272a1〜272a6、第2垂直流路272b1〜272b6が接続されている。 In the present embodiment, one for each of the second branch channels 262a1-262a6 and each of the second branch channels 262b1-262b6, that is, 12 second vertical channels 272a1-272a6 and the second vertical channels as a whole. The paths 272b1-272b6 are connected.

以降、第1垂直流路271aと記載した際には、第1垂直流路271a1〜271a6を指し、第1垂直流路271bと記載した際には、第1垂直流路271b1〜271b6を指し、第1垂直流路271と記載した際には、第1垂直流路271a及び第1垂直流路271bの全てを指すものとする。 Hereinafter, when described as the first vertical flow channel 271a, refers to the first vertical flow channel 271a1-271a6, when described as the first vertical flow channel 271b, refers to the first vertical flow channel 271b1-271b6, When described as the first vertical flow channel 271, it means all of the first vertical flow channel 271a and the first vertical flow channel 271b.

同様に、第2垂直流路272aと記載した際には、第2垂直流路272a1〜272a6を指し、第2垂直流路272bと記載した際には、第2垂直流路272b1〜272b6を指し、第2垂直流路272と記載した際には、第2垂直流路272a及び第2垂直流路272bの全てを指すものとする。 Similarly, when described as the second vertical flow path 272a, it refers to the second vertical flow paths 272a1 to 272a6, and when described as the second vertical flow path 272b, it refers to the second vertical flow paths 272b1 to 272b6. , The second vertical flow channel 272, it means all of the second vertical flow channel 272a and the second vertical flow channel 272b.

さらに、垂直流路270と記載した際には、上述した24個の垂直流路の全てを指しているものとする。 Further, when the vertical flow path 270 is described, it means that all of the above-mentioned 24 vertical flow paths are indicated.

なお、図ではY方向に並んだ6つの第1垂直流路271a1〜第1垂直流路271a6のうち、第1垂直流路271a2〜第1垂直流路271a5の符号の図示は省略しているが、Y1側からY2側に順番に並んでいるものとする。第1垂直流路271b1〜第1垂直流路271b6、第2垂直流路272a1〜第2垂直流路272b6、第2垂直流路272b1〜第2垂直流路272b6についても同様である。 Note that, in the drawing, among the six first vertical flow paths 271a1 to 271a6 arranged in the Y direction, reference numerals of the first vertical flow path 271a2 to the first vertical flow path 271a5 are omitted. , Y1 side to Y2 side. The same applies to the first vertical flow channel 271b1 to the first vertical flow channel 271b6, the second vertical flow channel 272a1 to the second vertical flow channel 272b6, and the second vertical flow channel 272b1 to the second vertical flow channel 272b6.

上述した垂直流路270は、第3流路部材230のZ1側の開口である接続部290を有している。詳細は後述するが、接続部290は、ヘッド本体110に設けられた導入路44に連通している。 The vertical flow path 270 described above has the connection portion 290 that is an opening on the Z1 side of the third flow path member 230. Although the details will be described later, the connecting portion 290 communicates with the introduction path 44 provided in the head main body 110.

本実施形態では、第1垂直流路271a1〜271a6、第1垂直流路271b1〜271b6は、第3流路部材230のZ1側の開口である第1接続部291a1〜291a6、第1接続部291b1〜291b6をそれぞれ有している。同様に、第2垂直流路272a1〜272a6、第2垂直流路272b1〜272b6は、第3流路部材230のZ1側の開口である第2接続部292a1〜292a6、第2接続部292b1〜292b6をそれぞれ有している。 In the present embodiment, the first vertical flow paths 271a1 to 271a6 and the first vertical flow paths 271b1 to 271b6 are the first connection parts 291a1 to 291a6 and the first connection parts 291b1 that are openings on the Z1 side of the third flow path member 230. .About.291b6 respectively. Similarly, the second vertical flow passages 272a1 to 272a6 and the second vertical flow passages 272b1 to 272b6 are second connection portions 292a1 to 292a6 and second connection portions 292b1 to 292b6 which are openings on the Z1 side of the third flow passage member 230. Have respectively.

第1接続部291a1、第1接続部291b1、第2接続部292a1、第2接続部292b1は、6つのヘッド本体110のうちの一つに接続される。その他、第1接続部291a2〜291a6、第1接続部291b2〜291b6、第2接続部292a2〜292a6、第2接続部292b2〜292b6についても同様である。すなわち、一つのヘッド本体110に対して、第1流路241a、第1流路241b、第2流路242a及び第2流路242bが接続されている。 The first connecting portion 291a1, the first connecting portion 291b1, the second connecting portion 292a1, and the second connecting portion 292b1 are connected to one of the six head main bodies 110. In addition, the same applies to the first connecting portions 291a2 to 291a6, the first connecting portions 291b2 to 291b6, the second connecting portions 292a2 to 292a6, and the second connecting portions 292b2 to 292b6. That is, the first flow path 241a, the first flow path 241b, the second flow path 242a, and the second flow path 242b are connected to one head body 110.

以降、第1接続部291aと記載した際には、第1接続部291a1〜291a6を指し、第1接続部291bと記載した際には、第1接続部291b1〜291b6を指し、第1接続部291と記載した際には、第1接続部291a及び第1接続部291bの全てを指すものとする。 Hereinafter, when it is described as the first connection portion 291a, it refers to the first connection portions 291a1 to 291a6, and when described as the first connection portion 291b, it refers to the first connection portions 291b1 to 291b6 and the first connection portion. When described as 291, all the 1st connection part 291a and the 1st connection part 291b shall be pointed out.

同様に、第2接続部292aと記載した際には、第2接続部292a1〜292a6を指し、第2接続部292bと記載した際には、第2接続部292b1〜292b6を指し、第2接続部292と記載した際には、第2接続部292a及び第2接続部292bの全てを指すものとする。 Similarly, when described as the second connection portion 292a, it refers to the second connection portions 292a1 to 292a6, and when described as the second connection portion 292b, it refers to the second connection portions 292b1 to 292b6 and the second connection portions. When described as the part 292, the second connecting part 292a and the second connecting part 292b are all referred to.

さらに、接続部290と記載した際には、上述した24個の接続部の全てを指しているものとする。 Furthermore, when described as the connection portion 290, it is assumed that all of the above-mentioned 24 connection portions are referred to.

上述したように、本実施形態に係る流路部材200は、4つの流路240、すなわち第1流路241a及び第1流路241bと、第2流路242a及び第2流路242bとを備えている。そして、各流路240は、インクの入口となる導入流路280から交差流路250までが一本の流路として構成され、交差流路250から分岐流路260に分岐し、垂直流路270及び接続部290を経由して複数のヘッド本体110に接続されている。 As described above, the flow channel member 200 according to the present embodiment includes the four flow channels 240, that is, the first flow channel 241a and the first flow channel 241b, and the second flow channel 242a and the second flow channel 242b. ing. Each of the flow paths 240 is configured as a single flow path from the introduction flow path 280 serving as an ink inlet to the cross flow path 250, branches from the cross flow path 250 into the branch flow path 260, and the vertical flow path 270. And to the plurality of head main bodies 110 via the connecting portion 290.

本実施形態では、ブラックBk、マゼンタM、シアンC、イエローYの4色のインクを用いる。図示しない液体貯留手段から、シアンCは第1流路241aに、イエローYは第1流路241bに、ブラックBkは第2流路242aに、マゼンタMは第2流路242bに供給される。そして、各色のインクは第1流路241a、第1流路241b、第2流路242a及び第2流路242bを流通し、各ヘッド本体110に供給される。 In this embodiment, four color inks of black Bk, magenta M, cyan C, and yellow Y are used. Cyan C is supplied to the first flow path 241a, yellow Y is supplied to the first flow path 241b, black Bk is supplied to the second flow path 242a, and magenta M is supplied to the second flow path 242b from a liquid storage means (not shown). Then, the ink of each color flows through the first flow path 241a, the first flow path 241b, the second flow path 242a, and the second flow path 242b, and is supplied to each head main body 110.

また、流路部材200には、ヘッド本体110に設けられたCOF基板98が挿通する開口部201が設けられている。本実施形態では、第1流路部材210には、Z方向に対して傾斜し、かつ貫通した第1開口部215が形成されている。第2流路部材220には、Z方向に対して傾斜し、かつ貫通した第2開口部225が形成されている。第3流路部材230には、Z方向に対して傾斜し、かつ貫通した第3開口部235が形成されている。 Further, the flow path member 200 is provided with an opening 201 through which the COF substrate 98 provided in the head body 110 is inserted. In the present embodiment, the first flow path member 210 is formed with a first opening 215 that is inclined and penetrates the Z direction. The second flow path member 220 is formed with a second opening 225 which is inclined with respect to the Z direction and penetrates. A third opening 235 that is inclined with respect to the Z direction and penetrates is formed in the third flow path member 230.

これらの第1開口部215、第2開口部225及び第3開口部235は互いに連通しており、一つの開口部201を構成している。開口部201は、Xa方向に長尺な開口形状を有しており、6個の開口部201がY方向に並設されている。 The first opening 215, the second opening 225, and the third opening 235 communicate with each other to form one opening 201. The opening 201 has an elongated opening shape in the Xa direction, and six openings 201 are arranged side by side in the Y direction.

ここで、図16に示すように、本実施形態に係るCOF基板98は、Z方向においてヘッド本体110に近い一端部である下側端部98cと、Z方向においてヘッド本体110から遠い他端部である上側端部98dとを有している。上側端部98dのXa方向の幅は、下側端部98cのXa方向の幅よりも狭くなるように形成されている。すなわち、フレキシブル配線基板98の面方向の幅について、他端部は一端部よりも狭くなるように形成されている。 Here, as shown in FIG. 16, the COF substrate 98 according to the present embodiment has a lower end 98c that is one end closer to the head body 110 in the Z direction and the other end farther from the head body 110 in the Z direction. And an upper end portion 98d which is The width of the upper end portion 98d in the Xa direction is formed to be narrower than the width of the lower end portion 98c in the Xa direction. That is, with respect to the width of the flexible wiring board 98 in the surface direction, the other end is formed to be narrower than the one end.

本実施形態では、COF基板98の第1開口部215及び第3開口部235に挿通された部分はXa方向の幅は一定の矩形状であり、第2開口部225に挿通された部分はZ1側からZ2側に向けてXa方向の幅が狭くなるように形成された台形状に形成されている。 In the present embodiment, the portion of the COF substrate 98 that is inserted into the first opening 215 and the third opening 235 has a rectangular shape with a constant width in the Xa direction, and the portion that is inserted into the second opening 225 is Z1. The trapezoidal shape is formed so that the width in the Xa direction becomes narrower from the side toward the Z2 side.

一方、流路部材200の開口部201は、液体噴射面20aに垂直なZ方向においてヘッド本体110に近い第1開口236(すなわち、第3開口部235のZ1側の開口)及びヘッド本体110から遠い第2開口216(すなわち、第1開口部215のZ2側の開口)を有している。 On the other hand, the opening 201 of the flow path member 200 is closer to the head body 110 in the Z direction perpendicular to the liquid ejecting surface 20 a (that is, the Z1 side opening of the third opening 235) and the head body 110. It has a distant second opening 216 (that is, an opening on the Z2 side of the first opening 215).

第2開口216は、第1開口236よりもXa方向に狭く形成されている。すなわち、開口部201としては、Z方向のZ1からZ2に向けてXa方向の幅が狭くなっている。具体的には、開口部201は、COF基板98が収容される形状とされており、開口部201のXa方向の幅がCOF基板98のXa方向の幅よりも若干広く形成されている。 The second opening 216 is formed narrower in the Xa direction than the first opening 236. That is, as the opening 201, the width in the Xa direction becomes narrower from Z1 in the Z direction to Z2. Specifically, the opening 201 is shaped to accommodate the COF substrate 98, and the width of the opening 201 in the Xa direction is slightly wider than the width of the COF substrate 98 in the Xa direction.

図17を用いて、流路部材200の開口部201に挿通したCOF基板98の傾斜について説明する。図17(a)は、図10〜図13のE−E’線断面図であり、本実施形態に係る記録ヘッドのうち一つのヘッド本体をXa方向のXa2側からXa1側をみた概略側面図である。また、図17(b)は比較例に係るヘッド本体をXa方向のXa2側からXa1側をみた概略側面図である。 The inclination of the COF substrate 98 inserted into the opening 201 of the flow path member 200 will be described with reference to FIG. FIG. 17A is a cross-sectional view taken along the line EE′ of FIGS. 10 to 13, and is a schematic side view of one of the recording heads according to the present embodiment, which is viewed from the Xa2 side to the Xa1 side in the Xa direction. Is. FIG. 17B is a schematic side view of the head body according to the comparative example as seen from the Xa2 side to the Xa1 side in the Xa direction.

図17(a)に示すように、流路部材200には、第1開口部215、第2開口部225及び第3開口部235が連通して一つの開口部201が設けられている。ここで、流路部材200の開口部201のうちヘッド本体110側の第1開口236と、ヘッド本体110とは反対側の第2開口216とを通るCOF基板98の面を平面B(ただし、図17(a)には直線として示してある。)とし、第1開口236において平面Bと交わり、Xa方向に平行であり、かつ液体噴射面20aに垂直な平面を平面A(ただし、図17には直線として示してある。)とすると、COF基板98の面である平面Bは、液体噴射面20aに垂直な平面Aに対して交差している。 As shown in FIG. 17A, the flow path member 200 is provided with one opening 201 by communicating the first opening 215, the second opening 225, and the third opening 235. Here, of the openings 201 of the flow path member 200, a surface of the COF substrate 98 that passes through the first opening 236 on the head body 110 side and the second opening 216 on the side opposite to the head body 110 is a plane B (however, 17A, a plane that intersects the plane B at the first opening 236, is parallel to the Xa direction, and is perpendicular to the liquid ejection surface 20a is the plane A (however, FIG. Is shown as a straight line), the plane B, which is the plane of the COF substrate 98, intersects the plane A perpendicular to the liquid ejection surface 20a.

具体的には、第2開口216と第1開口236とは、Ya方向において異なる位置に設けられている。本実施形態では、6個の開口部201の各第2開口216は、対応する各第1開口236よりもYa方向のYa2側に所定距離だけずれて配置されている。すなわち、開口部201は、平面Bの第2開口216側がYa方向のYa1側からYa2側に向けて平面Aから遠ざかるように傾斜している。 Specifically, the second opening 216 and the first opening 236 are provided at different positions in the Ya direction. In the present embodiment, the second openings 216 of the six openings 201 are arranged on the Ya2 side in the Ya direction with a predetermined distance from the corresponding first openings 236. That is, the opening 201 is inclined such that the second opening 216 side of the plane B is away from the plane A from the Ya1 side in the Ya direction toward the Ya2 side.

COF基板98は、ヘッド本体110側に設けられた接続口43(図8参照)から、流路部材200に向けて延設されており、ヘッド本体110と中継基板140(図2参照)との間にある流路部材200において、COF基板98の一方面の側に傾斜している。ここで、COF基板98の両面のうち、この一方面を第1面98a、他方面を第2面98bとする。この場合、COF基板98の第1面98aは、平面Aと向かい合わない側、すなわちYa方向のYa2側の面となる。COF基板98の第2面98bは、平面Aと向かい合う側、すなわちYa方向のYa1側の面となる。 The COF substrate 98 extends from the connection port 43 (see FIG. 8) provided on the head body 110 side toward the flow path member 200, and connects the head body 110 and the relay substrate 140 (see FIG. 2). In the flow path member 200 between them, the COF substrate 98 is inclined to the one surface side. Here, of both surfaces of the COF substrate 98, this one surface is referred to as a first surface 98a and the other surface is referred to as a second surface 98b. In this case, the first surface 98a of the COF substrate 98 is the surface that does not face the plane A, that is, the surface on the Ya2 side in the Ya direction. The second surface 98b of the COF substrate 98 is the surface facing the plane A, that is, the surface on the Ya1 side in the Ya direction.

また、「COF基板98がヘッド本体110と中継基板140との間にある流路部材200において第1面98a側に傾斜する」とは、COF基板98のうち、ヘッド本体110から流路部材200の開口部201の出口にあたる第2開口216に至るまでの部分が第1面98a側に傾斜していることをいう。したがって、第2開口216から突出して中継基板140の表面に接続される部分についてはどの様な方向に傾斜していても構わない。 Further, “the COF substrate 98 inclines toward the first surface 98a side in the flow path member 200 between the head body 110 and the relay board 140” means that the flow path member 200 in the COF board 98 extends from the head body 110. The part up to the second opening 216 corresponding to the exit of the opening 201 is inclined toward the first surface 98a side. Therefore, the portion protruding from the second opening 216 and connected to the surface of the relay substrate 140 may be inclined in any direction.

開口部201のYa方向の幅は、傾斜したCOF基板98のうち開口部201に最も近い部分からの間隔が、Ya1側及びYa2側の間でほぼ一定になるようになっている。具体的には、第1流路部材210、第2流路部材220及び第3流路部材230毎に、傾斜したCOF基板98からほぼ一定の間隔を取るように、第1開口部215、第2開口部225及び第3開口部235のそれぞれのYa方向の幅が決められている。流路部材200の加工を容易にするために、第1開口部215、第2開口部225及び第3開口部235は、Z方向に沿って貫通した開口となっており、Xa方向から見た開口部201の形状は、図17のように階段形状になっている。もちろんCOF基板98の傾斜に沿って、開口部201も傾斜させてもよい。開口部201に挿通されたCOF基板98は、このような開口部201に挿通されることで、平面Aに対して第1面98a側(すなわち、Ya2側)に傾斜している。 The width of the opening 201 in the Ya direction is such that the distance from the portion of the inclined COF substrate 98 closest to the opening 201 is substantially constant between the Ya1 side and the Ya2 side. Specifically, each of the first flow path member 210, the second flow path member 220, and the third flow path member 230 is provided with a first opening 215, a first flow path member 215, and a third flow path member 230 so that the first flow path member 210, the second flow path member 220, and the third flow path member 230 have a substantially constant distance from the inclined COF substrate 98. The widths of the second opening 225 and the third opening 235 in the Ya direction are determined. In order to facilitate the processing of the flow path member 200, the first opening 215, the second opening 225, and the third opening 235 are openings penetrating along the Z direction and viewed from the Xa direction. The shape of the opening 201 is stepwise as shown in FIG. Of course, the opening 201 may also be inclined along the inclination of the COF substrate 98. The COF substrate 98 inserted through the opening 201 is inclined toward the first surface 98a side (that is, the Ya2 side) with respect to the plane A by being inserted through the opening 201.

なお、図8に示すように、ヘッド本体110のZ2側の表面には、接続口43の周囲に導入路44が形成されており、COF基板98の接続口43に対して、Ya1側に設けられた導入路44とYa2側に設けられた導入路44とは、接続口43とのYa方向の間隔が互いにほぼ同じになるように配置されている。対して、COF基板98は、COF基板98のYa方向において両側からのリード電極90との電気的な接続を容易に行うため、その接続部分が接続口43のほぼ中央に来るように配置されている。言い換えると、COF基板98はYa方向において接続口43の一方側の側面に寄せて配置されており(図8ではYa1側)、その結果、COF基板98はYa方向においていずれかの導入路44に寄せて配置されている。しかし、流路部材200においては、COF基板98とのYa方向の間隔を、Ya1側及びYa2側のいずれにおいてもほぼ一定とすることで、流路部材200とCOF基板98との接触を防ぐとともに、Ya方向の小型化を図っている。 As shown in FIG. 8, an introduction path 44 is formed around the connection port 43 on the surface of the head body 110 on the Z2 side, and is provided on the Ya1 side with respect to the connection port 43 of the COF substrate 98. The introduction path 44 and the introduction path 44 provided on the Ya2 side are arranged such that the distance between the introduction path 44 and the connection port 43 in the Ya direction is substantially the same. On the other hand, the COF substrate 98 is arranged so that its connecting portion is located substantially at the center of the connection port 43 in order to easily electrically connect to the lead electrodes 90 from both sides in the Ya direction of the COF substrate 98. There is. In other words, the COF substrate 98 is arranged close to one side surface of the connection port 43 in the Ya direction (Ya1 side in FIG. 8 ), and as a result, the COF substrate 98 is connected to any of the introduction paths 44 in the Ya direction. They are placed close together. However, in the flow channel member 200, the distance between the flow channel member 200 and the COF substrate 98 in the Ya direction is set to be substantially constant on both the Ya1 side and the Ya2 side to prevent contact between the flow channel member 200 and the COF substrate 98. , Ya direction.

流路部材200に設けられた第1流路241は、上述したように傾斜したCOF基板98の第1面98a側の第1分岐流路261を介して、対応するヘッド本体110に接続され、第2流路242は、第2面98b側の第2分岐流路262を介して、対応するヘッド本体110に接続されている。 The first flow channel 241 provided in the flow channel member 200 is connected to the corresponding head body 110 via the first branch flow channel 261 on the first surface 98a side of the COF substrate 98 inclined as described above, The second flow path 242 is connected to the corresponding head main body 110 via the second branch flow path 262 on the second surface 98b side.

このことを図17及び図18を用いて詳細に説明する。図18は本実施形態に係る記録ヘッドのうち一つのヘッド本体をZ方向のZ2側からZ1側をみた概略平面図である。 This will be described in detail with reference to FIGS. 17 and 18. FIG. 18 is a schematic plan view of one head body of the recording head according to the present embodiment as seen from the Z2 side to the Z1 side in the Z direction.

図18に示すように、ヘッド本体110のZ2側の表面には、接続口43の周囲に4つの導入路44が形成されている(図7参照)。具体的には、2つの導入路44a、導入路44bが接続口43よりもYa方向のYa1側に開口し、かつXa方向の位置は接続口43に包含される位置である。導入路44aは導入路44bよりもXa方向においてXa1側に配置されている。また、残り2つの導入路44c、導入路44dは接続口43よりもYa方向のYa2側に開口し、かつXa方向の位置は接続口43に包含される位置である。導入路44cは導入路44dよりもXa方向においてXa1側に配置されている。なお、接続口43は第1開口236とほぼ同形状に形成され、接続口43及び第1開口236は連通している。 As shown in FIG. 18, four introduction paths 44 are formed around the connection port 43 on the surface of the head body 110 on the Z2 side (see FIG. 7). Specifically, the two introduction paths 44a and 44b are opened to the Ya1 side in the Ya direction with respect to the connection port 43, and the position in the Xa direction is a position included in the connection port 43. The introduction path 44a is arranged closer to the Xa1 side than the introduction path 44b in the Xa direction. The remaining two introduction paths 44c and 44d open toward the Ya2 side in the Ya direction with respect to the connection port 43, and the position in the Xa direction is a position included in the connection port 43. The introduction path 44c is arranged on the Xa1 side in the Xa direction with respect to the introduction path 44d. The connection port 43 is formed in substantially the same shape as the first opening 236, and the connection port 43 and the first opening 236 communicate with each other.

導入路44aは、第2流路242a、すなわち第2導入流路282a(図14参照)、第2交差流路252a、第2分岐流路262a、第2垂直流路272a及び第2接続部292aに接続されている。 The introduction passage 44a is the second passage 242a, that is, the second introduction passage 282a (see FIG. 14), the second intersecting passage 252a, the second branch passage 262a, the second vertical passage 272a, and the second connecting portion 292a. It is connected to the.

導入路44bは、第2流路242b、すなわち第2導入流路282b(図15参照)、第2交差流路252b、第2分岐流路262b、第2垂直流路272b及び第2接続部292bに接続されている。 The introduction passage 44b is the second passage 242b, that is, the second introduction passage 282b (see FIG. 15), the second intersecting passage 252b, the second branch passage 262b, the second vertical passage 272b, and the second connecting portion 292b. It is connected to the.

導入路44cは、第1流路241a、すなわち第1導入流路281a(図14参照)、第1交差流路251a、第1分岐流路261a、第1垂直流路271a及び第1接続部291aに接続されている。 The introduction path 44c is the first flow path 241a, that is, the first introduction flow path 281a (see FIG. 14), the first intersecting flow path 251a, the first branch flow path 261a, the first vertical flow path 271a, and the first connecting portion 291a. It is connected to the.

導入路44dは、第1流路241b、すなわち第1導入流路281b(図15参照)、第1交差流路251b、第1分岐流路261b、第1垂直流路271b及び第1接続部291bに接続されている。 The introduction passage 44d is the first passage 241b, that is, the first introduction passage 281b (see FIG. 15), the first intersecting passage 251b, the first branch passage 261b, the first vertical passage 271b, and the first connecting portion 291b. It is connected to the.

これらの導入路44a〜導入路44dと、第1流路241及び第2流路242との関係は6つのヘッド本体110について同様である。 The relationship between the introduction passages 44a to 44d and the first flow passage 241 and the second flow passage 242 is the same for the six head main bodies 110.

このように、第1流路241は、COF基板98の第1面98a側にてヘッド本体110に接続されている。また、第2流路242は、COF基板98の第2面98b側にてヘッド本体110に接続されている。 Thus, the first flow path 241 is connected to the head body 110 on the side of the first surface 98a of the COF substrate 98. The second flow path 242 is connected to the head body 110 on the second surface 98b side of the COF substrate 98.

ここで、図17(a)に示すように、COF基板98は第1面98a側に傾斜しており、また、開口部201も第1面98a(Y2側)に傾斜させている。このように開口部201が第1面98a側に傾斜すると、流路部材200の流路240を形成可能な領域に疎密を設けることができる。 Here, as shown in FIG. 17A, the COF substrate 98 is inclined to the first surface 98a side, and the opening 201 is also inclined to the first surface 98a (Y2 side). When the openings 201 are inclined toward the first surface 98a in this way, it is possible to provide sparseness and denseness in the region of the flow channel member 200 where the flow channels 240 can be formed.

「流路部材200の流路240を形成可能な領域に疎密が設けられている」とは、流路部材200のヘッド本体110に対向した領域Tが、COF基板98が傾斜するYa方向において、COF基板98が挿通する開口部201を挟んで、COF基板98の第1面98a側の領域Pと、第2面98b側の領域Qとに分割され、Z方向の同一平面内においては領域QのYa方向の幅が領域PのYa方向の幅よりも広いことをいう。 “The area of the flow path member 200 where the flow path 240 can be formed is sparse and dense” means that the area T of the flow path member 200 facing the head body 110 is in the Ya direction in which the COF substrate 98 is inclined. The COF substrate 98 is divided into a region P on the first surface 98a side and a region Q on the second surface 98b side of the opening 201 through which the COF substrate 98 is inserted, and the region Q is in the same plane in the Z direction. Is larger than the width of the region P in the Ya direction.

本実施形態では、流路部材200を構成する第1流路部材210、第2流路部材220及び第3流路部材230のヘッド本体110に対向した領域Tのうち、Ya方向において第1面98a側が領域Pであり、第2面98b側が領域Qである。図にはこれら領域P、Qを示すハッチを施してある。 In the present embodiment, of the first flow path member 210, the second flow path member 220, and the third flow path member 230 forming the flow path member 200, the first surface in the Ya direction of the region T facing the head body 110. The area 98a is the area P, and the second surface 98b is the area Q. In the drawing, hatching is shown to indicate these regions P and Q.

本実施形態では、図17(a)に示すように、COF基板98の傾斜により、上述した同一面の一つである第1流路部材210のZ1側の表面においては、領域QはYa方向の幅U1の分だけ広がり、その分、領域PはYa方向の幅が狭くなっている。同様に、上述した同一面の一つである第2流路部材220のZ2側の表面においては、領域QはYa方向の幅U2の分だけ広がり、その分、領域PはYa方向の幅が狭くなっている。 In the present embodiment, as shown in FIG. 17A, due to the inclination of the COF substrate 98, in the surface on the Z1 side of the first flow path member 210, which is one of the same planes described above, the region Q is in the Ya direction. The width of the area P in the Ya direction is narrowed by that much. Similarly, on the surface on the Z2 side of the second flow path member 220, which is one of the same planes described above, the region Q expands by the width U2 in the Ya direction, and the region P has a width in the Ya direction correspondingly. It is getting narrower.

領域QのYa方向の幅は、Z方向のZ1側からZ2側に向かうほど広くなっている。本実施形態では、第1流路部材210の方が第2流路部材220よりも領域P及び領域Qの疎密の差は大きい。同様に、第2流路部材220の方が第3流路部材230よりも領域P及び領域Qの疎密の差は大きい。すなわち、流路部材200は、ヘッド本体110から中継基板140へ向かうほど、領域P及び領域Qの疎密の差が大きくなっている。 The width of the region Q in the Ya direction becomes wider from the Z1 side in the Z direction toward the Z2 side. In the present embodiment, the difference in the density of the region P and the region Q of the first flow path member 210 is larger than that of the second flow path member 220. Similarly, the difference in density of the region P and the region Q of the second flow path member 220 is larger than that of the third flow path member 230. That is, in the flow path member 200, the difference in density between the region P and the region Q increases as it goes from the head body 110 to the relay substrate 140.

そして、このように疎な領域Qでは、液体噴射面20aに平行な平面内に設けられた第2分岐流路262が位置する。「疎な領域Qで第2流路242が液体噴射面20aに沿って設けられた部分を有する」とは、少なくとも第2流路242を構成する流路の一部が、上述した領域Qにおいて、液体噴射面20aに平行な平面内に設けられてからヘッド本体110の導入路44に接続されていることをいう。 Then, in such a sparse region Q, the second branch flow passage 262 provided in a plane parallel to the liquid ejection surface 20a is located. “The second flow path 242 has a portion provided along the liquid ejection surface 20a in the sparse region Q” means that at least a part of the flow path forming the second flow path 242 is in the above-described region Q. It means that it is provided in a plane parallel to the liquid ejection surface 20a and then connected to the introduction path 44 of the head body 110.

本実施形態では、第2流路242aのうち第2分岐流路262aが領域Qに設けられている。また、第2流路242bのうち第2分岐流路262bが領域Qに設けられている。 In the present embodiment, the second branch flow channel 262a of the second flow channel 242a is provided in the region Q. Further, the second branch flow passage 262b of the second flow passage 242b is provided in the region Q.

本実施形態に係る記録ヘッド100では、COF基板98を第1面98a側に傾斜させたことで、流路部材200の開口部201も第1面98a側に移動させて設けることができ、流路部材200の流路240を形成可能な領域に疎密を設けることができる。これにより、第2流路242を構成する第2分岐流路262を、領域Pよりも広い領域Qに配置することができる。すなわち、第2分岐流路262をより広い領域Qに配置することができるので、ヘッド本体110の配置などに応じた最適な第2流路242を構成することが容易となる。換言すれば、領域Qが広いほど、第2流路242の配置の自由度が高い。ここでいう第2流路242の配置の自由度とは、領域QのYa方向の幅に比例する概念であり、自由度が高いほど、第2流路242を領域Qに形成しやすいことを意味する。なお、本実施形態の第2流路242は、本発明の第2面側において、液体噴射面に沿って設けられた部分を有する流路に相当し、本実施形態の第2分岐流路262は、液体噴射面に沿って設けられた流路に相当する。 In the recording head 100 according to the present embodiment, the COF substrate 98 is inclined toward the first surface 98a side, so that the opening 201 of the flow path member 200 can also be provided while being moved to the first surface 98a side. Density can be provided in a region of the road member 200 where the flow path 240 can be formed. As a result, the second branch flow passage 262 forming the second flow passage 242 can be arranged in the area Q wider than the area P. That is, since the second branch flow passage 262 can be arranged in a wider area Q, it becomes easy to configure the optimum second flow passage 242 according to the arrangement of the head body 110. In other words, the wider the area Q, the higher the degree of freedom in the arrangement of the second flow path 242. The degree of freedom of arrangement of the second flow path 242 here is a concept that is proportional to the width of the area Q in the Ya direction, and the higher the degree of freedom, the easier it is to form the second flow path 242 in the area Q. means. The second flow path 242 of the present embodiment corresponds to a flow path having a portion provided along the liquid ejecting surface on the second surface side of the present invention, and the second branch flow path 262 of the present embodiment. Corresponds to a flow path provided along the liquid ejection surface.

また、本実施形態に係る記録ヘッド100によれば、COF基板98を傾斜させることで、Ya方向に幅が拡幅した疎な領域Qを形成することができる。このようにYa方向の幅が広がったことで、第2流路242の一部を構成する第2分岐流路262を、Ya方向にCOF基板98に干渉することなく形成することができる。 Further, according to the recording head 100 according to the present embodiment, by sloping the COF substrate 98, it is possible to form the sparse region Q whose width is increased in the Ya direction. Since the width in the Ya direction is widened in this manner, the second branch flow channel 262 forming a part of the second flow channel 242 can be formed in the Ya direction without interfering with the COF substrate 98.

これにより、第2流路部材220のYa方向において、後述の比較例と比較すると、第2分岐流路262と平面Aとの間隔を狭くすることができるので、第2流路部材220、すなわち流路部材200をYa方向に小型化することができ、これにより記録ヘッド100のYa方向の幅を小型化することができる。 As a result, in the Ya direction of the second flow path member 220, the distance between the second branch flow path 262 and the plane A can be narrowed, as compared with a comparative example described later, so that the second flow path member 220, that is, The flow path member 200 can be downsized in the Ya direction, and thus the width of the recording head 100 in the Ya direction can be downsized.

さらに、上述したように、本実施形態ではCOF基板98が接続口43のYa1側の側面に寄せて配置されており、その結果、接続口43のYa1側にある導入路44にCOF基板98が寄せて配置されている。そして、垂直流路270を介して導入路44と接続される分岐流路260が、COF基板98とYa方向に一定の間隔を取るために、COF基板98のYa1側の分岐流路260の配置の自由度が狭まっている。しかしながら、COF基板98をその反対側であるYa2側に傾斜させることで、このような場合であっても、COF基板98のYa1側の分岐流路260の配置の自由度を高め、流路部材200のYa方向の小型化を図ることができる。 Further, as described above, in the present embodiment, the COF substrate 98 is arranged close to the side surface of the connection port 43 on the Ya1 side, and as a result, the COF substrate 98 is disposed in the introduction path 44 on the Ya1 side of the connection port 43. They are placed close together. The branch flow path 260 connected to the introduction path 44 via the vertical flow path 270 has a certain distance in the Ya direction from the COF substrate 98, so that the branch flow path 260 on the Ya1 side of the COF substrate 98 is arranged. The degree of freedom of is narrowing. However, by tilting the COF substrate 98 toward the Ya2 side which is the opposite side thereof, even in such a case, the degree of freedom in arranging the branch flow passage 260 on the Ya1 side of the COF substrate 98 is increased, and the flow passage member is formed. It is possible to reduce the size of 200 in the Ya direction.

ちなみに、COF基板98が傾斜していない記録ヘッドでは、上述したような小型化を図ることができない。このことを図17(a)及び図17(b)を用いて説明する。 By the way, in the recording head in which the COF substrate 98 is not inclined, the above-mentioned miniaturization cannot be achieved. This will be described with reference to FIGS. 17(a) and 17(b).

図17(a)に示した第2開口部225と第2分岐流路262aとのYa方向の間隔をVとする。一方、図17(b)に、比較例に係る記録ヘッドの概略側面図を示す。比較例に係る記録ヘッド100’は、COF基板98の傾斜と、COF基板98に沿った開口部201の配置と、ヘッド本体110に対向した領域Tの大きさ以外は記録ヘッド100と同じ構成であるとする。 The distance in the Ya direction between the second opening 225 and the second branch flow passage 262a shown in FIG. 17A is V. On the other hand, FIG. 17B shows a schematic side view of the recording head according to the comparative example. The recording head 100 ′ according to the comparative example has the same configuration as the recording head 100 except for the inclination of the COF substrate 98, the arrangement of the openings 201 along the COF substrate 98, and the size of the region T facing the head body 110. Suppose there is.

記録ヘッド100’において、液体噴射面20aに平行な平面内に設けられた第2分岐流路262a’を、Ya方向においてCOF基板98に干渉することなく形成するために、記録ヘッド100と同じ間隔Vを保って形成すると、記録ヘッド100において拡幅した幅Uの分だけ、Ya方向のYa1側に第2分岐流路262a’を設けなければならない。したがって、比較例に係る記録ヘッド100’においては、流路部材200のYa方向において、第2分岐流路262a’と平面Aとの間隔が広くなってしまい、流路部材200のYa方向の小型化を図ることができない。換言すれば、図17(a)に示すように、COF基板98を第1面98a側に傾斜したために、間隔Vを保ちながらも、幅U1又は幅U2の分だけ第2垂直流路272aをCOF基板98側に近づけることができる。すなわち、流路部材200のYa方向の小型化を図ることができる。 In the recording head 100 ′, in order to form the second branch flow channel 262 a ′ provided in a plane parallel to the liquid ejection surface 20 a without interfering with the COF substrate 98 in the Ya direction, the same spacing as the recording head 100 is formed. If V is maintained, the second branch flow path 262a' must be provided on the Ya1 side in the Ya direction by the width U widened in the recording head 100. Therefore, in the recording head 100 ′ according to the comparative example, in the Ya direction of the flow path member 200, the distance between the second branch flow path 262 a ′ and the plane A becomes wide, and the flow path member 200 is small in the Ya direction. Cannot be realized. In other words, as shown in FIG. 17A, since the COF substrate 98 is inclined toward the first surface 98a side, the second vertical channel 272a is formed by the width U1 or the width U2 while maintaining the interval V. It can be brought closer to the COF substrate 98 side. That is, it is possible to reduce the size of the flow path member 200 in the Ya direction.

また、本実施形態に係る記録ヘッド100では、第1流路241及び第2流路242の第1交差流路251a及び第2交差流路252aを、また、第1交差流路251b及び第2交差流路252bを、それぞれ液体噴射面20aに直交するZ方向における位置を変えてZ方向に重ねて配置した。これにより、複数の交差流路を全て同一平面内に形成する場合に比較して、記録ヘッド100の液体噴射面20aの面方向における形状を小型化することができる。 In addition, in the recording head 100 according to the present embodiment, the first cross channel 251a and the second cross channel 252a of the first flow channel 241 and the second flow channel 242, and the first cross channel 251b and the second cross channel 251a, respectively. The intersecting flow paths 252b are arranged so as to overlap each other in the Z direction while changing their positions in the Z direction orthogonal to the liquid ejection surface 20a. As a result, the shape of the recording head 100 in the surface direction of the liquid ejection surface 20a can be made smaller than in the case where a plurality of intersecting flow paths are all formed in the same plane.

さらに、本実施形態に係る記録ヘッド100では、第2分岐流路262とヘッド本体110とを、液体噴射面20aに垂直な方向に沿う第2垂直流路272により接続している。よって、液体噴射面20aに垂直なZ方向から見た平面視において、第2垂直流路272の範囲は、液体噴射面20aに垂直な方向に傾斜した流路により第2分岐流路262とヘッド本体110とを接続する場合において、この傾斜した流路が占める範囲よりも小さい。すなわち、本実施形態のように、第2交差流路252とヘッド本体110とを第2垂直流路272で接続することで、流路部材200の前記平面視における大きさを小型化することが可能となる。同様に、第1分岐流路261とヘッド本体110とを、液体噴射面20aに垂直な方向に沿う第1垂直流路271により接続したので、これによっても、流路部材200の前記平面視における大きさを小型化することが可能となる。 Further, in the recording head 100 according to the present embodiment, the second branch flow passage 262 and the head main body 110 are connected by the second vertical flow passage 272 along the direction perpendicular to the liquid ejection surface 20a. Therefore, in a plan view seen from the Z direction perpendicular to the liquid ejecting surface 20a, the range of the second vertical flow path 272 is defined by the flow path inclined in the direction perpendicular to the liquid ejecting surface 20a and the second branch flow path 262 and the head. When connecting to the main body 110, it is smaller than the range occupied by this inclined flow path. That is, as in the present embodiment, the size of the flow path member 200 in the plan view can be reduced by connecting the second intersecting flow path 252 and the head main body 110 with the second vertical flow path 272. It will be possible. Similarly, since the first branch flow channel 261 and the head main body 110 are connected by the first vertical flow channel 271 along the direction perpendicular to the liquid ejecting surface 20a, this also allows the flow channel member 200 in the plan view. It is possible to reduce the size.

なお、垂直流路270のYa方向の幅を、分岐流路260のYa方向の幅よりも小さくしてもよい。その場合には、そうでない場合よりも、開口部201と間隔Vを保ちつつ垂直流路270や分岐流路260の配置の自由度をさらに高めることができる。加えて、垂直流路270の断面積を、分岐流路260の断面積よりも小さくしてもよい。その場合には、垂直流路270における流速を速めることができ、垂直流路270における気泡を効率的に排出することが可能となる。 The width of the vertical flow path 270 in the Ya direction may be smaller than the width of the branch flow path 260 in the Ya direction. In that case, the degree of freedom in arranging the vertical flow passage 270 and the branch flow passage 260 can be further increased while maintaining the distance V from the opening 201 as compared with the case where it is not. In addition, the cross-sectional area of the vertical flow passage 270 may be smaller than the cross-sectional area of the branch flow passage 260. In that case, the flow velocity in the vertical flow path 270 can be increased, and the bubbles in the vertical flow path 270 can be efficiently discharged.

ここで、仮に、領域Pに第2流路242を形成するとする。この場合、上述したように、流路部材200は、ヘッド本体110からZ方向に遠いほど、領域QのYa方向における幅は広くなり、領域PのYa方向における幅が狭くなる。特に、COF基板98が接続口43のYa2側の側面に対して寄せて配置されていると仮定すると、COF基板98とYa方向に一定の間隔を取るために、領域PのYa方向における幅が一層狭くなる。このため、Ya方向において接続口43の側面にCOF基板98が近接する側(例えばYa2側)と、Ya方向においてCOF基板98が傾斜する側(同様に、例えばYa2側)とが一致する場合に、領域Pに第2流路242を配置する自由度は低く、第2流路242の配置が非常に困難となってしまう。しかしながら、本実施形態では、第2分岐流路262を領域Qに形成することで、第2分岐流路262の配置の自由度を高め、流路部材200のYa方向の小型化を図っている。また、Ya方向において接続口43の側面にCOF基板98が近接する側(例えばYa1側)と、Ya方向においてCOF基板98が傾斜する側(同様に、例えばYa2側)とを一致させないことで、Ya方向において接続口43の側面にCOF基板98が近接する側の分岐流路260の配置の自由度を高め、流路部材200のYa方向の小型化を図っている。 Here, it is assumed that the second flow path 242 is formed in the region P. In this case, as described above, as the flow path member 200 is farther from the head body 110 in the Z direction, the width of the region Q in the Ya direction becomes wider and the width of the region P in the Ya direction becomes narrower. In particular, assuming that the COF substrate 98 is arranged close to the side surface of the connection port 43 on the Ya2 side, the width of the region P in the Ya direction is set to have a constant distance from the COF substrate 98 in the Ya direction. It gets narrower. Therefore, when the side where the COF substrate 98 is close to the side surface of the connection port 43 in the Ya direction (for example, the Ya2 side) and the side where the COF substrate 98 is inclined in the Ya direction (also, for example, the Ya2 side) match. However, the degree of freedom in arranging the second flow path 242 in the region P is low, which makes it extremely difficult to arrange the second flow path 242. However, in the present embodiment, by forming the second branch flow channel 262 in the region Q, the degree of freedom in the arrangement of the second branch flow channel 262 is increased, and the flow channel member 200 is miniaturized in the Ya direction. .. Further, by not matching the side where the COF substrate 98 is close to the side surface of the connection port 43 in the Ya direction (for example, the Ya1 side) and the side where the COF substrate 98 is inclined in the Ya direction (also, for example, the Ya2 side), In the Ya direction, the degree of freedom in arranging the branch flow channel 260 on the side where the COF substrate 98 is close to the side surface of the connection port 43 is increased, and the flow channel member 200 is downsized in the Ya direction.

一方、仮に、領域Qに第1流路241を形成したとする。この場合、流路部材200は、ヘッド本体110からZ方向に遠いほど、領域QのYa方向における幅は広くなるものの、Z方向においてヘッド本体110に近い側に第1流路241を形成することになるので、Ya方向に拡幅した領域Qを十分に活用できない。特に、本実施形態のように、液体噴射面20aの面方向における形状を小型化するために、第1交差流路251a及び第2交差流路252aや、第1交差流路251b及び第2交差流路252bを、Z方向における位置を変えてZ方向に重ねて配置することを前提とすると、第1分岐流路261及び第2分岐流路262の両方を領域Qに形成する場合は、第2分岐流路262を領域Qに形成し、かつ、第1分岐流路261を領域Pに形成する場合に比べて自由度は高くない。しかしながら、本実施形態では、第1分岐流路261を領域Pに形成することで、第1分岐流路261の配置の自由度を高め、流路部材200のYa方向の小型化を図っている。また、Z方向に重ねて配置される第1交差流路251及び第2交差流路252について、それぞれの第1分岐流路261及び第2分岐流路262をZ方向に重ねて配置しないことで、第1分岐流路261及び第2分岐流路262の配置の自由度を高め、流路部材200のYa方向の小型化を図っている。 On the other hand, it is assumed that the first flow path 241 is formed in the area Q. In this case, the flow path member 200 has the first flow path 241 formed on the side closer to the head body 110 in the Z direction, although the width in the Ya direction of the region Q becomes wider as the distance from the head body 110 in the Z direction increases. Therefore, the region Q widened in the Ya direction cannot be fully utilized. In particular, as in the present embodiment, in order to reduce the size of the liquid ejection surface 20a in the surface direction, the first cross flow passage 251a and the second cross flow passage 252a, the first cross flow passage 251b, and the second cross flow passage 251b are formed. Assuming that the flow path 252b is arranged in the Z direction while changing its position in the Z direction, the first branch flow path 261 and the second branch flow path 262 are both formed in the region Q. The degree of freedom is not so high as compared with the case where the two-branch flow channel 262 is formed in the region Q and the first branch flow channel 261 is formed in the region P. However, in this embodiment, by forming the first branch flow channel 261 in the region P, the degree of freedom in the arrangement of the first branch flow channel 261 is increased, and the flow channel member 200 is miniaturized in the Ya direction. .. Further, regarding the first intersecting flow passage 251 and the second intersecting flow passage 252 which are arranged in the Z direction in an overlapping manner, the first branch flow passage 261 and the second branch flow passage 262 are not arranged in the Z direction in an overlapping manner. The degree of freedom of arrangement of the first branch flow channel 261 and the second branch flow channel 262 is increased, and the flow channel member 200 is downsized in the Ya direction.

また、上述したように、本実施形態に係るCOF基板98は、上側端部98dの面方向(Xa方向)の幅が下側端部98c(図16参照)の面方向の幅よりも狭い。そして、COF基板98にあわせて開口部201が形成されている。したがって、COF基板98の上側端部98dが面方向に狭くなっている分、流路部材200には第2開口216の面方向の両外側に第2流路242を形成可能な領域Wが形成されている。 In addition, as described above, in the COF substrate 98 according to the present embodiment, the width of the upper end portion 98d in the surface direction (Xa direction) is narrower than the width of the lower end portion 98c (see FIG. 16) in the surface direction. The opening 201 is formed so as to match the COF substrate 98. Therefore, since the upper end 98d of the COF substrate 98 is narrowed in the surface direction, the flow path member 200 is formed with the regions W in which the second flow paths 242 can be formed on both outer sides of the second opening 216 in the surface direction. Has been done.

本実施形態では、第2流路242の第2交差流路252や第2分岐流路262は、第1流路部材210と第2流路部材220とに形成されている。したがって、第1流路部材210と第2流路部材220とにおいて、開口部215、225のXa方向の外側部分が領域Wとなる(図16参照)。本実施形態では、第1交差流路251と第2交差流路252とが、Z方向に重なるように配置されている(図14,図15参照)。この場合に、第1交差流路251と第2交差流路252とをそれぞれZ方向へ液体噴射面20aに射影した場合に、それぞれの像が完全に一致しなくてもよく、互いの像の一部が重なるような配置であってもよく、さらに、第2交差流路252の像の少なくとも一部が第1交差流路251の像よりも、X方向において第1交差流路251の像の内側にあってもよい。すなわち、第2流路242aの第2交差流路252aが領域Wを通るように形成されていてもよい。なお、第2交差流路252aに限らず、第2交差流路252bや第2分岐流路262が領域Wを通るように形成してもよい。これらの場合、例えば第2交差流路252や第2分岐流路262が、Z方向から見た場合に、COF基板98の一端部である下側端部98cと干渉する位置に設けられていたとしても、Z方向において第2交差流路252や第2分岐流路262が設けられた位置ではCOF基板98との干渉を避けることができる。 In the present embodiment, the second intersecting flow channel 252 and the second branch flow channel 262 of the second flow channel 242 are formed in the first flow channel member 210 and the second flow channel member 220. Therefore, in the first flow path member 210 and the second flow path member 220, the outer side portion of the openings 215, 225 in the Xa direction becomes the region W (see FIG. 16). In the present embodiment, the first intersecting flow passage 251 and the second intersecting flow passage 252 are arranged so as to overlap in the Z direction (see FIGS. 14 and 15). In this case, when the first intersecting flow channel 251 and the second intersecting flow channel 252 are projected on the liquid ejection surface 20a in the Z direction, the respective images do not have to be completely coincident with each other, and the images of the respective images do not match each other. The arrangement may be such that a part thereof overlaps, and further, at least a part of the image of the second intersecting channel 252 is an image of the first intersecting channel 251 in the X direction rather than the image of the first intersecting channel 251. May be inside. That is, the second intersecting flow passage 252a of the second flow passage 242a may be formed so as to pass through the region W. It should be noted that the second crossing channel 252b and the second branching channel 262 may be formed so as to pass through the region W, not limited to the second crossing channel 252a. In these cases, for example, the second cross flow passage 252 and the second branch flow passage 262 are provided at positions that interfere with the lower end portion 98c that is one end portion of the COF substrate 98 when viewed from the Z direction. Even in this case, it is possible to avoid interference with the COF substrate 98 at the position where the second intersecting channel 252 and the second branch channel 262 are provided in the Z direction.

このように、下側端部98cよりも上側端部98dが狭いCOF基板98を形成し、COF基板98にあわせて開口部201を設けることで、Xa方向においてCOF基板98の外側に第2流路242aを形成する領域Wを設けることができる。第2流路242bについても同様である。これにより、より一層、流路部材200に第2流路242を配置する自由度が向上する。 As described above, by forming the COF substrate 98 in which the upper end portion 98d is narrower than the lower end portion 98c and providing the opening 201 in accordance with the COF substrate 98, the second flow is provided outside the COF substrate 98 in the Xa direction. A region W forming the path 242a can be provided. The same applies to the second flow path 242b. This further improves the degree of freedom in arranging the second flow path 242 in the flow path member 200.

また、図17(a)に示すように、流路部材200の開口部201には、駆動回路97が設けられたCOF基板98が挿通されている。本実施形態では、COF基板98の第2面98b側に駆動回路97が設けられている。 Moreover, as shown in FIG. 17A, a COF substrate 98 provided with a drive circuit 97 is inserted through the opening 201 of the flow path member 200. In the present embodiment, the drive circuit 97 is provided on the second surface 98b side of the COF substrate 98.

ここで、駆動回路97が開口部201の内面に接触する虞がある。そこで、駆動回路97と開口部201の内面との接触を避けるべく、開口部201のYa方向の幅は駆動回路97の厚さの分だけ広くなっている。開口部201のYa方向の幅を拡幅することにより、駆動回路97と開口部201の内面との接触を効果的に抑制することができる。また、このとき、駆動回路97は、Z方向において、第2流路部材220の第2開口部225と、第3流路部材230の第3開口部235に収容される位置に配置され、第1流路部材210の第1開口部215に収容される位置に配置されていない。これにより、Ya方向において、第1開口部215の幅を、第2開口部225の幅や第3開口部235の幅よりも小さくすることができる。すなわち、Ya方向においてCOF基板98の外側に第2流路242を形成する領域を設けることができる。これにより、より一層、流路部材200に第2流路242を配置する自由度が向上する。 Here, the drive circuit 97 may contact the inner surface of the opening 201. Therefore, in order to avoid contact between the drive circuit 97 and the inner surface of the opening 201, the width of the opening 201 in the Ya direction is widened by the thickness of the drive circuit 97. By increasing the width of the opening 201 in the Ya direction, it is possible to effectively suppress contact between the drive circuit 97 and the inner surface of the opening 201. Further, at this time, the drive circuit 97 is arranged in a position to be housed in the second opening 225 of the second flow path member 220 and the third opening 235 of the third flow path member 230 in the Z direction, and It is not arranged in a position to be accommodated in the first opening 215 of the one-passage member 210. Thereby, in the Ya direction, the width of the first opening 215 can be made smaller than the width of the second opening 225 and the width of the third opening 235. That is, a region for forming the second flow path 242 can be provided outside the COF substrate 98 in the Ya direction. This further improves the degree of freedom in arranging the second flow path 242 in the flow path member 200.

なお、仮に、駆動回路97を第1流路部材210の第1開口部215に収容される位置に配置すると、第1開口部215のYa方向の幅を小さくすることができない。そのため、流路部材200に第2流路242を配置する自由度を向上させることができない。 It should be noted that if the drive circuit 97 is placed at a position to be accommodated in the first opening 215 of the first flow path member 210, the width of the first opening 215 in the Ya direction cannot be reduced. Therefore, the degree of freedom in arranging the second flow path 242 in the flow path member 200 cannot be improved.

一方、本実施形態に係る記録ヘッド100では、駆動回路97を、Z方向において第2開口部225と第3開口部235とに収容される位置に配置し、第1開口部215のYa方向の幅を小さくすることで、第2交差流路252や第2分岐流路262といった第2流路242を流路部材200に配置する自由度を向上させている。 On the other hand, in the recording head 100 according to the present embodiment, the drive circuit 97 is arranged at a position housed in the second opening 225 and the third opening 235 in the Z direction, and the first opening 215 in the Ya direction is arranged. By reducing the width, the degree of freedom in arranging the second flow paths 242 such as the second intersecting flow paths 252 and the second branch flow paths 262 in the flow path member 200 is improved.

ここで、密な領域Pにおいてヘッド本体110に接続された第1流路241について説明する。密な領域Pでは、液体噴射面20aに平行な平面内に設けられた第1分岐流路261が位置する。「密な領域Pで第1流路241がヘッド本体110に接続されている」とは、少なくとも第1流路241を構成する流路の一部が上述した領域Pに形成されてヘッド本体110の導入路44に接続されていることをいう。なお、本実施形態の第1分岐流路261は、本発明の第1面側において、液体噴射面に沿って設けられた流路に相当する。 Here, the first flow path 241 connected to the head body 110 in the dense region P will be described. In the dense region P, the first branch flow channel 261 provided in a plane parallel to the liquid ejection surface 20a is located. “The first flow path 241 is connected to the head main body 110 in the dense area P” means that at least a part of the flow path configuring the first flow path 241 is formed in the above-described area P and the head main body 110 is formed. It is connected to the introduction path 44 of. The first branch flow channel 261 of the present embodiment corresponds to the flow channel provided along the liquid ejection surface on the first surface side of the present invention.

密な領域Pでは、Ya方向の幅が縮小したため、第1分岐流路261を配置するのに十分な幅の領域Pが確保できない場合がある。しかしながら、本実施形態では、Z方向において、第1流路241を第2流路242よりもヘッド本体110側に配置している。 In the dense region P, since the width in the Ya direction is reduced, it may not be possible to secure a region P having a sufficient width for disposing the first branch flow channel 261. However, in the present embodiment, the first flow path 241 is arranged closer to the head body 110 than the second flow path 242 in the Z direction.

これにより、COF基板98の傾斜により領域PのYa方向の幅が狭くなったとしても、それに影響されずに、第1流路241をヘッド本体110に接続することができる。 Accordingly, even if the width of the region P in the Ya direction becomes narrow due to the inclination of the COF substrate 98, the first flow path 241 can be connected to the head main body 110 without being affected thereby.

〈他の実施形態〉
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
<Other Embodiments>
Although one embodiment of the present invention has been described above, the basic configuration of the present invention is not limited to the above.

例えば、実施形態1に係る記録ヘッド100の各ヘッド本体110は、ノズル列a及びノズル列bがXa方向に沿い、かつ、ノズル列a及びノズル列bを搬送方向であるX方向に対して傾斜させる場合は、上述したようにX方向とXa方向とが0度より大きく90度未満で交差させればよいが、交差させない態様の記録ヘッド100も本発明に含む。あるいは、搬送方向であるX方向に対して、ノズル列の方向であるXa方向が垂直になるようにヘッド本体110を備えた記録ヘッドを構成してもよい。この場合、Xa方向はY方向に一致し、Ya方向はX方向に一致することになる。したがって、実施形態1に係る記録ヘッド100では、Ya方向に小型化されたが、Ya方向をX方向に一致させた態様の記録ヘッド100では、Ya方向に一致するX方向、すなわち記録シートSの搬送方向に小型化できることになる。 For example, in each head body 110 of the recording head 100 according to the first embodiment, the nozzle row a and the nozzle row b are along the Xa direction, and the nozzle row a and the nozzle row b are inclined with respect to the X direction which is the transport direction. In the case of causing it, as described above, the X direction and the Xa direction may intersect at an angle greater than 0 degrees and less than 90 degrees, but the present invention also includes the recording head 100 in a mode in which the X direction and the Xa direction do not intersect. Alternatively, the recording head including the head main body 110 may be configured such that the Xa direction that is the direction of the nozzle row is perpendicular to the X direction that is the transport direction. In this case, the Xa direction coincides with the Y direction, and the Ya direction coincides with the X direction. Therefore, the recording head 100 according to the first embodiment is downsized in the Ya direction. However, in the recording head 100 in a mode in which the Ya direction is aligned with the X direction, the X direction corresponding to the Ya direction, that is, the recording sheet S The size can be reduced in the transport direction.

他に、実施形態1に係る記録ヘッド100は、第1流路241及び第2流路242を有し、それぞれがZ方向に異なる位置で第1交差流路251及び第2交差流路252を有していたが、このような態様に限定されない。例えば、液体噴射面20aに平行な流路は同一平面にのみ設けられた流路部材を備えた記録ヘッドであってもよい。例えば、上述した実施形態であれば、第1流路部材210及び第2流路部材220を備えた流路部材に第2流路のみを設けた記録ヘッドであってもよい。このように、第1流路241と第2流路242とのいずれかを設けない記録ヘッドであれば、記録ヘッド100をZ方向に小型化することができる。 In addition, the recording head 100 according to the first embodiment includes a first flow path 241 and a second flow path 242, and the first cross flow path 251 and the second cross flow path 252 are provided at different positions in the Z direction. However, the present invention is not limited to such an aspect. For example, the flow path parallel to the liquid ejecting surface 20a may be a recording head including a flow path member provided only on the same plane. For example, in the above-described embodiment, the recording head may include a flow path member including the first flow path member 210 and the second flow path member 220 and only the second flow path. As described above, if the recording head does not have the first flow path 241 or the second flow path 242, the recording head 100 can be downsized in the Z direction.

また、実施形態1に係る記録ヘッド100では、第1流路241a,第1流路241b、第2流路242a、第2流路242bに対して、それぞれ導入路44c、44d、44a、44bが接続されていたが、このような態様に限定されない。例えば、第1流路241a、第1流路241bに対して、それぞれ導入路44c、44bが接続され、第2流路242a、242bに対して、それぞれ導入路44a、44dが接続されてもよい。また、この場合に、上述のように第2流路のみを有し、第1流路を有さない記録ヘッドであってもよい。ヘッド本体110の配置などに応じた最適な流路を構成することができる。 Further, in the recording head 100 according to the first embodiment, the introduction passages 44c, 44d, 44a, and 44b are provided for the first passage 241a, the first passage 241b, the second passage 242a, and the second passage 242b, respectively. Although connected, it is not limited to such an aspect. For example, the introduction passages 44c and 44b may be connected to the first passage 241a and the first passage 241b, and the introduction passages 44a and 44d may be connected to the second passages 242a and 242b. .. Further, in this case, the recording head may have only the second flow path and not the first flow path as described above. An optimal flow path can be configured according to the arrangement of the head body 110 and the like.

また、第1流路部材210及び第2流路部材220を接着して第2流路242を形成し、第2流路部材220及び第3流路部材230を接着して第1流路241を形成したが、第1流路241及び第2流路242を形成する方法はこれらに限られない。例えば、三次元造型が可能な積層造形法により、2つ以上の流路部材を接着することなく一体的に造形してもよい。あるいは、個々の流路部材を三次元造型、金型成形(射出成形等)、切削加工、プレス加工により形成してもよい。 In addition, the first flow channel member 210 and the second flow channel member 220 are bonded to form the second flow channel 242, and the second flow channel member 220 and the third flow channel member 230 are bonded to each other to form the first flow channel 241. However, the method of forming the first flow channel 241 and the second flow channel 242 is not limited to these. For example, two or more flow path members may be integrally molded without adhering by a layered molding method capable of three-dimensional molding. Alternatively, the individual flow path members may be formed by three-dimensional molding, die molding (injection molding or the like), cutting work, or press work.

また、流路部材200には、第1流路241として2つの第1流路241a及び第1流路241bを有していたが、2つに限定されず、1本又は3本以上であってもよい。第2流路242についても同様である。 Further, the flow path member 200 has the two first flow paths 241a and 241b as the first flow paths 241, but the number is not limited to two, and one or three or more may be used. May be. The same applies to the second flow path 242.

第1交差流路251aは6つの第1分岐流路261aに分岐していたがこれに限定されず、分岐せずに一つのヘッド本体110に接続されていてもよいし、分岐する数も6つに限定されず2つ以上の複数に分岐してもよい。第1交差流路251b、第2交差流路252a及び第2交差流路252bについても同様である。また、第1面98a側に傾斜させるCOF基板98の数も6つに限定されず、一部のCOF基板98のみを傾斜させてもよい。 The first intersecting flow channel 251a is branched into six first branch flow channels 261a, but the first crossing flow channel 251a may be connected to one head main body 110 without branching, or the number of branching is six. The number is not limited to one, and may be branched into two or more. The same applies to the first intersecting channel 251b, the second intersecting channel 252a, and the second intersecting channel 252b. Further, the number of COF substrates 98 tilted to the first surface 98a side is not limited to six, and only some of the COF substrates 98 may be tilted.

また、第1交差流路251aは、第2流路部材220と第3流路部材230との間で水平にインクを流通させる流路としたがこのような態様に限定されない。すなわち、Z平面に対して傾斜した流路としてもよい。第1交差流路251b、第2交差流路252a及び第2交差流路252bについても同様である。 Further, the first intersecting flow channel 251a is a flow channel that allows the ink to flow horizontally between the second flow channel member 220 and the third flow channel member 230, but is not limited to such a mode. That is, the flow path may be inclined with respect to the Z plane. The same applies to the first intersecting channel 251b, the second intersecting channel 252a, and the second intersecting channel 252b.

さらに、第1垂直流路271aは液体噴射面20aに対して垂直に形成されていたがこのような態様に限定されない。すなわち、液体噴射面20aに対して傾斜していてもよい。第1垂直流路271b、第2垂直流路272a及び第2垂直流路272bについても同様である。 Further, the first vertical flow path 271a is formed perpendicularly to the liquid ejecting surface 20a, but the present invention is not limited to this mode. That is, it may be inclined with respect to the liquid ejection surface 20a. The same applies to the first vertical flow channel 271b, the second vertical flow channel 272a, and the second vertical flow channel 272b.

流路部材200に形成された開口部201の第2開口216は、第1開口236よりもXa方向の幅が狭くなっている必要はない。第2開口216と第1開口236のXa方向の幅をほぼ等しくし、長方形状のCOF基板98が収容されるような開口部であってもよい。また、逆に、第2開口216は、第1開口236よりもXa方向の幅が広くなっていてもよい。 The second opening 216 of the opening 201 formed in the flow path member 200 does not need to be narrower in width in the Xa direction than the first opening 236. The opening may be such that the widths of the second opening 216 and the first opening 236 in the Xa direction are substantially equal and the rectangular COF substrate 98 is accommodated. On the contrary, the second opening 216 may be wider than the first opening 236 in the Xa direction.

また、フレキシブル配線基板としてCOF基板98を備えていたが、フレキシブルプリント基板(FPC)であってもよい。また、COF基板98が接続口43のYa1側の側面に寄せて配置されていなくても、COF基板98とリード電極90との電気的な接続が行われていればよい。 Further, although the COF board 98 is provided as the flexible wiring board, it may be a flexible printed board (FPC). Further, even if the COF substrate 98 is not arranged close to the side surface of the connection port 43 on the Ya1 side, it is sufficient that the COF substrate 98 and the lead electrode 90 are electrically connected.

また、実施形態1では、保持部材120と流路部材200とを接着剤などにより固定したが、一体化してもよい。すなわち、流路部材200のZ1側に保持部121と足部122とを設けてもよい。これにより、保持部材120をZ方向に積層しない分だけZ方向に小型化できる。また、保持部121が流路部材200に設けられることにより、流路部材200が複数のヘッド本体110を収容できればよく、中継基板140を収容しなくてもよいので、XY方向にも小型化できる。さらに、複数の部材を一体化することで、部品点数を減らすことができる。なお、流路部材200を第1流路部材210、第2流路部材220及び第3流路部材230により構成する場合には、第3流路部材230のZ1側に保持部121と足部122とを設ければよい。 Further, in the first embodiment, the holding member 120 and the flow path member 200 are fixed with an adhesive or the like, but they may be integrated. That is, the holding portion 121 and the foot portion 122 may be provided on the Z1 side of the flow path member 200. This makes it possible to reduce the size of the holding member 120 in the Z direction as much as the holding members 120 are not stacked in the Z direction. Further, since the holding member 121 is provided in the flow path member 200, the flow path member 200 can accommodate the plurality of head main bodies 110, and the relay substrate 140 does not have to be housed, so that the size can be reduced in the XY directions. .. Furthermore, by integrating a plurality of members, the number of parts can be reduced. When the flow path member 200 is configured by the first flow path member 210, the second flow path member 220, and the third flow path member 230, the holding portion 121 and the foot portion are provided on the Z1 side of the third flow path member 230. 122 may be provided.

また、実施形態1では、ヘッド本体110をY方向に併設して、複数のヘッド本体110により記録ヘッド100を構成したが、1つのヘッド本体110により記録ヘッド100を構成してもよい。また、ヘッドユニット101に含まれる記録ヘッド100の個数についても特に限定はなく、2個以上を搭載してあってもよいし、一つの記録ヘッド100を単体でインクジェット式記録装置1に搭載してもよい。 Further, in the first embodiment, the head main body 110 is juxtaposed in the Y direction, and the recording head 100 is configured by the plurality of head main bodies 110, but the recording head 100 may be configured by one head main body 110. Also, the number of recording heads 100 included in the head unit 101 is not particularly limited, and two or more recording heads may be mounted, or one recording head 100 may be mounted alone in the inkjet recording apparatus 1. Good.

なお、上述したインクジェット式記録装置1では、ヘッドユニット101が固定されて記録シートSを搬送するだけで印刷を行う、所謂ライン型記録装置であるが、特にこれに限定されず、ヘッドユニット101や1つ又は複数の記録ヘッド100をキャリッジに搭載して、当該ヘッドユニット101又は記録ヘッド100を記録シートSの搬送方向と交差する主走査方向に移動させると共に、記録シートSを搬送して印刷を行う所謂シリアル型記録装置にも本発明を適用することができる。 The inkjet recording apparatus 1 described above is a so-called line-type recording apparatus in which the head unit 101 is fixed and printing is performed only by conveying the recording sheet S, but the present invention is not particularly limited to this, and the head unit 101 or One or a plurality of recording heads 100 are mounted on a carriage, the head unit 101 or the recording heads 100 are moved in the main scanning direction intersecting the conveyance direction of the recording sheets S, and the recording sheets S are conveyed to perform printing. The present invention can also be applied to a so-called serial type recording device that performs.

さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッドユニット全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED(電界放出ディスプレイ)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を具備する液体噴射ヘッドユニットにも適用することができる。 Furthermore, the present invention is broadly applicable to liquid jet head units in general, and for example, manufacture of recording heads such as various ink jet recording heads used in image recording devices such as printers, and color filters such as liquid crystal displays. In a liquid ejecting head unit including a color material ejecting head used for an electrode, an organic EL display, an electrode material ejecting head used for forming electrodes such as FEDs (field emission displays), and a bio-organic substance ejecting head used for biochip manufacturing. Can be applied.

また、本発明の配線基板は、液体噴射ヘッドに用いられる場合に限定されず、任意の電子回路等に適用することもできる。 Further, the wiring board of the present invention is not limited to the case of being used for a liquid jet head, and can be applied to any electronic circuit or the like.

1 インクジェット式記録装置(液体噴射装置)、43 接続口、 44a、44b、44c、44d 導入路、 97 駆動回路、 98 COF基板、 98a 第1面、 98b 第2面、 98c 下側端部、 98d 上側端部、 100 記録ヘッド、 101 ヘッドユニット、 110 ヘッド本体、 140 中継基板、 200 流路部材、 201 開口部、 210 第1流路部材、 216 第2開口、 220 第2流路部材、 230 第3流路部材、 236 第1開口、 240 流路、 241 第1流路、 242 第2流路、 251 第1交差流路、 252 第2交差流路、 261 第1分岐流路、 262 第2分岐流路、 271 第1垂直流路、 272 第2垂直流路、 281 第1導入流路、 282 第2導入流路、 291 第1接続部、 292 第2接続部、 300 圧電アクチュエーター 1 inkjet recording device (liquid ejecting device), 43 connection port, 44a, 44b, 44c, 44d introduction path, 97 drive circuit, 98 COF substrate, 98a first surface, 98b second surface, 98c lower end portion, 98d Upper end part, 100 recording head, 101 head unit, 110 head body, 140 relay substrate, 200 flow path member, 201 opening part, 210 first flow path member, 216 second opening, 220 second flow path member, 230th 3 flow path members, 236 first opening, 240 flow path, 241 first flow path, 242 second flow path, 251 first cross flow path, 252 second cross flow path, 261 first branch flow path, 262 second flow path Branch flow path, 271 first vertical flow path, 272 second vertical flow path, 281 first introduction flow path, 282 second introduction flow path, 291 first connection part, 292 second connection part, 300 piezoelectric actuator

Claims (8)

第1方向に積層された複数の基板から構成された液体噴射ヘッドであって、
複数の圧力発生室と、
複数の圧力発生室と連通し、前記第1方向に対して垂直な第2方向を長手方向とする複数のマニホールドと、
前記第2方向に沿う複数の分岐流路と、
複数の前記マニホールドと複数の前記分岐流路とをそれぞれ接続し、前記第1方向に貫通する複数の貫通孔と、
複数の前記分岐流路と接続され、前記第1方向に対して垂直な第3方向を長手方向とする流路と、
を備え、
前記第3方向は、前記第1方向から見て、0度よりも大きく90度よりも小さい角度で前記第2方向に対して交差し、
複数の前記マニホールドは、前記第3方向に配列され、
複数の前記分岐流路は、前記第3方向に配列されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
A liquid jet head comprising a plurality of substrates stacked in a first direction,
Multiple pressure generating chambers,
A plurality of manifolds communicating with a plurality of pressure generating chambers and having a second direction perpendicular to the first direction as a longitudinal direction;
A plurality of branch channels along the second direction,
A plurality of through-holes that connect the plurality of manifolds and the plurality of branch flow paths, respectively, and that penetrate in the first direction;
A flow path that is connected to the plurality of branch flow paths and has a third direction perpendicular to the first direction as a longitudinal direction;
Equipped with
The third direction intersects the second direction at an angle larger than 0 degrees and smaller than 90 degrees when viewed from the first direction,
A plurality of the manifolds are arranged in the third direction,
The liquid jet head according to claim 1, wherein the plurality of branch flow paths are arranged in the third direction.
複数の電極と、
前記第1方向において、複数の前記電極間に配置された圧電体層と、
を備え、
前記電極は、前記第1方向において、前記分岐流路と前記圧力発生室との間に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
Multiple electrodes,
A piezoelectric layer disposed between the plurality of electrodes in the first direction,
Equipped with
The liquid jet head according to claim 1, wherein the electrode is arranged between the branch flow path and the pressure generating chamber in the first direction.
液体を吐出する複数のノズルが形成されたノズルプレートを備え、
前記マニホールドの一部は、前記第1方向において、前記圧力発生室と前記ノズルプレートとの間に配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体噴射ヘッド。
A nozzle plate having a plurality of nozzles for ejecting liquid,
The liquid ejecting head according to claim 1, wherein a part of the manifold is arranged between the pressure generating chamber and the nozzle plate in the first direction.
複数の前記基板は、
前記ノズルと前記圧力発生室を連通する連通路と、前記マニホールドの一部と、を含む第1基板と、
前記圧力発生室を含む第2基板と、
を含み、
前記流路と前記分岐流路と前記貫通孔とは、複数の前記基板のうち、前記第1方向において、前記第2基板に対して前記ノズルプレートと反対側に配置された複数の基板から構成され、
前記第1基板は、前記第1方向において、前記第2基板と前記ノズルプレートとの間に配置されていることを特徴とする請求項3に記載の液体噴射ヘッド。
A plurality of said substrates,
A first substrate including a communication passage that connects the nozzle and the pressure generating chamber, and a part of the manifold;
A second substrate including the pressure generating chamber;
Including,
The flow path, the branch flow path, and the through hole are composed of a plurality of substrates, of the plurality of substrates, which are arranged on the opposite side of the second plate in the first direction from the nozzle plate. Was
The liquid jet head according to claim 3, wherein the first substrate is arranged between the second substrate and the nozzle plate in the first direction.
液体を吐出する複数のノズルが形成されたノズルプレートを備え、
前記ノズルプレートは、シリコン基板であることを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
A nozzle plate having a plurality of nozzles for ejecting liquid,
The liquid jet head according to claim 1, wherein the nozzle plate is a silicon substrate.
前記マニホールドと前記分岐流路とは、互いに平行に沿うことを特徴とする請求項1乃至5の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。 The liquid jet head according to claim 1, wherein the manifold and the branch flow path are parallel to each other. 前記流路は、複数設けられ、
複数の前記流路は、液体の流動方向が互いに沿い、
複数の前記分岐流路は、前記第2方向において、複数の前記流路の間に設けられていることを特徴とする請求項1乃至6の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
The flow path is provided in plurality,
The plurality of flow paths have liquid flow directions along each other,
The liquid jet head according to claim 1, wherein the plurality of branch flow paths are provided between the plurality of flow paths in the second direction.
前記流路は、複数設けられ、
複数の前記流路は、点対称であり、
複数の前記分岐流路は、前記第2方向において、複数の前記流路の間に設けられていることを特徴とする請求項1乃至7の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
The flow path is provided in plurality,
The plurality of flow paths are point-symmetrical,
The liquid jet head according to claim 1, wherein the plurality of branch flow paths are provided between the plurality of flow paths in the second direction.
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