JP6602121B2 - Current introduction terminal, electron gun provided with the current introduction terminal, X-ray generator tube provided with the electron gun, and X-ray imaging apparatus provided with the X-ray generator tube - Google Patents
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Description
本発明は、真空外囲器内外を電気的に接続するのに用いられる電流導入端子、該電流導入端子を備えた電子銃、該電子銃を備えたX線発生管及び該X線発生管を備えたX線撮影装置に関する。 The present invention relates to a current introduction terminal used for electrically connecting the inside and outside of a vacuum envelope, an electron gun provided with the current introduction terminal, an X-ray generation tube provided with the electron gun, and the X-ray generation tube. The present invention relates to an X-ray imaging apparatus provided.
真空外囲器内外を電気的に接続する電流導入端子は、真空外囲器内部に設置した素子の駆動やヒーター類の加熱のための電流の供給の際に使用される。このような電流導入端子は、例えば医療機器、非破壊検査装置等に適用可能なX線発生管に用いられている。X線発生管は、電子銃と、重金属などからなるターゲットとを内包する。電子銃は、電子ビームを制御するための電極、電子を放出する電子放出部を駆動するためのヒーター、電流導入端子等を備えている。また、電流導入端子は、X線発生管を構成する真空外囲器の一部として構成されているために、真空気密性と耐熱性が必要とされる。電流導入端子は、導電線材と真空外囲器とを電気的に絶縁するため、絶縁部材に導電線材を貫通させた構造となっている。このため、絶縁部材と導電線材間の真空気密性を持たせる必要がある。この手法として、接合材を用いて真空気密性を付与する手法が用いられている。電流導入端子として、例えば特許文献1に開示された従来技術が挙げられる。 A current introduction terminal for electrically connecting the inside and outside of the vacuum envelope is used when driving an element installed inside the vacuum envelope and supplying a current for heating the heaters. Such a current introduction terminal is used for, for example, an X-ray generator tube applicable to a medical device, a nondestructive inspection apparatus, and the like. The X-ray generator tube contains an electron gun and a target made of heavy metal or the like. The electron gun includes an electrode for controlling an electron beam, a heater for driving an electron emission unit that emits electrons, a current introduction terminal, and the like. Further, since the current introduction terminal is configured as a part of the vacuum envelope constituting the X-ray generating tube, it needs vacuum hermeticity and heat resistance. The current introduction terminal has a structure in which the conductive wire is passed through the insulating member in order to electrically insulate the conductive wire from the vacuum envelope. For this reason, it is necessary to provide vacuum tightness between the insulating member and the conductive wire. As this technique, a technique of imparting vacuum tightness using a bonding material is used. As the current introduction terminal, for example, the conventional technique disclosed in Patent Document 1 can be cited.
しかしながら、上記接合材を用いて真空気密性を付与する手法では、接合材の固化に伴う収縮に起因する応力により絶縁部材にクラックが生じ、真空気密性を維持できなくなる場合があった。 However, in the method of imparting vacuum hermeticity using the above-mentioned bonding material, the insulating member may crack due to stress caused by shrinkage accompanying solidification of the bonding material, and the vacuum hermeticity may not be maintained.
本発明は、上記接合材に起因する、絶縁部材に加わる応力を低減し、絶縁部材のクラック発生を抑制し、電流導入端子及びこれを用いた装置の信頼性を向上させることを目的とする。 It is an object of the present invention to reduce the stress applied to the insulating member due to the bonding material, suppress the occurrence of cracks in the insulating member, and improve the reliability of the current introduction terminal and the apparatus using the current introducing terminal.
本発明は、上記課題を解決するために、
非金属材料を含有し互いに反対側に位置する二つの面を有する絶縁部材と、
前記絶縁部材の前記二つの面間を貫通する導電線材と、
前記二つの面のうち一方の面に前記導電線材を囲むように設けられた第1の金属含有層と、
前記第1の金属含有層の直径より大きい直径を有し、前記第1の金属含有層に対向し前記導電線材を囲むとともに前記第1の金属含有層との対向面に第2の金属含有層を有し前記非金属材料を含有する非金属ワッシャと、
前記第1の金属含有層と前記非金属ワッシャとの間で前記第1の金属含有層と前記非金属ワッシャにそれぞれ接し、前記導電線材を囲む接合材と、
を備え、
前記非金属ワッシャの径方向において、前記非金属ワッシャと前記接合材とが接する長さが前記第1の金属含有層と前記接合材とが接する長さより長いことを特徴とする電流導入端子を提供するものである。
また、本発明は、非金属材料を含有し互いに反対側に位置する二つの面を有する絶縁部材と、
前記絶縁部材の前記二つの面間を貫通する導電線材と、
前記二つの面のうち一方の面に前記導電線材を囲むように設けられた第1の金属含有層と、
前記第1の金属含有層に対向し前記導電線材を囲むとともに前記第1の金属含有層との対向面に第2の金属含有層を有し前記非金属材料を含有する非金属ワッシャと、
前記第1の金属含有層と前記非金属ワッシャとの間で前記第1の金属含有層と前記非金属ワッシャにそれぞれ接する間隙と、前記非金属ワッシャの前記絶縁部材との対向面とは反対側の面と、に配置され前記導電線材を囲む接合材と、
を備え、
前記非金属ワッシャの径方向において、前記非金属ワッシャと前記接合材とが接する長さが前記第1の金属含有層と前記接合材とが接する長さより長いことを特徴とする電流導入端子を提供するものである。
さらに、本発明は、互いに反対側に位置する二つの面を有する絶縁部材と、
前記絶縁部材の前記二つの面間を貫通する導電線材と、
前記二つの面のうち一方の面に前記導電線材を囲むように設けられた金属含有層と、
前記金属含有層の直径より大きい直径を有し、前記金属含有層に対向し前記導電線材を囲むワッシャと、
前記金属含有層と前記ワッシャとの間で前記金属含有層と前記ワッシャにそれぞれ接し、前記導電線材を囲む接合材と、
を備え、
前記ワッシャの径方向において、前記ワッシャと前記接合材とが接する長さが前記金属含有層と前記接合材とが接する長さより長く、前記ワッシャは前記金属含有層よりも前記接合材との濡れ性が高いことを特徴とする電流導入端子を提供するものである。
またさらに、本発明は、互いに反対側に位置する二つの面を有する絶縁部材と、
前記絶縁部材の前記二つの面間を貫通する導電線材と、
前記二つの面のうち一方の面に前記導電線材を囲むように設けられた金属含有層と、前記金属含有層に対向し前記導電線材を囲むワッシャと、
前記金属含有層と前記ワッシャとの間で前記金属含有層と前記ワッシャにそれぞれ接する間隙と、前記ワッシャの前記絶縁部材との対向面とは反対側の面と、に配置され前記導電線材を囲む接合材と、
を備え、
前記ワッシャの径方向において、前記ワッシャと前記接合材とが接する長さが前記金属含有層と前記接合材とが接する長さより長く、前記ワッシャは前記金属含有層よりも前記接合材との濡れ性が高いことを特徴とする電流導入端子を提供するものである。
In order to solve the above problems, the present invention
An insulating member having two surfaces that contain non-metallic materials and are located on opposite sides;
A conductive wire penetrating between the two surfaces of the insulating member;
A first metal-containing layer provided on one of the two surfaces so as to surround the conductive wire;
The second metal-containing layer has a diameter larger than the diameter of the first metal-containing layer, faces the first metal-containing layer , surrounds the conductive wire, and faces the first metal-containing layer. A non-metallic washer containing the non-metallic material ,
A bonding material that is in contact with the first metal-containing layer and the non-metallic washer between the first metal-containing layer and the non-metallic washer, and surrounds the conductive wire;
With
In the radial direction of the non-metallic washers, provide a current introduction terminal, characterized in that longer than the length of the length of said non-metallic washers and the bonding material is in contact said and bonding material is in contact with the first metal-containing layer To do.
The present invention also includes an insulating member having two surfaces that contain a nonmetallic material and are located on opposite sides of each other;
A conductive wire penetrating between the two surfaces of the insulating member;
A first metal-containing layer provided on one of the two surfaces so as to surround the conductive wire;
A metallic washer containing said non-metallic material has a second metal-containing layer on the opposite surface of the first metal-containing layer with facing the first metal-containing layer surrounding the conductive wire,
A gap in contact with the said non-metallic washer and the first metal-containing layer between said non-metallic washer and the first metal-containing layer, opposite to the surface facing the said insulating member of said non-metallic washer And a bonding material disposed on the surface and surrounding the conductive wire,
With
In the radial direction of the non-metallic washers, provide a current introduction terminal, characterized in that longer than the length of the length of said non-metallic washers and the bonding material is in contact said and bonding material is in contact with the first metal-containing layer To do.
Furthermore, the present invention provides an insulating member having two surfaces located on opposite sides of each other;
A conductive wire penetrating between the two surfaces of the insulating member;
A metal-containing layer provided on one surface of the two surfaces so as to surround the conductive wire;
A washer having a diameter greater than the diameter of the metal-containing layer, facing the metal-containing layer and surrounding the conductive wire;
A bonding material that is in contact with the metal-containing layer and the washer between the metal-containing layer and the washer, and surrounds the conductive wire;
With
In the radial direction of the washer, the length of contact between the washer and the bonding material is longer than the length of contact between the metal-containing layer and the bonding material, and the washer is wettable with the bonding material more than the metal-containing layer. The current introduction terminal is characterized by having a high current.
Still further, the present invention provides an insulating member having two surfaces located on opposite sides of each other;
A conductive wire penetrating between the two surfaces of the insulating member;
A metal-containing layer provided on one of the two surfaces so as to surround the conductive wire, a washer facing the metal-containing layer and surrounding the conductive wire,
The gap between the metal-containing layer and the washer is in contact with the metal-containing layer and the washer, and the surface of the washer opposite to the surface facing the insulating member, and surrounds the conductive wire. A bonding material;
With
In the radial direction of the washer, the length of contact between the washer and the bonding material is longer than the length of contact between the metal-containing layer and the bonding material, and the washer is wettable with the bonding material more than the metal-containing layer. The current introduction terminal is characterized by having a high current.
また、本発明は、
上記電流導入端子と、前記導電線材に電気的に接続された電子放出部又は電子放出部を加熱する加熱部の少なくともいずれか一方とを有することを特徴とする電子銃、
上記電子銃を備える陰極と、前記電子銃に対向するターゲットを備える陽極と、前記陰極と前記陽極との間において前記陰極と前記陽極とに接続される絶縁管とを備えることを特徴とするX線発生管、及び、
上記X線発生管と、前記X線発生管から放出され、被検体を透過したX線を検出するX線検出装置と、前記X線発生管と前記X線検出装置とを連携制御する制御装置とを有することを特徴とするX線撮影装置を提供するものでもある。
The present invention also provides:
An electron gun comprising: the current introduction terminal; and at least one of an electron emission portion electrically connected to the conductive wire or a heating portion for heating the electron emission portion;
A cathode comprising the electron gun, an anode comprising a target facing the electron gun, and an insulating tube connected to the cathode and the anode between the cathode and the anode X Line generator tube, and
The X-ray generation tube, an X-ray detection device that detects X-rays emitted from the X-ray generation tube and transmitted through the subject, and a control device that controls the X-ray generation tube and the X-ray detection device in a coordinated manner The present invention also provides an X-ray imaging apparatus characterized by comprising:
本発明は、前記ワッシャの径方向における接合材と接する長さを、金属含有層よりワッシャを大きくすることによって、接合材に起因する絶縁部材に加わる応力を低減し、絶縁部材のクラック発生を抑制し、真空気密性を向上させるものである。 The present invention reduces the stress applied to the insulating member caused by the bonding material by suppressing the occurrence of cracks in the insulating member by increasing the length of the washer in contact with the bonding material in the radial direction by making the washer larger than the metal-containing layer. Thus, the vacuum tightness is improved.
<第1の実施形態>
本発明の第1の実施形態を、図1を用いて説明する。図1(a)に示される電流導入端子101は、絶縁部材102、導電線材103、金属含有層104、ワッシャ105、接合材106で構成されている。絶縁部材102は、互いに反対側に位置する2つの面を有している。絶縁部材102は、上記2つの面間に導電線材103を貫通させ、この導電線材103を保持している。金属含有層104は、一方の面の導電線材103の周側を囲む領域に設けられている。ワッシャ105は、一方の面の側において、金属含有層104に対向し、導電線材103の周側を囲んで設けられている。接合材106は、電流導入端子101の導電線材103が貫通した構造における真空気密性を確保し、導電線材103、ワッシャ105及び絶縁部材102を互いに固定するために、絶縁部材102とワッシャ105の間に配置されている。接合材106は、金属含有層104とワッシャ105との間で、金属含有層104とワッシャ105にそれぞれ接し、導電線材103の周側を囲んで設けられている。また、接合材106の内周側は導電線材103に密着している。
<First Embodiment>
A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. A
本発明においては、ワッシャ105の径方向において、ワッシャ105と接合材106とが接する長さが金属含有層104と接合材106とが接する長さより長くなっている。この構成を採用していることにより、接合材106に起因する、絶縁部材102に加わる応力が減少し、絶縁部材102のクラック発生を低減させることができる。効果の理由については後述する。なお、図面では1本の導電線材103の付近のみを示しているが、通常、絶縁部材102には、必要な耐電圧を確保できる間隔を開けて複数の導電線材103が貫通して配置される。また、金属含有層104、ワッシャ105及び接合材106は、各導電線材103毎に分けて配置されるものである。なお、107〜109はそれぞれ接触面を示しており、107は金属含有層104と接合材106の接触面、108はワッシャ105と接合材106の接触面、109は絶縁部材102と金属含有層104の接触面である。
In the present invention, in the radial direction of the
絶縁部材102とワッシャ105は、図1(b)に示すように、絶縁部材102を真空側に位置させ、ワッシャ105を大気側に位置させる配置とすることができる。真空側と大気側とは、本発明の電流導入端子101を用いて図7に示すX線発生管701を構成した場合における内部空間710側とその外部側をいう。図1(b)に示す絶縁部材102とワッシャ105の配置とする場合、絶縁部材102が、X線発生管701の内部空間710を形成する容器の構造部材に気密かつ強固に接続される。内部空間710は真空雰囲気(減圧雰囲気)で、外部は大気圧雰囲気である。内部空間710とその外部間の差圧がワッシャ105(及び導電線材103)を、容器の構造部材への絶縁部材102の接合部へ押し付けるように働く。このため、この接合部の接合強度の安定性を向上させる点で有利である。
As shown in FIG. 1B, the insulating
絶縁部材102とワッシャ105は、図1(c)に示すように、絶縁部材102を大気側に位置させ、ワッシャ105を真空側に位置させる配置とすることもできる。図1(c)の配置の場合。絶縁部材102とワッシャ105を接合する接合材106が、図7に示すX線発生管701における内部空間710に配置されるため、接合材106の腐食抑制等の化学的安定性の点で有利である。なお、例えば図8で説明するX線発生装置802で用いる絶縁性液体812は、その純度の管理が比較的容易である。このX線発生装置802のX線発生管701のように、絶縁性液体812に浸漬される場合、絶縁性液体812の純度を適切に管理することで接合材106の化学的安定性を保つことができる。このため、接合部の機械的強度の安定性の重視する場合には、図1(b)の形態とすることが好ましい。
As shown in FIG. 1C, the insulating
絶縁部材102を構成する絶縁性を有する素材としては、例えば金属酸化物、金属窒化物等を用いることができ、例えばアルミナ、ジルコニア、窒化けい素等のセラミックス等から選択可能である。コスト、加工性からは、セラミックス素材の一つであるアルミナが好適に用いられる。絶縁部材102と導電線材103は、電流導入端子101の接合材106による接合後の絶縁部材102の残留応力を減らすために、熱膨張率が同等又は近い素材で構成することが好ましい。例えば、絶縁部材102としてアルミナを用いた場合、アルミナと熱膨張率が近いコバールを導電線材103として用いることにより、電流導入端子101の接合材106による接合後の絶縁部材102の残留応力を減らすことができる。絶縁部材102の厚さは、導電線材103を固定できればよく、3mm以上10mm以下を用いることができ、より好ましくは、4mm以上7mm以下である。絶縁部材102は、通常、複数の導電線材103を貫通させて保持する。絶縁部材102の直径は、所望の本数の導電線材103を配置した時に、各導電線材103の間の耐電圧を確保できる絶縁部材102の大きさが得られるものであればよい。例えば、X線発生管に用いる電子銃の絶縁部材102の場合、導電線材103の本数によっても異なるが、15mm以上25mm以下が望ましい。
As an insulating material constituting the insulating
導電線材103を構成する素材は、真空内外を電気的に接続可能な導電材料から選択される。この材料としては、例えば銅、銀、ステンレス、真鍮、タングステン、コバール等から選択可能である。導電線材103の直径は、絶縁部材102を通して、内部と外部の通電が取れればよいが、例えば電流導入端子101を電子銃に用いる場合、電子銃のハンドリングや製造のしやすさ等から、0.2mm以上1.5mm以下が望ましい。
The material constituting the
金属含有層104は、接合材106の濡れ性を向上させる目的で設けられる。金属含有層104は、同じ絶縁部材102に配置される複数の導電線材103毎に分けて配置される。金属含有層104の形成手段は、連続膜からなるデポジション、イオン打ちこみ等があり、特に、金属含有ペーストを塗布した後に焼成して焼き付け層を形成するメタライズ法が好適である。メタライズ用の金属材料としては、Tiを含む金属やMo−Mn等が好適に用いられ、メタライズ用の金属材料を絶縁部材102の所望の領域に塗工し、その後、不活性化雰囲気で焼成することで金属含有層104を形成することができる。金属含有層104の厚さは、組成によっても異なるが、概ね0.1〜5μmが好ましい。
The metal-containing
ワッシャ105は、同じ絶縁部材102に配置される複数の導電線材103毎に分けて配置される。ワッシャ105の構成材料としては、金属、金属酸化物、金属炭化物、金属窒化物等のセラミックスを用いることができる。金属の場合、コバール、銅、鉄、ステンレス等を用いることができる。セラミックスの場合、アルミナ、ジルコニア、炭化ケイ素等、導電性の有無にかかわらず、所定の強度を有するものを用いることができる。ワッシャ105の厚さは、接合材106や絶縁部材102からの応力を受けるため、所定の強度が必要で、材料によっても異なるが、0.2mm以上が望ましい。厚さの上限は、強度の観点からはないが、大型化やコストアップ等の問題から、2.0mm以下が望ましい。より好ましくは、0.5mm以上1.5mm以下である。ワッシャ105の直径は、金属含有層104より大きいことが望ましく、また、中央の開口部を除いて、気密性を保つためには幅1.0mm以上が望ましい。特性上、この幅に制限はないが、多数の導電線材103を配置するためには、実質的に3.0mm以下が望ましい。また、強度と真空気密性の観点から厚さと直径のアスペクト比が1/2〜1/20であることが望ましく、より好ましくは、1/5〜1/10である。
The
絶縁部材102とワッシャ105は、電流導入端子101の接合材形成後の残留応力を減らすために、熱膨張率が同等又は近い素材で構成することが好ましい。例えば、絶縁部材102としてアルミナを用いた場合、ワッシャ105にアルミナと熱膨張率が近いコバールを用いると、電流導入端子101の接合材形成後の残留応力を減らすことができ、好適に用いられる。また、絶縁部材102にアルミナを用いた場合、ワッシャ105にはアルミナもしくは、アルミナを含有するセラミックスをより好適に用いることができる。
Insulating
接合材106には、例えば金、銀、銅、錫等を含有する合金からなるろう材を使用することができる。接合材106は、ワッシャ105や金属含有層104の組成に応じて、適宜、選択することができる。ろう材によるろう付けは、固体のろう材料をろう付け箇所に設置し、所定の温度に設定して、一旦ろう材料を溶融させた後、室温に戻した際にそれぞれの材料表面との間を接合させる手法である。接合材と106としてろう材を用いる場合、接合材106の厚さは、50μm以上500μm以下が望ましく、好適には、80μm以上200μmである。接合材106は、所望の厚さ、面積になるように、固体の状態で金属含有層104とワッシャ105の間に配置し、不活性雰囲気下で溶融させることで接合することができる。
As the
接合材106の金属含有層104とワッシャ105に対する濡れの状態を、図2を用いて説明する。図2では、金属含有層104の濡れ性よりワッシャ105の濡れ性を良くしている。濡れ性の表現方法として接触角を測定する方法があるが、ここでは、濡れ性を接合材106の固化後の状態で規定する。接合材106は、図2に破線で示す接合材表面204で表わされるように、ワッシャ105側の接合材先端部(応力集中点B)201と、金属含有層104側の接合材先端部202とを結んだ直線203から、凝固時に僅かに収縮し、内側に入り込んでいる。しかし、この収縮は僅かであるため、実質的に、直線203で近似できる。角度θ1は、金属含有層104のワッシャ105との対向面と直線203との交差角、角度θ2は、ワッシャ105の金属含有層104との対向面と直線203との交差角である。ここで、角度θ1>角度θ2のため、濡れ性は、ワッシャ105の方が良い。濡れ性は、材質や僅かな酸化状態、表面の凹凸などにより容易に変化させることができる。
The wet state of the
次に、特許文献1の技術と対比しながら本発明の効果について説明する。 Next, the effects of the present invention will be described in comparison with the technique of Patent Document 1.
特許文献1の電流導入端子を示す図9において、電流導入端子901は、絶縁部材902、ピン903、金属含有層904、接合材905で構成されている。ここで、特許文献1のピン903は、本実施形態の図1の導電線材103とワッシャ105を一体化させた部材と見なすことができる。なお、特許文献1では接合材905は明示されていないが、金属含有層904と同様の長さで接合材905を補充して配置した図としている。
In FIG. 9 showing the current introduction terminal of Patent Document 1, the
図10は、本発明との技術的差異を説明するために、図9の破線で囲った部分を拡大して示したものである。図10におけるピン903は、図1のワッシャ105に相当する、ピン903のワッシャ部である。以下、図10における903が示す部材を「ピン(ワッシャ部)」と記載する。また、1005は絶縁部材902の応力集中点(応力集中点C)、1006はピン(ワッシャ部)903の応力集中点(応力集中点D)を示す。
FIG. 10 is an enlarged view of a portion surrounded by a broken line in FIG. 9 in order to explain a technical difference from the present invention. A
図10に示される応力1001は、絶縁部材902がピン(ワッシャ部)903から受ける、絶縁部材902の応力集中点C1005における応力、応力1002は、絶縁部材902が接合材905から受ける、応力集中点C1005における応力を示している。また、応力1003は、ピン(ワッシャ部)903が絶縁部材902から受ける、応力集中点D1006における応力、応力1004は、ピン(ワッシャ部)903が接合材905から受ける、応力集中点D1006における応力を示している。応力1001は、絶縁部材902のピン(ワッシャ部)903との対向面に対して垂直方向であり、応力1002は、絶縁部材902のピン(ワッシャ部)903との対向面に対して平行方向である。また、応力1003は、ピン(ワッシャ部)903の絶縁部材902との対向面に対して垂直方向であり、応力1004は、ピン(ワッシャ部)903の絶縁部材902との対向面に対して平行方向である。この図10で示される各応力1001,1002,1003,1004は、接合材905を溶融させてから固化させて、金属含有層904とピン(ワッシャ部)903を接合した後の固化時の残留応力として発現する。金属含有層904は、0.1〜5μm程度と薄いため、応力集中点C1005は、絶縁部材902の表面に発生する。応力1001,1003のベクトルの向きは、接合材905のピン(ワッシャ部)903及び金属含有層904に対する濡れ方で決まる。
The
絶縁部材902にクラックが生じることによる気密性の信頼性低下は、前述したような絶縁部材902表面の残留応力(引っ張り応力)に起因する。
The reliability deterioration of the airtightness due to the occurrence of cracks in the insulating
次に、本実施形態の効果を、図3を用いて説明する。図3は、図1の破線で囲った部分の拡大図で、図10と対比した説明図である。図3において、305は、直線203を絶縁部材102の方向に延長した時の絶縁部材102のワッシャ105との対向面との交点(応力集中点A)である。図3において、応力301は、絶縁部材102がワッシャ105から受ける、応力集中点A305における応力、応力302は、絶縁部材102が接合材106から受ける、応力集中点A305における応力を示している。応力成分301xは、絶縁部材102がワッシャ105より受ける応力301のX方向の応力成分で、絶縁部材102のワッシャ105との対向面に対して平行な方向の成分である。応力303は、ワッシャ105が絶縁部材102から受ける、応力集中点B201における応力、応力304は、ワッシャ105が接合材106から受ける、応力集中点B201における応力を示している。応力成分303xは、ワッシャ105が絶縁部材102より受ける応力303のX方向の応力成分で、応力303の、ワッシャ105の絶縁部材102との対向面に対して平行な成分である。図3で示される応力301,303を示すベクトルの向きは、接合材106の金属含有層104とワッシャ105に対する濡れ性により決まり、ここでは、(金属含有層104の濡れ性)<(ワッシャ105の濡れ性)としている。
Next, the effect of this embodiment is demonstrated using FIG. FIG. 3 is an enlarged view of a portion surrounded by a broken line in FIG. 1, and is an explanatory view as compared with FIG. In FIG. 3,
図3に示すように、A点305における絶縁部材102の引っ張り応力は、応力302より応力成分301xを差し引いた値となる。したがって、特許文献1の場合と比べて応力が減じられ、絶縁部材102のクラック発生を低減できる。
As shown in FIG. 3, the tensile stress of the insulating
<第2の実施形態>
図4に本発明の第2の実施形態を示す。電流導入端子101の構成部材は、第1の実施形態と同じであるが、ワッシャ105に非金属材料を用い、その絶縁部材102との対向面に金属含有層401を配置した点が異なる。本実施形態の説明において、絶縁部材102のワッシャ105との対向面(第1の実施形態における一方の面)に設けた金属含有層を第1の金属含有層104、ワッシャ105の絶縁部材102との対向面に設けた金属含有層を第2の金属含有層401とする。
<Second Embodiment>
FIG. 4 shows a second embodiment of the present invention. The constituent members of the
本実施形態の場合、ワッシャ105の構成素材として、絶縁部材102と熱膨張率が近い非金属材料を用いることができる。非金属材料としては、酸化物、窒化物、炭化物等から選択することができる。例えば、アルミナ、ジルコニア、炭化ケイ素、窒化ケイ素等のセラミックスを用いることができる。
In the case of this embodiment, a nonmetallic material having a thermal expansion coefficient close to that of the insulating
ワッシャ105は、少なくとも絶縁部材102と同じ非金属材料を含有することがより好ましい。第1の金属含有層104と第2の金属含有層401の組成は、同じでもよいし、異なっていてもよい。組成が異なっている場合には、第1の金属含有層104よりも、第2の金属含有層401の接合材106に対する濡れ性を高くすることがより好ましい。第2の金属含有層401は、第1の金属含有層104と同様な方法で形成することができる。
More preferably, the
例えば、絶縁部材102としてアルミナを用いた場合、ワッシャ105の材質はアルミナを含有する非金属材料を含有する材料を選択することができ、より好ましくは、アルミナを用いることができる。これにより、第2の金属含有層401の濡れ性をコントロールできるとともに、ワッシャ105と絶縁部材102の熱膨張率を近づけることができるため、加熱後冷却した時に生じる応力を低減できる。
For example, when alumina is used as the insulating
<第3の実施形態>
図5に本発明の第3の実施形態を示す。電流導入端子101の構成部材は、第1の実施形態と同じであるが、ワッシャ105の直径を、絶縁部材102の一方の表面に配置した金属含有層104の直径より大きくした点が異なる。金属含有層104の直径を規定することにより、金属含有層104と接合材106が接する長さを決めることができる。
<Third Embodiment>
FIG. 5 shows a third embodiment of the present invention. Components of the
<第4の実施形態>
図6に本発明の第4の実施形態を示す。電流導入端子101の構成部材は、第1の実施形態と同じであるが、接合材106の配置が異なる。具体的には、接合材106が、絶縁部材102と導電線材103の間と、ワッシャ105と導電線材103の間と、ワッシャ105の絶縁部材102との対向面とは反対側の導電線材103を囲む位置にも配置されている点が異なる。また、金属含有層104が、絶縁部材102のワッシャ105との対向面から、絶縁部材102の導電線材103との対向面へと連続して回り込んだ状態で設けられている点も異なる。絶縁部材102と導電線材103の間の接合材106は、絶縁部材102の導電線材103との対向面に設けられた金属含有層104と導電線材103とに接している。図6において、符号601〜603は、接合材106の一部であって、絶縁部材102とワッシャ105との間以外の領域に位置する接合材を示す。接合材601は絶縁部材102と導電線材103の間に配置され、接合材602はワッシャ105と導電線材103の間に配置され、接合材603はワッシャ105の絶縁部材102との対向面とは反対側の面の導電線材103を囲む領域に配置されている。接合材601、接合材602及び接合材603を全て配置することが最も好ましいが、いずれか1又は2箇所に配置することでもよい。本実施形態の構成をとることにより、クラック発生を低減できるばかりでなく、より強固な気密構造を確保することができる。
<Fourth Embodiment>
FIG. 6 shows a fourth embodiment of the present invention. The constituent members of the
<電子銃>
図7に、本発明の電流導入端子を用いた、本発明の電子銃及びX線発生管の実施形態を示す。
<Electron gun>
FIG. 7 shows an embodiment of the electron gun and X-ray generator tube of the present invention using the current introduction terminal of the present invention.
図7(b)は、本発明の電子銃の説明図である。電子銃703は、絶縁部材102を貫通した複数の導電線材103を有する。それぞれの導電線材103には、電子放出部711、加熱部712、第1の制御電極713、第2の制御電極714、ゲッター715が接続され、電子銃703を構成している。図7(b)では、電流導入端子101の構成部材である、金属含有層104、ワッシャ105及び接合材106は省略されている。
FIG. 7B is an explanatory diagram of the electron gun of the present invention. The
図7(b)は、電子放出部711を加熱部712によって加熱して電子を取り出す傍熱型の電子放出部711を用いた電子銃703を例示している。傍熱型の電子放出部711には、例えばタングステンにバリウムを含浸させた、含浸型カソードが好適に用いられる。加熱部712には、タングステンフィラメントが適用可能である。加熱部712に対して、導電線材103より電力を供給することが可能である。図示される電子放出部711は、傍熱型であるが、直接通電加熱するタングステンフィラメントのような直熱型も使用できる。直熱型を用いると、加熱部712が不要となるため、電流導入端子101の導電線材103の本数を減らすことも可能である。
FIG. 7B illustrates an
第1の制御電極713は、例えば引き出し電極として機能し、図7(a)に示されるX線発生管701のX線照射のオン・オフの制御等に使用できる。
The
第2の制御電極714は、例えば集束電極として機能し、電子線束709を集束し、ターゲット706の所定の領域に照射する。
The
ゲッター715は、図7(a)に示されるX線発生管701内の真空度を維持するために使用される。ゲッター715は、例えば、加熱活性化の後にX線発生管701内のガス成分を吸着させる非蒸発型タイプや、チタン等の金属を加熱蒸発させることで形成される活性な金属蒸着面にガスを吸着させる蒸発型が適用可能である。非蒸発型のゲッターであれば、ヒーターへの電力の供給、蒸発型のゲッターであれば、金属を蒸発させるための電力の供給に導電線材103を使用できる。
The
また、電流導入端子101の導電線材103が、電子銃703の各構成物へ電気的に接続している。このため、前述した電力の供給以外に、各構成物からの信号の取り出し、図7(a)に示されるX線発生管701を駆動した際に陽極705から陰極702に流れる電流等を測定することも可能である。
In addition, the
<X線発生管>
図7に、本発明の電流導入端子101を用いた、本発明の電子銃及びX線発生管の実施形態を示す。
<X-ray generator tube>
FIG. 7 shows an embodiment of the electron gun and X-ray generator tube of the present invention using the
図7(a)は、本発明のX線発生管の説明図である。X線発生管701は、対向して配置された陽極705及び陰極702と、この陽極705と陰極702の間に位置し、両者と共に密閉された内部空間710形成する絶縁管708とを有している。X線発生管701は、電子銃703から放出された電子線束709をターゲット706に照射することによりX線を発生させるように構成されている。このため、ターゲット706と電子銃703は互いに対向して配置されている。電子線束709に含まれる電子は、陽極705と陰極702と絶縁管708で囲まれた内部空間710に形成された加速電界により、ターゲット706でX線を発生させるために必要な入射エネルギーまで加速される。
Fig.7 (a) is explanatory drawing of the X-ray generator tube of this invention. The
X線発生管701の内部空間710は、電子線束709の平均自由行程を確保することを目的として、真空となっている。X線発生管701の内部の圧力は、10-4Pa以下であることが好ましく、電子放出部711の寿命の観点からは、10-6Pa以下であることがより一層好ましい。係る圧力を達成するためには、予め不図示の排気管及び真空ポンプを用いて真空排気した後、排気管を封止する手段が好適に適用可能である。
The
陽極705は、少なくともターゲット706と陽極部材707を備え、X線発生管701の陽極電位を規定する電極として機能している。陽極部材707は導電性材料からなり、ターゲット706と電気的に接続されている。また、陽極部材707には、銅、鉄、タングステン、コバールなど金属を用いることができ、絶縁管708とろう材などにより接合されている。絶縁管708がセラミックスである場合、陽極部材707には線膨張係数が近いコバールを好適に用いることができる。
The
陽極部材707は、例えば、ターゲット706の周囲を、X線の照射方向に突出させることで、ターゲット706で発生したX線の照射領域を制御する機能をもたせてもよい。この場合、陽極部材707には、タングステン、タンタル等の重金属を含有させたものを用いることができる。
For example, the
ターゲット706は、不図示のタングステン等の重金属からなるターゲット層と、ターゲット層を保持する不図示の支持基板とから構成されている。ターゲット706は、発生したX線をX線発生管701の外に取り出す透過窓の役割を担うと共に、X線発生管701の内部を真空に保つための、真空容器の一部としての機能も有する。
The
陰極702は、少なくとも電子銃703と陰極部材704とを備え、X線発生管701の陰極電位を規定する電極として機能している。陰極部材704は、銅、鉄、タングステン、コバールなど金属を用いることができ、絶縁管708とろう材等により接合されている。絶縁管708がセラミックスの場合、陰極部材704には線膨張係数が近いコバールを好適に用いることができる。電子銃703は、図7(b)に示される絶縁部材102を、例えばろう材等により、陰極部材704に気密に接合することで取り付けられている。
絶縁管708は、X線発生管701の陰極電位に規定される陰極702と、陽極電位に規定される陽極705との間の電気的絶縁を図るために配置されている。絶縁管708は、ガラス材料やセラミックス材料等の絶縁性材料で構成されているが、加工性、コスト等により、アルミナが好適に用いられる。
The insulating
<X線発生装置およびX線撮影装置>
図8に、本発明のX線発生管を用いたX線発生装置及びX線撮影装置の実施形態を示す。X線発生装置802は、X線透過窓810を有する収納容器808の内部に、X線発生管701及びX線発生管701を駆動するための電圧制御部811を備えている。
<X-ray generator and X-ray imaging apparatus>
FIG. 8 shows an embodiment of an X-ray generator and X-ray imaging apparatus using the X-ray generator tube of the present invention. The
電圧制御部811により、X線発生管701の陰極702と陽極705[図7(a)参照]の間に管電圧が印加され、ターゲット706と電子放出部711[図7(a)及び(b)参照]の間に電界が形成される。ターゲット706が有する不図示のターゲット層の膜厚と金属種に応じて、管電圧を適宜設定することにより、必要な線種を選択することができる。
The
X線発生管701及び電圧制御部811を収納する収納容器808は、容器として十分な強度を有し、かつ放熱性に優れたものが望ましく、その構成材料として、例えば真鍮、鉄、ステンレス等の金属材料が用いられる。
The
絶縁性液体812は、収納容器808内部のX線発生管701と電圧制御部811以外の余空間に充填されている。絶縁性液体812は、電気絶縁性を有する液体で、収納容器808内部の電気的絶縁性を維持する役割と、X線発生管701の冷却媒体としての役割を有する。絶縁性液体812としては、鉱油、シリコーン油、パーフルオロ系オイル等の電気絶縁油を用いることができる。
The insulating
本発明のX線撮影装置801は、図8に示すように、X線発生装置802と、X線検出器803と、信号処理部804と、装置制御部805と、表示部806を備えている。X線撮影装置801は、X線発生装置802で発生したX線束809を、X線透過窓810を通して、被検体807に照射することにより、被検体807のX線透視画像を撮影することができる。信号処理部804は、X線検出器803からの信号処理を行う。装置制御部805は、X線発生装置802とX線検出器803を連携制御する。表示部806は、撮影したX線投資画像を表示する。
As shown in FIG. 8, the
X線発生装置802は、電圧制御部811とX線発生管701を備えている。装置制御部805は、電圧制御部811を介してX線発生管701を作動させることでX線照射の制御をすると同時に、X線検出器803によるX線の検出を制御する。また、信号処理部804を介しX線検出器803からの信号処理も行う。X線発生装置802から放出され、被検体807を透過したX線は、X線検出器803で検出されることで、被検体807のX線透過画像が撮影される。撮影されたX線透過画像は表示部806に表示される。また、装置制御部805は、X線発生装置802の駆動において、電圧制御部811を介してX線発生管701に印加される電圧信号を制御して、適正な撮影条件を整える。
The
<実施例1>
本実施例では、図5に示した構成で、導電線材103を7本備えた電流導入端子101を作製し、係る電流導入端子101を用いて図7(b)に示す電子銃703を作製した。まず、厚さ5.0mm、直径20mmのアルミナの絶縁部材102に、直径1.1mmの貫通穴を7箇所開けた。穴を開けた絶縁部材102の一方の面の各穴の周囲に、穴の中心対して同心で、外径3mm、内径が1.2mmの領域にMo−Mnペーストを塗工し、その後、1500℃の真空雰囲気で焼成して、金属含有層104を形成した。絶縁部材102に設けた直径1.1mmの穴の中には、コバールの直径1.0mmの導電線材103を配置した。
<Example 1>
In this embodiment, in the configuration shown in FIG. 5, to produce a current introducing pin 1 01 having a
ワッシャ105は、外径5mm、内径1.1mm、厚さ0.4mmのコバールで作製した。ワッシャ105の内径部には、絶縁部材102の金属含有層104を形成した側に延出している導電線材103を通した。
The
次に、ワッシャ105と金属含有層104の間に接合材106を挟み、係る状態を不図示の冶具で固定した後、真空雰囲気中で840℃に保持し、接合材106を溶融させる高温ろう付けを行った。ここで接合材106は、東洋理研株式会社製のろう材「BA−108」(Ag:72%、Cu:28%)を用いた。
Next, the
本実施例の電子銃703用の電流導入端子101は、図7(b)に示すように、加熱部712とゲッター715用に各2本、第1の制御電極713、第2の制御電極714、電子放出部711用に各1本で、合計7本の導電線材103を有する。
As shown in FIG. 7B, two
加熱部712としてタングステンヒータ、ゲッター715としてバリウムゲッター、第1の制御電極713、第2の制御電極714としてリング状のモリブデン、電子放出部711として、バリウムをタングステン焼結体に含新させた含浸型カソードを用いた。
A tungsten heater as the
これらの電子銃703の構成部材を、導電線材103に抵抗溶接し、電子銃703とした。なお、これらの構成部材を固定するために、不図示の支柱や、絶縁性をとるための不図示の絶縁部材を適宜配置した。
These constituent members of the
次に、図7(a)に示す、上記電子銃703を搭載したX線発生管701を作製した。電子銃703の絶縁部材102にはクラックの発生が無く、X線発生管701の真空リークに伴う不具合も生じなかった。
Next, an
次に、図8に示す、上記X線発生管701を備えたX線発生装置802、このX線発生装置802を備えたX線撮影装置801を作製した。電子加速電圧100kVの設定でX線撮影を行ったところ、良好な撮影画像を得ることができた。
Next, an
絶縁部材102、金属含有層104、接合材106、ワッシャ105の接合状態を観察するため、X線発生管701を解体し、電流導入端子101の絶縁部材102の周辺を切り出した。切り出した試料を樹脂に埋め込み、断面を出して、SEM及び光学顕微鏡で観察した。金属含有層104の厚さは2.1μmであった。接合材106は厚さが120μmで、金属含有層104の端部まで接していた。また、接合材106は、ワッシャ105の端部まで接していた。実測したところ、図2の角度θ1に相当する角度は155°、θ2に相当する角度は23°であった。また、ワッシャ105に反りが生じる等の不具合がないことも確認した。
To observe the bonding state of the insulating
<実施例2>
本実施例においては、実施例1に対して、以下に示す以外は同様の条件で電流導入端子101及び電子銃703を作製した。本実施例に用いたワッシャ105は非金属で、図4に示すように、絶縁部材102との対向面に、内径が1.1mm、外径が3.5mmの第2の金属含有層401を配置した。この非金属ワッシャ105は、材料として絶縁部材102と同じアルミナを用い、第2の金属含有層401としては、実施例1で金属含有層(第1の金属含有層)104として用いたMo−Mnペーストとした。以上のように、非金属製のワッシャ105を用い、このワッシャ105の絶縁部材102との対向面に第2の金属含有層401を配置した以外は、実施例1と同様に電流導入端子101を作製した。そして、この電流導入端子101を使って、実施例1と同様に、図7(a)及び(b)に示す電子銃703、X線発生管701、図8に示すX線発生装置802、X線撮影装置801を作製し、評価したところ、不具合は発生しなかった。
<Example 2>
In this example, the
絶縁部材102、第1の金属含有層104、接合材106、ワッシャ105及び第2の金属含有層401の接合状態を観察するため、X線発生管701を解体し、電流導入端子101の絶縁部材102の周辺を切り出した。実施例1と同様に切り出した試料を樹脂に埋め込み、断面を出して、SEM及び光学顕微鏡で観察した。第1の金属含有層104の厚さは2.5μmであった。第2の金属含有層401の厚さは、2.0μmであった。接合材106は厚さが100μmで、第1の金属含有層104の端部まで接していた。また、接合材106は、第2の金属含有層401の端部まで接していた。絶縁部材102及びワッシャ105のアルミナ露出部には、接合材106が接していなかった。実測したところ、図2の角度θ1に相当する角度は130°、角度θ2に相当する角度は58°であった。また、ワッシャ105に反りや割れが生じる等の不具合がないことも確認した。
The insulating
101:電流導入端子、102:絶縁部材、103:導電線材、104:金属含有層(第1の金属含有層)、105:ワッシャ、106:接合材、107〜109:接触面、201:接合材先端部(応力集中点B)、202:接合材先端部、203:直線、204:接合材表面、301:応力、301x:応力成分、302:応力、303:応力、303x:応力成分、304:応力、305:応力集中点A、401:金属含有層(第2の金属含有層)、601〜603:接合材、701:X線発生管、702:陰極、703:電子銃、704:陰極部材、705:陽極、706:ターゲット、707:陽極部材、708:絶縁管、709:電子線束、710:内部空間、711:電子放出部、712:加熱部、713:第1の制御電極、714:第2の制御電極、715:ゲッター、801:X線撮影装置、802:X線発生装置、803:X線検出器、804:信号処理部、805:装置制御部、806:表示部、807:被検体、808:収納容器、809:X線束、810:X線透過窓、811:電圧制御部、812:絶縁性液体、901:電流導入端子、902:絶縁部材、903:導電線材、904:金属含有層、905:接合材、1001〜1004:応力、1005:応力集中点C、1006:応力集中点D 101: current introduction terminal, 102: insulating member, 103: conductive wire, 104: metal-containing layer (first metal-containing layer), 105: washer, 106: bonding material, 107 to 109: contact surface, 201: bonding material Tip portion (stress concentration point B), 202: bonding material tip portion, 203: straight line, 204: bonding material surface, 301: stress, 301x: stress component, 302: stress, 303: stress, 303x: stress component, 304: Stress, 305: Stress concentration point A, 401: Metal-containing layer (second metal-containing layer), 601 to 603: Bonding material, 701: X-ray generator, 702: Cathode, 703: Electron gun, 704: Cathode member 705: anode, 706: target, 707: anode member, 708: insulating tube, 709: electron beam bundle, 710: internal space, 711: electron emission unit, 712: heating unit, 713: first control electrode, 7 4: second control electrode, 715: getter, 801: X-ray imaging device, 802: X-ray generator, 803: X-ray detector, 804: signal processing unit, 805: device control unit, 806: display unit, 807: Subject, 808: Storage container, 809: X-ray bundle, 810: X-ray transmission window, 811: Voltage control unit, 812: Insulating liquid, 901: Current introduction terminal, 902: Insulating member, 903: Conductive wire, 904: Metal-containing layer, 905: Bonding material, 1001 to 1004: Stress, 1005: Stress concentration point C, 1006: Stress concentration point D
Claims (23)
前記絶縁部材の前記二つの面間を貫通する導電線材と、
前記二つの面のうち一方の面に前記導電線材を囲むように設けられた第1の金属含有層と、
前記第1の金属含有層の直径より大きい直径を有し、前記第1の金属含有層に対向し前記導電線材を囲むとともに前記第1の金属含有層との対向面に第2の金属含有層を有し前記非金属材料を含有する非金属ワッシャと、
前記第1の金属含有層と前記非金属ワッシャとの間で前記第1の金属含有層と前記非金属ワッシャにそれぞれ接し、前記導電線材を囲む接合材と、
を備え、
前記非金属ワッシャの径方向において、前記非金属ワッシャと前記接合材とが接する長さが前記第1の金属含有層と前記接合材とが接する長さより長いことを特徴とする電流導入端子。 An insulating member having two surfaces that contain non-metallic materials and are located on opposite sides;
A conductive wire penetrating between the two surfaces of the insulating member;
A first metal-containing layer provided on one of the two surfaces so as to surround the conductive wire;
The second metal-containing layer has a diameter larger than the diameter of the first metal-containing layer, faces the first metal-containing layer , surrounds the conductive wire, and faces the first metal-containing layer. A non-metallic washer containing the non-metallic material ,
A bonding material that is in contact with the first metal-containing layer and the non-metallic washer between the first metal-containing layer and the non-metallic washer, and surrounds the conductive wire;
With
Wherein in the radial direction of the non-metallic washers, cable terminal, characterized in that longer than the length of the length of said non-metallic washers and the bonding material is in contact said and bonding material is in contact with the first metal-containing layer.
前記絶縁部材の前記二つの面間を貫通する導電線材と、
前記二つの面のうち一方の面に前記導電線材を囲むように設けられた第1の金属含有層と、
前記第1の金属含有層に対向し前記導電線材を囲むとともに前記第1の金属含有層との対向面に第2の金属含有層を有し前記非金属材料を含有する非金属ワッシャと、
前記第1の金属含有層と前記非金属ワッシャとの間で前記第1の金属含有層と前記非金属ワッシャにそれぞれ接する間隙と、前記非金属ワッシャの前記絶縁部材との対向面とは反対側の面と、に配置され前記導電線材を囲む接合材と、
を備え、
前記非金属ワッシャの径方向において、前記非金属ワッシャと前記接合材とが接する長さが前記第1の金属含有層と前記接合材とが接する長さより長いことを特徴とする電流導入端子。 An insulating member having two surfaces that contain non-metallic materials and are located on opposite sides;
A conductive wire penetrating between the two surfaces of the insulating member;
A first metal-containing layer provided on one of the two surfaces so as to surround the conductive wire;
A metallic washer containing said non-metallic material has a second metal-containing layer on the opposite surface of the first metal-containing layer with facing the first metal-containing layer surrounding the conductive wire,
A gap in contact with the said non-metallic washer and the first metal-containing layer between said non-metallic washer and the first metal-containing layer, opposite to the surface facing the said insulating member of said non-metallic washer And a bonding material disposed on the surface and surrounding the conductive wire,
With
Wherein in the radial direction of the non-metallic washers, cable terminal, characterized in that longer than the length of the length of said non-metallic washers and the bonding material is in contact said and bonding material is in contact with the first metal-containing layer.
前記導電線材に電気的に接続され、加熱により電子を放出する電子放出部と、
を有することを特徴とする電子銃。 The current introduction terminal according to any one of claims 1 to 8 ,
An electron emission portion electrically connected to the conductive wire and emitting electrons by heating;
An electron gun comprising:
前記電子銃に対向するターゲットを備える陽極と、
前記陰極と前記陽極との間に位置し、前記陰極及び前記陽極と共に密閉された内部空間を形成する絶縁管と、
を備えることを特徴とするX線発生管。 A cathode comprising the electron gun according to claim 9 ;
An anode comprising a target facing the electron gun;
An insulating tube located between the cathode and the anode and forming a sealed internal space with the cathode and the anode;
An X-ray generating tube comprising:
前記絶縁部材の前記二つの面間を貫通する導電線材と、A conductive wire penetrating between the two surfaces of the insulating member;
前記二つの面のうち一方の面に前記導電線材を囲むように設けられた金属含有層と、A metal-containing layer provided on one surface of the two surfaces so as to surround the conductive wire;
前記金属含有層の直径より大きい直径を有し、前記金属含有層に対向し前記導電線材を囲むワッシャと、A washer having a diameter greater than the diameter of the metal-containing layer, facing the metal-containing layer and surrounding the conductive wire;
前記金属含有層と前記ワッシャとの間で前記金属含有層と前記ワッシャにそれぞれ接し、前記導電線材を囲む接合材と、A bonding material that is in contact with the metal-containing layer and the washer between the metal-containing layer and the washer, and surrounds the conductive wire;
を備え、With
前記ワッシャの径方向において、前記ワッシャと前記接合材とが接する長さが前記金属含有層と前記接合材とが接する長さより長く、前記ワッシャは前記金属含有層よりも前記接合材との濡れ性が高いことを特徴とする電流導入端子。In the radial direction of the washer, the length of contact between the washer and the bonding material is longer than the length of contact between the metal-containing layer and the bonding material, and the washer is wettable with the bonding material more than the metal-containing layer. Current introduction terminal characterized by high current.
前記絶縁部材の前記二つの面間を貫通する導電線材と、A conductive wire penetrating between the two surfaces of the insulating member;
前記二つの面のうち一方の面に前記導電線材を囲むように設けられた金属含有層と、前記金属含有層に対向し前記導電線材を囲むワッシャと、A metal-containing layer provided on one of the two surfaces so as to surround the conductive wire, a washer facing the metal-containing layer and surrounding the conductive wire,
前記金属含有層と前記ワッシャとの間で前記金属含有層と前記ワッシャにそれぞれ接する間隙と、前記ワッシャの前記絶縁部材との対向面とは反対側の面と、に配置され前記導電線材を囲む接合材と、The gap between the metal-containing layer and the washer is in contact with the metal-containing layer and the washer, and the surface of the washer opposite to the surface facing the insulating member, and surrounds the conductive wire. A bonding material;
を備え、With
前記ワッシャの径方向において、前記ワッシャと前記接合材とが接する長さが前記金属含有層と前記接合材とが接する長さより長く、前記ワッシャは前記金属含有層よりも前記接合材との濡れ性が高いことを特徴とする電流導入端子。In the radial direction of the washer, the length of contact between the washer and the bonding material is longer than the length of contact between the metal-containing layer and the bonding material, and the washer is wettable with the bonding material more than the metal-containing layer. Current introduction terminal characterized by high current.
前記導電線材に電気的に接続され、加熱により電子を放出する電子放出部と、An electron emission portion electrically connected to the conductive wire and emitting electrons by heating;
を有することを特徴とする電子銃。An electron gun comprising:
前記電子銃に対向するターゲットを備える陽極と、An anode comprising a target facing the electron gun;
前記陰極と前記陽極との間に位置し、前記陰極及び前記陽極と共に密閉された内部空間を形成する絶縁管と、An insulating tube located between the cathode and the anode and forming a sealed internal space with the cathode and the anode;
を備えることを特徴とするX線発生管。An X-ray generating tube comprising:
前記X線発生管から放出され、被検体を透過したX線を検出するX線検出器と、前記X線発生管と前記X線検出器とを連携制御する制御装置と、
を有することを特徴とするX線撮影装置。 The X-ray generation tube according to any one of claims 10, 11, 21, and 22 ,
An X-ray detector that detects X-rays emitted from the X-ray generation tube and transmitted through a subject; a control device that controls the X-ray generation tube and the X-ray detector in cooperation with each other;
An X-ray imaging apparatus comprising:
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