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JP6517686B2 - Gas sensor - Google Patents

Gas sensor

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JP6517686B2
JP6517686B2 JP2015251043A JP2015251043A JP6517686B2 JP 6517686 B2 JP6517686 B2 JP 6517686B2 JP 2015251043 A JP2015251043 A JP 2015251043A JP 2015251043 A JP2015251043 A JP 2015251043A JP 6517686 B2 JP6517686 B2 JP 6517686B2
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Japan
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solid electrolyte
electrolyte body
ammonia
gas
electrode
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哲生 山田
吉博 中埜
吉博 中埜
柿元 志郎
志郎 柿元
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Niterra Co Ltd
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NGK Spark Plug Co Ltd
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  • Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)

Description

本発明は、被測定ガスに含まれる特定成分のガス濃度の測定に用いられるガスセンサに関する。   The present invention relates to a gas sensor used to measure the gas concentration of a specific component contained in a measurement gas.

近年、ディーゼルエンジンなどの内燃機関から排出される排気ガスに含まれる窒素酸化物(NOx)を浄化する技術として、尿素SCR(選択触媒還元)システムが注目されている。尿素SCRシステムは、アンモニア(NH)と窒素酸化物(NOx)とを化学反応させて、窒素酸化物を窒素(N)に還元することにより、排気ガスに含まれる窒素酸化物を浄化するシステムである。 BACKGROUND ART In recent years, a urea SCR (selective catalytic reduction) system has attracted attention as a technology for purifying nitrogen oxides (NOx) contained in exhaust gas discharged from an internal combustion engine such as a diesel engine. The urea SCR system purifies nitrogen oxides contained in exhaust gas by chemically reacting ammonia (NH 3 ) with nitrogen oxides (NOx) to reduce nitrogen oxides to nitrogen (N 2 ). It is a system.

この尿素SCRシステムでは、窒素酸化物に対して供給されるアンモニアの量が過剰になると、未反応のアンモニアが排気ガスに含まれたまま外部に放出されるおそれがあった。このようなアンモニアの放出を抑制するために、排気ガスに含まれるアンモニアの濃度を測定するセンサ素子を含む複数種類のガス濃度を測定可能なマルチガスセンサが尿素SCRシステムに用いられている(例えば、特許文献1参照)。この尿素SCRシステムでは、マルチガスセンサで測定されるアンモニアの濃度、つまり排気ガスに含まれるアンモニアの濃度が所定範囲内になるように、窒素酸化物の還元に用いられるアンモニアの量が調節されている。   In this urea SCR system, when the amount of ammonia supplied to the nitrogen oxides becomes excessive, there is a possibility that unreacted ammonia is released to the outside as it is contained in the exhaust gas. In order to suppress such emission of ammonia, a multi-gas sensor capable of measuring a plurality of types of gas concentrations including a sensor element for measuring the concentration of ammonia contained in exhaust gas is used in a urea SCR system (for example, Patent Document 1). In this urea SCR system, the amount of ammonia used for the reduction of nitrogen oxides is adjusted so that the concentration of ammonia measured by the multi-gas sensor, that is, the concentration of ammonia contained in the exhaust gas, falls within a predetermined range. .

特開2013−221931号公報JP, 2013-221931, A

上述の特許文献1に記載されたマルチガスセンサは、図10に示すように、NOxセンサ1100の表面にNH検知セル1200を設けたものである。又、NH検知セル1200は、NOxセンサ1100の表面に、基準電極1220、固体電解質体1240及び検知電極1260をこの順に積層した積層構造をなし、基準電極1220及び検知電極1260の間の起電力変化によって被測定ガス中のアンモニア濃度を検出するようになっている。
具体的には、被測定ガスが、ガス透過性の電極(基準電極1220又は検知電極1260)と固体電解質体1240との3相界面に到達して、3相界面で電極反応を生じて電極の起電力が変化する。この場合、NH検知セル1200の全周にわたって、各電極1220、1260と固体電解質体1240との界面が外部に露出した露出境界部S1が形成されており、この露出境界部S1に被測定ガスがそれぞれ到達経路1220Re、1260Reにより直接到達する。さらに、NH検知セル1200の各電極1220、1260と固体電解質体1240との界面のうち、外部に露出しない(内部)の内部境界部S2にも、各電極1220、1260を透過する到達経路1220Ri、1260Riにより被測定ガスが到達する。そして、被測定ガス雰囲気が一定であれば、各到達経路1220Re、1260Re、1220Ri、1260Riを経由して被測定ガスが適度に各電極1220、1260に供給され、被測定ガス中のアンモニア濃度を精度よく検出することができる。
Multi-gas sensor described in Patent Document 1 described above, as shown in FIG. 10, is provided with a NH 3 detection cell 1200 to the surface of the NOx sensor 1100. The NH 3 detection cell 1200 has a laminated structure in which a reference electrode 1220, a solid electrolyte body 1240 and a detection electrode 1260 are laminated in this order on the surface of the NOx sensor 1100, and an electromotive force between the reference electrode 1220 and the detection electrode 1260 Ammonia concentration in the gas to be measured is detected by the change.
Specifically, the gas to be measured reaches the three-phase interface between the gas-permeable electrode (reference electrode 1220 or detection electrode 1260) and the solid electrolyte body 1240 to cause an electrode reaction at the three-phase interface, and the electrode EMF changes. In this case, an exposed boundary portion S1 in which the interface between each of the electrodes 1220 and 1260 and the solid electrolyte body 1240 is exposed is formed over the entire circumference of the NH 3 detection cell 1200. Arrive directly by the arrival paths 1220 Re and 1260 Re, respectively. Further, among the interfaces between the electrodes 1220 and 1260 of the NH 3 detection cell 1200 and the solid electrolyte body 1240, an arrival path 1220 Ri passing through the electrodes 1220 and 1260 also to the (inside) internal boundary S2 not exposed to the outside. , And 1260 Ri reach the gas to be measured. Then, if the measurement gas atmosphere is constant, the measurement gas is appropriately supplied to the electrodes 1220 and 1260 via the arrival paths 1220 Re, 1260 Re, 1220 Ri, and 1260 Ri, and the ammonia concentration in the measurement gas is accurately determined. It can be detected well.

ところで、通常、基準電極1220や検知電極1260は固体電解質体1240の表面にペースト等で印刷して形成されるので、印刷のズレを考慮して固体電解質体1240の内側に余裕を設けて各電極を形成している。このため、図10に示すように、下層側に位置している基準電極1220側の露出境界部S1は固体電解質体1240で覆われている。そのため、被測定ガスの雰囲気が急激に変化した場合、下層側の基準電極1220では被測定ガスのガス置換が十分に行われず、応答性が低下するという問題がある。つまり、図10に示すように、被測定ガスの雰囲気が急激に変化した場合には、各電極1220、1260の内部境界部S2への被測定ガスの供給は間に合わず、外部に露出した露出境界部S1が主な電極反応をスタートする部位となる。ところが、上述のように基準電極1220側の露出境界部S1は固体電解質体1240で覆われているため被測定ガスが到達し難く、応答性が低下する。   By the way, normally, since the reference electrode 1220 and the detection electrode 1260 are formed by printing with paste etc. on the surface of the solid electrolyte body 1240, an allowance is provided inside the solid electrolyte body 1240 in consideration of printing deviation and each electrode Form. For this reason, as shown in FIG. 10, the exposed boundary portion S1 on the side of the reference electrode 1220 located on the lower layer side is covered with the solid electrolyte body 1240. Therefore, when the atmosphere of the gas to be measured changes rapidly, the gas substitution of the gas to be measured is not sufficiently performed in the lower layer side reference electrode 1220, and there is a problem that the responsiveness decreases. That is, as shown in FIG. 10, when the atmosphere of the gas to be measured changes rapidly, the supply of the gas to be measured to the inner boundary S2 of the electrodes 1220 and 1260 is not in time, and the exposed boundary exposed to the outside The section S1 is a site where the main electrode reaction is started. However, as described above, the exposed boundary portion S1 on the side of the reference electrode 1220 is covered with the solid electrolyte body 1240, so that the gas to be measured does not easily reach, and the responsiveness decreases.

ここで、基準電極1220、固体電解質体1240及び検知電極1260の端面を面一に合わせることができれば、基準電極1220側の露出境界部S1へも被測定ガスが到達し易くなり、応答性の低下を防止できる。しかしながら、上述のように基準電極1220や検知電極1260の形成時には印刷のズレが生じるため、各電極を固体電解質体1240の内側に余裕を設けて形成せざるを得ず、セル1200の各構成要素の端面を面一に合わせることは実際には困難である。   Here, if the end faces of the reference electrode 1220, the solid electrolyte body 1240, and the detection electrode 1260 can be flush with each other, the gas to be measured can easily reach the exposed boundary portion S1 on the reference electrode 1220 side, and the responsiveness decreases. Can be prevented. However, as described above, when the reference electrode 1220 and the detection electrode 1260 are formed, printing deviation occurs, so each electrode has to be formed with a margin inside the solid electrolyte body 1240 and each component of the cell 1200 It is practically difficult to make the end faces of the face flush.

本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、積層構造のセルを有するガスセンサにおいて、被測定ガス雰囲気が急激に変化した時の応答性を向上させたガスセンサを提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and provides a gas sensor having a cell of a laminated structure, in which the response when the atmosphere of the gas to be measured changes rapidly is improved. With the goal.

上記課題を解決するため、本発明のガスセンサは、ベース基板と、該ベース基板の表面に、基準電極、固体電解質体及び検知電極をこの順に積層したセルと、を有し、前記基準電極及び前記検知電極がそれぞれ被測定ガスに晒されるガスセンサであって、前記セルの積層方向に沿って前記検知電極側から見たときに、前記基準電極は、前記固体電解質体の端縁の少なくとも一部から、前記積層方向に垂直な径方向に向かって突出する突出部を有し、前記ベース基板は、長手方向に延びる板状をなすと共に、前記ベース基板の一部に発熱部を備えるヒータを有しており、前記突出部は、前記検知電極の前記長手方向における一方の端縁と他方の端縁とによって、前記長手方向に垂直な幅方向に区切られた領域内に配置される。
このガスセンサによれば、基準電極が、固体電解質体の端縁の少なくとも一部から突出する突出部を有している。これにより、基準電極と固体電解質体との界面が外部に露出した露出境界部を、固体電解質体に覆われることなく固体電解質体の端縁に形成することができる。ここで、被測定ガスの雰囲気が急激に変化した場合、この露出境界部は主な電極反応のスタートする部位となる。
従って、基準電極の露出境界部は、外部に直接露出して被測定ガスが到達し易くなるので、被測定ガスの雰囲気が急激に変化したときに、下層側の基準電極の上記露出境界部でも被測定ガスのガス置換が十分となり、応答性を向上させることができる。
その上、基準電極の突出部は、固体電解質体から突出しているため、固体電解質体の端面及び基準電極の端面を面一に合わせる必要が無く、基準電極を印刷により形成する際の印刷のズレの影響を抑制することができる。
さらに、このガスセンサによれば、ベース基板に、ベース基板の一部に発熱部を備えるヒータを有しているため、ヒータの発熱による長手方向への温度勾配がベース基板に発生する。これに対し、このようなベース基板上に配置したセルにおいて、上記領域内に基準電極の突出部を配置することで、検知電極と基準電極の露出境界部とを、長手方向において略同位置に配置することができ、温度勾配によるセルの検出精度の低下を抑制することができる。
なお、基準電極の突出部は、領域内に一部配置されていても良いし、全部配置されていても良い。
In order to solve the above problems, a gas sensor of the present invention has a base substrate, and a cell in which a reference electrode, a solid electrolyte body and a detection electrode are laminated in this order on the surface of the base substrate. The sensing electrode is a gas sensor exposed to the gas to be measured, and when viewed from the sensing electrode side along the stacking direction of the cells, the reference electrode is from at least a part of the edge of the solid electrolyte body The base substrate has a plate shape extending in the longitudinal direction, and a heater including a heat generating portion in a part of the base substrate. and, the protruding portion, said by the one edge and the other edge in the longitudinal direction of the detection electrode, Ru is arranged in the longitudinal direction, separated in a width direction perpendicular area.
According to this gas sensor, the reference electrode has a protrusion which protrudes from at least a part of the edge of the solid electrolyte body. Thus, an exposed boundary where the interface between the reference electrode and the solid electrolyte body is exposed to the outside can be formed at the edge of the solid electrolyte body without being covered by the solid electrolyte body. Here, when the atmosphere of the gas to be measured changes rapidly, this exposed boundary portion becomes a portion where the main electrode reaction starts.
Therefore, since the exposed boundary of the reference electrode is exposed directly to the outside and the measured gas easily reaches, even when the atmosphere of the measured gas changes rapidly, the exposed boundary of the reference electrode on the lower layer side is also obtained. The gas replacement of the measurement gas is sufficient, and the response can be improved.
Moreover, since the projection of the reference electrode protrudes from the solid electrolyte body, there is no need to make the end face of the solid electrolyte body and the end face of the reference electrode flush with each other, and printing deviation when forming the reference electrode by printing Can reduce the influence of
Further, according to this gas sensor, since the base substrate includes the heater including the heat generating portion in a part of the base substrate, the temperature gradient in the longitudinal direction due to the heat generation of the heater is generated in the base substrate. On the other hand, in the cell arranged on such a base substrate, by arranging the projecting part of the reference electrode in the above-mentioned area, the detection boundary of the detection electrode and the reference electrode is substantially the same in the longitudinal direction. It can be arranged, and the decrease in cell detection accuracy due to the temperature gradient can be suppressed.
The projecting portion of the reference electrode may be partially or entirely disposed in the region.

なお、基準電極の突出部は、固体電解質体の端縁の一部から径方向に向かって突出していても良いし、固体電解質体の端縁の全体から径方向に向かって突出していても良い。
さらに、検知電極は、基準電極の突出部が突出する固体電解質体の端縁が検知電極によって覆われないように配置していればよく、固体電解質体上にのみに形成されていても良いし、基準電極の突出部が突出する固体電解質体の端縁を避けて、固体電解質体よりも径方向に突出するように設けられていても良い。
The projecting portion of the reference electrode may project radially from a part of the edge of the solid electrolyte body or may project radially from the entire edge of the solid electrolyte body .
Furthermore, the detection electrode may be formed only on the solid electrolyte body as long as the detection electrode is disposed so that the edge of the solid electrolyte body from which the projection of the reference electrode protrudes is not covered by the detection electrode. The projection of the reference electrode may be provided so as to project radially beyond the solid electrolyte body while avoiding the edge of the solid electrolyte body from which the projection protrudes.

又、本発明のガスセンサは、ベース基板と、該ベース基板の表面に、基準電極、固体電解質体及び検知電極をこの順に積層したセルと、を有し、前記基準電極及び前記検知電極がそれぞれ被測定ガスに晒されるガスセンサであって、前記セルの積層方向に沿って前記検知電極側から見たときに、前記基準電極は、前記固体電解質体の端縁の少なくとも一部から、前記積層方向に垂直な径方向に向かって突出する突出部を有し、前記ベース基板は長手方向に延びる板状をなしており、前記突出部は、前記固体電解質体のうち、前記長手方向に垂直な幅方向の両端からそれぞれ突出する。
このガスセンサによれば、基準電極が、固体電解質体の端縁の少なくとも一部から突出する突出部を有している。これにより、基準電極と固体電解質体との界面が外部に露出した露出境界部を、固体電解質体に覆われることなく固体電解質体の端縁に形成することができる。ここで、被測定ガスの雰囲気が急激に変化した場合、この露出境界部は主な電極反応のスタートする部位となる。
従って、基準電極の露出境界部は、外部に直接露出して被測定ガスが到達し易くなるので、被測定ガスの雰囲気が急激に変化したときに、下層側の基準電極の上記露出境界部でも被測定ガスのガス置換が十分となり、応答性を向上させることができる。
その上、基準電極の突出部は、固体電解質体から突出しているため、固体電解質体の端面及び基準電極の端面を面一に合わせる必要が無く、基準電極を印刷により形成する際の印刷のズレの影響を抑制することができる。
さらに、このガスセンサによれば、少なくとも2か所以上の異なる位置に上記露出境界部を形成することができ、2か所以上の露出境界部で被測定ガスの雰囲気の急激な変化を取得できるので、応答性をさらに向上させることができる。
The gas sensor of the present invention has a base substrate, and a cell in which a reference electrode, a solid electrolyte body and a detection electrode are laminated in this order on the surface of the base substrate, and the reference electrode and the detection electrode are respectively covered It is a gas sensor exposed to a measurement gas, and when viewed from the detection electrode side along the stacking direction of the cells, the reference electrode is from at least a part of the edge of the solid electrolyte body in the stacking direction The base substrate is in the form of a plate extending in the longitudinal direction, and the protrusion has a width direction perpendicular to the longitudinal direction in the solid electrolyte body. respectively protrude from both ends of.
According to this gas sensor, the reference electrode has a protrusion which protrudes from at least a part of the edge of the solid electrolyte body. Thus, an exposed boundary where the interface between the reference electrode and the solid electrolyte body is exposed to the outside can be formed at the edge of the solid electrolyte body without being covered by the solid electrolyte body. Here, when the atmosphere of the gas to be measured changes rapidly, this exposed boundary portion becomes a portion where the main electrode reaction starts.
Therefore, since the exposed boundary of the reference electrode is exposed directly to the outside and the measured gas easily reaches, even when the atmosphere of the measured gas changes rapidly, the exposed boundary of the reference electrode on the lower layer side is also obtained. The gas replacement of the measurement gas is sufficient, and the response can be improved.
Moreover, since the projection of the reference electrode protrudes from the solid electrolyte body, there is no need to make the end face of the solid electrolyte body and the end face of the reference electrode flush with each other, and printing deviation when forming the reference electrode by printing Can reduce the influence of
Furthermore, according to this gas sensor, the exposure boundary can be formed at at least two different positions, and a rapid change in the atmosphere of the gas to be measured can be obtained at the two or more exposure boundaries. The response can be further improved.

又、本発明のガスセンサは、ベース基板と、該ベース基板の表面に、基準電極、固体電解質体及び検知電極をこの順に積層したセルと、を有し、前記基準電極及び前記検知電極がそれぞれ被測定ガスに晒されるガスセンサであって、前記セルの積層方向に沿って前記検知電極側から見たときに、前記基準電極は、前記固体電解質体の端縁の少なくとも一部から、前記積層方向に垂直な径方向に向かって突出する突出部を有し、前記ベース基板は長手方向に延びる板状をなしており、且つ2つの前記セルが、前記ベース基板上の前記長手方向に垂直な幅方向に並んで配置されてなり、2つの前記セルのそれぞれ前記突出部は、前記固体電解質体のうち、前記幅方向内側の端から少なくとも突出する。
このガスセンサによれば、基準電極が、固体電解質体の端縁の少なくとも一部から突出する突出部を有している。これにより、基準電極と固体電解質体との界面が外部に露出した露出境界部を、固体電解質体に覆われることなく固体電解質体の端縁に形成することができる。ここで、被測定ガスの雰囲気が急激に変化した場合、この露出境界部は主な電極反応のスタートする部位となる。
従って、基準電極の露出境界部は、外部に直接露出して被測定ガスが到達し易くなるので、被測定ガスの雰囲気が急激に変化したときに、下層側の基準電極の上記露出境界部でも被測定ガスのガス置換が十分となり、応答性を向上させることができる。
その上、基準電極の突出部は、固体電解質体から突出しているため、固体電解質体の端面及び基準電極の端面を面一に合わせる必要が無く、基準電極を印刷により形成する際の印刷のズレの影響を抑制することができる。
さらに、このガスセンサによれば、長手方向に延びるベース基板において、幅方向の端部は外部雰囲気の影響により、温度変化が生じやすい。そのためベース基板上に、幅方向に並んでセルが2つ配置される場合に、突出部をセルの固体電解質体の幅方向外側の端から突出させると、突出部がベース基板の端部に配置されることとなり、ベース基板の温度変化の影響を受けやすい。そこで、突出部をセルの固体電解質体の幅方向内側の端から突出させることで、ベース基板の温度変化の影響を受けにくくなり、2つのセルの検出精度の低下やバラツキを抑制することができる。
The gas sensor of the present invention has a base substrate, and a cell in which a reference electrode, a solid electrolyte body and a detection electrode are laminated in this order on the surface of the base substrate, and the reference electrode and the detection electrode are respectively covered It is a gas sensor exposed to a measurement gas, and when viewed from the detection electrode side along the stacking direction of the cells, the reference electrode is from at least a part of the edge of the solid electrolyte body in the stacking direction The base substrate is in the form of a plate extending in the longitudinal direction, and the two cells extend in the width direction perpendicular to the longitudinal direction on the base substrate. The protrusions of each of the two cells protrude at least from the inner end in the width direction of the solid electrolyte body .
According to this gas sensor, the reference electrode has a protrusion which protrudes from at least a part of the edge of the solid electrolyte body. Thus, an exposed boundary where the interface between the reference electrode and the solid electrolyte body is exposed to the outside can be formed at the edge of the solid electrolyte body without being covered by the solid electrolyte body. Here, when the atmosphere of the gas to be measured changes rapidly, this exposed boundary portion becomes a portion where the main electrode reaction starts.
Therefore, since the exposed boundary of the reference electrode is exposed directly to the outside and the measured gas easily reaches, even when the atmosphere of the measured gas changes rapidly, the exposed boundary of the reference electrode on the lower layer side is also obtained. The gas replacement of the measurement gas is sufficient, and the response can be improved.
Moreover, since the projection of the reference electrode protrudes from the solid electrolyte body, there is no need to make the end face of the solid electrolyte body and the end face of the reference electrode flush with each other, and printing deviation when forming the reference electrode by printing Can reduce the influence of
Furthermore, according to this gas sensor, in the base substrate extending in the longitudinal direction, the end in the width direction is likely to cause a temperature change due to the influence of the external atmosphere. Therefore, when two cells are arranged side by side in the width direction on the base substrate, the protrusions are arranged at the end of the base substrate when the protrusions are protruded from the outer end of the solid electrolyte body of the cell in the width direction. And is susceptible to temperature changes of the base substrate. Therefore, by causing the protrusion to protrude from the end on the inner side in the width direction of the solid electrolyte body of the cell, it becomes difficult to be affected by the temperature change of the base substrate, and it is possible to suppress the deterioration and variation of the detection accuracy of the two cells. .

本発明のガスセンサにおいて、前記検知電極は、前記固体電解質体上のみに設けられていてもよい。
このガスセンサによれば、検知電極においても、検知電極と固体電解質体との界面が外部に露出した露出境界部を、検知電極の全周にわたって形成することでき、被測定ガスの雰囲気が急激に変化したときに応答性をさらに向上させることができる。その上、検知電極が、基準電極の突出部が突出する固体電解質体の端縁を避けて配置することができるため、基準電極の突出部を適切な位置に配置することができる。
本発明のガスセンサにおいて、前記突出部は、前記固体電解質体のうち、前記長手方向の一方の端縁と他方の端縁との両端からそれぞれ突出していてもよい。
このガスセンサによれば、基準電極と固体電解質体との界面が外部に露出した露出境界部を、固体電解質体の端縁の幅方向の両端だけでなく、長手方向の両端にわたって形成することができる。これにより、被測定ガスの雰囲気が急激に変化したときに、下層側の基準電極の上記露出境界部でも被測定ガスのガス置換が十分となり、応答性をさらに向上させることができる。
本発明のガスセンサにおいて、前記ベース基板は被測定ガス中のNO濃度を検出するNOセンサ部であり、前記ガスセンサがマルチガスセンサを構成してもよい。
このガスセンサによれば、セルによる被測定ガス中の特定成分の他、NO濃度も検出することができるマルチガスセンサを実現することができる。


In the gas sensor of the present invention, the detection electrode may be provided only on the solid electrolyte body.
According to this gas sensor, even in the detection electrode, the exposed boundary where the interface between the detection electrode and the solid electrolyte body is exposed can be formed over the entire circumference of the detection electrode, and the atmosphere of the gas to be measured changes rapidly Response can be further improved. Moreover, since the detection electrode can be disposed to avoid the edge of the solid electrolyte body from which the projection of the reference electrode protrudes, the projection of the reference electrode can be disposed at an appropriate position.
In the gas sensor of the present invention, the protrusions may protrude from both ends of the one end and the other end in the longitudinal direction of the solid electrolyte body.
According to this gas sensor, the exposed boundary where the interface between the reference electrode and the solid electrolyte body is exposed to the outside can be formed not only at both ends in the width direction of the edge of the solid electrolyte body but also at both ends in the longitudinal direction. . As a result, when the atmosphere of the gas to be measured changes rapidly, gas replacement of the gas to be measured becomes sufficient even at the exposed boundary portion of the reference electrode on the lower layer side, and the responsiveness can be further improved.
In the gas sensor of the present invention, the base substrate may be an NO x sensor unit that detects the NO x concentration in the gas to be measured, and the gas sensor may constitute a multi gas sensor.
According to this gas sensor, it is possible to realize a multi gas sensor capable of detecting the NO x concentration as well as the specific component in the gas to be measured by the cell.


この発明によれば、積層構造のセルを有するガスセンサにおいて、被測定ガス雰囲気が急激に変化した時の応答性を向上させることができる。   According to the present invention, in the gas sensor having the cell of the laminated structure, it is possible to improve the responsiveness when the atmosphere of the gas to be measured changes rapidly.

本発明の第1の実施形態に係るマルチガスセンサの軸線方向に沿う断面図である。It is a sectional view which meets an axial direction of a multi gas sensor concerning a 1st embodiment of the present invention. マルチガスセンサ及びガスセンサ制御装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of a multi gas sensor and a gas sensor control apparatus. 第1アンモニアセンサ部及び第2アンモニアセンサ部の幅方向に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the width direction of a 1st ammonia sensor part and a 2nd ammonia sensor part. 第1アンモニアセンサ部及び第2アンモニアセンサ部の積層方向に沿って見た上面図である。It is the top view seen along the lamination direction of the 1st ammonia sensor part and the 2nd ammonia sensor part. 本発明の第2の実施形態に係るマルチガスセンサの軸線方向に沿う断面図である。It is sectional drawing in alignment with the axial direction of the multi gas sensor which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 第2の実施形態に係る第1アンモニアセンサ部及び第2アンモニアセンサ部の幅方向に沿う断面図である。It is sectional drawing in alignment with the width direction of the 1st ammonia sensor part concerning the 2nd embodiment, and the 2nd ammonia sensor part. 第2の実施形態に係る第1アンモニアセンサ部及び第2アンモニアセンサ部の積層方向に沿って見た上面図である。It is the top view seen along the lamination direction of the 1st ammonia sensor part and the 2nd ammonia sensor part concerning a 2nd embodiment. 第3の実施形態に係る第1アンモニアセンサ部及び第2アンモニアセンサ部の積層方向に沿って見た上面図である。It is the top view seen along the lamination direction of the 1st ammonia sensor part and the 2nd ammonia sensor part concerning a 3rd embodiment. 実際の第1アンモニアセンサ部、第2アンモニアセンサ部のアンモニアセンサ出力の時間変化を示す図である。It is a figure which shows the time change of the ammonia sensor output of an actual 1st ammonia sensor part and a 2nd ammonia sensor part. 従来のガスセンサのセル(NH検知セル)の3相界面への被測定ガスの到達経路を示す模式図である。Is a schematic diagram showing the arrival path of the measuring gas to the 3-phase interface of the cell of the conventional gas sensor (NH 3 detection cell).

以下、図1〜図4を参照し、本発明の第1の実施形態に係るマルチガスセンサについて説明する。図1は、マルチガスセンサの軸線O方向(長手方向)に沿う断面図、図2はマルチガスセンサ装置の構成を説明するブロック図、図3は第1アンモニアセンサ部及び第2アンモニアセンサ部の構成を示す幅方向に沿う断面図、図4は第1アンモニアセンサ部及び第2アンモニアセンサ部の積層方向に沿って見た上面図である。
なお、マルチガスセンサ200Aが特許請求の範囲の「ガスセンサ」に相当し、第1アンモニアセンサ部42x及び第2アンモニアセンサ部42yがそれぞれ特許請求の範囲の「セル」に相当する。又、後述するNOセンサ部30Aが特許請求の範囲の「ベース基板」に相当する。
本実施形態のマルチガスセンサ装置400は、ディーゼルエンジンから排出される排気ガス(被測定ガス)に含まれる窒素酸化物(NOx)を浄化する尿素SCRシステムに用いられるものである。より具体的には、排気ガスに含まれるNOxと、アンモニア(尿素)とを反応させた後の排気ガスに含まれる一酸化窒素(NO)、二酸化窒素(NO)およびアンモニアの濃度を測定するものである。
なお、本実施形態のマルチガスセンサ装置400が適用されるエンジンは、上述のディーゼルエンジンであってもよいし、ガソリンエンジンにも適用することができ、特にエンジンの形式を限定するものではない。
Hereinafter, a multi gas sensor according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 4. 1 is a cross-sectional view of the multigas sensor along the direction of the axis O (longitudinal direction), FIG. 2 is a block diagram for explaining the configuration of the multigas sensor device, and FIG. 3 is a configuration of the first ammonia sensor unit FIG. 4 is a top view seen along the stacking direction of the first ammonia sensor unit and the second ammonia sensor unit.
The multi gas sensor 200A corresponds to the "gas sensor" in the claims, and the first ammonia sensor unit 42x and the second ammonia sensor 42y correspond to the "cells" in the claims. Further, the NO x sensor unit 30A described later corresponds to the “base substrate” in the claims.
The multi gas sensor device 400 of this embodiment is used in a urea SCR system that purifies nitrogen oxides (NOx) contained in exhaust gas (measured gas) discharged from a diesel engine. More specifically, the concentrations of nitrogen monoxide (NO), nitrogen dioxide (NO 2 ) and ammonia contained in the exhaust gas after reaction of NOx contained in the exhaust gas with ammonia (urea) are measured. It is a thing.
The engine to which the multi-gas sensor device 400 of this embodiment is applied may be the above-described diesel engine or may be applied to a gasoline engine, and the type of engine is not particularly limited.

図1に示すように、マルチガスセンサ200Aは、アンモニア濃度及びNOx濃度を検出するマルチガスセンサ素子部100Aを組み付けたアッセンブリである。マルチガスセンサ200Aは、軸線方向に延びる板状のマルチガスセンサ素子部100Aと、排気管に固定されるためのねじ部139が外表面に形成された筒状の主体金具138と、マルチガスセンサ素子部100Aの径方向周囲を取り囲むように配置される筒状のセラミックスリーブ106と、軸線方向に貫通するコンタクト挿通孔168の内壁面がマルチガスセンサ素子部100Aの後端部の周囲を取り囲む状態で配置される絶縁コンタクト部材166と、マルチガスセンサ素子部100Aと絶縁コンタクト部166との間に配置される複数個(図1では2つのみ図示)の接続端子110とを備えている。   As shown in FIG. 1, the multi gas sensor 200A is an assembly in which a multi gas sensor element unit 100A for detecting the ammonia concentration and the NOx concentration is assembled. The multi-gas sensor 200A includes a plate-shaped multi-gas sensor element portion 100A extending in the axial direction, a cylindrical metal shell 138 having an outer surface formed with a screw portion 139 for fixing to an exhaust pipe, and the multi-gas sensor element portion 100A. An inner wall surface of a cylindrical ceramic sleeve 106 disposed so as to surround the radial direction of and a contact insertion hole 168 penetrating in the axial direction is disposed so as to surround the rear end portion of the multi gas sensor element portion 100A. An insulating contact member 166 and a plurality of (only two shown in FIG. 1) connection terminals 110 disposed between the multi gas sensor element portion 100A and the insulating contact portion 166 are provided.

主体金具138は、軸線O方向に貫通する貫通孔154を有し、貫通孔154の径方向内側に突出する棚部152を有する略筒状形状に構成されている。また、主体金具138は、マルチガスセンサ素子部100Aの先端側を貫通孔154の先端側外部に配置し、電極端子部80A、82Aを貫通孔154の後端側外部に配置する状態で、マルチガスセンサ素子部100Aを貫通孔154に保持している。さらに、棚部152は、軸線方向に垂直な平面に対して傾きを有する内向きのテーパ面として形成されている。   The metal shell 138 has a through hole 154 penetrating in the direction of the axis O, and is formed in a substantially cylindrical shape having a shelf 152 projecting inward in the radial direction of the through hole 154. Further, the metal shell 138 arranges the front end side of the multi gas sensor element portion 100A outside the front end side of the through hole 154, and arranges the electrode terminal portions 80A and 82A outside the rear end side of the through hole 154. The element portion 100A is held in the through hole 154. Furthermore, the shelf 152 is formed as an inward tapered surface having an inclination with respect to a plane perpendicular to the axial direction.

なお、主体金具138の貫通孔154の内部には、マルチガスセンサ素子部100Aの径方向周囲を取り囲む状態で環状形状のセラミックホルダ151、粉末充填層153、156(以下、滑石リング153、156ともいう)、および上述のセラミックスリーブ106がこの順に先端側から後端側にかけて積層されている。また、セラミックスリーブ106と主体金具138の後端部140との間には、加締めパッキン157が配置されており、セラミックホルダ151と主体金具138の棚部152との間には、滑石リング153やセラミックホルダ151を保持するための金属ホルダ158が配置されている。なお、主体金具138の後端部140は、加締めパッキン157を介してセラミックスリーブ106を先端側に押し付けるように、加締められている。   In the through hole 154 of the metal shell 138, the ceramic holder 151 and powder filled layers 153 and 156 (hereinafter, also referred to as talc rings 153 and 156) in an annular shape surrounding the periphery of the multi gas sensor element 100A in the radial direction. And the above-mentioned ceramic sleeve 106 are laminated in this order from the front end side to the rear end side. Further, a caulking packing 157 is disposed between the ceramic sleeve 106 and the rear end portion 140 of the metal shell 138, and a talc ring 153 is provided between the ceramic holder 151 and the shelf portion 152 of the metal shell 138. And a metal holder 158 for holding the ceramic holder 151. The rear end portion 140 of the metal shell 138 is crimped so as to press the ceramic sleeve 106 to the tip side via the crimp packing 157.

一方、主体金具138の先端側(図1における下方)外周には、マルチガスセンサ素子部100Aの突出部分を覆うと共に、複数の孔部を有する金属製(例えば、ステンレスなど)二重の外部プロテクタ142および内部プロテクタ143が、溶接等によって取り付けられている。   On the other hand, a metal (for example, stainless steel or the like) double external protector 142 having a plurality of holes while covering the protruding portion of the multi gas sensor element portion 100A on the tip outer side (lower side in FIG. 1) of the metal shell 138. And the inner protector 143 are attached by welding or the like.

そして、主体金具138の後端側外周には、外筒144が固定されている。また、外筒144の後端側(図1における上方)の開口部には、マルチガスセンサ素子部100Aの電極端子部80A、82Aとそれぞれ電気的に接続される複数本のリード線146(図1では3本のみ)が挿通されるリード線挿通孔161が形成されたグロメット150が配置されている。なお、簡略化のため、図1ではマルチガスセンサ素子部100Aの表面と裏面の電極端子部をそれぞれ符号80A、82Aで代表させたが、実際には、後述するNOxセンサ部30Aや、第1及び第2アンモニアセンサ部42x、42yが有する電極等の数に応じて、複数の電極端子部が形成されている。   An outer cylinder 144 is fixed to the outer periphery of the metal shell 138 on the rear end side. Further, a plurality of lead wires 146 electrically connected to the electrode terminal portions 80A and 82A of the multi gas sensor element portion 100A are provided at the opening on the rear end side (upper side in FIG. 1) of the outer cylinder 144 (FIG. In this case, the grommet 150 in which the lead wire insertion holes 161 through which only three are inserted is formed is disposed. Although the electrode terminals on the front and back surfaces of the multigas sensor element unit 100A are represented by reference numerals 80A and 82A respectively in FIG. 1 for simplification, in actuality, the NOx sensor unit 30A to be described later, the first and the first Several electrode terminal parts are formed according to the number of electrodes etc. which the 2nd ammonia sensor parts 42x and 42y have.

また、主体金具138の後端部140より突出されたマルチガスセンサ素子部100Aの後端側(図1における上方)には、絶縁コンタクト部材166が配置される。なお、この絶縁コンタクト部材166は、マルチガスセンサ素子部100Aの後端側の表裏面に形成される電極端子部80A、82Aの周囲に配置される。この絶縁コンタクト部材166は、軸線方向に貫通するコンタクト挿通孔168を有する筒状形状に形成されると共に、外表面から径方向外側に突出する鍔部167が備えられている。絶縁コンタクト部材166は、鍔部167が保持部材169を介して外筒144に当接することで、外筒144の内部に配置される。そして、絶縁コンタクト部材166側の接続端子110と、マルチガスセンサ素子部100Aの電極端子部80A、82Aとが電気的に接続され、リード線146により外部と導通するようになっている。   In addition, an insulating contact member 166 is disposed on the rear end side (upper side in FIG. 1) of the multi gas sensor element portion 100A which protrudes from the rear end portion 140 of the metal shell 138. The insulating contact member 166 is disposed around the electrode terminal portions 80A and 82A formed on the front and back surfaces of the rear end side of the multi gas sensor element portion 100A. The insulating contact member 166 is formed in a cylindrical shape having a contact insertion hole 168 penetrating in the axial direction, and is provided with a flange portion 167 projecting radially outward from the outer surface. The insulating contact member 166 is disposed inside the outer cylinder 144 by the flange portion 167 contacting the outer cylinder 144 via the holding member 169. The connection terminal 110 on the insulating contact member 166 side and the electrode terminal portions 80A and 82A of the multi gas sensor element portion 100A are electrically connected to each other and electrically conducted to the outside through the lead wire 146.

図2は、本発明の実施形態に係るマルチガスセンサ装置400の構成を示すブロック図である。なお、図2では説明の便宜のため、マルチガスセンサ200A内に収容されたマルチガスセンサ素子部100Aの軸線O方向に沿う断面のみを表示している。
マルチガスセンサ装置400は、制御装置(コントロ−ラ)300、及びこれに接続されるマルチガスセンサ200A(マルチガスセンサ素子部100A)を備えている。制御装置300は図示しない内燃機関(エンジン)を備える車両に搭載され、制御装置300はECU220に電気的に接続されている。なお、マルチガスセンサ200Aから伸びるリード線146の端はコネクタに接続され、このコネクタを制御装置300側のコネクタに電気的に接続するようになっている。
FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of a multi gas sensor device 400 according to an embodiment of the present invention. In FIG. 2, for convenience of explanation, only a cross section along the direction of the axis O of the multi gas sensor element unit 100A housed in the multi gas sensor 200A is displayed.
The multi gas sensor device 400 includes a control device (controller) 300 and a multi gas sensor 200A (multi gas sensor element unit 100A) connected thereto. Control device 300 is mounted on a vehicle including an internal combustion engine (engine) (not shown), and control device 300 is electrically connected to ECU 220. The end of the lead wire 146 extending from the multi gas sensor 200A is connected to a connector, and this connector is electrically connected to the connector on the control device 300 side.

次に、マルチガスセンサ素子部100Aの構成について説明する。マルチガスセンサ素子部100Aは、公知のNOセンサと同様な構成を有するNOセンサ部30Aと、2つのアンモニアセンサ部である第1アンモニアセンサ部42x及び第2アンモニアセンサ部42yとを備え、詳しくは後述するように第1アンモニアセンサ部42x及び第2アンモニアセンサ部42yはNOセンサ部30Aの外表面に形成されている。 Next, the configuration of the multi gas sensor element unit 100A will be described. Multi-gas sensor element section 100A is provided with a NO x sensor unit 30A having a structure similar to that of the known of the NO x sensor, and two first ammonia sensor portion 42x ammonia sensor unit and the second ammonia sensor unit 42y, detail the first ammonia sensor portion 42x and the second ammonia sensor section 42y, as will be described later is formed on the outer surface of the NO x sensor unit 30A.

まず、NOセンサ部30Aは、絶縁層23e、第1固体電解質体2a、絶縁層23d、第3固体電解質体6a、絶縁層23c、第2固体電解質体4a、及び絶縁層23b、23aをこの順に積層した構造を有する。第1固体電解質体2aと第3固体電解質体6aとの層間に第1測定室S1が画成され、第1測定室S1の左端(入口)に配置された第1拡散抵抗体8aを介して外部から排気ガスが導入される。なお、第1拡散抵抗体8aの外側には多孔質からなる保護層9が配置されている。
第1測定室S1のうち入口と反対端には第2拡散抵抗体8bが配置され、第2拡散抵抗体8bを介して第1測定室S1の右側には、第1測定室S1と連通する第2測定室(本発明の「NO測定室」に相当)S2が画成されている。第2測定室S2は、第3固体電解質体6aを貫通して第1固体電解質体2aと第2固体電解質体4aとの層間に形成されている。
First, the NO x sensor unit 30A includes the insulating layer 23e, the first solid electrolyte body 2a, the insulating layer 23d, the third solid electrolyte body 6a, the insulating layer 23c, the second solid electrolyte body 4a, and the insulating layers 23b and 23a. It has a stacked structure in order. A first measurement chamber S1 is defined between the first solid electrolyte body 2a and the third solid electrolyte body 6a, and the first diffusion resistor 8a is disposed at the left end (inlet) of the first measurement chamber S1. Exhaust gas is introduced from the outside. A porous protective layer 9 is disposed on the outside of the first diffusion resistor 8a.
The second diffusion resistor 8b is disposed at the end of the first measurement chamber S1 opposite to the inlet, and communicates with the first measurement chamber S1 on the right side of the first measurement chamber S1 via the second diffusion resistor 8b. A second measurement chamber (corresponding to the "NO x measurement chamber" of the present invention) S2 is defined. The second measurement chamber S2 penetrates the third solid electrolyte body 6a and is formed between the first solid electrolyte body 2a and the second solid electrolyte body 4a.

絶縁層23b、23aの間にはマルチガスセンサ素子部100Aの軸線O方向に沿って延びる長尺板状の発熱抵抗体21が埋設されている。発熱抵抗体21は、軸線O方向の先端側に発熱部が設けられると共に、該発熱部から軸線方向の後端側に向かって一対のリード部が設けられている。発熱抵抗体21、及び絶縁層23b、23aが特許請求の範囲の「ヒータ」に相当する。このヒータはガスセンサを活性温度に昇温し、固体電解質体の酸素イオンの伝導性を高めて動作を安定化させるために用いられる。
各絶縁層23a、23b、23c、23d、23eはアルミナを主体とし、第1拡散抵抗体8a及び第2拡散抵抗体8bはアルミナ等の多孔質物質からなる。又、発熱抵抗体21は白金等からなる。又、発熱抵抗体21の発熱部は、例えば蛇行パターン状に形成されるがこれに限られない。
A long plate-like heating resistor 21 extending in the direction of the axis O of the multi gas sensor element unit 100A is embedded between the insulating layers 23b and 23a. The heat generating resistor 21 is provided with a heat generating portion on the tip end side in the direction of the axis O, and a pair of lead portions is provided from the heat generating portion toward the rear end side in the axial direction. The heat generating resistor 21 and the insulating layers 23 b and 23 a correspond to the “heater” in the claims. This heater is used to raise the temperature of the gas sensor to the activation temperature and to increase the oxygen ion conductivity of the solid electrolyte body to stabilize the operation.
The respective insulating layers 23a, 23b, 23c, 23d and 23e are mainly composed of alumina, and the first diffusion resistor 8a and the second diffusion resistor 8b are made of a porous material such as alumina. The heating resistor 21 is made of platinum or the like. Further, the heat generating portion of the heat generating resistor 21 is formed in, for example, a meander pattern, but is not limited thereto.

第1ポンピングセル2は、酸素イオン伝導性を有するジルコニアを主体とする第1固体電解質体2aと、これを挟持するように配置された内側第1ポンピング電極2b及び対極となる外側第1ポンピング電極2cとを備え、内側第1ポンピング電極2bは第1測定室S1に面している。内側第1ポンピング電極2b及び外側第1ポンピング電極2cはいずれも白金を主体とし、内側第1ポンピング電極2bの表面は多孔質体からなる保護層11で覆われている。
又、外側第1ポンピング電極2cの上面に相当する絶縁層23eはくり抜かれて多孔質体13が充填され、外側第1ポンピング電極2cと外部とを連通させてガス(酸素)の出入を可能としている。
The first pumping cell 2 includes a first solid electrolyte body 2a mainly composed of zirconia having oxygen ion conductivity, an inner first pumping electrode 2b disposed to sandwich the first solid electrolyte body 2a, and an outer first pumping electrode serving as a counter electrode. 2c, and the inner first pumping electrode 2b faces the first measurement chamber S1. Each of the inner first pumping electrode 2 b and the outer first pumping electrode 2 c is mainly composed of platinum, and the surface of the inner first pumping electrode 2 b is covered with a protective layer 11 made of a porous material.
In addition, the insulating layer 23e corresponding to the upper surface of the outer first pumping electrode 2c is hollowed out and filled with the porous body 13, and the outer first pumping electrode 2c is communicated with the outside to allow gas (oxygen) to flow in and out. There is.

酸素濃度検出セル6は、ジルコニアを主体とする第3固体電解質体6aと、これを挟持するように配置された検知電極6b及び基準電極6cとを備え、検知電極6bは内側第1ポンピング電極2bより下流側で第1測定室S1に面している。検知電極6b及び基準電極6cはいずれも白金を主体としている。
なお、絶縁層23cは、第3固体電解質体6aに接する基準電極6cが内部に配置されるように切り抜かれ、その切り抜き部には多孔質体が充填されて基準酸素室15を形成している。そして、酸素濃度検出セル6にIcp供給回路54を用いて予め微弱な一定値の電流を流すことにより、酸素を第1測定室S1から基準酸素室15内に送り込み、酸素基準とする。
The oxygen concentration detection cell 6 includes a third solid electrolyte body 6a mainly composed of zirconia, and a detection electrode 6b and a reference electrode 6c arranged to sandwich the third solid electrolyte body 6a. The detection electrode 6b is an inner first pumping electrode 2b. It faces the first measurement chamber S1 further downstream. Each of the detection electrode 6b and the reference electrode 6c is mainly composed of platinum.
The insulating layer 23c is cut out so that the reference electrode 6c in contact with the third solid electrolyte body 6a is disposed inside, and the cut out portion is filled with a porous body to form the reference oxygen chamber 15 . Then, by supplying a weak constant current to the oxygen concentration detection cell 6 in advance using the Icp supply circuit 54, oxygen is sent from the first measurement chamber S1 into the reference oxygen chamber 15, which is used as the oxygen reference.

第2ポンピングセル4は、ジルコニアを主体とする第2固体電解質体4aと、第2固体電解質体4aのうち第2測定室S2に面した表面に配置された内側第2ポンピング電極4b及び対極となる第2ポンピング対電極4cとを備えている。内側第2ポンピング電極4b及び第2ポンピング対電極4cはいずれも白金を主体としている。
なお、第2ポンピング対電極4cは、第2固体電解質体4a上における絶縁層23cの切り抜き部に配置され、基準電極6cに対向して基準酸素室15に面している。
そして、内側第1ポンピング電極2b、検知電極6b、内側第2ポンピング電極4bはそれぞれ基準電位に接続されている。
The second pumping cell 4 includes a second solid electrolyte body 4a mainly composed of zirconia, an inner second pumping electrode 4b disposed on the surface of the second solid electrolyte body 4a facing the second measurement chamber S2, and a counter electrode. And a second pumping counter electrode 4c. The inner second pumping electrode 4b and the second pumping counter electrode 4c are both mainly composed of platinum.
The second pumping counter electrode 4c is disposed in the cutout portion of the insulating layer 23c on the second solid electrolyte body 4a, and faces the reference oxygen chamber 15 so as to face the reference electrode 6c.
The inner first pumping electrode 2b, the sensing electrode 6b, and the inner second pumping electrode 4b are connected to reference potentials, respectively.

次に、2つのアンモニアセンサ部(セル)である第1アンモニアセンサ部42x及び第2アンモニアセンサ部42yについて説明する。
図3に示すように、マルチガスセンサ素子部100Aは、それぞれ幅方向に離間する第1アンモニアセンサ部42x及び第2アンモニアセンサ部42yを有している。
Next, the first ammonia sensor unit 42x and the second ammonia sensor unit 42y, which are two ammonia sensor units (cells), will be described.
As shown in FIG. 3, the multi gas sensor element unit 100A includes a first ammonia sensor unit 42x and a second ammonia sensor unit 42y which are separated in the width direction.

第1アンモニアセンサ部42x及び第2アンモニアセンサ部42yは、NOセンサ部30Aの外表面(下面)をなす絶縁層23a上に形成されている。より詳しくは、第1アンモニアセンサ部42xは、絶縁層23a上に第1基準電極42axが形成され、第1基準電極42axの表面に第1固体電解質体42dxが形成されている。さらに、第1固体電解質体42dxの表面に第1検知電極42bxが形成されている。そして、第1基準電極42ax及び第1検知電極42bxの間の起電力変化によって被測定ガス中のアンモニア濃度を検出するようになっている。
同様に、第2アンモニアセンサ部42yは、絶縁層23a上に第2基準電極42ayが形成され、第2基準電極42ayの表面に第2固体電解質体42dyが形成されている。さらに、第2固体電解質体42dyの表面に第2検知電極42byが形成されている。
ここで、第1基準電極42ax、第2基準電極42ayがそれぞれ特許請求の範囲の「基準電極」に相当する。第1固体電解質体42dx、第2固体電解質体42dyがそれぞれ特許請求の範囲の「固体電解質体」に相当する。第1検知電極42bx、第2検知電極42byがそれぞれ特許請求の範囲の「検知電極」に相当する。
The first ammonia sensor portion 42x and the second ammonia sensor portion 42y are formed on the insulating layer 23a which is the outer surface (lower surface) of the NO x sensor portion 30A. More specifically, in the first ammonia sensor portion 42x, the first reference electrode 42ax is formed on the insulating layer 23a, and the first solid electrolyte body 42dx is formed on the surface of the first reference electrode 42ax. Furthermore, a first detection electrode 42bx is formed on the surface of the first solid electrolyte body 42dx. The ammonia concentration in the gas to be measured is detected by the change in electromotive force between the first reference electrode 42 ax and the first detection electrode 42 b x.
Similarly, in the second ammonia sensor portion 42y, the second reference electrode 42ay is formed on the insulating layer 23a, and the second solid electrolyte body 42dy is formed on the surface of the second reference electrode 42ay. Furthermore, a second detection electrode 42by is formed on the surface of the second solid electrolyte body 42dy.
Here, the first reference electrode 42ax and the second reference electrode 42ay each correspond to a "reference electrode" in the claims. The first solid electrolyte body 42dx and the second solid electrolyte body 42dy respectively correspond to the "solid electrolyte body" in the claims. The first detection electrode 42bx and the second detection electrode 42by respectively correspond to the "detection electrode" in the claims.

第1検知電極42bx及び第2検知電極42byとしては、Auを主成分(例えば70質量%以上)含有し、PtやPdを含有する材料から形成することができる。第1基準電極42ax及び第2基準電極42ayとしては、Pt単体であるか、Ptを主成分(例えば70質量%以上)含有する材料から形成することができる。第1検知電極42bx及び第2検知電極42byはアンモニアガスが電極表面では燃焼し難い電極である。アンモニアは、以下に述べる3相界面で酸素イオンと反応(電極反応)し、アンモニアの濃度を検出する。
第1固体電解質体42dx、第2固体電解質体42dyは、例えば部分安定化ジルコニア(YSZ)で構成されている。
The first detection electrode 42bx and the second detection electrode 42by can be formed of a material containing Au as a main component (for example, 70% by mass or more) and containing Pt or Pd. The first reference electrode 42 ax and the second reference electrode 42 ay can be formed of Pt alone or a material containing Pt as a main component (for example, 70% by mass or more). The first detection electrode 42bx and the second detection electrode 42by are electrodes which are difficult for ammonia gas to burn on the electrode surface. Ammonia reacts with oxygen ions (electrode reaction) at the three-phase interface described below to detect the concentration of ammonia.
The first solid electrolyte body 42dx and the second solid electrolyte body 42dy are made of, for example, partially stabilized zirconia (YSZ).

図4に示すように、第1基準電極42ax及び第2基準電極42ayは幅方向(マルチガスセンサ素子部100Aの長手方向(軸線O方向)に垂直な方向)に長い矩形をなす。一方で、第1固体電解質体42dx及び第2固体電解質体42dyはそれぞれ第1基準電極42ax及び第2基準電極42ayよりも幅方向に短い略正方形をなしている。そして、第1固体電解質体42dx及び第2固体電解質体42dyの幅方向の両端から、それぞれ第1基準電極42ax及び第2基準電極42ayが突出し(はみ出し)、それぞれ2つの突出部42ap1、42ap2を形成している。なお、軸線O方向には、それぞれ第1固体電解質体42dx及び第2固体電解質体42dyが第1基準電極42ax及び第2基準電極42ayよりも突出し(はみ出し)ている。
なお、積層方向に垂直な「径方向」とは、積層方向に垂直な方向の全方向であればよいが、本実施形態では、「径方向」は幅方向に相当する。
As shown in FIG. 4, the first reference electrode 42 ax and the second reference electrode 42 ay form a long rectangle in the width direction (direction perpendicular to the longitudinal direction (the direction of the axis O) of the multi gas sensor element unit 100 A). On the other hand, the first solid electrolyte body 42 dx and the second solid electrolyte body 42 dy each have a substantially square shape shorter in the width direction than the first reference electrode 42 ax and the second reference electrode 42 ay. Then, the first reference electrode 42 ax and the second reference electrode 42 ay respectively project (extrude) from both ends in the width direction of the first solid electrolyte body 42 dx and the second solid electrolyte body 42 dy, and form two protruding portions 42 ap 1 and 42 a p 2 respectively. doing. In the direction of the axis O, the first solid electrolyte body 42dx and the second solid electrolyte body 42dy respectively project (extrude) beyond the first reference electrode 42ax and the second reference electrode 42ay.
The “radial direction” perpendicular to the stacking direction may be all directions in the direction perpendicular to the stacking direction, but in the present embodiment, the “radial direction” corresponds to the width direction.

又、第1検知電極42bx及び第2検知電極42byは、それぞれ第1固体電解質体42dx及び第2固体電解質体42dyよりも小さい矩形をなしており、それぞれ第1固体電解質体42dx及び第2固体電解質体42dyの端縁よりも内側に配置されている。
そして、それぞれ第1基準電極42ax及び第2基準電極42ayの幅方向外側の突出部42ap1、42ap2から後端側へ向かって基準電極リード42aL1、42aL2が絶縁層23a上に延びている。同様に、それぞれ第1検知電極42bx及び第2検知電極42byの幅方向中央から、後端側へ向かって検知電極リード42bL1、42bL2が絶縁層23a上に(一部はそれぞれ第1固体電解質体42dx及び第2固体電解質体42dy上に)、延びている。
In addition, the first detection electrode 42bx and the second detection electrode 42by form a rectangle smaller than the first solid electrolyte body 42dx and the second solid electrolyte body 42dy, respectively, and the first solid electrolyte body 42dx and the second solid electrolyte respectively It is disposed inside the end edge of the body 42dy.
Then, reference electrode leads 42aL1 and 42aL2 extend on the insulating layer 23a from the protruding portions 42ap1 and 42ap2 of the first reference electrode 42ax and the second reference electrode 42ay on the outer side in the width direction toward the rear end side. Similarly, from the center in the width direction of the first detection electrode 42bx and the second detection electrode 42by to the rear end side, the detection electrode leads 42bL1 and 42bL2 are formed on the insulating layer 23a (a part of each is a first solid electrolyte body 42dx And the second solid electrolyte body 42dy).

このように、第1基準電極42ax(又は第2基準電極42ay)に突出部42ap1(又は突出部42ap2)を設けることで、第1基準電極42ax(又は第2基準電極42ay)と第1固体電解質体42dx(又は第2固体電解質体42dy)との界面が外部に露出した露出境界部S10を、第1固体電解質体42dx(又は第2固体電解質体42dy)に覆われることなく、第1固体電解質体42dx(又は第2固体電解質体42dy)の端縁に形成することができる。   Thus, the first reference electrode 42ax (or the second reference electrode 42ay) and the first solid electrolyte can be obtained by providing the projection 42ap1 (or the projection 42ap2) on the first reference electrode 42ax (or the second reference electrode 42ay). The first solid electrolyte is not covered with the first solid electrolyte body 42dx (or the second solid electrolyte body 42dy) at the exposed boundary S10 where the interface with the body 42dx (or the second solid electrolyte body 42dy) is exposed to the outside. It can be formed at the edge of the body 42dx (or the second solid electrolyte body 42dy).

従って、露出境界部S10は、外部に直接露出して被測定ガスが到達し易くなるので、被測定ガスの雰囲気が急激に変化したときに、下層側の第1基準電極42ax(又は第2基準電極42ay)でも被測定ガスのガス置換が十分となり、応答性を向上させることができる。   Accordingly, since the exposed boundary portion S10 is directly exposed to the outside and the measured gas easily reaches, when the atmosphere of the measured gas changes rapidly, the lower first reference electrode 42ax (or the second reference side) Also in the electrode 42ay), the gas replacement of the measurement gas is sufficient, and the response can be improved.

さらに、第1検知電極42bx(又は第2検知電極42by)は、第1固体電解質体42dx(又は第2固体電解質体42dy)の端縁よりも内側に位置している。つまり、第1検知電極42bx(又は第2検知電極42by)は、第1固体電解質体42dx(又は第2固体電解質体42dy)上のみに設けられている。従って、第1検知電極42bx(又は第2検知電極42by)においても、第1検知電極42bx(又は第2検知電極42by)と第1固体電解質体42dx(又は第2固体電解質体42dy)との界面が外部に露出した露出境界部S1を、第1検知電極42bx(又は第2検知電極42by)の全周にわたって形成することができる。   Furthermore, the first detection electrode 42bx (or the second detection electrode 42by) is located inside the edge of the first solid electrolyte body 42dx (or the second solid electrolyte body 42dy). That is, the first detection electrode 42bx (or the second detection electrode 42by) is provided only on the first solid electrolyte body 42dx (or the second solid electrolyte body 42dy). Therefore, also in the first detection electrode 42bx (or the second detection electrode 42by), the interface between the first detection electrode 42bx (or the second detection electrode 42by) and the first solid electrolyte body 42dx (or the second solid electrolyte body 42dy) An exposed boundary S1 exposed to the outside can be formed over the entire circumference of the first detection electrode 42bx (or the second detection electrode 42by).

なお、一般的なセルの基準電極においても、基準電極から引き出されて外部回路に電気的に接続されるリードは、固体電解質体から突出している。しかしながら、本発明においては、積極的に電極反応を生じさせる3相界面(上述の露出境界部S10)を固体電解質体上に露出させるため、基準電極それ自体に突出部を形成することを目的としており、上記リードは対象としない。
このため、第1基準電極42ax又は第2基準電極42ay(以下、適宜「電極」という)と基準電極リード42aL1又は基準電極リード42aL2(以下、「リード」という)とを、形状、材質、又は緻密性によって区別する。例えば、固体電解質体と重なる部分の電極の幅の最も狭い部分よりも狭い部分をリードとすることができる。又、固体電解質体との密着性向上等を目的として固体電解質体の材料(共素地)を電極材料に添加するなどにより、電気抵抗が高くなった部位を電極とみなし、これより電気抵抗が低い部位をリードとみなすことができる。又、被測定ガスを透過させるために緻密性が低い(空隙率が多い)部位を電極とみなし、これより緻密性が高い部位をリードとみなすことができる。なお、リードの「幅」とは、リードを流れる電流の経路に垂直な方向の幅をいう。
例えば、図4の場合、第1固体電解質体42dx(又は第2固体電解質体42dy)と重なる部分の第1基準電極42ax(又は第2基準電極42ay)の最も狭い部分の幅はW1(軸線O方向の幅)であるから、W1よりも狭幅の部分(幅方向に沿う幅がW2の部分)を基準電極リード42aL1(又は基準電極リード42aL2)とする。
Also in the reference electrode of a general cell, a lead which is drawn from the reference electrode and electrically connected to an external circuit protrudes from the solid electrolyte body. However, in the present invention, the purpose is to form a projection on the reference electrode itself in order to expose the solid electrolyte body on the solid electrolyte body to expose the three-phase interface (the above-mentioned exposed boundary S10) that causes the electrode reaction to occur positively. The above leads are not included.
For this reason, the first reference electrode 42ax or the second reference electrode 42ay (hereinafter referred to as “electrode” as appropriate) and the reference electrode lead 42aL1 or the reference electrode lead 42aL2 (hereinafter referred to as “lead”) Differentiate by sex. For example, a portion narrower than the narrowest portion of the width of the electrode overlapping the solid electrolyte body can be used as a lead. Also, by adding the material of the solid electrolyte body (composition) to the electrode material for the purpose of improving adhesion with the solid electrolyte body, etc., a portion where the electric resistance is increased is regarded as an electrode, and the electric resistance is lower than this. The site can be considered as a lead. In addition, it is possible to regard a portion with low density (high porosity) as an electrode for transmitting the gas to be measured and a portion with higher density than this as a lead. The “width” of the lead means the width in the direction perpendicular to the path of the current flowing through the lead.
For example, in the case of FIG. 4, the width of the narrowest portion of the first reference electrode 42ax (or the second reference electrode 42ay) in the portion overlapping the first solid electrolyte body 42dx (or the second solid electrolyte body 42dy) is W1 (axis O Since the width is the direction), a portion narrower than W1 (a portion whose width in the width direction is W2) is used as the reference electrode lead 42aL1 (or reference electrode lead 42aL2).

なお、本実施形態では、ベース基板を構成するNOセンサ部30Aは長手方向(軸線O方向)に延びる板状をなすと共に、ヒータを有している。そして、このヒータ(具体的には発熱抵抗体21)は軸線O方向の一部に発熱部を有するため、ヒータの発熱による長手方向(軸線O方向)への温度勾配(分布)がNOセンサ部30Aに生じる。
そこで、突出部42ap1(又は突出部42ap2)を、それぞれ第1検知電極42bx(又は第2検知電極42by)の先端42bfと後端42beとによって、幅方向に区切られた領域R内に配置することにより、第1検知電極42bx(又は第2検知電極42by)と第1基準電極42ax(又は第2基準電極42ay)とを、長手方向(軸線O方向)において略同位置にすることができ、NOセンサ部30Aの温度勾配による第1アンモニアセンサ部42x及び第2アンモニアセンサ部42yの検出精度の低下を抑制することができる。
In the present embodiment, the NO x sensor portion 30A constituting the base substrate has a plate shape extending in the longitudinal direction (the direction of the axis O) and also has a heater. Then, the heater for (heat-generating resistor 21 specifically) is having a heat generating portion in a part of the axis O direction, the temperature gradient (distribution) NO x sensor in the longitudinal direction (direction of the axis O) by heat generation of the heater It occurs in the part 30A.
Therefore, the projection 42ap1 (or the projection 42ap2) is disposed in the region R divided in the width direction by the front end 42bf and the rear end 42be of the first detection electrode 42bx (or the second detection electrode 42by). As a result, the first detection electrode 42bx (or the second detection electrode 42by) and the first reference electrode 42ax (or the second reference electrode 42ay) can be placed at substantially the same position in the longitudinal direction (axis O direction). It is possible to suppress a decrease in detection accuracy of the first ammonia sensor unit 42x and the second ammonia sensor unit 42y due to the temperature gradient of the x sensor unit 30A.

又、本実施形態では、突出部42ap1(又は突出部42ap2)は、第1固体電解質体42dx(又は第2固体電解質体42dy)の幅方向の両端からそれぞれ突出している。このため、少なくとも2か所以上の異なる位置に露出境界部S10を形成することができ、2か所以上の露出境界部S10で被測定ガスの雰囲気の急激な変化を取得できるので、応答性をさらに向上させることができる。   Further, in the present embodiment, the protrusions 42ap1 (or the protrusions 42ap2) protrude from both ends in the width direction of the first solid electrolyte body 42dx (or the second solid electrolyte body 42dy). Therefore, the exposure boundary S10 can be formed at at least two different positions, and a rapid change in the atmosphere of the gas to be measured can be obtained at the two or more exposure boundaries S10. It can be further improved.

さらに、第1アンモニアセンサ部42x及び第2アンモニアセンサ部42yは、多孔質からなる保護層23gによって一体に覆われている。
保護層23gは、第1検知電極42bx及び第2検知電極42byへの被毒物質の付着を防止すると共に、外部から第1アンモニアセンサ部42x及び第2アンモニアセンサ部42yに流入する被測定ガスの拡散速度を調整するものである。保護層23gを形成する材料としては、アルミナ(酸化アルミニウム)、スピネル(MgAl)、シリカアルミナ、および、ムライトの群から選ばれる少なくとも1種の材料を例示できる。保護層23gによる被測定ガスの拡散速度は、保護層23gの厚さや、粒径や、粒度分布や、気孔率や、配合比率などを調整することにより調整される。
なお、上述の実施形態のように保護層23gを設けてもよいし、保護層23gを設けることなく第1アンモニアセンサ部42x及び第2アンモニアセンサ部42yなどを露出させてもよく、特に限定するものではない。また、保護層23gにより第1アンモニアセンサ部42xと第2アンモニアセンサ部42yとの感度比を調整する場合には、上述の実施形態ではなく、それぞれに保護層を設けても良い。
Furthermore, the first ammonia sensor portion 42x and the second ammonia sensor portion 42y are integrally covered by a porous protective layer 23g.
The protective layer 23g prevents adhesion of the poisoning substance to the first detection electrode 42bx and the second detection electrode 42by, and at the same time, the gas to be measured flows from the outside into the first ammonia sensor portion 42x and the second ammonia sensor portion 42y. It adjusts the diffusion rate. As a material for forming the protective layer 23g, alumina (aluminum oxide), spinel (MgAl 2 O 4), silica-alumina, and can be exemplified by at least one material selected from the group consisting of mullite. The diffusion rate of the gas to be measured by the protective layer 23g is adjusted by adjusting the thickness, particle size, particle size distribution, porosity, compounding ratio, and the like of the protective layer 23g.
The protective layer 23g may be provided as in the above-described embodiment, or the first ammonia sensor portion 42x and the second ammonia sensor portion 42y may be exposed without providing the protective layer 23g, which is particularly limited. It is not a thing. Moreover, when adjusting the sensitivity ratio of the 1st ammonia sensor part 42x and the 2nd ammonia sensor part 42y by 23 g of protective layers, you may provide a protective layer not with the above-mentioned embodiment, respectively.

次に、図2に戻り、制御装置300の構成の一例について説明する。制御装置300は、回路基板上に(アナログ)制御回路59とマイクロコンピュータ(マイコン)60とを備えている。マイクロコンピュータ60は制御装置300全体を制御し、CPU(中央演算処理装置)61、RAM62、ROM63、信号入出力部64、A/Dコンバータ65、及び図示しないクロックを備え、ROM等に予め格納されたプログラムがCPUにより実行される。
制御回路59は、詳しくは後述する基準電圧比較回路51、Ip1ドライブ回路52、Vs検出回路53、Icp供給回路54、Ip2検出回路55、Vp2印加回路56、ヒータ駆動回路57、それぞれ第1アンモニアセンサ部42x及び第2アンモニアセンサ部42yの起電力を検出する第1起電力検出回路58a及び第2起電力検出回路58bを備える。
制御回路59は、NOセンサ部30Aを制御し、NOセンサ部30Aに流れる第1ポンピング電流Ip1、第2ポンピング電流Ip2を検出してマイクロコンピュータ60に出力する。
第1起電力検出回路58a及び第2起電力検出回路58bは、第1アンモニアセンサ部42x及び第2アンモニアセンサ部42yの各電極間のアンモニア濃度出力(起電力)を検出してマイクロコンピュータ60に出力する。
Next, referring back to FIG. 2, an example of the configuration of the control device 300 will be described. The controller 300 includes an (analog) control circuit 59 and a microcomputer (microcomputer) 60 on a circuit board. The microcomputer 60 controls the entire control device 300, and includes a CPU (central processing unit) 61, a RAM 62, a ROM 63, a signal input / output unit 64, an A / D converter 65, and a clock (not shown). The program is executed by the CPU.
The control circuit 59 includes a reference voltage comparison circuit 51, an Ip1 drive circuit 52, a Vs detection circuit 53, an Icp supply circuit 54, an Ip2 detection circuit 55, a Vp2 application circuit 56, a heater drive circuit 57, and a first ammonia sensor. A first electromotive force detection circuit 58a and a second electromotive force detection circuit 58b that detect electromotive forces of the unit 42x and the second ammonia sensor unit 42y are provided.
The control circuit 59 controls the NO x sensor unit 30A, NO x sensor unit first pumping current flowing through 30A Ip1, and outputs to the microcomputer 60 detects the second pumping current Ip2.
The first electromotive force detection circuit 58 a and the second electromotive force detection circuit 58 b detect the ammonia concentration output (electromotive force) between the electrodes of the first ammonia sensor unit 42 x and the second ammonia sensor unit 42 y, and Output.

詳細には、NOセンサ部30Aの外側第1ポンピング電極2cはIp1ドライブ回路52に接続され、基準電極6cはVs検出回路53及びIcp供給回路54に並列に接続されている。又、第2ポンピング対電極4cはIp2検出回路55及びVp2印加回路56に並列に接続されている。ヒータ回路57はヒータ(具体的には発熱抵抗体21)に接続されている。
又、第1アンモニアセンサ部42xの一対の電極42ax、42bxがそれぞれ第1起電力検出回路58aに接続されている。同様に、第2アンモニアセンサ部42yの一対の電極42ay、42byがそれぞれ第2起電力検出回路58bに接続されている。
Specifically, the outer first pumping electrode 2c of the NO x sensor unit 30A is connected to the Ip1 drive circuit 52, and the reference electrode 6c is connected in parallel to the Vs detection circuit 53 and the Icp supply circuit 54. The second pumping counter electrode 4c is connected in parallel to the Ip2 detection circuit 55 and the Vp2 application circuit 56. The heater circuit 57 is connected to a heater (specifically, the heating resistor 21).
The pair of electrodes 42ax and 42bx of the first ammonia sensor portion 42x are connected to the first electromotive force detection circuit 58a. Similarly, the pair of electrodes 42ay and 42by of the second ammonia sensor unit 42y are connected to the second electromotive force detection circuit 58b, respectively.

各回路51〜57は、以下のような機能を有する。
Ip1ドライブ回路52は、内側第1ポンピング電極2b及び外側第1ポンピング電極2cの間に第1ポンピング電流Ip1を供給しつつ、その際の第1ポンピング電流Ip1を検出する。
Vs検出回路53は、検知電極6b及び基準電極6cの間の電圧Vsを検出し、検出結果を基準電圧比較回路51に出力する。
基準電圧比較回路51は、基準電圧(例えば、425mV)とVs検出回路53の出力(電圧Vs)とを比較し、比較結果をIp1ドライブ回路52に出力する。そして、Ip1ドライブ回路52は、電圧Vsが上記基準電圧に等しくなるようにIp1電流の流れる向き及び大きさを制御し、第1測定室S1内の酸素濃度をNOが分解しない程度の所定値に調整する。
Icp供給回路54は、検知電極6b及び基準電極6cの間に微弱な電流Icpを流し、酸素を第1測定室S1から基準酸素室15内に送り込み、基準電極6cを基準となる所定の酸素濃度に晒させる。
Vp2印加回路56は、内側第2ポンピング電極4b及び第2ポンピング対電極4cの間に、被測定ガス中のNOガスが酸素とNガスに分解する程度の一定電圧Vp2(例えば、450mV)を印加し、NOを窒素と酸素に分解する。
Ip2検出回路55は、NOの分解により生じた酸素が第2測定室S2から第2固体電解質体4aを介して第2ポンピング対電極4c側に汲み出される際に、第2ポンピングセル4に流れる第2ポンピング電流Ip2を検出する。
Each of the circuits 51 to 57 has the following function.
The Ip1 drive circuit 52 supplies a first pumping current Ip1 between the inner first pumping electrode 2b and the outer first pumping electrode 2c, and detects the first pumping current Ip1 at that time.
The Vs detection circuit 53 detects the voltage Vs between the detection electrode 6 b and the reference electrode 6 c and outputs the detection result to the reference voltage comparison circuit 51.
The reference voltage comparison circuit 51 compares a reference voltage (for example, 425 mV) with the output (voltage Vs) of the Vs detection circuit 53, and outputs the comparison result to the Ip1 drive circuit 52. Then, Ip1 drive circuit 52 controls the direction and magnitude of flow voltage Vs of equal manner Ip1 current to the reference voltage, the predetermined value of the degree to which the oxygen concentration in the first measurement chamber S1 is NO x does not decompose Adjust to
The Icp supply circuit 54 supplies a weak current Icp between the detection electrode 6b and the reference electrode 6c to supply oxygen from the first measurement chamber S1 into the reference oxygen chamber 15, and a predetermined oxygen concentration based on the reference electrode 6c. Exposed to
The Vp2 application circuit 56 has a constant voltage Vp2 (for example, 450 mV) between the inner second pumping electrode 4b and the second pumping counter electrode 4c such that the NO x gas in the gas to be measured is decomposed into oxygen and N 2 gas. Is applied to decompose NO x into nitrogen and oxygen.
Ip2 detection circuit 55, when the oxygen generated by the decomposition of the NO x is pumped into the second pumping counter electrode 4c side from the second measurement chamber S2 through the second solid electrolyte body 4a, the second pumping cell 4 A flowing second pumping current Ip2 is detected.

Ip1ドライブ回路52は、検出した第1ポンピング電流Ip1の値をA/Dコンバータ65に出力する。又、Ip2検出回路55は、検出した第2ポンピング電流Ip2の値をA/Dコンバータ65に出力する。
A/Dコンバータ65はこれらの値をデジタル変換し、信号入出力部64を介してCPU61に出力する。
The Ip1 drive circuit 52 outputs the detected value of the first pumping current Ip1 to the A / D converter 65. Further, the Ip2 detection circuit 55 outputs the detected value of the second pumping current Ip2 to the A / D converter 65.
The A / D converter 65 digitally converts these values, and outputs the converted values to the CPU 61 through the signal input / output unit 64.

次に、制御回路59を用いた制御の一例について説明する。まず、エンジンが始動されて外部電源から電力の供給を受けると、ヒータ回路57を介してヒータが作動し、第1ポンピングセル2、酸素濃度検出セル6、第2ポンピングセル4を活性化温度まで加熱する。又、Icp供給回路54は、検知電極6b及び基準電極6cの間に微弱な電流Icpを流し、酸素を第1測定室S1から基準酸素室15内に送り込み、酸素基準とする。
又、ヒータによってNOセンサ部30Aが適温まで加熱されると、それに伴ってNOセンサ部30A上の第1アンモニアセンサ部42x及び第2アンモニアセンサ部42yも所望の温度に昇温される。
Next, an example of control using the control circuit 59 will be described. First, when the engine is started and power is supplied from the external power supply, the heater operates through the heater circuit 57 to bring the first pumping cell 2, the oxygen concentration detection cell 6 and the second pumping cell 4 up to the activation temperature. Heat up. Further, the Icp supply circuit 54 supplies a weak current Icp between the detection electrode 6b and the reference electrode 6c to supply oxygen from the first measurement chamber S1 into the reference oxygen chamber 15, which is used as an oxygen reference.
Further, when the NO x sensor section 30A is heated to a suitable temperature by a heater, NO x first ammonia sensor unit on the sensor unit 30A 42x and the second ammonia sensor unit 42y is also heated to the desired temperature accordingly.

そして、各セルが活性化温度まで加熱されると、第1ポンピングセル2は、第1測定室S1に流入した被測定ガス(排ガス)中の酸素を内側第1ポンピング電極2bから外側第1ポンピング電極2cへ向かって汲み出す。
このとき、第1測定室S1内の酸素濃度は、酸素濃度検出セル6の電極間電圧(端子間電圧)Vsに対応したものとなるため、この電極間電圧Vsが上記基準電圧になるように、Ip1ドライブ回路52が第1ポンピングセル2に流れる第1ポンピング電流Ip1を制御し、第1測定室S1内の酸素濃度をNOが分解しない程度に調整する。
Then, when each cell is heated to the activation temperature, the first pumping cell 2 pumps oxygen in the measurement gas (exhaust gas) flowing into the first measurement chamber S1 from the inner first pumping electrode 2b to the outer first pumping Pump toward the electrode 2c.
At this time, the oxygen concentration in the first measurement chamber S1 corresponds to the inter-electrode voltage (inter-terminal voltage) Vs of the oxygen concentration detection cell 6, so that the inter-electrode voltage Vs becomes the reference voltage. controls the first pumping current Ip1 to Ip1 drive circuit 52 flows through the first pumping cell 2, the oxygen concentration in the first measurement chamber S1 is nO x adjusted so as not to decompose.

酸素濃度が調整された被測定ガスは第2測定室S2に向かってさらに流れる。そして、Vp2印加回路56は、第2ポンピングセル4の電極間電圧(端子間電圧)として、被測定ガス中のNOガスが酸素とNガスに分解する程度の一定電圧Vp2(酸素濃度検出セル6の制御電圧の値より高い電圧、例えば450mV)を印加し、NOを窒素と酸素に分解する。そして、NOの分解により生じた酸素が第2測定室S2から汲み出されるよう、第2ポンピングセル4に第2ポンピング電流Ip2が流れる。この際、第2ポンピング電流Ip2とNO濃度の間には直線関係があるため、Ip2検出回路55が第2ポンピング電流Ip2を検出することにより、被測定ガス中のNO濃度を検出することができる。 The measurement gas whose oxygen concentration has been adjusted further flows toward the second measurement chamber S2. Then, the Vp2 application circuit 56 sets a constant voltage Vp2 (oxygen concentration detection) to the extent that the NO x gas in the gas to be measured is decomposed into oxygen and N 2 gas as the inter-electrode voltage (inter-terminal voltage) of the second pumping cell 4 A voltage higher than the value of the control voltage of the cell 6, for example 450 mV, is applied to decompose the NO x into nitrogen and oxygen. Then, as the oxygen generated by the decomposition of the NO x is pumped out from the second measurement chamber S2, the second pumping current Ip2 flows into the second pumping cell 4. At this time, since there is a linear relationship between the second pumping current Ip2 and the NO x concentration, the Ip 2 detection circuit 55 detects the second pumping current Ip 2 to detect the NO x concentration in the gas to be measured. Can.

又、第1起電力検出回路58aが一対の電極42ax、42bx間のアンモニア濃度出力(起電力)を検出し、第2起電力検出回路58bが一対の電極42ay、42by間のアンモニア濃度出力(起電力)を検出することにより、後述するように被測定ガス中のアンモニア濃度を検出することができる。   The first electromotive force detection circuit 58a detects the ammonia concentration output (electromotive force) between the pair of electrodes 42ax and 42bx, and the second electromotive force detection circuit 58b outputs the ammonia concentration between the pair of electrodes 42ay and 42by ( By detecting the electric power), it is possible to detect the ammonia concentration in the measurement gas as described later.

次に、制御装置300のマイクロコンピュータ60による、各種ガス濃度を算出する処理を説明する。
まず、第1アンモニアセンサ部42x、第2アンモニアセンサ部42yの2つのアンモニアセンサ部を設けた理由は以下のとおりである。すなわち、アンモニアセンサ部は、アンモニアだけでなく、NOをも検出してしまうので、被検出ガス中にアンモニア以外のNOガスが含まれているとアンモニアの検出精度が低下する。そこで、アンモニアに対する感度とNOxに対する感度との比がそれぞれ異なるアンモニアセンサ部を2つ設けると、アンモニアガスとNOガスの2つの未知濃度に対し、2つのアンモニアセンサ部から別々の感度による値を検出するので、アンモニアガスとNOの濃度を算出できることになる。ここでアンモニアセンサ部のアンモニアに対する感度とNOxに対する感度との比とは、そのアンモニアセンサ部が検出する全感度(アンモニア、及びNO)に対する、アンモニアの検出感度の比をいう。なお、本実施例においては、アンモニアセンサ部はNOガスを検出しないので、「アンモニアセンサ部のアンモニアに対する感度とNOxに対する感度の比」=「アンモニアセンサ部のアンモニアに対する感度とNOに対する感度の比」として判断している。また、アンモニアセンサ部がNOガスを検出しない場合には、アンモニアセンサ部のアンモニアに対する感度とNOxに対する感度の比」=「アンモニアセンサ部のアンモニアに対する感度とNOに対する感度の比」として判断してもよい。
つまり、アンモニアセンサ部のセンサ出力は、x:アンモニア濃度、y:NOガス濃度、D:O濃度に対し、F(x、y、D)で表されるが、上記感度比が異なる2つのNOセンサ部を用いると、F(mx、ny、D)、F(sx、ty、D)(m、n、s、tは係数)の2つの式が得られる。F、F、Dはセンサ出力から得られるので、2つの式から2つの未知数(x、y)を解けばよいことになる。具体的には、上記二つの式からyを除去し、後述の式(1)〜(3)のようにxの式を得ることによって計算できる。
Next, a process of calculating various gas concentrations by the microcomputer 60 of the control device 300 will be described.
First, the reason for providing two ammonia sensor parts, the first ammonia sensor part 42x and the second ammonia sensor part 42y, is as follows. That is, since the ammonia sensor unit detects not only ammonia but also NO 2 , if the gas to be detected contains NO 2 gas other than ammonia, the detection accuracy of ammonia is lowered. Therefore, if two ammonia sensor units with different ratios of sensitivity to ammonia and sensitivity to NOx are provided, values from different sensitivities from two ammonia sensor units are calculated for two unknown concentrations of ammonia gas and NO 2 gas. Since the detection is performed, the concentrations of ammonia gas and NO 2 can be calculated. Here, the ratio of the sensitivity of the ammonia sensor to ammonia and the sensitivity to NOx refers to the ratio of the detection sensitivity of ammonia to the total sensitivity (ammonia and NO x ) detected by the ammonia sensor. In the present embodiment, the ammonia sensor does not detect NO gas, so "ratio of sensitivity of ammonia sensor to ammonia to sensitivity of NOx" = "ratio of sensitivity of ammonia sensor to ammonia to sensitivity to NO 2 It is judged as ". When the ammonia sensor does not detect NO 2 gas, it is determined as the ratio of the sensitivity of the ammonia sensor to ammonia to the sensitivity of NOx = the ratio of the sensitivity of the ammonia sensor to ammonia to the sensitivity of NO. It is also good.
That is, the sensor output of the ammonia sensor unit is represented by F (x, y, D) with respect to x: ammonia concentration, y: NO 2 gas concentration, D: O 2 concentration, but the sensitivity ratio is different 2 If one NO 2 sensor unit is used, two expressions of F 1 (mx, ny, D) and F 2 (sx, ty, D) (m, n, s, t are coefficients) are obtained. Since F 1 , F 2 and D are obtained from the sensor output, it is sufficient to solve two unknowns (x, y) from two equations. Specifically, it can be calculated by removing y from the above two equations and obtaining an equation of x as in the following equations (1) to (3).

次に、第1アンモニアセンサ部42x及び第2アンモニアセンサ部42yによるNO及びアンモニアの検出、並びにNOとアンモニアの濃度の算出の詳細について説明する。
第1アンモニアセンサ部42xの第1基準電極42axと第1検知電極42bxとの間には、被測定ガスに含まれるアンモニア濃度に応じて起電力が発生する。第1起電力検出回路58aは、第1基準電極42axと第1検知電極42bxとの間の起電力を第1アンモニア起電力として検出する。同様に、第2アンモニアセンサ部42yの第2基準電極42ayと第2検知電極42byとの間にも、アンモニア濃度に応じて起電力が発生する。第2起電力検出回路58bは、第2基準電極42ayと第2検知電極42byとの間の起電力を第2アンモニア起電力として検出する。
Next, details of detection of NO 2 and ammonia by the first ammonia sensor unit 42 x and the second ammonia sensor unit 42 y and calculation of the concentrations of NO 2 and ammonia will be described.
An electromotive force is generated between the first reference electrode 42 ax of the first ammonia sensor unit 42 x and the first detection electrode 42 b x according to the concentration of ammonia contained in the measurement gas. The first electromotive force detection circuit 58a detects an electromotive force between the first reference electrode 42ax and the first detection electrode 42bx as a first ammonia electromotive force. Similarly, an electromotive force is generated between the second reference electrode 42ay of the second ammonia sensor unit 42y and the second detection electrode 42by according to the ammonia concentration. The second electromotive force detection circuit 58b detects an electromotive force between the second reference electrode 42ay and the second detection electrode 42by as a second ammonia electromotive force.

ここで、マイクロコンピュータ60のROM63には、以下に説明する各種のデータ(関係式)が格納されている。CPU61は、ROM63から当該各種データを読み込み、第1ポンピング電流Ip1の値、第2ポンピング電流Ip2の値、第1アンモニア起電力および第2アンモニア起電力から種々の演算処理を行う。
ここで、ROM63には、「第1アンモニア起電力−第1アンモニア濃度出力関係式」、「第2アンモニア起電力−第2アンモニア濃度出力関係式」、「第1ポンピング電流Ip1−O2濃度出力関係式」、「第2ポンピング電流Ip2−NOx濃度出力関係式」、「第1アンモニア濃度出力&第2アンモニア濃度出力&O2濃度出力−補正アンモニア濃度出力関係式」(補正式(1):下記参照)、「第1アンモニア濃度出力&第2アンモニア濃度出力&O2濃度出力−補正NO濃度出力関係式」(補正式(2))、「NOx濃度出力&補正アンモニア濃度出力&補正NO濃度出力-補正NOx濃度出力関係式」(補正式(3))が格納されている。
なお、各種データは、上述のように所定の関係式として設定されていてもよいし、センサの出力から各種ガス濃度を算出するものであればよく、例えばテーブルとして設定されていてもよい。その他にも、予めガス濃度が既知のガスモデルを用いて得られた値(関係式やテーブルなど)とされていてもよい。
Here, the ROM 63 of the microcomputer 60 stores various data (relational expressions) described below. The CPU 61 reads the various data from the ROM 63 and performs various arithmetic processing from the value of the first pumping current Ip1, the value of the second pumping current Ip2, the first ammonia electromotive force and the second ammonia electromotive force.
Here, the ROM 63, "the first ammonia electromotive force - first ammonia concentration output relationship", "second ammonia electromotive force - the second ammonia concentration output relationship", "first pumping current Ip1-O 2 concentration output Relational Expressions, "Second Pumping Current Ip2-NOx Concentration Output Relational Expression", "First Ammonia Concentration Output & Second Ammonia Concentration Output & O 2 Concentration Output-Corrected Ammonia Concentration Output Relational Expression" (correction expression (1): see), "first ammonia concentration output and the second ammonia concentration output and O 2 concentration output - correction NO 2 concentration output relationship" (correction equation (2)), "NOx concentration output and correcting the ammonia concentration output and correction NO 2 concentration An output-correction NOx concentration output relational expression (correction expression (3)) is stored.
The various data may be set as a predetermined relational expression as described above, or may be set as a table, for example, as long as it calculates various gas concentrations from the output of the sensor. In addition, it may be a value (a relational expression, a table, etc.) obtained in advance using a gas model whose gas concentration is known.

「第1アンモニア起電力−第1アンモニア濃度出力関係式」及び「第2アンモニア起電力−第2アンモニア濃度出力関係式」は、第1アンモニアセンサ部42xおよび第2アンモニアセンサ部42yから出力されたアンモニア起電力と、被測定ガスのアンモニア濃度に係るアンモニア濃度出力との関係を表す式である。
「第1ポンピング電流Ip1−O濃度出力関係式」は、第1ポンピング電流Ip1と、被測定ガスのO濃度との関係を表す式である。
「第2ポンピング電流Ip2−NOx濃度出力関係式」は、第2ポンピング電流Ip2と、被測定ガスのNOx濃度との関係を表す式である。
「第1アンモニア濃度出力&第2アンモニア濃度出力&O2濃度出力−補正アンモニア濃度出力関係式」は、酸素濃度及びNO濃度の影響を受けたアンモニア濃度出力(第1、第2)と、酸素濃度及びNO濃度の影響を除去した補正アンモニア濃度出力の関係を表す式である。
「第1アンモニア濃度出力&第2アンモニア濃度出力&O2濃度出力−補正NO濃度出力関係式」は、酸素濃度及びアンモニア濃度の影響を受けたNO濃度出力と、酸素濃度及びアンモニア濃度の影響を除去した補正NO濃度出力の関係を表す式である。
「NOx濃度出力&補正アンモニア濃度出力&補正NO濃度出力-補正NOx濃度出力関係式」は、アンモニア濃度及びNO濃度の影響を受けたNOx濃度出力と、アンモニア濃度及びNO濃度の影響を除去、修正した正確な補正NOx濃度出力の関係を表す式である。
The “first ammonia electromotive force-first ammonia concentration output relational expression” and the “second ammonia electromotive force-second ammonia concentration output relational expression” are output from the first ammonia sensor unit 42 x and the second ammonia sensor unit 42 y It is a formula showing the relation between ammonia electromotive force and ammonia concentration output concerning ammonia concentration of to-be-measured gas.
The “first pumping current Ip1-O 2 concentration output relational expression” is an expression representing the relationship between the first pumping current Ip 1 and the O 2 concentration of the gas to be measured.
The "second pumping current Ip2-NOx concentration output relational expression" is an expression representing the relationship between the second pumping current Ip2 and the NOx concentration of the measured gas.
"The first ammonia concentration output and the second ammonia concentration output and O 2 concentration output - correction ammonia concentration output relationship" is an oxygen concentration and NO 2 concentration affected ammonia concentration output of the (first, second), oxygen It is a formula showing the relation of the correction ammonia concentration output which removed the influence of concentration and NO 2 concentration.
"The first ammonia concentration output and the second ammonia concentration output and O 2 concentration output - correction NO 2 concentration output relationship" is a NO 2 concentration output affected by the oxygen concentration and the ammonia concentration, the influence of the oxygen concentration and the ammonia concentration Is an expression representing the relationship between the corrected NO 2 concentration output from which the
"NOx concentration output and correction ammonia concentration output and correction NO 2 concentration output - correction NOx concentration output relationship" is, and the NOx concentration output affected by the ammonia concentration and NO 2 concentration, the effect of the ammonia concentration and NO 2 concentration It is an expression representing the relationship between the corrected and corrected NOx concentration output that has been removed and corrected.

次に、マイクロコンピュータ60のCPU61において実行される、第1ポンピング電流Ip1、第2ポンピング電流Ip2、第1アンモニア起電力EMFおよび第2アンモニア起電力EMFから、NOx濃度およびアンモニア濃度を求める演算処理について説明する。
CPU61は、第1ポンピング電流Ip1、第2ポンピング電流Ip2、第1アンモニア起電力および第2アンモニア起電力が入力されると、O2濃度出力、NOx濃度出力、第1アンモニア濃度出力および第2アンモニア濃度出力、を求める演算処理を行う。具体的には、ROM63から「第1アンモニア起電力−第1アンモニア濃度出力関係式」、「第2アンモニア起電力−第2アンモニア濃度出力関係式」、「第1ポンピング電流Ip1−O2濃度出力関係式」、「第2ポンピング電流Ip2−NOx濃度出力関係式」を呼び出し、当該関係式を用いて各濃度出力を算出する処理を行う。
尚、「第1アンモニア起電力−第1アンモニア濃度出力関係式」、「第2アンモニア起電力−第2アンモニア濃度出力関係式」は、第1アンモニアセンサ部42xと第2アンモニアセンサ部42yが使用環境中で出力し得るEMFの全範囲において、被測定ガス中のアンモニア濃度とセンサのアンモニア濃度換算出力とが概ね直線関係になるように設定された式である。このような換算式でもって換算することによって、後の補正式において、傾き及びオフセットの変化を利用した計算を可能とする。
2濃度出力、NOx濃度出力、第1アンモニア濃度出力および第2アンモニア濃度出力が求められると、CPUは、以下に説明する補正式を用いた演算を行うことで、被測定ガスのアンモニア濃度及びNOx濃度を求める。
Next, about the arithmetic processing which is executed in the CPU 61 of the microcomputer 60 to obtain the NOx concentration and the ammonia concentration from the first pumping current Ip1, the second pumping current Ip2, the first ammonia electromotive force EMF and the second ammonia electromotive force EMF explain.
CPU61, the first pumping current Ip1, the second pumping current Ip2, when the first ammonia electromotive force and the second ammonia electromotive force is inputted, O 2 concentration output, NOx concentration output, first ammonia concentration output and a second ammonia An arithmetic process is performed to obtain a density output. Specifically, from the ROM 63, "first ammonia electromotive force-first ammonia concentration output relational expression", "second ammonia electromotive force-second ammonia concentration output relational expression", "first pumping current Ip1-O 2 concentration output The relational expression and the "second pumping current Ip2-NOx concentration output relational expression" are called, and processing of calculating each concentration output is performed using the relational expression.
The "first ammonia electromotive force-first ammonia concentration output relational expression" and "second ammonia electromotive force-second ammonia concentration output relational expression" are used by the first ammonia sensor unit 42x and the second ammonia sensor unit 42y. In the entire range of EMF that can be output in the environment, the equation is set such that the ammonia concentration in the gas to be measured and the ammonia concentration converted output of the sensor have a substantially linear relationship. Converting with such a conversion formula enables calculation using changes in inclination and offset in a later correction formula.
When the O 2 concentration output, the NOx concentration output, the first ammonia concentration output, and the second ammonia concentration output are obtained, the CPU performs the calculation using the correction formula described below to obtain the ammonia concentration of the gas to be measured and Determine the NOx concentration.

補正式(1):x =F (A、B、D)
= (eA-c)*(jB-h-fA+d)/(eA-c-iB+g) + fA-d
補正式(2):y = F'(A、B、D)
= (jB-h-fA+d)/(eA-c-iB+g)
補正式(3):z = C - ax + by
ここで、xはアンモニア濃度であり、yはNO濃度であり、zはNOx濃度である。また、Aは第1アンモニア濃度出力であり、Bは第2アンモニア濃度出力であり、CはNOx濃度出力であり、DはO2濃度出力である。そして、式(1)、(2)のF及びF'は、xが(A、B、D)の関数であることを表す。さらに、a、 bは補正係数、c、 d、 e、 f、 g、 h、 i、 j はO2濃度出力Dを用いて計算される係数である(Dによって決まる係数)。
上述の補正式(1)〜(3)に、第1アンモニア濃度出力(A)、第2アンモニア濃度出力(B)、NOx濃度出力(C)およびO2濃度出力(D)、を各代入して演算することによって、被測定ガスのアンモニア濃度及びNOx濃度を求める。
なお、補正式(1)及び(2)は第1アンモニアセンサ部42x、第2アンモニアセンサ部42yの特性に基づいて定まる式であり、補正式(3)はNOxセンサ部の特性に基づいて定まる式である。なお、式(1)〜(3)は、あくまでも補正式の一例を示したものであり、ガス検知特性に応じて、他の補正式や、係数等を適宜変更しても良い。
Correction formula (1): x = F (A, B, D)
= (eA-c) * (jB-h-fA + d) / (eA-c-iB + g) + fA-d
Correction formula (2): y = F '(A, B, D)
= (jB-h-fA + d) / (eA-c-iB + g)
Correction equation (3): z = C-ax + by
Here, x is the ammonia concentration, y is the NO 2 concentration, and z is the NOx concentration. A is a first ammonia concentration output, B is a second ammonia concentration output, C is a NOx concentration output, and D is an O 2 concentration output. And F and F 'of Formula (1), (2) represent that x is a function of (A, B, D). Further, a, b are correction coefficients, c, d, e, f, g, h, i, j are coefficients calculated using the O 2 density output D (coefficient determined by D).
Substitute the first ammonia concentration output (A), the second ammonia concentration output (B), the NOx concentration output (C) and the O 2 concentration output (D) into the above-mentioned correction equations (1) to (3). The ammonia concentration and the NOx concentration of the gas to be measured are determined by computing.
The correction equations (1) and (2) are equations determined based on the characteristics of the first ammonia sensor unit 42x and the second ammonia sensor unit 42y, and the correction equation (3) is determined based on the characteristics of the NOx sensor unit It is a formula. The equations (1) to (3) are merely examples of correction equations, and other correction equations or coefficients may be appropriately changed according to the gas detection characteristics.

以上より、本発明の実施形態に係るマルチガスセンサ200Aを用いることで、アンモニア及びNOxが共存し、且つ酸素濃度が変化する環境においても、アンモニアとNOxをそれぞれ分離して精度よく検出することができる。   As described above, by using the multi-gas sensor 200A according to the embodiment of the present invention, ammonia and NOx can be separated and accurately detected even in an environment where ammonia and NOx coexist and oxygen concentration changes. .

次に、図5〜図7を参照し、本発明の第2の実施形態に係るマルチガスセンサ(ガスセンサ)について説明する。なお、第2の実施形態に係るマルチガスセンサは、2つのアンモニアセンサ部(セル)である第1アンモニアセンサ部42x1及び第2アンモニアセンサ部42y1の構成、及び配置位置が異なること以外は、第1の実施形態と同一であるので、同一部分の構成については説明を省略する。
図5に示すように、アンモニアセンサ部42x1、42y1は、NOセンサ部30Aの外表面(上面)をなす絶縁層23eの表面上に設けられている。
Next, a multi gas sensor (gas sensor) according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The multi-gas sensor according to the second embodiment is the first except that the configuration and the arrangement position of the first ammonia sensor unit 42x1 and the second ammonia sensor unit 42y1 which are two ammonia sensor units (cells) are different. This embodiment is the same as the embodiment of the present invention, so the description of the configuration of the same part is omitted.
As shown in FIG. 5, the ammonia sensor portions 42x1 and 42y1 are provided on the surface of the insulating layer 23e which forms the outer surface (upper surface) of the NO x sensor portion 30A.

より詳しくは、図6に示すように、第1アンモニアセンサ部42x1は、絶縁層23e上に第1基準電極42ax1が形成され、第1基準電極42ax1の表面に第1固体電解質体42dx1が形成されている。さらに、第1固体電解質体42dx1の表面に第1検知電極42bx1が形成されている。そして、第1基準電極42ax1及び第1検知電極42bx1の間の起電力変化によって被測定ガス中のアンモニア濃度を検出するようになっている。
同様に、第2アンモニアセンサ部42y1は、絶縁層23e上に第2基準電極42ay1が形成され、第2基準電極42ay1の表面に第2固体電解質体42dy1が形成されている。さらに、第2固体電解質体42dy1の表面に第2検知電極42by1が形成されている。
More specifically, as shown in FIG. 6, in the first ammonia sensor portion 42x1, the first reference electrode 42ax1 is formed on the insulating layer 23e, and the first solid electrolyte body 42dx1 is formed on the surface of the first reference electrode 42ax1. ing. Furthermore, the first detection electrode 42bx1 is formed on the surface of the first solid electrolyte body 42dx1. The ammonia concentration in the gas to be measured is detected by the change in electromotive force between the first reference electrode 42ax1 and the first detection electrode 42bx1.
Similarly, in the second ammonia sensor portion 42y1, a second reference electrode 42ay1 is formed on the insulating layer 23e, and a second solid electrolyte body 42dy1 is formed on the surface of the second reference electrode 42ay1. Furthermore, a second detection electrode 42by1 is formed on the surface of the second solid electrolyte body 42dy1.

図7に示すように、第1基準電極42ax1及び第2基準電極42ay1は略正方形をなす。一方で、第1固体電解質体42dx1及び第2固体電解質体42dy1はそれぞれ第1基準電極42ax1及び第2基準電極42ay1よりも小さい略正方形をなしており、それぞれ第1基準電極42ax1及び第2基準電極42ay1よりも内側に配置されている。このため、第1固体電解質体42dx1及び第2固体電解質体42dy1の端縁の全体から、それぞれ第1基準電極42ax1及び第2基準電極42ay1が突出し(はみ出し)、それぞれ第1固体電解質体42dx1及び第2固体電解質体42dy1の略全周を取り囲む突出部42ap5、42ap6を形成している。但し、突出部42ap5、42ap6のうち、それぞれ後述する検知電極リード42bL3、42bL4と重なる部分は短絡を防止するために切り欠かれて切欠き部42arが形成され、突出部42ap5、42ap6は後端側が開口する略コの字状に形成されている。   As shown in FIG. 7, the first reference electrode 42 ax 1 and the second reference electrode 42 a y 1 form a substantially square. On the other hand, the first solid electrolyte body 42dx1 and the second solid electrolyte body 42dy1 are substantially in the form of a square smaller than the first reference electrode 42ax1 and the second reference electrode 42ay1, respectively. It is arranged inside 42ay1. For this reason, the first reference electrode 42ax1 and the second reference electrode 42ay1 respectively project (extrude) from the entire edge of the first solid electrolyte body 42dx1 and the second solid electrolyte body 42dy1, and the first solid electrolyte body 42dx1 and the second solid electrode 42ay1 respectively The protrusions 42ap5 and 42ap6 are formed to surround substantially the entire circumference of the two solid electrolyte body 42dy1. However, in the portions overlapping with the detection electrode leads 42bL3 and 42bL4, which will be described later, of the projecting portions 42ap5 and 42ap6, notches 42ar are formed to prevent short circuits, and the projecting portions 42ap5 and 42ap6 are on the rear end side The opening is formed in a substantially U-shape.

又、第1検知電極42bx1及び第2検知電極42by1は、それぞれ第1固体電解質体42dx1及び第2固体電解質体42dy1よりも小さい矩形をなしており、それぞれ第1固体電解質体42dx1及び第2固体電解質体42dy1の端縁よりも内側に配置されている。
そして、それぞれ第1基準電極42ax1及び第2基準電極42ay1の幅方向外側の突出部42ap5、42ap6から、幅方向外側へさらに延びた後、後端側へ向かって折り返すようにして基準電極リード42aL3、42aL3が絶縁層23e上に延びている。同様に、それぞれ第1検知電極42bx1及び第2検知電極42by1の幅方向中央から、後端側へ向かって絶縁層23e上に(一部はそれぞれ第1固体電解質体42dx1及び第2固体電解質体42dy1上に)検知電極リード42bL3、42bL4が延びている。
In addition, the first detection electrode 42bx1 and the second detection electrode 42by1 form a rectangle smaller than the first solid electrolyte body 42dx1 and the second solid electrolyte body 42dy1, respectively, and the first solid electrolyte body 42dx1 and the second solid electrolyte respectively It is disposed inside the end edge of the body 42 dy 1.
Then, after extending further outward in the width direction from the protrusion portions 42ap5 and 42ap6 of the width direction outer sides of the first reference electrode 42ax1 and the second reference electrode 42ay1, respectively, the reference electrode lead 42aL3, 42aL3 extend on the insulating layer 23e. Similarly, from the widthwise center of the first detection electrode 42bx1 and the second detection electrode 42by1 toward the rear end side on the insulating layer 23e (a part of the first solid electrolyte body 42dx1 and the second solid electrolyte body 42dy1 respectively) Up) sense electrode leads 42bL3, 42bL4 extend.

このように、第1基準電極42ax1(又は第2基準電極42ay1)に突出部42ap5(又は突出部42ap6)を設けることで、第1基準電極42ax1(又は第2基準電極42ay1)と第1固体電解質体42dx1(又は第2固体電解質体42dy1)との界面が外部に露出した露出境界部S10を、第1固体電解質体42dx1(又は第2固体電解質体42dy1)に覆われることなく、第1固体電解質体42dx1(又は第2固体電解質体42dy1)の端縁に形成することができる(図7では、四周の露出境界部S10のうち1つのみそれぞれ記載)。
一方、第1検知電極42bx1(又は第2検知電極42by1)の端縁には露出境界部S1が露出している。
Thus, the first reference electrode 42ax1 (or the second reference electrode 42ay) is provided with the projection 42ap5 (or the projection 42ap6), whereby the first reference electrode 42ax1 (or the second reference electrode 42ay1) and the first solid electrolyte can be obtained. The first solid electrolyte is not covered with the first solid electrolyte body 42dx1 (or the second solid electrolyte body 42dy1) at the exposed boundary S10 where the interface with the body 42dx1 (or the second solid electrolyte body 42dy1) is exposed to the outside It can be formed at the edge of the body 42dx1 (or the second solid electrolyte body 42d1) (in FIG. 7, only one of the four exposure boundaries S10 is described).
On the other hand, the exposure boundary portion S1 is exposed at the edge of the first detection electrode 42bx1 (or the second detection electrode 42by1).

従って、第1の実施形態と同様に、第1基準電極42ax1(又は第2基準電極42ay1)は、外部に直接露出して被測定ガスが到達し易い露出境界部S10を形成するので、被測定ガスの雰囲気が急激に変化しても被測定ガスのガス置換が十分となって応答性を向上させることができる。   Therefore, as in the first embodiment, the first reference electrode 42ax1 (or the second reference electrode 42ay1) is exposed directly to the outside to form an exposed boundary portion S10 to which the gas to be measured easily reaches, so Even if the atmosphere of the gas changes rapidly, the gas replacement of the measurement gas is sufficient and the response can be improved.

なお、図7の場合、第1固体電解質体42dx1(又は第2固体電解質体42dy1)と重なる部分の第1基準電極42ax1(又は第2基準電極42ay1)の最も狭い部分の幅はW1(軸線O方向の幅)であり、W1よりも狭幅の部分(幅がW2、W3の部分)を基準電極リード42aL3(又は基準電極リード42aL4)とする。つまり、基準電極リード42aL3(又は基準電極リード42aL4)は、第1基準電極42ax1(又は第2基準電極42ay1)の幅方向外側の突出部42ap5(42ap6)の幅方向の外縁よりも幅方向外側へさらに延びた幅W3の部位と、この部位から後端側へ向かって折り返して延びる幅W2の部位とする。   In the case of FIG. 7, the width of the narrowest portion of the first reference electrode 42ax1 (or the second reference electrode 42ay1) in the portion overlapping with the first solid electrolyte body 42dx1 (or the second solid electrolyte body 42dy1) is W1 (axis O The width (direction width) and the width narrower than W1 (the width is W2 and W3) is used as a reference electrode lead 42aL3 (or reference electrode lead 42aL4). That is, the reference electrode lead 42aL3 (or the reference electrode lead 42aL4) is wider in the width direction than the outer edge in the width direction of the protrusion 42ap5 (42ap6) of the first reference electrode 42ax1 (or the second reference electrode 42ay1). A portion of width W3 which further extends, and a portion of width W2 which extends from this portion toward the rear end side and extends.

又、本実施形態では、突出部42ap5(又は突出部42ap6)は、第1固体電解質体42dx1(又は第2固体電解質体42dy1)の長手方向(軸線O方向)の両端にもそれぞれ突出している。このため、露出境界部S10を第1固体電解質体42dx1(又は第2固体電解質体42dy1)の幅方向の両端だけでなく、長手方向の両端にわたって形成することができ、被測定ガスの雰囲気が急激に変化したときに、下層側の基準電極の上記露出境界部でも被測定ガスのガス置換が十分となり、応答性をさらに向上させることができる。   Further, in the present embodiment, the protrusions 42ap5 (or the protrusions 42ap6) also protrude to both ends in the longitudinal direction (the direction of the axis O) of the first solid electrolyte body 42dx1 (or the second solid electrolyte body 42dy1). Therefore, the exposed boundary S10 can be formed not only at both ends in the width direction of the first solid electrolyte body 42dx1 (or the second solid electrolyte body 42dy1) but also at both ends in the longitudinal direction, and the atmosphere of the gas to be measured is rapid. In the case of the above-described exposed boundary portion of the reference electrode on the lower layer side, the gas replacement of the measurement gas is sufficient, and the response can be further improved.

次に、図8を参照し、本発明の第3の実施形態に係るマルチガスセンサ(ガスセンサ)について説明する。なお、第3の実施形態に係るマルチガスセンサは、2つのアンモニアセンサ部(セル)である第1アンモニアセンサ部42x2及び第2アンモニアセンサ部42y2の構成が異なること以外は、第1の実施形態と同一であるので、同一部分の構成については説明を省略する。   Next, a multi-gas sensor (gas sensor) according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The multigas sensor according to the third embodiment is the same as the first embodiment except that the configurations of the first ammonia sensor unit 42x2 and the second ammonia sensor unit 42y2 which are two ammonia sensor units (cells) are different. Since they are the same, the description of the configuration of the same part is omitted.

より詳しくは、図8に示すように、第1アンモニアセンサ部42x2は、絶縁層23a上に第1基準電極42ax2が形成され、第1基準電極42ax2の表面に第1固体電解質体42dx2が形成されている。さらに、第1固体電解質体42dx2の表面に第1検知電極42bx2が形成されている。そして、第1基準電極42ax2及び第1検知電極42bx2の間の起電力変化によって被測定ガス中のアンモニア濃度を検出するようになっている。   More specifically, as shown in FIG. 8, in the first ammonia sensor portion 42x2, the first reference electrode 42ax2 is formed on the insulating layer 23a, and the first solid electrolyte body 42dx2 is formed on the surface of the first reference electrode 42ax2. ing. Furthermore, the first detection electrode 42bx2 is formed on the surface of the first solid electrolyte body 42dx2. The ammonia concentration in the gas to be measured is detected by the change in electromotive force between the first reference electrode 42ax2 and the first detection electrode 42bx2.

同様に、第2アンモニアセンサ部42y2は、絶縁層23a上に第2基準電極42ay2が形成され、第2基準電極42ay2の表面に第2固体電解質体42dy2が形成されている。さらに、第2固体電解質体42dy2の表面に第2検知電極42by2が形成されている。
さらに、図8に示すように、第1基準電極42ax2及び第2基準電極42ay2は幅方向に長い矩形をなす。一方で、第1固体電解質体42dx2及び第2固体電解質体42dy2はそれぞれ第1基準電極42ax2及び第2基準電極42ay2よりも幅方向に短い略正方形をなしている。そして、第1固体電解質体42dx2及び第2固体電解質体42dy2の幅方向内側の端から、それぞれ第1基準電極42ax2及び第2基準電極42ay2が突出し(はみ出し)、それぞれ2つの突出部42ap7、42ap8を形成している。なお、軸線O方向には、それぞれ第1固体電解質体42dx2及び第2固体電解質体42dy2が第1基準電極42ax2及び第2基準電極42ay2よりも突出し(はみ出し)ている。
Similarly, in the second ammonia sensor portion 42y2, a second reference electrode 42ay2 is formed on the insulating layer 23a, and a second solid electrolyte body 42dy2 is formed on the surface of the second reference electrode 42ay2. Furthermore, a second detection electrode 42by2 is formed on the surface of the second solid electrolyte body 42dy2.
Furthermore, as shown in FIG. 8, the first reference electrode 42 ax 2 and the second reference electrode 42 a y 2 form a rectangle that is long in the width direction. On the other hand, the first solid electrolyte body 42dx2 and the second solid electrolyte body 42dy2 form a substantially square shorter in the width direction than the first reference electrode 42ax2 and the second reference electrode 42ay2, respectively. Then, the first reference electrode 42ax2 and the second reference electrode 42ay2 respectively project (extrude) from the end in the width direction of the first solid electrolyte body 42dx2 and the second solid electrolyte body 42dy2, and the two projecting portions 42ap7 and 42ap8 are respectively formed. It is formed. In the direction of the axis O, the first solid electrolyte body 42dx2 and the second solid electrolyte body 42dy2 respectively project (project) beyond the first reference electrode 42ax2 and the second reference electrode 42ay2.

又、第1検知電極42bx2及び第2検知電極42by2は、それぞれ第1固体電解質体42dx2及び第2固体電解質体42dy2よりも小さい矩形をなしており、それぞれ第1固体電解質体42dx2及び第2固体電解質体42dy2の端縁よりも内側に配置されている。
そして、それぞれ第1基準電極42ax2及び第2基準電極42ay2から後端側へ向かって基準電極リード42aL5、42aL6が絶縁層23a上に延びている。同様に、それぞれ第1検知電極42bx2及び第2検知電極42by2の幅方向中央から、後端側へ向かって検知電極リード42bL5、42bL6が絶縁層23a上に延びている。なお、基準電極リード42aL5、42aL6と検知電極リード42bL5、42bL6とは並列に並んで延びている。
In addition, the first detection electrode 42bx2 and the second detection electrode 42by2 form a rectangle smaller than the first solid electrolyte body 42dx2 and the second solid electrolyte body 42dy2, respectively, and the first solid electrolyte body 42dx2 and the second solid electrolyte respectively It is disposed inside the end edge of the body 42dy2.
Then, reference electrode leads 42aL5 and 42aL6 extend on the insulating layer 23a from the first reference electrode 42ax2 and the second reference electrode 42ay2 toward the rear end side, respectively. Similarly, detection electrode leads 42bL5 and 42bL6 extend on the insulating layer 23a from the center in the width direction of the first detection electrode 42bx2 and the second detection electrode 42by2 toward the rear end side. The reference electrode leads 42aL5 and 42aL6 and the detection electrode leads 42bL5 and 42bL6 extend in parallel.

このように、長手方向に延びるベース基板30Aにおいて、幅方向の端部は外部雰囲気の影響により、温度変化が生じやすい。そのため絶縁層23a上に、幅方向に並んで第1アンモニアセンサ部42x2及び第2アンモニアセンサ部42y2が配置される場合に、突出部を第1アンモニアセンサ部42x2(又は第2アンモニアセンサ部42y2)の第1固体電解質体42dx2(又は第2固体電解質体42dy2)の幅方向外側の端から突出させると、突出部がベース基板30Aの端部に配置されることとなり、ベース基板の温度変化の影響を受けやすい。そこで、突出部42ap7、42ap8のように、突出部を第1アンモニアセンサ部42x2(又は第2アンモニアセンサ部42y2)の第1固体電解質体42dx2(又は第2固体電解質体42dy2)の幅方向内側の端から当該幅方向内側に向かって突出させることで、ベース基板30Aの温度変化の影響を受けにくくなり、2つのセルの検出精度の低下やバラツキを抑制することができる。   Thus, in the base substrate 30A extending in the longitudinal direction, the end portion in the width direction is likely to cause temperature change due to the influence of the external atmosphere. Therefore, when the first ammonia sensor portion 42x2 and the second ammonia sensor portion 42y2 are arranged side by side in the width direction on the insulating layer 23a, the projecting portion is the first ammonia sensor portion 42x2 (or the second ammonia sensor portion 42y2) When the first solid electrolyte body 42dx2 (or the second solid electrolyte body 42dy2) protrudes from the outer end in the width direction of the first solid electrolyte body 42dx2, the protrusion is disposed at the end of the base substrate 30A, and the influence of the temperature change of the base substrate It is easy to receive. Therefore, like the protruding portions 42ap7 and 42ap8, the protruding portion is located inside in the width direction of the first solid electrolyte body 42dx2 (or second solid electrolyte body 42dy2) of the first ammonia sensor portion 42x2 (or the second ammonia sensor portion 42y2). By projecting from the end toward the inside in the width direction, it becomes difficult to be affected by the temperature change of the base substrate 30A, and it is possible to suppress the decrease and the variation in the detection accuracy of the two cells.

本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の思想と範囲に含まれる様々な変形及び均等物に及ぶことはいうまでもない。
例えば、基準電極、突出部、検知電極及び固体電解質体の形状は上記実施形態に限定されない。
又、上記実施形態では、各基準電極に対して突出部が2か所以上形成されていたが、1つの基準電極に対して突出部が1か所形成されていてもよい。又、上記実施形態では、アンモニアセンサ部(セル)が2つ設けられていたが、アンモニアセンサ部(セル)が1つであってもよい。
さらに、上記実施形態では、アンモニアセンサ部がNOxセンサ部上に配置されたマルチガスセンサであったが、NOxセンサ部に限られることなく、ベース基板上にアンモニアセンサ部が配置されたガスセンサであっても良い。
It is needless to say that the present invention is not limited to the above embodiments, but extends to various modifications and equivalents included in the spirit and scope of the present invention.
For example, the shapes of the reference electrode, the protrusion, the detection electrode, and the solid electrolyte body are not limited to the above embodiment.
Moreover, in the said embodiment, although the protrusion part was formed in two or more places with respect to each reference electrode, one protrusion may be formed with respect to one reference electrode. Moreover, although two ammonia sensor parts (cells) were provided in the said embodiment, one ammonia sensor part (cell) may be sufficient.
Furthermore, in the above embodiment, although the multi-gas sensor in which the ammonia sensor portion is disposed on the NOx sensor portion is not limited to the NOx sensor portion, it is a gas sensor in which the ammonia sensor portion is disposed on the base substrate Also good.

次に、図9を参照し、基準電極に突出部を設けたことによる第1アンモニアセンサ部、第2アンモニアセンサ部のアンモニアセンサ出力の時間変化について説明する。
実施例として、図1〜図4に示す本発明の第1の実施形態に係るマルチガスセンサ200Aを準備した。比較例として、第1アンモニアセンサ部、第2アンモニアセンサ部の断面構造を図10に示すように(突出部を設けないように)したこと以外は、第1の実施形態に係るマルチガスセンサ200Aと同一構造のマルチガスセンサを準備した。
そして、各マルチガスセンサをモデルガス流中に配置し、モデルガスの雰囲気を図9のP点で急激に変化させ(アンモニアをP点で急激に添加し、酸素濃度をP点で減少させ)、各マルチガスセンサの第1アンモニアセンサ部及び第2アンモニアセンサ部のアンモニアセンサ出力の時間変化を測定した。
Next, with reference to FIG. 9, the time change of the ammonia sensor output of the 1st ammonia sensor part and the 2nd ammonia sensor part by having provided the projection part in the standard electrode is explained.
As an example, a multi gas sensor 200A according to the first embodiment of the present invention shown in FIGS. 1 to 4 was prepared. As a comparative example, as shown in FIG. 10 in which the cross-sectional structures of the first ammonia sensor unit and the second ammonia sensor unit are shown (without providing a protrusion), the multi gas sensor 200A according to the first embodiment is used. A multi gas sensor of the same structure was prepared.
Then, each multi gas sensor is placed in the model gas flow, and the atmosphere of the model gas is changed rapidly at point P in FIG. 9 (ammonia is added rapidly at point P and oxygen concentration is decreased at point P) The time change of the ammonia sensor output of the 1st ammonia sensor part of each multi gas sensor and the 2nd ammonia sensor part was measured.

その結果、図9に示すように、実施例の場合、P点からアンモニアセンサ出力が定常値(100%)に到達するまでの時間が短く、被測定ガス雰囲気が変化した時の応答性が優れていることがわかった。
一方、比較例の場合、P点からアンモニアセンサ出力が定常値に到達するまでの時間が実施例に比べて長く、応答性が劣った。
As a result, as shown in FIG. 9, in the case of the embodiment, the time from the point P until the ammonia sensor output reaches the steady value (100%) is short, and the response when the measurement gas atmosphere changes is excellent. I found that.
On the other hand, in the case of the comparative example, the time from the point P until the ammonia sensor output reaches the steady value is longer than in the example, and the response is inferior.

21、23b、23a ヒータ
30A ベース基板(NOxセンサ部)
42ax、42ay、42ax1、42ay1、42ax2、42ay2 基準電極
42bx、42by、42bx1、42by1、42bx2、42by2 検知電極
42dx、42dy、42dx1、42dy1、42dx2、42dy2 固体電解質体
42x、42y、42x1、42y1、42x2、42y2 セル
42ap1〜42ap8 突出部
200A ガスセンサ(マルチガスセンサ)
O 軸線
R 領域
21, 23b, 23a Heater 30A Base substrate (NOx sensor section)
42ax, 42ay, 42ax1, 42ay1, 42ax2, 42ay2 Reference electrode 42bx, 42by, 42bx1, 42by1, 42bx2, 42by2 detection electrode 42dx, 42dy, 42dx1, 42dy1, 42dx2, 42dy2 solid electrolyte body 42x, 42y, 42x1, 42y1, 42x1 42y2 cell 42ap1 to 42ap8 protrusion 200A gas sensor (multi gas sensor)
O axis R area

Claims (6)

ベース基板と、
該ベース基板の表面に、基準電極、固体電解質体及び検知電極をこの順に積層したセルと、を有し、前記基準電極及び前記検知電極がそれぞれ被測定ガスに晒されるガスセンサであって、
前記セルの積層方向に沿って前記検知電極側から見たときに、前記基準電極は、前記固体電解質体の端縁の少なくとも一部から、前記積層方向に垂直な径方向に向かって突出する突出部を有し
前記ベース基板は、長手方向に延びる板状をなすと共に、前記ベース基板の一部に発熱部を備えるヒータを有しており、
前記突出部は、前記検知電極の前記長手方向における一方の端縁と他方の端縁とによって、前記長手方向に垂直な幅方向に区切られた領域内に配置されるガスセンサ。
A base substrate,
A gas sensor comprising: a cell in which a reference electrode, a solid electrolyte body, and a detection electrode are laminated in this order on the surface of the base substrate, wherein the reference electrode and the detection electrode are exposed to a gas to be measured,
When viewed from the detection electrode side along the stacking direction of the cells, the reference electrode protrudes from at least a part of the edge of the solid electrolyte body in the radial direction perpendicular to the stacking direction Have a department ,
The base substrate has a plate shape extending in the longitudinal direction, and has a heater provided with a heat generating portion on a part of the base substrate.
Said projection, said by the one edge and the other edge in the longitudinal direction of the detection electrode, the longitudinal direction the width direction perpendicular to the delimited arranged Ru gas sensor in the region.
ベース基板と、
該ベース基板の表面に、基準電極、固体電解質体及び検知電極をこの順に積層したセルと、を有し、前記基準電極及び前記検知電極がそれぞれ被測定ガスに晒されるガスセンサであって、
前記セルの積層方向に沿って前記検知電極側から見たときに、前記基準電極は、前記固体電解質体の端縁の少なくとも一部から、前記積層方向に垂直な径方向に向かって突出する突出部を有し、
前記ベース基板は長手方向に延びる板状をなしており、
前記突出部は、前記固体電解質体のうち、前記長手方向に垂直な幅方向の両端からそれぞれ突出するガスセンサ。
A base substrate,
A gas sensor comprising: a cell in which a reference electrode, a solid electrolyte body, and a detection electrode are laminated in this order on the surface of the base substrate, wherein the reference electrode and the detection electrode are exposed to a gas to be measured,
When viewed from the detection electrode side along the stacking direction of the cells, the reference electrode protrudes from at least a part of the edge of the solid electrolyte body in the radial direction perpendicular to the stacking direction Have a department,
The base substrate is in the form of a longitudinally extending plate,
The said protrusion part is a gas sensor which each protrudes from the both ends of the width direction perpendicular | vertical to the said longitudinal direction among the said solid electrolyte bodies .
ベース基板と、
該ベース基板の表面に、基準電極、固体電解質体及び検知電極をこの順に積層したセルと、を有し、前記基準電極及び前記検知電極がそれぞれ被測定ガスに晒されるガスセンサであって、
前記セルの積層方向に沿って前記検知電極側から見たときに、前記基準電極は、前記固体電解質体の端縁の少なくとも一部から、前記積層方向に垂直な径方向に向かって突出する突出部を有し、
前記ベース基板は長手方向に延びる板状をなしており、且つ2つの前記セルが、前記ベース基板上の前記長手方向に垂直な幅方向に並んで配置されてなり、
2つの前記セルのそれぞれ前記突出部は、前記固体電解質体のうち、前記幅方向内側の端から少なくとも突出するガスセンサ。
A base substrate,
A gas sensor comprising: a cell in which a reference electrode, a solid electrolyte body, and a detection electrode are laminated in this order on the surface of the base substrate, wherein the reference electrode and the detection electrode are exposed to a gas to be measured,
When viewed from the detection electrode side along the stacking direction of the cells, the reference electrode protrudes from at least a part of the edge of the solid electrolyte body in the radial direction perpendicular to the stacking direction Have a department,
The base substrate is in the form of a plate extending in the longitudinal direction, and the two cells are arranged side by side in a width direction perpendicular to the longitudinal direction on the base substrate,
The gas sensor , wherein the projection of each of the two cells protrudes at least from the end in the width direction of the solid electrolyte body .
前記検知電極は、前記固体電解質体上のみに設けられる請求項1〜3のいずれか一項に記載のガスセンサ。 The gas sensor according to any one of claims 1 to 3, wherein the detection electrode is provided only on the solid electrolyte body . 前記突出部は、前記固体電解質体のうち、前記長手方向の一方の端縁と他方の端縁との両端からそれぞれ突出する請求項記載のガスセンサ。 3. The gas sensor according to claim 2, wherein the protrusion protrudes from both ends of the one end edge and the other end edge in the longitudinal direction of the solid electrolyte body. 前記ベース基板は被測定ガス中のNO 濃度を検出するNO センサ部であり、前記ガスセンサがマルチガスセンサを構成する請求項1〜のいずれか一項に記載のガスセンサ。 The base substrate is NO x sensor unit for detecting the concentration of NO x in the measurement gas, the gas sensor according to any one of claims 1 to 5, wherein the gas sensor constitutes a multi-gas sensor.
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