JP6421103B2 - 印刷方法および印刷装置 - Google Patents

Description

本発明は、印刷版のパターン形成領域にインクを付与する前に、印刷版のパターン形成領域にプレコート液を付与する印刷方法および印刷装置に関し、特に、印刷版に高精細な印刷パターンを形成する印刷方法および印刷装置に関する。

現在、印刷は、文字および写真のみならず、配線基板等の形成にも利用されている。
特許文献１には、印刷用紙の紙質にかかわらずインクジェット印刷部でインク滲みのない印刷画像を印刷できるハイブリッド孔版印刷装置が記載されている。特許文献１のハイブリッド孔版印刷装置は、孔版印刷部と、この孔版印刷部の搬送下流側に配置されインクジェット印刷部とを有する。孔版印刷部がプレコート液材を印刷用紙に微細な点状に塗布してプレコート層を形成する。インクジェット印刷部により、印刷用紙上に着弾したインクはプレコート層によってその広がりが阻止され、印刷用紙の紙質にかかわらずインクジェット印刷部でインク滲みのない印刷画像を印刷できる。

特開２００２−１３７５２８号公報

上述のように特許文献１では、プレコート層により、印刷媒体の紙質にかかわらずインクジェット印刷部でインク滲みのない印刷画像を印刷できるとされている。
しかしながら、印刷法は、配線基板以外にも、ガラス基板、樹脂基板等に薄膜トランジスタのゲート電極、ソース電極、ドレイン電極および金属配線、ならびに電気配線パターン等の微細パターンの形成に利用されている。微細パターンが形成された基板は、電子ペーパーおよび液晶ディスプレイ等の薄型表示装置、ならびに携帯通信機器等に用いられる。微細なパターンは、薄膜トランジスタに利用されるものであり、配線基板の配線よりも線幅が狭い。このため、特許文献１のようにインクの広がりを単に阻止するだけでは、薄膜トランジスタに利用されるような微細パターンを形成することができない。

本発明の目的は、前述の従来技術に基づく問題点を解消し、高精細な印刷パターンを形成することができる印刷方法および印刷装置を提供することにある。

上述の目的を達成するために、本発明の第１の態様は、印刷版の版面に予め定められたパターン形成領域にプレコート液を付与するプレコート工程と、プレコート液が付与されたパターン形成領域にインクを付与するインク付与工程と、パターン形成領域に付与されたインクを基板に転写する転写工程とを有し、プレコート液は、プレコート液を付与する前のパターン形成領域のインクに対する接触角に比してプレコート液を付与した後の接触角を小さくするものであることを特徴とする印刷方法を提供するものである。

インクの付与は、インクジェット方式でなされることが好ましい。
例えば、印刷版は凹版であり、パターン形成領域は凹部で構成される。また、例えば、印刷版は、親液部と撥液部を有する平版であり、パターン形成領域は親液部で構成される。
転写工程の後に、印刷版のプレコート液およびインクの溶媒を乾燥させるリフレッシュ工程を有することが好ましい。
プレコート液は、インクまたはインクの溶媒と少なくとも表面エネルギーが同じであることが好ましい。

本発明の第２の態様は、印刷版の版面に予め定められたパターン形成領域にプレコート液を付与するプレコート部と、プレコート液が付与されたパターン形成領域にインクを付与するインク付与部と、パターン形成領域に付与されたインクを基板に転写する転写部とを有し、プレコート液は、プレコート液を付与する前のパターン形成領域のインクに対する接触角に比してプレコート液を付与した後の接触角を小さくするものであることを特徴とする印刷装置を提供するものである。

インク付与部は、インクジェット方式であることが好ましい。
例えば、印刷版は凹版であり、パターン形成領域は凹部で構成される。また、例えば、印刷版は、親液部と撥液部を有する平版であり、パターン形成領域は親液部で構成される。
印刷版のプレコート液およびインクの溶媒を除去する除去部、ならびにプレコート液およびインクの溶媒を乾燥させる乾燥部のうち、少なくとも一方を有することが好ましい。
プレコート液は、インクまたはインクの溶媒と少なくとも表面エネルギーが同じであることが好ましい。

本発明によれば、高精細な印刷パターンを形成することができる。

本発明の実施形態の印刷装置を示す模式図である。 本発明の実施形態の印刷装置の画像記録部を示す模式図である。 印刷版の一例を示す模式面である。 （ａ）は、インクジェットヘッドのノズルの配置を示す平面図であり、（ｂ）は、インクジェットヘッドのノズルの配置の他の例を示す平面図である。 本発明の実施形態の印刷装置のインク供給機構を示す模式図である。 （ａ）は、本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版の一例を示す模式図であり、（ｂ）は、本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版の一例を示す模式的断面図であり、（ｃ）は、本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版である平版を示す模式的断面図であり、（ｄ）は、本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版である凸版を示す模式的断面図である。 本発明の実施形態の印刷装置で形成される薄膜トランジスタの一例を示す模式図である。 （ａ）〜（ｆ）は、本発明の実施形態の印刷方法を工程順に示す模式的断面図である。 （ａ）〜（ｅ）は、従来の印刷方法を工程順に示す模式的断面図である。 （ａ）〜（ｃ）は、本発明の実施形態の印刷装置で形成される配線パターンの形成工程を工程順に示す模式的断面図である。 （ａ）は、転写前の印刷版の第１の例を示す模式的断面図であり、（ｂ）は、印刷版に転写後のパターンを示す模式的断面図である。 （ａ）は、転写前の印刷版の第２の例を示す模式的断面図であり、（ｂ）は、印刷版に転写後のパターンを示す模式的断面図である。 （ａ）は、転写前の印刷版の第３の例を示す模式的断面図であり、（ｂ）は、印刷版に転写後のパターンの一例を示す模式的断面図であり、（ｃ）は、印刷版に転写後のパターンの他の例を示す模式的断面図である。 本発明の実施形態の印刷方法を説明するための示す模式図である。 本発明の実施形態の印刷方法を示すフローチャートである。 （ａ）は本発明の実施形態の印刷方法のうち、版検査の工程の第１の例を示すフローチャートであり、（ｂ）は本発明の実施形態の印刷方法のうち、版検査の工程の第２の例を示すフローチャートである。

以下に、添付の図面に示す好適実施形態に基づいて、本発明の印刷方法および印刷装置を詳細に説明する。本発明は、以下に説明する印刷装置および印刷方法の実施形態に限定されるものではない。
なお、以下において数値範囲を示す「〜」とは両側に記載された数値を含む。例えば、εが数値β１〜数値β２とは、εの範囲は数値β１と数値β２を含む範囲であり、数学記号で示せばβ１≦ε≦β２である。
「平行」、「垂直」および「直交」等の角度は、特に記載がなければ、厳密な角度との差異が５°未満の範囲内であることを意味する。厳密な角度との差異は、４°未満であることが好ましく、３°未満であることがより好ましい。また、「同一」とは、技術分野で一般的に許容される誤差範囲を含むものとする。

図１は、本発明の実施形態の印刷装置を示す模式図である。
図１に示すように印刷装置１０は、印刷装置本体１２と、記憶部１４と、判定処理部１６と、制御部１８とを有する。
印刷装置本体１２は、印刷法により、基板３１に予め定められたパターンを形成するものである。印刷装置本体１２については後に詳細に説明する。

記憶部１４は、印刷装置１０で利用される各種の情報が記憶されるものである。記憶部１４には、特定のパターンに対してインクが付与された印刷版２５の版面２５ａの基準となる基準形状の情報が記憶される。
基準形状の情報とは、例えば、印刷版２５のパターン形成領域に対して、インクを付与した際の理想的な状態を示す画像データである。また、印刷版２５のパターン形成領域に対して、複数回にわたり、インクを付与する場合には、各回毎の理想的な状態を示す画像データである。例えば、パターン形成領域に対してインクジェット方式でインクを吐出し、ドットを形成してパターン形成領域にインクを付与した場合には、各回毎のインクの吐出により形成されるドットの理想的な配置を示す画像データを上述の基準形状の情報という。
また、転写後の印刷版２５の版面２５ａの理想的な状態を示す画像データも基準形状の情報に含まれる。

また、記憶部１４には、印刷しようとするパターンのパターンデータが記憶されるが、このパターンデータは、外部から適宜入力される。記憶部１４への基準形状の情報およびパターンデータの入力方法は、特に限定されるものではなく、各種のインターフェースを記憶部１４に設け、記憶媒体、および有線、無線を問わないネットワークを介して入力することができる。
また、記憶部１４には、後に詳細に説明するが、インクジェットヘッド４０から吐出するインクの吐出パターンデータおよび吐出タイミングデータ、ならびにインクの吐出パターンデータを印刷版２５の取り付け状態に応じて補正した補正パターンデータも記憶される。

インクの吐出パターンデータとは、インクジェットヘッド４０を用いてインクを印刷版２５のパターン領域に付与する際の吐出パターンを示すデータのことである。
吐出タイミングデータとは、インクジェットヘッド４０を用いて印刷版２５のパターン領域にインクを付与する際に、印刷版２５のパターン領域に、どのタイミングでインクを吐出するのかを示すデータのことである。

判定処理部１６は、版胴２４に設けられた印刷版２５の取り付け情報の取得に利用されるものである。判定処理部１６では、後述するアライメントカメラ４２で得られたアライメントマークの位置情報を用いて、アライメントマークＡ〜Ｄの位置を特定するものである。これにより、版胴２４に設けられた印刷版２５の取り付け情報を取得することができる。
判定処理部１６は、印刷版２５の取り付け位置情報に基づき、印刷版２５の傾き角度を許容範囲と比較し、許容範囲にあるかを判定するものである。判定結果に応じた判定情報を制御部１８に出力するものである。印刷版２５の傾き角度については後に説明する。
判定処理部１６は、後述する印刷装置本体１２の版面観察部２６で得られた、特定のパターンに対してインクが付与された印刷版２５の版面２５ａの情報と、記憶部１４で記憶された特定のパターンに対してインクが付与された印刷版２５の版面２５ａの基準となる基準形状の情報とを比較し、基準形状に対して予め定められた範囲にあるかを判定するものである。判定結果に応じた判定情報を制御部１８に出力するものである。

また、判定処理部１６では、予め定められた範囲から外れる場合、外れた箇所等の特定もするものである。例えば、パターン領域に対してはみ出してインクが付与された場合には、インクのはみ出した部分を特定する。また、判定処理部１６では、インクジェット方式でパターン領域に対してインクを付与する場合には、インクにより形成されるドットの位置のずれ、ドットが抜けた領域等を特定することができる。これにより、後述するように制御部１８で特定された箇所に応じてインクの吐出量等を調整する。

アライメントカメラ４２で得られた印刷版２５の取り付け情報に基づき、印刷版２５が理想的な配置の印刷版に対し、角度α、傾いて配置された場合、判定処理部１６は、インクの吐出パターンデータを傾いた角度αに応じて、ｃｏｓα倍し、補正パターンデータを作成する。この補正パターンデータは記憶部１４に記憶される。
例えば、判定処理部１６による補正パターンデータの作成は、印刷版２５の取り付け情報に基づき、印刷版２５の傾き角度αを許容範囲と比較し、許容範囲外と判定されたときになされる。
また、判定処理部１６は、上述の版面観察部２６で得られた、印刷版２５の取り付け位置情報に基づいて、インクジェットヘッド４０を回動させる回動量を算出し、記憶部１４に記憶させる。制御部１８にて、回動量に基づき、インクジェットヘッド４０を回動させてインクを吐出させる。

制御部１８は、印刷装置本体１２、記憶部１４および判定処理部１６に接続されており、印刷装置本体１２、記憶部１４および判定処理部１６の各要素を制御するものである。さらに、制御部１８は、判定処理部１６での判定結果に応じて各部を制御する。
また、制御部１８は、例えば、判定処理部１６で吐出パターンデータの補正パターンデータが作成された場合、その補正パターンデータに基づいてインクをインクジェットヘッド４０から吐出させる。

次に、印刷装置本体１２について説明する。
印刷装置本体１２は、印刷を清浄な雰囲気でするためにケーシング２０の内部２０ａに各部が設けられている。ケーシング２０の内部２０ａを予め定められた清浄度となるように、フィルタ（図示せず）および空調設備（図示せず）が設けられている。
印刷装置本体１２は、画像記録部２２と、版胴２４と、版面観察部２６と、ステージ３０と、乾燥部３２と、イオナイザー３３と、クリーニング部３４と、除去部３５と、メンテナンス部３６とを有する。
版胴２４の表面２４ａの周囲を囲むようにして、画像記録部２２、版面観察部２６、乾燥部３２、イオナイザー３３およびクリーニング部３４が設けられている。クリーニング部３４は版胴２４の表面２４ａに接して設けられている。

ステージ３０上に基板３１が配置されており、ステージ３０が版胴２４の下方の印刷位置Ｐｐに配置された状態で版胴２４が回転すると印刷版２５と、基板３１の表面３１ａとが接するように配置されている。これにより、基板３１の表面３１ａに印刷版２５の版面２５ａに予め定められたパターン形成領域２７ａに付与されたインクが転写される。版胴２４とステージ３０で転写部３９が構成される。
なお、印刷された基板３１では、インクの特性に応じて、例えば、熱、光等によりインクが焼成される。熱、光を用いたインクの焼成で利用される公知のものが適宜利用可能である。基板３１に対するインクの焼成は、ケーシング２０の内部２０ａでなされても、外部でなされてもよい。

印刷装置１０では、版胴２４に設けた印刷版２５のパターン形成領域にインクを付与するが、このインクの付与は１回で完了させてもよく、また複数回にわたってインクを付与してもよい。複数回にわたってインクを付与する場合、インクを付与する回数分、版胴２４を回転させる。例えば、４回に分けてインクを付与する場合、版胴２４を４回回転させる。インクを付与することをインキングという。また、複数回のうち、インクを１回行うことを走査するともいう。

以下、印刷装置本体１２の各部について説明する。
画像記録部２２は、印刷版２５の版面２５ａの予め定められたパターン形成領域にプレコート液およびインクを付与するものであり、画像記録部２２により、版面２５ａに予め定められたパターンでプレコート液およびインクが付与される。なお、画像記録部２２の画像記録方式は特に限定されるものではなく、例えば、インクジェット方式が用いられる。

版胴２４は、回転軸２４ｂを中心にして、一方向、例えば、Ｙ方向に回転可能なものである。Ｙ方向が回転方向である。Ｙ方向のことを送り方向ともいう。また、版胴２４は、印刷版２５を保持した状態で回転させて、予め定められたパターン形成領域２７ａに付与された印刷版２５の版面２５ａのインクを基板３１の表面３１ａに転写するためのものである。
回転軸２４ｂには、例えば、版胴２４を回転させるためのモータ（図示せず）がギア（図示せず）等を介して設けられている。また、ギアを介さないダイレクトドライブモータを設けることもできる。モータは制御部１８にて制御される。また、回転軸２４ｂには回転と回転量を検出するローターリーエンコーダ（図示せず）が設けられている。ローターリーエンコーダは制御部１８に接続されており、制御部１８で版胴２４の回転量が検出される。

転写される基板３１は、特に限定されるものではないが、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）およびＰＣ（ポリカーボネート）等のフイルム基板、ガラスエポキシ基板、セラミック基板、ならびにガラス基板を用いることができる。転写方法としては、ガラス基板等のリジッド基板では、上述のようにステージ３０上に基板３１を固定して版胴２４に密着させることで転写できる。
なお、印刷版２５にフイルムを使った場合には圧胴を用いて、フイルムを圧胴に固定して版胴２４に密着させて転写する構成としてもよい。

版面観察部２６は、画像記録部２２よりも版胴２４のＹ方向の下流側に配置されている。版面観察部２６は、インクが付与された印刷版２５の版面２５ａの情報を取得するものである。また、版面観察部２６は、基板３１にインクが転写された後の印刷版２５の版面２５ａの情報も取得するものである。
版面観察部２６は、インク転写前後の印刷版２５の版面２５ａの情報を取得することができれば、その構成は特に限定されるものではない。印刷版２５は矩形状のものが多いため、ラインセンサとライン状の照明を用いることが好ましい。この場合、版面２５ａの情報として、版面撮像データが得られる。この版面撮像データが、判定処理部１６にて上述のように基準形状の情報と比較されて判定される。

ラインセンサは、例えば、モノクロＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）センサ、ＣＣＤ（電荷結合素子）センサを用いることができる。なお、ラインセンサは、吐出されたインク液滴の陰影を観察するためカラーセンサーでなくてもよい。また、ラインセンサの前にレンズ、および各種のフィルタ等を設けてもよい。ライン状の照明としては、例えば、ＬＥＤ（発光ダイオード）を一直線状に並べたものを用いることができる。
版面観察部２６は、制御部１８に接続されており、版面観察部２６での印刷版２５の版面２５ａの情報の取得のタイミングは制御部１８で制御され、取得された印刷版２５の版面２５ａの情報は記憶部１４に記憶される。

インクに絶縁体等の透明インクを用いた場合、肉眼による識別が困難であるが、光源、ラインセンサ前に偏光フィルタを設けること、２箇所以上から照明を行う等により、ラインセンサによるインクの識別性を改善することができる。
また、印刷版２５の版面２５ａの情報の取得は、走査毎に行うことで、着弾位置ずれ、サテライトおよび吐出滴量変化による膜厚むらを検出することが可能となる。例えば、膜厚と光学特性のとの関係を予め測定しておき、記憶部１４に記憶しておくことにより、上述の関係と検出された光学特性とを比較することで膜厚を推定することができる。

また、インクに銀ナノインクを用いた場合、銀ナノインクでは、乾燥とともに銀光沢が発現して、色または反射率が変化する。膜厚が薄いと乾燥が早く、厚いと乾燥が遅いため、検出までの所定の時間における膜厚と色、膜厚と反射率との関係を、予め計測しておくことで、膜厚を推定できる。
絶縁体等の透明インクの場合には、干渉縞で膜厚を判断することが可能である。膜厚と干渉縞との関係を予め測定しておくことで膜厚を推定できる。半導体等結晶性のあるインクの場合には、偏光フィルタを設けて、色で膜厚を推定することもできる。この場合も、予め膜厚と色との関係を測定しておくことで、膜厚を推定することができる。

ステージ３０は、基板３１を載置し、搬送方向Ｖに移動して、基板３１を予め定められた位置に搬送するものである。ステージ３０には搬送機構（図示せず）が設けられている。この搬送機構は、制御部１８に接続されており、制御部１８にて搬送機構が制御されてステージ３０が搬送方向Ｖに移動されて、ステージ３０の位置が変えられる。
ステージ３０は、まず、ケーシング２０の外部から搬送された基板３１が載置される開始位置Ｐｓに待機する。次に、ステージ３０は、版胴２４の下方の印刷位置Ｐｐに移動される。次に、印刷後、ステージ３０は印刷済みの基板３１を載せた状態で終了位置Ｐｅに移動され、その後、基板３１はケーシング２０の外部に取り出される。ステージ３０は、終了位置Ｐｅから開始位置Ｐｓに移動されて、基板３１が搬入されるまでの間、待機する。

乾燥部３２は、印刷版２５の版面２５ａのインクを乾燥させるものである。インクを乾燥させることができれば、乾燥方法は、特に限定されるものではなく、例えば、ファンによる温風、冷風の吹き付け、赤外線ヒーターによる加熱、高周波の照射、およびマイクロ波照射等が挙げられる。
なお、自然乾燥にて印刷版２５の版面２５ａのインクを乾燥できる場合、乾燥部３２を必ずしも設ける必要がない。
また、乾燥部３２は、印刷版２５のインクが除去された状態で、後述するプレコート液が付与された印刷版２５を乾燥させることに用いてもよい。これにより、プレコート液を除去されて、インクの乾燥しやすさが向上する。印刷版２５のインクが除去された状態で、インクの溶媒が残存していれば、乾燥部３２はプレコート液およびインクの溶媒を乾燥する。しかしながら、インク溶媒が残存していない場合には、乾燥部３２はプレコート液を乾燥する。

イオナイザー３３は、印刷版２５の版面２５ａの静電気を除電するものである。イオナイザー３３により、印刷版２５の版面２５ａの静電気が除去され、印刷版２５の版面２５ａにゴミ、埃等の異物の付着が抑制される。また、印刷版２５の版面２５ａが帯電している場合、インクが曲がることがあるが、このインクの曲がりを防止することができ、インクジェット吐出精度が向上する。
なお、イオナイザー３３には、静電気除電器を用いることができ、例えば、コロナ放電方式、およびイオン生成方式のものを用いることができる。また、イオナイザー３３は、乾燥部３２のＹ方向における下流側に設けたが、画像記録部２２により記録される前に、印刷版２５の版面２５ａの静電気を除電することができれば、イオナイザー３３を設ける位置は特に限定されるものではない。

クリーニング部３４は、版胴２４および印刷版２５に付着したインクを除去するものである。クリーニング部３４は、版胴２４および印刷版２５に付着したインクを除去することができれば、その構成は、特に限定されるものではない。例えば、ローラを版胴２４に押し付け、ローラにインクを転写させて、転写されたインクを拭き取る構成である。

除去部３５は、印刷版２５に付与した、後述のプレコート液およびインクの溶媒を除去するものである。プレコート液およびインクの溶媒を除去することで、インクの乾燥しやすさが向上する。
除去部３５は、例えば、印刷版２５に対して、回転軸を中心に回転する回転ローラ（図示せず）が配置されている。回転ローラの周面に、印刷版２５のプレコート液およびインクの溶媒の除去のためのウェブ（図示せず）が巻きかけられている。ウェブは、印刷版２５のプレコート液およびインクの溶媒を取り除くことができれば、特に限定されるものではない。
インクが除去された印刷版２５に対して、例えば、除去液を印刷版２５に直接、塗布または噴射して、回転ローラを回転させてウェブを印刷版２５に接触させてプレコート液および残存していれば、インクの溶媒を取り除く。また、ウェブに除去液を噴射して、回転ローラを回転させてウェブを印刷版２５に接触させてプレコート液および残存していれば、インクの溶媒を取り除くようにしてもよい。
除去液には、例えば、アセトン等の揮発性溶媒が用いられる。
ウェブには、例えば、ＫＢセーレン社製、サヴィーナ（登録商標）、東レ社製、トレシー（登録商標）、および帝人社製、ナノフロント（登録商標）、ミクロスター（登録商標）等のワイピングクロスを用いることができる。
なお、乾燥部３２と除去部３５は、少なくとも一方を設ける構成であってもよい。

メンテナンス部３６は、画像記録部２２の吐出特性等が予め定められた性能を発揮するかを調べる。メンテナンス部３６は、予め定められた性能を発揮するようノズルのワイプ等をするところである。メンテナンス部３６は、版胴２４から離れた位置に設けられている。画像記録部２２は、例えば、ガイドレール（図示せず）を介してメンテナンス部３６に移送される。メンテナンス部３６については後に詳細に説明する。

以下、画像記録部２２について詳細に説明する。
図２は、本発明の実施形態の印刷装置の画像記録部を示す模式図である。
画像記録部２２に、インクジェット方式を用いたものを例にして説明する。
図２に示すように、画像記録部２２は、インクジェットヘッド４０と、アライメントカメラ４２と、レーザ変位計４４と、回動部４９と、プレコート部９０とを有し、これらはキャリッジ４６に設けられている。このキャリッジ４６はリニアモータ４８により、版胴２４の回転軸２４ｂと平行な方向、すなわち、Ｘ方向に移動可能であり、インクジェットヘッド４０はキャリッジ４６によりＸ方向へ移動可能である。キャリッジ４６の位置はリニアモータ４８に設けられたリニアスケール（図示せず）の読み取り値から算出することができる。

インクジェットヘッド４０はインク付与部であり、インクジェットヘッド４０にはインクの吐出を制御するための吐出制御部４３が設けられている。吐出制御部４３でインクの吐出波形が調整される。吐出制御部４３は制御部１８に接続されている。吐出制御部４３では、例えば、ユーザーインターフェースを通して、ユーザーが吐出電圧または吐出波形を調整することが可能である。なお、後述するようにインクの温度が調整された状態で吐出される。

アライメントカメラ４２、レーザ変位計４４も制御部１８に接続されている。キャリッジ４６にはＺ方向に移動させるための駆動部（図示せず）が設けられており、この駆動部は制御部１８に接続されており、制御部１８によりキャリッジ４６のＺ方向の移動が制御される。ここで、Ｚ方向とは、版胴２４の表面２４ａに垂直な方向である。

アライメントカメラ４２は、インクの吐出位置、インクの吐出タイミング、パターンデータの補正をするためのアライメントマークの位置情報を得るためのものである。
アライメントカメラ４２は、アライメントマークＡ〜Ｄを検出することができれば、その構成は特に限定されるものではない。

アライメントカメラ４２により、アライメントマークＡ〜Ｄが撮像されて、その撮像データが記憶部１４に記憶され、判定処理部１６でアライメントマークＡ〜Ｄの位置が特定される。アライメントカメラ４２と判定処理部１６は、版胴２４に設けられた印刷版２５の取り付け情報を取得する取付位置情報取得部として機能する。
アライメントマークＡ、Ｂの位置情報により、Ｙ方向におけるインクの吐出開始位置、Ｘ方向の印刷版の拡縮および印刷版の傾き角度θの情報を得ることができる。アライメントマークＡ、Ｃの位置情報により、Ｘ方向におけるインクの吐出開始位置およびＹ方向の印刷版の拡縮の情報を得ることができる。アライメントマークＡ〜Ｄの位置情報により、例えば、印刷版の台形歪みの情報、すなわち、台形変形の情報を得ることができる。インクの吐出開始位置のことをインキング開始位置という。
印刷版２５は、アライメントマークＡとアライメントマークＣを通る線Ｌａ（図６（ａ）参照）が上述のＹ方向に平行であることが理想的である。しかし、印刷版２５を版胴２４に取り付ける際に、印刷版２５が版胴２４に対して、わずかであるが傾いてしまう。アライメントマークＡ〜Ｄの位置情報により、版胴２４上での印刷版２５の取り付け情報、例えば、版胴２４のＹ方向に対する印刷版２５の傾き等の情報を得ることができる。

上述の得られた各種の情報により、インクの吐出開始位置、インクジェットヘッド４０の位置およびインクの吐出タイミングを補正する。なお、これらの補正には、いずれもインクジェットによるインクの打滴の公知補正方法を用いることができる。
また、パターンデータについてのＸ方向の拡大縮小、Ｙ方向の拡大縮小、傾き、および台形補正は、公知補正方法を用いることができる。
なお、アライメントマークは、少なくとも３つあればよく、Ｘ方向の印刷版の拡縮、印刷版の傾き角度θおよびＹ方向の印刷版の拡縮の情報を得ることができる。アライメントマークが４つあれば、印刷版２５の台形歪みの情報も得ることができるため、４つあることが好ましい。さらには、アライメントマークＡ〜Ｄの内側にも複数のアライメントマークを設けることにより、非線形の補正を行うことができる。この場合、アライメントマークを用いた補正も公知補正方法を用いることができる。

レーザ変位計４４は、インクジェットヘッド４０と印刷版２５の版面２５ａとの距離を測定するものである。インクによる版膨潤または温度等による版胴径＋版厚の変化により、アライメントマークＡとアライメントマークＣとのＹ方向における距離、すなわち、ＡＣ長が変化する。ここで、インクジェットヘッド４０のインクは、ローターリーエンコーダのタイミングで吐出するため版胴径の変化を受けず版の長さの変化に対応するが、基板３１に転写したとき長さが変化してしまう。

上述のＡＣ長の変化があっても基板３１上の印刷パターンの長さを一定にする目的で、このレーザ変位計４４により、版胴径＋版厚の変化を測定する。測定した結果に基づいて補正を行う。
補正の具体例としては、版胴２４の回転軸２４ｂから印刷版２５の版面２５ａまでの距離変動を精密に測定して、その結果に基づいて、転写時の版胴２４および基板３１の移動相対速度を変化させることが挙げられる。
上述の補正の具体例以外に、例えば、版胴２４または環境の温度を測定して、予め作成した版胴２４の回転軸２４ｂと印刷版２５の版面２５ａまでの距離と温度との関係のテーブルに基づいて、転写時の版胴２４および基板３１の移動相対速度を変化させることが挙げられる。
上述の補正の具体例により、版膨潤または版胴径の変化があっても精度よく印刷が可能となる。なお、転写するときに、版側と基板側の送り速度に差を設けると転写パターンの送り方向の寸法が変化することが知られている。

レーザ変位計４４については、インクジェットヘッド４０と印刷版２５の版面２５ａとの距離を測定することができれば、その構成は特に限定されるものではない。
また、レーザ変位計４４は、印刷版２５の版面２５ａ迄の距離を測定することで、版胴径＋版厚の変化を測定することができる。これをＹ方向の拡大縮小に利用することができる。例えば、版胴２４の直径または印刷版２５の膜厚が、温度変化により変化するとアライメントマークＡとアライメントマークＣの間の長さが変化する。この長さの変化をパターンデータの補正に利用することができる。

上述のようにアライメントカメラ４２、レーザ変位計４４を用いることで、アライメント精度を高くすることができる。印刷装置１０では、後述するように薄膜トランジスタの形成に利用される。薄膜トランジスタでは、１０μｍ程度のずれでも、設計した特性とは異なる特性になってしまう。複数の薄膜トランジスタを形成する場合、１０μｍ程度のずれがあっても特性がばらつくことになり、例えば、電子ペーパーに用いた場合、高い性能が得られないことになるが、このような特性のバラつきを抑制することができる。

回動部４９は、インクジェットヘッド４０を版胴２４の表面２４ａに垂直な線を中心として回動させるものである。回動部４９により、印刷版２５の傾きにインクジェットヘッド４０の向きを合わせることができる。

図３は印刷版の一例を示す模式面である。
図３に示すように、印刷版２５は、版面２５ａが予め定められたパターン形成領域２７ａと、パターン形成領域２７以外の非パターン形成領域２７ｂとに区画されている。パターン形成領域２７ａにインクが付与されて印刷パターンが形成される。
インクジェットヘッド４０は、インクを吐出してパターン形成領域２７ａに付与するものである。
インクジェットヘッド４０のインクを吐出させる方式は、特に限定されるものではなく、圧電素子のたわみ変形、ずり変形、縦振動等を利用して液体を吐出させる圧電方式、ヒーターによって液室内の液体を加熱して、膜沸騰現象を利用して液体を吐出させるサーマル方式、静電気力を利用する静電方式等、各種方式を用いることができる。

インクジェットヘッド４０の具体的な構成としては、図４（ａ）に示すように、印刷版２５の全幅に対応する長さにわたって、複数のノズル４１が千鳥配置されている。
千鳥配置を適用することで、ノズル４１を高密度に配置させることができる。なお、ノズル４１を配置する列数は、特に限定されるものではなく、一列でも二列でも、それ以上でもよい。また、ノズル４１は、マトリクス状に配置してもよい。
インクジェットヘッド４０の構成は、特に限定されるものではなく、例えば、図４（ｂ）に示す構成でもよい。図４（ｂ）に示すインクジェットヘッド４０は、Ｘ方向に、複数のヘッドモジュール４０ａが接続されている。この場合、複数のヘッドモジュール４０ａ一列につなぎ合わせた構成に限定されるものではなく、複数のヘッドモジュール４０ａを千鳥状につなぎ合わせた構成でもよい。
図４（ｂ）に示すインクジェットヘッド４０では、吐出制御部４３によりヘッドモジュール４０ａ毎に吐出波形を調整することが可能である。また、ヘッドモジュール４０ａ毎に吐出制御部４３を設ければ、吐出制御部４３毎に吐出波形を調整することが可能である。

プレコート部９０は、パターン形成領域２７ａ（図３参照）に、インク付与前にプレコート液を付与するものである。
プレコート液は、プレコート液を付与する前のパターン形成領域２７ａのインクに対する接触角に比して、パターン形成領域２７ａにプレコート液を付与した後の接触角を小さくするものである。
プレコート液は、インクまたはインクの溶媒と少なくとも表面エネルギーが同じである。ここで、プレコート液がインクまたはインクの溶媒と表面エネルギーが同じとは、表面エネルギーの値が同じ値に対して±１０％の範囲までを同じとする。
なお、表面エネルギーは、表面張力計を用いて測定した値である。
プレコート液は、例えば、インクが溶媒を含有するものであれば、プレコート液はインクの溶媒である。この場合、プレコート液はインクの溶媒であるため、表面エネルギーは同じである。

プレコート部９０は、パターン形成領域２７ａにプレコート液を付与することができれば、特に限定されるものではなく、例えば、インクと同様に、インクジェット方式を利用することができる。
プレコート部９０は、プレコート液を、インクジェットヘッド４０と同じくパターン形成領域２７ａに付与するものであるため、インクジェットヘッド４０と同じ構造のものを用いることができる。このため、図４（ａ）、（ｂ）に示す構成のインクジェットヘッド４０を用いることができる。

画像記録部２２においては、インク５２ｂの付与はインクジェットヘッド４０に限定されるものではなく、ダイコートを用いた方法でもよい。プレコート部９０についても、インクジェット方式に限定されるものではなく、ダイコートを用いた方法でもよい。

次に、印刷装置１０のインク供給機構について説明する。
図５は、本発明の実施形態の印刷装置のインク供給機構を示す模式図である。
図５に示すように、画像記録部２２において、インクジェットヘッド４０は、２つのサブタンク５０、５８が、それぞれ配管５０ｃ、５８ｃを介して接続されている。配管５０ｃには脱気ユニット５１が設けられている。脱気ユニット５１はインクジェットヘッド４０に供給されるインクを脱気するものであり、公知のものを適宜利用することができる。

サブタンク５０は、インクジェットヘッド４０に供給するインクを溜めておくものである。２つの水位センサ５０ａと温度調整ユニット５０ｂとが設けられている。
水位センサ５０ａは、インクの水位を計測することができれば、その構成は特に限定されるものではなく、公知のものを適宜利用することができる。
温度調整ユニット５０ｂは、インクの温度を調整するものである。これにより、インクの温度を調整することができる。インクの温度としては、例えば、１５℃〜３０℃程度であることが好ましい。温度調整ユニット５０ｂは、インクの温度を調整することができれば、その構成は特に限定されるものではなく、公知のものを適宜用いることができる。

サブタンク５８は、インクジェットヘッド４０から回収されたインクを溜めておくものである。２つの水位センサ５８ａと温度調整ユニット５８ｂとが設けられている。
水位センサ５８ａは、水位センサ５０ａと同様の構成であるため、その詳細な説明は省略する。温度調整ユニット５８ｂも温度調整ユニット５０ｂと同様の構成であるため、その詳細な説明は省略する。

サブタンク５８のインクをサブタンク５０に移動させる循環部６０がある。循環部６０は、サブタンク５０とサブタンク５８をつなぐ配管６０ｃと、配管６０ｃに設けられてポンプ６０ａとフィルタ６０ｂを有する。ポンプ６０ａは、サブタンク５０およびサブタンク５８のインク量を調整するためのものである。ポンプ６０ａは、サブタンク５０とサブタンク５８との間でインクを移動させることができれば、その構成は特に限定されるものではなく、公知のポンプを適宜利用することができる。フィルタ６０ｂはサブタンク５８からサブタンク５０に移動するインクが通過し、このとき、ゴミ等を除去する。

サブタンク５０およびサブタンク５８には、それぞれ配管６４ｃが挿入されており、この配管６４ｃにはポンプ６４ａが設けられている。また、配管６４ｃには配管６４ｄを介して圧力センサ６４ｂが接続されている。なお、図示はしないが、配管６４ｃ、６４ｄにはバルブ等が設けられている。これにより、サブタンク５０、５８は窒素ガスが充填される。また、窒素ガスの充填量を変えることで、サブタンク５０とサブタンク５８とで圧力差を生じさせて、容易に循環させることができる。
圧力センサ６４ｂにより、サブタンク５０とサブタンク５８の圧力を測定することができる。圧力センサ６４ｂによるサブタンク５０とサブタンク５８の各圧力の測定結果を用いることで、インクジェットヘッド４０のメニスカス負圧および循環量を制御することができる。

サブタンク５０には、インクタンク５２が配管６２ｂを介して接続されている。配管６２ｂにはポンプ６２ａとフィルタ６２ｅが設けられている。インクタンク５２内にはインク５２ｂが充填されている。
インクタンク５２には温度調整ユニット５２ａが設けられている。温度調整ユニット５２ａは温度調整ユニット５０ｂと同様の構成であるため、その詳細な説明は省略する。
また、インクタンク５２には、例えば、窒素ガスを充填したボンベ６２ｃが配管６２ｄを介して接続されている。これにより、インクタンク５２内に窒素ガスが充填される。

さらには、サブタンク５０には、洗浄液ボトル５４が配管６２ｂを介して接続されている。配管６２ｂにはポンプ６２ａとフィルタ６２ｅが設けられている。洗浄液ボトル５４内には洗浄液５４ｂが充填されている。
洗浄液ボトル５４には温度調整ユニット５４ａが設けられている。温度調整ユニット５４ａは温度調整ユニット５０ｂと同様の構成であるため、その詳細な説明は省略する。
また、洗浄液ボトル５４には、例えば、窒素ガスを充填したボンベ６２ｃが配管６２ｄを介して接続されている。これにより、洗浄液ボトル５４内に窒素ガスが充填される。
なお、温度調整ユニット５２ａでインクの温度を調整することができるが、インクの温度は、サブタンク５０のインクの温度＞インクタンク５２のインクの温度であることが好ましい。

サブタンク５８は、配管６２ｆを介して廃液タンク５６が接続されている。配管６２ｆにはポンプ６２ａが接続されている。これにより、廃液タンク５６内にサブタンク５８内のインク５２ｂを廃液として移動させることができる。
インク５２ｂとしては、インクジェット用のナノメタルインクを利用することができる。具体的には、ＵＬＶＡＣ製Ａｇナノメタルインク（Ａｇ１ｔｅＨ（型番）、Ｌ−Ａｇ１ＴｅＨ（型番））、およびＡｕナノメタルインク（シクロドデセン溶媒）インクジェットタイプを利用することができる。なお、これ以外にも各種のインクが適宜利用可能である。

次に、印刷版２５について説明する。
図６（ａ）は、本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版の一例を示す模式図であり、（ｂ）は、本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版の一例を示す模式的断面図であり、（ｃ）は、本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版である平版を示す模式的断面図であり、（ｄ）は、本発明の実施形態の印刷装置に用いられる印刷版である凸版を示す模式的断面図である。
図６（ａ）に示すように、例えば、印刷版２５は、アライメントマークＡ〜Ｄが、それぞれ四隅に設けられており、吐出確認エリアＴ、印刷エリアＧ_１１、Ｇ_１２、スピットエリアＧ、印刷エリアＧ_２１、Ｇ_２２、スピットエリアＧ、印刷エリアＧ_３１、Ｇ_３２が形成されている。

吐出確認エリアＴは、インクジェットヘッド４０により、テストパターン状にインクが吐出される領域である。吐出確認エリアＴのインクは、評価後、クリーニング部３４で取り除くか、または基板３１に転写して取り除く。
スピットエリアＧは、インクジェットヘッド４０により、通常の吐出動作で、インクを吐出し、吐出確認に利用される領域である。
印刷エリアＧ_１１〜Ｇ_３１、Ｇ_１２〜Ｇ_３２の前に、吐出確認のための領域、吐出確認エリアＴおよびスピットエリアＧを設けることで、印刷エリアＧ_１１〜Ｇ_３１、Ｇ_１２〜Ｇ_３２へのインクの吐出を確実にすることができる。
印刷エリアＧ_１１〜Ｇ_３１、Ｇ_１２〜Ｇ_３２に、上述の図３に示すパターン形成領域２７ａと非パターン形成領域２７ｂが設けられる。

図６（ｂ）に示すように、例えば、印刷版２５は凹版であり、凹部２５ｂが形成されている。印刷版２５では、凹部２５ｂはインクに対して親液性であり、凹部２５ｂが親液部である。版面２５ａはインクに対して撥液性であり、版面２５ａが撥液部である。図６（ｂ）に示す印刷版２５では凹部２５ｂがパターン形成領域２７ａであり、版面２５ａが非パターン形成領域２７ｂである。パターン形成領域２７ａが親液部で構成される。凹部２５ｂにインク５２ｂが打滴されてパターン状にインクが付与される。なお、凹部２５ｂの深さは数μｍ程度である。

なお、インクに対して撥液性、インクに対して親液性とは、以下に示すようにして評価することができる。
撥液性が予想される領域と親液性が予想される領域とに液滴を着滴させて、その液滴の挙動で評価を行う。着滴時の液滴量に対して液滴量が減少した領域が撥液性を有する撥インク部、液滴量が増加した領域が親液性を有する親インク部である。
なお、版作成の工程で撥液性と親液性が付与される。この場合、撥液性と親液性の評価は、撥液性の撥インク部、親液性の親インク部の境界に液滴を着滴させて、その液滴の挙動で評価を行う。着滴時の液滴量に対して液滴量が減少した領域が撥液性、液滴量が増加した領域が親液性である。
印刷版の凹凸の境界と撥液性の撥インク部と親液性の親インク部の境界が一致している場合には、その凹凸から境界を見分けることができる。印刷版の凹凸が小さく境界を見分けることが困難な場合には、境界付近に液滴を複数着滴させることで境界での液滴量の変化を評価することができる。また、印刷版の凹凸の境界を示すアライメントマークを予め設けることで境界を知ることもできる。

印刷版２５としては、樹脂、金属、ガラス等材料は限定されないが、樹脂版を用いると弾性があり、また印圧を下げることができるのでガラス等の脆性材料に印刷することが容易になる。印刷版２５としては、フロロシリコーンゴム、ブチルゴム、エチレンプロピレンゴム、ニトリルゴム、ネオプレンゴム、ハイバロンゴム、ウレタンゴム等の種種のエラストマが使用できるが、離型性のよいＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）等のシリコーンゴム、およびフッ素ゴム等が望ましい。ＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）等を用いることで転写性が向上して、転写後、印刷版２５にインクが残ることが抑制されて、印刷版２５の洗浄なしでも連続印刷が可能となる。これにより、印刷効率を向上させることができる。
なお、印刷版２５には凹部２５ｂが形成された凹版を用いるが、凹部２５ｂは、公知の方法で、予め定められたパターン形成領域２７ａ状に形成される。

印刷版２５は、パターン形成領域２７ａと非パターン形成領域２７ｂに区画されていれば、凹版に限定されるものではなく、図６（ｃ）に示す平版２９でもよい。平版２９は、表面２９ａが平らであり、パターン形成領域２７ａと非パターン形成領域２７ｂとがインクに対する親液性と撥液性とで区画される。パターン形成領域２７ａがインクに対して親液性の親液部であり、非パターン形成領域２７ｂがインクに対して撥液性の撥液部である。
印刷版２５は、図６（ｄ）に示す凸版２９ｂでもよい。この場合、凸部がパターン形成領域２７ａであり、インクに対して親液性の親液部である。凸部以外が非パターン形成領域２７ｂであり、インクに対して撥液性であり、撥液部である。

次に、メンテナンス部３６について詳細に説明する。
メンテナンス部３６は、例えば、インクジェットヘッド４０に対して、回転軸を中心に回転する回転ローラ（図示せず）が配置されている。回転ローラの周面に、インクジェットヘッド４０の洗浄のためのウェブ（図示せず）が巻きかけられている。ウェブは、インクジェットヘッド４０を洗浄することができれば、特に限定されるものではない。
例えば、洗浄部により洗浄液を、インクジェットヘッド４０に直接、塗布または噴射して、回転ローラを回転させてウェブをインクジェットヘッドに接触させてインク５２ｂを取り除く。また、ウェブに洗浄部により洗浄液を噴射して、回転ローラを回転させてウェブをインクジェットヘッド４０に接触させてインク５２ｂを取り除いてもよい。

洗浄液には、例えば、インク溶解性のある溶剤またはインク成分のうち固形分が含まれない溶液が用いられる。ＵＬＶＡＣ製Ａｇナノメタルインク（Ａｇ１ｔｅＨ（型番）、Ｌ−Ａｇ１ＴｅＨ（型番））、およびＡｕナノメタルインク（シクロドデセン溶媒）インクジェットタイプには、炭化水素系の溶剤を利用することができる。炭化水素系の溶剤としては、例えば、トルエン、キシレン、ヘキサン、テトラデカン、シクロドデセンを用いることができる。
ウェブには、例えば、ＫＢセーレン社製、サヴィーナ（登録商標）、東レ社製、トレシー（登録商標）、および帝人社製、ナノフロント（登録商標）、ミクロスター（登録商標）等のワイピングクロスを用いることができる。

また、インクジェットヘッド４０を洗浄するものとしては、上述のものに限定されるものではない。例えば、ゴムブレード（図示せず）を有する構成とすることもできる。インクジェットヘッド４０はキャリッジ４６によりＸ方向に移動可能であるため、これを利用して、ゴムブレードを固定してインクジェットヘッド４０の長手方向にインクをふき取る。また、インクジェットヘッド４０を固定して、ゴムブレードを走査してワイプしてもよい。このとき、インクジェットヘッド４０の長手方向と直交する短手方向にインクをふき取るとゴムブレードの移動距離を短くできるメリットがあり、これ以外にも、ふき取ったインクが他のノズルに入る可能性が少ないメリットがある。一方、インクジェットヘッド４０の長手方向と平行方向にインクをふき取るとインクジェットヘッド４０のＸ軸を共有できるメリットがある。そこで装置構成またはコストを考慮した最適の形で設計することがよい。
なお、ゴムブレードまたはインクジェットヘッド４０に洗浄液を付与して、インクをふき取るようにしてもよい。インクをふき取る時には、サブタンク５０、５８内の圧力を印刷時の圧力と別に設定することもできる。インク、インクジェットヘッド４０またはワイプの条件によって最適な圧力を設定することが好ましい。

ウェブ（図示せず）を用いる場合、インクジェットヘッド４０を、例えば、Ｘ方向に移動させながら、ウェブを移動させてワイプする。これによりウェブ面が常にリフレッシュされる。ウェブには、上述のウェブと同じものを用いることができる。
なお、ウェブに洗浄液を事前に含ませて、インクをふき取ること、およびインクジェットヘッド４０に洗浄液を付与して、インクをふき取ることのうち、少なくとも一方をしてもよい。インクをふき取る時にはサブタンク５０、５８内の圧力を印刷時の圧力と別に設定することもできる。インク、インクジェットヘッド４０またはワイプの条件によって最適な圧力を設定することが好ましい。

メンテナンス部３６では、インクジェットヘッド４０について、パージ、スピットおよびドリップ等の動作を行わせることもできる。
ここで、パージとは、インクジェットヘッド４０をインク受け（図示せず）上に配置し、この状態でサブタンク５０の圧力を正圧にして、ノズル４１からインクを押し出すことである。インク受けは、キャップ、ワイプ部と共有することもできる。

スピットとは、吐出動作のことである。これにより、ノズル詰まり、吐出曲がりを改善することができる。なお、スピットはパージと同様の場所で実施するが、スピット用のステーションを設けてもよい。この場合、吐出したインクが舞わないように下から吸引を行うことが好ましい。スピット時は、印刷時のインクジェットヘッド４０に吐出波形と比較して駆動電圧を高くするか、または専用波形を用いる。専用波形は、印刷時の吐出波形と比較してインク液滴量が多く、インクの吐出速度が早くなるように設定する。

ドリップとは、上述のパージ程、インクを強く押し出す回復動作ではなく、ゆっくりとインクが垂れることで回復させる動作である。これにより、ノズルの詰まり、インクの吐出曲がりを改善することができる。なお、ドリップもパージまたはスピットと同様の場所で実施するが、ドリップの際、サブタンク５０内の圧力を印刷時の圧力よりも正圧側にすることで実施する。しかしながら、サブタンク５０内の圧力は大気圧より正圧であり、かつパージ圧より低いことが好ましい。

また、メンテナンス部３６では、ノズル４１の乾燥防止のため、キャップ機構（図示せず）を有してもよい。キャップ機構では、ノズル４１にキャップした後、ノズル４１周辺を窒素ガスで満たすものである。また、洗浄液をウェブ等に浸してキャップの中に配置することでノズル４１の乾燥をより防止することもできる。

また、メンテナンス部３６は、インクジェットヘッド４０から吐出されたインク５２ｂを観察する機能を有するものであってもよい。インクジェットヘッド４０から吐出されたインク液滴４５を観察する吐出観察部（図示せず）と、インクジェットヘッド４０のノズル４１（図４（ａ）参照）を、ノズル４１が形成された面側から観察するノズル観察部（図示せず）とを有する。
吐出観察部およびノズル観察部は、いずれも制御部１８に接続されており、これらの動作は制御部１８で制御され、得られた撮像データは制御部１８により、記憶部１４に記憶される。制御部１８でインクジェットヘッド４０でのインクの吐出状態が、例えば、インクジェットヘッド４０の吐出特性の設計値と比較されて、その比較結果が、記憶部１４に記憶される。

本発明の印刷装置１０では、例えば、電子ペーパー等に用いられる薄膜トランジスタのゲート電極、ソース電極、およびドレイン電極を作製することができる。
図７は、本発明の実施形態の印刷装置で形成される薄膜トランジスタの一例を示す模式図である。
図７に示す薄膜トランジスタ８０（以下、ＴＦＴ８０という）は、ゲート電極８２と、ゲート絶縁層（図示せず）と、ソース電極８６ａと、ドレイン電極８６ｂと、半導体層（図示せず）と、保護層（図示せず）とを有する。
ＴＦＴ８０においては、ゲート電極８２を覆うように、ゲート絶縁層（図示せず）が形成されている。このゲート絶縁層上にチャネル領域８４として予め設定された隙間をあけて、ソース電極８６ａとドレイン電極８６ｂとが形成されている。チャネル領域８４上に活性層として機能する半導体層（図示せず）が形成されている。半導体層、ソース電極８６ａおよびドレイン電極８６ｂを覆う保護層（図示せず）が形成されている。なお、チャネル領域８４のチャネル長は数μｍ〜数十μｍオーダである。薄膜トランジスタのドレイン電流は、チャネル長の影響を受け、チャネル長のばらつきは、薄膜トンランジスタの特性のばらつきに結びつく。
なお、印刷装置１０は、上述の図７に示すＴＦＴ８０以外に、電界発光トランジスタ、有機エレクトロルミネッセンス素子、太陽電池等の電子デバイスの作製に適用することができる。

次に、印刷方法について説明する。
図８（ａ）〜（ｆ）は、本発明の実施形態の印刷方法を工程順に示す模式的断面図である。また、図９（ａ）〜（ｅ）は、従来の印刷方法を工程順に示す模式的断面図である。
なお、図８（ａ）〜（ｆ）および図９（ａ）〜（ｅ）に示す印刷版２５は、凹版であり、上述のように凹部２５ｂが親液部であり、版面２５ａが撥液部である。パターン形成領域２７ａが親液部、すなわち、凹部２５ｂである。

図８（ａ）に示すように幅Ｗの凹部２５ｂを有する印刷版２５に対して、図８（ｂ）に示すように凹部２５ｂにプレコート液９６を付与する。図８（ｃ）に示すようにプレコート液９６が凹部２５ｂに残る。これにより、凹部２５ｂの親液性が高まり、インク５２ｂの接触角を、プレコート液９６の付与前よりも小さくすることができる。すなわち、親液性が増すことになる。そして、インク５２ｂを凹部２５ｂに付与する。図８（ｄ）に示すように、インク５２ｂの濡れ広がりが抑えられて凹部２５ｂにインク５２ｂが収まる。
次に、図８（ｅ）に示すように、インク５２ｂを乾燥する。乾燥後、インク５２ｂは凹部２５ｂ内で乾燥される。この状態で、図８（ｆ）に示すように基板３１に転写した場合、配線パターン１２４は、凹部２５ｂの幅Ｗと同程度の幅Ｗ_１となり、高精細の印刷パターンを得ることができる。

なお、インクとして、Ａｇ（銀）インク（Ａｇ３５質量％、テトラデカン溶媒）を用意し、プレコート液にテトラデカンを用意する。ＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）で構成された親インク版に、Ａｇインクを親インク版に滴下したところ、インクと親インク版の接触角は３６°である。親インク版にプレコート液を塗布した後、Ａｇインクを滴下したところ、Ａｇインクと親インク版の接触角は１０°以下となり、Ａｇインクの濡れ性が向上することを確認している。

一方、図９（ａ）に示すように幅Ｗの凹部２５ｂを有する印刷版２５に対して、プレコート液を付与することなく、図９（ｂ）に示すように凹部２５ｂにインク５２ｂを付与する。図９（ｃ）に示すようにインク５２ｂが濡れ広がり、版面２５ａにまで及ぶ。この状態でインク５２ｂを乾燥させると、図９（ｄ）に示すように、乾燥したインク５２ｂが凹部２５ｂから版面２５ａにまで及ぶ。この状態で、図９（ｅ）に示すように基板３１に転写した場合、配線パターン１３８は、凹部２５ｂの幅Ｗよりも広い幅Ｗ_２となり、高精細の印刷パターンを得ることができず、高い印刷精度を得ることができない。
なお、インクに対する親液性が高くなり過ぎると、基板３１への転写の際に、乾燥したインクが基板３１に転写しにくくなり、転写性が悪化するドローバックがある。しかしながら、プレコート液を付与することで、プレコート液が印刷版２５内に浸潤し、その後プレコート液が乾燥することで、プレコート液により親液性が高くなっても転写性の悪化を抑制することができる。なお、印刷版２５をＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）で構成した場合、プレコート液が印刷版２５内に浸潤しやすい。

印刷装置１０では、インク５２ｂの付与前にプレコート液を付与して、インク５２ｂの濡れ性を向上させることで、例えば、凹部２５ｂの幅Ｗ（図８（ａ）参照）で、インク５２ｂを基板３１に転写することができる。これにより、高精細な印刷パターンを形成することができ、印刷精度を向上させることができる。
また、ドクタリングが不要であり、ドクタリングに伴う印刷版２５の版面２５ａの地汚れを防止し、かつ印刷版２５の耐久性も改善することができる。

次に、印刷装置１０で形成される配線パターンについて説明する。
ここで、図１０（ａ）〜（ｃ）は、本発明の実施形態の印刷装置で形成される配線パターンの形成工程を工程順に示す模式的断面図である。図１１（ａ）は、転写前の印刷版の第１の例を示す模式的断面図であり、（ｂ）は、印刷版に転写後のパターンを示す模式的断面図である。図１２（ａ）は、転写前の印刷版の第２の例を示す模式的断面図であり、（ｂ）は、印刷版に転写後のパターンを示す模式的断面図である。図１３（ａ）は、転写前の印刷版の第３の例を示す模式的断面図であり、（ｂ）は、印刷版に転写後のパターンの一例を示す模式的断面図であり、（ｃ）は、印刷版に転写後のパターンの他の例を示す模式的断面図である。

印刷装置１０で形成される配線パターンにおいては、図１０（ａ）に示すように、印刷版２５の凹部２５ｂにインク５２ｂが打滴されて、中央に凹部１１０があるインク形状となっている。この状態で、図１０（ｂ）に示すように、印刷版２５を基板３１に押し付け、図１０（ｃ）に示すようにインクを基板３１の表面３１ａに転写すると、凹部１２２のある配線パターン１２０が形成される。
なお、印刷版２５でのインクの形状、および配線パターン１２０の形状は、例えば、コンフォーカル顕微鏡（ＯＰＴＥＬＩＣＳ Ｈ１２００、レーザーテック社製）、および微細形状測定機サーフコーダ（ＥＴ４０００−Ｌ、小坂研究所製）を用いて測定することができる。

上述のように形成された配線パターン１２０（図１０（ｃ）参照）は、印刷版２５上での転写前のインク形状がそのまま基板３１の表面３１ａに転写されることがわかった。例えば、インク形状が、印刷版２５で、図１０（ａ）に示すように中央に凹部１１０がある場合、いわゆるコーヒーステイン形状をしていた場合、基板３１上でも、図１０（ｃ）に示す配線パターン１２０のように中央に凹部１２２がある形状、いわゆるコーヒーステイン形状であった。
版胴２４から基板３１に転写されて配線パターン１２０が形成されるため、配線パターン１２０は、印刷版２５での形状を反転した形状になるとも考えられるが実際はそのようにはならなかった。基板３１への転写のメカニズムは明確にはなっていないが、印刷版２５にＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）を用いた場合、転写時の印圧によってＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）が変形して、基板とインクと印刷版（ＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン））が密着しているためと考えられる。
このことは、転写前の印刷版上のインク形状をコントロールすることで配線パターンの断面形状を自由にコントロールすることができることを示唆している。
インクの揮発状態を変えることでコーヒーステインをコントロールすることが知られており、配線パターンの仕様に応じた形状をインク設計で可能なことを示している。また、ＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）は溶剤を吸収することが知られており、この吸収量を制御することでも同様の効果を得ることができる。

例えば、図１１（ａ）に示すように、印刷版２５でインク５２ｂが、その表面１１２が平らな場合、図１１（ｂ）に示すように基板３１の表面３１ａに、表面が平らな配線パターン１２４が形成される。
また、例えば、図１２（ａ）に示すように、印刷版２５でインク５２ｂが、その表面１１４が凸な場合、図１２（ｂ）に示すように基板３１の表面３１ａに、表面１２８が凸な配線パターン１２６が形成される。
また、例えば、図１３（ａ）に示すように、印刷版２５でインク５２ｂが、その表面１１６が凹な場合、図１３（ｂ）に示すように基板３１の表面３１ａに、表面１３２が凹な配線パターン１３０が形成される。
なお、表面１１６が凹なインク５２ｂでは、上述の図１３（ａ）、（ｂ）に示しているが、図１３（ｃ）に示す基板３１の表面３１ａ側に凹部１３６がある配線パターン１３４は形成されない。

次に、本実施形態の印刷方法について印刷装置１０を用いて説明する。
図１４は、本発明の実施形態の印刷方法を説明するための示す模式図である。
上述のように、版胴２４を複数回回転させて、各回転毎に、インクをパターン形成領域内に付与する。図１４において、距離は版胴２４の回転量を示したものであり、距離が０は、印刷版２５の初期位置を示す。
また、図１４において、符号１００は、インクを吐出するタイミングを示し、符号１０１は、プレコート液を付与するタイミングを示し、符号１０２はインクを乾燥する区間を示し、符号１０４は基板３１に転写する区間を示す。また、符号１０６は、複数回印刷する場合、印刷版２５の印刷の開始位置を示す。

印刷装置１０では、印刷しようとするパターンのパターンデータに基づいて、特定のパターンが基板３１に印刷される。
アライメントカメラ４２でアライメントマークＡ〜Ｄの位置情報を取得し、印刷版２５の取り付け位置情報を取得し、印刷版２５の傾きを求める。印刷版２５の傾きが許容範囲内である場合、傾き補正をすることなく、予め定められた吐出波形でインクジェットヘッド４０からのインクを印刷版２５に吐出し、インキングを行う。
一方、印刷版２５の傾きが許容範囲から外れる場合、傾き補正をしてパターンを印刷する。このように印刷版２５の傾き補正をすることで、印刷版２５の取り付け精度が低い場合であっても印刷精度を向上させることができる。

図１４に示す例では、版胴２４を５回回転させ、最初の１回転目で印刷版２５にプレコート液を付与し、残りの４回の各回転毎にインクを打滴する。インクの打滴毎に、版面観察部２６にて印刷版２５の版面２５ａの情報を取得し、判定処理部１６にて判定し、その判定結果に基づいて、制御部１８でインクの吐出量、吐出密度が調整されて、次のインクの打滴を実施する。この場合、印刷版２５の凹部での不足がある場合には不足部分の周辺のインクの打滴量を多くし、形成されるドットを大きくする。これ以外にも、予め定められたインクの打滴数よりも多くして、打滴密度を高くする。
逆に、印刷版２５の凹部で、先のインクの打滴の際に大きなドットとなってしまった場合、インクの打滴量を少なくし、形成されるドットを小さくする。これ以外にも、予め定められたインクの打滴数よりも少なくして、打滴密度を下げる。
また、インクジェットヘッド４０が冗長ノズルを有する場合には、冗長ノズルを用いることもできる。

例えば、２４００ｄｐｉのパターンデータの場合、Ｘ方向、Ｙ方向ともに１２００ｄｐｉのパターンの４回走査、Ｘ方向６００ｄｐｉ、Ｙ方向２４００ｄｐｉのパターンの４回走査で、パターン形成領域へのインクの付与（インキング）を完了することができる。
また、例えば、Ｘ方向、Ｙ方向ともに１２００ｄｐｉの場合、１ノズルの隣接画素間距離（最小値）も２１．２μｍで吐出周波数の要求は低いものの、ノズル数がＸ方向で６００ｄｐｉと比べて２倍必要となる。Ｘ方向の隣接画素間距離（最小値）は２１．２μｍとなりＸ方向着弾干渉の影響が懸念される。
一方、Ｘ方向６００ｄｐｉ、Ｙ方向２４００ｄｐｉの場合、ノズル数は上述のＸ方向１２００ｄｐｉと比較して１／２となり、Ｘ方向の隣接画素間距離（最小値）は４２．３μｍとなりＸ方向着弾干渉の影響は減るものの、Ｙ方向の隣接画素間距離（最小値）が１０．６μｍとなり、Ｘ方向、Ｙ方向ともに１２００ｄｐｉの場合と比較して２倍の高周波吐出が必要となる。

次に、本実施形態の印刷装置１０の印刷方法についてより具体的に説明する。
図１５は、本発明の実施形態の印刷方法を示すフローチャートである。
最初に、インクをインクタンクに供給する（ステップＳ１０）。ステップＳ１０では、まず、インクタンクからサブタンクへインクを送液する。そして、サブタンクからインクジェットヘッド４０にインクを供給する。
なお、インクの供給に際しては、洗浄液からインクに置換する。洗浄液を窒素ガスでインクジェットヘッド４０から出した後、インクを供給することも可能であるが、窒素ガスを巻き込みやすい。このため、インクの供給は洗浄液から置換することが好ましい。

洗浄液をインクジェットヘッド４０に供給した状態で、吐出確認を行う。吐出確認の際、結果がよくない場合、メンテナンス部３６を用いて吐出回復を行う。回復できない場合は、必要に応じてインクジェットヘッド４０の交換を行う。
洗浄液からインクに置換に際しては、例えば、サブタンク５０の洗浄液を下限まで減らす。次に、サブタンク５０にインクを入れ、インクジェットヘッド４０内の洗浄液をインクで押し流す。次に、サブタンク５０のインクを下限まで減らす。インクジェットヘッド４０内の洗浄液をインクで押し流し、サブタンク５０のインクを下限まで減らすことを繰り返し行い、洗浄液をインクに置換する。

次に、アライメントを実施する（ステップＳ１２）。
この場合、インクジェットヘッド４０の位置と版位置とのアライメントを行う。まず、アライメントマークＡ〜Ｃをアライメントカメラ４２で読み取り、その位置を検出する。
次に、Ｘ方向の絶対距離を求める。この場合、例えば、アライメントマークＡ、Ｂがアライメントカメラ４２の視野のＸ方向で同じ位置になったときのキャリッジ４６位置（リニアスケール読み取り値）から算出する。
次に、Ｙ方向の絶対距離を求める。この場合、アライメントマークＡ、Ｃのアライメントマークがアライメントカメラ４２の視野のＹ方向で同じ位置になったときのローターリーエンコーダから出力される版胴２４の回転位置情報から算出する。なお、Ｙ方向は距離ではなく角度でのアライメント調整になる。

次に、インクジェットヘッド４０と印刷版２５との相対的な傾きを求める。この場合、傾き角度θを求める。アライメントマークＡ，ＢのＸ方向位置だけでなく、Ｙ方向についてもずれを計測する。アライメントカメラ４２の視野のＹ方向も同じになったときのローターリーエンコーダから出力される版胴２４の回転位置情報からＹ方向のずれを算出して、Ｘ方向の距離とＹ方向のずれから傾き角度θを算出する。あるいは、カメラの視野内でのＹ方向のずれから傾き角度θを算出することもできる。
また、アライメントマークＡ〜Ｃの位置情報から、印刷版２５の版胴２４に対する取り付け位置情報を得る。すなわち、どのように印刷版２５が版胴２４に取り付けられているかの情報を得る。そして、印刷版２５の傾き角度αを求める。例えば、傾き角度αは、Ｘ方向の距離とＹ方向のずれから算出することができる。

上述のように得られたＸ方向の距離、Ｙ方向の角度、傾き角度θは記憶部１４に記憶される。制御部１８では、Ｘ方向の距離、Ｙ方向の角度、傾き角度θと、記憶部１４に記憶された印刷するパターンデータに対してＸ方向およびＹ方向の拡大縮小処理、傾き角度θに基づくパターンデータの回転処理を行い、パターンデータ補正する。補正されたパターンデータに必要に応じて印刷版２５の傾き補正を行う。
補正パターンデータを得る。さらには、インクジェットヘッド４０からのインクの吐出のタイミングの調整も制御部１８にて行う。

次に、インクジェットヘッド４０の吐出確認を行う（ステップＳ１４）。
この場合、テストパターンの印刷物の評価、または吐出観察にて行う。
テストパターンの印刷の印刷物の評価は、印刷した基板の目視またはスキャナでの評価で行う。また、印刷版２５に吐出のみを行い、転写を行わず、印刷版２５上のインクをアライメントカメラ４２で観察することで実施することもできる。
印刷版２５には上述のように吐出確認エリアＴを設けており、そこにインクを打滴する。版胴２４に吐出確認エリアＴを設けて、そこにインクを打滴してもよい。
吐出確認エリアＴのインクは、評価後、クリーニング部３４で取り除くか、または基板３１に転写して取り除く。

なお、吐出確認の結果が予め定められた範囲から外れていた場合、メンテナンス部３６にて回復動作を行うか、または、吐出制御部４３での吐出波形の最適化を行う。
吐出確認と合わせて、印刷版２５へ打滴したインクの着弾位置の情報を、アライメントカメラ４２を用いて取得する。判定処理部１６において、着弾位置のずれを判定し、Ｘ方向、Ｙ方向、傾き角度θについて予め定められた範囲から外れている場合には、補正パターンデータの拡大縮小、回転等を再度調整する。

次に、印刷版２５へのプレコートを行う（ステップＳ１６）。
パターンデータまたは補正パターンデータを吐出制御部４３に送り、版胴２４を回転させて、その時にローターリーエンコーダから出力される版胴２４の回転位置情報に基づき、タイミングに合わせて、予め定められた吐出波形で、プレコート部９０からプレコート液を印刷版２５に吐出し、プレコートを行う。例えば、版胴２４を１回回転させて、すなわち、１回走査してパターン形成領域にプレコート液を付与する。

次に、ステップＳ１６のプレコート工程の後、印刷版へのインキングを行う（ステップＳ１８）。
パターンデータまたは補正パターンデータを吐出制御部４３に送り、版胴２４を回転させて、その時にローターリーエンコーダから出力される版胴２４の回転位置情報に基づき、タイミングに合わせて、予め定められた吐出波形で、インクジェットヘッド４０からインクを印刷版２５に吐出し、インキングを行う。例えば、版胴２４を４回回転させて、すなわち、４回走査してパターン形成領域にインクを付与する。この場合、走査１回毎にスピットを行う。スピットは、印刷版２５のスピットエリアＧまたは版胴２４上に設けたスピットのためのスピットエリア（図示せず）で行う。
スピットのタイミングは、印刷エリアにパターン形成した後であっても、印刷版１枚毎あってもよい。また、印刷版１００枚毎のようにある印刷枚数毎に、パージ、ワイプおよびスピットをメンテナンス部３６で実施し、さらに吐出確認を行うようにしてもよい。なお、印刷版へのインキングを行うステップＳ１８がインク付与工程に相当する。

次に、インキングされた印刷版２５を乾燥部３２で乾燥させ（ステップＳ２０）、インク５２ｂを乾燥させる。ステップＳ２０が乾燥工程に相当する。
次に、インキングされた印刷版２５を基板３１に転写する（ステップＳ２２）。
まず、ステップＳ２２の転写工程では、ステージ３０上に基板３１を載置しておき、開始位置Ｐｓにて待機する。そして、印刷版２５のパターンの位置合わせのために基板３１のアライメントを行う。
次に、ステージ３０を搬送方向Ｖに移動させて基板３１を版胴２４の下方の印刷位置Ｐｐに配置する。そして、版胴２４を回転させ、印刷版２５と基板３１の表面３１ａとを接触させて、印刷版２５のインクを基板３１に転写する。そして、転写後、ステージ３０を搬送方向Ｖに移動させて、版胴２４の下方の印刷位置Ｐｐから印刷版２５を終了位置Ｐｅに移動させる。その後、パターンが形成された印刷版２５をステージ３０から移動させ、ケーシング２０の外部に取り出す。

なお、転写後、除去部３５で、印刷版２５に付与したプレコート液およびインクの溶媒を除去してもよいし、乾燥部３２で印刷版２５を乾燥させてプレコート液およびインクの溶媒を除去してもよい。これにより、上述のようにインクの乾燥しやすさが向上する。
ここで、図１６（ａ）は本発明の実施形態の印刷方法のうち、版検査の工程の第１の例を示すフローチャートであり、（ｂ）は本発明の実施形態の印刷方法のうち、版検査の工程の第２の例を示すフローチャートである。
図１６（ａ）に示すように、転写後、転写回数を判定し（ステップＳ２４）、予め定められた転写回数よりも少ない場合には、プレコート液およびインクの溶媒の除去をせずに、印刷工程を終了する。
一方、転写回数が予め定められた転写回数よりも多い場合には、除去部３５でプレコート液およびインクの溶媒を除去し、印刷版２５をリフレッシュさせる（ステップＳ２６）。そして、印刷工程を終了する。なお、転写毎に除去部３５または乾燥部３２で印刷版２５に付与したプレコート液およびインクの溶媒を除去してもよい。ステップＳ２６がリフレッシュ工程に相当する。なお、インクの溶媒については、残存していれば除去されるが、残存していない場合には除去されない。

これ以外にも図１６（ｂ）に示すように、転写後の印刷版２５について、版面観察部２６を用いて、転写後の印刷版２５の版面２５ａの情報を取得する（ステップＳ３０）。
記憶部１４から読み出した、転写後の印刷版２５の版面２５ａの理想的な状態を示す画像データと、転写後の印刷版２５の版面２５ａの版面撮像データとを比較し、予め定められた範囲にあるか判定する（ステップＳ３２）。ステップＳ３２において、予め定められた範囲にあれば、印刷工程を終了する。
一方、ステップＳ３２において、予め定められた範囲にない場合、除去部３５または乾燥部３２でプレコート液およびインクの溶媒を除去し、印刷版２５をリフレッシュさせる（ステップＳ３４）。そして、印刷工程を終了する。この場合も、インクの溶媒については、残存していれば除去されるが、残存していない場合には除去されない。

以下、電子回路の配線、薄膜トランジスタ等の電子素子の構成部、または電子回路の配線、薄膜トランジスタ等の電子素子の構成部のプレカーサの形成に用いられるインクの材料について具体的に説明する。

導電性材料としては、導電性微粒子を含み、この導電性微粒子の粒径が１ｎｍ以上、１００ｎｍ以下であることが好ましい。導電性微粒子の粒径が１００ｎｍより大きいと、ノズルの目詰まりが起こりやすく、インクジェット法による吐出が困難になることによる。また、導電性微粒子の粒径が１ｎｍ未満であると、導電性微粒子に対するコーティング剤の体積比が大きくなり、得られる膜中の有機物の割合が過多になることによる。
分散質濃度は、分散質濃度の凝集性の観点から、１質量％以上、８０質量％以下であることが好ましい。

導電性微粒子の分散液の表面張力は、２０ｍＮ／ｍ以上、７０ｍＮ／ｍ以下の範囲に入ることが好ましい。インクジェット法にて液体を吐出する際、表面張力が２０ｍＮ／ｍ未満であると、インク組成物のノズル面に対する濡れ性が増大するため飛行曲りが生じ易くなり、７０ｍＮ／ｍを超えるとノズル先端でのメニスカスの形状が安定しないため吐出量、吐出タイミングの制御が困難になるためである。

導電性材料としては、例えば、銀の微粒子が含まれるものである。銀以外の他の金属微粒子としては、例えば、金、白金、銅、パラジウム、ロジウム、オスミウム、ルテニウム、イリジウム、鉄、錫、亜鉛、コバルト、ニッケル、クロム、チタン、タンタル、タングステン、インジウムのいずれか１つが利用されてもよいし、または、いずれか２つ以上が組合せられた合金が利用されてもよい。さらには、ハロゲン化銀を用いてもよい。ただし、銀ナノ粒子が好ましい。金属微粒子の他、導電性ポリマーや超電導体の微粒子等を用いてもよい。
導電性微粒子の表面にコーティングするコーティング材としては、例えば、キシレン、トルエン等の有機溶剤やクエン酸等が挙げられる。

使用する分散媒としては、上述の導電性微粒子を分散できるもので、凝集を起こさないものであれば特に限定されないが、水の他に、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール等のアルコール類、ｎ−ヘプタン、ｎ−オクタン、デカン、テトラデカン、トルエン、キシレン、シメン、デュレン、インデン、ジペンテン、テトラヒドロナフタレン、デカヒドロナフタレン、シクロヘキシルベンゼン等の炭化水素系化合物、またはエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、１，２−ジメトキシエタン、ビス（２−メトキシエチル）エーテル、ｐ−ジオキサン等のエーテル系化合物、更にプロピレンカーボネート、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、シクロヘキサノン等の極性化合物を挙げることができる。これらのうち、微粒子の分散性と分散液の安定性、また、インクジェット法への適用のし易さの点で、水、アルコール類、炭化水素系化合物、エーテル系化合物が好ましく、更に好ましい分散媒としては水、炭化水素系化合物を挙げることができる。これらの分散媒は、単独でも、２種以上の混合物としても使用できる。

また、バインダー（添加剤）としては、アルキッド樹脂、変性アルキッド樹脂、変性エポキシ樹脂、ウレタン化油、ウレタン樹脂、ロジン樹脂、ロジン化油、マレイン酸樹脂、無水マレイン酸樹脂、ポリブテン樹脂、ジアリルフタレート樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエステルオリゴマー、鉱物油、植物油、ウレタンオリゴマー、（メタ）アリルエーテルと無水マレイン酸との共重合体（この共重合体は他のモノマー（例えば、スチレン等）を共重合成分として加えてもよい）等を１種、あるいは、２種以上の組み合わせで使用することができる。また、本発明の金属ペーストには、添加剤として、分散剤、湿潤剤、増粘剤、レベリング剤、地汚れ防止剤、ゲル化剤、シリコンオイル、シリコーン樹脂、消泡剤、可塑剤等を適宜選択して添加してもよい。
また、溶媒としては、ノルマルパラフィン、イソパラフィン、ナフテン、アルキルベンゼン類を用いることもできる。

また、導電性材料としては、導電性有機材料を用いることもでき、例えば、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリフェニレンビニレン等の高分子系の可溶性材料を含んでいてもよい。
金属の微粒子に代えて、有機金属化合物を含んでいてもよい。ここでいう有機金属化合物は、加熱による分解によって金属が析出するような化合物である。このような有機金属化合物には、クロロトリエチルホスフィン金、クロロトリメチルホスフィン金、クロロトリフェニルフォスフィン金、銀２，４−ペンタンヂオナト錯体、トリメチルホスフィン（ヘキサフルオロアセチルアセトナート）銀錯体、銅ヘキサフルオロペンタンジオナトシクロオクタジエン錯体、等がある。
導電性微粒子の他の例としては、レジスト、線状絶縁材料としてのアクリル樹脂、加熱してシリコンになるシラン化合物（例えば、トリシラン、ペンタシラン、シクロトリシラン、１，１’−ビスシクロブタシラン等）、金属錯体等が挙げられる。これらは液体中に微粒子として分散されていても良く、溶解されて存在してもよい。

さらには、導電性有機材料を含有する液体として、導電性高分子であるＰＥＤＯＴ（ポリエチレンジオキシチオフェン）／ＰＰＳ（ポリスチレンスルホン酸）の水溶液、ドープドＰＡＮＩ（ポリアニリン）、ＰＥＤＯＴ（ポリエチレンジオキシチオフェン）にＰＳＳ（ポリスチレンスルホン酸）をドープした導電性高分子の水溶液等を用いることができる。

半導体層を構成するための材料として、ＣｄＳｅ、ＣｄＴｅ、ＧａＡｓ、ＩｎＰ、Ｓｉ、Ｇｅ、カーボンナノチューブ、シリコン、ＺｎＯ等の無機半導体、ペンタセン、アントラセン、テトラセン、フタロシアニン等の有機低分子、ポリアセチレン系導電性高分子、ポリパラフェニレンおよびその誘導体、ポリフェニレンビニレンおよびその誘導体等のポリフェニレン系導電性高分子、ポリピロールおよびその誘導体、ポリチオフェンおよびその誘導体、ポリフランおよびその誘導体等の複素環系導電性高分子、ポリアニリンおよびその誘導体等のイオン性導電性高分子等の有機半導体を用いることができる。

なお、層間絶縁膜を構成する電気絶縁性の大きな材料（絶縁性材料）としては、以下のもの用いることができる。具体的には、有機材料としては、ポリイミド、ポリアミドイミド、エポキシ樹脂、シルセスキオキサン、ポリビニルフェノール、ポリカーボネート、フッ素系樹脂、ポリパラキシリレン、ポリビニルブチラール等が挙げられ、ポリビニルフェノールやポリビニルアルコールは適当な架橋剤によって、架橋して用いてもよい。ポリフッ化キシレン、フッ素化ポリイミド、フッ素化ポリアリルエーテル、ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリ（α、α、α’、α’―テトラフルオロ―パラキシレン）、ポリ（エチレン／テトラフルオロエチレン）、ポリ（エチレン／クロロトリフルオロエチレン）、フッ素化エチレン／プロピレン共重合体の様なフッ素化高分子、ポリオレフィン系高分子、その他、ポリスチレン、ポリ（α−メチルスチレン）、ポリ（α―ビニルナフタレン）、ポリビニルトルエン、ポリブタジエン、ポリイソプレン、ポリ（４―メチル―１―ペンテン）、ポリ（２―メチル―１、３―ブタジエン）、ポリパラキシレン、ポリ［１、１―（２―メチルプロパン）ビス（４―フェニル）カルボネート］、ポリシクロヘキシルメタクリレート、ポリクロロスチレン、ポリ（２、６―ジメチル―１、４―フェニレンエーテル）、ポリビニルシクロヘキサン、ポリアリレンエーテル、ポリフェニレン、ポリスチレン―コ―α―メチルスチレン、エチレン／アクリル酸エチル共重合体、ポリ（スチレン／ブタジエン）、ポリ（スチレン／２、４―ジメチルスチレン）等が挙げられる。
多孔質の絶縁膜としては、二酸化珪素にリンを添加したリンシリケートガラス、二酸化珪素にリンおよびボロンを添加したホウ素リンリシケートガラス、ポリイミド、ポリアクリル等の多孔質の絶縁膜が挙げられる。また、多孔質メチルシルセスキオキサン、多孔質ハイドロシルセスキオキサン、多孔質メチルハイドロシルセスキオキサン等のシロキサン結合を有する多孔質の絶縁膜を形成することができる。
上述の材料を用いた場合には、溶媒または分散媒をプレコート液として利用することができる。

なお、インクに含まれる材料としては上述のものに限定されず、用途に応じて、最適な材料が選択される。例えば、カラーフィルタを製造するために使用される着色剤を含むインクなども適用できる。着色剤としては、公知の染料および顔料が挙げられる。また、このようなインクには、上述した分散媒およびバインダーが含まれていてもよい。
この場合でも、インクに含まれる分散媒をプレコート液として利用することができる。

本発明は、基本的に以上のように構成されるものである。以上、本発明の印刷方法および印刷装置について詳細に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良または変更をしてもよいのはもちろんである。

１０ 印刷装置
１２ 印刷装置本体
１４ 記憶部
１６ 調整ユニット
１８ 制御部
２０ ケーシング
２２ 画像記録部
２４ 版胴
２５ 印刷版
２６ 版面観察部
３０ ステージ
３１ 基板
３２ 乾燥部
３４ クリーニング部
３６ メンテナンス部
３９ 転写部
４０ インクジェットヘッド
４２ アライメントカメラ
４３ 吐出制御部
４４ レーザ変位計
４６ キャリッジ
４８ リニアモータ
４９ 回動部
５０、５８ サブタンク
９０ プレコート部
Ａ〜Ｄ アライメントマーク
Ｇ スピットエリア
Ｍ_１、Ｍ_２、Ｍ_３ 位置合せエリア
Ｔ 吐出確認エリア
Ｇ_１１、Ｇ_１２、Ｇ_２１、Ｇ_２２、Ｇ_３１、Ｇ_３２ 印刷エリア

Claims (12)

1. 印刷版の版面に予め定められたパターン形成領域にプレコート液を付与するプレコート工程と、
   前記プレコート液が付与された前記パターン形成領域に、インクジェット方式でインクを付与するインク付与工程と、
   前記パターン形成領域に付与された前記インクを基板に転写する転写工程とを有し、
   前記プレコート液は、前記プレコート液を付与する前の前記パターン形成領域の前記インクに対する接触角に比して前記プレコート液を付与した後の接触角を小さくするものであることを特徴とする印刷方法。
2. 前記印刷版は凹版であり、前記パターン形成領域は凹部で構成される請求項１に記載の印刷方法。
3. 前記印刷版は、親液部と撥液部を有し、凹部が前記親液部であり、版面が前記撥液部である凹版であり、前記パターン形成領域が前記親液部で構成される請求項１に記載の印刷方法。
4. 前記印刷版は、親液部と撥液部を有する平版であり、前記パターン形成領域は前記親液部で構成される請求項１に記載の印刷方法。
5. 前記転写工程の後に、前記印刷版の前記プレコート液および前記インクの溶媒を乾燥させるリフレッシュ工程を有する請求項１〜４のいずれか１項に記載の印刷方法。
6. 前記プレコート液は、前記インクまたは前記インクの溶媒と少なくとも表面エネルギーが同じである請求項１〜５のいずれか１項に記載の印刷方法。
7. 印刷版の版面に予め定められたパターン形成領域にプレコート液を付与するプレコート部と、
   前記プレコート液が付与された前記パターン形成領域にインクを付与するインク付与部と、
   前記パターン形成領域に付与された前記インクを基板に転写する転写部とを有し、
   前記インク付与部は、インクジェット方式であり、
   前記プレコート液は、前記プレコート液を付与する前の前記パターン形成領域の前記インクに対する接触角に比して前記プレコート液を付与した後の接触角を小さくするものであることを特徴とする印刷装置。
8. 前記印刷版は凹版であり、前記パターン形成領域は凹部で構成される請求項７に記載の印刷装置。
9. 前記印刷版は、親液部と撥液部を有し、凹部が前記親液部であり、版面が前記撥液部である凹版であり、前記パターン形成領域が前記親液部で構成される請求項７に記載の印刷装置。
10. 前記印刷版は、親液部と撥液部を有する平版であり、前記パターン形成領域は前記親液部で構成される請求項７に記載の印刷装置。
11. 前記印刷版の前記プレコート液および前記インクの溶媒を除去する除去部、ならびに前記プレコート液および前記インクの溶媒を乾燥させる乾燥部のうち、少なくとも一方を有する請求項７〜１０のいずれか１項に記載の印刷装置。
12. 前記プレコート液は、前記インクまたは前記インクの溶媒と少なくとも表面エネルギーが同じである請求項７〜１１のいずれか１項に記載の印刷装置。

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