JP6300225B2 - タービン翼の検査装置及びその検査方法 - Google Patents

Description

本発明の実施形態は、超音波探傷試験によるタービン翼の検査技術に関する。

超音波探傷試験は、非破壊で構造材の表面および内部の健全性を確認できる技術であり、様々な分野で欠かせない検査技術となっている。
フェーズドアレイ超音波探傷試験（PAUT）は、複数配列させた小型の圧電素子の各々の発振タイミング（遅延時間）をずらし任意波形の超音波を送信し、エコー波を受信する。
そして、フェーズドアレイ超音波探傷試験（PAUT）は、所定角度のみにしか超音波発信することしかできない単眼プローブに比べ、複雑形状の検査対象に対応することができ、作業工数低減の観点からも広く利用されている。

火力や原子力による大型発電機器等のタービンは、大型ロータに動翼の基端を締結させた構造を有している。
タービンの長期間稼働により発生する疲労き裂や応力腐食割れ（SCC: Stress Corrosion Cracking ）等の欠陥は、安全性に多大な影響を与えるため、早期に確実に検出することが望まれる。

大型ロータの最終段に設けられる大型翼は、この大型翼の基端部がフォーク状に形成され、ロータシャフトからフランジ状に延出するロータホイールの外周に挿入され、ピンで締結されている。
このように締結されたタービン翼は、ロータホイールの最外周に位置するピン孔の周囲に欠陥が集中的に発生することが懸念されるため、当該位置の確実な検査が求められる。

従来から実施されている一般的な検査では、タービン翼の全数をロータから抜き取りその一つ一つに対し、ＭＴ（磁粉探傷試験）やＰＴ（浸透探傷試験）といった表面検査技術を適用し、検査の確実を期している。
しかし、このような表面検査技術を適用する場合、点検に多くの時間が費やされるとともに、分解による新たな不具合の発生が懸念されデメリットが少なくない。
そこで、タービン翼を締結したまま検査する手法が提案されている。

特許第４６９４５７６号公報

従来の、フェーズドアレイ超音波探傷センサにおいて複数配列させた圧電素子を、締結したままのタービン翼の表面部に直接的に当接させる技術では、締結した状態で露出しているタービン翼の表面部の大半が曲面であるため、センサの当接可能な箇所が限定される課題がある。
タービン翼の表面における平面状の部位の存在は、タング部など限定的である。
超音波の入射点をそのような平面部に限定すると、超音波の到達範囲が大きく制限され、上述したピン孔の周囲全域の検査を十分に実施することができない。

また、超音波を送受信する複数の圧電素子の支持構造をフレキシブルにして、タービン翼表面の曲率部に対する圧電素子の当接することで曲面形状に対応した従来技術では、専用構造のセンサプローブを作製する必要があり、またタービン翼の狭小ポイントにそのようなセンサプローブを当接させることが困難であるという課題がある。

本発明の実施形態はこのような事情を考慮してなされたもので、タービン翼をロータに締結させた状態のままで探傷可能とすることを目的とする。

本発明の実施形態に係るタービン翼の検査装置において、弾性媒質と、アレイ状に配列した圧電素子を有し前記弾性媒質を介して超音波をタービンロータに締結した状態のタービン翼の締結部に向かって送信しエコー波を受信するプローブと、前記プローブに接続され前記エコー波を検出する制御部と、前記プローブが前記弾性媒質に当接しこの弾性媒質がタービン翼のプラットフォームに密着した状態を保持する保持部と、を備え、前記保持部は、前記プローブ及び前記弾性媒質を収容し開口部からこの弾性媒質を前記プラットフォームに密着させる収容室と、前記収容室から前記タービンロータの径方向に伸びて前記タービン翼を支持する第１支持部材と、前記径方向における前記保持部の位置を規定する爪状片と、前記収容室から前記タービンロータの回転軸方向に伸びてタービン翼の凹面を支持する第２支持部材と、前記収容室におけるプローブの位置を調整する位置調整手段と、を有し、前記弾性媒質は、当接する前記プローブの押し付け力により弾性変形し、隙間が無いように前記プラットフォームの曲面に密着することを特徴とする。

本発明の実施形態によれば、タービン翼をロータに締結した状態のままで探傷を実施することができる。

タービンロータの部分断面図。 タービン翼とタービンホイールとの締結状態を示す部分切欠斜視図。 タービン翼とタービンホイールとを分離した状態を示す部分拡大図。 （Ａ）（Ｂ）本発明の第１実施形態に係るタービン翼の検査装置の設置状態を示す概要図。 （Ａ）（Ｂ）各実施形態に係るタービン翼の検査装置の超音波送信方式の説明図。 （Ａ）（Ｂ）各実施形態に係るタービン翼の検査装置の超音波送信方式の説明図。 検出されるエコー波のグラフ。 超音波探傷結果の表示画像。 本発明の第２実施形態に係るタービン翼の検査装置の設置状態を示す縦断面図。 第２実施形態に係るタービン翼の検査装置の設置状態を示す上面図。 （Ａ）（Ｂ）第２実施形態に係るタービン翼の検査装置の設置方法の説明図。 （Ａ）（Ｂ）（Ｃ）第２実施形態に係るタービン翼の検査装置の変形例を示す縦断面図。 （Ａ）（Ｂ）本発明の第３実施形態に係るタービン翼の検査装置の設置状態を示す概要図。 各実施形態に係るタービン翼の検査装置の動作を説明するフローチャート。

本発明の実施形態に係るタービン翼の検査装置の説明に先立って、図１から図３に基づいてタービンロータ１０を説明する。
図１に示すようにタービンロータ１０は、軸回転するシャフト１１の周面からロータホイール１２がフランジ状に延出している。このロータホイール１２は、シャフト１１の軸方向Ｚに間隔を置いて複数配置されている（図示略）。
このロータホイール１２の外周には、複数のタービン翼１３が、径方向Ｙに挿入され、ピン１４で機械的に締結されている（適宜、図２参照）。
これにより、回転遠心力による、タービン翼１３の抜け落ちが防止される。

一般に、低圧タービンのタービンロータ１０の後段は、回転半径が大きく設計されているために運転中に大きな遠心荷重を受ける。
これにより、ロータホイール１２とタービン翼１３との締結部分には、高い平均応力及び局所応力が付加され、さらに高温蒸気の環境下であることにより、応力腐食割れが進展しやすい。

図３に示すように、タービン翼１３の基端には、締結部１５が形成されている。
そして、ロータホイール１２の周縁部には、タービン翼の締結部１５に係合する溝を形成する壁１６が、径方向Ｙに先端を向けて周回りに設けられている。
これらタービン翼の締結部１５及びロータホイールの壁１６には、両者が互いに係合した状態で、ピン１４を貫通させるための貫通孔１７、１８が設けられている。

タービン翼の締結部１５は、ロータホイール１２の厚さ方向（シャフト軸方向Ｚ）に、フォーク状に複数の突起部１５ａ，１５ｂが、一列に配列している。
これら突起部１５ａ，１５ｂのうち、両側に位置する突起部１５ａは、中央側に位置する突起部１５ｂに対して、半ピッチ分だけロータホイール１２の周方向にせり出している。

図４（Ａ）はタービン翼の検査装置３０の設置状態を回転軸方向Ｚから臨む概要図であり、図４（Ｂ）はその側面から臨む概要図である。
図４（Ａ）に示すように、両側の突起部１５ａの両側端には、ピン１４を貫通させる半円状の貫通孔１７ａが対となるように設けられている。そして、中央側の突起部１５ｂの中央には、ピン１４を貫通させる円形の貫通孔１７ｂが設けられている。
図４（Ｂ）に示すように、両側の突起部１５ａ上部のシャフト軸方向Ｚの側には、ロータホイール１２の外側の壁上端の切欠１９（図３）に係合するタング部２１が設けられている。

タービン翼の締結部１５の上端面からタービン翼の本体の立ち上がりにかけて連続的に形状が変化する部分をプラットフォーム２２という。
このプラットフォーム２２は、タング部２１の上端面は平面であるが、タービン翼の本体へ向かうに従い徐々に傾斜が増していく曲面構造を有している。
本実施形態に係るタービン翼の検査装置３０によれば、締結部１５の両側の突起部１５ａにおける半円状の貫通孔１７ａの周囲が主な検査対象となる。

（第１実施形態）
図４に示すように第１実施形態に係るタービン翼の検査装置３０（以下、単に「検査装置３０」という）は、タービンロータ１０（図１）に締結した状態のタービン翼１３のプラットフォーム２２に密着させる非圧縮性の弾性媒質３１と、アレイ状に配列した圧電素子３２を有し弾性媒質３１を介して超音波をタービン翼１３の締結部１５に向かって送信しエコー波を受信するプローブ３３と、エコー波に基づいて締結部１５の内部領域を画像化し存在する欠陥３５（図５）を表示する表示部（図示略）と、を備えている。

プローブ３３として、圧電素子３２が二次元配置されたマトリクスアレイプローブが例示されているが、特に限定はなく超音波探傷用として一般的なものが採用される。
ここで圧電素子３２は、超音波と電気信号とを可逆的に変換する圧電効果を有するものであり、セラミクス、高分子又は複合材料から構成される。

アレイ状に配列させた圧電素子３２に適切な時間遅延を付与して発振させることにより、超音波の送信方向や焦点位置の制御が可能になる。
このように送信された超音波は、弾性媒質３１を介して超音波をタービン翼１３の締結部１５の内部を伝播し、き裂（疲労き裂、応力腐食割れや、矩形、楕円形、三角形のＥＤＭスリット等人工欠陥も含む）や介在物などの欠陥が存在すると、反射する。
この反射したエコー波は、締結部１５の内部を伝播し、弾性媒質３１を介して圧電素子３２に受信される。

プローブ３３における超音波及びエコー波の送受信方式は、超音波の探傷角度を可変して扇状に電子走査するセクタスキャン法、超音波の探傷角度を固定して平行四辺形状に電子走査するリニアスキャン法、測定したい領域に合わせて焦点深さを変化させるＤＤＦ（Dynamic Depth Focusing）、超音波送信用とエコー波受信用に圧電素子群を二つに分けるＴＯＦＤ（Time of Flight Diffraction）等が挙げられるが、特に限定はなく超音波探傷用として一般的なものが採用される。

図５及び図６に基づいて、突起部１５ａの半円状の貫通孔１７ａに発生したき裂（欠陥３５）の超音波探傷方法を説明する。
図５（Ａ）は、欠陥３５がロータ径方向に直角な方向Ｘに進展している場合を示している。この場合、超音波送信用及びエコー波受信用として共通の圧電素子群を割り当て、欠陥３５のほぼ真上から超音波を入射させる方法が考えられる。
また、図５（Ｂ）に示すように、欠陥３５が貫通孔１７ａの下部から進展している場合は、超音波とエコー波との折り返し角が大きくなるように、超音波送信用を対角方向の圧電素子群に割り当て、エコー波受信用をその反対側の圧電素子群に割り当てる。これによって、欠陥３５の検出感度が高まる。

図６（Ａ）は、欠陥３５が、斜め下向きに進展している場合を示している。この場合、超音波送信用及びエコー波受信用として対角方向に存在する圧電素子群を共通に割り当てることによって、欠陥３５の検出感度を高めることができる。
図６（Ｂ）は、欠陥３５が、斜め上向きに進展している場合を示している。この場合、超音波送信用及びエコー波受信用として径方向Ｙに存在する圧電素子群を共通に割り当てることによって、欠陥３５の検出感度を高めることができる。

このように、超音波送信用及びエコー波受信用として割り当てる圧電素子群を変更することにより、さまざまな位置及び進展方向をもつ欠陥３５を高感度で検出することができる。

弾性媒質３１は、人力で容易に弾性変形させることができる非圧縮性を有し、プローブ３３の圧電素子３２側の面とタービン翼１３のプラットフォーム２２とを隙間が無いよう音響的にカップリングするものである。
弾性媒質３１は、非圧縮性であるために、超音波及びそのエコー波の伝播速度を変化させることがない。

弾性媒質３１としては、例えばハイドロゲル、超音波減衰の少ないゴム、こんにゃくなどが挙げられるが特に限定されない。
また、弾性媒質３１は、押し付け力によってある程度の形状変化をするものであるため、検査対象の形状にあわせて作りこむ必要は特にない。

しかし、弾性媒質３１の形状を、密着するプラットフォーム２２の反転形状となるように作り込むことで、高い密着効果が期待される。
なお、プローブ３３、弾性媒質３１及びプラットフォーム２２のそれぞれの接触面における密着性を向上させるために、液体の接触媒質を必要に応じて使用するとよい。
そのような接触媒質としては、例えば水、グリセリン、マシン油、ひまし油などが挙げられるが、特に限定はなく揮発性が低く超音波探傷用として一般的なものが採用される。

プローブ３３がケーブルを介して接続される制御部（図示略）は、予め登録されているプラットフォーム２２の表面形状の曲率に従って、それぞれの圧電素子３２から送信される超音波の遅延時間を計算する。
そして、所定の位置に設置されたプローブ３３から、この遅延時間にしたがって超音波を送信し、受信したエコー波をこの遅延時間にしたがって合成する。
これにより、プラットフォーム２２直下の締結部１５の内部領域を画像化し存在する欠陥３５が表示される。

図７のグラフは、制御部（図示略）で検出されるエコー波を示している。
弾性媒質３１を介して超音波探傷試験を行う場合、タービン翼の締結部１５の内部からのエコー波ｂ以外に、弾性媒質３１内で往復するプラットフォーム表面からの多重反射波ａ（ａ₁,ａ₂,ａ₃,ａ₄）が複数検出されることがある。
そこで、弾性媒質３１の厚さ又は伝播減衰率は、プローブ３３とプラットフォーム２２との間で発生する多重反射波ａが、締結部１５の内部領域からのエコー波ｂに重畳しないよう調整される。

弾性媒質３１の伝播減衰率を大きくすることにより多重反射波ａを減衰させることができ、締結部１５の内部領域からのエコー波ｂへの重畳が抑制される。
もしくは、弾性媒質３１とタービン翼１３の材質との超音波伝搬速度比を計算し、プラットフォーム２２の表面から貫通孔１７までの距離とこの伝搬速度比とを乗算した値から外れるように、弾性媒質３１の厚さを設定する。これにより多重反射波ａとエコー波ｂとの重畳を回避することができる。
これにより、タービン翼の締結部１５の内部に存在する欠陥３５を正確に認識することができる。

図８は、表示部において、エコー波ｂに基づいて画像化された突起部１５ａの内部領域を示している。
画像は、突起部１５ａをセクタスキャンした結果であり、その内部に存在する欠陥３５に由来する欠陥エコー３６や、貫通孔１７に由来するエコー３７が観測される。
このように超音波は、タービン軸方向、周方向、ロータ中心方向を三次元的に走査できるため、突起部１５ａの内部領域の全域にわたって探傷が可能となる。

（第２実施形態）
図９から図１２に基づいて第２実施形態に係るタービン翼の検査装置３０を説明する。
なお、これら図面において図４と共通の構成又は機能を有する部分は、同一符号で示し、重複する説明を省略する。

第２実施形態の検査装置３０は、プローブ３３が弾性媒質３１に当接しこの弾性媒質３１がプラットフォーム２２に密着した状態を保持する保持部４０をさらに備えている。
この保持部４０は、プローブ３３及び弾性媒質３１を収容し開口部からこの弾性媒質３１をプラットフォーム２２に密着させる収容室４３と、この収容室４３からタービンロータ１０の径方向Ｙに伸びてタービン翼１３を支持する第１支持部材４１と、この収容室４３からタービンロータ１０の回転軸方向Ｚに伸びてタービン翼１３を支持する第２支持部材４２と、この収容室４３におけるプローブ３３の位置を調整する位置調整手段４６と、を有している。

第１支持部材４１は、収容室４３からタービンロータ１０の径方向Ｙに伸びてタング部２１の表面を支持している。この第１支持部材４１は、回転軸方向Ｚにおける保持部４０の位置を規定する。
さらに、第１支持部材４１の基端には、プラットフォーム２２の方向に張り出す爪状片４５が設けられている。この爪状片４５は、径方向Ｙにおける保持部４０の位置を規定する。

第２支持部材４２は、収容室４３からタービンロータ１０の回転軸方向Ｚに伸びてタービン翼１３の凹面を支持している（図１０参照）。
この第２支持部材４２は、タービン翼１３の立ち上がり部に引っ掛かる爪状片４７を有している。なお、蒸気入口側と蒸気出口側ではタービン翼１３の立ち上がり部の形状が異なるため、第２支持部材４２は、それぞれにあわせて設計する必要がある。

収容室４３は、収容されるプローブ３３の位置を調整するための位置調整手段４６が設けられている。この位置調整手段４６は、付勢部材４４と協同してプローブ３３を所定の位置に固定する。なお図示を省略するが、収容室４３には、プローブ３３に接続するケーブルを挿通する孔が設けられている。
収容室４３は、弾性媒質３１がプラットフォーム２２に密着する開口部とプローブ３３に接する部分とを除き、弾性媒質３１が収容室４３の内壁に接するように構成されている。
なお図１１に示すように、この収容室４３の内壁には、弾性媒質３１が収容室４３の内壁に均一に接するよう逃がし部材４８を設ける場合がある。

図１１に基づいて保持部４０に保持された検査装置３０の設置方法について説明する。
図１１（Ａ）に示すように、プローブ３３の位置を適切に調整し、弾性媒質３１を収容室４３に収容させた状態とする。
まず、第２支持部材４２にタービン翼１３の凹面を支持させて最初の基準点とし、周方向位置を決定する。次に第１支持部材４１をタング部２１の角面に押し当てて、径方向Ｙ及び回転軸方向Ｚの位置を決定する（図１１（Ｂ））。

弾性媒質３１は、プローブ３３とプラットフォーム２２との間における超音波伝播経路を隙間なく充填する必要がある。
さらに弾性媒質３１は、非圧縮性であるために、保持部４０がタービン翼１３に設置された状態で、収容室４３の内容積から余剰体積が溢れない程度の大きさであることが望まれる。

図１２は、逃がし部材４８の形状の変形例を示している。
図１１において逃がし部材４８の形状を楕円としたが、図１２（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）に示すように、逃がし部材４８の形状は、矩形、三角形、波型にしてもよい。
逃がし部材４８の形状は特に限定はなく、保持部４０をタービン翼１３に装着させた時に、収容室４３の内部に押し出された弾性媒質３１が、溢れることなく隙間なく充填されるような形状であればよい。

このような保持部４０を採用することにより、ロータホイール１２の周方向に放射状に設けられた多数のタービン翼１３に対し、検査装置３０を再現性よく設置し位置決めすることができる。

（第３実施形態）
図１３（Ａ）（Ｂ）に基づいて第３実施形態に係るタービン翼の検査装置３０を説明する。
第３実施形態に係るタービン翼の検査装置３０は、磁性体を磁化させる磁化手段４９をさらに備え、弾性媒質３１は、磁性体粉が混合されている。
なお、これら図面において図４と共通の構成又は機能を有する部分は、同一符号で示し、重複する説明を省略する。

弾性媒質３１に混入させる磁性体粉としては鉄粉等が挙げられるが、磁化手段４９により磁化するものであれば適宜用いることができる。
混入される磁性体粉の濃度は、弾性媒質３１の弾力性が損なわれない程度とし、その粒径は超音波の散乱源とならない程度とする。

磁化手段４９は、電磁石又は永久磁石により実現される。
弾性媒質３１を挟む位置に磁化手段４９の両極を配置することにより、タービン翼１３及び弾性媒質３１を共に磁化することができ、両者の密着性を向上させることができる。
磁化手段４９は、保持部４０（図９）に設けてもよく、保持部４０の一部又は全部を磁性体で構成してもよい。

図１４のフローチャートに基づいて各実施形態に係るタービン翼の検査方法を説明する。まず、探傷条件に応じて圧電素子３２の各々の発振タイミング（遅延時間）を算出する（Ｓ１１）。弾性媒質３１を挟んでプローブ３３をタービン翼のプラットフォーム２２に設置し、位置調整を行い、超音波を送信する（Ｓ１２，Ｓ１３，Ｓ１４）。

プラットフォーム表面からのエコー強度及び貫通孔１７からのエコー強度のうち少なくとも一方が規定値に達していない場合は（Ｓ１５，Ｓ１６：Ｎｏ）、欠陥エコーの検出感度も低く、弾性媒質３１、プローブ３３及びプラットフォーム２２の接触不良が疑われるので、これらの接触状態を再度調整する（Ｓ１３）。
また、貫通孔１７からのエコーの位置が所定範囲内でない場合は（Ｓ１７：Ｎｏ）、プローブ３３の設定位置がずれているおそれがあるために、位置調整を再度行う（Ｓ１３）。もしくは、遅延時間を調整してもよい。

エコー強度の規定値、エコー位置の範囲が所定条件を満足させた場合は（Ｓ１５，Ｓ１６，Ｓ１７：Ｙｅｓ）、エコー波に基づいて締結部１５の内部領域の画像を形成する（Ｓ１８）。そして、この画像に欠陥３５が存在するか否かについて判定を行う（Ｓ１９）。
そして、プローブ３３を取り外し（Ｓ２０）、次のタービン翼のプラットフォーム２２に設置し、上述の作業を繰り返し（Ｓ２１；Ｎｏ）、タービンロータに締結した状態の全てのタービン翼について検査を終了させる（Ｓ２１；Ｙｅｓ ＥＮＤ）。

以上述べた少なくともひとつの実施形態のタービン翼の検査装置によれば、弾性媒質を介してプローブをタービン翼のプラットフォームに設置することにより、タービン翼の曲率表面に超音波を入射してロータとの締結部を締結状態のまま簡便に探傷試験することが可能となる。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更、組み合わせを行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

１０…タービンロータ、１１…シャフト、１２…ロータホイール、１３…タービン翼、１４…ピン、１５…締結部、１５ａ…両側に位置する突起部、１５ｂ…中央側に位置する突起部、１６…壁、１７…貫通孔、１７ａ…半円状の貫通孔、１７ｂ…円形の貫通孔、１９…切欠、２１…タング部、２２…プラットフォーム、３０…検査装置、３１…弾性媒質、３２…圧電素子、３３…プローブ、３５…欠陥、３６…欠陥エコー、３７…貫通孔に由来するエコー、４０…保持部、４１…第１支持部材、４２…第２支持部材、４３…収容室、４４…付勢部材、４５…爪状片、４６…位置調整手段、４７…爪状片、４８…逃がし部材、４９…磁化手段。

Claims (5)

1. 弾性媒質と、
   アレイ状に配列した圧電素子を有し前記弾性媒質を介して超音波をタービンロータに締結した状態のタービン翼の締結部に向かって送信しエコー波を受信するプローブと、
   前記プローブに接続され前記エコー波を検出する制御部と、
   前記プローブが前記弾性媒質に当接しこの弾性媒質がタービン翼のプラットフォームに密着した状態を保持する保持部と、を備え、
   前記保持部は、
   前記プローブ及び前記弾性媒質を収容し開口部からこの弾性媒質を前記プラットフォームに密着させる収容室と、
   前記収容室から前記タービンロータの径方向に伸びて前記タービン翼を支持する第１支持部材と、
   前記径方向における前記保持部の位置を規定する爪状片と、
   前記収容室から前記タービンロータの回転軸方向に伸びてタービン翼の凹面を支持する第２支持部材と、
   前記収容室におけるプローブの位置を調整する位置調整手段と、を有し、
   前記弾性媒質は、当接する前記プローブの押し付け力により弾性変形し、隙間が無いように前記プラットフォームの曲面に密着することを特徴とするタービン翼の検査装置。
2. 請求項１に記載のタービン翼の検査装置において、
   前記弾性媒質は、前記押し付けられていない状態で、密着する前記プラットフォームの反転形状を有するように作り込まれていることを特徴とするタービン翼の検査装置。
3. 請求項１又は請求項２に記載のタービン翼の検査装置において、
   磁性体を磁化させる磁化手段をさらに備え、
   前記弾性媒質は、磁性体粉が混合されていることを特徴とするタービン翼の検査装置。
4. 請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のタービン翼の検査装置において、
   前記弾性媒質は、その厚さ又は伝播減衰率が、調整可能に構成されていることを特徴とするタービン翼の検査装置。
5. タービンロータに締結した状態のタービン翼のプラットフォームに、請求項１に記載のタービン翼の検査装置の前記保持部をセットし、前記プローブの押し付け力により前記弾性媒質を弾性変形させ隙間が無いように前記プラットフォームの曲面に密着させるステップと、
   前記弾性媒質を介して圧電素子をアレイ状に配列させた前記プローブから超音波を前記タービン翼の締結部に向かって送信するステップと、
   送信した前記超音波のエコー波を前記プローブに配列された前記圧電素子で受信するステップと、
   前記エコー波に基づいて前記締結部の内部領域を画像化するステップと、を含むことを特徴とするタービン翼の検査方法。