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JP6220163B2 - High temperature detector - Google Patents

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JP6220163B2
JP6220163B2 JP2013128841A JP2013128841A JP6220163B2 JP 6220163 B2 JP6220163 B2 JP 6220163B2 JP 2013128841 A JP2013128841 A JP 2013128841A JP 2013128841 A JP2013128841 A JP 2013128841A JP 6220163 B2 JP6220163 B2 JP 6220163B2
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寛 山川
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知治 山田
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Description

本発明は、高温対応型検出器に係り、特に、高温環境下でも安定して検出動作が可能な高温対応型検出器に関する。   The present invention relates to a high-temperature detector, and more particularly, to a high-temperature detector that can stably perform a detection operation even in a high-temperature environment.

従来、特許文献1に示すような加速度検出器が加速度の検出のために用いられている。この加速度検出器は、磁気回路部と、該磁気回路部により形成される2つの磁極の間であって検出方向に移動可能に配置される検出コイルを有する可動部と、該磁気回路部と該可動部とを収納するケーシングと、を備えている。この加速度検出器は、可動部がダンピングされることで、検出方向の加速度に比例した電圧を出力することができ、電源が不要であることから、様々な環境下で使用が可能とされている。   Conventionally, an acceleration detector as shown in Patent Document 1 is used for detecting acceleration. The acceleration detector includes a magnetic circuit unit, a movable unit having a detection coil disposed between two magnetic poles formed by the magnetic circuit unit and movable in a detection direction, the magnetic circuit unit, and the magnetic circuit unit. And a casing for storing the movable part. This acceleration detector can output a voltage proportional to the acceleration in the detection direction because the movable part is damped, and does not require a power supply, so it can be used in various environments. .

特開2013−29449号公報JP 2013-29449 A

しかしながら、特許文献1に記載された加速度検出器の構成部材の材料は互いに異なっており、それらの線膨張係数は異なっている。このため、例えば、高温環境下では、熱膨張量の違いから各構成部材の締結状態が変化することで、安定した検出動作をしないおそれがあった。   However, the materials of the constituent members of the acceleration detector described in Patent Document 1 are different from each other, and their linear expansion coefficients are different. For this reason, for example, in a high-temperature environment, there is a possibility that a stable detection operation may not be performed because the fastening state of each component member changes due to the difference in the amount of thermal expansion.

本発明は、前記の問題点を解決するべくなされたもので、高温環境下でも安定して検出動作が可能な高温対応型検出器を提供することを課題とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a high-temperature-compatible detector that can stably perform a detection operation even in a high-temperature environment.

本願の請求項1に係る発明は、磁気回路部と、該磁気回路部により形成される2つの磁極の間であって検出方向に移動可能に配置される検出コイルを有する可動部と、該磁気回路部と該可動部とを収納するケーシングと、を備える高温対応型検出器であって、前記磁気回路部よりも前記ケーシングの線膨張係数が大きくされており、前記ケーシングの内側には凸部が設けられ、撓むことで前記検出方向に変位可能な撓み部を有し、撓ませた状態の該撓み部を介して前記検出方向で該凸部に該磁気回路部を押圧する押圧部材を備え、前記検出コイルが、1対とされ、前記可動部が、前記検出方向で前記磁気回路部の外側に配置され、該1対の検出コイルを支持する1対のフランジ部と、該1対のフランジ部を該検出方向に移動可能に前記ケーシングに接続する1対のダイヤフラムばねと、該1対のフランジ部を連結する連結棒と、を備え、該連結棒の線膨張係数が、前記ケーシングの線膨張係数と同一とされたことにより、前記課題を解決したものである。 The invention according to claim 1 of the present application includes a magnetic circuit section, a movable section having a detection coil arranged between two magnetic poles formed by the magnetic circuit section and movable in a detection direction, and the magnetic circuit section. A high-temperature detector that includes a circuit unit and a casing that houses the movable unit, wherein the linear expansion coefficient of the casing is larger than that of the magnetic circuit unit, and a convex portion is formed inside the casing. And a pressing member that presses the magnetic circuit portion against the convex portion in the detection direction via the bent portion in the bent state. A pair of flanges for supporting the pair of detection coils, the movable portion being disposed outside the magnetic circuit unit in the detection direction, and the pair of the detection coils. The casing of the casing is movable in the detection direction. A pair of diaphragm springs connected to the grayed, a connecting rod for connecting the flange portion of said pair comprises, by linear expansion coefficient of the connecting rod, which is the same as the linear expansion coefficient of the casing, The problem is solved.

本願の請求項2に係る発明は、前記押圧部材に前記ケーシングの内側に係合して固定される固定部を有し、前記撓み部を該固定部の径方向内側で支持するようにしたものである。   The invention according to claim 2 of the present application has a fixing portion that is fixed to the pressing member by being engaged with the inside of the casing, and supports the bending portion on a radially inner side of the fixing portion. It is.

本願の請求項3に係る発明は、前記撓み部を、前記固定部から前記径方向内側に一体的に延在させたものである。   In the invention according to claim 3 of the present application, the flexible portion is integrally extended from the fixed portion to the radially inner side.

本願の請求項4に係る発明は、前記撓み部の前記検出方向の厚みを、前記径方向内側の中心に向かって薄くしたものである。
本願の請求項5に係る発明は、前記撓み部の前記径方向内側の先端に前記検出方向に突出する突起部を設け、該突起部が前記磁気回路部に当接するようにしたものである。
The invention according to claim 4 of the present application is such that the thickness of the bent portion in the detection direction is reduced toward the center on the radially inner side.
In the invention according to claim 5 of the present application, a protruding portion protruding in the detection direction is provided at the radially inner end of the bending portion, and the protruding portion is in contact with the magnetic circuit portion.

本願の請求項に係る発明は、前記撓み部を、前記固定部から前記径方向内側に一体的に延在する延在部で支持するようにしたものである。 In the invention according to claim 6 of the present application, the flexible portion is supported by an extending portion that integrally extends radially inward from the fixed portion.

本願の請求項に係る発明は、前記磁気回路部にサマリウム系希土類コバルト磁石を用いるようにしたものである。 In the invention according to claim 7 of the present application, a samarium-based rare earth cobalt magnet is used for the magnetic circuit portion.

本発明によれば、高温環境下でも安定して検出動作が可能となる。   According to the present invention, a detection operation can be stably performed even in a high temperature environment.

本発明の第1実施形態に係る高温対応型検出器の一例を示す模式図The schematic diagram which shows an example of the high temperature corresponding | compatible detector which concerns on 1st Embodiment of this invention. 図1の押圧部材の一例を示す模式図(側断面図(A)、上面図(B))Schematic diagram showing an example of the pressing member of FIG. 1 (side sectional view (A), top view (B)) 本発明の第2実施形態に係る高温対応型検出器の一例を示す模式図The schematic diagram which shows an example of the high temperature corresponding | compatible detector which concerns on 2nd Embodiment of this invention.

以下、図面を参照して、本発明の実施形態の一例を詳細に説明する。   Hereinafter, an example of an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

本発明に係る第1実施形態について、図1、図2を用いて説明する。   1st Embodiment which concerns on this invention is described using FIG. 1, FIG.

最初に、本実施形態に係る高温対応型検出器100の構成を説明する。   First, the configuration of the high-temperature compatible detector 100 according to the present embodiment will be described.

高温対応型検出器100は、図1に示すように、磁気回路部102、103と、可動部104と、ケーシング106と、を備える。この高温対応型検出器100は、動電型加速度検出器であり、「導体が磁界中を運動すると導体の端末に運動速度に比例した起電力を発生する」という原理(フレミングの右手の法則)を利用しており、検出コイル120、121を支持する可動部104に対して電磁的にダンピング(減衰)をかけることで可動部104に生じる加速度に比例した電圧を出力することができる。この高温対応型検出器100は、常温(20℃近辺)の温度環境下だけでなく、高温環境下(例えば、150℃近辺)においても動作が確保される構成となっている。   As shown in FIG. 1, the high-temperature compatible detector 100 includes magnetic circuit units 102 and 103, a movable unit 104, and a casing 106. This high-temperature-compatible detector 100 is an electrodynamic acceleration detector, and the principle that “when the conductor moves in a magnetic field, an electromotive force proportional to the movement speed is generated at the end of the conductor” (Fleming's right-hand rule). The voltage proportional to the acceleration generated in the movable part 104 can be output by electromagnetically damping (attenuating) the movable part 104 that supports the detection coils 120 and 121. The high-temperature detector 100 is configured not only to operate in a normal temperature environment (around 20 ° C.) but also in a high temperature environment (eg, near 150 ° C.).

前記磁気回路部102、103は、図1に示す如く、互いに背中合わせに配置されているが、同一形状・同一構成とされている。このため、以下、磁気回路部102について説明し、磁気回路部103については、磁気回路部102の構成部材の符号の下1桁目の符号をそれぞれ1増加させて、その説明を省略する。   As shown in FIG. 1, the magnetic circuit portions 102 and 103 are arranged back to back, but have the same shape and configuration. For this reason, the magnetic circuit unit 102 will be described below, and for the magnetic circuit unit 103, the code of the last first digit of the component of the magnetic circuit unit 102 is incremented by 1, and the description thereof is omitted.

磁気回路部102は、図1に示す如く、マグネット110とトッププレート112とバックプレート114とを有する。マグネット110は、平面視リング状の永久磁石で形成され、ケーシング106内に磁界を形成している。マグネット110は、例えばサマリウム系希土類コバルト磁石とされている。即ち、マグネット110のキュリー温度は700℃以上であり、高温環境下での磁力の低下が最小限に防止されている。マグネット110を検出方向Oで挟み込むように、同じく平面視リング状に形成されたトッププレート112及びバックプレート114が配置されている。トッププレート112及びバックプレート114は、何れも鉄系の磁性材料(例えばSS400など)で形成されている。このため、磁気回路部102、103を低コストで実現することができる。なお、これに限らず、より透磁率の高い電磁鋼や純鉄(電磁軟鉄)などをトッププレート及びバックプレートに用いてもよい。磁気回路部102を構成するこれらの部材の線膨張係数μ1は、10×10-6/℃程度若しくはそれ以下とされている。詳しくは、マグネット110及びトッププレート112(バックプレート114)の線膨張係数はそれぞれ、8×10-6/℃及び12×10-6/℃とされている。 As shown in FIG. 1, the magnetic circuit unit 102 includes a magnet 110, a top plate 112, and a back plate 114. The magnet 110 is formed of a ring-shaped permanent magnet in a plan view, and forms a magnetic field in the casing 106. The magnet 110 is, for example, a samarium-based rare earth cobalt magnet. That is, the Curie temperature of the magnet 110 is 700 ° C. or higher, and a decrease in magnetic force under a high temperature environment is prevented to a minimum. A top plate 112 and a back plate 114 that are also formed in a ring shape in plan view are arranged so as to sandwich the magnet 110 in the detection direction O. Both the top plate 112 and the back plate 114 are made of an iron-based magnetic material (for example, SS400). For this reason, the magnetic circuit units 102 and 103 can be realized at low cost. However, the present invention is not limited to this, and electromagnetic steel or pure iron (electromagnetic soft iron) having higher permeability may be used for the top plate and the back plate. The linear expansion coefficient μ1 of these members constituting the magnetic circuit unit 102 is about 10 × 10 −6 / ° C. or less. Specifically, the linear expansion coefficients of the magnet 110 and the top plate 112 (back plate 114) are 8 × 10 −6 / ° C. and 12 × 10 −6 / ° C., respectively.

トッププレート112は、図1に示す如く、平面視においてマグネット110と略同一形状のリング状である。トッププレート112は、マグネット110の上面に配設され、その内周には、外側磁極112Aが形成される。そして、トッププレート112の外周には、ケーシング106の内側に設けられた凸部132に嵌合する凹部112Bが形成されている。凹部112Bを設けることで、トッププレート112を軽量化でき、且つ高温対応型検出器100の検出方向Oの長さを短くすることができる。なお、トッププレート113もトッププレート112と同一の形状として互いに兼用可能とされている(必ずしもトッププレート113に凹部113Bは必要ではない)。   As shown in FIG. 1, the top plate 112 has a ring shape that is substantially the same shape as the magnet 110 in plan view. The top plate 112 is disposed on the upper surface of the magnet 110, and an outer magnetic pole 112A is formed on the inner periphery thereof. A recess 112 </ b> B is formed on the outer periphery of the top plate 112 to fit into the protrusion 132 provided on the inner side of the casing 106. By providing the recess 112B, the top plate 112 can be reduced in weight, and the length in the detection direction O of the high-temperature detector 100 can be shortened. Note that the top plate 113 can also be used in the same shape as the top plate 112 (the recess 113B is not necessarily required in the top plate 113).

バックプレート114も、図1に示す如く、平面視リング状であって、載置部114Cと起立部114Bとを有している。載置部114Cにはマグネット110が載置され、起立部114Bは載置部114Cの内側部分から起立するように円筒形状に設けられている。起立部114Bの上端の外周には、外側磁極112Aと対向して内側磁極114Aが形成されている。外側磁極112Aと内側磁極114Aとの間には、平面視でリング状の隙間118が形成されている。その隙間118には、可動部104の検出コイル120が配置される。   As shown in FIG. 1, the back plate 114 also has a ring shape in plan view, and includes a placement portion 114C and an upright portion 114B. The magnet 110 is placed on the placement portion 114C, and the standing portion 114B is provided in a cylindrical shape so as to stand up from the inner portion of the placement portion 114C. An inner magnetic pole 114A is formed on the outer periphery of the upper end of the upright portion 114B so as to face the outer magnetic pole 112A. A ring-shaped gap 118 is formed between the outer magnetic pole 112A and the inner magnetic pole 114A in plan view. In the gap 118, the detection coil 120 of the movable part 104 is arranged.

前記可動部104は、図1に示す如く、検出コイル120、121を支持するボビン116、117と、それらを連結する連結棒122と、を有する。なお、2つのボビン116、117はそれぞれ、ダイヤフラムばね124、125でケーシング106により支持されている。即ち、可動部104は、磁気回路部102、103により形成される2つの磁極の間(外側磁極112Aと内側磁極114Aとの間)であって検出方向Oに移動可能に配置される検出コイル120、121を有する。ボビン116、117は、互いに背中合わせに配置されているが、同一形状・同一構成とされている。このため、以下、ボビン116について説明し、ボビン117については、ボビン116の構成部材の符号の下1桁目の符号をそれぞれ1増加させて、その説明を省略する。   As shown in FIG. 1, the movable portion 104 has bobbins 116 and 117 that support the detection coils 120 and 121, and a connecting rod 122 that connects them. The two bobbins 116 and 117 are supported by the casing 106 with diaphragm springs 124 and 125, respectively. That is, the movable part 104 is between the two magnetic poles formed by the magnetic circuit parts 102 and 103 (between the outer magnetic pole 112A and the inner magnetic pole 114A) and is arranged so as to be movable in the detection direction O. , 121. The bobbins 116 and 117 are arranged back to back, but have the same shape and the same configuration. For this reason, the bobbin 116 will be described below, and for the bobbin 117, the code of the lower first digit of the component of the bobbin 116 is incremented by 1, and the description thereof is omitted.

ボビン116は、図1に示す如く、フランジ部116Aとフランジ部116Aに支持されるリング状の保持部116Bとを有する。保持部116Bは、アルミ、銅、銀等の非磁性で且つ比抵抗値が小さい金属材で形成されている。このため、ボビン116が磁界中で運動すると保持部116Bは円環形状であるためフレミングの右手と左手の法則により、速度に比例し逆方向に働く力が発生して、ボビン116の動きにダンピング(減衰)をかける(過減衰できる)ようになっている。保持部116Bの線膨張係数μ2は、23.6×10-6/℃とされている。 As shown in FIG. 1, the bobbin 116 includes a flange portion 116A and a ring-shaped holding portion 116B supported by the flange portion 116A. The holding part 116B is made of a non-magnetic metal material having a small specific resistance value, such as aluminum, copper, or silver. For this reason, when the bobbin 116 moves in a magnetic field, the holding part 116B has an annular shape, and therefore, a force acting in the reverse direction in proportion to the speed is generated according to the Fleming's right and left hand laws, and the movement of the bobbin 116 is dumped (Attenuation) is applied (can be overdamped). The linear expansion coefficient μ2 of the holding part 116B is 23.6 × 10 −6 / ° C.

検出コイル120は、保持部116Bに巻回されたコイルであり、外側磁極112Aと内側磁極114Aにより形成されたリング状の隙間118に配置される。検出コイル120から出力される電圧は、アナログ信号として出力される。   The detection coil 120 is a coil wound around the holding portion 116B, and is disposed in a ring-shaped gap 118 formed by the outer magnetic pole 112A and the inner magnetic pole 114A. The voltage output from the detection coil 120 is output as an analog signal.

2つのボビン116、117は、互いのフランジ部116A、117Aの軸中心で連結棒122により連結されている。そして、その連結棒122は、バックプレート114、115の起立部114B、115Bを貫通している。即ち、2つの磁気回路部102、103は、連結棒122により2つのボビン116、117に挟まれる形態とされている。連結棒122の線膨張係数μ2(保持部116Bと同じ)は、ケーシング106と同一とされており、例えば、アルミ等の非磁性金属材で形成されている。   The two bobbins 116 and 117 are connected by a connecting rod 122 at the axial centers of the flange portions 116A and 117A. The connecting rod 122 passes through the upright portions 114B and 115B of the back plates 114 and 115. That is, the two magnetic circuit portions 102 and 103 are sandwiched between the two bobbins 116 and 117 by the connecting rod 122. The linear expansion coefficient μ2 (same as the holding portion 116B) of the connecting rod 122 is the same as that of the casing 106, and is formed of, for example, a nonmagnetic metal material such as aluminum.

ダイヤフラムばね124、125は、渦巻き形状に形成されており、一端がケーシング106の内側に固定され、他端がボビン116、117のフランジ部116A、117Aに接続されている。そして、ダイヤフラムばね124、125は、可動部104を検出方向Oに移動可能に支持している。ダイヤフラムばね124、125は、コバルト、ニッケル、クロム、モリブデンを主成分とした高温環境下での熱へたりを抑制できる非磁性恒弾性材で形成されている。ダイヤフラムばね124、125は、ボビン116、117の変位に応じて、所定のばね定数により導出されるばね力をボビン116、117に付与する。   The diaphragm springs 124 and 125 are formed in a spiral shape, one end is fixed inside the casing 106, and the other end is connected to the flange portions 116 </ b> A and 117 </ b> A of the bobbins 116 and 117. The diaphragm springs 124 and 125 support the movable portion 104 so as to be movable in the detection direction O. The diaphragm springs 124 and 125 are formed of a nonmagnetic constant elastic material that can suppress heat sag in a high temperature environment mainly composed of cobalt, nickel, chromium, and molybdenum. The diaphragm springs 124 and 125 apply a spring force derived by a predetermined spring constant to the bobbins 116 and 117 according to the displacement of the bobbins 116 and 117.

前記ケーシング106は、磁気回路部102、103と可動部104とを収納している。ケーシング106は、筒状部材126と筒状部材126の上下を密封する蓋部材128、130とを有する。筒状部材126と蓋部材128、130も、連結棒122と同一のアルミなどの非磁性金属材で形成されており、その線膨張係数μ3(=μ2)は、23.6×10-6/℃程度とされている(磁気回路部102、103の線膨張係数μ1よりもケーシング106の線膨張係数μ3が大きくされている(μ1<μ3)。即ち、ケーシング106と連結棒122とは同一の熱膨張量となり、高温環境下では検出方向Oで同一の熱膨張量(伸び)を示す。筒状部材126の内側には、リング状に凸部132が一体的に設けられている。そして、凸部132の位置から検出方向Oの所定の距離で筒状部材126の内側に、雌螺子部126Aが設けられている。雌螺子部126Aにより、押圧部材134が固定される。 The casing 106 houses the magnetic circuit portions 102 and 103 and the movable portion 104. The casing 106 includes a cylindrical member 126 and lid members 128 and 130 that seal the upper and lower sides of the cylindrical member 126. The cylindrical member 126 and the lid members 128 and 130 are also formed of the same nonmagnetic metal material such as aluminum as the connecting rod 122, and the linear expansion coefficient μ3 (= μ2) is 23.6 × 10 −6 / (The linear expansion coefficient μ3 of the casing 106 is larger than the linear expansion coefficient μ1 of the magnetic circuit portions 102 and 103 (μ1 <μ3). That is, the casing 106 and the connecting rod 122 are the same. The amount of thermal expansion is the same, and shows the same amount of thermal expansion (elongation) in the detection direction O under a high temperature environment, and a convex portion 132 is integrally provided in a ring shape inside the cylindrical member 126. A female screw portion 126A is provided inside the cylindrical member 126 at a predetermined distance in the detection direction O from the position of the convex portion 132. The pressing member 134 is fixed by the female screw portion 126A.

押圧部材134は、図1、図2(A)、(B)に示す如く、平面視リング状とされ、固定部134Aと撓み部134Bとを有する。押圧部材134は、ケーシング106と同一のアルミなどの非磁性金属材で形成されており、線膨張係数μ3は、23.6×10-6/℃程度とされている(ケーシング106と同一の線膨張係数)。固定部134Aには、雌螺子部126Aに螺合する雄螺子部134Cが外周に設けられている。即ち、押圧部材134は、ケーシング106の内側に係合して固定される固定部134Aを有する。撓み部134Bは固定部134Aから径方向内側に一体的に延在している(このため押圧部材134は、プリロードスプリングとも称する)。つまり、撓み部134Bは、固定部134Aの径方向内側で支持されている。撓み部134Bは、撓むことで検出方向Oに変位可能とされている。撓み部134Bには、固定部134Aの近傍から径方向の中心に向かって複数本のスリット134Fが形成され、図2(B)の平面視でもスリット134Fで分離された撓み部134Bの個々の部分の幅Wは先細りの形状とされている。同時に、図1、図2(A)に示す如く、固定部134Aの近傍から径方向内側の中心に向かって、撓み部134Bの検出方向Oの厚みTも(突起部134Dを除いて)徐々に薄くなるようにされている。このため、撓み部134Bは、検出方向Oに対して撓みやすく、且つ撓んだ際に固定部134A近傍に応力集中が生じることを回避している。これにより、押圧部材134の塑性変形を生じにくくし、撓み部134Bの撓んだ状態からの復元力の低下を低減することができる。撓み部134Bの径方向内側の先端には、検出方向Oに突出する突起部134Dが設けられている。そして、突起部134Dの上面134DAが磁気回路部103のトッププレート113に当接するようにされている。なお、符号134Gは、押圧部材134を筒状部材126の雌螺子部126Aに螺合させて固定する際に、押圧部材134を回転させるための治具を嵌合させる貫通孔である。 As shown in FIGS. 1, 2A, and 2B, the pressing member 134 has a ring shape in plan view, and includes a fixing portion 134A and a bending portion 134B. The pressing member 134 is formed of the same nonmagnetic metal material such as aluminum as the casing 106, and has a linear expansion coefficient μ3 of about 23.6 × 10 −6 / ° C. (the same wire as the casing 106). Expansion coefficient). The fixing portion 134A is provided with a male screw portion 134C screwed to the female screw portion 126A on the outer periphery. That is, the pressing member 134 has a fixing portion 134 </ b> A that is engaged and fixed inside the casing 106. The bending portion 134B integrally extends radially inward from the fixing portion 134A (for this reason, the pressing member 134 is also referred to as a preload spring). That is, the bending portion 134B is supported on the radially inner side of the fixing portion 134A. The bending portion 134B can be displaced in the detection direction O by bending. A plurality of slits 134F are formed in the bent portion 134B from the vicinity of the fixed portion 134A toward the center in the radial direction, and individual portions of the bent portion 134B separated by the slit 134F in the plan view of FIG. The width W is a tapered shape. At the same time, as shown in FIGS. 1 and 2A, the thickness T in the detection direction O of the bending portion 134B gradually increases from the vicinity of the fixing portion 134A toward the center in the radial direction (excluding the protrusion portion 134D). It is designed to be thin. For this reason, the bending part 134B is easy to bend with respect to the detection direction O, and when it bends, it avoids that stress concentration arises in the fixing part 134A vicinity. Thereby, it is difficult to cause plastic deformation of the pressing member 134, and a reduction in restoring force from the bent state of the bending portion 134B can be reduced. A protruding portion 134D that protrudes in the detection direction O is provided at the radially inner end of the bending portion 134B. The upper surface 134DA of the protrusion 134D is brought into contact with the top plate 113 of the magnetic circuit unit 103. Reference numeral 134G denotes a through hole into which a jig for rotating the pressing member 134 is fitted when the pressing member 134 is screwed and fixed to the female screw portion 126A of the cylindrical member 126.

次に、高温対応型検出器100の組立手順を説明する。   Next, the assembly procedure of the high-temperature compatible detector 100 will be described.

まず、筒状部材126の内側に2つの磁気回路部102、103を背中合わせとした状態で配置させる。このとき、トッププレート112の凹部112Bを、筒状部材126の凸部132に嵌合させる。   First, the two magnetic circuit portions 102 and 103 are disposed inside the cylindrical member 126 in a back-to-back state. At this time, the concave portion 112 </ b> B of the top plate 112 is fitted into the convex portion 132 of the cylindrical member 126.

次に、筒状部材126の内側に押圧部材134を係合させて、ケーシング106に対してがたつかないように磁気回路部102、103を固定する。即ち、押圧部材134は、撓ませた状態の撓み部134Bを介して検出方向Oで凸部132に磁気回路部102、103を押圧する(プリロードする)。このときの撓み部134Bの検出方向Oの撓み量は、高温環境下で生じる、検出方向Oにおけるケーシング106の熱膨張量と磁気回路部102、103の熱膨張量との差よりも大きくされている。同時に、その撓み量は、その高温環境下で、検出対象となる加速度が加わった際でも、ケーシング106に対して磁気回路部102、103ががたつかないような復元力を生じさせる撓み量とされている。   Next, the pressing member 134 is engaged inside the cylindrical member 126, and the magnetic circuit portions 102 and 103 are fixed so as not to rattle against the casing 106. That is, the pressing member 134 presses (preloads) the magnetic circuit portions 102 and 103 to the convex portion 132 in the detection direction O through the bent portion 134B in the bent state. The amount of bending in the detection direction O of the bending portion 134B at this time is larger than the difference between the amount of thermal expansion of the casing 106 and the amount of thermal expansion of the magnetic circuit portions 102 and 103 in the detection direction O, which occurs in a high temperature environment. Yes. At the same time, the amount of bending is a amount of bending that causes a restoring force that prevents the magnetic circuit sections 102 and 103 from rattling against the casing 106 even when an acceleration to be detected is applied under the high temperature environment. Has been.

次に、可動部104を組み込む。即ち、予めボビン116、117を組み立てた状態としておき、磁気回路部102、103を挟み込むように、ボビン116、117を連結棒122で連結する。また、ボビン116、117それぞれを筒状部材126の内側で支持させるために、ダイヤフラムばね124、125を取り付ける。   Next, the movable part 104 is assembled. That is, the bobbins 116 and 117 are assembled in advance, and the bobbins 116 and 117 are connected by the connecting rod 122 so as to sandwich the magnetic circuit portions 102 and 103. Further, diaphragm springs 124 and 125 are attached to support the bobbins 116 and 117 inside the cylindrical member 126, respectively.

そして、筒状部材126に蓋部材128、130を取り付けて、高温対応型検出器100を密封させる。   Then, lid members 128 and 130 are attached to the cylindrical member 126 to seal the high-temperature compatible detector 100.

このように、本実施形態においては、磁気回路部102、103の線膨張係数μ1よりもケーシング106の線膨張係数μ3が大きくされている(μ1<μ3)。このため、高温対応型検出器100を組立環境(常温)下から高温環境(約150℃)下に置くと、約130℃近くの温度変化を受ける。このため、例えば、検出方向Oでは、磁気回路部102、103が熱膨張量の差でケーシング106よりも短くなる(例えば、50μm程度)。つまり従来であれば、熱膨張量の観点から、50℃程度(高温対応としてもせいぜい80℃程度)の温度環境下での検出動作しか期待出来なかった。しかしながら、高温対応型検出器100は、撓ませた状態の撓み部134Bを介して検出方向Oで凸部132に磁気回路部102、103を押圧する押圧部材134を備えている。即ち、撓み部134Bの撓み量で上記熱膨張量の差で生じる可能性のあった(磁気回路部102、103とケーシング106との間の)隙間を排除することが可能となる。このため、高温環境下で検出対象となる加速度範囲においても、ケーシング106に対して磁気回路部102、103ががたつくことを防止することができる。つまり、高温環境下で、がたつきによって生じる加速度の誤検出(加速度の吸収を含む)や検出精度低下したりすることを防止することができる。   Thus, in the present embodiment, the linear expansion coefficient μ3 of the casing 106 is made larger than the linear expansion coefficient μ1 of the magnetic circuit portions 102 and 103 (μ1 <μ3). For this reason, when the high-temperature-compatible detector 100 is placed under an assembly environment (room temperature) to a high temperature environment (about 150 ° C.), it receives a temperature change of about 130 ° C. For this reason, for example, in the detection direction O, the magnetic circuit units 102 and 103 are shorter than the casing 106 due to a difference in thermal expansion amount (for example, about 50 μm). In other words, conventionally, from the viewpoint of the amount of thermal expansion, only a detection operation in a temperature environment of about 50 ° C. (at most about 80 ° C. even when supporting high temperatures) can be expected. However, the high-temperature-compatible detector 100 includes a pressing member 134 that presses the magnetic circuit portions 102 and 103 against the convex portion 132 in the detection direction O via the bent portion 134B in the bent state. That is, it is possible to eliminate a gap (between the magnetic circuit portions 102 and 103 and the casing 106) that may be caused by the difference in the thermal expansion amount due to the bending amount of the bending portion 134B. For this reason, it is possible to prevent the magnetic circuit portions 102 and 103 from rattling with respect to the casing 106 even in the acceleration range to be detected in a high temperature environment. That is, it is possible to prevent erroneous detection of acceleration (including acceleration absorption) caused by rattling and a decrease in detection accuracy under a high temperature environment.

そして、本実施形態においては、押圧部材134がケーシング106の内側に係合して固定される固定部134Aを有し、撓み部134Bが固定部134Aの径方向内側で支持されている。このため、押圧部材134は、撓み部134Bの撓み量とは無関係に、固定部134Aで安定して固定される。もちろん、本発明はこれに限定されることなく、撓み量に関連して押圧部材が固定されるような構成であってもよい。   In this embodiment, the pressing member 134 has a fixing portion 134A that is engaged and fixed inside the casing 106, and the bending portion 134B is supported on the inner side in the radial direction of the fixing portion 134A. For this reason, the pressing member 134 is stably fixed by the fixing portion 134A regardless of the bending amount of the bending portion 134B. Of course, the present invention is not limited to this, and may be configured such that the pressing member is fixed in relation to the amount of bending.

また、本実施形態においては、撓み部134Bが固定部134Aから径方向内側に一体的に延在している。このため、押圧部材134の部品点数を少なくでき、その構成も単純にすることができ、押圧部材134を低コスト且つ小型にすることが可能である。   In the present embodiment, the bending portion 134B integrally extends radially inward from the fixed portion 134A. For this reason, the number of parts of the pressing member 134 can be reduced, the configuration thereof can be simplified, and the pressing member 134 can be reduced in cost and size.

また、本実施形態においては、更に、撓み部134Bの径方向内側の先端に検出方向Oに突出する突起部134Dが設けられ、突起部134Dの上面134DAを磁気回路部103に当接させている。即ち、突起部134Dが固定部134Aから最も離れた径方向内側で磁気回路部103を押圧することとなる。つまり、撓み部134Bのリーチを長くできるので、撓み部134Bの撓み量を大きくとることができる。このため、磁気回路部102、103とケーシング106との熱膨張量の差が大きくてもその差を十分に吸収することができる。同時に、温度が変化しても、突起部134Dで磁気回路部103を押圧する位置をほとんど変化させずに済むので、押圧部材134による押圧力を一定に維持することが容易となる。もちろん、本発明はこれに限定されることなく、突起部が存在しないような撓み部の形状であってもよい。   Further, in the present embodiment, a protrusion 134D that protrudes in the detection direction O is provided at the radially inner end of the bending portion 134B, and the upper surface 134DA of the protrusion 134D is in contact with the magnetic circuit portion 103. . That is, the protrusion 134D presses the magnetic circuit portion 103 on the radially inner side farthest from the fixed portion 134A. That is, since the reach of the bending portion 134B can be increased, the bending amount of the bending portion 134B can be increased. For this reason, even if the difference in thermal expansion between the magnetic circuit portions 102 and 103 and the casing 106 is large, the difference can be sufficiently absorbed. At the same time, even if the temperature changes, it is not necessary to change the position of pressing the magnetic circuit unit 103 by the protrusion 134D, so that the pressing force by the pressing member 134 can be easily maintained constant. Of course, this invention is not limited to this, The shape of the bending part in which a projection part does not exist may be sufficient.

また、本実施形態においては、磁気回路部102、103にはサマリウム系希土類コバルト磁石を用いている。このため、高温環境下でも、磁力の低下を最小限にでき、磁気回路部102、103に強力な磁界を発生させることができ、検出精度及び検出感度の低下を防止することができる。   In this embodiment, samarium rare earth cobalt magnets are used for the magnetic circuit portions 102 and 103. For this reason, even under a high temperature environment, a decrease in magnetic force can be minimized, a strong magnetic field can be generated in the magnetic circuit units 102 and 103, and a decrease in detection accuracy and detection sensitivity can be prevented.

また、本実施形態においては、連結棒122及び押圧部材134がケーシング106と同一の材料である。即ち、これらの部材の熱膨張量は同一である。このため、検出方向Oにおけるケーシング106と可動部104との位置関係は温度変化に関わらず一定とされている。即ち、温度変化に対しては、ケーシング106に対してのみ磁気回路部102、103の位置変化や熱膨張量の差を考慮すればいいので、高温対応型検出器100の設計、及び検出された加速度の解析が容易となる。同時に、温度が変わってもダイヤフラムばね124、125の接続位置の関係が変わらないので、温度変化によるダイヤフラムばね124、125のばね力の不要な変化を防止することができる。そして、ケーシング106に対する押圧部材134の固定に対して、温度変化で不具合などが生じる可能性も低減することができる。   In the present embodiment, the connecting rod 122 and the pressing member 134 are made of the same material as the casing 106. That is, the amount of thermal expansion of these members is the same. For this reason, the positional relationship between the casing 106 and the movable portion 104 in the detection direction O is constant regardless of the temperature change. That is, with respect to the temperature change, it is only necessary to consider the position change of the magnetic circuit portions 102 and 103 and the difference in the amount of thermal expansion only with respect to the casing 106. Analysis of acceleration becomes easy. At the same time, even if the temperature changes, the relationship between the connection positions of the diaphragm springs 124 and 125 does not change, so that unnecessary changes in the spring force of the diaphragm springs 124 and 125 due to temperature changes can be prevented. And possibility that a malfunction etc. will arise by temperature change can also be reduced with respect to fixation of the press member 134 with respect to the casing 106. FIG.

即ち、本実施形態においては、高温環境下でも安定した検出動作が可能となる。   That is, in this embodiment, a stable detection operation is possible even in a high temperature environment.

本発明について第1実施形態を挙げて説明したが、本発明は第1実施形態に限定されるものではない。即ち本発明の要旨を逸脱しない範囲においての改良並びに設計の変更が可能なことは言うまでもない。   Although the present invention has been described with reference to the first embodiment, the present invention is not limited to the first embodiment. That is, it goes without saying that improvements and design changes can be made without departing from the scope of the present invention.

例えば、第1実施形態においては、撓み部134Bが固定部134Aから径方向内側に一体的に延在していたが、本発明はこれに限定されない。例えば、図3に示す第2実施形態の如く、撓み部234Bが固定部234Aから径方向内側に一体的に延在する延在部234Dで支持されていてもよい。なお、第2実施形態では、押圧部材234のみが第1実施形態とは異なるので、主に押圧部材234について説明し、他の要素については符号の下2桁を同一として説明を省略する。   For example, in the first embodiment, the bent portion 134B integrally extends radially inward from the fixed portion 134A, but the present invention is not limited to this. For example, as in the second embodiment shown in FIG. 3, the bending portion 234B may be supported by an extending portion 234D that integrally extends radially inward from the fixing portion 234A. In the second embodiment, since only the pressing member 234 is different from the first embodiment, the pressing member 234 will be mainly described, and the other elements will be described with the same last two digits being omitted.

押圧部材234は、図3に示す如く、平面視リング状とされ、固定部234Aと撓み部234Bと延在部234Dとを有する。押圧部材234は、ケーシング206と同一のアルミなどの非磁性金属材で形成されており、線膨張係数μ3は、23.6×10-6/℃程度とされている(ケーシング206と同一の線膨張係数)。固定部234Aには、雌螺子部に螺合する雄螺子部234Cが外周に設けられている。撓み部234Bは、上述の如く、固定部234Aから径方向内側に一体的に延在する延在部234Dで支持されている。延在部234D自体は、押圧部材234による押圧で変形することがないように肉厚に形成されている。撓み部234Bは、平面視リング状の波形座金であり、撓むことで検出方向Oに変位可能とされている。そして、撓み部234Bが磁気回路部203のトッププレート213の凹部213Bに丁度当接するようにされている。 As shown in FIG. 3, the pressing member 234 has a ring shape in plan view, and includes a fixing portion 234A, a bending portion 234B, and an extending portion 234D. The pressing member 234 is made of the same nonmagnetic metal material as aluminum such as the casing 206, and the linear expansion coefficient μ3 is about 23.6 × 10 −6 / ° C. (the same wire as the casing 206). Expansion coefficient). The fixing portion 234A is provided with a male screw portion 234C that is screwed into the female screw portion on the outer periphery. As described above, the bending portion 234B is supported by the extending portion 234D that integrally extends radially inward from the fixed portion 234A. The extending portion 234D itself is formed thick so as not to be deformed by the pressing by the pressing member 234. The bending part 234B is a wave washer having a ring shape in plan view, and can be displaced in the detection direction O by being bent. The bent portion 234B is in contact with the concave portion 213B of the top plate 213 of the magnetic circuit portion 203.

このため、本実施形態においては、撓み部234Bだけの交換が可能であり、例えば、押圧部材234による押圧力の変更や調整を撓み部234Bだけの交換で実現することができる。   For this reason, in this embodiment, only the bending part 234B can be replaced. For example, the change or adjustment of the pressing force by the pressing member 234 can be realized by replacing only the bending part 234B.

なお、上記実施形態においては、非磁性金属材として主にアルミを想定していたが、本発明では、これに限定されず、銅(リン青銅などの銅合金を含む)や非磁性のステンレス等であってもよい。   In the above embodiment, aluminum is mainly assumed as the nonmagnetic metal material. However, the present invention is not limited to this, and copper (including copper alloys such as phosphor bronze), nonmagnetic stainless steel, etc. It may be.

また、上記実施形態においては、高温対応型検出器が動電型加速度検出器であったが、本発明はこれに限定されない。例えば、逆起電圧を生じない非金属材とされており、可動部がダンピングされない動電型速度検出器であってもよい。そもそも動電型の検出器である必要はなく、可動部の位置を中立位置に保つように可動部の位置をサーボ制御するサーボ型の検出器であってもよい。   In the above embodiment, the high-temperature-compatible detector is an electrodynamic acceleration detector, but the present invention is not limited to this. For example, it may be an electrodynamic speed detector that is made of a non-metallic material that does not generate a back electromotive force and that does not dampen the movable part. In the first place, it is not necessary to be an electrodynamic type detector, and it may be a servo type detector that servo-controls the position of the movable part so as to keep the position of the movable part in a neutral position.

本発明は、磁気回路部と、該磁気回路部により形成される2つの磁極の間であって検出方向に移動可能に配置される検出コイルを有する可動部と、該磁気回路部と該可動部とを収納するケーシングと、を備える高温対応型検出器に広く適用することができる。   The present invention includes a magnetic circuit unit, a movable unit having a detection coil disposed between two magnetic poles formed by the magnetic circuit unit and movable in a detection direction, the magnetic circuit unit, and the movable unit. Can be widely applied to a high-temperature detector.

100、200…高温対応型検出器
102、103、202、203…磁気回路部
104、204…可動部
106、206…ケーシング
110、111…マグネット
112、113、212、213…トッププレート
114、115…バックプレート
116、117…ボビン
116A、117A…フランジ部
116B、117B…保持部
118、119…隙間
120、121…検出コイル
122…連結棒
124、125…ダイヤフラムばね
126、226…筒状部材
128、130…蓋部材
132、232…凸部
134、234…押圧部材
134A、234A…固定部
134B、234B…撓み部
100, 200 ... High temperature compatible detectors 102, 103, 202, 203 ... Magnetic circuit 104, 204 ... Movable parts 106, 206 ... Casing 110, 111 ... Magnets 112, 113, 212, 213 ... Top plates 114, 115 ... Back plate 116, 117 ... Bobbin 116A, 117A ... Flange part 116B, 117B ... Holding part 118, 119 ... Gap 120, 121 ... Detection coil 122 ... Connecting rod 124, 125 ... Diaphragm spring 126, 226 ... Cylindrical member 128, 130 ... Lid member 132, 232 ... Protruding part 134, 234 ... Pressing member 134A, 234A ... Fixed part 134B, 234B ... Deflection part

Claims (7)

磁気回路部と、該磁気回路部により形成される2つの磁極の間であって検出方向に移動可能に配置される検出コイルを有する可動部と、該磁気回路部と該可動部とを収納するケーシングと、を備える高温対応型検出器であって、
前記磁気回路部よりも前記ケーシングの線膨張係数が大きくされており、
前記ケーシングの内側には凸部が設けられ、
撓むことで前記検出方向に変位可能な撓み部を有し、撓ませた状態の該撓み部を介して前記検出方向で該凸部に該磁気回路部を押圧する押圧部材を備え
前記検出コイルは、1対とされ、
前記可動部は、前記検出方向で前記磁気回路部の外側に配置され、該1対の検出コイルを支持する1対のフランジ部と、該1対のフランジ部を該検出方向に移動可能に前記ケーシングに接続する1対のダイヤフラムばねと、該1対のフランジ部を連結する連結棒と、を備え、
該連結棒の線膨張係数は、前記ケーシングの線膨張係数と同一とされていることを特徴とする高温対応型検出器。
A magnetic circuit unit, a movable unit having a detection coil disposed between two magnetic poles formed by the magnetic circuit unit and movable in a detection direction, and the magnetic circuit unit and the movable unit are accommodated. A high temperature compatible detector comprising a casing,
The linear expansion coefficient of the casing is made larger than the magnetic circuit part,
A convex portion is provided inside the casing,
It has a bending part that can be displaced in the detection direction by bending , and includes a pressing member that presses the magnetic circuit part to the convex part in the detection direction via the bending part in a bent state .
The detection coils are paired,
The movable portion is disposed outside the magnetic circuit portion in the detection direction, and supports a pair of flange portions that support the pair of detection coils, and the pair of flange portions are movable in the detection direction. A pair of diaphragm springs connected to the casing, and a connecting rod for connecting the pair of flange portions;
The linear expansion coefficient of the connecting rod, High temperature detector characterized that you have been the same as the linear expansion coefficient of the casing.
前記押圧部材は前記ケーシングの内側に係合して固定される固定部を有し、前記撓み部が該固定部の径方向内側で支持されることを特徴とする請求項1に記載の高温対応型検出器。   2. The high temperature apparatus according to claim 1, wherein the pressing member has a fixing portion that is engaged and fixed inside the casing, and the bending portion is supported on a radially inner side of the fixing portion. Type detector. 前記撓み部は、前記固定部から前記径方向内側に一体的に延在していることを特徴とする請求項2に記載の高温対応型検出器。   The high-temperature-compatible detector according to claim 2, wherein the bent portion extends integrally from the fixed portion to the inside in the radial direction. 前記撓み部の前記検出方向の厚みは、前記径方向内側の中心に向かって薄くされていることを特徴とする請求項3に記載の高温対応型検出器。4. The high-temperature-compatible detector according to claim 3, wherein a thickness of the bent portion in the detection direction is reduced toward a center in the radial direction. 前記撓み部の前記径方向内側の先端には前記検出方向に突出する突起部が設けられ、該突起部を前記磁気回路部に当接させることを特徴とする請求項3または4に記載の高温対応型検出器。 The said radially inner tip of the deflection portion protrusion is provided protruding in the detection direction, a high temperature according to the protrusion portion to claim 3 or 4, characterized in that is brought into contact with the magnetic circuit Compatible detector. 前記撓み部は、前記固定部から前記径方向内側に一体的に延在する延在部で支持されることを特徴とする請求項2に記載の高温対応型検出器。   The high-temperature-compatible detector according to claim 2, wherein the bending portion is supported by an extending portion that integrally extends inward in the radial direction from the fixed portion. 前記磁気回路部にはサマリウム系希土類コバルト磁石が用いられることを特徴とする請求項1乃至のいずれかに記載の高温対応型検出器。 The high-temperature-compatible detector according to any one of claims 1 to 6 , wherein a samarium rare earth cobalt magnet is used for the magnetic circuit section.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018533740A (en) * 2015-11-16 2018-11-15 レイセオン カンパニー Thermally Insensitive Open Loop Hang Mass Accelerometer Using Differential Eddy Current Sensing
CN111579815A (en) * 2020-05-22 2020-08-25 山东大学 High-temperature vibration acceleration sensor and assembly method

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3258412B2 (en) * 1993-02-10 2002-02-18 株式会社アカシ Seismograph
JP4018270B2 (en) * 1998-11-26 2007-12-05 株式会社ミツトヨ Vibration meter
JP3850211B2 (en) * 2000-10-24 2006-11-29 株式会社ジェイテクト Retaining ring
JP5054320B2 (en) * 2006-03-20 2012-10-24 本田技研工業株式会社 Magnetostrictive torque sensor
JP5530219B2 (en) * 2010-02-26 2014-06-25 日本航空電子工業株式会社 Servo type accelerometer
JP5806031B2 (en) * 2011-07-29 2015-11-10 株式会社ミツトヨ Long-period vibration sensor and method for correcting output value of long-period vibration sensor

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018533740A (en) * 2015-11-16 2018-11-15 レイセオン カンパニー Thermally Insensitive Open Loop Hang Mass Accelerometer Using Differential Eddy Current Sensing
CN111579815A (en) * 2020-05-22 2020-08-25 山东大学 High-temperature vibration acceleration sensor and assembly method
CN111579815B (en) * 2020-05-22 2021-07-13 山东大学 High-temperature vibration acceleration sensor and assembly method

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