JP6202673B2 - load cell - Google Patents
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Description
この発明は、プレートの平行な2つの受圧面に荷重を受け、その荷重による両受圧面間の変位を計測する荷重計及び前記プレートに関する。 The present invention relates to a load meter that receives a load on two parallel pressure-receiving surfaces of a plate and measures a displacement between both pressure-receiving surfaces due to the load, and the plate.
例えば、斜面安定や構造物の安定支持等のために行われるグランドアンカー工法では、地中のアンカー体に一端を固定したPCストランド等の緊張材に張力を付与した状態で、その他端側に斜面安定用のプレートや構造物等を固定している。このとき、前記緊張材の施工中の張力変動の計測や施工後の長期的な張力監視のために、その他端側固定部に荷重計が設置される(特許文献1段落0031、図8参照)。また、吊り構造物のケーブルにも、張力計測のための荷重計が設置される。その荷重計として、静電容量型荷重計が検討されている。
For example, in the ground anchor method for stabilizing the slope and supporting the structure stably, the tension is applied to the tension material such as a PC strand with one end fixed to the underground anchor body, and the slope is formed on the other end side. Stabilizing plates and structures are fixed. At this time, a load meter is installed on the other end-side fixing portion for measurement of tension fluctuation during construction of the tendon and long-term tension monitoring after construction (see
その静電容量型荷重計の一例として、荷重を受ける円環状プレートの2つの平行な受圧面の間(以下、「両受圧面の間」を適宜に「上下間」という。)に円形孔を形成し、この円形孔の内周面に対の電極を対向して設けたものがある。この静電容量型荷重計は、前記プレートの両受圧面に荷重を受けると、その荷重によるプレートの上下間の変位(厚み変形)による前記電極間の距離変化に伴う静電容量変化を検出し、その検出値に基づき前記荷重を測定する(特許文献1段落0009、図9参照)。すなわち、この荷重計は、プレート円形孔の上下方向の変位でもってそのプレートの受圧面への荷重を計測する。
As an example of the capacitance type load cell, a circular hole is formed between two parallel pressure receiving surfaces of an annular plate that receives a load (hereinafter, “between both pressure receiving surfaces” is appropriately referred to as “upper and lower”). In some cases, a pair of electrodes are provided facing each other on the inner peripheral surface of the circular hole. When this load cell receives a load on both pressure receiving surfaces of the plate, it detects a change in capacitance due to a change in the distance between the electrodes due to a displacement (thickness deformation) between the upper and lower sides of the plate due to the load. Then, the load is measured based on the detected value (see
このような荷重計用プレートにおいて、図5を参照して説明すると、上下の受圧面1、2に荷重Pがかかると、その柱状をなす円形孔hは上下方向(Z方向)が縮小し、前後方向(X方向)及び左右方向(Y方向)が拡大する。
このとき、円形孔hの軸心c1方向において、その周壁の内周側(in)及び外周側(out)は一方面(図5に於いて前後面)が開放されているのに対し、中央部(mid)は両側が充実のため、剛性が高い。このため、Y方向の変位(変形)において、前記内周側及び外周側と中央部とのバラツキが大きくなっている。このバラツキは円形孔h内周面の軸心c1ほぼ全長に亘る変位(変形)度合いでプレートへの荷重を測定する場合の精度の低下を招くこととなる。特に、静電容量型は円形孔h内周面の軸心c1ほぼ全長の静電容量変化でもって荷重を計測するからその測定精度の低下を招く。
In such a load meter plate, with reference to FIG. 5, when a load P is applied to the upper and lower
At this time, while the axis c 1 direction of the circular hole h, the inner peripheral side of the peripheral wall (in) and the outer (out) one surface (front and rear surfaces In FIG. 5) is opened, The middle part (mid) has high rigidity because both sides are complete. For this reason, in the displacement (deformation) in the Y direction, the inner peripheral side, the outer peripheral side, and the central portion have large variations. This variation and thus deteriorating the accuracy when measuring the load on the plate displacement (deformation) degree over the axis c 1 substantially the entire length in the circular hole h circumference. In particular, capacitance type leads to a decrease in the measurement accuracy because measuring the load with a capacitance change of the axis c 1 substantially the entire length in the circular hole h circumference.
また、プレートが円環状の場合、Y方向の肉厚が内側から外側に向かって(X方向外側に向かって)、徐々に厚くなっており(剛性が高くなっており)、これによっても、Y方向の内周側、中央部及び外周側の変位は均一ではない(バラツク)。
これらのY方向の変位はZ方向の変位に影響するため(Y方向の拘束がZ方向の剛性にも影響するため)、Z方向の変位の計測、すなわち、プレート円形孔の中心上下方向の変位測定による受圧面1、2への荷重測定の精度低下の原因ともなる。
Further, when the plate is annular, the thickness in the Y direction is gradually increased from the inner side to the outer side (outward in the X direction) (the rigidity is increased). The displacement on the inner peripheral side, the central part and the outer peripheral side in the direction is not uniform (variation).
Since these displacements in the Y direction affect the displacement in the Z direction (because the constraint in the Y direction also affects the rigidity in the Z direction), measurement of the displacement in the Z direction, that is, the displacement in the vertical direction of the center of the plate circular hole This also causes a decrease in the accuracy of the load measurement on the
この発明は、以上の実状の下、荷重を受ける平行な2つの受圧面間に形成された透孔の変形でもって前記荷重Pを計測する荷重計の精度を向上させることを課題とする。 This invention makes it a subject to improve the precision of the load meter which measures the said load P by the deformation | transformation of the through-hole formed between two parallel pressure-receiving surfaces which receive a load under the above actual condition.
上記課題を達成するため、この発明は、荷重を受ける平行な2つの受圧面を有するプレートと、そのプレートに形成されて前記受圧面の直交軸方向の断面円形又は断面正多角形の透孔と、その透孔内に設けられて透孔の変位を測定する変位計の測定子とを有する荷重計の、前記プレートであって、前記透孔の周りに沿うスリットを形成した構成を採用する。 In order to achieve the above object, the present invention includes a plate having two parallel pressure receiving surfaces that receive a load, and a through hole formed in the plate and having a circular cross section or a regular polygonal cross section in the direction of the orthogonal axis of the pressure receiving surface. A configuration of the plate of a load cell provided in the through-hole and having a displacement gauge measuring element for measuring the displacement of the through-hole, in which slits are formed around the through-hole, is adopted.
この発明は、以上のように構成し、スリットによって切り離されたプレートの透孔側部分の変位(撓み)によって荷重を検出するようにしたので、その荷重が前記透孔側部分の変位として現れ、その荷重を適切に測定し得る。 Since the present invention is configured as described above, and the load is detected by the displacement (deflection) of the through hole side portion of the plate separated by the slit, the load appears as the displacement of the through hole side portion, The load can be measured appropriately.
この発明の実施形態の荷重計は、荷重を受ける平行な2つの受圧面を有するプレートと、そのプレートに形成されて前記受圧面の直交軸方向の断面円形又は断面正多角形の透孔と、その透孔内に設けられて透孔の変位を測定する変位計とを有する構成において、前記透孔の周りに沿うスリットを形成する。
このように構成すれば、スリットによって、透孔周囲のプレート壁の一部(前記スリットによって切り離されたプレートの透孔側部分)がプレートの他の部分と上下で連結され、同他部が切り離されたパイプ状となる。パイプは、その断面の上下から力を受けると(荷重Pを受けると)、その軸心方向全長及び全周囲全長に亘って均等にかつ容易に撓む。このため、パイプ部分の変位でもってその荷重を測定すれば、その測定精度は高いものとなる。
なお、パイプ状の壁を形成すれば、上記作用効果を発揮するため、透孔内に、パイプを挿入してそのパイプの上下を透孔内面に溶接等によって固定すれば、パイプと透孔内面との間にスリットが形成される。このため、この発明は、そのようなパイプを挿入固定した場合も含むものとする。
A load cell according to an embodiment of the present invention includes a plate having two pressure receiving surfaces in parallel to receive a load, and a through-hole formed in the plate and having a circular cross section or a regular polygonal cross section in the orthogonal axis direction of the pressure receiving surface, In a configuration having a displacement meter provided in the through hole and measuring the displacement of the through hole, a slit is formed along the periphery of the through hole.
If comprised in this way, a part of plate wall around a through-hole (the through-hole side part of the plate cut | disconnected by the said slit) will be connected with the other part of the plate up and down, and the other part will cut off by the slit. It becomes a pipe shape. When receiving a force from above and below its cross section (when receiving a load P), the pipe bends evenly and easily over its entire length in the axial direction and the entire circumference. For this reason, if the load is measured by the displacement of the pipe portion, the measurement accuracy becomes high.
If a pipe-like wall is formed, the above-mentioned effects are exhibited. Therefore, if a pipe is inserted into the through hole and the upper and lower sides of the pipe are fixed to the inner surface of the through hole by welding or the like, the pipe and the inner surface of the through hole are provided. A slit is formed between the two. For this reason, this invention includes the case where such a pipe is inserted and fixed.
従来、荷重によるプレートの受圧間の変位がミクロン単位又はナノ単位の場合、温度変化による変位(撓み)が前記荷重による変位に対して大きいことによってその荷重による変位が計測し難くかった。しかし、上記のように、パイプ部分の変位でもってその荷重を測定することにより測定精度が高いものとなれば、前記温度変化による変位はパイプ状としたことによって予測できるとともに荷重による変位も大きくなるため、その温度変化による予測した変位を考慮すれば、荷重による変位を正確に計測し得る。すなわち、従来、「温度感受性(温度変化による変位)」>「荷重による変位」であったのに対し、「温度感受性」<「荷重による変位」としての特性を得られるものとなる。さらに、前記透孔の軸心方向の内周側、中央部、外周側においてその変位特性が揃う(均一となる)ため、繰り返し荷重による出力(測定値)の安定性も高まる。 Conventionally, when the displacement between the pressures received by the plate due to the load is in units of microns or nanometers, it is difficult to measure the displacement due to the load because the displacement (deflection) due to the temperature change is larger than the displacement due to the load. However, as described above, if the measurement accuracy is high by measuring the load with the displacement of the pipe portion, the displacement due to the temperature change can be predicted by the pipe shape and the displacement due to the load also increases. Therefore, the displacement due to the load can be accurately measured in consideration of the predicted displacement due to the temperature change. In other words, the conventional characteristic is “temperature sensitivity (displacement due to temperature change)”> “displacement due to load”, whereas “temperature sensitivity” <“displacement due to load” can be obtained. Furthermore, since the displacement characteristics are uniform (uniform) on the inner circumferential side, the central portion, and the outer circumferential side of the through hole in the axial center direction, the stability of the output (measured value) due to repeated loads is also increased.
前記プレートは、上下に受圧面を有するものであれば、その平面視形状は任意であるが、円形等の環状部材が好ましい。円形であれば、両受圧面への荷重をその軸心周りに均等に受け得るからである。 As long as the said plate has a pressure receiving surface up and down, the planar view shape is arbitrary, but circular members, such as a circle, are preferable. This is because the load on both pressure receiving surfaces can be evenly received around the axis if the shape is circular.
前記断面正多角形の透孔は、その対称軸が前記受圧面の直交軸方向となることが好ましい。このようになっていると、透孔の左右においてその変位が対称となって、透孔全体の変位が均一となるからである。この点から、透孔は断面円形が最も好ましい。また、その透孔の数及びプレート周方向間隔は、プレートの変位(撓み)特性を考慮して適宜に決定すれば良いが、プレートの平面視において、その軸心に対して左右及び上下に対称となるように位置することが好ましく、間隔は等間隔が好ましい。 The through hole having a regular polygonal cross section preferably has an axis of symmetry that is perpendicular to the pressure receiving surface. This is because the displacement is symmetrical between the left and right sides of the through hole, and the displacement of the entire through hole is uniform. In this respect, the through hole is most preferably circular in cross section. The number of the through holes and the circumferential distance of the plate may be appropriately determined in consideration of the displacement (deflection) characteristics of the plate, but in the plan view of the plate, it is symmetrical left and right and up and down with respect to the axis. It is preferable that they are positioned so that the distance between them is equal.
前記パイプ状部分は透孔の左右の一方のみでもその透孔の変位を少なからず容易にする。このため、スリットは透孔の左右の一方のみでも良いが、透孔の軸心に対して左右対称に形成(左右に形成)すれば、パイプ状部分がその透孔のほぼ全周に形成されることとなるため、透孔の変位もより円滑になる。このとき、スリットは、透孔の軸心に対して上下対称とすることが好ましい。パイプ状部分が全周つながったパイプ状により近づき、上下左右が対称のパイプ状となってその周囲の厚み方向の変位が均一となるからである。
また、前記スリットは、前記透孔の周りに沿って同一幅となっていることが好ましい。スリット幅が均一であると、前記透孔周囲のプレート壁に対するプレートの他の部分の形状変化も少なく、プレートの受圧面間の変位(撓み)にムラが生じ難いからである。なお、幅を異ならせる場合に比べれば、同一幅の方が、ドリルやワイヤによる形成も容易である(図2、図4参照)。
The pipe-like portion facilitates the displacement of the through-holes by not only the left and right sides of the through-holes. For this reason, the slit may be only one of the left and right sides of the through-hole, but if it is formed symmetrically with respect to the axial center of the through-hole (formed on the left and right), the pipe-shaped part is formed on almost the entire circumference of the through-hole. Therefore, the displacement of the through hole becomes smoother. At this time, it is preferable that the slit is vertically symmetric with respect to the axial center of the through hole. This is because the pipe-shaped portion approaches the pipe shape that is connected to the entire circumference, and the upper, lower, left, and right sides become symmetrical pipe shapes, and the displacement in the thickness direction around the pipe portions becomes uniform.
Moreover, it is preferable that the said slit becomes the same width along the circumference | surroundings of the said through-hole. This is because when the slit width is uniform, there is little change in the shape of the other part of the plate with respect to the plate wall around the through hole, and unevenness in the displacement (deflection) between the pressure receiving surfaces of the plate hardly occurs. In addition, compared with the case where a width | variety is varied, formation with a drill and a wire is easier for the same width (refer FIG. 2, FIG. 4).
さらに、前記スリットの前記透孔の周りに沿う面(内側面)は、全長に亘ってその透孔の内周面に対して同一の間隔となって、パイプ状部分を全長に亘って同一厚とすることが好ましい。このようにすると、荷重によるパイプ状部分の変位が全長に亘り均一となり、その均一化によって荷重検出精度も向上するからである。 Furthermore, the surface (inner side surface) along the circumference of the through hole of the slit has the same interval with respect to the inner peripheral surface of the through hole over the entire length, and the pipe-shaped portion has the same thickness over the entire length. It is preferable that This is because the displacement of the pipe-like portion due to the load becomes uniform over the entire length, and the load detection accuracy is improved by the uniformization.
なお、静電容量型荷重計は、非接触のセンサ(測定子)で検出するので、プレートが圧縮力を受けた状態で、故障懸念のあるセンサ部を交換可能であることが特徴であり、このため、透孔の変形が全周に亘って均一であると、透孔の加工精度、材料の不均一による孔変形のバラツキを抑制し、故障懸念のあるセンサを取り外し、その取り外した透孔に別の透孔で校正したセンサを再現性良く設置が可能となる。 In addition, since the capacitance type load cell is detected by a non-contact sensor (measuring element), it is characterized in that the sensor part having a fear of failure can be replaced while the plate receives a compressive force. For this reason, if the deformation of the through hole is uniform over the entire circumference, the variation in the hole deformation due to the processing accuracy of the through hole and the non-uniformity of the material is suppressed, and the sensor having a fear of failure is removed. In addition, a sensor calibrated with another through hole can be installed with good reproducibility.
前記各構成のプレートは、その透孔内に種々のその孔の変位計の測定子を組み込めば、両受圧面への荷重を測定する荷重計とすることができる。
その変位計には、従来の周知のものを採用すれば良く、例えば、電気抵抗歪みセンサ、レーザ式変位センサ、静電容量センサ等を使用し得る。その静電容量センサの場合、例えば、前記透孔内周面に設けた一の電極と、その電極に間隙を設けた他の電極とからなり、その両電極間の静電容量変化でもって前記両受圧面間の変位を測定する構成等を採用する。
The plate of each configuration can be a load meter that measures the load on both pressure receiving surfaces by incorporating various measuring elements of displacement gauges of the holes into the through holes.
As the displacement meter, a conventionally known one may be employed, and for example, an electric resistance strain sensor, a laser displacement sensor, a capacitance sensor, or the like can be used. In the case of the capacitance sensor, for example, it is composed of one electrode provided on the inner peripheral surface of the through hole and another electrode having a gap in the electrode, and the capacitance change between both electrodes A configuration for measuring the displacement between both pressure receiving surfaces is adopted.
この発明に係る静電容量型荷重計の一実施例を図1、図2に示し、この静電容量型荷重計Gは、前記グランドアンカー工法における緊張材の他端側固定部に設置される。
この荷重計Gは、ステンレス鋼(例えば、SUS630)からなるほぼ円環状プレート10と、そのプレート10に組み込まれる静電容量検出用プローブ(測定子)20とからなる。
1 and 2 show an embodiment of a capacitive load meter according to the present invention, and this capacitive load meter G is installed at the other end side fixing portion of the tension material in the ground anchor method. .
The load meter G includes a substantially
そのプレート10の内外径や厚みは測定対象に応じて適宜に設定すれば良いが、例えば、外径:128mm、内径:65mm,厚さ:38mmとし、上下に受圧面11、12を有する。また、プレート10の周囲に、60度の等間隔で直径:20mmの円形孔13を形成し、各円形孔13はその軸心c1がプレート10の径方向となってその内外周面に開口している。この円形孔13によってプレート10の厚み方向の剛性を弱めて両受圧面11、12への荷重によって厚み方向に変形し(撓み)易くなっている。この円形孔13の数及び直径は、その変形特性を考慮して、適宜に決定すれば良い。
The inner and outer diameters and thicknesses of the
静電容量検出用プローブ20は全ての円形孔13に設けることができるが、図1において左右対称に設けることが好ましい。この実施例では、4個のプローブ20を左右対称に設けた。
The capacitance detection probes 20 can be provided in all the
各円形孔13の周りに、この発明の特徴であるスリット14が形成されている。このスリット14は、前記プローブ20を組み込む円形孔13には必ず形成する。すなわち、プローブ20を組み込まない円形孔13にはスリット14を設ける必要はない。
スリット14は円形孔13と同心の円弧状をしてプレート10の内外周面に開口しており(図1参照)、その内周面は直径:25mmの円周上に位置し、その径方向の幅t:0.3mmとなっている。また、その弧状部分16bの中心角度θは120度である。幅tは下記パイプ状部分16bを形成し得れば任意であるが、パイプ状部分16bの変位(撓み)特性を考慮して適宜に設定する。
スリット14は、例えば、その両端に3mm径の孔15を形成し、その両孔15、15間をワイヤーカットによって形成したが、他の手段、例えば、ドリル等によって形成し得る。
Around each
The
For example, the
このように円形孔13の周りにその内周に沿ってスリット14が形成されると、スリット14によって、円形孔13周囲のプレート壁がプレート10の他の部分16aと上下で連結され、他が切り離された弧状部分16bがパイプ状となる。このパイプ状部分16bは、上下から力を受けると(荷重を受けると)、その軸心c1方向全長に亘って均等にかつ容易に撓むとともに上下方向に容易に撓む。このため、パイプ状部分16bの変位でもってその荷重を測定する場合、スリット14が無い場合に比べて圧縮力による変位量が大きくなり、感度が良くなる。
When the
このようなスリット14を形成したプレート10において、上下の受圧面11、12に荷重をかけて、円形孔13の軸心内周側(in)、同中央部(mid)、同外周側(out)の上下間(Z方向)及び左右間(Y方向)の径変化を応力解析により求めた。その荷重(横軸:kN)と変形量(縦軸:nm)の関係を図3に示す。また、前記プレート10において、スリット14を形成しないものにおいても同様な解析を行い、その結果を図3に示し、同図において、(a)はZ方向、(b)はY方向のそれぞれ関係図である。
In the
この解析結果から、スリット14を形成すれば、パイプ状部分16bの内周側、中央部、外周側における変位量の差が小さくなるとともに、Z方向の変位量が大きくなる一方、Y方向の変位量が小さくなっていることが理解できる。このことから、スリット14を形成すれば、パイプ状部分16bが容易に変形して、荷重Pに対する感度及び精度が向上することが理解できる。
From this analysis result, if the
以上の試験結果に基づき、図1に示すように、円形孔13に静電容量検出用プローブ20を設けて静電容量型荷重計Gを得る。そのプローブ20は、特許文献1記載のものでも良いが、図1に示すものとすることができる。このプローブ20は、プレート10と同一材からなる円筒体21の表面に絶縁層を介して銀ペースト等の金属からなる一方の電極を形成し、その両端部にOリング24等のシール材を嵌め、そのシール材間に窒素ガス等を封入して防錆を行い、後端に取付片25を固定したものである。プレート10と円筒体21を同一材で構成すれば、温度変化による測定誤差を極力抑えることができる。
Based on the above test results, a capacitance type load meter G is obtained by providing a
取付片25は、その上端部にねじ26を通し、そのねじ26をねじ孔26aにねじ込むことによってプレート10に固定し、取付片25の下端部の孔27をプレート10のピン28に上下左右に動き得るように嵌める(バカ孔27にピン28を嵌める)。このとき、円形孔13と円筒体21の軸心は一致させる。この取付態様は、プレート10が上下方向の荷重Pを受けても、プローブ20にはその荷重が殆ど加わらないため、ねじ26を弛めることによって、負荷状態においてもブローブ20を取り替えることができる。
なお、このプローブ20の取付態様は、スリット14を設けない、例えば、特許文献1の取付態様等においても採用でき、また、そのプローブは、静電容量型以外でも良い。
The mounting
In addition, the attachment aspect of this
円形孔13の内面には、従来と同様に、前記プローブ20に形成された一の電極に対向するように他の電極を形成する。この他の電極は、円形孔13の内面を研磨して形成しても良いが、プローブ20に形成された電極と同様に、金属ペーストを塗布して形成しても良い。
このように、パイプ状部分16bの内面とプローブ20外面に対向する対の電極が位置することによって、プレート10の受圧面11、12に荷重がかかると、円形孔13外周のパイプ状部分16bが上下左右方向に変形(変位)し、前記両電極間の静電容量が変化する。その変化を、従来と同様に、リード線29等を介して電気的に外部のIC等からなる検出器に導き、その検出器において、静電容量変化測定値を、前もって測定したプレート10への荷重と静電容量の変形量の関係を示すデータベースとの比較によって測定(算出)する。
Another electrode is formed on the inner surface of the
As described above, when the pair of electrodes facing the inner surface of the pipe-shaped
この実施例において、スリット14の長さ(角度θ)、同幅t等は、実験などによって適宜に決定する。スリット14の形状は、この発明の作用効果を発揮し得る限りにおいて任意であり、例えば、弧状ではなく、上下方向の直線状としても良く(図4(c)参照)、円形孔13の軸心c1に対して上下対称であったり(同図(a)〜(d)参照)、その幅も変化したりしても良い(同図(a)、(b)参照)。さらに、左右のスリット14のどちらか一方のみとしたり(同図(d)参照)、左右が対称で上下を非対称としたり(同図(e)参照)、上下が対称で左右を非対称としたりとすることができる。また、円形孔13の内周面とスリット14の内周面の間隙は上下方向で異なっても良い(同図(b)、同(c)参照)。
いずれの態様においても、プローブ20の電極はパイプ状部分16bに対向させる。
In this embodiment, the length (angle θ), the same width t, etc. of the
In either embodiment, the electrode of the
前記実施例は、グランドアンカー工法における緊張材の他端側固定部に設置されるものであったが、この発明の荷重計は、他の種々の態様における荷重を測定する場所に採用し得ることは勿論である。
また、この発明は、受圧面を有するプレートにおいて、その受圧面への荷重をプレート内に形成したパイプ状部分16bの変位として捉え、その変位の測定でもって前記荷重を測定し得るものであるため、そのパイプ状部分16bの変位を捉え得る変位計であれば、静電容量型センサに限らず、他の変位計、例えば、電気抵抗歪みセンサ、レーザ式変位センサ等を採用できる。
Although the said Example was installed in the other end side fixing | fixed part of the tension material in a grand anchor construction method, the load meter of this invention can be employ | adopted as a place which measures the load in another various aspect. Of course.
Further, according to the present invention, in a plate having a pressure receiving surface, a load on the pressure receiving surface can be regarded as a displacement of the pipe-
このように、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。この発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 Thus, it should be thought that embodiment disclosed this time is an illustration and restrictive at no points. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.
10 プレート
11 、12 受圧面
13 円形孔
14 スリット
15 孔
16a 連結部分
16b パイプ状部分
20 静電容量検出用プローブ
21 静電容量検出用プローブの円筒体
24 円筒体に嵌めるOリング
25 円筒体取付片
26 プローブ取付ねじ
26a ねじ孔
27 孔
28 ピン
DESCRIPTION OF
Claims (7)
前記環状のプレートを径方向に貫通する断面円形又は断面正多角形の透孔と、
前記透孔内に設けられ、その透孔の内周面の一の電極と、その一の電極に間隙をおいて対向する他の電極との間の静電容量変化を検出する静電容量検出用プローブと、を有する荷重計であって、
前記透孔の周りに沿うスリットを、そのスリットによって切り離されたプレートの透孔側部分と、その透孔側部分に対してスリットを挟んで対向する部分とがそれぞれ前記荷重を受けるように形成した荷重計。 An annular plate having two parallel pressure receiving surface for receiving the load in the vertical direction up and down,
Cross-sectional circular or regular polygonal through- holes that penetrate the annular plate in the radial direction ;
Provided in said through hole, and the one electrode of the inner peripheral surface of the through hole, the electrostatic capacitance detection for detecting a change in capacitance between the other electrode facing at a gap on one of the electrodes thereof A load meter having a probe ,
A slit along the periphery of the through hole is formed so that a through hole side portion of the plate cut by the slit and a portion facing the through hole side portion across the slit receive the load, respectively . Load cell .
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