JP6270921B2

JP6270921B2 - Cutting device with blade dressing mechanism

Info

Publication number: JP6270921B2
Application number: JP2016127240A
Authority: JP
Inventors: 俊紀大槻; 渡辺　勝行; 勝行渡辺; 片岡　光宗; 光宗片岡
Original assignee: Read Co Ltd
Current assignee: Read Co Ltd
Priority date: 2016-06-28
Filing date: 2016-06-28
Publication date: 2018-01-31
Anticipated expiration: 2036-06-28
Also published as: JP2016215369A; WO2018003429A1; PH12018502694A1; TW201808535A; KR20190022572A; KR102047717B1; MY176705A; CN109414800A; TWI633973B; CN109414800B; PH12018502694B1

Description

本発明は、ワーク切削用のブレードをドレッシングするためのドレッシング機構を備えた切削装置に関するものである。 The present invention relates to a cutting apparatus provided with a dressing mechanism for dressing a blade for cutting a workpiece.

従来から、半導体ウエハや電子部品材料等のワークに対してダイシングや溝入れ等の切削加工を施すために、ワーク切削用のブレードを備えた切削装置が用いられている。そして、このような切削装置としては、前記ブレードが、基材の外周面を含む外周縁に砥粒を固着することにより形成された刃部を有していて、該ブレードを、ワーク搬送テーブルに載置されたワークに対し、その回転軸周りに高速に回転させながら接触させることで、該ブレードの刃部即ち砥粒層の表面から露出する砥粒が切刃となり、該ワークに所定の切削加工が施されるものが知られている。 2. Description of the Related Art Conventionally, in order to perform cutting processing such as dicing and grooving on a workpiece such as a semiconductor wafer or an electronic component material, a cutting apparatus provided with a workpiece cutting blade has been used. As such a cutting apparatus, the blade has a blade portion formed by adhering abrasive grains to the outer peripheral edge including the outer peripheral surface of the substrate, and the blade is used as a work transfer table. By contacting the mounted workpiece while rotating it at high speed around its rotation axis, the abrasive grains exposed from the blade portion of the blade, that is, the surface of the abrasive layer become a cutting blade, and the workpiece is subjected to predetermined cutting. What is processed is known.

ところで、前記切削装置においては、ワークの切削加工を繰り返し行うと、ワークから生ずる切削屑がブレードの砥粒層表面の砥粒間に堆積して目詰まりを起したり、また切刃となる砥粒自体も摩耗してその先端が丸められたりするため、ブレードの切れ味が次第に鈍くなって切削性能が低下してしまう。そこで、例えば、特許文献１に記載の切削装置においては、ドレステーブル上にボード形状のドレッサが設けられていて、このドレッサをブレードの刃部で切り込んで該刃部のドレッシング（目立て）を行うことにより、砥粒層表面の砥粒間の目詰まりを解消したり、或いは、先端が摩耗した砥粒を脱粒させて新たな砥粒を創出させたりするようになっている。 By the way, in the cutting apparatus, when the workpiece is repeatedly cut, the cutting waste generated from the workpiece accumulates between the abrasive grains on the surface of the abrasive layer of the blade to cause clogging, and also serves as a cutting blade. Since the grains themselves are also worn and their tips are rounded, the sharpness of the blade gradually becomes dull and the cutting performance deteriorates. Therefore, for example, in the cutting apparatus described in Patent Document 1, a dresser having a board shape is provided on the dress table, and the dresser is dressed (sharpened) by cutting the dresser with the blade portion of the blade. Thus, clogging between the abrasive grains on the surface of the abrasive grain layer is eliminated, or new abrasive grains are created by degreasing the abrasive grains with worn tips.

しかしながら、この特許文献１に記載のものでは、前記ドレッサがドレステーブル上に搭載されていることから、該ドレステーブルを、ドレッサでブレードをドレッシングするドレス位置と、ドレッサをブレードから離間させる退避位置との間で変位させる必要性がある。そのため、このようなドレステーブルの移動用スペースを切削装置に確保しおかなければならず、該装置の大型化を招いてしまう。 However, since the dresser is mounted on a dress table in the one described in Patent Document 1, the dress table is dressed with a dressing position where the blade is dressed with a dresser, and a retracted position where the dresser is separated from the blade. There is a need to displace between. Therefore, such a space for moving the dress table must be secured in the cutting device, which leads to an increase in the size of the device.

特開２００６−１５９３３４号公報JP 2006-159334 A

そこで、本発明の技術的課題は、ワーク切削用ブレードのドレッシングを省スペースにて実現することが可能なドレッシング機構、そのようなドレッシング機構を備えた切削装置、及び該ドレッシング機構を用いたブレードのドレッシング方法を提供することにある。 Therefore, the technical problem of the present invention is to provide a dressing mechanism capable of realizing dressing of a workpiece cutting blade in a space-saving manner, a cutting apparatus equipped with such a dressing mechanism, and a blade using the dressing mechanism. It is to provide a dressing method.

上記課題を解決するため、本発明に係る切削装置は、第１軸周りの外周面を含む外周縁に刃部が形成されて該第１軸周りに回転駆動される円盤状のブレードと、前記第１軸に対して直角方向に相対的に送られるテーブルと、前記ブレードの刃部をドレッシングするドレッシング機構とを有し、該ドレッシング機構は、前記第１軸と平行を成す第２軸周りに回転自在に支持されたドレッサと、該ドレッサを前記第２軸周りに回転駆動させるドレッサ駆動部とを有し、前記ドレッサは、前記第２軸周りに外周面を有していて、該ドレッサの外周面には、ブレードの外周面と対向させたとき前記刃部に摺接することにより、該刃部をドレッシングするドレス領域と、該ブレードの外周面と空隙を介して非接触状態にする凹状の逃げ領域とが、その周方向に沿って設けられており、前記ブレードの第１軸とドレッサの第２軸とは、前記ドレッサのドレス領域に前記ブレードの刃部が摺接される距離が保持され、前記ドレッサ駆動部でこのドレッサを回動させることにより、前記ブレードの外周面に対してドレス領域及び逃げ領域を選択的に対向可能であって、ドレス領域を前記ブレードの外周面に対向させたときに前記刃部のドレッシングを実行し、前記逃げ領域を前記ブレードの外周面に対向させたときに前記刃部のドレッシングを停止するように構成されており、ワーク加工時には、前記ドレッサのドレス領域をブレードの外周面に対向させた状態で、テーブルをこれらブレード及びドレッサに対して前記送り方向に送ることにより、回転するブレードの刃部で該テーブルのワークを切削しながら、該刃部を常時ドレッシングするように前記ドレッサの回転速度が制御され、ワークの非加工時には、ドレッサの逃げ領域をブレードの外周面に対向させた状態とし、前記刃部のドレッシングを停止することを特徴とする。 In order to solve the above problems, a cutting device according to the present invention includes a disk-shaped blade having a blade portion formed on an outer peripheral edge including an outer peripheral surface around a first axis and driven to rotate around the first axis; A table that is fed relative to the first axis in a direction perpendicular to the first axis; and a dressing mechanism that dresses the blade portion of the blade, the dressing mechanism around a second axis that is parallel to the first axis. A dresser that is rotatably supported; and a dresser driving unit that rotationally drives the dresser around the second axis. The dresser has an outer peripheral surface around the second axis. The outer peripheral surface has a concave shape that makes a non-contact state through a gap between the dressing area for dressing the blade portion and the outer peripheral surface of the blade through a gap by sliding contact with the blade portion when facing the outer peripheral surface of the blade. The escape area Are provided along the direction, the second axis of the first shaft and the dresser of the blades, the distance the blade portion of the blade is in sliding contact with the dress areas of the dresser is held in the dresser drive unit By rotating this dresser, the dress region and the relief region can be selectively opposed to the outer peripheral surface of the blade, and when the dress region is opposed to the outer peripheral surface of the blade, When dressing is performed, the dressing of the blade portion is stopped when the relief area is opposed to the outer peripheral surface of the blade, and the dressing area of the dresser is set to the outer peripheral surface of the blade during workpiece processing. With the table facing each other, the table is sent to the blade and the dresser in the feeding direction, so that the workpiece of the table is cut by the blade of the rotating blade. While, the rotation speed of the dresser is controlled to constantly dressing the cutting edge portion, at the time of non-machining of the workpiece, the state of being opposed to relief region of the dresser on the outer peripheral surface of the blade, stopping dressing of said blade section It is characterized by doing.

このとき、好ましくは、前記ドレッサの外周面の１周が、円弧面から成る１つの前記ドレス領域と、１つの前記逃げ領域とから構成されていて、前記逃げ部が、前記ドレッサの第２軸方向の全長に亘って延びる溝状に形成されており、前記ドレッサの第２軸を中心とするドレス領域の角度範囲が逃げ領域の角度範囲よりも大きく形成されている。
また、好ましくは、前記ドレッサ駆動部は、前記ドレッサを第２軸周りに回動させる回転駆動部と、該ドレッサを水平方向において、第２軸と直角方向及び平行方向にそれぞれ変位させる直線駆動部とから構成されている、
さらに、切削装置は、前記ドレッサ及びドレッサ駆動部を装着した支持フレームをさらに有し、この支持フレームにより、前記ドレッサが前記第２軸周りに回転自在に支持されていることでもよい。 In this case, it is preferable that one circumference of the outer peripheral surface of the dresser is constituted by one dress region formed by an arc surface and one escape region, and the escape portion is a second shaft of the dresser . It is formed in a groove shape extending over the entire length in the direction, and the angle range of the dress region around the second axis of the dresser is formed larger than the angle range of the relief region.
In a preferred embodiment, the dresser drive unit includes a rotary drive unit for rotating said dresser about a second axis, in a horizontal direction the dresser, the linear drive for displacing the respective second axis perpendicular and parallel directions Composed of
Further, the cutting device may further include a support frame on which the dresser and the dresser driving unit are mounted, and the dresser may be supported by the support frame so as to be rotatable around the second axis.

以上のように、本発明においては、ドレッサの外周面に、ブレードの外周面と対向させたときに、該ブレードの刃部に摺接させるためのドレス領域と、該ブレードの外周面と空隙を介して非接触状態にするための凹状の逃げ領域とが、その周方向に沿って設けられており、ドレッサ駆動部で前記ドレッサを軸周りに回動させることにより、上記ドレス領域によるドレッシング状態と逃げ領域による非ドレッシング状態とを選択的に切り換えることができるように構成されている。そのため、本発明によれば、ワーク切削用ブレードのドレッシングを省スペースにて実現することが可能となり、切削装置の大型化を抑制することが可能となる。 As described above, in the present invention, when the dresser is opposed to the outer peripheral surface of the blade on the outer peripheral surface of the dresser, the dress region for sliding contact with the blade portion of the blade, and the outer peripheral surface of the blade and the gap are provided. A concave relief region for making a non-contact state through the circumferential direction, and by rotating the dresser around an axis by a dresser driving unit, a dressing state by the dress region The non-dressing state due to the escape region can be selectively switched. Therefore, according to the present invention, dressing of the workpiece cutting blade can be realized in a space-saving manner, and an increase in size of the cutting apparatus can be suppressed.

本発明に係るドレッシング機構を備えた切削装置の一実施形態を示すものであって、ワーク切削前の状態を模式的に示す拡大側面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is an enlarged side view schematically showing a state before cutting a workpiece, showing an embodiment of a cutting apparatus provided with a dressing mechanism according to the present invention. 前記切削装置においてワーク切削開始直後の状態を模式的に示す拡大側面図である。It is an enlarged side view which shows typically the state immediately after a workpiece | work cutting in the said cutting device. 前記切削装置においてワーク切削途中の状態を模式的に示す拡大側面図である。It is an enlarged side view which shows typically the state in the middle of workpiece | work cutting in the said cutting device. 前記切削装置においてワーク切削終了時の状態を模式的に示す拡大側面図である。It is an enlarged side view which shows typically the state at the time of completion | finish of workpiece | work cutting in the said cutting device. 前記切削装置におけるドレッシング機構を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically the dressing mechanism in the said cutting device.

以下に、図１−図５を用いて、本発明に係るドレッシング機構を備えた切削装置１の一実施形態について詳細に説明する。本実施形態の切削装置１は、半導体ウエハ等のワークＷを搭載するためのワーク搬送テーブル２と、第１軸Ｌ１周りに外周刃としての刃部３ａを有する円盤状のブレード３とから構成されている。そして、該ブレード３をその軸Ｌ１周りに回転させることにより、その刃部３ａで前記テーブル２上のワークＷを切削することができるようになっている。 Below, one Embodiment of the cutting device 1 provided with the dressing mechanism which concerns on this invention is described in detail using FIGS. 1-5. The cutting apparatus 1 according to the present embodiment includes a workpiece transfer table 2 for mounting a workpiece W such as a semiconductor wafer, and a disk-shaped blade 3 having a blade portion 3a as an outer peripheral blade around a first axis L1. ing. Then, by rotating the blade 3 around its axis L1, the workpiece W on the table 2 can be cut by the blade portion 3a.

また、前記切削装置１は、前記ブレード３の刃部３ａをドレッシング（目立て）するためのドレッサ１０を備えたドレッシング機構２０を更に有している。そして、該ドレッシング機構２０のドレッサ１０を前記ブレード３の刃部３ａに摺接させることにより、該刃部３ａの目詰まりを解消したり、傷んだ該刃部３ａを自発的に創生したりすることができるようになっている。なお、この切削装置１としては、例えば、半導体ウエハ等のワークＷを切削して個々のペレットに分割するダイシング装置等が挙げられる。 The cutting device 1 further includes a dressing mechanism 20 including a dresser 10 for dressing (sharpening) the blade portion 3a of the blade 3. Then, the dresser 10 of the dressing mechanism 20 is brought into sliding contact with the blade portion 3a of the blade 3 to eliminate clogging of the blade portion 3a or to spontaneously create the damaged blade portion 3a. Can be done. Examples of the cutting device 1 include a dicing device that cuts a workpiece W such as a semiconductor wafer and divides the workpiece into individual pellets.

前記ワーク搬送テーブル２は、図１−図４に示すように、水平方向におけるＸ軸方向（図において左右方向）に、図示しない駆動部により直線的に往復移動可能な板状体を成している。このテーブル２にワークＷを搭載する際には、該テーブル２の上面に設けられたワーク搭載面２ａに前記ワークＷを載せて、適宜の方法で固定する。このワーク搭載面２ａへのワークＷの固定方法については、例えば、真空吸着によるものでもよいし、或いは、固定用の冶具を用いて固定してもよく、接着剤等で接着して固定してもよい。 As shown in FIGS. 1 to 4, the work transfer table 2 forms a plate-like body that can be reciprocated linearly by a drive unit (not shown) in the X-axis direction (horizontal direction in the drawing) in the horizontal direction. Yes. When the work W is mounted on the table 2, the work W is placed on the work mounting surface 2a provided on the upper surface of the table 2 and fixed by an appropriate method. The method of fixing the workpiece W to the workpiece mounting surface 2a may be, for example, by vacuum suction, or may be fixed using a fixing jig, and bonded and fixed with an adhesive or the like. Also good.

前記ブレード３は、例えば、ステンレス鋼やアルミニウム等の金属から成る薄い円盤状の基板３ｂにおける外周面を含む外周縁に、前記刃部３ａを形成したものである。より具体的には、該刃部３ａは、前記基板３ｂにおける、軸Ｌ１周りの外周面と該外周面を挟んで軸Ｌ１に直交する両側面の外周部とから成る外周縁に、例えば、ダイヤモンドやｃＢＮ（立方晶窒化ホウ素）等から成る砥粒（好ましくは、微細な超砥粒）を、レジンボンドやメッキ金属などのメタルボンド等の適宜のボンド材で固着することにより形成されている。 The blade 3 is formed by forming the blade portion 3a on the outer peripheral edge including the outer peripheral surface of a thin disk-shaped substrate 3b made of metal such as stainless steel or aluminum. More specifically, the blade 3a is formed on the outer periphery of the substrate 3b, which is composed of an outer peripheral surface around the axis L1 and outer peripheral portions on both side surfaces perpendicular to the axis L1 across the outer peripheral surface. And cBN (cubic boron nitride) or the like (preferably fine superabrasive grains) are fixed by an appropriate bond material such as resin bond or metal bond such as plated metal.

なお、図５に示すように、前記基板３ｂの中央部には、該基板の板厚方向に貫通する取付孔３ｃが設けられており、この取付孔３ｃに図示しないスピンドルの先端が着脱自在に取り付けられる。そして、図示しないモーター等の駆動部により前記スピンドルを回転させることで、前記ブレード３が、その軸Ｌ１周り（スピンドル軸周り）の所定の回転方向に所定の回転速度で回転するように構成されている。 As shown in FIG. 5, a mounting hole 3c that penetrates in the thickness direction of the substrate is provided at the center of the substrate 3b, and a tip of a spindle (not shown) is detachably attached to the mounting hole 3c. It is attached. The blade 3 is configured to rotate at a predetermined rotation speed in a predetermined rotation direction around the axis L1 (around the spindle axis) by rotating the spindle by a drive unit such as a motor (not shown). Yes.

次いで、本実施形態における前記ドレッシング機構２０について具体的に説明する。図５に示すように、このドレッシング機構２０は、前記ブレード３の刃部３ａに摺接させることにより該刃部をドレッシングするための前記ドレッサ１０と、該ドレッサ１０を駆動するためのドレッサ駆動部３０，４０，５０と、これらドレッサ１０及びドレッサ駆動部３０，４０，５０を装着した支持フレーム２１，２２，２３，２４とを有している。 Next, the dressing mechanism 20 in the present embodiment will be specifically described. As shown in FIG. 5, the dressing mechanism 20 includes the dresser 10 for dressing the blade portion by being brought into sliding contact with the blade portion 3 a of the blade 3, and a dresser driving unit for driving the dresser 10. 30, 40, 50, and support frames 21, 22, 23, 24 to which the dresser 10 and the dresser driving units 30, 40, 50 are mounted.

前記ドレッサ駆動部は、ドレッサ１０を、ブレード２の前記第１軸Ｌ１と平行を成す第２軸Ｌ２周りに回動させる回転駆動部５０と、ドレッサ１０を水平方向においてＸ軸方向（軸Ｌ２と直角方向）及びそれと直角を成すＹ軸方向（軸Ｌ２と平行方向）にそれぞれ往復変位させる第１直線駆動部３０及び第２直線駆動部４０とから構成されている。 The dresser driving unit includes a rotation driving unit 50 that rotates the dresser 10 about a second axis L2 that is parallel to the first axis L1 of the blade 2, and an X-axis direction (axis L2 and the axis L2) in the horizontal direction. And a first linear drive unit 30 and a second linear drive unit 40 that are reciprocally displaced in the Y-axis direction (direction parallel to the axis L2) perpendicular to the vertical direction.

また、上記支持フレームは、前記第１直線駆動部３０が搭載されていると共に、前記ワーク搬送テーブル２の上方に配置されて水平方向に延びる第１フレーム２１と、前記第２直線駆動部４０が搭載されていると共に、前記第１直線駆動部３０に連結されて第１フレーム２１に対してＸ軸方向に変位するＸ軸スライドテーブル２２と、前記第２直線駆動部４０に連結されてＸ軸スライドテーブル２２に対してＹ軸方向に変位するＹ軸スライドテーブル２３と、該Ｙ軸スライドテーブル２３に基端部（上端部）が固定されてＺ軸に沿って下方に延びた一対の第２フレーム２４，２４とを有している。 The support frame has the first linear drive unit 30 mounted thereon, the first frame 21 disposed above the work transfer table 2 and extending in the horizontal direction, and the second linear drive unit 40. An X-axis slide table 22 that is mounted and connected to the first linear drive unit 30 and is displaced in the X-axis direction with respect to the first frame 21, and an X-axis that is connected to the second linear drive unit 40. A Y-axis slide table 23 that is displaced in the Y-axis direction with respect to the slide table 22, and a pair of second shafts having a base end (upper end) fixed to the Y-axis slide table 23 and extending downward along the Z-axis Frames 24, 24.

そして、該一対の第２フレーム２４，２４の先端部（下端部）において、前記ドレッサ１０の軸Ｌ２方向の両側端が回転自在かつ着脱可能に支持されている。なお、該ドレッサ１０を回動させる前記回転駆動部５０は、後述するように、前記Ｙ軸スライドテーブル２３と第２フレーム２４とに跨って設けられている。さらに、前記第１フレーム２１は、Ｘ軸方向に延びて互いに平行を成す一対の対向プレート２１ａ，２１ａと、Ｙ軸方向に延びてこれら対向プレート２１ａ，２１ａ間を連結する連結プレート２１ｂとから一体に形成されている。そして、これら対向プレート２１ａ，２１ａのうちの一方に、前記第１直線駆動部３０が搭載されている。 And in the front-end | tip part (lower end part) of this pair of 2nd frames 24 and 24, the both ends of the axis | shaft L2 direction of the said dresser 10 are rotatably supported. The rotation driving unit 50 that rotates the dresser 10 is provided across the Y-axis slide table 23 and the second frame 24 as described later. Further, the first frame 21 is integrally formed by a pair of opposing plates 21a and 21a extending in the X-axis direction and parallel to each other, and a connecting plate 21b extending in the Y-axis direction and connecting the opposing plates 21a and 21a. Is formed. And the said 1st linear drive part 30 is mounted in one of these opposing plates 21a and 21a.

図５に示すように、前記第１直線駆動部３０は、前記第１フレーム２１の一方の対向プレート２１ａ上においてＸ軸方向に延設されたＸ軸ガイドベース３１と、該Ｘ軸ガイドベース３１の長手方向の一端に配されたＸ軸送り用のモーター３２とを有している。そして、該Ｘ軸ガイドベース３１上に、前記Ｘ軸スライドテーブル２２の長手方向（Ｙ軸方向）の一端側がＸ軸方向に往復動可能に支持されている。 As shown in FIG. 5, the first linear drive unit 30 includes an X-axis guide base 31 extending in the X-axis direction on one opposing plate 21 a of the first frame 21, and the X-axis guide base 31. And an X-axis feed motor 32 disposed at one end in the longitudinal direction. On the X-axis guide base 31, one end side in the longitudinal direction (Y-axis direction) of the X-axis slide table 22 is supported so as to be reciprocable in the X-axis direction.

本実施形態において、この第１直線駆動部３０は、例えば、該モーター３２とＸ軸ガイドベース３１内部に設けられたボールスクリュー（図示略）とによるボールねじ機構等によって構成することができる。その場合、前記Ｘ軸スライドテーブル２２に連結された移動子（図示略）を、Ｘ軸ガイドベース３１上に開設された長溝３１ａを通じて内部のボールスクリューに螺合させることにより、前記モーター３２の回転駆動力で前記Ｘ軸スライドテーブル２２をＸ軸方向に往復動させて変位させることができる。なお、前記一対の対向プレート２１ａ，２１ａのうち他方のフレーム２１ａ上には、ガイドレール３３がＸ軸方向に延設されており、前記Ｘ軸スライドテーブル２２の長手方向の他端側が、該ガイドレール２２によって摺動自在にガイドされている。 In the present embodiment, the first linear drive unit 30 can be configured by, for example, a ball screw mechanism including a motor 32 and a ball screw (not shown) provided inside the X-axis guide base 31. In that case, a rotor (not shown) connected to the X-axis slide table 22 is screwed into an internal ball screw through a long groove 31 a formed on the X-axis guide base 31 to rotate the motor 32. The X-axis slide table 22 can be displaced by reciprocating in the X-axis direction with a driving force. Note that a guide rail 33 extends in the X-axis direction on the other frame 21a of the pair of opposing plates 21a, 21a, and the other end side in the longitudinal direction of the X-axis slide table 22 is the guide rail. The rail 22 is slidably guided.

また、前記第２直線駆動部４０は、前記Ｘ軸スライドテーブル２２上においてＹ軸方向に延設されたＹ軸ガイドベース４１と、該Ｙ軸ガイドベース４１の長手方向の一端に配されたＹ軸送り用のモーター４２とを有している。そして。該Ｙ軸ガイドベース４１上に、前記Ｙ軸スライドテーブル２３がＹ軸方向に往復動可能に支持されている。 The second linear drive unit 40 includes a Y-axis guide base 41 extending in the Y-axis direction on the X-axis slide table 22 and a Y-axis disposed at one end in the longitudinal direction of the Y-axis guide base 41. And an axial feed motor 42. And then. The Y-axis slide table 23 is supported on the Y-axis guide base 41 so as to be able to reciprocate in the Y-axis direction.

この第２直線駆動部４０も、前記第１直線駆動部３０と同様に、ボールねじ機構によって構成することができる。その場合、前記Ｘ軸ガイドベース３１と同様に、前記Ｙ軸スライドテーブル２３に連結された移動子（図示略）を、Ｙ軸ガイドベース４１上に開設された長溝４１ａを通じて内部のボールスクリューに螺合させることにより、前記モーター４２の回転駆動力で前記Ｙ軸スライドテーブル２３をＹ軸方向に往復動させて変位させることができる。 Similarly to the first linear drive unit 30, the second linear drive unit 40 can also be configured by a ball screw mechanism. In this case, similarly to the X-axis guide base 31, a slider (not shown) connected to the Y-axis slide table 23 is screwed into an internal ball screw through a long groove 41a formed on the Y-axis guide base 41. By combining, the Y-axis slide table 23 can be reciprocated in the Y-axis direction and displaced by the rotational driving force of the motor 42.

一方、前記回転駆動部５０は、前記Ｙ軸スライドテーブル２３上に配置されたモーター５１と、該モーター５１の回転駆動力を、該Ｙ軸スライドテーブル２３から垂下する前記第２フレーム２４，２４によって回動自在に支持されたドレッサ１０に伝達するための動力伝達機構とを有している。本実施形態において、該動力伝達機構は、モーター５１のモーター軸に取り付けられた上方プーリ５２と、前記ドレッサ１０の支軸に取り付けられた下方プーリ５３と、これら一対のプーリに掛け渡された環状ベルト５４とから構成されている。そして、前記モーター５１を回転制御することにより、その回転駆動力が上方プーリ５２からベルト５４を通じて下方プーリ５３に伝達され、前記ドレッサ１０をその軸Ｌ２周りに、任意の回転方向に任意の速度で回動させたり、任意の角度位置で停止させたりすることができるようになっている。 On the other hand, the rotational drive unit 50 is provided by a motor 51 disposed on the Y-axis slide table 23 and the second frames 24 and 24 that suspend the rotational drive force of the motor 51 from the Y-axis slide table 23. A power transmission mechanism for transmitting to the dresser 10 that is rotatably supported. In the present embodiment, the power transmission mechanism includes an upper pulley 52 attached to the motor shaft of the motor 51, a lower pulley 53 attached to the support shaft of the dresser 10, and an annular shape spanned between the pair of pulleys. Belt 54. Then, by controlling the rotation of the motor 51, the rotational driving force is transmitted from the upper pulley 52 to the lower pulley 53 through the belt 54, and the dresser 10 is rotated around the axis L2 at an arbitrary speed in an arbitrary rotational direction. It can be rotated or stopped at any angular position.

このように、前記ドレッサ駆動部によれば、前記ドレッサ１０を、第１直線駆動部３０及び第２直線駆動部４０により、水平方向において、Ｘ軸方向（軸Ｌ２と直角方向）及びＹ軸方向（軸Ｌ２と平行方向）の２軸方向に直線的に移動させて任意の位置に変位させ、その位置で、回転駆動部５０により軸Ｌ２周りに回動制御することができるようになっている。 Thus, according to the dresser driving unit, the dresser 10 is moved in the X-axis direction (perpendicular to the axis L2) and the Y-axis direction in the horizontal direction by the first linear driving unit 30 and the second linear driving unit 40. It is linearly moved in two axial directions (parallel to the axis L2) and displaced to an arbitrary position, and at that position, it can be controlled to rotate around the axis L2 by the rotation drive unit 50. .

図１−図５に示すように、前記ドレッサ１０は、軸Ｌ２周りに外周面１１を有するロータリードレッサであって、このドレッサ１０のＹ軸方向に延びる軸Ｌ２と前記ブレード３の軸Ｌ１とは、互いに平行を成して略水平方向に並んでおり、そのため、これらドレッサ１０とブレード３とはＸ軸方向に横並びに配置されている。前記ドレッサ１０は、多数の砥粒をボンド材で結合して成るドレス材で一体に形成されたもので、その外周面１１に、前記ブレード３の外周面を対向させてその刃部３ａを摺接させることにより、該刃部３ａをドレッシングすることができるようになっている。 As shown in FIGS. 1 to 5, the dresser 10 is a rotary dresser having an outer peripheral surface 11 around the axis L 2, and the axis L 2 extending in the Y-axis direction of the dresser 10 and the axis L 1 of the blade 3 are The blades 3 and the blades 3 are arranged side by side in the X-axis direction. The dresser 10 is integrally formed of a dress material formed by bonding a large number of abrasive grains with a bonding material, and the blade portion 3a is slid by making the outer peripheral surface of the blade 3 face the outer peripheral surface 11 thereof. By making contact, the blade portion 3a can be dressed.

前記砥粒としては、例えばホワイトアランダムやグリーンカーボランダム等を用いることができ、前記ボンド材としては、例えばレジンボンド、ビトリファイドボンド、メタルボンド等の適宜のボンド材を用いることができる。なお、このドレッサ１０は、必ずしも本実施形態のようにドレス材で一体成形したものである必要性はなく、後述するドレス領域１２に一定の深さのドレス材層を形成したものであってもよい。 As said abrasive grain, white alundum, green carborundum, etc. can be used, for example, As said bond material, appropriate bond materials, such as a resin bond, a vitrified bond, a metal bond, can be used, for example. The dresser 10 does not necessarily need to be integrally formed with a dressing material as in the present embodiment, and may be a dressing material layer having a certain depth formed in a dressing region 12 to be described later. Good.

また、前記ドレッサ１０の外周面１１には、前記ブレード３の外周面と対向させたときに、該ブレード３の刃部３ａに摺接させて該刃部３ａをドレッシングするためのドレス領域１２と、該ブレード３の外周面と空隙を介して非接触状態とするための凹状の逃げ領域１３とが、その周方向に沿って形成されている。これらドレス領域１２と逃げ領域１３とは前記外周面１１の周方向において連なっており、該外周面の軸Ｌ２周りの１周は、円弧面から成る１つのドレス領域１２と、該軸Ｌ２方向の全長に亘って延びた溝から成る１つの逃げ領域とから構成されている。 A dressing region 12 for dressing the blade portion 3a by being brought into sliding contact with the blade portion 3a of the blade 3 when the dresser 10 is opposed to the outer peripheral surface of the blade 3 A concave relief area 13 is formed along the circumferential direction of the blade 3 so as to be in a non-contact state via a gap. The dress region 12 and the relief region 13 are continuous in the circumferential direction of the outer peripheral surface 11, and one circumference around the axis L 2 of the outer peripheral surface has one dress region 12 formed of an arc surface and the direction of the axis L 2. It is composed of one relief region consisting of a groove extending over the entire length.

このとき、軸Ｌ２を中心とする前記ドレス領域１２の角度範囲は、前記逃げ領域１３の角度範囲よりも大きく形成されている。すなわち、前記ドレス領域１２の角度範囲は鈍角となっており、前記逃げ領域１３の角度範囲は鋭角となっている。なお、この逃げ領域１３において、溝底１３ａは回転軸Ｌ２を中心としてドレス部１２の円弧面と同心円状の円弧面に形成されており、また、一対の側壁１３ｂはドレッサ１０の半径方向に沿って放射状に形成されている。 At this time, the angle range of the dress region 12 around the axis L2 is formed larger than the angle range of the escape region 13. That is, the angular range of the dress region 12 is an obtuse angle, and the angular range of the escape region 13 is an acute angle. In the escape region 13, the groove bottom 13 a is formed in an arc surface concentric with the arc surface of the dress portion 12 with the rotation axis L 2 as the center, and the pair of side walls 13 b extends along the radial direction of the dresser 10. Are formed radially.

そして、前記ドレッサ１０の軸Ｌ２とブレード３の軸Ｌ１とは、該ドレッサ１０のドレス領域１２をブレード３の外周面と対向させたときには前記刃部３ａが該ドレス領域１２に摺接され、逃げ領域１３を同じく対向させたときには前記刃部３ａがブレード３の外周面と空隙を介して非接触状態となるような所定の距離を保持して、互いに平行に配置されている。さらに、ドレッシング時における該ドレッサ１０の回動速度は、テーブル２の送り速度等を考慮して、切削加工中に常にドレス領域にブレード３の刃部３ａが摺接されるように、ブレード３の回転速度よりも十分に小さく設定される。 The axis L2 of the dresser 10 and the axis L1 of the blade 3 are such that when the dressing region 12 of the dresser 10 is opposed to the outer peripheral surface of the blade 3, the blade portion 3a is slidably contacted with the dressing region 12 and escapes. When the regions 13 are also made to face each other, the blade portions 3a are arranged in parallel to each other while maintaining a predetermined distance so as to be in a non-contact state with the outer peripheral surface of the blade 3 through a gap. Further, the rotational speed of the dresser 10 at the time of dressing is such that the blade portion 3a of the blade 3 is always in sliding contact with the dressing area during the cutting process in consideration of the feed speed of the table 2 and the like. It is set sufficiently smaller than the rotation speed.

そのため、ドレッサ１０のドレス領域１２がブレード３の外周面に対向しているときには、該ブレード３の刃部３ａが、該ドレス領域１２のドレス材に切り込んで、該刃部３ａのドレッシングが実行される（図２及び図３）。その一方で、逃げ領域１３がブレードの外周面に対向しているときには、該ブレードの刃部３ａが、該逃げ領域１３におけるドレッサ１０の外周面（すなわち、溝底１３ａ及び一対の側壁１３ｂ）と空隙を介して非接触状態となり、該刃部３ａのドレッシングが停止（回避）される（図１及び図４）。 Therefore, when the dressing region 12 of the dresser 10 faces the outer peripheral surface of the blade 3, the blade 3a of the blade 3 cuts into the dressing material of the dressing region 12, and the dressing of the blade 3a is executed. (FIGS. 2 and 3). On the other hand, when the escape region 13 faces the outer peripheral surface of the blade, the blade portion 3a of the blade is in contact with the outer peripheral surface of the dresser 10 in the escape region 13 (that is, the groove bottom 13a and the pair of side walls 13b). It becomes a non-contact state via a space | gap, and the dressing of this blade part 3a is stopped (avoidance) (FIG.1 and FIG.4).

ここで、前記ドレッサ１０における逃げ領域１３の角度範囲すなわち溝底１３ａの周方向長さや、溝深さすなわち側壁１３ｂの径方向長さは、ドレッサ１０とブレード３との軸Ｌ１，Ｌ２間距離、或いは、該ドレッサ１０及びブレード３の直径等に応じて適宜設定される。また、本実施形態においては、ドレッサ１０におけるドレス領域１２の径がブレード３の径よりも小径に形成されているため、ドレッサ１０の軸Ｌ２がブレード３の軸Ｌ１と水平方向に並設されていても、ワークＷの切削加工時に、ブレード３がワークＷに該ドレッサ１０がその真下を通過するワークＷと接触することがない。 Here, the angular range of the relief region 13 in the dresser 10, that is, the circumferential length of the groove bottom 13 a, and the groove depth, that is, the radial length of the side wall 13 b, are the distance between the axes L 1 and L 2 between the dresser 10 and the blade 3, Or it sets suitably according to the diameter etc. of this dresser 10 and the braid | blade 3. FIG. In this embodiment, since the diameter of the dressing region 12 in the dresser 10 is smaller than the diameter of the blade 3, the axis L2 of the dresser 10 is arranged in parallel with the axis L1 of the blade 3. However, when the workpiece W is cut, the blade 3 does not contact the workpiece W with the workpiece W passing through the dresser 10 immediately below the workpiece W.

このように、本実施形態においては、前記回転駆動部５０で前記ドレッサ１０を軸Ｌ２周りに回動させることにより、上記ドレス領域１２によるブレード３のドレッシング状態と、逃げ領域１３によるブレード３の非ドレッシング状態とを選択的に切り換えることができるようになっている。そのため、ブレード３のドレッシングを省スペースにて実現することが可能となり、切削装置１の大型化を抑制することが可能となる。 As described above, in the present embodiment, the dressing state of the blade 3 by the dress region 12 and the non-deflection of the blade 3 by the escape region 13 by rotating the dresser 10 about the axis L2 by the rotation driving unit 50. The dressing state can be selectively switched. Therefore, the dressing of the blade 3 can be realized in a space-saving manner, and the enlargement of the cutting device 1 can be suppressed.

次に、図１−図４に基づいて、切削装置１における前記ブレード３によるワークＷの切削動作、及び前記ドレッサ１０による該ブレード３のドレッシング動作について具体的に説明する。
先ず、板状のワークＷをワーク搬送テーブル２のワーク搭載面２ａ上に搭載し、ブレード３の回転数とその回転方向、ワーク搬送テーブル２のＸ軸方向への送り速度や送り量等を適宜設定する。また、このとき、ドレッサ１０に対するブレード３の切り込み量や、ドレッサ１０の回転軸Ｌ２方向における切り込み位置等を調整する為に、前記第１及び第２直線駆動部３０，４０により、該ドレッサ１０のＸ軸及びＹ軸方向における位置調整が行われる。 Next, the cutting operation of the workpiece W by the blade 3 and the dressing operation of the blade 3 by the dresser 10 in the cutting apparatus 1 will be specifically described with reference to FIGS.
First, a plate-like workpiece W is mounted on the workpiece mounting surface 2a of the workpiece transfer table 2, and the rotation speed and rotation direction of the blade 3 and the feed speed and feed amount in the X-axis direction of the workpiece transfer table 2 are appropriately set. Set. At this time, in order to adjust the cutting amount of the blade 3 with respect to the dresser 10, the cutting position of the dresser 10 in the direction of the rotation axis L 2, etc., the first and second linear drive units 30, 40 make the dresser 10 Position adjustment in the X-axis and Y-axis directions is performed.

このような各種切削条件を設定したのち、図示しないブレード回転用のモーターを駆動して前記スピンドルを回転させることにより、該スピンドル先端に装着された前記ブレード３をその軸Ｌ１周りに高速回転させると共に、ワーク搬送テーブル２をブレード３に向けて所定の送り速度でＸ軸方向に沿って移動させていく。まず、図１に示すように、ワーク搬送テーブル２が、ブレード３よりもテーブル送り方向において未だ手前側に位置し、該ブレード３の刃部３ａがワークＷから離間した非加工状態にあるときには、ドレッサの逃げ領域１３を水平方向におけるブレード３側に向けた状態で、該ドレッサ１０は回動を停止している。このとき、該逃げ領域１３におけるドレッサ１０の外周面１１（溝底１３ａ及び一対の側壁１３ｂ）とブレードの外周面とは、空隙を介して非接触状態となっているため、ワークＷの切削加工前においては、原則として、該ドレッサ１０による刃部３ａのドレッシングが行われないようになっている。 After setting these various cutting conditions, a blade rotating motor (not shown) is driven to rotate the spindle, thereby rotating the blade 3 mounted on the tip of the spindle around the axis L1 at a high speed. Then, the work transfer table 2 is moved toward the blade 3 along the X-axis direction at a predetermined feed speed. First, as shown in FIG. 1, when the work transport table 2 is still on the near side in the table feed direction with respect to the blade 3, and the blade portion 3 a of the blade 3 is in a non-working state separated from the work W, With the dresser relief area 13 facing the blade 3 in the horizontal direction, the dresser 10 stops rotating. At this time, since the outer peripheral surface 11 (the groove bottom 13a and the pair of side walls 13b) of the dresser 10 and the outer peripheral surface of the blade are not in contact with each other through the gap, the workpiece W is cut. Before, in principle, the dresser 10 is not dressed by the dresser 10.

そして、ワーク搬送テーブル２にさらに送りが与えられ、図２のように、刃部３ａによるワークＷの切削加工が開始されると、それに対応して、前記回転駆動部５０のモーター５１が駆動される。そのとき、ドレッサ１０はブレード３とは逆向きに回動し、前記ドレス領域１２を水平方向に向けてブレードの外周面に対向させる。なお、ドレッサ１０の回動速度は、ワークＷの切削加工中に、常に刃部３ａがドレス領域１２に摺接してドレッシングが実行され、かつ、該ドレス領域１２に対する刃部３ａの必要な摺接速度を確保してドレッシングが確実に実行されるように、ブレード３の回転速度、ワークＷの材質、ドレス領域１２の周方向長さ、切削加工時間等、様々なパラメータを考慮して設定される。 Then, further feed is given to the work transfer table 2, and when the cutting of the work W by the blade 3a is started as shown in FIG. 2, the motor 51 of the rotation drive unit 50 is driven correspondingly. The At that time, the dresser 10 rotates in the direction opposite to that of the blade 3 so that the dress region 12 faces the outer peripheral surface of the blade in the horizontal direction. The rotational speed of the dresser 10 is such that dressing is always performed while the blade portion 3a is in sliding contact with the dressing region 12 during cutting of the workpiece W, and the necessary sliding contact of the blade portion 3a with the dressing region 12 It is set in consideration of various parameters such as the rotational speed of the blade 3, the material of the workpiece W, the circumferential length of the dressing region 12, and the cutting time so as to ensure that the dressing is performed while ensuring the speed. .

そうすると、図３のように、ドレッサ１０は軸Ｌ２回りに回動しながら、回転するブレード３の刃部３ａに対して、そのドレス領域１２を周方向に順次摺接させていき、その結果、該刃部３ａはワークＷを切削加工しながらドレッシングされる。その際、ドレッサ１０のドレス領域１２には、その周方向に沿って所定の深さの切り込み溝が形成され、それにより、ブレード３の外周縁に形成された刃部３ａ全体がドレッシングされる。 Then, as shown in FIG. 3, the dresser 10 sequentially slides the dress region 12 in the circumferential direction against the blade portion 3 a of the rotating blade 3 while rotating around the axis L 2. The blade 3a is dressed while cutting the workpiece W. At that time, a cut groove having a predetermined depth is formed in the dressing region 12 of the dresser 10 along the circumferential direction, whereby the entire blade portion 3 a formed on the outer peripheral edge of the blade 3 is dressed.

それから、さらにワーク搬送テーブル２がテーブル送り方向に移動し、図４に示すように、テーブル送り方向におけるワークＷの後端（図では右端）から前記ブレード３の刃部３ａが離間すると、前記ワークＷに対する１列の切削ラインの加工が終了する。そうすると、前記ドレッサ１０は、回動により再び逃げ領域１３を水平方向におけるブレード３側に向け、該逃げ領域１３をブレード３の外周面に対向させた状態で回動を停止し、該ブレード３のドレッシングも停止する。 Then, the workpiece transfer table 2 further moves in the table feeding direction, and when the blade 3a of the blade 3 is separated from the rear end (right end in the figure) of the workpiece W in the table feeding direction as shown in FIG. Processing of one row of cutting lines for W is completed. Then, the dresser 10 turns again with the escape area 13 directed toward the blade 3 in the horizontal direction by the rotation, and stops the rotation with the escape area 13 facing the outer peripheral surface of the blade 3. Dressing is also stopped.

このように、上記切削装置１においては、前記ドレッサ３の刃部３ａによりワークＷを切削しながら該刃部３ａのドレッシングが行われるようになっているため、より効率に優れた切削加工が可能となる。また、ドレッサ１０のドレス領域１２が円弧面から成る外周面１１に形成されており、しかも、ドレッサ１０を単に軸Ｌ２周りに回動させることによって、ブレード３の刃部３ａに対して、該ドレス領域１２を対向させたドレッシング状態と、前記逃げ領域１３を対向させた非ドレッシング状態とを選択的に切換えることができるため、ドレッシング機構を小型化することができると共に、ブレード３のドレッシングを省スペースにて実現することが可能となり、その結果、切削装置１の大型化を抑制することが可能となる。 As described above, in the cutting device 1, dressing of the blade portion 3 a is performed while cutting the workpiece W by the blade portion 3 a of the dresser 3, so that more efficient cutting is possible. It becomes. Further, a dressing area 12 of the dresser 10 is formed on the outer peripheral surface 11 formed of an arcuate surface, and the dresser 10 is simply rotated about the axis L2 so that the dressing portion 12 of the blade 3 is in contact with the dressing portion 3a. Since the dressing state with the region 12 facing and the non-dressing state with the relief region 13 facing can be selectively switched, the dressing mechanism can be miniaturized and the dressing of the blade 3 can be saved. As a result, an increase in size of the cutting device 1 can be suppressed.

以上、本発明に係るドレッシング機構及び切削装置について説明してきたが、本発明は前記実施形態に限定されることなく、特許請求の範囲の趣旨を逸脱しない範囲で様々な設計変更が可能である。
例えば、前記ドレッサ１０を用いたブレード３のドレッシングは、ワークＷの切削加工中に限らず、ブレード３を新品に交換した場合など切削加工に先立ってドレッシングが必要な場合には、切削加工前の図１のタイミングで行ってもよい。また、本実施形態においては、前記ドレッサ１０により主としてブレード３の刃部３ａの目立てを行っているが、例えば、ブレード３の刃部３ａの外形を修正するようなツルーイング性をドレッサ１０に持たせることもできる。
また、前記ドレッサ１０の配置位置に関し、本実施形態においては、該ドレッサ１０の軸Ｌ２とブレード３の軸Ｌ１とが略水平方向に並ぶようにして配されているが、これに限らず、例えばこれらの軸Ｌ１，Ｌ２が垂直方向（Ｚ軸方向）で上下に並ぶようにして配置してもよい。また、前記ドレッサ１０は、テーブル送り方向において前記ブレード３よりも後方に配されているが、該ブレード３よりも前方に配置することもできる。
また、ワークＷの切削加工時において、本実施形態では、前記ドレッサ１０を該ブレード３の回転方向と逆向きに回転させながら該ブレード３の刃部３ａのドレッシングを行うようにしているが、これに限らず、ブレード３の回転方向と同方向に回転させることでドレッシングを行うことも可能である。 The dressing mechanism and the cutting apparatus according to the present invention have been described above, but the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various design changes can be made without departing from the spirit of the claims.
For example, the dressing of the blade 3 using the dresser 10 is not limited to the time during cutting of the workpiece W, and when dressing is required prior to cutting such as when the blade 3 is replaced with a new one, before the cutting, You may carry out at the timing of FIG. In the present embodiment, the dresser 10 mainly sharpens the blade portion 3a of the blade 3. For example, the dresser 10 has a truing property that corrects the outer shape of the blade portion 3a of the blade 3. You can also.
Further, regarding the arrangement position of the dresser 10, in the present embodiment, the axis L2 of the dresser 10 and the axis L1 of the blade 3 are arranged so as to be aligned in a substantially horizontal direction. These axes L1 and L2 may be arranged so as to be aligned vertically in the vertical direction (Z-axis direction). Further, although the dresser 10 is arranged behind the blade 3 in the table feeding direction, it can be arranged ahead of the blade 3.
In the present embodiment, the dressing of the blade 3a of the blade 3 is performed while rotating the dresser 10 in the direction opposite to the rotation direction of the blade 3 at the time of cutting the workpiece W. However, it is possible to perform dressing by rotating the blade 3 in the same direction as the rotation direction.

１切削装置
２ワーク搬送テーブル
３ブレード
３ａブレードの刃部
１０ドレッサ
１１ドレッサの外周面
１２ドレス領域
１３逃げ領域
２０ドレッシング機構
Ｌ１ブレードの回転軸（第１軸）
Ｌ２ドレッサの回転軸（第２軸）
Ｗワーク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cutting apparatus 2 Work conveyance table 3 Blade 3a Blade edge part 10 Dresser 11 Outer peripheral surface of dresser 12 Dressing area 13 Escape area 20 Dressing mechanism L1 Blade rotation axis (first axis)
L2 Dresser rotation axis (second axis)
W Work

Claims

A cutting device,
In this cutting apparatus, a disk-shaped blade having a blade portion formed on an outer peripheral edge including an outer peripheral surface around a first axis and driven to rotate around the first axis is relatively perpendicular to the first axis. A table to be sent automatically, and a dressing mechanism for dressing the blade portion of the blade,
The dressing mechanism includes a dresser that is rotatably supported around a second axis that is parallel to the first axis, and a dresser driving unit that rotationally drives the dresser around the second axis.
The dresser has an outer peripheral surface around the second axis, and the outer peripheral surface of the dresser is dressed by sliding against the blade portion when facing the outer peripheral surface of the blade. A dress region, and a concave relief region that is brought into a non-contact state through a gap with the outer peripheral surface of the blade, are provided along the circumferential direction,
The first shaft of the blade and the second shaft of the dresser are maintained at a distance where the blade portion of the blade is slidably contacted with the dressing area of the dresser , and the dresser driving unit rotates the dresser, The dressing area and the relief area can be selectively opposed to the outer peripheral surface of the blade, and the dressing of the blade portion is performed when the dress area is opposed to the outer peripheral surface of the blade, and the escape area is It is configured to stop the dressing of the blade part when facing the outer peripheral surface of the blade,
When processing a workpiece, the dressing area of the dresser is opposed to the outer peripheral surface of the blade, and the table is fed to the blade and the dresser in the feeding direction by the blade portion of the rotating blade. While cutting , the rotational speed of the dresser is controlled so that the blade part is always dressed, and when the workpiece is not processed, the dresser's relief area is made to face the outer peripheral surface of the blade, and dressing of the blade part is performed. Stop,
It is characterized by that.

The cutting device according to claim 1, wherein
One circumference of the outer peripheral surface of the dresser is composed of one dress area composed of an arc surface and one escape area,
The escape portion is formed in a groove shape extending over the entire length of the dresser in the second axial direction,
An angle range of the dress region around the second axis of the dresser is formed larger than an angle range of the relief region,
It is characterized by that.

In the cutting device in any one of Claim 1 or 2,
The dresser drive unit includes a rotation drive unit that rotates the dresser around a second axis, and a linear drive unit that displaces the dresser in a direction perpendicular to and parallel to the second axis in the horizontal direction. Yes,
It is characterized by that.

In the cutting device in any one of Claims 1-3,
The cutting apparatus further includes a support frame on which the dresser and the dresser driving unit are mounted,
By this support frame, the dresser is rotatably supported around the second axis.
It is characterized by that.