JP6260137B2 - 産業用ロボット - Google Patents

Description

本発明は、産業用ロボット、特に旋回部の旋回動作に支障を来さないケーブル処理が要求される産業ロボットに関するものである。

従来より、所定の機能を発揮するために旋回動作可能な旋回部を備えた産業用ロボットが種々の用途において実用化されている。このような産業用ロボットの内部空間には、モータの動力線やエンコーダの信号線などの各種ケーブルが配置されており、旋回動作に支障を来さないように適宜のケーブル処理が施されている。

図１１に示すように、上方に旋回部１００を旋回可能に支持する筐体内１０３におけるケーブル処理の一例として、各ケーブル１０４の下端部を集合させて、筐体１０３の底壁のうち旋回部１００の旋回中心Ｃ（同図において二点鎖線で示す）から離間した部分に接続して固定するとともに、各ケーブル１０４の上端部を集合させて、正逆何れの方向にも予め設定した最大旋回角度まで旋回可能な中立状態にある旋回部１００のうち旋回中心Ｃから離間した部分に接続し、旋回部１００が中立状態にある場合に、図１１における正面から見て各ケーブルが旋回中心を跨ぐ（横切る）姿勢となるように設定したケーブル処理を挙げることができる。

このようなケーブル処理であれば、旋回部１００を正方向又は逆方向に旋回させた場合、図１２に示すように、各ケーブル１０４の上端部が旋回部１００の旋回動作に伴って移動し、その移動量に応じて各ケーブル１０４の捻れ量、或いは撓み量が変化することによって、所定角度範囲内における旋回部１００の旋回動作に支障を来さすことがない。

また、下記特許文献１に開示されているように、予めコイル状に捻った状態のケーブルを所定の内部空間に配置し、旋回部の旋回角度に応じてケーブルの捻れ量を変化させることにより、旋回部の旋回動作に支障を来さないようにしたケーブル処理も知られている。

特開２００３−１７０３８４号公報

ところで、前者のケーブル処理（図１１及び図１２に示すケーブル処理例）を採用した場合、旋回部を中立状態にした際に各ケーブルが旋回中心を横切る姿勢になるため、筐体内における旋回中心に他の部品や機構を配置することができず、この旋回中心周りの空間がデッドスペースとなる。また、図１１及び図１２に示すケーブル処理のように、各ケーブルの上端部及び下端部をそれぞれ集合させた状態で所定の接続部に接続する構成であれば、旋回部を旋回させた場合におけるケーブル毎の捻れ量が異なり、特定のケーブルに過度の負荷が集中する事態や、捻れ状態にあるケーブル同士が相互に干渉する事態が生じる可能性も比較的高いと考えられる。

また、上述した不具合は、ケーブルの種類を問わず、図１１及び図１２に示すケーブル処理を採用した場合に生じ得るものである。

なお、本出願人は、各ケーブルを、一つの水平面上において互いに平行となる平行姿勢領域と、一つの垂直面上において互いに平行となる垂直姿勢領域と、平行姿勢領域と垂直姿勢領域との間であって且つ円弧状に曲げた姿勢となる円弧状領域とによって構成し、各ケーブルのうち平行姿勢領域の所定部分を共通の第１クランプによって互いに隣接するケーブル間に若干の隙間を確保した状態で保持するとともに、各ケーブルのうち垂直姿勢領域の所定部分を共通の第２クランプによって互いに隣接するケーブル間に若干の隙間を確保した状態で保持する構成に関して特許出願をしている（特開２００２−０１１６８７号公報）。このような構成において、第２クランプを固定した旋回部が旋回した場合に、第２クランプのみが旋回し、第１クランプを移動させずに固定したままとすることで、第２クランプの旋回移動に伴って各ケーブルの円弧状領域を変形させて所定パーツの旋回動作を吸収することができる。

しかしながら、このような構成であっても、ケーブルの水平姿勢領域や円弧状領域が旋回中心を横切る姿勢になるため、旋回中心に他の部品や機構を配置することができず、この旋回中心周りの空間を有効活用することが困難である。さらには、相互に平行に配置されたケーブルを若干の隙間を確保した状態でクランプによって保持する構成であるため、ケーブル同士が干渉する可能性を低減することができるものの、相互に直交する２つの平面（水平面、垂直面）において各ケーブルを第１クランプ及び第２クランプによって保持する構成であるため、旋回部が旋回した場合に、第１クランプにより保持されている部分と第２クランプにより保持されている部分同士の距離がケーブル毎に異なり、旋回角度に大きいほどケーブル毎の捻れ量も大きく異なってしまう。このような点において、前記特開２００３７−０１１６８７号公報に開示されている構成も再考の余地があるといえる。

また、特許文献１に開示された構成は、ケーブルが１本である場合には好適であると考えられるが、ケーブルが複数本である場合には、それら複数のケーブルを束ねた状態でコイル状にすること自体が困難であり、またケーブル同士の干渉も生じ易いと思われる。特に、特許文献１に開示された構成では、ケーブルの本数が多い場合や、多芯ケーブルの場合、重量が大きいことに起因して、ケーブルのうち下端に近い部分ほど上下方向のケーブル間隔が狭くなり、上下に隣り合うケーブル同士が相互に接触して擦れる可能性が高くなる。

本発明は、このような問題に着目してなされたものであって、主たる目的は、旋回部の旋回動作に支障を来すことがなく、ケーブルを配置する空間における旋回部の旋回中心にデッドスペースが形成されることを回避できるとともに、ケーブル同士の干渉を防止・抑制可能なケーブル処理を適用した産業用ロボットを提供することにある。

すなわち本発明は、固定部と、固定部に対して旋回中心軸を中心に旋回可能な旋回部とを備えた産業用ロボットに関するものであって、相対的に旋回部に近い第１ケーブル接続部に接続されて旋回部の旋回動作に伴って移動する可動端部と、相対的に旋回部から遠い第２ケーブル接続部に接続されて旋回部が旋回しても移動しない固定端部とを両端部に有し、且つ第１ケーブル接続部に対する可動端部の接続位置である可動端部接続位置から第２ケーブル接続部に対する固定端部の接続位置である固定端部接続位置までのケーブル長を、旋回中心軸方向に沿った可動端部接続位置から固定端部接続位置までの直線距離よりも長く設定した複数のケーブルを、旋回中心軸周りに均等又は略均等な間隔で配置し、各ケーブルの可動端部接続位置及び固定端部接続位置が旋回中心軸方向に向かい合う基準状態において、ケーブルのうち可動端部接続位置と固定端部接続位置との間の領域が旋回中心軸から離れる方向に膨出するケーブル膨出量が最大となり、基準状態から旋回部の旋回角度が大きくなるにしたがって増大する各ケーブルの可動端部の移動量に伴って、各ケーブルを、ケーブル膨出量が小さくなる捻れ状態に変形可能に構成し、各ケーブルが基準状態にある場合にこれら各ケーブルによって囲まれて特定の領域が膨張している旋回中心軸周りの空間に所定の構造物を配置し、旋回部を予め設定した最大旋回角度まで旋回させた場合に、最も捻れた最大捻れ状態となる各ケーブルがその構造物に干渉しないように構成し、複数のケーブルは、固定部の内部空間に形成されるケーブル収容部に収容され、且つ基準状態にある場合にケーブル収容部の内壁に干渉しないものであり、旋回部を固定部に対して旋回させる駆動力を出力するモータをケーブル収容部の外部に配置したことを特徴としている。

本発明に係る産業用ロボットであれば、旋回中心軸方向に沿った各ケーブルの可動端部接続位置と固定端部接続位置との直線距離を、ケーブルのうち可動端部接続位置から固定端部接続位置までの長さ（可動端部接続位置から固定端部接続位置までのケーブル長）よりも短く設定して、基準状態においてケーブル膨出量が最大となるように設定した複数のケーブルを旋回部の旋回中心軸周りに均等又は略均等な間隔で配置することによって、基準状態にある各ケーブルによって囲まれる旋回中心軸を含む旋回中心軸周辺に、ケーブル膨出量に応じて特定の領域が他の領域よりも旋回中心軸から離れる方向に膨出した空間（以下「旋回中心周辺空間」と称す）を形成することができる。そして、本発明に係る産業用ロボットでは、この旋回中心周辺空間に構造物を配置している。つまり、本発明の産業用ロボットによれば、従来のケーブル処理であれば構造物を配置することができず、デッドスペースとなっていた旋回中心周辺空間に構造物を配置することが可能になる。

しかも、本発明に係る産業用ロボットは、旋回部の旋回動作に伴って各ケーブルの可動端部が旋回中心軸周りに移動した場合に、旋回中心軸周りに均等または略均等に配置した各ケーブルを基準状態から捻れ状態に変形させることにより、旋回部の旋回動作に支障を来すことがなく、旋回部を予め設定した最大旋回角度まで旋回した場合に、最大捻れ状態となる各ケーブルが構造物に干渉しないように構成しているため、旋回角度が大きくなる方向への旋回部の旋回動作に伴って各ケーブルにおける可動端部接続位置と固定端部接続位置との間の特定領域の膨出量が漸次小さくなっても、これら各ケーブルの捻り変形に応じて所定部分の膨らみ具合が小さくなる旋回中心周辺空間に配置している構造物の配置条件を、例えば旋回部の旋回角度（言い換えればケーブルの変形量）に応じて変更する機構や構成が不要であり、従来であればデッドスペースであった旋回中心周辺空間を構造物設置空間として有効に活用することができる。

特に、本発明に係る産業用ロボットでは、複数のケーブルを旋回中心軸周りに均等又は略均等な間隔で配置しているため、各ケーブルの可動端部同士や固定端部同士を集合させて接続する態様や、各ケーブルをコイル状に捻った状態にして配置する態様と比較して、基準状態及び捻れ状態の何れにおいても旋回中心軸周りに隣り合うケーブル同士が干渉する確率を飛躍的に低減することができ、ケーブルの本数が少ないほど、或いは旋回中心軸周りのケーブル同士の離間距離が大きいほど、ケーブル同士が干渉する確率をゼロに近付けることができる。もちろん、本発明におけるケーブル処理を採用することによって、ケーブルの本数や旋回中心軸周りのケーブル同士の離間距離に左右されることなく、ケーブル同士が干渉する事態を完全に回避することも期待できる。また、複数のケーブルを旋回中心軸周りに均等又は略均等な間隔で配置したケーブル処理を採用することによって、旋回部の旋回動作に伴い各ケーブルの捻れ量を、ケーブル同士で均一又は略均一に揃えることができ、特定のケーブルに過度の負荷が作用する事態も回避することができる。加えて、本発明では、複数のケーブルを旋回中心軸周りに均等又は略均等な間隔で配置することによって、旋回中心周辺空間を構造物設置空間として有効活用することが可能でありながら、上述の特許文献１に開示された構成であれば生じる不具合、つまり、ケーブルの本数が多い場合や多芯ケーブルの場合には、重量が大きいことに起因して、ケーブルのうち下端に近い部分ほど上下方向のケーブル間隔が狭くなり、上下に隣り合うケーブル同士が相互に接触して擦れるという不具合が生じ得ず、この点においても有利である。

また、本発明に係る産業用ロボットであれば、旋回部が旋回していない状態において旋回中心軸からの膨出量が最大となる各ケーブルは、可動端部接続位置と固定端部接続位置を旋回軸方向に向かい合わせた基準状態において捻れていない状態にあるため、常に捻れ変形による負荷が作用し続ける態様（各ケーブルをコイル状に捻った状態で配置する態様など）と比較して、捻れ変形に起因する負荷を受ける時間を旋回部が旋回した場合にのみ限定することで捻れ変形による影響を受け難くすることができ、各ケーブルの長寿命化に貢献する。

なお、本発明では、ケーブルのうち可動端部接続位置と固定端部接続位置との間の領域の膨出量が最大となる基準状態のケーブルは、ケーブル単位で捉えた場合に全く捻れていないことが望ましいが、基準状態において任意の量（微量であるか否かを問わず）だけ捻れている態様を本発明の範疇から積極的に排除するものではない。

また、本発明におけるケーブルの基準状態は、「可動端部接続位置及び固定端部接続位置が旋回中心軸方向に向かい合う」状態であり、「可動端部接続位置及び固定端部接続位置が旋回中心軸と平行な方向から見て真正面に向かい合う」状態は勿論のこと、「可動端部接続位置及び固定端部接続位置が旋回中心軸と平行な方向から見て真正面ではないものの旋回中心軸方向に対して任意の角度で向かい合う」状態も包含する。後者の場合、つまり、「可動端部接続位置及び固定端部接続位置が旋回中心軸と平行な方向から見て真正面ではないものの旋回中心軸方向に対して任意の角度で向かい合う」状態は、各ケーブル単位で捉えた場合に、可動端部接続位置から旋回中心軸までの距離と、固定端部接続位置から旋回中心軸までの距離とが相互に異なる場合に生じる状態である。

ところで、可動端部接続位置から旋回中心軸までの距離と、固定端部接続位置から旋回中心軸までの距離とを相互に大きく異ならせた態様を採用した場合、旋回中心軸周りに隣り合う可動端部接続位置同士の間隔と、旋回中心軸周りに隣り合う固定端部接続位置同士の間隔もまた大きく異なることになる。すなわち、可動端部接続位置又は固定端部接続位置のうち旋回中心軸までの距離が短い方の接続位置同士の旋回中心軸周りのピッチ（離間距離）が、旋回中心軸までの距離が長い方の接続位置同士の旋回中心軸周りのピッチよりも短くなる。このことと、各ケーブルが基準状態から捻れ状態に変形した場合に、各ケーブルの可動端部側領域の捻れ変形量と固定端部側領域の捻れ変形量とが大きく異なることとが相俟って、各ケーブルのうち、旋回中心軸までの距離が短い方の接続位置近傍領域が、旋回中心軸周りに隣り合うケーブルの同じ領域と干渉したり、或いは干渉せずとも接近し過ぎる事態が起こると考えられる。

そこで、本発明の産業用ロボットでは、旋回中心軸を中心とする円周上に各ケーブルの可動端部接続位置を等ピッチで並べるとともに、旋回中心軸を中心とし且つ各ケーブルの可動端部接続位置が等ピッチで並ぶ円周と同一の半径又は略同一半径の円周上に、各ケーブルの固定端部接続位置を等ピッチで並べるように設定することが好ましい。このようなケーブル処理を採用すれば、各ケーブルにおける捻れ変形量が可動端部側領域と固定端部側領域とで大きく異なる事象を防止・抑制することができ、上述したような旋回中心軸周りに隣り合うケーブル同士の干渉を回避することができる。

本発明において、前記旋回中心周辺空間に配置する構造物は特に限定されるものではないが、本発明の産業ロボットが、旋回部を昇降可能に構成したものである場合、旋回部を昇降可能に移動させる昇降機構の構成部品を旋回中心周辺空間に配置する構造物として採用することができる。この場合、昇降機構の駆動源となる駆動用モータをケーブル収容部の外部に配置することが好ましい。

また、本発明は、様々な分野で用いる産業用ロボットに関するものであるが、産業用ロボットの好適な一例としては、所定の進退方向に沿って進退動作可能なハンドを先端部に設け且つ少なくとも基端部を旋回中心軸周りに旋回可能に構成したアームを備え、ウェーハ搬送室内に配置されて半導体ウェーハの受け渡しを行う半導体ウェーハ搬送用の搬送ロボットを挙げることができる。

本発明によれば、基準状態において旋回中心軸に対する膨出量が最大となる複数のケーブルを旋回中止軸周りに均等又は略均等に配置して、これら複数のケーブルによって囲まれる旋回中心周辺空間に構造物を配置可能に構成し、旋回部の旋回動作に伴って各ケーブルが捻れた状態においても構造物と干渉しないように設定しているため、旋回部の旋回動作に支障を来すことがなく、ケーブルを配置する空間における旋回部の旋回中心にデッドスペースが形成されることを回避できるとともに、ケーブル同士の干渉を防止・抑制することが可能になる。

本発明の一実施形態に係る搬送ロボットの全体構成概略図。 同実施形態においてハンドが受渡位置にある搬送ロボットの図１対応図。 同実施形態に係る搬送ロボットにおいて基準状態の各ケーブルを筐体内に配置した構成を示す図。 図３の要部を示す図。 図３の要部を旋回中心軸と直交する方向から見た図。 図４のｘ−ｘ線断面図。 図４のｙ−ｙ線断面図。 同実施形態に係る搬送ロボットにおいて旋回部が上昇移動した状態の図３対応図。 同実施形態において筐体内の各ケーブルが最大捻れ状態にある図４対応図。 同実施形態において筐体内の各ケーブルが最大捻れ状態にある図５対応図。 従来のケーブル処理の一例を示す図。 従来のケーブル処理を採用した構成において旋回部が所定角度旋回した状態を示す図１１対応図。

以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。

本実施形態では、産業用ロボットが、図１及び図２に示すように、所定の進退方向に沿って進退動作可能なハンド１１を先端部に設け且つ少なくとも基端部を旋回可能に構成したアーム１２を備えた搬送ロボットＴである場合について説明する。

搬送ロボットＴは、先端部に設けたハンド１１を図１に示す搬送開始位置（Ｓ）と、図２に示す受渡位置（Ｅ）との間で直線状の移動経路に沿って移動させることが可能なアーム１２と、アーム１２の基端部を旋回可能に支持する本体部１３とを有する搬送駆動機構１を備え、直線動作及び旋回動作によってハンド１１を搬送開始位置（Ｓ）から受渡位置（Ｅ）に移動させて、ハンド１１上の搬送対象物Ｗを所定の搬送目的位置まで搬送可能なものである。搬送対象物としては、円盤状の半導体ウェーハＷや図示しない液晶パネルなどを挙げることができる。

本実施形態の搬送ロボットＴは、図１及び図２に示すように、ウェーハ搬送室Ａ内に配置され、ウェーハ搬送室Ａに隣接するロードロック室Ｂ内のポートＢ１にウェーハＷを受け渡したり、或いはウェーハ搬送室Ａに隣接するロードポート（図示省略）上のウェーハ収納容器内にウェーハＷを受け渡すことが可能なものである。なお、図１及び図２では、ウェーハ搬送室Ａに１つのロードロック室Ｂが隣接した構成を例示しているが、ウェーハ搬送室Ａに複数のロードロック室Ｂが隣接し、各ロードロック室Ｂ内のポートＢ１にウェーハWを受け渡しできるように構成してもよい。

搬送駆動機構１を構成するアーム１２は、図１及び図２に示すように、アーム１２のうち最も基端側（本体部１３側）に配置した第１リンク要素１４と、第１リンク要素１４の先端部に水平旋回可能に連結した第２リンク要素１５と、第２リンク要素１５の先端部に水平旋回可能に連結したエンドエフェクタであるハンド１１とを備えたものである。このアーム１２は、アーム長が最小になる折畳状態（図１参照）と、アーム長が折畳状態時よりも長くなる伸長状態（図２参照）との間で形状が変わるリンク構造（多関節構造）のものである。また、第１リンク要素１４の内部空間には、第２リンク要素１５に動力を伝達して第２リンク要素１５を回転させる動力伝達機構（例えばプーリ及びベルト）を設け、第２リンク要素１５の内部空間にも、ハンド１１に動力を伝達してハンド１１を回転させる動力伝達機構（例えばプーリ及びベルト）を設けている（図示省略）。図１ではハンド１１として先端を二股状に分岐させたフォーク状に形成したものを示しているが、例えば先端を平面視略矩形状に形成したのものなど、他の形状をなすハンド１１を適用してもよい。

このようなアーム１２は、基端部を旋回中心軸Ｃ回りに水平旋回させたり、リンク要素１４，１５同士を関節部分で水平旋回させてアーム１２全体の形状を適宜変形させながら、ハンド１１を搬送開始位置（Ｓ）から受渡位置（Ｅ）に移動させて、ウェーハＷを所定の搬送目的位置（正規の移載位置）にまで搬送するものである。なお、アーム１２を高さ方向に複数段設けたり、同じ水平面内に複数組設けた搬送ロボットを構成し、アーム１２毎に異なる動きをさせたり、同じ動きをさせて、搬送効率及び処理効率の向上を図ることもできる。

本実施形態に係る搬送ロボットＴは、搬送駆動機構１の作動を制御部２によって制御している。なお、図１及び図２では、制御部２を本体部１３に内蔵又は付帯させた態様を例示しているが、本体部１３にそれとは別体の情報処理装置等を接続することによって制御部２を構成することもできる。

本実施形態に係る搬送ロボットＴの本体部１３は、図３乃至図５に示すように、固定部３と、固定部３に対して旋回可能な旋回部４とを備えている。本実施形態では、旋回部４を固定部３の上方に配置している。なお、図３は、搬送ロボットＴの内部構造を示す断面図であるが、説明の便宜上、切断面に付す平行斜線を省略している。

固定部３は、側壁３１と上壁３２と底壁３３によって囲まれた内部空間３Ｓを有し、この内部空間３Ｓに、複数のケーブル９を収容可能なケーブル収容部５と、ケーブル収容部５を昇降可能に移動させる昇降機構６を配置している。

ケーブル収容部５は、側壁５１と上壁５２と底壁５３によって囲まれたケーブル収容空間５Ｓを有し、このケーブル収容空間５Ｓのうち上壁５２に近い部分に設けた第１ケーブル接続部７と、ケーブル収容空間５Ｓのうち底壁５３に近い部分に設けた第２ケーブル接続部８とを備えている。本実施形態では、各ケーブル９全体がケーブル収容空間５Ｓに配置されるのではなく、各ケーブル９の上端部を含む上端部側部分は旋回部４の内部空間４Ｓに配置され、各ケーブル９の下端部を含む下端部側部分は、固定部３の内部空間３Ｓ内であって且つケーブル収容空間５Ｓ外の所定位置（図示例ではケーブル収容部５の下端部近傍）に設けたケーブルガイド３４を通じてケーブル収容空間５Ｓ外に引き出されている。ここで、ケーブル収容部５に収容する各ケーブル９のうち、第１ケーブル接続部７に接続される部分を「可動端部」とし、第２ケーブル接続部８に接続される部分を「固定端部」とする。ケーブルガイド３４は、一端部をケーブル収容部５の側壁５１に取り付け、他端部を固定部３の底壁３３に起立姿勢で配置されるケーブルガイド支持部３５に支持されている。本実施形態では、ケーブル収容部５の側壁５１のうちケーブルガイド３４の取付位置近傍に、ケーブル収容空間５Ｓを固定部３の内部空間３Ｓに連通させる側方開口部（図示省略）を形成し、側方開口部を通じてケーブル収容空間５Ｓから引き出した各ケーブル９の下端部側部分をケーブルガイド３４に通している。

第１ケーブル接続部７は、旋回部４の旋回中心Ｃを中心とする円筒状をなし、図３及び図６（図６は、図５のｘ−ｘ線断面図である）に示すように、内向き面（内周面）に、各ケーブル９の可動端部が挿入可能であって且つ挿入した可動端部を保持可能な第１ケーブル挿入保持部７１を周方向に等ピッチで設けた第１ケーブル接続筒状体７２を備えている。これら複数の第１ケーブル挿入保持部７１は、旋回部４の旋回中心Ｃを中心とする同一半径の円周上に並ぶとともに、周方向に隣り合う第１ケーブル挿入保持部７１同士の間隔は略等しくなる。ここで、「周方向に隣り合う第１ケーブル挿入保持部７１同士の間隔が等しくなる」のではなく、「周方向に隣り合う第１ケーブル挿入保持部７１同士の間隔が略等しくなる」のは、１周分３６０度の角度を第１ケーブル挿入保持部７１の数（図示例では「７」）で均等に割り切れないことによる。

第１ケーブル挿入保持部７１は、高さ方向に貫通し且つ第１ケーブル接続筒状体７２の中心から見て外向きに開放された第１開口部７３を有し、第１ケーブル接続筒状体７２の内周面に取り付けた状態で高さ方向にのみ貫通する第１開口部７３に挿入されている各ケーブル９の可動端部を保持するものである。本実施形態では、第１ケーブル接続筒状体７２の外向き面（外周面）から第１ケーブル挿入保持部７１に螺合可能なボルト７４によって、第１ケーブル接続筒状体７２に対する第１ケーブル挿入保持部７１の良好な取付状態及びケーブル９の可動端部に対する第１ケーブル挿入保持部７１の良好な保持状態（締付状態）を維持できるように構成している（図６参照）。

本実施形態の搬送ロボットＴでは、ケーブル収容部５の収容する各ケーブル９の可動端部を、第１ケーブル接続部７に計７つ設けた各第１ケーブル挿入保持部７１に挿入して保持させることができる。したがって、本発明（本実施形態）における「第１ケーブル接続部７に対する可動端部の接続位置である可動端部接続位置９１」は、各第１ケーブル挿入保持部７１の位置によって規定されているといえる。

また、本実施形態の第１ケーブル接続部７は、高さ方向に貫通したケーブル挿通空間７Ｓを有する第１ケーブル接続筒状体７２として、内向き面における下端部に第１ケーブル挿入保持部７１を設けた下側筒状部７５と、段部７６を介して下側筒状部７５のよりも上方に配置される上側筒状部７７と、上側筒状部７７の上端部に設けた鍔部７８とによって構成している。ケーブル挿通空間７Ｓは、第１ケーブル接続筒状体７２の上端部において旋回部４の内部空間４Ｓに連通し、第１ケーブル接続筒状体７２の下端部においてケーブル収容部５のケーブル収容空間５Ｓに連通している。ケーブル挿通空間７Ｓのうち径方向のスペースは、下側筒状体７５よりも上側筒状体７７の方が狭くなるように設定し、各ケーブル９のうち、下側筒状体７５に設けた第１ケーブル挿入保持部７１に保持されている部分よりも上方の所定領域は、上側筒状体７７の内部空間では相互に接触又は近接した状態となっている（図６参照）。また、本実施形態の第１ケーブル接続筒状体７２は、これら下側筒状部７５、段部７６、上側筒状部７７及び鍔部７８を一体に形成している。本実施形態では、旋回部４の内部空間４Ｓに配置した第１保持部４２によって第１ケーブル接続筒状体７２を保持し、第１ケーブル接続筒状体７２が旋回部４と一体回転するように構成している（図３参照）。

各ケーブル９のうち各第１ケーブル挿入保持部７１に保持された可動端部よりも上端部側部分は、第１ケーブル接続筒状体７２のケーブル挿通空間７Ｓを経由して旋回部４の内部空間４Ｓに配置される。そして、旋回部４の内部空間４Ｓに配置されるケーブル９の先端にはそれぞれ適宜の接続端子が設けられ、各接続端子を旋回部４の内部空間４Ｓにおいて各モータＭやエンコーダ（図示省略）に接続している。図３には旋回部４の内部空間に２つのモータＭと、各モータＭの動力線であるケーブル９を例示している。この２つのモータＭのうち、相対的に紙面向かって右側のモータＭは、旋回部４を固定部３に対して旋回させる駆動力を出力するものであり、相対的に紙面向かって左側のモータＭは、アーム１２のハンド１１を進退移動させる駆動力を出力するものである。

そして、各第１ケーブル挿入保持部７１に各ケーブル９の可動端部を挿入して保持させた状態で、旋回部４が固定部３に対して旋回すると、各ケーブル９の可動端部は、各第１ケーブル挿入保持部７１による保持状態を維持したまま周方向に移動する。

また、本実施形態の搬送ロボットＴは、各ケーブル９の固定端部を、筐体３内において第１ケーブル接続部７よりもモータＭから遠い位置（本実施形態では、第１ケーブル接続部７よりも低い位置）に設けた第２ケーブル接続部８に接続している。

第２ケーブル接続部８は、図７（同図は、図５のｙ−ｙ線断面図である）に示すように、内向き面を平面視円形に設定し且つ外向き面を平面視多角形状に設定した環状体８１を主体としてなり、各ケーブル９の固定端部が挿入可能な複数の挿入用凹部８２を環状体８１の外向き面における平坦なフラット部分に形成し、各挿入用凹部８２に挿入した各ケーブル９の固定端部を環状体８１の外向き面側から押圧して抜脱不能に固定可能な押圧固定部８３を備えている。本実施形態では、挿入用凹部８２と押圧固定部８３との組み合わせによって、各ケーブル９の固定端部が挿入可能であって且つ挿入した固定端部を保持可能な第２ケーブル挿入保持部８４を構成している。環状体８１の中心及び第１ケーブル接続筒状体７２の中心は何れも旋回部４の旋回中心Ｃと一致又は略一致している。また、本実施形態では、ケーブル収容部５の底壁５３に設けた第２保持部５４によって環状体８１を保持し、旋回部４が旋回した場合においても第２ケーブル挿入保持部８４の位置が移動しないように構成している（図３参照）。なお、本実施形態では、押圧固定部８３に挿入したボルト８５を環状体８１に螺合することによって、環状体８１に対する押圧固定部８３の良好な取付状態及びケーブル９の固定端部に対する第２ケーブル挿入保持部８４の良好な保持状態（締付状態）を維持できるように構成している（図７参照）。

このような構成の各第２ケーブル挿入保持部８４に各ケーブル９の固定端部を挿入して保持させた状態で、旋回部４が固定部３に対して旋回しても各ケーブル９の固定端部は、各第２ケーブル挿入保持部８４による保持状態を維持したままその位置に留まり、周方向に移動することはない。

本実施形態の搬送ロボットＴでは、複数の第２ケーブル挿入保持部８４を、図７に示すように、旋回部４の旋回中心Ｃを中心とする同一半径の円周上に並ぶように設け、周方向に隣り合う第２ケーブル挿入保持部８４同士の間隔を略等しくなるように設定している。なお、本実施形態では、第１ケーブル挿入保持部７１と同様に、１周分３６０度の角度を第２ケーブル挿入保持部８４の数（図示例では７つ）で均等に割り切れないことため、周方向に隣り合う第２ケーブル挿入保持部８４同士の間隔は「略同一」となる。

本実施形態の搬送ロボットＴでは、第２ケーブル接続部８に計７つ設けた各第２ケーブル挿入保持部８４に、各ケーブル９の固定端部を挿入して保持させることができる。したがって、本発明（本実施形態）における「第２ケーブル接続部８に対する固定端部の接続位置である固定端部接続位置９２」は、各第２ケーブル挿入保持部８４の位置によって規定されているといえる。

そして、本実施形態の搬送ロボットＴでは、第１ケーブル接続部７に対する可動端部の接続位置である可動端部接続位置９１から、第２ケーブル接続部８に対する固定端部の接続位置である固定端部接続位置９２までのケーブル長を、旋回中心軸Ｃ方向に沿った可動端部接続位置９１から固定端部接続位置９２までの直線距離よりも長く設定した複数のケーブル９をケーブル収容部５のケーブル収容スペース５Ｓに、旋回中心軸Ｃ周りに均等又は略均等な間隔で配置している。したがって、図４及び図５に示すように、各ケーブル９の可動端部接続位置９１及び固定端部接続位置９２が旋回中心軸Ｃ方向において略真正面に相互に向かい合う状態では、ケーブル９のうち可動端部接続位置９１と固定端部接続位置９２との間の領域において旋回中心軸Ｃから離れる方向に膨出するケーブル膨出量が最大となる。この状態をケーブル９の基準状態とすると、基準状態では、可動端部接続位置９１及び固定端部接続位置９２から遠い部分ほど、つまり可動端部接続位置９１と固定端部接続位置９２との真ん中に近い部分ほど、ケーブル膨出量が大きくなる。このような基準状態にあるケーブル９によって囲まれる旋回中心Ｃを含むその周辺空間（以下、「旋回中心周辺空間９Ｓ」と称す）は、旋回中心軸Ｃ方向における中央部分が旋回中心軸Ｃから離間する方向に膨らんだ凸面を有する樽形状（正面視または側面視において切頭楕円形状）の空間となり、本実施形態では、この旋回中心周辺空間９Ｓに構造物を配置している。

本実施形態に係る搬送ロボットＴは、旋回中心周辺空間９Ｓに、ケーブル収容部５を昇降可能に移動させる昇降機構６の構成部品であるボールネジ６１と、このボールネジ６１を被覆するボールネジカバー６２を配置している（図３ではボールネジカバー６２を省略し、図７ではボールネジ６１を省略している）。また、ボールネジ６１に対して螺合進退動作可能なナット６３をケーブル収容部５の底壁５３に固定し、固定部３の底壁３３近傍に配置したボールネジ駆動用モータ６Ｍを駆動させた場合に、ボールネジ６１の回転角度及びボールネジ６１の回転方向に応じてナット６３、ひいてはケーブル収容部５全体をボールネジ６１の軸方向に昇降移動させることができる（図３及び図８参照）。なお、ボールネジ６１の軸中心は旋回部４の旋回中心Ｃに一致又は略一致させている。また、本実施形態では、ケーブル収容部５の昇降移動をガイドするガイドスライダ６３を、固定部３の側壁３１に設けたスライダ支持部３６によってスライド動作可能に支持している。ボールネジカバー６２は、ボールネジ６１の機能を損なうことなくボールネジ６１を被覆可能なものである。このボールネジカバー６２は、ボールネジ６１が作動した場合に筐体３に対して高さ方向に相対移動しない固定状態で旋回中心周辺空間９Ｓに配置されている。本実施形態では、ボールネジカバー６２として、先端（上端）部を尖らせた円筒状のものを適用している。昇降機構６によってケーブル収容部５が昇降した場合、旋回部４及びアーム１２もケーブル収容部５と共に昇降する。

旋回部４は、図３及び図８に示すように、軸受け部４１によって固定部３に旋回可能に支持されたものである。本実施形態では、第１ケーブル接続筒状体７２のうち上側筒状部７７の外向き面に軸受け部４１の内向き面を対面させて接触した状態で軸受け部４１を取り付けている。旋回部４の内部空間４Ｓには、上述したモータＭや第１保持部４２に加えて、減速機Ｇと、旋回部４全体を旋回させる駆動力を出力するモータＭと減速機Ｇとの間に介在する旋回駆動力伝達用ベルトＧ１とを配置している。このような旋回部４は、固定部３に対して旋回可能であり、且つボールネジ６１の作動量（ネジ軸の回転量や回転方向）に応じてケーブル収容部５と共に同時に昇降する。

本実施形態において、少なくとも可動端部と固定端部との間の部分がケーブル収容部５内に収容されるケーブル９には、モータＭの動力線の他に、各モータＭに関連付けて設けたエンコーダ（図示省略）の信号線などの各種ケーブル９が含まれる。各ケーブル９のうち。以下の説明における「ケーブル９」は、特に言及しない限り、ケーブル収容部５内に収容・配置される動力線や信号線を総称したケーブル９を意味する。

本実施形態に係る搬送ロボットＴは、旋回部４を、ケーブル９が上述の基準状態にある時点での旋回角度を基準（基準角度）として、正逆方向の何れにもそれぞれ旋回可能に構成している。本実施形態では、旋回部４を基準角度に対して例えば正逆方向にそれぞれ最大１４１度旋回可能に設定し、正方向に最大角度旋回した位置から逆方向に最大角度旋回させた場合に、その旋回角度が２８２度となるように設定している。ここで、旋回部４の正逆方向への旋回角度は、例えば、この搬送ロボットＴによるウェーハＷの搬送先（ロードロック室Ｂなど）の数をｎとした場合、以下の式１に基づいて設定することができる。
（ｎ−１）／ｎ×１／２×３６０＋α…式１
上記式１におけるαは、あそび角度に相当し、仕様などによって適宜の値に設定することが可能である。

旋回部４が基準角度から正逆何れかの方向に旋回した場合、第１ケーブル接続部７も旋回部４と同一方向に旋回する。その結果、各ケーブル９の可動端部（可動端部接続位置９１）が旋回中心軸Ｃ周りに移動する。この際、各ケーブル９の固定端部（固定端部接続位置９２）は移動しないため、各ケーブル９は、可動端部接続位置９１の移動に応じて捻れた捻れ状態となり、可動端部接続位置９１と固定端部接続位置９２の間の部分のケーブル膨出量が基準状態よりも減少する。そして、旋回部４を予め設定している最大旋回角度まで旋回した場合、各ケーブル９の可動端部の移動量も最大となり、図９及び図１０に示すように、ケーブル膨出量が最小となった各ケーブル９は想定している範囲内においても最も捻れた最大捻れ状態になる。

本実施形態の搬送ロボットＴでは、基準状態において相互に干渉していない各ケーブル９が最大捻れ状態になった場合においても相互に干渉せず、最大捻れ状態にある複数のケーブル９の組み合わせにより、全体として概略円筒状の立体物を形成するように設定している。また、最大捻れ状態となった各ケーブル９に囲まれた旋回中心周辺空間９Ｓは、旋回中心軸Ｃ方向中央部の膨らみが殆ど無い中空の略円柱体状の空間となる。すなわち、旋回中心周辺空間９Ｓは、ケーブル９の捻れ変形に応じて空間形状が変化する。

本実施形態の搬送ロボットＴは、旋回中心周辺空間９Ｓに、ボールネジ６１及びボールネジカバー６２を配置し、旋回部４の旋回動作に伴って各ケーブル９が最大捻れ状態となった場合であっても、各ケーブル９がボールネジ６１及びボールネジカバー６２に干渉しないように構成している。ここで、自転モータＭを最大旋回角度まで旋回させた際の旋回中心周辺空間９Ｓの広さ（絞り具合）は、最大捻れ状態にあるケーブル９の膨出量、換言すればケーブル９から旋回中心軸Ｃまでの距離（半径）によって規定される。本実施形態では、最大捻れ状態にあるケーブル９のうち可動端部接続位置９１から固定端部接続位置９２までに亘る全体において、旋回中心軸Ｃまでの距離が略同一となるように設定し、この旋回中心軸Ｃまでの距離を、旋回中心周辺空間９Ｓに配置する構造物（本実施形態ではボールネジ６１及びボールネジカバー６２）のうち旋回中心軸Ｃを中心とする径方向においてケーブル９に最も近い構造物（本実施形態ではボールネジカバー６２）の配置位置から旋回中心軸Ｃまでの距離よりも大きく設定することによって、各ケーブル９がボールネジ６１及びボールネジカバー６２に干渉しないように構成している。

また、本実施形態の搬送ロボットＴでは、ケーブル９膨張量が最大となる基準状態にあるケーブル９の最も旋回中心軸Ｃから離間している部分がケーブル収容部５の側壁５１に干渉しないように設定している。

以上に述べたように本実施形態に係る搬送ロボットＴは、各ケーブル９を基準状態にした場合に旋回軸Ｃ方向に対向する各ケーブル９の可動端部接続位置９１と固定端部接続位置９２との直線距離を、ケーブル９のうち可動端部接続位置９１から固定端部接続位置９２までのケーブル長よりも短く設定して、基準状態においてケーブル膨出量が最大となるように設定した複数のケーブル９を旋回部４の旋回中心軸Ｃ周りに均等又は略均等な間隔で配置しているため、基準状態にある各ケーブル９によって囲まれる旋回中心軸Ｃを含む旋回中心軸周辺空間Ｓに、旋回中心軸Ｃ方向中央部分を膨出させた空間を形成することができる。この旋回中心周辺空間９Ｓの広さは、旋回部４の旋回角度に応じて旋回中心軸Ｃ周りに移動する可動端部接続位置９１の移動距離が長いほど大きく捻れるケーブル９の捻れ変形によって変化するケーブル膨出量に依存するものであり、本実施形態の搬送ロボットＴでは、旋回部が最大旋回角度まで旋回した場合に、ケーブル膨出量が最小となる最大捻れ状態のケーブル９によって旋回中心周辺空間９Ｓが絞り潰されることがないように設定することで、従来のケーブル処理であれば構造物を配置することができず、デッドスペースとなっていた旋回中心周辺空間９Ｓに構造物を配置することができる。

さらにまた、本実施形態に係る搬送ロボットＴは、複数のケーブル９を旋回中心軸Ｃ周りに均等又は略均等な間隔で配置しているため、各ケーブル９の可動端部同士や固定端部同士を集合させて接続する態様や、各ケーブル９をコイル状に捻った状態にして配置する態様、或いは相互に直交する２つの平面（水平面、垂直面）において各ケーブルを第１クランプ及び第２クランプによって保持する態様と比較して、旋回部４の旋回動作に伴い各ケーブルが捻れた場合においても、隣り合うケーブル９の可動端部同士の間隔及び隣り合うケーブル９の固定端部同士の間隔は何れも捻れる前の状態（基準状態）におけるそれぞれの間隔と何ら変わることなく、しかも可動端部接続位置９１と固定端部接続位置９２との距離がケーブル９毎に異なることもなく、各ケーブル９の捻れ量を全てのケーブル９で均一又は略均一に揃えることができ、特定のケーブル９に過度の負荷が集中して作用する事態を回避することができるとともに、ケーブル９の本数が多い場合や多芯ケーブルの場合であっても、各ケーブル９をコイル状に捻った状態で配置する必要もないため、重量が大きいことに起因して下方のコイルほど上下の間隔が狭くなってケーブル同士が相互に接触して擦れるという不具合も生じ得ず、基準状態及び捻れ状態（最大捻れ状態を含む）の何れにおいても旋回中心軸Ｃ周りに隣り合うケーブル９同士が干渉する確率を低減することができ、好適なケーブル処理を実現することができる。

特に、旋回部４が旋回していない状態において膨出量が最大となる各ケーブル９は、この基準状態において可動端部接続位置９１と固定端部接続位置９２が旋回軸Ｃ方向に略真正面に向かい合って捻れていない状態にあるため、常に捻れ変形による負荷が作用し続ける態様（各ケーブル９をコイル状に捻った状態で配置する態様など）と比較して、捻れ変形による負荷がケーブル９に作用する時間を旋回部４の旋回動作時に限定することができ、各ケーブル９の長寿命化に貢献する。

また、本実施形態における搬送ロボットＴでは、旋回中心軸Ｃを中心とする円周上に各ケーブル９の可動端部接続位置９１が等ピッチで並ぶとともに、旋回中心軸Ｃを中心とし且つ各ケーブル９の可動端部接続位置９１が等ピッチで並ぶ円周と略同一半径の円周上に、各ケーブル９の固定端部接続位置９２が等ピッチで並ぶように設定している。ここで、例えば可動端部接続位置９１から旋回中心軸Ｃまでの距離と、固定端部接続位置９２から旋回中心軸Ｃまでの距離との差異を大きく設定すれば、各ケーブル９の可動端部接続位置９１同士のピッチと、固定端部接続位置９２同士のピッチも相互に大きく異なり、このような態様において各ケーブル９が基準状態から捻れ状態に変形した場合に、各ケーブル９の可動端部側領域の捻れ変形量と固定端部側領域の捻れ変形量とが異なり、各ケーブル９のうち、旋回中心軸Ｃまでの距離が短い方の接続位置近傍領域が、旋回中心軸Ｃ周りに隣り合うケーブル９の同じ領域と干渉したり、或いは干渉せずとも接近し過ぎる事態が起こると想定される。しかしながら、本実施形態における搬送ロボットＴでは、各ケーブル９の可動端部接続位置９１及び固定端部接続位置９２を何れも旋回中心軸Ｃを中心とする略同一半径の円周上に等ピッチで並ぶように設定しているため、各ケーブル９における捻れ変形量が可動端部側領域と固定端部側領域とで大きく異なることがなく、最大捻れ状態においても旋回中心軸Ｃ周りに隣り合うケーブル９同士の干渉を回避することができる。

なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、複数のケーブルによって囲まれる旋回中心を含むその周辺空間に配置する構造物は、昇降機構を構成する部品に限らず、用途や仕様等に応じて適宜の構造物を選択することができる。

また、上述したケーブル処理を適用する産業用ロボットが、搬送ロボット以外の産業ロボット（旋回軸を有する各種産業ロボット等）であっても構わない。

ケーブルの本数は、複数であれば特に限定されることがなく、ケーブルの種類もまた特に限定されず、電源ケーブルなどの動力線や各種信号線の他、空気配管に使用される軟質チューブ等であっても自重で大きく撓まないものであれば本発明におけるケーブル処理（ケーブル配置）を適用することができる。

上述した実施形態では、旋回部の下方領域に複数のケーブルを配置する態様を例示したが、旋回部の上方領域に複数のケーブルを配置する構成や、旋回部の旋回中心軸が鉛直方向ではなく、例えば水平方向であったり、水平方向に対して９０度以外の所定角度の方向であってもよい。

また、基準状態にあるケーブルのうち最も旋回中心軸から離れる方向に膨出する部分が、ケーブルの可動端部接続位置と固定端部接続位置との間の中央部分ではなく、中央部分よりも可動端部接続位置又は固定端部接続位置の何れか一方側に寄った部分となるようなケーブル処理を採用しても構わない。この場合、本願請求項１の「各ケーブルによって囲まれて特定の領域が膨張している前記旋回中心軸周りの空間」における「特定の領域」は、ケーブルの可動端部接続位置と固定端部接続位置との間の中央部分によって形成される領域ではなく、中央部分よりも可動端部接続位置又は固定端部接続位置の何れか一方側に寄った部分によって形成される領域を意味する。

このような場合においても、最大捻れ状態になったケーブルによって囲まれる旋回中心周辺空間に、構造物の配置スペースを確保できるように設定することで、旋回部の旋回動作に伴って各ケーブルが捻れ変形した場合にも、ケーブルが構造物に干渉しない構成を実現することができる。

基準状態から最大捻れ状態に変形したケーブルのうち、可動端部接続位置と固定端部接続位置との間の所定部分（基準状態において旋回中心から最も離間している部分）から旋回中心までの距離が、可動端部接続位置から旋回中心までの距離、或いは固定端部接続位置から旋回中心までの距離よりも短くなり、旋回中心周辺空間の一部が括れた空間（所定部分が旋回中心側に凹んだ空間）となるように設定してもよい。この場合においても、最大捻れ状態にある各ケーブルが、旋回中心周辺空間に配置した構造物に干渉しないように設定すれば、上述した種々の作用効果を得ることができる。

また、基準状態にあるケーブルは、ケーブル単位で捉えた場合に全く捻れていないことが好ましいが、基準状態において任意の量だけ捻れている態様であってもよい。

ケーブルが基準状態にある場合に、各ケーブルの可動端部接続位置及び固定端部接続位置が旋回中心軸方向から見て真正面ではないものの旋回中心軸方向に対して任意の角度で向かい合うように設定してもよい。例えば、各ケーブル単位で捉えた場合に、可動端部接続位置から旋回中心軸までの距離と、固定端部接続位置から旋回中心軸までの距離とを相互に異ならせた場合、可動端部接続位置及び固定端部接続位置が旋回中心軸方向から見て真正面ではないものの旋回中心軸方向に対して任意の角度（この角度は、可動端部接続位置から旋回中心軸までの距離と、固定端部接続位置から旋回中心軸までの距離の差異に基づいて定まる）で向かい合うことになる。

また、ケーブルが基準状態にある時点での旋回角度を基準（基準角度）として、旋回部が一方向にのみ所定角度分まで旋回可能に設定した産業用ロボットにおいて、本発明におけるケーブル処理を適用することも可能である。

また、上述の実施形態では、ケーブル収容空間外に設けたケーブルガイドによってケーブルのうちケーブル収容空間外に引き出される部分の配線処理を行う態様を例示したが、ケーブルガイドを用いずに、ケーブル収容空間外に設けたケーブル載置台（配置箇所や形状、サイズは特に限定されない）に載置するように構成してもよい。

さらにはまた、第１ケーブル接続部や第２ケーブル接続部の具体的な構成も適宜変更することが可能であり、各ケーブル接続部を相互に異なる構成としたり、同一の構成とすることもできる。

その他、各部の具体的構成についても上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。

１１…ハンド
１２…アーム
４…旋回部
６１、６２…構造物（ボールネジ、ボールネジカバー）
７…第１ケーブル接続部
８…第２ケーブル接続部
９…ケーブル
９１…可動端部接続位置
９２…固定端部接続位置
９Ｓ…旋回中心軸周りの空間（旋回中心周辺空間）
Ｃ…旋回中心軸
Ｔ…産業用ロボット（搬送ロボット）

Claims (4)

1. 固定部と、前記固定部に対して旋回中心軸を中心に旋回可能な旋回部とを備えた産業用ロボットであって、
   相対的に前記旋回部に近い第１ケーブル接続部に接続されて前記旋回部の旋回動作に伴って移動する可動端部と、相対的に前記旋回部から遠い第２ケーブル接続部に接続されて前記旋回部が旋回しても移動しない固定端部を有し、且つ前記第１ケーブル接続部に対する前記可動端部の接続位置である可動端部接続位置から前記第２ケーブル接続部に対する前記固定端部の接続位置である固定端部接続位置までのケーブル長を、前記旋回中心軸方向に沿った前記可動端部接続位置から前記固定端部接続位置までの直線距離よりも長く設定した複数のケーブルを、前記旋回中心軸周りに均等又は略均等な間隔で配置し、前記各ケーブルの前記可動端部接続位置及び前記固定端部接続位置が旋回中心軸方向に向かい合う基準状態において、前記ケーブルのうち前記可動端部接続位置と前記固定端部接続位置との間の領域が前記旋回中心軸から離れる方向に膨出するケーブル膨出量が最大となり、前記基準状態から前記旋回部の旋回角度が大きくなるにしたがって増大する前記各ケーブルの前記可動端部の移動量に伴って、前記各ケーブルを、前記ケーブル膨出量が小さくなる捻れ状態に変形可能に構成し、
   前記各ケーブルが前記基準状態にある場合にこれら各ケーブルによって囲まれて特定の領域が膨張している前記旋回中心軸周りの空間に所定の構造物を配置し、前記旋回部を予め設定した最大旋回角度まで旋回させた場合に、最も捻れた最大捻れ状態となる前記各ケーブルが前記構造物に干渉しないように構成し、
   複数の前記ケーブルは、前記固定部の内部空間に形成されるケーブル収容部に収容され、且つ前記基準状態にある場合に前記ケーブル収容部の内壁に干渉しないものであり、
   前記旋回部を前記固定部に対して旋回させる駆動力を出力するモータを、前記ケーブル収容部の外部に配置したことを特徴とする産業用ロボット。
2. 前記構造物は、前記旋回部を昇降可能に移動させる昇降機構の構成部品であり、
   前記昇降機構の駆動源となる駆動用モータを前記ケーブル収容部の外部に配置した請求項１に記載の産業用ロボット。
3. 前記旋回中心軸を中心とする円周上に前記各ケーブルの前記可動端部接続位置を等ピッチで並べ、前記旋回中心軸を中心とし且つ前記円周と同一又は略同一半径の円周上に前記各ケーブルの前記固定端部接続位置を等ピッチで並べている請求項１又は２に記載の産業用ロボット。
4. 所定の進退方向に沿って進退動作可能なハンドを先端部に設け且つ少なくとも基端部を前記旋回中心軸周りに旋回可能に構成したアームを備えた半導体ウェーハ搬送用の搬送ロボットであって、且つウェーハ搬送室内に配置されて半導体ウェーハの受け渡しを行う請求項１乃至３の何れかに記載の産業用ロボット。

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