JP6171923B2 - Curable resin composition, cured film, light emitting element, wavelength conversion film, and method for forming light emitting layer - Google Patents
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Description
本発明は、硬化性樹脂組成物、硬化膜、発光素子、波長変換フィルムおよび発光層の形成方法に関する。 The present invention relates to a curable resin composition, a cured film, a light emitting element, a wavelength conversion film, and a method for forming a light emitting layer.
電子を閉じ込めるために形成された極小さな粒(ドット)が、量子ドットと称され、近年注目を集めている。1粒の量子ドットの大きさは、直径数ナノメートルから数10ナノメートルであり、約1万個の原子で構成されている。 Extremely small particles (dots) formed to confine electrons are called quantum dots and have recently attracted attention. The size of one quantum dot is several nanometers to several tens of nanometers in diameter, and is composed of about 10,000 atoms.
量子ドットは、太陽電池パネルの半導体の薄膜の中に分散させると、エネルギー変換効率を大幅に向上させることができることから太陽電池への適用が検討されている(例えば、特許文献1を参照のこと。)。また、量子ドットのサイズを変える(バンドギャップを変える)ことで、発光する蛍光の色(発光波長)を変えること(波長変換)ができるため、バイオ研究における蛍光プローブ(非特許文献1を参照のこと。)や、波長変換材料としての表示素子への適用(例えば、特許文献2および特許文献3を参照のこと。)が検討されている。
When quantum dots are dispersed in a semiconductor thin film of a solar cell panel, energy conversion efficiency can be greatly improved, so application to solar cells has been studied (for example, see Patent Document 1). .) In addition, by changing the size of the quantum dots (changing the band gap), it is possible to change the color (emission wavelength) of the emitted fluorescence (wavelength conversion), so fluorescent probes in bio research (see Non-Patent Document 1) And application to a display element as a wavelength conversion material (for example, see
非特許文献1や特許文献1の実施例に示されるように、代表的な量子ドットは、II−V族の半導体のCdSe(セレン化カドミウム)、CdTe(テルル化カドミウム)およびPbS等からなる半導体量子ドットである。
As shown in Examples of
しかし、例えば、主成分である鉛(Pb)は、毒性への懸念が良く知られた材料である。また、カドミウム(Cd)とその化合物は、低濃度でも極めて強い毒性を示し、腎臓機能障害や発がん性が懸念される材料である。したがって、より安全な材料からなる半導体量子ドットの形成が求められている。 However, for example, lead (Pb), which is the main component, is a material well known for its concern for toxicity. Further, cadmium (Cd) and its compounds are extremely toxic even at low concentrations, and are materials for which renal dysfunction and carcinogenicity are a concern. Therefore, there is a demand for the formation of semiconductor quantum dots made of a safer material.
また、半導体量子ドットを太陽電池パネルや表示素子のディスプレイ等に適用しようとする場合、その蛍光発光を利用するため、粒子形態の半導体量子ドットからなる膜や層の形成が求められる場合がある。すなわち、蛍光発光を示す、波長変換膜(波長変換フィルム)または発光層の形成が求められることがある。 In addition, when semiconductor quantum dots are to be applied to a solar cell panel, a display of a display element, or the like, formation of a film or a layer composed of semiconductor quantum dots in a particle form may be required in order to utilize the fluorescence emission. That is, the formation of a wavelength conversion film (wavelength conversion film) or a light emitting layer that exhibits fluorescence may be required.
粒子形態の半導体量子ドットを用いた発光層の形成方法としては、例えば、特許文献1の実施例や特許文献2に示されるように、適当な基板上に、直接に、半導体量子ドットからなる層を形成する方法が知られている。しかしながら、このような形成方法では、得られる発光層の安定性が乏しい。特に、半導体量子ドットからなる層と基板との結着性に懸念がある。
As a method for forming a light-emitting layer using semiconductor quantum dots in the form of particles, for example, as shown in the Examples of
そこで、粒子形態の半導体量子ドットを樹脂材料中に混合または埋め込んで、層または膜を構成する方法が提案されている。しかしながら、半導体量子ドットを用い、半導体量子ドットとしての蛍光特性を安定に保ちながら、樹脂とともに層や膜の形成を行う方法は十分な検討がなされていない。 Therefore, a method of forming a layer or a film by mixing or embedding semiconductor quantum dots in a particle form in a resin material has been proposed. However, a method for forming a layer or a film together with a resin while using semiconductor quantum dots and stably maintaining the fluorescence characteristics as the semiconductor quantum dots has not been sufficiently studied.
そのため、半導体量子ドットを樹脂材料とともに用い、半導体量子ドットの層または膜を形成し、高信頼性の発光層または波長変換フィルムを形成する技術が求められている。特に、半導体量子ドットとともに用いられる樹脂材料であって、半導体量子ドットと樹脂とからなる発光層や波長変換フィルムの形成に好適となる樹脂材料が求められている。 Therefore, there is a need for a technique for using a semiconductor quantum dot together with a resin material, forming a semiconductor quantum dot layer or film, and forming a highly reliable light-emitting layer or wavelength conversion film. In particular, there is a demand for a resin material that is used together with semiconductor quantum dots and that is suitable for forming a light-emitting layer or a wavelength conversion film composed of a semiconductor quantum dot and a resin.
その場合、そのような樹脂材料は、特に、安全な材料からなる半導体量子ドットに好適であって、発光層や波長変換フィルムの形成に好適となるものであることが望ましい。そして、その樹脂材料は、発光層や波長変換フィルムの形成において、分散された半導体量子ドットを保護し、蛍光特性の劣化を抑え、さらに、信頼性の向上を可能にすることが好ましい。 In that case, such a resin material is particularly suitable for a semiconductor quantum dot made of a safe material, and is desirably suitable for forming a light emitting layer or a wavelength conversion film. And it is preferable that the resin material protects the dispersed semiconductor quantum dots in the formation of the light emitting layer and the wavelength conversion film, suppresses the deterioration of the fluorescence characteristics, and further improves the reliability.
加えて、半導体量子ドットと樹脂とからなる発光層や波長変換フィルムは、簡便な形成が可能で、高い生産性を有していることが好ましい。すなわち、そのような発光層および波長変換フィルムの形成には、例えば、塗布等の簡便な形成方法を利用できることが好ましい。そして、その発光層や波長変換フィルムは、例えば、半導体量子ドットと樹脂成分とを含む液状の樹脂組成物から、塗布等の方法を利用して形成できることが好ましい。
そのため、半導体量子ドットと樹脂成分とを含んで調製され、塗布等の方法の利用により硬化膜を形成して、発光層や波長変換フィルムを形成できる樹脂組成物が求められている。
In addition, it is preferable that the light emitting layer and the wavelength conversion film made of the semiconductor quantum dots and the resin can be easily formed and have high productivity. That is, for the formation of such a light emitting layer and a wavelength conversion film, it is preferable that a simple forming method such as coating can be used. And it is preferable that the light emitting layer and the wavelength conversion film can be formed using methods, such as application | coating, from the liquid resin composition containing a semiconductor quantum dot and a resin component, for example.
Therefore, there is a demand for a resin composition that is prepared containing a semiconductor quantum dot and a resin component and that can form a light-emitting layer or a wavelength conversion film by forming a cured film by using a method such as coating.
さらに、その樹脂組成物は、優れたパターニング性を有することが好ましい。すなわち、発光層や波長変換フィルムを形成する樹脂組成物は、例えば、発光表示素子等の発光素子の構成に好適に用いることができるように、パターニングが可能であることが好ましい。その場合、パターニングされた発光層や波長変換フィルムの形成は、例えば、フォトリソグラフィ法等の利用が可能であり、簡便に実現できることが好ましい。 Further, the resin composition preferably has excellent patterning properties. That is, it is preferable that patterning is possible so that the resin composition which forms a light emitting layer and a wavelength conversion film can be used suitably for the structure of light emitting elements, such as a light emitting display element. In that case, the formation of the patterned light-emitting layer and wavelength conversion film can be performed, for example, by photolithography, and can be easily realized.
そのため、放射線感度に優れ、フォトリソグラフィ法等の公知のパターニング方法を利用して、パターニングされた発光層および波長変換フィルムを簡便に形成することができる感放射線性の硬化性樹脂組成物が求められている。 Therefore, there is a need for a radiation-sensitive curable resin composition that has excellent radiation sensitivity and can easily form a patterned light-emitting layer and wavelength conversion film using a known patterning method such as a photolithography method. ing.
本発明は、以上のような問題に鑑みてなされたものである。すなわち、本発明の目的は、半導体量子ドットを含み、蛍光特性に優れた高い信頼性の硬化膜を簡便に形成できる硬化性樹脂組成物を提供することである。 The present invention has been made in view of the above problems. That is, an object of the present invention is to provide a curable resin composition that includes a semiconductor quantum dot and can easily form a highly reliable cured film having excellent fluorescence characteristics.
また、本発明の目的は、半導体量子ドットを含む硬化性樹脂組成物を用いて形成され、蛍光特性に優れ、高い信頼性を有する硬化膜を提供することにある。 Another object of the present invention is to provide a cured film that is formed using a curable resin composition containing semiconductor quantum dots and has excellent fluorescence characteristics and high reliability.
また、本発明の目的は、半導体量子ドットを含む硬化性樹脂組成物を用いて形成され、蛍光特性と信頼性に優れた発光層を有する発光素子を提供することにある。 Another object of the present invention is to provide a light-emitting element formed using a curable resin composition containing semiconductor quantum dots and having a light-emitting layer having excellent fluorescence characteristics and reliability.
また、本発明の目的は、半導体量子ドットを含む硬化性樹脂組成物を用いて形成され、蛍光特性に優れ、高い信頼性を有する波長変換フィルムを提供することにある。 Another object of the present invention is to provide a wavelength conversion film that is formed using a curable resin composition containing semiconductor quantum dots, has excellent fluorescence characteristics, and has high reliability.
さらに、本発明の目的は、半導体量子ドットを含む硬化性樹脂組成物を用いた発光層の形成方法を提供することにある。 Furthermore, the objective of this invention is providing the formation method of the light emitting layer using the curable resin composition containing a semiconductor quantum dot.
本発明の他の目的および利点は、以下の記載から明らかとなるであろう。 Other objects and advantages of the present invention will become apparent from the following description.
本発明の第1の態様は、
[X]アルカリ可溶性樹脂、
[Y]半導体量子ドット、
[Z]多官能アクリレート、
[V]連鎖移動剤、および
[W]感放射線性重合開始剤
を含有することを特徴とする硬化性樹脂組成物に関する。
The first aspect of the present invention is:
[X] alkali-soluble resin,
[Y] semiconductor quantum dots,
[Z] polyfunctional acrylate,
The present invention relates to a curable resin composition comprising [V] a chain transfer agent and [W] a radiation-sensitive polymerization initiator.
本発明の第1の態様において、[X]アルカリ可溶性樹脂が、(X1)芳香環を有する構成単位および(X2)(メタ)アクリロイルオキシ基を有する構成単位を含む重合体であることが好ましい。 In the first aspect of the present invention, the [X] alkali-soluble resin is preferably a polymer containing a structural unit having (X1) an aromatic ring and a structural unit having (X2) (meth) acryloyloxy group.
本発明の第1の態様において、[X]アルカリ可溶性樹脂中の(X1)芳香環を有する構成単位の含有量は、[X]重合体全体の20mol%〜90mol%であることが好ましい。 1st aspect of this invention WHEREIN: It is preferable that content of the structural unit which has (X1) aromatic ring in [X] alkali-soluble resin is 20 mol%-90 mol% of the whole [X] polymer.
本発明の第1の態様において、[Y]半導体量子ドットが、Inを構成成分として含む化合物からなることが好ましい。 In the first aspect of the present invention, the [Y] semiconductor quantum dot is preferably made of a compound containing In as a constituent component.
本発明の第1の態様において、[Y]半導体量子ドットが、InP/ZnS化合物、CuInS2/ZnS化合物、AgInS2化合物、(ZnS/AgInS2)固溶体/ZnS化合物、ZnドープAgInS2化合物およびSi化合物よりなる群から選ばれる少なくとも1種であることが好ましい。 In the first embodiment of the present invention, the [Y] semiconductor quantum dot comprises an InP / ZnS compound, a CuInS 2 / ZnS compound, an AgInS 2 compound, a (ZnS / AgInS 2 ) solid solution / ZnS compound, a Zn-doped AgInS 2 compound, and a Si It is preferably at least one selected from the group consisting of compounds.
本発明の第1の態様において、[V]連鎖移動剤は、メルカプト基を有する化合物を含むことが好ましい。 In the first aspect of the present invention, the [V] chain transfer agent preferably contains a compound having a mercapto group.
本発明の第2の態様は、本発明の第1の態様の硬化性樹脂組成物を用いて形成されたことを特徴とする硬化膜に関する。 The second aspect of the present invention relates to a cured film characterized by being formed using the curable resin composition of the first aspect of the present invention.
本発明の第3の態様は、本発明の第1の態様の硬化性樹脂組成物を用いて形成された発光層を有することを特徴とする発光素子に関する。 A third aspect of the present invention relates to a light emitting device having a light emitting layer formed using the curable resin composition of the first aspect of the present invention.
本発明の第4の態様は、本発明の第1の態様の硬化性樹脂組成物を用いて形成されたことを特徴とする波長変換フィルムに関する。 4th aspect of this invention is related with the wavelength conversion film formed using the curable resin composition of 1st aspect of this invention.
本発明の第5の態様は、発光素子の発光層の形成方法であって、
(1)本発明の第1の態様の硬化性樹脂組成物の塗膜を基板上に形成する工程、
(2)工程(1)で形成した塗膜の少なくとも一部に放射線を照射する工程、
(3)工程(2)で放射線を照射された塗膜を現像する工程、および
(4)工程(3)で現像された塗膜を加熱する工程
を有することを特徴とする発光層の形成方法に関する。
A fifth aspect of the present invention is a method for forming a light emitting layer of a light emitting element,
(1) The process of forming the coating film of the curable resin composition of the 1st aspect of this invention on a board | substrate,
(2) A step of irradiating at least a part of the coating film formed in step (1),
(3) A step of developing the coating film irradiated with radiation in the step (2), and (4) a step of heating the coating film developed in the step (3). About.
本発明の第1の態様によれば、半導体量子ドットを含み、蛍光特性に優れた高信頼性の硬化膜を簡便に形成できる硬化性樹脂組成物が提供される。 According to the 1st aspect of this invention, the curable resin composition which contains a semiconductor quantum dot and can form easily the highly reliable cured film excellent in the fluorescence characteristic is provided.
また、本発明の第2の態様によれば、半導体量子ドットを含む硬化性樹脂組成物を用いて形成され、蛍光特性に優れ、高い信頼性を有する硬化膜が提供される。 Moreover, according to the 2nd aspect of this invention, the cured film which is formed using the curable resin composition containing a semiconductor quantum dot, is excellent in the fluorescence characteristic, and has high reliability is provided.
また、本発明の第3の態様によれば、半導体量子ドットを含む硬化性樹脂組成物を用いて形成され、蛍光特性と信頼性に優れた発光層を有する発光素子が提供される。 Moreover, according to the 3rd aspect of this invention, the light emitting element which is formed using the curable resin composition containing a semiconductor quantum dot and has a light emitting layer excellent in the fluorescence characteristic and reliability is provided.
また、本発明の第4の態様によれば、半導体量子ドットを含む硬化性樹脂組成物を用いて形成され、蛍光特性に優れ、高い信頼性を有する波長変換フィルムを提供することである。 Moreover, according to the 4th aspect of this invention, it is formed using the curable resin composition containing a semiconductor quantum dot, and is providing the wavelength conversion film which is excellent in the fluorescence characteristic and has high reliability.
さらに、本発明の第5の態様によれば、半導体量子ドットを含む硬化性樹脂組成物を用いた、発光素子の発光層の形成方法が提供される。 Furthermore, according to the 5th aspect of this invention, the formation method of the light emitting layer of a light emitting element using the curable resin composition containing a semiconductor quantum dot is provided.
本発明の硬化性樹脂組成物は、[X]アルカリ可溶性樹脂(以下、単に[X]成分とも言う。)、[Y]半導体量子ドット(以下、単に[Y]成分とも言う。)、[Z]多官能アクリレート(以下、単に[Z]成分とも言う。)、[V]連鎖移動剤(以下、単に[V]成分とも言う。)、[W]感放射線性重合開始剤(以下、単に[W]成分とも言う。)を含有してなる硬化性の樹脂組成物である。 The curable resin composition of the present invention includes [X] alkali-soluble resin (hereinafter also simply referred to as [X] component), [Y] semiconductor quantum dots (hereinafter also simply referred to as [Y] component), and [Z. ] Polyfunctional acrylate (hereinafter also referred to simply as [Z] component), [V] chain transfer agent (hereinafter also referred to simply as [V] component), [W] radiation sensitive polymerization initiator (hereinafter referred to simply as [[ W] component)) is a curable resin composition.
本発明の硬化性樹脂組成物は、[X]アルカリ可溶性樹脂と[Y]半導体量子ドットとを含有してなり、半導体量子ドットを含んで樹脂材料からなる層や膜を形成することができる。そして、本発明の硬化性樹脂組成物は、さらに[V]連鎖移動剤および[Z]多官能アクリレートを含有し、樹脂成分の架橋を促進して、半導体量子ドットを含む層や膜を形成することができる。すなわち、本発明の硬化性樹脂組成物から形成される層や膜は、樹脂成分の架橋によって強度が向上されており、含有する半導体量子ドットを保護して形成時の特性の劣化を抑え、さらにその信頼性を向上することを可能とする。 The curable resin composition of the present invention contains [X] alkali-soluble resin and [Y] semiconductor quantum dots, and can form a layer or film made of a resin material including the semiconductor quantum dots. The curable resin composition of the present invention further contains a [V] chain transfer agent and [Z] polyfunctional acrylate, and promotes crosslinking of the resin component to form a layer or film containing semiconductor quantum dots. be able to. That is, the layer or film formed from the curable resin composition of the present invention is improved in strength by crosslinking of the resin component, protects the semiconductor quantum dots contained, and suppresses deterioration of characteristics during formation, The reliability can be improved.
また、本発明の硬化性樹脂組成物は、[W]感放射線性重合開始剤を含有し、感放射線性を有することができる。そのために、本発明の硬化性樹脂組成物は、その感放射線性に基づき、例えば、フォトリソグラフィ法等を利用したパターニングが可能である。 Moreover, the curable resin composition of this invention contains a [W] radiation sensitive polymerization initiator, and can have radiation sensitivity. Therefore, the curable resin composition of the present invention can be patterned using, for example, a photolithography method based on its radiation sensitivity.
尚、本発明において、露光に際して照射される「放射線」には、可視光線、紫外線、遠紫外線、X線および荷電粒子線等が含まれる。 In the present invention, “radiation” irradiated upon exposure includes visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, X-rays, charged particle beams, and the like.
また、フォトリソグラフィ法には、加工や処理を受ける基板の表面に、所謂レジスト組成物を塗布してレジスト膜を形成する工程、光や電子線を照射して所定のレジストパターンを露光することによりレジストパターン潜像を形成する露光工程、必要に応じ加熱処理する工程、次いでこれを現像して所望の微細パターンを形成する現像工程、および、この微細パターンをマスクとして基板に対してエッチング等の加工を行う工程等が含まれる。 Also, in the photolithography method, a so-called resist composition is applied to the surface of a substrate to be processed or processed to form a resist film, and a predetermined resist pattern is exposed by irradiating light or an electron beam. An exposure process for forming a resist pattern latent image, a heating process as necessary, a development process for developing the resist pattern to form a desired fine pattern, and a process such as etching the substrate using the fine pattern as a mask The process etc. which perform are included.
そして、本発明の硬化性樹脂組成物は、必要な場合にパターニングが施され、本発明の硬化膜を形成する。本発明の硬化膜は、架橋によって強化された樹脂中に[Y]半導体量子ドットが含まれて構成される。 The curable resin composition of the present invention is patterned when necessary to form the cured film of the present invention. The cured film of the present invention is constituted by including [Y] semiconductor quantum dots in a resin reinforced by crosslinking.
そして、本発明の硬化膜は、[Y]半導体量子ドットに基づく蛍光発光(波長変換)機能を有する。そのため、励起光と異なる波長の蛍光を発光する波長変換フィルムや発光層としての利用が可能である。 The cured film of the present invention has a fluorescence emission (wavelength conversion) function based on [Y] semiconductor quantum dots. Therefore, it can be used as a wavelength conversion film or a light emitting layer that emits fluorescence having a wavelength different from that of excitation light.
特に、本発明の硬化膜は、発光素子の発光層としての利用に好適であり、後述する本発明の発光素子の構成に用いることができる。 In particular, the cured film of the present invention is suitable for use as a light emitting layer of a light emitting element, and can be used for the structure of the light emitting element of the present invention described later.
以下、本発明の硬化性樹脂組成物、硬化膜、発光素子、波長変換フィルム、および、発光層の形成方法について説明する。 Hereinafter, the curable resin composition, the cured film, the light emitting element, the wavelength conversion film, and the method for forming the light emitting layer of the present invention will be described.
実施の形態1.
<硬化性樹脂組成物>
本発明の第1実施形態の硬化性樹脂組成物は、上述したように、[X]アルカリ可溶性樹脂、[Y]半導体量子ドット、[Z]多官能アクリレート、[V]連鎖移動剤および[W]感放射線性重合開始剤を含有して構成される。[X]アルカリ可溶性樹脂は、アルカリ現像性を有する樹脂であれば限定されない。尚、硬化性樹脂組成物の[X]アルカリ可溶性樹脂について、以下、単に[X]重合体とも言う。
<Curable resin composition>
As described above, the curable resin composition of the first embodiment of the present invention includes [X] alkali-soluble resin, [Y] semiconductor quantum dots, [Z] polyfunctional acrylate, [V] chain transfer agent, and [W]. ] Consists of a radiation-sensitive polymerization initiator. [X] The alkali-soluble resin is not limited as long as it is a resin having alkali developability. Hereinafter, the [X] alkali-soluble resin of the curable resin composition is also simply referred to as [X] polymer.
[X]重合体としては、例えば、アクリル系樹脂またはポリイミドを用いることができる。そして、[X]重合体は、それら中でも特に、(X1)芳香環を有する構成単位および(X2)(メタ)アクリロイルオキシ基を有する構成単位を含む重合体とすることができる。
また、本発明の実施形態である硬化性樹脂組成物は、本発明の効果を損なわない限り、その他の任意成分を含有することができる。
[X] As the polymer, for example, acrylic resin or polyimide can be used. The [X] polymer can be a polymer containing a structural unit having (X1) an aromatic ring and a structural unit having (X2) (meth) acryloyloxy group, among others.
Moreover, the curable resin composition which is embodiment of this invention can contain another arbitrary component, unless the effect of this invention is impaired.
そして、本発明の硬化性樹脂組成物は、塗布等の方法を利用して、[Y]半導体量子ドットを含有して優れた蛍光発光(波長変換)機能(以下、単に、蛍光性または蛍光特性等とも言う。)と高い信頼性を備えた本発明の実施形態の硬化膜を形成することができる。 The curable resin composition of the present invention contains an excellent fluorescent emission (wavelength conversion) function (hereinafter simply referred to as fluorescence or fluorescence characteristics) containing [Y] semiconductor quantum dots by utilizing a method such as coating. It is also possible to form a cured film according to an embodiment of the present invention having high reliability.
以下で、本発明の第1実施形態の硬化性樹脂組成物の含有成分について説明する。 Hereinafter, the components contained in the curable resin composition of the first embodiment of the present invention will be described.
〔[X]重合体〕
[X]重合体は、上述したように、(X1)芳香環を有する構成単位、(X2)(メタ)アクリロイルオキシ基を有する構成単位を含む重合体とすることができる。[X]重合体は、アルカリに可溶なアルカリ可溶性樹脂である。ここでは特に、(X1)芳香環を有する構成単位および(X2)(メタ)アクリロイルオキシ基を有する構成単位を含む重合体である、[X]重合体について説明する。
[[X] polymer]
[X] The polymer can be a polymer containing (X1) a structural unit having an aromatic ring and (X2) a structural unit having a (meth) acryloyloxy group, as described above. [X] The polymer is an alkali-soluble resin that is soluble in alkali. Here, in particular, the [X] polymer, which is a polymer containing a structural unit having (X1) an aromatic ring and a structural unit having (X2) (meth) acryloyloxy group, will be described.
(X1)芳香環を有する構成単位は、下記式(1)で示される構成単位である。(X1)芳香環を有する構成単位を含むことによって、硬化性樹脂組成物を用いて形成される硬化膜の耐熱性を向上することができる。 (X1) The structural unit having an aromatic ring is a structural unit represented by the following formula (1). (X1) By including the structural unit which has an aromatic ring, the heat resistance of the cured film formed using a curable resin composition can be improved.
上記式(1)中、R21は、炭素数1〜12のアルキル基、水酸基、炭素数1〜12のアルコキシル基、ハロゲンを示す。R22は、単結合、メチレン基、炭素数2〜6のアルキレン基を示す。R23は、単結合、エステル結合を示す。R24は水素原子、メチル基を示す。 In the above formula (1), R 21 represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a hydroxyl group, an alkoxyl group having 1 to 12 carbon atoms, a halogen. R 22 represents a single bond, a methylene group, or an alkylene group having 2 to 6 carbon atoms. R 23 represents a single bond or an ester bond. R 24 represents a hydrogen atom or a methyl group.
(X1)芳香環を有する構成単位を形成するための具体的な重合性化合物としては、以下のものが挙げられる。 (X1) Specific polymerizable compounds for forming a structural unit having an aromatic ring include the following.
スチレン、p−ヒドロキシスチレン、α−メチルスチレン、m−メチルスチレン、p−メチルスチレン、p−クロロスチレン、p−メトキシスチレン、p−(t−ブトキシ)スチレン;
アクリル酸フェニル、メタクリル酸フェニル、アクリル酸4−ヒドロキシフェニル、メタクリル酸4−ヒドロキシフェニル、アクリル酸ベンジル、メタクリル酸ベンジル、アクリル酸フェネチル、メタクリル酸フェネチル等が挙げられる。
Styrene, p-hydroxystyrene, α-methylstyrene, m-methylstyrene, p-methylstyrene, p-chlorostyrene, p-methoxystyrene, p- (t-butoxy) styrene;
Examples include phenyl acrylate, phenyl methacrylate, 4-hydroxyphenyl acrylate, 4-hydroxyphenyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, phenethyl acrylate, phenethyl methacrylate, and the like.
これらのうち特に、スチレン、アクリル酸ベンジル、メタクリル酸ベンジルが重合性の観点から望ましい。 Of these, styrene, benzyl acrylate, and benzyl methacrylate are particularly desirable from the viewpoint of polymerizability.
[X]重合体における(X1)芳香環を有する構成単位の含有量は、[X]重合体全成分のうちの20mol%〜90mol%であることが好ましく、さらに好ましくは、50mol%〜80mol%である。 [X] The content of the structural unit having an aromatic ring (X1) in the polymer is preferably 20 mol% to 90 mol%, more preferably 50 mol% to 80 mol%, of all the components of the [X] polymer. It is.
20mol%より少ない含有量の場合、得られる硬化膜の強度を十分に向上させる制御が難しく、耐熱性も十分でない。また、90mol%を超える含有量の場合、パターニングに際して、現像時の現像不良の原因となり、現像残渣が発生しやすくなる。 When the content is less than 20 mol%, it is difficult to control the strength of the obtained cured film sufficiently, and the heat resistance is not sufficient. On the other hand, when the content exceeds 90 mol%, a development residue is likely to occur during patterning, causing development failure during development.
[X]重合体の(X2)(メタ)アクリロイルオキシ基を有する構成単位は、重合体中のカルボキシル基にエポキシ基を有する(メタ)アクリル酸エステルを反応させて得られる。反応後の(メタ)アクリロイルオキシ基を有する構成単位は、下記式(2)で表される構成単位であることが望ましい。 [X] The structural unit having a (X2) (meth) acryloyloxy group of the polymer is obtained by reacting a carboxyl group in the polymer with a (meth) acrylic acid ester having an epoxy group. The structural unit having a (meth) acryloyloxy group after the reaction is preferably a structural unit represented by the following formula (2).
上記式(2)中、R10およびR11は、それぞれ独立して水素原子またはメチル基である。cは、1〜6の整数である。R12は、下記式(3−1)または下記式(3−2)で表される2価の基である。 In the above formula (2), R 10 and R 11 are each independently a hydrogen atom or a methyl group. c is an integer of 1-6. R 12 is a divalent group represented by the following formula (3-1) or the following formula (3-2).
上記式(3−1)中、R13は、水素原子またはメチル基である。上記式(3−1)および上記式(3−2)中、*は、酸素原子と結合する部位を示す。 In the above formula (3-1), R 13 is a hydrogen atom or a methyl group. In the above formula (3-1) and the above formula (3-2), * represents a site bonded to an oxygen atom.
上記式(2)で表される構成単位について、例えば、カルボキシル基を有する共重合体に、メタクリル酸グリシジル、メタクリル酸2−メチルグリシジル等の化合物を反応させた場合、式(2)中のR12は、式(3−1)となる。一方、カルボキシル基を有する共重合体に、メタクリル酸3,4−エポキシシクロヘキシルメチル等の化合物を反応させた場合、式(2)中のR12は、式(3−2)となる。 For the structural unit represented by the formula (2), for example, when a compound having a carboxyl group is reacted with a compound such as glycidyl methacrylate or 2-methylglycidyl methacrylate, R in the formula (2) 12 becomes Formula (3-1). On the other hand, when a copolymer such as 3,4-epoxycyclohexylmethyl methacrylate is reacted with a copolymer having a carboxyl group, R 12 in the formula (2) becomes the formula (3-2).
上述した重合体中のカルボキシル基とエポキシ基を有する(メタ)アクリル酸エステル等の不飽和化合物との反応においては、必要に応じて適当な触媒の存在下において、好ましくは重合禁止剤を含む重合体の溶液に、エポキシ基を有する不飽和化合物を投入し、加温下で所定時間攪拌する。上記触媒としては、例えば、テトラブチルアンモニウムブロミド等が挙げられる。上記重合禁止剤としては、例えば、p−メトキシフェノール等が挙げられる。反応温度は、70℃〜100℃が好ましい。反応時間は、8時間〜12時間が好ましい。 In the reaction of the carboxyl group in the polymer described above with an unsaturated compound such as a (meth) acrylic acid ester having an epoxy group, a polymer containing a polymerization inhibitor is preferably contained in the presence of a suitable catalyst as necessary. An unsaturated compound having an epoxy group is added to the combined solution and stirred for a predetermined time under heating. Examples of the catalyst include tetrabutylammonium bromide. Examples of the polymerization inhibitor include p-methoxyphenol. The reaction temperature is preferably 70 ° C to 100 ° C. The reaction time is preferably 8 hours to 12 hours.
[X]重合体における(X2)(メタ)アクリロイルオキシ基を有する構成単位の含有量は、[X]重合体全成分のうちの10mol%〜70mol%であることが好ましく、20mol%〜50mol%であることがより好ましい。
(X2)(メタ)アクリロイルオキシ基を有する構成単位の含有量が10mol%より少ない場合、本実施形態の硬化性樹脂組成物の放射線への感度が低下する傾向にあり、得られる硬化膜の耐熱性も十分でない。また、70mol%より多く含有する場合では、現像時の現像不良の原因となり、現像残渣が発生しやすくなる。
[X] The content of the structural unit having (X2) (meth) acryloyloxy group in the polymer is preferably 10 mol% to 70 mol%, and 20 mol% to 50 mol% of all the components of the [X] polymer. It is more preferable that
(X2) When the content of the structural unit having a (meth) acryloyloxy group is less than 10 mol%, the sensitivity of the curable resin composition of the present embodiment to radiation tends to decrease, and the heat resistance of the resulting cured film Sex is not enough. On the other hand, when the content is more than 70 mol%, it causes development failure at the time of development, and development residue tends to occur.
重合体中のカルボキシル基は、以下に示すカルボキシル基を有する不飽和単量体を重合することで導入することができる。そして、カルボキシル基を有する構成単位を構成する。 The carboxyl group in the polymer can be introduced by polymerizing an unsaturated monomer having a carboxyl group shown below. And the structural unit which has a carboxyl group is comprised.
そのような不飽和単量体としては、不飽和モノカルボン酸、不飽和ジカルボン酸、不飽和ジカルボン酸の無水物、多価カルボン酸のモノ〔(メタ)アクリロイルオキシアルキル〕エステル等が挙げられる。 Examples of such unsaturated monomers include unsaturated monocarboxylic acids, unsaturated dicarboxylic acids, unsaturated dicarboxylic acid anhydrides, and mono [(meth) acryloyloxyalkyl] esters of polyvalent carboxylic acids.
不飽和モノカルボン酸としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸等が挙げられる。不飽和ジカルボン酸としては、例えば、マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸等が挙げられる。不飽和ジカルボン酸の無水物としては、例えば、上記ジカルボン酸として例示した化合物の無水物等が挙げられる。 Examples of the unsaturated monocarboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, and crotonic acid. Examples of the unsaturated dicarboxylic acid include maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid, itaconic acid and the like. As an anhydride of unsaturated dicarboxylic acid, the anhydride of the compound illustrated as said dicarboxylic acid etc. are mentioned, for example.
多価カルボン酸のモノ〔(メタ)アクリロイルオキシアルキル〕エステルとしては、例えば、コハク酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕、フタル酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕等が挙げられる。 Examples of mono [(meth) acryloyloxyalkyl] esters of polyvalent carboxylic acids include succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl], phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] and the like. It is done.
これらのうち、アクリル酸、メタクリル酸、無水マレイン酸が好ましく、アクリル酸、メタクリル酸、無水マレイン酸が共重合反応性、アルカリ水溶液に対する溶解性および入手の容易性からより好ましい。これらの化合物は単独で使用してもよいし、2種以上を混合して使用してもよい。 Among these, acrylic acid, methacrylic acid, and maleic anhydride are preferable, and acrylic acid, methacrylic acid, and maleic anhydride are more preferable from the viewpoint of copolymerization reactivity, solubility in an alkaline aqueous solution, and availability. These compounds may be used alone or in combination of two or more.
使用割合は、(X2)(メタ)アクリロイルオキシ基を有する構成単位の使用割合よりも5mol%〜20mol%多いことが望ましい。カルボキシル基の全てをエポキシ基を有する(メタ)アクリル酸エステルと反応させてしまうと、アルカリ現像液に対する現像性が損なわれてしまうためである。そこで、5mol%〜90mol%の範囲であることが好ましく、15mol%〜70mol%の範囲であることがより好ましい。 The usage rate is desirably 5 mol% to 20 mol% higher than the usage rate of the structural unit having the (X2) (meth) acryloyloxy group. This is because, when all of the carboxyl groups are reacted with the (meth) acrylic acid ester having an epoxy group, the developability with respect to an alkaline developer is impaired. Therefore, it is preferably in the range of 5 mol% to 90 mol%, and more preferably in the range of 15 mol% to 70 mol%.
[X]重合体は、(X1)芳香環を有する構成単位(以下、単に「(X1)構成単位」とも言う。)、(X2)(メタ)アクリロイルオキシ基を有するの構成単位(以下、単に「(X2)構成単位」とも言う。)、および上述のカルボキシル基を有する構成単位(以下、「(X3)構成単位」と言う。)以外に、以下の不飽和単量体由来の構成単位(以下、「(X4)構成単位」と言う。)を有してもよい。 [X] The polymer comprises (X1) a structural unit having an aromatic ring (hereinafter, also simply referred to as “(X1) structural unit”), (X2) a structural unit having a (meth) acryloyloxy group (hereinafter simply referred to as “X1”). In addition to “(X2) structural unit”) and the above-mentioned structural unit having a carboxyl group (hereinafter referred to as “(X3) structural unit”), the following structural units derived from unsaturated monomers ( Hereinafter, it may be referred to as “(X4) structural unit”.
(X4)構成単位としては、以下のオキセタニル基を有する構成単位、アルキル基を有する構成単位、マレイミド骨格を有する構成単位、およびテトラヒドロフラン骨格を含有する構成単位等を挙げることができる。 Examples of the structural unit (X4) include the following structural units having an oxetanyl group, structural units having an alkyl group, structural units having a maleimide skeleton, and structural units having a tetrahydrofuran skeleton.
オキセタニル基を有する構成単位を形成する不飽和単量体としては、例えば、
3−(アクリロイルオキシメチル)オキセタン、3−(アクリロイルオキシメチル)−2−メチルオキセタン、3−(アクリロイルオキシメチル)−3−エチルオキセタン、3−(アクリロイルオキシメチル)−2−フェニルオキセタン、3−(2−アクリロイルオキシエチル)オキセタン、3−(2−アクリロイルオキシエチル)−2−エチルオキセタン、3−(2−アクリロイルオキシエチル)−3−エチルオキセタン、3−(2−アクリロイルオキシエチル)−2−フェニルオキセタン等のアクリル酸エステル;
3−(メタクリロイルオキシメチル)オキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2−メチルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−3−エチルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2−フェニルオキセタン、3−(2−メタクリロイルオキシエチル)オキセタン、3−(2−メタクリロイルオキシエチル)−2−エチルオキセタン、3−(2−メタクリロイルオキシエチル)−3−エチルオキセタン、3−(2−メタクリロイルオキシエチル)−2−フェニルオキセタン、3−(2−メタクリロイルオキシエチル)−2,2−ジフルオロオキセタン等のメタクリル酸エステル等が挙げられる。
As an unsaturated monomer that forms a structural unit having an oxetanyl group, for example,
3- (acryloyloxymethyl) oxetane, 3- (acryloyloxymethyl) -2-methyloxetane, 3- (acryloyloxymethyl) -3-ethyloxetane, 3- (acryloyloxymethyl) -2-phenyloxetane, 3- (2-acryloyloxyethyl) oxetane, 3- (2-acryloyloxyethyl) -2-ethyloxetane, 3- (2-acryloyloxyethyl) -3-ethyloxetane, 3- (2-acryloyloxyethyl) -2 -Acrylic esters such as phenyloxetane;
3- (methacryloyloxymethyl) oxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) -2-methyloxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) -3-ethyloxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) -2-phenyloxetane, 3- (2-methacryloyloxyethyl) oxetane, 3- (2-methacryloyloxyethyl) -2-ethyloxetane, 3- (2-methacryloyloxyethyl) -3-ethyloxetane, 3- (2-methacryloyloxyethyl) -2 -Methacrylic acid esters such as phenyloxetane and 3- (2-methacryloyloxyethyl) -2,2-difluorooxetane.
(X4)構成単位であるアルキル基を有する構成単位を形成する不飽和単量体としては、例えば、メタクリル酸鎖状アルキルエステル、メタクリル酸環状アルキルエステル等が挙げられ、
メタクリル酸鎖状アルキルエステルとしては、例えば、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸n−ブチル、メタクリル酸sec−ブチル、メタクリル酸t−ブチル、メタクリル酸2−エチルヘキシル、メタクリル酸イソデシル、メタクリル酸n−ラウリル、メタクリル酸トリデシル、メタクリル酸n−ステアリル等が挙げられる。
また、メタクリル酸環状アルキルエステルとしては、例えば、メタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸2−メチルシクロヘキシル、メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル、メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イルオキシエチル、メタクリル酸イソボロニル、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸n−ブチル、アクリル酸sec−ブチル、アクリル酸t−ブチル、アクリル酸2−エチルヘキシル、アクリル酸イソデシル、アクリル酸n−ラウリル、アクリル酸トリデシル、アクリル酸n−ステアリル、アクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸−2−メチルシクロヘキシル、アクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル、アクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イルオキシエチル、アクリル酸イソボロニル等が挙げられる。
(X4) Examples of the unsaturated monomer that forms a structural unit having an alkyl group that is a structural unit include a methacrylic acid chain alkyl ester, a methacrylic acid cyclic alkyl ester, and the like.
Examples of the chain alkyl ester of methacrylic acid include, for example, methyl methacrylate, ethyl methacrylate, n-butyl methacrylate, sec-butyl methacrylate, t-butyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, isodecyl methacrylate, n methacrylate. -Lauryl, tridecyl methacrylate, n-stearyl methacrylate and the like.
Examples of the cyclic alkyl ester of methacrylic acid include, for example, cyclohexyl methacrylate, 2-methylcyclohexyl methacrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl methacrylate, and tricyclomethacrylate [5. 2.1.0 2,6 ] decan-8-yloxyethyl, isobornyl methacrylate, methyl acrylate, ethyl acrylate, n-butyl acrylate, sec-butyl acrylate, t-butyl acrylate, acrylic acid 2 -Ethylhexyl, isodecyl acrylate, n-lauryl acrylate, tridecyl acrylate, n-stearyl acrylate, cyclohexyl acrylate, 2-methylcyclohexyl acrylate, tricycloacrylate [5.2.1.0 2,6 ] Decan-8-yl, trisic acrylate [5.2.1.0 2,6] decan-8-yl oxy ethyl, and the like isobornyl acrylate.
(X4)構成単位であるマレイミド骨格を有する構成単位を形成する不飽和単量体としては、マレイミド化合物等が挙げられ、
マレイミド化合物としては、例えば、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、N−(4−ヒドロキシフェニル)マレイミド、N−(4−ヒドロキシベンジル)マレイミド、N−スクシンイミジル−3−マレイミドベンゾエート、N−スクシンイミジル−4−マレイミドブチレート、N−スクシンイミジル−6−マレイミドカプロエート、N−スクシンイミジル−3−マレイミドプロピオネート、N−(9−アクリジニル)マレイミド等が挙げられる。
(X4) Examples of the unsaturated monomer that forms a structural unit having a maleimide skeleton as a structural unit include a maleimide compound.
Examples of maleimide compounds include N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-benzylmaleimide, N- (4-hydroxyphenyl) maleimide, N- (4-hydroxybenzyl) maleimide, N-succinimidyl-3-maleimidobenzoate N-succinimidyl-4-maleimidobutyrate, N-succinimidyl-6-maleimidocaproate, N-succinimidyl-3-maleimidopropionate, N- (9-acridinyl) maleimide and the like.
(X4)構成単位であるテトラヒドロフラン骨格を含有する構成単位を形成する不飽和単量体としては、例えば、メタクリル酸テトラヒドロフルフリル、2−メタクリロイルオキシ−プロピオン酸テトラヒドロフルフリルエステル、3−(メタ)アクリロイルオキシテトラヒドロフラン−2−オン等が挙げられる。 (X4) Examples of the unsaturated monomer that forms a structural unit containing a tetrahydrofuran skeleton which is a structural unit include methacrylic acid tetrahydrofurfuryl, 2-methacryloyloxy-propionic acid tetrahydrofurfuryl ester, and 3- (meth). And acryloyloxytetrahydrofuran-2-one.
(X4)構成単位を構成する不飽和単量体のうち、メタクリル酸メチル、メタクリル酸t−ブチル、メタクリル酸n−ラウリル、メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル、アクリル酸−2−メチルシクロヘキシル、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、メタクリル酸テトラヒドロフルフリルが、共重合反応性およびアルカリ水溶液に対する溶解性の点から好ましい。 (X4) Among unsaturated monomers constituting the structural unit, methyl methacrylate, t-butyl methacrylate, n-lauryl methacrylate, tricyclomethacrylate [5.2.1.0 2,6 ] decane-8 -Il, acrylate-2-methylcyclohexyl, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, and tetrahydrofurfuryl methacrylate are preferred from the viewpoints of copolymerization reactivity and solubility in an aqueous alkali solution.
これらの化合物は、(X4)構成単位の形成のため、単独で使用してもよいし、2種以上を混合して使用してもよい。使用割合としては、(X1)構成単位、(X2)構成単位、(X3)構成単位、(X4)構成単位との合計に基づいて、10質量%〜80質量%が好ましい。 These compounds may be used alone or in combination of two or more for the formation of the (X4) structural unit. The use ratio is preferably 10% by mass to 80% by mass based on the total of (X1) structural unit, (X2) structural unit, (X3) structural unit, and (X4) structural unit.
[X]重合体は、例えば、溶媒中で重合開始剤の存在下、上記(X1)構成単位を形成するための化合物(以下、「(X1)化合物」とも言う。)並びに(X2)構成単位を形成するための化合物(以下、「(X2)化合物」とも言う。)(任意の(X3)構成単位を形成するための化合物(以下、「(X3)化合物」とも言う。)化合物および(X4)構成単位を形成するための不飽和単量体(以下、「(X4)化合物」とも言う。))を共重合することによって製造できる。 [X] The polymer is, for example, a compound for forming the (X1) constituent unit (hereinafter also referred to as “(X1) compound”) and (X2) constituent unit in the presence of a polymerization initiator in a solvent. (Hereinafter also referred to as “(X2) compound”) (compound for forming an arbitrary (X3) structural unit (hereinafter also referred to as “(X3) compound”) compound and (X4) ) It can be produced by copolymerizing an unsaturated monomer (hereinafter also referred to as “(X4) compound”) for forming a structural unit.
[X]重合体を製造するための重合反応に用いられる溶媒としては、例えば、アルコール、グリコールエーテル、エチレングリコールアルキルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノアルキルエーテル、ジエチレングリコールジアルキルエーテル、ジプロピレングリコールジアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールアルキルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネート、メチル−3−メトキシプロピオネート、ケトン、エステル等が挙げられる。 [X] Solvents used in the polymerization reaction for producing the polymer include, for example, alcohol, glycol ether, ethylene glycol alkyl ether acetate, diethylene glycol monoalkyl ether, diethylene glycol dialkyl ether, dipropylene glycol dialkyl ether, propylene glycol mono Examples include alkyl ether, propylene glycol alkyl ether acetate, propylene glycol monoalkyl ether propionate, methyl-3-methoxypropionate, ketone, ester and the like.
[X]重合体を製造するための重合反応に用いられる重合開始剤としては、一般的にラジカル重合開始剤として知られているものが使用できる。ラジカル重合開始剤としては、例えば、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル(AIBN)、2,2’−アゾビス−(2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2’−アゾビス−(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)等のアゾ化合物が挙げられる。 [X] As the polymerization initiator used in the polymerization reaction for producing the polymer, those generally known as radical polymerization initiators can be used. Examples of the radical polymerization initiator include 2,2′-azobisisobutyronitrile (AIBN), 2,2′-azobis- (2,4-dimethylvaleronitrile), 2,2′-azobis- (4 Azo compounds such as -methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile).
[X]重合体を製造するための重合反応においては、分子量の調整を目的として、分子量調整剤を使用することができる。 [X] In the polymerization reaction for producing the polymer, a molecular weight modifier can be used for the purpose of adjusting the molecular weight.
分子量調整剤としては、例えば、クロロホルム、四臭化炭素等のハロゲン化炭化水素類;n−ヘキシルメルカプタン、n−オクチルメルカプタン、n−ドデシルメルカプタン、t−ドデシルメルカプタン、チオグリコール酸等のメルカプタン類;ジメチルキサントゲンスルフィド、ジイソプロピルキサントゲンジスルフィド等のキサントゲン類;ターピノーレン、α−メチルスチレンダイマー等が挙げられる。 Examples of the molecular weight modifier include halogenated hydrocarbons such as chloroform and carbon tetrabromide; mercaptans such as n-hexyl mercaptan, n-octyl mercaptan, n-dodecyl mercaptan, t-dodecyl mercaptan, and thioglycolic acid; Examples thereof include xanthogens such as dimethylxanthogen sulfide and diisopropylxanthogen disulfide; terpinolene and α-methylstyrene dimer.
[X]重合体の重量平均分子量(Mw)は、1000〜30000が好ましく、5000〜20000がより好ましい。[X]重合体のMwを上記範囲とすることで、本実施形態の硬化性樹脂組成物の放射線に対する感度および現像性を高めることができる。尚、[X]重合体のMwおよび数平均分子量(Mn)は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)により測定することができる。 [X] The weight average molecular weight (Mw) of the polymer is preferably 1000 to 30000, more preferably 5000 to 20000. [X] By making Mw of a polymer into the said range, the sensitivity with respect to the radiation and developability of the curable resin composition of this embodiment can be improved. The Mw and number average molecular weight (Mn) of the [X] polymer can be measured by gel permeation chromatography (GPC).
〔[Y]半導体量子ドット〕
本発明の第1実施形態の硬化性樹脂組成物の成分である[Y]半導体量子ドットは、CdやPbを構成成分とせず、例えば、In(インジウム)やSi(珪素)等を構成成分として構成された、安全な材料からなる半導体量子ドットである。
[[Y] Semiconductor quantum dot]
The [Y] semiconductor quantum dot, which is a component of the curable resin composition of the first embodiment of the present invention, does not contain Cd or Pb as a constituent component, for example, contains In (indium) or Si (silicon) as a constituent component. A semiconductor quantum dot composed of a safe material.
[Y]半導体量子ドットは、2族元素、11族元素、12族元素、13族元素、14族元素、15族元素および16族元素で示される元素の群から選ばれる少なくとも2種以上の元素を含む化合物からなる、半導体量子ドットであることが好ましい。
[Y] The semiconductor quantum dot is at least two elements selected from the group consisting of
そして、より具体的には、人に対する安全性について懸念の大きい、例えば、PbおよびCd等の元素が除外され、Be(ベリリウム)、Mg(マグネシウム)、Ca(カルシウム)、Sr(ストロンチウム)、Ba(バリウム)、Cu(銅)、Ag(銀)、金(Au)、亜鉛(Zn)、B(ホウ素)、Al(アルミニウム)、Ga(ガリウム)、In(インジウム)、Tl(タリウム)、C(炭素)、Si(珪素)、Ge(ゲルマニウム)、Sn(錫)、N(窒素)、P(リン)、As(ヒ素)、Sb(アンチモン)、Bi(ビスマス)、O(酸素)、S(硫黄)、Se(セレン)、Te(テルル)およびPo(ポロニウム)群から選ばれる少なくとも2種以上の元素を含む化合物からなる、半導体量子ドットであることが好ましい。 More specifically, elements such as Pb and Cd, which are of great concern for human safety, are excluded, and Be (beryllium), Mg (magnesium), Ca (calcium), Sr (strontium), Ba (Barium), Cu (copper), Ag (silver), gold (Au), zinc (Zn), B (boron), Al (aluminum), Ga (gallium), In (indium), Tl (thallium), C (Carbon), Si (silicon), Ge (germanium), Sn (tin), N (nitrogen), P (phosphorus), As (arsenic), Sb (antimony), Bi (bismuth), O (oxygen), S (Sulfur), Se (selenium), Te (tellurium), and a semiconductor quantum dot which consists of a compound containing at least 2 or more types of elements chosen from Po (polonium) group are preferable.
このとき、[Y]半導体量子ドットが500nm〜600nmの波長領域に蛍光極大を有する化合物(A)および/または600nm〜700nmの波長領域に蛍光極大を有する化合物(B)からなることが好ましい。 At this time, it is preferable that the [Y] semiconductor quantum dot consists of a compound (A) having a fluorescence maximum in a wavelength region of 500 nm to 600 nm and / or a compound (B) having a fluorescence maximum in a wavelength region of 600 nm to 700 nm.
[Y]半導体量子ドットは、このような蛍光発光特性を有する化合物(A)および/または化合物(B)からなることで、500nm〜600nmの波長領域、および/または、600nm〜700nmの波長領域に蛍光極大を有することができる。その結果、[Y]半導体量子ドットを含有する本実施形態の硬化性樹脂組成物は、可視域の光を用いて画像の表示を行う発光素子の発光層の構成に好適な硬化膜を形成することができる。 [Y] The semiconductor quantum dot is composed of the compound (A) and / or the compound (B) having such fluorescence emission characteristics, so that the wavelength range of 500 nm to 600 nm and / or the wavelength range of 600 nm to 700 nm is obtained. It can have a fluorescence maximum. As a result, the curable resin composition of the present embodiment containing [Y] semiconductor quantum dots forms a cured film suitable for the structure of the light emitting layer of the light emitting element that displays an image using light in the visible range. be able to.
そしてさらに、本実施形態の硬化性樹脂組成物に含有される[Y]半導体量子ドットが、Inを構成成分として含む化合物からなる半導体量子ドットであることがより好ましい。またほかに、[Y]半導体量子ドットとしては、Si化合物を挙げることができる。 Furthermore, it is more preferable that the [Y] semiconductor quantum dots contained in the curable resin composition of the present embodiment are semiconductor quantum dots made of a compound containing In as a constituent component. In addition, examples of [Y] semiconductor quantum dots include Si compounds.
[Y]半導体量子ドットとして好ましいSi化合物については、Siが挙げられる。 [Y] Si is preferable as the Si compound preferable as the semiconductor quantum dot.
[Y]半導体量子ドットの成分構成を上述のようにすることで、本実施形態の硬化性樹脂組成物は、安全で、優れた蛍光特性を有する硬化膜を形成することができ、さらには、安全で、優れた蛍光特性を有する波長変換フィルムや発光素子の発光層を形成することができる。 [Y] By making the component configuration of the semiconductor quantum dots as described above, the curable resin composition of the present embodiment can form a cured film that is safe and has excellent fluorescence characteristics. A wavelength conversion film having a safe and excellent fluorescence characteristic and a light emitting layer of a light emitting element can be formed.
また、本実施形態の硬化性樹脂組成物に含有される[Y]半導体量子ドットは、1種の化合物からなる均質構造型、および、2種以上の化合物からなるコアシェル構造型から選ばれる少なくとも一方の構造型の半導体量子ドットであることが好ましい。 [Y] semiconductor quantum dots contained in the curable resin composition of this embodiment are at least one selected from a homogeneous structure type composed of one compound and a core-shell structure type composed of two or more compounds. The structure type semiconductor quantum dot is preferable.
コアシェル構造型の[Y]半導体量子ドットは、1つの種類の化合物でコア構造を形成し、別の化合物でコア構造の周囲を被覆して構成される。例えば、バンドギャップのより大きい半導体でコアの半導体を被覆することにより、光励起によって生成された励起子(電子−正孔対)はコア内に閉じ込められる。その結果、量子ドット表面での無輻射遷移の確率が減少し、発光の量子収率および[Y]半導体量子ドットの蛍光特性の安定性が向上する。 A core-shell structure type [Y] semiconductor quantum dot is formed by forming a core structure with one kind of compound and coating the periphery of the core structure with another compound. For example, by covering the core semiconductor with a semiconductor having a larger band gap, excitons (electron-hole pairs) generated by photoexcitation are confined in the core. As a result, the probability of non-radiative transition on the surface of the quantum dot is reduced, and the quantum yield of light emission and the stability of the fluorescence characteristics of the [Y] semiconductor quantum dot are improved.
本実施形態の硬化性樹脂組成物に含有される[Y]半導体量子ドットは、成分構成と構造を考慮した場合、コアシェル構造型半導体量子ドットであるInP/ZnS、CuInS2/ZnSおよび(ZnS/AgInS2)固溶体/ZnS、並びに、均質構造型半導体量子ドットであるAgInS2およびZnドープAgInS2よりなる群から選ばれる少なくとも1種であることが好ましい。 [Y] semiconductor quantum dots contained in the curable resin composition of the present embodiment are InP / ZnS, CuInS 2 / ZnS, and (ZnS / AgInS 2 ) solid solution / ZnS and at least one selected from the group consisting of AgInS 2 and Zn-doped AgInS 2 which are homogeneous structure type semiconductor quantum dots are preferable.
以上より、本実施形態の硬化性樹脂組成物に含有される[Y]半導体量子ドットは、InP/ZnS化合物、CuInS2/ZnS化合物、AgInS2化合物、(ZnS/AgInS2)固溶体/ZnS化合物、ZnドープAgInS2化合物およびSi化合物の群から選ばれる少なくとも1つであることが好ましい。 From the above, the [Y] semiconductor quantum dots contained in the curable resin composition of the present embodiment are InP / ZnS compound, CuInS 2 / ZnS compound, AgInS 2 compound, (ZnS / AgInS 2 ) solid solution / ZnS compound, It is preferably at least one selected from the group of Zn-doped AgInS 2 compound and Si compound.
以上で例示した[Y]半導体量子ドットにより、それを含有する本実施形態の硬化性樹脂組成物は、安全で、より優れた蛍光特性を有する硬化膜を形成し、さらには、より優れた蛍光特性の波長変換フィルムや発光素子の発光層を形成することができる。 The curable resin composition of the present embodiment containing the [Y] semiconductor quantum dots exemplified above forms a cured film that is safe and has superior fluorescence characteristics, and more excellent fluorescence. A characteristic wavelength conversion film or a light emitting layer of a light emitting element can be formed.
また、本実施形態の硬化性樹脂組成物に含有される[Y]半導体量子ドットは、平均粒径が0.5nm〜20nmであることが好ましく、1.0nm〜10nmであることがより好ましい。平均粒径が0.5nm未満である場合には、[Y]半導体量子ドットを調製することが難しく、調製ができたとしても、[Y]半導体量子ドットの蛍光特性が不安定になる場合がある。[Y]半導体量子ドットの平均粒径が20nmを超える場合には、半導体量子ドットの大きさによる量子閉じ込め効果が得られない場合があって、所望とする蛍光特性が得られず、望ましくない。 In addition, the [Y] semiconductor quantum dots contained in the curable resin composition of the present embodiment preferably have an average particle diameter of 0.5 nm to 20 nm, and more preferably 1.0 nm to 10 nm. When the average particle size is less than 0.5 nm, it is difficult to prepare the [Y] semiconductor quantum dots, and even if the preparation is completed, the fluorescence characteristics of the [Y] semiconductor quantum dots may become unstable. is there. [Y] If the average particle diameter of the semiconductor quantum dots exceeds 20 nm, the quantum confinement effect due to the size of the semiconductor quantum dots may not be obtained, and the desired fluorescence characteristics cannot be obtained, which is not desirable.
また、[Y]半導体量子ドットの形状は特に限定されず、例えば、球状、棒状、円盤状、その他の形状であっても良い。量子ドットの粒径、形状、分散状態等の情報については、透過型電子顕微鏡(TEM)により得ることができる。 Moreover, the shape of [Y] semiconductor quantum dot is not specifically limited, For example, spherical shape, rod shape, disk shape, and other shapes may be sufficient. Information such as the particle size, shape, and dispersion state of the quantum dots can be obtained by a transmission electron microscope (TEM).
本発明の第1実施形態の硬化性樹脂組成物に含有される[Y]半導体量子ドットを得る方法としては、配位性有機溶媒中で有機金属化合物を熱分解する公知の方法を利用することができる。また、コアシェル構造型の半導体量子ドットは、反応により均質なコア構造を形成した後、反応系内に、コア表面にシェルを形成するための前駆体を添加し、シェル形成の後、反応を停止し、溶媒から分離することで得ることができる。尚、市販されているものを利用することも可能である。 As a method of obtaining the [Y] semiconductor quantum dot contained in the curable resin composition of 1st Embodiment of this invention, utilizing the well-known method of thermally decomposing an organometallic compound in a coordinating organic solvent. Can do. For core-shell structure type semiconductor quantum dots, after forming a homogeneous core structure by reaction, a precursor for forming a shell on the core surface is added to the reaction system, and the reaction is stopped after the shell formation. And can be obtained by separating from the solvent. A commercially available product can also be used.
本実施形態の硬化性樹脂組成物における[Y]半導体量子ドットの含有量としては、上述した[X]成分100質量部に対して、好ましくは、0.1質量部〜100質量部、より好ましくは0.2質量部〜50質量部である。[Y]半導体量子ドットの含有量を上述の範囲とすることで、優れた蛍光特性を有する硬化膜を形成し、その結果、優れた蛍光特性の波長変換フィルムや発光素子の発光層を形成することができる。[Y]半導体量子ドットの含有量が、[X]成分100質量部に対して、0.1質量部より少ないと、形成される硬化膜において所望とする蛍光特性を得ることができず、波長変換フィルムや発光素子の発光層を形成することができない。また、[X]成分100質量部に対して、100質量部より多いと、形成される硬化膜の安定性が損なわれ、安定な波長変換フィルムや発光素子の発光層を形成することができない。 The content of [Y] semiconductor quantum dots in the curable resin composition of the present embodiment is preferably 0.1 parts by mass to 100 parts by mass, more preferably 100 parts by mass with respect to the above-mentioned [X] component. Is 0.2 part by mass to 50 parts by mass. [Y] By setting the content of the semiconductor quantum dots in the above range, a cured film having excellent fluorescence characteristics is formed, and as a result, a wavelength conversion film having excellent fluorescence characteristics and a light emitting layer of the light emitting element are formed. be able to. [Y] When the content of the semiconductor quantum dots is less than 0.1 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the [X] component, the desired fluorescent property cannot be obtained in the formed cured film, and the wavelength The light emitting layer of a conversion film or a light emitting element cannot be formed. Moreover, when there are more than 100 mass parts with respect to 100 mass parts of [X] component, stability of the cured film formed will be impaired and the stable wavelength conversion film and the light emitting layer of a light emitting element cannot be formed.
〔[Z]多官能アクリレート〕
本実施形態の硬化性樹脂組成物は、[Z]多官能アクリレートとして、分子内に複数の(メタ)アクリロイル基を有する重合性化合物を含有することができる。この重合性化合物の機能の一つとしては、本実施形態の硬化性樹脂組成物に放射線である光が照射された際に、重合して高分子量化することや架橋構造を形成することが挙げられる。こうした重合性化合物の含有により、硬化性樹脂組成物の塗膜全体を硬化させることができ、形成される硬化膜の強度を向上させ、含有する半導体量子ドットの保護機能を強化することができる。さらに、光照射部分とそうでない部分のコントラストを向上させ、現像時の剥離の防止と残渣の形成を抑制することができる。
[[Z] polyfunctional acrylate]
The curable resin composition of this embodiment can contain a polymerizable compound having a plurality of (meth) acryloyl groups in the molecule as [Z] polyfunctional acrylate. As one of the functions of this polymerizable compound, when the curable resin composition of the present embodiment is irradiated with light as radiation, it is polymerized to form a high molecular weight or form a crosslinked structure. It is done. By containing such a polymerizable compound, the entire coating film of the curable resin composition can be cured, the strength of the formed cured film can be improved, and the protective function of the contained semiconductor quantum dots can be enhanced. Furthermore, it is possible to improve the contrast between the light irradiated portion and the non-irradiated portion, thereby preventing peeling during development and suppressing the formation of residues.
尚、ここで、「(メタ)アクリロイル基」とは、アクリロイル基またはメタアクリロイル基のことを指し、「分子内に複数の(メタ)アクリロイル基を有する」とは、その分子内に存在するアクリロイル基およびメタアクリロイル基の合計が2以上であることを指す。その場合、それら基の合計数が2以上であればよく、アクリロイル基およびメタアクリロイル基のいずれかが存在しなくてもよい。 Here, “(meth) acryloyl group” means an acryloyl group or a methacryloyl group, and “having a plurality of (meth) acryloyl groups in a molecule” means an acryloyl group present in the molecule. The total of group and methacryloyl group is 2 or more. In that case, the total number of these groups should just be 2 or more, and either an acryloyl group and a methacryloyl group do not need to exist.
分子内に複数の(メタ)アクリロイル基を有する重合性化合物の例としては、以下のものを挙げることができる。 Examples of the polymerizable compound having a plurality of (meth) acryloyl groups in the molecule include the following.
分子内に2つの(メタ)アクリロイル基を有する重合性化合物としては、1,3−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,10−デカンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、2,4−ジメチル−1,5−ペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、ブチルエチルプロパンジオール(メタ)アクリレート、エトキシ化シクロヘキサンメタノールジ(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングルコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングルコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、オリゴエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジプロピレングルコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、2−エチル−2−ブチル−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、フルオレンジ(メタ)アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、EO変性ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールFポリエトキシジ(メタ)アクリレート、オリゴプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、2−エチル−2−ブチル−プロパンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、プロポキシ化エトキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、トリシクロデカンジ(メタ)アクリレート、ビス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレートジ(メタ)アクリレート等が挙げられる。 Examples of the polymerizable compound having two (meth) acryloyl groups in the molecule include 1,3-butanediol di (meth) acrylate, 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di ( (Meth) acrylate, 1,10-decanediol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, 2,4-dimethyl-1,5-pentanediol di (meth) acrylate, butylethylpropanediol (meth) Acrylate, ethoxylated cyclohexanemethanol di (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, oligoethylene Recall di (meth) acrylate, dipropylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, 2-ethyl-2-butyl-butanediol di (meth) acrylate, full orange (meth) acrylate, hydroxypivalic acid Neopentyl glycol di (meth) acrylate, EO-modified bisphenol A di (meth) acrylate, bisphenol F polyethoxydi (meth) acrylate, oligopropylene glycol di (meth) acrylate, 2-ethyl-2-butyl-propanediol di (meth) Acrylate, 1,9-nonanediol di (meth) acrylate, propoxylated ethoxylated bisphenol A di (meth) acrylate, tricyclodecane di (meth) acrylate, bis (2-hydride) Kishiechiru) isocyanurate di (meth) acrylate.
分子内に3つの(メタ)アクリロイル基を有する重合性化合物としては、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンのアルキレンオキサイド変性トリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスルトールトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ{(メタ)アクリロイルオキシプロピル}エーテル、グリセリントリ(メタ)アクリレート、トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレートトリ(メタ)アクリレート、イソシアヌル酸アルキレンオキサイド変性トリ(メタ)アクリレート、プロピオン酸ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、トリ{(メタ)アクリロイルオキシエチル}イソシアヌレート、ヒドロキシピバルアルデヒド変性ジメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ソルビトールトリ(メタ)アクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、エトキシ化グリセリントリアクリレート等が挙げられる。 Examples of polymerizable compounds having three (meth) acryloyl groups in the molecule include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolethane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane alkylene oxide-modified tri (meth) acrylate, penta Erythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tri (meth) acrylate, trimethylolpropane tri {(meth) acryloyloxypropyl} ether, glycerin tri (meth) acrylate, tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate tri ( (Meth) acrylate, isocyanuric acid alkylene oxide modified tri (meth) acrylate, propionate dipentaerythritol tri (meth) acrylate, tri {(meth) acryloyloxy Chill} isocyanurate, hydroxypivalaldehyde-modified dimethylol propane tri (meth) acrylate, sorbitol tri (meth) acrylate, propoxylated trimethylolpropane tri (meth) acrylate, and ethoxylated glycerin triacrylate.
分子内に4つの(メタ)アクリロイル基を有する重合性化合物としては、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ソルビトールテトラ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、プロピオン酸ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、コハク酸変性ペンタエリスリトールトリアクリレート等が挙げられる。 Polymerizable compounds having four (meth) acryloyl groups in the molecule include pentaerythritol tetra (meth) acrylate, sorbitol tetra (meth) acrylate, ditrimethylolpropane tetra (meth) acrylate, and dipentaerythritol tetrapropionate (meth). ) Acrylate, ethoxylated pentaerythritol tetra (meth) acrylate, succinic acid-modified pentaerythritol triacrylate and the like.
分子内に5つの(メタ)アクリロイル基を有する重合性化合物としては、ソルビトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートが挙げられる。 Examples of the polymerizable compound having five (meth) acryloyl groups in the molecule include sorbitol penta (meth) acrylate and dipentaerythritol penta (meth) acrylate.
分子内に6つの(メタ)アクリロイル基を有する重合性化合物としては、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ソルビトールヘキサ(メタ)アクリレート、フォスファゼンのアルキレンオキサイド変性ヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等が挙げられる。 Examples of polymerizable compounds having six (meth) acryloyl groups in the molecule include dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, sorbitol hexa (meth) acrylate, phosphazene alkylene oxide-modified hexa (meth) acrylate, and caprolactone-modified dipentaerythritol. Examples include hexa (meth) acrylate.
[Z]多官能アクリレートは、7つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する重合性化合物であってもよい。また、[Z]多官能アクリレートは、上述の重合性化合物のうち、水酸基を有する(メタ)アクリレート類、およびこれらの水酸基へのエチレンオキシドまたはプロピレンオキシド付加物のポリ(メタ)アクリレート類であってもよい。さらに、[Z]多官能アクリレートとしては、2つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物であれば、オリゴエステル(メタ)アクリレート類、オリゴエーテル(メタ)アクリレート類、およびオリゴエポキシ(メタ)アクリレート類等を用いることができる。 [Z] The polyfunctional acrylate may be a polymerizable compound having seven or more (meth) acryloyl groups. Moreover, [Z] polyfunctional acrylate may be (meth) acrylates having a hydroxyl group among the above-described polymerizable compounds, and poly (meth) acrylates of ethylene oxide or propylene oxide adducts to these hydroxyl groups. Good. Furthermore, as [Z] polyfunctional acrylate, if it is a compound having two or more (meth) acryloyl groups, oligoester (meth) acrylates, oligoether (meth) acrylates, and oligoepoxy (meth) acrylates Etc. can be used.
[Z]多官能アクリレートとしては、これらの中では、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、フルオレンジ(メタ)アクリレート、オリゴエステル(メタ)アクリレート{デンドリマー(メタ)アクリレート}が、重合性に優れる点でより好ましい。 Among these [Z] polyfunctional acrylates, among them, pentaerythritol tri (meth) acrylate, full orange (meth) acrylate, oligoester (meth) acrylate {dendrimer (meth) acrylate} are excellent in polymerizability. More preferred.
以上で[Z]多官能アクリレートとして例示された重合性化合物の市販品については、例えば、東亞合成株式会社製アロニックス(登録商標)M−400、M−404、M−408、M−450、M−305、M−309、M−310、M−313、M−315、M−321、M−402、M−350、M−360、M−208、M−210、M−215、M−220、M−225、M−233、M−240、M−245、M−260、M−270、M−1100、M−1200、M−1210、M−1310、M−1600、M−221、M−203、TO−924、TO−1270、TO−1231、TO−595、TO−756、TO−1343、TO−902、TO−904、TO−905、TO−1330、TO−1450、TO−1382、日本化薬株式会社製KAYARAD(登録商標)D−310、D−330、DPHA、DPCA−20、DPCA−30、DPCA−60、DPCA−120、DN−0075、DN−2475、SR−295、SR−355、SR−399E、SR−494、SR−9041、SR−368、SR−415、SR−444、SR−454、SR−492、SR−499、SR−502、SR−9020、SR−9035、SR−111、SR−212、SR−213、SR−230、SR−259、SR−268、SR−272、SR−344、SR−349、SR−601、SR−602、SR−610、SR−9003、PET−30、T−1420、GPO−303、TC−120S、HDDA、NPGDA、TPGDA、PEG400DA、MANDA、HX−220、HX−620、R−551、R−712、R−167、R−526、R−551、R−712、R−604、R−684、RP−1040、RP−2040、TMPTA、THE−330、TPA−320、TPA−330、KS−HDDA、KS−TPGDA、KS−TMPTA、共栄社化学株式会社製ライトアクリレート PE−4A、DPE−6A、DTMP−4A、大阪有機化学工業株式会社製ビスコート#802;トリペンタエリスリトールオクタアクリレートおよびトリペンタエリスリトールヘプタアクリレートの混合物等を挙げることができる。 About the commercial item of the polymerizable compound illustrated as [Z] polyfunctional acrylate above, for example, Toronsei Co., Ltd. Aronix (registered trademark) M-400, M-404, M-408, M-450, M -305, M-309, M-310, M-313, M-315, M-321, M-402, M-350, M-360, M-208, M-210, M-215, M-220 M-225, M-233, M-240, M-245, M-260, M-270, M-1100, M-1200, M-1210, M-1310, M-1600, M-221, M -203, TO-924, TO-1270, TO-1231, TO-595, TO-756, TO-1343, TO-902, TO-904, TO-905, TO-1330, TO-1450, TO 1382, KAYARAD (registered trademark) D-310, D-330, DPHA, DPCA-20, DPCA-30, DPCA-60, DPCA-120, DN-0075, DN-2475, SR-295 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. SR-355, SR-399E, SR-494, SR-9041, SR-368, SR-415, SR-444, SR-454, SR-492, SR-499, SR-502, SR-9020, SR -9035, SR-111, SR-212, SR-213, SR-230, SR-259, SR-268, SR-272, SR-344, SR-349, SR-601, SR-602, SR-610 , SR-9003, PET-30, T-1420, GPO-303, TC-120S, HDDA, NPGDA, TPGD , PEG400DA, MANDA, HX-220, HX-620, R-551, R-712, R-167, R-526, R-551, R-712, R-604, R-684, RP-1040, RP -2040, TMPTA, THE-330, TPA-320, TPA-330, KS-HDDA, KS-TPGDA, KS-TMPTA, Kyoeisha Chemical Co., Ltd. Light Acrylate PE-4A, DPE-6A, DTMP-4A, Osaka Organic Examples include Biscoat # 802 manufactured by Chemical Industry Co., Ltd .; a mixture of tripentaerythritol octaacrylate and tripentaerythritol heptaacrylate.
本実施形態の硬化性樹脂組成物における[Z]多官能アクリレートの含有量は、硬化性樹脂組成物全体に対して、1質量%〜20質量%が好ましい。また、本実施形態の硬化性樹脂組成物が、有機溶剤を含有する場合、硬化性樹脂組成物における[Z]多官能アクリレートの含有量は、有機溶剤を除く成分の合計に対して5質量%〜50質量%以下の範囲内とすることが好ましく、10質量%〜40質量%の範囲内であることがより好ましい。[Z]多官能アクリレートが上記範囲で含有されることで、硬化性樹脂組成物から、高い硬度の硬化膜を得ることができる。 As for content of [Z] polyfunctional acrylate in the curable resin composition of this embodiment, 1 mass%-20 mass% are preferable with respect to the whole curable resin composition. Moreover, when the curable resin composition of this embodiment contains an organic solvent, content of [Z] polyfunctional acrylate in curable resin composition is 5 mass% with respect to the sum total of the component except an organic solvent. It is preferable to be within a range of ˜50% by mass or less, and it is more preferable to be within a range of 10% by mass to 40% by mass. [Z] By containing the polyfunctional acrylate in the above range, a cured film having high hardness can be obtained from the curable resin composition.
〔[V]連鎖移動剤〕
本発明者は、樹脂を成分とし、半導体量子ドットを含む本発明の層や膜において、硬化性能を向上させるための検討を行い、半導体量子ドットの保護機能を高める検討を行った。そして、本発明者は、本発明の層や膜の硬化性向上のために、連鎖移動剤の使用が有効であることを見出した。
[[V] chain transfer agent]
The inventor has studied to improve the curing performance in the layer or film of the present invention containing a resin quantum component and containing semiconductor quantum dots, and has studied to improve the protective function of the semiconductor quantum dots. And this inventor discovered that use of a chain transfer agent was effective in order to improve the sclerosis | hardenability of the layer and film | membrane of this invention.
したがって、本実施形態の硬化性樹脂組成物は、[V]成分である[V]連鎖移動剤を含有する。連鎖移動反応は、ラジカル重合において、成長ポリマー鎖のラジカルが別の分子に移動する反応であり、連鎖移動剤は、連鎖移動反応を起こす薬剤である。本発明の硬化性樹脂組成物から形成される層や膜は、連鎖移動剤の作用によって、樹脂成分における架橋が進められて、強度が向上されている。その結果、本発明の層や膜においては、含有する半導体量子ドットを保護する機能が向上され、半導体量子ドットの蛍光特性の劣化を抑えて信頼性を向上させることができる。 Therefore, the curable resin composition of this embodiment contains the [V] chain transfer agent which is a [V] component. A chain transfer reaction is a reaction in which radicals of a growing polymer chain move to another molecule in radical polymerization, and a chain transfer agent is an agent that causes a chain transfer reaction. In the layer or film formed from the curable resin composition of the present invention, the crosslinking of the resin component is advanced by the action of the chain transfer agent, and the strength is improved. As a result, in the layer or film of the present invention, the function of protecting the contained semiconductor quantum dots is improved, and the deterioration of the fluorescence characteristics of the semiconductor quantum dots can be suppressed and the reliability can be improved.
本実施形態の硬化性樹脂組成物に含有される[V]連鎖移動剤としては、ラジカル重合反応において連鎖移動剤として機能する化合物であれば特に限定されるものではない。本実施形態の硬化性樹脂組成物において含有が好ましい[V]連鎖移動剤としては、ピラゾール誘導体、アルキルチオール類等を含むものを挙げることができる。 The [V] chain transfer agent contained in the curable resin composition of the present embodiment is not particularly limited as long as it is a compound that functions as a chain transfer agent in a radical polymerization reaction. Examples of the [V] chain transfer agent that is preferably contained in the curable resin composition of the present embodiment include those containing a pyrazole derivative, alkylthiols and the like.
そして、好ましい[V]連鎖移動剤としては、例えば、メルカプト基(チオール基)を有する化合物等を含むものを挙げることができ、より好ましい[V]連鎖移動剤としては、1分子中に2個以上のメルカプト基を有する化合物等を含むものを挙げることができる。 And as a preferable [V] chain transfer agent, what contains the compound etc. which have a mercapto group (thiol group) etc. can be mentioned, for example, as a more preferable [V] chain transfer agent, it is 2 in 1 molecule. The thing containing the compound etc. which have the above mercapto groups can be mentioned.
[V]連鎖移動剤に含有されることが好ましい、1分子中に2個以上のメルカプト基を有する化合物は、1分子中に2個以上のメルカプト基を有する限り特に限定されるものではない。例えば、下記式(4)で表される化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種を挙げることができる。 [V] The compound having two or more mercapto groups in one molecule, preferably contained in the chain transfer agent, is not particularly limited as long as it has two or more mercapto groups in one molecule. For example, at least 1 sort (s) chosen from the group which consists of a compound represented by following formula (4) can be mentioned.
上記式(4)中、R31は、メチレン基、炭素数2〜10のアルキレン基である。但し、これらの基は水素原子の一部または全部がアルキル基で置換されていてもよい。Y1は、単結合、−CO−または−O−CO−*である。但し、*を付した結合手がR31と結合する。nは2〜10の整数である。A1は、1個または複数個のエーテル結合を有していてもよい炭素数2〜70のn価の炭化水素基、または、nが3の場合下記式(5)で示される基である。 In the formula (4), R 31 is a methylene group, an alkylene group having 2 to 10 carbon atoms. However, in these groups, some or all of the hydrogen atoms may be substituted with alkyl groups. Y 1 is a single bond, —CO— or —O—CO— * . However, bond binds to R 31 marked with *. n is an integer of 2-10. A 1 is an n-valent hydrocarbon group having 2 to 70 carbon atoms which may have one or a plurality of ether bonds, or a group represented by the following formula (5) when n is 3. .
上記式(4)で表される化合物として、典型的にはメルカプトカルボン酸と多価アルコールとのエステル化物等を使用することができる。エステル化物を構成するメルカプトカルボン酸としては、例えば、チオグリコール酸、3−メルカプトプロピオン酸、3−メルカプトブタン酸、3−メルカプトペンタン酸等が挙げられる。また、エステル化物を構成する多価アルコールとしては、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、テトラエチレングリコール、ジペンタエリスリトール、1,4−ブタンジオール、ペンタエリスリトール等が挙げられる。 As the compound represented by the above formula (4), typically, an esterified product of mercaptocarboxylic acid and a polyhydric alcohol can be used. Examples of the mercaptocarboxylic acid constituting the esterified product include thioglycolic acid, 3-mercaptopropionic acid, 3-mercaptobutanoic acid, and 3-mercaptopentanoic acid. Examples of the polyhydric alcohol constituting the esterified product include ethylene glycol, propylene glycol, trimethylolpropane, pentaerythritol, tetraethylene glycol, dipentaerythritol, 1,4-butanediol, and pentaerythritol.
上記式(4)で表される化合物としては、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、テトラエチレングリコールビス(3−メルカプトプロピオネート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(チオグリコレート)、1,4−ビス(3−メルカプトブチリルオキシ)ブタン、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトペンチレート)、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオンが好ましい。 Examples of the compound represented by the above formula (4) include trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), and tetraethylene glycol bis (3-mercaptopropionate). Dipentaerythritol hexakis (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (thioglycolate), 1,4-bis (3-mercaptobutyryloxy) butane, pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate), Pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopentylate), 1,3,5-tris (3-mercaptobutyloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione preferable.
チオール化合物の1分子中に2個以上のメルカプト基を有する化合物としては、下記式(6)〜下記式(8)で表される化合物を用いることもできる。 As the compound having two or more mercapto groups in one molecule of the thiol compound, compounds represented by the following formulas (6) to (8) can also be used.
上記式(6)中、R41は、メチレン基または炭素数2〜20のアルキレン基である。R42は、メチレン基または炭素数2〜6の直鎖若しくは分岐アルキレン基である。kは1〜20の整数である。
上記式(7)中、R43〜R46は、それぞれ独立して、水素原子、水酸基または下記式(8)で表される基である。但し、R43〜R46の少なくとも1つは下記式(8)で表される基である。
In the above formula (6), R 41 is an alkylene group of methylene group or 2-20 carbon atoms. R42 is a methylene group or a linear or branched alkylene group having 2 to 6 carbon atoms. k is an integer of 1-20.
In the above formula (7), R 43 to R 46 are each independently a hydrogen atom, a hydroxyl group or a group represented by the following formula (8). However, at least one of R 43 to R 46 is a group represented by the following formula (8).
上記式(8)中、R47は、メチレン基または炭素数2〜6の直鎖若しくは分岐アルキレン基である。 In the formula (8), R 47 is a methylene group or a linear or branched alkylene group having 2 to 6 carbon atoms.
[V]連鎖移動剤としては、1種または2種以上の化合物を混合して使用できる。本実施形態の硬化性樹脂組成物における[V]連鎖移動剤の含有割合としては、[X]重合体100質量部に対して、0.5質量部〜20質量部が好ましく、1質量部〜15質量部がより好ましい。[V]連鎖移動剤の使用量が0.5重量部より少ないと硬化性向上の効果が十分に得られず、また、20重量部を超えると、感度が鋭敏になり過ぎ、漏れ光での硬化性も高まることでパターン性能が低下するおそれがある。 [V] As the chain transfer agent, one or more compounds may be mixed and used. As a content rate of the [V] chain transfer agent in the curable resin composition of this embodiment, 0.5 mass part-20 mass parts are preferable with respect to 100 mass parts of [X] polymers, and 1 mass part- 15 parts by mass is more preferable. [V] When the amount of the chain transfer agent used is less than 0.5 parts by weight, the effect of improving the curability cannot be sufficiently obtained. When the amount exceeds 20 parts by weight, the sensitivity becomes too sensitive and the light leaks. There is a possibility that the pattern performance may be lowered by increasing the curability.
〔[W]感放射線性重合開始剤〕
本実施形態の硬化性樹脂組成物は、[Z]多官能アクリレートとともに[W]感放射線性重合開始剤を含有する。[W]感放射線性重合開始剤は、放射線に感応して[Z]多官能アクリレートの重合を開始し得る活性種を生じる成分である。[W]感放射線性重合開始剤は、例えば、光ラジカル重合開始剤である。このような[W]感放射線性重合開始剤としては、O−アシルオキシム化合物、アセトフェノン化合物、ビイミダゾール化合物等が挙げられる。これらの化合物は、単独で使用してもよいし、2種以上を混合して使用してもよい。
[[W] radiation sensitive polymerization initiator]
The curable resin composition of this embodiment contains a [W] radiation-sensitive polymerization initiator together with [Z] polyfunctional acrylate. [W] The radiation-sensitive polymerization initiator is a component that generates an active species that can initiate polymerization of [Z] polyfunctional acrylate in response to radiation. [W] The radiation-sensitive polymerization initiator is, for example, a radical photopolymerization initiator. Examples of such [W] radiation-sensitive polymerization initiators include O-acyloxime compounds, acetophenone compounds, biimidazole compounds, and the like. These compounds may be used alone or in combination of two or more.
上述したO−アシルオキシム化合物としては、例えば、1,2−オクタンジオン1−[4−(フェニルチオ)−2−(O−ベンゾイルオキシム)]、エタノン−1−〔9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)、1−〔9−エチル−6−ベンゾイル−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−オクタン−1−オンオキシム−O−アセテート、1−〔9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−エタン−1−オンオキシム−O−ベンゾエート、1−〔9−n−ブチル−6−(2−エチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−エタン−1−オンオキシム−O−ベンゾエート、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−〔9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロピラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−〔9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロフラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−〔9−エチル−6−{2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)メトキシベンゾイル}−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)等が挙げられる。 Examples of the O-acyloxime compound described above include 1,2-octanedione 1- [4- (phenylthio) -2- (O-benzoyloxime)], ethanone-1- [9-ethyl-6- (2 -Methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime), 1- [9-ethyl-6-benzoyl-9. H. -Carbazol-3-yl] -octane-1-one oxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-benzoate, 1- [9-n-butyl-6- (2-ethylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-benzoate, ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydropyranylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydrofuranylbenzoyl) -9. H. -Carbazole-3-yl] -1- (O-acetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- {2-methyl-4- (2,2-dimethyl-1,3-dioxolanyl) methoxybenzoyl } -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime) and the like.
これらのうち、1,2−オクタンジオン1−[4−(フェニルチオ)−2−(O−ベンゾイルオキシム)]、エタノン−1−〔9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−〔9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)またはエタノン−1−〔9−エチル−6−{2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)メトキシベンゾイル}−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)が好ましい。 Among these, 1,2-octanedione 1- [4- (phenylthio) -2- (O-benzoyloxime)], ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole -3-yl] -1- (O-acetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime) or ethanone-1- [9-ethyl-6- {2-methyl-4- (2,2-dimethyl-1,3-dioxolanyl) methoxybenzoyl } -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime) is preferred.
アセトフェノン化合物としては、例えば、α−アミノケトン化合物、α−ヒドロキシケトン化合物が挙げられる。 Examples of acetophenone compounds include α-aminoketone compounds and α-hydroxyketone compounds.
α−アミノケトン化合物としては、例えば、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−ジメチルアミノ−2−(4−メチルベンジル)−1−(4−モルフォリン−4−イル−フェニル)−ブタン−1−オン、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン等が挙げられる。 Examples of the α-aminoketone compound include 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2-dimethylamino-2- (4-methylbenzyl) -1- ( 4-morpholin-4-yl-phenyl) -butan-1-one, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one, and the like.
α−ヒドロキシケトン化合物としては、例えば、1−フェニル−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4−i−プロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル−(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケトン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等が挙げられる。 Examples of the α-hydroxyketone compound include 1-phenyl-2-hydroxy-2-methylpropan-1-one and 1- (4-i-propylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one. 4- (2-hydroxyethoxy) phenyl- (2-hydroxy-2-propyl) ketone, 1-hydroxycyclohexylphenylketone and the like.
アセトフェノン化合物としては、α−アミノケトン化合物が好ましく、特に、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−ジメチルアミノ−2−(4−メチルベンジル)−1−(4−モルフォリン−4−イル−フェニル)−ブタン−1−オン、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オンが好ましい。 As the acetophenone compound, an α-aminoketone compound is preferable, and in particular, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2-dimethylamino-2- (4-methylbenzyl) ) -1- (4-morpholin-4-yl-phenyl) -butan-1-one, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one are preferred.
ビイミダゾール化合物としては、例えば、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールまたは2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールが好ましく、そのうち、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールがより好ましい。 Examples of the biimidazole compound include 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2, 4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole or 2,2′-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ′, 5 5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole is preferred, of which 2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'- Biimidazole is more preferred.
[W]感放射線性重合開始剤は、上述したように、単独でまたは2種以上を混合して使用できる。
[W]感放射線性重合開始剤の含有量は、[X]重合体100質量部に対して、1質量部〜40質量部が好ましく、5質量部〜30質量部がより好ましい。[W]感放射線性重合開始剤の含有量を1質量部〜40質量部とすることで、本実施形態の硬化性樹脂組成物は、低露光量であっても、高い耐溶媒性、高い硬度および高い密着性を有する硬化膜を形成できる。
[W] As described above, the radiation-sensitive polymerization initiator can be used alone or in admixture of two or more.
[W] The content of the radiation-sensitive polymerization initiator is preferably 1 part by mass to 40 parts by mass, and more preferably 5 parts by mass to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the [X] polymer. [W] By setting the content of the radiation-sensitive polymerization initiator to 1 part by mass to 40 parts by mass, the curable resin composition of the present embodiment has high solvent resistance and high even at a low exposure amount. A cured film having hardness and high adhesion can be formed.
〔任意成分〕
本実施形態の硬化性樹脂組成物は、[X]重合体、[Y]半導体量子ドット、[Z]多官能アクリレート、[V]連鎖移動剤および[W]感放射線性重合開始剤に加え、有機溶剤の他、本発明の効果を損なわない範囲で、必要に応じて、界面活性剤や密着助剤等のその他の任意成分を含有できる。任意成分は、2種以上を混合して使用してもよい。以下、各成分について記載する。
[Optional ingredients]
In addition to the [X] polymer, [Y] semiconductor quantum dot, [Z] polyfunctional acrylate, [V] chain transfer agent and [W] radiation sensitive polymerization initiator, the curable resin composition of the present embodiment, In addition to the organic solvent, other optional components such as a surfactant and an adhesion aid can be contained as necessary within the range not impairing the effects of the present invention. Two or more optional components may be mixed and used. Hereinafter, each component will be described.
[界面活性剤]
本実施形態の硬化性樹脂組成物に含有される界面活性剤は、硬化性樹脂組成物の塗布性の改善、塗布ムラの低減、放射線照射部の現像性を改良するために添加することができる。好ましい界面活性剤の例としては、フッ素系界面活性剤およびシリコーン系界面活性剤が挙げられる。
[Surfactant]
The surfactant contained in the curable resin composition of this embodiment can be added to improve the applicability of the curable resin composition, reduce coating unevenness, and improve the developability of the radiation irradiated part. . Examples of preferable surfactants include fluorine-based surfactants and silicone-based surfactants.
フッ素系界面活性剤としては、例えば1,1,2,2−テトラフルオロオクチル(1,1,2,2−テトラフルオロプロピル)エーテル、1,1,2,2−テトラフルオロオクチルヘキシルエーテル、オクタエチレングリコールジ(1,1,2,2−テトラフルオロブチル)エーテル、ヘキサエチレングリコール(1,1,2,2,3,3−ヘキサフルオロペンチル)エーテル、オクタプロピレングリコールジ(1,1,2,2−テトラフルオロブチル)エーテル、ヘキサプロピレングリコールジ(1,1,2,2,3,3−ヘキサフルオロペンチル)エーテル等のフルオロエーテル類;パーフルオロドデシルスルホン酸ナトリウム;1,1,2,2,8,8,9,9,10,10−デカフルオロドデカン、1,1,2,2,3,3−ヘキサフルオロデカン等のフルオロアルカン類;フルオロアルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム類;フルオロアルキルオキシエチレンエーテル類;フルオロアルキルアンモニウムヨージド類;フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル類;パーフルオロアルキルポリオキシエタノール類;パーフルオロアルキルアルコキシレート類;フッ素系アルキルエステル類等を挙げることができる。 Examples of the fluorosurfactant include 1,1,2,2-tetrafluorooctyl (1,1,2,2-tetrafluoropropyl) ether, 1,1,2,2-tetrafluorooctyl hexyl ether, octa Ethylene glycol di (1,1,2,2-tetrafluorobutyl) ether, hexaethylene glycol (1,1,2,2,3,3-hexafluoropentyl) ether, octapropylene glycol di (1,1,2, , 2-tetrafluorobutyl) ether, hexapropylene glycol di (1,1,2,2,3,3-hexafluoropentyl) ether and other fluoroethers; sodium perfluorododecylsulfonate; 1,1,2, 2,8,8,9,9,10,10-decafluorododecane, 1,1,2,2,3,3-hexa Fluoroalkanes such as lurodecane; sodium fluoroalkylbenzenesulfonates; fluoroalkyloxyethylene ethers; fluoroalkylammonium iodides; fluoroalkylpolyoxyethylene ethers; perfluoroalkylpolyoxyethanols; perfluoroalkylalkoxylates And fluorine-based alkyl esters.
これらのフッ素系界面活性剤の市販品としては、エフトップ(登録商標)EF301、303、352(新秋田化成(株)製)、メガファック(登録商標)F171、172、173(DIC(株)製)、フロラードFC430、431(住友スリーエム(株)製)、アサヒガードAG(登録商標)710(旭硝子(株)製)、サーフロン(登録商標)S−382、SC−101、102、103、104、105、106(AGCセイミケミカル(株)製)、FTX−218((株)ネオス製)等を挙げることができる。
シリコーン系界面活性剤の例としては、市販されている商品名で、SH200−100cs、SH28PA、SH30PA、ST89PA、SH190、SH 8400 FLUID(東レ・ダウコーニング・シリコーン(株)製)、オルガノシロキサンポリマーKP341(信越化学工業(株)製)等が挙げられる。
Commercially available products of these fluorosurfactants include Ftop (registered trademark) EF301, 303, and 352 (manufactured by Shin-Akita Kasei Co., Ltd.), MegaFac (registered trademark) F171, 172, and 173 (DIC Corporation). Manufactured), FLORARD FC430, 431 (manufactured by Sumitomo 3M Co., Ltd.), Asahi Guard AG (registered trademark) 710 (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), Surflon (registered trademark) S-382, SC-101, 102, 103, 104 , 105, 106 (manufactured by AGC Seimi Chemical Co., Ltd.), FTX-218 (manufactured by Neos Co., Ltd.), and the like.
Examples of silicone-based surfactants are commercially available under the trade names SH200-100cs, SH28PA, SH30PA, ST89PA, SH190, SH8400 FLUID (manufactured by Toray Dow Corning Silicone Co., Ltd.), organosiloxane polymer KP341 (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.).
任意成分として界面活性剤を使用する場合、その含有量は、[X]重合体100質量部に対して、好ましくは0.01質量部〜10質量部、より好ましくは0.05質量部〜5質量部である。界面活性剤の使用量を0.01質量部〜10質量部とすることによって、硬化性樹脂組成物の塗布性を最適化することができる。 When using a surfactant as an optional component, the content thereof is preferably 0.01 to 10 parts by mass, more preferably 0.05 to 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the [X] polymer. Part by mass. By making the usage-amount of surfactant into 0.01 mass part-10 mass parts, the applicability | paintability of curable resin composition can be optimized.
[密着助剤]
本実施形態の硬化性樹脂組成物においては、基板となる無機物、例えば、シリコン、酸化シリコン、窒化シリコン等のシリコン化合物、珪酸塩、石英等のガラス、および金、銅、アルミニウム等の金属と絶縁膜との接着性を向上させるため密着助剤を使用することができる。このような密着助剤としては、官能性シランカップリング剤を挙げることができる。官能性シランカップリング剤の例としては、カルボキシル基、メタクリロイル基、イソシアネート基、エポキシ基(好ましくはオキシラニル基)、チオール基等の反応性置換基を有するシランカップリング剤等が挙げられる。
[Adhesion aid]
In the curable resin composition of the present embodiment, an insulating material such as silicon, silicon oxide, silicon nitride and other silicon compounds, glass such as silicate and quartz, and metal such as gold, copper and aluminum are insulated. An adhesion aid can be used to improve the adhesion to the film. Examples of such adhesion assistants include functional silane coupling agents. Examples of functional silane coupling agents include silane coupling agents having reactive substituents such as carboxyl groups, methacryloyl groups, isocyanate groups, epoxy groups (preferably oxiranyl groups), thiol groups, and the like.
官能性シランカップリング剤の具体例としては、トリメトキシシリル安息香酸、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルアルキルジアルコキシシラン、γ−クロロプロピルトリアルコキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリアルコキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン等が挙げられる。これらの中でも、γ−グリシドキシプロピルアルキルジアルコキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシランが好ましい。 Specific examples of functional silane coupling agents include trimethoxysilylbenzoic acid, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, vinyltrimethoxysilane, γ-isocyanatopropyltriethoxysilane, γ-glycidoxy Examples include propyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropylalkyldialkoxysilane, γ-chloropropyltrialkoxysilane, γ-mercaptopropyltrialkoxysilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, and the like. . Among these, γ-glycidoxypropylalkyldialkoxysilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, and γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane are preferable.
本実施形態の硬化性樹脂組成物において、このような密着助剤は、[X]重合体100質量部に対して、好ましくは0.5質量部〜20質量部、より好ましくは1質量部〜10質量部の量で用いられる。密着助剤の量を上記範囲とすることによって、形成される硬化膜と基板との密着性が改善される。 In the curable resin composition of the present embodiment, such an adhesion assistant is preferably 0.5 parts by mass to 20 parts by mass, more preferably 1 part by mass, with respect to 100 parts by mass of the [X] polymer. Used in an amount of 10 parts by weight. By setting the amount of the adhesion assistant in the above range, the adhesion between the formed cured film and the substrate is improved.
〔硬化性樹脂組成物の調製〕
本実施形態の硬化性樹脂組成物は、[X]重合体、[Y]半導体量子ドット、[Z]多官能アクリレート、[V]連鎖移動剤、[W]感放射線性重合開始剤、さらに必要に応じて界面活性剤等のその他の任意成分を均一に混合することによって調製される。このとき、分散液状態の硬化性樹脂組成物を調製するため、有機溶剤を用いることができる。
(Preparation of curable resin composition)
The curable resin composition of the present embodiment includes an [X] polymer, [Y] semiconductor quantum dot, [Z] polyfunctional acrylate, [V] chain transfer agent, [W] radiation sensitive polymerization initiator, and further necessary. Depending on the case, it is prepared by uniformly mixing other optional components such as a surfactant. At this time, an organic solvent can be used to prepare a curable resin composition in a dispersion state.
すなわち、本実施形態の硬化性樹脂組成物は、適当な溶剤に溶解または分散させた状態での調製が可能であり、そのまま分散液状態で使用することができる。例えば、有機溶剤中で、[X]成分、[Y]成分、[Z]成分、[V]成分および[W]成分、並びにその他の任意成分を所定の割合で混合することにより、本実施形態の硬化性樹脂組成物を調製することができる。このとき、有機溶剤は、単独で、または、2種以上を混合して使用できる。 That is, the curable resin composition of the present embodiment can be prepared in a state of being dissolved or dispersed in an appropriate solvent, and can be used as it is in a dispersion state. For example, in the present embodiment, the [X] component, the [Y] component, the [Z] component, the [V] component and the [W] component, and other optional components are mixed in a predetermined ratio in the organic solvent. The curable resin composition can be prepared. At this time, an organic solvent can be used individually or in mixture of 2 or more types.
有機溶剤の機能としては、硬化性樹脂組成物の粘度等を調節して、例えば、基板等への塗布性を向上させることの他、操作性や成形性を向上させること等が挙げられる。 Examples of the function of the organic solvent include adjusting the viscosity and the like of the curable resin composition, and improving operability and moldability in addition to improving applicability to a substrate and the like.
本実施形態の硬化性樹脂組成物に使用可能な有機溶剤としては、他の含有成分を溶解または分散させるとともに、他の含有成分と反応しないものを挙げることができる。このような有機溶剤としては、例えば、アルコール類、エーテル類、ジエチレングリコールアルキルエーテル類、エチレングリコールアルキルエーテルアセテート類、プロピレングリコールモノアルキルエーテル類、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、プロピレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネート類、芳香族炭化水素類、ケトン類、エステル類等が挙げられる。 Examples of the organic solvent that can be used in the curable resin composition of the present embodiment include those that dissolve or disperse other components and that do not react with other components. Examples of such organic solvents include alcohols, ethers, diethylene glycol alkyl ethers, ethylene glycol alkyl ether acetates, propylene glycol monoalkyl ethers, propylene glycol monoalkyl ether acetates, propylene glycol monoalkyl ether propio. Examples thereof include nates, aromatic hydrocarbons, ketones, esters and the like.
これらの有機溶剤としては、
アルコール類として、例えば、ベンジルアルコール、ジアセトンアルコール等;
エーテル類として、例えば、テトラヒドロフランや、ジイソプロピルエーテル、ジn−ブチルエーテル、ジn−ペンチルエーテル、ジイソペンチルエーテル、ジn−ヘキシルエーテル等のジアルキルエーテル等;
ジエチレングリコールアルキルエーテル類として、例えば、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル等;
エチレングリコールアルキルエーテルアセテート類として、例えば、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等;
プロピレングリコールモノアルキルエーテル類として、例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル等;
プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類として、例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート等;
プロピレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネート類として、例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールモノエチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールモノブチルエーテルプロピオネート等;
芳香族炭化水素類としては、例えば、トルエン、キシレン等;
ケトン類として、例えば、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン等;
エステル類として、例えば、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸i−プロピル、酢酸ブチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ヒドロキシ酢酸メチル、ヒドロキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸プロピル、乳酸ブチル、3−ヒドロキシプロピオン酸メチル、3−ヒドロキシプロピオン酸エチル、3−ヒドロキシプロピオン酸プロチル、3−ヒドロキシプロピオン酸ブチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸プロピル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、エトキシ酢酸プロピル、エトキシ酢酸ブチル、プロポキシ酢酸メチル、プロポキシ酢酸エチル、プロポキシ酢酸プロピル、プロポキシ酢酸ブチル、ブトキシ酢酸メチル、ブトキシ酢酸エチル、ブトキシ酢酸プロピル、ブトキシ酢酸ブチル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸ブチル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル等をそれぞれ挙げられる。
As these organic solvents,
Examples of alcohols include benzyl alcohol and diacetone alcohol;
Examples of ethers include dialkyl ethers such as tetrahydrofuran, diisopropyl ether, di n-butyl ether, di n-pentyl ether, diisopentyl ether, and di n-hexyl ether;
Examples of diethylene glycol alkyl ethers include diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, and diethylene glycol ethyl methyl ether;
Examples of ethylene glycol alkyl ether acetates include methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, and ethylene glycol monoethyl ether acetate;
Examples of propylene glycol monoalkyl ethers include propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monopropyl ether, propylene glycol monobutyl ether;
Examples of propylene glycol monoalkyl ether acetates include propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether acetate;
Examples of propylene glycol monoalkyl ether propionates include propylene glycol monomethyl ether propionate, propylene glycol monoethyl ether propionate, propylene glycol monopropyl ether propionate, propylene glycol monobutyl ether propionate, and the like;
Examples of aromatic hydrocarbons include toluene and xylene;
Examples of ketones include methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone, and the like;
Examples of esters include methyl acetate, ethyl acetate, propyl acetate, i-propyl acetate, butyl acetate, ethyl 2-hydroxypropionate, methyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, 2-hydroxy-2-methylpropionic acid Ethyl, methyl hydroxyacetate, ethyl hydroxyacetate, butyl hydroxyacetate, methyl lactate, ethyl lactate, propyl lactate, butyl lactate, methyl 3-hydroxypropionate, ethyl 3-hydroxypropionate, protyl 3-hydroxypropionate, 3-hydroxy Butyl propionate, methyl 2-hydroxy-3-methylbutanoate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, propyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, propyl ethoxyacetate, ethoxy Butyl acetate, methyl propoxyacetate, ethyl propoxyacetate, propylpropoxyacetate, butyl propoxyacetate, methyl butoxyacetate, ethyl butoxyacetate, propylbutoxyacetate, butylbutoxyacetate, methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, 2 -Propyl methoxypropionate, butyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate and the like.
これらの有機溶剤の中でも、溶解性または分散性が優れていること、各成分と非反応性であること、並びに塗膜形成の容易性の観点から、ジアルキルエーテル等のエーテル類、ジエチレングリコールアルキルエーテル類、エチレングリコールアルキルエーテルアセテート類、プロピレングリコールモノアルキルエーテル類、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、ケトン類およびエステル類が好ましく、特に、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、酢酸プロピル、酢酸i−プロピル、酢酸ブチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸プロピル、乳酸ブチル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチルが好ましい。これらの有機溶剤は、単独でまたは混合して用いることができる。 Among these organic solvents, ethers such as dialkyl ethers and diethylene glycol alkyl ethers from the viewpoint of excellent solubility or dispersibility, non-reactivity with each component, and ease of film formation. , Ethylene glycol alkyl ether acetates, propylene glycol monoalkyl ethers, propylene glycol monoalkyl ether acetates, ketones and esters are preferred, especially diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, Propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol Monoethyl ether acetate, cyclohexanone, propyl acetate, i-propyl acetate, butyl acetate, ethyl 2-hydroxypropionate, methyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, methyl lactate , Ethyl lactate, propyl lactate, butyl lactate, methyl 2-methoxypropionate and ethyl 2-methoxypropionate are preferred. These organic solvents can be used alone or in combination.
また、これらの有機溶剤の中でも、ジイソプロピルエーテル、ジn−ブチルエーテル、ジn−ペンチルエーテル、ジイソペンチルエーテル、ジn−ヘキシルエーテル等のジアルキルエーテル等のエーテル類が好ましく、ジイソペンチルエーテルが最も好ましい。このような溶媒を用いることによって、本実施形態の硬化性樹脂組成物をスリット塗布法で大型ガラス基板に塗布する際に、乾燥工程時間を短縮すると同時に、塗布性をより一層向上(塗布ムラを抑制)することが可能となる。 Among these organic solvents, ethers such as diisopropyl ether such as diisopropyl ether, di n-butyl ether, di n-pentyl ether, diisopentyl ether and di n-hexyl ether are preferred, and diisopentyl ether is most preferred. preferable. By using such a solvent, when applying the curable resin composition of the present embodiment to a large glass substrate by the slit coating method, the drying process time is shortened, and at the same time, the coatability is further improved (coating unevenness is reduced). Suppression).
上記した有機溶剤に加え、さらに必要に応じて、ベンジルエチルエーテル、ジヘキシルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、アセトニルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタノール、1−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、シュウ酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、フェニルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート等の高沸点溶媒を併用することもできる。 In addition to the organic solvent described above, benzyl ethyl ether, dihexyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, acetonyl acetone, isophorone, caproic acid, caprylic acid, 1-octanol, 1 -High-boiling solvents such as nonanol, benzyl alcohol, benzyl acetate, ethyl benzoate, diethyl oxalate, diethyl maleate, γ-butyrolactone, ethylene carbonate, propylene carbonate, phenyl cellosolve acetate, carbitol acetate can be used in combination.
本実施形態の硬化性樹脂組成物において用いられる有機溶剤の含有量は、粘度等も考慮して適宜決めることができる。すなわち、本実施形態の硬化性樹脂組成物の固形分濃度は、使用目的や所望の膜厚等に応じて任意に設定することができるが、好ましくは5質量%〜50質量%、より好ましくは10質量%〜40質量%、さらに好ましくは15質量%〜35質量%である。 The content of the organic solvent used in the curable resin composition of the present embodiment can be appropriately determined in consideration of viscosity and the like. That is, the solid content concentration of the curable resin composition of the present embodiment can be arbitrarily set according to the purpose of use and the desired film thickness, but is preferably 5% by mass to 50% by mass, more preferably It is 10 mass%-40 mass%, More preferably, it is 15 mass%-35 mass%.
このようにして調製された本実施形態の硬化性樹脂組成物は、液状である場合、孔径0.5μm程度のミリポアフィルタ等を用いて濾過した後に、本実施形態の硬化膜の形成に使用することが好ましい。 When the curable resin composition of this embodiment prepared in this way is liquid, it is used for forming the cured film of this embodiment after filtration using a Millipore filter or the like having a pore diameter of about 0.5 μm. It is preferable.
実施の形態2.
<硬化膜>
本発明の第2実施形態の硬化膜は、上述した本発明の第1実施形態の硬化性樹脂組成物を用い、基板上にそれを塗布し、必要な場合にパターニングをした後、加熱硬化して形成される。本発明の第2実施形態の硬化膜は、[Y]半導体量子ドットに基づく蛍光発光(波長変換)機能を有し、波長変換フィルムや発光層としての利用が可能である。以下で、本発明の第2実施形態の硬化膜およびその形成方法について説明する。
<Curing film>
The cured film of the second embodiment of the present invention uses the curable resin composition of the first embodiment of the present invention described above, applies it on a substrate, performs patterning when necessary, and then heat cures. Formed. The cured film of the second embodiment of the present invention has a fluorescence emission (wavelength conversion) function based on [Y] semiconductor quantum dots and can be used as a wavelength conversion film or a light emitting layer. Below, the cured film and its formation method of 2nd Embodiment of this invention are demonstrated.
本実施形態の硬化膜の形成方法では、基板上に硬化膜が形成されるように、少なくとも下記の工程(1)〜工程(4)をこの順で含むことが好ましい。 In the cured film forming method of the present embodiment, it is preferable to include at least the following steps (1) to (4) in this order so that the cured film is formed on the substrate.
(1)本発明の第1実施形態の硬化性樹脂組成物の塗膜を基板上に形成する塗膜形成工程。
(2)工程(1)で形成した塗膜の少なくとも一部に放射線を照射する放射線照射工程。
(3)工程(2)で放射線を照射された塗膜を現像する現像工程。
(4)工程(3)で現像された塗膜を加熱する硬化工程。
(1) The coating film formation process which forms the coating film of the curable resin composition of 1st Embodiment of this invention on a board | substrate.
(2) A radiation irradiation step of irradiating at least part of the coating film formed in step (1) with radiation.
(3) A development step of developing the coating film irradiated with radiation in step (2).
(4) A curing step of heating the coating film developed in step (3).
そして、図1〜図4は、本発明の第2実施形態の硬化膜の形成方法を説明する図である。 1 to 4 are diagrams illustrating a method for forming a cured film according to the second embodiment of the present invention.
図1は、本発明の第2実施形態の硬化膜の形成における塗膜形成工程を説明する基板の断面図である。 FIG. 1 is a cross-sectional view of a substrate for explaining a coating film forming step in forming a cured film according to a second embodiment of the present invention.
図2は、本発明の第2実施形態の硬化膜の形成における放射線照射工程を模式的に説明する断面図である。 FIG. 2 is a cross-sectional view schematically illustrating a radiation irradiation step in forming a cured film according to the second embodiment of the present invention.
図3は、本発明の第2実施形態の硬化膜の形成における現像工程を説明する基板の断面図である。 FIG. 3 is a cross-sectional view of a substrate for explaining a development process in forming a cured film according to the second embodiment of the present invention.
図4は、本発明の第2実施形態の硬化膜の形成における硬化工程を説明する硬化膜および基板の断面図である。 FIG. 4 is a cross-sectional view of a cured film and a substrate for explaining a curing process in forming a cured film according to the second embodiment of the present invention.
以下、上述の工程(1)(塗膜形成工程)〜工程(4)(硬化工程)についてそれぞれ説明する。 Hereinafter, the above-mentioned process (1) (coating film forming process) to process (4) (curing process) will be described.
[工程(1)]
本実施形態の硬化膜の形成方法の工程(1)である塗膜形成工程では、図1に示すように、本発明の第1実施形態の硬化性樹脂組成物の塗膜1を基板2上に形成する。
[Step (1)]
In the coating film forming process which is the process (1) of the cured film forming method of the present embodiment, the
塗膜1を形成する基板2には、ガラス、石英、シリコン、または、樹脂(例えば、ポリイミド、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルスルホン、ポリカーボネート、ポリエステル、環状オレフィンの開環重合体およびその水素添加物等)等からなる基板を用いることができる。また、これらの基板には、所望により、シランカップリング剤等による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の前処理を施しておくこともできる。
The
基板2において、一方の面に、本実施形態の硬化性樹脂組成物が塗布された後、プレベークを行い、硬化性樹脂組成物に含有される溶剤等の成分が蒸発し、塗膜1の形成が行われる。
In the
本工程における硬化性樹脂組成物の塗布方法としては、例えば、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法(スピンコート法またはスピンナ法と称されることもある。)、スリット塗布法(スリットダイ塗布法)、バー塗布法、インクジェット塗布法等の適宜の方法が採用できる。これらのうち、均一な厚みの膜を形成できる点から、スピンコート法またはスリット塗布法が好ましい。 Examples of the coating method of the curable resin composition in this step include a spray method, a roll coating method, a spin coating method (sometimes called a spin coating method or a spinner method), a slit coating method (slit die coating). Method), a bar coating method, an ink jet coating method, and the like. Of these, the spin coating method or the slit coating method is preferable because a film having a uniform thickness can be formed.
上述のプレベークの条件は、硬化性樹脂組成物を構成する各成分の種類、配合割合等によって異なるが、70℃〜120℃の温度で行うのが好ましく、時間は、ホットプレートやオーブン等の加熱装置によって異なるが、おおよそ1分間〜15分間程度である。 The pre-baking conditions described above vary depending on the type of each component constituting the curable resin composition, the blending ratio, etc., but it is preferably performed at a temperature of 70 ° C. to 120 ° C., and the time is heated by a hot plate, oven, or the like. Although it varies depending on the apparatus, it is about 1 minute to 15 minutes.
[工程(2)]
次いで、本実施形態の硬化膜の形成方法の工程(2)である放射線照射工程では、図2に示すように、工程(1)で基板2上に形成された塗膜1の少なくとも一部に放射線4を照射する。このとき、塗膜1の一部にのみ、放射線4aを照射するには、例えば、所望の形状の形成に対応するパターンのフォトマスク3を介して行う。このフォトマスク3を用いることにより、照射された放射線4の一部がフォトマスクを透過し、その一部の放射線4aが、塗膜1に照射される。
[Step (2)]
Next, in the radiation irradiation process which is the process (2) of the method for forming a cured film of the present embodiment, as shown in FIG. 2, at least a part of the
照射に使用される放射線4としては、可視光線、紫外線、遠紫外線等が挙げられる。このうち波長が200nm〜550nmの範囲にある放射線が好ましく、365nmの紫外線を含む放射線がより好ましい。 Examples of the radiation 4 used for irradiation include visible light, ultraviolet light, and far ultraviolet light. Of these, radiation having a wavelength in the range of 200 nm to 550 nm is preferable, and radiation including ultraviolet light of 365 nm is more preferable.
放射線4の照射量(露光量)は、放射線4の波長365nmにおける強度を照度計(OAI model 356、Optical Associates Inc.製)により測定した値として、10J/m2〜10000J/m2とすることができ、100J/m2〜5000J/m2が好ましく、200J/m2〜3000J/m2がより好ましい。
The dose of radiation 4 (exposure amount), the intensity at the wavelength 365nm radiation 4 as a value measured by a luminometer (OAI model 356, Optical Associates Ltd. Inc.), be 10J / m 2 ~10000J /
[工程(3)]
次に、本実施形態の硬化膜の形成方法の工程(3)である現像工程では、図3に示すように、放射線照射後の図2の塗膜1を現像して不要な部分を除去し、所定の形状にパターニングされた塗膜1aを得る。
[Step (3)]
Next, in the development step which is step (3) of the method for forming a cured film of this embodiment, as shown in FIG. 3, the
現像に使用される現像液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア等の無機アルカリや、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド等の4級アンモニウム塩や、コリン、1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ−[4.3.0]−5−ノネン等のアルカリ性化合物の水溶液が使用できる。上述のアルカリ性化合物の水溶液には、メタノール、エタノール等の水溶性有機溶剤を適当量添加して使用することもできる。さらに、界面活性剤をそれのみで、または、上述の水溶性有機溶剤の添加とともに、適当量添加して使用することもできる。 Examples of the developer used for development include inorganic alkalis such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium silicate, sodium metasilicate, and ammonia, and tetramethylammonium hydroxide and tetraethylammonium hydroxide. Aqueous solutions of alkaline compounds such as quaternary ammonium salts, choline, 1,8-diazabicyclo- [5.4.0] -7-undecene, 1,5-diazabicyclo- [4.3.0] -5-nonene Can be used. An appropriate amount of a water-soluble organic solvent such as methanol or ethanol can be added to the aqueous solution of the alkaline compound described above. Furthermore, the surfactant can be used alone or in combination with the above-mentioned water-soluble organic solvent.
現像方法は、液盛り法、ディッピング法、シャワー法、スプレー法等のいずれでもよく、現像時間は、常温で5秒間〜300秒間とすることができ、好ましくは常温で10秒間〜180秒間程度である。現像処理に続いて、例えば、流水洗浄を30秒間〜90秒間行った後、圧縮空気や圧縮窒素で風乾することによって、所望のパターンが得られる。 The developing method may be any of a liquid filling method, a dipping method, a shower method, a spraying method, etc., and the developing time can be 5 seconds to 300 seconds at room temperature, preferably 10 seconds to 180 seconds at room temperature. is there. Subsequent to the development processing, for example, washing with running water is performed for 30 seconds to 90 seconds, and then a desired pattern is obtained by air drying with compressed air or compressed nitrogen.
[工程(4)]
次に、本実施形態の硬化膜の形成方法の工程(4)である硬化工程では、図3に示したパターニングされた塗膜1aを、ホットプレート、オーブン等の適当な加熱装置により硬化(ポストベークとも言う。)する。これにより、図4に示すように、基板2上に形成された、本実施形態の硬化膜5が得られる。硬化膜5は、上述したように、所望の形状となるようにパターニングされている。
[Step (4)]
Next, in the curing step which is step (4) of the cured film forming method of the present embodiment, the patterned coating film 1a shown in FIG. 3 is cured (post-posted) by a suitable heating device such as a hot plate or oven. Also called bake.) Thereby, as shown in FIG. 4, the cured
本実施形態の硬化膜5の形成には、上述した本発明の第1実施形態の硬化性樹脂組成物を用いており、本工程の加熱温度は100℃〜250℃とすることが好ましい。硬化時間は、例えば、ホットプレート上では5分間〜30分間とすることが好ましく、オーブン中では30分間〜180分間とすることが好ましい。
In forming the cured
以上の工程(1)〜工程(4)を含む硬化膜の形成方法によって形成された本実施形態の硬化膜は、樹脂中に[Y]半導体量子ドットを含んで構成され、[Y]半導体量子ドットに基づく蛍光発光(波長変換)機能を有する。そのため、励起光と異なる波長の蛍光を発光する波長変換フィルムとして用いることができる。したがって、本発明の実施形態の波長変換フィルムは、本発明の第1実施形態の硬化性樹脂組成物を用い、上述した本実施形態の硬化膜の形成方法に従って形成することができる。そして、本実施形態の波長変換フィルムは、[Y]半導体量子ドットに基づく蛍光発光(波長変換)機能を有する。 The cured film of this embodiment formed by the cured film forming method including the above steps (1) to (4) is configured to include [Y] semiconductor quantum dots in the resin, and [Y] semiconductor quantum. Fluorescence emission (wavelength conversion) function based on dots. Therefore, it can be used as a wavelength conversion film that emits fluorescence having a wavelength different from that of excitation light. Therefore, the wavelength conversion film of the embodiment of the present invention can be formed using the curable resin composition of the first embodiment of the present invention according to the above-described method for forming a cured film of the present embodiment. And the wavelength conversion film of this embodiment has the fluorescence light emission (wavelength conversion) function based on a [Y] semiconductor quantum dot.
また、本実施形態の硬化膜を発光層として用い、発光素子を提供することも可能である。
特に、本発明の第2実施形態の硬化膜は、後述するように、発光素子の例である発光表示素子の発光層としての利用に好適であり、発光表示素子の構成に用いることができる。その場合、本発明の実施形態の発光素子の発光層は、本発明の第1実施形態の硬化性樹脂組成物を用い、上述した本実施形態の硬化膜の形成方法に従って、同様に形成することができる。そして、本実施形態の発光素子の発光層は、[Y]半導体量子ドットに基づく蛍光発光(波長変換)機能を有する。
Moreover, it is also possible to provide a light emitting element using the cured film of this embodiment as a light emitting layer.
In particular, as described later, the cured film of the second embodiment of the present invention is suitable for use as a light emitting layer of a light emitting display element that is an example of a light emitting element, and can be used for the configuration of the light emitting display element. In that case, the light emitting layer of the light emitting device of the embodiment of the present invention is similarly formed using the curable resin composition of the first embodiment of the present invention and according to the cured film forming method of the present embodiment described above. Can do. And the light emitting layer of the light emitting element of this embodiment has the fluorescence emission (wavelength conversion) function based on a [Y] semiconductor quantum dot.
そのため、本実施形態の硬化膜は光の利用効率を高めることができるように、それを構成する樹脂において、厚さ0.1mmでの全光線透過率(JIS K7105)が、好ましくは75%〜95%であり、より好ましくは78%〜95%であり、さらに好ましくは80%〜95%である。全光線透過率がこのような範囲であれば、得られる硬化膜は優れた光利用効率の波長変換フィルムや発光素子の発光層を構成することができる。 Therefore, in the cured film of this embodiment, the total light transmittance (JIS K7105) at a thickness of 0.1 mm is preferably 75% to a resin constituting the cured film so that the light use efficiency can be increased. 95%, more preferably 78% to 95%, still more preferably 80% to 95%. When the total light transmittance is within such a range, the obtained cured film can constitute a wavelength conversion film having excellent light utilization efficiency and a light emitting layer of a light emitting element.
実施の形態3.
<発光表示素子およびその発光層>
本発明においては、上述した本発明の第2実施形態の硬化膜を用い、波長変換フィルムや発光層として使用することにより、照明装置や発光表示素子等の発光素子を提供することができる。
Embodiment 3 FIG.
<Light-emitting display element and light-emitting layer thereof>
In this invention, light emitting elements, such as an illuminating device and a light emitting display element, can be provided by using as a wavelength conversion film or a light emitting layer using the cured film of 2nd Embodiment of this invention mentioned above.
したがって、本発明の第3実施形態である発光表示素子は、本発明の発光素子の一例である。本発明の第3実施形態である発光表示素子は、上述した本発明の第2実施形態の硬化膜を発光層とする波長変換基板を用いて構成される。 Therefore, the light emitting display element which is 3rd Embodiment of this invention is an example of the light emitting element of this invention. The light emitting display element which is 3rd Embodiment of this invention is comprised using the wavelength conversion board | substrate which uses the cured film of 2nd Embodiment of this invention mentioned above as a light emitting layer.
図5は、本発明の実施形態の発光表示素子を模式的に示す断面図である。 FIG. 5 is a cross-sectional view schematically showing a light-emitting display element according to an embodiment of the present invention.
本発明の第3実施形態の発光表示素子100は、基板12上に発光層13(13a、13b、13c)とブラックマトリクス14とを設けて構成された波長変換基板11と、波長変換基板11上に接着剤層15を介して貼り合わされた光源基板18とを有する。
The light emitting
基板12は、ガラス、石英、または、透明樹脂(例えば、透明ポリイミド、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエステルフィルム、環状オレフィン系樹脂フィルム等)等からなる。
The
波長変換基板11の発光層13は、上述した本発明の第2実施形態の硬化膜を利用してなるものである。すなわち、発光層13は、上述した本発明の第1実施形態の硬化性樹脂組成物を用い、パターニングして形成される。
The
発光層の形成方法については、それらが本発明の第2実施形態の硬化膜を用いてなるものであることから、上述した本発明の第2実施形態の硬化膜の形成方法と同様となる。
すなわち、基板12上に本発明の第2実施形態の硬化膜が形成され、それらが発光層13となって発光表示素子100の波長変換基板11を構成する。したがって、発光層13の形成方法は、上述したのと同様の下記工程(1)〜工程(4)をこの順で含むことが好ましい。
About the formation method of a light emitting layer, since they are formed using the cured film of 2nd Embodiment of this invention, it becomes the same as the formation method of 2nd Embodiment of this invention mentioned above.
That is, the cured film of the second embodiment of the present invention is formed on the
(1)本発明の第1実施形態の硬化性樹脂組成物の塗膜を基板上に形成する塗膜形成工程。
(2)工程(1)で形成した塗膜の少なくとも一部に放射線を照射する放射線照射工程。
(3)工程(2)で放射線を照射された塗膜を現像する現像工程。
(4)工程(3)で現像された塗膜を加熱する硬化工程。
(1) The coating film formation process which forms the coating film of the curable resin composition of 1st Embodiment of this invention on a board | substrate.
(2) A radiation irradiation step of irradiating at least part of the coating film formed in step (1) with radiation.
(3) A development step of developing the coating film irradiated with radiation in step (2).
(4) A curing step of heating the coating film developed in step (3).
そして、発光層13を形成するための(1)工程〜(4)工程のそれぞれは、本発明の第2実施形態の硬化膜の形成において、図1〜図4を用いて説明したとおりである。したがって、その詳細は省略するが、図4において示される所望の形状となるようにパターニングされた硬化膜5が、図5の波長変換基板11の発光層13となる。
And each of (1) process-(4) process for forming the
波長変換基板11は、発光層13のそれぞれが、含有する半導体量子ドットを用い、光源基板18の励起光源17からの励起光を波長変換し、所望とする波長の蛍光を発光する。
In the
そして、波長変換基板11では、発光層13aと発光層13bと発光層13cとが、それぞれ、異なる半導体量子ドットを含んで構成され、異なる蛍光を発光することができる。
And in the wavelength conversion board |
例えば、波長変換基板11は、発光層13aが励起光を赤色の光に変換し、発光層13bが励起光を緑色の光に変換し、発光層13cが励起光を青色の光に変換するように構成することができる。
その場合、発光層13a、13b、13cは、それぞれが所望とする蛍光特性を有するように、含有する半導体量子ドットの選択がなされる。そのため、波長変換基板11の発光層13a、13b、13cの形成においては、異なる発光特性の半導体量子ドットを含む、例えば、3種の第1実施形態の硬化性樹脂組成物が準備される。
For example, in the
In that case, the semiconductor quantum dots to be contained are selected so that each of the
そして、その3種の第1実施形態の硬化性樹脂組成物をそれぞれ用いて、上述した工程(1)〜工程(4)を含む発光層13の形成方法を繰り返して、発光層13a、発光層13bおよび発光層13cを順次形成する。そして、基板12上に発光層13を形成して、波長変換基板11を得る。
And the formation method of the
波長変換基板11の発光層13の厚さは、100nm〜100μm程度が好ましく、1μm〜100μmがより好ましい。その厚さが100nm未満であると、励起光を十分吸収することができず、光変換効率が低下するために発光表示素子の輝度が十分に確保できないといった問題が生じる。さらに、励起光の吸収を高め、発光表示素子の輝度を十分に確保するためには、膜厚として、1μm以上とすることが好ましい。
The thickness of the
基板12上の各発光層13の間には、ブラックマトリクス14が配置されている。ブラックマトリクス14は、公知の遮光性の材料を用い、公知の方法に従ってパターニングして形成することができる。尚、ブラックマトリクス14は、波長変換基板11において、必須の構成要素ではなく、波長変換基板11は、ブラックマトリクス14を設けない構成とすることも可能である。
A
接着剤層15は、後述する波長の紫外光または青色光を透過する公知の接着剤を用いて形成される。尚、接着剤層15は、図5に示すように、基板12上に発光層13a、13b、13cの全面を被覆するように設ける必要はなく、波長変換基板11の周囲のみに設けることも可能である。
The
光源基板18は、基板16と、基板16の波長変換基板11の側に配置された光源17とを備えている。光源17からはそれぞれ、励起光として紫外光または青色光が出射される。
The
光源17としては、公知の構造の紫外発光有機EL素子および青色発光有機EL素子等の使用が可能であり、特に限定されるものではなく、公知の材料、公知の製造方法で作製することが可能である。ここで、紫外光としては、主発光ピークが360nm〜435nmの発光が好ましく、青色光としては、主発光ピークが435nm〜480nmの発光が好ましい。光源17は、それぞれの出射光が対向する発光層13を照射するように、指向性を有していることが望ましい。
As the
本実施形態の発光表示素子100は、光源17aからの励起光を、対向する波長変換基板11の発光層13aの半導体量子ドットにより波長変換する。同様に、光源17bからの励起光を、対向する波長変換基板11の発光層13bの半導体量子ドットにより波長変換し、また、光源17cからの励起光を、対向する波長変換基板11の発光層13cの半導体量子ドットにより波長変換する。このようにして、光源17からの励起光が、それぞれ所望とする波長の可視光に変換されて表示に用いられている。
The light emitting
尚、波長変換基板11においては、後述するように、発光層13cにおいて励起光を青色光に変換する。このとき、波長変換基板11は、発光層13cに代えて、樹脂中に光酸散乱粒子を分散して構成された光散乱層を用いることも可能である。こうすることで、励起光が青色光である場合、その励起光を波長変換することなく、そのままの波長特性で使用することができる。
In the
発光表示素子100の波長変換基板11は、上述したように、それぞれ半導体量子ドットと樹脂とからなる発光層13aと発光層13bと発光層13cとが、基板12の上にパターニングされて設けられたものである。発光層13a、13b、13cは、半導体量子ドットを含む、第1実施形態の硬化性樹脂組成物からそれぞれ形成される。
As described above, the
発光表示素子100においては、発光層13aの設けられた部分が、赤色表示を行うサブ画素を構成する。すなわち、波長変換基板11の発光層13aは、光源基板18の対向する光源17aからの励起光を赤色に変換する。また、発光層13bの設けられた部分が、緑色表示を行うサブ画素を構成する。すなわち、発光層13bは、光源基板18の対向する光源17bからの励起光を緑色に変換する。また、発光層13cの設けられた部分が、青色表示を行うサブ画素を構成する。すなわち、発光層13cは、光源基板18の対向する光源17cからの励起光を青色に変換する。
In the light emitting
そして、発光表示素子100は、発光層13aを備えたサブ画素、発光層13bを備えたサブ画素および発光層13cを備えたサブ画素の3種により、画像を構成する最小単位となる1つの画素を構成する。
The light-emitting
以上の構成を有する本実施形態の発光表示素子100は、発光層13aを備えたサブ画素、発光層13bを備えたサブ画素および発光層13cを備えたサブ画素毎に、赤色、緑色または青色の光の発光が制御される。そして、3種のサブ画素からなる1つの画素毎に、赤色、緑色および青色の光の発光が制御され、フルカラーの表示が行われる。
The light-emitting
尚、本発明の実施形態の発光表示素子100においては、発光層13と基板12との間に、カラーフィルタを設けることが可能である。すなわち、発光層13aと基板12との間に赤色のカラーフィルタを設け、発光層13bと基板12との間に緑色のカラーフィルタを設け、発光層13cと基板12との間に赤色のカラーフィルタを設けることができる。
In the light emitting
本発明の第3実施形態の発光表示素子100は、カラーフィルタを設けることにより、表示の色の純度を高めることができる。ここで、カラーフィルタとしては、液晶表示素子用等として公知のものを公知の方法で形成して用いることができる。
The light emitting
以下、実施例に基づいて本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に何ら限定されるものではない。 EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated more concretely based on an Example, this invention is not limited to these Examples at all.
<半導体量子ドット>
本実施例で用いた[Y]半導体量子ドットを次に示す。
半導体量子ドットA:InP/ZnSコアシェル型量子ドット
半導体量子ドットB:InCuS2/ZnSコアシェル型量子ドット
半導体量子ドットC:Si量子ドット
<Semiconductor quantum dots>
[Y] semiconductor quantum dots used in this example are shown below.
Semiconductor quantum dot A: InP / ZnS core-shell quantum dot semiconductor quantum dot B: InCuS 2 / ZnS core-shell quantum dot semiconductor quantum dot C: Si quantum dot
そして、下記実施例で用いた[Y]成分の半導体量子ドットA:InP/ZnSコアシェル型量子ドット、半導体量子ドットB:InCuS2/ZnSコアシェル型量子ドット、半導体量子ドットC:Si量子ドットは、一般的に知られている方法で合成することができる。 The semiconductor quantum dots A: InP / ZnS core-shell quantum dots, semiconductor quantum dots B: InCuS 2 / ZnS core-shell quantum dots, and semiconductor quantum dots C: Si quantum dots used in the following examples are as follows: It can be synthesized by a generally known method.
例えば、半導体量子ドットA:InP/ZnSコアシェル型量子ドットに関しては技術文献「Journal of American Chemical Society. 2007, 129, 15432−15433」に、半導体量子ドットB:InCuS2/ZnSコアシェル型量子ドットに関しては技術文献「Journal of American Chemical Society. 2009, 131, 5691−5697」および技術文献「Chemistry of Materials. 2009, 21, 2422−2429」に、半導体量子ドットC:Si量子ドットに関しては技術文献「Journal of American Chemical Society. 2010, 132, 248−253」記載されている方法を参照して合成することができる。 For example, regarding the semiconductor quantum dot A: InP / ZnS core-shell type quantum dot, the technical literature “Journal of American Chemical Society. 2007, 129, 15432-15433” and the semiconductor quantum dot B: InCuS 2 / ZnS core-shell type quantum dot In the technical document “Journal of American Chemical Society. 2009, 131, 5691-5697” and the technical document “Chemistry of Materials. 2009, 21, 2422-2429”, regarding the semiconductor quantum dot C: American Chemical Society. 2010, 132, 248-253 ”. It can be synthesized with reference to the method.
<硬化性樹脂組成物の調製>
合成例1
[共重合体(α)の合成]
硬化性樹脂組成物の成分となる[X]重合体である共重合体(α)の合成を、以下に従い行った。
冷却管および撹拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル4質量部およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート190質量部を仕込み、引き続きメタクリル酸55質量部、メタクリル酸ベンジル45質量部、並びに分子量調節剤としてのα−メチルスチレンダイマー2質量部を仕込み、緩やかに攪拌しつつ、溶液の温度を80℃に上昇し、この温度を4時間保持した後、100℃に上昇させ、この温度を1時間保持して重合することにより共重合体を含有する溶液を得た。次いで、この共重合体を含む溶液に、テトラブチルアンモニウムブロミド1.1質量部、重合禁止剤としての4−メトキシフェノール0.05質量部を加え、空気雰囲気下90℃で30分間攪拌後、メタクリル酸グリシジル74質量部を入れて90℃のまま10時間反応させることにより、共重合体(α)を得た(固形分濃度=35.0%)。共重合体(α)のMwは、9000であった。
このとき、1H−NMR、FT−IRから求めた、共重合体(α)中の、上述した(X1)構造単位の含有率は、37.5mol%であった。
<Preparation of curable resin composition>
Synthesis example 1
[Synthesis of Copolymer (α)]
The synthesis of the copolymer (α), which is the [X] polymer that is a component of the curable resin composition, was performed as follows.
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 4 parts by mass of 2,2′-azobisisobutyronitrile and 190 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate, and subsequently 55 parts by mass of methacrylic acid and 45 parts by mass of benzyl methacrylate. In addition, 2 parts by mass of α-methylstyrene dimer as a molecular weight regulator was added, and while gently stirring, the temperature of the solution was raised to 80 ° C., this temperature was maintained for 4 hours, and then raised to 100 ° C. A solution containing a copolymer was obtained by polymerization while maintaining the temperature for 1 hour. Next, 1.1 parts by mass of tetrabutylammonium bromide and 0.05 parts by mass of 4-methoxyphenol as a polymerization inhibitor were added to the solution containing this copolymer, and the mixture was stirred at 90 ° C. for 30 minutes in an air atmosphere. A copolymer (α) was obtained by adding 74 parts by mass of glycidyl acid and reacting at 90 ° C. for 10 hours (solid content concentration = 35.0%). The Mw of the copolymer (α) was 9000.
In this case, 1 H-NMR, was determined from FT-IR, in the copolymer (alpha), the content of the above (X1) structural units was 37.5mol%.
合成例2
[共重合体(β)の合成]
[X]重合体である共重合体(β)の合成を、以下に従い行った。
冷却管および撹拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル4質量部およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート190質量部を仕込み、引き続きメタクリル酸85質量部、メタクリル酸ベンジル15質量部、並びに分子量調節剤としてのα−メチルスチレンダイマー2質量部を仕込み、緩やかに攪拌しつつ、溶液の温度を80℃に上昇し、この温度を4時間保持した後、100℃に上昇させ、この温度を1時間保持して重合することにより共重合体を含有する溶液を得た。次いで、この共重合体を含む溶液に、テトラブチルアンモニウムブロミド1.1質量部、重合禁止剤としての4−メトキシフェノール0.05質量部を加え、空気雰囲気下90℃で30分間攪拌後、メタクリル酸グリシジル74質量部を入れて90℃のまま10時間反応させることにより、共重合体(β)を得た(固形分濃度=35.5%)。共重合体(β)のMwは、10000であった。
このとき、1H−NMR、FT−IRから求めた、共重合体(β)中、(X1)構造単位の含有率は、8.5mol%であった。
Synthesis example 2
[Synthesis of Copolymer (β)]
[X] The copolymer (β) as a polymer was synthesized according to the following.
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 4 parts by weight of 2,2′-azobisisobutyronitrile and 190 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate, followed by 85 parts by weight of methacrylic acid and 15 parts by weight of benzyl methacrylate. In addition, 2 parts by mass of α-methylstyrene dimer as a molecular weight regulator was added, and while gently stirring, the temperature of the solution was raised to 80 ° C., this temperature was maintained for 4 hours, and then raised to 100 ° C. A solution containing a copolymer was obtained by polymerization while maintaining the temperature for 1 hour. Next, 1.1 parts by mass of tetrabutylammonium bromide and 0.05 parts by mass of 4-methoxyphenol as a polymerization inhibitor were added to the solution containing this copolymer, and the mixture was stirred at 90 ° C. for 30 minutes in an air atmosphere. A copolymer (β) was obtained by adding 74 parts by mass of glycidyl acid and reacting at 90 ° C. for 10 hours (solid content concentration = 35.5%). The Mw of the copolymer (β) was 10,000.
At this time, the content of the (X1) structural unit in the copolymer (β) determined from 1 H-NMR and FT-IR was 8.5 mol%.
実施例1
[硬化性樹脂組成物(δ−I)の調製]
Example 1
[Preparation of Curable Resin Composition (δ-I)]
[X]重合体として合成例1で合成した共重合体(α)を含む溶液(共重合体100質量部(固形分)に相当する量)に、[Z]成分である多官能アクリレートとしてMAX−3510(日本化薬(株)製)100質量部、[V]成分である連鎖移動剤としてメルカプト基を有する化合物であるペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)(昭和電工(株)製 商品名:カレンズMT−PE1)を10質量部、[W]成分である感放射線性重合開始剤として2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン(チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製、イルガキュア(登録商標)907)3質量部、シリコン系の界面活性剤としてSH8400 FLUID(東レ・ダウコーニング・シリコーン(株)製)0.3質量部を加えて混合溶解させた後、[Y]成分である半導体量子ドットAを10質量部混合して、硬化性樹脂組成物(δ−I)を調製した。 [X] MAX as a polyfunctional acrylate as the [Z] component in a solution containing the copolymer (α) synthesized in Synthesis Example 1 as a polymer (amount corresponding to 100 parts by mass (solid content) of the copolymer). -3510 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate) which is a compound having a mercapto group as a chain transfer agent which is the [V] component (manufactured by Showa Denko KK) Name: 10 parts by mass of Karenz MT-PE1), 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one (Ciba 3 parts by mass of Irgacure (registered trademark) 907) manufactured by Specialty Chemicals, SH8400 FLUID (Toray Dow Corning Cone Co., Ltd.) 0.3 parts by weight was added and mixed and dissolved, and then 10 parts by weight of semiconductor quantum dots A as the [Y] component were mixed to prepare a curable resin composition (δ-I). did.
実施例2
[硬化性樹脂組成物(δ−II)の調製]
本実施例2では、[Y]成分の半導体量子ドットとして、半導体量子ドットAに代えて半導体量子ドットBを用いた以外は実施例1と同様にして、硬化性樹脂組成物(δ−II)を調製した。
Example 2
[Preparation of Curable Resin Composition (δ-II)]
In this Example 2, the curable resin composition (δ-II) was the same as Example 1 except that the semiconductor quantum dot B was used instead of the semiconductor quantum dot A as the semiconductor quantum dot of the [Y] component. Was prepared.
実施例3
[硬化性樹脂組成物(δ−III)の調製]
本実施例3では、[Y]成分の半導体量子ドットとして、半導体量子ドットAに代えて半導体量子ドットCを用いた以外は実施例1と同様にして、硬化性樹脂組成物(δ−III)を調製した。
Example 3
[Preparation of Curable Resin Composition (δ-III)]
In the present Example 3, the curable resin composition (δ-III) is the same as the Example 1 except that the semiconductor quantum dot C is used instead of the semiconductor quantum dot A as the semiconductor quantum dot of the [Y] component. Was prepared.
実施例4
[硬化性樹脂組成物(δ−IV)の調製]
本実施例4では、[X]重合体として、合成例2で合成した共重合体(β)を含む溶液(共重合体100質量部(固形分)に相当する量)を用いた以外は実施例1と同様にして、硬化性樹脂組成物(δ−IV)を調製した。
Example 4
[Preparation of Curable Resin Composition (δ-IV)]
In this Example 4, a solution containing the copolymer (β) synthesized in Synthesis Example 2 (amount corresponding to 100 parts by mass (solid content) of the copolymer) was used as the [X] polymer. In the same manner as in Example 1, a curable resin composition (δ-IV) was prepared.
実施例5
[硬化性樹脂組成物(δ−V)の調製]
本実施例5では、[V]成分である連鎖移動剤として、メルカプト基を有する化合物である1,3,5−トリス(3−メルカプトブチリルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6−(1H,3H,5H)−トリオン(昭和電工(株)製 商品名:カレンズMT−NR1)を15質量部用いた以外は実施例1と同様にして、硬化性樹脂組成物(δ−V)を調製した。
Example 5
[Preparation of Curable Resin Composition (δ-V)]
In Example 5, 1,3,5-tris (3-mercaptobutyryloxyethyl) -1,3,5-triazine-2 which is a compound having a mercapto group as the chain transfer agent which is the [V] component , 4,6- (1H, 3H, 5H) -trione (trade name: Karenz MT-NR1 manufactured by Showa Denko KK) was used in the same manner as in Example 1 except that 15 parts by mass was used. (Δ-V) was prepared.
実施例6
[硬化性樹脂組成物(δ−VI)の調製]
本実施例6では、[V]成分である連鎖移動剤として、メルカプト基を有する化合物である1,4−ビス(3−メルカプトブチリルオキシ)ブタン(昭和電工(株)製 商品名:カレンズMT−BD1)を20質量部用いた以外は実施例1と同様にして、硬化性樹脂組成物(δ−VI)を調製した。
Example 6
[Preparation of Curable Resin Composition (δ-VI)]
In this Example 6, 1,4-bis (3-mercaptobutyryloxy) butane (made by Showa Denko KK), which is a compound having a mercapto group, as the chain transfer agent which is the [V] component, trade name: Karenz MT A curable resin composition (δ-VI) was prepared in the same manner as in Example 1 except that 20 parts by mass of -BD1) was used.
比較例1
[硬化性樹脂組成物(δ−VII)の調製]
本比較例1では、[V]成分の連鎖移動剤を用いなかった以外は実施例1と同様にして、第1比較例である硬化性樹脂組成物(δ−VII)を調製した。
Comparative Example 1
[Preparation of Curable Resin Composition (δ-VII)]
In Comparative Example 1, a curable resin composition (δ-VII) as a first comparative example was prepared in the same manner as in Example 1 except that the chain transfer agent of the [V] component was not used.
<硬化膜の評価>
実施例1〜実施例6で調製した硬化性樹脂組成物および比較例1で調製した硬化性樹脂組成物を使用し、以下のように硬化膜を形成し、特性の評価を行った。
<Evaluation of cured film>
Using the curable resin composition prepared in Example 1 to Example 6 and the curable resin composition prepared in Comparative Example 1, a cured film was formed as follows, and the characteristics were evaluated.
実施例7
[硬化性樹脂組成物(δ−I)を用いた硬化膜の形成]
無アルカリガラス基板上に、実施例1で調製した硬化性樹脂組成物(δ−I)をスピン塗布法により塗布した後、90℃のホットプレート上で2分間プレベークすることにより塗膜を形成した。
次に、所定のパターンを備えたフォトマスクを介し、得られた塗膜に高圧水銀ランプを用いて露光量700J/m2として放射線照射を行った。次いで、0.4質量%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液にて25℃、60秒間現像を行った。
次に、オーブン中で180℃の硬化温度および30分間の硬化時間でポストベークすることにより、所定の形状にパターニングされた硬化膜を形成した。
Example 7
[Formation of cured film using curable resin composition (δ-I)]
A curable resin composition (δ-I) prepared in Example 1 was applied on an alkali-free glass substrate by a spin coating method, and then prebaked on a hot plate at 90 ° C. for 2 minutes to form a coating film. .
Next, radiation was applied to the obtained coating film through a photomask having a predetermined pattern with an exposure amount of 700 J / m 2 using a high-pressure mercury lamp. Next, development was performed at 25 ° C. for 60 seconds with a 0.4 mass% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution.
Next, a cured film patterned into a predetermined shape was formed by post-baking in an oven at a curing temperature of 180 ° C. and a curing time of 30 minutes.
次に、パターニングされた硬化膜の端部分を光学顕微鏡で観察し、現像残渣がなく、パターンの直線部分が直線状に形成されている場合にパターニング性良好と判断した。
その結果、硬化性樹脂組成物(δ−I)を用い、パターニングして形成された硬化膜のパターニング性は良好であった。
Next, the edge part of the patterned cured film was observed with an optical microscope, and it was judged that the patterning property was good when there was no development residue and the linear part of the pattern was linearly formed.
As a result, the patterning property of the cured film formed by patterning using the curable resin composition (δ-I) was good.
実施例8
[硬化性樹脂組成物(δ−II)を用いた硬化膜の形成]
無アルカリガラス基板上に、実施例2で調製した硬化性樹脂組成物(δ−II)をスピンナにより塗布した後、90℃のホットプレート上で2分間プレベークすることにより塗膜を形成した。
次に、所定のパターンを備えたフォトマスクを介し、得られた塗膜に高圧水銀ランプを用いて露光量1000J/m2として放射線照射を行い、0.4質量%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液にて25℃、150秒間現像を行った。
次に、オーブン中で180℃の硬化温度および30分間の硬化時間でポストベークすることにより、所定の形状にパターニングされた硬化膜を形成した。
Example 8
[Formation of cured film using curable resin composition (δ-II)]
The curable resin composition (δ-II) prepared in Example 2 was applied on an alkali-free glass substrate with a spinner, and then prebaked on a 90 ° C. hot plate for 2 minutes to form a coating film.
Next, the obtained coating film was irradiated with radiation at an exposure amount of 1000 J / m 2 through a photomask having a predetermined pattern using a high-pressure mercury lamp, and a 0.4 mass% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution Development was performed at 25 ° C. for 150 seconds.
Next, a cured film patterned into a predetermined shape was formed by post-baking in an oven at a curing temperature of 180 ° C. and a curing time of 30 minutes.
次に、パターニングされた硬化膜の端部分を光学顕微鏡で観察し、現像残渣がなく、パターンの直線部分が直線状に形成されている場合にパターニング性良好と判断した。
その結果、硬化性樹脂組成物(δ−II)を用い、パターニングして形成された硬化膜のパターニング性は良好であった。
Next, the edge part of the patterned cured film was observed with an optical microscope, and it was judged that the patterning property was good when there was no development residue and the linear part of the pattern was linearly formed.
As a result, the patterning property of the cured film formed by patterning using the curable resin composition (δ-II) was good.
実施例9
[硬化性樹脂組成物(δ−III)を用いた硬化膜の形成]
無アルカリガラス基板上に、実施例3で調製した硬化性樹脂組成物(δ−III)をスピンナにより塗布した後、100℃のホットプレート上で2分間プレベークすることにより塗膜を形成した。
次に、所定のパターンを備えたフォトマスクを介し、得られた塗膜に高圧水銀ランプを用いて露光量800J/m2として放射線照射を行い、0.4質量%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液にて25℃、80秒間現像を行った。
次に、オーブン中で180℃の硬化温度および30分間の硬化時間でポストベークすることにより、所定の形状にパターニングされた硬化膜を形成した。
Example 9
[Formation of cured film using curable resin composition (δ-III)]
The curable resin composition (δ-III) prepared in Example 3 was applied on an alkali-free glass substrate with a spinner, and then prebaked on a hot plate at 100 ° C. for 2 minutes to form a coating film.
Next, the obtained coating film was irradiated with radiation at an exposure amount of 800 J / m 2 using a high-pressure mercury lamp through a photomask having a predetermined pattern, and a 0.4% by mass aqueous tetramethylammonium hydroxide solution was obtained. Development was performed at 25 ° C. for 80 seconds.
Next, a cured film patterned into a predetermined shape was formed by post-baking in an oven at a curing temperature of 180 ° C. and a curing time of 30 minutes.
次に、パターニングされた硬化膜の端部分を光学顕微鏡で観察し、現像残渣がなく、パターンの直線部分が直線状に形成されている場合にパターニング性良好と判断した。
その結果、硬化性樹脂組成物(δ−III)を用い、パターニングして形成された硬化膜のパターニング性は良好であった。
Next, the edge part of the patterned cured film was observed with an optical microscope, and it was judged that the patterning property was good when there was no development residue and the linear part of the pattern was linearly formed.
As a result, the patternability of the cured film formed by patterning using the curable resin composition (δ-III) was good.
実施例10
[硬化性樹脂組成物(δ−IV)を用いた硬化膜の形成]
無アルカリガラス基板上に、実施例3で調製した硬化性樹脂組成物(δ−IV)をスピンナにより塗布した後、100℃のホットプレート上で2分間プレベークすることにより塗膜を形成した。
次に、所定のパターンを備えたフォトマスクを介し、得られた塗膜に高圧水銀ランプを用いて露光量800J/m2として放射線照射を行い、0.4質量%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液にて25℃、80秒間現像を行った。
次に、オーブン中で180℃の硬化温度および30分間の硬化時間でポストベークすることにより、所定の形状にパターニングされた硬化膜を形成した。
Example 10
[Formation of cured film using curable resin composition (δ-IV)]
A curable resin composition (δ-IV) prepared in Example 3 was applied onto an alkali-free glass substrate with a spinner, and then prebaked on a hot plate at 100 ° C. for 2 minutes to form a coating film.
Next, the obtained coating film was irradiated with radiation at an exposure amount of 800 J / m 2 using a high-pressure mercury lamp through a photomask having a predetermined pattern, and a 0.4% by mass aqueous tetramethylammonium hydroxide solution was obtained. Development was performed at 25 ° C. for 80 seconds.
Next, a cured film patterned into a predetermined shape was formed by post-baking in an oven at a curing temperature of 180 ° C. and a curing time of 30 minutes.
次に、パターニングされた硬化膜の端部分を光学顕微鏡で観察し、現像残渣がなく、パターンの直線部分が直線状に形成されている場合にパターニング性良好と判断した。
その結果、硬化性樹脂組成物(δ−IV)を用い、パターニングして形成された硬化膜のパターニング性は良好であった。
Next, the edge part of the patterned cured film was observed with an optical microscope, and it was judged that the patterning property was good when there was no development residue and the linear part of the pattern was linearly formed.
As a result, the patterning property of the cured film formed by patterning using the curable resin composition (δ-IV) was good.
実施例11
[硬化性樹脂組成物(δ−V)を用いた硬化膜の形成]
無アルカリガラス基板上に、実施例3で調製した硬化性樹脂組成物(δ−V)をスピンナにより塗布した後、100℃のホットプレート上で2分間プレベークすることにより塗膜を形成した。
次に、所定のパターンを備えたフォトマスクを介し、得られた塗膜に高圧水銀ランプを用いて露光量800J/m2として放射線照射を行い、0.4質量%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液にて25℃、80秒間現像を行った。
次に、オーブン中で180℃の硬化温度および30分間の硬化時間でポストベークすることにより、所定の形状にパターニングされた硬化膜を形成した。
Example 11
[Formation of cured film using curable resin composition (δ-V)]
A curable resin composition (δ-V) prepared in Example 3 was applied on an alkali-free glass substrate with a spinner, and then prebaked on a hot plate at 100 ° C. for 2 minutes to form a coating film.
Next, the obtained coating film was irradiated with radiation at an exposure amount of 800 J / m 2 using a high-pressure mercury lamp through a photomask having a predetermined pattern, and a 0.4% by mass aqueous tetramethylammonium hydroxide solution was obtained. Development was performed at 25 ° C. for 80 seconds.
Next, a cured film patterned into a predetermined shape was formed by post-baking in an oven at a curing temperature of 180 ° C. and a curing time of 30 minutes.
次に、パターニングされた硬化膜の端部分を光学顕微鏡で観察し、現像残渣がなく、パターンの直線部分が直線状に形成されている場合にパターニング性良好と判断した。
その結果、硬化性樹脂組成物(δ−V)を用い、パターニングして形成された硬化膜のパターニング性は良好であった。
Next, the edge part of the patterned cured film was observed with an optical microscope, and it was judged that the patterning property was good when there was no development residue and the linear part of the pattern was linearly formed.
As a result, the patterning property of the cured film formed by patterning using the curable resin composition (δ-V) was good.
実施例12
[硬化性樹脂組成物(δ−VI)を用いた硬化膜の形成]
無アルカリガラス基板上に、実施例3で調製した硬化性樹脂組成物(δ−VI)をスピンナにより塗布した後、100℃のホットプレート上で2分間プレベークすることにより塗膜を形成した。
次に、所定のパターンを備えたフォトマスクを介し、得られた塗膜に高圧水銀ランプを用いて露光量800J/m2として放射線照射を行い、0.4質量%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液にて25℃、80秒間現像を行った。
次に、オーブン中で180℃の硬化温度および30分間の硬化時間でポストベークすることにより、所定の形状にパターニングされた硬化膜を形成した。
Example 12
[Formation of cured film using curable resin composition (δ-VI)]
The curable resin composition (δ-VI) prepared in Example 3 was applied onto an alkali-free glass substrate with a spinner, and then prebaked on a hot plate at 100 ° C. for 2 minutes to form a coating film.
Next, the obtained coating film was irradiated with radiation at an exposure amount of 800 J / m 2 using a high-pressure mercury lamp through a photomask having a predetermined pattern, and a 0.4% by mass aqueous tetramethylammonium hydroxide solution was obtained. Development was performed at 25 ° C. for 80 seconds.
Next, a cured film patterned into a predetermined shape was formed by post-baking in an oven at a curing temperature of 180 ° C. and a curing time of 30 minutes.
次に、パターニングされた硬化膜の端部分を光学顕微鏡で観察し、現像残渣がなく、パターンの直線部分が直線状に形成されている場合にパターニング性良好と判断した。
その結果、硬化性樹脂組成物(δ−VI)を用い、パターニングして形成された硬化膜のパターニング性は良好であった。
Next, the edge part of the patterned cured film was observed with an optical microscope, and it was judged that the patterning property was good when there was no development residue and the linear part of the pattern was linearly formed.
As a result, the patterning property of the cured film formed by patterning using the curable resin composition (δ-VI) was good.
比較例2
[硬化性樹脂組成物(δ−VII)を用いた硬化膜の形成]
無アルカリガラス基板上に、比較例1で調製した硬化性樹脂組成物(δ−VII)をスピンナにより塗布した後、100℃のホットプレート上で2分間プレベークすることにより塗膜を形成した。
次に、所定のパターンを備えたフォトマスクを介し、得られた塗膜に高圧水銀ランプを用いて露光量800J/m2として放射線照射を行い、0.4質量%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液にて25℃、80秒間現像を行った。
次に、オーブン中で180℃の硬化温度および30分間の硬化時間でポストベークすることにより、所定の形状にパターニングされた硬化膜を形成した。
Comparative Example 2
[Formation of cured film using curable resin composition (δ-VII)]
A curable resin composition (δ-VII) prepared in Comparative Example 1 was applied on an alkali-free glass substrate with a spinner, and then prebaked on a hot plate at 100 ° C. for 2 minutes to form a coating film.
Next, the obtained coating film was irradiated with radiation at an exposure amount of 800 J / m 2 using a high-pressure mercury lamp through a photomask having a predetermined pattern, and a 0.4% by mass aqueous tetramethylammonium hydroxide solution was obtained. Development was performed at 25 ° C. for 80 seconds.
Next, a cured film patterned into a predetermined shape was formed by post-baking in an oven at a curing temperature of 180 ° C. and a curing time of 30 minutes.
次に、パターニングされた硬化膜の端部分を光学顕微鏡で観察し、現像残渣がなく、パターンの直線部分が直線状に形成されている場合にパターニング性良好と判断した。
その結果、硬化性樹脂組成物(δ−VII)を用い、パターニングして形成された硬化膜のパターニング性は良好であった。
Next, the edge part of the patterned cured film was observed with an optical microscope, and it was judged that the patterning property was good when there was no development residue and the linear part of the pattern was linearly formed.
As a result, the patterning property of the cured film formed by patterning using the curable resin composition (δ-VII) was good.
実施例13
[硬化収縮性の評価]
実施例7の形成方法による硬化膜について、さらに1J/cm2の露光処理を行い、この露光前後での膜厚を触針式膜厚測定機(アルファステップIQ、KLAテンコール社)で測定した。そして、残膜率(処理後膜厚/処理前膜厚×100)を算出し、この残膜率を硬化収縮性とした。残膜率は99%であり、硬化収縮性は良好と判断した。
Example 13
[Evaluation of curing shrinkage]
The cured film obtained by the forming method of Example 7 was further subjected to an exposure treatment of 1 J / cm 2 , and the film thickness before and after this exposure was measured with a stylus type film thickness measuring machine (Alphastep IQ, KLA Tencor). And the remaining film rate (film thickness after a process / film thickness before a process x100) was computed, and this remaining film rate was made into hardening shrinkage. The residual film ratio was 99%, and the curing shrinkage was judged to be good.
同様に実施例8の形成方法による硬化膜について、さらに1J/cm2の露光処理を行い、この露光前後での膜厚を触針式膜厚測定機(アルファステップIQ、KLAテンコール社)で測定した。そして、残膜率(処理後膜厚/処理前膜厚×100)を算出し、この残膜率を硬化収縮性とした。残膜率は99%であり、硬化収縮性は良好と判断した。 Similarly, the cured film obtained by the formation method of Example 8 was further subjected to an exposure treatment of 1 J / cm 2 , and the film thickness before and after this exposure was measured with a stylus type film thickness measuring machine (Alphastep IQ, KLA Tencor). did. And the remaining film rate (film thickness after a process / film thickness before a process x100) was computed, and this remaining film rate was made into hardening shrinkage. The residual film ratio was 99%, and the curing shrinkage was judged to be good.
同様に実施例9の形成方法による硬化膜について、さらに1J/cm2の露光処理を行い、この露光前後での膜厚を触針式膜厚測定機(アルファステップIQ、KLAテンコール社)で測定した。そして、残膜率(処理後膜厚/処理前膜厚×100)を算出し、この残膜率を硬化収縮性とした。残膜率は99%であり、硬化収縮性は良好と判断した。 Similarly, the cured film obtained by the formation method of Example 9 was further subjected to an exposure treatment of 1 J / cm 2 , and the film thickness before and after this exposure was measured with a stylus type film thickness measuring machine (Alphastep IQ, KLA Tencor). did. And the remaining film rate (film thickness after a process / film thickness before a process x100) was computed, and this remaining film rate was made into hardening shrinkage. The residual film ratio was 99%, and the curing shrinkage was judged to be good.
同様に実施例10の形成方法による硬化膜について、さらに1J/cm2の露光処理を行い、この露光前後での膜厚を触針式膜厚測定機(アルファステップIQ、KLAテンコール社)で測定した。そして、残膜率(処理後膜厚/処理前膜厚×100)を算出し、この残膜率を硬化収縮性とした。残膜率は99%であり、硬化収縮性は良好と判断した。 Similarly, the cured film by the forming method of Example 10 was further subjected to an exposure treatment of 1 J / cm 2 , and the film thickness before and after this exposure was measured with a stylus type film thickness measuring machine (Alphastep IQ, KLA Tencor). did. And the remaining film rate (film thickness after a process / film thickness before a process x100) was computed, and this remaining film rate was made into hardening shrinkage. The residual film ratio was 99%, and the curing shrinkage was judged to be good.
同様に実施例11の形成方法による硬化膜について、さらに1J/cm2の露光処理を行い、この露光前後での膜厚を触針式膜厚測定機(アルファステップIQ、KLAテンコール社)で測定した。そして、残膜率(処理後膜厚/処理前膜厚×100)を算出し、この残膜率を硬化収縮性とした。残膜率は99%であり、硬化収縮性は良好と判断した。 Similarly, the cured film obtained by the formation method of Example 11 was further subjected to an exposure process of 1 J / cm 2 , and the film thickness before and after this exposure was measured with a stylus type film thickness measuring machine (Alphastep IQ, KLA Tencor). did. And the remaining film rate (film thickness after a process / film thickness before a process x100) was computed, and this remaining film rate was made into hardening shrinkage. The residual film ratio was 99%, and the curing shrinkage was judged to be good.
同様に実施例12の形成方法による硬化膜について、さらに1J/cm2の露光処理を行い、この露光前後での膜厚を触針式膜厚測定機(アルファステップIQ、KLAテンコール社)で測定した。そして、残膜率(処理後膜厚/処理前膜厚×100)を算出し、この残膜率を硬化収縮性とした。残膜率は99%であり、硬化収縮性は良好と判断した。 Similarly, the cured film obtained by the formation method of Example 12 was further subjected to an exposure treatment of 1 J / cm 2 , and the film thickness before and after this exposure was measured with a stylus type film thickness measuring device (Alphastep IQ, KLA Tencor). did. And the remaining film rate (film thickness after a process / film thickness before a process x100) was computed, and this remaining film rate was made into hardening shrinkage. The residual film ratio was 99%, and the curing shrinkage was judged to be good.
同様に比較例2の形成方法による硬化膜について、さらに1J/cm2の露光処理を行い、この露光前後での膜厚を触針式膜厚測定機(アルファステップIQ、KLAテンコール社)で測定した。そして、残膜率(処理後膜厚/処理前膜厚×100)を算出し、この残膜率を硬化収縮性とした。残膜率は99%であり、硬化収縮性は良好と判断した。 Similarly, the cured film formed by the formation method of Comparative Example 2 is further subjected to an exposure process of 1 J / cm 2 , and the film thickness before and after this exposure is measured with a stylus type film thickness measuring machine (Alphastep IQ, KLA Tencor). did. And the remaining film rate (film thickness after a process / film thickness before a process x100) was computed, and this remaining film rate was made into hardening shrinkage. The residual film ratio was 99%, and the curing shrinkage was judged to be good.
実施例14
[耐光性の評価]
実施例7の形成方法による硬化膜について、さらに、UV照射装置(UVX−02516S1JS01、ウシオ社)を用いて、130mWの照度で800000J/m2の紫外光を照射して、照射後の膜減り量を調べた。膜減り量は2%以下であり、耐光性は良好と判断した。
Example 14
[Evaluation of light resistance]
About the cured film by the formation method of Example 7, further, UV irradiation apparatus (UVX-02516S1JS01, Ushio Inc.) was used to irradiate 800,000 J / m 2 of ultraviolet light at an illuminance of 130 mW, and the film reduction after irradiation I investigated. The amount of film loss was 2% or less, and light resistance was judged to be good.
同様に、実施例8の形成方法による硬化膜について、さらに、UV照射装置(UVX−02516S1JS01、ウシオ社)を用いて、130mWの照度で800000J/m2の紫外光を照射して、照射後の膜減り量を調べた。膜減り量は2%以下であり、耐光性は良好と判断した。 Similarly, the cured film obtained by the formation method of Example 8 was further irradiated with UV light of 800000 J / m 2 at an illuminance of 130 mW using a UV irradiation apparatus (UVX-02516S1JS01, Ushio Inc.). The amount of film loss was examined. The amount of film loss was 2% or less, and light resistance was judged to be good.
同様に、実施例9の形成方法による硬化膜について、さらに、UV照射装置(UVX−02516S1JS01、ウシオ社)を用いて、130mWの照度で800000J/m2の紫外光を照射して、照射後の膜減り量を調べた。膜減り量は2%以下であり、耐光性は良好と判断した。 Similarly, the cured film formed by the formation method of Example 9 was further irradiated with UV light of 800000 J / m 2 at an illuminance of 130 mW using a UV irradiation apparatus (UVX-02516S1JS01, Ushio Inc.). The amount of film loss was examined. The amount of film loss was 2% or less, and light resistance was judged to be good.
同様に、実施例10の形成方法による硬化膜について、さらに、UV照射装置(UVX−02516S1JS01、ウシオ社)を用いて、130mWの照度で800000J/m2の紫外光を照射して、照射後の膜減り量を調べた。膜減り量は2%以下であり、耐光性は良好と判断した。 Similarly, the cured film obtained by the formation method of Example 10 was further irradiated with 80000 J / m 2 of ultraviolet light at an illuminance of 130 mW using a UV irradiation apparatus (UVX-02516S1JS01, Ushio Inc.). The amount of film loss was examined. The amount of film loss was 2% or less, and light resistance was judged to be good.
同様に、実施例11の形成方法による硬化膜について、さらに、UV照射装置(UVX−02516S1JS01、ウシオ社)を用いて、130mWの照度で800000J/m2の紫外光を照射して、照射後の膜減り量を調べた。膜減り量は2%以下であり、耐光性は良好と判断した。 Similarly, the cured film obtained by the formation method of Example 11 was further irradiated with 80000 J / m 2 of ultraviolet light at an illuminance of 130 mW using a UV irradiation apparatus (UVX-02516S1JS01, Ushio Inc.). The amount of film loss was examined. The amount of film loss was 2% or less, and light resistance was judged to be good.
同様に、実施例12の形成方法による硬化膜について、さらに、UV照射装置(UVX−02516S1JS01、ウシオ社)を用いて、130mWの照度で800000J/m2の紫外光を照射して、照射後の膜減り量を調べた。膜減り量は2%以下であり、耐光性は良好と判断した。 Similarly, the cured film obtained by the formation method of Example 12 was further irradiated with UV light of 800000 J / m 2 at an illuminance of 130 mW using a UV irradiation apparatus (UVX-02516S1JS01, Ushio Inc.). The amount of film loss was examined. The amount of film loss was 2% or less, and light resistance was judged to be good.
同様に、比較例2の形成方法による硬化膜について、さらに、UV照射装置(UVX−02516S1JS01、ウシオ社)を用いて、130mWの照度で800000J/m2の紫外光を照射して、照射後の膜減り量を調べた。膜減り量は2%以下であり、耐光性は良好と判断した。 Similarly, the cured film formed by the formation method of Comparative Example 2 was further irradiated with 80000 J / m 2 of ultraviolet light at an illuminance of 130 mW using a UV irradiation apparatus (UVX-02516S1JS01, Ushio Inc.). The amount of film loss was examined. The amount of film loss was 2% or less, and light resistance was judged to be good.
実施例15
[蛍光特性の評価]
実施例7の形成方法による硬化膜について、さらに、絶対PL量子収率測定装置(C11347−01、浜松ホトニクス社)を用いて、25℃における蛍光量子収率を調べた。蛍光量子収率は80%であり、蛍光特性は良好と判断した。
Example 15
[Evaluation of fluorescence characteristics]
For the cured film obtained by the formation method of Example 7, the fluorescence quantum yield at 25 ° C. was further examined using an absolute PL quantum yield measuring apparatus (C11347-01, Hamamatsu Photonics). The fluorescence quantum yield was 80%, and the fluorescence characteristics were judged to be good.
同様に、実施例8の形成方法による硬化膜について、さらに、絶対PL量子収率測定装置(C11347−01、浜松ホトニクス社)を用いて、25℃における蛍光量子収率を調べた。蛍光量子収率は71%であり、蛍光特性は良好と判断した。 Similarly, the fluorescence quantum yield at 25 ° C. of the cured film obtained by the formation method of Example 8 was further examined using an absolute PL quantum yield measuring apparatus (C11347-01, Hamamatsu Photonics). The fluorescence quantum yield was 71%, and the fluorescence characteristics were judged to be good.
同様に、実施例9の形成方法による硬化膜について、さらに、絶対PL量子収率測定装置(C11347−01、浜松ホトニクス社)を用いて、25℃における蛍光量子収率を調べた。蛍光量子収率は63%であり、蛍光特性は良好と判断した。 Similarly, the fluorescence quantum yield at 25 ° C. of the cured film obtained by the formation method of Example 9 was further examined using an absolute PL quantum yield measuring apparatus (C11347-01, Hamamatsu Photonics). The fluorescence quantum yield was 63%, and the fluorescence characteristics were judged to be good.
同様に、実施例10の形成方法による硬化膜について、さらに、絶対PL量子収率測定装置(C11347−01、浜松ホトニクス社)を用いて、25℃における蛍光量子収率を調べた。蛍光量子収率は79%であり、蛍光特性は良好と判断した。 Similarly, the fluorescence quantum yield at 25 ° C. of the cured film obtained by the formation method of Example 10 was further examined using an absolute PL quantum yield measuring apparatus (C11347-01, Hamamatsu Photonics). The fluorescence quantum yield was 79%, and the fluorescence characteristics were judged to be good.
同様に、実施例11の形成方法による硬化膜について、さらに、絶対PL量子収率測定装置(C11347−01、浜松ホトニクス社)を用いて、25℃における蛍光量子収率を調べた。蛍光量子収率は80%であり、蛍光特性は良好と判断した。 Similarly, the fluorescence quantum yield at 25 ° C. of the cured film obtained by the formation method of Example 11 was further examined using an absolute PL quantum yield measuring apparatus (C11347-01, Hamamatsu Photonics). The fluorescence quantum yield was 80%, and the fluorescence characteristics were judged to be good.
同様に、実施例12の形成方法による硬化膜について、さらに、絶対PL量子収率測定装置(C11347−01、浜松ホトニクス社)を用いて、25℃における蛍光量子収率を調べた。蛍光量子収率は80%であり、蛍光特性は良好と判断した。 Similarly, the fluorescence quantum yield at 25 ° C. of the cured film obtained by the formation method of Example 12 was further examined using an absolute PL quantum yield measuring apparatus (C11347-01, Hamamatsu Photonics). The fluorescence quantum yield was 80%, and the fluorescence characteristics were judged to be good.
同様に、比較例2の形成方法による硬化膜について、さらに、絶対PL量子収率測定装置(C11347−01、浜松ホトニクス社)を用いて、25℃における蛍光量子収率を調べた。蛍光量子収率は15%であり、蛍光特性が大幅に低下する結果となった。 Similarly, the fluorescence quantum yield at 25 ° C. of the cured film obtained by the formation method of Comparative Example 2 was further examined using an absolute PL quantum yield measuring apparatus (C11347-01, Hamamatsu Photonics). The fluorescence quantum yield was 15%, which resulted in a significant decrease in fluorescence characteristics.
本発明の硬化性樹脂組成物を用いて形成された硬化膜は、耐光性等の信頼性に優れ、また、パターニングも容易であり、波長変換層または波長変換フィルムとして、表示素子およびそれを用いた電子機器の他、LEDおよびそれを用いた照明装置、並びに、太陽電池の分野でも利用することができる。 The cured film formed by using the curable resin composition of the present invention is excellent in reliability such as light resistance and is easily patterned, and the display element and the wavelength conversion film are used as a wavelength conversion layer or a wavelength conversion film. In addition to the electronic devices that have been used, the present invention can also be used in the fields of LEDs, lighting devices using the LEDs, and solar cells.
1、1a 塗膜
2、12、16 基板
3 フォトマスク
4、4a 放射線
5 硬化膜
11 波長変換基板
13、13a、13b、13c 発光層
14 ブラックマトリクス
15 接着剤層
17、17a、17b、17c 光源
18 光源基板
100 発光表示素子
1,
Claims (10)
[Y]半導体量子ドット、
[Z]多官能アクリレート、
[V]連鎖移動剤、および
[W]感放射線性重合開始剤
を含有することを特徴とする硬化性樹脂組成物。 [X] alkali-soluble resin,
[Y] semiconductor quantum dots,
[Z] polyfunctional acrylate,
A curable resin composition comprising [V] a chain transfer agent and [W] a radiation-sensitive polymerization initiator.
(1)請求項1〜6のいずれか1項に記載の硬化性樹脂組成物の塗膜を基板上に形成する工程、
(2)工程(1)で形成した塗膜の少なくとも一部に放射線を照射する工程、
(3)工程(2)で放射線を照射された塗膜を現像する工程、および
(4)工程(3)で現像された塗膜を加熱する工程
を有することを特徴とする発光層の形成方法。 A method of forming a light emitting layer that emits fluorescence by excitation light of a light emitting element,
(1) The process of forming the coating film of the curable resin composition of any one of Claims 1-6 on a board | substrate,
(2) A step of irradiating at least a part of the coating film formed in step (1),
(3) A step of developing the coating film irradiated with radiation in the step (2), and (4) a step of heating the coating film developed in the step (3). .
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