JP6086628B2 - 基板クランプ装置 - Google Patents

Description

本発明は、コンベアによって搬送されてくる基板の側縁部を、リフト部材とその上方に位置する押さえ部材との間に挟み込んでクランプする基板クランプ装置に関する発明である。

例えば、部品実装機においては、コンベアによって搬送されてくる基板を、該コンベアの幅方向両側の下方から基板クランプ装置のリフト部材により持ち上げて、その上方に位置する押さえ部材との間に該基板の側縁部を挟み込んでクランプした後、実装ヘッドによって部品を該基板に実装するのが一般的である。近年の基板は、薄型化が進み、強度が弱くなっているため、反りが生じやすい。また、近年の高密度実装化・小型化の要求を満たすために、基板の両面に部品を実装した両面実装基板の需要も増加しているが、この両面実装基板では、まず基板の片面に部品を実装して半田を熱硬化した後、基板を裏返して同様に基板の残りの片面に部品の実装と半田の熱硬化を行うようにしている。そのため、熱硬化時の熱で基板に反りが生じてしまうことがある。

基板に反りが生じた状態で部品を実装すると、部品実装精度が悪化して製品品質の悪化につながるため、特許文献１（特開２００４−３３５９７３号公報）や特許文献２（特許第２７９２９３１号公報）に記載されているように、基板クランプ装置で両側縁部をクランプした基板を、下方からバックアップピンで突き上げて基板の反りを矯正するようにしている。

しかし、バックアップピンで矯正できる基板の反りは、下反り（下方への反り）のみであり、上反り（上方への反り）は、バックアップピンでは矯正できない。

そこで、特許文献３（ＷＯ０１／０５８２３３号公報）では、基板の下側に複数の吸着パッドを配列し、複数の吸着パッドで基板を吸着することで、基板の上反りを矯正するようにしている。

特開２００４−３３５９７３号公報 特許第２７９２９３１号公報 ＷＯ０１／０５８２３３号公報

しかし、上記特許文献３のように、基板の下面側に複数の吸着パッドを配列すると、装置の構成が複雑化してコストアップ幅が大きくなるばかりか、両面実装基板の残りの片面に部品を実装する際に、該基板の下面側の先付け部品に吸着パッドが干渉して該基板の上反りを矯正できない可能性がある。

そこで、本発明が解決しようとする課題は、コストアップ幅を縮小しながら基板の上反りを確実に矯正することができる基板クランプ装置を提供することである。

上記課題を解決するために、本発明は、コンベアによって搬送されてくる基板を、その幅方向両側の下方からリフト部材により持ち上げて、その上方に位置する押さえ部材との間に該基板の側縁部を挟み込んでクランプする基板クランプ装置において、前記リフト部材と前記押さえ部材との間に前記基板の側縁部を挟み込んでクランプすることで該基板に下向きの曲げモーメントを付与して該基板の上反りを矯正する上反り矯正手段を備えた構成とした技術思想を具体化したものである。この構成では、リフト部材と押さえ部材との間に基板の側縁部を挟み込んでクランプすることで、上反り矯正手段が基板に下向きの曲げモーメントを付与するため、この下向きの曲げモーメントによって基板の上反りを確実に矯正することができると共に、両面実装基板の上反りを矯正する場合でも、上反り矯正手段が該基板の下面側の先付け部品と干渉することなく該基板の上反りを確実に矯正することができる。しかも、リフト部材と押さえ部材との間に基板の側縁部を挟み込むクランプ動作を利用して基板に下向きの曲げモーメントを付与できるため、基板の上反りを矯正する構成を簡単化できて、コストアップ幅を縮小することができる。

本発明は、押さえ部材を、コンベアの幅方向両側に位置するガイドレールに対して上反り矯正位置と通常クランプ位置とに移動可能に取り付け、前記上反り矯正位置では、前記上反り矯正手段により基板に下向きの曲げモーメントを付与した状態で該基板をクランプし、前記通常クランプ位置では、基板に下向きの曲げモーメントを付与しない状態で該基板をクランプするように構成すると良い。このようにすれば、上反りのない基板をクランプする場合は、押さえ部材を通常クランプ位置に移動させることで、基板に下向きの曲げモーメントを付与しない状態で該基板をクランプすることができる。

この場合、押さえ部材の位置を認識するための位置表示部と、前記位置表示部を撮像するカメラと、前記カメラで撮像した画像を処理して前記位置表示部を認識して前記押さえ部材の位置を確認する画像処理装置とを備えた構成としても良い。このようにすれば、生産時に押さえ部材の位置が正しい位置に移動されているか否かを事前に確認することができる。

また、本発明は、１つの押さえ部材で基板の側縁部全域を押え付けるようにしても良いし、或は、分割された複数の押さえ部材を基板の側縁部に沿って配列し、各押さえ部材を個別に前記上反り矯正位置と前記通常クランプ位置とに移動可能に取り付けるようにしても良い。この構成では、基板の側縁部に沿って配列した複数の押さえ部材のうち、基板の側縁部のうちの空きスペースに対応位置する押さえ部材のみを上反り矯正位置に移動させて該基板の上反りを矯正することができ、押さえ部材によるデッドスペースを最小限にすることができる。

尚、本発明の他の実施態様として、上反り矯正手段により基板に下向きの曲げモーメントを付与した状態で該基板をクランプする上反り矯正用の押さえ部材と、基板に下向きの曲げモーメントを付与しない状態で該基板をクランプする通常クランプ用の押さえ部材とを取り替え可能に構成しても良い。

或は、基板に下向きの曲げモーメントを付与しない状態で該基板をクランプする通常クランプ用の押さえ部材に対して、上反り矯正手段として機能する上反り矯正用のアタッチメントを着脱可能に取り付けることで該基板に下向きの曲げモーメントを付与するように構成しても良い。いずれの構成でも、同様の効果を得ることができる。

また、上反り矯正手段は、押さえ部材の下面のうちの基板の側縁部と重なる部分を先端側が下方に突出する傾斜状又は突状に形成し、その最も低い部分の位置がリフト部材の上端の位置よりも該基板の内側方向にずれた状態で、該最も低い部分と該リフト部材の上端との間に該基板の側縁部を挟み込むことで該基板に下向きの曲げモーメントを付与するように構成すると良い。このようにすれば、押さえ部材の下面に傾斜状又は段差状の部分を設けて、その最も低い部分の位置をリフト部材の上端の位置からずらすだけの極めて簡単な構成で基板に下向きの曲げモーメントを付与することができ、コストアップを最小限に抑えることができる。

図１は本発明の実施例１における部品実装機の部品実装ステーションを示す斜視図である。 図２（ａ）は押さえ部材が通常クランプ位置でリフト部材が基板アンクランプ位置（搬送位置）の状態を示す主要部の縦断面図、同図（ｂ）は押さえ部材が通常クランプ位置でリフト部材が基板クランプ位置の状態を示す主要部の縦断面図である。 図３（ａ）は押さえ部材が上反り矯正位置でリフト部材が基板アンクランプ位置（搬送位置）の状態を示す主要部の縦断面図、同図（ｂ）は押さえ部材が上反り矯正位置でリフト部材が基板クランプ位置の状態を示す主要部の縦断面図である。 図４は基板の上反りを矯正する作用を説明する主要部の縦断面図である。 図５（ａ）は押さえ部材の係合溝と係合ピンとの係合状態を説明する斜視図、同図（ｂ）は同部分の平面図である。 図６は押さえ部材を（ａ）上反り矯正位置と（ｂ）通常クランプ位置と（ｃ）基板取り出し位置に切り替えたときの状態を示す各位置の上面図と縦断面図である。 図７は本発明の実施例２における部品実装機の部品実装ステーションを示す斜視図である。 図８（ａ）は本発明の実施例３の上反り矯正時の状態を示す主要部の縦断面図、同図（ｂ）は通常クランプ時の状態を示す主要部の縦断面図である。 図９（ａ）は本発明の実施例４の上反り矯正時の状態を示す主要部の縦断面図、同図（ｂ）は通常クランプ時の状態を示す主要部の縦断面図である。

以下、本発明を実施するための形態を具体化した４つの実施例１〜４を説明する。

本発明の実施例１を図１乃至図６に基づいて説明する。
まず、図１を用いて部品実装機の部品実装ステーション１１の構成を説明する。

部品実装ステーション１１は、コンベア１２でＸ方向に搬送されてくる基板１３に部品実装機の装着ヘッド（図示せず）で部品を実装する場所である。コンベア１２は、基板１３の左右両側縁部を載せて搬送するように２本のコンベアベルト１２ａ（図２参照）で構成され、片方のコンベアベルト１２ａを保持するガイドレール１４を基板１３の幅に応じてその幅方向（Ｙ方向）に移動させることで、基板１３の幅に応じてコンベア１２の幅（２本のコンベアベルト１２ａの間隔）を調整できるようになっている。

部品実装ステーション１１には、バックアップピン１５（バックアップ部材）を載せるバックアッププレート１６が水平に設けられている。このバックアッププレート１６は、鉄等の磁性材料で形成され、バックアップピン１５をその下部に設けた磁石（図示せず）によりバックアッププレート１６上の任意の位置（基板１３の下面の先付け部品１８等と干渉しない位置）に吸着保持できるようになっている。バックアッププレート１６は、昇降機構１７によって昇降するように構成され、下降動作時の下限位置が図２（ａ）及び図３（ａ）に示す基板アンクランプ位置となり、上昇動作時の上限位置が図２（ｂ）及び図３（ｂ）に示す基板クランプ位置となる。

バックアッププレート１６の両側部には、それぞれ支持部材１９を介してプレート状のリフト部材２１がコンベア１２の幅方向両側（各コンベアベルト１２ａの内側）に位置するように取り付けられている。各ガイドレール１４の上端には、それぞれプレート状の押さえ部材２２が内側にフランジ状に突出するように取り付けられている。

図２（ａ）及び図３（ａ）に示すように、バックアッププレート１６が基板アンクランプ位置に下降した状態では、バックアッププレート１６上のバックアップピン１５の上端がコンベア１２上の基板１３の下面よりも低い位置にあり、且つ、コンベア１２上の基板１３の下面に先付け部品１８が実装されている場合は、バックアッププレート１６上のバックアップピン１５の上端が該基板１３の下面の先付け部品１８の下端よりも低い位置にある。

一方、図２（ｂ）及び図３（ｂ）に示すように、バックアッププレート１６が基板クランプ位置に上昇した状態では、バックアッププレート１６上のバックアップピン１５が上昇して、該バックアップピン１５の上端がコンベア１２上の基板１３の下面に当接して該基板１３を下方から支えて該基板１３の下反り（下方への曲がり）を防止する。バックアッププレート１６が基板クランプ位置に上昇する際に、リフト部材２１がバックアッププレート１６と一体的に上昇して、ガイドレール１４の上端に取り付けられた押さえ部材２２と該リフト部材２１との間に基板１３の左右両側縁部を挟み込んでクランプする。

図４に示すように、押さえ部材２２の下面のうちの基板１３の側縁部と重なる部分には、先端側が下方に突出するように傾斜面２３（上反り矯正手段）が形成されている。図２、図３、図６に示すように、押さえ部材２２は、ガイドレール１４に対して上反り矯正位置と通常クランプ位置と基板取り出し位置に移動可能に取り付けられ、図３及び図４に示すように、上反り矯正位置では、押さえ部材２２の傾斜面２３のうちの最も低い部分である傾斜面２３の先端部の位置がリフト部材２１の上端の位置よりも基板１３の内側方向にずれた位置関係となり、この位置関係で、該傾斜面２３の先端部と該リフト部材２１の上端との間に該基板１３の側縁部を挟み込むことで、該基板１３に下向きの曲げモーメントを付与した状態で該基板１３をクランプするようになっている。

一方、図２に示すように、通常クランプ位置では、押さえ部材２２の傾斜面２３の先端部がリフト部材２１の上端の真上に位置して両者の位置ずれが無くなり、この位置関係で、該傾斜面２３の先端部と該リフト部材２１の上端との間に該基板１３の側縁部を挟み込むことで、該基板１３に下向きの曲げモーメントを付与しない状態で該基板１３をクランプするようになっている。

図６（ｃ）に示すように、基板取り出し位置は、トラブル発生時等に押さえ部材２２を基板１３の外側方向に移動させて該基板１３を上方へ取り出すための位置である。

図５、図６に示すように、押さえ部材２２を上反り矯正位置と通常クランプ位置と基板取り出し位置とに係合保持するために、該押さえ部材２２には、上記３つの係合位置２４ａ，２４ｂ，２４ｃを持つラビリンス溝等の係合溝２４が形成され、ガイドレール１４の上端に固定した係合ピン２５に係合させる係合溝２４の位置２４ａ，２４ｂ，２４ｃを切り替えることで、押さえ部材２２の位置を上反り矯正位置と通常クランプ位置と基板取り出し位置との間で切り替えるようになっている。尚、図５には、２つの係合溝２４を図示しているが、片方の係合溝２４には、係合ピン２５の図示を省略している。

本実施例１では、押さえ部材２２の位置を画像処理により確認するために、図５（ａ），（ｂ）に示すように、ガイドレール１４の上端面には、位置表示マーク２６（位置表示部）が形成され、押さえ部材２２の位置を上反り矯正位置と通常クランプ位置と基板取り出し位置との間で切り替えることで、押さえ部材２２に形成された３つの貫通孔２０ａ〜２０ｃのいずれか１つに位置表示マーク２６が合致して露出するように構成されている。そして、部品実装機のカメラ（基板１３の基準マークを撮像するカメラ）で押さえ部材２２の３つの貫通孔２０ａ〜２０ｃを含むエリアを撮像して、その画像を部品実装機の画像処理装置（図示せず）で処理することで、３つの貫通孔２０ａ〜２０ｃのうちの位置表示マーク２６が露出する貫通孔の位置を認識することで押さえ部材２２の位置を確認するようにしている。これにより、生産時に押さえ部材２２の位置が正しい位置に移動されているか否かを事前に確認できるようになっている。この場合、ガイドレール１４の上端面の長手方向（Ｘ方向）の２箇所以上に位置表示マーク２６を形成すると共に、押さえ部材２２の長手方向（Ｘ方向）の２箇所以上にそれぞれ３つの貫通孔２０ａ〜２０ｃを形成して、２箇所以上で位置表示マーク２６が露出する貫通孔の位置を画像認識するようにすれば、押さえ部材２２の傾きの有無を確認することができる。

或は、押さえ部材２２の上面に、複数の位置表示マーク（位置表示部）を形成して、部品実装機のカメラで位置表示マークを撮像して、その画像を処理することで、複数の位置表示マークの位置を認識して押さえ部材２２の位置や傾きの有無を確認するようにしても良い。

また、押さえ部材２２の係合溝２４を位置表示部として利用して、カメラで係合溝２４を撮像して、その画像を処理することで、係合溝２４に対する係合ピン２５の係合位置を認識して押さえ部材２２の位置を確認するようにしても良い。

或は、ガイドレール１４の上端面のうちの上反り矯正位置と通常クランプ位置と基板取り出し位置に対応する位置にそれぞれ位置表示マークをＸ方向（基板搬送方向）に位置をずらして形成すると共に、押さえ部材２２に、上反り矯正位置と通常クランプ位置と基板取り出し位置でそれぞれの位置の位置表示マークを露出させるスリットをＸ方向に延びるように形成し、カメラで押さえ部材２２のスリットを撮像して、その画像を処理することで、スリット内の位置表示マークの位置を認識して押さえ部材２２の位置を確認するようにしても良い。

以上のように構成した基板クランプ装置を使用して、基板１３の上反りを矯正してクランプする場合は、まず、図３、図４、図６（ａ）に示すように、作業者が押さえ部材２２を上反り矯正位置に移動させて、押さえ部材２２の傾斜面２３の先端部をリフト部材２１の上端の位置よりも基板１３の内側方向に突出させた状態にする。この状態で、コンベア１２に基板１３を投入して、該基板１３を所定の作業位置まで搬送する。この後、バックアッププレート１６を基板クランプ位置へ上昇させて、リフト部材２１をバックアッププレート１６と一体的に上昇させて、ガイドレール１４の上端に取り付けられた押さえ部材２２と該リフト部材２１との間に基板１３の左右両側縁部を挟み込んでクランプする。

上反り矯正位置では、押さえ部材２２の傾斜面２３の先端部の位置がリフト部材２１の上端の位置よりも基板１３の内側方向にずれた位置関係となるため、押さえ部材２２の傾斜面２３の先端部とリフト部材２１の上端との間に該基板１３の側縁部を挟み込むことで、該基板１３に下向きの曲げモーメントが付与され、この下向きの曲げモーメントによって基板１３の上反りが矯正される。この際、下向きの曲げモーメントが付与された基板１３をその下側からバックアップピン１５の上端で受け支えるため、該基板１３の下反りも防止される。

一方、矯正不要の基板１３をクランプする場合は、まず、図２、図６（ｂ）に示すように、作業者が押さえ部材２２を通常クランプ位置に移動させて、押さえ部材２２の傾斜面２３の先端部をリフト部材２１の上端の真上に位置させて両者の位置ずれを無くした状態にする。この状態で、コンベア１２に基板１３を投入して、該基板１３を所定の作業位置まで搬送した後、バックアッププレート１６を基板クランプ位置に上昇させて、リフト部材２１をバックアッププレート１６と一体的に上昇させて、ガイドレール１４の上端に取り付けられた押さえ部材２２と該リフト部材２１との間に基板１３の左右両側縁部を挟み込んでクランプする。

通常クランプ位置では、押さえ部材２２の傾斜面２３の先端部がリフト部材２１の上端の真上に位置して両者の位置ずれが無くなるため、押さえ部材２２の傾斜面２３の先端部と該リフト部材２１の上端との間に該基板１３の側縁部を挟み込むことで、該基板１３に下向きの曲げモーメントを付与しない状態で該基板１３がクランプされる。この際、基板１３をその下側からバックアップピン１５の上端で受け支えるため、該基板１３の下反り（下方への曲がり）が防止される。

尚、トラブル発生時等に押さえ部材２２を上方へ取り出す場合は、図６（ｃ）に示すように、作業者が押さえ部材２２を基板取り出し位置へ移動させることで、押さえ部材２２を基板１３の外側へ移動させて両者の重なりを無くした状態にして、コンベア１２上の基板１３を上方に取り出す。

以上説明した本実施例１によれば、リフト部材２１と押さえ部材２２との間に基板１３の側縁部を挟み込んでクランプすることで該基板１３に下向きの曲げモーメントを付与するようにしたので、この下向きの曲げモーメントによって基板１３の上反りを確実に矯正することができると共に、両面実装基板の上反りを矯正する場合でも、上反りを矯正する手段（傾斜面２３）が該基板１３の下面側の先付け部品１８と干渉することなく該基板１３の上反りを確実に矯正することができる。しかも、リフト部材２１と押さえ部材２２との間に基板１３の側縁部を挟み込むクランプ動作を利用して基板１３に下向きの曲げモーメントを付与できるため、基板１３の上反りを矯正する構成を簡単化できて、コストアップ幅を縮小することができる。

しかも、本実施例１では、押さえ部材２２の下面に上反り矯正手段として傾斜面２３を形成して、その最も低い部分である傾斜面２３の先端部の位置をリフト部材２１の上端の位置からずらすだけの極めて簡単な構成で基板１３に下向きの曲げモーメントを付与することができ、コストアップを最小限に抑えることができる。

この場合、基板１３に付与する下向きの曲げモーメントが過大であると、基板１３が平面状態を越えて下反り状態になってしまうが、本実施例１では、下向きの曲げモーメントが付与された基板１３をその下側からバックアップピン１５で受け支えるようにしたので、基板１３に付与する下向きの曲げモーメントによって該基板１３が平面状態を越えて下反り状態になることをバックアップピン１５で確実に防止できる。

尚、本実施例１では、押さえ部材２２の下面に上反り矯正手段として傾斜面２３を形成したが、これに代えて、押さえ部材２２の下面の先端側部分を下方に突出する突状に形成しても良く、この構成でも、押さえ部材２２の下面の先端側の最も低い部分とリフト部材２１の上端との間に該基板１３の側縁部を挟み込んでクランプすることで該基板１３に下向きの曲げモーメントを付与することができる。

上記実施例１では、１つの押さえ部材２２で基板１３の側縁部全域を押さえるようにしたが、図７に示す本発明の実施例２では、分割された複数の押さえ部材２２を基板１３の側縁部に沿って配列し、各押さえ部材２２を個別に上反り矯正位置と通常クランプ位置と基板取り出し位置に移動可能に取り付けるようにしている。各押さえ部材２２は、上記実施例１と同様に、ガイドレール１４の上端に固定した係合ピン２５と係合溝２４との係合によって該ガイドレール１４の上端に移動可能に取り付けられている。その他の構成は、上記実施例１と実質的に同じである。

以上説明した本実施例２では、基板１３の側縁部に沿って配列した複数の押さえ部材２２のうち、基板１３の側縁部のうちの空きスペースに対応位置する押さえ部材２２のみを上反り矯正位置に移動させて該基板１３の上反りを矯正することができ、押さえ部材２２によるデッドスペースを最小限にすることができる。

上記実施例１，２では、ガイドレール１４の上端に押さえ部材２２を上反り矯正位置と通常クランプ位置と基板取り出し位置に移動可能に取り付けるようにしたが、図８に示す本発明の実施例３では、前記実施例１と同様の構成で基板１３に下向きの曲げモーメントを付与した状態で該基板１３をクランプする上反り矯正用の押さえ部材２２と、基板１３に下向きの曲げモーメントを付与しない状態で該基板１３をクランプする通常クランプ用の押さえ部材３１とをガイドレール１４の上端に係合手段、ねじ等により取り替え可能に取り付けるようにしている。通常クランプ用の押さえ部材３１の下面には、傾斜面を形成する必要がなく、通常クランプ用の押さえ部材３１の先端部がリフト部材２１の上端の真上に位置するように取り付けるようにしている。その他の構成は、前記実施例１と実質的に同じである。

以上説明した本実施例３でも、前記実施例１と同様の効果を得ることができる。

図９に示す本発明の実施例４では、基板１３に下向きの曲げモーメントを付与しない状態で該基板１３をクランプする通常クランプ用の押さえ部材３１に対して、上反り矯正手段として機能する上反り矯正用のアタッチメント３２をねじ、係合手段等により着脱可能に取り付けることで該基板１３に下向きの曲げモーメントを付与するようにしている。

通常クランプ用の押さえ部材３１は、上記実施例３と同様に、ガイドレール１４の上端に係合手段、ねじ等により取り付けられている。通常クランプ用の押さえ部材３１の上面部には、上反り矯正用のアタッチメント３２を位置決めして取り付けるための段差部３３が形成され、この段差部３３に上反り矯正用のアタッチメント３２をねじ、係合手段等により着脱可能に取り付けることができるようになっている。これにより、通常クランプ用の押さえ部材３１に上反り矯正用のアタッチメント３２を取り付けることで、「上反り矯正用の押さえ部材」として機能する。

図９（ａ）に示すように、上反り矯正用のアタッチメント３２を通常クランプ用の押さえ部材３１に取り付けた状態では、該アタッチメント３２の先端部の最も低い部分３２ａの高さが該押さえ部材３１の下面の高さよりも低くなり、且つ、該アタッチメント３２の先端部の最も低い部分３２ａの位置がリフト部材２１の上端の位置よりも基板１３の内側方向にずれた位置関係となり、この位置関係で、該アタッチメント３２の先端部の最も低い部分３２ａと該リフト部材２１の上端との間に該基板１３の側縁部を挟み込むことで、該基板１３に下向きの曲げモーメントを付与した状態で該基板１３をクランプするようになっている。

一方、図９（ｂ）に示すように、通常クランプ用の押さえ部材３１から上反り矯正用のアタッチメント３２を取り外した状態では、該押さえ部材３１の先端部がリフト部材２１の上端の真上に位置して、該押さえ部材３１の先端部と該リフト部材２１の上端との間に該基板１３の側縁部を挟み込むことで、該基板１３に下向きの曲げモーメントを付与しない状態で該基板１３がクランプされるようになっている。その他の構成は、前記実施例１と実質的に同じである。

以上説明した本実施例４でも、前記実施例１と同様の効果を得ることができる。
尚、本発明は、部品実装機の基板クランプ装置に限定されず、スクリーン印刷機の基板クランプ装置に適用して実施しても良く、その他、コンベアで基板を搬送して所定の作業位置でクランプする様々な装置に適用して実施しても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できることは言うまでもない。

１１…部品実装ステーション、１２…コンベア、１２ａ…コンベアベルト、１３…基板、１４…ガイドレール、１５…バックアップピン（バックアップ部材）、１６…バックアッププレート、１７…昇降機構、１８…先付け部品、２１…リフト部材、２２…押さえ部材、２３…傾斜面（上反り矯正手段）、２４…係合溝、２５…係合ピン、２６…位置表示マーク（位置表示部）、３１…通常クランプ用の押さえ部材、３２…上反り矯正用のアタッチメント

Claims (6)

1. コンベアによって搬送されてくる基板を、その幅方向両側の下方からリフト部材により持ち上げて、その上方に位置する押さえ部材との間に該基板の側縁部を挟み込んでクランプする基板クランプ装置において、
   前記リフト部材と前記押さえ部材との間に前記基板の側縁部を挟み込んでクランプすることで該基板に下向きの曲げモーメントを付与して該基板の上反りを矯正する上反り矯正手段を備え、
   前記押さえ部材は、前記コンベアの幅方向両側に位置するガイドレールに対して上反り矯正位置と通常クランプ位置とに移動可能に取り付けられ、前記上反り矯正位置では、前記上反り矯正手段により前記基板に下向きの曲げモーメントを付与した状態で該基板をクランプし、前記通常クランプ位置では、前記基板に下向きの曲げモーメントを付与しない状態で該基板をクランプするように構成されていることを特徴とする基板クランプ装置。
2. 前記押さえ部材の位置を認識するための位置表示部と、前記位置表示部を撮像するカメラと、前記カメラで撮像した画像を処理して前記位置表示部を認識して前記押さえ部材の位置を確認する画像処理装置とを備えていることを特徴とする請求項１に記載の基板クランプ装置。
3. 前記押さえ部材として、分割された複数の押さえ部材が前記基板の側縁部に沿って配列され、各押さえ部材が個別に前記上反り矯正位置と前記通常クランプ位置とに移動可能に取り付けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板クランプ装置。
4. コンベアによって搬送されてくる基板を、その幅方向両側の下方からリフト部材により持ち上げて、その上方に位置する押さえ部材との間に該基板の側縁部を挟み込んでクランプする基板クランプ装置において、
   前記リフト部材と前記押さえ部材との間に前記基板の側縁部を挟み込んでクランプすることで該基板に下向きの曲げモーメントを付与して該基板の上反りを矯正する上反り矯正手段を備え、
   前記上反り矯正手段により前記基板に下向きの曲げモーメントを付与した状態で該基板をクランプする上反り矯正用の押さえ部材と、前記基板に下向きの曲げモーメントを付与しない状態で該基板をクランプする通常クランプ用の押さえ部材とが取り替え可能となっていることを特徴とする基板クランプ装置。
5. コンベアによって搬送されてくる基板を、その幅方向両側の下方からリフト部材により持ち上げて、その上方に位置する押さえ部材との間に該基板の側縁部を挟み込んでクランプする基板クランプ装置において、
   前記リフト部材と前記押さえ部材との間に前記基板の側縁部を挟み込んでクランプすることで該基板に下向きの曲げモーメントを付与して該基板の上反りを矯正する上反り矯正手段を備え、
   前記基板に下向きの曲げモーメントを付与しない状態で該基板をクランプする通常クランプ用の押さえ部材に対して、前記上反り矯正手段として機能する上反り矯正用のアタッチメントを着脱可能に取り付けることで該基板に下向きの曲げモーメントを付与するように構成されていることを特徴とする基板クランプ装置。
6. 前記上反り矯正手段は、前記押さえ部材の下面のうちの前記基板の側縁部と重なる部分を先端側が下方に突出する傾斜状又は突状に形成し、その最も低い部分の位置が前記リフト部材の上端の位置よりも該基板の内側方向にずれた状態で、該最も低い部分と該リフト部材の上端との間に該基板の側縁部を挟み込むことで該基板に下向きの曲げモーメントを付与するように構成されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の基板クランプ装置。

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