Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

JP5971552B2 - Lead frame for mounting LED elements, lead frame with resin, LED package with multiple surfaces, LED package manufacturing method, and lead frame for mounting semiconductor elements - Google Patents

Lead frame for mounting LED elements, lead frame with resin, LED package with multiple surfaces, LED package manufacturing method, and lead frame for mounting semiconductor elements Download PDF

Info

Publication number
JP5971552B2
JP5971552B2 JP2012104744A JP2012104744A JP5971552B2 JP 5971552 B2 JP5971552 B2 JP 5971552B2 JP 2012104744 A JP2012104744 A JP 2012104744A JP 2012104744 A JP2012104744 A JP 2012104744A JP 5971552 B2 JP5971552 B2 JP 5971552B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lead
die pad
package
lead frame
region
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2012104744A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2013232590A (en
Inventor
石 恵 大
石 恵 大
田 和 範 小
田 和 範 小
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dai Nippon Printing Co Ltd filed Critical Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority to JP2012104744A priority Critical patent/JP5971552B2/en
Publication of JP2013232590A publication Critical patent/JP2013232590A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5971552B2 publication Critical patent/JP5971552B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/93Batch processes
    • H01L24/95Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
    • H01L24/97Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being connected to a common substrate, e.g. interposer, said common substrate being separable into individual assemblies after connecting
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/013Alloys
    • H01L2924/0132Binary Alloys
    • H01L2924/01322Eutectic Alloys, i.e. obtained by a liquid transforming into two solid phases
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/12Passive devices, e.g. 2 terminal devices
    • H01L2924/1204Optical Diode
    • H01L2924/12041LED
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
  • Led Device Packages (AREA)

Description

本発明は、LED素子搭載用リードフレーム、樹脂付リードフレーム、多面付LEDパッケージ、LEDパッケージの製造方法および半導体素子搭載用リードフレームに関する。   The present invention relates to a lead frame for mounting an LED element, a lead frame with resin, an LED package with multiple surfaces, a method for manufacturing an LED package, and a lead frame for mounting a semiconductor element.

従来、樹脂封止型半導体装置用のリードフレームとして、例えば特許文献1に記載されたものが存在する。このようなリードフレームにおいては、各ダイパッド周囲に多数の端子部が配置されており、これら多数の端子部と吊りリードとを繋ぐタイバーが、縦横に格子状に配置されている。   Conventionally, as a lead frame for a resin-encapsulated semiconductor device, for example, one described in Patent Document 1 exists. In such a lead frame, a large number of terminal portions are arranged around each die pad, and tie bars connecting the large number of terminal portions and the suspension leads are arranged in a lattice form in the vertical and horizontal directions.

一方、近年、LED(発光ダイオード)素子を光源として用いる照明装置が、各種家電、OA機器、車両機器の表示灯、一般照明、車載照明、およびディスプレイ等に用いられている。このような照明装置の中には、リードフレームにLED素子を搭載することにより作製された半導体装置(例えば特許文献2参照)を含むものがある。   On the other hand, in recent years, lighting devices using LED (light emitting diode) elements as light sources are used in various home appliances, OA equipment, display lights for vehicle equipment, general lighting, in-vehicle lighting, displays, and the like. Some of such lighting devices include a semiconductor device (see, for example, Patent Document 2) manufactured by mounting LED elements on a lead frame.

特開2001−326316号公報JP 2001-326316 A 特開2012−033724号公報JP 2012-033724 A

LED素子用の半導体装置(LEDパッケージ)またはディスクリート半導体素子用の半導体装置においては、ダイパッドとリードとが直線状に一列に配置されたものがある。このような半導体装置に用いられるリードフレームの場合、上述した従来のリードフレームと異なり、縦横の格子状のタイバーを設けることなく、互いに隣接するダイパッド同士およびリード部同士を連結する方が、1つのリードフレーム中の素子の面付け数を多くすることができ、リードフレームを効率良く製造することができる。   Some semiconductor devices for LED elements (LED packages) or discrete semiconductor elements have a die pad and leads arranged in a straight line. In the case of a lead frame used in such a semiconductor device, unlike the above-described conventional lead frame, it is one way to connect adjacent die pads and lead parts without providing vertical and horizontal grid-like tie bars. The number of impositions of elements in the lead frame can be increased, and the lead frame can be manufactured efficiently.

この場合、ダイパッドとリード部とは、短絡が生じないように離して配置する必要がある。このため、各ダイパッドと各リード部との間の隙間が繋がり、リードフレームの一辺に平行な、複数の細長い空間が生じてしまうという問題が生じる。このため、リードフレームがすだれ状になり、取り扱う際にリードフレームに変形が生じてしまうおそれがある。   In this case, it is necessary to arrange the die pad and the lead portion apart so as not to cause a short circuit. For this reason, the gap between each die pad and each lead part is connected, and there arises a problem that a plurality of elongated spaces parallel to one side of the lead frame are generated. For this reason, the lead frame becomes interdigital, and the lead frame may be deformed when handled.

本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、ダイパッドとリード部との間の隙間が繋がり、リードフレームに細長い空間が生じることによりリードフレームがすだれ状になることを防止し、取り扱い時に変形が生じることを防止することが可能な、LED素子搭載用リードフレーム、樹脂付リードフレーム、多面付LEDパッケージ、LEDパッケージの製造方法および半導体素子搭載用リードフレームを提供することを目的とする。   The present invention has been made in consideration of such points, and the gap between the die pad and the lead portion is connected to prevent the lead frame from becoming an interdigital shape due to the formation of an elongated space in the lead frame, An object of the present invention is to provide a lead frame for mounting an LED element, a lead frame with a resin, a multi-sided LED package, a method for manufacturing an LED package, and a lead frame for mounting a semiconductor element, which can prevent deformation during handling. To do.

本発明は、LED素子搭載用リードフレームにおいて、枠体領域と、枠体領域内に多列および多段に配置され、各々がLED素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを備え、一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、各々互いに向き合う端縁を有し、一方の端縁に突出部が設けられ、他方の端縁に突出部が入り込む引込み部が設けられていることを特徴とするリードフレームである。   In the lead frame for mounting LED elements, the present invention includes a frame region, a multi-row and multi-stage arrangement in the frame region, each including a die pad on which the LED device is mounted, and a lead portion adjacent to the die pad. And a plurality of package regions connected to each other via a dicing region, and the die pad and the lead portion in one package region each have an edge facing each other, and a protruding portion is provided on one edge. The lead frame is characterized in that a lead-in portion into which the protruding portion enters the other end edge is provided.

本発明は、前記一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、それぞれ突出部および引込み部を有し、前記一のパッケージ領域内のダイパッドの突出部は、前記一のパッケージ領域に隣接する他のパッケージ領域内のリード部の突出部と連結補強片により連結されていることを特徴とするリードフレームである。   In the present invention, the die pad and the lead portion in the one package region each have a protruding portion and a lead-in portion, and the protruding portion of the die pad in the one package region is adjacent to the one package region. The lead frame is connected to the projecting portion of the lead portion in the package region by a connection reinforcing piece.

本発明は、枠体領域は矩形形状を有し、連結補強片は、枠体領域の一辺に対して平行であることを特徴とするリードフレームである。   In the lead frame according to the present invention, the frame region has a rectangular shape, and the connection reinforcing piece is parallel to one side of the frame region.

本発明は、前記一のパッケージ領域内のリード部は、前記一のパッケージ領域に隣接する他のパッケージ領域内のリード部とリード連結部により連結されていることを特徴とするリードフレームである。   The present invention is the lead frame characterized in that the lead portion in the one package region is connected to the lead portion in another package region adjacent to the one package region by a lead connecting portion.

本発明は、前記一のパッケージ領域内のダイパッドは、前記一のパッケージ領域に隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドとダイパッド連結部により連結されていることを特徴とするリードフレームである。   The present invention is the lead frame characterized in that the die pad in the one package region is connected to a die pad in another package region adjacent to the one package region by a die pad connecting portion.

本発明は、各ダイパッドおよび各リード部は、それぞれL字形状を有することを特徴とするリードフレームである。   The present invention is the lead frame characterized in that each die pad and each lead portion has an L shape.

本発明は、各ダイパッドおよび各リード部は、それぞれ台形形状を有することを特徴とするリードフレームである。   The present invention is the lead frame characterized in that each die pad and each lead portion has a trapezoidal shape.

本発明は、樹脂付リードフレームにおいて、リードフレームと、リードフレームの各パッケージ領域周縁上に配置された反射樹脂とを備えたことを特徴とする樹脂付リードフレームである。   The present invention is a lead frame with resin, characterized in that the lead frame with resin comprises a lead frame and a reflective resin disposed on the periphery of each package region of the lead frame.

本発明は、多面付LEDパッケージにおいて、枠体領域と、枠体領域内に多列および多段に配置され、各々がLED素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを有するリードフレームであって、一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、各々互いに向き合う端縁を有し、一方の端縁に突出部が設けられ、他方の端縁に突出部が入り込む引込み部が設けられている、リードフレームと、リードフレームの各パッケージ領域周縁上に配置された反射樹脂と、リードフレームの各パッケージ領域のダイパッド上に搭載されたLED素子と、LED素子と各パッケージ領域のリード部とを接続する導電部と、LED素子と導電部とを封止する封止樹脂とを備えたことを特徴とする多面付LEDパッケージである。   In the multi-surface LED package, the present invention includes a frame region, a multi-row and multi-stage arrangement in the frame region, each including a die pad on which the LED element is mounted, and a lead portion adjacent to the die pad, A lead frame having a plurality of package regions connected to each other through a dicing region, wherein the die pad and the lead portion in one package region each have an edge facing each other and projecting to one edge A lead frame, a reflective resin disposed on the periphery of each package region of the lead frame, and a die pad for each package region of the lead frame. An LED element mounted thereon, a conductive part connecting the LED element and a lead part of each package region, an LED element and a conductive part; Multifaceted LED package with which is characterized in that a sealing resin for sealing.

本発明は、樹脂付リードフレームの製造方法において、枠体領域と、枠体領域内に多列および多段に配置され、各々がLED素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを有するリードフレームであって、一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、各々互いに向き合う端縁を有し、一方の端縁に突出部が設けられ、他方の端縁に突出部が入り込む引込み部が設けられている、リードフレームを作製する工程と、リードフレームの各パッケージ領域周縁上に反射樹脂を設ける工程とを備えたことを特徴とする樹脂付リードフレームの製造方法である。   The present invention relates to a method of manufacturing a lead frame with a resin, comprising: a frame body region; a die pad that is arranged in multiple rows and stages in the frame body region, each mounted with an LED element; and a lead portion adjacent to the die pad. A lead frame having a plurality of package regions connected to each other via a dicing region, wherein the die pad and the lead portion in one package region each have an edge facing each other, and one end A step of producing a lead frame in which a protrusion is provided at the edge and a lead-in portion into which the protrusion enters the other edge, and a step of providing a reflective resin on the periphery of each package region of the lead frame This is a method for manufacturing a resin-attached lead frame.

本発明は、LEDパッケージの製造方法において、樹脂付リードフレームの製造方法により樹脂付リードフレームを作製する工程と、樹脂付リードフレームの各ダイパッド上にそれぞれLED素子を搭載する工程と、各LED素子と各リード部とをそれぞれ導電部により接続する工程と、封止樹脂により各LED素子と各導電部とをそれぞれ封止する工程と、反射樹脂およびリードフレームを切断することにより、反射樹脂およびリードフレームをLED素子毎に分離する工程とを備えたことを特徴とするLEDパッケージの製造方法である。   The present invention relates to a method of manufacturing an LED package, a step of producing a lead frame with a resin by a method of manufacturing a lead frame with a resin, a step of mounting an LED element on each die pad of a lead frame with a resin, and each LED element A step of connecting each of the lead portions to the respective lead portions, a step of sealing each of the LED elements and each of the conductive portions with a sealing resin, and cutting the reflective resin and the lead frame to thereby produce the reflective resin and the leads. And a step of separating the frame for each LED element.

本発明は、半導体素子搭載用リードフレームにおいて、枠体領域と、枠体領域内に多列および多段に配置され、各々が半導体素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを備え、一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、各々互いに向き合う端縁を有し、一方の端縁に突出部が設けられ、他方の端縁に突出部が入り込む引込み部が設けられていることを特徴とするリードフレームである。   The present invention relates to a semiconductor element mounting lead frame including a frame body region, a multi-row and multi-stage arrangement in the frame body region, each of which has a die pad on which a semiconductor device is mounted, and a lead portion adjacent to the die pad. And a plurality of package regions connected to each other via a dicing region, and the die pad and the lead portion in one package region each have an edge facing each other, and a protruding portion is provided on one edge. The lead frame is characterized in that a lead-in portion into which the protruding portion enters the other end edge is provided.

本発明は、前記一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、それぞれ突出部および引込み部を有し、前記一のパッケージ領域内のダイパッドの突出部は、前記一のパッケージ領域に隣接する他のパッケージ領域内のリード部の突出部と連結補強片により連結されていることを特徴とするリードフレームである。   In the present invention, the die pad and the lead portion in the one package region each have a protruding portion and a lead-in portion, and the protruding portion of the die pad in the one package region is adjacent to the one package region. The lead frame is connected to the projecting portion of the lead portion in the package region by a connection reinforcing piece.

本発明は、枠体領域は矩形形状を有し、連結補強片は、枠体領域の一辺に対して平行であることを特徴とするリードフレームである。   In the lead frame according to the present invention, the frame region has a rectangular shape, and the connection reinforcing piece is parallel to one side of the frame region.

本発明は、前記一のパッケージ領域内のリード部は、前記一のパッケージ領域に隣接する他のパッケージ領域内のリード部とリード連結部により連結されていることを特徴とするリードフレームである。   The present invention is the lead frame characterized in that the lead portion in the one package region is connected to the lead portion in another package region adjacent to the one package region by a lead connecting portion.

本発明は、前記一のパッケージ領域内のダイパッドは、前記一のパッケージ領域に隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドとダイパッド連結部により連結されていることを特徴とするリードフレームである。   The present invention is the lead frame characterized in that the die pad in the one package region is connected to a die pad in another package region adjacent to the one package region by a die pad connecting portion.

本発明は、各ダイパッドおよび各リード部は、それぞれL字形状を有することを特徴とするリードフレームである。   The present invention is the lead frame characterized in that each die pad and each lead portion has an L shape.

本発明は、各ダイパッドおよび各リード部は、それぞれ台形形状を有することを特徴とするリードフレームである。   The present invention is the lead frame characterized in that each die pad and each lead portion has a trapezoidal shape.

本発明によれば、一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、各々互いに向き合う端縁を有し、一方の端縁に突出部が設けられ、他方の端縁に突出部が入り込む引込み部が設けられている。このようにダイパッドとリード部とが互いに入り組んでいることにより、リードフレームの強度が高められている。このことにより、パッケージ領域の取り個数を減らすことなく、取り扱い時にリードフレームが変形することを防止することができる。   According to the present invention, the die pad and the lead portion in one package region each have an end edge facing each other, the protrusion is provided at one end edge, and the protrusion is inserted into the other end edge. Is provided. Thus, the strength of the lead frame is enhanced by the fact that the die pad and the lead portion are intertwined with each other. Thus, it is possible to prevent the lead frame from being deformed during handling without reducing the number of package areas.

図1は、本発明の第1の実施の形態によるリードフレームを示す全体平面図。FIG. 1 is an overall plan view showing a lead frame according to a first embodiment of the present invention. 図2は、本発明の第1の実施の形態によるリードフレームを示す部分拡大平面図(図1のA部拡大図)。FIG. 2 is a partially enlarged plan view showing the lead frame according to the first embodiment of the present invention (an enlarged view of portion A in FIG. 1). 図3は、図2の拡大図であって、上下に隣接する2つのパッケージ領域を示す部分拡大平面図。FIG. 3 is an enlarged view of FIG. 2 and is a partially enlarged plan view showing two package regions adjacent vertically. 図4は、本発明の第1の実施の形態によるリードフレームを示す断面図(図2のB−B線断面図)。FIG. 4 is a cross-sectional view showing the lead frame according to the first embodiment of the present invention (a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 2). 図5(a)−(b)は、ダイパッドおよびリード部の変形例を示す部分拡大平面図。FIGS. 5A to 5B are partially enlarged plan views showing modifications of the die pad and the lead portion. 図6は、本発明の第1の実施の形態によるリードフレームにより作製されたLEDパッケージを示す断面図(図7のC−C線断面図)。6 is a cross-sectional view (a cross-sectional view taken along the line CC in FIG. 7) showing the LED package manufactured by the lead frame according to the first embodiment of the present invention. 図7は、本発明の第1の実施の形態によるリードフレームにより作製されたLEDパッケージを示す平面図。FIG. 7 is a plan view showing an LED package manufactured by the lead frame according to the first embodiment of the present invention. 図8(a)−(f)は、本発明の第1の実施の形態によるリードフレームの製造方法を示す図。8A to 8F are views showing a method for manufacturing a lead frame according to the first embodiment of the present invention. 図9(a)−(d)は、本発明の第1の実施の形態によるリードフレームを用いて、LEDパッケージを製造する方法を示す図。FIGS. 9A to 9D are views showing a method of manufacturing an LED package using the lead frame according to the first embodiment of the present invention. 図10(a)−(e)は、本発明の第1の実施の形態によるリードフレームを用いて、LEDパッケージを製造する方法を示す図。10A to 10E are views showing a method for manufacturing an LED package using the lead frame according to the first embodiment of the present invention. 図11(a)−(b)は、LEDパッケージを製造する方法のうち、ダイシング工程を示す図。FIGS. 11A to 11B are views showing a dicing step in the method of manufacturing the LED package. 図12(a)−(b)は、本発明の第1の実施の形態によるリードフレームの変形例(変形例1−1)を示す部分拡大平面図。12A to 12B are partial enlarged plan views showing a modification (Modification 1-1) of the lead frame according to the first embodiment of the present invention. 図13(a)−(b)は、本発明の第1の実施の形態によるリードフレームの変形例(変形例1−2)を示す部分拡大平面図。FIGS. 13A and 13B are partial enlarged plan views showing a modification (Modification 1-2) of the lead frame according to the first embodiment of the present invention. 図14(a)−(b)は、本発明の第1の実施の形態によるリードフレームの変形例(変形例1−3)を示す部分拡大平面図。FIGS. 14A and 14B are partial enlarged plan views showing a modification (Modification 1-3) of the lead frame according to the first embodiment of the present invention. 図15は、LEDパッケージの変形例(変形例A)を示す断面図。FIG. 15 is a cross-sectional view showing a modified example (modified example A) of the LED package. 図16は、LEDパッケージの変形例(変形例B)を示す断面図。FIG. 16 is a cross-sectional view showing a modification (Modification B) of the LED package. 図17は、LEDパッケージの変形例(変形例C)を示す断面図。FIG. 17 is a cross-sectional view showing a modification (Modification C) of the LED package. 図18は、本発明の第2の実施の形態によるリードフレームを示す断面図。FIG. 18 is a sectional view showing a lead frame according to the second embodiment of the present invention. 図19は、本発明の第2の実施の形態によるリードフレームにより作製された半導体装置を示す断面図。FIG. 19 is a cross-sectional view showing a semiconductor device manufactured by the lead frame according to the second embodiment of the present invention. 図20は、本発明の第2の実施の形態によるリードフレームを用いて、半導体装置を製造する方法を示す断面図。FIG. 20 is a cross-sectional view showing a method of manufacturing a semiconductor device using the lead frame according to the second embodiment of the present invention.

(第1の実施の形態)
以下、図面を参照して本発明の第1の実施の形態について説明する。図1乃至図17は本発明の第1の実施の形態を示す図である。
(First embodiment)
The first embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 to 17 are views showing a first embodiment of the present invention.

リードフレームの構成
まず、図1乃至図5により、本実施の形態によるLED素子搭載用リードフレームの概略について説明する。図1は、本実施の形態によるリードフレームの全体平面図であり、図2は、図1のA部拡大図であり、図3は、図2の一部を更に拡大した図である。また、図4は、図2のB−B線断面図であり、図5(a)−(b)は、ダイパッドおよびリード部の変形例を示す図である。
Configuration of Lead Frame First, an outline of the LED element mounting lead frame according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 is an overall plan view of the lead frame according to the present embodiment, FIG. 2 is an enlarged view of a portion A in FIG. 1, and FIG. 3 is a further enlarged view of a part of FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. 2, and FIGS. 5A to 5B are diagrams showing modifications of the die pad and the lead portion.

図1に示すリードフレーム10は、LED素子21を搭載したLEDパッケージ20(図6および図7)を作製する際に用いられるものである。このようなリードフレーム10は、直交する2方向(X方向及びY方向)に延びる周縁13aを有する矩形状の外形を有する枠体領域13と、枠体領域13内に多列および多段に(マトリックス状に)配置された、多数のパッケージ領域14とを備えている。   The lead frame 10 shown in FIG. 1 is used when manufacturing the LED package 20 (FIGS. 6 and 7) on which the LED elements 21 are mounted. Such a lead frame 10 includes a frame body region 13 having a rectangular outer shape having a peripheral edge 13a extending in two orthogonal directions (X direction and Y direction), and a multi-row and a multi-stage (matrix) in the frame body region 13. And a large number of package regions 14 arranged in the form of

図2に示すように、複数のパッケージ領域14は、各々LED素子21が搭載されるダイパッド25と、ダイパッド25に隣接するリード部26とを含んでいる。また、複数のパッケージ領域14は、互いにダイシング領域15を介して接続されている。   As shown in FIG. 2, the plurality of package regions 14 each include a die pad 25 on which the LED element 21 is mounted and a lead portion 26 adjacent to the die pad 25. The plurality of package regions 14 are connected to each other via a dicing region 15.

一つのパッケージ領域14内のダイパッド25とリード部26との間には、隙間17が形成されており、ダイシングされた後、ダイパッド25とリード部26とは互いに電気的に絶縁されるようになっている。なお、各パッケージ領域14は、それぞれ個々のLEDパッケージ20に対応する領域である。図2において、各パッケージ領域14を二点鎖線で示している。   A gap 17 is formed between the die pad 25 and the lead part 26 in one package region 14, and after dicing, the die pad 25 and the lead part 26 are electrically insulated from each other. ing. Each package area 14 is an area corresponding to each LED package 20. In FIG. 2, each package region 14 is indicated by a two-dot chain line.

一方、ダイシング領域15は、各パッケージ領域14の間に縦横に延びている。このダイシング領域15は、後述するように、LEDパッケージ20を製造する工程において、リードフレーム10をパッケージ領域14毎に分離する際にブレード38が通過する領域となる。図2において、ダイシング領域15を網掛けで示している。   On the other hand, the dicing area 15 extends vertically and horizontally between the package areas 14. As will be described later, the dicing region 15 is a region through which the blade 38 passes when the lead frame 10 is separated into the package regions 14 in the process of manufacturing the LED package 20. In FIG. 2, the dicing area 15 is indicated by shading.

なお、本明細書において、図2に示すように、各パッケージ領域14内のリード部26とダイパッド25とを左右に並べて配置した場合の横方向がX方向に対応し、縦方向がY方向に対応する。またこの場合、Y方向プラス側、Y方向マイナス側を、それぞれ上方、下方といい、X方向プラス側、X方向マイナス側を、それぞれ右方、左方という。   In the present specification, as shown in FIG. 2, the horizontal direction when the lead portions 26 and the die pads 25 in each package region 14 are arranged side by side corresponds to the X direction, and the vertical direction is the Y direction. Correspond. In this case, the Y direction plus side and the Y direction minus side are referred to as the upper and lower sides, respectively, and the X direction plus side and the X direction minus side are referred to as the right side and the left side, respectively.

図3に示すように、各パッケージ領域14内のダイパッド25とリード部26とは、各々互いに向き合う端縁25e、26eを有している。上述した隙間17は、これら端縁25e、26eの間に形成されている。本実施の形態において、ダイパッド25およびリード部26はそれぞれL字形状を有しており、ダイパッド25とリード部26との間に形成された隙間17はクランク形状を有している。   As shown in FIG. 3, the die pad 25 and the lead part 26 in each package region 14 have end edges 25e and 26e facing each other. The gap 17 described above is formed between the end edges 25e and 26e. In the present embodiment, each of the die pad 25 and the lead part 26 has an L shape, and the gap 17 formed between the die pad 25 and the lead part 26 has a crank shape.

また、ダイパッド25の端縁25eには、突出部73と引込み部74とが設けられ、リード部26の端縁26eには、突出部75と引込み部76とが設けられている。ダイパッド25の突出部73は、リード部26の引込み部76に入り込んでおり、リード部26の突出部75は、ダイパッド25の引込み部74に入り込んでいる。   Further, a protruding portion 73 and a retracting portion 74 are provided on the end edge 25 e of the die pad 25, and a protruding portion 75 and a retracting portion 76 are provided on the end edge 26 e of the lead portion 26. The protrusion 73 of the die pad 25 enters the lead-in part 76 of the lead part 26, and the protrusion 75 of the lead part 26 enters the lead-in part 74 of the die pad 25.

さらに、各パッケージ領域14内のダイパッド25の突出部73と、その上方に隣接する他のパッケージ領域14内のリード部26の突出部75とは、連結補強片58によってダイシング領域15を越えて互いに連結されている。また、各パッケージ領域14内のリード部26の突出部75と、その下方に隣接する他のパッケージ領域14内のダイパッド25の突出部73とは、連結補強片58によってダイシング領域15を越えて互いに連結されている。各連結補強片58は、ダイシング領域15に位置しており、かつ枠体領域13の一辺、すなわちY方向に対して平行に配置されている。   Further, the protrusion 73 of the die pad 25 in each package region 14 and the protrusion 75 of the lead portion 26 in another package region 14 adjacent to the upper side of the package pad 14 are connected to each other across the dicing region 15 by the connection reinforcing piece 58. It is connected. Further, the projecting portion 75 of the lead portion 26 in each package region 14 and the projecting portion 73 of the die pad 25 in another package region 14 adjacent to the lower side of the package region 14 are connected to each other across the dicing region 15 by the connection reinforcing piece 58. It is connected. Each connection reinforcing piece 58 is located in the dicing region 15 and is arranged in parallel to one side of the frame region 13, that is, in the Y direction.

なお、各ダイパッド25および各リード部26は、その一方の端縁25e、26eに設けられた突出部73、75が、他方の端縁26e、25eに設けられた引込み部76、74に入り込んでいれば良く、必ずしもL字形状を有していなくても良い。例えば図5(a)に示すように、各ダイパッド25および各リード部26が、それぞれ台形形状を有していても良い。この場合、その端縁25e、26eは、それぞれX方向およびY方向に対して斜めに延びるように配置されており、これにより隙間17もX方向およびY方向に対して斜めに配置されている。この場合、端縁25e、26eに突出した角部が存在しないため、リードフレーム10の取扱い時にこのような角部が周囲の物に引っかかり、リードフレーム10に変形が生じる不具合を防止することが出来る。   In addition, each die pad 25 and each lead part 26 have protrusions 73 and 75 provided on one end edge 25e and 26e of the lead pads 76 and 74 provided on the other end edges 26e and 25e. It does not necessarily have an L shape. For example, as shown in FIG. 5A, each die pad 25 and each lead portion 26 may have a trapezoidal shape. In this case, the end edges 25e and 26e are arranged so as to extend obliquely with respect to the X direction and the Y direction, respectively, whereby the gap 17 is also arranged obliquely with respect to the X direction and the Y direction. In this case, since there are no corners protruding from the end edges 25e and 26e, it is possible to prevent such corners from being caught by surrounding objects when the lead frame 10 is handled and causing deformation of the lead frame 10. .

また、図5(b)に示すように、各ダイパッド25の端縁25eおよび各リード部26の端縁26eが湾曲し、これにより隙間17が略S字形状を有していても良い。この場合、端縁25e、26eに突出した角部が存在しないため、リードフレーム10の取扱い時にこのような角部が周囲の物に引っかかり、リードフレーム10に変形が生じる不具合を防止することが出来る。加えて、各端縁25e、26eの長さを長くすることができるため、樹脂付きリードフレーム30とした場合や、LEDパッケージ20とした後に、これらに変形を及ぼすような力がかかった場合に、ダイパッド25およびリード部26が脱落することが防止され、変形を防止することが出来る。   Moreover, as shown in FIG.5 (b), the edge 25e of each die pad 25 and the edge 26e of each lead part 26 may curve, and, thereby, the clearance gap 17 may have a substantially S shape. In this case, since there are no corners protruding from the end edges 25e and 26e, it is possible to prevent such corners from being caught by surrounding objects when the lead frame 10 is handled and causing deformation of the lead frame 10. . In addition, since the length of each of the edges 25e and 26e can be increased, when the lead frame 30 with resin is used, or when the LED package 20 is subjected to a force that causes deformation thereof. Further, it is possible to prevent the die pad 25 and the lead part 26 from falling off and to prevent deformation.

再度図2および図3を参照すると、各パッケージ領域14内のリード部26は、その上方および下方に隣接する他のパッケージ領域14内のリード部26と、それぞれリード連結部52によりダイシング領域15を越えて連結されている。さらに、各パッケージ領域14内のダイパッド25は、その上方および下方に隣接する他のパッケージ領域14内のダイパッド25と、それぞれダイパッド連結部53によりダイシング領域15を越えて連結されている。これら各リード連結部52および各ダイパッド連結部53は、いずれもダイシング領域15に位置しており、かつY方向に平行に配置されている。   Referring to FIGS. 2 and 3 again, the lead portion 26 in each package region 14 is separated from the lead portion 26 in the other package region 14 adjacent above and below the dicing region 15 by the lead connecting portion 52, respectively. It is connected beyond. Further, the die pad 25 in each package region 14 is connected to the die pad 25 in another package region 14 adjacent above and below the die pad 25 beyond the dicing region 15 by a die pad connecting portion 53. Each of the lead connecting portions 52 and the die pad connecting portions 53 is located in the dicing region 15 and arranged in parallel to the Y direction.

さらに、各パッケージ領域14内のダイパッド25は、その右方に隣接する他のパッケージ領域14内のリード部26と、パッケージ領域連結部54によりダイシング領域15を越えて連結されている。さらにまた、各パッケージ領域14内のリード部26は、その左方に隣接する他のパッケージ領域14内のダイパッド25と、パッケージ領域連結部54によりダイシング領域15を越えて連結されている。各パッケージ領域連結部54は、ダイシング領域15に位置しており、かつX方向に平行に配置されている。   Further, the die pad 25 in each package region 14 is connected to the lead portion 26 in the other package region 14 adjacent to the right side of the package region 14 beyond the dicing region 15 by the package region connecting portion 54. Furthermore, the lead portion 26 in each package region 14 is connected to the die pad 25 in another package region 14 adjacent to the left side of the package region 14 beyond the dicing region 15 by the package region connecting portion 54. Each package region connecting portion 54 is located in the dicing region 15 and is disposed in parallel to the X direction.

なお、最も外周に位置するパッケージ領域14内のリード部26およびダイパッド25は、リード連結部52、ダイパッド連結部53、パッケージ領域連結部54および連結補強片58のうちの1つまたは複数によって、枠体領域13に連結されている。   The lead part 26 and the die pad 25 in the package area 14 located on the outermost periphery are framed by one or more of the lead connecting part 52, the die pad connecting part 53, the package area connecting part 54, and the connection reinforcing piece 58. Connected to the body region 13.

一方、図4の断面図に示すように、リードフレーム10は、リードフレーム本体11と、リードフレーム本体11上に形成されためっき層12とからなっている。   On the other hand, as shown in the cross-sectional view of FIG. 4, the lead frame 10 includes a lead frame main body 11 and a plating layer 12 formed on the lead frame main body 11.

このうちリードフレーム本体11は金属板からなっている。リードフレーム本体11を構成する金属板の材料としては、例えば銅、銅合金、42合金(Ni42%のFe合金)等を挙げることができる。このリードフレーム本体11の厚みは、LEDパッケージの構成にもよるが、0.05mm〜0.5mmとすることが好ましい。   Of these, the lead frame body 11 is made of a metal plate. Examples of the material of the metal plate constituting the lead frame body 11 include copper, copper alloy, 42 alloy (Ni 42% Fe alloy), and the like. The thickness of the lead frame body 11 is preferably 0.05 mm to 0.5 mm, although it depends on the configuration of the LED package.

また、めっき層12は、リードフレーム本体11の表面および裏面を含む全面に設けられている。表面側のめっき層12は、LED素子21からの光を反射するための反射層として機能する。他方、裏面側のめっき層12は、はんだとの密着性を高める役割を果たす。このめっき層12は、例えば銀(Ag)の電解めっき層からなっている。めっき層12は、その厚みが極薄く形成されており、具体的には0.005μm〜10μmとされることが好ましい。なお、めっき層12は、必ずしもリードフレーム本体11の表面および裏面の全体に設ける必要はなく、リードフレーム本体11の表面および裏面のうち、一部のみに設けても良い。めっき層12を構成する金属としては、上述した銀のほか、銀の合金、金やその合金、白金族、銅やその合金、アルミニウムなどを用いてもよい。   The plating layer 12 is provided on the entire surface including the front surface and the back surface of the lead frame main body 11. The plating layer 12 on the front side functions as a reflection layer for reflecting light from the LED element 21. On the other hand, the plating layer 12 on the back side plays a role of increasing the adhesion with the solder. The plating layer 12 is made of, for example, an electrolytic plating layer of silver (Ag). The plating layer 12 is formed to be extremely thin, and specifically, it is preferably set to 0.005 μm to 10 μm. The plating layer 12 is not necessarily provided on the entire front and back surfaces of the lead frame body 11, and may be provided on only a part of the front and back surfaces of the lead frame body 11. As a metal constituting the plating layer 12, in addition to the silver described above, a silver alloy, gold or an alloy thereof, a platinum group, copper or an alloy thereof, aluminum, or the like may be used.

また、ダイパッド25の裏面に、第1のアウターリード部27が形成され、リード部26の底面に、第2のアウターリード部28が形成されている。第1のアウターリード部27および第2のアウターリード部28は、それぞれLEDパッケージ20と外部の配線基板とを接続する際に用いられる。   A first outer lead portion 27 is formed on the back surface of the die pad 25, and a second outer lead portion 28 is formed on the bottom surface of the lead portion 26. The first outer lead portion 27 and the second outer lead portion 28 are used when connecting the LED package 20 and an external wiring board, respectively.

さらにリードフレーム10の表面には、リードフレーム10と反射樹脂23(後述)との密着性を高めるための溝18が形成されている。なお、図2および図3においては、溝18の表示を省略している。   Further, a groove 18 is formed on the surface of the lead frame 10 for improving the adhesion between the lead frame 10 and a reflective resin 23 (described later). 2 and 3, the display of the groove 18 is omitted.

LEDパッケージの構成
次に、図6および図7により、図1乃至図5に示すリードフレームを用いて作製されたLEDパッケージの一実施の形態について説明する。図6および図7は、それぞれLEDパッケージ(SONタイプ)を示す断面図および平面図である。
Configuration of LED Package Next, an embodiment of an LED package manufactured using the lead frame shown in FIGS. 1 to 5 will be described with reference to FIGS. 6 and 7 are a sectional view and a plan view, respectively, showing an LED package (SON type).

図6および図7に示すように、LEDパッケージ20は、(個片化された)リードフレーム10と、リードフレーム10のダイパッド25に載置されたLED素子21と、LED素子21とリードフレーム10のリード部26とを電気的に接続するボンディングワイヤ(導電部)22とを備えている。   As shown in FIGS. 6 and 7, the LED package 20 includes a lead frame 10 (separated), an LED element 21 placed on a die pad 25 of the lead frame 10, and the LED element 21 and the lead frame 10. And a bonding wire (conductive portion) 22 for electrically connecting the lead portion 26 to each other.

また、LED素子21を取り囲むように、凹部23aを有する反射樹脂23が設けられている。この反射樹脂23は、リードフレーム10と一体化されている。さらに、LED素子21とボンディングワイヤ22とは、透光性の封止樹脂24によって封止されている。この封止樹脂24は、反射樹脂23の凹部23a内に充填されている。   A reflective resin 23 having a recess 23 a is provided so as to surround the LED element 21. The reflective resin 23 is integrated with the lead frame 10. Furthermore, the LED element 21 and the bonding wire 22 are sealed with a translucent sealing resin 24. This sealing resin 24 is filled in the recess 23 a of the reflective resin 23.

以下、このようなLEDパッケージ20を構成する各構成部材について、順次説明する。   Hereinafter, each component which comprises such an LED package 20 is demonstrated sequentially.

LED素子21は、発光層として例えばGaP、GaAs、GaAlAs、GaAsP、AlInGaP、またはInGaN等の化合物半導体単結晶からなる材料を適宜選ぶことにより、紫外光から赤外光に渡る発光波長を選択することができる。このようなLED素子21としては、従来一般に用いられているものを使用することができる。   The LED element 21 selects an emission wavelength ranging from ultraviolet light to infrared light by appropriately selecting a material made of a compound semiconductor single crystal such as GaP, GaAs, GaAlAs, GaAsP, AlInGaP, or InGaN as a light emitting layer. Can do. As such an LED element 21, those conventionally used in general can be used.

またLED素子21は、はんだまたはダイボンディングペーストにより、反射樹脂23の凹部23a内においてダイパッド25上に固定実装されている。なお、ダイボンディングペーストを用いる場合、耐光性のあるエポキシ樹脂やシリコーン樹脂からなるダイボンディングペーストを選択することが可能である。   The LED element 21 is fixedly mounted on the die pad 25 in the recess 23a of the reflective resin 23 by solder or die bonding paste. When using a die bonding paste, it is possible to select a die bonding paste made of an epoxy resin or a silicone resin having light resistance.

ボンディングワイヤ22は、例えば金等の導電性の良い材料からなり、その一端がLED素子21の端子部21aに接続されるとともに、その他端がリード部26上に接続されている。   The bonding wire 22 is made of a material having good conductivity such as gold, and one end thereof is connected to the terminal portion 21 a of the LED element 21, and the other end is connected to the lead portion 26.

反射樹脂23は、例えばリードフレーム10上に熱可塑性樹脂を例えば射出成形またはトランスファ成形することにより形成されたものである。反射樹脂23の形状は、射出成形またはトランスファ成形に使用する金型の設計により、様々に実現することが可能である。例えば、反射樹脂23の全体形状を、図6および図7に示すように直方体としても良く、あるいは円筒形または錐形等の形状とすることも可能である。また凹部23aの底面は、矩形、円形、楕円形または多角形等とすることができる。凹部23aの側壁の断面形状は、図6のように直線から構成されていても良いし、あるいは曲線から構成されていてもよい。   The reflection resin 23 is formed by, for example, injection molding or transfer molding of a thermoplastic resin on the lead frame 10. The shape of the reflective resin 23 can be variously realized by designing a mold used for injection molding or transfer molding. For example, the overall shape of the reflective resin 23 may be a rectangular parallelepiped as shown in FIGS. 6 and 7, or may be a cylindrical shape or a conical shape. The bottom surface of the recess 23a can be rectangular, circular, elliptical, polygonal, or the like. The cross-sectional shape of the side wall of the recess 23a may be constituted by a straight line as shown in FIG. 6, or may be constituted by a curve.

反射樹脂23は、リードフレーム10に対して熱可塑性樹脂を例えば射出成形し、あるいは熱硬化性樹脂を例えば射出成形またはトランスファ成形することにより形成されたものである。反射樹脂23に使用される熱可塑性樹脂または熱硬化性樹脂については、特に耐熱性、耐候性および機械的強度の優れたものを選ぶことが望ましい。熱可塑性樹脂の種類としては、ポリアミド、ポリフタルアミド(PPA)、ポリフェニレンサルファイド、液晶ポリマー、ポリエーテルサルホン、ポリエーテルイミドおよびポリブチレンテレフタレート、ポリオレフィン、シクロポリオレフィン等、熱硬化性樹脂としては、シリコーン、エポキシ、ポリイミド等を使用することができる。さらにまた、これらの樹脂中に光反射剤として、二酸化チタン、二酸化ジルコニウム、チタン酸カリウム、窒化アルミニウムおよび窒化ホウ素のうちいずれかを添加することによって、反射樹脂23の表面において、LED素子21からの光の反射率を増大させ、LEDパッケージ20全体の光取り出し効率を増大させることが可能となる。   The reflection resin 23 is formed by, for example, injection-molding a thermoplastic resin to the lead frame 10, or by injection-molding or transfer-molding a thermosetting resin, for example. As the thermoplastic resin or thermosetting resin used for the reflective resin 23, it is desirable to select a resin having excellent heat resistance, weather resistance and mechanical strength. Thermoplastic resins include polyamide, polyphthalamide (PPA), polyphenylene sulfide, liquid crystal polymer, polyethersulfone, polyetherimide and polybutylene terephthalate, polyolefin, cyclopolyolefin, etc. Epoxy, polyimide, etc. can be used. Furthermore, by adding any one of titanium dioxide, zirconium dioxide, potassium titanate, aluminum nitride, and boron nitride as a light reflecting agent in these resins, the surface of the reflecting resin 23 is improved from the LED element 21. It becomes possible to increase the light reflectivity and increase the light extraction efficiency of the entire LED package 20.

封止樹脂24としては、光の取り出し効率を向上させるために、LEDパッケージ20の発光波長において光透過率が高く、また屈折率が高い材料を選択するのが望ましい。したがって耐熱性、耐候性、及び機械的強度が高い特性を満たす樹脂として、エポキシ樹脂やシリコーン樹脂を選択することが可能である。特に、LED素子21として高輝度LEDを用いる場合、封止樹脂24が強い光にさらされるため、封止樹脂24は高い耐候性を有するシリコーン樹脂からなることが好ましい。   As the sealing resin 24, it is desirable to select a material having a high light transmittance and a high refractive index at the emission wavelength of the LED package 20 in order to improve the light extraction efficiency. Therefore, it is possible to select an epoxy resin or a silicone resin as a resin that satisfies the characteristics of high heat resistance, weather resistance, and mechanical strength. In particular, when a high-brightness LED is used as the LED element 21, the sealing resin 24 is preferably made of a silicone resin having high weather resistance because the sealing resin 24 is exposed to strong light.

なお、リードフレーム10の構成については、図1乃至図5を用いて既に説明したので、ここでは詳細な説明を省略する。   Since the configuration of the lead frame 10 has already been described with reference to FIGS. 1 to 5, a detailed description thereof will be omitted here.

LED素子搭載用リードフレームの製造方法
次に、図1乃至図5に示すリードフレーム10の製造方法について、図8(a)−(f)を用いて説明する。
Method for manufacturing an LED device mounting a lead frame Next, a method of manufacturing the lead frame 10 shown in FIGS. 1 to 5, FIG. 8 (a) - is described with reference to (f).

まず図8(a)に示すように、平板状の金属基板31を準備する。この金属基板31としては、上述のように銅、銅合金、42合金(Ni42%のFe合金)等からなる金属基板を使用することができる。なお金属基板31は、その両面に対して脱脂等を行い、洗浄処理を施したものを使用することが好ましい。   First, as shown in FIG. 8A, a flat metal substrate 31 is prepared. As the metal substrate 31, a metal substrate made of copper, copper alloy, 42 alloy (Ni 42% Fe alloy) or the like can be used as described above. In addition, it is preferable to use what the metal substrate 31 performed the degreasing | defatting etc. to the both surfaces, and performed the washing process.

次に、金属基板31の表裏全体にそれぞれ感光性レジスト32a、33aを塗布し、これを乾燥する(図8(b))。なお感光性レジスト32a、33aとしては、従来公知のものを使用することができる。   Next, photosensitive resists 32a and 33a are applied to the entire front and back surfaces of the metal substrate 31, respectively, and dried (FIG. 8B). As the photosensitive resists 32a and 33a, conventionally known resists can be used.

続いて、この金属基板31に対してフォトマスクを介して露光し、現像することにより、所望の開口部32b、33bを有するエッチング用レジスト層32、33を形成する(図8(c))。   Subsequently, the metal substrate 31 is exposed through a photomask and developed to form etching resist layers 32 and 33 having desired openings 32b and 33b (FIG. 8C).

次に、エッチング用レジスト層32、33を耐腐蝕膜として金属基板31に腐蝕液でエッチングを施す(図8(d))。腐蝕液は、使用する金属基板31の材質に応じて適宜選択することができ、例えば、金属基板31として銅を用いる場合、通常、塩化第二鉄水溶液を使用し、金属基板31の両面からスプレーエッチングにて行うことができる。   Next, the etching resist layers 32 and 33 are used as an anticorrosion film, and the metal substrate 31 is etched with an etching solution (FIG. 8D). The corrosive liquid can be appropriately selected according to the material of the metal substrate 31 to be used. For example, when copper is used as the metal substrate 31, an aqueous ferric chloride solution is usually used and sprayed from both surfaces of the metal substrate 31. It can be performed by etching.

次いで、エッチング用レジスト層32、33を剥離して除去することにより、リードフレーム本体11が得られる(図8(e))。またこのとき、図2に示すリード連結部52、ダイパッド連結部53、パッケージ領域連結部54および連結補強片58がエッチングにより形成される。   Next, the etching resist layers 32 and 33 are peeled and removed to obtain the lead frame main body 11 (FIG. 8E). At this time, the lead connecting portion 52, the die pad connecting portion 53, the package region connecting portion 54, and the connection reinforcing piece 58 shown in FIG. 2 are formed by etching.

次に、リードフレーム本体11の表面および裏面に電解めっきを施すことにより、リードフレーム本体11上に金属(銀)を析出させて、リードフレーム本体11の表面および裏面にめっき層12を形成する(図8(f))。この場合、リード連結部52、ダイパッド連結部53、パッケージ領域連結部54および連結補強片58が、いずれも本体(リードフレーム本体11)と、本体上に形成されためっき層12とからなっているので、これら、リード連結部52、ダイパッド連結部53、パッケージ領域連結部54および連結補強片58の強度を高めることができる。   Next, electrolytic plating is performed on the front and back surfaces of the lead frame main body 11 to deposit metal (silver) on the lead frame main body 11 to form a plating layer 12 on the front and back surfaces of the lead frame main body 11 (see FIG. FIG. 8 (f)). In this case, each of the lead connecting portion 52, the die pad connecting portion 53, the package region connecting portion 54, and the connection reinforcing piece 58 includes a main body (lead frame main body 11) and the plating layer 12 formed on the main body. Therefore, the strength of the lead connecting portion 52, the die pad connecting portion 53, the package region connecting portion 54, and the connection reinforcing piece 58 can be increased.

この間、具体的には、例えば電解脱脂工程、酸洗工程、化学研磨工程、銅ストライク工程、水洗工程、中性脱脂工程、シアン洗工程、および銀めっき工程を順次経ることにより、リードフレーム本体11にめっき層12を形成する。この場合、銀めっき工程で用いられる電解めっき用のめっき液としては、例えばシアン化銀を主成分とした銀めっき液を挙げることができる。実際の工程では、各工程間で必要に応じ適宜水洗工程を加える。また、上記工程の途中でパターニング工程を介在させることにより、リードフレーム本体11の一部にめっき層12を形成しても良い。   In the meantime, specifically, the lead frame main body 11 is sequentially subjected to, for example, an electrolytic degreasing step, a pickling step, a chemical polishing step, a copper strike step, a water washing step, a neutral degreasing step, a cyan washing step, and a silver plating step. The plating layer 12 is formed. In this case, examples of the plating solution for electrolytic plating used in the silver plating step include a silver plating solution mainly composed of silver cyanide. In the actual process, a water washing process is appropriately added between the processes as necessary. Further, the plating layer 12 may be formed on a part of the lead frame main body 11 by interposing a patterning step in the middle of the above steps.

このようにして、図1乃至図5に示すリードフレーム10が得られる(図8(f))。   In this way, the lead frame 10 shown in FIGS. 1 to 5 is obtained (FIG. 8F).

なお、図8(a)−(f)において、エッチングによりリードフレーム10を製造する方法を示したが、プレスによる製造方法を用いても良い。   8A to 8F show the method of manufacturing the lead frame 10 by etching, but a manufacturing method using a press may be used.

LEDパッケージの製造方法
次に、図6および図7に示すLEDパッケージ20の製造方法について、図9(a)−(d)、図10(a)−(e)、および図11(a)−(b)を用いて説明する。
Manufacturing Method of LED Package Next, regarding the manufacturing method of the LED package 20 shown in FIGS. 6 and 7, FIGS. 9 (a)-(d), FIGS. 10 (a)-(e), and FIG. 11 (a)- A description will be given using (b).

まず上述した工程により(図8(a)−(f))、リードフレーム10を作製する(図9(a))。   First, the lead frame 10 is manufactured by the steps described above (FIGS. 8A to 8F) (FIG. 9A).

続いて、このリードフレーム10を、射出成形機またはトランスファ成形機(図示せず)の金型35内に装着する(図9(b))。金型35内には、反射樹脂23の形状に対応する空間35aが形成されている。   Subsequently, the lead frame 10 is mounted in a mold 35 of an injection molding machine or a transfer molding machine (not shown) (FIG. 9B). A space 35 a corresponding to the shape of the reflective resin 23 is formed in the mold 35.

次に、射出成形機またはトランスファ成形機の樹脂供給部(図示せず)から金型35内に熱可塑性樹脂または熱硬化性樹脂を流し込み、その後硬化させることにより、リードフレーム10のめっき層12上に反射樹脂23を形成する(図9(c))。   Next, a thermoplastic resin or a thermosetting resin is poured into a mold 35 from a resin supply part (not shown) of an injection molding machine or a transfer molding machine, and then cured, whereby the plating layer 12 of the lead frame 10 is formed. The reflective resin 23 is formed on the substrate (FIG. 9C).

次いで、反射樹脂23が形成されたリードフレーム10を金型35内から取り出す。このようにして、反射樹脂23とリードフレーム10とが一体に形成された樹脂付リードフレーム30が得られる(図9(d))。なお、スキージを用いる印刷法やダイコートなどの塗膜形成法を用いて反射樹脂23を形成しても良い。本実施の形態において、このように、リードフレーム10と、リードフレーム10の各パッケージ領域14の周縁上に配置された反射樹脂23とを備えた樹脂付リードフレーム30も提供する。   Next, the lead frame 10 on which the reflective resin 23 is formed is taken out from the mold 35. In this way, the resin-attached lead frame 30 in which the reflective resin 23 and the lead frame 10 are integrally formed is obtained (FIG. 9D). The reflective resin 23 may be formed using a printing method using a squeegee or a coating film forming method such as die coating. In this embodiment, the resin-equipped lead frame 30 including the lead frame 10 and the reflective resin 23 disposed on the periphery of each package region 14 of the lead frame 10 is also provided.

次に、樹脂付リードフレーム30の各反射樹脂23内であって、リードフレーム10のダイパッド25上にLED素子21を搭載する。この場合、はんだまたはダイボンディングペーストを用いて、LED素子21をダイパッド25上に載置して固定する(ダイアタッチ工程)(図10(a))。   Next, the LED element 21 is mounted on the die pad 25 of the lead frame 10 in each of the reflective resins 23 of the lead frame 30 with resin. In this case, the LED element 21 is placed and fixed on the die pad 25 using a solder or a die bonding paste (die attach step) (FIG. 10A).

次に、LED素子21の端子部21aと、リード部26表面とを、ボンディングワイヤ22によって互いに電気的に接続する(ワイヤボンディング工程)(図10(b))。   Next, the terminal portion 21a of the LED element 21 and the surface of the lead portion 26 are electrically connected to each other by the bonding wire 22 (wire bonding step) (FIG. 10B).

その後、反射樹脂23の凹部23a内に封止樹脂24を充填し、封止樹脂24によりLED素子21とボンディングワイヤ22とを封止する(図10(c))。   Thereafter, the sealing resin 24 is filled in the recess 23a of the reflective resin 23, and the LED element 21 and the bonding wire 22 are sealed with the sealing resin 24 (FIG. 10C).

このようにして、多面付LEDパッケージ40が得られる。この多面付LEDパッケージ40は、リードフレーム10と、リードフレーム10の各パッケージ領域14周縁上に配置された反射樹脂23と、各パッケージ領域14のダイパッド25上に搭載されたLED素子21と、LED素子21とリード部26とを接続するボンディングワイヤ22と、LED素子21とボンディングワイヤ22とを封止する封止樹脂24とを備えている。本実施の形態において、このような多面付LEDパッケージ40も提供する。   In this way, the multi-surface LED package 40 is obtained. The multi-sided LED package 40 includes a lead frame 10, a reflective resin 23 disposed on the periphery of each package region 14 of the lead frame 10, an LED element 21 mounted on a die pad 25 in each package region 14, and an LED A bonding wire 22 for connecting the element 21 and the lead portion 26 and a sealing resin 24 for sealing the LED element 21 and the bonding wire 22 are provided. In the present embodiment, such a multi-sided LED package 40 is also provided.

次に、多面付LEDパッケージ40の反射樹脂23およびリードフレーム10のうち、ダイシング領域15に対応する部分を切断することにより、反射樹脂23およびリードフレーム10をLED素子21毎に分離する(ダイシング工程)(図10(d))。この際、まずリードフレーム10をダイシングテープ37上に載置して固定し、その後、例えばダイヤモンド砥石等からなるブレード38によって、各LED素子21間の反射樹脂23、ならびにリードフレーム10のリード連結部52、ダイパッド連結部53、パッケージ領域連結部54および連結補強片58を切断する。   Next, of the reflective resin 23 and the lead frame 10 of the multi-sided LED package 40, a portion corresponding to the dicing region 15 is cut to separate the reflective resin 23 and the lead frame 10 for each LED element 21 (dicing step). (FIG. 10 (d)). At this time, the lead frame 10 is first placed and fixed on the dicing tape 37, and thereafter, the reflective resin 23 between the LED elements 21 and the lead connecting portion of the lead frame 10 by a blade 38 made of, for example, a diamond grindstone. 52, the die pad connecting portion 53, the package region connecting portion 54, and the connection reinforcing piece 58 are cut.

この際、図11(a)に示すように、ダイシング領域15の幅に対応する相対的に厚いブレード38によってリードフレーム10を切断しても良い。この場合、1回の切断作業で、隣接するパッケージ領域14同士を効率良く分離することができる。あるいは、図11(b)に示すように、ダイシング領域15の幅より狭い相対的に薄いブレード38を用い、2回の切断作業によりリードフレーム10を切断しても良い。この場合、1回の切断作業あたりのブレード38の送り速度を速くすることができ、またブレード38の寿命を長くすることができる。   At this time, as shown in FIG. 11A, the lead frame 10 may be cut by a relatively thick blade 38 corresponding to the width of the dicing region 15. In this case, the adjacent package regions 14 can be efficiently separated by a single cutting operation. Alternatively, as shown in FIG. 11B, the lead frame 10 may be cut by two cutting operations using a relatively thin blade 38 narrower than the width of the dicing region 15. In this case, the feed speed of the blade 38 per cutting operation can be increased, and the life of the blade 38 can be extended.

このようにして、図6および図7に示すLEDパッケージ20を得ることができる(図10(e))。   Thus, the LED package 20 shown in FIGS. 6 and 7 can be obtained (FIG. 10E).

以上説明したように本実施の形態によれば、各パッケージ領域14において、ダイパッド25の端縁25eに設けられた突出部73は、リード部26の端縁26eに設けられた引込み部76に入り込んでいる。また、リード部26の端縁26eに設けられた突出部75は、ダイパッド25の端縁25eに設けられた引込み部74に入り込んでいる。このようにダイパッド25とリード部26とが互いに入り組んでいることにより、リードフレーム10の強度、とりわけリードフレーム10の一辺に対して平行な方向(X方向)に沿った強度を高めることができる。   As described above, according to the present embodiment, in each package region 14, the protrusion 73 provided on the edge 25 e of the die pad 25 enters the lead-in portion 76 provided on the edge 26 e of the lead portion 26. It is out. Further, the protruding portion 75 provided at the end edge 26 e of the lead portion 26 enters the drawing-in portion 74 provided at the end edge 25 e of the die pad 25. As described above, the die pad 25 and the lead portion 26 are intertwined with each other, so that the strength of the lead frame 10, particularly the strength along the direction parallel to one side of the lead frame 10 (X direction) can be increased.

また、本実施の形態によれば、各パッケージ領域14内のダイパッド25の突出部73は、そのパッケージ領域14の上方に隣接する他のパッケージ領域14内のリード部26の突出部75と連結補強片58によって連結されている。したがって、リードフレーム10の上下方向に沿って細長い空間が生じることがなく、リードフレーム10が上下方向にすだれ状になることがない。これにより、取り扱い時にリードフレーム10に変形が生じることを防止することができる。   Further, according to the present embodiment, the protrusion 73 of the die pad 25 in each package region 14 is connected and reinforced with the protrusion 75 of the lead portion 26 in another package region 14 adjacent above the package region 14. Connected by the piece 58. Therefore, an elongated space does not occur along the vertical direction of the lead frame 10, and the lead frame 10 does not become interdigitally in the vertical direction. Thereby, it is possible to prevent the lead frame 10 from being deformed during handling.

また、各パッケージ領域14内のリード部26は、隣接する他のパッケージ領域14内のリード部26とリード連結部52により連結され、各パッケージ領域14内のダイパッド25は、隣接する他のパッケージ領域14内のダイパッド25とダイパッド連結部53により連結されている。さらに、各パッケージ領域14内のダイパッド25の突出部73は、そのパッケージ領域14の上方に隣接する他のパッケージ領域14内のリード部26の突出部75と連結補強片58によって連結されている。したがって、リードフレーム10の左右方向に沿って細長い空間が生じることがなく、リードフレーム10が左右方向にすだれ状になることがない。これにより、取り扱い時にリードフレーム10に変形が生じることを防止することができる。   Further, the lead part 26 in each package area 14 is connected to the lead part 26 in another adjacent package area 14 by a lead connecting part 52, and the die pad 25 in each package area 14 is connected to another adjacent package area. 14 and the die pad connecting portion 53 are connected to each other. Further, the protrusion 73 of the die pad 25 in each package area 14 is connected to the protrusion 75 of the lead part 26 in the other package area 14 adjacent to the upper side of the package area 14 by a connection reinforcing piece 58. Therefore, there is no elongated space along the left-right direction of the lead frame 10, and the lead frame 10 does not become interdigitally in the left-right direction. Thereby, it is possible to prevent the lead frame 10 from being deformed during handling.

このように、リードフレーム10の変形を防止したことにより、リードフレーム10に反射樹脂23を形成する際(図9(b)(c))、リードフレーム10に対する反射樹脂23の形成位置がずれることがない。したがって、小さなパッケージ領域14に対して大面積のLED素子21を搭載したり、複数のLED素子21を搭載したり、あるいはLED素子21のほかに静電破壊素子を搭載することも容易になる。   As described above, since the deformation of the lead frame 10 is prevented, when the reflective resin 23 is formed on the lead frame 10 (FIGS. 9B and 9C), the formation position of the reflective resin 23 with respect to the lead frame 10 is shifted. There is no. Accordingly, it becomes easy to mount a large area LED element 21 on a small package region 14, mount a plurality of LED elements 21, or mount an electrostatic breakdown element in addition to the LED elements 21.

ところで、樹脂付リードフレーム30の製造工程においては、金型35内に加熱された熱可塑性樹脂または熱硬化性樹脂を流し込み、その後冷却固化させることにより、リードフレーム10のめっき層12上に反射樹脂23が形成される(図9(c))。このとき、反射樹脂23とリードフレーム10との熱膨張係数が異なることにより、反射樹脂23が冷却された後、リードフレーム10に反りが生じるおそれがある。リードフレーム10に反りが生じた場合、LEDパッケージ20の製造工程で様々な支障を来すおそれがある。   By the way, in the manufacturing process of the lead frame 30 with resin, a heated thermoplastic resin or thermosetting resin is poured into the mold 35 and then cooled and solidified, whereby the reflective resin is formed on the plating layer 12 of the lead frame 10. 23 is formed (FIG. 9C). At this time, since the thermal expansion coefficients of the reflective resin 23 and the lead frame 10 are different, the lead frame 10 may be warped after the reflective resin 23 is cooled. When the lead frame 10 is warped, various troubles may occur in the manufacturing process of the LED package 20.

これに対して本実施の形態によれば、リードフレーム10の上下方向(Y方向)および左右方向(X方向)に沿って細長い空間が生じることがないので、リードフレーム10の変形に対する強度が高められており、X方向及びY方向に対するリードフレーム10の反りを抑制することができる。   On the other hand, according to the present embodiment, there is no elongated space along the vertical direction (Y direction) and the horizontal direction (X direction) of the lead frame 10, so that the strength against deformation of the lead frame 10 is increased. Therefore, warping of the lead frame 10 with respect to the X direction and the Y direction can be suppressed.

また、本実施の形態によれば、各パッケージ領域14の周囲に縦横のタイバーを設ける必要がないので、各パッケージ領域14同士を接近して配置することができ、リードフレーム10あたりのパッケージ領域14の取り個数を増やすことができる(高密度面付けが可能となる)。   Further, according to the present embodiment, there is no need to provide vertical and horizontal tie bars around each package area 14, so that the package areas 14 can be arranged close to each other, and the package area 14 per lead frame 10 can be arranged. Can be increased (high density imposition is possible).

さらに、本実施の形態によれば、各パッケージ領域14の角部に吊りリード等のコネクティングバーが存在しないので、LEDパッケージ20の角部において、反射樹脂23がリードフレーム10から剥離するおそれがなく、LEDパッケージ20の信頼性を更に向上させることができる。   Furthermore, according to the present embodiment, since there is no connecting bar such as a suspended lead at the corner of each package region 14, there is no possibility that the reflective resin 23 peels from the lead frame 10 at the corner of the LED package 20. Further, the reliability of the LED package 20 can be further improved.

リードフレームの変形例
以下、本実施の形態によるリードフレームの各種変形例(変形例1−1〜変形例1−3)について、図12乃至図14を参照して説明する。図12乃至図14は、それぞれリードフレームの変形例を示す部分拡大平面図(図2に対応する図)である。図12乃至図14において、図1乃至図11に示す実施の形態と同一部分には同一の符号を付して、詳細な説明は省略する。
Modified Examples of Lead Frame Hereinafter, various modified examples (modified examples 1-1 to 1-3) of the lead frame according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 12 to 14 are partially enlarged plan views (corresponding to FIG. 2) showing modifications of the lead frame. 12 to 14, the same parts as those of the embodiment shown in FIGS. 1 to 11 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

変形例1−1
図12(a)は、本実施の形態の一変形例(変形例1−1)によるリードフレーム10Aを示す拡大平面図であり、図12(b)は、図12(a)の一部を更に拡大した図である。図12(a)−(b)に示すリードフレーム10Aにおいて、図1乃至図11に示す実施の形態と異なり、ダイパッド25同士を連結するダイパッド連結部53は設けられていない。
Modification 1-1
FIG. 12A is an enlarged plan view showing a lead frame 10A according to one modified example (modified example 1-1) of the present embodiment, and FIG. 12B shows a part of FIG. It is the figure which expanded further. In the lead frame 10A shown in FIGS. 12A and 12B, unlike the embodiment shown in FIGS. 1 to 11, the die pad connecting portion 53 for connecting the die pads 25 to each other is not provided.

すなわち各パッケージ領域14内のダイパッド25は、当該パッケージ領域14の上方に隣接する他のパッケージ領域14内のリード部26と連結補強片58によって連結され、右方に隣接する他のパッケージ領域14内のリード部26とパッケージ領域連結部54により連結されているが、上方および下方に隣接する他のパッケージ領域14内のダイパッド25とは直接連結されていない。   That is, the die pad 25 in each package region 14 is connected to the lead portion 26 in the other package region 14 adjacent to the upper side of the package region 14 by the connection reinforcing piece 58, and in the other package region 14 adjacent to the right side. The lead portion 26 and the package region connecting portion 54 are connected to each other, but are not directly connected to the die pad 25 in another package region 14 adjacent to the upper and lower portions.

このように、ダイパッド連結部53を設けないことにより、ダイシング時にブレード38に加わる負荷を軽減することができる。このほかの構成は、図1乃至図11に示す実施の形態と略同一である。   Thus, by not providing the die pad connection part 53, the load added to the blade 38 at the time of dicing can be reduced. Other configurations are substantially the same as those of the embodiment shown in FIGS.

変形例1−2
図13(a)は、本実施の形態の一変形例(変形例1−2)によるリードフレーム10Bを示す拡大平面図であり、図13(b)は、図13(a)の一部を更に拡大した図である。図13(a)−(b)に示すリードフレーム10Bにおいて、図1乃至図11に示す実施の形態と異なり、リード部26同士を連結するリード連結部52は設けられていない。
Modification 1-2
FIG. 13A is an enlarged plan view showing a lead frame 10B according to a modification (Modification 1-2) of the present embodiment, and FIG. 13B shows a part of FIG. It is the figure which expanded further. In the lead frame 10B shown in FIGS. 13A and 13B, unlike the embodiment shown in FIGS. 1 to 11, the lead connecting portion 52 for connecting the lead portions 26 to each other is not provided.

すなわち各パッケージ領域14内のリード部26は、当該パッケージ領域14の下方に隣接する他のパッケージ領域14内のダイパッド25と連結補強片58によって連結され、左方に隣接する他のパッケージ領域14内のダイパッド25とパッケージ領域連結部54により連結されているが、上方および下方に隣接する他のパッケージ領域14内のリード部26とは直接連結されていない。   That is, the lead portion 26 in each package region 14 is connected to the die pad 25 in the other package region 14 adjacent to the lower side of the package region 14 by the connection reinforcing piece 58, and in the other package region 14 adjacent to the left side. The die pad 25 is connected to the package region connecting portion 54, but is not directly connected to the lead portion 26 in the other package region 14 adjacent above and below.

このように、リード連結部52を設けないことにより、ダイシング時にブレード38に加わる負荷を軽減することができる。このほかの構成は、図1乃至図11に示す実施の形態と略同一である。   Thus, by not providing the lead connecting portion 52, the load applied to the blade 38 during dicing can be reduced. Other configurations are substantially the same as those of the embodiment shown in FIGS.

変形例1−3
図14(a)は、本実施の形態の一変形例(変形例1−3)によるリードフレーム10Cを示す拡大平面図であり、図14(b)は、図14(a)の一部を更に拡大した図である。図14(a)−(b)に示すリードフレーム10Cにおいて、図1乃至図11に示す実施の形態と異なり、各パッケージ領域14は、1つのダイパッド25と、ダイパッド25の両側に位置する一対のリード部26a、26b(以下、第1のリード部26a、第2のリード部26bともいう)とを有している(3pinタイプ)。
Modification 1-3
FIG. 14A is an enlarged plan view showing a lead frame 10C according to a modification (Modification 1-3) of the present embodiment, and FIG. 14B shows a part of FIG. 14A. It is the figure which expanded further. In the lead frame 10C shown in FIGS. 14A and 14B, unlike the embodiment shown in FIGS. 1 to 11, each package region 14 includes one die pad 25 and a pair of die pads 25 located on both sides of the die pad 25. Lead portions 26a and 26b (hereinafter also referred to as first lead portion 26a and second lead portion 26b) (3-pin type).

図14(b)に示すように、各パッケージ領域14内のダイパッド25は、一対の突出部73a、73bと、一対の引込み部74a、74bとを有している。また、第1のリード部26aおよび第2のリード部26bは、それぞれ突出部75a、75bと、引込み部76a、76bとを有している。   As shown in FIG. 14B, the die pad 25 in each package region 14 has a pair of protrusions 73a and 73b and a pair of lead-in portions 74a and 74b. The first lead portion 26a and the second lead portion 26b have projecting portions 75a and 75b and retracting portions 76a and 76b, respectively.

この場合、ダイパッド25の一方の突出部73aは、第1のリード部26aの引込み部76aに入り込んでおり、他方の突出部73bは、第2のリード部26bの引込み部76bに入り込んでいる。また、第1のリード部26aの突出部75aは、ダイパッド25の一方の引込み部74aに入り込んでおり、第2のリード部26bの突出部75bは、ダイパッド25の他方の引込み部74bに入り込んでいる。   In this case, one projecting portion 73a of the die pad 25 enters the retracting portion 76a of the first lead portion 26a, and the other projecting portion 73b enters the retracting portion 76b of the second lead portion 26b. Further, the protruding portion 75a of the first lead portion 26a enters the one drawing portion 74a of the die pad 25, and the protruding portion 75b of the second lead portion 26b enters the other drawing portion 74b of the die pad 25. Yes.

さらに、各パッケージ領域14内のダイパッド25の突出部73aと、その上方に隣接する他のパッケージ領域14内の第1のリード部26aの突出部75aとは、連結補強片58aによって互いに連結されている。また、各パッケージ領域14内のダイパッド25の突出部73bと、その下方に隣接する他のパッケージ領域14内の第2のリード部26bの突出部75bとは、連結補強片58bによって互いに連結されている。   Further, the protrusion 73a of the die pad 25 in each package region 14 and the protrusion 75a of the first lead portion 26a in the other package region 14 adjacent to the upper side thereof are connected to each other by a connection reinforcing piece 58a. Yes. Further, the protrusion 73b of the die pad 25 in each package region 14 and the protrusion 75b of the second lead portion 26b in another package region 14 adjacent below the die pad 25 are connected to each other by a connection reinforcing piece 58b. Yes.

また、各パッケージ領域14内のダイパッド25は、その上方に隣接するパッケージ領域14内のダイパッド25および下方に隣接するパッケージ領域14内のダイパッド25と、それぞれダイパッド連結部53により連結されている。さらに、各パッケージ領域14内の第1のリード部26aは、その上方および下方に隣接するパッケージ領域14内の第1のリード部26aと、それぞれ第1リード連結部52aによって連結されている。さらにまた、各パッケージ領域14内の第2のリード部26bは、その上方および下方に隣接するパッケージ領域14内の第2のリード部26bと、それぞれ第2リード連結部52bによって連結されている。   The die pad 25 in each package region 14 is connected to the die pad 25 in the package region 14 adjacent to the upper side and the die pad 25 in the package region 14 adjacent to the lower side by a die pad connecting portion 53. Furthermore, the first lead portion 26a in each package region 14 is connected to the first lead portion 26a in the package region 14 adjacent above and below by the first lead connecting portion 52a. Furthermore, the second lead portion 26b in each package region 14 is connected to the second lead portion 26b in the package region 14 adjacent above and below by the second lead connecting portion 52b.

さらにまた、各パッケージ領域14内の第2のリード部26bは、その右方に隣接する他のパッケージ領域14内の第1のリード部26aと、パッケージ領域連結部54により連結されている。さらに、各パッケージ領域14内の第1のリード部26aは、その左方に隣接する他のパッケージ領域14内の第2のリード部26bと、パッケージ領域連結部54により連結されている。   Furthermore, the second lead portion 26 b in each package region 14 is connected to the first lead portion 26 a in the other package region 14 adjacent to the right by the package region connecting portion 54. Further, the first lead portion 26 a in each package region 14 is connected to the second lead portion 26 b in another package region 14 adjacent to the left by the package region connecting portion 54.

このように、各パッケージ領域14がダイパッド25と一対のリード部26a、26bとを有する場合においても、リードフレーム10Cがすだれ状になることを防止し、取り扱い時に変形が生じることを防止することができる。   As described above, even when each package region 14 has the die pad 25 and the pair of lead portions 26a and 26b, the lead frame 10C is prevented from becoming interdigital, and deformation during handling is prevented. it can.

このように、図12乃至図14に示すリードフレーム(変形例1−1〜変形例1−3)についても、上述した図1乃至図11に示す実施の形態の効果と略同様の効果を得ることができる。   As described above, the lead frames (Modification 1-1 to Modification 1-3) shown in FIGS. 12 to 14 also obtain substantially the same effects as those of the embodiment shown in FIGS. 1 to 11 described above. be able to.

LEDパッケージの変形例
次に、本実施の形態によるLEDパッケージの変形例(変形例A〜変形例C)について、図15乃至図17を参照して説明する。図15乃至図17は、それぞれLEDパッケージの変形例を示す断面図(図6に対応する図)である。図15乃至図17において、図6および図7に示す実施の形態と同一部分には同一の符号を付して、詳細な説明は省略する。
Modification Example of LED Package Next, modification examples (Modification A to Modification C) of the LED package according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 15 to 17. 15 to 17 are sectional views (corresponding to FIG. 6) showing modifications of the LED package. 15 to 17, the same parts as those in the embodiment shown in FIGS. 6 and 7 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

変形例A
図15は、本実施の形態の一変形例(3pinタイプ)によるLEDパッケージ20Aを示している。図15に示すLEDパッケージ20Aにおいて、リードフレーム10は、1つのダイパッド25と、ダイパッド25の両側に位置する一対のリード部26a、26b(第1のリード部26a、第2のリード部26b)とを有している。
Modification A
FIG. 15 shows an LED package 20A according to a modification (3 pin type) of the present embodiment. In the LED package 20A shown in FIG. 15, the lead frame 10 includes one die pad 25 and a pair of lead portions 26a and 26b (first lead portion 26a and second lead portion 26b) located on both sides of the die pad 25. have.

また、LED素子21は一対の端子部21aを有しており、この一対の端子部21aは、それぞれボンディングワイヤ22を介して、第1のリード部26aおよび第2のリード部26bに接続されている。この場合、リードフレーム10としては、例えば図14に示すもの(リードフレーム10C)を用いることができる。このほかの構成は上述した図6および図7に示すLEDパッケージ20と略同一である。   The LED element 21 has a pair of terminal portions 21a. The pair of terminal portions 21a are connected to the first lead portion 26a and the second lead portion 26b via the bonding wires 22, respectively. Yes. In this case, as the lead frame 10, for example, the one shown in FIG. 14 (lead frame 10C) can be used. Other configurations are substantially the same as those of the LED package 20 shown in FIGS. 6 and 7 described above.

変形例B
図16は、本実施の形態の一変形例(レンズ付一括モールドタイプ)によるLEDパッケージ20Bを示している。図16に示すLEDパッケージ20Bにおいて、反射樹脂23は、ダイパッド25とリード部26との間に充填されている。他方、図6および図7に示すLEDパッケージ20と異なり、リードフレーム10上には反射樹脂23が設けられていない。
Modification B
FIG. 16 shows an LED package 20B according to a modification of the present embodiment (a batch mold type with a lens). In the LED package 20 </ b> B shown in FIG. 16, the reflective resin 23 is filled between the die pad 25 and the lead part 26. On the other hand, unlike the LED package 20 shown in FIGS. 6 and 7, the reflective resin 23 is not provided on the lead frame 10.

また図16において、LED素子21は、ボンディングワイヤ22に代えて、はんだボール(導電部)41a、41bによってリードフレーム10に接続されている。すなわち、はんだボール41a、41bのうち、一方のはんだボール41aはダイパッド25に接続され、他方のはんだボール41bはリード部26に接続されている。さらに、図16において、封止樹脂24の表面に、LED素子21からの光の照射方向を制御するドーム状のレンズ61が形成されている。なお、レンズ61は必ずしも設けられていなくても良い。   In FIG. 16, the LED element 21 is connected to the lead frame 10 by solder balls (conductive portions) 41 a and 41 b instead of the bonding wires 22. That is, of the solder balls 41 a and 41 b, one solder ball 41 a is connected to the die pad 25 and the other solder ball 41 b is connected to the lead portion 26. Further, in FIG. 16, a dome-shaped lens 61 that controls the irradiation direction of light from the LED element 21 is formed on the surface of the sealing resin 24. Note that the lens 61 is not necessarily provided.

変形例C
図17は、本実施の形態の一変形例(一括モールドタイプ)によるLEDパッケージ20Cを示している。図17に示すLEDパッケージ20Cにおいて、反射樹脂23を用いることなく、封止樹脂24のみによってLED素子21とボンディングワイヤ22とが一括封止されている。また、ダイパッド25とリード部26との間には、封止樹脂24が充填されている。
Modification C
FIG. 17 shows an LED package 20C according to a modification (collective mold type) of the present embodiment. In the LED package 20 </ b> C shown in FIG. 17, the LED element 21 and the bonding wire 22 are collectively sealed only by the sealing resin 24 without using the reflective resin 23. Further, a sealing resin 24 is filled between the die pad 25 and the lead portion 26.

(第2の実施の形態)
次に、図18乃至図20を参照して本発明の第2の実施の形態について説明する。図18乃至図20は本発明の第2の実施の形態を示す図である。図18乃至図20に示す第2の実施の形態は、LED素子21に代えてダイオード等の半導体素子45を用いる点が主として異なるものであり、他の構成は上述した第1の実施の形態と略同一である。図18乃至図20において、第1の実施の形態と同一部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 18 to 20 are diagrams showing a second embodiment of the present invention. The second embodiment shown in FIGS. 18 to 20 is mainly different in that a semiconductor element 45 such as a diode is used in place of the LED element 21, and other configurations are different from those of the first embodiment described above. It is almost the same. 18 to 20, the same parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

リードフレームの構成
図18は、本実施の形態によるリードフレーム60を示す断面図である。本実施の形態によるリードフレーム60は、LED素子21に代えてダイオード等の半導体素子45(図18参照)を搭載するためのものであり、めっき層12がリード部26の一部(ボンディングワイヤ22が接続される部分)のみに形成されている。このほかの構成は、図1乃至図4に示すリードフレーム10と同一である。
Configuration of Lead Frame FIG. 18 is a cross-sectional view showing a lead frame 60 according to the present embodiment. The lead frame 60 according to the present embodiment is for mounting a semiconductor element 45 such as a diode (see FIG. 18) in place of the LED element 21, and the plating layer 12 is a part of the lead portion 26 (bonding wire 22). It is formed only in the part to which is connected. Other configurations are the same as those of the lead frame 10 shown in FIGS.

なお、本実施の形態において、リードフレーム60の平面形状は、図1乃至図5に示すリードフレーム10の形状からなっていても良く、図12乃至図14に示す各リードフレームの形状からなっていても良い。   In the present embodiment, the planar shape of the lead frame 60 may be the shape of the lead frame 10 shown in FIGS. 1 to 5 or the shape of each lead frame shown in FIGS. May be.

半導体装置の構成
図19は、本実施の形態による半導体装置65を示している。半導体装置65は、図18に示すリードフレーム60を用いて作製されたものであり、(個片化された)リードフレーム60と、リードフレーム60のダイパッド25に載置された半導体素子45とを備えている。半導体素子45は、例えばダイオード等のディスクリート半導体素子からなっていても良い。また、半導体素子45の端子部45aと、リード部26上に設けられためっき層12とは、ボンディングワイヤ22によって電気的に接続されている。さらに、半導体素子45とボンディングワイヤ22とが封止樹脂24によって封止されている。
Configuration of Semiconductor Device FIG. 19 shows a semiconductor device 65 according to the present embodiment. The semiconductor device 65 is manufactured using the lead frame 60 shown in FIG. 18, and includes a lead frame 60 (divided into pieces) and a semiconductor element 45 placed on the die pad 25 of the lead frame 60. I have. The semiconductor element 45 may be composed of a discrete semiconductor element such as a diode, for example. Further, the terminal portion 45 a of the semiconductor element 45 and the plating layer 12 provided on the lead portion 26 are electrically connected by a bonding wire 22. Further, the semiconductor element 45 and the bonding wire 22 are sealed with a sealing resin 24.

なお、封止樹脂24としては、エポキシ樹脂やシリコーン樹脂からなるものを選択することが可能であるが、第1の実施の形態と異なり、必ずしも透明なものでなくても良く、黒色等の不透明な樹脂からなっていても良い。   As the sealing resin 24, one made of an epoxy resin or a silicone resin can be selected. However, unlike the first embodiment, the sealing resin 24 is not necessarily transparent and is opaque such as black. It may be made of any resin.

半導体装置の製造方法
次に、図19に示す半導体装置65の製造方法について、図20(a)−(f)を用いて説明する。図20(a)−(f)は、本実施の形態による半導体装置の製造方法を示す図である。
Method for Manufacturing Semiconductor Device Next, a method for manufacturing the semiconductor device 65 shown in FIG. 19 will be described with reference to FIGS. 20A to 20F are views showing a method for manufacturing a semiconductor device according to the present embodiment.

まず、上述した工程(図8(a)−(f))と略同様にして、リードフレーム60を作製する(図20(a))。なお、この場合、めっき層12を形成する工程(図8(f))において、めっき層12は、リードフレーム本体11の全面ではなく、リード部26の一部にのみ形成される。   First, a lead frame 60 is fabricated in substantially the same manner as the above-described steps (FIGS. 8A to 8F) (FIG. 20A). In this case, in the step of forming the plating layer 12 (FIG. 8F), the plating layer 12 is formed not on the entire surface of the lead frame body 11 but only on a part of the lead portion 26.

次に、リードフレーム60のダイパッド25上に半導体素子45を搭載する。この場合、はんだまたはダイボンディングペーストを用いて、半導体素子45をダイパッド25上に載置して固定する(図20(b))。   Next, the semiconductor element 45 is mounted on the die pad 25 of the lead frame 60. In this case, the semiconductor element 45 is mounted on the die pad 25 and fixed using solder or a die bonding paste (FIG. 20B).

次に、半導体素子45の端子部45aと、リード部26上のめっき層12とを、ボンディングワイヤ22によって互いに電気的に接続する(図20(c))。   Next, the terminal part 45a of the semiconductor element 45 and the plating layer 12 on the lead part 26 are electrically connected to each other by the bonding wire 22 (FIG. 20C).

その後、封止樹脂24により、半導体素子45とボンディングワイヤ22とを一括封止する(図20(d))。なお、このとき、リードフレーム60の裏面に、図示しないバックテープを貼付することにより、封止樹脂24が第1のアウターリード部27および/または第2のアウターリード部28の裏面に回り込むことを防止しても良い。   Thereafter, the semiconductor element 45 and the bonding wire 22 are collectively sealed with the sealing resin 24 (FIG. 20D). At this time, by attaching a back tape (not shown) to the back surface of the lead frame 60, the sealing resin 24 goes around the back surface of the first outer lead portion 27 and / or the second outer lead portion 28. It may be prevented.

次に、封止樹脂24およびリードフレーム60のうちダイシング領域15に対応する部分を切断することにより、封止樹脂24およびリードフレーム60を半導体素子45毎に分離する(図20(e))。この際、まずリードフレーム60をダイシングテープ37上に載置して固定し、その後、例えばダイヤモンド砥石等からなるブレード38によって、各半導体素子45間の封止樹脂24、ならびにリードフレーム60のリード連結部52、ダイパッド連結部53、パッケージ領域連結部54および連結補強片58を切断する。なお、ブレード38によってリードフレーム60を切断する際、上述した図11(a)または図11(b)に示す方法を用いても良い。   Next, the sealing resin 24 and the lead frame 60 are separated for each semiconductor element 45 by cutting a portion corresponding to the dicing region 15 in the sealing resin 24 and the lead frame 60 (FIG. 20E). At this time, the lead frame 60 is first placed and fixed on the dicing tape 37, and then the sealing resin 24 between the semiconductor elements 45 and the lead connection of the lead frame 60 are connected by a blade 38 made of, for example, a diamond grindstone. The part 52, the die pad connecting part 53, the package region connecting part 54, and the connection reinforcing piece 58 are cut. Note that when the lead frame 60 is cut by the blade 38, the method shown in FIG. 11A or FIG. 11B may be used.

このようにして、図19に示す半導体装置65を得ることができる(図20(e))。   In this way, the semiconductor device 65 shown in FIG. 19 can be obtained (FIG. 20E).

このように、本実施の形態においては、LED素子21に代えてダイオード等の半導体素子45を載置しており、リードフレーム60上には反射樹脂23が設けられていない。この場合、半導体装置65を製造する工程において(図20(a)−(f))、その途中で反射樹脂23によってリードフレーム60が補強されることがないため、封止樹脂24によって封止されるまでの間、リードフレーム60(図20(e))の変形を防止する必要が生じる。具体的には、半導体素子45を搭載する際、リードフレーム60は、その端面を介してレールにより搬送される場合があり、このときリードフレーム60が変形しないようにする必要がある。また、共晶ボンディングにより半導体素子45をリードフレーム60に接合する場合には、リードフレーム60に熱が加わるため(例えば400℃で10分間熱が加わる等)、この熱によってリードフレーム60の強度が低下することを防止する必要がある。さらに、ワイヤーボンディングの際にもリードフレーム60に熱および衝撃が加わるため、この熱によってリードフレーム60の強度が低下することを防止することも必要である。したがって、反射樹脂23を設ける場合と比べて、より一層リードフレーム60の強度を高めることが求められる。   Thus, in the present embodiment, a semiconductor element 45 such as a diode is placed instead of the LED element 21, and the reflective resin 23 is not provided on the lead frame 60. In this case, in the process of manufacturing the semiconductor device 65 (FIGS. 20A to 20F), since the lead frame 60 is not reinforced by the reflective resin 23 in the middle thereof, the semiconductor device 65 is sealed by the sealing resin 24. In the meantime, it is necessary to prevent the deformation of the lead frame 60 (FIG. 20E). Specifically, when the semiconductor element 45 is mounted, the lead frame 60 may be conveyed by a rail through its end face, and at this time, it is necessary to prevent the lead frame 60 from being deformed. In addition, when the semiconductor element 45 is bonded to the lead frame 60 by eutectic bonding, heat is applied to the lead frame 60 (for example, heat is applied at 400 ° C. for 10 minutes). It is necessary to prevent the decrease. Furthermore, since heat and impact are applied to the lead frame 60 also during wire bonding, it is necessary to prevent the strength of the lead frame 60 from being reduced by this heat. Therefore, it is required to further increase the strength of the lead frame 60 as compared with the case where the reflective resin 23 is provided.

これに対して本実施の形態によれば、第1の実施の形態と同様、リードフレーム60の上下方向に沿って細長い空間が生じることがなく、リードフレーム60が上下方向にすだれ状になることがない。これにより、取り扱い時にリードフレーム60に変形が生じることを防止することができる。   On the other hand, according to the present embodiment, as in the first embodiment, there is no elongated space along the vertical direction of the lead frame 60, and the lead frame 60 is interdigitally formed in the vertical direction. There is no. This can prevent the lead frame 60 from being deformed during handling.

このほか、本実施の形態においても、上述した第1の実施の形態と同様の作用効果を得ることができる。   In addition, also in the present embodiment, it is possible to obtain the same effects as those in the first embodiment described above.

10、10A〜10C、60 リードフレーム
11 リードフレーム本体
12 めっき層
13 枠体領域
14 パッケージ領域
15 ダイシング領域
20、20A〜20C LEDパッケージ
21 LED素子
22 ボンディングワイヤ(導電部)
23 反射樹脂
24 封止樹脂
25 ダイパッド
25e 端縁
26 リード部
26e 端縁
27 第1のアウターリード部
28 第2のアウターリード部
30 樹脂付リードフレーム
40 多面付LEDパッケージ
52 リード連結部
53 ダイパッド連結部
54 パッケージ領域連結部
58 連結補強片
65 半導体装置
73、75 突出部
74、76 引込み部
10, 10A to 10C, 60 Lead frame 11 Lead frame body 12 Plating layer 13 Frame region 14 Package region 15 Dicing region 20, 20A to 20C LED package 21 LED element 22 Bonding wire (conductive portion)
23 Reflective resin 24 Sealing resin 25 Die pad 25e End edge 26 Lead part 26e End edge 27 First outer lead part 28 Second outer lead part 30 Lead frame with resin 40 LED package with multiple surfaces 52 Lead connection part 53 Die pad connection part 54 Package region connection portion 58 Connection reinforcing piece 65 Semiconductor device 73, 75 Projection portion 74, 76 Retraction portion

Claims (16)

LED素子搭載用リードフレームにおいて、
枠体領域と、
枠体領域内に多列および多段に配置され、各々がLED素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含む多数のパッケージ領域とを備え、
一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、各々互いに向き合う端縁を有し、 一方の端縁に突出部が設けられ、他方の端縁に突出部が入り込む引込み部が設けられ
前記一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、それぞれ突出部および引込み部を有し、前記一のパッケージ領域内のダイパッドの突出部は、前記一のパッケージ領域に隣接する他のパッケージ領域内のリード部の突出部と連結補強片により連結され、
前記枠体領域は矩形形状を有し、前記連結補強片は、枠体領域の一辺に対して平行であることを特徴とするリードフレーム。
In the lead frame for LED element mounting,
A frame area;
Arranged in multiple rows and multiple stages to the frame region includes a die pad, each LED element is mounted, and a lead portion and a including large number of package regions adjacent to the die pad,
The die pad and the lead part in one package region each have an edge facing each other, a protrusion is provided at one edge, and a lead-in part into which the protrusion is inserted is provided at the other edge ,
The die pad and the lead portion in the one package region respectively have a protrusion and a lead-in portion, and the protrusion of the die pad in the one package region is in another package region adjacent to the one package region. Are connected by the protruding part of the lead part and the connecting reinforcing piece,
The lead frame according to claim 1, wherein the frame region has a rectangular shape, and the connection reinforcing piece is parallel to one side of the frame region .
各ダイパッドおよび各リード部は、それぞれ台形形状を有することを特徴とする請求項1記載のリードフレーム。The lead frame according to claim 1, wherein each die pad and each lead portion has a trapezoidal shape. LED素子搭載用リードフレームにおいて、In the lead frame for LED element mounting,
枠体領域と、A frame area;
枠体領域内に多列および多段に配置され、各々がLED素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含む多数のパッケージ領域とを備え、A plurality of package regions including a die pad in which LED elements are mounted and lead portions adjacent to the die pad are arranged in multiple rows and multiple stages in the frame region,
一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、各々互いに向き合う端縁を有し、 一方の端縁に突出部が設けられ、他方の端縁に突出部が入り込む引込み部が設けられ、The die pad and the lead part in one package region each have an edge facing each other, a protrusion is provided at one edge, and a lead-in part into which the protrusion is inserted is provided at the other edge,
各ダイパッドおよび各リード部は、それぞれL字形状を有することを特徴とするリードフレーム。Each die pad and each lead part has an L shape, respectively.
前記一のパッケージ領域内のリード部は、前記一のパッケージ領域に隣接する他のパッケージ領域内のリード部とリード連結部により連結されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項記載のリードフレーム。   4. The lead portion in the one package region is connected to a lead portion in another package region adjacent to the one package region by a lead connecting portion. The lead frame described in the section. 前記一のパッケージ領域内のダイパッドは、前記一のパッケージ領域に隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドとダイパッド連結部により連結されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項記載のリードフレーム。   5. The die pad in the one package region is connected to a die pad in another package region adjacent to the one package region by a die pad connecting portion. 6. Lead frame. 樹脂付リードフレームにおいて、
請求項1乃至のいずれか一項記載のリードフレームと、
リードフレームの各パッケージ領域周縁上に配置された反射樹脂とを備えたことを特徴とする樹脂付リードフレーム。
For lead frames with resin,
A lead frame according to any one of claims 1 to 5 ;
A lead frame with resin, comprising: a reflective resin disposed on the periphery of each package region of the lead frame.
多面付LEDパッケージにおいて、
枠体領域と、枠体領域内に多列および多段に配置され、各々がLED素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含む多数のパッケージ領域とを有するリードフレームであって、一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、各々互いに向き合う端縁を有し、一方の端縁に突出部が設けられ、他方の端縁に突出部が入り込む引込み部が設けられている、リードフレームと、
リードフレームの各パッケージ領域周縁上に配置された反射樹脂と、
リードフレームの各パッケージ領域のダイパッド上に搭載されたLED素子と、
LED素子と各パッケージ領域のリード部とを接続する導電部と、
LED素子と導電部とを封止する封止樹脂とを備え
前記一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、それぞれ突出部および引込み部を有し、前記一のパッケージ領域内のダイパッドの突出部は、前記一のパッケージ領域に隣接する他のパッケージ領域内のリード部の突出部と連結補強片により連結され、
前記枠体領域は矩形形状を有し、前記連結補強片は、枠体領域の一辺に対して平行であることを特徴とする多面付LEDパッケージ。
In a multi-sided LED package,
A frame body area, are arranged in multiple rows and multiple stages to the frame region, in the lead frame, each having a die pad on which the LED element is mounted, and a package region of including large number and a lead portion adjacent to the die pad The die pad and the lead portion in one package region each have an end edge facing each other, a protrusion is provided on one end edge, and a lead-in portion into which the protrusion enters is provided on the other end edge. The lead frame,
A reflective resin disposed on the periphery of each package region of the lead frame;
LED elements mounted on die pads in each package area of the lead frame;
A conductive portion connecting the LED element and the lead portion of each package region;
A sealing resin for sealing the LED element and the conductive portion ;
The die pad and the lead portion in the one package region respectively have a protrusion and a lead-in portion, and the protrusion of the die pad in the one package region is in another package region adjacent to the one package region. Are connected by the protruding part of the lead part and the connecting reinforcing piece,
The frame body region has a rectangular shape, and the connection reinforcing piece is parallel to one side of the frame body region .
多面付LEDパッケージにおいて、In a multi-sided LED package,
枠体領域と、枠体領域内に多列および多段に配置され、各々がLED素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含む多数のパッケージ領域とを有するリードフレームであって、一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、各々互いに向き合う端縁を有し、一方の端縁に突出部が設けられ、他方の端縁に突出部が入り込む引込み部が設けられている、リードフレームと、A lead frame having a frame region, a plurality of rows and stages arranged in the frame region, each including a die pad on which an LED element is mounted, and a plurality of package regions including a lead portion adjacent to the die pad. The die pad and the lead part in one package region each have an edge facing each other, a protrusion is provided at one edge, and a lead-in part into which the protrusion is inserted is provided at the other edge. Lead frame,
リードフレームの各パッケージ領域周縁上に配置された反射樹脂と、A reflective resin disposed on the periphery of each package region of the lead frame;
リードフレームの各パッケージ領域のダイパッド上に搭載されたLED素子と、LED elements mounted on die pads in each package area of the lead frame;
LED素子と各パッケージ領域のリード部とを接続する導電部と、A conductive portion connecting the LED element and the lead portion of each package region;
LED素子と導電部とを封止する封止樹脂とを備え、A sealing resin for sealing the LED element and the conductive portion;
各ダイパッドおよび各リード部は、それぞれL字形状を有することを特徴とする多面付LEDパッケージ。Each die pad and each lead part has an L shape, respectively.
樹脂付リードフレームの製造方法において、
枠体領域と、枠体領域内に多列および多段に配置され、各々がLED素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含む多数のパッケージ領域とを有するリードフレームであって、一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、各々互いに向き合う端縁を有し、一方の端縁に突出部が設けられ、他方の端縁に突出部が入り込む引込み部が設けられている、リードフレームを作製する工程と、
リードフレームの各パッケージ領域周縁上に反射樹脂を設ける工程とを備え
前記一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、それぞれ突出部および引込み部を有し、前記一のパッケージ領域内のダイパッドの突出部は、前記一のパッケージ領域に隣接する他のパッケージ領域内のリード部の突出部と連結補強片により連結され、
前記枠体領域は矩形形状を有し、前記連結補強片は、枠体領域の一辺に対して平行であることを特徴とする樹脂付リードフレームの製造方法。
In the manufacturing method of the lead frame with resin,
A frame body area, are arranged in multiple rows and multiple stages to the frame region, in the lead frame, each having a die pad on which the LED element is mounted, and a package region of including large number and a lead portion adjacent to the die pad The die pad and the lead portion in one package region each have an end edge facing each other, a protrusion is provided on one end edge, and a lead-in portion into which the protrusion enters is provided on the other end edge. Manufacturing a lead frame;
Providing a reflective resin on the periphery of each package region of the lead frame ,
The die pad and the lead portion in the one package region respectively have a protrusion and a lead-in portion, and the protrusion of the die pad in the one package region is in another package region adjacent to the one package region. Are connected by the protruding part of the lead part and the connecting reinforcing piece,
The method for manufacturing a lead frame with resin, wherein the frame region has a rectangular shape, and the connection reinforcing piece is parallel to one side of the frame region .
樹脂付リードフレームの製造方法において、In the manufacturing method of the lead frame with resin,
枠体領域と、枠体領域内に多列および多段に配置され、各々がLED素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含む多数のパッケージ領域とを有するリードフレームであって、一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、各々互いに向き合う端縁を有し、一方の端縁に突出部が設けられ、他方の端縁に突出部が入り込む引込み部が設けられている、リードフレームを作製する工程と、A lead frame having a frame region, a plurality of rows and stages arranged in the frame region, each including a die pad on which an LED element is mounted, and a plurality of package regions including a lead portion adjacent to the die pad. The die pad and the lead part in one package region each have an edge facing each other, a protrusion is provided at one edge, and a lead-in part into which the protrusion is inserted is provided at the other edge. Manufacturing a lead frame; and
リードフレームの各パッケージ領域周縁上に反射樹脂を設ける工程とを備え、Providing a reflective resin on the periphery of each package region of the lead frame,
各ダイパッドおよび各リード部は、それぞれL字形状を有することを特徴とする樹脂付リードフレームの製造方法。Each die pad and each lead part has an L shape, respectively, The manufacturing method of the lead frame with resin characterized by the above-mentioned.
LEDパッケージの製造方法において、
請求項9又は10記載の樹脂付リードフレームの製造方法により樹脂付リードフレームを作製する工程と、
樹脂付リードフレームの各ダイパッド上にそれぞれLED素子を搭載する工程と、
各LED素子と各リード部とをそれぞれ導電部により接続する工程と、
封止樹脂により各LED素子と各導電部とをそれぞれ封止する工程と、
反射樹脂およびリードフレームを切断することにより、反射樹脂およびリードフレームをLED素子毎に分離する工程とを備えたことを特徴とするLEDパッケージの製造方法。
In the manufacturing method of the LED package,
A step of producing a lead frame with resin by the method for producing a lead frame with resin according to claim 9 or 10,
A step of mounting LED elements on each die pad of the lead frame with resin,
Connecting each LED element and each lead part by a conductive part,
Sealing each LED element and each conductive part with a sealing resin,
And a step of separating the reflective resin and the lead frame for each LED element by cutting the reflective resin and the lead frame.
半導体素子搭載用リードフレームにおいて、
枠体領域と、
枠体領域内に多列および多段に配置され、各々が半導体素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含む多数のパッケージ領域とを備え、
一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、各々互いに向き合う端縁を有し、 一方の端縁に突出部が設けられ、他方の端縁に突出部が入り込む引込み部が設けられ
前記一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、それぞれ突出部および引込み部を有し、前記一のパッケージ領域内のダイパッドの突出部は、前記一のパッケージ領域に隣接する他のパッケージ領域内のリード部の突出部と連結補強片により連結され、
前記枠体領域は矩形形状を有し、前記連結補強片は、枠体領域の一辺に対して平行であることを特徴とするリードフレーム。
In lead frames for mounting semiconductor elements,
A frame area;
Arranged in multiple rows and multiple stages to the frame area, each comprising a die pad on which a semiconductor element is mounted, and including large number of package areas and a lead portion adjacent to the die pad,
The die pad and the lead part in one package region each have an edge facing each other, a protrusion is provided at one edge, and a lead-in part into which the protrusion is inserted is provided at the other edge ,
The die pad and the lead portion in the one package region respectively have a protrusion and a lead-in portion, and the protrusion of the die pad in the one package region is in another package region adjacent to the one package region. Are connected by the protruding part of the lead part and the connecting reinforcing piece,
The lead frame according to claim 1, wherein the frame region has a rectangular shape, and the connection reinforcing piece is parallel to one side of the frame region .
各ダイパッドおよび各リード部は、それぞれ台形形状を有することを特徴とする請求項12記載のリードフレーム。The lead frame according to claim 12, wherein each die pad and each lead portion has a trapezoidal shape. 半導体素子搭載用リードフレームにおいて、In lead frames for mounting semiconductor elements,
枠体領域と、A frame area;
枠体領域内に多列および多段に配置され、各々が半導体素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含む多数のパッケージ領域とを備え、A plurality of package regions including a die pad on which semiconductor elements are mounted, and a plurality of package regions including lead portions adjacent to the die pad, arranged in multiple rows and multiple stages in the frame region
一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、各々互いに向き合う端縁を有し、 一方の端縁に突出部が設けられ、他方の端縁に突出部が入り込む引込み部が設けられ、The die pad and the lead part in one package region each have an edge facing each other, a protrusion is provided at one edge, and a lead-in part into which the protrusion is inserted is provided at the other edge,
各ダイパッドおよび各リード部は、それぞれL字形状を有することを特徴とするリードフレーム。Each die pad and each lead part has an L shape, respectively.
前記一のパッケージ領域内のリード部は、前記一のパッケージ領域に隣接する他のパッケージ領域内のリード部とリード連結部により連結されていることを特徴とする請求項12乃至14のいずれか一項記載のリードフレーム。   15. The lead part in the one package area is connected to a lead part in another package area adjacent to the one package area by a lead connecting part. The lead frame described in the section. 前記一のパッケージ領域内のダイパッドは、前記一のパッケージ領域に隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドとダイパッド連結部により連結されていることを特徴とする請求項12乃至15のいずれか一項記載のリードフレーム。   16. The die pad in the one package region is connected to a die pad in another package region adjacent to the one package region by a die pad connecting portion. Lead frame.
JP2012104744A 2012-05-01 2012-05-01 Lead frame for mounting LED elements, lead frame with resin, LED package with multiple surfaces, LED package manufacturing method, and lead frame for mounting semiconductor elements Active JP5971552B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012104744A JP5971552B2 (en) 2012-05-01 2012-05-01 Lead frame for mounting LED elements, lead frame with resin, LED package with multiple surfaces, LED package manufacturing method, and lead frame for mounting semiconductor elements

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012104744A JP5971552B2 (en) 2012-05-01 2012-05-01 Lead frame for mounting LED elements, lead frame with resin, LED package with multiple surfaces, LED package manufacturing method, and lead frame for mounting semiconductor elements

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016140258A Division JP6202153B2 (en) 2016-07-15 2016-07-15 Lead frame for mounting LED elements, lead frame with resin, LED package with multiple surfaces, LED package manufacturing method, and lead frame for mounting semiconductor elements

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013232590A JP2013232590A (en) 2013-11-14
JP5971552B2 true JP5971552B2 (en) 2016-08-17

Family

ID=49678761

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012104744A Active JP5971552B2 (en) 2012-05-01 2012-05-01 Lead frame for mounting LED elements, lead frame with resin, LED package with multiple surfaces, LED package manufacturing method, and lead frame for mounting semiconductor elements

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5971552B2 (en)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6603982B2 (en) * 2013-07-31 2019-11-13 日亜化学工業株式会社 Lead frame, lead frame with resin, resin package, light emitting device, and method for manufacturing resin package
JP6548066B2 (en) * 2013-12-26 2019-07-24 大日本印刷株式会社 Lead frame for mounting LED element, lead frame with resin for mounting LED element, and semiconductor device
JP6520022B2 (en) * 2014-09-01 2019-05-29 株式会社カネカ Lead frame for mounting light emitting element, resin molded body for mounting light emitting element using the same, and surface mounted light emitting device
JP6627211B2 (en) * 2014-09-30 2020-01-08 日亜化学工業株式会社 Light emitting device manufacturing method
JP6458471B2 (en) * 2014-12-04 2019-01-30 株式会社カネカ Lead frame for mounting light emitting element, resin molded body for mounting light emitting element and surface mounted light emitting device using the same
JP6648467B2 (en) * 2014-12-25 2020-02-14 日亜化学工業株式会社 Light emitting device
JP6572540B2 (en) 2014-12-26 2019-09-11 日亜化学工業株式会社 Package, light emitting device and method for manufacturing the same
JP6542112B2 (en) * 2015-11-30 2019-07-10 大口マテリアル株式会社 Multi-row LED lead frame, and method of manufacturing LED package and multi-row LED lead frame
JP7147173B2 (en) * 2018-02-14 2022-10-05 富士電機株式会社 semiconductor equipment
CN113823730B (en) * 2018-09-28 2024-10-29 光宝光电(常州)有限公司 Multi-chip LED packaging structure

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007134376A (en) * 2005-11-08 2007-05-31 Akita Denshi Systems:Kk Light emitting diode, and method of manufacturing same
KR100637476B1 (en) * 2005-11-09 2006-10-23 알티전자 주식회사 Led of side view type and the method for manufacturing the same
WO2012049854A1 (en) * 2010-10-14 2012-04-19 パナソニック株式会社 Light-emitting device and surface light source device using same

Also Published As

Publication number Publication date
JP2013232590A (en) 2013-11-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5971552B2 (en) Lead frame for mounting LED elements, lead frame with resin, LED package with multiple surfaces, LED package manufacturing method, and lead frame for mounting semiconductor elements
JP5177316B2 (en) Lead frame for mounting LED element, lead frame with resin, manufacturing method of semiconductor device, and lead frame for mounting semiconductor element
JP5904001B2 (en) Lead frame for mounting LED elements, lead frame with resin, LED package with multiple surfaces, LED package manufacturing method, and lead frame for mounting semiconductor elements
JP6071034B2 (en) Lead frame for mounting LED elements, lead frame with resin, LED package with multiple surfaces, LED package manufacturing method, and lead frame for mounting semiconductor elements
JP6202153B2 (en) Lead frame for mounting LED elements, lead frame with resin, LED package with multiple surfaces, LED package manufacturing method, and lead frame for mounting semiconductor elements
JP5804369B2 (en) Lead frame for semiconductor element, lead frame for semiconductor element with resin and semiconductor device, method for manufacturing lead frame for semiconductor element, method for manufacturing lead frame for semiconductor element with resin, and method for manufacturing semiconductor device
JP5888098B2 (en) Lead frame for mounting LED elements, lead frame with resin, LED package with multiple surfaces, LED package manufacturing method, and lead frame for mounting semiconductor elements
JP6350683B2 (en) Lead frame for mounting LED elements, lead frame with resin, LED package with multiple surfaces, LED package manufacturing method, and lead frame for mounting semiconductor elements
JP2015037101A (en) Lead frame, multifaceted body of lead frame, lead frame with resin, multifaceted body of lead frame with resin, and optical semiconductor device
JP6172253B2 (en) Lead frame, multi-sided body of lead frame, lead frame with resin, multi-sided body of lead frame with resin, optical semiconductor device
JP6414405B2 (en) Lead frame

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150327

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160129

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160205

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160329

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160617

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160630

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5971552

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D02