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JP5953069B2 - ダイボンダ - Google Patents

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JP5953069B2 JP2012042900A JP2012042900A JP5953069B2 JP 5953069 B2 JP5953069 B2 JP 5953069B2 JP 2012042900 A JP2012042900 A JP 2012042900A JP 2012042900 A JP2012042900 A JP 2012042900A JP 5953069 B2 JP5953069 B2 JP 5953069B2
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Description

本発明は、ダイボンダ及びボンディング方法に係わり、特に確実にダイを実装できる信頼性の高いダイボンダ及びボンディング方法に関する。
ダイ(半導体チップ)(以下、単にダイという)を配線基板やリードフレームなどのワークに搭載してパッケージを組み立てる工程の一部に、半導体ウエハ(以下、単にウエハという)からダイを分割する工程と、分割したダイをウェハからピックアップし、基板上に搭載又は既にボンディングしたダイに積層するボンディング工程とがある。
ボンディング工程を行う方法として、ウェハからピックアップしたダイを一度部品載置テーブル(中間ステージ)に載置し、ボンディングヘッドで部品載置テーブルから再度ダイをピックアップし、搬送されてきた基板にボンディングする方法(特許文献1)がある。
ウェハからピックアップされる際に、ダイは、DAF(ダイアタッチフィルム)と呼ばれる粘着材料が貼り付いているフィルムと共に、ピックアップされ、DAFを下にして中間ステージに載置される。
特開2009−246285号公報
しかしながら、DAFは、熱と荷重により硬化する熱硬化型が主流となっており、ウェハからピックアップしたダイを中間ステージに載置する際のピックアップヘッドによる中間ステージへの荷重によっては、DAFが中間ステージに貼り付いてしまう。さらに、近年DAFは、ダイ実装時のストレスを低減させるために、低荷重、低温度で硬化可能なように改良されてきており、中間ステージにより貼り付き易くなっている。その結果、ボンディングヘッドによる中間ステージからのダイのピックアップミスを招く可能性が高くなってきている。
また、近年のより一層のダイの薄膜化に伴い、ダイを中間ステージに載置するときの荷重によっては、ダイにダメージを与える可能性も高くなってきている。
従って、本発明の目的は、中間ステージにダイを確実に載置し、中間ステージから確実にピックアップできる信頼性の高いダイボンダ又はボンディング方法を提供することである。
本発明は、上記目的を達成するために、少なくとも以下の特徴を有する。
本発明は、ウェハを保持するダイ供給部と、前記ウェハからダイをピックアップし中間ステージに前記ダイを載置するピックアップヘッドと、前記中間ステージを有する中間ステージ部と、前記中間ステージから前記ダイをピックアップし基板又は既にボンディングされた前記ダイ上にボンディングするボンディングヘッドと、前記中間ステージと一体に昇降する中間ステージ一体化構造の負荷荷重を保持し、前記載置時に前記中間ステージに所定以上の荷重がかからないように、前記荷重を逃がす荷重緩衝機構を前記中間ステージ部に設けたことを第1の特徴とする。
また、本発明は、ピックアップヘッドでウェハからダイをピックアップし中間ステージに前記ダイを載置するピックアップステップと、ボンディングヘッドで前記中間ステージから前記ダイをピックアップし基板又は既にボンディングされた前記ダイ上にボンディングするボンディングヘッドステップと、前記ダイを前記中間ステージに載置するときに、前記載置による荷重を緩衝するように前記中間ステージを下降させるステップとを有することを特徴とすることを第2の特徴とする。
さらに、本発明は、前記荷重緩衝機構が、前記荷重緩衝機構を前記ダイボンダに固定する基台と、前記負荷荷重を保持する負荷荷重保持手段と、前記中間ステージ一体化構造と前記基台との間に設けられ、前記中間ステージを昇降方向に直線動作させる直動ガイドと、を有することを第3の特徴とする。
また、本発明は、前記中間ステージ一体化構造を支持する一体化構造支持部を有することを第4の特徴とする。
さらに、本発明は、前記負荷荷重保持手段が、前記中間ステージ一体化構造又は前記一体化構造支持部と前記基台との間に設けられたエアシリンダと、前記負荷荷重を保持するように前記エアシリンダへのエア圧力を制御するエア供給用レギュレータと、前記エアシリンダにエアを供給するエア供給源とを有することを第5の特徴とする。
また、本発明は、前記負荷荷重保持手段が、前記中間ステージ一体化構造又は前記一体化構造支持部と前記基台との間に設けられたリニアモータと、前記負荷荷重を保持するように前記リニアモータのトルクを制御するリニアモータ制御部とを有することを第6の特徴とする。
さらに、本発明は、前記負荷荷重保持手段が、前記中間ステージ一体化構造又は前記一体化構造支持部と前記基台との間に設けられ、前記中間ステージ一体化構造を保持するように定張力で押し上げる定張力装置を有することを第7の特徴とする。
また、本発明は、前記荷重緩衝機構は、前記中間ステージの下部側部、又は下部に設けられたことを第8の特徴とする。
従って、本発明によれば、中間ステージにダイを確実に載置し、中間ステージから確実にピックアップできる信頼性の高いダイボンダ又はボンディング方法を提供できる。
本発明の一実施形態であるダイボンダの概略上面図である。 図1において矢印A方向から見たときに、ピックアップヘッド及びボンディングヘッドの動作を説明する図である。 本発明の一実施形態であるダイ供給部の主要部を示す概略断面図である。 本実施形態の特徴である荷重緩衝機構の第1の実施例を示す概略図である。 図4に示す中間ステージ部を矢印Bの方向からみた図である。 本実施形態の特徴である荷重緩衝機構の第2の実施例を示す概略図である。 本実施形態の特徴である荷重緩衝機構の第3の実施例を示す概略図である。 本実施形態の特徴である荷重緩衝機構の第4の実施例を示す概略図である。 実施例1乃至4における実装動作フローを示す図である。
以下本発明の実施形態を図面を用いて説明する。
図1は本発明の一実施形態であるダイボンダ10の概略上面図である。図2は、図1において矢印A方向から見たときに、ピックアップヘッド21及びボンディングヘッド41の動作を説明する図である。
ダイボンダ10は、大別して、基板Pに実装するダイDを供給するダイ供給部1と、ダイ供給部1からダイをピックアップするピックアップ部2と、ピックアップされたダイDを中間的に一度載置する中間ステージ31を有する中間ステージ部3と、中間ステージ部3のダイDをピックアップし、基板P又は既にボンディングされたダイの上にボンディングするボンディング部4と、基板Pを実装位置に搬送する搬送部5、搬送部5に基板Pを供給する基板供給部6Kと、実装された基板Pを受け取る基板搬出部6Hと、各部の動作を監視し制御する制御部7と、を有する。
まず、ダイ供給部1は、ウェハ11を保持するウェハ保持台12とウェハ11からダイDを突き上げる点線で示す突き上げユニット13とを有する。ダイ供給部1は図示しない駆動手段によってXY方向に移動し、ピックアップするダイDを突き上げユニット13の位置に移動させる。
ピックアップ部2は、突き上げユニット13で突き上げられたダイDを先端に吸着保持するコレット22(図2も参照)を有し、ダイDをピックアップし、中間ステージ31に載置するピックアップヘッド21と、ピックアップヘッド21をY方向に移動させるピックアップヘッドのY駆動部23とを有する。ピックアップヘッド21は、コレット22を昇降、回転及びX方向移動させる図示しない各駆動部を有する。
中間ステージ部3は、ダイDを一時的に載置するア中間ステージ31と、中間ステージ31上のダイDを認識する為のステージ認識カメラ32と、後述する本実施形態の特徴を備える荷重緩衝機構8とを有する。
ボンディング部4は、ピックアップヘッドと同じ構造を有し、中間ステージ31からダイDをピックアップし、搬送されてきた基板Pにボンディングするボンディングヘッド41と、ボンディングヘッド41をY方向に移動させるY駆動部43と、搬送されていた基板Pの位置認識マーク(図示せず)を撮像し、ボンディングすべきダイDのボンディング位置を認識する基板認識カメラ44と、を有する。
このような構成によって、ボンディングヘッド41は、ステージ認識カメラ32の撮像データに基づいてピックアップ位置・姿勢を補正し、中間ステージ31からダイDをピックアップし、基板認識カメラ44の撮像データに基づいて基板PにダイDをボンディングする。
搬送部5は、一枚又は複数枚の基板(図1では4枚)を載置した基板搬送パレット51と、基板搬送パレット51が移動するパレットレール52とを具備し、並行して設けられた同一構造の第1、第2搬送部とを有する。基板搬送パレット51は、基板搬送パレット51に設けられた図示しないナットをパレットレール52に沿って設けられた図示しないボールネジで駆動することによって移動する。
このような構成によって、基板搬送パレット51は、基板供給部6Kで基板を載置され、パレットレール52に沿ってボンディング位置まで移動し、ボンディング後基板搬出部6Hまで移動して、基板搬出部6Hに基板Pを渡す。第1、第2搬送部は、互いに独立して駆動され、一方の基板搬送パレット51に載置された基板PにダイDをボンディング中に、他方の基板搬送パレット51は、基板Pを搬出し、基板供給部6Kに戻り、新たな基板Pを載置するなどの準備を行なう。
図3は、ダイ供給部1の主要部を示す概略断面図である。図3に示すように、ダイ供給部1はウエハリング14を保持するエキスパンドリング15と、ウエハリング14に保持され複数のダイDが粘着されたダイシングテープ16を水平に位置決めする支持リング17と、支持リング17の内側に配置されダイDを上方に突き上げるための突き上げユニット13とを有する。突き上げユニット13は、図示しない駆動機構によって、上下方向に移動するようになっており、水平方向にはダイ供給部1が移動するようになっている。
ダイ供給部1は、ダイDの突き上げ時に、ウエハリング14を保持しているエキスパンドリング15を下降させる。その結果、ウエハリング14に保持されているダイシングテープ16が引き伸ばされダイDの間隔が広がり、突き上げユニット13によりダイ下方よりダイDを突き上げ、ダイDのピックアップ性を向上させている。なお、薄型化に伴い接着剤は液状からフィルム状となり、ウェハとダイシングテープ16との間にダイアタッチフィルムDAFと呼ばれるフィルム状の粘着材料を貼り付けている。ダイアタッチフィルムDAFを有するウェハでは、ダイシングはウェハとダイアタッチフィルムDAFに対して行なわれる。
従って、ウェハからダイDをピックアップするときは、ダイDとダイシングテープ16と共に、ウェハと粘着していたダイアタッチフィルムDAFが剥離される。このダイアタッチフィルムDAFが既に説明した課題をもたらす。
そこで、本実施形態では、中間ステージ31と一体に動く中間ステージ一体化構造の負荷荷重を保持し、ピックアップヘッド21でダイDを中間ステージ31に載置するときに、中間ステージ、即ちダイアタッチフィルムDAF及びダイDに所定以上の荷重がかからないように、荷重を逃がす荷重緩衝機構8を中間ステージ部3に設ける。
(実施例1)
図4は、本実施形態の特徴である荷重緩衝機構8の第1の実施例8Aを示す概略図である。図5は、図4に示す中間ステージ部3を矢印Bの方向からみた図である。
中間ステージ部3は、図1、図2に示した中間ステージ31及びステージ認識カメラ32のほか、実施例1の荷重緩衝機構8Aと、ダイDを中間ステージ31に保持する吸着機構33とを有する。
荷重緩衝機構8Aは、中間ステージ31と一体に昇降する中間ステージ一体化構造の負荷荷重を保持する負荷荷重保持手段81の実施例1であるエアシリンダ保持手段81Aと、エアシリンダ保持手段81Aを構成するエアシリンダ81eの両側に設けられ、中間ステージ31が直線動作をするようにガイドする直動ガイド82と、ダイボンダ10の固定枠に固定された基台85と、中間ステージ一体化構造を支持し、負荷荷重保持手段81Aの動作を中間ステージ31に伝達する一体化構造支持部86とを有する。
エアシリンダ保持手段81Aは、基台85と一体化構造支持部86との間に設けられ、シリンダロッド81rを備えるエアシリンダ81eと、エアシリンダ81eにエアを供給するエア供給源83と、中間ステージ一体化構造を保持するようにエアシリンダ81eへのエア圧力を制御するエア供給用レギュレータ84と有する。
直動ガイド82は、中間ステージ31に固定されたスライダ82sと、スライダがスライドするリ二アガイド82gとを有する。
吸着機構33は、中間ステージ31に設けられた複数の吸着孔33h、吸着孔33hのエアを吸引する吸引する吸引源33gと、吸引源33gと吸着孔33hとを連結する連結部33rと、各吸着孔33hからエアを連結部33rに集約する集約部33sとを有する。
本実施例1では、集約部33sが中間ステージ31の下面前面に亘って設けられているために、荷重緩衝機構8Aを中間ステージ31の下部からずれた下部側部に設けている。しかし、集約部33sにスライダ82sやエアシリンダ81eのシリンダロッド81rを貫通させる孔を設けることで中間ステージ31の下面側を支持する、または吸着機構33を直接支持することにより、荷重緩衝機構8Aを中間ステージ31の下部に設けることも可能である。この場合は、中間ステージ31又は吸着機構33を直接支持することで一体化構造支持部86を設けなくてもよい。
このような構成によって、ピックアップヘッド21によりダイDを中間ステージ31に載置する際に、中間ステージ31にかかる荷重が所定荷重以上になったときに、エア供給用レギュレータ84によって一定荷重の保持された中間ステージ31が下降する。この結果、ダイアタッチフィルムDAF及びダイDにかかる荷重が所定荷重以上にならないように回避できる。
上記に説明した実施例1によれば、荷重緩衝機構8Aを設けることで、中間ステージ31にかかる荷重により、ダイアタッチフィルムDAFが硬化してダイアタッチフィルムDAFが中間ステージ31に貼り付くのを防止し、ダイDにダメージを与えないようにできる。
従って、前記所定荷重は、ダイアタッチフィルムDAFが硬化しない荷重、ダイDにダメージを与えない荷重のうち小さい方の荷重に設定される。例えば、前記所定荷重の値としては、0.2Nが挙げられる。
荷重緩衝機構8Aが前記所定荷重に反応して中間ステージ31が下降する必要がある。そのために、中間ステージ31が下降する際の移動抵抗力が、前記所定荷重以下になるようにする必要がある。例えば、荷重保持用のエアシリンダ81eのシリンダロッド81rとシリンダロッドシール部分の摩擦抵抗及び直動ガイド82の移動抵抗の合計が、前記所定荷重、例えば0.2N未満になるように構成する。直動ガイド82の移動抵抗が無視できるのであれば、シリンダロッド81rとシリンダロッドシール部分の摩擦抵抗が前記所定荷重未満になるように構成する。
また、エア供給用レギュレータ84は、移動抵抗未満の最低制御圧力性能を有することが必要である。
(実施例2)
図6は、本実施形態の特徴である荷重緩衝機構8の第2の実施例8Bを示す概略図であり、実施例1の図4に対応する図である。実施例2の荷重緩衝機構8Bの実施例1と異なる点は、負荷荷重保持手段81としてシリンダの替わりに所謂リニアモータ81Bを用い、該リニアモータを中間ステージ31と一体に動く部分の負荷荷重を保持するようにトルク制御する点である。その他の点は、実施例1と同様である。トルク制御は、実施例では、図1に示す制御部7で行われる。
リニアモータ81Bは、一体化構造支持部86に固定され、筒状の外表面に可動子を備える可動子部81sと、基台85に固定され、可動子が移動する孔の表面に固定子を備える固定子部81kとを有する。可動子部81sと固定子部81kの固定は、前述と逆でもよい。
実施例2においても、実施例1と同様な効果を奏することができる。
(実施例3)
図7は、本実施形態の特徴である荷重緩衝機構8の第3の実施例8Cを示す概略図であり、実施例1の図4に対応する図である。実施例3の荷重緩衝機構8Cの実施例1と異なる点は、負荷荷重保持手段81としてシリンダの替わりに定張力装置81Cを用いている点である。その他の点は、実施例1と同様である。
定張力装置81Cは、中間ステージ31、即ち一体化構造支持部86を押し上げて中間ステージ一体構造部を支持する定張力バネ81bを有する。本実施例では2つの定張力バネ81bでロッド81dを押し上げて、中間ステージ一体化構造の負荷荷重を支持するものである。
実施例3においても、実施例1と同様な効果を奏することができる。
実施例1乃至3では直動ガイド82を負荷荷重保持手段81の両側に設けた。しかし、直動ガイド82を片側に設け、負荷荷重保持手段81の一体化構造支持部86の支持面積を拡大することで、或いは両側に設けるだけでなく、直動ガイド82を3箇所以上設けることで中間ステージ31を安定して保持してもよい。
(実施例4)
図8は、本実施形態の特徴である荷重緩衝機構8の第4の実施例8Dを示す概略図であり、実施例1の図4に対応する図である。実施例4の荷重緩衝機構8Dは、実施例1と同様にエアシリンダ保持手段81Aを有する。実施例1と異なる点は、実施例1ではエアシリンダ81eを中心側に設け、その両側に直動ガイド82を設けているのに対し、実施例4では直動ガイドを中心側に設け、その両側にエアシリンダ81eを設けている点である。その他の点は、実施例1と同様である。なお、実施例2又は実施例3においても同様に、直動ガイドを中心側に設け、その両側に負荷荷重保持手段81を設けてもよい。
実施例4においても、実施例1乃至3と同様な効果を奏することができる。
図9は、実施例1乃至4における実装動作フローを示す図である。以下、実装動作フローを図2を参照しながら説明する。
まず、ピックアップヘッド21により、突き上げユニット13により突き上げられたダイDをコレット22で吸着することでピックアップし(ステップ1)、中間ステージ31に載置する(ステップ2)。なお、ピックアップヘッド21はダイDを載置した次のダイをピックアップするために戻る。図2はその状態を示している。
次に、中間ステージ31にダイDを載置したときに、ピックアップヘッド21による載置荷重が実施例1で説明した所定荷重以上かを判断する(ステップ3)。所定荷重以上ならば、載置荷重を低減するように中間ステージ31を下方に退避させ(ステップ4)、次のステップ5に行く。所定荷重未満ならば直接ステップ5に行く。
次に、ステージ認識カメラ32によってダイD及びダイの載置状態を認識する(ステップ5)。ボンディングヘッド41は、前記認識結果に基づいて、位置・姿勢を補正しダイをピックアップする(ステップ6)。次に、ボンディングヘッド41は、ボンディング位置まで移動し、コレット42で吸着したダイDを基板P又は既にボンディングしたダイに対して積層(ボンディング)する(ステップ7)。なお、図2おけるボンディングヘッド41は、ダイDをボンディングした後、次のダイDをピックアップするために中間ステージ31に向うところを示している。
最後に、所定個数のダイDをボンディングしたかを判断し(ステップ8)、ボンディングしていなければステップ1に戻り、ボンディングしていれば処理を終了する。
また、以上説明した実施例1乃至4によれば、ダイDを中間ステージ31に載置するときに、ダイアタッチフィルムDAF及びダイDに所定以上の荷重がかからないように、荷重を逃がす荷重緩衝機構8を中間ステージ部3に設けことで、中間ステージ31から確実にピックアップできる信頼性の高いダイボンダ又はボンディング方法を提供できる。
以上のように本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
1:ダイ供給部 2:ピックアップ部
21:ピックアップヘッド 3:中間ステージ部
31:中間ステージ 32:ステージ認識カメラ
33:吸着機構 4:ボンディング部
41:ボンディングヘッド 7:制御部
8、8A、8B、8C、8D:荷重緩衝機構
81:負荷荷重保持手段 81A:エアシリンダ保持手段
81B:リニアモータ 81C:定張力装置
82:直動ガイド 85:基台
86:一体化構造支持部 10:ダイボンダ
11:ウェハ 13:突き上げユニット
D:ダイ DAF:ダイアタッチフィルム
P:基板

Claims (4)

  1. ウェハがフィルム状の粘着材料で貼付されたダイシングテープを保持するウェハリングを保持するダイ供給部と、
    前記ウェハから前記粘着材料が貼付されたダイをピックアップし中間ステージに前記ダイを載置するピックアップヘッドと、
    前記中間ステージを有する中間ステージ部と、
    前記中間ステージから前記ダイをピックアップし、基板又は既にボンディングされた前記ダイ上にボンディングするボンディングヘッドと、
    前記中間ステージと一体に昇降する中間ステージ一体化構造の負荷荷重を保持し、前記載置時に前記中間ステージに所定以上の荷重がかからないように、前記荷重を逃がす荷重緩衝機構を前記中間ステージ部に設け、
    前記荷重緩衝機構は、
    前記荷重緩衝機構を前記ダイボンダに固定する基台と、
    前記負荷荷重を保持する負荷荷重保持手段と、
    前記中間ステージ一体化構造と前記基台との間に設けられ、前記中間ステージを昇降方向に直線動作させる直動ガイドと、
    を有し、
    前記負荷荷重保持手段は、前記中間ステージ一体化構造と前記基台との間に設けられたエアシリンダと、前記負荷荷重を保持するように前記エアシリンダへのエア圧力を制御するエア供給用レギュレータと、前記エアシリンダにエアを供給するエア供給源とを有することを特徴とするダイボンダ。
  2. ウェハがフィルム状の粘着材料で貼付されたダイシングテープを保持するウェハリングを保持するダイ供給部と、
    前記ウェハから前記粘着材料が貼付されたダイをピックアップし中間ステージに前記ダイを載置するピックアップヘッドと、
    前記中間ステージを有する中間ステージ部と、
    前記中間ステージから前記ダイをピックアップし、基板又は既にボンディングされた前記ダイ上にボンディングするボンディングヘッドと、
    前記中間ステージと一体に昇降する中間ステージ一体化構造の負荷荷重を保持し、前記載置時に前記中間ステージに所定以上の荷重がかからないように、前記荷重を逃がす荷重緩衝機構を前記中間ステージ部に設け、
    前記荷重緩衝機構は、
    前記荷重緩衝機構を前記ダイボンダに固定する基台と、
    前記負荷荷重を保持する負荷荷重保持手段と、
    前記中間ステージ一体化構造と前記基台との間に設けられ、前記中間ステージを昇降方向に直線動作させる直動ガイドと、
    を有し、
    前記中間ステージ一体化構造を支持する一体化構造支持部を有し、
    前記負荷荷重保持手段は、前記一体化構造支持部と前記基台との間に設けられたエアシリンダと、前記負荷荷重を保持するように前記エアシリンダへのエア圧力を制御するエア供給用レギュレータと、前記エアシリンダにエアを供給するエア供給源とを有することを特徴とするダイボンダ。
  3. ウェハがフィルム状の粘着材料で貼付されたダイシングテープを保持するウェハリングを保持するダイ供給部と、
    前記ウェハから前記粘着材料が貼付されたダイをピックアップし中間ステージに前記ダイを載置するピックアップヘッドと、
    前記中間ステージを有する中間ステージ部と、
    前記中間ステージから前記ダイをピックアップし、基板又は既にボンディングされた前記ダイ上にボンディングするボンディングヘッドと、
    前記中間ステージと一体に昇降する中間ステージ一体化構造の負荷荷重を保持し、前記載置時に前記中間ステージに所定以上の荷重がかからないように、前記荷重を逃がす荷重緩衝機構を前記中間ステージ部に設け、
    前記荷重緩衝機構は、
    前記荷重緩衝機構を前記ダイボンダに固定する基台と、
    前記負荷荷重を保持する負荷荷重保持手段と、
    前記中間ステージ一体化構造と前記基台との間に設けられ、前記中間ステージを昇降方向に直線動作させる直動ガイドと、
    を有し、
    前記負荷荷重保持手段は、前記中間ステージ一体化構造と前記基台との間に設けられたリニアモータと、前記負荷荷重を保持するように前記リニアモータのトルクを制御するリニアモータ制御部とを有することを特徴とするダイボンダ。
  4. ウェハがフィルム状の粘着材料で貼付されたダイシングテープを保持するウェハリングを保持するダイ供給部と、
    前記ウェハから前記粘着材料が貼付されたダイをピックアップし中間ステージに前記ダイを載置するピックアップヘッドと、
    前記中間ステージを有する中間ステージ部と、
    前記中間ステージから前記ダイをピックアップし、基板又は既にボンディングされた前記ダイ上にボンディングするボンディングヘッドと、
    前記中間ステージと一体に昇降する中間ステージ一体化構造の負荷荷重を保持し、前記載置時に前記中間ステージに所定以上の荷重がかからないように、前記荷重を逃がす荷重緩衝機構を前記中間ステージ部に設け、
    前記荷重緩衝機構は、
    前記荷重緩衝機構を前記ダイボンダに固定する基台と、
    前記負荷荷重を保持する負荷荷重保持手段と、
    前記中間ステージ一体化構造と前記基台との間に設けられ、前記中間ステージを昇降方向に直線動作させる直動ガイドと、
    を有し、
    前記中間ステージ一体化構造を支持する一体化構造支持部を有し、
    前記負荷荷重保持手段は、前記一体化構造支持部と前記基台との間に設けられたリニアモータと、前記負荷荷重を保持するように前記リニアモータのトルクを制御するリニアモータ制御部とを有することを特徴とするダイボンダ。
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