JP5953069B2 - ダイボンダ - Google Patents
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Description
ボンディング工程を行う方法として、ウェハからピックアップしたダイを一度部品載置テーブル(中間ステージ)に載置し、ボンディングヘッドで部品載置テーブルから再度ダイをピックアップし、搬送されてきた基板にボンディングする方法(特許文献1)がある。
本発明は、ウェハを保持するダイ供給部と、前記ウェハからダイをピックアップし中間ステージに前記ダイを載置するピックアップヘッドと、前記中間ステージを有する中間ステージ部と、前記中間ステージから前記ダイをピックアップし基板又は既にボンディングされた前記ダイ上にボンディングするボンディングヘッドと、前記中間ステージと一体に昇降する中間ステージ一体化構造の負荷荷重を保持し、前記載置時に前記中間ステージに所定以上の荷重がかからないように、前記荷重を逃がす荷重緩衝機構を前記中間ステージ部に設けたことを第1の特徴とする。
さらに、本発明は、前記負荷荷重保持手段が、前記中間ステージ一体化構造又は前記一体化構造支持部と前記基台との間に設けられたエアシリンダと、前記負荷荷重を保持するように前記エアシリンダへのエア圧力を制御するエア供給用レギュレータと、前記エアシリンダにエアを供給するエア供給源とを有することを第5の特徴とする。
また、本発明は、前記荷重緩衝機構は、前記中間ステージの下部側部、又は下部に設けられたことを第8の特徴とする。
ダイボンダ10は、大別して、基板Pに実装するダイDを供給するダイ供給部1と、ダイ供給部1からダイをピックアップするピックアップ部2と、ピックアップされたダイDを中間的に一度載置する中間ステージ31を有する中間ステージ部3と、中間ステージ部3のダイDをピックアップし、基板P又は既にボンディングされたダイの上にボンディングするボンディング部4と、基板Pを実装位置に搬送する搬送部5、搬送部5に基板Pを供給する基板供給部6Kと、実装された基板Pを受け取る基板搬出部6Hと、各部の動作を監視し制御する制御部7と、を有する。
従って、ウェハからダイDをピックアップするときは、ダイDとダイシングテープ16と共に、ウェハと粘着していたダイアタッチフィルムDAFが剥離される。このダイアタッチフィルムDAFが既に説明した課題をもたらす。
図4は、本実施形態の特徴である荷重緩衝機構8の第1の実施例8Aを示す概略図である。図5は、図4に示す中間ステージ部3を矢印Bの方向からみた図である。
中間ステージ部3は、図1、図2に示した中間ステージ31及びステージ認識カメラ32のほか、実施例1の荷重緩衝機構8Aと、ダイDを中間ステージ31に保持する吸着機構33とを有する。
直動ガイド82は、中間ステージ31に固定されたスライダ82sと、スライダがスライドするリ二アガイド82gとを有する。
また、エア供給用レギュレータ84は、移動抵抗未満の最低制御圧力性能を有することが必要である。
図6は、本実施形態の特徴である荷重緩衝機構8の第2の実施例8Bを示す概略図であり、実施例1の図4に対応する図である。実施例2の荷重緩衝機構8Bの実施例1と異なる点は、負荷荷重保持手段81としてシリンダの替わりに所謂リニアモータ81Bを用い、該リニアモータを中間ステージ31と一体に動く部分の負荷荷重を保持するようにトルク制御する点である。その他の点は、実施例1と同様である。トルク制御は、実施例では、図1に示す制御部7で行われる。
図7は、本実施形態の特徴である荷重緩衝機構8の第3の実施例8Cを示す概略図であり、実施例1の図4に対応する図である。実施例3の荷重緩衝機構8Cの実施例1と異なる点は、負荷荷重保持手段81としてシリンダの替わりに定張力装置81Cを用いている点である。その他の点は、実施例1と同様である。
図8は、本実施形態の特徴である荷重緩衝機構8の第4の実施例8Dを示す概略図であり、実施例1の図4に対応する図である。実施例4の荷重緩衝機構8Dは、実施例1と同様にエアシリンダ保持手段81Aを有する。実施例1と異なる点は、実施例1ではエアシリンダ81eを中心側に設け、その両側に直動ガイド82を設けているのに対し、実施例4では直動ガイドを中心側に設け、その両側にエアシリンダ81eを設けている点である。その他の点は、実施例1と同様である。なお、実施例2又は実施例3においても同様に、直動ガイドを中心側に設け、その両側に負荷荷重保持手段81を設けてもよい。
まず、ピックアップヘッド21により、突き上げユニット13により突き上げられたダイDをコレット22で吸着することでピックアップし(ステップ1)、中間ステージ31に載置する(ステップ2)。なお、ピックアップヘッド21はダイDを載置した次のダイをピックアップするために戻る。図2はその状態を示している。
21:ピックアップヘッド 3:中間ステージ部
31:中間ステージ 32:ステージ認識カメラ
33:吸着機構 4:ボンディング部
41:ボンディングヘッド 7:制御部
8、8A、8B、8C、8D:荷重緩衝機構
81:負荷荷重保持手段 81A:エアシリンダ保持手段
81B:リニアモータ 81C:定張力装置
82:直動ガイド 85:基台
86:一体化構造支持部 10:ダイボンダ
11:ウェハ 13:突き上げユニット
D:ダイ DAF:ダイアタッチフィルム
P:基板
Claims (4)
- ウェハがフィルム状の粘着材料で貼付されたダイシングテープを保持するウェハリングを保持するダイ供給部と、
前記ウェハから前記粘着材料が貼付されたダイをピックアップし中間ステージに前記ダイを載置するピックアップヘッドと、
前記中間ステージを有する中間ステージ部と、
前記中間ステージから前記ダイをピックアップし、基板又は既にボンディングされた前記ダイ上にボンディングするボンディングヘッドと、
前記中間ステージと一体に昇降する中間ステージ一体化構造の負荷荷重を保持し、前記載置時に前記中間ステージに所定以上の荷重がかからないように、前記荷重を逃がす荷重緩衝機構を前記中間ステージ部に設け、
前記荷重緩衝機構は、
前記荷重緩衝機構を前記ダイボンダに固定する基台と、
前記負荷荷重を保持する負荷荷重保持手段と、
前記中間ステージ一体化構造と前記基台との間に設けられ、前記中間ステージを昇降方向に直線動作させる直動ガイドと、
を有し、
前記負荷荷重保持手段は、前記中間ステージ一体化構造と前記基台との間に設けられたエアシリンダと、前記負荷荷重を保持するように前記エアシリンダへのエア圧力を制御するエア供給用レギュレータと、前記エアシリンダにエアを供給するエア供給源とを有することを特徴とするダイボンダ。 - ウェハがフィルム状の粘着材料で貼付されたダイシングテープを保持するウェハリングを保持するダイ供給部と、
前記ウェハから前記粘着材料が貼付されたダイをピックアップし中間ステージに前記ダイを載置するピックアップヘッドと、
前記中間ステージを有する中間ステージ部と、
前記中間ステージから前記ダイをピックアップし、基板又は既にボンディングされた前記ダイ上にボンディングするボンディングヘッドと、
前記中間ステージと一体に昇降する中間ステージ一体化構造の負荷荷重を保持し、前記載置時に前記中間ステージに所定以上の荷重がかからないように、前記荷重を逃がす荷重緩衝機構を前記中間ステージ部に設け、
前記荷重緩衝機構は、
前記荷重緩衝機構を前記ダイボンダに固定する基台と、
前記負荷荷重を保持する負荷荷重保持手段と、
前記中間ステージ一体化構造と前記基台との間に設けられ、前記中間ステージを昇降方向に直線動作させる直動ガイドと、
を有し、
前記中間ステージ一体化構造を支持する一体化構造支持部を有し、
前記負荷荷重保持手段は、前記一体化構造支持部と前記基台との間に設けられたエアシリンダと、前記負荷荷重を保持するように前記エアシリンダへのエア圧力を制御するエア供給用レギュレータと、前記エアシリンダにエアを供給するエア供給源とを有することを特徴とするダイボンダ。 - ウェハがフィルム状の粘着材料で貼付されたダイシングテープを保持するウェハリングを保持するダイ供給部と、
前記ウェハから前記粘着材料が貼付されたダイをピックアップし中間ステージに前記ダイを載置するピックアップヘッドと、
前記中間ステージを有する中間ステージ部と、
前記中間ステージから前記ダイをピックアップし、基板又は既にボンディングされた前記ダイ上にボンディングするボンディングヘッドと、
前記中間ステージと一体に昇降する中間ステージ一体化構造の負荷荷重を保持し、前記載置時に前記中間ステージに所定以上の荷重がかからないように、前記荷重を逃がす荷重緩衝機構を前記中間ステージ部に設け、
前記荷重緩衝機構は、
前記荷重緩衝機構を前記ダイボンダに固定する基台と、
前記負荷荷重を保持する負荷荷重保持手段と、
前記中間ステージ一体化構造と前記基台との間に設けられ、前記中間ステージを昇降方向に直線動作させる直動ガイドと、
を有し、
前記負荷荷重保持手段は、前記中間ステージ一体化構造と前記基台との間に設けられたリニアモータと、前記負荷荷重を保持するように前記リニアモータのトルクを制御するリニアモータ制御部とを有することを特徴とするダイボンダ。 - ウェハがフィルム状の粘着材料で貼付されたダイシングテープを保持するウェハリングを保持するダイ供給部と、
前記ウェハから前記粘着材料が貼付されたダイをピックアップし中間ステージに前記ダイを載置するピックアップヘッドと、
前記中間ステージを有する中間ステージ部と、
前記中間ステージから前記ダイをピックアップし、基板又は既にボンディングされた前記ダイ上にボンディングするボンディングヘッドと、
前記中間ステージと一体に昇降する中間ステージ一体化構造の負荷荷重を保持し、前記載置時に前記中間ステージに所定以上の荷重がかからないように、前記荷重を逃がす荷重緩衝機構を前記中間ステージ部に設け、
前記荷重緩衝機構は、
前記荷重緩衝機構を前記ダイボンダに固定する基台と、
前記負荷荷重を保持する負荷荷重保持手段と、
前記中間ステージ一体化構造と前記基台との間に設けられ、前記中間ステージを昇降方向に直線動作させる直動ガイドと、
を有し、
前記中間ステージ一体化構造を支持する一体化構造支持部を有し、
前記負荷荷重保持手段は、前記一体化構造支持部と前記基台との間に設けられたリニアモータと、前記負荷荷重を保持するように前記リニアモータのトルクを制御するリニアモータ制御部とを有することを特徴とするダイボンダ。
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