JP5952526B2 - ワーク搬送システム - Google Patents

Description

本発明は、半導体製造等においてウエハ等の薄板状のワークを搬送するためのワーク搬送システムに関し、より詳しくは、ワーク搬送装置が配置される搬送室と、この搬送室に隣接して設けられるロードポートとを備えたワーク搬送システムに関する。

半導体製造等の分野において、ウエハ等のワークを搬送する際にワーク搬送用のロボット（ワーク搬送装置）が用いられており、たとえば、ワーク搬送装置が配置される搬送室を備えたワーク搬送システムが知られている（たとえば特許文献１を参照）。

図６は、従来のワーク搬送システムの一例を示す。同図に示されたワーク搬送システムＢは、搬送室９１と、２つのロードポート９２と、ワーク処理室９３と、ワーク搬送装置９４とを備えている。搬送室９１は、たとえば所定の内部空間を有する略直方体形状とされており、この搬送室９１内にワーク搬送装置９４が配置される。ロードポート９２は、搬送室９１に隣接して設けられており、たとえば搬送室９１の側壁部９１ａに支持されている。このロードポート９２には、たとえば複数のワークＷを収納したカセット９２１（容器）が載置される。ワーク処理室９３は、搬送室９１に対してロードポート９２とは反対側に隣接して設けられている。ワーク処理室９３においては、加熱処理、加工処理、あるいは検査処理などの処理がワークＷに対してなされる。ワーク搬送装置９４は、たとえば２段のアーム９４２，９４３およびワーク保持用のハンド９４４が互いに水平面内で回動自在に連結された水平多関節ロボットにより構成される。ワーク搬送装置９４においては、２段のアーム９４２，９４３、およびハンド９４４の動作を適宜制御することにより、すべてのロードポート９２およびワーク処理室９３に対して、ワークＷの搬出入が可能とされている。

上記構成のワーク搬送システムＢにおいて、搬送室９１は、据付時の作業性や設計の自由度などを考慮して、たとえば、安価で軽量なアルミ引き抜き材（アルミプロファイル）を用いた骨組み構造を有しており、ワーク搬送装置９４は、搬送室９１の底面に載置固定される。

ワーク搬送装置９４によるワーク搬送において、搬送対象物であるワークＷは大型化する傾向にある。たとえば半導体製造において、ウエハ（ワークＷ）のサイズは直径３００ｍｍを超えて大型化することが予想される。このようなワークＷの大型化は、ワークＷの高さ方向および水平方向における搬送距離を増大させる。

その一方、ワークＷを搬送するための所要時間は、生産性低下を防止する観点から延長することができず、ワークＷが大きくなっても同程度もしくはそれ以下に保つ必要がある。したがって、ワークＷが大きくなると、アーム９４２，９４３およびハンド９４４の回動動作を相対的に高速で行う必要があり、結果として、ワーク搬送の際の速度や加減速度も増大することになる。

また、ワーク搬送装置９４におけるワーク搬送においては、各部（アーム９４２，９４３およびハンド９４４）の速度変化に伴う慣性力によって、振動が発生する。そして、上記したようなワークの大型化に伴ってワーク搬送時の速度や加減速度が増大すると、このワーク搬送装置９４において生ずる振動も増大する。特に、搬送室９１がたとえば上述したように軽量なアルミプロファイルで構成されている場合、搬送室９１に撓みや歪みが生じやすく、ワーク搬送装置９４において振動が生ずると、その振動に起因して搬送室９１が振動する。搬送室９１が振動すると、この搬送室９１に支持されるロードポート９２およびワーク搬送装置９４も振動する。また、搬送室９１、ロードポート９２、およびワーク搬送装置９４における振動については、それぞれの振動状態が異なるので、ワーク搬送システムＢ全体として振動が増大したり、振動減衰の遅延が生じる場合もある。

ロードポート９２に載置されるカセット９２１においては、たとえば多数のワークＷが、数ｍｍ程度の間隔を隔てて積み重なるように保持されており、ロードポート９２側でのワークＷの受け渡しを適切に行うためには、ワーク搬送を比較的に高精度で行うことが求められる。しかしながら、高速でワーク搬送を行うと、搬送室９１、ロードポート９２およびワーク搬送装置９４（ワーク搬送システムＢ）の振動も大きくなるため、ワーク搬送を高精度で行うことは困難であった。また、ワーク搬送システムＢの振動が大きくなると、当該ワーク搬送システムＢの各種の締結部等の緩みやコネクタの接触不良なども発生しやすくなる。このように、ワーク搬送装置９４の動作に起因した振動により、種々の不都合が生じ得た。

特開２００３−１８８２３１号公報

本発明は、このような事情のもとで考え出されたものであって、ワーク搬送装置が配置される搬送室と、この搬送室に隣接して設けられるロードポートとを備えたワーク搬送システムにおいて、ワーク搬送時の振動を抑制するのに適したワーク搬送システムを提供することを課題としている。

上記の課題を解決するため、本発明では、次の技術的手段を採用した。

本発明によって提供されるワーク搬送システムは、ワーク搬送装置が配置される搬送室と、この搬送室に隣接して設けられ、ワーク収納用の容器が載置されるロードポートと、を備えたワーク搬送システムであって、上記搬送室は、鋼材により構成されるフレーム構造体と、上記フレーム構造体の周縁部に取り付けられ、上記フレーム構造体と協働して内部空間を形成するカバー体と、を含み、上記フレーム構造体は、床面に設置され、上記ワーク搬送装置が載置される第１フレーム部材と、この第１フレーム部材に対して起立状に設けられ、上記ロードポートを支持する第２フレーム部材と、を備え、上記第２フレーム部材の上端部と、上記第１フレーム部材における上記第２フレーム部材から離間する端部とは、連結手段により連結され、かつ、当該連結手段は、上方に向かうにつれて上記第２フレーム部材に近づくように斜めに延びるフレーム体と、上記ワーク搬送装置から伝わる振動を抑制するための制振機構と、を備え、上記カバー体は、上記フレーム構造体よりも軽量な材料で構成され、かつ、上記フレーム構造体における上記第２フレーム部材の周縁部に対して弾性部材を介して取り付けられており、上記第２フレーム部材は、一対の縦フレームと、当該一対の縦フレームの上端どうしをつなぐ横フレームを有する矩形枠状とされており、上記弾性部材は、上記一対の縦フレームおよび上記横フレームに沿って設けられ、上記フレーム体は、水平面に対する傾斜角度が相対的に大きい下側部分と、上記下側部分よりも上方に位置し、水平面に対する傾斜角度が相対的に小さい上側部分と、を有し、上記下側部分と上記上側部分との間に上記制振機構が介在することを特徴としている。

好ましい実施の形態においては、上記第１フレーム部材と上記第２フレーム部材とは、リブを介して接合されている。

好ましい実施の形態においては、上記第１フレーム部材は、床面を構成するコンクリート層に対して結合手段により固定される。

本発明に係るワーク搬送システムにおいて、ワーク搬送装置が載置されるフレーム構造体は、鋼材によって構成されている。このため、フレーム構造体は、比較的に比重が大きく、かつ剛性が高い。これにより、ワーク搬送装置によるワーク搬送の際に当該ワーク搬送装置において振動が生じても、フレーム構造体における振動を抑制することができる。そして、このフレーム構造体の第２フレーム部材に支持されたロードポートについても、振動を抑制することができる。したがって、上記構成のワーク搬送システムによれば、搬送室（フレーム構造体）、ロードポートおよびワーク搬送装置の振動を抑制することができる。その結果、たとえばワークの大型化にともなって高速でのワーク搬送が要求される場合においても、高精度でワーク搬送を行うことが可能となる。

本発明のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。

本発明に係るワーク搬送システムの全体構成を示す平面図である。 ワーク搬送装置の側面図である。 図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う要部断面図である。 搬送室の分解斜視図である。 フレーム構造体の床面に対する取付構造を示す斜視図である。 従来のワーク搬送システムの一例を示す平面図である。

以下、本発明の好ましい実施形態につき、図面を参照しつつ具体的に説明する。

図１は、本発明に係るワーク搬送システムの一例を示している。本実施形態のワーク搬送システムＡは、搬送室１と、３つのロードポート２と、ワーク処理室３と、２台のワーク搬送装置４と、を備え、たとえばウエハ等の薄板状のワークＷの搬送を行うように構成されたものである。

搬送室１は、所定の内部空間を有する概略直方体形状とされており、この搬送室１内にワーク搬送装置４が配置される。図３および図４に表れているように、搬送室１は、フレーム構造体１Ａと、カバー体１Ｂとを含んで構成されている。フレーム構造体１Ａは、搬送室１の骨組み構造を担うものであり、床面に設置される第１フレーム部材１１と、この第１フレーム部材１１に対して起立状に設けられた第２フレーム部材１２とを備えている。第１および第２フレーム部材１１，１２は、たとえば比較的に比重の大きい鋼材により構成されている。第１および第２フレーム部材１１，１２は、たとえば形鋼や鋼板を組み合わせて構成することができる。

第１フレーム部材１１は、搬送室１の底面を担う部分であり、後述するロードポート２が並ぶ方向Ｘ１−Ｘ２に長手状とされている。この第１フレーム部材１１に対して、方向Ｘ１−Ｘ２に離間して２つのワーク搬送装置４が載置固定されている。第１フレーム部材１１において、ワーク搬送装置４が載置される箇所より方向Ｘ１−Ｘ２の両端寄りには、切欠き１１ａが設けられており、また、２つのワーク搬送装置４間には、開口１１ｂが形成されている。第１フレーム部材１１は、たとえば１つの鋼材から形成してもよいが、複数の鋼材をボルト締結や溶接などの適宜手段により接合して形成することもできる。

第２フレーム部材１２は、ロードポート２を支持する部分であり、平面視において方向Ｘ１−Ｘ２と直交する方向Ｙ１−Ｙ２の端部において直立している。第２フレーム部材１２は、ロードポート２の配置に対応した３つの開口１２ａを有し、より詳細には、方向Ｘ１−Ｘ２の両端部および隣接する開口１２ａ，１２ａ間に配され、上下に延びる４本の縦フレーム１２１と、上下両端部に配され、方向Ｘ１−Ｘ２に延びる２本の横フレーム１２２と、を備えた概略枠状とされている。第２フレーム部材１２は、たとえば、複数の鋼材をボルト締結や溶接などの適宜手段により接合して形成される。

第１および第２フレーム部材１１，１２は、複数のリブ１３を介して接合されている。本実施形態では、リブ１３は、第２フレーム部材１２の縦フレーム１２１に対応した４箇所に設けられており、第１フレーム部材１１の方向Ｙ１−Ｙ２における端部ないし中間部と、第２フレーム部材１２の縦フレーム１２１の下端部ないし中間部とに接合している。各リブ１３の端面１３ａは、図３に表れているように、側面視において、第２フレーム部材１２から遠ざかるにつれて下方に変位する傾斜状とされている。第１および第２フレーム部材１１，１２、ならびに複数のリブ１３における相互間の接合については、溶接やボルト締結などの適宜手段を採用することができる。

本実施形態において、第１フレーム部材１１と第２フレーム部材１２とは、連結手段５により連結されている。連結手段５は、たとえば、方向Ｘ１−Ｘ２における両端部付近の２箇所に設けられ、鋼材などの剛性の高い材料からなるフレーム体５１と、フレーム体５１の中間に設けられる制振機構５２（図中においてクロスハッチングで表す）とを備えて構成される。フレーム体５１の一方の端部は第１フレーム部材１１における第２フレーム部材１２から離間する端部に取り付けられ、フレーム体５１の他方の端部は第２フレーム部材１２の上端部に取り付けられる。

制振機構５２は、後述するワーク搬送装置４から伝わる振動を抑制するためものである。詳細な図示説明は省略するが、制振機構５２は、たとえば弾性部材を有するダンパもしくはリンク部材を有するスタビライザなどを備えて構成される。なお、連結手段５は、上記した制振機構５２を具備しない構成としてもよく、たとえば連結手段５全体を剛性の高いフレーム体によって構成してもよい。

カバー体１Ｂは、フレーム構造体１Ａと協働して搬送室１の内部空間を形成するものであり、フレーム構造体１Ａに取り付けられている。カバー体１Ｂは、フレーム構造体１Ａよりも軽量な材料によって構成されており、詳細な図示は省略するが、たとえばアルミプロファイル材からなる骨組み構造と、この骨組み構造を覆う薄板パネルとを備える。図１および図３に表れているように、カバー体１Ｂは、たとえば、フレーム構造体１Ａの周縁部に対して、たとえばゴムなどを用いて構成された弾性部材１Ｃを介して取り付けられている。

ロードポート２は、搬送室１に隣接して設けられており、ワーク収納用のカセット２１を載置するためのものである。ロードポート２は、たとえば、フレーム構造体１Ａの縦フレーム１２１（第２フレーム部材１２）に対してボルト締結などの適宜手段によって取り付けられている。ロードポート２に載置されるカセット２１は、複数のワークＷを積層状に保持可能なホルダ（図示略）を有する。なお、ロードポート２における搬送室１側の端部には、カセット２１と搬送室１（第２フレーム部材１２の開口１２ａ）との間を開状態あるいは閉状態に切り替えるシャッタ（図示略）が設けられている。

ワーク処理室３は、加熱処理、加工処理あるいは検査処理などの処理をワークＷに対して行うためのものである。ワーク処理室３は、搬送室１に対して、ロードポート２とは反対側に隣接して設けられている。ワーク処理室３は、方向Ｘ１−Ｘ２における中央位置に設けられている。なお、ワーク処理室３と搬送室１（カバー体１Ｂ）との間には、開閉式のシャッタ（図示略）が設けられる。

ワーク搬送装置４は、ロードポート２とワーク処理室３との間でワークＷの搬送を行うためのものであり、搬送室１内に配置されている。図２、図３に表れているように、ワーク搬送装置４は、搬送室１のフレーム構造体１Ａの第１フレーム部材１１に対して固定される固定ベース４０と、昇降ベース４１と、長手状の下段アーム４２および上段アーム４３と、ハンド４４とを備えている。

昇降ベース４１は、固定ベース４０に支持されており、図示しない昇降駆動機構によって昇降可能とされている。下段アーム４２は、昇降ベース４１に対して垂直軸Ｏ１を中心として回動可能に基端が支持されており、図示しない下段アーム駆動機構によって垂直軸Ｏ１周りに回動させられる。上段アーム４３は、下段アーム４２の先端に対して垂直軸Ｏ２を中心として回動可能に基端が支持されており、図示しない上段アーム駆動機構によって垂直軸Ｏ２周りに回動させられる。ハンド４４は、先端部が二股のフォーク状とされており、上段アーム４３の先端に対して垂直軸Ｏ３を中心として回動可能に基端が支持されている。ハンド４４は、図示しないハンド駆動機構によって垂直軸Ｏ３周りに回動させられる。なお、ワーク搬送装置４は、たとえば、真空吸引力を利用してワークＷを吸着保持するための図示しないワーク保持機構を備えている。また、固定ベース４０の下部側面には、上記各駆動機構やワーク保持機構に対する給電や制御信号の伝送を行うためのコネクタ（図示略）が設けられている。

昇降ベース４１、アーム４２，４３、およびハンド４４の支持構造、ならびに昇降駆動機構、各アーム駆動機構、ハンド駆動機構、およびワーク保持機構については、詳細な図示説明は省略したが、たとえば特開２００３−１８８２３１号公報記載の構造と同様の構造によって実現することができる。

２台のワーク搬送装置４は、それぞれ、図示しないコントローラによって制御される。各ワーク搬送装置４においては、下段アーム駆動機構、上段アーム駆動機構、およびハンド駆動機構の動作を独立して制御することが可能であり、下段アーム４２、上段アーム４３、およびハンド４４を垂直軸Ｏ１，Ｏ２，Ｏ３周りに回動させることができる。したがって、下段アーム４２、上段アーム４３、およびハンド４４のそれぞれの回動を適宜制御することにより、これらが垂直軸Ｏ１，Ｏ２，Ｏ３周りに回動し得る範囲でハンド４４を所望の位置に移動させることができる。また、昇降駆動機構を適宜制御することにより、ハンド４４を所定範囲内で所望の高さに上下移動させることができる。そして、ワーク搬送装置４の各駆動機構を制御することにより、ハンド４４をロードポート２上のカセット２１、あるいはワーク処理室３に進入させて、これらカセット２１およびワーク処理室３に対してワークＷを搬出入することができる。なお、カセット２１あるいはワーク処理室３でのワークＷの受け渡しは、昇降ベース４１を適宜昇降させ、ハンド４４を上下動させることにより行う。

なお、固定ベース４０と昇降ベース４１との間、昇降ベース４１と下段アーム４２との間、下段アーム４２と上段アーム４３との間、および上段アーム４３とハンド４４との間には、それぞれ、図示しないシール部材が介装される。これにより、ワーク搬送装置４の内部空間は外部に対して気密シールされ、たとえばワーク搬送装置４内部のパーティクルが搬送室１へ拡散することは防止される。

図１に表れているように、上記構成の２台のワーク搬送装置４は、ワーク搬送時に相互の干渉を防止しうる程度に離間させられ、たとえば搬送室１の方向Ｘ１−Ｘ２における中央位置から互いに同じ距離の位置に配置されている。

本実施形態のワーク搬送システムＡは、クリーン環境下で使用される。図３に表れているように、たとえば搬送室１（カバー体１Ｂ）の上部には、清浄空気を搬送室１内に供給するためのファンフィルタユニット１Ｄが設けられている。ワーク搬送システムＡが設置される半導体製造設備の建物の床面６には、多数の貫通孔６１ａが形成された通気床６１が設けられている。通気床６１は、搬送室１の下方に設けられており、また、通気床６１の下方にはダクト６２が設けられている。ファンフィルタユニット１Ｄから清浄空気が供給されると、搬送室１内ではダウンフローが生じ、搬送室１内の空気は、第１フレーム部材１１の切欠き１１ａや開口１１ｂ、通気床６１、およびダクト６２を通じて外部に排出される。このような構成により、搬送室１の内部空間はクリーン環境に維持される。

上記構成の搬送室１は、ボルト締結などの結合手段７によって設置される建物に固定されている。具体的には、たとえば、建物の床面６はコンクリート層によって構成されており、図３および図５に表れているように、当該コンクリート層の適所には搬送室１を支持するための支持部６３が形成されている。結合手段７は、たとえば引張ボルト７１および圧縮ボルト７２を備えて構成される。支持部６３は、周囲の通気床６１よりも隆起しており、この支持部６３に対して、フレーム構造体１Ａの第１フレーム部材１１が引張ボルト７１および圧縮ボルト７２を介して固定される。このような構成により、第１フレーム部材１１および支持部６３は、これらの間に隙間を有する状態で高さ調整自在に結合されており、搬送室１のレベル調整が可能となっている。

本実施形態のワーク搬送システムＡにおいて、ワーク搬送装置１が載置されるフレーム構造体１Ａ（第１フレーム部材１１）は、鋼材によって構成されている。このため、フレーム構造体１Ａは、比較的に比重が大きく、かつ剛性が高い。これにより、ワーク搬送装置４によるワーク搬送の際に当該ワーク搬送装置４において振動が生じても、フレーム構造体１Ａにおける振動を抑制することができる。そして、このフレーム構造体１Ａの第２フレーム部材１２に支持されたロードポート２についても、振動を抑制することができる。したがって、上記構成のワーク搬送システムＡによれば、搬送室１（フレーム構造体１Ａ）、ロードポート２およびワーク搬送装置４の振動を抑制することができる。その結果、たとえばワークＷの大型化にともなって高速でのワーク搬送が要求される場合においても、高精度でワーク搬送を行うことが可能となる。

搬送室１を構成するフレーム構造体１Ａは、ワーク搬送装置４が載置される第１フレーム部材１１と、ロードポート２を支持する第２フレーム部材１２とによって構成されている。フレーム構造体１Ａの構成材料である鋼材は比較的に材料費が高いところ、上記構成によれば、フレーム構造体１Ａの占める範囲を必要最小限に抑えることができ、搬送室１の作製コストの上昇を防止することができる。

フレーム構造体１Ａの第１および第２フレーム部材１１，１２は、リブ１３を介して溶接接合されている。このような構成によれば、フレーム構造体１Ａの剛性をより高めることができ、フレーム構造体１Ａ、ロードポート２およびワーク搬送装置４の振動を抑制するうえで好適である。

フレーム構造体１Ａにおいて、第１および第２フレーム部材１１，１２の端部どうしは、連結手段５によって連結されている。このよう連結手段５による第１および第２フレーム部材１１，１２の連結構造によれば、フレーム構造体１Ａの剛性を高めるのに適している。また、連結手段５は制振機構５２を備えるため、フレーム構造体１Ａは、振動吸収能力により優れている。このような連結手段５を具備する構成は、フレーム構造体１Ａの振動抑制に資する。

フレーム構造体１Ａは、建物の床面６を構成するコンクリート層（支持部６３）に対して、ボルト締結などの結合手段７により結合されている。本実施形態のワーク搬送システムＡはクリーン環境下で使用され、搬送室１の直下には通気床６１が設けられるが、フレーム構造体１Ａは、通気床６１との間に隙間を確保しつつコンクリート層に対して強固に結合される。したがって、上記構成によれば、搬送室１の内部空間をクリーン環境に維持しつつ、ワーク搬送システムＡが設置される建物を振動吸収の重量物として利用することができる。このことは、フレーム構造体１Ａの振動抑制に資する。

搬送室１を構成するカバー体１Ｂは、軽量な材料で構成されるとともに、弾性部材１Ｃを介してフレーム構造体１Ａの周縁部に取り付けられている。このような構成によれば、たとえば搬送室１（カバー体１Ｂ）に隣接して設けられるワーク処理室３における処理によって振動が発生しても、当該振動は弾性部材１Ｃによって吸収される。したがって、ワーク処理室３側からの振動の影響を減らすことができ、搬送室１（カバー体１Ｂ）の軽量化および作製コストの削減を図ることができる。

以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明の技術的範囲は上記した実施形態に限定されるものではない。本発明に係るワーク搬送システムおよび搬送室用フレーム構造体の各部の具体的な構成は、発明の思想から逸脱しない範囲内で種々な変更が可能である。

上記実施形態においては、搬送室１内に２台のワーク搬送装置４が配置された場合を例に挙げて説明したが、搬送室１内に配置されるワーク搬送装置４の数量はこれに限定されない。たとえば搬送室内に１台のワーク搬送装置が配置される構成としてもよい。

上記実施形態においては、ワーク搬送装置４について、１つのハンド４４を備えて構成されたワンハンド式の場合を例に挙げて説明したが、たとえば２つのハンドを備えて構成されたいわゆるダブルハンド式のワーク搬送装置についても本発明は適用可能である。

上記実施形態において、フレーム構造体１Ａの第１フレーム部材１１は、建物の床面６と第１フレーム部材１１との間に隙間を介在させた状態にて、床面６を構成するコンクリート層に対して結合手段７（引張ボルト７１および圧縮ボルト７２）を用いて結合されていたが、第１フレーム部材１１と床面側との結合に係る構造は、これに限定されない。たとえば、結合手段については、たとえばダンパなどの振動吸収機能を具備する構成としてもよく、また、第１フレーム部材と床面との間に隙間を介在させずにアンカーボルトを用いて結合する構成としてもよい。また、本発明に係るワーク搬送システムをクリーン環境下で使用しない場合には、第１フレーム部材の下面全体を床面に密着させてもよい。

Ａ ワーク搬送システム
Ｏ１，Ｏ２，Ｏ３ 垂直軸
１ 搬送室
２ ロードポート
３ ワーク処理室
４ ワーク搬送装置
５ 連結手段
６ 床面
７ 結合手段
１Ａ フレーム構造体
１Ｂ カバー体
１Ｃ 弾性部材
１１ 第１フレーム部材
１１ａ 切欠き
１１ｂ 開口
１２ 第２フレーム部材
１２ａ 開口
１２１ 縦フレーム
１２２ 横フレーム
１３ リブ
１３ａ 端面
２１ カセット（容器）
４０ 固定ベース
４１ 昇降ベース
４２ 下段アーム
４３ 上段アーム
４４ ハンド
５１ フレーム体
５２ 制振機構
６１ 通気床
６１ａ 貫通孔
６２ ダクト
６３ 支持部
７１ 引張ボルト
７２ 圧縮ボルト

Claims (3)

1. ワーク搬送装置が配置される搬送室と、この搬送室に隣接して設けられ、ワーク収納用の容器が載置されるロードポートと、を備えたワーク搬送システムであって、
   上記搬送室は、鋼材により構成されるフレーム構造体と、上記フレーム構造体の周縁部に取り付けられ、上記フレーム構造体と協働して内部空間を形成するカバー体と、を含み、
   上記フレーム構造体は、床面に設置され、上記ワーク搬送装置が載置される第１フレーム部材と、この第１フレーム部材に対して起立状に設けられ、上記ロードポートを支持する第２フレーム部材と、を備え、
   上記第２フレーム部材の上端部と、上記第１フレーム部材における上記第２フレーム部材から離間する端部とは、連結手段により連結され、かつ、当該連結手段は、上方に向かうにつれて上記第２フレーム部材に近づくように斜めに延びるフレーム体と、上記ワーク搬送装置から伝わる振動を抑制するための制振機構と、を備え、
   上記カバー体は、上記フレーム構造体よりも軽量な材料で構成され、かつ、上記フレーム構造体における上記第２フレーム部材の周縁部に対して弾性部材を介して取り付けられており、
   上記第２フレーム部材は、一対の縦フレームと、当該一対の縦フレームの上端どうしをつなぐ横フレームを有する矩形枠状とされており、
   上記弾性部材は、上記一対の縦フレームおよび上記横フレームに沿って設けられ、
   上記フレーム体は、水平面に対する傾斜角度が相対的に大きい下側部分と、上記下側部分よりも上方に位置し、水平面に対する傾斜角度が相対的に小さい上側部分と、を有し、上記下側部分と上記上側部分との間に上記制振機構が介在することを特徴とする、ワーク搬送システム。
2. 上記第１フレーム部材と上記第２フレーム部材とは、リブを介して接合されている、請求項１に記載のワーク搬送システム。
3. 上記第１フレーム部材は、床面を構成するコンクリート層に対して結合手段により固定される、請求項１または２に記載のワーク搬送システム。

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