JP5897232B1 - 制御装置およびレーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係るレーザ加工装置の構成を示す図である。レーザ加工装置1は、レーザ発振器20、加工機光路系30、制御装置10を備えている。レーザ加工装置1は、UV(Ultra Violet)レーザ光などの高調波レーザ光を被加工物2に照射することによって被加工物2をレーザ加工する装置である。
つぎに、図4〜図9を用いてこの発明の実施の形態2について説明する。実施の形態2では、レーザ発振器20から加工機光路系30に送られる高調波レーザ光の出力値P3ωが、初期出力値から所定の割合よりも低下した場合に波長変換結晶42を移動させる。換言すると、高調波レーザ光の出力値P3ωの変化量が、初期出力値から所定の割合以上低下した場合に、波長変換結晶42が移動させられる。
Claims (4)
- 波長変換結晶からマスク側へ出力された高調波レーザ光のマスク位置でのビーム径を調整するコリメートレンズの初期位置と、前記初期位置からの距離で定義された前記コリメートレンズの移動許容範囲と、を記憶する記憶部と、
前記高調波レーザ光の被加工物上での出力値である加工点出力値が第1の設定値以上となるよう前記コリメートレンズの位置を移動させるとともに、移動後の前記コリメートレンズの位置が前記移動許容範囲内であるか否かを判定し、前記移動許容範囲外である場合には、前記波長変換結晶の移動を行わせる指示を出力する制御部と、
を備えることを特徴とする制御装置。 - 前記制御部は、前記波長変換結晶の移動を行わせた後、前記加工点出力値が前記第1の設定値以上となるよう前記コリメートレンズの位置を再び移動させ、移動後の前記コリメートレンズの初期位置を前記記憶部に更新させ、更新後の初期位置に基づいて、前記コリメートレンズの位置が前記移動許容範囲内であるか否かを判定することを特徴とする請求項1に記載の制御装置。
- 前記移動許容範囲は、前記コリメートレンズの光路方向の位置に関する範囲であることを特徴とする請求項1または2に記載の制御装置。
- 波長変換結晶を用いて高調波レーザ光を出力するレーザ発振器と、
コリメートレンズを用いて前記高調波レーザ光を被加工物上へ導く加工機光路系と、
前記レーザ発振器および前記加工機光路系を制御する制御装置と、
を有し、
前記制御装置は、
前記波長変換結晶からマスク側へ出力された前記高調波レーザ光のマスク位置でのビーム径を調整する前記コリメートレンズの初期位置と、前記初期位置からの距離で定義された前記コリメートレンズの移動許容範囲と、を記憶する記憶部と、
前記高調波レーザ光の被加工物上での出力値である加工点出力値が第1の設定値以上となるよう前記コリメートレンズの位置を移動させるとともに、移動後の前記コリメートレンズの位置が前記移動許容範囲内であるか否かを判定し、前記移動許容範囲外である場合には、前記波長変換結晶の移動を行わせる指示を出力する制御部と、
を備えることを特徴とするレーザ加工装置。
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