JP5877327B2 - Screen printing device, failure cause analysis device in screen printing, and failure cause analysis method - Google Patents
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Description
本発明は、基板にクリーム半田などのペーストを印刷するスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷における不良原因の解析装置および解析方法に関するものである。 The present invention relates to a screen printing apparatus that prints paste such as cream solder on a substrate, and an analysis apparatus and analysis method for a cause of defects in screen printing.
電子部品を基板に実装する部品実装工程では、部品搭載に先立って基板上にクリーム半田などのペーストを印刷するスクリーン印刷作業が行われる。近年電子機器の小型化に伴って小サイズの樹脂製の基板が広い範囲で用いられるようになっており、このような小サイズの基板を対象としたスクリーン印刷作業は一般に複数の基板を対象として一括して行われる場合が多く、複数の小サイズの個片基板をキャリアに保持させる形態が採用される(特許文献1参照)。この特許文献例に示す先行技術では、半田印刷後のキャリアを対象として位置認識マークおよび印刷された半田位置の認識を行い、これらの認識結果と個片基板における電極位置情報に基づいて半田位置ずれデータを各個片基板毎に算出して後工程にフィードフォワードするようにしている。 In a component mounting process for mounting electronic components on a substrate, a screen printing operation for printing paste such as cream solder on the substrate is performed prior to component mounting. In recent years, with the miniaturization of electronic devices, small-sized resin substrates have come to be used in a wide range, and screen printing work for such small-sized substrates generally targets multiple substrates. In many cases, a plurality of small-sized individual substrates are held by a carrier (see Patent Document 1). In the prior art shown in this patent document example, the position recognition mark and the printed solder position are recognized for the carrier after solder printing, and the solder position deviation is based on the recognition result and the electrode position information on the individual substrate. Data is calculated for each individual substrate and fed forward to a subsequent process.
しかしながら上述の特許文献例を含め、従来技術ではキャリアに保持された複数の個片基板を対象として一括して半田印刷を行う場合の印刷位置精度を確保するための不良原因を解析することが難しいという課題があった。すなわちスクリーン印刷に際しては、各個片基板に形成された電極とスクリーンマスクに形成されたパターン孔との位置を極力一致させるように位置合わせすることが望まれるが、キャリアに保持された複数の個片基板を対象とする場合には、以下に説明するように電極とパターン孔との位置ずれが複合的な要因によって発生する。 However, it is difficult to analyze the cause of defects in order to ensure the printing position accuracy when performing solder printing collectively for a plurality of individual substrates held by a carrier, including the above-described patent document examples. There was a problem. That is, during screen printing, it is desirable to align the electrodes formed on each individual substrate and the pattern holes formed on the screen mask as much as possible, but a plurality of individual pieces held by the carrier are required. When the substrate is a target, the positional deviation between the electrode and the pattern hole occurs due to multiple factors as described below.
まず個片基板として用いられるFPCなどの樹脂基板は製造後の経時変化によって伸縮しやすい性質を有しており、個片基板自体における電極位置のばらつきが避けられない。また個片基板をキャリアに保持させる作業は人手によって行われることが多いため、保持させる際の位置合わせ精度が保証されずキャリアにおける位置が各個片基板毎に異なる。そしてスクリーン印刷装置において位置決めテーブルに保持されたキャリアをスクリーンマスクに位置合わせする際には、装置固有の機差に起因する誤差が避けられない。このため、スクリーン印刷後の印刷検査において許容範囲を超える印刷位置ずれが検出された場合にあっても、どのような印刷不良原因によって生じたのかを正確に解析することができず、不良対策の立案を適切に行うことが困難であるという問題があった。 First, a resin substrate such as an FPC used as an individual substrate has a property of easily expanding and contracting due to a change with time after manufacture, and variations in electrode positions on the individual substrate are inevitable. In addition, since the work of holding the individual substrate on the carrier is often performed manually, the alignment accuracy at the time of holding is not guaranteed, and the position on the carrier differs for each individual substrate. When the carrier held on the positioning table is aligned with the screen mask in the screen printing apparatus, errors due to machine-specific machine differences cannot be avoided. For this reason, even if a print position deviation exceeding the allowable range is detected in the print inspection after screen printing, it is not possible to accurately analyze the cause of the print defect, There was a problem that it was difficult to plan properly.
そこで本発明は、印刷位置ずれの不良原因を正確に解析して、不良対策の立案を適切に行うことができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷における不良原因の解析装置ならびに解析方法を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a screen printing apparatus, an apparatus for analyzing the cause of defects in screen printing, and an analysis method capable of accurately analyzing the cause of defective printing position misalignment and properly planning countermeasures for defects. And
本発明のスクリーン印刷装置は、キャリアに保持された状態の複数の個片基板を対象とし、これらの個片基板に形成された電極に部品接合用のペーストを一括して印刷するスクリーン印刷装置であって、前記ペーストが供給されたスクリーンマスク上でスキージを摺動させることにより、基板位置決め部に位置決め保持された前記キャリアの各個片基板に前記スクリーンマスクに形成されたパターン孔を介してペーストを印刷するスクリーン印刷機構と、前記スクリーンマスクに形成されたマスク認識マークおよび前記個片基板に形成された位置基準マークを認識するマーク認識手段と、前記マーク認識手段の認識結果に基づいて前記基板位置決め部を制御することにより、前記スクリーンマスクに対して前記キャリアを位置合わせする位置合わせ制御部と、前記キャリアの位置合わせにおいて用いられる参照データであって、前記パターン孔の配列と前記マスク認識マークとの位置関係を示す印刷位置データおよび前記個片基板における電極と前記位置基準マークとの位置関係を示す電極位置データとを基板品種毎に記憶するデータ記憶部と、印刷後の個片基板を対象として実行される半田検査により取得された各個片基板毎の半田位置ずれの計測結果に基づいて、位置ずれについての不良原因を解析するための不良原因解析処理を実行し解析結果を出力する不良原因解析処理部とを備え、前記不良原因解析処理部は、前記マーク認識手段に特定の個片基板の位置基準マークを認識させる認識制御処理部と、この認識の結果に基づき前記位置合わせ制御部によって前記スクリーンマスクに対して前記キャリアを位置合わせさせる位置合わせ処理部と、前記半田位置ずれの計測結果において、前記特定の個片基板について予め規定された規定範囲外の位置ずれが検出されたならば、スクリーン印刷装置によるキャリアの位置合わせ不良に起因する旨の解析結果を出力し、前記特定の個片基板以外の個片基板について予め規定された規定範囲外の位置ずれが検出されたならば、キャリアへの個片基板の位置合わせ不良に起因する旨の解析結果を出力し、同一の個片基板における位置ずれのばらつき範囲が許容範囲を超えるならば、個片基板の伸縮に起因する旨の解析結果を出力する解析結果出力処理部とを有する。 The screen printing apparatus according to the present invention is a screen printing apparatus that targets a plurality of individual substrates held by a carrier and collectively prints a paste for joining components on electrodes formed on these individual substrates. Then, by sliding a squeegee on the screen mask supplied with the paste, the paste is applied to each individual substrate of the carrier positioned and held by the substrate positioning portion through the pattern holes formed in the screen mask. A screen printing mechanism for printing, a mark recognition unit for recognizing a mask recognition mark formed on the screen mask and a position reference mark formed on the individual substrate, and the substrate positioning based on the recognition result of the mark recognition unit Position for aligning the carrier with respect to the screen mask by controlling the part Reference data used in alignment of the alignment control unit and the carrier, printing position data indicating a positional relationship between the pattern hole arrangement and the mask recognition mark, and the electrode and the position reference mark on the individual substrate A data storage unit that stores electrode position data indicating the positional relationship for each board type, and measurement of solder position deviation for each individual board obtained by solder inspection performed on each printed board A failure cause analysis processing unit for executing a failure cause analysis process for analyzing the cause of the defect with respect to the position deviation and outputting an analysis result based on the result, and the failure cause analysis processing unit is provided in the mark recognition unit. the screen and recognition control unit to recognize the position reference mark for a particular individual substrate, by the alignment control section based on the result of the recognition In the alignment processing unit for aligning the carrier with respect to the disk and the measurement result of the solder position deviation, if a position deviation outside the prescribed range predefined for the specific individual substrate is detected, the screen An analysis result indicating that the printing apparatus is caused by a misalignment of the carrier is output, and if a positional deviation outside the specified range is detected for each of the individual substrates other than the specific individual substrate, it is transferred to the carrier. The analysis result to the effect that is caused by misalignment of individual substrates, and if the variation range of the positional deviation on the same individual substrate exceeds the allowable range, the analysis result to the effect that the individual substrates are expanded or contracted And an analysis result output processing unit.
本発明のスクリーン印刷における不良原因の解析装置は、キャリアに保持された状態の複数の個片基板を対象とし、これらの個片基板に形成された電極に部品接合用のペーストを一括して印刷するスクリーン印刷装置において、印刷後の個片基板を対象として実行される半田検査により取得された各個片基板毎の半田位置ずれの計測結果に基づいて、位置ずれについての不良原因を解析するための不良原因解析処理を実行し解析結果を出力する不良原因解析装置であって、前記スクリーン印刷装置は、前記ペーストが供給されたスクリーンマスク上でスキージを摺動させることにより、基板位置決め部に位置決め保持された前記キャリアの各個片基板に前記スクリーンマスクに形成されたパターン孔を介してペーストを印刷するスクリーン印刷機構と、前記スクリーンマスクに形成されたマスク認識マークおよび前記個片基板に形成された位置基準マークを認識するマーク認識手段と、前記マーク認識手段の認識結果に基づいて前記基板位置決め部を制御することにより、前記スクリーンマスクに対して前記キャリアを位置合わせする位置合わせ制御部と、前記キャリアの位置合わせにおいて用いられる参照データであって、前記パターン孔の配列と前記マスク認識マークとの位置関係を示す印刷位置データおよび前記個片基板における電極と前記位置基準マークとの位置関係を示す電極位置データとを基板品種毎に記憶するデータ記憶部とを有し、前記マーク認識手段に特定の個片基板の位置基準マークを認識させる認識制御処理部と、この認識結果に基づき前記位置合わせ制御部によって前記スクリーンマスクに対して前記キャリアを位置合わせさせる位置合わせ処理部と、前記半田位置ずれの計測結果において、前記特定の個片基板について予め規定された規定範囲外の位置ずれが検出されたならば、スクリーン印刷装置によるキャリアの位置合わせ不良に起因する旨の解析結果を出力し、前記特定の個片基板以外の個片基板について予め規定された規定範囲外の位置ずれが検出されたならば、キャリアへの個片基板の位置合わせ不良に起因する旨の解析結果を出力し、同一の個片基板における位置ずれのばらつき範囲が許容範囲を超えるならば、個片基板の伸縮に起因する旨の解析結果を出力する解析結果出力処理部とを備えた。 The apparatus for analyzing the cause of defects in screen printing according to the present invention targets a plurality of individual substrates held by a carrier, and collectively prints a paste for joining components on electrodes formed on these individual substrates. In the screen printing apparatus, for analyzing the cause of the defect in the positional deviation based on the measurement result of the solder positional deviation for each individual board obtained by the solder inspection performed on the individual board after printing. A failure cause analysis device that executes failure cause analysis processing and outputs an analysis result, wherein the screen printing device is positioned and held on a substrate positioning unit by sliding a squeegee on a screen mask supplied with the paste. A screen mark for printing a paste on each individual substrate of the carrier formed through a pattern hole formed in the screen mask A mechanism, mark recognition means for recognizing a mask recognition mark formed on the screen mask and a position reference mark formed on the individual substrate, and controlling the substrate positioning unit based on the recognition result of the mark recognition means Thus, an alignment control unit that aligns the carrier with respect to the screen mask, and reference data used in the alignment of the carrier, the positional relationship between the pattern hole array and the mask recognition mark And a data storage unit that stores, for each substrate type, electrode position data indicating the positional relationship between the electrode on the individual substrate and the positional reference mark. a recognition control unit to recognize the position reference mark of the substrate, the alignment control based on the recognition result In the alignment processing unit for aligning the carrier with respect to the screen mask and the measurement result of the solder position deviation, if a position deviation outside the prescribed range prescribed in advance for the specific individual substrate is detected. For example, if an analysis result indicating that the screen printing apparatus is caused by a misalignment of the carrier is output, and a positional deviation outside the specified range is detected for individual substrates other than the specific individual substrate, , Output an analysis result to the effect that the individual substrate is misaligned with the carrier, and if the variation range of the positional deviation in the same individual substrate exceeds the allowable range, the effect is due to the expansion and contraction of the individual substrate And an analysis result output processing unit for outputting the analysis results.
本発明のスクリーン印刷における不良原因の解析方法は、キャリアに保持された状態の複数の個片基板を対象とし、これらの個片基板に形成された電極に部品接合用のペーストを一括して印刷するスクリーン印刷装置において、印刷後の個片基板を対象として実行された半田検査により取得された各個片基板毎の半田位置ずれの計測結果に基づいて、位置ずれについての不良原因を解析するための不良原因解析処理を実行し解析結果を出力する不良原因の解析方法であって、前記スクリーン印刷装置は、前記ペーストが供給されたスクリーンマスク上でスキージを摺動させることにより、基板位置決め部に位置決め保持された前記キャリアの各個片基板に前記スクリーンマスクに形成されたパターン孔を介してペーストを印刷するスクリーン印刷機構と、前記スクリーンマスクに形成されたマスク認識マークおよび前記個片基板に形成された位置基準マークを認識するマーク認識手段と、前記マーク認識手段の認識結果に基づいて前記基板位置決め部を制御することにより、前記スクリーンマスクに対して前記キャリアを位置合わせする位置合わせ制御部と、前記キャリアの位置合わせにおいて用いられる参照データであって、前記パターン孔の配列と前記マスク認識マークとの位置関係を示す印刷位置データおよび前記個片基板における電極と前記位置基準マークとの位置関係を示す電極位置データとを基板品種毎に記憶するデータ記憶部とを備え、前記マーク認識手段に特定の個片基板の位置基準マークを認識させる認識制御処理工程と、この認識結果に基づき前記位置合わせ制御部によって前記スクリーンマスクに対して前記キャリアを位置合わせさせる位置合わせ処理工程と、前記半田位置ずれの計測結果において、前記特定の個片基板について予め規定された規定範囲外の位置ずれが検出されたならば、スクリーン印刷装置によるキャリアの位置合わせ不良に起因する旨の解析結果を出力し、前記特定の個片基板以外の個片基板について予め規定された規定範囲外の位置ずれが検出されたならば、キャリアへの個片基板の位置合わせ不良に起因する旨の解析結果を出力し、同一の個片基板における位置ずれのばらつき範囲が許容範囲を超えるならば、個片基板の伸縮に起因する旨の解析結果を出力する解析結果出力処理工程とを含む。 The analysis method of the cause of defects in the screen printing of the present invention targets a plurality of individual substrates held in a carrier, and prints paste for joining components on electrodes formed on these individual substrates in a batch. In the screen printing apparatus, for analyzing the cause of the defect in the positional deviation based on the measurement result of the solder positional deviation for each individual board obtained by the solder inspection performed on the individual board after printing. A failure cause analysis method for executing a failure cause analysis process and outputting an analysis result, wherein the screen printing apparatus positions a substrate positioning portion by sliding a squeegee on a screen mask supplied with the paste. A screen for printing a paste on each individual substrate of the held carrier through a pattern hole formed in the screen mask A printing mechanism, mark recognition means for recognizing a mask recognition mark formed on the screen mask and a position reference mark formed on the individual substrate, and controlling the substrate positioning unit based on the recognition result of the mark recognition means An alignment control unit for aligning the carrier with respect to the screen mask, and reference data used in the alignment of the carrier, wherein the positional relationship between the pattern hole array and the mask recognition mark And a data storage unit for storing, for each substrate type, electrode position data indicating the positional relationship between the electrode on the individual substrate and the positional reference mark, and the mark recognition means has a specific individual piece. a recognition control step to recognize the position reference mark of the substrate, said alignment based on this recognition result In the alignment processing step of aligning the carrier with respect to the screen mask by the control unit and the measurement result of the solder positional deviation, a positional deviation outside the prescribed range predefined for the specific individual substrate is detected. If this is the case, an analysis result indicating that the screen printing apparatus is caused by a misalignment of the carrier is output, and a positional deviation outside the specified range is detected for the individual substrates other than the specific individual substrate. If this is the case, the analysis result indicating that the individual substrate is misaligned with the carrier is output, and if the variation range of the positional deviation on the same individual substrate exceeds the allowable range, it is caused by the expansion and contraction of the individual substrate And an analysis result output processing step for outputting an analysis result to the effect.
本発明によれば、スクリーン印刷装置に備えられたマーク認識手段に特定の個片基板の位置基準マークを認識させ、この認識結果に基づきスクリーンマスクに対してキャリアを位置合わせさせて印刷を実行した後に各個片基板の半田位置ずれ状態を計測し、この半田位置ずれの計測結果において、特定の個片基板について予め規定された規定範囲外の位置ずれが検出されたならば、スクリーン印刷装置によるキャリアの位置合わせ不良に起因する旨の解析結果を出力し、特定の個片基板以外の個片基板について予め規定された規定範囲外の位置ずれが検出されたならば、キャリアへの個片基板の位置合わせ不良に起因する旨の解析結果を出力し、同一の個片基板における位置ずれのばらつき範囲が許容範囲を超えるならば、個片基板の伸縮に起因する旨の解析結果を出力することにより、印刷位置ずれの不良原因を正確に解析して、不良対策の立案を適切に行うことができる。 According to the present invention, the mark reference means provided in the screen printing apparatus recognizes the position reference mark of a specific individual substrate, and based on the recognition result, the carrier is aligned with the screen mask and printing is executed. After measuring the solder misalignment state of each individual substrate, and if a misalignment outside the specified range predefined for a specific individual substrate is detected in the solder misalignment measurement result, the carrier by the screen printing apparatus The analysis result to the effect of the misalignment is output, and if a positional deviation outside the specified range is detected for individual substrates other than the specific individual substrate, the individual substrate to the carrier is detected. If an analysis result indicating that it is caused by misalignment is output, and the variation range of misalignment on the same individual substrate exceeds the allowable range, the expansion and contraction of the individual substrate By outputting an analysis result indicating that factors, to accurately analyze the cause of failure of printing positional deviation, it is possible to properly carry out the planning of the defect countermeasures.
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず図1を参照して電子部品実装システム1の全体構成を説明する。図1において電子部品実装システム1は、いずれも電子部品実装用装置であって電子部品実装ライン1aを構成する印刷装置M1(スクリーン印刷装置)、印刷検査装置M2、電子部品搭載装置M3,M4の各装置を通信ネットワーク2によって接続し、全体を管理コンピュータ3によって統括制御する構成となっている。
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. First, the overall configuration of the electronic
この電子部品実装システム1は、これらの複数の電子部品実装用装置によって、複数の個片基板41(図4参照)を有する多面取りの基板4に電子部品を半田接合により実装して、実装基板を製造する機能を有するものである。すなわち印刷装置M1は、基板の電極に電子部品接合用の半田ペーストをスクリーン印刷する。印刷検査装置M2は、印刷された半田ペーストの印刷状態を検査する。電子部品搭載装置M3,M4は、半田ペーストが印刷された個片基板41に電子部品を搭載する。
The electronic
次に各装置の構成について説明する。まず図2を参照して、印刷装置M1の構成について説明する。印刷装置M1はスクリーン印刷を実行するためのスクリーン印刷機構6、基板位置決め部7および、これらの各部を制御するとともに印刷位置ずれの不良原因を解析する機能を有する制御・解析部9を備えており、通信ネットワーク2に接続された通信部8を介して、他装置や管理コンピュータ3との間で信号の授受が可能となっている。スクリーン印刷機構6はスクリーンマスク12、スキージ部13より構成され,基板位置決め部7は位置決めテーブル10、基板保持部11,テーブル駆動部14より構成される。
Next, the configuration of each device will be described. First, the configuration of the printing apparatus M1 will be described with reference to FIG. The printing apparatus M1 includes a screen printing mechanism 6 for performing screen printing, a
位置決めテーブル10上に配設された基板保持部11は、基板4をクランパ11aによって両側から挟み込んで保持する。基板保持部11の上方には、マスク枠12aにマスクプレート12bを展張した構成のスクリーンマスク12(図3(b)参照)が配設されており、スクリーンマスク12には個片基板41の印刷部位に対応したパターン孔12e(図4参照)が設けられている。テーブル駆動部14によって位置決めテーブル10を駆動することにより、基板4はスクリーンマスク12に対して水平方向および垂直方向に相対移動する。
The
スクリーンマスク12の下面と基板保持部11に保持された基板4の上面との間には、カメラユニット20がカメラ移動機構(図示省略)によってX方向、Y方向に水平移動自在に配設されている。図3(a)に示すように、カメラユニット20は、基板4を上方から撮像するための基板認識カメラ20aと、スクリーンマスク12を下面側から撮像するためのマスク認識カメラ20bとを備えている。
A
スクリーンマスク12には、図3(b)に示すように、基板4を対象とする印刷対象エリア12dが設定されており、印刷対象エリア12dの対角位置にはマスク認識マーク12cが形成されている。図3(c)に示すように、印刷対象の基板4は多面取り基板であり、ベースとなる板状のキャリア40に印刷対象の複数の個片基板41(ここでは3個)を保持させた構成となっている。キャリア40の表面には粘着性を有する貼着面が形成されており、樹脂基板より成る個片基板41を着脱自在に貼着保持することができるようになっている。個片基板41をキャリア40に装着する際には、キャリア40に設けられた位置決めピンなどの位置合わせ手段によって位置合わせした状態で、キャリア40の貼着面に対して押しつける。
As shown in FIG. 3B, a
個片基板41には、図4(b)に示すように、部品接合用の電極43が複数形成されており、図4(a)に示すように、スクリーンマスク12の印刷対象エリア12d内には、キャリア40の所定位置に複数の個片基板41が保持された状態における電極43の配列位置に対応して、複数のパターン孔12eが形成されている。それぞれの個片基板41の対角位置には、1対の位置基準マーク41aが形成されており、これらの個片基板41がキャリア40の正規位置に正しく装着された状態では、各個片基板41の位置基準マーク41aとキャリア40の基板認識マーク4aとの相対位置関係は当該基板4についての印刷位置データによって既知となっている。
As shown in FIG. 4B, a plurality of
カメラ移動機構を駆動してカメラユニット20を移動させることにより、図3,図4に示すスクリーンマスク12に形成されたマスク認識マーク12cおよびキャリア40に形成された基板認識マーク4aを、それぞれマスク認識カメラ20b、基板認識カメラ20aによって撮像することができる。そしてこの撮像結果を認識処理部18によって認識処理することにより、マスク認識マーク12cおよび基板認識マーク4aの位置が検出され、キャリア40の全体位置が検出される。
By moving the
また基板認識カメラ20aによってそれぞれの個片基板41の位置基準マーク41aを撮像して位置認識することにより、当該個片基板41の位置が個別に検出される。したがってカメラユニット20、図示しないカメラ移動機構および認識処理部18は、スクリーンマスク12に形成されたマスク認識マーク12cおよび個片基板41に形成された位置基準マーク41aを認識するマーク認識手段を構成する。
Further, the position of the
スクリーンマスク12の上方にはスキージ部13が配置されている。スキージ部13は、スキージ13cをスクリーンマスク12に対して昇降させるとともにスクリーンマスク12に対して所定の印圧で押し付ける昇降押圧機構13b、スキージ13cを水平移動させるスキージ移動機構13aより成る。昇降押圧機構13b、スキージ移動機構13aは、スキージ駆動部15により駆動される。
A
基板4をスクリーンマスク12の下面に当接させた状態で、半田ペースト5が供給されたスクリーンマスク12上でスキージ13cを所定速度で摺動させることにより、半田ペースト5はパターン孔12eを介して基板位置決め部7に位置決め保持されたキャリア40の上面の各個片基板41の電極43に印刷される。すなわち、本実施の形態においては、スクリーン印刷機構6は個片基板41に形成された電極43に部品接合用の半田ペースト5を複数の個片基板41を対象として一括してスクリーン印刷するようになっている。
By sliding the
制御部17は、印刷制御部17a、位置合わせ制御部17bを備えており、上述の印刷動作は、制御部17がスキージ駆動部15、テーブル駆動部14を制御することによって行われる。すなわち印刷制御部17aがスキージ駆動部15を制御することによりスキージ13cによるスキージング動作が行われる。そして位置合わせ制御部17bが上述のマーク認識手段の認識結果に基づいて基板位置決め部7を制御することにより、キャリア40がスクリーンマスク12に対して位置合わせされる。
The
データ記憶部16には上述の制御に際して参照される印刷位置データ16a、電極位置データ16bが記憶されている。印刷位置データ16aは、パターン孔12eの配列とマスク認識マーク12cとの位置関係を示すデータである。電極位置データ16bは、個片基板41における電極43と位置基準マーク41aとの位置関係を示すデータであり、これらのデータはいずれも基板品種毎に記憶される。
The
またデータ記憶部16には、印刷位置ずれの不良原因の解析に用いられる解析用データ16cが記憶されており、さらに印刷検査装置M2によって印刷後の個片基板41を対象とする半田検査で取得された各個片基板41毎の半田位置ずれの計測結果が記憶される。データ記憶部16、制御部17、認識処理部18とともに制御・解析部9(不良原因の解析装置)を構成する不良原因解析処理部19は、データ記憶部16に記憶された半田位置ずれの計測結果に基づいて、不良原因を解析するための不良原因の解析処理を実行し、解析結果を出力する機能を有している。
The
不良原因解析処理部19は、認識制御処理部19a、位置合わせ処理部19b、解析実行処理部19cおよび解析結果出力処理部19dの各処理機能を備えている。認識制御処理部19aは、マーク認識手段に特定の個片基板41、すなわちスクリーンマスク12に対してキャリア40を位置合わせする際の位置合わせの基準として用いられる個片基板41の位置基準マーク41aを認識させる。
The failure cause
位置合わせ処理部19bは、この認識の結果に基づき位置合わせ制御部17bによってスクリーンマスク12に対してキャリア40を位置合わせさせる。解析実行処理部19cはこのようにして位置合わせされた状態でスクリーン印刷が実行された基板4を印刷検査装置M2によって検査する半田検査で取得された半田位置ずれの計測結果に基づいて、不良原因の解析処理のための演算を実行する。解析結果出力処理部19dは、実行された解析結果を出力する処理を行う。
The
次に、図5を参照して、印刷検査装置M2について説明する。図5において、印刷検査装置M2は、印刷検査を実行するための印刷検査部21を備えている。印刷検査部21は、搬送レール22によって搬送され基板搬送位置決め部24によって検査位置に搬送位置決めされた印刷後の基板4をカメラ23によって撮像することにより、印刷後の個片基板41を対象として所定の半田検査を行う。
Next, the print inspection apparatus M2 will be described with reference to FIG. In FIG. 5, the print inspection apparatus M2 includes a
搬送レール22に保持された基板4の上方には、カメラ23が配設されており、カメラ23による撮像結果を認識処理部28によって認識処理することにより、半田ペースト5の印刷状態の検査、すなわち印刷対象の電極43に半田ペースト5が位置ずれなく規定の半田量で正しく印刷されているか否かの良否判定が各個片基板41について行われる。この半田検査では、各個片基板41毎の半田位置ずれ量が計測され、計測結果が印刷装置M1に対して出力される。そして印刷装置M1では、この半田位置ずれの計測結果に基づいて、位置ずれについての不良原因を解析するための不良原因解析処理が実行される。
A
カメラ23はカメラ移動手段(図示省略)によって水平面内で移動可能となっており、基板4の任意位置を個片基板41ごとに検査することができる。認識処理部28による認識結果は、検査処理部27によって検査データ記憶部26に記憶された判定データを用いて良否判定され、半田検査結果データとして個片基板41ごとに出力される。出力された半田検査結果データや半田位置ずれの計測結果は、通信部29、通信ネットワーク2を介して、管理コンピュータ3や他装置に転送される。検査制御部25は、基板搬送位置決め部24,カメラ23を制御することにより、検査動作を制御する。
The
次に、印刷装置M1によって実行されるスクリーン印刷における不良原因の解析処理について、図6,図7のフローに則して説明する。まず印刷準備作業として、複数の個片基板41をキャリア40に保持させる(ST1)。次いで、個片基板41を保持したキャリア40を印刷装置M1に搬入し、基板保持部11に保持させる(ST2)。この後、マーク認識手段によって、マスク認識マーク12cおよび予め指定された特定の個片基板41の位置基準マーク41aを認識する(ST3)(認識制御処理工程)。
Next, a failure cause analysis process in screen printing executed by the printing apparatus M1 will be described with reference to the flowcharts of FIGS. First, as a print preparation operation, a plurality of
そしてこの認識結果に基づいて、スクリーンマスク12に対してキャリア40を位置合わせする(ST4)(位置合わせ処理工程)。ここでは、位置合わせの基準として用いられる特定の個片基板41の位置基準マーク41aの正規位置に対する位置ずれ量を認識結果より求め、キャリア40全体をこの位置ずれ量だけ補正してスクリーンマスク12に対して位置合わせする。すなわち位置合わせ目標として、特定の個片基板41の電極43がスクリーンマスク12において対応するパターン孔12eに一致するように位置合わせする。次いでスクリーン印刷機構6を駆動して半田印刷を実行し(ST5)、パターン孔12eを介して電極43上に半田ペースト5を印刷する。
Based on the recognition result, the
この後、半田印刷後の基板4は印刷検査装置M2に搬入され、半田検査が実行される。この半田検査は、基板認識カメラ20aによって各個片基板41を撮像することによって行われ、まず各個片基板41について位置基準マーク41aを認識して位置を検出し(ST6)、検出された位置基準マーク41aの位置を基準として、半田位置ずれ計測を行う(ST7)。すなわち図8に示すように、個片基板41の各電極43に印刷された半田ペースト5の正規位置に対する位置ずれ量d(i)を計測する。そして取得された半田位置ずれの計測結果は印刷装置M1に伝達され、データ記憶部16に記憶される。
Thereafter, the
次いで、記憶された半田位置ずれの計測結果に基づき、不良原因解析処理部19によって不良原因の解析処理が実行される(ST8)。この解析処理では、予め指定された特定の個片基板41を基準としてキャリア40とスクリーンマスク12とを位置合わせした状態における半田位置ずれ状態に基づいて、位置ずれの要因を推定する。そして解析結果は図8に示す判断基準に従って3通りに出力される(ST9)(解析結果出力処理工程)。
Next, based on the stored measurement result of the solder position deviation, the failure cause
ここで不良原因の解析処理にて用いられる特定の個片基板41の意義について説明する。前述のように特定の個片基板41は、スクリーンマスク12に対してキャリア40を位置合わせする際の位置合わせ基準として用いられることから、基板4を構成する複数の個片基板41を全体として見た場合に、各電極43における印刷位置ずれが総体的に一番小さくなるような個片基板41を意味している。
Here, the significance of the specific
この特定の個片基板41を定めるには幾通りの方法を用いることができる。例えば最も簡便な方法としては、基板4を構成する複数の個片基板41のうち、これらの個片基板41のキャリア40への装着位置ずれ状態を平均的に示していると判断される個片基板41を目視によって見出し、この個片基板41を特定の個片基板41としてもよい。
Several methods can be used to define the specific
また、より厳密な意味で印刷位置ずれを総体的に極小としたい場合には、位置ずれ量演算シミュレーションを各個片基板41毎に行った結果に基づいて特定の個片基板41を決定するようにしてもよい。すなわち、キャリア40に装着された複数の個片基板41の全てについて位置基準マーク41aおよび電極43の位置を計測し、複数の個片基板41のうちいずれか1つを特定の個片基板41として位置合わせを行った場合の位置ずれ量の平均値を求める。そしてこの平均値が最も小さくなる結果を与える個片基板41を、位置合わせ基準としての特定の個片基板41とする。
Further, in a more strict sense, when it is desired to minimize the printing misregistration as a whole, a specific
この不良原因の解析処理の実行例について、図7,図8を参照して説明する。ここでは、キャリア40に装着された3つの個片基板41(1)(2)(3)のうち、中央に位置する個片基板41(2)が、上述の特定の個片基板41(2)*に指定された例を示している。図7に示すように、まず半田位置ずれの計測結果において、特定の個片基板41(2)*について予め規定された規定範囲外の位置ずれが検出されたか否かを判定する(ST11)。
An execution example of the failure cause analysis processing will be described with reference to FIGS. Here, among the three individual substrates 41 (1) (2) (3) mounted on the
ここに示す例では図8(a)のように、特定の個片基板41(2)*の複数の電極43における位置ずれ量d1(i)が、データ記憶部16に解析用データ16cとして記憶された規定範囲を超えており、個片基板41(2)*について予め規定された規定範囲外の位置ずれが検出されたと判定される。この場合には位置決め基準とされた個片基板41(2)*に規定範囲外の位置ずれが生じていることから、この位置ずれは印刷装置M1によるキャリア40のスクリーンマスク12への位置合わせ不良に起因する旨の解析結果を出力する(ST12)。そしてこの解析結果に対応して、印刷装置M1においては警告表示や、基板位置決め部7を駆動する際のマシンパラメータの補正処理を促す表示がなされる。
In the example shown here, as shown in FIG. 8A, the positional deviation amounts d1 (i) at the plurality of
次に(ST11)の判定がNOの場合には、特定の個片基板41(2)*以外の個片基板41について予め規定された規定範囲外の位置ずれが検出されたか否かを判定する(ST13)。ここに示す例では図8(b)のように、特定の個片基板41(2)*以外の個片基板41(1)の複数の電極43における位置ずれ量d2(i)が予め規定された規定範囲を超えており、特定の個片基板41(2)*以外の個片基板41(1)について予め規定された規定範囲外の位置ずれが検出されたと判定される。
Next, when the determination of (ST11) is NO, it is determined whether or not a positional deviation outside the specified range is detected for the
この場合には位置決め基準とされた個片基板41(2)*については正しく印刷されていることから、キャリア40のスクリーンマスク12への位置合わせ不良に起因する不良とは考えられず、キャリア40への個片基板41(1)の位置合わせ不良に起因する旨の解析結果が出力される(ST14)。そしてこの解析結果に対応して、キャリア40に個片基板41を装着する作業工程において作業方法の適否確認を促す警告表示や、工程能力を数値的に算出することを促すなどの対応指示表示がなされる。
In this case, since the individual substrate 41 (2) * used as the positioning reference is correctly printed, it is not considered to be a defect due to a misalignment of the
次に(ST13)の判定がNOの場合には、同一の個片基板41における位置ずれのばらつき範囲が許容範囲を超えるか否かを判定する(ST15)。ここに示す例では図8(c)のように、個片基板41(3)の複数の電極43における位置ずれ量d3(i)(j)が逆方向となって、位置ずれ量のばらつき範囲がデータ記憶部16に解析用データ16cとして記憶された許容範囲を超えている。したがって、同一の個片基板41(3)における位置ずれのばらつき範囲が許容範囲を超えると判定される。
Next, when the determination in (ST13) is NO, it is determined whether or not the variation range of the positional deviation in the same
この場合には位置決め基準とされた個片基板41(2)*については正しく印刷されており、さらにキャリア40への個片基板41(1)の位置合わせ不良にも該当しないことから、個片基板41(3)の伸縮に起因する旨の解析結果が出力される(ST16)。そしてこの解析結果に対応して、スクリーンマスク12の設計における伸縮代の考慮を求めるフィードバックや、個片基板41の伸縮管理面での工程能力を数値的に算出することを促すなどの対応指示表示がなされる。
In this case, the individual substrate 41 (2) * used as the positioning reference is correctly printed, and further, it does not correspond to the misalignment of the individual substrate 41 (1) to the
なお上記実施の形態では、印刷検査装置M2による半田検査において半田位置ずれを計測する例を示したが、半田位置ずれの計測を印刷装置M1において実行するようにしてもよい。この場合には、半田印刷後に基板認識カメラ20aによって基板4を撮像した結果を認識処理することにより、半田位置ずれを計測する。すなわちこの例では、印刷装置M1に半田検査を実行する検査部を備えた構成となっている。
In the above embodiment, an example in which the solder position deviation is measured in the solder inspection by the print inspection apparatus M2 has been described. However, the measurement of the solder position deviation may be performed in the printing apparatus M1. In this case, the solder position deviation is measured by performing recognition processing on the result of imaging the
また本実施の形態では、不良原因の解析装置としての制御・解析部9を印刷装置M1に組み込んだ例を示しているが、図3に示す制御・解析部9の機能を印刷検査装置M2に設けるようにしてもよい。この場合には、印刷検査装置M2に設けられた不良原因の解析装置としての制御・解析部9の機能によって、印刷装置M1のスクリーン印刷機構、マーク認識手段、位置合わせ制御部を制御することにより、不良原因の解析を目的とするスクリーン印刷動作が実行される。 Further, in the present embodiment, an example is shown in which the control / analysis unit 9 as a failure cause analysis device is incorporated in the printing apparatus M1, but the function of the control / analysis unit 9 shown in FIG. You may make it provide. In this case, the screen printing mechanism, mark recognition means, and alignment control unit of the printing apparatus M1 are controlled by the function of the control / analysis unit 9 as the failure cause analysis apparatus provided in the printing inspection apparatus M2. Then, a screen printing operation for the purpose of analyzing the cause of the defect is executed.
本発明のスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷における不良原因の解析装置ならびに解析方法は、印刷位置ずれの不良原因を正確に解析して、不良対策の立案を適切に行うことができるという効果を有し、スクリーン印刷によって基板にペーストを印刷する印刷分野や、印刷されたペーストの印刷状態を検査する印刷検査の分野において有用である。 The screen printing apparatus of the present invention and the failure cause analysis apparatus and analysis method in screen printing have the effect that the cause of failure of the printing misalignment can be accurately analyzed, and countermeasures for failure can be made appropriately, This is useful in the field of printing in which paste is printed on a substrate by screen printing, and in the field of printing inspection in which the printed state of printed paste is inspected.
1 電子部品実装システム
4 基板
5 半田ペースト
6 スクリーン印刷機構
7 基板位置決め部
9 制御・解析部(不良原因の解析装置)
12 スクリーンマスク
12a マスク枠
12b マスクプレート
13 スキージ部
40 キャリア
41 個片基板
41a 位置基準マーク
43 電極
M1 印刷装置
M2 印刷検査装置
M3 電子部品搭載装置
DESCRIPTION OF
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記ペーストが供給されたスクリーンマスク上でスキージを摺動させることにより、基板位置決め部に位置決め保持された前記キャリアの各個片基板に前記スクリーンマスクに形成されたパターン孔を介してペーストを印刷するスクリーン印刷機構と、
前記スクリーンマスクに形成されたマスク認識マークおよび前記個片基板に形成された位置基準マークを認識するマーク認識手段と、
前記マーク認識手段の認識結果に基づいて前記基板位置決め部を制御することにより、前記スクリーンマスクに対して前記キャリアを位置合わせする位置合わせ制御部と、
前記キャリアの位置合わせにおいて用いられる参照データであって、前記パターン孔の配列と前記マスク認識マークとの位置関係を示す印刷位置データおよび前記個片基板における電極と前記位置基準マークとの位置関係を示す電極位置データとを基板品種毎に記憶するデータ記憶部と、
印刷後の個片基板を対象として実行される半田検査により取得された各個片基板毎の半田位置ずれの計測結果に基づいて、位置ずれについての不良原因を解析するための不良原因解析処理を実行し解析結果を出力する不良原因解析処理部とを備え、
前記不良原因解析処理部は、前記マーク認識手段に特定の個片基板の位置基準マークを認識させる認識制御処理部と、
この認識の結果に基づき前記位置合わせ制御部によって前記スクリーンマスクに対して前記キャリアを位置合わせさせる位置合わせ処理部と、
前記半田位置ずれの計測結果において、前記特定の個片基板について予め規定された規定範囲外の位置ずれが検出されたならば、スクリーン印刷装置によるキャリアの位置合わせ不良に起因する旨の解析結果を出力し、
前記特定の個片基板以外の個片基板について予め規定された規定範囲外の位置ずれが検出されたならば、キャリアへの個片基板の位置合わせ不良に起因する旨の解析結果を出力し、
同一の個片基板における位置ずれのばらつき範囲が許容範囲を超えるならば、個片基板の伸縮に起因する旨の解析結果を出力する解析結果出力処理部とを有することを特徴とするスクリーン印刷装置。 A screen printing apparatus that targets a plurality of individual substrates held by a carrier and collectively prints a component bonding paste on electrodes formed on these individual substrates,
A screen for printing the paste through the pattern holes formed in the screen mask on each individual substrate of the carrier positioned and held by the substrate positioning portion by sliding a squeegee on the screen mask supplied with the paste A printing mechanism;
Mark recognition means for recognizing a mask recognition mark formed on the screen mask and a position reference mark formed on the individual substrate;
An alignment control unit that aligns the carrier with respect to the screen mask by controlling the substrate positioning unit based on a recognition result of the mark recognition unit;
Reference data used in the alignment of the carrier, the printing position data indicating the positional relationship between the pattern hole array and the mask recognition mark, and the positional relationship between the electrode and the position reference mark on the individual substrate. A data storage unit for storing the electrode position data shown for each substrate type;
Executes failure cause analysis processing to analyze the cause of misalignment on the basis of the measurement result of solder misalignment for each individual substrate obtained by solder inspection performed on the individual substrate after printing. And a failure cause analysis processing unit that outputs the analysis result,
The defect cause analysis processing unit is configured to cause the mark recognition unit to recognize a position reference mark of a specific individual substrate;
An alignment processing unit to align said carrier relative to said screen mask by the positioning control section on the basis of this recognition result,
In the measurement result of the solder misalignment, if a misalignment outside the predetermined range for the specific individual substrate is detected, an analysis result indicating that the misalignment of the carrier by the screen printing apparatus is caused. Output,
If a positional deviation outside the specified range is detected for individual substrates other than the specific individual substrate, an analysis result indicating that the individual substrate is misaligned with the carrier is output,
A screen printing apparatus comprising: an analysis result output processing unit that outputs an analysis result indicating that the variation of the positional deviation in the same individual substrate exceeds an allowable range; .
前記スクリーン印刷装置は、前記ペーストが供給されたスクリーンマスク上でスキージを摺動させることにより、基板位置決め部に位置決め保持された前記キャリアの各個片基板に前記スクリーンマスクに形成されたパターン孔を介してペーストを印刷するスクリーン印刷機構と、前記スクリーンマスクに形成されたマスク認識マークおよび前記個片基板に形成された位置基準マークを認識するマーク認識手段と、前記マーク認識手段の認識結果に基づいて前記基板位置決め部を制御することにより、前記スクリーンマスクに対して前記キャリアを位置合わせする位置合わせ制御部と、前記キャリアの位置合わせにおいて用いられる参照データであって、前記パターン孔の配列と前記マスク認識マークとの位置関係を示す印刷位置データおよび前記個片基板における電極と前記位置基準マークとの位置関係を示す電極位置データとを基板品種毎に記憶するデータ記憶部とを有し、
前記マーク認識手段に特定の個片基板の位置基準マークを認識させる認識制御処理部と、
この認識結果に基づき前記位置合わせ制御部によって前記スクリーンマスクに対して前記キャリアを位置合わせさせる位置合わせ処理部と、
前記半田位置ずれの計測結果において、前記特定の個片基板について予め規定された規定範囲外の位置ずれが検出されたならば、スクリーン印刷装置によるキャリアの位置合わせ不良に起因する旨の解析結果を出力し、
前記特定の個片基板以外の個片基板について予め規定された規定範囲外の位置ずれが検出されたならば、キャリアへの個片基板の位置合わせ不良に起因する旨の解析結果を出力し、
同一の個片基板における位置ずれのばらつき範囲が許容範囲を超えるならば、個片基板の伸縮に起因する旨の解析結果を出力する解析結果出力処理部とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷における不良原因の解析装置。 In a screen printing apparatus that targets a plurality of individual substrates held by a carrier and collectively prints a paste for joining components on electrodes formed on these individual substrates. A defect that performs failure cause analysis processing to analyze the cause of a defect related to misalignment based on the measurement result of the solder misalignment for each individual board obtained by solder inspection executed as a target, and outputs the analysis result A cause analysis device,
The screen printing apparatus slides a squeegee on a screen mask supplied with the paste, thereby passing through pattern holes formed in the screen mask on each individual substrate of the carrier positioned and held by the substrate positioning unit. A screen printing mechanism for printing paste, a mark recognition unit for recognizing a mask recognition mark formed on the screen mask and a position reference mark formed on the individual substrate, and a recognition result of the mark recognition unit An alignment control unit that aligns the carrier with respect to the screen mask by controlling the substrate positioning unit, and reference data used in the alignment of the carrier, the array of the pattern holes and the mask Print position data indicating the positional relationship with the recognition mark and And an electrode position data indicating the positional relationship between the electrode and the position reference mark in the substrate pieces and a data storage unit for storing for each board type,
A recognition control processing unit for causing the mark recognition means to recognize a position reference mark of a specific individual substrate;
An alignment processing unit to align said carrier relative to said screen mask by the positioning control section on the basis of this recognition result,
In the measurement result of the solder misalignment, if a misalignment outside the predetermined range for the specific individual substrate is detected, an analysis result indicating that the misalignment of the carrier by the screen printing apparatus is caused. Output,
If a positional deviation outside the specified range is detected for individual substrates other than the specific individual substrate, an analysis result indicating that the individual substrate is misaligned with the carrier is output,
Screen printing characterized by comprising an analysis result output processing unit for outputting an analysis result indicating that due to expansion / contraction of the individual substrate if the variation range of the positional deviation on the same individual substrate exceeds an allowable range Failure cause analysis equipment.
前記スクリーン印刷装置は、前記ペーストが供給されたスクリーンマスク上でスキージを摺動させることにより、基板位置決め部に位置決め保持された前記キャリアの各個片基板に前記スクリーンマスクに形成されたパターン孔を介してペーストを印刷するスクリーン印刷機構と、前記スクリーンマスクに形成されたマスク認識マークおよび前記個片基板に形成された位置基準マークを認識するマーク認識手段と、前記マーク認識手段の認識結果に基づいて前記基板位置決め部を制御することにより、前記スクリーンマスクに対して前記キャリアを位置合わせする位置合わせ制御部と、前記キャリアの位置合わせにおいて用いられる参照データであって、前記パターン孔の配列と前記マスク認識マークとの位置関係を示す印刷位置データおよび前記個片基板における電極と前記位置基準マークとの位置関係を示す電極位置データとを基板品種毎に記憶するデータ記憶部とを備え、
前記マーク認識手段に特定の個片基板の位置基準マークを認識させる認識制御処理工程と、
この認識結果に基づき前記位置合わせ制御部によって前記スクリーンマスクに対して前記キャリアを位置合わせさせる位置合わせ処理工程と、
前記半田位置ずれの計測結果において、前記特定の個片基板について予め規定された規定範囲外の位置ずれが検出されたならば、スクリーン印刷装置によるキャリアの位置合わせ不良に起因する旨の解析結果を出力し、
前記特定の個片基板以外の個片基板について予め規定された規定範囲外の位置ずれが検出されたならば、キャリアへの個片基板の位置合わせ不良に起因する旨の解析結果を出力し、
同一の個片基板における位置ずれのばらつき範囲が許容範囲を超えるならば、個片基板の伸縮に起因する旨の解析結果を出力する解析結果出力処理工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷における不良原因の解析方法。 In a screen printing apparatus that targets a plurality of individual substrates held by a carrier and collectively prints a paste for joining components on electrodes formed on these individual substrates. Defects that execute defect cause analysis processing to analyze the cause of defects with respect to misalignment based on the measurement results of solder misalignment for each individual board obtained by the solder inspection performed as a target, and output the analysis results A cause analysis method,
The screen printing apparatus slides a squeegee on a screen mask supplied with the paste, thereby passing through pattern holes formed in the screen mask on each individual substrate of the carrier positioned and held by the substrate positioning unit. A screen printing mechanism for printing paste, a mark recognition unit for recognizing a mask recognition mark formed on the screen mask and a position reference mark formed on the individual substrate, and a recognition result of the mark recognition unit An alignment control unit that aligns the carrier with respect to the screen mask by controlling the substrate positioning unit, and reference data used in the alignment of the carrier, the array of the pattern holes and the mask Print position data indicating the positional relationship with the recognition mark and And an electrode position data indicating the positional relationship between the electrode and the position reference mark in the substrate pieces and a data storage unit for storing for each board type,
A recognition control processing step for causing the mark recognition means to recognize a position reference mark of a specific individual substrate;
An alignment step that makes aligning the carrier with respect to the screen mask by the positioning control section on the basis of this recognition result,
In the measurement result of the solder misalignment, if a misalignment outside the predetermined range for the specific individual substrate is detected, an analysis result indicating that the misalignment of the carrier by the screen printing apparatus is caused. Output,
If a positional deviation outside the specified range is detected for individual substrates other than the specific individual substrate, an analysis result indicating that the individual substrate is misaligned with the carrier is output,
In the screen printing, including an analysis result output processing step of outputting an analysis result indicating that the variation result of the positional deviation in the same individual substrate exceeds the allowable range and is caused by expansion and contraction of the individual substrate. Defect cause analysis method.
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