JP5860882B2 - 物体を検査するための装置および方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 9
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 101
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 71
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 16
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 2
- 0 C=*CC1CCCC1 Chemical compound C=*CC1CCCC1 0.000 description 2
- 241000287828 Gallus gallus Species 0.000 description 2
- 235000013372 meat Nutrition 0.000 description 2
- KWMWCNWZXOXEMT-DVRYWGNFSA-N C[C@@](CO)(C[IH]C)[C@@H]1CC(CP)CC1 Chemical compound C[C@@](CO)(C[IH]C)[C@@H]1CC(CP)CC1 KWMWCNWZXOXEMT-DVRYWGNFSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 150000001413 amino acids Chemical class 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 235000014633 carbohydrates Nutrition 0.000 description 1
- 150000001720 carbohydrates Chemical class 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 1
- 239000003925 fat Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 235000015097 nutrients Nutrition 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 235000013343 vitamin Nutrition 0.000 description 1
- 229940088594 vitamin Drugs 0.000 description 1
- 229930003231 vitamin Natural products 0.000 description 1
- 239000011782 vitamin Substances 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/4738—Diffuse reflection, e.g. also for testing fluids, fibrous materials
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/27—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands using photo-electric detection ; circuits for computing concentration
- G01N21/274—Calibration, base line adjustment, drift correction
- G01N21/278—Constitution of standards
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/4785—Standardising light scatter apparatus; Standards therefor
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/49—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
- G02B26/124—Details of the optical system between the light source and the polygonal mirror
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/85—Investigating moving fluids or granular solids
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
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Description
放射線を放射するよう適合した放射デバイス(14)と;
該放射デバイスにより放射される該放射線の一部(16a)をブロックするよう適合したストップ要素(20)と;
該ストップ要素によって物体(12)上に生じた暗領域(24)を投射するようにおよび該ストップ要素を通過した放射線(16b)を該物体に向かって方向変換するように適合した走査デバイス(26)であって、該方向変換された放射線の少なくとも一部が該物体内で散乱されて該物体を通り散乱放射線(42)として外に出る、走査デバイス(26)と;
該走査デバイスを介して該散乱放射線を受け取るかまたは検出するよう適合し、その視野(36)が該投射された暗領域(24)と一致する、検出デバイス(34)と
を具備する、該物体を検査するための装置(10)。
[本発明1002]
ストップ要素(20)が放射デバイスの前に設けられている、本発明1001の装置。
[本発明1003]
ストップ要素(20)が、放射デバイスの前に配置されたアパーチャ(18)内に設けられている、本発明1001または1002の装置。
[本発明1004]
放射デバイスおよび検出デバイスが互いに対して斜めに配されている、前記本発明のいずれかの装置。
[本発明1005]
走査デバイスが、投射された暗領域(24)、方向変換された放射線(16b)、および検出デバイスの視野(36)を、検査対象の物体が存在していてもよい検査幅(32)に沿って掃引するよう適合している、前記本発明のいずれかの装置。
[本発明1006]
走査デバイスが、複数の側部(28)を持つ回転式多角形ミラーである、前記本発明のいずれかの装置。
[本発明1007]
回転式多角形ミラーの少なくとも1つの側部がキャリブレーション要素を具備する、本発明1006の装置。
[本発明1008]
キャリブレーション要素が、
少なくとも1つの実質的に白い表面(48)によって反射された放射線を検出デバイスが直接的に受け取るかまたは検出することを可能にするように角度付けされた該少なくとも1つの実質的に白い表面を含む、白色キャリブレーション要素(44);および
互いに対して角度付けされた2つの反射表面(50a、50b;58a、58b)と、それらの間に設けられており特定のスペクトルシグネチャを持つ透過オブジェクト(52;60)とを含む、スペクトル式キャリブレーション要素(46)
のうち1つである、本発明1007の装置。
[本発明1009]
回転式多角形ミラーの対向する側部上に配された2つのそのようなキャリブレーション要素を具備する、本発明1007または1008の装置。
[本発明1010]
検査対象の物体を運搬するよう適合したコンベヤをさらに具備する、前記本発明のいずれかの装置。
[本発明1011]
走査デバイス(26)と検出デバイス(34)との間の光路内に配されたビームスプリッタ(76)であって、それに向かって入ってくる放射線の一部を検出デバイス(34)まで透過させ、かつ該入ってくる放射線の一部を別の検出デバイス(82)まで反射させるように適合しているビームスプリッタ
をさらに具備する、前記本発明のいずれかの装置。
[本発明1012]
物体(12)により反射された放射線を別の検出デバイス(82)が受け取れるように、ビームスプリッタが傾斜しているかまたは傾斜可能である、本発明1011の装置。
[本発明1013]
以下の段階を含む、物体(12)を検査するための方法:
放射デバイス(14)によって放射線を放射する段階;
該放射された放射線の一部(16a)を、該放射デバイスの前に設けられているストップ要素(20)によってブロックする段階;
走査デバイス(26)によって、該ストップ要素によって生じた暗領域(24)を該物体上に投射し、かつ該ストップ要素を通過した放射線(16b)を該物体に向かって方向変換する段階であって、該方向変換された放射線の少なくとも一部が該物体内で散乱されて該物体を通り散乱放射線(42)として外に出る、段階;および
検出デバイス(34)によって、該走査デバイスを介して該散乱放射線を受け取るかまたは検出する段階であって、該検出デバイスの視野(36)が、該投射された暗領域(24)と一致する、段階。
次に、本発明の現在の好ましい態様を示した添付の図面を参照しながら、本発明のこれらおよび他の局面をさらに詳しく説明する。
Claims (11)
- コンベヤベルトに乗って運ばれる高さにばらつきがある物体(12)を検査するための装置(10)であって、
放射線を放射するよう適合した放射デバイス(14)と;
該放射デバイスにより放射される該放射線の一部(16a)をブロックするよう適合した、該放射デバイスの前に配置された円形のアパーチャ(18)内に設けられ、該アパーチャをその直径に沿って横切るバンドまたは長方形の形状を有するストップ要素(20)と;
該ストップ要素によって生じる暗領域(24)を該物体上に投射するようにおよび該ストップ要素を通過した放射線(16b)を該物体に向かって方向変換するように適合した走査デバイス(26)であって、該方向変換された放射線の少なくとも一部が該物体内で散乱されて該物体を通り散乱放射線(42)として外に出る、走査デバイス(26)と;
該走査デバイスを介して該散乱放射線を受け取るかまたは検出するよう適合し、その視野(36)が該投射された暗領域(24)と一致する、検出デバイス(34)と
を具備する、該装置。 - 放射デバイスおよび検出デバイスが互いに対して斜めに配されている、請求項1記載の装置。
- 走査デバイスが、投射された暗領域(24)、方向変換された放射線(16b)、および検出デバイスの視野(36)を、検査対象の物体が存在していてもよい検査幅(32)に沿って掃引するよう適合している、請求項1または2記載の装置。
- 走査デバイスが、複数の側部(28)を持つ回転式多角形ミラーである、請求項1〜3のいずれか一項記載の装置。
- 回転式多角形ミラーの少なくとも1つの側部がキャリブレーション要素を具備する、請求項4記載の装置。
- 回転式多角ミラーの対向する2つの側部がそれぞれキャリブレーション要素を具備する、請求項5記載の装置。
- キャリブレーション要素が、
少なくとも1つの実質的に白い表面(48)によって反射された放射線を検出デバイスが直接的に受け取るかまたは検出することを可能にするように角度付けされた該少なくとも1つの実質的に白い表面を含む、白色キャリブレーション要素(44);および
互いに対して角度付けされた2つの反射表面(50a、50b;58a、58b)と、それらの間に設けられており特定のスペクトルシグネチャを持つ透過オブジェクト(52;60)とを含む、スペクトル式キャリブレーション要素(46)
から選択される、請求項5または6記載の装置。 - 検査対象の物体を運搬するよう適合したコンベヤをさらに具備する、請求項1〜7のいずれか一項記載の装置。
- 走査デバイス(26)と検出デバイス(34)との間の光路内に配されたビームスプリッタ(76)であって、それに向かって入ってくる放射線の一部を検出デバイス(34)まで透過させ、かつ該入ってくる放射線の一部を別の検出デバイス(82)まで反射させるように適合しているビームスプリッタ
をさらに具備する、請求項1〜8のいずれか一項記載の装置。 - 物体(12)により反射された放射線を別の検出デバイス(82)が受け取れるように、ビームスプリッタが傾斜しているかまたは傾斜可能である、請求項9記載の装置。
- 以下の段階を含む、高さにばらつきがある物体(12)を検査するための方法:
コンベヤベルトに乗せて物体を運ぶ段階;
放射デバイス(14)によって放射線を放射する段階;
該放射された放射線の一部(16a)を、該放射デバイスの前に配置された円形のアパーチャ(18)内に設けられている、該アパーチャをその直径に沿って横切るバンドまたは長方形の形状を有するストップ要素(20)によってブロックする段階;
走査デバイス(26)によって、該ストップ要素によって生じる暗領域(24)を該物体上に投射し、かつ該ストップ要素を通過した放射線(16b)を該物体に向かって方向変換する段階であって、該方向変換された放射線の少なくとも一部が該物体内で散乱されて該物体を通り散乱放射線(42)として外に出る、段階;および
検出デバイス(34)によって、該走査デバイスを介して該散乱放射線を受け取るかまたは検出する段階であって、該検出デバイスの視野(36)が、該投射された暗領域(24)と一致する、段階。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NO20101332 | 2010-09-24 | ||
NO20101332A NO336546B1 (no) | 2010-09-24 | 2010-09-24 | Apparat og fremgangsmåte for inspeksjon av materie |
PCT/NO2011/000260 WO2012039622A1 (en) | 2010-09-24 | 2011-09-19 | An apparatus and method for inspecting matter |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013537976A JP2013537976A (ja) | 2013-10-07 |
JP2013537976A5 JP2013537976A5 (ja) | 2015-08-27 |
JP5860882B2 true JP5860882B2 (ja) | 2016-02-16 |
Family
ID=44720090
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013530107A Active JP5860882B2 (ja) | 2010-09-24 | 2011-09-19 | 物体を検査するための装置および方法 |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8902416B2 (ja) |
EP (1) | EP2619552B1 (ja) |
JP (1) | JP5860882B2 (ja) |
CN (1) | CN103180717B (ja) |
AU (1) | AU2011306522B2 (ja) |
CA (1) | CA2811877C (ja) |
DK (1) | DK2619552T3 (ja) |
ES (1) | ES2749466T3 (ja) |
NO (1) | NO336546B1 (ja) |
PL (1) | PL2619552T3 (ja) |
WO (1) | WO2012039622A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6335499B2 (ja) * | 2013-12-13 | 2018-05-30 | 株式会社イシダ | 光学検査装置 |
US9266148B2 (en) | 2014-06-27 | 2016-02-23 | Key Technology, Inc. | Method and apparatus for sorting |
US10363582B2 (en) | 2016-01-15 | 2019-07-30 | Key Technology, Inc. | Method and apparatus for sorting |
KR101674062B1 (ko) * | 2015-11-09 | 2016-11-08 | 주식회사 오토시스 | 광 스캐너 |
US10195647B2 (en) | 2016-01-15 | 2019-02-05 | Key Technology, Inc | Method and apparatus for sorting |
CN108885337B (zh) * | 2016-03-30 | 2021-06-04 | 株式会社尼康 | 光束扫描装置及图案描绘装置 |
JP6724663B2 (ja) * | 2016-09-01 | 2020-07-15 | 船井電機株式会社 | スキャナミラー |
CN110763689B (zh) * | 2019-11-14 | 2020-07-31 | 上海精测半导体技术有限公司 | 一种表面检测装置及方法 |
DE102020214216A1 (de) * | 2020-11-12 | 2022-05-12 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Lidar-Sensor |
DE102021202234A1 (de) * | 2021-03-09 | 2022-09-15 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | LiDAR-System zur Entfernungsbestimmung von Objekten |
Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1305192A (ja) | 1969-05-19 | 1973-01-31 | ||
US4283147A (en) * | 1979-06-14 | 1981-08-11 | Dreyfus-Pellman | Electro-optical scanning system |
CA1225137A (en) * | 1983-03-23 | 1987-08-04 | Ian D. Van Zyl | Ore sorting |
GB8424084D0 (en) * | 1984-09-24 | 1984-10-31 | Sira Ltd | Inspection apparatus |
JPH0690149B2 (ja) | 1986-01-31 | 1994-11-14 | 東洋ガラス株式会社 | 透光度検査装置 |
JPH0343707A (ja) * | 1989-07-11 | 1991-02-25 | Canon Inc | 走査光学装置 |
JPH0469547A (ja) * | 1990-07-10 | 1992-03-04 | Fujitsu Ltd | 物体表面情報検知装置及び物体表面情報検知方法 |
US5241329A (en) * | 1990-12-14 | 1993-08-31 | Xerox Corporation | Multiple resolution ros |
EP0610235A1 (en) | 1991-10-01 | 1994-08-17 | Oseney Limited | Scattered/transmitted light information system |
JP2511391B2 (ja) * | 1991-12-04 | 1996-06-26 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 光学式間隔センサ |
DE4207760A1 (de) * | 1992-03-11 | 1993-09-16 | Rodenstock Instr | Vorrichtung zur beobachtung des auges und insbesondere des augenhintergrundes |
JPH0634557A (ja) * | 1992-07-13 | 1994-02-08 | Asahi Optical Co Ltd | レーザ光学系、及びレーザビームを用いた被検面の表面状態の読取方法 |
US5559627A (en) * | 1994-12-19 | 1996-09-24 | Xerox Corporation | Optics for passive facet tracking |
US5546201A (en) * | 1994-12-20 | 1996-08-13 | Xerox Corporation | Double bounce passive facet tracking with a reflective diffraction grating on a flat facet |
JPH09311109A (ja) | 1996-05-22 | 1997-12-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光を使用した欠陥検査方法、およびその装置 |
DE69738762D1 (de) * | 1996-12-24 | 2008-07-24 | Asml Netherlands Bv | Optische prüfvorrichtung und mit einer solchen versehene lithographische vorrichtung |
BE1011076A3 (nl) * | 1997-03-28 | 1999-04-06 | Ruymen Marc | Werkwijze en inrichting voor het detecteren van onregelmatigheden in een produkt. |
US5945685A (en) * | 1997-11-19 | 1999-08-31 | International Business Machines Corporation | Glass substrate inspection tool having a telecentric lens assembly |
US6438396B1 (en) | 1998-11-05 | 2002-08-20 | Cytometrics, Inc. | Method and apparatus for providing high contrast imaging |
US6509537B1 (en) * | 1999-05-14 | 2003-01-21 | Gunther Krieg | Method and device for detecting and differentiating between contaminations and accepts as well as between different colors in solid particles |
JP4499341B2 (ja) * | 2002-05-09 | 2010-07-07 | ソニー株式会社 | 生体認証装置及び生体認証方法 |
GB0409691D0 (en) * | 2004-04-30 | 2004-06-02 | Titech Visionsort As | Apparatus and method |
US7768629B2 (en) * | 2006-05-12 | 2010-08-03 | Voith Patent Gmbh | Device and process for optical distance measurement |
US8488895B2 (en) | 2006-05-31 | 2013-07-16 | Indiana University Research And Technology Corp. | Laser scanning digital camera with pupil periphery illumination and potential for multiply scattered light imaging |
US7474389B2 (en) * | 2006-12-19 | 2009-01-06 | Dean Greenberg | Cargo dimensional and weight analyzing system |
BE1017898A3 (nl) * | 2007-12-14 | 2009-10-06 | Technology & Design B V B A | Sorteerapparaat en werkwijze voor het sorteren van producten. |
CN101498663B (zh) * | 2008-02-01 | 2011-08-31 | 凯迈(洛阳)测控有限公司 | 一种大气散射信号量测量装置及测量方法 |
CN102033308B (zh) * | 2010-10-22 | 2012-08-29 | 浙江大学 | 一种超高分辨率的光学显微成像方法及装置 |
-
2010
- 2010-09-24 NO NO20101332A patent/NO336546B1/no unknown
-
2011
- 2011-09-19 PL PL11763793T patent/PL2619552T3/pl unknown
- 2011-09-19 CN CN201180046188.8A patent/CN103180717B/zh active Active
- 2011-09-19 US US13/825,420 patent/US8902416B2/en active Active
- 2011-09-19 AU AU2011306522A patent/AU2011306522B2/en active Active
- 2011-09-19 DK DK11763793.4T patent/DK2619552T3/da active
- 2011-09-19 JP JP2013530107A patent/JP5860882B2/ja active Active
- 2011-09-19 EP EP11763793.4A patent/EP2619552B1/en active Active
- 2011-09-19 WO PCT/NO2011/000260 patent/WO2012039622A1/en active Application Filing
- 2011-09-19 CA CA2811877A patent/CA2811877C/en active Active
- 2011-09-19 ES ES11763793T patent/ES2749466T3/es active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2619552B1 (en) | 2019-07-17 |
WO2012039622A1 (en) | 2012-03-29 |
EP2619552A1 (en) | 2013-07-31 |
ES2749466T3 (es) | 2020-03-20 |
CN103180717B (zh) | 2015-08-12 |
AU2011306522A1 (en) | 2013-04-04 |
JP2013537976A (ja) | 2013-10-07 |
NO336546B1 (no) | 2015-09-21 |
DK2619552T3 (da) | 2019-10-21 |
PL2619552T3 (pl) | 2020-05-18 |
CN103180717A (zh) | 2013-06-26 |
NO20101332A1 (no) | 2012-03-26 |
US20130222806A1 (en) | 2013-08-29 |
US8902416B2 (en) | 2014-12-02 |
AU2011306522B2 (en) | 2015-01-29 |
CA2811877A1 (en) | 2012-03-29 |
WO2012039622A8 (en) | 2012-04-26 |
CA2811877C (en) | 2019-08-13 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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