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JP5772642B2 - Curable resin composition, cured film for display element, method for forming cured film for display element, and display element - Google Patents

Curable resin composition, cured film for display element, method for forming cured film for display element, and display element Download PDF

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JP5772642B2 JP2012026538A JP2012026538A JP5772642B2 JP 5772642 B2 JP5772642 B2 JP 5772642B2 JP 2012026538 A JP2012026538 A JP 2012026538A JP 2012026538 A JP2012026538 A JP 2012026538A JP 5772642 B2 JP5772642 B2 JP 5772642B2
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Description

本発明は、硬化性樹脂組成物、表示素子用硬化膜、表示素子用硬化膜の形成方法及び表示素子に関する。   The present invention relates to a curable resin composition, a cured film for a display element, a method for forming a cured film for a display element, and a display element.

液晶表示素子等の電子部品には、一般に層間絶縁膜、スペーサー、保護膜、カラーフィルタ用着色パターン等の硬化膜が用いられている。これらの硬化膜は、液晶表示素子の製造工程において、高温条件に曝されたり、レジストの剥離液等の各種溶媒に曝されることとなるため、十分な耐熱性、耐溶媒性等が必要とされる。   For electronic parts such as liquid crystal display elements, generally, cured films such as interlayer insulating films, spacers, protective films, and colored patterns for color filters are used. Since these cured films are exposed to high temperature conditions or various solvents such as a resist stripping solution in the manufacturing process of liquid crystal display elements, sufficient heat resistance, solvent resistance, etc. are required. Is done.

これらの硬化膜形成用の組成物としては、高い放射線感度、得られる硬化膜の高い光線透過率等の観点からネガ型感放射線性樹脂組成物が広く用いられている(特開平6−43643号公報及び特開2000−162769号公報参照)。近年、液晶表示素子にはさらなる大画面化、高輝度化、薄型化等が求められ、その製造工程時間の短縮化、コスト削減等が求められている。そのため、ネガ型感放射線性樹脂組成物のさらなる高感度化及び高解像度化が要求されている。また、省エネルギーの観点から、硬化膜及び液晶表示素子の製造における加熱工程の低温化等も求められるようになってきている。   As these compositions for forming a cured film, negative radiation-sensitive resin compositions are widely used from the viewpoints of high radiation sensitivity and high light transmittance of the resulting cured film (Japanese Patent Laid-Open No. 6-43643). Gazette and JP-A No. 2000-162769). In recent years, liquid crystal display devices are required to have a larger screen, higher brightness, thinner thickness, etc., and to shorten the manufacturing process time and cost. Therefore, further enhancement of sensitivity and resolution of the negative radiation sensitive resin composition is required. In addition, from the viewpoint of energy saving, it is also required to lower the temperature of the heating process in manufacturing the cured film and the liquid crystal display element.

上記ネガ型感放射線性樹脂組成物の高感度化及び高解像度化の要求に対し、オキシムエステル系光重合開始剤を含む組成物がいくつか検討されている(特表2004−534797号公報及び特開2011−132215号公報参照)。また、低温加熱工程に用いられる組成物として、エポキシ基を有するアルカリ可溶性樹脂とエポキシの硬化促進剤とを含有する組成物が開示されている(特開2011−232659号公報参照)。しかし、これらの組成物は低温加熱工程に十分対応できるものはなく、形成される硬化膜の光線透過率、耐光性、耐熱性等の諸性能は十分とは言えない。   In response to the demand for higher sensitivity and higher resolution of the negative radiation-sensitive resin composition, several compositions containing an oxime ester photopolymerization initiator have been studied (Japanese Patent Publication No. 2004-534797 and (See Japanese Unexamined Patent Publication No. 2011-132215). Moreover, the composition containing the alkali-soluble resin which has an epoxy group, and the hardening accelerator of an epoxy is disclosed as a composition used for a low-temperature heating process (refer Unexamined-Japanese-Patent No. 2011-232659). However, none of these compositions can sufficiently cope with the low-temperature heating process, and it cannot be said that various properties such as light transmittance, light resistance and heat resistance of the formed cured film are sufficient.

特開平6−43643号公報JP-A-6-43643 特開2000−162769号公報JP 2000-162769 A 特表2004−534797号公報JP-T-2004-534797 特開2011−132215号公報JP 2011-132215 A 特開2011−232659号公報JP 2011-232659 A

本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであり、その目的は、十分な解像度及び感度を有し、かつ液晶表示素子用硬化膜の製造に低温加熱工程を用いた場合でも耐溶媒性、耐熱性、現像耐性、圧縮性能、透過率、耐光性及び電圧保持率に優れる表示素子用硬化膜を形成することができる硬化性樹脂組成物、これを用いて形成される表示素子用硬化膜及びその形成方法、並びに表示素子を提供することである。   The present invention has been made based on the circumstances as described above, and its purpose is to have sufficient resolution and sensitivity, and is resistant even when a low-temperature heating process is used for producing a cured film for a liquid crystal display element. A curable resin composition capable of forming a cured film for a display element excellent in solvent resistance, heat resistance, development resistance, compression performance, transmittance, light resistance and voltage holding ratio, and a display element formed using the same A cured film, a method for forming the cured film, and a display element.

上記課題を解決するためになされた発明は、
[A]エポキシ基を有するアルカリ可溶性樹脂(以下、「[A]アルカリ可溶性樹脂」ともいう)、
[B]エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物(以下、「[B]重合性化合物」ともいう)、及び
[C]下記式(1)で表される化合物(以下、「[C]化合物」ともいう)
を含有する硬化性樹脂組成物である。

Figure 0005772642
(式(1)中、Rは、熱によって酸を発生する構造を有する基である。Rは、光によってラジカルを発生する構造を有する基である。R及びRは、それぞれ独立して、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数1〜12のアルコキシ基、炭素数4〜20の脂環式炭化水素基又はフェニル基である。a及びbは、それぞれ独立して、1〜5の整数である。c及びdは、それぞれ独立して、0〜4の整数である。Xは、酸素原子、硫黄原子又はセレン原子である。) The invention made to solve the above problems is
[A] an alkali-soluble resin having an epoxy group (hereinafter also referred to as “[A] alkali-soluble resin”),
[B] a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond (hereinafter also referred to as “[B] polymerizable compound”), and [C] a compound represented by the following formula (1) (hereinafter referred to as “[C] compound”) Is also called)
Is a curable resin composition.
Figure 0005772642
(In Formula (1), R 1 is a group having a structure that generates an acid by heat. R 2 is a group having a structure that generates a radical by light. R 3 and R 4 are independent of each other. And an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms, or a phenyl group. And c and d are each independently an integer of 0 to 4. X is an oxygen atom, a sulfur atom or a selenium atom.)

当該硬化性樹脂組成物は、[A]アルカリ可溶性樹脂、[B]重合性化合物及び上記特定構造の[C]化合物を含有する。当該硬化性樹脂組成物は、[C]化合物が、熱によって酸を発生する構造及び光によってラジカルを発生する構造を有する化合物であることにより、熱によっても光によっても硬化させることが可能となる。これにより、当該硬化性樹脂組成物は、露光工程においてラジカル重合した後、加熱工程において発生した酸が[A]アルカリ可溶性樹脂の硬化促進剤として機能し、さらに硬化を促進させることができる。上記酸を発生させるための加熱工程は、従来の組成物に対する硬化のための露光後加熱工程におけるような230℃以上の高温加熱を必要としない低温加熱工程であるため、省エネルギーの観点からも好ましい。また、当該硬化性樹脂組成物は、十分な解像性及び放射線感度を有し、容易に微細かつ精巧なパターンを形成できる。   The said curable resin composition contains [A] alkali-soluble resin, [B] polymeric compound, and the [C] compound of the said specific structure. In the curable resin composition, the [C] compound is a compound having a structure that generates an acid by heat and a structure that generates a radical by light, so that it can be cured by heat or light. . As a result, in the curable resin composition, after radical polymerization in the exposure step, the acid generated in the heating step functions as a curing accelerator for the [A] alkali-soluble resin, and can further promote curing. The heating step for generating the acid is a low-temperature heating step that does not require a high-temperature heating of 230 ° C. or higher as in the post-exposure heating step for curing the conventional composition, and is preferable from the viewpoint of energy saving. . Moreover, the said curable resin composition has sufficient resolution and radiation sensitivity, and can form a fine and elaborate pattern easily.

上記式(1)におけるRは下記式(2)で表される基を含み、かつ、Rは下記式(3)で表される基を含むことが好ましい。

Figure 0005772642
(式(2)中、Rは、水素原子、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数1〜6のフルオロアルキル基、フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基、アントリル基又はシクロへキシル基である。但し、上記Rのアルキル基の有する水素原子の1つが水酸基で置換されていてもよい。Rは、炭素数1〜12のアルカンジイル基である。Rは、−O−、−S−、−NR−、−NRCO−、−SO−、−CS−
、−OCO−又は−COO−である。Rは、水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基である。
式(3)中、Rは、水素原子、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数1〜6のフルオロアルキル基、フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基、アントリル基又はシクロへキシル基である。但し、上記Rのアルキル基の有する水素原子の1つが水酸基で置換されていてもよい。R10は、2価の有機基である。R11は、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数1〜12のアルコキシ基、シアノ基、ベンジル基、フェネチル基、炭素数4〜20の脂環式炭化水素基又はフェニル基である。但し、上記R11のフェニル基が有する水素原子の一部又は全部は、炭素数1〜12のアルキル基又は炭素数1〜12のアルコキシ基で置換されていてもよい。) R 1 in the above formula (1) preferably contains a group represented by the following formula (2), and R 2 contains a group represented by the following formula (3).
Figure 0005772642
(In the formula (2), R 5 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a fluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group, a tolyl group, a xylyl group, a naphthyl group, an anthryl group, or cyclohexane. A hydrogen atom of the alkyl group of R 5 may be substituted with a hydroxyl group, R 6 is an alkanediyl group having 1 to 12 carbon atoms, R 7 is — O -, - S -, - NR 8 -, - NR 8 CO -, - SO 2 -, - CS-
, -OCO- or -COO-. R 8 is a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.
In formula (3), R 9 is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a fluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group, a tolyl group, a xylyl group, a naphthyl group, an anthryl group, or a cyclohexyl group. It is a group. However, one of the hydrogen atoms of the alkyl group of R 9 may be substituted with a hydroxyl group. R 10 is a divalent organic group. R 11 is an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms, a cyano group, a benzyl group, a phenethyl group, an alicyclic hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms, or a phenyl group. However, some or all of the hydrogen atom of the phenyl group of said R 11, which may be substituted with an alkyl group or an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms having 1 to 12 carbon atoms. )

上記式(2)で表される基は、熱により酸を発生する構造を有する。また、上記式(3)で表されるオキシムエステル構造を含む基は、光照射によりラジカルを発生することができる。当該硬化性樹脂組成物は、[C]化合物が上記特定構造の基を有することで、熱により酸を発生し易く、光照射によりラジカルを発生し易くなる。これにより、当該硬化性樹脂組成物は、解像性及び放射線感度を十分満足すると共に、硬化膜形成工程において、低温加熱工程を用いても耐溶媒性等に十分優れる硬化膜を形成することができる。   The group represented by the above formula (2) has a structure that generates an acid by heat. Moreover, the group containing the oxime ester structure represented by the above formula (3) can generate a radical by light irradiation. The said curable resin composition becomes easy to generate | occur | produce an acid with a heat | fever, and to generate | occur | produce a radical by light irradiation because the [C] compound has group of the said specific structure. As a result, the curable resin composition sufficiently satisfies the resolution and radiation sensitivity, and can form a cured film that is sufficiently excellent in solvent resistance and the like even in the cured film forming process even if a low-temperature heating process is used. it can.

上記式(2)におけるRと式(3)におけるRとは同一の基であることが好ましい。[C]化合物は、上記式(2)におけるRと式(3)におけるRとを同一の基とすることにより、合成がより容易となり、精製分離工程等を省くことができるため、製造コストを削減することができる。また、このような[C]化合物を含有する当該硬化性樹脂組成物は、解像性及び放射線感度を十分満足すると共に、硬化膜形成工程において、低温加熱工程を用いても耐溶媒性等にさらに優れる硬化膜を形成することができる。 R 5 in the formula (2) and R 9 in the formula (3) are preferably the same group. The compound [C] is produced by making R 5 in the above formula (2) and R 9 in the formula (3) the same group, which makes synthesis easier and eliminates the purification separation step and the like. Cost can be reduced. In addition, the curable resin composition containing such a [C] compound sufficiently satisfies the resolution and radiation sensitivity, and has a solvent resistance and the like even when a low-temperature heating step is used in the cured film forming step. Furthermore, the cured film which is excellent can be formed.

上記式(1)におけるa及びbは1、c及びdは0、式(2)におけるRはメチル基、Rはエチレン基、Rは−O−、式(3)におけるR及びR11はメチル基、R10はカルボニル基であることが好ましい。[C]化合物がこのような特定構造の化合物であると、当該硬化性樹脂組成物は、解像性及び放射線感度を十分満足すると共に、硬化膜形成工程において、低温加熱工程を用いても耐溶媒性等に特に優れる硬化膜を形成することができる。 In the formula (1), a and b are 1, c and d are 0, R 5 in the formula (2) is a methyl group, R 6 is an ethylene group, R 7 is -O-, R 9 in the formula (3) and R 11 is preferably a methyl group, and R 10 is preferably a carbonyl group. When the compound [C] is a compound having such a specific structure, the curable resin composition sufficiently satisfies the resolution and the radiation sensitivity, and is resistant even if a low-temperature heating step is used in the cured film forming step. A cured film having particularly excellent solvent properties can be formed.

[A]エポキシ基を有するアルカリ可溶性樹脂は、
(a1)カルボキシル基を有する重合性化合物由来の構造単位(以下、「(a1)構造単位」ともいう)、及び
(a2)エポキシ基を有する重合性化合物由来の構造単位(以下、「(a2)構造単位」ともいう)
を含む共重合体であることが好ましい。
[A] An alkali-soluble resin having an epoxy group is
(A1) a structural unit derived from a polymerizable compound having a carboxyl group (hereinafter also referred to as “(a1) structural unit”), and (a2) a structural unit derived from a polymerizable compound having an epoxy group (hereinafter referred to as “(a2) Also called “structural unit”)
It is preferable that it is a copolymer containing.

[A]アルカリ可溶性樹脂が(a1)構造単位を含むことで、アルカリ水溶液に対する溶解性を最適化すると共に放射線感度に優れる硬化性樹脂組成物が得られる。また、[A]アルカリ可溶性樹脂が、(a1)構造単位と共に(a2)構造単位を含むことで、[C]化合物が発生する酸の作用による硬化がより促進される。   [A] When alkali-soluble resin contains (a1) structural unit, the curable resin composition which optimizes the solubility with respect to aqueous alkali solution, and is excellent in a radiation sensitivity is obtained. Moreover, the [A] alkali-soluble resin contains the (a2) structural unit together with the (a1) structural unit, whereby curing due to the action of the acid generated by the [C] compound is further promoted.

当該硬化性樹脂組成物は、[B]エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物として、(a3)下記式(4)で表される構造単位(以下、「(a3)構造単位」ともいう)を含む重合体(以下、「[B1]重合体」ともいう)を含有することが好ましい。

Figure 0005772642
(式(4)中、R12及びR13は、水素原子又はメチル基である。R14は、下記式(4−1)又は式(4−2)で表される基である。nは、1から6の整数である。)
Figure 0005772642
(式(4−1)中、R15は、水素原子又はメチル基である。式(4−1)及び式(4−2)中、*は、隣接する酸素原子に結合する部位を示す。) The curable resin composition is [B] a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond (a3) a structural unit represented by the following formula (4) (hereinafter also referred to as “(a3) structural unit”). It is preferable to contain a polymer (hereinafter also referred to as “[B1] polymer”).
Figure 0005772642
(In formula (4), R 12 and R 13 are a hydrogen atom or a methyl group. R 14 is a group represented by the following formula (4-1) or formula (4-2). An integer from 1 to 6.)
Figure 0005772642
(In Formula (4-1), R 15 represents a hydrogen atom or a methyl group. In Formula (4-1) and Formula (4-2), * represents a site bonded to an adjacent oxygen atom. )

当該硬化性樹脂組成物は、[B]重合性化合物として(a3)構造単位を含む[B1]重合体を含有することで、得られる表示素子用硬化膜の耐熱性等をより向上させることができる。   The said curable resin composition can improve the heat resistance etc. of the cured film for display elements obtained by containing the [B1] polymer containing a structural unit (a3) as a [B] polymeric compound. it can.

当該硬化性樹脂組成物は、[D]ラジカル捕捉剤をさらに含有することが好ましい。当該硬化性樹脂組成物は、[D]ラジカル捕捉剤をさらに含有することで、保存時の安定性に優れる。   The curable resin composition preferably further contains a [D] radical scavenger. The said curable resin composition is excellent in the stability at the time of a preservation | save by further containing a [D] radical scavenger.

当該硬化性樹脂組成物は、[E]着色剤をさらに含有することが好ましい。当該硬化性樹脂組成物が、[E]着色剤をさらに含有することで、例えばカラーフィルタ用着色パターン等としての表示素子用硬化膜を形成することができる。   It is preferable that the said curable resin composition further contains a [E] coloring agent. When the curable resin composition further contains an [E] colorant, for example, a cured film for a display element as a colored pattern for a color filter or the like can be formed.

当該硬化性樹脂組成物は、表示素子用硬化膜の形成用として好ましい。また本発明には当該硬化性樹脂組成物から形成される表示素子用硬化膜、及びこの表示素子用硬化膜を備える表示素子が好適に含まれる。   The curable resin composition is preferable for forming a cured film for a display element. Moreover, the display element provided with the cured film for display elements formed from the said curable resin composition and this cured film for display elements is suitably contained in this invention.

本発明の表示素子用硬化膜の形成方法は、
(1)本発明の硬化性樹脂組成物を用い、基板上に塗膜を形成する工程、
(2)上記塗膜の少なくとも一部に放射線を照射する工程、
(3)上記放射線が照射された塗膜を現像する工程、及び
(4)上記現像された塗膜を200℃以下の温度で加熱する工程
を有する。
The method for forming a cured film for a display element of the present invention is as follows.
(1) The process of forming a coating film on a board | substrate using the curable resin composition of this invention,
(2) A step of irradiating at least a part of the coating film with radiation,
(3) a step of developing the coating film irradiated with the radiation; and (4) a step of heating the developed coating film at a temperature of 200 ° C. or less.

本発明の形成方法によると、圧縮性能、透過率、耐光性、電圧保持率、現像耐性、耐熱性及び耐溶媒性に優れる表示素子用硬化膜を形成できる。   According to the forming method of the present invention, it is possible to form a cured film for a display element that is excellent in compression performance, transmittance, light resistance, voltage holding ratio, development resistance, heat resistance and solvent resistance.

なお、ここで「放射線」及び「光」は、どちらも可視光線、紫外線、遠紫外線、X線、荷電粒子線等を含む同一の概念である。   Here, both “radiation” and “light” are the same concept including visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, X-rays, charged particle beams, and the like.

以上説明したように、本発明の硬化性樹脂組成物は、十分な解像度及び感度を有し、かつ表示素子用硬化膜の製造において低温加熱工程を用いた場合でも耐溶媒性、耐熱性、現像耐性、圧縮性能、透過率、耐光性及び電圧保持率に優れる表示素子用硬化膜を形成することができる。従って、当該硬化性樹脂組成物は、表示素子用カラーフィルタ、アレイ用層間絶縁膜、固体撮像素子の色分解用カラーフィルタ、有機EL表示素子用カラーフィルタ、電子ペーパー等のフレキシブルディスプレイ用カラーフィルタ、タッチパネル用保護膜、金属配線や金属バンプの形成、基板の加工等に用いられるフォトファブリケーション用レジスト等に好適である。   As described above, the curable resin composition of the present invention has sufficient resolution and sensitivity, and even when a low temperature heating process is used in the production of a cured film for a display element, solvent resistance, heat resistance, development A cured film for a display element that is excellent in resistance, compression performance, transmittance, light resistance, and voltage holding ratio can be formed. Therefore, the curable resin composition includes a color filter for display elements, an interlayer insulating film for arrays, a color filter for color separation of solid-state imaging elements, a color filter for organic EL display elements, a color filter for flexible displays such as electronic paper, It is suitable for a protective film for touch panel, a resist for photofabrication used for forming a metal wiring or metal bump, processing a substrate, and the like.

<硬化性樹脂組成物>
本発明の感放射線性樹脂組成物は、[A]アルカリ可溶性樹脂、[B]重合性化合物、及び[C]化合物を含有する。また、当該硬化性樹脂組成物は、好適成分として[D]ラジカル捕捉剤、[E]着色剤を含有することができる。さらに、当該硬化性樹脂組成物は、本発明の効果を損なわない限りその他の任意成分を含有してもよい。以下、各成分を詳述する。
<Curable resin composition>
The radiation sensitive resin composition of this invention contains [A] alkali-soluble resin, [B] polymeric compound, and [C] compound. Moreover, the said curable resin composition can contain a [D] radical scavenger and a [E] colorant as a suitable component. Furthermore, the said curable resin composition may contain another arbitrary component, unless the effect of this invention is impaired. Hereinafter, each component will be described in detail.

<[A]アルカリ可溶性樹脂>
[A]アルカリ可溶性樹脂は、エポキシ基を含むアルカリ可溶性樹脂であり、(a1)構造単位及び(a2)構造単位を含むことが好ましい。また、[A]アルカリ可溶性樹脂としては、(a1)構造単位及び(a3)構造単位を含む樹脂であることも好ましく、(a1)構造単位及び(a4)下記式(2)で表される構造単位を含む樹脂であることも好ましい。なお、[A]アルカリ可溶性樹脂は、本発明の効果を損なわない限り、(a1)構造単位〜(a4)構造単位以外の他の構造単位を含んでいてもよい。
<[A] alkali-soluble resin>
[A] The alkali-soluble resin is an alkali-soluble resin containing an epoxy group, and preferably contains (a1) structural unit and (a2) structural unit. [A] The alkali-soluble resin is also preferably a resin containing (a1) structural unit and (a3) structural unit. (A1) Structural unit and (a4) Structure represented by the following formula (2) A resin containing units is also preferred. In addition, [A] alkali-soluble resin may contain other structural units other than (a1) structural unit-(a4) structural unit, unless the effect of this invention is impaired.

[A]アルカリ可溶性樹脂は、溶媒中で重合開始剤の存在下、各構造単位を与える化合物をラジカル重合することによって合成できる。以下、各構造単位を与える化合物を詳述する。なお、各化合物は2種以上を併用してもよい。   [A] The alkali-soluble resin can be synthesized by radical polymerization of a compound giving each structural unit in the presence of a polymerization initiator in a solvent. Hereinafter, the compound which gives each structural unit is explained in full detail. In addition, each compound may use 2 or more types together.

[(a1)構造単位]
(a1)構造単位は、カルボキシル基を有する重合性化合物由来の構造単位であり、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群より選択される少なくとも1種の化合物に由来する構造単位である。(a1)構造単位を与える化合物としては、例えば不飽和モノカルボン酸、不飽和ジカルボン酸、不飽和ジカルボン酸の無水物、多価カルボン酸のモノ[(メタ)アクリロイルオキシアルキル]エステル、両末端にカルボキシル基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート、カルボキシル基を有する不飽和多環式化合物及びその無水物等が挙げられる。
[(A1) Structural unit]
(A1) The structural unit is a structural unit derived from a polymerizable compound having a carboxyl group, and is a structural unit derived from at least one compound selected from the group consisting of an unsaturated carboxylic acid and an unsaturated carboxylic acid anhydride. is there. (A1) Examples of compounds that give structural units include unsaturated monocarboxylic acids, unsaturated dicarboxylic acids, anhydrides of unsaturated dicarboxylic acids, mono [(meth) acryloyloxyalkyl] esters of polyvalent carboxylic acids, Examples thereof include mono (meth) acrylates of polymers having a carboxyl group and a hydroxyl group, unsaturated polycyclic compounds having a carboxyl group, and anhydrides thereof.

不飽和モノカルボン酸としては、例えばアクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸等が挙げられる。不飽和ジカルボン酸としては、例えばマレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸等が挙げられる。不飽和ジカルボン酸の無水物としては、例えば上記ジカルボン酸として例示した化合物の無水物等が挙げられる。多価カルボン酸のモノ[(メタ)アクリロイルオキシアルキル]エステルとしては、例えばコハク酸モノ[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]、フタル酸モノ[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]等が挙げられる。両末端にカルボキシル基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレートとしては、例えばω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等が挙げられる。カルボキシル基を有する不飽和多環式化合物及びその無水物としては、例えば5−カルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−5−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−6−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−6−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン無水物等が挙げられる。   Examples of the unsaturated monocarboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, and crotonic acid. Examples of the unsaturated dicarboxylic acid include maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid, itaconic acid and the like. As an anhydride of unsaturated dicarboxylic acid, the anhydride of the compound illustrated as said dicarboxylic acid, etc. are mentioned, for example. Examples of mono [(meth) acryloyloxyalkyl] esters of polyvalent carboxylic acids include mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] succinate, mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] phthalate, and the like. . Examples of the mono (meth) acrylate of a polymer having a carboxyl group and a hydroxyl group at both ends include ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate. Examples of unsaturated polycyclic compounds having a carboxyl group and anhydrides thereof include 5-carboxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene and 5,6-dicarboxybicyclo [2.2.1] hept. 2-ene, 5-carboxy-5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-5-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy -6-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-6-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-dicarboxybicyclo [2.2 .1] hept-2-ene anhydride and the like.

これらのうち、モノカルボン酸、ジカルボン酸の無水物が好ましく、共重合反応性、アルカリ水溶液に対する溶解性及び入手の容易性の観点から、(メタ)アクリル酸、無水マレイン酸が、より好ましい。   Among these, monocarboxylic acid and dicarboxylic acid anhydrides are preferable, and (meth) acrylic acid and maleic anhydride are more preferable from the viewpoints of copolymerization reactivity, solubility in an aqueous alkali solution, and availability.

[A]アルカリ可溶性樹脂における(a1)構造単位の含有割合としては、全構造単位に対して、好ましくは5モル%〜30モル%、より好ましくは10モル%〜25モル%である。(a1)構造単位の含有割合を5モル%〜30モル%とすることで、[A]アルカリ可溶性樹脂のアルカリ水溶液に対する溶解性を最適化すると共に放射線性感度に優れる硬化性樹脂組成物が得られる。   [A] The content ratio of the (a1) structural unit in the alkali-soluble resin is preferably 5 mol% to 30 mol%, more preferably 10 mol% to 25 mol%, based on all structural units. (A1) By setting the content of the structural unit to 5 mol% to 30 mol%, [A] a curable resin composition that optimizes the solubility of the alkali-soluble resin in an alkaline aqueous solution and is excellent in radiation sensitivity is obtained. It is done.

[(a2)構造単位]
(a2)構造単位は、エポキシ基を有する重合性化合物に由来する構造単位である。エポキシ基としては、オキシラニル基(1,2−エポキシ構造)、オキセタニル基(1,3−エポキシ構造)が挙げられる。
[(A2) Structural unit]
(A2) The structural unit is a structural unit derived from a polymerizable compound having an epoxy group. Examples of the epoxy group include an oxiranyl group (1,2-epoxy structure) and an oxetanyl group (1,3-epoxy structure).

オキシラニル基を有する重合性化合物としては、例えばアクリル酸グリシジル、メタクリル酸2−メチルグリシジル、メタクリル酸グリシジル、α−エチルアクリル酸グリシジル、α−n−プロピルアクリル酸グリシジル、α−n−ブチルアクリル酸グリシジル、アクリル酸−3,4−エポキシブチル、メタクリル酸−3,4−エポキシブチル、アクリル酸−6,7−エポキシヘプチル、メタクリル酸−6,7−エポキシヘプチル、α−エチルアクリル酸−6,7−エポキシヘプチル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル、メタクリル酸3,4−エポキシシクロへキシル等が挙げられる。   Examples of the polymerizable compound having an oxiranyl group include glycidyl acrylate, 2-methylglycidyl methacrylate, glycidyl methacrylate, glycidyl α-ethyl acrylate, glycidyl α-n-propyl acrylate, and glycidyl α-n-butyl acrylate. , Acrylic acid-3,4-epoxybutyl, methacrylic acid-3,4-epoxybutyl, acrylic acid-6,7-epoxyheptyl, methacrylic acid-6,7-epoxyheptyl, α-ethylacrylic acid-6,7 -Epoxyheptyl, o-vinylbenzyl glycidyl ether, m-vinylbenzyl glycidyl ether, p-vinylbenzyl glycidyl ether, 3,4-epoxycyclohexyl methacrylate and the like.

オキセタニル基を有する重合性化合物としては、例えば
3−(アクリロイルオキシメチル)オキセタン、3−(アクリロイルオキシメチル)−2−メチルオキセタン、3−(アクリロイルオキシメチル)−3−エチルオキセタン、3−(アクリロイルオキシメチル)−2−トリフルオロメチルオキセタン、3−(アクリロイルオキシメチル)−2−ペンタフルオロエチルオキセタン、3−(アクリロイルオキシメチル)−2−フェニルオキセタン、3−(アクリロイルオキシメチル)−2,2−ジフルオロオキセタン、3−(アクリロイルオキシメチル)−2,2,4−トリフルオロオキセタン、3−(アクリロイルオキシメチル)−2,2,4,4−テトラフルオロオキセタン、3−(2−アクリロイルオキシエチル)オキセタン、3−(2−アクリロイルオキシエチル)−2−エチルオキセタン、3−(2−アクリロイルオキシエチル)−3−エチルオキセタン、3−(2−アクリロイルオキシエチル)−2−トリフルオロメチルオキセタン、3−(2−アクリロイルオキシエチル)−2−ペンタフルオロエチルオキセタン、3−(2−アクリロイルオキシエチル)−2−フェニルオキセタン、3−(2−アクリロイルオキシエチル)−2,2−ジフルオロオキセタン、3−(2−アクリロイルオキシエチル)−2,2,4−トリフルオロオキセタン、3−(2−アクリロイルオキシエチル)−2,2,4,4−テトラフルオロオキセタン等のアクリル酸エステル;
3−(メタクリロイルオキシメチル)オキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2−メチルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−3−エチルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2−トリフルオロメチルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2−ペンタフルオロエチルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2−フェニルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2,2−ジフルオロオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2,2,4−トリフルオロオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2,2,4,4−テトラフルオロオキセタン、3−(2−メタクリロイルオキシエチル)オキセタン、3−(2−メタクリロイルオキシエチル)−2−エチルオキセタン、3−(2−メタクリロイルオキシエチル)−3−エチルオキセタン、3−(2−メタクリロイルオキシエチル)−2−トリフルオロメチルオキセタン、3−(2−メタクリロイルオキシエチル)−2−ペンタフルオロエチルオキセタン、3−(2−メタクリロイルオキシエチル)−2−フェニルオキセタン、3−(2−メタクリロイルオキシエチル)−2,2−ジフルオロオキセタン、3−(2−メタクリロイルオキシエチル)−2,2,4−トリフルオロオキセタン、3−(2−メタクリロイルオキシエチル)−2,2,4,4−テトラフルオロオキセタン等のメタクリル酸エステル等が挙げられる。
Examples of the polymerizable compound having an oxetanyl group include 3- (acryloyloxymethyl) oxetane, 3- (acryloyloxymethyl) -2-methyloxetane, 3- (acryloyloxymethyl) -3-ethyloxetane, and 3- (acryloyl). Oxymethyl) -2-trifluoromethyloxetane, 3- (acryloyloxymethyl) -2-pentafluoroethyloxetane, 3- (acryloyloxymethyl) -2-phenyloxetane, 3- (acryloyloxymethyl) -2,2 -Difluorooxetane, 3- (acryloyloxymethyl) -2,2,4-trifluorooxetane, 3- (acryloyloxymethyl) -2,2,4,4-tetrafluorooxetane, 3- (2-acryloyloxyethyl) ) Oxetane, 3- ( 2-acryloyloxyethyl) -2-ethyloxetane, 3- (2-acryloyloxyethyl) -3-ethyloxetane, 3- (2-acryloyloxyethyl) -2-trifluoromethyloxetane, 3- (2-acryloyl) Oxyethyl) -2-pentafluoroethyloxetane, 3- (2-acryloyloxyethyl) -2-phenyloxetane, 3- (2-acryloyloxyethyl) -2,2-difluorooxetane, 3- (2-acryloyloxy) Ethyl) -2,2,4-trifluorooxetane, 3- (2-acryloyloxyethyl) -2,2,4,4-tetrafluorooxetane and other acrylic acid esters;
3- (methacryloyloxymethyl) oxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) -2-methyloxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) -3-ethyloxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) -2-trifluoromethyloxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) -2-pentafluoroethyloxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) -2-phenyloxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) -2,2-difluorooxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) -2,2,4-trifluorooxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) -2,2,4,4-tetrafluorooxetane, 3- (2-methacryloyloxyethyl) oxetane, 3- (2-methacryloyloxyethyl) 2-ethyloxetane, 3- (2-methacryloyloxyethyl) -3-ethyloxetane, 3- (2-methacryloyloxyethyl) -2-trifluoromethyloxetane, 3- (2-methacryloyloxyethyl) -2- Pentafluoroethyloxetane, 3- (2-methacryloyloxyethyl) -2-phenyloxetane, 3- (2-methacryloyloxyethyl) -2,2-difluorooxetane, 3- (2-methacryloyloxyethyl) -2,2 , 4-trifluorooxetane, methacrylic acid esters such as 3- (2-methacryloyloxyethyl) -2,2,4,4-tetrafluorooxetane, and the like.

これらのうち、メタクリル酸グリシジル、メタクリル酸2−メチルグリシジル、メタクリル酸−6,7−エポキシヘプチル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル、メタクリル酸3,4−エポキシシクロヘキシルが共重合反応性及び表示素子用硬化膜の耐溶媒性の向上の観点から好ましい。   Among these, glycidyl methacrylate, 2-methylglycidyl methacrylate, -6,7-epoxyheptyl methacrylate, o-vinylbenzyl glycidyl ether, m-vinylbenzyl glycidyl ether, p-vinylbenzyl glycidyl ether, 3, methacrylate 4-Epoxycyclohexyl is preferable from the viewpoints of copolymerization reactivity and improvement in solvent resistance of the cured film for display element.

[A]アルカリ可溶性樹脂における(a2)構造単位の含有割合としては、全構造単位に対して、好ましくは5モル%〜60モル%、より好ましくは10モル%〜50モル%である。(a2)構造単位の含有割合を5モル%〜60モル%とすることで、優れた硬化性等を有する表示素子用硬化膜を形成できる。   [A] The content ratio of the structural unit (a2) in the alkali-soluble resin is preferably 5 mol% to 60 mol%, more preferably 10 mol% to 50 mol%, based on all structural units. (A2) By setting the content ratio of the structural unit to 5 mol% to 60 mol%, a cured film for display element having excellent curability and the like can be formed.

[(a3)構造単位]
(a3)構造単位は、上記式(4)で表される構造単位である。[A]アルカリ可溶性樹脂が(a3)構造単位を含むことで、得られる表示素子用硬化膜の硬化性を向上できる。また、[C]化合物との相溶性が向上するため[C]化合物が均一に分散し、表示素子用硬化膜形成時の感度を向上させることができる。
[(A3) Structural unit]
(A3) The structural unit is a structural unit represented by the above formula (4). [A] When the alkali-soluble resin contains the (a3) structural unit, the curability of the resulting cured film for display element can be improved. Moreover, since compatibility with the [C] compound is improved, the [C] compound is uniformly dispersed, and the sensitivity at the time of forming a cured film for a display element can be improved.

上記式(4)中、R12及びR13は、水素原子又はメチル基である。R14は、上記式(4−1)又は式(4−2)で表される基である。nは、1から6の整数である。式(4−1)中、R15は、水素原子又はメチル基である。式(4−1)及び式(4−2)中、*は、隣接する酸素原子に結合する部位を示す。 In said formula (4), R < 12 > and R <13> are a hydrogen atom or a methyl group. R 14 is a group represented by the above formula (4-1) or formula (4-2). n is an integer of 1 to 6. In formula (4-1), R 15 represents a hydrogen atom or a methyl group. In formula (4-1) and formula (4-2), * represents a site bonded to an adjacent oxygen atom.

(a3)構造単位は、例えば(a1)構造単位中のカルボキシル基とエポキシ基を有する重合性化合物中のエポキシ基とが反応し、エステル結合を形成すること等により得られる。具体例を挙げて詳述すると、例えば(a1)構造単位を有する共重合体に、(a2)構造単位を与えるメタクリル酸グリシジル、メタクリル酸2−メチルグリシジル等の化合物を反応させた場合、上記式(4)中のR14は、上記式(4−1)で表される基となる。一方、(a2)構造単位を与える化合物としてメタクリル酸3,4−エポキシシクロヘキシルメチル等の化合物を反応させた場合、上記式(4)中のR14は、上記式(4−2)で表される基となる。 The structural unit (a3) is obtained, for example, by reacting a carboxyl group in the structural unit (a1) with an epoxy group in a polymerizable compound having an epoxy group to form an ester bond. For example, when a compound having (a1) structural unit is reacted with a compound such as (a2) glycidyl methacrylate or 2-methylglycidyl methacrylate to give a structural unit, the above formula is used. R 14 in (4) is a group represented by the above formula (4-1). On the other hand, when a compound such as (a2) structural unit is reacted with a compound such as 3,4-epoxycyclohexylmethyl methacrylate, R 14 in the above formula (4) is represented by the above formula (4-2). It becomes the basis.

[A]アルカリ可溶性樹脂における(a3)構造単位の含有割合としては、全構造単位に対して、好ましくは5モル%〜60モル%、より好ましくは10モル%〜50モル%である。(a3)構造単位の含有割合を5モル%〜60モル%とすることで、優れた硬化性等を有する表示素子用硬化膜を形成できる。   [A] The content ratio of the structural unit (a3) in the alkali-soluble resin is preferably 5 mol% to 60 mol%, more preferably 10 mol% to 50 mol%, based on all structural units. (A3) By making the content rate of a structural unit into 5 mol%-60 mol%, the cured film for display elements which has the outstanding sclerosis | hardenability etc. can be formed.

[(a4)構造単位]
(a4)構造単位は、下記式(5)で表される構造単位である。[A]アルカリ可溶性樹脂が(a4)構造単位を含むことで、得られる表示素子用硬化膜の耐熱性を向上させることができる。また、[C]化合物との相溶性が向上するため、[C]化合物が均一に分散し、表示素子用硬化膜形成時の感度を高めることができる。
[(A4) Structural unit]
(A4) The structural unit is a structural unit represented by the following formula (5). [A] When the alkali-soluble resin contains the (a4) structural unit, the heat resistance of the obtained cured film for a display element can be improved. In addition, since the compatibility with the [C] compound is improved, the [C] compound is uniformly dispersed, and the sensitivity at the time of forming a cured film for a display element can be increased.

Figure 0005772642
Figure 0005772642

上記式(5)中、R16は、炭素数1〜12のアルキル基、シクロヘキシル基、シクロペンチル基、フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基又はベンジル基である。 In the above formula (5), R 16 represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a cyclohexyl group, a cyclopentyl group, a phenyl group, a tolyl group, a xylyl group, a naphthyl group or a benzyl group.

上記R16で表される炭素数1〜12のアルキル基としては、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等が挙げられる。 Examples of the alkyl group having 1 to 12 carbon atoms represented by R 16 include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, and a hexyl group.

(a4)構造単位を与える化合物としては、例えばN−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−トリルマレイミド、N−ナフチルマレイミド、N−エチルマレイミド、N−ヘキシルマレイミド、N−ベンジルマレイミド等が挙げられる。   (A4) Examples of compounds that give structural units include N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-tolylmaleimide, N-naphthylmaleimide, N-ethylmaleimide, N-hexylmaleimide, N-benzylmaleimide, and the like. .

これらのうち、[C]化合物との相溶性向上の観点から、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミドが好ましい。   Among these, N-phenylmaleimide and N-cyclohexylmaleimide are preferable from the viewpoint of improving compatibility with the [C] compound.

[A]アルカリ可溶性樹脂における(a4)構造単位の含有割合としては、全構造単位に対して、好ましくは5モル%〜30モル%、より好ましくは10モル%〜25モル%である。(a4)構造単位の含有割合を5モル%〜30モル%とすることで、得られる表示素子用硬化膜の耐熱性の向上が可能となり、さらに[C]化合物との相溶性が向上する。   [A] The content ratio of the structural unit (a4) in the alkali-soluble resin is preferably 5 mol% to 30 mol%, more preferably 10 mol% to 25 mol%, based on all structural units. (A4) By making the content rate of a structural unit into 5 mol%-30 mol%, the heat resistance of the obtained cured film for display elements can be improved, and compatibility with the [C] compound is further improved.

なお、[A]アルカリ可溶性樹脂としては、(a1)構造単位及び(a2)構造単位を含む樹脂と、(a1)構造単位及び(a3)構造単位を含む樹脂とを混合しても良い。   In addition, as [A] alkali-soluble resin, you may mix resin containing (a1) structural unit and (a2) structural unit, and resin containing (a1) structural unit and (a3) structural unit.

[他の構造単位]
[A]アルカリ可溶性樹脂が本発明の効果を損なわない限り含んでいてもよい(a1)構造単位〜(a4)構造単位以外の他の構造単位を与える化合物としては、例えば水酸基を有する(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリル酸鎖状アルキルエステル、(メタ)アクリル酸環状アルキルエステル、(メタ)アクリル酸アリールエステル、不飽和芳香族化合物、共役ジエン、テトラヒドロフラン骨格等をもつ不飽和化合物が挙げられる。
[Other structural units]
[A] The compound which gives other structural units other than (a1) structural unit to (a4) structural unit may be included as long as the effect of the present invention is not impaired by the alkali-soluble resin. Examples include acrylic acid esters, (meth) acrylic acid chain alkyl esters, (meth) acrylic acid cyclic alkyl esters, (meth) acrylic acid aryl esters, unsaturated aromatic compounds, conjugated dienes, and unsaturated compounds having a tetrahydrofuran skeleton. It is done.

水酸基を有する(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えばアクリル酸2−ヒドロキシエチル、アクリル酸3−ヒドロキシプロピル、アクリル酸4−ヒドロキシブチル、アクリル酸5−ヒドロキシペンチル、アクリル酸6−ヒドロキシヘキシル、メタククリル酸2−ヒドロキシエチル、メタククリル酸3−ヒドロキシプロピル、メタククリル酸4−ヒドロキシブチル、メタククリル酸5−ヒドロキシペンチル、メタククリル酸6−ヒドロキシヘキシル等が挙げられる。   Examples of the (meth) acrylic acid ester having a hydroxyl group include 2-hydroxyethyl acrylate, 3-hydroxypropyl acrylate, 4-hydroxybutyl acrylate, 5-hydroxypentyl acrylate, 6-hydroxyhexyl acrylate, and methacrylic acid. Examples include 2-hydroxyethyl, 3-hydroxypropyl methacrylate, 4-hydroxybutyl methacrylate, 5-hydroxypentyl methacrylate, 6-hydroxyhexyl methacrylate, and the like.

(メタ)アクリル酸鎖状アルキルエステルとしては、例えばメタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸n−ブチル、メタクリル酸sec−ブチル、メタクリル酸t−ブチル、メタクリル酸2−エチルヘキシル、メタクリル酸イソデシル、メタクリル酸n−ラウリル、メタクリル酸トリデシル、メタクリル酸n−ステアリル、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸n−ブチル、アクリル酸sec−ブチル、アクリル酸t−ブチル、アクリル酸2−エチルヘキシル、アクリル酸イソデシル、アクリル酸n−ラウリル、アクリル酸トリデシル、アクリル酸n−ステアリル等が挙げられる。   Examples of the (meth) acrylic acid chain alkyl ester include methyl methacrylate, ethyl methacrylate, n-butyl methacrylate, sec-butyl methacrylate, t-butyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, isodecyl methacrylate, methacrylic acid. N-lauryl acid, tridecyl methacrylate, n-stearyl methacrylate, methyl acrylate, ethyl acrylate, n-butyl acrylate, sec-butyl acrylate, t-butyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, isodecyl acrylate , N-lauryl acrylate, tridecyl acrylate, n-stearyl acrylate, and the like.

(メタ)アクリル酸環状アルキルエステルとしては、例えばメタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸2−メチルシクロヘキシル、メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル、メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イルオキシエチル、メタクリル酸イソボロニル、シクロヘキシルアクリレート、2−メチルシクロヘキシルアクリレート、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イルアクリレート、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イルオキシエチルアクリレート、イソボロニルアクリレート等が挙げられる。 Examples of the (meth) acrylic acid cyclic alkyl ester include cyclohexyl methacrylate, 2-methylcyclohexyl methacrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl methacrylate, and tricyclomethacrylate [5. 2.1.0 2,6 ] decan-8-yloxyethyl, isobornyl methacrylate, cyclohexyl acrylate, 2-methylcyclohexyl acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl acrylate, Examples include tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yloxyethyl acrylate, isobornyl acrylate, and the like.

(メタ)アクリル酸アリールエステルとしては、例えばメタクリル酸フェニル、メタクリル酸ベンジル、フェニルアクリレート、ベンジルアクリレート等が挙げられる。   Examples of the (meth) acrylic acid aryl ester include phenyl methacrylate, benzyl methacrylate, phenyl acrylate, and benzyl acrylate.

不飽和芳香族化合物としては、例えばスチレン、α−メチルスチレン、m−メチルスチレン、p−メチルスチレン、ビニルトルエン、p−メトキシスチレン等が挙げられる。   Examples of the unsaturated aromatic compound include styrene, α-methylstyrene, m-methylstyrene, p-methylstyrene, vinyltoluene, and p-methoxystyrene.

共役ジエンとしては、例えば1,3−ブタジエン、イソプレン、2,3−ジメチル−1,3−ブタジエン等が挙げられる。   Examples of the conjugated diene include 1,3-butadiene, isoprene, 2,3-dimethyl-1,3-butadiene and the like.

テトラヒドロフラン骨格を含有する不飽和化合物としては、例えばテトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、2−メタクリロイルオキシ−プロピオン酸テトラヒドロフルフリルエステル、3−(メタ)アクリロイルオキシテトラヒドロフラン−2−オン等が挙げられる。   Examples of the unsaturated compound containing a tetrahydrofuran skeleton include tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, 2-methacryloyloxy-propionic acid tetrahydrofurfuryl ester, 3- (meth) acryloyloxytetrahydrofuran-2-one, and the like.

<[A]アルカリ可溶性樹脂の合成方法>
[A]アルカリ可溶性樹脂は、溶媒中で重合開始剤の存在下、上述した所定の単量体を共重合することによって合成できる。[A]アルカリ可溶性樹脂を合成するための重合反応に用いられる溶媒としては、例えばアルコール、グリコールエーテル、エチレングリコールアルキルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノアルキルエーテル、ジエチレングリコールジアルキルエーテル、ジプロピレングリコールジアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールアルキルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネート、ケトン、エステル等が挙げられる。
<[A] Method for synthesizing alkali-soluble resin>
[A] The alkali-soluble resin can be synthesized by copolymerizing the above-mentioned predetermined monomer in the presence of a polymerization initiator in a solvent. [A] Solvents used in the polymerization reaction for synthesizing the alkali-soluble resin include, for example, alcohol, glycol ether, ethylene glycol alkyl ether acetate, diethylene glycol monoalkyl ether, diethylene glycol dialkyl ether, dipropylene glycol dialkyl ether, propylene glycol mono Examples include alkyl ether, propylene glycol alkyl ether acetate, propylene glycol monoalkyl ether propionate, ketone, ester and the like.

[A]アルカリ可溶性樹脂を合成するための重合反応に用いられる重合開始剤としては、一般的にラジカル重合開始剤として知られているものが使用できる。ラジカル重合開始剤としては、例えば2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、2,2’−アゾビス−(2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2’−アゾビス−(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)等のアゾ化合物が挙げられる。   [A] As the polymerization initiator used in the polymerization reaction for synthesizing the alkali-soluble resin, those generally known as radical polymerization initiators can be used. Examples of the radical polymerization initiator include 2,2′-azobisisobutyronitrile, 2,2′-azobis- (2,4-dimethylvaleronitrile), 2,2′-azobis- (4-methoxy-2). , 4-dimethylvaleronitrile) and the like.

[A]アルカリ可溶性樹脂を製造するための重合反応においては、分子量を調整するために、分子量調整剤を使用できる。分子量調整剤としては、例えばクロロホルム、四臭化炭素等のハロゲン化炭化水素類;n−ヘキシルメルカプタン、n−オクチルメルカプタン、n−ドデシルメルカプタン、t−ドデシルメルカプタン、チオグリコール酸等のメルカプタン類;ジメチルキサントゲンスルフィド、ジイソプロピルキサントゲンジスルフィド等のキサントゲン類;ターピノーレン、α−メチルスチレンダイマー等が挙げられる。   [A] In the polymerization reaction for producing the alkali-soluble resin, a molecular weight modifier can be used to adjust the molecular weight. Examples of the molecular weight modifier include halogenated hydrocarbons such as chloroform and carbon tetrabromide; mercaptans such as n-hexyl mercaptan, n-octyl mercaptan, n-dodecyl mercaptan, t-dodecyl mercaptan, and thioglycolic acid; Xanthogens such as xanthogen sulfide and diisopropylxanthogen disulfide; terpinolene, α-methylstyrene dimer and the like.

[A]アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量(Mw)としては、1,000〜30,000が好ましく、5,000〜20,000がより好ましい。[A]アルカリ可溶性樹脂のMwを上記特定範囲とすることで、当該硬化性樹脂組成物の感度及び現像性を高めることができる。なお、本明細書における重合体のMw及び数平均分子量(Mn)は下記の条件によるゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定した。   [A] As a weight average molecular weight (Mw) of alkali-soluble resin, 1,000-30,000 are preferable and 5,000-20,000 are more preferable. [A] By making Mw of alkali-soluble resin into the said specific range, the sensitivity and developability of the said curable resin composition can be improved. In addition, Mw and number average molecular weight (Mn) of the polymer in this specification were measured by gel permeation chromatography (GPC) under the following conditions.

装置:GPC−101(昭和電工社)
カラム:GPC−KF−801、GPC−KF−802、GPC−KF−803及びGPC−KF−804を結合
移動相:テトラヒドロフラン
カラム温度:40℃
流速:1.0mL/分
試料濃度:1.0質量%
試料注入量:100μL
検出器:示差屈折計
標準物質:単分散ポリスチレン
Apparatus: GPC-101 (Showa Denko)
Column: GPC-KF-801, GPC-KF-802, GPC-KF-803 and GPC-KF-804 combined with mobile phase: tetrahydrofuran Column temperature: 40 ° C.
Flow rate: 1.0 mL / min Sample concentration: 1.0 mass%
Sample injection volume: 100 μL
Detector: Differential refractometer Standard material: Monodisperse polystyrene

<[B]重合性化合物>
当該硬化性樹脂組成物に含有される[B]重合性化合物としては、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物であれば特に限定されないが、例えばω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート、エチレングリコール(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ビスフェノキシエタノールフルオレンジ(メタ)アクリレート、ジメチロールトリシクロデカンジ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−(メタ)アクリロイロキシプロピルメタクリレート、2−(2’−ビニロキシエトキシ)エチル(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリ(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)フォスフェート、エチレンオキサイド変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、コハク酸変性ペンタエリスリトールトリアクリレート等の他、直鎖アルキレン基及び脂環式構造を有し、かつ2個以上のイソシアネート基を有する化合物と、分子内に1個以上の水酸基を有し、かつ3個〜5個の(メタ)アクリロイロキシ基を有する化合物とを反応させて得られるウレタン(メタ)アクリレート化合物等が挙げられる。
<[B] Polymerizable compound>
[B] The polymerizable compound contained in the curable resin composition is not particularly limited as long as it is a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond. For example, ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate, ethylene Glycol (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, 1,9-nonanediol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (Meth) acrylate, bisphenoxyethanol full orange (meth) acrylate, dimethylol tricyclodecane di (meth) acrylate, 2-hydroxy-3- (meth) acryloyloxypropyl methacrylate, 2- (2′-vinyloxy) Toxi) ethyl (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate In addition to tri (2- (meth) acryloyloxyethyl) phosphate, ethylene oxide-modified dipentaerythritol hexaacrylate, succinic acid-modified pentaerythritol triacrylate, etc., it has a linear alkylene group and an alicyclic structure, and A urethane obtained by reacting a compound having two or more isocyanate groups with a compound having one or more hydroxyl groups in the molecule and having 3 to 5 (meth) acryloyloxy groups. ) Acrylate compounds, and the like.

[B]重合性化合物の市販品としては、例えば
アロニックスM−400、同M−402、同M−405、同M−450、同M−1310、同M−1600、同M−1960、同M−7100、同M−8030、同M−8060、同M−8100、同M−8530、同M−8560、同M−9050、アロニックスTO−756、同TO−1450、同TO−1382(以上、東亞合成社);
KAYARAD DPHA、同DPCA−20、同DPCA−30、同DPCA−60、同DPCA−120、同MAX−3510(以上、日本化薬社);
ビスコート295、同300、同360、同GPT、同3PA、同400、同802(以上、大阪有機化学工業社);
ウレタンアクリレート系化合物として、ニューフロンティア R−1150(第一工業製薬社);
KAYARAD DPHA−40H、UX−5000(以上、日本化薬社);
UN−9000H(根上工業社);
アロニックスM−5300、同M−5600、同M−5700、M−210、同M−220、同M−240、同M−270、同M−6200、同M−305、同M−309、同M−310、同M−315(以上、東亞合成社);
KAYARAD HDDA、KAYARAD HX−220、同HX−620、同R−526、同R−167、同R−604、同R−684、同R−551、同R−712、UX−2201、UX−2301、UX−3204、UX−3301、UX−4101、UX−6101、UX−7101、UX−8101、UX−0937、MU−2100、MU−4001(以上、日本化薬社);
アートレジンUN−9000PEP、同UN−9200A、同UN−7600、同UN−333、同UN−1003、同UN−1255、同UN−6060PTM、同UN−6060P(以上、根上工業社);
SH−500Bビスコート260、同312、同335HP(以上、大阪有機化学工業社)等が挙げられる。
[B] Examples of commercially available polymerizable compounds include Aronix M-400, M-402, M-405, M-450, M-1310, M-1600, M-1960, and M. -7100, M-8030, M-8060, M-8100, M-8100, M-8530, M-8560, M-9050, Aronix TO-756, TO-1450, TO-1382 (above, Toagosei)
KAYARAD DPHA, DPCA-20, DPCA-30, DPCA-60, DPCA-120, MAX-3510 (above, Nippon Kayaku Co., Ltd.);
Viscoat 295, 300, 360, GPT, 3PA, 400, 802 (Osaka Organic Chemical Industries, Ltd.);
As a urethane acrylate compound, New Frontier R-1150 (Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd.);
KAYARAD DPHA-40H, UX-5000 (Nippon Kayaku Co., Ltd.);
UN-9000H (Negami Kogyo Co.);
Aronix M-5300, M-5600, M-5700, M-210, M-220, M-240, M-270, M-6200, M-305, M-309, M M-310, M-315 (above, Toagosei Co., Ltd.);
KAYARAD HDDA, KAYARAD HX-220, HX-620, R-526, R-167, R-604, R-684, R-551, R-712, UX-2201, UX-2301 UX-3204, UX-3301, UX-4101, UX-6101, UX-7101, UX-8101, UX-0937, MU-2100, MU-4001 (above, Nippon Kayaku Co., Ltd.);
Art Resin UN-9000PEP, UN-9200A, UN-7600, UN-333, UN-1003, UN-1255, UN-6060PTM, UN-6060P (Negami Industrial Co., Ltd.);
SH-500B biscoat 260, 312 and 335HP (above, Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.).

また、[B]重合性化合物としては、[B1]重合体が挙げられる。   Moreover, [B1] polymer is mentioned as a [B] polymeric compound.

[B1]重合体は、(a3)構造単位を含む共重合体である。なお、(a3)構造単位は、上記式(4)で表される構造単位であり、[A]アルカリ可溶性樹脂における(a3)構造単位と同一の構造単位である。従って、[B1]重合体における(a3)構造単位も、[A]アルカリ可溶性樹脂における場合と同様に、例えば上記(a1)構造単位を与える単量体中のカルボキシル基と上記(a2)構造単位を与える単量体中のエポキシ基とを反応させ、エステル結合を形成すること等により得られる。なお、(a3)構造単位の詳細な説明は[A]アルカリ可溶性樹脂における(a3)構造単位の説明を適用できる。   [B1] The polymer is a copolymer containing (a3) structural units. In addition, (a3) structural unit is a structural unit represented by the said Formula (4), and is the same structural unit as the (a3) structural unit in [A] alkali-soluble resin. Accordingly, the (a3) structural unit in the [B1] polymer is also the same as in the [A] alkali-soluble resin, for example, the carboxyl group in the monomer giving the structural unit (a1) and the structural unit (a2). It can be obtained by reacting with an epoxy group in a monomer that gives an ester to form an ester bond. For the detailed description of the (a3) structural unit, the description of the (a3) structural unit in the [A] alkali-soluble resin can be applied.

(a3)構成単位は、共重合体中のカルボキシル基を有する構成単位に対して、5質量%〜90質量%が好ましく、15質量%〜70質量%がより好ましい。上記範囲とすることで、共重合体との反応性、絶縁膜の硬化性等がより向上する。   (A3) 5 mass%-90 mass% are preferable with respect to the structural unit which has a carboxyl group in a copolymer, and 15 mass%-70 mass% are more preferable. By setting it as the said range, the reactivity with a copolymer, the sclerosis | hardenability of an insulating film, etc. improve more.

[B1]重合体は、(a3)構造単位以外のその他の不飽和単量体由来の構造単位を含んでいてもよい。上記その他の不飽和単量体由来の構造単位としては、例えばオキセタニル基を有する構造単位、アルキル基を有する構造単位、マレイミド骨格を有する構造単位、テトラヒドロフラン骨格を含有する構造単位等が挙げられる。   [B1] The polymer may contain a structural unit derived from an unsaturated monomer other than the structural unit (a3). Examples of the structural unit derived from the other unsaturated monomer include a structural unit having an oxetanyl group, a structural unit having an alkyl group, a structural unit having a maleimide skeleton, and a structural unit containing a tetrahydrofuran skeleton.

オキセタニル基を有する構造単位を与える単量体としては、例えば
3−(アクリロイルオキシメチル)オキセタン、3−(アクリロイルオキシメチル)−2−メチルオキセタン、3−(アクリロイルオキシメチル)−3−エチルオキセタン、3−(アクリロイルオキシメチル)−2−フェニルオキセタン、3−(2−アクリロイルオキシエチル)オキセタン、3−(2−アクリロイルオキシエチル)−2−エチルオキセタン、3−(2−アクリロイルオキシエチル)−3−エチルオキセタン、3−(2−アクリロイルオキシエチル)−2−フェニルオキセタン等のアクリル酸エステル;
3−(メタクリロイルオキシメチル)オキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2−メチルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−3−エチルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2−フェニルオキセタン、3−(2−メタクリロイルオキシエチル)オキセタン、3−(2−メタクリロイルオキシエチル)−2−エチルオキセタン、3−(2−メタクリロイルオキシエチル)−3−エチルオキセタン、3−(2−メタクリロイルオキシエチル)−2−フェニルオキセタン、3−(2−メタクリロイルオキシエチル)−2,2−ジフルオロオキセタン等のメタクリル酸エステル等が挙げられる。
Examples of the monomer that gives a structural unit having an oxetanyl group include 3- (acryloyloxymethyl) oxetane, 3- (acryloyloxymethyl) -2-methyloxetane, 3- (acryloyloxymethyl) -3-ethyloxetane, 3- (acryloyloxymethyl) -2-phenyloxetane, 3- (2-acryloyloxyethyl) oxetane, 3- (2-acryloyloxyethyl) -2-ethyloxetane, 3- (2-acryloyloxyethyl) -3 -Acrylic esters such as ethyl oxetane and 3- (2-acryloyloxyethyl) -2-phenyloxetane;
3- (methacryloyloxymethyl) oxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) -2-methyloxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) -3-ethyloxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) -2-phenyloxetane, 3- (2-methacryloyloxyethyl) oxetane, 3- (2-methacryloyloxyethyl) -2-ethyloxetane, 3- (2-methacryloyloxyethyl) -3-ethyloxetane, 3- (2-methacryloyloxyethyl) -2 -Methacrylic acid esters such as phenyloxetane and 3- (2-methacryloyloxyethyl) -2,2-difluorooxetane.

アルキル基を有する構造単位を与える単量体としては、例えば
(メタ)アクリル酸鎖状アルキルエステルとして、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸n−ブチル、メタクリル酸sec−ブチル、メタクリル酸t−ブチル、メタクリル酸2−エチルヘキシル、メタクリル酸イソデシル、メタクリル酸n−ラウリル、メタクリル酸トリデシル、メタクリル酸n−ステアリル等が挙げられる。
メタクリル酸環状アルキルエステルとして、メタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸2−メチルシクロヘキシル、メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル、メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イルオキシエチル、メタクリル酸イソボロニル、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸n−ブチル、アクリル酸sec−ブチル、アクリル酸t−ブチル、アクリル酸2−エチルヘキシル、アクリル酸イソデシル、アクリル酸n−ラウリル、アクリル酸トリデシル、アクリル酸n−ステアリル、アクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸−2−メチルシクロヘキシル、アクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル、アクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イルオキシエチル、アクリル酸イソボロニル等が挙げられる。
(メタ)アタクリル酸鎖状アリールエステルとして、メタクリル酸フェニル、メタクリル酸ベンジル、アクリル酸フェニル、アクリル酸ベンジル等が挙げられる。
As a monomer that gives a structural unit having an alkyl group, for example, (meth) acrylic acid chain alkyl ester, methyl methacrylate, ethyl methacrylate, n-butyl methacrylate, sec-butyl methacrylate, t-methacrylic acid t- Examples include butyl, 2-ethylhexyl methacrylate, isodecyl methacrylate, n-lauryl methacrylate, tridecyl methacrylate, and n-stearyl methacrylate.
Examples of cyclic alkyl esters of methacrylic acid include cyclohexyl methacrylate, 2-methylcyclohexyl methacrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl methacrylate, and tricyclomethacrylate [5.2.1.0]. 2,6 ] decan-8-yloxyethyl, isobornyl methacrylate, methyl acrylate, ethyl acrylate, n-butyl acrylate, sec-butyl acrylate, t-butyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, acrylic acid Isodecyl, n-lauryl acrylate, tridecyl acrylate, n-stearyl acrylate, cyclohexyl acrylate, 2-methylcyclohexyl acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl acrylate Tricycloacrylate [5.2.1. 2,6] decan-8-yl oxy ethyl, and the like isobornyl acrylate.
Examples of the (meth) acrylic acid chain aryl ester include phenyl methacrylate, benzyl methacrylate, phenyl acrylate, and benzyl acrylate.

マレイミド骨格を有する構造単位を与える単量体としては、例えば
マレイミド化合物として、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、N−(4−ヒドロキシフェニル)マレイミド、N−(4−ヒドロキシベンジル)マレイミド、N−スクシンイミジル−3−マレイミドベンゾエート、N−スクシンイミジル−4−マレイミドブチレート、N−スクシンイミジル−6−マレイミドカプロエート、N−スクシンイミジル−3−マレイミドプロピオネート、N−(9−アクリジニル)マレイミド等が挙げられる。
As a monomer that gives a structural unit having a maleimide skeleton, for example, as a maleimide compound, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-benzylmaleimide, N- (4-hydroxyphenyl) maleimide, N- (4-hydroxy) Benzyl) maleimide, N-succinimidyl-3-maleimidobenzoate, N-succinimidyl-4-maleimidobutyrate, N-succinimidyl-6-maleimidocaproate, N-succinimidyl-3-maleimidopropionate, N- (9- Acridinyl) maleimide and the like.

テトラヒドロフラン骨格を含有する構造単位を与える単量体としては、例えばメタクリル酸テトラヒドロフルフリル、2−メタクリロイルオキシ−プロピオン酸テトラヒドロフルフリルエステル、3−(メタ)アクリロイルオキシテトラヒドロフラン−2−オン等が挙げられる。   Examples of the monomer that gives a structural unit containing a tetrahydrofuran skeleton include tetrahydrofurfuryl methacrylate, 2-methacryloyloxy-propionic acid tetrahydrofurfuryl ester, 3- (meth) acryloyloxytetrahydrofuran-2-one, and the like. .

これらの単量体化合物のうち、メタクリル酸ベンジル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸t−ブチル、メタクリル酸n−ラウリル、メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル、アクリル酸2−メチルシクロヘキシル、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、メタクリル酸テトラヒドロフルフリルが、共重合反応性及びアルカリ水溶液に対する溶解性の点から好ましい。なお、これらの化合物は、単独で使用してもよいし、2種以上を混合して使用してもよい。 Among these monomer compounds, benzyl methacrylate, methyl methacrylate, t-butyl methacrylate, n-lauryl methacrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl methacrylate, 2-methylcyclohexyl acrylate, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, and tetrahydrofurfuryl methacrylate are preferable from the viewpoint of copolymerization reactivity and solubility in an aqueous alkali solution. In addition, these compounds may be used independently and may mix and use 2 or more types.

[B1]重合体におけるその他の不飽和単量体由来の構造単位の含有率としては、10mol%〜80mol%が好ましい。   [B1] The content of structural units derived from other unsaturated monomers in the polymer is preferably 10 mol% to 80 mol%.

([B1]重合体の合成方法)
[B1]重合体は、例えばカルボキシル基を有する(a1)構造単位を与える単量体と必要に応じて他の構造単位を与える単量体とを、溶媒中で重合開始剤の存在下、重合させ、カルボキシル基を有する重合体を合成する。上記重合体溶液に、(a2)構造単位を与えるエポキシ基を含む重合性化合物等を投入し、必要に応じて適当な触媒の存在下、好ましくは重合禁止剤を含む溶液中で、加温下で所定時間攪拌する。上記触媒としては、例えば、テトラブチルアンモニウムブロミド等が挙げられる。上記重合禁止剤としては、例えば、p−メトキシフェノール等が挙げられる。反応温度は、70℃〜100℃が好ましい。反応時間は、8時間〜12時間が好ましい。
([B1] Polymer Synthesis Method)
[B1] A polymer is obtained by polymerizing, for example, a monomer that has a carboxyl group (a1) and a monomer that gives another structural unit, if necessary, in a solvent in the presence of a polymerization initiator. To synthesize a polymer having a carboxyl group. Into the polymer solution, (a2) a polymerizable compound containing an epoxy group that gives a structural unit is added, and if necessary, in the presence of a suitable catalyst, preferably in a solution containing a polymerization inhibitor, under heating. For a predetermined time. Examples of the catalyst include tetrabutylammonium bromide. Examples of the polymerization inhibitor include p-methoxyphenol. The reaction temperature is preferably 70 ° C to 100 ° C. The reaction time is preferably 8 hours to 12 hours.

これらのうち、[B]重合性化合物としては、[B1]重合体、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとの混合物、コハク酸変性ペンタエリスリトールトリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリペンタエリスリトールオクタアクリレートとトリペンタエリスリトールヘプタアクリレートとの混合物、であることが好ましい。[B]重合性化合物を上記特定化合物とすることで、当該硬化性樹脂組成物の感度及び形成される表示素子用硬化膜の耐熱性等を高いレベルで両立することができる。   Among these, [B] polymerizable compounds include [B1] polymer, a mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate, succinic acid-modified pentaerythritol triacrylate, trimethylolpropane triacrylate, tripenta. It is preferably a mixture of erythritol octaacrylate and tripentaerythritol heptaacrylate. [B] By using the polymerizable compound as the specific compound, the sensitivity of the curable resin composition and the heat resistance of the formed cured film for display element can be compatible at a high level.

[B]重合性化合物は、単独又は2種以上を混合して使用できる。当該硬化性樹脂組成物における[B]重合性化合物の含有量としては、[A]アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、10質量部〜700質量部が好ましく、20質量部〜600質量部がより好ましい。[B]重合性化合物の含有量を上記特定範囲とすることで、当該硬化性樹脂組成物は低露光量においても十分な耐熱性、耐溶媒性、電圧保持率を有する表示素子用硬化膜を形成できる。   [B] A polymeric compound can be used individually or in mixture of 2 or more types. As content of the [B] polymeric compound in the said curable resin composition, 10 mass parts-700 mass parts are preferable with respect to 100 mass parts of [A] alkali-soluble resin, and 20 mass parts-600 mass parts are. More preferred. [B] By setting the content of the polymerizable compound in the above specific range, the curable resin composition has a cured film for display elements having sufficient heat resistance, solvent resistance, and voltage holding ratio even at a low exposure amount. Can be formed.

<[C]化合物>
[C]化合物は、上記式(1)で表される化合物である。[C]化合物は、熱によって酸を発生する構造及び光によってラジカルを発生する構造を有する化合物であるため、当該硬化性樹脂組成物は、熱によっても光によっても硬化させることが可能である。これにより、当該硬化性樹脂組成物は、露光工程においてラジカル重合させた後、加熱工程により発生した酸が[A]アルカリ可溶性樹脂の硬化促進剤として機能し、さらに硬化を促進させることができる。上記酸を発生させるための加熱工程は、従来の組成物に対する硬化のための露光後加熱工程におけるような230℃以上の高温加熱を必要としない低温加熱工程であるため、省エネルギーの観点からも好ましい。
<[C] Compound>
[C] A compound is a compound denoted by the above-mentioned formula (1). Since the compound [C] is a compound having a structure that generates an acid by heat and a structure that generates a radical by light, the curable resin composition can be cured by heat or light. As a result, after the curable resin composition is radically polymerized in the exposure step, the acid generated in the heating step functions as a curing accelerator for the [A] alkali-soluble resin, and can further promote curing. The heating step for generating the acid is a low-temperature heating step that does not require a high-temperature heating of 230 ° C. or higher as in the post-exposure heating step for curing the conventional composition, and is preferable from the viewpoint of energy saving. .

上記式(1)中、Rは、熱によって酸を発生する構造を有する基である。Rは、光によってラジカルを発生する構造を有する基である。R及びRは、それぞれ独立して、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数1〜12のアルコキシ基、炭素数4〜20の脂環式炭化水素基又はフェニル基である。a及びbは、それぞれ独立して、1〜5の整数である。c及びdは、それぞれ独立して、0〜4の整数である。Xは、酸素原子、硫黄原子又はセレン原子である。 In the above formula (1), R 1 is a group having a structure that generates an acid by heat. R 2 is a group having a structure that generates radicals by light. R 3 and R 4 are each independently an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms, or a phenyl group. a and b are each independently an integer of 1 to 5; c and d are each independently an integer of 0 to 4. X is an oxygen atom, a sulfur atom or a selenium atom.

上記Rで表される熱によって酸を発生する構造を有する基としては、光によっては開裂せず、加熱によって加水分解して酸を発生する基であれば特に限定されることはないが、上記式(2)で表される基を含むことが好ましい。 The group having a structure that generates an acid by heat represented by R 1 is not particularly limited as long as it is a group that is not cleaved by light and hydrolyzes by heating to generate an acid. It preferably contains a group represented by the above formula (2).

上記式(2)中、Rは、水素原子、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数1〜6のフルオロアルキル基、フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基、アントリル基又はシクロへキシル基である。但し、上記Rのアルキル基の有する水素原子の1つが水酸基で置換されていてもよい。Rは、炭素数1〜12のアルカンジイル基である。Rは、−O−、−S−、−NR−、−NRCO−、−SO−、−CS−、−OCO−又は−COO−である。Rは、水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基である。 In the above formula (2), R 5 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a fluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group, a tolyl group, a xylyl group, a naphthyl group, an anthryl group, or cyclohexane. Xyl group. However, one of the hydrogen atoms of the alkyl group of R 5 may be substituted with a hydroxyl group. R 6 is an alkanediyl group having 1 to 12 carbon atoms. R 7 is —O—, —S—, —NR 8 —, —NR 8 CO—, —SO 2 —, —CS—, —OCO— or —COO—. R 8 is a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.

で表される炭素数1〜12のアルキル基としては、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、へキシル基、オクチル基等が挙げられる。これらのうち、メチル基及びエチル基が好ましく、メチル基がより好ましい。 Examples of the alkyl group having 1 to 12 carbon atoms represented by R 5 include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, a hexyl group, and an octyl group. Of these, a methyl group and an ethyl group are preferable, and a methyl group is more preferable.

で表される炭素数1〜6のフルオロアルキル基としては、例えばトリフルオロメチル基、2,2,2−トリフルオロエチル基、パーフルオロエチル基等が挙げられる。これらのうち、トリフルオロメチル基が好ましい。 Examples of the C1-C6 fluoroalkyl group represented by R 5 include a trifluoromethyl group, a 2,2,2-trifluoroethyl group, a perfluoroethyl group, and the like. Of these, a trifluoromethyl group is preferred.

としては、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数1〜6のフルオロアルキル基及びフェニル基が好ましく、メチル基、エチル基、トリフルオロメチル基及びフェニル基が縒り好ましく、メチル基がさらに好ましい。 R 5 is preferably an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a fluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms, or a phenyl group, more preferably a methyl group, an ethyl group, a trifluoromethyl group, or a phenyl group, and further a methyl group. preferable.

で表される炭素数1〜12のアルカンジイル基としては、例えばメチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、プロピレン基、ヘキシレン基等が挙げられる。これらのうち、メチレン基及びエチレン基が好ましく、メチレン基がより好ましい。 Examples of the alkanediyl group having 1 to 12 carbon atoms represented by R 6 include a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a butylene group, a propylene group, and a hexylene group. Among these, a methylene group and an ethylene group are preferable, and a methylene group is more preferable.

で表される炭素数1〜6のアルキル基としては、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等が挙げられる。 The alkyl group having 1 to 6 carbon atoms represented by R 8, for example a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group.

としては、水素原子が好ましい。 R 8 is preferably a hydrogen atom.

としては、−O−、−S−、−SO−、−NHCO−、−SO−、−OCO−及び−COO−が好ましく、−O−がより好ましい。 R 7 is preferably —O—, —S—, —SO 2 —, —NHCO—, —SO 2 —, —OCO— or —COO—, and more preferably —O—.

上記Rで表される光によってラジカルを発生する構造を有する基としては、熱によって加水分解を起こすことはなく、表示素子用硬化膜形成における露光工程等のような光照射によりラジカルを発生する基であれば特に限定されることはないが、上記式(3)で表される基を含むことが好ましい。上記式(3)で表される基は、オキシムエステル構造を有しているため、光照射によりアルキルラジカルを発生し易い。 As the group having a structure that generates radicals by the light represented by R 2 , hydrolysis is not caused by heat, and radicals are generated by light irradiation such as an exposure process in forming a cured film for a display element. Although it will not specifically limit if it is group, It is preferable to include group represented by the said Formula (3). Since the group represented by the above formula (3) has an oxime ester structure, an alkyl radical is easily generated by light irradiation.

上記式(3)中、Rは、水素原子、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数1〜6のフルオロアルキル基、フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基、アントリル基又はシクロへキシル基である。但し、上記Rのアルキル基の有する水素原子の1つが水酸基で置換されていてもよい。R10は、2価の有機基である。R11は、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数1〜12のアルコキシ基、シアノ基、ベンジル基、フェネチル基、炭素数4〜20の脂環式炭化水素基又はフェニル基である。但し、上記R11のフェニル基が有する水素原子の一部又は全部は、炭素数1〜12のアルキル基又は炭素数1〜12のアルコキシ基で置換されていてもよい。 In the above formula (3), R 9 is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a fluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group, a tolyl group, a xylyl group, a naphthyl group, an anthryl group, or cyclohexane. Xyl group. However, one of the hydrogen atoms of the alkyl group of R 9 may be substituted with a hydroxyl group. R 10 is a divalent organic group. R 11 is an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms, a cyano group, a benzyl group, a phenethyl group, an alicyclic hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms, or a phenyl group. However, some or all of the hydrogen atom of the phenyl group of said R 11, which may be substituted with an alkyl group or an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms having 1 to 12 carbon atoms.

で表される炭素数1〜12のアルキル基及び炭素数1〜6のフルオロアルキル基としては、Rで表される炭素数1〜12のアルキル基及び炭素数1〜6のフルオロアルキル基として例示した基と同様の基が挙げられる。 Examples of the alkyl group having 1 to 12 carbon atoms and the fluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms represented by R 9 include an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms and a fluoroalkyl having 1 to 6 carbon atoms represented by R 5. Examples thereof include the same groups as those exemplified as the group.

としては、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数1〜6のフルオロアルキル基及びフェニル基が好ましく、メチル基、エチル基、トリフルオロメチル基及びフェニル基がより好ましく、メチル基がさらに好ましい。 R 9 is preferably an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a fluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms and a phenyl group, more preferably a methyl group, an ethyl group, a trifluoromethyl group and a phenyl group, and further a methyl group. preferable.

10で表される2価の有機基としては、例えば−CO−、−O−、−S−、−NR−、−NRCO−、−SO−、−CS−、−OCO−、−COO−等が挙げられる。これらのうち、−CO−が好ましい。 Examples of the divalent organic group represented by R 10 include —CO—, —O—, —S—, —NR 8 —, —NR 8 CO—, —SO 2 —, —CS—, —OCO—. , -COO- and the like. Of these, -CO- is preferred.

11で表される炭素数1〜12のアルキル基としては、上記Rで表される炭素数1〜12のアルキル基として例示した基と同様の基が挙げられる。これらのうち、メチル基、エチル基が好ましく、メチル基がより好ましい。 Examples of the alkyl group having 1 to 12 carbon atoms represented by R 11 include the same groups as those exemplified as the alkyl group having 1 to 12 carbon atoms represented by R 9 . Of these, a methyl group and an ethyl group are preferable, and a methyl group is more preferable.

11で表される炭素数1〜12のアルコキシ基としては、例えばメトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペントキシ基、へキシルオキシ基、オクチルオキシ基等が挙げられる。 Examples of the alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms represented by R 11 include a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, a butoxy group, a pentoxy group, a hexyloxy group, and an octyloxy group.

11で表される炭素数4〜20の脂環式炭化水素基としては、例えばシクロブチル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロオクチル基、ノルボルニル基、アダマンチル基等が挙げられる。 Examples of the alicyclic hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms represented by R 11 include a cyclobutyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cyclooctyl group, a norbornyl group, an adamantyl group, and the like.

上記R11のフェニル基が有する水素原子の一部又は全部が置換されてもよい炭素数1〜12のアルキル基及び炭素数1〜12のアルコキシ基としては、R11で表されるこれらの基として例示した基と同様の基が挙げられる。 The alkyl group having 1 to 12 carbon atoms and the alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms in which part or all of the hydrogen atoms of the phenyl group represented by R 11 may be substituted include these groups represented by R 11. And the same groups as those exemplified above.

11としては、炭素数1〜12のアルキル基が好ましく、メチル基、エチル基がより好ましく、メチル基がさらに好ましい。 R 11 is preferably an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, more preferably a methyl group or an ethyl group, and even more preferably a methyl group.

上記a及びbとしては、合成が容易であるという観点から1〜3が好ましく、1がより好ましい。上記c及びdとしては、同様に合成が容易であるという観点から、0〜2が好ましく、0がより好ましい。   As said a and b, 1-3 are preferable from a viewpoint that a synthesis | combination is easy, and 1 is more preferable. As said c and d, from a viewpoint that a synthesis | combination is similarly easy, 0-2 are preferable and 0 is more preferable.

上記Xとしては、硫黄原子が好ましい。   X is preferably a sulfur atom.

[C]化合物としては、上記式(2)におけるRと式(3)におけるRとが同一の基であることが好ましい。これらの基が同一であると、[C]化合物の合成において、アセチル化工程を1工程とすることができ、分離精製の手間がなく、安価に製造することができる。上記同一の基としては、メチル基、エチル基、トリフルオロメチル基、フェニル基が好ましく、メチル基がより好ましい。また、[C]化合物としては、当該硬化性樹脂組成物の硬化促進効果に優れ、また、合成が容易であるという観点から、上記式(1)におけるa及びbが1、c及びdが0、式(2)におけるRがメチル基、Rがエチレン基、Rが−O−、式(3)におけるR及びR11がメチル基、R10がカルボニル基である化合物であることがさらに好ましい。 As the compound [C], R 5 in the above formula (2) and R 9 in the formula (3) are preferably the same group. When these groups are the same, the acetylation step can be made one step in the synthesis of the [C] compound, and it can be produced at low cost without the need for separation and purification. As said same group, a methyl group, an ethyl group, a trifluoromethyl group, and a phenyl group are preferable, and a methyl group is more preferable. In addition, as the [C] compound, a and b in the above formula (1) are 1, and c and d are 0 from the viewpoint of excellent curing promotion effect of the curable resin composition and easy synthesis. In the formula (2), R 5 is a methyl group, R 6 is an ethylene group, R 7 is —O—, R 9 and R 11 in the formula (3) are methyl groups, and R 10 is a carbonyl group. Is more preferable.

[C]化合物としては、下記式で表される化合物等が挙げられる。   Examples of the compound [C] include compounds represented by the following formulas.

Figure 0005772642
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Figure 0005772642
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上記式で表される化合物のうち、式(C−1)〜(C−3)で表される化合物が好ましく、(C−1)で表される化合物がより好ましい。   Of the compounds represented by the above formula, compounds represented by formulas (C-1) to (C-3) are preferred, and a compound represented by (C-1) is more preferred.

上記式(C−1)で表される化合物(以下、「(C−1)化合物」ともいう)を例に取って、当該硬化性樹脂組成物における[C]化合物の機能を具体的に説明する。   Taking the compound represented by the above formula (C-1) (hereinafter also referred to as “(C-1) compound”) as an example, the function of the [C] compound in the curable resin composition will be specifically described. To do.

Figure 0005772642
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(C−1)化合物は、オキシムエステル結合のアセチル基(上記1)とエステル結合のアセチル基(上記2)の2つを1分子中に有している。この化合物は、下記式のように露光により、上記1のオキシムエステルのアセチル基が分解し、メチルラジカルを発生する。このラジカルがアクリル基等のラジカル架橋反応に寄与し、当該硬化性樹脂組成物の硬化を促進する。   The compound (C-1) has an oxime ester bond acetyl group (above 1) and an ester bond acetyl group (above 2) in one molecule. In this compound, the acetyl group of the oxime ester 1 is decomposed by exposure as shown in the following formula to generate a methyl radical. This radical contributes to a radical crosslinking reaction such as an acrylic group, and accelerates the curing of the curable resin composition.

Figure 0005772642
Figure 0005772642

この化合物はさらに、ラジカル発生後、上記2の部分が加熱により加水分解され、酢酸を発生する。この酢酸が樹脂中のエポキシ基の架橋反応の硬化促進剤として機能すると考えられる。このように、(C−1)化合物は、ラジカル発生能及びエポキシの硬化促進能を有する新しいタイプの重合開始剤といえる。   This compound further generates acetic acid after radical generation by hydrolysis of the above-mentioned 2 parts by heating. This acetic acid is considered to function as a curing accelerator for the crosslinking reaction of the epoxy group in the resin. Thus, the (C-1) compound can be said to be a new type of polymerization initiator having radical generating ability and epoxy curing promoting ability.

<[C]化合物の合成方法>
本発明における[C]化合物は、従来公知の方法に従って合成することができるが、例えば以下のようにして合成することができる。
<Method for Synthesizing [C] Compound>
The [C] compound in the present invention can be synthesized according to a conventionally known method. For example, it can be synthesized as follows.

N,N−ジメチルホルムアミドに4−メルカプトフェノールを溶解させ、ここに炭酸カリウム、4−エタノイルフルオロベンゼンを加え、窒素雰囲気下40℃〜100℃で2時間〜10時間加熱攪拌して塩を得る。これをN,N−ジメチルホルムアミドに溶解し、炭酸カリウム、2−ブロロエタノールを加え、窒素雰囲気下40℃〜100℃で2時間〜10時間加熱攪拌し、有機溶媒による抽出等を行い、粗生成物を得る。この粗生成物と濃塩酸とをN,N−ジメチルホルムアミドに溶解し、亜硝酸イソブチルを加え、室温で2時間〜10時間攪拌し、[C]化合物の前駆体化合物を得ることができる。この前駆体化合物のトルエン溶液にトリエチルアミンを加え、塩化アセチル等を滴下することで[C]化合物を得ることができる。   4-Mercaptophenol is dissolved in N, N-dimethylformamide, potassium carbonate and 4-ethanoylfluorobenzene are added thereto, and the mixture is heated and stirred at 40 ° C. to 100 ° C. for 2 hours to 10 hours in a nitrogen atmosphere to obtain a salt. . This is dissolved in N, N-dimethylformamide, potassium carbonate and 2-bromoethanol are added, and the mixture is heated and stirred at 40 ° C. to 100 ° C. for 2 hours to 10 hours in a nitrogen atmosphere. Get things. This crude product and concentrated hydrochloric acid are dissolved in N, N-dimethylformamide, isobutyl nitrite is added, and the mixture is stirred at room temperature for 2 to 10 hours to obtain a precursor compound of the [C] compound. The compound [C] can be obtained by adding triethylamine to a toluene solution of this precursor compound and dropping acetyl chloride or the like.

[C]化合物の含有量としては、[A]アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、0.1質量部〜15質量部が好ましく、1質量部〜10質量部がより好ましい。[C]化合物の含有量を上記特定範囲とすることで、当該硬化性樹脂組成物の感度及び得られる表示素子用硬化膜の透過率等をより向上することできる。   [C] As content of a compound, 0.1 mass part-15 mass parts are preferable with respect to 100 mass parts of [A] alkali-soluble resin, and 1 mass part-10 mass parts are more preferable. By making content of [C] compound into the said specific range, the sensitivity of the said curable resin composition, the transmittance | permeability of the cured film for display elements, etc. can be improved more.

<[C’]光重合開始剤>
当該硬化性樹脂組成物は、[C]化合物に加えて、[C’]光重合開始剤を1種又は2種以上含有してもよい。
<[C ′] Photopolymerization Initiator>
The curable resin composition may contain one or more [C ′] photopolymerization initiators in addition to the [C] compound.

[C’]光重合開始剤としては、例えばチオキサントン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、O−アシルオキシム系化合物、オニウム塩系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、ジアゾ系化合物、イミドスルホナート系化合物等が挙げられる。これらのうち、[C’]光重合開始剤としては、チオキサントン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物及びO−アシルオキシム系化合物からなる群より選択される少なくとも1種を含有することが好ましい。   [C ′] Photopolymerization initiators include, for example, thioxanthone compounds, acetophenone compounds, biimidazole compounds, triazine compounds, O-acyloxime compounds, onium salt compounds, benzoin compounds, benzophenone compounds, α -Diketone compounds, polynuclear quinone compounds, diazo compounds, imide sulfonate compounds and the like. Among these, [C ′] photopolymerization initiator contains at least one selected from the group consisting of thioxanthone compounds, acetophenone compounds, biimidazole compounds, triazine compounds, and O-acyloxime compounds. It is preferable to do.

チオキサントン系化合物としては、例えばチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2−メチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等が挙げられる。   Examples of the thioxanthone compound include thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone and the like can be mentioned.

アセトフェノン系化合物としては、例えば2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、2−(4−メチルベンジル)−2−(ジメチルアミノ)−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン等が挙げられる。   Examples of acetophenone compounds include 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one and 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl). Examples include butan-1-one and 2- (4-methylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one.

ビイミダゾール系化合物としては、例えば2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール等が挙げられる。なお、光重合開始剤としてビイミダゾール系化合物を用いる場合、水素供与体を併用することが、感度を改良することができる点で好ましい。水素供与体とは、露光によりビイミダゾール系化合物から発生したラジカルに対して、水素原子を供与することができる化合物を意味する。水素供与体としては、例えば2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール等のメルカプタン系水素供与体;4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等のアミン系水素供与体が挙げられる。本発明において、水素供与体は、単独又は2種以上を混合して使用することができるが、1種以上のメルカプタン系水素供与体と1種以上のアミン系水素供与体とを組み合わせて使用することが、より感度を改良することができる点で好ましい。   Examples of the biimidazole compound include 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2, 4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ′, 5 Examples include 5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole. In addition, when using a biimidazole-type compound as a photoinitiator, it is preferable at the point which can improve a sensitivity to use a hydrogen donor together. The hydrogen donor means a compound that can donate a hydrogen atom to a radical generated from a biimidazole compound by exposure. Examples of the hydrogen donor include mercaptan-based hydrogen donors such as 2-mercaptobenzothiazole and 2-mercaptobenzoxazole; 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, and the like. An amine-type hydrogen donor is mentioned. In the present invention, hydrogen donors can be used alone or in combination of two or more, but one or more mercaptan hydrogen donors and one or more amine hydrogen donors are used in combination. It is preferable in that the sensitivity can be further improved.

トリアジン系化合物としては、例えば2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(フラン−2−イル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−n−ブトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン等が挙げられる。   Examples of triazine compounds include 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (5-methyl). Furan-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s- Triazine, 2- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl]- 4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-ethoxystyryl) ) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-n- butoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine.

O−アシルオキシム系化合物としては、例えば1,2−オクタンジオン、1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(O−ベンゾイルオキシム)、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−[9−エチル−6−{2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)メトキシベンゾイル}−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)等が挙げられる。   Examples of the O-acyloxime compounds include 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) phenyl] -2- (O-benzoyloxime), and ethanone-1- [9-ethyl-6- (2 -Methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9H-carbazole -3-yl] -1- (O-acetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- {2-methyl-4- (2,2-dimethyl-1,3-dioxolanyl) methoxybenzoyl}- 9H-carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime) and the like.

[C’]光重合開始剤の含有量としては、[A]アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、0.01質量部〜60質量部が好ましく、1質量部〜55質量部がより好ましい。[C’]光重合開始剤の含有量を上記特定範囲とすることで、露光による硬化が十分に得られ、基板との密着性を適切に確保できる。   [C ′] The content of the photopolymerization initiator is preferably 0.01 parts by mass to 60 parts by mass and more preferably 1 part by mass to 55 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the [A] alkali-soluble resin. By setting the content of the [C ′] photopolymerization initiator in the specific range, curing by exposure can be sufficiently obtained, and adhesion with the substrate can be appropriately ensured.

<[D]ラジカル捕捉剤>
当該硬化性樹脂組成物において、ラジカル又は過酸化物による化合物の結合の解裂を防止するために、[D]ラジカル捕捉剤を含有する。このような化合物として、ヒンダードフェノール構造を有する化合物及びヒンダードアミン構造を有する化合物等のラジカル捕捉剤、及びアルキルホスファイト構造を有する化合物及びチオエーテル構造を有する化合物等の過酸化物分解剤等が挙げられる。
<[D] radical scavenger>
The curable resin composition contains a [D] radical scavenger in order to prevent the bond breakage of the compound due to radicals or peroxides. Examples of such compounds include radical scavengers such as compounds having a hindered phenol structure and compounds having a hindered amine structure, and peroxide decomposing agents such as compounds having an alkyl phosphite structure and compounds having a thioether structure. .

当該硬化性樹脂組成物は、上記[D]ラジカル捕捉剤を含有することにより、露光時又は加熱時に発生したラジカルの捕捉、酸化によって生成した過酸化物の分解等が可能となるため、重合体分子の結合の解裂を防止することができる。その結果、当該硬化性樹脂組成物から得られる層間絶縁膜等の表示素子用硬化膜は、優れた耐光性及び耐熱性を発揮することができる。また、当該硬化性樹脂組成物は、[D]ラジカル捕捉剤として上記特定構造を有するラジカル捕捉剤又は過酸化物分解剤を用いているため、これらを添加しても、当該組成物の放射線感度を高いレベルに保ちつつ、当該組成物から得られる硬化膜の透過率及び電圧保持率の低下を防ぐことができる。   Since the curable resin composition contains the [D] radical scavenger, it is possible to capture radicals generated during exposure or heating, and to decompose peroxides generated by oxidation. It is possible to prevent the breakage of molecular bonds. As a result, a cured film for a display element such as an interlayer insulating film obtained from the curable resin composition can exhibit excellent light resistance and heat resistance. In addition, since the curable resin composition uses the radical scavenger or peroxide decomposer having the above specific structure as the [D] radical scavenger, the radiation sensitivity of the composition even if these are added. Can be prevented from decreasing the transmittance and voltage holding ratio of the cured film obtained from the composition.

上記ヒンダードフェノール構造を有する化合物としては、例えばペンタエリスリトールテトラキス[3−(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]、チオジエチレンビス[3−(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]、オクタデシル−3−(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート、トリス−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)−イソシアヌレイト、1,3,5−トリメチル−2,4,6−トリス(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)ベンゼン、N,N’−ヘキサン−1,6−ジイルビス[3−(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシフェニルプロピオンアミド)、3,3’,3’,5’,5’−ヘキサ−tert−ブチル−a,a’,a’−(メシチレン−2,4,6−トリイル)トリ−p−クレゾール、4,6−ビス(オクチルチオメチル)−o−クレゾール、4,6−ビス(ドデシルチオメチル)−o−クレゾール、エチレンビス(オキシエチレン)ビス[3−(5−tert−ブチル−4−ヒドロキシ−m−トリル)プロピオネート、ヘキサメチレンビス[3−(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]、1,3,5−トリス[(4−tert−ブチル−3−ヒドロキシ−2,6−キシリン)メチル]−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン、2,6−ジ−tert−ブチル−4−(4,6−ビス(オクチルチオ)−1,3,5−トリアジン−2−イルアミン)フェノール、2,5−ジ−tert−ブチルヒドロキノン、2,6−ジ−tert−ブチルヒドロキノン、2−tert−ブチルヒドロキノン、2,5−ジ−tert−ブチルフェノール、2,6−ジ−tert−ブチルフェノール、2−tert−ブチルフェノール
等が挙げられる。
Examples of the compound having a hindered phenol structure include pentaerythritol tetrakis [3- (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate], thiodiethylenebis [3- (3,5-di-). tert-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate], octadecyl-3- (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate, tris- (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxy Benzyl) -isocyanurate, 1,3,5-trimethyl-2,4,6-tris (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxybenzyl) benzene, N, N′-hexane-1,6 -Diylbis [3- (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxyphenylpropionamide), 3,3 ' 3 ′, 5 ′, 5′-hexa-tert-butyl-a, a ′, a ′-(mesitylene-2,4,6-triyl) tri-p-cresol, 4,6-bis (octylthiomethyl) -O-cresol, 4,6-bis (dodecylthiomethyl) -o-cresol, ethylenebis (oxyethylene) bis [3- (5-tert-butyl-4-hydroxy-m-tolyl) propionate, hexamethylenebis [3- (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate], 1,3,5-tris [(4-tert-butyl-3-hydroxy-2,6-xylin) methyl]- 1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione, 2,6-di-tert-butyl-4- (4,6-bis (octylthio) -1,3,5 -Triazine- -Ylamine) phenol, 2,5-di-tert-butylhydroquinone, 2,6-di-tert-butylhydroquinone, 2-tert-butylhydroquinone, 2,5-di-tert-butylphenol, 2,6-di- Examples include tert-butylphenol and 2-tert-butylphenol.

上記ヒンダードフェノール構造を有する化合物としては、市販されているものとして、例えばアデカスタブAO−20、アデカスタブAO−30、アデカスタブAO−40、アデカスタブAO−50、アデカスタブAO−60、アデカスタブAO−70、アデカスタブAO−80、アデカスタブAO−330(以上、ADEKA社製)、sumilizerGM、sumilizerGS、sumilizerMDP−S、sumilizerBBM−S、sumilizerWX−R、sumilizerGA−80(以上、住友化学社製)、IRGANOX1010、IRGANOX1035、IRGANOX1076、IRGANOX1098、IRGANOX1135、IRGANOX1330、IRGANOX1726、IRGANOX1425WL、IRGANOX1520L、IRGANOX245、IRGANOX259、IRGANOX3114、IRGANOX565、IRGAMOD295(以上、チバジャパン社製)、ヨシノックスBHT、ヨシノックスBB、ヨシノックス2246G、ヨシノックス425、ヨシノックス250、ヨシノックス930、ヨシノックスSS、ヨシノックスTT、ヨシノックス917、ヨシノックス314(以上、エーピーアイコーポレーション社製)等が挙げられる。   Examples of commercially available compounds having the hindered phenol structure include ADK STAB AO-20, ADK STAB AO-30, ADK STAB AO-40, ADK STAB AO-50, ADK STAB AO-60, ADK STAB AO-70 and ADK STAB. AO-80, ADK STAB AO-330 (above, manufactured by ADEKA), sumizer GM, sumizer GS, sumizer MDP-S, sumizer BBM-S, sumizer WX-R, sumiser Z-80, IR NO.10, IR NO.10, IR NO. IRGANOX 1098, IRGANOX 1135, IRGANOX 1330, IRGANOX 1726, IRGA OX1425WL, IRGANOX1520L, IRGANOX245, IRGANOX259, IRGANOX3114, IRGANOX565, IRGAMOD295 (manufactured by Ciba Japan Co., Ltd.), Yoshinox BHT, Yoshinox BB, Yoshinox 2246G, Yoshinox 425, Yoshinox 250, 17 314 (above, manufactured by API Corporation) and the like.

上記ヒンダードアミン構造を有する化合物としては、例えばビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジル)セバケート、ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジル)スクシネート、ビス(1,2,2,6,6−ペンタメチル−4−ピペリジル)セバケート、ビス(N−オクトキシ−2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジル)セバケート、ビス(N−ベンジルオキシ−2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジル)セバケート、ビス(N−シクロヘキシルオキシ−2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジル)セバケート、ビス(1,2,2,6,6−ペンタメチル−4−ピペリジル)2−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)−2−ブチルマロネート、ビス(1−アクロイル−2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジル)2,2−ビス(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)−2−ブチルマロネート、ビス(1,2,2,6,6−ペンタメチル−4−ピペリジル)デカンジオエート、2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジルメタクリレート、4−[3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオニルオキシ]−1−[2−(3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオニルオキシ)エチル]−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン、2−メチル−2−(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジル)アミノ−N−(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジル)プロピオンアミド、テトラキス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジル)1,2,3,4−ブタンテトラカルボキシレート、テトラキス(1,2,2,6,6−ペンタメチル−4−ピペリジル)1,2,3,4−ブタンテトラカルボキシレート等の化合物;   Examples of the compound having a hindered amine structure include bis (2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidyl) sebacate, bis (2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidyl) succinate, bis ( 1,2,2,6,6-pentamethyl-4-piperidyl) sebacate, bis (N-octoxy-2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidyl) sebacate, bis (N-benzyloxy-2, 2,6,6-tetramethyl-4-piperidyl) sebacate, bis (N-cyclohexyloxy-2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidyl) sebacate, bis (1,2,2,6,6) -Pentamethyl-4-piperidyl) 2- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzyl) -2-butylmalonate, bis (1-acroyl-2, , 6,6-tetramethyl-4-piperidyl) 2,2-bis (3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzyl) -2-butylmalonate, bis (1,2,2,6, 6-pentamethyl-4-piperidyl) decandioate, 2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidyl methacrylate, 4- [3- (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxyphenyl) propionyl Oxy] -1- [2- (3- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionyloxy) ethyl] -2,2,6,6-tetramethylpiperidine, 2-methyl-2 -(2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidyl) amino-N- (2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidyl) propionamide, tetrakis (2,2,6,6- Tetramethyl-4 Piperidyl) 1,2,3,4-butane tetracarboxylate, tetrakis (1,2,2,6,6-pentamethyl-4-piperidyl) 1,2,3,4-butane tetracarboxylic compounds such rate;

N,N’,N’’,N’’’−テトラキス−[4,6−ビス−〔ブチル−(N−メチル−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン−4−イル)アミノ〕−トリアジン−2−イル]−4,7−ジアザデカン−1,10−ジアミン、ジブチルアミンと1,3,5−トリアジン・N,N’−ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジル)−1,6−ヘキサメチレンジアミンとN−(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジル)ブチルアミンとの重縮合物、ジブチルアミンと1,3,5−トリアジンとN,N′−ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジル)ブチルアミンとの重縮合物、ポリ〔{(1,1,3,3−テトラメチルブチル)アミノ−1,3,5−トリアジン−2,4−ジイル}{(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジル)イミノ}ヘキサメチレン{(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジル)イミノ}〕、1,6−ヘキサンジアミン−N,N′−ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジル)とモルフォリン−2,4,6−トリクロロ−1,3,5−トリアジンとの重縮合物、ポリ[(6−モルフォリノ−s−トリアジン−2,4−ジイル)〔(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジル)イミノ〕−ヘキサメチレン〔(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジル)イミノ〕]等の、ピペリジン環がトリアジン骨格を介して複数結合した高分子量HALS;コハク酸ジメチルと4−ヒドロキシ−2,2,6,6−テトラメチル−1−ピペリジンエタノールとの重合物、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸と1,2,2,6,6−ペンタメチル−4−ピペリジノールと3,9−ビス(2−ヒドロキシ−1,1−ジメチルエチル)−2,4,8,10−テトラオキサスピロ[5,5]ウンデカンとの混合エステル化物等の、ピペリジン環がエステル結合を介して結合した化合物等の重合体タイプが挙げられる。   N, N ′, N ″, N ′ ″-tetrakis- [4,6-bis- [butyl- (N-methyl-2,2,6,6-tetramethylpiperidin-4-yl) amino]- Triazin-2-yl] -4,7-diazadecane-1,10-diamine, dibutylamine and 1,3,5-triazine.N, N′-bis (2,2,6,6-tetramethyl-4- Piperidyl) -1,6-hexamethylenediamine and N- (2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidyl) butylamine polycondensate, dibutylamine, 1,3,5-triazine and N, N Polycondensate with '-bis (2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidyl) butylamine, poly [{(1,1,3,3-tetramethylbutyl) amino-1,3,5- Triazine-2,4-diyl} {(2,2,6,6-teto Methyl-4-piperidyl) imino} hexamethylene {(2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidyl) imino}], 1,6-hexanediamine-N, N′-bis (2,2,6 , 6-tetramethyl-4-piperidyl) and morpholine-2,4,6-trichloro-1,3,5-triazine, poly [(6-morpholino-s-triazine-2,4- A piperidine ring such as diyl) [(2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidyl) imino] -hexamethylene [(2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidyl) imino]]. High molecular weight HALS bonded plurally through a triazine skeleton; polymer of dimethyl succinate and 4-hydroxy-2,2,6,6-tetramethyl-1-piperidineethanol, 1,2,3,4-butanetetra Rubonic acid, 1,2,2,6,6-pentamethyl-4-piperidinol and 3,9-bis (2-hydroxy-1,1-dimethylethyl) -2,4,8,10-tetraoxaspiro [5 , 5] Polymer types such as a compound in which a piperidine ring is bonded via an ester bond, such as a mixed esterified product with undecane.

上記ヒンダードアミン構造を有する化合物としては、市販されているものとして、例えばアデカスタブLA−52、アデカスタブLA57、アデカスタブLA−62、アデカスタブLA−67、アデカスタブLA−63P、アデカスタブLA−68LD、アデカスタブLA−77、アデカスタブLA−82、アデカスタブLA−87(以上、ADEKA社製)、sumilizer9A(住友化学社製)、CHIMASSORB119FL、CHIMASSORB2020FDL、CHIMASSORB944FDL、TINUVIN622LD、TINUVIN144、TINUVIN765、TINUVIN770DF(以上、チバジャパン社製)等が挙げられる。   As the compound having the hindered amine structure, for example, ADK STAB LA-52, ADK STAB LA57, ADK STAB LA-62, ADK STAB LA-67, ADK STAB LA-63P, ADK STAB LA-68LD, ADK STAB LA-77, ADK STAB LA-82, ADK STAB LA-87 (manufactured by ADEKA), sumilizer 9A (manufactured by Sumitomo Chemical), CHIMASSORB 119FL, CHIMASSORB 2020FDL, CHIMASSORB 944FDL, TINUVIN 622LD, TINUVIN 144, TINUVIN 765 .

アルキルホスファイト構造を有する化合物としては、例えばトリス(ノニルフェニル)ホスファイト、トリス(p−tert―オクチルフェニル)ホスファイト、トリス〔2,4,6−トリス(α−フェニルエチル)〕ホスファイト、トリス(p−2−ブテニルフェニル)ホスファイト、ビス(p−ノニルフェニル)シクロヘキシルホスファイト、トリス(2,4−ジ−tert−ブチルフェニル)ホスファイト、ジ(2,4−ジ−tert−ブチルフェニル)ペンタエリストールジホスファイト、2,2´−メチレンビス(4,6−ジ−t−ブチル−1−フェニルオキシ)(2−エチルヘキシルオキシ)ホスホラス、ジステアリルペンタエリスリトールジホスファイト、4,4′−イソプロピリデ−ジフェノールアルキルホスファイト、テトラトリデシル−4,4′−ブチリデン−ビス(3−メチル−6−tert−ブチルフェノール)ジホスファイト、テトラキス(2,4−ジ−tert−ブチルフェニル)−4,4′−ビフェニレンホスファイト、2,6−ジ−tert−ブチル−4−メチルフェニル・フェニル・ペンタエリスリトールジホスファイト、2,6−tert−ブチル−4−メチルフェニル・フェニル・ペンタエリスリトールジホスファイト、2,6−ジ−tert−ブチル−4−エチルフェニル・ステアリル・ペンタエリスリトールジホスファイト、ジ(2,6−tert−ブチル−4−メチルフェニル)ペンタエリスリトールジホスファイト、2,6−ジ−tert−アミル−4−メチルフェニル・フェニル・ペンタエリスリトールジホスファイト等が挙げられる。   Examples of the compound having an alkyl phosphite structure include tris (nonylphenyl) phosphite, tris (p-tert-octylphenyl) phosphite, tris [2,4,6-tris (α-phenylethyl)] phosphite, Tris (p-2-butenylphenyl) phosphite, bis (p-nonylphenyl) cyclohexyl phosphite, tris (2,4-di-tert-butylphenyl) phosphite, di (2,4-di-tert- Butylphenyl) pentaerythritol diphosphite, 2,2′-methylenebis (4,6-di-t-butyl-1-phenyloxy) (2-ethylhexyloxy) phosphorus, distearyl pentaerythritol diphosphite, 4, 4'-isopropylide-diphenol alkyl phosphite, teto Latridecyl-4,4'-butylidene-bis (3-methyl-6-tert-butylphenol) diphosphite, tetrakis (2,4-di-tert-butylphenyl) -4,4'-biphenylene phosphite, 2,6- Di-tert-butyl-4-methylphenyl phenyl pentaerythritol diphosphite, 2,6-tert-butyl-4-methylphenyl phenyl pentaerythritol diphosphite, 2,6-di-tert-butyl- 4-ethylphenyl stearyl pentaerythritol diphosphite, di (2,6-tert-butyl-4-methylphenyl) pentaerythritol diphosphite, 2,6-di-tert-amyl-4-methylphenyl phenyl・ Pentaerythritol diphosphite That.

アルキルホスファイトとして構造を有する化合物としては、市販されているものとして、例えばアデカスタブPEP−4C、アデカスタブPEP−8、アデカスタブPEP−8W、アデカスタブPEP−24G、アデカスタブPEP−36、アデカスタブHP−10、アデカスタブ2112、アデカスタブ260、アデカスタブ522A、アデカスタブ1178、アデカスタブ1500、アデカスタブC、アデカスタブ135A、アデカスタブ3010、アデカスタブTPP(以上、ADEKA社製)、IRGAFOS168(チバジャパン社製)等が挙げられる。   As a compound having a structure as an alkyl phosphite, for example, ADK STAB PEP-4C, ADK STAB PEP-8, ADK STAB PEP-8W, ADK STAB PEP-24G, ADK STAB PEP-36, ADK STAB HP-10, ADK STAB 2112, ADK STAB 260, ADK STAB 1522, ADK STAB 1178, ADK STAB 1500, ADK STAB C, ADK STAB 135A, ADK STAB 3010, ADK STAB TPP (manufactured by ADEKA), IRGAFOS 168 (manufactured by Ciba Japan), and the like.

チオエーテル構造を有する化合物としては、例えばジラウリルチオジプロピオネート、ジトリデシルチオジプロピオネート、ジミリスチルチオジプロピオネート、ジステアリルチオジプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキス(3−ラウリルチオプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−オクタデシルチオプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−ミリスチルチオプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−ステアリルチオプロピオネート)等が挙げられる   Examples of the compound having a thioether structure include dilauryl thiodipropionate, ditridecyl thiodipropionate, dimyristyl thiodipropionate, distearyl thiodipropionate, pentaerythritol tetrakis (3-lauryl thiopropionate), Pentaerythritol tetrakis (3-octadecylthiopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-myristylthiopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-stearylthiopropionate), and the like.

チオエーテル構造を有する化合物としては、市販されているものとして、例えばアデカスタブAO−412S、アデカスタブAO−503(以上、ADEKA社製)、sumilizerTPL−R、sumilizerTPM、sumilizerTPS、sumilizerTP−D、sumilizerMB(以上、住友化学社製)、IRGANOXPS800FD、IRGANOXPS802FD(以上、チバジャパン社製)、DLTP、DSTP、DMTP、DTTP(以上、エーピーアイコーポレーション社製)等が挙げられる。   As a compound having a thioether structure, for example, ADK STAB AO-412S, ADK STAB AO-503 (manufactured by ADEKA), Sumizer TPL-R, Sumizer TPM, Sumizer TPS, Sumizer TP-D, Sumitizer MB Chemical Corporation), IRGANOXPS800FD, IRGANOXPS802FD (above, manufactured by Ciba Japan), DLTP, DSTP, DMTP, DTTP (above, manufactured by API Corporation), and the like.

なお、これらの化合物は、単独で又は2種以上を混合して使用することができる。   In addition, these compounds can be used individually or in mixture of 2 or more types.

本発明の硬化性樹脂組成物において、[D]ラジカル捕捉剤の含有量は、[A]重合体100質量部に対して、好ましくは0.1質量部以上10質量部以下であり、より好ましくは0.5質量部以上5質量部以下であり、さらに好ましくは1.5質量部以上3質量部以下である。[A]重合体100質量部に対する[D]ラジカル捕捉剤の含有量が上記範囲内にあることによって、当該硬化性樹脂組成物の放射線感度を保ちつつ、当該硬化性樹脂組成物から得られた硬化膜等の透過率、電圧保持率、耐光性及び耐熱性をさらに向上することができる。   In the curable resin composition of the present invention, the content of the [D] radical scavenger is preferably 0.1 parts by mass or more and 10 parts by mass or less, more preferably 100 parts by mass of the polymer [A]. Is 0.5 parts by mass or more and 5 parts by mass or less, and more preferably 1.5 parts by mass or more and 3 parts by mass or less. [A] It was obtained from the curable resin composition while maintaining the radiation sensitivity of the curable resin composition by having the content of the [D] radical scavenger in the above range with respect to 100 parts by mass of the polymer. The transmittance, voltage holding ratio, light resistance and heat resistance of the cured film and the like can be further improved.

<[E]着色剤>
当該硬化性樹脂組成物は、[E]着色剤をさらに含有することが好ましい。当該硬化性樹脂組成物が、[E]着色剤をさらに含有することで、例えばカラーフィルタ用着色パターン等としての表示素子用硬化膜を形成することができる。
<[E] Colorant>
It is preferable that the said curable resin composition further contains a [E] coloring agent. When the curable resin composition further contains an [E] colorant, for example, a cured film for a display element as a colored pattern for a color filter or the like can be formed.

[E]着色剤としては着色性を有すれば特に限定されるものではなく、カラーフィルタの用途に応じて色彩や材質を適宜選択することができる。着色剤としては、例えば顔料、染料及び天然色素のいずれをも使用できるが、カラーフィルタには高い色純度、輝度、コントラスト等が求められることから、顔料、染料が好ましい。本発明において着色剤は、単独又は2種以上を混合して使用することができる。   [E] The colorant is not particularly limited as long as it has colorability, and colors and materials can be appropriately selected according to the use of the color filter. As the colorant, for example, any of pigments, dyes, and natural pigments can be used. However, pigments and dyes are preferable because color filters are required to have high color purity, luminance, contrast, and the like. In this invention, a coloring agent can be used individually or in mixture of 2 or more types.

顔料としては、有機顔料、無機顔料のいずれでもよく、有機顔料としては、例えばカラーインデックス(C.I.;The Society of Dyers and Colourists 社発行)においてピグメントに分類されている化合物が挙げられる。具体的には、下記のようなカラーインデックス(C.I.)名が付されているものが挙げられる。   The pigment may be either an organic pigment or an inorganic pigment, and examples of the organic pigment include compounds classified as pigments in the color index (CI; issued by The Society of Dyers and Colorists). Specifically, those having the following color index (CI) names are mentioned.

C.I.ピグメントイエロー12、同13、同14、同17、同20、同24、同31、同55、同83、同93、同109、同110、同138、同139、同150、同153、同154、同155、同166、同168、同180、同211;
C.I.ピグメントオレンジ5、同13、同14、同24、同34、同36、同38、同40、同43、同46、同49、同61、同64、同68、同70、同71、同72、同73、同74;
C.I.ピグメントレッド1、同2、同5、同17、同31、同32、同41、同122、同123、同144、同149、同166、同168、同170、同171、同175、同176、同177、同178、同179、同180、同185、同187、同202、同206、同207、同209、同214、同220、同221、同224、同242、同243、同254、同255、同262、同264、同272;
C.I.ピグメントバイオレット1、同19、同23、同29、同32、同36、同38;
C.I.ピグメントブルー15、同15:3、同15:4、同15:6、同60、同80;
C.I.ピグメントグリーン7、同36、同58;
C.I.ピグメントブラウン23、同25;
C.I.ピグメントブラック1、同7等が挙げられる。
C. I. Pigment Yellow 12, 13, 14, 17, 20, 24, 31, 55, 83, 93, 109, 110, 138, 139, 150, 153, 154, 155, 166, 168, 180, 211;
C. I. Pigment Orange 5, 13, 13, 24, 34, 36, 38, 40, 43, 46, 49, 61, 64, 68, 70, 71, etc. 72, 73, 74;
C. I. Pigment Red 1, 2, 2, 5, 17, 31, 32, 41, 122, 123, 144, 149, 166, 168, 170, 171, 175, 176, 177, 178, 179, 180, 185, 187, 202, 206, 207, 209, 214, 220, 221, 224, 242, 243, 254, 255, 262, 264, 272;
C. I. Pigment Violet 1, 19, 23, 29, 32, 36, 38;
C. I. Pigment Blue 15, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 60, 80;
C. I. Pigment Green 7, 36, 58;
C. I. Pigment Brown 23 and 25;
C. I. Pigment black 1, 7 and the like.

また、上記無機顔料としては、例えば酸化チタン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブラック等が挙げられる。   Examples of the inorganic pigment include titanium oxide, barium sulfate, calcium carbonate, zinc white, lead sulfate, yellow lead, zinc yellow, red bean (red iron oxide (III)), cadmium red, ultramarine blue, bitumen, and chromium oxide green. , Cobalt green, amber, titanium black, synthetic iron black, carbon black and the like.

本発明においては、顔料を再結晶法、再沈殿法、溶剤洗浄法、昇華法、真空加熱法又はこれらの組み合わせにより精製して使用することもできる。また、顔料は所望により、その粒子表面を樹脂で改質して使用してもよい。顔料の粒子表面を改質する樹脂としては、例えば、特開2001−108817号公報に記載のビヒクル樹脂、又は市販の各種の顔料分散用の樹脂等が挙げられる。カーボンブラック表面の樹脂被覆方法としては、例えば、特開平9−71733号公報、特開平9−95625号公報、特開平9−124969号公報等に記載の方法を採用することができる。また、有機顔料は、いわゆるソルトミリングにより、一次粒子を微細化して使用することが好ましい。ソルトミリングの方法としては、例えば特開平08−179111号公報に開示されている方法等が挙げられる。   In the present invention, the pigment may be purified and used by a recrystallization method, a reprecipitation method, a solvent washing method, a sublimation method, a vacuum heating method, or a combination thereof. Moreover, the pigment surface may be modified with a resin if desired. Examples of the resin that modifies the particle surface of the pigment include vehicle resins described in JP-A No. 2001-108817, and various commercially available resins for dispersing pigments. As a resin coating method on the carbon black surface, for example, methods described in JP-A-9-71733, JP-A-9-95625, JP-A-9-124969 and the like can be employed. The organic pigment is preferably used by refining primary particles by so-called salt milling. Examples of the salt milling method include the method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 08-179111.

染料としては有機溶媒に可溶である限り公知の染料を使用でき、例えば油溶性染料、アシッド染料又はその誘導体、ダイレクト染料、モーダント染料等が挙げられる。具体的には、下記のようなカラーインデックス(C.I.)名が付されているものが挙げられる。   As the dye, known dyes can be used as long as they are soluble in an organic solvent, and examples thereof include oil-soluble dyes, acid dyes or derivatives thereof, direct dyes, and modern dyes. Specifically, those having the following color index (CI) names are mentioned.

C.I.ソルベントイエロー4、同14、同15、同23、同24、同38、同62、同63、同68、同82、同88、同94、同98、同99、同162、同179;
C.I.ソルベントレッド45、同49、同125、同130;
C.I.ソルベントオレンジ2、同7、同11、同15、同26、同56;
C.I.ソルベントブルー35、同37、同59、同67;
C.I.アシッドイエロー1、同3、同7、同9、同11、同17、同23、同25、同29、同34、同36、同38、同40、同42、同54、同65、同72、同73、同76;
C.I.アシッドレッド91、同92、同97、同114、同138、同151;
C.I.アシッドオレンジ51、同63;
C.I.アシッドブルー80、同83、同90;
C.I.アシッドグリーン9、同16、同25、同27等が挙げられる。
C. I. Solvent Yellow 4, 14, 15, 23, 24, 38, 62, 63, 68, 82, 88, 94, 98, 99, 162, 179;
C. I. Solvent Red 45, 49, 125, 130;
C. I. Solvent Orange 2, 7, 11, 15, 15, 26, 56;
C. I. Solvent Blue 35, 37, 59, 67;
C. I. Acid Yellow 1, 3, 7, 9, 11, 17, 17, 25, 29, 34, 36, 38, 40, 42, 54, 65, the same 72, 73, 76;
C. I. Acid Red 91, 92, 97, 114, 138, 151;
C. I. Acid Orange 51, 63;
C. I. Acid Blue 80, 83, 90;
C. I. Acid Green 9, 16, 25, 27 and the like.

[E]着色剤として染料を使用することにより、顔料単独では達成することができない高輝度化や高コントラスト化が可能となる。しかしながら、従来の感放射線性樹脂組成物に[E]着色剤として染料を使用すると、アルカリ現像性、画素の耐熱性、耐溶剤性等が著しく悪化する場合がある。当該感放射線性樹脂組成物によれば、[E]着色剤として染料を使用した場合であっても、アルカリ現像性の良好な感放射線性樹脂組成物を得ることができる。   [E] By using a dye as a colorant, it is possible to achieve high brightness and high contrast that cannot be achieved with a pigment alone. However, when a dye is used as a colorant [E] in a conventional radiation-sensitive resin composition, alkali developability, pixel heat resistance, solvent resistance, and the like may be significantly deteriorated. According to the radiation-sensitive resin composition, a radiation-sensitive resin composition having good alkali developability can be obtained even when a dye is used as the [E] colorant.

[E]着色剤の含有量としては、輝度が高く色純度に優れる画素、又は遮光性に優れるブラックマトリックスを形成する点から、当該硬化性樹脂組成物の固形分中に通常5質量%〜70質量%であり、好ましくは5質量%〜60質量%である。   [E] The content of the colorant is usually 5% by mass to 70% in the solid content of the curable resin composition from the viewpoint of forming a pixel having high luminance and excellent color purity or a black matrix having excellent light shielding properties. % By mass, preferably 5% by mass to 60% by mass.

<その他の任意成分>
当該硬化性樹脂組成物は、[A]アルカリ可溶性樹脂、[B]重合性化合物、[C]化合物、[D]ラジカル捕捉剤、[E]着色剤以外に、本発明の効果を損なわない範囲で必要に応じて接着助剤、界面活性剤、エポキシ化合物、保存安定剤等のその他の任意成分を含有してもよい。これらのその他の任意成分は、単独で使用してもよいし2種以上を混合して使用してもよい。以下、各成分を詳述する。
<Other optional components>
The curable resin composition is a range that does not impair the effects of the present invention other than [A] alkali-soluble resin, [B] polymerizable compound, [C] compound, [D] radical scavenger, and [E] colorant. If necessary, it may contain other optional components such as an adhesion assistant, a surfactant, an epoxy compound, and a storage stabilizer. These other optional components may be used alone or in combination of two or more. Hereinafter, each component will be described in detail.

[接着助剤]
接着助剤は、得られる硬化膜と基板との接着性を向上させるために使用できる。接着助剤としては、カルボキシル基、メタクリロイル基、ビニル基、イソシアネート基、オキシラニル基等の反応性官能基を有する官能性シランカップリング剤が好ましく、例えばトリメトキシシリル安息香酸、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ−イソシアナートプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン等が挙げられる。
[Adhesion aid]
Adhesion aids can be used to improve the adhesion between the resulting cured film and the substrate. As the adhesion assistant, a functional silane coupling agent having a reactive functional group such as a carboxyl group, a methacryloyl group, a vinyl group, an isocyanate group, or an oxiranyl group is preferable. For example, trimethoxysilylbenzoic acid, γ-methacryloxypropyltri Examples include methoxysilane, vinyltriacetoxysilane, vinyltrimethoxysilane, γ-isocyanatopropyltriethoxysilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, and the like. .

接着助剤の含有量としては、[A]アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、20質量部以下が好ましく、15質量部以下がより好ましい。接着助剤の含有量が20質量部を超えると現像残りを生じやすくなる傾向がある。   The content of the adhesion assistant is preferably 20 parts by mass or less and more preferably 15 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of [A] alkali-soluble resin. When the content of the adhesion assistant exceeds 20 parts by mass, there is a tendency that development residue tends to occur.

[界面活性剤]
界面活性剤は、当該硬化性樹脂組成物の塗膜形成性をより向上させるために使用できる。界面活性剤としては、例えばフッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤等が挙げられる。
[Surfactant]
A surfactant can be used to further improve the film-forming property of the curable resin composition. Examples of the surfactant include a fluorine-based surfactant and a silicone-based surfactant.

フッ素系界面活性剤としては、末端、主鎖及び側鎖の少なくともいずれかの部位にフルオロアルキル基及び/又はフルオロアルキレン基を有する化合物が好ましい。フッ素系界面活性剤の市販品としては、例えばフタージェントFT−100、同−110、同−140A、同−150、同−250、同−251、同−300、同−310、同−400S、フタージェントFTX−218、同−251(以上、ネオス社)等が挙げられる。   As the fluorosurfactant, a compound having a fluoroalkyl group and / or a fluoroalkylene group in at least one of the terminal, main chain and side chain is preferable. Commercially available fluorosurfactants include, for example, Footent FT-100, -110, -140A, -150, -250, -251, -300, -310, -400S, Include Fantient FTX-218 and -251 (above, Neos).

シリコーン系界面活性剤の市販品としては、例えばトーレシリコーンDC3PA、同DC7PA、同SH11PA、同SH21PA、同SH28PA、同SH29PA、同SH30PA、同SH−190、同SH−193、同SZ−6032、同SF−8428、同DC−57、同DC−190、SH 8400 FLUID)(以上、東レ・ダウコーニング・シリコーン社)等が挙げられる。   Examples of commercially available silicone surfactants include Torresilicone DC3PA, DC7PA, SH11PA, SH21PA, SH28PA, SH29PA, SH30PA, SH-190, SH-193, SZ-6032, SF-8428, DC-57, DC-190, SH 8400 FLUID) (above, Toray Dow Corning Silicone).

界面活性剤の含有量としては、[A]アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、1.0質量部以下が好ましく、0.7質量部以下がより好ましい。[F]界面活性剤の含有量が1.0質量部を超えると、膜ムラを生じやすくなる。   As content of surfactant, 1.0 mass part or less is preferable with respect to 100 mass parts of [A] alkali-soluble resin, and 0.7 mass part or less is more preferable. [F] When the content of the surfactant exceeds 1.0 part by mass, film unevenness is likely to occur.

[保存安定剤]
保存安定剤としては、例えば硫黄、キノン類、ヒドロキノン類、ポリオキシ化合物、アミン、ニトロニトロソ化合物等が挙げられ、より具体的には、4−メトキシフェノール、N−ニトロソ−N−フェニルヒドロキシルアミンアルミニウム等が挙げられる。
[Storage stabilizer]
Examples of the storage stabilizer include sulfur, quinones, hydroquinones, polyoxy compounds, amines, nitronitroso compounds, and more specifically, 4-methoxyphenol, N-nitroso-N-phenylhydroxylamine aluminum, and the like. Is mentioned.

保存安定剤の含有量としては、[A]アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、3.0質量部以下が好ましく、1.0質量部以下がより好ましい。保存安定剤の含有量が3.0質量部を超えると、当該硬化性樹脂組成物の感度が低下してパターン形状が劣化する場合がある。   As content of a preservation | save stabilizer, 3.0 mass parts or less are preferable with respect to 100 mass parts of [A] alkali-soluble resin, and 1.0 mass part or less is more preferable. When content of a storage stabilizer exceeds 3.0 mass parts, the sensitivity of the said curable resin composition may fall and a pattern shape may deteriorate.

<硬化性樹脂組成物の調製方法>
当該硬化性樹脂組成物は、[A]アルカリ可溶性樹脂、[B]重合性化合物及び[C]化合物の必須成分、[D]ラジカル捕捉剤、[E]着色剤等の好適成分に加え、必要に応じてその他の任意成分を所定の割合で混合することにより調製される。当該効果性樹脂組成物は、好ましくは適当な溶媒に溶解されて溶液状態で用いられる。
<Method for preparing curable resin composition>
The curable resin composition is necessary in addition to suitable components such as [A] alkali-soluble resin, [B] polymerizable compound and [C] compound, [D] radical scavenger, and [E] colorant. Depending on the case, it is prepared by mixing other optional components at a predetermined ratio. The effective resin composition is preferably used in a solution state after being dissolved in an appropriate solvent.

当該硬化性樹脂組成物の調製に用いられる溶媒としては、[A]アルカリ可溶性樹脂、[B]重合性化合物、[C]化合物、[D]ラジカル捕捉剤、[E]着色剤及びその他の任意成分を均一に溶解又は分散し、各成分と反応しないものが用いられる。   As a solvent used for the preparation of the curable resin composition, [A] alkali-soluble resin, [B] polymerizable compound, [C] compound, [D] radical scavenger, [E] colorant and other optional Those that dissolve or disperse the components uniformly and do not react with each component are used.

溶媒としては、各成分の溶解性、各成分との反応性、塗膜形成の容易性等の観点から例えば
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテル類;
酢酸エチレングリコールモノメチルエーテル、酢酸エチレングリコールモノエチルエーテル、酢酸エチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、酢酸エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、酢酸ジエチレングリコールモノメチルエーテル、酢酸ジエチレングリコールモノエチルエーテル、酢酸ジエチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、酢酸ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、酢酸プロピレングリコールモノメチルエーテル、酢酸プロピレングリコールモノエチルエーテル、酢酸3−メトキシブチル、酢酸3−メチル−3−メトキシブチル等の酢酸(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテル類;
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類;
メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、ジアセトンアルコール(4−ヒドロキシ−4−メチルペンタン−2−オン)、4−ヒドロキシ−4−メチルヘキサン−2−オン等のケトン類;
プロピレングリコールジアセテート、1,3−ブチレングリコールジアセテート、1,6−ヘキサンジオールジアセテート等のジアセテート類;
乳酸メチル、乳酸エチル等の乳酸アルキルエステル類;
酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸i−プロピル、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−ペンチル、酢酸i−ペンチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、プロピオン酸n−ブチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネート、酪酸エチル、酪酸n−プロピル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチル、ヒドロキシ酢酸エチル、エトキシ酢酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸n−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチル酪酸メチル、2−オキソ酪酸エチル等の他のエステル類;
トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;
N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド等のアミド類等が挙げられる。
Examples of the solvent include, for example, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono-n-propyl ether, and ethylene glycol from the viewpoints of solubility of each component, reactivity with each component, ease of film formation, and the like. Mono-n-butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol mono-n-propyl ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol Monoethyl ether, propylene glycol mono-n-propyl ether, propylene glycol mono-n-butyl (Polyethylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol mono-n-propyl ether, dipropylene glycol mono-n-butyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, tripropylene glycol monoethyl ether, etc. ) Alkylene glycol monoalkyl ethers;
Acetic acid ethylene glycol monomethyl ether, acetic acid ethylene glycol monoethyl ether, acetic acid ethylene glycol mono-n-propyl ether, acetic acid ethylene glycol mono-n-butyl ether, acetic acid diethylene glycol monomethyl ether, acetic acid diethylene glycol monoethyl ether, acetic acid diethylene glycol mono-n-propyl Acetic acid (poly) alkylene glycol monoalkyl ethers such as ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate ;
Other ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, tetrahydrofuran;
Ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone, diacetone alcohol (4-hydroxy-4-methylpentan-2-one), 4-hydroxy-4-methylhexane-2-one;
Diacetates such as propylene glycol diacetate, 1,3-butylene glycol diacetate, 1,6-hexanediol diacetate;
Lactic acid alkyl esters such as methyl lactate and ethyl lactate;
Ethyl acetate, n-propyl acetate, i-propyl acetate, n-butyl acetate, i-butyl acetate, n-pentyl formate, i-pentyl acetate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, N-butyl propionate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutylpropionate, ethyl butyrate, n-propyl butyrate, i-propyl butyrate, n-butyl butyrate, ethyl hydroxyacetate, ethyl ethoxyacetate, Methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, n-propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, Ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, 2 Hydroxy-3-methyl-butyric acid methyl, other esters such as ethyl 2-oxo acid;
Aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene;
Examples thereof include amides such as N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide and the like.

これらの溶媒のうち、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、酢酸エチレングリコールモノメチルエーテル、酢酸プロピレングリコールモノメチルエーテル、酢酸プロピレングリコールモノエチルエーテル、酢酸3−メトキシブチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、1,3−ブチレングリコールジアセテート、1,6−ヘキサンジオールジアセテート、乳酸エチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネート、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−アミル、酢酸i−アミル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチル、ピルビン酸エチルが好ましい。溶媒は単独又は2種以上を混合して使用できる。   Among these solvents, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, Cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone, 1,3-butylene glycol diacetate, 1,6-hexanediol diacetate, ethyl lactate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, 3-ethoxypropionic acid Ethyl, 3-methyl-3-methoxybutylpropionate, n-butyl acetate, i-butyl acetate, n-amyl formate, vinegar i- amyl, n- butyl propionate, ethyl butyrate, i- propyl butyrate n- butyl, ethyl pyruvate are preferred. A solvent can be used individually or in mixture of 2 or more types.

さらに、上記溶媒とともに膜厚の面内均一性を高めるため、高沸点溶媒を併用できる。高沸点溶媒としては、例えばベンジルエチルエーテル、ジ−n−ヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタノール、1−ノナノール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、シュウ酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセテート等が挙げられる。高沸点溶媒は、単独又は2種以上を使用できる。   Furthermore, in order to improve the in-plane uniformity of the film thickness together with the above solvent, a high boiling point solvent can be used in combination. Examples of the high boiling point solvent include benzyl ethyl ether, di-n-hexyl ether, acetonyl acetone, isophorone, caproic acid, caprylic acid, 1-octanol, 1-nonanol, benzyl acetate, ethyl benzoate, diethyl oxalate, malee Examples include diethyl acid, γ-butyrolactone, ethylene carbonate, propylene carbonate, and ethylene glycol monophenyl ether acetate. The high boiling point solvent can be used alone or in combination of two or more.

溶媒の含有量としては限定されないが、得られる当該感放射線性樹脂組成物の塗布性、安定性等の観点から感放射線性樹脂組成物の溶媒を除いた各成分の合計濃度が、5質量%〜50質量%となる量が好ましく、10質量%〜40質量%となる量がより好ましい。当該感放射線性樹脂組成物を溶液状態として調製する場合、固形分濃度(組成物溶液中に占める溶媒以外の成分)は、使用目的や所望の膜厚の値等に応じて任意の濃度(例えば5質量%〜50質量%)に設定できる。さらに好ましい固形分濃度は、基板上への塗膜の形成法方により異なるが、これについては後述する。このようにして調製された組成物溶液は、孔径0.5μm程度のミリポアフィルタ等を用いて濾過した後、使用に供することができる。   The content of the solvent is not limited, but the total concentration of each component excluding the solvent of the radiation-sensitive resin composition is 5% by mass from the viewpoint of applicability and stability of the obtained radiation-sensitive resin composition. The amount of ˜50% by mass is preferable, and the amount of 10% by mass to 40% by mass is more preferable. When the radiation-sensitive resin composition is prepared in a solution state, the solid content concentration (components other than the solvent in the composition solution) may be any concentration (for example, depending on the purpose of use, desired film thickness, etc. 5 mass% to 50 mass%). The more preferable solid content concentration varies depending on the method of forming the coating film on the substrate, which will be described later. The composition solution thus prepared can be used after being filtered using a Millipore filter or the like having a pore diameter of about 0.5 μm.

<表示素子用硬化膜の形成方法>
当該硬化性樹脂組成物は、表示素子用硬化膜の形成用として好ましい。また、本発明には当該光か性樹脂組成物から形成される表示素子用硬化膜が好適に含まれる。
<Method for forming cured film for display element>
The curable resin composition is preferable for forming a cured film for a display element. Moreover, the cured film for display elements formed from the said optical resin composition is suitably contained in this invention.

本発明の表示素子用硬化膜の形成方法は、
(1)当該硬化性樹脂組成物を用い、基板上に塗膜を形成する工程、
(2)上記塗膜の少なくとも一部に放射線を照射する工程、
(3)上記放射線が照射された塗膜を現像する工程、及び
(4)上記現像された塗膜を180℃以下の温度で加熱する工程
を有する。
The method for forming a cured film for a display element of the present invention is as follows.
(1) A step of forming a coating film on a substrate using the curable resin composition,
(2) A step of irradiating at least a part of the coating film with radiation,
(3) The process which develops the coating film irradiated with the said radiation, and (4) The process which heats the said developed coating film at the temperature of 180 degrees C or less.

本発明の形成方法によると、低温加熱工程を用いても、圧縮性能、透過率、耐光性、電圧保持率、現像耐性、耐熱性及び耐溶媒性に優れる表示素子用硬化膜を形成できる。以下、各工程を詳述する。   According to the formation method of the present invention, a cured film for a display element that is excellent in compression performance, transmittance, light resistance, voltage holding ratio, development resistance, heat resistance, and solvent resistance can be formed even by using a low temperature heating step. Hereinafter, each process is explained in full detail.

[工程(1)]
本工程では、透明基板の片面に透明導電膜を形成し、この透明導電膜の上に当該硬化性樹脂組成物の塗膜を形成する。透明基板としては、例えばソーダライムガラス、無アルカリガラス等のガラス基板、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルスルホン、ポリカーボネート、ポリイミド等のプラスチックからなる樹脂基板等が挙げられる。
[Step (1)]
In this step, a transparent conductive film is formed on one side of the transparent substrate, and a coating film of the curable resin composition is formed on the transparent conductive film. Examples of the transparent substrate include glass substrates such as soda lime glass and alkali-free glass, and resin substrates made of plastics such as polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyethersulfone, polycarbonate, and polyimide.

透明基板の一面に設けられる透明導電膜としては、酸化スズ(SnO)からなるNESA膜(米国PPG社の登録商標)、酸化インジウム−酸化スズ(In−SnO)からなるITO膜等が挙げられる。 As the transparent conductive film provided on one surface of the transparent substrate, a NESA film (registered trademark of PPG, USA) made of tin oxide (SnO 2 ), an ITO film made of indium oxide-tin oxide (In 2 O 3 -SnO 2 ) Etc.

塗布法により塗膜を形成する場合、上記透明導電膜の上に当該硬化性樹脂組成物の溶液を塗布した後、好ましくは塗布面を加熱(プレベーク)することにより、塗膜を形成することができる。塗布法に用いる当該硬化性樹脂組成物溶液の固形分濃度としては、5質量%〜50質量%が好ましく、10質量%〜40質量%がより好ましく、15質量%〜35質量%が特に好ましい。当該硬化性樹脂組成物の塗布方法としては、例えばスプレー法、ロールコート法、回転塗布法(スピンコート法)、スリット塗布法(スリットダイ塗布法)、バー塗布法、インクジェット塗布法等の適宜の方法が採用できる。これらのうち、スピンコート法又はスリット塗布法が好ましい。   When a coating film is formed by a coating method, the coating film is preferably formed by heating (pre-baking) the coated surface after coating the solution of the curable resin composition on the transparent conductive film. it can. As solid content concentration of the said curable resin composition solution used for the apply | coating method, 5 mass%-50 mass% are preferable, 10 mass%-40 mass% are more preferable, 15 mass%-35 mass% are especially preferable. As a coating method of the curable resin composition, for example, a spray method, a roll coating method, a spin coating method (spin coating method), a slit coating method (slit die coating method), a bar coating method, an ink jet coating method, or the like can be used. The method can be adopted. Of these, spin coating or slit coating is preferred.

上記プレベークの条件としては、各成分の種類、配合割合等によって異なるが、70℃〜120℃が好ましく、1分〜15分間程度である。塗膜のプレベーク後の膜厚は、0.5μm〜10μmが好ましく、1.0μm〜7.0μm程度がより好ましい。   The prebaking conditions vary depending on the type of each component, the blending ratio, and the like, but are preferably 70 ° C. to 120 ° C. and about 1 to 15 minutes. The film thickness after pre-baking of the coating film is preferably 0.5 μm to 10 μm, and more preferably about 1.0 μm to 7.0 μm.

[工程(2)]
本工程では、形成された塗膜の少なくとも一部に放射線を照射する。このとき、塗膜の一部にのみ照射する際には、例えば所定のパターンを有するフォトマスクを介して照射する方法によることができる。
[Step (2)]
In this step, radiation is applied to at least a part of the formed coating film. At this time, when irradiating only a part of the coating film, for example, a method of irradiating through a photomask having a predetermined pattern can be used.

照射に使用される放射線としては、可視光線、紫外線、遠紫外線等が挙げられる。このうち波長が250nm〜550nmの範囲にある放射線が好ましく、365nmの紫外線を含む放射線がより好ましい。   Examples of radiation used for irradiation include visible light, ultraviolet light, and far ultraviolet light. Of these, radiation having a wavelength in the range of 250 nm to 550 nm is preferable, and radiation including ultraviolet light of 365 nm is more preferable.

放射線照射量(露光量)は、照射される放射線の波長365nmにおける強度を照度計(OAI model 356、Optical Associates Inc.製)により測定した値として、100J/m〜5,000J/mが好ましく、200J/m〜3,000J/mがより好ましい。 Radiation dose (exposure dose), as a value measured by a luminometer intensity at a wavelength 365nm of the radiation emitted (OAI model 356, Optical Associates Ltd. Inc.), 100J / m 2 ~5,000J / m 2 is Preferably, 200 J / m 2 to 3,000 J / m 2 is more preferable.

当該硬化性樹脂組成物は、従来知られている組成物と比較して感度が高く、上記放射線照射量が700J/m以下、さらには600J/m以下であっても所望の膜厚、良好な形状、優れた密着性及び高い硬度の表示素子用硬化膜を得ることがきる。 The curable resin composition has a higher sensitivity than a conventionally known composition, and the desired film thickness even when the radiation dose is 700 J / m 2 or less, and even 600 J / m 2 or less. A cured film for a display element having a good shape, excellent adhesion and high hardness can be obtained.

[工程(3)]
本工程では、放射線照射後の塗膜を現像することにより、不要な部分を除去して、所定のパターンを形成する。現像に使用される現像液としては、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム等の無機アルカリ、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド等の4級アンモニウム塩等のアルカリ性化合物の水溶液が挙げられる。上記アルカリ性化合物の水溶液には、メタノール、エタノール等の水溶性有機溶媒及び/又は界面活性剤を適当量添加してもよい。
[Step (3)]
In this step, the coated film after irradiation is developed to remove unnecessary portions and form a predetermined pattern. Examples of the developer used for development include aqueous solutions of alkaline compounds such as inorganic alkalis such as sodium hydroxide, potassium hydroxide and sodium carbonate, and quaternary ammonium salts such as tetramethylammonium hydroxide and tetraethylammonium hydroxide. It is done. An appropriate amount of a water-soluble organic solvent such as methanol or ethanol and / or a surfactant may be added to the aqueous solution of the alkaline compound.

現像方法としては、液盛り法、ディッピング法、シャワー法等のいずれでもよく、現像時間は、常温で10秒〜180秒間程度が好ましい。現像処理に続いて、例えば流水洗浄を30秒〜90秒間行った後、圧縮空気や圧縮窒素で風乾することによって所望のパターンが得られる。   The developing method may be any of a liquid filling method, a dipping method, a shower method, and the like, and the developing time is preferably about 10 seconds to 180 seconds at room temperature. Subsequent to the development processing, for example, washing with running water is performed for 30 seconds to 90 seconds, and then a desired pattern is obtained by air drying with compressed air or compressed nitrogen.

[工程(4)]
本工程では、得られたパターン状塗膜をホットプレート、オーブン等の適当な加熱装置により加熱することにより表示素子用硬化膜を得る。加熱温度としては、通常250℃以下であり、200℃以下が好ましく、180℃以下がより好ましく、150℃以下がさらに好ましい。当該形成方法によると、このような低温加熱工程を用いた場合でも、[C]化合物から発生する酸の作用により十分な硬化が起こるため、耐熱性、耐溶媒性等に優れた表示素子用硬化膜を形成することができる。加熱時間としては、例えばホットプレート上では5分〜30分間、オーブンでは30分〜180分間程度である。
[Step (4)]
In this step, a cured film for display element is obtained by heating the obtained patterned coating film with a suitable heating device such as a hot plate or oven. As heating temperature, it is 250 degrees C or less normally, 200 degrees C or less is preferable, 180 degrees C or less is more preferable, 150 degrees C or less is further more preferable. According to the forming method, even when such a low-temperature heating step is used, since sufficient curing occurs due to the action of the acid generated from the [C] compound, curing for display elements excellent in heat resistance, solvent resistance, etc. A film can be formed. The heating time is, for example, about 5 to 30 minutes on a hot plate and about 30 to 180 minutes for an oven.

<表示素子の製造方法>
本発明には、当該表示素子用硬化膜を備える表示素子も好適に含まれる。表示素子の製造方法としては、まず片面に透明導電膜(電極)を有する透明基板を一対(2枚)準備し、そのうちの一枚の基板の透明導電膜上に、当該感放射線性樹脂組成物を用いて、上記した方法に従ってスペーサー若しくは保護膜又はその双方を形成する。続いて、これらの基板の透明導電膜及びスペーサー又は保護膜上に液晶配向能を有する配向膜を形成する。これら基板を、その配向膜が形成された側の面を内側にして、それぞれの配向膜の液晶配向方向が直交又は逆平行となるように一定の間隙(セルギャップ)を介して対向配置し、基板の表面(配向膜)及びスペーサーにより区画されたセルギャップ内に液晶を充填し、充填孔を封止して液晶セルを構成する。そして、液晶セルの両外表面に、偏光板を、その偏光方向が当該基板の一面に形成された配向膜の液晶配向方向と一致又は直交するように貼り合わせることにより、本発明の表示素子が得られる。
<Method for manufacturing display element>
A display element provided with the said cured film for display elements is also suitably contained in this invention. As a method for manufacturing a display element, first, a pair (two) of transparent substrates having a transparent conductive film (electrode) on one side is prepared, and the radiation-sensitive resin composition is formed on the transparent conductive film of one of the substrates. Is used to form a spacer and / or a protective film in accordance with the method described above. Subsequently, an alignment film having liquid crystal alignment ability is formed on the transparent conductive film and the spacer or protective film of these substrates. These substrates are arranged facing each other with a certain gap (cell gap) so that the liquid crystal alignment direction of each alignment film is orthogonal or antiparallel, with the surface on which the alignment film is formed inside. A liquid crystal is filled in the cell gap defined by the surface of the substrate (alignment film) and the spacer, and the filling hole is sealed to constitute a liquid crystal cell. Then, the display element of the present invention is bonded to both outer surfaces of the liquid crystal cell such that the polarizing direction is aligned or orthogonal to the liquid crystal alignment direction of the alignment film formed on one surface of the substrate. can get.

他の方法としては、上記方法と同様にして透明導電膜と、層間絶縁膜、保護膜又はスペーサー又はその双方と、配向膜とを形成した一対の透明基板を準備する。その後一方の基板の端部に沿って、ディスペンサーを用いて紫外線硬化型シール剤を塗布し、次いで液晶ディスペンサーを用いて微小液滴状に液晶を滴下し、真空下で両基板の貼り合わせを行う。そして、上記のシール剤部に、高圧水銀ランプを用いて紫外線を照射して両基板を封止する。最後に、液晶セルの両外表面に偏光板を貼り合わせることにより、本発明の表示素子が得られる。   As another method, a pair of transparent substrates on which a transparent conductive film, an interlayer insulating film, a protective film, a spacer, or both, and an alignment film are formed are prepared in the same manner as described above. After that, along the edge of one substrate, an ultraviolet curable sealant is applied using a dispenser, and then the liquid crystal is dropped in the form of fine droplets using a liquid crystal dispenser, and the two substrates are bonded together under vacuum. . Then, both the substrates are sealed by irradiating the sealing agent part with ultraviolet rays using a high-pressure mercury lamp. Finally, the display element of the present invention is obtained by attaching polarizing plates to both outer surfaces of the liquid crystal cell.

上記の各方法において使用される液晶としては、例えばネマティック型液晶、スメクティック型液晶等が挙げられる。また、液晶セルの外側に使用される偏光板としては、ポリビニルアルコールを延伸配向させながら、ヨウ素を吸収させた「H膜」と呼ばれる偏光膜を酢酸セルロース保護膜で挟んだ偏光板、又はH膜そのものからなる偏光板等が挙げられる。   Examples of the liquid crystal used in each of the above methods include nematic liquid crystal and smectic liquid crystal. In addition, as a polarizing plate used outside the liquid crystal cell, a polarizing film in which a polarizing film called an “H film” that absorbs iodine while stretching and aligning polyvinyl alcohol is sandwiched between cellulose acetate protective films, or an H film Examples thereof include a polarizing plate made of itself.

以下、実施例に基づき本発明を詳述するが、この実施例により本発明が限定的に解釈されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is explained in full detail based on an Example, this invention is not interpreted limitedly by this Example.

<[A]アルカリ可溶性樹脂の合成>
[合成例1]
冷却管及び撹拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス−(2,4−ジメチルバレロニトリル)5質量部及びジエチレングリコールメチルエチルエーテル220質量部を仕込み、引き続き(a1)構造単位を与えるメタクリル酸12質量部、(a2)構造単位を与えるメタクリル酸グリシジル40質量部、他の構造単位を与えるスチレン20質量部及びメタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル28質量部を仕込み窒素置換し、緩やかに攪拌しつつ、溶液の温度を70℃に上昇し、この温度を5時間保持して重合することにより、共重合体(A−1)を含有する溶液を得た(固形分濃度=31.3%)。共重合体(A−1)は、Mw=12,000であった。
<[A] Synthesis of alkali-soluble resin>
[Synthesis Example 1]
A flask equipped with a condenser and a stirrer is charged with 5 parts by mass of 2,2′-azobis- (2,4-dimethylvaleronitrile) and 220 parts by mass of diethylene glycol methyl ethyl ether, and subsequently (a1) a methacrylic compound giving a structural unit. 12 parts by weight of acid, (a2) 40 parts by weight of glycidyl methacrylate giving structural units, 20 parts by weight of styrene giving other structural units and tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl methacrylate A solution containing the copolymer (A-1) was prepared by charging 28 parts by mass, purging with nitrogen, gradually increasing the temperature of the solution to 70 ° C., and maintaining the temperature for 5 hours for polymerization. (Solid concentration = 31.3%) was obtained. The copolymer (A-1) had Mw = 12,000.

<[B]重合性化合物の合成;式(4)の構造単位を含む重合体の合成>
[合成例2]
冷却管及び撹拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル4質量部及びジエチレングリコールメチルエチルエーテル300質量部を仕込み、引き続き(a1)構造単位を与えるメタクリル酸23質量部、他の構造単位を与えるスチレン10質量部、メタクリル酸ベンジル32質量部及びメタクリル酸メチル35質量部、並びに分子量調節剤としてのα−メチルスチレンダイマー2.7質量部を仕込み、緩やかに攪拌しつつ、溶液の温度を80℃に上昇し、この温度を4時間保持した後、100℃に上昇させ、この温度を1時間保持して重合することにより共重合体を含有する溶液を得た(固形分濃度=24.9%)。得られた共重合体のMwは、12,500であった。次いで、共重合体を含む溶液に、テトラブチルアンモニウムブロミド1.1質量部、重合禁止剤としての4−メトキシフェノール0.05質量部を加え、空気雰囲気下90℃で30分間攪拌後、メタクリル酸グリシジル16質量部を入れて90℃のまま10時間反応させることにより、共重合体(B−1)を得た(固形分濃度=29.0%)。共重合体(B−1)のMwは、14,200であった。共重合体(B−1)をヘキサンに滴下することで再沈殿精製を行い、再沈殿した樹脂固形分について、H−NMR分析によりメタクリル酸グリシジルの反応率((a3)構造単位の生成率)を算出した。6.1ppm付近及び5.6ppm付近にメタクリル酸グリシジルのメタクリル基に由来するピークと共重合体のメタクリル酸ベンジルの構造単位に由来する6.8ppm〜7.4ppm付近の芳香環のプロトンとの積分比の比較から、メタクリル酸グリシジルと共重合体中のカルボキシル基との反応率を算出した。結果、反応させたメタクリル酸グリシジルの96モル%が共重合体中のカルボキシル基と反応した。
<[B] Synthesis of Polymerizable Compound; Synthesis of Polymer Containing Structural Unit of Formula (4)>
[Synthesis Example 2]
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 4 parts by weight of 2,2′-azobisisobutyronitrile and 300 parts by weight of diethylene glycol methyl ethyl ether, and subsequently (a1) 23 parts by weight of methacrylic acid to give a structural unit, While charging 10 parts by weight of styrene to give other structural units, 32 parts by weight of benzyl methacrylate and 35 parts by weight of methyl methacrylate, and 2.7 parts by weight of α-methylstyrene dimer as a molecular weight regulator, The temperature of the solution was raised to 80 ° C., and this temperature was kept for 4 hours, and then raised to 100 ° C., and this temperature was kept for 1 hour for polymerization to obtain a solution containing a copolymer (solid content). Concentration = 24.9%). Mw of the obtained copolymer was 12,500. Next, 1.1 parts by mass of tetrabutylammonium bromide and 0.05 parts by mass of 4-methoxyphenol as a polymerization inhibitor were added to the solution containing the copolymer, and after stirring at 90 ° C. for 30 minutes in an air atmosphere, methacrylic acid was added. A copolymer (B-1) was obtained by adding 16 parts by mass of glycidyl and reacting at 90 ° C. for 10 hours (solid content concentration = 29.0%). Mw of the copolymer (B-1) was 14,200. Reprecipitation purification is carried out by adding the copolymer (B-1) dropwise to hexane, and the reprecipitation resin solid content is analyzed by 1 H-NMR analysis for the reaction rate of glycidyl methacrylate ((a3) production rate of structural units). ) Was calculated. Integration between the peak derived from the methacrylic group of glycidyl methacrylate at around 6.1 ppm and 5.6 ppm and the proton of the aromatic ring around 6.8 ppm to 7.4 ppm derived from the structural unit of benzyl methacrylate in the copolymer From the comparison of the ratio, the reaction rate between glycidyl methacrylate and the carboxyl group in the copolymer was calculated. As a result, 96 mol% of the reacted glycidyl methacrylate reacted with the carboxyl group in the copolymer.

<[C]化合物の合成;C−1>
[合成例3]
(ステップ(1))
200mL三口フラスコに4−メルカプトフェノールを5.0g(39.6mmol)を量り取り、N,N−ジメチルホルムアミド30mLに溶解させた。ここに炭酸カリウム8.3g(60mmol)を加え攪拌した。次いで、4−エタノイルフルオロベンゼンを4.0g(26.2mmol)を加え、窒素雰囲気下60℃で4時間加熱攪拌した。反応液温度が室温になるまで冷却し、ここに蒸留水を加え、生成した塩を溶解させた後、反応液を分液ロートに移し、トルエン100mLで3回抽出し、この抽出液を分液ロートに集め、蒸留水100gで1回洗浄した後、有機溶媒を減圧留去し、粗生成物を得た。この粗生成物をn−ヘキサンで再結晶精製し、前駆体化合物(1)を6.4g(収率70%)得た。
<Synthesis of [C] Compound; C-1>
[Synthesis Example 3]
(Step (1))
In a 200 mL three-necked flask, 5.0 g (39.6 mmol) of 4-mercaptophenol was weighed and dissolved in 30 mL of N, N-dimethylformamide. To this, 8.3 g (60 mmol) of potassium carbonate was added and stirred. Next, 4.0 g (26.2 mmol) of 4-ethanoylfluorobenzene was added, and the mixture was heated and stirred at 60 ° C. for 4 hours under a nitrogen atmosphere. The reaction solution is cooled to room temperature, and distilled water is added thereto to dissolve the generated salt. The reaction solution is transferred to a separatory funnel and extracted three times with 100 mL of toluene. This extract is separated. After collecting in a funnel and washing once with 100 g of distilled water, the organic solvent was distilled off under reduced pressure to obtain a crude product. This crude product was recrystallized and purified with n-hexane to obtain 6.4 g (yield 70%) of the precursor compound (1).

(ステップ(2))
200mL三口フラスコにステップ(1)で得られた前駆化合物(1)を4.5g(17.4mmol)量り取り、N,N−ジメチルホルムアミド30mLに溶解させた。ここに炭酸カリウム5.5g(40mmol)を加え攪拌した。次いで、2−ブロロエタール 2.49g(20mmol)を加え、窒素雰囲気下60℃で4時間加熱攪拌した。反応液温度が室温になるまで冷却し、ここに蒸留水を加え、生成した塩を溶解させた後、反応液を分液ロートに移し、トルエン100mLで3回抽出し、この抽出液を分液ロートに集め、蒸留水100gで1回洗浄した後、有機溶媒を減圧留去し、粗生成物を得た。この粗生成物をn−ヘキサンで再結晶精製を行い、前駆体化合物(2)を3.8g(収率83%)得た。
(Step (2))
4.5 g (17.4 mmol) of the precursor compound (1) obtained in step (1) was weighed out in a 200 mL three-necked flask and dissolved in 30 mL of N, N-dimethylformamide. To this, 5.5 g (40 mmol) of potassium carbonate was added and stirred. Subsequently, 2.49 g (20 mmol) of 2-bromoether was added, and the mixture was heated and stirred at 60 ° C. for 4 hours under a nitrogen atmosphere. The reaction solution is cooled to room temperature, and distilled water is added thereto to dissolve the generated salt. The reaction solution is transferred to a separatory funnel and extracted three times with 100 mL of toluene. This extract is separated. After collecting in a funnel and washing once with 100 g of distilled water, the organic solvent was distilled off under reduced pressure to obtain a crude product. The crude product was recrystallized and purified with n-hexane to obtain 3.8 g (yield 83%) of the precursor compound (2).

(ステップ(3))
200mL三口フラスコにステップ(2)で得られた前駆化合物(2)を3.8g(12.6mmol)と1.3g(12.6mmol)の濃塩酸をN,N−ジメチルホルムアミド30mLに溶解させた。亜硝酸イソブチル1.93g(18.7mmol)を加え、室温で3.5時間攪拌した。攪拌後、反応液に、酢酸エチルと水を加え油水分離し、有機層を水で洗浄した。固体の析出した有機層にヘキサンを加え、ろ過した。得られた固体を減圧乾燥し、前駆体化合物(3)を3.5g(収率92%)得た。
(Step (3))
In a 200 mL three-necked flask, 3.8 g (12.6 mmol) of the precursor compound (2) obtained in step (2) and 1.3 g (12.6 mmol) of concentrated hydrochloric acid were dissolved in 30 mL of N, N-dimethylformamide. . 1.93 g (18.7 mmol) of isobutyl nitrite was added and stirred at room temperature for 3.5 hours. After stirring, ethyl acetate and water were added to the reaction solution to separate oil and water, and the organic layer was washed with water. Hexane was added to the organic layer where the solid was deposited, and the mixture was filtered. The obtained solid was dried under reduced pressure to obtain 3.5 g (yield 92%) of the precursor compound (3).

(ステップ(4))
温度計と滴下ロートを備えた200mL三口フラスコにステップ(3)で得られた前駆化合物(3)3.5g(10.6mmol)を量り取り、トルエン100mLを加え溶解させた。次いで、この反応液にトリエチルアミン4.0g(40mmol)を加え攪拌し、液温0℃にした。窒素雰囲気下、滴下ロートを通じて、塩化アセチル2.34(30mmol)を10分間かけ滴下した。滴下終了後、22℃で3時間攪拌した。反応液に蒸留水を加え、トルエン100mLで3回抽出し、この抽出液を分液ロートに集め、蒸留水100gで1回洗浄した後、有機溶媒を減圧留去し、粗生成物を得た。この粗生成物をメタノールで再結晶精製を行い、上記式(C−1)で表される最終生成物(C−1)を12.8g(収率96%)得た。
最終生成物(C−1)のH−NMR測定(ブルカー製、AVANCE500型)を行い、目的の化合物が得られていることを確認した。分析結果は以下の通りであった。
H−NMR(溶媒:CDCl
化学シフトσ:
7.64ppm(ベンゼン環上水素、2H)、
7.32ppm(ベンゼン環上水素、2H)、
7.05ppm(ベンゼン環上水素、2H)、
6.50ppm(ベンゼン環上水素、2H)、
4.53ppm(−C ―CH−O―、2H)、
4.25ppm(−CHCH −O―、2H)、
2.10ppm(−O−C(=O)―CH 、3H)
2.04ppm(−O−C(=O)―CH 、3H)
1.88ppm(−C(=N)―CH 、3H)
(Step (4))
In a 200 mL three-necked flask equipped with a thermometer and a dropping funnel, 3.5 g (10.6 mmol) of the precursor compound (3) obtained in step (3) was weighed, and 100 mL of toluene was added and dissolved. Next, 4.0 g (40 mmol) of triethylamine was added to the reaction solution and stirred, and the solution temperature was adjusted to 0 ° C. Under a nitrogen atmosphere, 2.34 (30 mmol) of acetyl chloride was added dropwise over 10 minutes through a dropping funnel. After completion of dropping, the mixture was stirred at 22 ° C. for 3 hours. Distilled water was added to the reaction solution and extracted three times with 100 mL of toluene. The extract was collected in a separatory funnel and washed once with 100 g of distilled water, and then the organic solvent was distilled off under reduced pressure to obtain a crude product. . This crude product was recrystallized and purified with methanol to obtain 12.8 g (yield 96%) of the final product (C-1) represented by the above formula (C-1).
1 H-NMR measurement (manufactured by Bruker, AVANCE 500 type) of the final product (C-1) was performed to confirm that the target compound was obtained. The analysis results were as follows.
1 H-NMR (solvent: CDCl 3 )
Chemical shift σ:
7.64 ppm (hydrogen on benzene ring, 2H),
7.32 ppm (hydrogen on benzene ring, 2H),
7.05 ppm (hydrogen on benzene ring, 2H),
6.50 ppm (hydrogen on benzene ring, 2H),
4.53ppm (-C H 2 -CH 2 -O- , 2H),
4.25ppm (-CH 2 - CH 2 -O- , 2H),
2.10 ppm (—O—C (═O) —CH 3 , 3H)
2.04 ppm (—O—C (═O) —CH 3 , 3H)
1.88ppm (-C (= N) - CH 3, 3H)

[合成例4]
ステップ(4)において塩化アセチルの代わりに塩化ベンゾイルを用いた以外は合成例3と同様に操作して、上記式(C−2)で表される化合物(C−2)を得た。
[Synthesis Example 4]
A compound (C-2) represented by the above formula (C-2) was obtained in the same manner as in Synthesis Example 3 except that benzoyl chloride was used instead of acetyl chloride in Step (4).

[合成例5]
ステップ(5)において塩化アセチルの代わりに無水トリフルオロ酢酸を用いた以外は合成例3と同様に操作して、上記式(C−3)で表される化合物(C−3)を得た。
[Synthesis Example 5]
A compound (C-3) represented by the above formula (C-3) was obtained in the same manner as in Synthesis Example 3 except that trifluoroacetic anhydride was used in place of acetyl chloride in Step (5).

<硬化性樹脂組成物の調製>
実施例及び比較例で用いた各成分の詳細を以下に示す。
<Preparation of curable resin composition>
The detail of each component used by the Example and the comparative example is shown below.

<[B]重合性化合物>
(B−1):合成例2で合成した化合物(上記式(4)で表される構造単位を含む共重合体)
(B−2):ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとの混合物(KAYARAD DPHA、日本化薬社)
(B−3):コハク酸変性ペンタエリスリトールトリアクリレート(アロニックスTO−756、東亞合成社)
(B−4):トリメチロールプロパントリアクリレート
(B−5):ビスコート802(トリペンタエリスリトールオクタアクリレートとトリペンタエリスリトールヘプタアクリレートとの混合物、大阪有機化学工業社)
<[B] Polymerizable compound>
(B-1): Compound synthesized in Synthesis Example 2 (copolymer containing a structural unit represented by the above formula (4))
(B-2): Mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate (KAYARAD DPHA, Nippon Kayaku Co., Ltd.)
(B-3): Succinic acid-modified pentaerythritol triacrylate (Aronix TO-756, Toagosei Co., Ltd.)
(B-4): Trimethylolpropane triacrylate (B-5): Biscoat 802 (mixture of tripentaerythritol octaacrylate and tripentaerythritol heptaacrylate, Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.)

<[C]化合物>
上記式(C−1)〜(C−3)で表される化合物
<[C] Compound>
Compounds represented by the above formulas (C-1) to (C-3)

<[C’]光重合開始剤>
(C’−1):2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン(イルガキュア907、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社)
(C’−2):エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)(イルガキュアOXE02、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社)
(C’−3):1,2−オクタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)−2−(O−ベンゾイルオキシム)](イルガキュアOXE01、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社)
(C’−4):2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン
<[C ′] Photopolymerization Initiator>
(C′-1): 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one (Irgacure 907, Ciba Specialty Chemicals)
(C′-2): Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime) (Irgacure OXE02, Ciba Specialty・ Chemicals)
(C′-3): 1,2-octanedione-1- [4- (phenylthio) -2- (O-benzoyloxime)] (Irgacure OXE01, Ciba Specialty Chemicals)
(C′-4): 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one

<[D]ラジカル捕捉剤>
(D−1):2,5−ジ−tert−ブチルヒドロキノン、
(D−2):1,3,5−トリメチル−2,4,6−トリス(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)ベンゼン(アデカ社製「アデカスタブAO−330」)
(D−3):2,2´−メチレンビス(4,6−ジ−t−ブチル−1−フェニルオキシ)(2−エチルヘキシルオキシ)ホスホラス(アデカ社製の「アデカスタブHP−10」)
(D−4):ジステアリルペンタエリスリトールジホスファイト(アデカ社製の「アデカスタブPEP−8」)
(D−5):ペンタエリスリトールテトラキス(3−ラウリルチオプロピオネート)(アデカ社製の「アデカスタブAO−412S」)
<[D] radical scavenger>
(D-1): 2,5-di-tert-butylhydroquinone,
(D-2): 1,3,5-trimethyl-2,4,6-tris (3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzyl) benzene (“Adeka Stub AO-330” manufactured by Adeka)
(D-3): 2,2′-methylenebis (4,6-di-t-butyl-1-phenyloxy) (2-ethylhexyloxy) phosphorus (“ADEKA STAB HP-10” manufactured by Adeka)
(D-4): Distearyl pentaerythritol diphosphite (“ADEKA STAB PEP-8” manufactured by ADEKA)
(D-5): Pentaerythritol tetrakis (3-laurylthiopropionate) (“ADEKA STAB AO-412S” manufactured by Adeka)

<[E]着色剤>
(E−1):C.I.ソルベントレッド45
(E−2):C.I.ソルベントイエロー82
<[E] Colorant>
(E-1): C.I. I. Solvent Red 45
(E-2): C.I. I. Solvent Yellow 82

<[F]接着助剤>
(F−1):γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン
<[F] Adhesion aid>
(F-1): γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane

<[G]界面活性剤>
(G−1):シリコーン系界面活性剤(東レ・ダウコーニング・シリコーン社、SH 8400 FLUID)
(G−2):フッ素系界面活性剤(ネオス社製の「フタージェントFTX−218」)
<[G] Surfactant>
(G-1): Silicone surfactant (Toray Dow Corning Silicone Co., SH 8400 FLUID)
(G-2): Fluorosurfactant ("Fergent FTX-218" manufactured by Neos)

[実施例1]
[A]アルカリ可溶性樹脂としての共重合体(A−1)を固形分換算で100質量部、[B]重合性化合物としての(B−2)100質量部、[C]化合物としての(C−1)5質量部、[F]接着助剤としての(F−1)5質量部、並びに[G]界面活性剤としての(G−1)0.5質量部を混合し、固形分濃度が30質量%となるように、酢酸プロピレングリコールモノメチルエーテルを加えた後、孔径0.5μmのミリポアフィルタでろ過することにより、硬化性樹脂組成物を調製した。
[Example 1]
[A] 100 parts by mass of the copolymer (A-1) as an alkali-soluble resin in terms of solid content, [B] 100 parts by mass of (B-2) as a polymerizable compound, (C) (C -1) 5 mass parts, (F-1) 5 mass parts as [F] adhesion assistant, and (G-1) 0.5 mass parts as [G] surfactant are mixed, solid content concentration After adding propylene glycol monomethyl ether acetate so as to be 30% by mass, a curable resin composition was prepared by filtering through a Millipore filter having a pore size of 0.5 μm.

[実施例2〜8及び比較例1〜3]
表1に示す種類、含有量の各成分を混合したこと以外は実施例1と同様に操作して各硬化性樹脂組成物を調製した。なお、表1中の「−」は該当する成分を使用しなかったことを表す。
[Examples 2 to 8 and Comparative Examples 1 to 3]
Each curable resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that the components having the types and contents shown in Table 1 were mixed. In Table 1, “-” indicates that the corresponding component was not used.

[実施例9]
[A]アルカリ可溶性樹脂としての共重合体(A−1)を固形分換算で50質量部、[B]重合性化合物としての(B−4)55質量部、[C]化合物としての(C−1)5質量部、(C’−4)20質量部及び(C’−5)5質量部、[E]着色剤としての(E−1)27質量部及び(E−2)8質量部、[F]接着助剤としての(F−1)5質量部、[G]界面活性剤としての(G−2)0.5質量部を混合し、固形分濃度が20質量%となるように、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを加えて、硬化性樹脂組成物を調製した。
[Example 9]
[A] 50 parts by mass of the copolymer (A-1) as an alkali-soluble resin in terms of solid content, [B] 55 parts by mass of (B-4) as a polymerizable compound, (C) (C -1) 5 parts by mass, (C'-4) 20 parts by mass and (C'-5) 5 parts by mass, (E-1) 27 parts by mass and (E-2) 8 parts by mass as a colorant Part, [F] 5 parts by mass of (F-1) as an adhesion aid, and (G-2) 0.5 parts by mass of [G] surfactant are mixed, and the solid content concentration becomes 20% by mass. Thus, propylene glycol monomethyl ether acetate was added to prepare a curable resin composition.

[実施例10〜11]
表1に示す種類、含有量の各成分を混合したこと以外は実施例9と同様に操作して各硬化性樹脂組成物を調製した。なお、表1中の「−」は該当する成分を使用しなかったことを表す。
[Examples 10 to 11]
Each curable resin composition was prepared in the same manner as in Example 9 except that the components having the types and contents shown in Table 1 were mixed. In Table 1, “-” indicates that the corresponding component was not used.

Figure 0005772642
Figure 0005772642

<評価>
各硬化性樹脂組成物を用いて以下の評価を実施した。詳細には、実施例1〜4及び比較例1については、各硬化性樹脂組成物を用いて、表1に記載のポストベーク条件にて表示素子用硬化膜を形成し、スペーサーとしての解像度、感度及び圧縮性能を評価した。実施例5〜8及び比較例2については、各硬化性樹脂組成物を用いて表示素子用硬化膜を形成し、絶縁膜としての透過率、耐光性及び電圧保持率を評価した。実施例9〜11及び比較例3については、各硬化性樹脂組成物を用いて表示素子用硬化膜を形成し、着色パターンとしての現像耐性、耐熱性及び耐溶媒性を評価した。また、実施例12及び比較例4として、それぞれ実施例1及び比較例1で調製した硬化性樹脂組成物を用い、表1に記載の180℃、30分間の低温ポストベーク条件にて表示素子用硬化膜を形成し、スペーサーとしての解像度、感度及び圧縮性能を評価した。これらの結果を表2に示す。
<Evaluation>
The following evaluation was implemented using each curable resin composition. Specifically, for Examples 1 to 4 and Comparative Example 1, each curable resin composition was used to form a cured film for display element under the post-baking conditions described in Table 1, and the resolution as a spacer, Sensitivity and compression performance were evaluated. About Examples 5-8 and the comparative example 2, the cured film for display elements was formed using each curable resin composition, and the transmittance | permeability, light resistance, and voltage holding rate as an insulating film were evaluated. About Examples 9-11 and the comparative example 3, the cured film for display elements was formed using each curable resin composition, and the development tolerance as a coloring pattern, heat resistance, and solvent resistance were evaluated. Moreover, as Example 12 and Comparative Example 4, the curable resin compositions prepared in Example 1 and Comparative Example 1 were used, respectively, for display elements under the low-temperature post-baking conditions of 180 ° C. and 30 minutes shown in Table 1. A cured film was formed, and the resolution, sensitivity, and compression performance as a spacer were evaluated. These results are shown in Table 2.

[解像度(μm)]
無アルカリガラス基板上に、各硬化性樹脂組成物溶液をスピンナーにより塗布した後、100℃のホットプレート上で2分間プレベークすることにより膜厚4.0μmの塗膜を形成した。次いで、得られた塗膜に直径8μm〜20μmの範囲の異なる大きさの複数の丸状残しパターンを有するフォトマスクを介し、高圧水銀ランプを用いて露光量を200J/m〜1,000J/mの範囲で変量して放射線照射を行った。その後、23℃の0.40質量%水酸化カリウム水溶液を現像液として、現像圧1kgf/cm、ノズル径1mmで吐出することによりシャワー現像を行い、純水洗浄を1分間行った。さらにオーブン中230℃にて30分間ポストベークすることにより、スペーサーパターンを形成した。この時、12μm以下のフォトマスクにおいて、パターンが形成されていれば、解像度が良好と判断した。なお、実施例12及び比較例4においては、180℃にて30分間のポストベークを行った以外は、上記と同様の条件で、パターンを形成した。
[Resolution (μm)]
Each curable resin composition solution was applied onto an alkali-free glass substrate with a spinner, and then prebaked on a hot plate at 100 ° C. for 2 minutes to form a coating film having a thickness of 4.0 μm. Subsequently, the exposure amount is set to 200 J / m 2 to 1,000 J / M using a high-pressure mercury lamp through a photomask having a plurality of circular residual patterns with different sizes in the diameter range of 8 μm to 20 μm. Irradiation was performed with variable amount in the range of m 2 . Then, shower development was performed by discharging a 0.40 mass% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. with a developing pressure of 1 kgf / cm 2 and a nozzle diameter of 1 mm, and pure water washing was performed for 1 minute. Further, a spacer pattern was formed by post-baking in an oven at 230 ° C. for 30 minutes. At this time, if a pattern was formed on a photomask of 12 μm or less, it was judged that the resolution was good. In Example 12 and Comparative Example 4, a pattern was formed under the same conditions as described above except that post-baking was performed at 180 ° C. for 30 minutes.

[感度(J/m)]
直径15μmの丸状残しパターンを複数有するフォトマスクを使用したこと以外は、上記解像度の評価と同様に操作して、基板上に丸状残しパターンを形成した。丸状残しパターンの現像前と現像後の高さを、レーザー顕微鏡(VK−8500、キーエンス社)を用いて測定した。この値と下記式から残膜率(%)を求めた。
残膜率(%)=(現像後高さ/現像前高さ)×100
この残膜率が90%以上になる最小の露光量を感度(J/m)とした。露光量が700J/m以下の場合、感度が良好と判断した。
[Sensitivity (J / m 2 )]
Except for using a photomask having a plurality of round residue patterns having a diameter of 15 μm, a round residue pattern was formed on the substrate in the same manner as in the resolution evaluation. The height of the circular residual pattern before and after development was measured using a laser microscope (VK-8500, Keyence Corporation). The residual film ratio (%) was determined from this value and the following formula.
Residual film ratio (%) = (height after development / height before development) × 100
The minimum exposure amount at which the remaining film ratio was 90% or more was defined as sensitivity (J / m 2 ). When the exposure amount was 700 J / m 2 or less, it was judged that the sensitivity was good.

[圧縮性能]
上記感度の評価と同様に操作して、残膜率が90%以上になる露光量で基板上に丸状残しパターンを形成した。このパターンを微小圧縮試験機(フィッシャースコープH100C、フィッシャーインストルメンツ社)で50μm角状の平面圧子を用い、40mNの荷重により圧縮試験を行い、荷重に対する圧縮変位量(μm)の変化を測定した。また、40mNの荷重時の変位量と40mNの荷重を取り除いた時の変位量から回復率(%)を算出した。回復率が90%以上であり、かつ40mNの荷重時の変位量が0.15μm以下の場合、圧縮性能が良好と判断した。
[Compression performance]
By operating in the same manner as in the sensitivity evaluation described above, a circular residual pattern was formed on the substrate with an exposure amount at which the residual film ratio was 90% or more. This pattern was subjected to a compression test with a load of 40 mN using a 50 μm square planar indenter with a micro compression tester (Fischerscope H100C, Fisher Instruments), and the change in the amount of compressive displacement (μm) with respect to the load was measured. Further, the recovery rate (%) was calculated from the amount of displacement when a load of 40 mN and the amount of displacement when a load of 40 mN was removed. When the recovery rate was 90% or more and the amount of displacement at a load of 40 mN was 0.15 μm or less, it was judged that the compression performance was good.

[透過率(%)]
フォトマスクを介さず800J/mの露光量で露光したこと以外は、上記解像度の評価と同様に操作して得られた表示素子用硬化膜について、波長400nmにおける透過率を、分光光度計(150−20型ダブルビーム、日立製作所社)を用いて透過率(%)を測定した。透過率が90%以上の場合、透明性が良好と判断した。
[Transmissivity (%)]
The cured film for display element obtained by operating in the same manner as in the evaluation of the resolution, except that the exposure was performed at an exposure amount of 800 J / m 2 without using a photomask, the transmittance at a wavelength of 400 nm was measured with a spectrophotometer ( The transmittance (%) was measured using a 150-20 type double beam (Hitachi, Ltd.). When the transmittance was 90% or more, it was judged that the transparency was good.

[耐光性(%)]
上記透過率の評価と同様に操作して表示素子用硬化膜を形成した。得られた表示素子用硬化膜について、UV照射装置(UVX−02516S1JS01、USHIO社、ランプ;UVL−4001M3−N1)にて、500kJ/mのUV光を照射し、照射前後の残膜率を求めることにより評価した。残膜率が95%以上の場合、耐光性(%)が良好と判断した。
[Light resistance (%)]
A cured film for a display element was formed by operating in the same manner as the evaluation of the transmittance. About the obtained cured film for display elements, UV irradiation apparatus (UVX-02516S1JS01, USHIO, lamp; UVL-4001M3-N1) was irradiated with 500 kJ / m 2 of UV light, and the remaining film ratio before and after irradiation was determined. Evaluated by seeking. When the remaining film ratio was 95% or more, it was judged that the light resistance (%) was good.

[電圧保持率(%)]
表面にナトリウムイオンの溶出を防止するSiO膜が形成され、さらにITO(インジウム−酸化錫合金)電極を所定形状に蒸着したソーダガラス基板上に、各硬化性樹脂組成物を、スピンコートした後、90℃のクリーンオーブン内で10分間プレベークを行って、膜厚2.0μmの塗膜を形成した。次いで、フォトマスクを介さずに、塗膜に500J/mの露光量で露光した。その後、この基板を23℃の0.04質量%の水酸化カリウム水溶液からなる現像液に1分間浸漬して、現像した後、超純水で洗浄して風乾し、さらに230℃で30分間ポストベークを行い、塗膜を硬化させて、永久硬化膜を形成した。次いで、この画素を形成した基板とITO電極を所定形状に蒸着しただけの基板とを、0.8mmのガラスビーズを混合したシール剤で貼り合わせた後、メルク製液晶(MLC6608)を注入して、液晶セルを作製した。次いで、液晶セルを60℃の恒温層に入れて、液晶セルの電圧保持率を液晶電圧保持率測定システム(VHR−1A型、東陽テクニカ社)により測定した。このときの印加電圧は5.5Vの方形波、測定周波数は60Hzである。ここで電圧保持率とは、(16.7ミリ秒後の液晶セル電位差/0ミリ秒で印加した電圧)の値である。液晶セルの電圧保持率が90%以下であると、液晶セルは16.7ミリ秒の時間、印加電圧を所定レベルに保持できず、十分に液晶を配向させることができないことを意味し、残像等の「焼き付き」を起こすおそれが高い。
[Voltage holding ratio (%)]
After spin-coating each curable resin composition on a soda glass substrate on which a SiO 2 film for preventing elution of sodium ions is formed on the surface and an ITO (indium-tin oxide alloy) electrode is deposited in a predetermined shape The film was pre-baked for 10 minutes in a clean oven at 90 ° C. to form a coating film having a thickness of 2.0 μm. Next, the coating film was exposed at an exposure amount of 500 J / m 2 without using a photomask. Thereafter, the substrate is immersed in a developer composed of a 0.04 mass% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for 1 minute, developed, washed with ultrapure water, air-dried, and further post-treated at 230 ° C. for 30 minutes. Baking was performed and the coating film was cured to form a permanent cured film. Next, the substrate on which this pixel is formed and the substrate on which the ITO electrode is simply deposited in a predetermined shape are bonded together with a sealant mixed with 0.8 mm glass beads, and then Merck liquid crystal (MLC6608) is injected. A liquid crystal cell was produced. Next, the liquid crystal cell was placed in a constant temperature layer at 60 ° C., and the voltage holding ratio of the liquid crystal cell was measured by a liquid crystal voltage holding ratio measuring system (VHR-1A type, Toyo Technica Co., Ltd.). The applied voltage at this time is a square wave of 5.5 V, and the measurement frequency is 60 Hz. Here, the voltage holding ratio is a value of (liquid crystal cell potential difference after 16.7 milliseconds / voltage applied at 0 milliseconds). If the voltage holding ratio of the liquid crystal cell is 90% or less, it means that the liquid crystal cell cannot hold the applied voltage at a predetermined level for a time of 16.7 milliseconds, and the liquid crystal cannot be sufficiently aligned. There is a high risk of causing “burn-in”.

<着色パターンの形成>
表面にナトリウムイオンの溶出を防止するSiO膜が形成されたソーダガラス基板上に、各硬化性樹脂組成物を、スピンコーターを用いて塗布した。次いで90℃のホットプレートで2分間プレベークを行って、プレベーク後の膜厚が2.5μmの塗膜を形成した。これらの基板を室温に冷却した後、高圧水銀ランプを用い、フォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nm及び436nmの各波長を含む放射線を100J/m、300J/m、500J/m、700J/m及び1,000J/mの露光量で露光した。その後、これらの基板に対して現像液(23℃の0.04質量%水酸化カリウム水溶液)を現像圧1kgf/cm2、ノズル径1mmで吐出することにより、シャワー現像を行い基板上に200×200μmの着色パターンを形成した。さらに、230℃で30分間ポストベークを行って着色パターンを形成した。
<Formation of colored pattern>
Each curable resin composition was applied using a spin coater on a soda glass substrate on which a SiO 2 film for preventing elution of sodium ions was formed on the surface. Next, prebaking was performed for 2 minutes on a hot plate at 90 ° C. to form a coating film having a film thickness of 2.5 μm after prebaking. After these substrates are cooled to room temperature, radiation containing 365 nm, 405 nm, and 436 nm is applied to the coating film through a photomask using a high-pressure mercury lamp at 100 J / m 2 , 300 J / m 2 , 500 J / m. 2, exposed with an exposure amount of 700 J / m 2 and 1,000 J / m 2. Thereafter, a developing solution (0.04 mass% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C.) is discharged onto these substrates at a developing pressure of 1 kgf / cm 2 and a nozzle diameter of 1 mm to perform shower development and 200 × on the substrates. A 200 μm colored pattern was formed. Further, post-baking was performed at 230 ° C. for 30 minutes to form a colored pattern.

[現像耐性]
上記着色パターンの形成における現像前後の膜厚比を下記式から算出した。
現像前後の膜厚比=(現像後の膜厚/現像前の膜厚)×100
この値を現像耐性とし、95%以上である場合を「A」(良好と判断)、95%未満である場合又は着色パターンの一部に欠けが認められる場合を「B」(やや不良と判断)、パターンが全て基板から剥がれる場合を「C」(不良と判断)とした。
[Development resistance]
The film thickness ratio before and after development in the formation of the colored pattern was calculated from the following formula.
Film thickness ratio before and after development = (film thickness after development / film thickness before development) × 100
This value is regarded as development resistance, and when it is 95% or more, “A” (determined as good), when it is less than 95%, or when some of the colored pattern is missing is determined as “B” (somewhat poor). ), The case where all the patterns were peeled off from the substrate was designated as “C” (determined as defective).

[耐熱性]
1,000J/mの露光量で露光した以外は上記着色パターンの形成と同様に操作して、着色パターンを形成した。さらに180℃で30分間追加加熱した。追加加熱前後の色変化ΔEabを求めた。この値を耐値性とし、ΔEabが3未満である場合を「A」(良好と判断)、3以上5未満である場合を「B」(やや良好と判断)、5以上である場合を「C」(不良と判断)とした。
[Heat-resistant]
A colored pattern was formed in the same manner as in the formation of the colored pattern except that the exposure was performed at an exposure amount of 1,000 J / m 2 . Further heating was performed at 180 ° C. for 30 minutes. The color change ΔEab * before and after additional heating was determined. This value is assumed to be resistance, and when ΔEab * is less than 3, “A” (determined as good), when 3 or more and less than 5, “B” (determined slightly good), when 5 or more “C” (determined as defective).

[耐溶媒性]
上記耐熱性の評価と同様に操作して着色パターンを形成した。この基板を60℃のN−メチルピロリドンに30分間浸漬した。浸漬後に着色パターンが保持されており、かつ浸漬後のN−メチルピロリドンが全く着色しなかった場合を「A」(良好と判断)、浸漬後に着色パターンが保持されているものの浸漬後のN−メチルピロリドンが若干着色した場合を「B」(やや良好と判断)、浸漬後に基板から剥離する着色パターンが観察されると共に浸漬後のN−メチルピロリドンが着色した場合を「C」(不良と判断)とした。
[Solvent resistance]
A colored pattern was formed by the same operation as in the evaluation of heat resistance. This substrate was immersed in N-methylpyrrolidone at 60 ° C. for 30 minutes. The case where the colored pattern was retained after the immersion and the N-methylpyrrolidone after the immersion was not colored at all was “A” (determined as good), and the N− after the immersion although the colored pattern was retained after the immersion. A case where the methylpyrrolidone is slightly colored is “B” (determined to be slightly good), a color pattern that is peeled off from the substrate after the immersion is observed, and a case where the N-methylpyrrolidone after the immersion is colored is “C” (determined as defective) ).

Figure 0005772642
Figure 0005772642

表2の結果から明らかなように、当該硬化性樹脂組成物は良好な解像度、感度、圧縮性能、透過率、耐光性、電圧保持率、現像耐性、耐熱性及び耐溶媒性を有することがわかった。   As is clear from the results in Table 2, the curable resin composition has good resolution, sensitivity, compression performance, transmittance, light resistance, voltage holding ratio, development resistance, heat resistance and solvent resistance. It was.

本発明の硬化性樹脂組成物は、十分な解像度及び感度を有し、かつ表示素子用硬化膜の製造において低温加熱工程を用いた場合でも耐溶媒性、耐熱性、現像耐性、圧縮性能、透過率、耐光性及び電圧保持率に優れる表示素子用硬化膜を形成することができる。従って、当該硬化性樹脂組成物は、表示素子用カラーフィルタ、アレイ用層間絶縁膜、固体撮像素子の色分解用カラーフィルタ、有機EL表示素子用カラーフィルタ、電子ペーパー等のフレキシブルディスプレイ用カラーフィルタ、タッチパネル用保護膜、金属配線や金属バンプの形成、基板の加工等に用いられるフォトファブリケーション用レジスト等に好適である。   The curable resin composition of the present invention has sufficient resolution and sensitivity, and solvent resistance, heat resistance, development resistance, compression performance, transmission even when a low temperature heating process is used in the production of a cured film for a display element. A cured film for a display element having excellent rate, light resistance and voltage holding ratio can be formed. Therefore, the curable resin composition includes a color filter for display elements, an interlayer insulating film for arrays, a color filter for color separation of solid-state imaging elements, a color filter for organic EL display elements, a color filter for flexible displays such as electronic paper, It is suitable for a protective film for touch panel, a resist for photofabrication used for forming a metal wiring or metal bump, processing a substrate, and the like.

Claims (12)

[A]エポキシ基を有するアルカリ可溶性樹脂、
[B]エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、及び
[C]下記式(1)で表される化合物
を含有する硬化性樹脂組成物。
Figure 0005772642
(式(1)中、Rは、熱によって酸を発生する構造を有し、下記式(2)で表される基を含む基である。Rは、光によってラジカルを発生する構造を有する基である。R及びRは、それぞれ独立して、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数1〜12のアルコキシ基、炭素数4〜20の脂環式炭化水素基又はフェニル基である。a及びbは、それぞれ独立して、1〜5の整数である。c及びdは、それぞれ独立して、0〜4の整数である。Xは、酸素原子、硫黄原子又はセレン原子である。)
Figure 0005772642
(式(2)中、R は、水素原子、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数1〜6のフルオロアルキル基、フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基、アントリル基又はシクロへキシル基である。但し、上記R のアルキル基の有する水素原子の1つが水酸基で置換されていてもよい。R は、炭素数1〜12のアルカンジイル基である。R は、−O−、−S−、−NR −、−NR CO−、−SO −、−CS− 、−OCO−又は−COO−である。R は、水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基である。)
[A] an alkali-soluble resin having an epoxy group,
[B] A curable resin composition containing a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond, and [C] a compound represented by the following formula (1).
Figure 0005772642
(In the formula (1), R 1 is, have a structure capable of generating an acid by heat, .R 2 is a group containing a group represented by the following formula (2), a structure that generates a radical by light R 3 and R 4 are each independently an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms, or a phenyl group. A and b are each independently an integer of 1 to 5. c and d are each independently an integer of 0 to 4. X is an oxygen atom, a sulfur atom or a selenium atom. .)
Figure 0005772642
(In the formula (2), R 5 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a fluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group, a tolyl group, a xylyl group, a naphthyl group, an anthryl group, or cyclohexane. A hydrogen atom of the alkyl group of R 5 may be substituted with a hydroxyl group, R 6 is an alkanediyl group having 1 to 12 carbon atoms, R 7 is — O -, - S -, - NR 8 -, - NR 8 CO -, - SO 2 -, - CS-, -OCO- or -COO- in which .R 8 is a hydrogen atom or 1 to 6 carbon atoms An alkyl group.)
上記式(1)におけるR が下記式(3)で表される基を含む請求項1に記載の硬化性樹脂組成物。
Figure 0005772642
式(3)中、Rは、水素原子、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数1〜6のフルオロアルキル基、フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基、アントリル基又はシクロへキシル基である。但し、上記Rのアルキル基の有する水素原子の1つが水酸基で置換されていてもよい。R10は、2価の有機基である。R11は、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数1〜12のアルコキシ基、シアノ基、ベンジル基、フェネチル基、炭素数4〜20の脂環式炭化水素基又はフェニル基である。但し、上記R11のフェニル基が有する水素原子の一部又は全部は、炭素数1〜12のアルキル基又は炭素数1〜12のアルコキシ基で置換されていてもよい。)
The curable resin composition according to claim 1 containing a group R 2 that put in the equation (1) is represented by the following formula (3).
Figure 0005772642
(In the formula (3), R 9 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a fluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group, a tolyl group, a xylyl group, a naphthyl group, an anthryl group, or cyclohexane. A hydrogen atom of the alkyl group represented by R 9 may be substituted with a hydroxyl group, R 10 is a divalent organic group, and R 11 has 1 to 12 carbon atoms. An alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a cyano group, a benzyl group, a phenethyl group, an alicyclic hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms, or a phenyl group, provided that the phenyl group of R 11 has Some or all of the hydrogen atoms may be substituted with an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms.
上記式(2)におけるRと式(3)におけるRとが同一の基である請求項2に記載の硬化性樹脂組成物。 The curable resin composition according to claim 2, wherein R 5 in the above formula (2) and R 9 in the formula (3) are the same group. 上記式(1)におけるa及びbが1、c及びdが0、式(2)におけるRがメチル基、Rがエチレン基、Rが−O−、式(3)におけるR及びR11がメチル基、R10がカルボニル基である請求項2に記載の硬化性樹脂組成物。 In the above formula (1), a and b are 1, c and d are 0, R 5 in the formula (2) is a methyl group, R 6 is an ethylene group, R 7 is -O-, R 9 in the formula (3) and The curable resin composition according to claim 2, wherein R 11 is a methyl group and R 10 is a carbonyl group. [A]エポキシ基を有するアルカリ可溶性樹脂が、
(a1)カルボキシル基を有する重合性化合物由来の構造単位、及び
(a2)エポキシ基を有する重合性化合物由来の構造単位
を含む共重合体である請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の硬化性樹脂組成物。
[A] an alkali-soluble resin having an epoxy group,
The copolymer according to any one of claims 1 to 4, which is a copolymer comprising (a1) a structural unit derived from a polymerizable compound having a carboxyl group, and (a2) a structural unit derived from a polymerizable compound having an epoxy group. The curable resin composition described.
[B]エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物として、
(a3)下記式(4)で表される構造単位
を含む重合体を含有する請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の硬化性樹脂組成物。
Figure 0005772642
(式(4)中、R12及びR13は、水素原子又はメチル基である。R14は、下記式(4−1)又は式(4−2)で表される基である。nは、1から6の整数である。)
Figure 0005772642
(式(4−1)中、R15は、水素原子又はメチル基である。式(4−1)及び式(4−2)中、*は、隣接する酸素原子に結合する部位を示す。)
[B] As a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond,
(A3) Curable resin composition of any one of Claim 1-5 containing the polymer containing the structural unit represented by following formula (4).
Figure 0005772642
(In formula (4), R 12 and R 13 are a hydrogen atom or a methyl group. R 14 is a group represented by the following formula (4-1) or formula (4-2). An integer from 1 to 6.)
Figure 0005772642
(In Formula (4-1), R 15 represents a hydrogen atom or a methyl group. In Formula (4-1) and Formula (4-2), * represents a site bonded to an adjacent oxygen atom. )
[D]ラジカル捕捉剤をさらに含有する請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の硬化性樹脂組成物。   [D] The curable resin composition according to any one of claims 1 to 6, further comprising a radical scavenger. [E]着色剤をさらに含有する請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の硬化性樹脂組成物。   [E] The curable resin composition according to any one of claims 1 to 7, further comprising a colorant. 表示素子用硬化膜の形成に用いられる請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の硬化性樹脂組成物。   The curable resin composition of any one of Claims 1-8 used for formation of the cured film for display elements. (1)請求項9に記載の硬化性樹脂組成物を用い、基板上に塗膜を形成する工程、
(2)上記塗膜の少なくとも一部に放射線を照射する工程、
(3)上記放射線が照射された塗膜を現像する工程、及び
(4)上記現像された塗膜を200℃以下の温度で加熱する工程
を有する表示素子用硬化膜の形成方法。
(1) The process of forming a coating film on a board | substrate using the curable resin composition of Claim 9,
(2) A step of irradiating at least a part of the coating film with radiation,
(3) A method for forming a cured film for a display element, comprising: a step of developing the coating film irradiated with the radiation; and (4) a step of heating the developed coating film at a temperature of 200 ° C. or less.
請求項9に記載の硬化性樹脂組成物から形成される表示素子用硬化膜。   The cured film for display elements formed from the curable resin composition of Claim 9. 請求項11に記載の表示素子用硬化膜を備える表示素子。   A display element provided with the cured film for display elements of Claim 11.
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