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JP5760388B2 - 偏光素子とその製造方法、プロジェクター、液晶装置、電子機器 - Google Patents

偏光素子とその製造方法、プロジェクター、液晶装置、電子機器 Download PDF

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Description

本発明は、偏光素子とその製造方法、プロジェクター、液晶装置、電子機器に関するものである。
偏光素子の一種としてワイヤーグリッド偏光素子が知られている(例えば特許文献1,2参照)。ワイヤーグリッド偏光素子は、透明な基板上に金属からなるグリッドが、用いる光の波長よりも短いピッチで敷き詰められた構成を備えている。ワイヤーグリッド偏光素子は無機物のみで構成できるため有機物を用いた偏光板と比較して光照射による劣化が著しく少なく、高輝度化が進む液晶プロジェクターにおいて有効なデバイスとして注目されている。
特許第4411202号公報 特開平10−73722号公報
ワイヤーグリッド偏光素子は優れた耐熱性を備えているが、近年の液晶プロジェクターの高輝度化に伴い、さらなる高温信頼性が求められている。
特許文献1では、ワイヤーグリッド偏光素子の表面にアミノホスホネートを形成することで金属格子の保護を図っている。しかし、200℃以上に加熱される用途では有機分子であるアミノホスホネートが分解されてしまうため、十分な信頼性を確保することができなかった。
一方、特許文献2では、基板上の金属格子(金属細線)の表面を熱処理で酸化させることで耐環境性を向上させている。しかしながら、酸化処理のために基板を500℃以上に加熱する必要があり、基板の割れや変形が生じる場合があった。また金属格子自体が熱膨張により損傷を受け、光学特性を決定する金属格子の高さや幅などの寸法が変化してしまう場合があった。
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み成されたものであって、高温信頼性に優れた偏光素子とその製造方法を提供することを目的の一つとする。
本発明の偏光素子は、基板と、前記基板上に平面視ストライプ状に形成され、前記基板の厚さ方向に積層された金属層及び吸収材層と、前記金属層の表面に形成され、前記金属層を構成する金属の酸化物からなる第1の誘電体層と、前記吸収材層の表面に形成され、前記吸収材層を形成する材料の酸化物からなる第2の誘電体層と、を有し、前記金属層の互いに隣り合う間に露出する前記基板の表面を掘り下げることによって、前記基板よりも屈折率の低い領域が設けられていることを特徴とする。
この構成によれば、金属層と吸収材層とからなる積層構造を具備したことで吸収型の偏光素子を実現できる。また、金属層を構成する金属の酸化物である第1の誘電体層と、吸収材層を構成する物質の酸化物からなる第2の誘電体層により、金属層及び吸収材層が覆われているため、使用時に偏光素子の温度が上昇したとしても金属層及び吸収材層の表面の酸化膜が成長しにくくなる。したがって、金属層及び吸収材層の酸化を抑えることができ、偏光分離特性の変動を抑えることができる。これにより、優れた高温信頼性を得ることができる。また、基板と金属層との界面近傍における実効的な屈折率を低下させることができるため、界面でのTM波(偏光素子が透過させる偏光)の反射を抑制することができ、高透過率の偏光素子とすることができる。
前記金属層と前記吸収材層との間に、第3の誘電体層が形成されている構成としてもよい。
この構成によれば、金属層と吸収材層との間で構成元素の相互拡散が生じるのを防止することができ、上記の拡散に起因する偏光分離特性の変動を抑えることができる。
前記金属層と前記吸収材層とを含む積層体の上層に、第4の誘電体層が形成されている構成としてもよい。
この構成によれば、積層体の最上層に、他の誘電体層とは別の第4の誘電体層を形成するので、第4の誘電体層を任意の誘電体材料により形成できる。これにより、例えば、第4の誘電体層を光吸収性を有する材料や、光透過性を有する材料により形成することもできるため、偏光素子の光学特性の向上に寄与しうる構成となる。
前記吸収材層が、シリコン、ゲルマニウム、クロムからなる群より選ばれる1種又は2種以上からなる構成としてもよい。
この構成によれば、低反射率の反射型偏光素子を実現することができる。
前記金属層が、アルミニウム、銀、銅、クロム、チタン、ニッケル、タングステン、鉄からなる群より選ばれる1種又は2種以上の金属からなる構成としてもよい。
この構成によれば、金属層の表面に、当該金属層を構成する金属の酸化物からなる誘電体層を容易に形成することができ、使用時の温度上昇による金属層の酸化を効果的に防止できる偏光素子となる。
本発明の偏光素子の製造方法は、基板の一面側に、平面視ストライプ状を成して前記基板の厚さ方向に積層された金属層及び吸収材層を形成する工程と、酸素含有雰囲気中で前記金属層及び前記吸収材層の表面を酸化させることで、前記金属層の表面に第1の誘電体層を形成するとともに前記吸収材層の表面に第2の誘電体層を形成する工程と、前記金属層の互いに隣り合う間に露出する前記基板の表面を掘り下げることによって、前記基板よりも屈折率の低い領域を形成する工程と、を有することを特徴とする。
この製造方法によれば、金属層と吸収材層とを積層形成した後に、これらを一括して酸化処理することで、第1及び第2の誘電体層を形成するので、高温信頼性に優れた偏光素子を容易に製造することができる。また、基板と金属層との界面近傍における実効的な屈折率を低下させることができるため、界面でのTM波(偏光素子が透過させる偏光)の反射を抑制することができ、高透過率の偏光素子を製造することができる。
前記酸素含有雰囲気がオゾンガス雰囲気である方法としてもよい。
この製造方法によれば、緻密な酸化膜からなる誘電体層を迅速に形成することができ、偏光素子の高温信頼性を高めることができる。
前記第1及び第2の誘電体層を形成する工程において、前記基板に紫外光を照射する方法としてもよい。
この製造方法によれば、オゾンの分解反応を促進させ、低温で酸化膜を形成することができる。また、形成される酸化膜の緻密性を高め、偏光素子の高温信頼性を向上させることができる。
本発明のプロジェクターは、光を射出する照明光学系と、前記光を変調する液晶ライトバルブと、前記液晶ライトバルブで変調された光を被投射面に投射する投射光学系と、を備え、前記液晶ライトバルブと前記照明光学系との間、及び前記液晶ライトバルブと前記投射光学系との間のうち少なくとも一方に、先に記載の偏光素子が設けられていることを特徴とする。
この構成によれば、高温信頼性に優れた偏光素子を備え、高出力の光源に対応したプロジェクターを提供することができる。
本発明の液晶装置は、一対の基板間に液晶層を挟持してなり、少なくとも一方の前記基板の前記液晶層側に、先の偏光素子が形成されていることを特徴とする。
この構成によれば、高温信頼性に優れた偏光素子を備えた液晶装置が提供される。
本発明の電子機器は、上記の液晶装置を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、高温信頼性に優れた表示部を具備した電子機器を提供することができる。
実施形態の偏光素子1Aの概略図。 実施形態における偏光素子の製造方法を示す工程図。 第1〜第3変形例に係る偏光素子の部分断面図。 プロジェクターの一実施形態を示す図。 液晶装置の一実施形態を示す断面模式図。 図5に示した液晶装置を用いた電子機器の一例を示す斜視図。 偏光分離特性のシミュレーション結果を示すグラフ。
以下、図面を用いて本発明の実施の形態について説明する。
なお、本発明の範囲は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等を異ならせる場合がある。
[偏光素子]
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態に係る偏光素子及び偏光素子の製造方法について説明する。
図1は本実施形態の偏光素子1Aの概略図であり、図1(a)は部分斜視図、図1(b)は偏光素子1AをYZ平面で切った部分断面図である。
なお、以下の説明においてはXYZ直交座標系を設定し、このXYZ座標系を参照しつつ各部材の位置関係を説明する。この際、金属層12が設けられている基板11の面11cと平行な面をXY平面とし、金属層12の延在方向をX軸方向とする。金属層12の並び方向(配列軸)はY軸方向である。また、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の膜厚や寸法の比率などは適宜異ならせている。
図1(a)及び図1(b)に示すように、偏光素子1Aは、基板11と、基板11上に平面視ストライプ状に形成された複数の金属層12と、各々の金属層12の側面に形成された第1の誘電体層12Aと、各々の金属層12上に形成された中間誘電体層(第3の誘電体層)13と、中間誘電体層13上に形成された吸収材層14と、吸収材層14の表面に形成された第2の誘電体層14Aと、を備えている。すなわち、偏光素子1Aは、基板11側から順に、金属層12、中間誘電体層13、及び吸収材層14が積層された構造を有する。
第1の誘電体層12Aは、金属層12のX軸方向に沿って延びる2つの側面(第1側面12a及び第2側面12b)とを被覆している。金属層12の頂面(頂部12c)は、中間誘電体層13に被覆されている。第2の誘電体層14Aは、中間誘電体層13上に形成された吸収材層14のX軸方向に延びる2つの側面14a、14bと、頂面(頂部14c)とを被覆している。
基板11は透光性を有する材料であればよく、例えば、石英、プラスチック等を用いてもよい。本実施形態では基板11としてガラス基板を用いている。偏光素子1Aの用途によっては、偏光素子1Aが蓄熱して高温になる場合があるため、基板11の材料としては、耐熱性の高いガラスや石英を用いることが好ましい。
金属層12は、基板11上で一方向に延びる金属細線であり、基板11上に所定のピッチで互いに平行に配列されている。金属層12の材料としては、可視域において光の反射率が高い材料が用いられる。具体的には、例えばアルミニウム、銀、銅、クロム、チタン、ニッケル、タングステン、鉄などを金属層12の材料として用いることができる。本実施形態では金属層12の材料としてアルミニウムを用いている。
第1の誘電体層12Aは、各々の金属層12の側面を覆うように形成されている。第1の誘電体層12Aの材料としては、金属層12を構成する金属の酸化物が用いられ、可視域において光透過率の高い材料、例えば酸化アルミニウムのような誘電体材料を用いることが好ましい。後述するように、第1の誘電体層12Aは金属層12を酸化させる方法や、金属層12を構成する金属の酸化物を成膜する方法などにより形成することができる。
なお、第1の誘電体層12Aは、偏光素子1Aの光を照射される領域において金属層12を覆っていればよく、それ以外の領域では必ずしも金属層12を覆っていなくてもよい。例えば、大型基板上に複数の金属層12とそれらの側面を覆う第1の誘電体層12Aとを形成した後、大型基板を個別の基板11に切断した場合には、基板11の端部において金属層12と第1の誘電体層12Aとが切断され、それらの切断面が露出した状態となるが、このような構成でも構わない。
中間誘電体層13は、金属層12の頂部12cを覆うように形成されている。中間誘電体層13は、金属層12と吸収材層14との構成元素の相互拡散を抑制するバリア層として形成されており、必要に応じて金属層12と吸収材層14との間に形成される。
中間誘電体層13の材料は、上記のバリア性を有する誘電体材料であれば特に限定されないが、シリコン、アルミニウム、クロム、チタン、ニッケル、タングステンなどの酸化物や窒化物、酸化窒化物により形成することができる。本実施形態の場合は、中間誘電体層13の材料としてシリコン酸化物を用いている。
吸収材層14は、金属層12上に積層された中間誘電体層13上に形成され、金属層12の延在方向(X軸方向)に沿って延びている。吸収材層14の材料としては、可視領域において中間誘電体層13の光吸収率よりも高い光吸収率を有する物質が用いられる。具体的には、シリコン、ゲルマニウム、クロムからなる群より選ばれる1種又は2種以上からなる。本実施形態では、吸収材層14の材料として、シリコンを用いている。
第2の誘電体層14Aは、図1(b)に示すように、吸収材層14の2つの側面14a、14bと、頂面(頂部14c)とを覆って形成されている。第2の誘電体層14Aの材料としては、吸収材層14を構成する物質の酸化物が用いられる。すなわち、第2の誘電体層14Aは、シリコン酸化物、ゲルマニウム酸化物、クロム酸化物、あるいはこれらのうち複数の酸化物を含む材料からなる。本実施形態では、吸収材層14がシリコンであるから、第2の誘電体層14Aはシリコン酸化物からなる。
隣り合って配置された2つの金属層12の間には溝部15が設けられている。溝部15は、可視光の波長よりも短い周期でY軸方向に略均等な間隔で設けられている。したがって、側面に第1の誘電体層12Aが形成された金属層12も、可視光の波長よりも短い周期でY軸方向に配列されている。
本実施形態の偏光素子1Aにおける各部の寸法は例えば以下のように設定することができる。
金属層12の高さH1は、30nm以上200nm以下の範囲であり、金属層12のY軸方向の幅L1(線幅)は、20nm以上60nm以下の範囲である。
金属層12の表面に形成された第1の誘電体層12AのY軸方向の幅L2(金属層12の側面における厚さ)は、5nm以上30nm以下の範囲である。金属層12上における中間誘電体層13の高さH2(金属層12の頂面における厚さ)は、10nm以上100nm以下の範囲である。中間誘電体層13の幅は、30nm以上120nm以下の範囲である。
また、吸収材層14の高さH3(中間誘電体層13上における厚さ)は、5nm以上30nm以下の範囲であり、幅は20nm以上60nm以下の範囲である。吸収材層14の表面に形成された第2の誘電体層14Aの高さH4(吸収材層14の頂面における厚さ)、及びY軸方向の幅(吸収材層14の側面における厚さ)は、いずれも5nm以上30nm以下の範囲である。
また、隣り合って配置された2つの第1の誘電体層12A同士の間隔S(溝部15のY軸方向の幅)は、例えば70nmであり、周期P(ピッチ)は、例えば140nmである。
以上に説明した本実施形態の偏光素子1Aでは、金属層12がアルミニウム等の可視域において光反射率の高い材料により形成されている。吸収材層14は、可視領域において、光の吸収率が第1の誘電体層12Aの光吸収率よりも高い材料(シリコン、ゲルマニウム等)により形成されている。
また、金属層12は、アルミニウム酸化物等の可視域で光透過率の高い材料により形成された第1の誘電体層12Aにより表面を被覆され、吸収材層14は、シリコン酸化物、ゲルマニウム酸化物等の材料により形成された第2の誘電体層14Aにより表面を被覆されている。
かかる構成を備えた本実施形態の偏光素子1Aによれば、以下の作用効果を得ることができる。
まず、金属層12と中間誘電体層13と吸収材層14との積層構造とされていることで、金属層の延在方向と直交する方向に振動する直線偏光であるTM波21を透過させ、金属層の延在方向に振動する直線偏光であるTE波22を吸収させることができる。
より詳しくは、基板11の吸収材層14側から入射したTE波22は、主に吸収材層14の光吸収作用によって減衰され、また場合によっては第2の誘電体層14Aにより減衰される。一部のTE波22は、吸収材層14と第2の誘電体層14Aによって吸収されることなく中間誘電体層13に入射するが、中間誘電体層13を通過する際に位相差を付与される。中間誘電体層13を通過したTE波22は金属層12(ワイヤーグリッドとして機能)で反射される。この反射したTE波22は、中間誘電体層13を通過する際に位相差を付与され、干渉効果により減衰されるともに、残りが吸収材層14で再吸収される。以上のようなTE波22の減衰効果により、吸収型の所望の偏光分離特性を得ることができる。
また本実施形態では、金属層12の両側面が、金属層12を構成する金属の酸化物からなる第1の誘電体層12Aによって覆われている。このような第1の誘電体層12Aは、金属層12の表面を酸化させることにより容易に形成でき、しかも緻密な酸化膜とすることができるため、使用時の温度上昇により金属層12が劣化するのを防止することができ、偏光分離機能の低下を抑制できる。
また本実施形態では、吸収材層14についても、吸収材層14を構成する物質の酸化物からなる第2の誘電体層14Aにより覆われている。これにより、使用時に偏光素子1Aの温度が上昇したとしても、吸収材層14の酸化が進行することはないため、温度変化による変質が生じにくく、偏光分離機能の変動を抑制することができる。
また本実施形態の偏光素子1Aでは、金属酸化物からなる吸収材層14と金属層12との間に、中間誘電体層13が介在している。このような構成とすることで、吸収材層14と金属層12との間で構成元素の相互拡散が生じるのを防止することができる。これにより、金属層12や吸収材層14が変質することによる偏光分離機能の変動を防止することができる。
このように本実施形態によれば、使用時に温度が上昇しても偏光特性が低下しにくい偏光素子1Aを得ることができる。
(偏光素子の製造方法)
次に、本実施形態の偏光素子1Aの製造方法について説明する。図2は、実施形態における偏光素子の製造方法を示す工程図である。
本実施形態の偏光素子の製造方法は、基板11の一面側に、平面視ストライプ状を成して基板11の厚さ方向に積層された金属層12と中間誘電体層13と吸収材層14とを形成し、その後、酸素含有雰囲気中で金属層12及び吸収材層14の表面を酸化させることで、金属層12の表面に第1の誘電体層12Aを形成するとともに吸収材層14の表面に第2の誘電体層14Aを形成する製造方法である。
以下、図面を参照しながら説明する。
まず、図2(a)に示すように、基板11上に、金属層12を形成するための金属膜であるアルミニウム膜112と、中間誘電体層13を形成するための誘電体膜であるシリコン酸化膜113と、吸収材層14を形成するための無機膜であるシリコン膜114とを、この順に積層形成する。各層の薄膜の形成方法としては、スパッタ法やCVD法などの公知の成膜法を用いることができる。
次に、最上層のシリコン膜114上に、図示略のレジスト膜を形成し、次いでこのレジスト膜を露光、現像することで、ストライプ状にパターニングする。その後、パターニングされたレジスト膜をマスクとしてアルミニウム膜112、シリコン酸化膜113、及びシリコン膜114をエッチングすることで、図2(b)に示す平面視ストライプ状を成す金属層12、中間誘電体層13、及び吸収材層14の積層体を形成する。
上記のエッチング工程において、シリコン膜114及びシリコン酸化膜113は、フッ素系のエッチングガス(CF、CHF、CH、Cなど)を用いたドライエッチング処理によりエッチングすることができる。一方、アルミニウム膜112は、塩素系のエッチングガス(Cl、BClなど)を用いたドライエッチング処理によりエッチングすることができる。
上記の積層体が形成されたならば、次に、図2(c)に示すように、金属層12の表面を酸化させることで第1の誘電体層12Aを形成するとともに、吸収材層14の表面を酸化させることで第2の誘電体層14Aを形成する。
具体的には、オゾンガスが50Paから100Paの範囲で制御された石英等の真空容器内に、金属層12、中間誘電体層13、及び吸収材層14からなる積層体が形成された基板11を配置する。次いで、Deep−UVランプ等を用いて、基板11の面11cに紫外光(波長<310nm)を照射する。このときの紫外光強度は、例えば120mW/cmである。オゾンガスは、波長220nmから300nmの範囲で高い吸収係数を有するため、光吸収反応の結果、効率よく高いエネルギーをもつ励起状態の酸素原子を生成できる。
上記の励起酸素原子は、通常の酸素原子よりも拡散係数(活性度)が大きく、高い酸化速度を示す。また、熱酸化に比べ低温で酸化膜を生成できる。さらに本工程において、基板11を加熱してもよく、加熱により金属層12表面及び吸収材層14表面の酸化反応を促進させ、短時間で第1の誘電体層12A、第2の誘電体層14Aを形成することができる。基板11を加熱する方法としては、例えば、基板11の裏面(面11cと反対側の面)からハロゲンランプを照射する方法などを挙げることができる。基板11の加熱温度は、例えば150℃である。
基板11を150℃に加熱した状態で20分のオゾン酸化を行うことで、金属層12の表面に厚さ20nmのアルミニウム酸化膜(第1の誘電体層12A)を形成することができ、吸収材層14の表面には厚さ10nmのシリコン酸化膜(第2の誘電体層14A)を形成することができる。本工程の処理条件(基板温度や処理時間)を調整することで、第1の誘電体層12A及び第2の誘電体層14Aの厚さを自在に制御することができる。換言すれば、酸化されずに残る金属層12の幅と吸収材層14の幅も自在に制御することができる。
以上に説明した本実施形態の製造方法では、金属層12と中間誘電体層13と吸収材層14とを積層形成した後、金属層12と吸収材層14とを一括して酸化させることで、第1の誘電体層12Aと第2の誘電体層14Aとを形成している。これにより、金属層12と吸収材層14とが誘電体の層により覆われた構造を容易に形成することができるので、使用時の温度上昇による偏光分離特性の変動が生じにくい、高温信頼性に優れた偏光素子を容易に製造することができる。
また、金属層12と吸収材層14の表面を酸化させる方法として、オゾン酸化を用いているため、従来と比較して低温のプロセスで金属層12及び吸収材層14の酸化膜(第1の誘電体層12A、第2の誘電体層14A)を形成することができる。これにより、製造工程中における基板11の割れや変形を低減することができる。また基板の変形を抑えられることから、偏光素子の特性を決定する金属層12及び吸収材層14の高さ幅などの寸法が熱処理前後で変化するのを抑制することができる。その結果、偏光分離特性の面内均一性に優れた偏光素子を製造することができる。
(変形例)
次に、本実施形態の偏光素子の変形例について図3を参照しつつ説明する。
図3(a)〜(c)は、第1〜第3変形例に係る偏光素子の部分断面図である。
<第1変形例>
図3(a)に示す第1変形例の偏光素子1Bは、隣り合う金属層12の間の領域に、基板11よりも屈折率の低い領域16を有している。領域16以外の構成は図1に示した偏光素子1Aと共通である。
領域16は、本変形例の場合、基板11上で隣り合って配置された金属層12の間に露出する基板11の表面をドライエッチング等により部分的に除去することで形成される。あるいは、予めストライプ状に溝が形成された基板11を用いてもよい。基板11の表面を掘り下げる深さH5は、例えば、30nm以上200nm以下の範囲である。
上記の構成を備えた偏光素子1Bによれば、基板11と金属層12との界面近傍における実効的な屈折率を低下させることができるため、界面でのTM波21(偏光素子が透過させる偏光)の反射を抑制することができ、高透過率の偏光素子とすることができる。
<第2変形例>
次に、図3(b)に示す第2変形例の偏光素子1Cは、基板11上に、側面に第1の誘電体層12Aが形成された金属層12と、中間誘電体層13(第3の誘電体層)と、側面に第2の誘電体層14Aが形成された吸収材層14とからなる積層体上に、第4の誘電体層17が形成された構成を備えている。
なお、図3(b)では隣り合う金属層12の間に低屈折率の領域16が形成されているが、図1に示したように、溝部15を有する構成であってもよい。
第4の誘電体層17は、任意の誘電体材料を用いて形成することができる。具体的には、シリコン、アルミニウム、クロム、チタン、ニッケル、タングステン、マンガンなどの酸化物や窒化物、酸化窒化物などを例示することができる。本実施形態の場合は、第4の誘電体層17の材料としてシリコン酸化物を用いている。
本実施形態の場合、第4の誘電体層17は、吸収材層14の上層に形成されているため、第1の誘電体層12Aよりも光吸収率の高い誘電体材料を用いて第4の誘電体層17を形成するとよい。例えば、クロム酸化物やマンガン酸化物を用いると、第4の誘電体層17自体が光吸収性を発揮するため、TE波22の吸収率を向上させることができる。
なお、本実施形態において、金属層12と吸収材層14の積層順は入れ替えることができる。すなわち、基板11上に、吸収材層14、中間誘電体層13、金属層12、第4の誘電体層17がこの順に積層されている構成とすることもできる。この場合には、第4の誘電体層17は、光透過性に優れる誘電体材料(シリコン酸化物、アルミニウム酸化物等)により形成することが好ましい。
偏光素子1Cは、先の実施形態の偏光素子1Aとほぼ同様の製造方法により製造することができる。具体的には、基板11上に、金属層12を形成するための金属膜(アルミニウム膜)と、中間誘電体層13となる誘電体膜(シリコン酸化膜)と、吸収材層14を形成するための無機膜(シリコン膜)と、第4の誘電体層17を形成するための誘電体膜(シリコン酸化膜)とをスパッタ法などを用いて成膜する成膜工程と、上記の積層膜を平面視ストライプ状にパターニングし、金属層12と中間誘電体層13と吸収材層14と第4の誘電体層17とからなる積層体を形成するパターニング工程と、上記積層体が形成された基板を酸素含有雰囲気中に配置し、金属層12と吸収材層14の表面を酸化させることで、金属層12の側面に第1の誘電体層12Aを形成するとともに、吸収材層14の側面に第2の誘電体層14Aを形成する酸化工程と、を有する製造方法により製造することができる。
<第3変形例>
次に、図3(c)に示す第3変形例の偏光素子1Dは、基板11上に、側面に第1の誘電体層12Aが形成された金属層12と、側面及び頂面に第2の誘電体層14Aが形成された吸収材層14とからなる積層体が形成された構成を備えている。すなわち、第3変形例の偏光素子1Dは、図1に示した偏光素子1Aにおいて、中間誘電体層13を省略したものである。
なお、偏光素子1Dにおいて吸収材層14から金属層12に入射し、金属層12で反射された光は、再び吸収材層14及び第2の誘電体層14Aを透過する際に、吸収材層14や第2の誘電体層14Aに吸収される。したがって、本変形例の偏光素子1Dも吸収型の偏光素子として動作する。
また偏光素子1Dにおいても、金属層12及び吸収材層14は、第1の誘電体層12A又は第2の誘電体層14Aによって覆われているため、使用時に温度が上昇したとしても、金属層12や吸収材層14が酸化されるのを抑えることができる。これにより、温度上昇による偏光分離特性の変動を小さくすることができ、優れた高温信頼性を得ることができる。
[投射型表示装置]
図4は、プロジェクターの一実施形態を示す図である。
図4に示すプロジェクター800は、光源810、ダイクロイックミラー813、814、反射ミラー815、816、817、入射レンズ818、リレーレンズ819、射出レンズ820、光変調部822、823、824、クロスダイクロイックプリズム825、投射レンズ826、を有している。
光源810は、メタルハライド等のランプ811とランプの光を反射するリフレクター812とからなる。なお、光源810としては、メタルハライド以外にも超高圧水銀ランプ、フラッシュ水銀ランプ、高圧水銀ランプ、Deep UVランプ、キセノンランプ、キセノンフラッシュランプ等を用いることも可能である。
ダイクロイックミラー813は、光源810からの白色光に含まれる赤色光を透過させるとともに、青色光と緑色光とを反射する。透過した赤色光は反射ミラー817で反射されて、赤色光用の光変調部822に入射される。また、ダイクロイックミラー813で反射された青色光と緑色光のうち、緑色光は、ダイクロイックミラー814によって反射され、緑色光用の光変調部823に入射される。青色光は、ダイクロイックミラー814を透過し、長い光路による光損失を防ぐために設けられた入射レンズ818、リレーレンズ819及び射出レンズ820を含むリレー光学系821を介して、青色光が光変調部824に入射される。
光変調部822〜824は、液晶ライトバルブ830を挟んで両側に、入射側偏光素子840と射出側偏光素子部850と、が配置されている。入射側偏光素子840は、光源810から射出された光の光路上の、光源810と液晶ライトバルブ830との間に設けられている。また、射出側偏光素子部850は、液晶ライトバルブ830を通過した光の光路上の、液晶ライトバルブ830と投射レンズ826との間に設けられている。入射側偏光素子840と射出側偏光素子部850とは、互いの透過軸が直交して(クロスニコル配置)配置されている。
入射側偏光素子840は反射型の偏光素子であり、透過軸と直交する振動方向の光を反射させる。
一方、射出側偏光素子部850は、第1偏光素子(プリ偏光板、プリポラライザーと同義)852と、第2偏光素子854と、を有している。第1偏光素子852には、上述した実施形態の偏光素子を用いる。また、第2偏光素子854は、有機材料を形成材料とする偏光素子である。第1偏光素子852及び第2偏光素子854は、いずれも吸収型の偏光素子であり、第1偏光素子852と第2偏光素子854とが協働して光を吸収している。なお、入射側偏光素子840として先の実施形態の偏光素子を用いることもできる。
一般に、有機材料で形成される吸収型の偏光素子は、熱により劣化しやすいことから、高い輝度が必要な大出力のプロジェクターの偏光手段として用いる事が困難である。しかし、本実施形態のプロジェクター800では、第2偏光素子854と液晶ライトバルブ830との間に、耐熱性の高い無機材料で形成された第1偏光素子852を配置しており、第1偏光素子852と第2偏光素子854とが協働して光を吸収している。そのため、有機材料で形成される第2偏光素子854の劣化が抑えられる。
各光変調部822〜824により変調された3つの色光は、クロスダイクロイックプリズム825に入射する。このクロスダイクロイックプリズム825は4つの直角プリズムを貼り合わせたものであり、その界面には赤光を反射する誘電体多層膜と青光を反射する誘電体多層膜とがX字状に形成されている。これらの誘電体多層膜により3つの色光が合成されて、カラー画像を表す光が形成される。合成された光は、投射光学系である投射レンズ826によってスクリーン827上に投写され、画像が拡大されて表示される。
以上のような構成のプロジェクター800は、射出側偏光素子部850に、上述した実施形態の偏光素子を用いることとしているため、高出力の光源を用いても偏光素子の劣化が抑えられる。そのため、信頼性が高く優れた表示特性を有するプロジェクター800とすることができる。
[液晶装置]
図5は、本発明に係る偏光素子を備えた液晶装置300の一例を示した断面模式図である。本実施形態の液晶装置300は、素子基板310,対向基板320の間に液晶層350が挟持され構成されている。
素子基板310は偏光素子330を備え、対向基板320は偏光素子340を備えている。偏光素子330及び偏光素子340は、前述した実施形態の偏光素子である。
偏光素子330は基板本体331とグリッド部332及び保護膜333を、偏光素子340は基板本体341とグリッド部342及び保護膜343をそれぞれに備えている。基板本体331、341は、先の実施形態における基板11に対応する。グリッド部332、342は、先の実施形態における金属層12、中間誘電体層13、吸収材層14、第1の誘電体層12A、及び第2の誘電体層14Aにより構成される凸条に対応する。
グリッド部332、342については、各々が備えている金属層12や中間誘電体層13、吸収材層14等は図示していない。本実施形態では、基板本体331、341は偏光素子の基板であると同時に液晶装置用の基板も兼ねている。また、グリッド部332とグリッド部342は、互いに交差するように配置されている。
偏光素子330の液晶層350側には、画素電極314や不図示の配線やTFT素子を備え、配向膜316が設けられている。同様に、偏光素子340の内面側には、共通電極324や配向膜326が設けられている。
このような構成の液晶装置においては、基板本体331、基板本体341が、液晶装置用の基板と、偏光素子用の基板との機能を兼ねることから、部品点数を削減することができる。そのため、装置全体が薄型化でき、液晶装置300の機能を向上させることができる。更に、装置構造が簡略化されるので、製造が容易であるとともにコスト削減を図ることができる。
[電子機器]
次に、本発明の電子機器に係る他の実施形態について説明する。図6は、図5に示した液晶装置を用いた電子機器の一例を示す斜視図である。図6に示す携帯電話(電子機器)1300は、本発明の液晶装置を小サイズの表示部1301として備え、複数の操作ボタン1302、受話口1303、及び送話口1304を備えて構成されている。これにより、信頼性に優れ、高品質な表示が可能な表示部を具備した携帯電話1300を提供することができる。
また、本発明の液晶装置は、上記携帯電話の他にも、電子ブック、パーソナルコンピューター、デジタルスチールカメラ、液晶テレビ、プロジェクター、ビューファインダー型あるいはモニター直視型のビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳、電卓、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルを備えた機器等々の画像表示手段として好適に用いることができる。
尚、この発明は上述した実施の形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
[シミュレーション解析による光学特性評価]
次に、実施形態に係る偏光素子のシミュレーション解析結果について説明する。
解析においては、本発明の偏光素子を液晶プロジェクターのライトバルブ用の偏光素子として適用することを想定して評価を行った。本発明の偏光素子は、無機材料で形成されており耐熱性が高いことから、前述した高出力の光源を有する液晶プロジェクターのプリ偏光板として適用できる。
このようなプリ偏光板には、TM光に対する高い光透過率を有し、TM光を良好に透過させる必要がある。一方で、上述のように2枚の偏光素子が協働してTE光を吸収するため、TE光の吸収率については、それほど高い必要がない。具体的には、TM光の透過率が80%より大きく、TE光の吸収率が40%より大きければ使用上問題ない。TE光の吸収率については、2枚目の偏光素子への負担を低減するために、50%より大きいとなお良い。さらには、TE光がプリ偏光板で反射しライトバルブへ戻ることを防ぐために、TE光の反射率は低い方が良く、20%以下であることが望まれる。
そこで、以下の解析においては、TM光透過率が80%より大、TE光反射率が20%より小、TM光反射率が20%より小、であることを基準として評価を行った。
シミュレーション解析には、Grating Solver Development社製の解析ソフトであるGSolverを用いて、偏光素子の形状や構成材料の屈折率等をパラメーターとした。
基板から金属層12(アルミニウム)と、中間誘電体層13(シリコン酸化物)、吸収材層14(シリコン)の順に積層され、金属層12の表面に第1の誘電体層12A(アルミニウム酸化物)、吸収材層14の表面に第2の誘電体層14A(シリコン酸化物)が形成され、かつ隣り合う金属層12の間において基板11の表面が掘り下げられたモデル(第1変形例の偏光素子1B)を用いて数値計算を行った。
計算では、金属層12(アルミニウム)の高さH1:60nm、幅L1:20nm、第1の誘電体層12A(酸化アルミニウム)の幅(厚さ)L2:20nm、中間誘電体層13(シリコン酸化物)の高さH2:10nm、吸収材層14(シリコン)の高さH3:10nm、第2の誘電体層14A(シリコン酸化物)の高さH4及び幅:10nm、領域16のY軸方向の幅W:80nm、領域16における基板11の掘り下げ深さH5:30nm、金属層12の周期P:140nmとした。また、上述した偏光素子の構成材料の屈折率及び消衰係数は、GSolverに格納されている各パラメーターを用いた。
上記のモデルにおいて、波長400nm〜700nmにおける偏光特性を求めた。図7は、TM光及びTE光に対する偏光分離特性のシミュレーション結果を示すグラフである。グラフ中、RpはTM光の反射率(%)、TpはTM光の透過率(%)、RcはTE光の反射率(%)、TcはTE光の透過率(%)、Acは偏光素子の光吸収率(100−Rp−Rc(%))である。
図7に示すように、本発明の構成を備えた偏光素子は、400nm〜650nmの波長域において、TM光透過率が80%より大、TE光反射率が20%より小、TM光反射率が20%より小、である条件を満たしており、プリ偏光板として好適な特性を有するものであると認められる。
1A,1B,1C,1D,330,340…偏光素子、11…基板、11c…面、12…金属層、12A…第1の誘電体層、13…中間誘電体層(第3の誘電体層)、14…吸収材層、14A…第2の誘電体層、14b…側面、17…第4の誘電体層、L2…幅(厚さ)、300…液晶装置、350…液晶層、800…プロジェクター、830…液晶ライトバルブ、1300…携帯電話(電子機器)

Claims (11)

  1. 基板と、
    前記基板上に平面視ストライプ状に形成され、前記基板の厚さ方向に積層された金属層及び吸収材層と、
    前記金属層の表面に形成され、前記金属層を構成する金属の酸化物からなる第1の誘電体層と、
    前記吸収材層の表面に形成され、前記吸収材層を形成する材料の酸化物からなる第2の誘電体層と、
    を有し、
    前記基板は、前記金属層の互いに隣り合う間に露出する前記基板の表面を掘り下げた領域である溝が形成され、
    前記溝は、前記基板よりも屈折率低いことを特徴とする偏光素子。
  2. 前記金属層と前記吸収材層との間に、第3の誘電体層が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の偏光素子。
  3. 前記金属層と前記吸収材層とを含む積層体の上層に、第4の誘電体層が形成されていることを特徴とする請求項2に記載の偏光素子。
  4. 前記吸収材層が、シリコン、ゲルマニウム、クロムからなる群より選ばれる1種又は2種以上からなることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の偏光素子。
  5. 前記金属層が、アルミニウム、銀、銅、クロム、チタン、ニッケル、タングステン、鉄からなる群より選ばれる1種又は2種以上の金属からなることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の偏光素子。
  6. 基板の一面側に、平面視ストライプ状を成して前記基板の厚さ方向に積層された金属層及び吸収材層を形成する工程と、
    酸素含有雰囲気中で前記金属層及び前記吸収材層の表面を酸化させることで、前記金属層の表面に第1の誘電体層を形成するとともに前記吸収材層の表面に第2の誘電体層を形成する工程と、
    前記金属層の互いに隣り合う間に露出する前記基板の表面を掘り下げることによって、前記基板よりも屈折率の低い領域を形成する工程と、
    を有することを特徴とする偏光素子の製造方法。
  7. 前記酸素含有雰囲気がオゾンガス雰囲気であることを特徴とする請求項6に記載の偏光素子の製造方法。
  8. 前記第1及び第2の誘電体層を形成する工程において、前記基板に紫外光を照射することを特徴とする請求項6又は7に記載の偏光素子の製造方法。
  9. 光を射出する照明光学系と、前記光を変調する液晶ライトバルブと、前記液晶ライトバルブで変調された光を被投射面に投射する投射光学系と、を備え、
    前記液晶ライトバルブと前記照明光学系との間、及び前記液晶ライトバルブと前記投射光学系との間のうち少なくとも一方に、請求項1から5のいずれか1項に記載の偏光素子が設けられていることを特徴とするプロジェクター。
  10. 一対の基板間に液晶層を挟持してなり、少なくとも一方の前記基板の前記液晶層側に、請求項1から5のいずれか1項に記載の偏光素子が形成されていることを特徴とする液晶装置。
  11. 請求項10に記載の液晶装置を備えたことを特徴とする電子機器。
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