JP5662423B2 - 磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブランクの製造方法、磁気記録媒体ガラス基板の製造方法および磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブランクの製造方法は、ガラス流出口から鉛 直方向の下方側へと連続的に流出する溶融ガラス流の先端部を溶融ガラス塊として分離し て落下させ、落下中の溶融ガラス塊を、当該溶融ガラス塊の落下方向に対して直交する方向に対向配置された第一のプレス成形型および第二のプレス成形型によりプレス成形するプレス成形工程、を少なくとも経て磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブランクを製造し、溶融ガラス塊を構成するガラス材料のガラス転移温度が600℃以上であり、プレス成形工程の実施により、溶融ガラス塊が、第一のプレス成形型のプレス成形面と第二のプレス成形型のプレス成形面との間で完全に押し広げられて板状ガラスに成形された際に、第一のプレス成形型および第二のプレス成形型のプレス成形面の少なくとも板状ガラスと接触する領域が、略平坦な面であることを特徴とする。
12 ガラス流出口
20 溶融ガラス流
22 先端部
24 溶融ガラス塊
26 薄板ガラス
30 下側ブレード(シアブレード)
32 本体部
32B (本体部の)下面
34 刃部
34A (刃部の)先端
34U (刃部の)上面
34B (刃部の)下面
40 上側ブレード(シアブレード)
42 本体部
42B (本体部の)下面
44 刃部
44U (刃部の)上面
44B (刃部の)下面
50 第一のプレス成形型
52 プレス成形型本体
52A プレス成形面
54 ガイド部材
54A ガイド面
60 第二のプレス成形型
62 プレス成形型本体
62A プレス成形面
64 ガイド部材
64A ガイド面
本実施形態の磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブランク(以下、「ガラスブランク」と略す場合がある)の製造方法は、落下中の溶融ガラス塊を、当該溶融ガラス塊の落下方向に対して直交する方向に対向配置された第一のプレス成形型および第二のプレス成形型によりプレス成形するプレス成形工程、を少なくとも経てガラスブランクを製造し、溶融ガラス塊を構成するガラス材料のガラス転移温度が600℃以上であり、プレス成形工程の実施により、溶融ガラス塊が、第一のプレス成形型のプレス成形面と第二のプレス成形型のプレス成形面との間で完全に押し広げられて板状ガラスに成形された際に、第一のプレス成形型および第二のプレス成形型のプレス成形面の少なくとも板状ガラスと接触する領域が、略平坦な面であることを特徴とする。
図1〜図9は、本実施形態のガラスブランクの製造方法の一例を示す模式断面図である。ここで、これらの図は、その番号順に、ガラスブランクを製造する際の一連のプロセスを時系列に説明している。
本実施形態のガラスブランクの製造方法において使用するガラス材料は、既述したように、そのガラス転移温度が600℃以上のものが利用される。このため、本実施形態のガラスブランク製造方法により製造されたガラスブランクは、高い耐熱性を有する。
モル%表示にて、
SiO2を50〜75%、
Al2O3を0〜5%、
Li2Oを0〜3%、
ZnOを0〜5%、
Na2OおよびK2Oから選択される少なくとも1種の成分を合計で3〜15%、
MgO、CaO、SrOおよびBaOから選択される少なくとも1種の成分を合計で14〜35%、ならびに、
ZrO2、TiO2、La2O3、Y2O3、Yb2O3、Ta2O5、Nb2O5およびHfO2から選択される少なくとも1種の成分を合計で2〜9%、
含み、
モル比{(MgO+CaO)/(MgO+CaO+SrO+BaO)}が0.8〜1の範囲であり、かつ、モル比{Al2O3/(MgO+CaO)}が0〜0.30の範囲である。
SiO2を56〜75%、
Al2O3を1〜11%、
Li2Oを0%超かつ4%以下、
Na2Oを1%以上かつ15%未満、
K2Oを0%以上3%未満、
含み、かつ、BaOを実質的に含まず、
Li2O、Na2OおよびK2Oからなる群から選ばれるアルカリ金属酸化物の合計含有量が6〜15%の範囲であり、
Na2O含有量に対するLi2O含有量のモル比(Li2O/Na2O)が0.50未満であり、
上記アルカリ金属酸化物の合計含有量に対するK2O含有量のモル比{K2O/(Li2O+Na2O+K2O)}が0.13以下であり、
MgO、CaOおよびSrOからなる群から選ばれるアルカリ土類金属酸化物の合計含有量が10〜30%の範囲であり、
MgOおよびCaOの合計含有量が10〜30%の範囲であり、
上記アルカリ土類金属酸化物の合計含有量に対するMgOおよびCaOの合計含有量のモル比{(MgO+CaO)/(MgO+CaO+SrO)}が0.86以上であり、
上記アルカリ金属酸化物およびアルカリ土類金属酸化物の合計含有量が20〜40%の範囲であり、
上記アルカリ金属酸化物およびアルカリ土類金属酸化物の合計含有量に対するMgO、CaOおよびLi2Oの合計含有量のモル比{(MgO+CaO+Li2O)/(Li2O+Na2O+K2O+MgO+CaO+SrO)}が0.50以上であり、
ZrO2、TiO2、Y2O3、La2O3、Gd2O3、Nb2O5およびTa2O5からなる群から選ばれる酸化物の合計含有量が0%超かつ10%以下であり、
Al2O3含有量に対する上記酸化物の合計含有量のモル比{(ZrO2+TiO2+Y2O3+La2O3+Gd2O3+Nb2O5+Ta2O5)/Al2O3}が0.40以上である。
前述のとおり、磁気記録媒体ガラス基板を構成するガラスとHDDのスピンドル材料(例えば、ステンレスなど)の熱膨張係数の差が大きいと、HDDの動作時における温度変化によって磁気記録媒体が変形し、記録再生トラブルが起こるなど信頼性が低下することになってしまう。特に、高Ku磁性材料からなる磁気記録層を有する磁気記録媒体は、記録密度が極めて高いため、磁気記録媒体の僅かな変形によっても前記トラブルが起こりやすくなる。一般にHDDのスピンドル材料は、100〜300℃の温度範囲において70×10−7/℃以上の平均線膨張係数(熱膨張係数)を有する。しかし、ガラスAまたはガラスBを用いて本実施形態のガラスブランクの製造方法により作製されたガラスブランクや、これを用いて製造された磁気記録媒体ガラス基板によれば、100〜300℃の温度範囲における平均線膨張係数を70×10−7/℃以上にすることができる。このため、上記信頼性を向上させることができ、高Ku磁性材料からなる磁気記録層を有する磁気記録媒体に好適な磁気記録媒体ガラス基板を提供することができる。なお、平均線膨張係数の好ましい範囲は72×10−7/℃以上、より好ましい範囲は74×10−7/℃以上、さらに好ましい範囲は75×10−7/℃以上、一層好ましい範囲は77×10−7/℃以上、より一層好ましい範囲は78×10−7/℃以上、さらに一層好ましい範囲は79×10−7/℃以上である。平均線膨張係数の上限は、スピンドル材料の熱膨張特性を考慮すると、例えば100×10−7/℃程度であることが好ましく、90×10−7/℃程度であることがより好ましく、88×10−7/℃程度であることが好ましい。
前述のとおり、高Ku磁性材料の導入などによって磁気記録媒体の高記録密度化を図る場合、磁性材料の高温処理などにおいて、磁気記録媒体ガラス基板は高温下に晒されることになる。その際、磁気記録媒体ガラス基板の極めて高い平坦性が損なわれないようにするため、磁気記録媒体ガラス基板に用いるガラス材料は優れた耐熱性を有することが求められる。ここで、ガラスAまたはガラスBを用いて本実施形態のガラスブランクの製造方法により作製されたガラスブランクや、これを用いて製造された磁気記録媒体ガラス基板では、ガラス転移温度を600℃以上にすることができる。このため、上記の磁気記録媒体ガラス基板を高温で熱処理した後にも優れた平坦性を維持することができる。したがって、高Ku磁性材料を備えた磁気記録媒体の作製に好適な磁気記録媒体ガラス基板を提供することができる。
磁気記録媒体の変形としては、HDDの温度変化による変形の他、高速回転による変形がある。高速回転時の変形を抑制する上からは、磁気記録媒体ガラス基板用ガラスのヤング率を高めることが望まれる。ガラスAおよびガラスBによれば、ヤング率を80GPa以上にすることができ、高速回転時の基板変形を抑制し、高Ku磁性材料を備えた高記録密度化された磁気記録媒体においても、データの読み取り、書き込みを正確に行うことができる。ヤング率の好ましい範囲は81GPa以上、より好ましい範囲は82GPa以上である。ヤング率の上限は、例えば95GPa程度であるが特に限定されるものではない。
磁気記録媒体を高速回転させたとき、変形しにくい基板を提供する上で、磁気記録媒体ガラス基板用ガラスの比弾性率を30MNm/kg以上にすることが好ましい。その上限は、例えば35MNm/kg程度であるが特に限定されるものではない。比弾性率はガラスのヤング率を密度で除したものである。ここで密度とはガラスの比重に、g/cm3という単位を付けた量と考えればよい。ガラスの低比重化によって、比弾性率を大きくすることができることに加え、磁気記録媒体ガラス基板を軽量化することができる。磁気記録媒体ガラス基板の軽量化により、磁気記録媒体の軽量化がなされ、磁気記録媒体の回転に要する電力を減少させ、HDDの消費電力を抑えることができる。磁気記録媒体ガラス基板用ガラスの比重の好ましい範囲は3.0未満、より好ましい範囲は2.9以下、さらに好ましい範囲は2.85以下である。
ガラスを溶融し、得られた溶融ガラスを成形する際、成形温度が液相温度を下回るとガラスが結晶化し、均質なガラスが生産できない。そのためガラス成形温度は液相温度以上にする必要がある。しかし、成形温度が1300℃を超えると、例えば溶融ガラス塊24をプレス成形する際に用いるプレス成形型50、60が高温の溶融ガラス塊24と反応して、ダメージを受けやすくなる。また、Sn酸化物とCe酸化物による清澄効果が、成形温度の上昇に伴う清澄温度の上昇によって低下する場合がある。こうした点に配慮し、液相温度を1300℃以下にすることが好ましい。液相温度のより好ましい範囲は1250℃以下、さらに好ましい範囲は1200℃以下である。ガラスAおよびガラスBによれば、上記好ましい範囲の液相温度を実現することができる。下限は特に限定されないが、800℃以上を目安に考えればよい。
磁気記録媒体は、磁気記録媒体ガラス基板上に磁気記録層を含む多層膜を成膜する工程を経て生産される。現在、主流になっている枚葉式の成膜方式で磁気記録媒体ガラス基板上に多層膜を形成する際、例えばまず磁気記録媒体ガラス基板を成膜装置の基板加熱領域に導入しスパッタリングなどによる成膜が可能な温度にまで磁気記録媒体ガラス基板を加熱する。磁気記録媒体ガラス基板の温度が十分に昇温した後、磁気記録媒体ガラス基板を第1の成膜領域に移送し、磁気記録媒体ガラス基板上に多層膜の最下層に相当する膜を成膜する。次に磁気記録媒体ガラス基板を第2の成膜領域に移送し、最下層の上に成膜を行う。このように磁気記録媒体ガラス基板を後段の成膜領域に順次移送して成膜することにより、多層膜を形成する。上記の加熱および成膜は真空ポンプ等により排気された減圧下で行うため、磁気記録媒体ガラス基板の加熱は非接触方式を取らざるを得ない。そのため、磁気記録媒体ガラス基板の加熱には輻射による加熱が適している。この成膜は磁気記録媒体ガラス基板が成膜に好適な温度を下回らないうちに行う必要がある。各層の成膜に要する時間が長すぎると加熱した磁気記録媒体ガラス基板の温度が低下し、後段の成膜領域では十分な基板温度を得ることができないという問題が生じる。磁気記録媒体ガラス基板を長時間にわたって成膜可能な温度を保つためには、磁気記録媒体ガラス基板をより高温に加熱することが考えられるが、磁気記録媒体ガラス基板の加熱速度が小さいと加熱時間をより長くしなければならず、加熱領域に基板が滞在する時間も長くしなければならない。そのため各成膜領域における磁気記録媒体ガラス基板の滞在時間も長くなり、後段の成膜領域では十分な基板温度を保てなくなってしまう。さらにスループットを向上することも困難となる。特に高Ku磁性材料からなる磁気記録層を備えた磁気記録媒体を生産する場合、所定時間内に磁気記録媒体ガラス基板を高温に加熱するために、磁気記録媒体ガラス基板の輻射による加熱効率を一層高めるべきである。
本実施形態の磁気記録媒体ガラス基板の製造方法は、本発明の磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブランクの製造方法により作製されたガラスブランクの主表面を研磨する研磨工程を少なくとも経て、磁気記録媒体ガラス基板を製造することを特徴とする。
本実施形態の磁気記録媒体の製造方法は、本発明の磁気記録媒体ガラス基板の製造方法により作製された磁気記録媒体ガラス基板上に磁気記録層を形成する磁気記録層形成工程を少なくとも経て、磁気記録媒体を製造することを特徴とする。
表1〜表5に示すNo.1〜13のガラスが得られるように酸化物、炭酸塩、硝酸塩、水酸化物などの原料を秤量し、十分混合して調合原料とした。この原料をガラス溶解炉内の溶融槽内に投入し、加熱、溶融し、得られた溶融ガラスを溶融槽から清澄槽へと流して清澄槽内で脱泡を行い、さらに作業槽へと流して作業槽内で攪拌、均質化し、作業槽の底部に取り付けたガラス流出管から流出した。溶融槽、清澄槽、作業槽、ガラス流出パイプはそれぞれ温度制御され、各工程においてガラスの温度、粘度が最適状態に保たれる。ガラス流出管より流出する溶融ガラスを鋳型に鋳込み成形した。得られたガラスを試料として、以下に示す特性を測定した。各特性の測定方法を以下に示す。
各ガラスのガラス転移温度Tgおよび100〜300℃における平均線膨張係数αを、熱機械分析装置(TMA)を用いて測定した。
(2)ヤング率
各ガラスのヤング率を超音波法にて測定した。
(3)比重
各ガラスの比重をアルキメデス法にて測定した。
(4)比弾性率
上記(2)で得られたヤング率および(3)で得られた比重から、比弾性率を算出した。
(5)液相温度
白金ルツボにガラス試料を入れ、所定温度にて2時間保持し、炉から取り出し冷却後、結晶析出の有無を顕微鏡により観察し、結晶の認められない最低温度を液相温度(L.T.)とした。
各ガラスの組成および特性を表1〜表7に示す。
表1〜表5に示すガラスを使用して、図1〜図9に示す水平ダイレクトプレス、または、従来の垂直ダイレクトプレスによりガラスブランクを作製した。
ここで、図1〜図9に示す水平ダイレクトプレスによりガラスブランクを作製する場合、溶融ガラス流20の粘度は、その温度を制御することで500〜1050dPa・sの範囲で一定となるように調整した。また、プレス成形型本体52、62、ガイド部材54、64は、球状黒鉛鋳鉄(FCD)製とした。なお、プレス成形面52A、62Aは、表面が鏡面仕上げされた平滑面で、かつ、実質的に曲率が0である平坦面である。また、プレス成形面52A、62Aとガイド面54A、64Aとの高低差は、0.5mmに設定した。また、落下距離が100mm〜200mmの範囲内で一定値となるように、プレス成形型50、60の鉛直方向に対する配置位置を調整した。また、図5に示すプレス開始から図7に示すガイド面54Aとガイド面64Aとが接触し終える状態までの時間(プレス成形時間)を0.05秒〜0.1秒の範囲内で一定値とし、プレス圧力を6.7MPa程度とした。次いで、図7に示す状態を維持したまま、プレス圧力を下げて数秒程度、プレス成形面52A、62Aを薄板ガラス26に密着した状態を保ち、薄板ガラス26を冷却させた。次にプレス圧力を解除して、図8および図9に示すように第一のプレス成形型50と第二のプレス成形型60とを互いに離間させ、薄板ガラス26、すなわち、ガラスブランクを離型し、取り出した。
一方、垂直ダイレクトプレスによりガラスブランクを製造する場合、外周縁に沿って等間隔に下型が16個配置され、プレスに際しては、一方向に22.5度毎に移動と停止とを交互に繰り返しながら回転する回転テーブルを備えたプレス装置を用いた。また、回転テーブルの外周縁上に配置された16個の下型に対応する16個の下型停止位置に対して、回転テーブルの回転方向に沿ってP1〜P16の番号を付した際に、以下の下型停止位置の下型プレス面上または下型の側には、各々下記の部材が配置されている。
・下型停止位置P1:溶融ガラス供給装置
・下型停止位置P2:上型
・下型停止位置P4:反り修正プレス用上型
・下型停止位置P12:取出手段(真空吸着装置)
評価は、連続1000枚のプレス成形を実施した後、991枚目〜1000枚目のガラスブランクをサンプリングして、ガラスブランクの直径、真円度、平均板厚、板厚偏差、平坦度を三次元形状測定装置、マイクロメータを用いて測定した。なお、いずれのサンプルでも直径は75mm、真円度は±0.5mm以内、平均板厚は0.90mmであった。この結果から、直径/板厚比は83.3であることが判った。また、耐熱性、板厚偏差および平坦度を、使用したガラスNo、ガラスの諸物性、プレス方式およびプレスに用いた溶融ガラスの温度と共に、表8に示す。なお、実施例A1〜A11において、実施例番号順に、ガラスNo.1〜No.11から選択される各々のガラスをガラスNo.の順に用い、比較例A1においてNo.12のガラスを用い、比較例A2において、No.13のガラスを用い、比較例A3〜A13の各々の比較例において、ガラスNo.1〜No.11から選択される各々のガラスをガラスNo.の順に用いた。また、比較例A3〜A13については、連続1000枚のプレス成形中に下型のプレス成形面と溶融ガラスとの融着が発生したため、ガラスブランクのサンプリングは、融着が発生する前に得られたガラスブランクを10枚サンプリングした。
耐熱性の評価基準は以下の通りである。
A:ガラス転移温度が650℃以上
B:ガラス転移温度が630℃以上650℃未満
C:ガラス転移温度が600℃以上630℃未満
D:ガラス転移温度が600℃未満
板厚偏差は、ガラスブランクの中心から半径15mmおよび30mmの位置について、周方向に0度、90度、180度、270度の4点につき、マイクロメータで測定し、合計8点の測定点の板厚の標準偏差を求めた。そして、10枚のサンプルの標準偏差の平均値を元に、以下の評価基準で評価した。
A:標準偏差の平均値が、10μm以下
B:標準偏差の平均値が、10μmを超える
平坦度は、三次元形状測定装置(コムス株式会社製、高精度3次元形状測定システム、MAP−3D)を用いて、個々のサンプルの平坦度を求めた。そして、10枚のサンプルの平坦度の平均値を元に、以下の評価基準で評価した。
A:平坦度の平均値が4μm以下
B:平坦度の平均値が、4μmを超え10μm以下
C:平坦度の平均値が、10μmを超える
実施例A1において、プレス成形時間を、0.2秒、0.5秒および1.0秒の3水準として、ガラスブランクを作製した。
プレス成形時間を、0.2秒、0.5秒および1.0秒の3水準とし、プレス成形型50、60として、プレス成形面52A、62Aに2本の同心円状の突条を設けたものを用いた以外は、実施例A1と同様にガラスブランクを作製した。なお、突条は、直径20mmのリング状の凸部および直径65mmのリング状の凸部であり、高さは0.3mmである。また、突条の断面形状は、逆V字形状を成し、ガラスブランクの表面にV字溝が形成できる。
評価は、連続1000枚のプレス成形を実施した後、900枚目〜1000枚目のガラスブランクから任意に3枚をサンプリングして、半径25mmおよび半径60mmにおいて、周方向に0度、90度、180度および270度の位置の板厚をマイクロメータにより測定した。そして各々のサンプルについて、半径25mmにおける板厚の平均値および板厚偏差と、半径60mmにおけう板厚の平均値および板厚偏差とを求めた。また、連続プレス成形を実施した際に、ガラスブランクの割れが生じた枚数をカウントして、割れの発生率を評価した。これらの結果を表9に示す。
A:割れの発生率が0%
B:割れの発生率が0%を超え3%以下
C:割れの発生率が3%を超える。
実施例A1において作製したガラスブランクをアニールし、歪を低減、除去した。次に、磁気記録媒体ガラス基板の外周となる部分と中心孔になる部分にスクライブ加工を施した。こうした加工で、外側および内側に2つの同心円状の溝を形成する。次いで、スクライブ加工した部分を部分的に加熱して、ガラスの熱膨張の差異により、スクライブ加工した溝に沿ってクラックを発生させ、外側同心円の外側部分と内側同心円の内側部分とが除去される。これにより、真円形状のディスク状ガラスとなる。
実施例C1において作製した磁気記録媒体ガラス基板を用いて、この磁気記録媒体ガラス基板の主表面上に、付着層、下地層、磁性層、保護層、潤滑層をこの順に形成し、磁気記録媒体を得た。まず、真空引きを行った成膜装置を用いて、DCマグネトロンスパッタリング法にて、Ar雰囲気中で、付着層、下地層および磁性層を順次成膜した。このとき、付着層は、厚さ20nmのアモルファスCrTi層となるように、CrTiターゲットを用いて成膜した。続いて枚葉・静止対向型成膜装置を用いて、Ar雰囲気中で、DCマグネトロンスパッタリング法にて下地層としてアモルファスCrRuからなる10nm厚の層を形成した。また、磁性層は、厚さ200nmのアモルファスFePtまたはCoPt層となるように、FePtまたはCoPtターゲットを用いて成膜温度400℃にて成膜した。磁性層までの成膜を終えた磁気記録媒体を成膜装置から加熱炉内に移し、650〜700℃の温度でアニールした。
各基板の主表面(磁気記録層等を積層する面)の5μm×5μmの矩形領域を原子間力顕微鏡(AFM)により観察し、1μm×1μmの範囲で測定される表面粗さの算術平均Ra、5μm×5μmの範囲で測定される表面粗さの算術平均Ra、波長100μm〜950μmにおける表面うねりの算術平均Waを測定した。
(1)平坦性
一般に、平坦度が4μm以内であれば信頼性の高い記録再生を行うことができる。上記方法で形成した各磁気記録媒体表面の平坦度(ディスク表面の最も高い部分と、最も低い部分との上下方向(表面に垂直な方向)の距離(高低差))を、平坦度測定装置で測定したところ、いずれの磁気記録媒体も平坦度は4μm以内であった。この結果から、FePt層またはCoPt層形成時の高温処理においても大きな変形を起こさなかったことが確認できる。なお、使用した平坦度測定装置は、実施例A1等において平坦度の測定に利用したものと同じであり、測定条件も同様である。
上記方法で形成した各磁気記録媒体を、回転数5400rpmの高速で回転する2.5インチ型ハードディスクドライブに搭載し、ロードアンロード(Load Unload、以下、「LUL」と称す)試験を行った。上記ハードディスクドライブにおいて、スピンドルモーターのスピンドルはステンレス製であった。いずれの磁気記録媒体もLULの耐久回数は60万回を超えた。また、LUL試験中にスピンドル材料との熱膨張係数の違いによる変形や高速回転によるたわみが生じると試験中にクラッシュ障害やサーマルアスペリティ障害が生じるが、いずれの磁気記録媒体も試験中にこれら障害は発生しなかった。
なお、以下の表10〜表23に例示するガラス組成からなるガラス(ガラスNo.14〜No.63)を用いて、実施例A1〜A11に示す場合と同様に図1〜図9に示す水平ダイレクトプレスを実施しても、実施例A1〜A11と概ね同程度の耐熱性、平坦度および板厚偏差を有するガラスブランクが得られる。
Claims (11)
- ガラス流出口から鉛直方向の下方側へと連続的に流出する溶融ガラス流の先端部を溶融 ガラス塊として分離して落下させ、
落下中の上記溶融ガラス塊を、当該溶融ガラス塊の落下方向に対して直交する方向に対向配置された第一のプレス成形型および第二のプレス成形型によりプレス成形するプレス成形工程、を少なくとも経て磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブランクを製造し、
上記溶融ガラス塊を構成するガラス材料のガラス転移温度が600℃以上であり、
上記プレス成形工程の実施により、上記溶融ガラス塊が、上記第一のプレス成形型のプレス成形面と上記第二のプレス成形型のプレス成形面との間で完全に押し広げられて板状ガラスに成形された際に、
上記第一のプレス成形型および上記第二のプレス成形型のプレス成形面の少なくとも上記板状ガラスと接触する領域が、略平坦な面であることを特徴とする磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブランクの製造方法。 - 請求項1に記載の磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブランクの製造方法において、
前記磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブランクの、100〜300℃における平均線膨張係数が70×10−7/℃以上、かつ、ヤング率が70GPa以上であることを特徴とする請求項1に磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブランクの製造方法。 - 請求項1または2に記載の磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブランクの製造方法において、
前記ガラス材料のガラス組成が、
モル%表示にて、
SiO2を50〜75%、
Al2O3を0〜5%、
Li2Oを0〜3%、
ZnOを0〜5%、
Na2OおよびK2Oから選択される少なくとも1種の成分を合計で3〜15%、
MgO、CaO、SrOおよびBaOから選択される少なくとも1種の成分を合計で14〜35%、ならびに、
ZrO2、TiO2、La2O3、Y2O3、Yb2O3、Ta2O5、Nb2O5およびHfO2から選択される少なくとも1種の成分を合計で2〜9%、
含み、
モル比{(MgO+CaO)/(MgO+CaO+SrO+BaO)}が0.8〜1の範囲であり、かつ、モル比{Al2O3/(MgO+CaO)}が0〜0.30の範囲であることを特徴とする磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブランクの製造方法。 - 請求項1または2に記載の磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブランクの製造方法において、
前記ガラス材料のガラス組成が、
モル%表示にて、
SiO2を56〜75%、
Al2O3を1〜11%、
Li2Oを0%超かつ4%以下、
Na2Oを1%以上かつ15%未満、
K2Oを0%以上3%未満、
含み、かつ、BaOを実質的に含まず、
Li2O、Na2OおよびK2Oからなる群から選ばれるアルカリ金属酸化物の合計含有量が6〜15%の範囲であり、
Na2O含有量に対するLi2O含有量のモル比(Li2O/Na2O)が0.50未満であり、
上記アルカリ金属酸化物の合計含有量に対するK2O含有量のモル比{K2O/(Li2O+Na2O+K2O)}が0.13以下であり、
MgO、CaOおよびSrOからなる群から選ばれるアルカリ土類金属酸化物の合計含有量が10〜30%の範囲であり、
MgOおよびCaOの合計含有量が10〜30%の範囲であり、
上記アルカリ土類金属酸化物の合計含有量に対するMgOおよびCaOの合計含有量のモル比{(MgO+CaO)/(MgO+CaO+SrO)}が0.86以上であり、
上記アルカリ金属酸化物およびアルカリ土類金属酸化物の合計含有量が20〜40%の範囲であり、
上記アルカリ金属酸化物およびアルカリ土類金属酸化物の合計含有量に対するMgO、CaOおよびLi2Oの合計含有量のモル比{(MgO+CaO+Li2O)/(Li2O+Na2O+K2O+MgO+CaO+SrO)}が0.50以上であり、
ZrO2、TiO2、Y2O3、La2O3、Gd2O3、Nb2O5およびTa2O5からなる群から選ばれる酸化物の合計含有量が0%超かつ10%以下であり、
Al2O3含有量に対する上記酸化物の合計含有量のモル比{(ZrO2+TiO2+Y2O3+La2O3+Gd2O3+Nb2O5+Ta2O5)/Al2O3}が0.40以上である
ことを特徴とする磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブランクの製造方法。 - 請求項1〜4のいずれか1つに記載の磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブランクの製造方法において、
所定のガラス組成となるように調製したガラス原料を加熱および溶融して溶融ガラスを作製し、
当該溶融ガラスを前記ガラス流出口から垂下させ、鉛直方向の下方側へと連続的に流出する前記溶融ガラス流の前記先端部を切断することにより、前記溶融ガラス塊を形成し、
前記溶融ガラス流の粘度が、500〜1050dPa・sの範囲内で一定値に維持されることを特徴とする磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブランクの製造方法。 - 請求項1〜5のいずれか1つに記載の磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブランクの製造 方法において、
前記第一のプレス成形型および前記第二のプレス成形型によって前記前記磁気記録媒体 ガラス基板用ガラスブランクの外周端面が規制されず、前記外周端面が自由表面となるよ うに、前記プレス成形工程を実施することを特徴とする磁気記録媒体ガラス基板用ガラス ブランクの製造方法。 - 請求項1〜6のいずれか1つに記載の磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブランクの製造 方法において、
前記ガラス流出口から鉛直方向の下方側へと連続的に流出する前記溶融ガラス流の前記 先端部が前記溶融ガラス塊として分離される位置から、前記プレス成形の開始時点の位置 までの、前記溶融ガラス塊の落下距離が100mm以上1000mm以下の範囲内である ことを特徴とする磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブランクの製造方法。 - 請求項1〜7のいずれか1つに記載の磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブランクの製造 方法において、
前記第一のプレス成形型および前記第二のプレス成形型は、各々、プレス成形型本体と 、ガイド面を備えると共に、上記プレス成形型本体のプレス成形面に対して前記ガイド面 が突出するように、上記プレス成形型本体の外周端側に配置されたガイド部材と、を有し 、
前記プレス成形に際して、前記第一のプレス成形型側のガイド面と、前記第二のプレス 成形型側のガイド面とが接触することを特徴とする磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブラ ンクの製造方法。 - 請求項8に記載の磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブランクの製造方法において、
前記プレス成形の開始時点から、前記第一のプレス成形型側のガイド面と、前記第二の プレス成形型側のガイド面とが接触した状態となるまでに要するプレス成形時間が0.1 秒以内であることを特徴とする磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブランクの製造方法。 - ガラス流出口から鉛直方向の下方側へと連続的に流出する溶融ガラス流の先端部を溶融 ガラス塊として分離して落下させ、
落下中の上記溶融ガラス塊を、当該溶融ガラス塊の落下方向に対して直交する方向に対向配置された第一のプレス成形型および第二のプレス成形型によりプレス成形するプレス成形工程、を少なくとも経て磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブランクを製造した後、
上記磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブランクの主表面を研磨する研磨工程を少なくとも経て、磁気記録媒体ガラス基板を製造し、かつ、
上記溶融ガラス塊を構成するガラス材料のガラス転移温度が600℃以上であり、
上記プレス成形工程の実施により、上記溶融ガラス塊が、上記第一のプレス成形型のプレス成形面と上記第二のプレス成形型のプレス成形面との間で完全に押し広げられて板状ガラスに成形された際に、
上記第一のプレス成形型および上記第二のプレス成形型のプレス成形面の少なくとも上記板状ガラスと接触する領域が、略平坦な面であることを特徴とする磁気記録媒体ガラス基板の製造方法。 - ガラス流出口から鉛直方向の下方側へと連続的に流出する溶融ガラス流の先端部を溶融 ガラス塊として分離して落下させ、
落下中の上記溶融ガラス塊を、当該溶融ガラス塊の落下方向に対して直交する方向に対向配置された第一のプレス成形型および第二のプレス成形型によりプレス成形するプレス成形工程、を少なくとも経て磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブランクを製造した後、
上記磁気記録媒体ガラス基板用ガラスブランクの主表面を研磨する研磨工程を少なくとも経て、磁気記録媒体ガラス基板を製造し、さらに、
上記磁気記録媒体ガラス基板上に磁気記録層を形成する磁気記録層形成工程を少なくとも経て、磁気記録媒体を製造し、かつ、
上記溶融ガラス塊を構成するガラス材料のガラス転移温度が600℃以上であり、
上記プレス成形工程の実施により、上記溶融ガラス塊が、上記第一のプレス成形型のプレス成形面と上記第二のプレス成形型のプレス成形面との間で完全に押し広げられて板状ガラスに成形された際に、
上記第一のプレス成形型および上記第二のプレス成形型のプレス成形面の少なくとも上記板状ガラスと接触する領域が、略平坦な面であることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
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