JP5582188B2 - 偏心量測定方法 - Google Patents
偏心量測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5582188B2 JP5582188B2 JP2012510550A JP2012510550A JP5582188B2 JP 5582188 B2 JP5582188 B2 JP 5582188B2 JP 2012510550 A JP2012510550 A JP 2012510550A JP 2012510550 A JP2012510550 A JP 2012510550A JP 5582188 B2 JP5582188 B2 JP 5582188B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- measuring
- eccentricity
- light source
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 title description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 341
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 93
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 74
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 72
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 22
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 14
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 11
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 10
- 241000276498 Pollachius virens Species 0.000 description 5
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000036544 posture Effects 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 238000000748 compression moulding Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0221—Testing optical properties by determining the optical axis or position of lenses
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0242—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations
- G01M11/025—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations by determining the shape of the object to be tested
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Geometry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
この第1フランジ面調整工程は、レンズ1の傾きによる姿勢誤差に起因する偏心を補正するために、第1フランジ面3aを偏心測定装置100の光軸320に垂直に調整する工程である。図5(a)に示すように、レンズ1は、保持部500によって、例えばフランジ部3の第2フランジ面3bとレンズ端面3cとを基準として、光軸320の周りに回動可能に保持されるとともに、光軸320に平行に移動可能に保持されている。
この第1光源像位置測定工程は、第1光学面2aで反射された光源210の像の位置を測定する工程である。図4のステップS21で、図5(b)に示すように、平行光の照明光213の一部が曲率半径r1の凸の第1光学面2aで反射され、第1光学面2aの頂点部から曲率中心に向かって約r1/2の位置D1に光源210の像として結像されるため、対物レンズ240とレンズ1との間隔を変えることにより、対物レンズ240の焦点243は、位置D1に合焦する。これによって、測定光学系300を介して、測定用センサ400の撮像面410上に、第1光学面2aで反射された光源210の発光部211の像が結像する。
この第2光源像位置測定工程は、第2光学面2bで反射された光源210の像の位置を測定する工程である。図4のステップS31で、図6(a)に示すように、平行光の照明光213の一部が曲率半径r2の凸の第2光学面2bで反射され、第2光学面2bの頂点部から曲率中心に向かって約r2/2の位置D2に光源210の像として結像されるため、対物レンズ240とレンズ1との間隔を変えることによって、対物レンズ240の焦点243が位置D1に合焦させられる。これによって、測定光学系300を介して、測定用センサ400の撮像面410上に、第2光学面2bで反射された光源210の発光部211の像が結像することができる。
この第2フランジ面傾き測定工程は、第2フランジ面3bの傾きを測定する工程である。図4のステップS41で、対物レンズ240として干渉対物レンズが用いられ、対物レンズ240の焦点243がレンズ1の第2フランジ面3bに合わせられる。
この偏心量算出工程は、第1光学面2aと第2光学面2bとの相対偏心量を算出する工程である。図4のステップS51で、上述した(S2)第1光源像位置測定工程で測定された、第1光学面2aで反射された光源210の像の第1の位置Iaと、(S3)第2光源像位置測定工程で測定された、第2光学面2bで反射された光源210の像の第2の位置Ibとから、第1光学面2aと第2光学面2bとの相対的な偏心量が算出される。より具体的には、測定用センサ上における、位置Iaと位置Ibとの距離より相対的な偏心量が算出される。
この第1フランジ面調整工程は、第1フランジ面3aを偏心測定装置100の光軸320に垂直に調整する工程である。この工程は、図4および図5(a)に示した第1の実施の形態の(S1)第1フランジ面調整工程と同じ工程であるので、その説明は、省略する。
このセンターマーク位置測定工程は、第1光学面2aに設けられたセンターマーク2cの位置を測定する工程である。図9のステップS61で、図10(a)に示すように、対物レンズ240の焦点243が第1光学面2aに設けられたセンターマーク2cに合焦するように、対物レンズ240とレンズ1との間隔が変えられる。これによって、測定光学系300を介して、測定用センサ400の撮像面410上に、センターマーク2cの像が結像する。
この第2光源像位置測定工程は、第2光学面2bで反射された光源210の像の位置を測定する工程である。この工程は、図4および図6(a)に示した第1の実施の形態の(S3)第2光源像位置測定工程と同じ工程であるので、その説明は、省略する。
この第2フランジ面傾き測定工程は、第2フランジ面3bの傾きを測定する工程である。この工程も、図4および図6(b)に示した第1の実施の形態の(S4)第2フランジ面傾き測定工程と同じ工程であるので、その説明は、省略する。
この偏心量算出工程は、第1光学面2aと第2光学面2bとの相対偏心量を算出する工程である。図9のステップS53で、上述した(S2)センターマーク位置測定工程で測定された、第1光学面2aに設けられたセンターマーク2cの像の位置Icと、(S3)第2光源像位置測定工程で測定された、第2光学面2bで反射された光源210の像の第2の位置Ibとから、第1光学面2aと第2光学面2bとの相対的な偏心量が算出される。偏心量の算出方法は、第1の実施の形態と同じである。
この第1フランジ面調整工程は、第1フランジ面3aを偏心測定装置100の光軸320に垂直に調整する工程である。この工程は、図4および図5(a)に示した第1の実施の形態の(S1)第1フランジ面調整工程と同じ工程であるので、その説明は、省略する。
このアライメントマーク位置測定工程は、第1フランジ面3a上に形成されたアライメントマーク4の位置を測定する工程である。図13のステップS71で、レンズアレイ10が、図12に示したx−y面内で走査されるとともに、対物レンズ240の焦点243が、アライメントマーク4に合焦される。ステップS72で、測定用センサ400の撮像面410上に結像されたアライメントマーク4の像の位置が測定され、記憶される。
この第1光源像位置測定工程は、第1光学面2aで反射された光源210の像の位置を測定する工程である。この工程は、図4および図5(b)に示した第1の実施の形態の(S2)第1光源像位置測定工程と同じ工程であるので、その説明は、省略する。
この第2光源像位置測定工程は、第2光学面2bで反射された光源210の像の位置を測定する工程である。この工程は、図4および図6(a)に示した第1の実施の形態の(S3)第2光源像位置測定工程と同じ工程であるので、その説明は、省略する。
この偏心量算出工程は、第1光学面2aと第2光学面2bとの相対偏心量、およびアライメントマーク4と各レンズ1の中心とのズレ量を算出する工程である。図13のステップS51で、各レンズ1毎に、上述した(S2)第1光源像位置測定工程で測定された、第1光学面2aで反射された光源210の像の第1の位置Iaと、(S3)第2光源像位置測定工程で測定された、第2光学面2bで反射された光源210の像の第2の位置Ibとから、第1光学面2aと第2光学面2bとの相対的な偏心量が算出される。偏心量の算出方法は、第1の実施の形態と同じである。
この第1フランジ面調整工程は、第1フランジ面3aを偏心測定装置100の光軸320に垂直に調整する工程である。この工程は、図4および図5(a)に示した第1の実施の形態の(S1)第1フランジ面調整工程と同じ工程であるので、その説明は、省略する。
この外形中心測定工程は、ミラー1を光軸320に垂直な方向に走査して、ミラー1の外形の中心の位置を測定する工程である。第4の実施の形態では、ミラー1は、保持部500によって、光軸320の周りに回動可能かつ光軸320に平行に移動可能に保持されているだけでなく、光軸320に垂直な少なくとも2方向に移動可能に保持されている。
この第1光源像位置測定工程は、第1光学面2aで反射された光源210の像の位置を測定する工程である。この工程は、図4および図5(b)に示した第1の実施の形態の(S2)第1光源像位置測定工程と同じ工程であるので、その説明は、省略する。
この偏心量算出工程は、ミラー1の外形の中心C(x,y)と第1光学面2aとの偏心量を算出する工程である。上述した(S7)外形中心測定工程で測定されたミラー1の外形の中心C(x,y)と、(S3)第1光源像位置測定工程で測定された第1光学面2aで反射された光源210の像の第1の位置Iaとから、ミラー1の外形の中心C(x,y)と第1光学面2aとの偏心量が、測定用センサ上における中心Cの位置と位置Iaとの距離により算出される。
Claims (4)
- 対向する第1光学面と第2光学面とを有する光学素子の偏心量測定方法であって、
前記第1光学面に設けられたセンターマークの位置を測定するセンターマーク位置測定工程と、
光源からの照明光を平行光にして前記第2光学面に入射させ、前記第2光学面での前記照明光の反射によって結像される前記光源の像の位置を測定する第2光源像位置測定工程と、
前記センターマークの位置と、前記光源の像の位置とに基づいて、前記第1光学面と前記第2光学面との相対的な偏心量を算出する偏心量算出工程とを備えたこと
を特徴とする偏心量測定方法。 - 対向する第1光学面と第2光学面とを有する光学素子が、光軸に垂直な方向に複数個連結されて構成された光学素子アレイの偏心量測定方法であって、
前記光学素子アレイに設けられたアライメントマークの位置を測定するアライメントマーク位置測定工程と、
前記光学素子アレイを構成する光学素子毎に、
光源からの照明光を平行光にして前記光学素子の前記第1光学面に入射させ、前記第1光学面での前記照明光の反射によって結像される前記光源の像の第1の位置を測定する第1光源像位置測定工程と、
前記照明光を平行光にして前記第2光学面に入射させ、前記第2光学面での前記照明光の反射によって結像される前記光源の像の第2の位置を測定する第2光源像位置測定工程と、
前記第1の位置と前記第2の位置とに基づいて、前記光学素子毎の前記第1光学面と前記第2光学面との相対的な偏心量を算出する偏心量算出工程と、
前記アライメントマークの位置と、前記偏心量に基づいて、前記光学素子毎に、前記アライメントマークと各光学素子の中心とのズレ量を算出するズレ量算出工程とを備えたこと
を特徴とする偏心量測定方法。 - 前記光学素子は、少なくとも第1フランジ面を有する第1フランジ部を備え、
前記第1フランジ面が前記照明光の光軸に垂直となるように調整する第1フランジ面調整工程を備えたこと
を特徴とする請求項1または2に記載の偏心量測定方法。 - 前記光学素子は、前記第1フランジ面に対向する第2フランジ面を有する第2フランジ部を備え、
前記第2フランジ面の前記照明光の光軸からの傾きを測定する第2フランジ面傾き測定工程をさらに備え、
前記偏心量算出工程は、前記第2フランジ面傾き測定工程で求められた前記第2フランジ面の前記照明光の光軸からの傾きとに基づいて、前記光学素子の平行偏心量と傾き偏心量とを求める工程であること
を特徴とする請求項3に記載の偏心量測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012510550A JP5582188B2 (ja) | 2010-04-13 | 2011-04-05 | 偏心量測定方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010092057 | 2010-04-13 | ||
JP2010092057 | 2010-04-13 | ||
JP2012510550A JP5582188B2 (ja) | 2010-04-13 | 2011-04-05 | 偏心量測定方法 |
PCT/JP2011/002018 WO2011129068A1 (ja) | 2010-04-13 | 2011-04-05 | 偏心量測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2011129068A1 JPWO2011129068A1 (ja) | 2013-07-11 |
JP5582188B2 true JP5582188B2 (ja) | 2014-09-03 |
Family
ID=44798456
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012510550A Expired - Fee Related JP5582188B2 (ja) | 2010-04-13 | 2011-04-05 | 偏心量測定方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8665425B2 (ja) |
JP (1) | JP5582188B2 (ja) |
CN (1) | CN102822656B (ja) |
WO (1) | WO2011129068A1 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW201423035A (zh) * | 2012-12-14 | 2014-06-16 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 光耦合透鏡檢測系統及其檢測方法 |
CN106104247B (zh) * | 2014-03-28 | 2018-07-20 | 柯尼卡美能达株式会社 | 非球面的偏心量测定方法以及形状解析方法 |
DE102014208636B4 (de) * | 2014-05-08 | 2018-06-28 | Asphericon Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Messung einer Dezentrierung und Verkippung von Flächen eines optischen Elements |
WO2016021028A1 (ja) * | 2014-08-07 | 2016-02-11 | 日立化成株式会社 | レンズシートの検査方法及びそれによって得られるレンズシート、レンズ付き光導波路、並びに、レンズ付き電気配線板 |
JP6542356B2 (ja) * | 2014-08-15 | 2019-07-10 | ザイゴ コーポレーションZygo Corporation | レンズ及びレンズ金型の光学評価 |
EP3037800B1 (de) * | 2014-12-24 | 2018-04-04 | Trioptics GmbH | Messung der Positionen von Krümmungsmittelpunkten optischer Flächen eines ein-oder mehrlinsigen optischen Systems |
JP6218261B2 (ja) * | 2015-10-23 | 2017-10-25 | 株式会社カツラ・オプト・システムズ | 光学素子特性測定装置 |
JP6812445B2 (ja) * | 2015-12-31 | 2021-01-13 | ザイゴ コーポレーションZygo Corporation | 干渉計の光学的性能を最適化するための方法および装置 |
JP7204428B2 (ja) * | 2018-11-02 | 2023-01-16 | キヤノン株式会社 | 偏心計測方法、レンズ製造方法、および偏心計測装置 |
EP3961180A1 (de) * | 2020-09-01 | 2022-03-02 | Engelbert Hofbauer | Verfahren zur vermessung optischer linsenflächen |
CN113310455B (zh) * | 2021-04-08 | 2023-07-11 | 超丰微纳科技(宁波)有限公司 | 一种检测模压成型加工双面镜偏心量的方法 |
CN113701997B (zh) * | 2021-07-23 | 2024-05-14 | 歌尔光学科技有限公司 | 光学镜头偏心测试系统及方法 |
WO2023160815A1 (de) * | 2022-02-28 | 2023-08-31 | Engelbert Hofbauer | Verfahren zur vermessung optischer linsenflächen |
CN116592795B (zh) * | 2023-07-14 | 2023-09-26 | 浙江至格科技有限公司 | 一种ar镜片平行度测量方法及系统 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57113342A (en) * | 1980-12-29 | 1982-07-14 | Ricoh Co Ltd | Eccentricity measurement |
JPH09138181A (ja) * | 1995-11-15 | 1997-05-27 | Nikon Corp | 光学系の屈折力および曲率半径の測定装置 |
JP2002071344A (ja) * | 2000-08-28 | 2002-03-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 形状測定方法及び装置 |
JP2005090962A (ja) * | 2003-09-11 | 2005-04-07 | Ricoh Co Ltd | 光学素子の測定方法および測定装置 |
WO2007018118A1 (ja) * | 2005-08-05 | 2007-02-15 | Mitaka Kohki Co., Ltd. | レンズにおける表裏面の光軸偏芯量の測定方法 |
JP2007047131A (ja) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Hoya Corp | 非球面レンズの測定方法、非球面レンズの測定装置、非球面レンズの測定プログラム、非球面レンズの製造方法及び非球面レンズ |
JP2009097952A (ja) * | 2007-10-16 | 2009-05-07 | Ricoh Co Ltd | 光学素子及びその偏心測定方法 |
JP2010019832A (ja) * | 2008-06-10 | 2010-01-28 | Fujinon Corp | 偏芯量測定方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03127003A (ja) | 1989-10-13 | 1991-05-30 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 多心光ファイバ一括接続部 |
JPH04106447A (ja) | 1990-08-27 | 1992-04-08 | Olympus Optical Co Ltd | 偏芯測定機用光学系 |
JP3127003B2 (ja) | 1991-06-14 | 2001-01-22 | オリンパス光学工業株式会社 | 非球面レンズ偏心測定方法 |
JP3725817B2 (ja) * | 2001-11-20 | 2005-12-14 | オリンパス株式会社 | 非球面レンズの偏心測定方法及び偏心測定装置 |
CN1458647A (zh) * | 2002-05-15 | 2003-11-26 | 建碁股份有限公司 | 薄型光盘机偏重心片检测方法 |
JP4106447B2 (ja) | 2003-01-17 | 2008-06-25 | ハリマ化成株式会社 | 導電性金ペーストを用いた無電解金メッキ代替導電性金皮膜の形成方法 |
JP4474150B2 (ja) * | 2003-11-28 | 2010-06-02 | キヤノン株式会社 | 偏心測定方法 |
US7349161B1 (en) * | 2006-10-20 | 2008-03-25 | E-Pin Optical Industry Co., Ltd. | Molding lens with indentation for measuring eccentricity and method for measuring eccentricity thereof |
EP2184596B1 (en) * | 2007-08-27 | 2018-11-14 | Nikon Corporation | Wavefront aberration measuring device and method and wavefront aberration adjusting method |
JP2010237189A (ja) * | 2009-03-11 | 2010-10-21 | Fujifilm Corp | 3次元形状測定方法および装置 |
-
2011
- 2011-04-05 US US13/640,709 patent/US8665425B2/en active Active
- 2011-04-05 WO PCT/JP2011/002018 patent/WO2011129068A1/ja active Application Filing
- 2011-04-05 JP JP2012510550A patent/JP5582188B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2011-04-05 CN CN201180018489.XA patent/CN102822656B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57113342A (en) * | 1980-12-29 | 1982-07-14 | Ricoh Co Ltd | Eccentricity measurement |
JPH09138181A (ja) * | 1995-11-15 | 1997-05-27 | Nikon Corp | 光学系の屈折力および曲率半径の測定装置 |
JP2002071344A (ja) * | 2000-08-28 | 2002-03-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 形状測定方法及び装置 |
JP2005090962A (ja) * | 2003-09-11 | 2005-04-07 | Ricoh Co Ltd | 光学素子の測定方法および測定装置 |
WO2007018118A1 (ja) * | 2005-08-05 | 2007-02-15 | Mitaka Kohki Co., Ltd. | レンズにおける表裏面の光軸偏芯量の測定方法 |
JP2007047131A (ja) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Hoya Corp | 非球面レンズの測定方法、非球面レンズの測定装置、非球面レンズの測定プログラム、非球面レンズの製造方法及び非球面レンズ |
JP2009097952A (ja) * | 2007-10-16 | 2009-05-07 | Ricoh Co Ltd | 光学素子及びその偏心測定方法 |
JP2010019832A (ja) * | 2008-06-10 | 2010-01-28 | Fujinon Corp | 偏芯量測定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20130027692A1 (en) | 2013-01-31 |
US8665425B2 (en) | 2014-03-04 |
CN102822656A (zh) | 2012-12-12 |
WO2011129068A1 (ja) | 2011-10-20 |
CN102822656B (zh) | 2016-05-11 |
JPWO2011129068A1 (ja) | 2013-07-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5582188B2 (ja) | 偏心量測定方法 | |
CN107076985B (zh) | 具有弯曲焦面或目标基准元件和场补偿器的共焦成像设备 | |
JP4767255B2 (ja) | レンズにおける表裏面の光軸偏芯量の測定方法 | |
JP6542355B2 (ja) | レンズ及びレンズ金型の光学評価 | |
JP2010281792A (ja) | 非球面体測定方法および装置 | |
JP2014163895A (ja) | シャック・ハルトマンセンサーを用いた状計測装置、形状計測方法 | |
JP6000578B2 (ja) | 非球面計測方法、非球面計測装置、光学素子加工装置および光学素子の製造方法 | |
JP5774546B2 (ja) | レンズ調芯装置および撮像レンズ | |
CN110702036B (zh) | 一种复光束角度传感器及小型非球面形貌检测方法 | |
JP2011058872A (ja) | オートコリメータを用いた光学素子の偏心調整方法及び偏心測定方法、並びにレンズ加工方法 | |
JP2002250622A (ja) | 光学素子及びその型の形状測定方法及び装置 | |
JP2011085432A (ja) | 軸上色収差光学系および三次元形状測定装置 | |
JP3726028B2 (ja) | 3次元形状計測装置 | |
KR101679941B1 (ko) | 임프린트 장치 및 디바이스 제조 방법 | |
CN206019600U (zh) | 一种检测非球面透镜透射波面的系统 | |
JP2016003900A (ja) | 計測装置、計測方法、光学素子の加工装置、および、光学素子 | |
JP2013195410A (ja) | 検出装置及び検出方法 | |
JP2014013308A (ja) | 画像取得装置及び画像取得方法 | |
CN107702641B (zh) | 一种检测非球面透镜透射波面的系统及方法 | |
TWI596325B (zh) | 決定物體或透明光學元件的資訊的方法與系統以及形成光學組件方法 | |
JP7289780B2 (ja) | 偏芯計測方法および偏芯計測装置 | |
JPH07311117A (ja) | 多眼レンズ位置測定装置 | |
US20240053516A1 (en) | Microlens array for acquiring multi-focus plenoptic image and method of manufacturing the same | |
JP2008292218A (ja) | 面形状測定装置、面形状測定方法、および顕微鏡対物光学系 | |
JP2018072375A (ja) | 光学部品保持枠の偏心量測定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20130418 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130521 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140121 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140409 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20140417 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140617 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140630 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5582188 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |