JP5426180B2 - リニアモータ - Google Patents

Description

本発明は、リニアモータに関するものであり、特に、コイルに発生する熱の放出に関するものである。

リニアモータには、下記の特許文献１および２に記載されているように、互いに相対移動させられる電機子と磁石列とを備えたものがある。特許文献１に記載のリニアモータは、磁石列が互いに対向して２列、固定して設けられ、それら磁石列の間を電機子が移動させられるものとされている。２列の磁石列はそれぞれ、長手形状のヨークに複数の永久磁石が極性が交互に変わる状態で固定されて成り、電機子は、互いに独立した複数のコアブロックの各々にコイルが巻かれ、それらコアブロックが移動方向に一列に並んで配列されるとともに、それぞれ移動子の裏面に取り付けられ、移動子を介して一体的に連結されて成るものとされている。コアブロックは、その磁石列と対向する両端にそれぞれフランジを備えるとともに、対向方向の中央部に、配列方向に平行な方向の寸法がフランジより大きい取付部が設けられ、両端のフランジの各々と取付部との間にそれぞれコイルが巻かれている。複数のコアブロックは、各取付部に設けられた係合突部および係合凹部が隣接するコアブロック同士で係合させられることにより対向方向に位置決めされるとともに、取付部において移動子に取り付けられ、それぞれコイルが巻かれた複数のコアを含む２つのコア群がそれぞれ、２列の磁石列の各々に対向させられ、コイルへの電流供給によってコイルと磁石との間に生じる推進力により、移動子が一直線に沿って移動させられる。

特許文献２に記載のリニアモータは、固定して設けられた１列の磁石列と、その磁石列に対向して設けられ、磁石列に平行な一直線に沿って移動させられる電機子とを有する。電機子は、櫛歯の複数の歯によりそれぞれ構成され、一体に設けられた複数のコアを備え、それらコアにコイルが千鳥状に巻かれている。複数のコアのうち、それらコアの並び方向において互いに隣接する２つのコアのうちの一方は、コアの基端部側にコイルが巻かれ、他方はコアの先端部側にコイルが巻かれているのである。

このようにリニアモータが２列対向型であっても、単列型であっても、電流供給によりコイルが熱を発生する。そのため、下記の特許文献３に記載のリニアモータにおいては、ヒートパイプを用いて放熱が行われるようにされている。ヒートパイプは、その一端部がコイルと共に熱伝導性を有する合成樹脂により固められるとともに、他端部がヒートシンクに嵌合され、コイルに発生する熱がヒートパイプからヒートシンクへ逃がされ、外部へ放出されてコイルの温度上昇が抑制されるようにされているのである。

特開２０００−３７０７０公報 特開２００２−３４２３０公報 米国特許第６００５３１０号公報

本発明は、以上の事情を背景として為されたものであり、複数のコアの各々に巻かれたコイルが千鳥状に配設されるとともに、ヒートパイプを用いて放熱が行われるリニアモータの提供を課題とする。

上記の課題は、複数の永久磁石が極性が交互に変わる状態で長手形状のヨークに固定されて成る磁石列と、複数のコアにそれぞれコイルが巻かれて成る電機子とが互いに近接して配置され、コイルに電流が供給されることにより一直線に沿って相対移動させられるリニアモータにおいて、上記磁石列に対向する対向方向に延びる複数のコアを上記一直線に平行な整列方向に整列させ、それら複数のコアの前記整列方向において互いに隣接するもの同士に関して、コイルを、千鳥状にかつ上記対向方向に隙間を隔てて配設し、それらコイル間の前記隙間に、複数のコアの整列方向とそれら複数のコアの各々が延びる方向との両方に直角な方向に延びる複数のヒートパイプの各一端部を挿入する一方、それらヒートパイプの各他端部を隙間の外部に突出させ、それら突出した他端部の各々に複数のフィンを設けることにより解決される。
磁石列が固定子とされ、電機子が可動子とされてもよく、逆にされてもよい。
複数のコアは、一体に設けられたものでもよく、互いに独立した複数のコアブロックでもよい。
磁石列は、鉛直に設けられてもよく、水平に設けられてもよく、鉛直および水平に対して傾斜した方向に設けられてもよい。電機子は磁石列の姿勢に応じた姿勢で配設される。

上記構成のリニアモータにおいては、ヒートパイプが、複数のコアの整列方向とそれら複数のコアの各々が延びる方向との両方に直角な方向に延びる状態で複数設けられ、それらヒートパイプの各一端部が、整列方向において互いに隣接するコイル間の対向方向の隙間に挿入される一方、各他端部が隙間の外部に突出させられ、それら他端部の各々に複数のフィンが設けられるため、各ヒートパイプが短くて済み、各ヒートパイプに２つずつのコイルから熱が伝達され、放熱が効率良くかつ均等に行われる。それにより、電機子を構成するコイルの温度上昇が良好に抑制され、コイルへの供給電流を増大させることにより、所定の推進力を得つつ、コイルの巻数を低減させて電機子を小形，軽量化することができ、あるいはコイルの巻数は変えず、電機子を大形化させることなく、リニアモータの推進力を増大させることができる。また、２つのコイルが１つのヒートパイプを共用するため、電機子の小形，軽量化等の効果を安価に得ることができる。さらに、放熱性の向上により、電機子に結合される部材への熱の伝達が軽減され、リニアモータにより移動させられる可動部材の移動精度の低下が抑制される。

発明の態様

以下に、本願において特許請求が可能と認識されている発明（以下、「請求可能発明」という場合がある。請求可能発明は、少なくとも、請求の範囲に記載された発明である「本発明」ないし「本願発明」を含むが、本願発明の下位概念発明や、本願発明の上位概念あるいは別概念の発明を含むこともある。）の態様をいくつか例示し、それらについて説明する。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも請求可能発明の理解を容易にするためであり、請求可能発明を構成する構成要素の組み合わせを、以下の各項に記載されたものに限定する趣旨ではない。つまり、請求可能発明は、各項に付随する記載，実施形態の記載，従来技術等を参酌して解釈されるべきであり、その解釈に従う限りにおいて、各項の態様にさらに他の構成要素を付加した態様も、また、各項の態様から構成要素を削除した態様も、請求可能発明の一態様となり得るのである。

（１）複数の永久磁石が極性が交互に変わる状態で長手形状のヨークに固定されて成る磁石列と、複数のコアにそれぞれコイルが巻かれて成る電機子とが互いに近接して配置され、コイルに電流が供給されることにより一直線に沿って相対移動させられるリニアモータであって、
前記磁石列に対向する対向方向に延びる複数のコアが前記一直線に平行な方向に並んだ状態に整列し、それら複数のコアの前記整列方向において互いに隣接するもの同士に関して、前記コイルが、千鳥状にかつ前記対向方向に隙間を隔てて配設され、それらコイル間の前記隙間に、ヒートパイプの一端部が挿入される一方、他端部が前記隙間の外部に突出させられ、それら突出した他端部の各々に複数のフィンが設けられたことを特徴とするリニアモータ。
（２）前記磁石列が、前記対向方向において互いに対向して２列配設され、それら２列の磁石列の各々に対向する状態で前記複数のコアの群がそれぞれ配設され、各コア群に関して前記複数のコイルが千鳥状に配設され、それら千鳥状に配設されたコイルの隙間に前記ヒートパイプの前記一端が挿入された(1)項に記載のリニアモータ。
磁石列が２列配設されたリニアモータによれば、１列配設されたリニアモータに比較して大きい駆動力が得られる。
本項のリニアモータにおいては、２つの磁石列に対応する２つのコア群の各々に関してコイルが千鳥状に配設されるため、２つの磁石列の一方に対応するコア群と他方に対応するコア群とに関して千鳥状に配設される場合に比較して、１つのコイルの各巻き数が小さくて済み、各コイルからのヒートパイプによる放熱がより効率良く行われる。
（３）前記複数のコアが、互いに独立したコアブロックであり、それら複数のコアブロックが連結装置により互いに連結された(1)項または(2)項に記載のリニアモータ。
複数のコアが互いに独立したコアブロックであれば、コイルの巻付けを複数のコアが連結されていない状態で行うことができ、隣接するコア同士がコイルの巻付けを互いに妨げ合うことがなく、また、複数のコアブロックをそれぞれ、コイルの巻付けに適した姿勢とすることができる。そのため、コイルの巻付けを容易に行うことができるとともに、１つのコアブロックについてコイルを巻き付けることが可能なスペースの面積（対向方向に平行な断面の面積）に対してコイルが占める率（占積率）を高くすることができる。
複数のコアブロックは連結装置により機械的に連結されてもよいが、接着により連結されてもよい。
電機子の両側に磁石列が２列配設される場合、電気子のそれら磁石列の各々に対向する両端のいずれにも複数のコアを連結する連結部を設けることができない。それに対し、コイルを千鳥状に設ければ、コイルが巻かれず、コアブロックの表面が露出した部分が生じるため、その部分を連結に利用することができ、連結専用の部分を設ける場合に比較してコアブロックを対向方向において小形化し、軽量化することができ、その点に関してコイルの千鳥状の配置は２列対向型のリニアモータに適していると言える。(4)項に記載のリニアモータについても同様である。
（４）前記磁石列が前記対向方向において互いに対向して２列配設され、前記複数のコアが、互いに独立し、かつ、両端において前記２列の磁石列にそれぞれ対向させられるとともに連結装置により互いに連結された複数のコアブロックにより構成され、それら複数のコアブロックの前記２列の磁石列の一方に対向する部分に巻かれたコイルと、前記２列の磁石列の他方に対向する部分に巻かれたコイルとが千鳥状にかつ前記対向方向において隙間を隔てて配設され、それら隙間に前記ヒートパイプの前記一端部が挿入された(1)項に記載のリニアモータ。
複数のコアブロックのうち、隣接する２つのコアブロックの一方の、２列の磁石列の一方に対向する部分と、他方のコアブロックの、他方の磁石列に対向する部分とにそれぞれコイルが巻かれる。２列の磁石列に対して、コイルが千鳥状に配置されたコア群が１群、対向させられるのであり（コアブロックのみに着目すれば複数のコアの群がそれぞれ、２列の磁石列に対向させられている）、隣接するコアブロックの各コイルについて１つのヒートパイプおよびそのヒートパイプに設けられた複数のフィンにより放熱が行われる。
（５）前記複数のコアブロックの各々が、四角形の平板の両端にそれぞれフランジが形成された形状を有し、それら平板状コアブロックがそれらの中央部間にアルミニウム合金製のスペーサが挟まれた状態で前記整列方向に配列された(3)項または(4)項に記載のリニアモータ。
隣接するコアブロックの間隔がスペーサにより、隣接するコアブロックの各フランジ同士が接触しない大きさに決められる。そのため、コアブロックに、隣接するコアブロック間の間隔を決める位置決め部を設けなくてよく、その分、コアブロックを軽量化することができる。スペーサはアルミニウム合金製であるため、強磁性材料によりコアブロックと一体に形成される位置決め部より比重が小さく、スペーサが配設されても電機子の軽量化の効果が得られる。また、アルミニウム合金は非磁性材料であるため、磁路を形成せず、磁束はコアブロックおよび永久磁石等を通って形成される。
（６）前記複数のコアブロックの各々が、四角形の平板の両端にそれぞれフランジが形成された形状を有し、それら複数のコアブロックの各々に、各コアブロックを前記整列方向および前記対向方向に直角な方向である直交方向に貫通する貫通穴が形成され、かつ、前記連結装置が、前記複数のコアブロックの前記直交方向の両端の一方と他方とにそれぞれ跨って延びる２本の桁材と、前記複数のコアブロックの各々の貫通穴にそれぞれ挿通され、前記２本の桁材を結合することにより、それら２本の桁材を前記複数のコアブロックの両端面に押し付け、それら複数のコアブロックを連結する結合部材とを含む(3)項ないし(5)項のいずれかに記載のリニアモータ。
結合部材は、強磁性材料製とされることが望ましく、また、前記貫通穴に０．１ｍｍ以下の片側隙間で挿通されることが望ましく、０．０５ｍｍ以下、０．０２５ｍｍ以下の片側隙間で挿通されることがさらに望ましい。コアブロックに貫通穴が形成されることにより、貫通穴近傍における磁束密度が局部的に高くなることを回避すべく、結合部材も磁路の一部として機能するようにするためである。さらに、隣接するコアブロック間にアルミニウム合金製のスペーサが設けられない態様においては、２本の桁材に形成される貫通穴の直径および形成位置の精度も高くされ、連結装置が複数のコアブロックの位置決め装置の機能も果たすようにされることが望ましい。結合部材として、例えば、ボルトあるいはリベットが採用可能である。
コアブロックのコイルが巻かれない部分に貫通穴が設けられてもよく、あるいは、コアブロックに貫通穴を設けるための部分であって、連結専用の部分が設けられてもよい。前者のコアブロックは、後者に比較して小形化が可能である。
（７）前記スペーサが前記ヒートパイプの前記一端部を構成する(5)項に記載のリニアモータ。
スペーサにヒートパイプの一部を構成させることができ、その分コアブロックを小形化することができる。
（８）前記スペーサに形成された穴に前記ヒートパイプの前記一端部が挿入された(5)項に記載のリニアモータ。
スペーサの内部をヒートパイプ配設スペースとして利用することができ、その分コアブロックを小形化することができる。
（９）前記連結装置が、前記複数のコアブロックの前記整列方向と前記対向方向とに直交する方向である直交方向の両端の一方と他方とにそれぞれ跨って延びる２本の桁材と、前記スペーサとを含み、スペーサが２本の桁材を結合することにより、それら２本の桁材を前記複数のコアブロックの両端面に押し付け、それら複数のコアブロックを連結する(5)項，(7)項および(8)項のいずれかに記載のリニアモータ。
スペーサに２本の桁材を結合する結合部材の機能をも果たさせることにより、複数のコアブロックを連結するために各コアブロックに貫通穴を開ける必要がなくなり、コアブロック全体を均等に磁力線が通って磁界が形成される。
（１０）さらに、
前記整列方向に延び、前記電機子と共同して前記複数のコアに対応する複数の前記ヒートパイプに設けられた前記フィンを囲む導風筒を形成するカバーと、
前記導風筒の少なくとも一端部に設けられ、その導風筒内に空気の流れを生じさせるファンと
を含む(1)項ないし(9)項のいずれかに記載のリニアモータ。
ヒートパイプから放熱フィンに伝達された熱は、ファンによって導風筒内に生じさせられた空気の流れにより効率的に運び去られ、ヒートパイプおよび放熱フィンからの放熱が促される。電機子が可動部材とされる場合、電機子の停止中も放熱フィンの周辺に空気流が得られ、放熱が良好に行われる。
（１１）前記複数のコアの各々にボビンが嵌合され、それらボビンに前記複数のコイルの各々が巻かれており、かつ、それらボビンが、前記コアに嵌合される筒部と、その筒部の中央位置より片側の端に寄った２つの位置からそれぞれ外向きに突出させられた１対のフランジとを有し、前記複数のコアのうち互いに隣接するコアに、前記対向方向に関して互いに１８０度反転させられた状態で嵌合されることにより、前記一対のフランジの内側面間に巻かれた前記コイルが千鳥状の配置となるとともに、互いに隣接するボビンの各一対のフランジの外側面間に前記ヒートパイプが挿入されるべき前記隙間が形成される構造を有する(1)項ないし(10)項のいずれかに記載のリニアモータ。
ボビンの筒部の１対のフランジの間の部分以外の部分により、隣接するコアブロックの各ボビンの１対のフランジの内側面間に巻かれたコイルが、千鳥状にかつ対向方向に隙間を隔てて配設されるスペースが確保される。本ボビンは、コイル巻付け部材と、スペーサとが一体に形成されたものなのである。したがって、本ボビンを使用すれば、コイルの千鳥状の配置が容易となる。
（１２）前記複数のコアの各々が四角形の横断面形状を有し、前記複数のコアの各々にそれぞれボビンを介して前記コイルが巻かれ、それらボビンの各々が、非導電性材料から成り、各コアの外周を囲む四角筒部と、その四角筒部の前記対向方向に隔たった２箇所からそれぞれ外向きに突出させられた一対の外向きフランジとを備え、それら一対の外向きフランジの少なくとも一方の、他方の外向きフランジと対向する内側面に、前記四角筒部の一側面に接するとともに前記内側面の外周縁に至る溝が形成され、前記コイルの巻きはじめの部分が前記外周縁から前記四角筒部の前記一側面に接する位置まで前記溝により導かれた後その四角筒部に巻かれている(1)項ないし(11)項のいずれかに記載のリニアモータ。
フランジの内側面に溝が形成されない場合には、コイルの巻き始めの部分がフランジの外周縁から四角筒部の表面まで延び、この部分が四角筒部に巻かれるコイルと干渉して、コイルがフランジ内側面に密着することを妨げるため、コイルの巻き乱れの原因となる。本項のボビンにおいては、巻き始めの部分が溝内に収容されることにより、四角筒部に巻かれるコイルと干渉せず、コイルに巻き乱れが生じることが良好に回避される。
本項に記載の特徴は、(1)項ないし(11)項に記載の各特徴とは独立して採用可能である。その場合、１対の外向きフランジは、四角筒部の対向方向の両端にそれぞれ設けられてもよく、四角筒部の片側の端に寄った２つの位置に設けられてもよい。
（１３）前記複数のコアの各々が四角形の横断面形状を有し、前記複数のコアの各々にそれぞれボビンを介してコイルが巻かれ、それらボビンの各々が非導電性材料製の２部材から成り、それら２部材の一方が第一係合部を、他方が第二係合部をそれぞれ有し、それら２部材が前記コアの各々に、前記整列方向および前記対向方向に直角な方向から嵌合され、前記第一係合部と前記第二係合部とにおいて互いに係合させられることにより、コアの外周を囲む四角筒部と、その四角筒部の前記対向方向に隔たった２箇所からそれぞれ外向きに突出させられた一対の外向きフランジとを備えたボビンとなる構造を有する(1)項ないし(12)項のいずれかに記載のリニアモータ。
例えば、(5)項，(6)項に記載のコアブロックのように、四角形の平板の両端にそれぞれフランジが形成されたものであっても、容易にボビンを嵌合することができる。
本項に記載の特徴は、(1)項ないし(12)項に記載の各特徴とは独立して採用可能である。
（１４）当該リニアモータがＵ相，Ｖ相，Ｗ相の３相を有する三相交流により作動するものであり、前記複数のコイルのうち、少なくとも前記Ｕ相，Ｖ相，Ｗ相の各相のコイルであって前記整列方向において互いに隣接するコアに巻かれたコイルのすべてが接続部のない巻き線によって形成された(1)項ないし(13)項のいずれかに記載のリニアモータ。
接続部には、かしめ，圧着等、機械的に行われる接続部も、溶着により行われる接続部も含まれる。
コイルの接続箇所が少なくて済み、作業工数が少なく、電機子の製造コストを低減させることができ、また、接続不良によるリニアモータの不良発生が低減し、信頼性が向上する。さらに、コイルに確保されるべき接続用の部分が少なくて済み、その分、コイルの所要長さが低減する。
本項に記載の特徴は、(1)項ないし(13)項に記載の各特徴とは独立して採用可能である。
（１５）前記整列方向が水平である(1)項ないし(14)項のいずれかに記載のリニアモータと、
そのリニアモータの上方を覆い、上に向かって開いた１つ以上の開口を有するカバーを含むリニアモータシステム。
フィンが放つ熱を含む空気あるいはファンによって導風筒から送り出される熱気がカバーの開口から外部へ排出される。
本項および次項に記載の特徴は、(1)項ないし(14)項に記載の各特徴とは独立して採用可能である。
（１６）前記開口に設けられ、前記カバーの下方の空気を上方へ排出する排気ファンを含む(15)項に記載のリニアモータシステム。
熱気のカバー外部への排出が積極的に行われ、コイルの冷却が良好に行われる。
（１７）電子回路部品を供給する部品供給装置と、
回路基板を保持する基板保持装置と、
前記電子回路部品を保持する保持ヘッドと、
その保持ヘッドを前記基板保持装置に保持された回路基板に平行な平面内の任意の位置へ移動させるヘッド移動装置と
を含み、前記保持ヘッドにより前記部品供給装置から電子回路部品を受け取り、前記基板保持装置に保持された回路基板に装着する電子回路部品装着機であって、
前記ヘッド移動装置が、前記(1)項ないし(14)項のいずれかに記載のリニアモータを含む電子回路部品装着機。
リニアモータのコイルの放熱が効率良く行われることにより、リニアモータからヘッド移動装置の構成要素へ伝達される熱が低減され、その構成要素の熱変形が抑制されて装着精度の低下が抑制される。
（１８）さらに、
前記ヘッド移動装置の上方を覆い、上に向かって開いた開口を有するカバーを含む(17)項に記載の電子回路部品装着機。
本項に記載の電子回路部品装着機によれば、(15)項に記載の作用および効果が得られる。
（１９）前記開口に設けられ、前記カバーの下方の空気を上方へ排出する排気ファンを含む(18)項に記載の電子回路部品装着機。
本項に記載の電子回路部品装着機によれば、(16)項に記載の作用および効果が得られる。

一実施形態であるリニアモータを備えた電子回路部品装着機を概略的に示す平面である。 図１に示す電子回路部品装着機を示す斜視図である。 図１に示すリニアモータの磁石列および電機子のコアブロックの一部を示す平面図（一部断面）である。 図１に示すリニアモータの電機子を示す平面図である。 図４に示す電機子を示す平面断面図である。 図４に示す電機子を示す側面図である。 図４に示す電機子を示す正面断面図である。 図４に示す電機子を示す正面図である。 図４に示す電機子を構成するコアブロックにボビンが嵌合された状態を示す斜視図である。 図９に示すボビンを示す側面図である。 図９に示すボビンを示す正面図である。 図９に示すボビンを形成するボビン形成部材を示す斜視図である。 図１２に示すボビン形成部材を示す右側面図である。 図１２に示すボビン形成部材を示す左側面図である。 図１２に示すボビン形成部材を示す平面図である。 図１２に示すボビン形成部材を示す正面図である。 図１２に示すボビン形成部材を示す側面断面図である。 図１２に示すボビン形成部材を溝が形成された部分において断面にして示す背面図である。 図４に示す電機子におけるコアブロックについてのコイルの巻付け順序およびコイルの結線を説明する図である。 図４に示す電機子について、３相のうちの１相を構成する３つのコアブロックへのコイルの巻付けを説明する図である。 図４に示す電機子の一部のコアブロックの各々にボビンが嵌合され、コイルが巻かれた状態を示す平面図である。 図４に示す電機子をヒートパイプおよびフィンと共に示す斜視図である。 図２２に示す電機子にファンおよび連結アームが取り付けられた状態を示す斜視図である。 図２３に示す電機子にカバーが被せられた状態を示す斜視図である。 図２４に示す電機子にＹ軸スライドが連結された状態を示す斜視図である。 別の実施形態であるリニアモータの電機子の一部のコアブロックの各々にボビンが嵌合され、コイルが巻かれた状態および連結装置の桁材を示す平面図である。 図２６に示すコアブロックの１つおよび連結装置を示す正面図（一部断面）である。 さらに別の実施形態であるリニアモータの電機子の一部のコアブロックの各々にボビンが嵌合され、コイルが巻かれた状態および連結装置の桁材を示す平面図である。 図２８に示すコアブロックの１つおよび連結装置を示す正面図（一部断面）である。 さらに別の実施形態であるリニアモータの一部を示す平面図である。 図３０に示すリニアモータの電機子のコアブロックの１つにボビンが嵌合された状態を示すとともに、連結装置を示す正面図（一部断面）である。 さらに別の実施形態であるリニアモータの電機子の一部を概略的に示す平面図である。 図３２に示す電機子の隣接するコアブロック間に配設されたスペーサおよびヒートパイプを示す側面断面図である。 さらに別の実施形態であるリニアモータの電機子の隣接するコアブロック間に配設されたスペーサおよびヒートパイプを示す側面断面図である。

以下、請求可能発明のいくつかの実施形態を、図を参照しつつ詳しく説明する。なお、請求可能発明は、下記実施形態の他、上記〔発明の態様〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更を施した態様で実施することができる。

図１に、請求可能発明の一実施形態であるリニアモータシステムを含み、請求可能発明の一実施形態である電子回路部品装着機が概略的に示されている。本電子回路部品装着機は、装着機本体１０と、１対の電子回路部品装着部１２，１４とを備えている。これら電子回路部品装着部１２，１４は、基板搬送装置１６により搬送される回路基板１８の部品装着面に平行な平面、本電子回路部品装着機では水平面内において基板搬送方向と直交する方向に対して対称に設けられ、基板搬送方向に並んで設けられている。基板搬送方向をＸ軸方向、水平面内において基板搬送方向と直交する方向をＹ軸方向とする。基板搬送装置１６は、例えば、コンベヤの一種であるベルトコンベヤにより構成され、装着機本体１０を構成するベース２０上に電子回路部品装着部１２，１４にわたって設けられている。

電子回路部品装着部１２，１４の構成は同じであり、基板搬送方向において下流側の電子回路部品装着部１４を代表的に説明する。
電子回路部品装着部１４は、図１に示すように、１対の部品供給装置３０，３２，基板保持装置３４，１対の保持ヘッド３６，３８および１対のヘッド移動装置４０，４２を備えている。部品供給装置３０，３２はそれぞれ、Ｙ軸方向において基板搬送装置１６の両側に設けられ、例えば、フィーダ支持台（図示省略）上に取り付けられた部品供給具としての複数のフィーダ４４によって電子回路部品を供給するものとされている。これらフィーダ４４は、例えば、電子回路部品を部品保持テープに保持させた状態で供給するテープフィーダとされ、各部品供給部が基板搬送方向に平行な方向に沿って並ぶ状態で設けられている。フィーダは、バルクフィーダ，スティックフィーダ等、テープフィーダ以外の部品フィーダでもよい。また、部品供給装置は、トレイにより電子回路部品を供給する装置でもよく、フィーダとトレイとの両方によって電子回路部品を供給する装置でもよい。

基板保持装置３４は、例えば、支持面を備え、回路基板１８を下方から支持する支持部材としての複数の支持ピンおよびそれら支持ピンが着脱可能に取り付けられる支持台と、回路基板１８の基板搬送方向に平行な両縁部をクランプするクランプ装置とを含んで構成される。支持部材は、バキュームカップを備え、回路基板を負圧により吸着し、支持面に押し付けて保持する機能を備えた保持型の支持部材としてもよい。

保持ヘッド３６，３８およびヘッド移動装置４０，４２を説明する。
ヘッド移動装置４０，４２はそれぞれ、図１に示すように、Ｘ軸方向移動装置６０，６２およびＹ軸方向移動装置６４，６６を含む。Ｙ軸方向移動装置６４，６６はそれぞれ、Ｙ軸スライド６８，７０と、可動部材駆動装置たるリニアモータ７２，７４とを含み、Ｙ軸スライド６８，７０の移動は共通の案内装置７６により案内される。

案内装置７６は、図１および図２に示すように、前記ベース２０のＸ軸方向における中央部と、中央部からＸ軸方向において基板搬送方向の下流側（図１においては右側）に隔たった部分とにそれぞれ、Ｙ軸方向に平行に設けられた案内部材としてのガイドレール７８，８０を含む。ガイドレール７８は、ベース２０の上記中央部に設けられた取付台８２上に設けられ、ガイドレール８０は、ベース２０の上記下流側の端部に設けられた側壁部８４上に設けられている。

Ｙ軸スライド６８，７０はそれぞれ、図１に示すように、長手形状の本体部８５を備え、その本体部８５の長手方向の両端部にそれぞれ設けられた脚部８６の各々に、被案内部材としてのガイドブロック８８（図２参照）が設けられ、ガイドレール７８，８０にＹ軸方向に摺動可能に嵌合されている。Ｙ軸スライド６８，７０はそれぞれの移動領域の大部分が共通であり、案内装置７６はＹ軸方向移動装置６４，６６のそれぞれの構成要素である。リニアモータ７２，７４については、後に詳細に説明する。

前記Ｘ軸方向移動装置６０，６２はそれぞれ、図１および図２に示すように、Ｙ軸スライド６８，７０上に設けられ、可動部材としてのＸ軸スライド９０，９２，Ｘ軸スライド駆動装置９４，９６および案内装置９８，１００を含む。Ｘ軸スライド駆動装置９４は、図２５に示すように、駆動源たる電動回転モータの一種であるＸ軸移動用モータ１０２と、運動変換機構の一種である送りねじ機構たるボールねじ機構１０４とを含む。Ｘ軸移動用モータ１０２は、駆動源の一種である電動回転モータたるサーボモータにより構成されている。サーボモータは回転角度の精度の良い制御が可能なモータである。ボールねじ機構１０４は、Ｙ軸スライド６８上にＸ軸方向に平行に設けられたねじ軸１０６と、Ｘ軸スライド９０に設けられ、ボールを保持してねじ軸１０６に螺合されたナット１０８とを含む。Ｘ軸スライド９０にはガイドブロック１１０が設けられ、Ｘ軸スライド９０は１対のガイドレール１１２を含む案内装置９８により案内され、Ｙ軸スライド６８上においてＸ軸方向の任意の位置へ移動させられる。Ｘ軸スライド駆動装置９６および案内装置１００はそれぞれ、Ｘ軸スライド駆動装置９４および案内装置９８と同様に構成され、Ｘ軸スライド９２はＹ軸スライド７０上においてＸ軸方向の任意の位置へ移動させられる。

保持ヘッド３６，３８はそれぞれ、図１に示すように、Ｘ軸スライド９０，９２上に設けられ、水平面内において、２つの部品供給装置３０，３２のうち、Ｙ軸方向において同じ側に位置する部品供給装置から基板保持装置３４を含む領域の任意の位置へ移動させられる。本保持ヘッド３６，３８はそれぞれ、電子回路部品を負圧により吸着して保持する部品保持具としての少なくとも１つの吸着ノズル（図示省略）により、フィーダ４４から電子回路部品を受け取り、回路基板１８に装着する。

前記リニアモータ７２，７４を説明する。
前記ベース２０のＸ軸方向における中央部には、図１に示すように、前記取付台８２上に前記ガイドレール７８に隣接して２列の磁石列１２０，１２２がそれぞれ、Ｙ軸方向に平行に延びるとともに、Ｘ軸方向に距離を隔てて互いに対向して設けられている。ガイドレール７８と磁石列１２０，１２２とは、取付台８２への取付けにより、Ｘ軸方向およびＹ軸方向において互いに位置決めされた状態で保持される。Ｙ軸スライド６８，７０全体が可動部材と考えることも、１対の脚部８６あるいは１対の脚部８６に設けられたガイドブロック８８が可動部材と考えることも、ガイドレール７８により案内される脚部８６が可動部材と考えることも、その脚部８６に設けられたガイドブロック８８が可動部材と考えることもできる。Ｙ軸スライド６８，７０全体あるいは１対の脚部８６あるいはそれら脚部８６に設けられたガイドブロック８８が可動部材を構成すると考える場合、可動部材はガイドレール７８，８０により案内され、取付台８２，側壁部８４およびベース２０を含んで、磁石列とガイドレールとを位置決めして保持する保持部材が構成されると考えられる。また、ガイドレール７８により案内される脚部８６あるいはその脚部８６に設けられたガイドブロック８８が可動部材を構成すると考える場合、取付台８２が保持部材を構成すると考えられる。

２つの磁石列１２０，１２２はそれぞれ、図３に示すように、ヨーク１２４と、ヨーク１２４に固定された複数の永久磁石１２６とを含む。ヨーク１２４は長手形状を成し、その長手方向がＹ軸方向に平行となる姿勢で取付台８２上に固定され、複数の永久磁石１２６は、図３に示すように、磁石列１２０，１２２の各ヨーク１２４の互いに対向する面に、極性が交互に変わる状態で、ヨーク１２４の長手方向に適宜の間隔を隔てて、本リニアモータ７２，７４では等間隔に固定されている。

リニアモータ７２，７４はそれぞれ、上記磁石列１２０，１２２の間に磁束が通る隙間を有してＹ軸方向に移動可能に配設された電機子１３０，１３２を含む。本リニアモータ７２，７４は、磁石列１２０，１２２が固定子を構成し、電機子１３０，１３２が可動子を構成し、２列の磁石列１２０，１２２が対向する２列対向型のリニアモータである。磁石列１２０，１２２は、電機子１３０，１３２が近接して配置され、永久磁石１２６と電機子１３０，１３２のコアとの間に磁束が通る空隙が得られる間隔を隔てて対向させられ、電機子１３０，１３２の各々と２列の磁石列１２０，１２２との電磁作用により、Ｙ軸スライド６８，７０を移動させる推進力が生じさせられる。リニアモータ７２，７４はそれぞれ、２列の磁石列１２０，１２２を含み、固定子を共用していると考えることができる。電機子１３０，１３２は同様に構成されており、一方の電機子１３０を代表して説明する。

電機子１３０は、図４ないし図６に示すように、それぞれコイル１４０が巻かれ、互いに独立した複数のコアブロック１４２が結合装置としての連結装置１４４により連結されて成る。複数のコアブロック１４２はそれぞれ、強磁性材料、例えば、珪素鋼により作られ、図３に電機子１３０について示すように、磁石列１２０，１２２に対向する対向方向に延びる状態で配設されるとともに、複数の永久磁石１２６が並ぶ方向に平行に一直線に並んだ状態で配列され、連結装置１４４により連結されている。本リニアモータ７２，７４では、対向方向はＸ軸方向に平行であり、整列方向である配列方向はＹ軸方向に平行であり、いずれも水平である。

複数のコアブロック１４２はそれぞれ、図５および図９に示すように、横断面形状（対向方向に直角な方向の断面形状）が長方形の平板の両端であって、対向方向の両端にそれぞれフランジ１４６，１４８が形成され、中央部に連結部１５０が設けられた形状を有する。連結部１５０は、幅（配列方向に平行な方向の寸法）がフランジ１４６，１４８より大きくされ、コアブロック１４２の両端のフランジ１４６，１４８の各々と中央の連結部１５０との間の部分にそれぞれ、コイル巻付け部１５２，１５４が設けられている。また、連結部１５０には、対向方向と配列方向とに直交する直交方向に貫通して貫通穴１５６が形成されている。貫通穴１５６は、横断面形状が円形を成す。直交方向は、本リニアモータ７２，７４では鉛直である。

複数のコアブロック１４２の各コイル巻付け部１５２，１５４にはそれぞれ、図５，図６および図９に示すように、ボビン１７０を介してコイル１４０が巻かれている。これらボビン１７０は同様に構成されており、１つを代表して説明する。
ボビン１７０は、図１０および図１１に示すように、非導電性材料の一種である合成樹脂、例えば、難燃性の合成樹脂の一種であるポリアミド系の合成樹脂製の２つのボビン形成部材１７２，１７４から成る。ボビン形成部材１７２，１７４はそれぞれ、ボビン１７０を、コアブロック１４２に嵌合された状態で前記直交方向の中央位置において、直交方向に直角な平面によって分割することにより得られる２つの部材に相当する。ボビン形成部材１７２，１７４は同じ形状，寸法のものであり、一方のボビン形成部材１７２を代表して説明する。なお、ボビン形成部材１７２の説明にあたり、その方向は、電機子１３０を構成する状態におけるコアブロック１４２およびボビン１７０と同様に、対向方向，配列方向および直交方向を使用する。

ボビン形成部材１７２は、図１２および図１４に示すように、横断面形状がコの字形を成す筒部形成部１８０と、図１５に示すように、筒部形成部１８０の前記対向方向に平行な方向の一端部と、その一端部から他端部側へ隔たった部分であって、対向方向における中央位置より一端部側の部分との２箇所からそれぞれ、外向きに突出させられた１対の外向きフランジ形成部１８２，１８４とを備えている。

図１３および図１６に示すように、筒部形成部１８０のコの字の１対の側壁部１８６，１８８のうち、一方の側壁部１８６の、ボビン１７０の分割により得られる端面から突部１９０が直交方向に突出させられるとともに、その突部１９０の１対のフランジ形成部１８２，１８４の間に対応する部分にスリット１９２が形成されている。突部１９０は、側壁部１８６の１対のフランジ形成部１８２，１８４の間の部分より薄くされ、その内側面（側壁部１８８と対向する面）は、側壁部１８６の内側面と同一平面内に位置するが、外側面は、側壁部１８６の外側面の１対のフランジ形成部１８２，１８４の間の部分より内側面側へ引っ込まされている。

また、筒部形成部１８０の側壁部１８８のうち、１対の外向きフランジ形成部１８２，１８４の間の部分以外の部分は、図１６に示すように、直交方向において、外向きフランジ形成部１８２，１８４の間の部分より短くされ、ボビン１７０の分割により得られる端面から引っ込んだ引込み部２００が形成されている。さらに、側壁部１８８の１対の外向きフランジ形成部１８２，１８４の間の部分は、図１３および図１４に示すように、その内側面の引込み部２００に対向方向において隣接する部分が外側面側へ引っ込まされて引込み部２０２が形成されるとともに、引込み部２０２の内側面に対向方向に延びる突条２０４が形成されている。

図１５，図１７および図１８に示すように、１対の外向きフランジ形成部１８２，１８４のうち、対向方向において中央位置側の外向きフランジ形成部１８４の外向きフランジ形成部１８２と対向する内側面に、筒部形成部１８０の直交方向に平行な２つの外側面にそれぞれ接するとともに、内側面の外周縁（直交方向において、ボビン１７０の分割により得られる端面とは反対側の縁）に至る２つの溝２１０が形成されている。これら溝２１０は、深さが外周縁側ほど深くなり、外周縁側の部分（外向きフランジ形成部１８４の筒部形成部１８０より直交方向において突出した部分に形成された部分）は、ちょうどコイル１４０を形成する巻き線が収容される深さを有し、ボビン１７０の分割により得られる端面側の端は内側面内に位置するものとされている。

さらに、ボビン形成部材１７２には、図１５および図１８に示すように、溝２１０が形成された外向きフランジ形成部１８４にリブ２２０が形成され、強度の向上が図られている。また、リブ２２０および１対の外向きフランジ形成部１８２，１８４の各外周縁の幅方向の中央部をそれぞれ、対向方向に平行に貫通して切欠２２２，２２４が形成されている。これら切欠２２２，２２４はそれぞれ、横断面形状が半円形を成す。

ボビン形成部材１７２，１７４は、図７に示すように、前記コアブロック１４２の２箇所のコイル巻付け部１５２，１５４の各々に嵌合されてボビン１７０を形成する。コアブロック１４２には、対向方向に隔たった２箇所にそれぞれボビン１７０が嵌合されるのであり、各ボビン１７０にコイル１４０が巻き付けられる。コイル巻付け部１５２を例に取れば、ボビン形成部材１７２は、筒部形成部１８０において、コアブロック１４２の前記直交方向における一方の側からコイル巻付け部１５２に嵌合され、ボビン形成部材１７４は他方の側から嵌合される。ボビン形成部材１７２，１７４は、対向方向において外向きフランジ形成部１８２，１８４が同じ側に位置する姿勢でコイル巻付け部１５２に嵌合され、互いに付き合わされるとともに、各々に形成された突条２０４がスリット１９２に嵌合され、直交方向において係合させられる。本ボビン１７０では、ボビン形成部材１７２，１７４にそれぞれ形成された係合突部たる突条２０４が第一係合部を構成し、係合凹部たるスリット１９２が第二係合部を構成している。

突部１９０のスリット１９２が形成されていない部分は、図１１に示すように、引込み部２００に嵌合され、突条２０４とスリット１９２との嵌合を許容する。また、突条２０４は筒部形成部１８０の側壁部１８８の内側面から引っ込んだ引込み部２０２の内側面に設けられ、スリット１９２が設けられた突部１９０は厚さが薄くされているため、突条２０４がスリット１９２に嵌入させられた状態では、図１０に示すように、ボビン形成部材１７２，１７４は、各筒部形成部１８０の内側面同士が同一平面内に位置し、凹凸のない平らな嵌合面が得られ、各外向きフランジ形成部１８２，１８４の間の部分の外側面同士も同一平面内に位置し、凹凸のない平らなコイル巻付け面が得られる。

このようにボビン形成部材１７２，１７４がコアブロック１４２に嵌合され、互いに係合させられることにより形成されるボビン１７０は、図１０および図１１に示すように、ボビン形成部材１７２，１７４の各筒部形成部１８０により形成され、横断面形状が長方形状を成し、コアブロック１４２のコイル巻付け部１５２を囲む四角筒部２３０と、ボビン形成部材１７２，１７４の各外向きフランジ形成部１８２，１８４により形成される１対の外向きフランジ２３２，２３４とを有し、外向きフランジ２３２，２３４は、四角筒部２３０の対向方向に隔たった２箇所であって、その対向方向の中央位置より片側に寄った２箇所、本ボビン１７０では四角筒部２３０の対向方向の一端と、対向方向の中央位置から上記一端側に寄った部分とからそれぞれ外向きに突出させられる。

四角筒部２３０は、図９に示すように、対向方向において、コアブロック１４２の１対のフランジ１４６，１４８の各々と連結部１５０との間にちょうど嵌合される長さを有し、四角筒部２３０の１対の外向きフランジ２３２，２３４の間の部分がコイル巻付け部２３６を構成し、四角筒部２３０の中央位置側の外向きフランジ２３４に対して、外向きフランジ２３２とは反対側の部分はスペーサ２３８を構成し、スペーサ２３８により、１対の外向きフランジ２３２，２３４がコイル巻付け部１５２の対向方向において中央位置よりフランジ１４６側に寄った位置に位置する状態に保たれるとともに、コイル巻付け部１５２にコイル１４０が巻かれず、コイル１４０が千鳥状に配設されることを許容する部分が得られる。また、対向方向において中央位置側の外向きフランジ２３４の、外向きフランジ２３２と対向する内側面の４箇所に前記溝２１０が配置される。これら溝２１０は、四角筒部２３０の直交方向に平行な２つの外側面にそれぞれ接するとともに、外向きフランジ２３４の内側面の外周縁に至る状態で位置し、その外周縁側の部分の深さが最大である。１種類のボビン形成部材を２つ合わせることによってボビン１７０が得られ、ボビン１７０の形成が容易である。

コアブロック１４２のコイル巻付け部１５４にも同様に、ボビン形成部材１７２，１７４が嵌合されてボビン１７０が形成される。ボビン形成部材１７２，１７４はコイル巻付け部１５４に、図２１に示すように、対向方向において、コイル巻付け部１５２に嵌合されるボビン１７０と同じ向きに嵌合され、１対の外向きフランジ２３２，２３４は、四角筒部２３０の対向方向の中央位置より片側に寄った２つの位置からそれぞれ外向きに突出させられる。２つのボビン１７０は、対向方向において同じ向きに嵌合されるため、一方のボビン１７０の外向きフランジ２３２，２３４は連結部１５０側に位置し、他方のボビン１７０の外向きフランジ２３２，２３４はフランジ１４６側に位置することとなる。コアブロック１４２の２つのコイル巻付け部１５２，１５４および２つのフランジ１４６，１４８はそれぞれ、同じ形状，寸法のものであるため、２つのコイル巻付け部１５２，１５４および２つのフランジ１４６，１４８を区別することなく、２つのボビン１７０はコアブロック１４２に対向方向における向きが同じになるように嵌合されればよい。

上記のようにコアブロック１４２に嵌合されたボビン１７０の１対の外向きフランジ２３２，２３４の間の部分に巻き線が巻き付けられてコイル１４０が形成される。本リニアモータ７２，７４は、Ｕ相，Ｖ相，Ｗ相の３相を有する三相交流により作動するものであり、電機子１３０は、図５および図１９に示すように、Ｕ相，Ｖ相，Ｗ相の各相毎に３つずつのコアブロック１４２にそれぞれコイル１４０が巻き付けられるとともに、各相のコイル１４０同士が結線されたコイル群を２セット含む。

コイル１４０は、Ｕ相，Ｖ相，Ｗ相の各相毎に、３つのコアブロック１４２に図１９に示す順序で巻かれ、３つずつのコアブロック１４２に連続して巻かれる。図１９が、コイル１４０の巻順および結線を下方から見た状態を示す図である。１つの相を例に取れば、図２０(a)に示すように、３つのコアブロック１４２を位置決め治具（図示省略）に直列に、かつ、各コアブロック１４２のボビン１７０が対向方向において同じ方向を向くとともに、外向きフランジ２３２，２３４が連結部１５０に隣接するボビン１７０が巻付け方向において上流側に位置する状態でセットする。そして、まず、１つ目のコアブロック１４２の巻付け方向において上流側のボビン１７０の外向きフランジ２３２，２３４の間にコイル１４０を巻き付ける。

コイル１４０は、図２０(b)に示すように、巻き始めが下向きとなり、巻き終わりが上向きとなるように巻かれる。図５においてＵ，Ｖ，Ｗの各相の符号に施された下線および上線はコイル１４０への通電方向を表し、コイル１４０は通電方向と同じ方向に巻かれる。コイル１４０の巻き始めの部分は、外向きフランジ２３４に形成された溝２１０に嵌め入れられ、溝２１０により四角筒部２３０の外側面に接する位置まで導かれた後、四角筒部２３０に巻き付けられる。溝２１０はボビン１７０の４箇所にある。この理由は後に説明する。

コイル１４０の巻き終わり部分は、図２０(a)に示すように、外向きフランジ２３２の切欠２２２に嵌め入れられ、外向きフランジ２３２に引っ掛けられた状態で、巻順において下流側のボビン１７０へ渡され、そのボビン１７０の外向きフランジ２３４の溝２１０に嵌め入れられ、四角筒部２３０に巻き付けられる。切欠２２２に嵌入させられた巻き線は、外向きフランジ２３２に、浮上がりおよび配列方向に平行な方向のずれを防止された状態で係合させられてボビン１７０からの外れが防止され、巻き線の巻きが緩んでコイル１４０がばらばらになることが防止される。切欠２２２は係合部の一種である係合凹部であり、外れ防止部を構成している。コイル１４０は、１つのコアブロック１４２の２つのボビン１７０に巻き付けられたならば、そのまま２つ目のコアブロック１４２の２つのボビン１７０に、１つ目のコアブロック１４２の２つのボビン１７０と同様に巻き付けられ、さらに３つ目のコアブロック１４２の２つのボビン１７０に巻き付けられる。同相の３つのコアブロック１４２にそれぞれ巻かれたコイル１４０は１本でつながっており、接続部がない。

３つのコアブロック１４２へのコイル１４０の巻付け後、図２０(c)に示すように、２つ目のコアブロック１４２を、１つ目および３つ目のコアブロック１４２に対して対向方向において１８０度反転（直交方向に平行な軸線まわりに１８０度回転）させ、各連結部１５０を互いに当接させる。それにより、図２１に示すように、１つ目および３つ目のコアブロック１４２と２つ目のコアブロック１４２とにおいて、対向方向におけるボビン１７０の向きが逆になり、配列方向において互いに隣接する２つのコアブロック１４２について、連結部１５０の両側においてそれぞれ、コイル１４０が対向方向における位置を互いに異にし、配列方向においてはコイル１４０の一部同士が互いに重なり合って、千鳥状に配設されるとともに、３つのコアブロック１４２についてコイル１４０が図１９に示す順序で巻かれた状態が得られる。図２０(a)，(c)は、コアブロック１４２を上から見た状態を示す図である。図１９は電機子１３０を下から見た状態を示す図であり、ａ，ｂに添えられた数字はコイル１４０の巻順を示し、図中、ＩＮはコイル１４０の巻き始めを示し、ＯＵＴは巻き終わりを示す。

さらに、ボビン１７０の外向きフランジ２３２，２３４は、対向方向において中央位置より端に寄った位置に設けられているため、隣接する２つのコアブロック１４２の各ボビン１７０の外向きフランジ２３４の各外側面（外向きフランジ２３２と対向する面とは反対側の面）間であって、千鳥状に配置され、配列方向において一部が重複する２つのコイル１４０の間に隙間２４０が形成される。

このようにコアブロック１４２に嵌合された２つのボビン１７０にはそれぞれ、対向方向における一部にのみコイル１４０が巻かれるが、配列方向においては、隣接するコアブロック１４２のボビン１７０との間の空間の全部を使ってコイル１４０を巻くことができるため、２つのボビン１７０についてそれぞれ、コイル１４０を千鳥状に配置することなく、コイル巻付け部１５２，１５４の各々の全部（隙間２４０の分は除く）にコイル１４０を巻く場合と同じ数、巻くことができる。

３相の各々について３つずつのコアブロック１４２に連続してコイル１４０が巻かれ、図１９に示すように、Ｗ相，Ｖ相，Ｕ相の順に配列される。この場合にも、相を異にし、互いに隣接するコアブロック１４２は、対向方向の向きが１８０度反転した姿勢となり、コイル１４０が相に関係なく、千鳥状に配置されるようにされる。そして、２セットのコイル群の各々においてＷ相，Ｖ相，Ｕ相の各コイル１４０が結線されるとともに、同相のコイル１４０同士が結線される。結線は、互いに結線されるべき２つの端部に嵌めたかしめ部材をかしめることにより機械的に行われ、合計５箇所、行われる。

上記のように配列された複数のコアブロック１４２は、図４，図６および図７に示すように、桁材２５０，２５２を用いて連結されている。桁材２５０，２５２はそれぞれ、横断面形状が矩形の棒状を成し、非磁性材料の一種であるアルミニウム合金により作られ、一方の桁材２５０は、複数のコアブロック１４２の各連結部１５０の上面に跨って当接させられ、他方の桁材２５２は各連結部１５０の下面に跨って当接させられる。そして、図７に示すように、結合部材としてのボルト２５４が、桁材２５２側から、連結部１５０の貫通穴１５６に嵌合されるとともに、桁材２５０に形成された雌ねじ穴２５６に螺合され、桁材２５０，２５２が複数のコアブロック１４２の連結部１５０の、直交方向の両端面に押し付けられ、複数のコアブロック１４２を連結する。ボルト２５４は、コアブロック１４２と同様に強磁性材料により作られ、貫通穴１５６は、ボルト２５４が０．０２５ｍｍ以下の片側隙間で挿通される大きさに形成されている。本リニアモータ７２，７４では、桁材２５０，２５２，複数ずつのボルト２５４および雌ねじ穴２５６が前記連結装置１４４を構成している。また、隣接するコアブロック１４２の間隔は、互いに当接させられた連結部１５０により規定され、隣接するフランジ１４６，１４８の間には隙間が形成される。本電機子１３０では、連結部１５０が複数のコアブロック１４２を配列方向に位置決めする位置決め部を構成している。

上記のように連結された複数のコアブロック１４２はそれぞれ、対向方向の２箇所にコイル１４０が巻かれ、２つのコアが一体に形成されたものと考えることができ、前記２列の磁石列１２０，１２２の各々に対向する状態で複数のコアの群が２群、配設されている。これら２群のコア群の各々において、複数のコアブロック１４２（コア）の隣接するもの同士に関してコイル１４０が千鳥状に配設されるとともに、それらコイル１４０間に隙間２４０が形成されている。

隣接するコイル１４０間に形成された隙間２４０は直交方向に延び、図５ないし図８に示すように、ヒートパイプ２８０の下端部が挿入されている。ヒートパイプ２８０は、図４，図５および図７に示すように、横断面形状が長方形を成し、隙間２４０に殆ど隙間なく挿入される挿入部２８２と、コアブロック１４２から上方へ、隙間２４０の外部へ突出させられ、横断面形状が円形を成す放熱部２８４とを備えている。隙間２４０は合成樹脂製のボビン１７０の外向きフランジ２３４によって画定されており、ヒートパイプ２８０は電気的に絶縁された状態で、隣接するコアブロック１４２の各ボビン１７０に巻かれた２つのコイル１４０の間に挿入されることとなる。挿入部２８２は、隙間２４０に直交方向の全体にわたって挿入され、その下端部は、図７に示すように、ボビン１７０から下方へ突出させられ、コイル１４０全体について熱の伝達を行う。ヒートパイプ２８０は、挿入部２８２も含めて全体が中空の筒状を成し、熱伝導性の高い金属であり、非磁性材料製である金属、例えば、銅により作られ、内周面に毛細管層が設けられるとともに熱媒液が含浸させられ、熱媒液の蒸発，凝縮により熱がヒートパイプ２８０の先端部である上端部へ伝達され、放熱される。ヒートパイプ２８０は、アルミニウム合金等、他の金属材料により作られてもよい。

放熱部２８４には、図６および図７に示すように、複数の放熱フィン（以後、フィンと略称する）２８６が取り付けられている。複数のフィン２８６はそれぞれ、アルミニウムにより作られ、対向方向に平行な方向における断面形状がコの字形を成し、図４および図７に示すように、２つのコア群の各々について、隣接する２つのヒートパイプ２８０の各放熱部２８４に跨って圧入されるとともに、積み重ねられており、配列方向に平行に２列のフィン群が設けられている。

前記桁材２５０，２５２の長手方向（配列方向）の両端面にはそれぞれ、図４，図６および図８に示すように、取付部材としての取付板２９０，２９２がボルト２９４によって固定されている。取付板２９０，２９２にはそれぞれ、図６および図２２に示すように、温度検出装置たる熱電対２９６が取り付けられ、電機子１３０の温度が検出されて制御装置のコンピュータへ入力されるようにされている。コアブロック１４２，ボビン１７０，コイル１４０，ヒートパイプ２８０の挿入部２８２の全部，桁材２５０，２５２，取付板２９０，２９２および最下端のフィン２８６は、図８および図２２に示すように、合成樹脂、例えば、エポキシ樹脂の充填により形成された樹脂体２９８により固められている。但し、コアブロック１４２の対向方向の両端面および取付板２９０，２９２の各外側面はそれぞれ、合成樹脂により覆われず、外部に臨まされ、取付板２９０，２９２の各外側面は電機子１３０の配列方向における両端面を構成している。また、前述のように結線されたコイル１４０に接続されて電流を供給する電流供給線２９９の端部も樹脂体２９８に固定されている。

このように構成された電機子１３０には、図２５に示すように、結合装置たる連結装置３００によってＹ軸スライド６８が連結される。本連結装置３００は２つの結合部材たる連結アーム３０１，３０２を含む。連結アーム３０１，３０２は金属製、例えば、鉄製とされ、それぞれ、図４，図８および図２３に示すように、その長手方向の両端部に固定部３０６，３０９を備えている。連結アーム３０１，３０２は、ステンレス鋼製とされてもよい。固定部３０６は、上記取付板２９０，２９２にそれぞれ、固定装置たる複数のボルト３０４によって着脱可能に固定され、その固定部３０６から対向方向に平行な方向であって、前記ガイドレール７８側へ水平にアーム部３０８が延び出させられ、そのアーム部３０８の延び出し端部に固定部３０９が設けられている。アーム部３０８は板状を成し、図１および図２５に示すように、電機子１３０から磁石列１２２を越えて、磁石列１２２の反対側まで延び出させられ、その反対側において固定部３０９が前記Ｙ軸スライド６８のガイドレール７８に嵌合される脚部８６に、複数のボルト３１０によって着脱可能に固定されている。連結アーム３０１，３０２は電機子１３０の配列方向における両端面にそれぞれ固定され、複数のコアブロック１４２が並ぶ配列方向と直交する方向であって、対向方向に平行で水平な方向に延びて、電機子１３０とＹ軸スライド６８とを一体的に移動可能に連結している。本リニアモータ７２，７４では、２つの連結アーム３０１，３０２の各々の複数のコアブロック１４２の配列方向に平行な方向の寸法（図２３においてＬ１で表される）は、電機子１３０の配列方向に平行な方向の寸法（図２３においてＬ２で表される）のほぼ１０分の１とされている。上記寸法Ｌ１は、寸法Ｌ２の４分の１以下とすることが望ましく、６分の１以下、８分の１以下とすることがさらに望ましい。連結アーム３０１，３０２による電機子１３０とＹ軸スライド６８との連結により、コイル１４０に電流が供給され、電機子１３０が移動させられれば、Ｙ軸スライド６８がガイドレール７８，８０に案内されて電機子１３０と一体的にＹ軸方向に移動させられる。ガイドレール７８は電機子１３０の移動を案内する案内装置でもあり、電機子１３０は２列の磁石列１２０，１２２の間をＹ軸方向に平行な一直線に沿って移動させられる。
なお、結合部材は複数設けられることが望ましいが、１つとすることも可能である。また、結合部材は合成樹脂製としてもよい。

図２３に示すように、前記２列のフィン群の各々の両側にファン３２０が設けられている。これらファン３２０は、連結アーム３０１，３０２の各固定部３０６上に配設されている。また、前記複数のヒートパイプ２８０の各々に取り付けられた複数ずつのフィン２８６の全部が、図２４に示すようにカバー３２２によって覆われている。カバー３２２は配列方向に直角な断面形状がコの字形を成し、フィン２８６に被せられるとともに、配列方向の両端部がそれぞれ、取付部材としてのブラケット３２４に固定されている。ブラケット３２４は、アーム部３０８にを介して電機子１３０に固定されており、上記ファン３２０もこのブラケット３２４に取り付けられている。その結果、カバー３２２が樹脂体２９８と共同して配列方向に延びる導風筒３２６を形成しており、その導風筒３２６の両端部にそれぞれ、ファン３２０が２つずつ設けられた状態となっている。これら複数本のヒートパイプ２８０，フィン２８６，ファン３２０およびカバー３２２が放熱装置３３０を構成し、本放熱装置３３０は、電機子１３０に前記配列方向および対向方向と直交する方向において隣接する空間であって、上方において隣接する空間に設けられている。

前記ベース２０には、図２に示すように、Ｘ軸方向の中央部に、１対のコラム３５０がＹ軸方向に距離を隔てて立設されるとともに、それらコラム３５０の上端部間にカバー３５２が設けられ、リニアモータ７２，７４の上方を覆っている。カバー３５２には、１つ以上、本電子回路部品装着機では複数、例えば、６つの開口３５４が上に向かって開いた状態で設けられている。これら開口３５４は、Ｙ軸方向であってリニアモータ７２，７４の電機子１３０，１３２の移動方向に平行な方向に距離を隔てた３箇所であって、Ｙ軸方向における中央部と両端部とにそれぞれ、２つずつ、Ｘ軸方向に並んで設けられており、各開口３５４内にそれぞれファン３５６が設けられ、カバー３５２の下方の空気を上方へ排出する。なお、カバー３５２は、電子回路部品装着部１２のＹ軸方向移動装置６４，６６のリニアモータ７２，７４も覆い、カバー３５２に設けられた開口３５４およびファン３５６により、電子回路部品装着部１２，１４の各リニアモータ７２，７４について排気が行われる。

上記電子回路部品装着部１２，１４の各２つずつの保持ヘッド３６，３８は、制御装置３６０（図２参照）を構成する４つのコンピュータによりそれぞれ制御される。

以上のように構成された電子回路部品装着機においては、２つの電子回路部品装着部１２，１４においてそれぞれ、回路基板１８への電子回路部品の装着が並行して行われる。また、２つの電子回路部品装着部１２，１４の各々において２つの保持ヘッド３６，３８がそれぞれヘッド移動装置４０，４２により移動させられ、電子回路部品を回路基板１８に装着する。１つの電子回路部品装着部の２つの保持ヘッド３６，３８は回路基板１８に交互に電子回路部品を装着し、２つの保持ヘッド３６，３８の一方による電子回路部品の装着時に他方は部品供給装置へ移動してフィーダ４４から電子回路部品を受け取り、一方の保持ヘッドによる電子回路部品の装着後、その保持ヘッドと交替して回路基板１８に電子回路部品を装着する。

保持ヘッド３６，３８はそれぞれ、Ｙ軸方向へはリニアモータ７２，７４の駆動により移動させられ、Ｘ軸方向へはＸ軸移動用モータ１０２の駆動により移動させられる。リニアモータ７２，７４においてはそれぞれ、複数のコイル１４０へ電流が供給され、磁石列１２０，１２２の各永久磁石１２６との間の電磁作用により推進力が生じさせられ、電機子１３０，１３２が移動させられる。図示を省略するリニアエンコーダによりＹ軸スライド６８，７０の各位置が検出され、それに基づいてリニアモータ７２，７４が制御され、Ｙ軸スライド６８，７０が所定の位置へ移動させられる。コアブロック１４２には、図３に示すように磁力線が通る。コアブロック１４２を桁材２５０，２５２に固定するためのボルト２５４は強磁性材料により作られるとともに、貫通穴１５６との間の隙間は極く僅かであり、ボルト２５４も磁力線が通り、磁束密度が極端に高い部分が生じることがなく、良好に推進力が生じさせられる。また、ヒートパイプ２８０および桁材２５０，２５２は非磁性材料製であり、磁力線は通らない。そして、電機子１３０，１３２にそれぞれ連結されたＹ軸スライド６８，７０がガイドレール７８，８０により案内されつつＹ軸方向へ移動させられ、任意の位置において停止させられる。桁材２５０，２５２はアルミニウム合金製であり、コアブロック１４２より比重が小さく、電機子１３０，１３２の重量増大が抑えられ、走行速度の低下が回避される。

電機子１３０，１３２において複数のコイル１４０は、電流の供給により発熱する。その熱はヒートパイプ２８０によって運び出され、ヒートパイプ２８０の放熱部２８４およびフィン２８６によって放熱されるとともに、ファン３２０によって導風筒３２６に生じさせられる空気流によって電機子１３０，１３２の近傍空間外へ排出される。ヒートパイプ２８０の挿入部２８２は横断面形状が長方形状を成し、隣接するコアブロック１４２の各ボビン１７０の外向きフランジ２３４により画定された隙間２４０に挿入されて、外向きフランジ２３４および隙間を埋める合成樹脂を介してではあるが、２つのコイル１４０と面接触し、その接触面積が大きく、放熱性が良い。電機子１３０，１３２の各々において複数のコアブロック１４２の配列方向に隔たって設けられた２つずつのファン３２０は、導風筒３２６の一方の開口から導風筒３２６内に流入して他方の開口から流出する向きの空気流であって、互いに反対向きの開口、本リニアモータ７２，７４では、電機子１３０，１３２の各導風筒３２６の互いに対向する側の開口とは反対側の開口から空気が排出される向きの空気流を生じさせるように回転させられる。

また、リニアモータ７２，７４の上方に設けられたカバー３５２に設けられたファン３５６も回転させられる。それにより、ファン３５６の作用により、電機子１３０，１３２から放たれた熱により高温となり、導風筒３２６から排出された空気は開口３５４から電子回路部品装着機の外へ排出される。カバー３５２には６つの開口３５４がＹ軸方向に距離を隔てた３箇所にそれぞれ設けられて空気の排出が均等に行われるとともに、電機子１３０，１３２からの熱気の排出が、互いに反対向きであって、互いに対向する側とは反対側に行われるため、電機子１３０，１３２の位置にかかわらず、排熱が良好に行われる。
また、ファン３５６の回転により、保持ヘッド３６，３８が移動させられて電子回路部品の受取りおよび装着を行う装着エリアの空気がカバー３５２側へ流れ、開口３５４から排出され、装着エリア側へは戻らないため、リニアモータ７２，７４の近傍から装着エリア側へ高温の空気が流れて温度が上昇することが抑制される。

このように、電機子１３０，１３２においてはそれぞれ、ヒートパイプ２８０およびフィン２８６による放熱およびファン３２０による排気によって冷却が行われるとともに、電機子１３０，１３２とＹ軸スライド６８，７０とはそれぞれ、２つの連結アーム３０１，３０２の各アーム部３０８によって連結されているのみであり、両者の接触部分が少なく、また、磁石列１２２を越えて延びる連結アーム３０１，３０２は、横断面積が小さく、かつ、連結方向に長いため、電機子１３０，１３２からＹ軸スライド６８，７０へ熱が伝わり難く、Ｙ軸スライド６８，７０やガイドレール７８等の熱変形が抑制される。ファン３２０，３５６は、一連の回路基板１８への電子回路部品の装着が行われる間、常時、作動させられており、Ｙ軸スライド６８，７０が停止させられている間も導風筒３２６内に空気の流れが生じさせられ、また、カバー３５２の開口３５４から熱気が排出され、電機子１３０，１３２が冷却される。

別の実施形態であるリニアモータ４００を図２６および図２７に基づいて説明する。
本リニアモータ４００は、図２６に示すように、電機子４０２を構成する複数のコアブロック４０４がそれぞれ、長方形の平板の両端にそれぞれフランジ４０６，４０８が形成された形状を有し、対向方向の中央部に、前記直交方向に貫通して貫通穴４１０が形成されている。コアブロック４０４の貫通穴４１０が形成された部分が連結部４１２を構成し、この連結部４１２は、コアブロック４０４のボビン４１４が嵌合され、コイル４１６が巻かれる部分と同じ幅を有する。コアブロック４０４には、１つのボビン４１４を介して、対向方向に隔たった２箇所にそれぞれコイル４１６が巻かれる。

ボビン４１４は、図２７に示すように、同じ形状，寸法を有する２つのボビン形成部材４１８，４２０から成る。ボビン形成部材４１８を例に取れば、横断面形状がコの字形を成し、対向方向においてコアブロック４０４のフランジ４０６，４０８の間の部分にちょうど嵌合される長さの筒部形成部４２６と、対向方向における一端部と、前記連結部４１２に対応する部分に他端部側に隣接する部分とにそれぞれ設けられた１対ずつの外向きフランジ形成部４２８，４３０とを有する。これら２対の外向きフランジ形成部４２８，４３０はいずれも、筒部形成部４２６の連結部４１２に対応する部分の両側の部分のそれぞれ、対向方向における中央位置より片側の端に寄った位置に設けられている。一方の対の外向きフランジ形成部４２８，４３０については、筒部形成部４２６の対向方向の一端と、筒部形成部４２６の連結部４１２に対応する部分と上記一端との間の部分の対向方向における中央位置より上記一端側に寄った部分とに設けられ、他方の対の外向きフランジ形成部４２８，４３０については、筒部形成部４２６の連結部４１２に対応する部分に隣接する端と、筒部形成部４２６のその端と対向方向の他端との間の部分の対向方向における中央位置より連結部４１２に対応する部分に隣接する端側に寄った部分とに設けられているのである。

また、筒部形成部４２６の底壁部の連結部４１２に対応する部分には、底壁部を配列方向に貫通して開口４３２が形成されている。ボビン形成部材４１８にはまた、図２７に示すように、前記ボビン形成部材１７２と同様に、筒部形成部４２６の１対の側壁部の一方について、２箇所の外向きフランジ形成部４２８，４３０の間の部分にそれぞれ、スリット４３６が形成され、他方について突条４３８が形成されるとともに、図２６に示すように、外向きフランジ形成部４３０について２つの溝４４０およびリブ４４２が形成されている。

ボビン形成部材４１８，４２０は、図２７に示すように、コアブロック４０４に、直交方向の両側からそれぞれ嵌合され、突条４３８とスリット４３６とが嵌合させられ、直交方向において互いに係合させられてボビン４１４を形成する。ボビン４１４は四角筒部４５０と、対向方向に隔たった２箇所にそれぞれ設けられた外向きフランジ４５２，４５４とを備え、四角筒部４５０の、２対の各外向きフランジ４５２，４５４の間の部分であるコイル巻付け部以外の部分はスペーサとして機能する。本ボビン４１４は、それぞれ筒部および１対のフランジとを有する２つのボビンが一体的に設けられたものと考えることもできる。ボビン４１４が嵌合されたコアブロック４０４は、前記コアブロック１４２と同様に、例えば、３つ、直列に並べられ、外向きフランジ４５２，４５４の間にコイル４１６が巻かれるとともに、２つ目のコアブロック４０４が１つ目および３つ目のコアブロック４０４に対して１８０度反転させられる。それにより、図２６に示すように、配列方向において互いに隣接するコアブロック４０４同士に関して、コイル４１６が千鳥状に配設されるとともに、対向する外向きフランジ４５４の間に隙間４５６が形成され、ヒートパイプ（図示省略）の下部が挿入される。

また、コアブロック４０４の連結部４１２は、直交方向に隔たった両端面がそれぞれ、ボビン４１４の開口４３２から外部へ臨まされる。そのため、複数のコアブロック４０４の各連結部４１２の上面と下面とにそれぞれ跨って桁材４５８，４６０が配設され、図２７に示すように、ボルト４６２が下側の桁材４６０側から貫通穴４１０に挿入されるとともに、桁材４５８に形成された雌ねじ穴４６４に螺合されて複数のコアブロック４０４が連結される。桁材４５８，４６０，ボルト４６２および雌ねじ穴４６４が連結装置４６６を構成している。連結装置４６６は、雌ねじ穴４６４および桁材４６０のボルト４６２が嵌合される穴の直径および形成位置の精度が高くされ、複数のコアブロック４０４を配列方向において位置決めする位置決め装置の機能を果たす。本リニアモータのコアブロック４０４は、対向方向の中央部の幅がボビン４１４が嵌合される部分と同じであり、フランジ４０６，４０８より幅の大きい連結部が設けられる場合に比較して重量が軽減される。連結部４１２の幅が他の部分と同じでも、ボルト４６２は強磁性材料により作られるとともに、前記ボルト２５４の貫通穴１５６への嵌合と同様に。貫通穴４１０に殆ど隙間なく嵌合され、磁力線が通るため、リニアモータ４００に電機子４０２の移動に必要な推進力が得られる。

さらに別の実施形態であるリニアモータ４７０を図２８および図２９に基づいて説明する。
本リニアモータ４７０の電機子４７２においては、複数のコアブロック４７４の各々にボビン４７６が嵌合され、対向方向の１個所にコイル４７８が巻かれている。複数のコアブロック４７４はそれぞれ、長方形の平板の両端にそれぞれフランジ４８０，４８２が形成された形状を有し、対向方向の中央位置より端側、例えば、フランジ４８２側寄りの部分に、前記直交方向に貫通して貫通穴４８４が形成されている。

ボビン４７６は、同じ形状，寸法の２つのボビン形成部材４９０，４９２から成る。ボビン形成部材４９０を例に取れば、コアブロック４７４の対向方向の両端のフランジ４８０，４８２間にちょうど嵌合される長さの筒部形成部４９４と、筒部形成部４９４から外向きに突出させられた１対の外向きフランジ形成部４９６，４９８とを有する。外向きフランジ形成部４９６は、筒部形成部４９４の対向方向の一端部に設けられ、外向きフランジ形成部４９８は、対向方向の中央位置より外向きフランジ形成部４９６側に寄った位置に設けられている。また、外向きフランジ形成部４９８の内側面には溝５００が２つ形成されるとともに、外側面にはリブ５０２が形成され、筒部形成部４９４の底壁部のリブ５０２と、対向方向において外向きフランジ形成部４９６が形成されていない側の端との間の部分には、配列方向に貫通して開口５０４が形成されている。さらに、筒部形成部４９４の１対の側壁部の外向きフランジ形成部４９６，４９８の間の部分に対応する部分の一方にはスリット５０８が形成され、他方には突条５１０が形成されている。

ボビン形成部材４９０，４９２は、図２９に示すように、コアブロック４７４に直交方向の両側からそれぞれ嵌合され、突条５１０とスリット５０８とが嵌合されて直交方向において係合させられてボビン４７６が形成される。ボビン４７６は、四角筒部５２０と、四角筒部５２０の対向方向の中央位置より片側の端に寄った２つの位置から突出させられた１対の外向きフランジ５２２，５２４とを備え、外向きフランジ５２２，５２４の間の部分であるコイル巻付け部にコイル４７８が巻かれる。ボビン４７６が嵌合されたコアブロック４７４には、コアブロックの対向方向に隔たった２箇所にそれぞれ巻かれるコイルが１個所にまとめて巻かれることを除いて、前記コアブロック１４２と同様にコイル４７８が巻かれる。そして、複数のコアブロック４７４が、隣接するコアブロック４７４が対向方向において１８０度、反転させられて配列されることにより、図２８に示すように、各コアブロック４７４がそれぞれ２列の磁石列（図示省略）に対向させられ、各磁石列の各々に対向する複数のコアの群が得られるとともに、複数のコアブロック４７４の２列の磁石列の一方に対向する部分に巻かれたコイル４７８と、他方に対向する部分に巻かれたコイル４７８とが千鳥状に配設され、２列の磁石列の一方に対応するコア群と他方に対応するコア群とに関してコイル４７８が千鳥状に配設される。また、ボビン４７６の２つの外向きフランジ５２２，５２４のうち、対向方向において中央位置側に位置する外向きフランジ５２４の間に隙間５２６が形成され、ヒートパイプ（図示省略）の下部が挿入される。

一列に配列された複数のコアブロック４７４には、ボビン４７６の開口５０４により開放された直交方向の両端面にそれぞれ、スペーサ５３０を介して桁材５３２，５３４が跨って配設される。桁材５３２は板状を成し、図２８に示すように、ヒートパイプとの干渉を避けるための開口５３５が形成されている。そして、図２９に示すように、下側の桁材５３４からボルト５３６がコアブロック４７４の貫通穴４８４に挿入され、上側の桁材５３２に形成された雌ねじ穴５３８に螺合され、桁材５３２，５３４がスペーサ５３０を介してコアブロック４７４の上端面と下端面とに押し付けられ、複数のコアブロック４７４が連結される。本リニアモータ４７０では、桁材５３２，５３４，ボルト５３６，雌ねじ穴５３８およびスペーサ５３０が連結装置５４０を構成している。連結装置５４０は、複数のコアブロック４７４を配列方向において位置決めする位置決め装置の機能も果たす。また、コアブロック４７４のコイル４７８を千鳥状に配設するためにコイル４７８が巻かれず、スペーサとして機能する部分が連結部５４２を構成し、コイル巻付け部およびスペーサ部に加えて連結部を設ける場合に比較してコアブロックを短いものとすることができ、重量を軽減することができる。さらに、コアブロックの対向方向に隔たった２箇所に巻かれるコイルが１個所にまとめて巻かれるため、コイルの巻付けが簡単になり、また、コイル巻付けのための１対の外向きフランジが１つのコアブロックについて１個所、設けられればよく、フランジ数が少なくて済み、その分もコアブロックを短くし、重量を軽減することができる。スペーサ５３０および桁材５３２，５３４はいずれもアルミニウム合金製とされ、軽く、電機子の重量増大が小さく抑えられ、コアブロックの小形化による重量軽減効果を享受することができる。

さらに別の実施形態を図３０および図３１に示す。
本実施形態のリニアモータ５５０は、１列の磁石列５５２と、その磁石列に対向する電機子５５４とを備えた単列型のリニアモータである。磁石列５５２は、複数の永久磁石５５６が長手形状のヨーク５５８に極性が交互に変わる状態で等間隔に固定されて成る。電機子５５４は、互いに独立した複数のコアブロック５６２が連結装置５６４により連結され、各コアブロック５６２にボビン５６６を介してコイル５６８が巻かれている。

コアブロック５６２は、長方形の平板の両端にそれぞれフランジ５７２，５７４が形成された形状を有し、ボビン５６６が１つ嵌合されている。ボビン５６６は、例えば、前記ボビン１７０と同様に構成され、ボビン形成部材１７２，１７４と同様に構成された２つのボビン形成部材５７６，５７８がそれぞれ、コアブロック５６２に直交方向の両側から嵌合されるとともに、互いに係合させられて成り、四角筒部５８０と、対向方向の中央位置より、対向方向の片側の端に寄った位置に設けられた１対の外向きフランジ５８２，５８４とを有する。

本リニアモータ５５０も三相交流のリニアモータであり、コイル５６８は、四角筒部５８０の１対の外向きフランジ５８２，５８４の間の部分に巻かれるが、例えば、各相毎に３つずつのコアブロック５６２にコイル５６８が連続して巻かれる。３つのコアブロック５６２が直列に並べられた状態で、それらコアブロック５６２にコイル５６８が順次巻かれ、巻き後、２つ目のコアブロック５６２を１つ目および３つ目の各コアブロック５６２に対して対向方向において１８０度反転させ、３つのコアブロック５６２を配列方向に並べる。それにより、各コアブロック５６２に巻かれたコイル５６８が千鳥状に配置されるとともに、各コアブロック５６２の中央位置側の外向きフランジ５８４の間に隙間５８６が形成され、ヒートパイプ（図示省略）の下部が挿入される。

複数のコアブロック５６２はコイル５６８が巻かれ、一直線状に配列された状態でそれぞれ、連結材５９０に固定され、連結される。連結材５９０は長手形状の板状を成し、図３０に示すように、複数のコアブロック５６２の対向方向の一方の側に位置するフランジ５７２，５７４に当てられ、複数のコアブロック５６２の各々に対向方向に平行に形成された雌ねじ穴５９２に、連結材５９０を通って挿入されたボルト５９４が螺合される。ボルト５９４はコアブロック５６２毎に直交方向に隔たった２箇所にそれぞれ螺合され、複数のコアブロック５６２は配列方向に等間隔に並ぶ状態で連結材５９０に固定される。連結材５９０，雌ねじ穴５９２およびボルト５９４が連結装置５６４を構成している。連結装置５６４は、雌ねじ穴５９２および連結材５９０のボルト５９４が嵌合される穴の直径および形成位置精度が高くされ、複数のコアブロック５６２を配列方向において位置決めする位置決め装置の機能を果たす。

連結材５９０にはまた、図３０に示すように、配列方向の両端部にそれぞれ、板状のアーム部６００が、対向方向に平行に、かつ複数のコアブロック５６２とは反対側へ延び出す向きに設けられ、結合部たる連結部を構成しており、図示を省略するＹ軸スライドの脚部がボルトによって固定される。
本リニアモータにおいても、コイル５６８への電流供給によって生じさせられる推進力によって電機子５５４が移動させられてＹ軸スライドが移動させられ、コイル５６８が発する熱はヒートパイプおよびヒートパイプに取り付けられた複数のフィンにより放熱される。連結材５９０およびボルト５９４は強磁性材料によって作られており、それらを磁力線が通り、推進力が生じさせられる。

リニアモータにおいて電機子の複数のコアが互いに独立した複数のコアブロックにより構成される場合、それらコアブロックがスペーサを用いて互いに連結されるようにしてもよい。その実施形態を図３２および図３３に基づいて説明する。
本実施形態のリニアモータ６２０は２列対向型であり、電機子６２２のコアブロック６２４は、長方形の平板の両端にそれぞれフランジ６２６，６２８が形成された形状を有し、前記リニアモータ４７０のコアブロック４７４と同様に、対向方向の片側、１個所にコイル６３０が巻かれる。そのため、コアブロック６２４に嵌合されるボビンは、図示は省略するが、前記ボビン４７６と同様に、四角筒部および１対の外向きフランジを有する。そして、隣接するコアブロック６２４においてコイル６３０が千鳥状に配設され、各ボビンの対向方向において中央位置側の外向きフランジの間に隙間６３２が形成され、その隙間６３２にスペーサ６３４が配設される。図３２において×印が付された長方形は、ボビンに巻かれたコイル６３０を概略的に示し、ボビンも含まれる。このボビンの四角筒部の底壁の対向方向において隙間６３２に対応する部分には、配列方向に貫通して開口が形成され、コアブロック４７４の隙間６３２に隣接する部分の上面および下面が外部に開放されている。

スペーサ６３４は、横断面形状が矩形の角柱状を成し、非磁性材料製の金属、例えば、アルミニウム合金により作られ、隙間６３２に嵌合されて、隣接するコアブロック６２４の対向方向における中央部間に挟まれ、複数のコアブロック６２４を配列方向において位置決めする。また、本スペーサ６３４は、図３３に示すように、ヒートパイプ６３６の一端部を構成している。スペーサ６３４の直交方向における一方の端部である下端部には大径の頭部６３８が設けられ、他方の端部である上端部の先端面である上端面から雄ねじ部６４０が突出させられるとともに、その雄ねじ部６４０の先端面である上端面から中空円筒部６４２が同心状に突出させられている。これらスペーサ６３４，雄ねじ部６４０および中空円筒部６４２を貫通して貫通穴６４４が形成されるとともに、その両端開口がそれぞれ栓材６４６，６４８により塞がれて行き止まり穴とされ、その内周面に毛細管層が形成されるとともに熱媒液が含浸させられ、全体がヒートパイプ６３６として機能するようにされている。

複数のコアブロック６２４がボビンが嵌合され、コイル６３０が巻かれるとともに、隣接するコアブロック６２４の各コイル６３０が千鳥状に配置された状態で、複数のコアブロック６２４の各上面と下面とのそれぞれ、ボビンの開口により外部に開放された部分に跨って板状の桁材６６０，６６２が配設される。そして、下側の桁材６６２に形成された貫通穴６６３を通って隙間６３２にスペーサ６３４が嵌合され、スペーサ６３４に設けられた連結用の雄ねじ部６４０および中空円筒部６４２が上側の桁材６６０に形成された貫通穴６６５を通って上方へ突出させられるとともに、雄ねじ部６４０にナット６６４が螺合される。スペーサ６３４の直交方向の長さは、コアブロック６２４より公差範囲で短くされており、桁材６６０，６６２がそれぞれ、複数のコアブロック６２４の各上面と下面とに押し付けられ、複数のコアブロック６２４が互いに連結される。桁材６６０，６６２，雄ねじ部６４０およびナット６６４が連結装置６６６を構成している。

電流供給によりコイル６３０が発する熱はスペーサ６３４へ伝達され、ヒートパイプ６３６により放熱される。図示は省略するが、ヒートパイプ６３６の隙間６３２から突出した部分には放熱フィンが設けられている。コアブロック６２４には貫通穴が形成されていないため、コイル６３０への電流供給により発生させられる磁力線は、コアブロック５２４全体を通って流れることができる。本スペーサ６３４は、ヒートパイプ６３６の一端部を構成するとともに、雄ねじ部６４０がヒートパイプ６３６と同心状に形成されているため、ヒートパイプがスペーサとは別体とされ、スペーサにヒートパイプ挿入用の穴を形成するとともに、桁材を固定するためのボルトを貫通する貫通穴を形成する場合に比較して、スペーサを横断面形状が小さいものとすることができ、スペーサにヒートパイプを設けるとともに、スペーサにおいてコアブロックの桁材への固定を行うことが容易である。

隣接するコアブロックの間にスペーサを挟んで配列する場合、スペーサとヒートパイプとを別体とし、スペーサに形成された穴にヒートパイプの一端部が挿入されるようにしてもよい。
例えば、図３４に示すリニアモータ７００の電機子７０２において、複数のコアブロック７０４間に挟まれるスペーサ７０６は、アルミニウム合金により作られ、直交方向の一端部である下端部に頭部７１０を有し、他端部である上端部に雄ねじ部７１２が突設されるとともに、直交方向に貫通して形成された挿入穴７１４にヒートパイプ７１６の下部が挿入されている。コイルへの電流供給により発生した熱は、スペーサ７０６からヒートパイプ７１６へ伝達され、上方へ放熱される。ヒートパイプ７１６の挿入穴７１４から上方への突出部には、放熱フィン（図示省略）が設けられている。その他の構成は、図３２および図３３に示す実施形態と同じであり、同じ作用を成す構成要素には同一の符号を付して対応関係を示し、説明を省略する。

なお、前記コアブロック１４２のように対向方向の２箇所にコイルが巻かれる場合にも、前記コアブロック４７４と同様に、コアブロックのコイルが千鳥状に配設されることを許容するためにコイルが巻かれない部分に貫通穴を形成し、その貫通穴に挿通されたボルトによって２本の桁材を結合することにより、複数のコアブロックが互に連結されるようにしてもよい。この場合、コアブロックは、配列方向の幅が対向方向全部においてコイルが巻かれる部分と同じ幅にされるとともに、前記連結部１５０，４１２のように、対向方向において連結専用の部分を設けることが不要となり、コアブロックを小形化することができる。

また、前記コアブロック１４２のように対向方向の２箇所にコイルが巻かれる場合にも、スペーサを用いて２本の桁材を連結するようにしてもよい。その場合、例えば、コアブロックは、連結部に貫通穴が形成されないことを除いて前記コアブロック４０４と同様に構成され、隣接するコアブロックの各連結部の間にスペーサが挟まれ、そのスペーサに形成された貫通穴を通ってボルトが挿通され、一方の桁材に形成された雌ねじ穴に螺合され、２本の桁材を連結部の直交方向の両端面に押し付けて複数のコアブロックを結合する。スペーサを、図３２および図３３に示すスペーサ６３４と同様に、連結ねじおよびヒートパイプが一体に設けられたものとし、あるいは図３４に示すスペーサ７０６と同様に連結ねじが一体に設けられるとともにヒートパイプが挿入されるものとし、ヒートパイプが対向方向において３箇所に設けられるようにしてもよい。

さらに、ボビンは、筒部の直交方向に平行な１対の側壁部をそれぞれ、対向方向における位置を異にする２つの分割面により切断することにより得られる２部材から成るものとしてもよい。この２つの分割面は、ボビンを対称に分割する面とされてもよく、非対称に分割する面とされてもよい。

また、リニアモータが単列型であっても、２列対向型であっても、複数のコアは一体に設けられてもよい。一体の複数のコアは、磁石列と電機子とが沿って相対移動させられる一直線に平行な方向に並んで整列した状態に作られ、それらが並ぶ方向は整列方向と称される。

さらに、リニアモータが三相交流で作動させられる場合、電機子の相毎のコアブロックの数は３つに限らず、１つあるいは２つでもよく、あるいは４つ以上でもよく、三相の各コイルが互いに接続されたコイル群は１セットでもよく、３セット以上設けてもよい。

また、コアブロックにボビンを２つ嵌合する場合、前記コアブロック１４２およびボビン１７０を例に取れば、２つのボビン１７０がそれぞれ、各々の一対の外向きフランジ２３２，２３４がいずれもコアブロック１４２の１対のフランジ１４６，１４８に隣接するように嵌合されたコアブロック１４２と、各々の１対の外向きフランジ２３２，２３４がいずれもコアブロック１４２の対向方向の中心側（連結部１５０側）に位置するように嵌合されたコアブロック１４２との２種類のコアブロック１４２を用意し、それら２種類のコアブロック１４２を交互に配列して、コイル１４０が千鳥状にかつ対向方向に隙間を隔てて配設されるようにしてもよい。この場合も、例えば、３相交流のリニアモータにおいて１相毎に３つのコアブロック１４２にコイル１４０を巻く場合、種類が同じである２つのコアブロック１４２と種類が異なる１つのコアブロック１４２とを交互に直列に並べ、それら３つのコアブロック１４２に、前記リニアモータ７２，７４において３つのコアブロック１４２にコイル１４０を巻く場合と同様にコイル１４０を巻き、２つ目のコアブロック１４２を１８０度反転させて３つのコアブロック１４２を１列に配列する。
この場合、１つのコアブロック１４２に嵌合される２つのボビン１７０は、互いに１８０度反転（コアブロック１４２の直交方向に平行な軸線まわりに１８０度回転）させられた位置関係にあり、ボビン１７０の４箇所に溝２１０が設けられることにより、２つのボビン１７０のいずれについても巻始め部分を溝２１０に嵌め入れて、四角筒部２３０の外側面に接する位置まで導かせることができるとともに、その直列方向における向きを問うことなく（コアブロック１４２を位置決め治具にセットする際に、対向方向に平行な軸線まわりにおいて１８０度異なる２つの姿勢のどちらでセットしてもよい）、コイル１４０を巻くことができる。
前記図１〜図２５に示すリニアモータ７２，７４においては、コアブロック１４２に、２つのボビン１７０の一方は、その外向きフランジ２３２，２３４が連結部１５０側に位置し、他方は、その外向きフランジ２３２，２３４がフランジ側に位置するように嵌合されるため、１つのボビン１７０について溝２１０が２つ設けられれば、コアブロック１４２の直列方向における向きを問うことなく、ボビン１７０にコイル１４０を巻くことができるが、ボビン１７０の４箇所に溝２１０が設けられることにより、上記のように２つのボビン１７０の嵌合箇所が異なる２種類のコアブロック１４２を用意してボビン１７０にコイル１４０を巻き、千鳥状に配設することもできる。

さらに、ヘッド移動装置は、基板保持装置に保持された回路基板に平行な平面内において直交する２方向の両方についてそれぞれ、保持ヘッドをリニアモータにより移動させる装置としてもよい。

１２，１４：電子回路部品装着部 １８：回路基板 ３０，３２：部品供給装置 ３４：基板保持装置 ３６，３８：保持ヘッド ４０，４２：ヘッド移動装置 ６８，７０：Ｙ軸スライド ７２，７４：リニアモータ １２０，１２２：磁石列 １２４：ヨーク １２６：永久磁石 １３０，１３２：電機子 １４０：コイル １４２：コアブロック １４４：連結装置 １４６，１４８：フランジ １５０：連結部 １５６：貫通穴 １７０：ボビン １７２，１７４：ボビン形成部材 １９２：スリット ２０４：突条 ２３０：四角筒部 ２３２，２３４：外向きフランジ ２４０：隙間 ２５０，２５２：桁材 ２５４：ボルト ２５６：雌ねじ穴 ２８０：ヒートパイプ ２８６：放熱フィン ３０１，３０２：連結アーム ３２０：ファン ３２２：カバー ３２６：導風筒 ３５２：カバー ３５４：開口 ３５６：ファン ４００：リニアモータ ４０２：電機子 ４０４：コアブロック ４０６，４０８：フランジ ４１０：貫通穴 ４１２：連結部 ４１４：ボビン ４１６：コイル ４１８，４２０：ボビン形成部材 ４３６：スリット ４３８：突条 ４５０：四角筒部 ４５２，４５４：外向きフランジ ４５６：隙間 ４５８，４６０：桁材 ４６２：ボルト ４６４：雌ねじ穴 ４６６：連結装置 ４７０：リニアモータ ４７２：電機子 ４７４：コアブロック ４７６：ボビン ４７８：コイル ４８０，４８２：フランジ ４８４：貫通穴 ４９０，４９２：ボビン形成部材 ５０８：スリット ５１０：突条 ５２０：四角筒部 ５２２，５２４：外向きフランジ ５２６：隙間 ５３２，５３４：桁材 ５３６：ボルト ５３８：雌ねじ穴 ５４０：連結装置 ５４２：連結部 ５５０：リニアモータ ５５２：磁石列 ５５４：電機子 ５５６：永久磁石 ５５８：ヨーク ５６２：コアブロック ５６４：連結装置 ５６６：ボビン ５６８：コイル ５７２，５７４：フランジ ５７６，５７８：ボビン形成部材 ５８０：四角筒部 ５８２，５８４：外向きフランジ ５８６：隙間 ５９０：連結材 ５９２：雌ねじ穴 ５９４：ボルト ６２０：リニアモータ ６２２：電機子 ６２４：コアブロック ６２６，６２８：フランジ ６３０：コイル ６３２：隙間 ６３４：スペーサ ６３６：ヒートパイプ ６４０：雄ねじ部 ６４２：中空円筒部 ６４４：貫通穴 ６６０，６６２：桁材 ６６４：ナット ６６６：連結装置 ７００：リニアモータ ７０２：電機子 ７０４：コアブロック ７０６：スペーサ ７１２：雄ねじ部 ７１６：ヒートパイプ

Claims (10)

1. 複数の永久磁石が極性が交互に変わる状態で長手形状のヨークに固定されて成る磁石列と、複数のコアにそれぞれコイルが巻かれて成る電機子とが互いに近接して配置され、コイルに電流が供給されることにより一直線に沿って相対移動させられるリニアモータであって、
   前記磁石列に対向する対向方向に延びる複数のコアが前記一直線に平行な整列方向に整列し、それら複数のコアの前記整列方向において互いに隣接するもの同士に関して、前記コイルが、千鳥状にかつ前記対向方向に隙間を隔てて配設され、それらコイル間の前記隙間に、前記複数のコアの整列方向とそれら複数のコアの各々が延びる方向との両方に直角な方向に延びる複数のヒートパイプの各一端部が挿入される一方、それらヒートパイプの各他端部が前記隙間の外部に突出させられ、それら突出した他端部の各々に複数のフィンが設けられたことを特徴とするリニアモータ。
2. 前記磁石列が、前記対向方向において互いに対向して２列配設され、それら２列の磁石列の各々に対向する状態で前記複数のコアの群がそれぞれ配設され、各コア群に関して前記複数のコイルが千鳥状に配設され、それら千鳥状に配設されたコイルの隙間に前記複数のヒートパイプの前記各一端部が挿入された請求項１に記載のリニアモータ。
3. 前記複数のコアが、互いに独立したコアブロックであり、それら複数のコアブロックが連結装置により互いに連結された請求項１または２に記載のリニアモータ。
4. 前記磁石列が前記対向方向において互いに対向して２列配設され、前記複数のコアが、互いに独立し、かつ、両端において前記２列の磁石列にそれぞれ対向させられるとともに連結装置により互いに連結された複数のコアブロックにより構成され、それら複数のコアブロックの前記２列の磁石列の一方に対向する部分に巻かれたコイルと、前記２列の磁石列の他方に対向する部分に巻かれたコイルとがそれぞれ千鳥状にかつ前記対向方向において互いに隙間を隔てて配設され、それら隙間に前記複数のヒートパイプの前記各一端部が挿入された請求項１に記載のリニアモータ。
5. 前記複数のコアブロックの各々が、四角形の平板の両端にそれぞれフランジが形成された形状を有し、それら平板状コアブロックがそれらの中央部間にアルミニウム合金製のスペーサが挟まれた状態で前記整列方向に配列された請求項３または４に記載のリニアモータ。
6. 前記複数のコアブロックの各々が、四角形の平板の両端にそれぞれフランジが形成された形状を有し、それら複数のコアブロックの各々に、各コアブロックを前記整列方向および前記対向方向に直角な方向である直交方向に貫通する貫通穴が形成され、かつ、前記連結装置が、前記複数のコアブロックの前記直交方向の両端の一方と他方とにそれぞれ跨って延びる２本の桁材と、前記複数のコアブロックの各々の貫通穴にそれぞれ挿通され、前記２本の桁材を結合することにより、それら２本の桁材を前記複数のコアブロックの両端面に押し付け、それら複数のコアブロックを連結する結合部材とを含む請求項３ないし５のいずれかに記載のリニアモータ。
7. 前記連結装置が、前記複数のコアブロックの前記整列方向と前記対向方向とに直交する方向である直交方向の両端の一方と他方とにそれぞれ跨って延びる２本の桁材と、前記スペーサとを含み、そのスペーサが２本の桁材を結合することにより、それら２本の桁材を前記複数のコアブロックの両端面に押し付け、それら複数のコアブロックを連結する請求項５に記載のリニアモータ。
8. さらに、
   前記整列方向に延び、前記電機子と共同して前記複数のコアに対応する複数の前記ヒートパイプに設けられた前記フィンを囲む導風筒を形成するカバーと、
   前記導風筒の少なくとも一端部に設けられ、その導風筒内に空気の流れを生じさせるファンと
   を含む請求項１ないし７のいずれかに記載のリニアモータ。
9. 前記複数のコアの各々にボビンが嵌合され、それらボビンに前記複数のコイルの各々が巻かれており、かつ、それらボビンが、前記コアに嵌合される筒部と、その筒部の中央位置より片側の端に寄った２つの位置からそれぞれ外向きに突出させられた１対のフランジとを有し、前記複数のコアのうち互いに隣接するコアに、前記対向方向に関して互いに１８０度反転させられた状態で嵌合されることにより、前記一対のフランジの内側面間に巻かれた前記コイルが千鳥状の配置となるとともに、互いに隣接するボビンの各一対のフランジの外側面間に前記ヒートパイプが挿入されるべき前記隙間が形成される構造を有する請求項１ないし８のいずれかに記載のリニアモータ。
10. 当該リニアモータがＵ相，Ｖ相，Ｗ相の３相を有する三相交流により作動するものであり、前記複数のコイルのうち、少なくとも前記Ｕ相，Ｖ相，Ｗ相の各相のコイルであって前記整列方向において互いに隣接するコアに巻かれたコイルのすべてが接続部のない巻き線によって形成された請求項１ないし９のいずれかに記載のリニアモータ。

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