JP5420437B2 - Powder detector - Google Patents
Powder detector Download PDFInfo
- Publication number
- JP5420437B2 JP5420437B2 JP2010008749A JP2010008749A JP5420437B2 JP 5420437 B2 JP5420437 B2 JP 5420437B2 JP 2010008749 A JP2010008749 A JP 2010008749A JP 2010008749 A JP2010008749 A JP 2010008749A JP 5420437 B2 JP5420437 B2 JP 5420437B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- powder
- amount
- detection apparatus
- receivers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000843 powder Substances 0.000 title claims description 70
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 44
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 14
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Drilling And Boring (AREA)
- Indicating Or Recording The Presence, Absence, Or Direction Of Movement (AREA)
Description
本発明は、ドリルなどによる切削によりダクト中を通過する切削粉や、集塵機などによりダクト中を通過する粉塵などの粉末の有無または粉末の量などを検出する粉末検出装置に関する。 The present invention relates to a powder detection device that detects the presence or amount of powder such as cutting powder passing through a duct by cutting with a drill or the like, and dust passing through the duct with a dust collector or the like.
プリント基板には電気部品の実装のために多数の穴あけ加工が必要であり、ドリルによる加工が行なわれている。これらの加工装置では自動化が進められており、ドリルの磨耗などによる破損の検出は不良品の発生を最小限にするためにも不可欠である。従来、ドリルの破損の検出方法の1つとして、下記の特許文献1に示される方法が開発されている。 A large number of holes must be drilled in the printed circuit board for mounting electrical components, and drilling is performed. These processing apparatuses are being automated, and detection of breakage due to wear of a drill is indispensable for minimizing the occurrence of defective products. Conventionally, a method shown in the following Patent Document 1 has been developed as one method of detecting breakage of a drill.
この方法では、加工中に切削粉がダクト中を通過するのを切削粉検出器によって検出し、加工中にその検出器の出力がない場合にドリルが破損したと判断し、破損を検出している。この切削粉検出器の構成方法の1つとして、1組の光源と受光器からなる光学的な検出装置が使用されている。 In this method, the cutting powder detector detects that cutting powder passes through the duct during machining, and if there is no output from the detector during machining, it is determined that the drill is broken, and the breakage is detected. Yes. As one method for configuring the cutting powder detector, an optical detection device including a set of light sources and light receivers is used.
この検出装置は、光源の出射光をダクト中を通過する切削粉に照射し、そこを通過して入射する位置に置かれた受光器の出力変化を測定することにより切削粉の有無を検出する装置である。 This detection device detects the presence or absence of cutting powder by irradiating the cutting powder passing through the duct with the light emitted from the light source and measuring the change in the output of the light receiver placed at the position through which the cutting powder enters. Device.
図4はこのような従来の光学的な検出装置とそれを使用したプリント基板穴あけ用の切削加工装置を示す構成図である。図4において、プリント基板14などへの穴明を行うための穴明機11にドリル12が取り付けられ、設定されたプログラムに従って、移動ステージ13上に設置されたプリント基板14が所定の位置に移動し、穴明け動作を繰り返し行なうことにより多くの穴が明けられる。ここで、穴明けに伴って発生する切削粉19はドリルの近傍に開口が設けられたダクト15によって吸い込まれて排出される。このダクトの途中に、切削粉を検出するための光検出装置20が設けられている。光検出装置20はダクトの検出部16に設けた光を透過させるための透明管21と、透明管21を挟んで対向して配置された光源22と、受光器23と、光源22および受光器23を内蔵し透明管21を挿入する穴を設けた筐体24とを備えている。
FIG. 4 is a block diagram showing such a conventional optical detection device and a cutting device for drilling a printed circuit board using the same. In FIG. 4, a
受光器23の出力は信号処理装置25に入力され、信号処理装置25は、受光器23の出力電圧の変化を検出する手段、受光器23の出力電圧の変化量が一定の閾値を超える回数を検出する手段を備えている。
The output of the
このような切削粉の有無をダクトから検出する方式は、切削装置には通常ダクトが既に設置されているので、検出装置の設置が容易であるという特長がある。また、光学系が簡単であり、光源として発光ダイオードを、受光器としてフォトダイオードを使用できるため検出装置が安価に実現できるという特長がある。 Such a method of detecting the presence or absence of cutting powder from the duct has a feature that the detection apparatus is easy to install because the duct is usually already installed in the cutting apparatus. Further, since the optical system is simple and a light emitting diode can be used as a light source and a photodiode can be used as a light receiver, the detection device can be realized at low cost.
最近は小さな穴径でかつ高精度の加工の要求が多くなっている。このため、検出すべき切削粉の大きさが小さく、その量も少ない場合が多い。そこで、従来の上記の検出装置では感度が不十分となり、適用可能な範囲が限られてしまうことや、感度を向上させるために処理回路や装置が複雑化して高価になってしまうことなどの問題がある。 Recently, there is an increasing demand for high-precision machining with a small hole diameter. For this reason, the size of the cutting powder to be detected is small and the amount thereof is often small. Therefore, the above-described conventional detection apparatus has insufficient sensitivity, and the applicable range is limited, and the processing circuit and apparatus become complicated and expensive to improve the sensitivity. There is.
さらに、従来の装置では、切削粉の有無によってドリルが破損していないか破損しているかを検出するのもであって、ドリルの破損後でないと破損を検出ができない。加工途中にドリルの破損が生じてしまうと被加工物にも破損が生じてしまうので不良品が発生し、また、破損後のドリルの交換は処理時間がかかってしまう。一般に、破損する前のドリルが劣化した状態では切削粉の大きさや量が変化するので、検出装置の感度を改善できれば劣化状態の検出が可能となり、破損前にドリルの交換が可能となる。また、高感度で安価な粉末の検出装置が得られれば、集塵機などの他の粉末の検出にも応用できる。 Furthermore, the conventional apparatus detects whether the drill is broken or broken depending on the presence or absence of cutting powder, and the breakage cannot be detected unless the drill is broken. If the breakage of the drill occurs during the machining, the work piece will also be damaged, resulting in a defective product, and exchanging the drill after the breakage takes a processing time. Generally, since the size and amount of cutting powder change when the drill before breakage is deteriorated, if the sensitivity of the detection device can be improved, the deterioration state can be detected, and the drill can be replaced before breakage. Moreover, if a highly sensitive and inexpensive powder detection device is obtained, it can be applied to detection of other powders such as a dust collector.
そこで、本発明の課題は、従来の切削粉の検出装置よりも高感度で、かつ安価な粉末検出装置を提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a powder detection device that is more sensitive and less expensive than a conventional cutting powder detection device.
上記課題を解決するため、本発明による粉末検出装置は、一定の領域を通過する粉末の有無またはその量の少なくとも一方を検出する粉末検出装置であって、前記領域に光を照射する複数の光源と、前記領域を通過したそれぞれの光を受光する複数の受光器と、前記粉末が前記領域を通過することによる前記受光器の出力電圧の変化を検出する手段と、該出力電圧の変化量が一定の閾値を超える回数を検出する手段とを備え、前記複数の光源の出射方向は互いに平行ではなく、前記複数の光源からの出射光が前記領域中のほぼ同一の部分を照射することを特徴とする。 In order to solve the above problems, a powder detection apparatus according to the present invention is a powder detection apparatus that detects at least one of the presence or the amount of powder passing through a certain area, and a plurality of light sources that irradiate the area with light. A plurality of light receivers that receive the respective lights that have passed through the region, means for detecting a change in the output voltage of the light receiver due to the powder passing through the region, and a change amount of the output voltage. Means for detecting the number of times exceeding a certain threshold value, and the emission directions of the plurality of light sources are not parallel to each other, and the emission light from the plurality of light sources irradiates substantially the same portion in the region. And
ここで、前記光源は発光ダイオードを備え、前記受光器はフォトダイオードを備えてもよい。 Here, the light source may include a light emitting diode, and the light receiver may include a photodiode.
また、前記一定の領域は透明な管の中であってもよい。この場合、前記複数の光源と前記複数の受光器は、前記の透明な管の外形が勘合する穴を有する1つの筐体に固定されていてもよい。 The certain area may be in a transparent tube. In this case, the plurality of light sources and the plurality of light receivers may be fixed to one housing having a hole into which the outer shape of the transparent tube is fitted.
また、前記複数の受光器の出力を並列に接続して得られる出力電圧の変化を検出してもよい。 Further, a change in output voltage obtained by connecting outputs of the plurality of light receivers in parallel may be detected.
本発明は、発明者が従来の切削粉の検出装置の感度を改善するため実験検討を行った結果、完成させたものである。従来の検出装置では、光源の強度を大きくすると感度の改善ができるが、感度の飽和やノイズの影響があるため改善効果は十分ではない。また、複数の光源と受光器を用い、ダクト中の切削粉が通過する領域に同一方向から光を照射してそれぞれ受光器で受光し、検出する構成により改善が得られるが、この場合でも光源と受光器の数を増やしても十分な感度は得られなかった。 The present invention has been completed as a result of experiments conducted by the inventors to improve the sensitivity of a conventional cutting powder detection device. In the conventional detection device, the sensitivity can be improved by increasing the intensity of the light source. However, the effect of improvement is not sufficient because of sensitivity saturation and the influence of noise. In addition, improvements can be obtained by using a plurality of light sources and light receivers, irradiating light from the same direction to the area through which the cutting powder in the duct passes, and receiving and detecting each with the light receivers. Even if the number of photo detectors was increased, sufficient sensitivity could not be obtained.
これに対して、本発明のように、出射光がダクト中のほぼ同一の部分を照射するような互いに異なる出射角度を有する複数の光源を使用し、その照射された光がそこを通過して入射するそれぞれの位置に複数の受光器を設置して検出することにより、従来よりも検出感度が大幅に改善されることが判明した。その理由は以下であると推定される。 On the other hand, as in the present invention, a plurality of light sources having different emission angles such that the emitted light illuminates substantially the same portion in the duct is used, and the emitted light passes through the light source. It has been found that the detection sensitivity is greatly improved by installing a plurality of light receivers at each incident position and detecting them. The reason is estimated as follows.
切削粉の検出装置の原理は、切削粉の通過により照射光が遮断されて受光器に入射する際の光量変化により切削粉の通過を検出するものである。複数の光源とそれに対応する受光器を使用した場合、従来のように単に複数の光源と受光器を並べてそれぞれダクト中の異なる部分を照射しても、厳密には、それらに対応する受光器の出力電圧はそれぞれ切削粉に対する異なる情報を有する信号となるので、それらの検出信号を加算しても感度の改善効果は小さい。切削粉がダクト中を通過して行くときは、そのダクト中の場所や時間により切削粉の分布は異なると考えられるからである。一方、本発明では、異なる方向から同時にダクト中の同一の部分に光を照射して検出するので、複数の受光器の出力電圧は切削粉に対しほぼ同じ情報を有することになり、それらの加算により感度は大幅に改善される。 The principle of the cutting powder detection device is to detect the passage of the cutting powder by the change in the amount of light when the irradiation light is blocked by the passage of the cutting powder and enters the light receiver. When a plurality of light sources and corresponding light receivers are used, even if a plurality of light sources and light receivers are simply arranged side by side and different portions in the duct are irradiated as in the past, strictly speaking, the light receivers corresponding to them are not arranged. Since each output voltage becomes a signal having different information for the cutting powder, the effect of improving the sensitivity is small even if these detection signals are added. This is because when the cutting powder passes through the duct, it is considered that the distribution of the cutting powder varies depending on the location and time in the duct. On the other hand, in the present invention, since the same portion in the duct is simultaneously irradiated with light from different directions and detected, the output voltages of the plurality of light receivers have almost the same information with respect to the cutting powder, and their addition This greatly improves the sensitivity.
さらに、切削粉は粉末形状が球とは大きく異なり、扁平状など非対称で複雑な形状をしており、しかもその形状は切削条件により、また時間的にも大きく異なる。そこで、ダクト中に一定の方向から光を照射した場合、通過する切削粉の大きさや量が同じであっても、その切削粉の向きにより照射光の遮断量は異なり、受光器の出力電圧の変化が小さい場合が存在すると推定される。 Further, the cutting powder has a powder shape that is very different from a sphere, and has an asymmetric and complicated shape such as a flat shape, and the shape varies greatly depending on cutting conditions and in time. Therefore, when light is irradiated into the duct from a certain direction, even if the size and amount of the cutting powder that passes through the duct are the same, the amount of light that is cut off depends on the direction of the cutting powder. It is estimated that there are cases where the change is small.
一方、本発明では、異なる方向から同時にダクト中の同一の部分に光を照射して検出するので、複数の受光器の全体では出力電圧の変化は平均化されて安定し、複数の受光器の出力電圧をそのまま、または増幅器を通して加算することにより安定な感度が得られることになる。 On the other hand, in the present invention, since the same part in the duct is simultaneously irradiated with light from different directions and detected, the change in output voltage is averaged and stabilized throughout the plurality of light receivers. Stable sensitivity can be obtained by adding the output voltage as it is or through an amplifier.
以上のように、本発明により、従来の切削粉の検出装置よりも高感度で、かつ安価な粉末検出装置が得られる。 As described above, according to the present invention, it is possible to obtain a powder detection device that is more sensitive and less expensive than a conventional cutting powder detection device.
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
図1は本発明による粉末検出装置の一実施の形態を示す構成図である。図1において、本実施の形態の粉末検出装置は、ダクトなどの筒32の中の一定の領域を通過する粉末33の有無またはその量の少なくとも一方を検出する粉末検出装置である。筒32の中に光を照射する2つの光源34および35と、それらの光源からのそれぞれの出射光38および39が筒32の所定の領域に入射し、ここを通過してきたそれぞれの光を受光する2つの受光器36および37とが配置されている。さらに、装置は、粉末33が筒32の中を通過することによる受光器36および37の出力電圧の変化を検出する手段とその出力電圧の変化量が一定の閾値を超える回数を検出する手段とを有する信号処理回路25を備え、2つの光源34および35の出射方向は互いに平行ではなく、それらの光源からの出射光38および39が筒32の中のほぼ同一の部分40を照射するように構成されている。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a powder detection apparatus according to the present invention. In FIG. 1, the powder detection device of the present embodiment is a powder detection device that detects at least one of the presence and the amount of
ここで、光源34および35はそれぞれ発光ダイオードを備え、受光器36および37はそれぞれフォトダイオードを備えている。
Here, the
また、筒32は透明な管であってもよく、または筒32に光が通過する透明な窓が設けられていてもよい。また、2つの光源34および35と2つの受光器36および37は、筒32の外形が勘合する穴を有する1つの筐体に固定されていてもよい。
The
図2は本実施の形態における光源34および35、受光器36および37、信号処理回路25の構成を示す図である。図2において、光源34および35はそれぞれ発光ダイオード1とその駆動回路2により構成され、受光器36および37はそれぞれフォトダイオード3と増幅回路4とにより構成される。各フォトダイオード3の出力は増幅回路4により増幅され、信号処理回路25に入力する。信号処理回路の入力段で各増幅回路の出力は結合され加算される。加算出力は、のコンパレータ6に入力する。発光ダイオード1とフォトダイオード3の間を粉末が通過すると、フォトダイオード3の出力電圧がその通過時間だけ低下するので、直流成分を除去されて増幅回路4から出力される波形はその粉末の大きさと通過速度で決まる幅のパルス状の波形となる。粉末がダクト中の切削粉である場合はそのパルス幅は通常、数μs〜数百μs程度である。コンパレータ6では増幅回路の出力電圧の変化量、すなわち上記のパルスの高さが予め定められた閾値と比較され、その閾値を超えたパルスの回数がカウンタ8により計数され、その結果が判定処理回路9に送られる。判定処理回路9では、粉末の有無、または予め定められた値と比較され校正された粉末の量が出力される。
FIG. 2 is a diagram showing the configuration of the
ドリルの破損または劣化の検出装置としてダクト中の切削粉を検出する場合には、上記計数されたパルスの回数および1回のドリル穴あけ毎のその回数の変動量が予め定めた劣化基準回数の範囲および予め定めた劣化基準変動量の範囲と比較され、その結果によりドリルの劣化や破損の情報が出力される。 When detecting cutting powder in a duct as a device for detecting breakage or deterioration of a drill, the number of pulses counted as described above and the fluctuation amount of the number of times per drilling are within a predetermined deterioration reference number range. Then, it is compared with the range of the predetermined deterioration reference fluctuation amount, and information on the deterioration or breakage of the drill is output as a result.
ここで、本実施の形態では、2つの受光器36および37の出力が加算されて出力されるが、この場合、それらの受光器の出力を並列に接続して信号処理回路25に入力しても良く、または、図5に示すように増幅回路4を共通にして、1つの増幅回路4に受光器36および37の2つのフォトダイオードを接続しても良い。同様に1つの駆動回路2に光源34および35の2つの発光ダイオードを接続しても良い。
In this embodiment, the outputs of the two
また、上記の実施の形態では光源、受光器はそれぞれ2個で構成されているが、それぞれ3個、またはそれ以上の数の光源、受光器を用いることにより、さらに感度の向上が得られる。 In the above embodiment, the number of light sources and light receivers is two. However, the sensitivity can be further improved by using three or more light sources and light receivers.
次に、上記の実施の形態の粉末検出装置の具体的な実施例について説明する。 Next, specific examples of the powder detection device according to the above embodiment will be described.
図3は、上記の実施の形態の一実施例である1つの筐体に固定された光源と受光器を示す図であり、図3(a)は平面断面図、図3(b)は図3(a)のA−A側面断面図である。本実施例は、図4に示したプリント基板穴あけ用の切削加工装置の切削粉の検出装置に用いることができる粉末検出装置であり、図3において、2つの光源34および35と2つの受光器36および37は、図4に示した従来の光検出装置に使用した透明管21の外形が勘合する穴を有する1つの筐体45に固定されている。筐体45には透明管21を挟んで対向する2組の空洞46および47が設けられ、その空洞46および47のそれぞれの両端に光源34と受光器36、および光源35と受光器37が設置されている。この配置により、2つの光源34および35の出射光は、透明管21の中のほぼ同一の中心部分48を照射することとなり、その透過光はそれぞれ受光器36および37に入射する。
FIGS. 3A and 3B are diagrams showing a light source and a light receiver fixed to one housing which is an example of the above-described embodiment. FIG. 3A is a plan sectional view, and FIG. It is AA side surface sectional drawing of 3 (a). The present embodiment is a powder detection device that can be used in the cutting powder detection device of the cutting device for drilling a printed circuit board shown in FIG. 4, and in FIG. 3, two
上記の本実施例による切削粉用の検出装置を試作し、同様に2組の光源と受光器を用いた従来の構成の検出装置の感度と比較したところ、1.5倍以上の感度改善が得られた。 The cutting powder detection device according to the above-described embodiment was prototyped and compared with the sensitivity of the conventional detection device using two sets of light sources and light receivers. Obtained.
以上のように、本発明により、従来の切削粉の検出装置よりも高感度で、かつ、構成部品などは従来と同様に安価な部品で構成可能な粉末検出装置が得られることが確認できた。 As described above, according to the present invention, it was confirmed that a powder detection device having higher sensitivity than the conventional cutting powder detection device and capable of being configured with inexpensive components as in the conventional components can be obtained. .
なお、本発明は上記の実施の形態や実施例に限定されるものではないことはいうまでもなく、適用する粉末検出装置に合わせて、光源、受光器、筐体などの数や配置、形状、構成などを設計変更することが可能である。粉末の通過する一定の領域が大きい場合は光源、受光器は別々の筐体に搭載して分離して配置することも可能である。 Needless to say, the present invention is not limited to the above-described embodiments and examples, and the number, arrangement, and shape of light sources, light receivers, and housings according to the powder detection device to be applied. It is possible to change the design of the configuration. In the case where a certain region through which the powder passes is large, the light source and the light receiver can be mounted separately in separate housings.
1 フォトダイオード
2 駆動回路
3 フォトダイオード
4 増幅回路
6 コンパレータ
8 カウンタ
9 判定処理回路
11 穴明機
12 ドリル
13 移動ステージ
14 プリント基板
15 ダクト
16 検出部
19 切削粉
20 光検出装置
21 透明管
22、34、35 光源
23、36、37 受光器
24、45 筐体
25 信号処理回路
32 筒
33 粉末
38、39 出射光
40 部分
46、47 空洞
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (5)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010008749A JP5420437B2 (en) | 2010-01-19 | 2010-01-19 | Powder detector |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010008749A JP5420437B2 (en) | 2010-01-19 | 2010-01-19 | Powder detector |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011149706A JP2011149706A (en) | 2011-08-04 |
JP5420437B2 true JP5420437B2 (en) | 2014-02-19 |
Family
ID=44536845
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010008749A Expired - Fee Related JP5420437B2 (en) | 2010-01-19 | 2010-01-19 | Powder detector |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5420437B2 (en) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU2016230830A1 (en) * | 2015-03-10 | 2017-11-02 | Microbix Biosystems Inc. | Methods, systems and apparatus for sorting and processing analytes |
IT201600075023A1 (en) | 2016-07-18 | 2018-01-18 | Dropsa Spa | Device and method of monitoring an oil flow mixed with air |
CN107390288A (en) * | 2017-07-27 | 2017-11-24 | 成都市龙泉通惠实业有限责任公司 | A kind of cubing whether processed using laser detection oilhole |
KR102435974B1 (en) * | 2020-09-28 | 2022-08-24 | (주)티에스테크 | Aparatus for measuring microparticle |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58117305U (en) * | 1982-02-03 | 1983-08-10 | 日立精工株式会社 | Drill breakage detection device |
JPS5943262B2 (en) * | 1983-12-26 | 1984-10-20 | 日立精工株式会社 | Drill breakage detection device |
JPS63157035A (en) * | 1986-12-19 | 1988-06-30 | Dan Kagaku:Kk | Smoke sensor |
JPH0236051A (en) * | 1988-07-22 | 1990-02-06 | Hitachi Seiko Ltd | Prediction/detection device for fracture of drill |
JPH02131840A (en) * | 1988-11-10 | 1990-05-21 | Hitachi Seiko Ltd | Numerical control perforator equipped with tool breakdown detector |
GB2309076B (en) * | 1996-01-10 | 1999-08-11 | Kidde Fire Protection Ltd | Particle separation and detection apparatus |
JP2003130784A (en) * | 2001-10-24 | 2003-05-08 | Mikuni Kikai Kk | Apparatus for detecting particulate in fluid |
JP2006010353A (en) * | 2004-06-22 | 2006-01-12 | Fuji Electric Systems Co Ltd | Fine particle measuring instrument |
-
2010
- 2010-01-19 JP JP2010008749A patent/JP5420437B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011149706A (en) | 2011-08-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2336993B1 (en) | Smoke detector | |
JP5420437B2 (en) | Powder detector | |
US8760651B2 (en) | Smoke detector | |
US10078948B2 (en) | Smoke detector with a double optical chamber | |
JP2007519906A (en) | Method for evaluating scattered light signal and scattered light detector for implementing the method | |
CN107014408B (en) | Distance setting type photoelectric sensor | |
CN106253853B (en) | Signal processing device and noise intensity determination method | |
US8841598B2 (en) | Optical sensor comprising a proximity switch | |
KR20180036265A (en) | Optical ultrafine particles sensor | |
KR20180102740A (en) | Optical ultrafine dust measuring sensor which removes the influence of disturbance light | |
US9243994B1 (en) | Measurement device | |
US9083946B2 (en) | System to detect failed pixels in a sensor array | |
EP3679335B1 (en) | A method for assessing the beam profile of a non-contact tool setting apparatus | |
JPH10319121A (en) | Distance-measuring device | |
US7667185B2 (en) | Optoelectronic sensor | |
CN219737773U (en) | Height measuring device and height measuring system | |
JP6505506B2 (en) | Optical sensor and electronic device | |
CN110132227B (en) | Triangulation optical sensor | |
JP5350699B2 (en) | Cutting monitoring device for cutting equipment | |
CA2059226C (en) | Light beam detection apparatus | |
JP2006189337A (en) | Fine particle measuring instrument | |
US7838813B2 (en) | Light beam receiver with interference signal suppression | |
CN201803940U (en) | Photoelectric detector | |
US7242017B2 (en) | Device to detect and/or characterize individual moving objects having very small dimensions | |
JP2013003640A (en) | Photoelectric smoke sensor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121120 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130807 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130814 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131007 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131030 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131120 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |