Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

JP5476413B2 - 回転機械の健全性診断方法 - Google Patents

回転機械の健全性診断方法 Download PDF

Info

Publication number
JP5476413B2
JP5476413B2 JP2012070997A JP2012070997A JP5476413B2 JP 5476413 B2 JP5476413 B2 JP 5476413B2 JP 2012070997 A JP2012070997 A JP 2012070997A JP 2012070997 A JP2012070997 A JP 2012070997A JP 5476413 B2 JP5476413 B2 JP 5476413B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sound
vibration
rotating machine
soundness
residual
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2012070997A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2013205048A (ja
Inventor
繁行 ▲徳▼岡
利昭 熊倉
雄二郎 石塚
秀和 近
▲隆▼一 外園
一智 折田
眞吾 菅原
淳一 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Metropolitan Sewerage Service Corp
Original Assignee
Tokyo Metropolitan Sewerage Service Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Metropolitan Sewerage Service Corp filed Critical Tokyo Metropolitan Sewerage Service Corp
Priority to JP2012070997A priority Critical patent/JP5476413B2/ja
Publication of JP2013205048A publication Critical patent/JP2013205048A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5476413B2 publication Critical patent/JP5476413B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Description

本発明は、回転機械類から発せられる放射音を測定分析することによって機械の異常を検出する健全性診断方法に関する。
従来より、メンテナンスの省力化や合理化を図るために、回転機械から発せられる放射音を測定分析することにより、該回転機械の駆動部に異常があるのかどうかの健全性を診断するための方法や装置が種々提案されている。
例えば、特許文献1では、回転機械等の設備の音信号による健全性診断方法であって、設備の稼働時に発生する音信号を測定し、最小自乗法と最大エントロピー法とを用いて固有の自己回帰モデルの回帰係数を算出して記憶し、該回帰係数を前記設備の点検測定時に発生する音信号に適用して残差を算出し、該残差の大小の比較により測定時の設備の正常,異常を判定するようにした回転機械等の設備の音信号による健全性診断方法が提案されている。
また、下記特許文献2では、 診断対象の異常の有無を監視する異常監視装置において、診断対象の状態を反映した所定の物理量を捉えて該物理量を表わす信号を得るセンサと、前記センサにより前記診断対象が正常な状態にあるときに得られる基準信号に由来する基準データと、異常監視時に前記センサで得られる診断信号とに基いて、前記診断対象の異常の有無を判定する診断対象異常判定部と、前記センサに前記診断対象が異常な状態にあるときを模擬した物理量を与える模擬異常状態発生部と、前記基準データと、前記センサが前記模擬異常状態発生部から与えられた物理量を捉えるタイミングで該センサにより得られる模擬異常成分混入信号とに基づいて、この異常監視装置自体の異常の有無を判定する自己異常判定部とを備えた異常監視装置が提案されている。
更に、下記特許文献3では、正常状態にある1台若しくは複数台の、被検出装置と同一若しくは同種の装置から所定の物理量を担持する第1の時系列信号を得て該第1の時系列信号に基づいて逆フィルタを構成しておき、被検出装置から前記所定の物理量を担持する第2の時系列信号を得、該第2の時系列信号に前記逆フィルタを作用させることにより残差信号を求め、該残差信号に基づいて被検出装置の異常を検出する異常検出方法が提案されている。
特開2009−257862号公報 特開2003−21555号公報 特開平7−43259号公報
しかしながら、日常点検あるいは定期点検の際に回転機械の音を測定し、この測定結果から回転機械の故障や問題の発生を判定・予測するには一定の管理基準が必要となるが、実際の機械の故障や状態変化に伴う音の発生・変動は、機械の種類や大きさなど個別の機械によって異なるものであり、どの程度のレベルの音が発生したら回転機械の管理上、「故障」や「要修理」などの判定をすべきか適当な手法が上記健全性診断方法では示されていない。
一方で、回転機械の振動を測定し、この振動測定値を一定の評価基準に適用することによって回転機械の状態を適正に把握する手法が規格化されている(JIS B 0906/ISO 10816-1)。この規格は、回転機械の軸受箱のような非回転部分で測定された振動の測定と評価に関する一般的な指針をまとめたもので、それぞれに分類された機種ごとに振動の大きさによって表された一般的な評価基準が示されている。
この規格では回転機械の振動を測定し、この振動測定値に基づいて機械の状態を評価する手法が示されているが、実際の現場においては、振動測定と音測定とを比較した場合、(1)振動測定においては、回転機械に直接センサを接触させる必要があるため危険を伴う場合があるのに対し、音測定は非接触での測定が可能になり安全性が高い、(2)振動測定値は、回転機械の軸芯のずれやベアリングの損耗といった異常を振動の大きさという単一の尺度で評価しているのに対し、音信号の場合には周波数変動やランダムノイズの混入度などのように複数の指標を用いて評価できるため、より詳細な健全性診断が可能になる、(3)振動測定においては振動の大きさという尺度に基づいて評価するので測定位置の厳密化が要求されるのに対し、音測定では音の大きさではなく音の質(周波数成分等)に重きを置いているので、測定位置ということに対し比較的柔軟に対応できる、などの理由から、振動測定より音測定の方が利点が多かった。
従って、回転機械の健全性診断において、振動測定によって得られた振動測定値に基づく評価より、音測定によって得られた音信号を一定の評価基準に適用して回転機械の状態が評価できる診断方法が望まれていた。
そこで本発明の主たる課題は、音の測定によって得られた音信号を一定の評価基準に適用することによって回転機械の健全性を診断する方法を提供することにある。
上記課題を解決するために請求項1に係る本発明として、音の測定により回転機械の健全性を診断する方法であって、
予め、基準となる回転機械について稼働時の振動及び音を測定し、これら振動測定値と音測定値との相関が最大となる変換係数を得ておき、その後、診断対象となる回転機械について稼働時の音を測定し、この音測定値を前記変換係数を用いて変換し、この変換した音測定値を振動評価基準に適用することによって、回転機械の健全性を診断することを特徴とする回転機械の健全性診断方法が提供される。
上記請求項1記載の発明では、予め、基準となる回転機械について稼働時の振動及び音を測定し、これら振動測定値と音測定値との相関が最大となる変換係数を得ておく。その後、診断対象となる回転機械について稼働時の音を測定し、この音測定値を前記変換係数を用いて変換し、この変換した音測定値を振動評価基準に適用することによって、回転機械の健全性を診断している。このため、音の測定によって得られた音信号を用いて、一定の評価基準(振動評価基準)に適用することによって回転機械の健全性診断が行えるようになる。
前記振動評価基準としては、独自に蓄積したデータに基づいた独自の基準や各種機関が提案する基準を用いることができるが、後段で詳述するように、JIS B 0906(ISO 10816-1)に規定する評価基準を用いることが好ましい。
請求項2に係る本発明として、予め、基準となる回転機械について稼働時の振動及び音を測定し、振動測定値を振動評価値zとするとともに、音測定値から自己回帰モデルによる残差分析を用いて音の残差パワーx及び残差の回帰写像での相関係数yを得ておく第1ステップと、
次式(6)により前記残差パワーx及び相関係数yにそれぞれ変換係数a、bを掛け合わせて線形重み付けをした音評価値uを設定するとともに、次式(7)により前記振動評価値zと音評価値uとの自乗誤差Qが最小となる条件で前記変換係数a、bを決定する第2ステップと、
診断対象となる回転機械について稼働時の音を測定し、この音測定値から自己回帰モデルによる残差分析を用いて音の残差パワーX及び残差の回帰写像での相関係数Yを得て、次式(8)により音評価値Uに変換する第3ステップと、
前記音評価値Uを振動評価基準に適用し、回転機械の健全性を診断する第4ステップとから構成される請求項1記載の回転機械の健全性診断方法が提供される。
Figure 0005476413
Figure 0005476413
Figure 0005476413
上記請求項2記載の発明は、本健全性診断方法の具体的な手順を規定したものであり、次の4つのステップから構成される。
第1ステップとして、予め、基準となる回転機械について稼働時の振動及び音を測定し、振動測定値を振動評価値zとするとともに、音測定値から自己回帰モデルによる残差分析を用いて音の残差パワーx及び残差の回帰写像での相関係数yを得ておく。自己回帰モデルによる残差分析は、振動測定値の波形と音測定値の波形との類似度を自己回帰モデルによって比較し、その違いを残差パワーxや残差の回帰写像での相関係数yを用いて定量的に評価する方法である。
第2ステップとして、上式(6)により前記残差パワーx及び相関係数yにそれぞれ変換係数a、bを掛け合わせて線形重み付けをした音評価値uを設定するとともに、上式(7)により前記振動評価値zと音評価値uとの残差Qが最小となる条件で前記変換係数a、bを決定する。前記変換係数a、bは、前記残差Qを最小化することを前提として決定されているため、この変換係数を用いて音測定値を変換することによって振動測定値に相関する変換値を得ることができるようになる。
その後、第3ステップとして、診断対象となる回転機械について音を測定し、この音測定値から自己回帰モデルによる残差分析を用いて音の残差パワーX及び残差の回帰写像での相関係数Yを得て、上式(8)により音評価値Uに変換する。前記音評価値Uは、振動測定値との相関性を有しているため、音評価値Uを振動評価基準に適用可能となる。
しかる後、第4ステップとして、前記音評価値Uを振動評価基準に適用し、回転機械の健全性を診断する。これによって、音の測定によって得られた音信号を一定の振動評価基準に適用することによって回転機械の健全性診断が可能になる。
請求項3に係る本発明として、前記振動評価基準は、JISB0906に規定する評価基準を用いている請求項1、2いずれかに記載の回転機械の健全性診断方法が提供される。
上記請求項3記載の発明では、前記振動評価基準として、JISB0906に規定する評価基準を用いることによって、対象とする回転機械の状態の定性的な判定が可能になる。
請求項4に係る本発明として、前記基準となる回転機械は、前記振動評価値zが重複しない数十台単位に設定している請求項1〜3いずれかに記載の回転機械の健全性診断方法が提供される。
上記請求項4記載の発明では、振動評価値zとしてある程度のばらつき範囲を持たせて診断対象となる回転機械の適用範囲を拡大させるため、基準となる回転機械を、振動評価値zが重複しない数十台単位に設定している。
以上詳説のとおり本発明によれば、音の測定によって得られた音信号を一定の評価基準に適用することによって回転機械の健全性を診断する方法が提供できるようになる。
本発明に係る回転機械の健全性診断方法の流れ図である。 計測装置1の構成図である。 振動評価基準と音評価基準との相関図である。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳述する。
本発明は、上下水道施設、河川管理施設、廃棄物処理施設、建築設備、浄化槽設備、発電施設、その他工場等の各種施設で使用されるポンプ、送風機等の回転系を有する回転機械の稼働時に発生する音を測定することによって、回転機械の健全性を診断する方法である。具体的には、図1の流れ図に示されるように、予め、基準となる回転機械について稼働時の振動及び音を図2に示される計測装置1によって測定し、これら振動測定値と音測定値との相関が最大となる変換係数a、bを得ておき、その後、診断対象となる回転機械について稼働時の音を図2に示される計測装置1のうちマイクロホン2によって測定し、この音測定値を前記変換係数a、bを用いて変換し(音評価値U)、この変換した音測定値(音評価値U)を振動評価基準に適用することによって、回転機械の健全性を診断する。
前記計測装置1は、音測定においては、マイクロホン2によって測定された信号が入力アンプ3によって適切な振幅に増幅され、次いでAD変換器4によってディジタル信号に変換された後、パーソナルコンピュータPに取り込まれる。一方、振動測定においては、センサ5によって測定された信号が入力アンプ6によって適切な振幅に増幅され、次いでAD変換器7によってディジタル信号に変換された後、パーソナルコンピュータPに取り込まれる。そして、信号処理装置8によって、取り込まれた音及び振動のデータの各種解析及び診断が行われ、パーソナルコンピュータPのハードディスクなどデータ記録装置9に記録・保存されるとともに、解析結果の数値や図表がモニタ10に表示されるようになっている。
基準となる回転機械は、音信号による診断を継続的に行う回転機械を中心に、機種・型式・大きさ等が異なる振動評価値zが重複しない数十台単位の回転機械を選定することが好ましい。すなわち、振動測定を行い、後段で詳述する振動評価値zがある程度のばらつき範囲を持つように基準となる回転機械を選定することが好ましく、これにより診断対象となる回転機械の適用範囲を拡大させることができるようになる。
以下、さらに詳細に本診断方法について説明すると、本診断方法は次の4つのステップから構成されている。
(第1ステップ)
第1ステップとして、予め、基準となる回転機械について稼働時の振動及び音を測定し、この振動測定値を振動評価値zとおくとともに、音測定値から自己回帰モデルによる残差分析を用いて音の残差パワーx及び残差の回帰写像での相関係数yを得ておく。
自己回帰モデルは本来、予測制御システムで利用される技術であるが、たとえば慣性系のように2次の微分方程式で表現されるようなシステムでは、過去から現在までの運動がわかると、将来の運動が正確に予測できることになる。具体的には、バネに吊された錘の上下運動、振り子の運動などがこれに当たる。
ここで、単弦運動を例に採り説明すると、単弦運動の方程式は下式(1)によって表される。
Figure 0005476413
上記(1)式を差分形式で表現すると、下式(2)となる。
Figure 0005476413
従って、下式(3)で表現することができる。
Figure 0005476413
すなわち、時刻(i+1)δtでの変位は、時刻iδtと時刻(i-1)δtの振幅値によって決定されることがわかる。このように、自己回帰モデルは、過去及び現在の情報から将来が推定できる予測モデルである。
自己回帰モデルでは、下式(4)に示されるように、過去の状態量の測定値(yi-1,yi-2,…,yi-N)の1次結合で、現在の値(Yi)を推定している。下式(4)において添字のiは、離散時間間隔δtで測定対象を数値化したときの時刻iδtを意味する。
Figure 0005476413
上式(4)における係数列a1,a2,a3,…,anは自己回帰モデルの回帰係数であり、この数列によってシステムの挙動が決定することになる。
自己回帰モデルによる残差Qは、下式(5)によって表される。
Figure 0005476413
自己回帰モデルによる予測値と実際の値の差をあらわす指標として残差パワーxが用いられている。
また、時刻iにおける残差を横軸とし、時刻i+1における残差を縦軸として平面座標上に逐次プロットして回帰写像を行い、この回帰写像から時刻iにおける残差と時刻i+1における残差との相関をあらわす指標として残差の回帰写像での相関係数yが用いられている。
ところで、機器から発生する音は、空気音と振動音があり、基本的には振動音は空気と接する機器の側面部分の振動に起因している。振動と音との総括的な関係は、W=ρcAv(W:音響出力、ρ:空気の密度、c:空気中の音速、A:面積、v:面の振動速度)であり、基本的に音圧(音響出力W)と振動速度(v)とは比例関係にある。これは、振動の大きさと音の大きさとは比例関係にあることを示している。しかしながら、この式では周波数構成については触れられていない。すなわち、従来、振動測定による機器の健全性診断では、振動の大きさ(オーバーオール値)のみが評価尺度として用いられ、周波数構成については論じられていなかった。これに対して、本診断方法では、周波数構成が変化すると残差の回帰写像での相関係数yが変化するということを利用して、回転機械の稼働時の周波数構成をも評価している。
(第2ステップ)
第2ステップとして、次式(6)により残差パワーx及び相関係数yにそれぞれ変換係数a、bを掛け合わせて線形重み付けをした音評価値uを設定する。
Figure 0005476413
次に、次式(7)により前記振動評価値zと音評価値uとの自乗誤差Qが最小(相関が最大)となる条件で変換係数a、bを決定する。
Figure 0005476413
上式(7)の変換係数(重回帰係数)a、bを求める方法としては、最小自乗法(重回帰分析法)を用いることが好ましい。また、数量化1類などの方法を用いることもできる。
(第3ステップ)
その後、診断対象となる回転機械について稼働時の音を測定し、この音測定値から、前述と同様に自己回帰モデルによる残差分析を用いて音の残差パワーX及び残差の回帰写像での相関係数Yを得て、次式(8)により音評価値Uに変換する。
Figure 0005476413
なお、変換係数a、bは、上式(7)から求めた値である。これによって、基準回転機械との関連性が得られるようになる。
(第4ステップ)
しかる後、前記音評価値Uを振動評価基準に適用し、この振動評価基準に則して回転機械の健全性を診断する。
前記振動評価基準としては、独自に蓄積したデータに基づいた独自の基準や各種機関が提案する基準などを用いることができるが、JIS B 0906(ISO 10816-1)では、それぞれの機械グループごとの広帯域振動の暫定基準等が定められているため、これに規定する評価基準を用いることが好ましい。
また、前記JIS基準では、振動の評価ゾーンとして振動速度のRms値によって4つのゾーンに分類され、健全側からゾーンA、ゾーンB、ゾーンC、ゾーンDの順に規定されているが、これに準じて音測定による健全性診断においても、4つのゾーンに分類し(例えばレベル0〜レベル3など)、前記JIS基準のゾーンA〜ゾーンDに対応する音評価値Uの範囲を設定した独自の音評価基準を作成し、これに基づいて評価することも可能である。かかる評価基準の作成に当たっては、複数の回転機械について振動及び音を同時に測定した結果を、図3に示されるような振動評価基準と音評価基準との相関図上にプロットすることによって、振動評価基準に準じた音評価基準の範囲を決定することができる。
1…計測装置、2…マイクロホン、3…入力アンプ、4…AD変換器、5…センサ、6…入力アンプ、7…AD変換器、8…信号処理装置、9…データ記録装置、10…モニタ

Claims (4)

  1. 音の測定により回転機械の健全性を診断する方法であって、
    予め、基準となる回転機械について稼働時の振動及び音を測定し、これら振動測定値と音測定値との相関が最大となる変換係数を得ておき、その後、診断対象となる回転機械について稼働時の音を測定し、この音測定値を前記変換係数を用いて変換し、この変換した音測定値を振動評価基準に適用することによって、回転機械の健全性を診断することを特徴とする回転機械の健全性診断方法。
  2. 予め、基準となる回転機械について稼働時の振動及び音を測定し、振動測定値を振動評価値zとするとともに、音測定値から自己回帰モデルによる残差分析を用いて音の残差パワーx及び残差の回帰写像での相関係数yを得ておく第1ステップと、
    次式(6)により前記残差パワーx及び相関係数yにそれぞれ変換係数a、bを掛け合わせて線形重み付けをした音評価値uを設定するとともに、次式(7)により前記振動評価値zと音評価値uとの自乗誤差Qが最小となる条件で前記変換係数a、bを決定する第2ステップと、
    診断対象となる回転機械について稼働時の音を測定し、この音測定値から自己回帰モデルによる残差分析を用いて音の残差パワーX及び残差の回帰写像での相関係数Yを得て、次式(8)により音評価値Uに変換する第3ステップと、
    前記音評価値Uを振動評価基準に適用し、回転機械の健全性を診断する第4ステップとから構成される請求項1記載の回転機械の健全性診断方法。
    Figure 0005476413
    Figure 0005476413
    Figure 0005476413
  3. 前記振動評価基準は、JISB0906に規定する評価基準を用いている請求項1、2いずれかに記載の回転機械の健全性診断方法。
  4. 前記基準となる回転機械は、前記振動評価値zが重複しない数十台単位に設定している請求項1〜3いずれかに記載の回転機械の健全性診断方法。
JP2012070997A 2012-03-27 2012-03-27 回転機械の健全性診断方法 Active JP5476413B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012070997A JP5476413B2 (ja) 2012-03-27 2012-03-27 回転機械の健全性診断方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012070997A JP5476413B2 (ja) 2012-03-27 2012-03-27 回転機械の健全性診断方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013205048A JP2013205048A (ja) 2013-10-07
JP5476413B2 true JP5476413B2 (ja) 2014-04-23

Family

ID=49524304

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012070997A Active JP5476413B2 (ja) 2012-03-27 2012-03-27 回転機械の健全性診断方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5476413B2 (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6072665B2 (ja) * 2013-10-28 2017-02-01 本田技研工業株式会社 作業方法及び作業装置
JP6943067B2 (ja) * 2017-08-15 2021-09-29 日本電信電話株式会社 異常音検知装置、異常検知装置、プログラム
JP7458065B2 (ja) * 2020-03-31 2024-03-29 国立研究開発法人産業技術総合研究所 機械要素間の接触状態モニタ方法及びそのシステム
CN117540178B (zh) * 2024-01-09 2024-03-29 武汉大学 一种隧道衬砌内部空洞病害评估方法及系统

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6469921A (en) * 1987-09-11 1989-03-15 Fuji Electric Co Ltd Acoustic power level measuring apparatus
JPH03235027A (ja) * 1990-02-09 1991-10-21 Toshiba Corp 異常検出装置
JPH04169823A (ja) * 1990-11-02 1992-06-17 Amada Co Ltd 振動とこの振動により発生する音との相関関係を定量的に求める方法および装置
JP3020349B2 (ja) * 1992-05-29 2000-03-15 北海道大学長 異常検出方法及び装置
JPH10132651A (ja) * 1996-10-31 1998-05-22 Toshiba Corp プラント監視装置
JP2003021555A (ja) * 2001-07-06 2003-01-24 Yamatake Sangyo Systems Co Ltd 異常監視装置
JP2006079322A (ja) * 2004-09-09 2006-03-23 Tokuyama Corp 回転機器の保全管理方法
JP2009257862A (ja) * 2008-04-15 2009-11-05 Original Engineering Consultants Co Ltd 回転機械等の設備の音信号による健全性診断方法
JP5439226B2 (ja) * 2010-03-01 2014-03-12 本田技研工業株式会社 音響感度測定装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2013205048A (ja) 2013-10-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2017219469A (ja) 状態監視装置及び状態監視方法
JP6508017B2 (ja) 機械設備の評価方法
JP6714806B2 (ja) 状態監視装置及び状態監視方法
JP4787904B2 (ja) 転がり軸受の余寿命診断方法
JP2005291738A (ja) 転がり軸受の余寿命診断方法及びこの余寿命診断装置
WO2020039565A1 (ja) 回転機械に用いられる軸受の異常診断方法
KR101674686B1 (ko) 구조적 완전성 감시 시스템
JP2008292288A (ja) 減速機の軸受診断装置
JP2018155494A (ja) 軸受異常診断システム及び軸受異常診断方法
JP7468724B2 (ja) 配管診断装置、配管診断方法、及びプログラム
JP5476413B2 (ja) 回転機械の健全性診断方法
JP2009257862A (ja) 回転機械等の設備の音信号による健全性診断方法
JP2002079439A (ja) 工作機械の保守管理装置
Rao et al. Health monitoring of welded structures using statistical process control
JP2010266327A (ja) 設備診断装置及び設備診断方法
JP2020030111A (ja) 異常予兆検出システム、異常予兆検出方法
JP2002181038A (ja) 異常診断装置
JP6497919B2 (ja) 回転体およびその軸受を含む設備の診断方法と診断システム
Lybeck et al. Validating prognostic algorithms: a case study using comprehensive bearing fault data
JP2023179851A (ja) 装置状態評価システムおよび装置状態評価方法
JP4598809B2 (ja) 打音解析による健全性診断方法
US11959825B2 (en) Method and a condition monitoring device for monitoring a rotating equipment
JP2002188411A (ja) 異常診断装置
KR20220102364A (ko) 진동 센서를 통한 설비 예지 보전 시스템
JP6396943B2 (ja) 非接触振動測定による故障診断装置及び方法

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20140128

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140131

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140207

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5476413

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250