JP5471842B2 - 表面被覆切削工具 - Google Patents
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Description
近年、硬質薄膜の他の成膜法としてエアロゾルデポジション(Aerosol Deposition。以下、ADで示す)法が開発され、このAD法を利用して、工具基体表面に硬質膜を成膜する表面被覆切削工具について注目されている。
AD法については、非特許文献1に紹介されているが、図1に示されるAD装置において、サブミクロンオーダーの原料超微粒子をエアロゾル発生器に装填し、高圧ガスと混合、エアロゾル化し、中〜低真空に排気された成膜チャンバー内の基板に高速で吹き付けることで金属、セラミックス膜を成膜するコーティング手法である。
AD法の成膜の原理は、「常温衝撃固化現象」と命名されており、特にセラミックスの成膜においては、特定範囲のサイズを持つ微細な粒子がノズルからガスと共に送られた際に得る一定範囲の運動エネルギーを持って基板に衝突する際に、微細結晶に破砕し、この粒子同士が緻密に結合しながら膜を形成するというものである。
このAD法による成膜の特徴としては、
(イ)金属やセラミックス(酸化物、非酸化物)の成膜が可能である。
(ロ)高温の熱処理が不要なため、通常の焼結プロセスでは得られない原料粉組成を維持した熱非平衡なセラミックス組織が得られる。
(ハ)高速(条件によってはPVD、CVDの30倍以上)かつ大面積で緻密な微結晶組織を持つコーティングが可能である。
(ニ)基板は、硬度や弾性率などの機械特性に配慮すれば、Si,SUS304,樹脂,ガラスなど広く選択可能である。
等が挙げられる。
また、特許文献2には、ダイヤモンド微粒子とセラミック(例えば、Al2O3,TiO2,SiO2,AlSiNO,SiC,TaC,B4C,BN,SiN,Y2O3,ZrO2,MgO)粒子との複合膜をAD法によって形成することにより、密着性にすぐれ、Al合金の切削ですぐれた耐摩耗性を示す表面被覆切削工具が得られることが述べられている。
また、特許文献3には、AD法によってダイヤモンド膜を形成したダイヤモンド被覆工具が示され、このダイヤモンド被覆工具は摩擦係数が小さく耐摩耗性に優れることが述べられている。
しかし、特許文献1に示される表面被覆切削工具は基板との密着性及び耐摩耗性が十分とはいえず、また、特許文献2、3に示されるものは、硬質膜成分がダイヤモンドであり、このダイヤモンドが鉄系材料と反応を起こすため、鋼、鋳鉄等の鉄系材料の切削工具として用いることはできない。
「(1) 工具基体の表面に、立方晶窒化ホウ素と窒化チタンとの複合硬質膜が1〜15μmの膜厚で被覆形成された表面被覆切削工具において、上記複合硬質膜の構成成分である立方晶窒化ホウ素と窒化チタンは、工具基体側では窒化チタン含有比率が高く、また、表層側では立方晶窒化ホウ素の含有比率が高くなる組成傾斜構造を備えていることを特徴とする表面被覆切削工具。
(2) すくい面の複合硬質膜の窒化チタンに対する立方晶窒化ホウ素の含有比率は、切れ刃稜線を境界として、逃げ面の複合硬質膜の窒化チタンに対する立方晶窒化ホウ素の含有比率より高いことを特徴とする前記(1)に記載の表面被覆切削工具。
(3) 少なくともすくい面の複合硬質膜における上記組成傾斜構造は、すくい面の複合硬質膜の表層の窒化チタンに対する立方晶窒化ホウ素の含有比率が1.5〜4.0であることを特徴とする前記(1)または(2)に記載の表面被覆切削工具。
(4) 少なくとも逃げ面の複合硬質膜における上記組成傾斜構造は、逃げ面の複合硬質膜の表層の窒化チタンに対する立方晶窒化ホウ素の含有比率が0.67〜1.5であることを特徴とする前記(1)または(2)に記載の表面被覆切削工具。」
を特徴とするものである。
本発明では、上記工具基体表面に、前記AD(Aerosol Deposition)法により複合硬質膜を成膜する。
まず、本発明の複合硬質膜のAD法による成膜の概要を図1により説明する。
図1において、例えば、粒径が0.1〜1.0μmのcBN粉末、粒径が0.1〜1.0μmのTiN粉末を、それぞれエアロゾル発生器内に充填し、これを高圧ガス(He,Ar,N2あるいは空気)と混合し、エアロゾル化し、中、低真空圧の成膜チャンバー内の基板に高速で吹き付けることで、基板上にcBNとTiNとの所望の含有比率からなる複合膜を成膜することができる。
なお、本発明でいう含有比率とは、立方晶窒化ホウ素と窒化チタンの合量に占める体積比率を示し、膜厚方向に0.2μm、基板と平行方向に3オmの領域について断面方向からオージェ電子分光法による面分析を行い、その測定結果より、複合硬質層に占める各成分の体積割合を算出することによって求めた値をいう。
なお、本発明の複合硬質膜は、その焼結性を高めるために、成膜後、アニーリング、レーザーアニーリングを行ってもよい。
本発明の複合硬質膜は、工具基体側ではTiN含有比率が高く、cBN含有比率が低くなっているため、工具基体との密着性に優れる。
一方、複合硬質膜の表層側では、cBN含有比率が高く、TiN含有比率が低くなっているため、硬質であって耐摩耗性に優れ、しかも、鉄系材料との反応性が小さいため溶着等を発生する恐れが少ない。
本発明の複合硬質膜は、その膜厚が1μm未満であると、すぐれた耐摩耗性を長期の使用に亘って発揮することはできず、一方、その膜厚が15μmを超えると、膜内に発生した残留応力により、剥離やチッピングが生じやすくなるため、複合硬質膜の膜厚は、1〜15μmと定めた。
また、複合硬質膜の表層側の上部層において、cBNとTiNの含有比率に関し、相対的にcBN含有割合が高いため、硬質であって耐摩耗性および耐酸化性に優れ、しかも、鋼や鋳鉄等の切削加工においてすぐれた耐溶着性を示す。
さらに、複合硬質膜の中間層は、cBN含有比率とTiN含有比率がほぼ同量のものとして形成されていることから、すぐれた靭性を備えたものとなるばかりか、下部層あるいは上部層との密着強度を高めることとなる。
つまり、一般的に表面被覆切削工具では、そのすくい面には、被削材に対する非反応性と膜の硬さが求められ、一方、逃げ面には界面強度と耐摩耗性が求められているところ、cBNは鉄系被削材との反応性が低いとともに硬質であるが、cBNの含有比率が高くなると、cBN粒子の界面強度が低下し、切削時に脱落したcBN粒子によってすきとり摩耗が発生しやすくなる。
そこで、本発明の表面被覆切削工具では、すくい面については、すくい面の複合硬質膜の表層のTiNに対するcBNの含有比率が1.5〜4.0となる組成傾斜構造をとることが望ましい。
ここで、すくい面では、TiNに対してcBN含有比率が高いことが望ましいが、TiNに対するcBNの含有比率が4.0(80vol%)を越えると、付着強度および界面強度の著しい低下が避けられず、一方、TiNに対するcBNの含有比率が1.5(60vol%)未満では、耐クレータ摩耗性の向上効果が少ないことから、すくい面の表層のTiNに対するcBNの含有比率は1.5〜4.0であることが望ましい。
つまり、脱落したcBN粒子によって生じるすきとり摩耗を抑制するために、cBN粒子が脱落しないように界面強度を保つ必要があることから、逃げ面の複合硬質膜の表層のTiNに対するcBNの含有比率は1.5(60vol%)以下にすることが望ましいが、逃げ面の複合硬質膜の表層のTiNに対するcBNの含有比率が0.67(40vol%)未満になると、cBNの含有率の低下により耐摩耗性が確保できなくなることから、逃げ面の複合硬質膜の表層のTiNに対するcBNの含有比率は0.67〜1.5であることが望ましい。
なお、AD法によれば、すくい面の表層あるいは逃げ面の複合硬質膜の表層のcBN含有比率は、成膜終期の基板各面へのTiNとcBNの吹き付けを調整(例えば、エアロゾル容器内のガス圧を調整)することによって、所望の含有比率を容易に得ることができる。
なお、ここでは工具基体材料として超硬合金基体を使用したが、工具基体としては、cBN焼結体、サーメットあるいは高速度鋼等の通常用いられる工具基体を使用することがもちろん可能である。
まず、粒径が0.1〜1.0μmのcBN粉末と、粒径が0.1〜1.0μmのTiN粉末の原料微粒子を、それぞれ、エアロゾル発生器に装入し、粉末の凝集を防ぐため、エアロゾル発生器の下の振動機を振動させながらエアロゾル発生器にガスを流し、Arガスを用いて、ガス圧力300Pa、ガス搬入速度5L/minで原料微粒子をエアロゾル化し、同様の方法でエアロゾル化したTiN粉末と混合し、成膜チャンバー内の超硬合金基体に所定時間ノズルから吹きつけ、かつ、ノズルを1〜5mm/secで移動させることにより、工具基体表面に、図2に示される所定膜厚、所定のcBN/TiN比率の複合膜(図2では、第1下部層,第2下部層,中間層,上部層として示す)を、cBNおよびTiN粉末が入ったエアロゾル容器内のガス圧を調整することで形成し、
ISO規格SNGA120412に規定するスローアウエイチップ形状の本発明複合硬質膜被覆工具1〜10(以下、本発明工具1〜10という)を作製した。
表3、表4、表5にcBN/TiN比率を示す。
また、本発明工具1〜30の膜厚を走査型電子顕微鏡を用いて断面測定したところ、いずれも目標層厚と実質的に同じ平均値(5ヶ所の平均値)を示した。
これらの測定値を、表3、表4、表5に示す。
《切削条件1》
被削材: JIS・SCr420(硬さHRA:62)の丸棒、
切削速度: 230 m/min、
送り: 0.20 mm/rev、
切込み:0.20 mm、
切削時間: 5 分
の条件での、高硬度クロム鋼の乾式連続切削加工試験、
《切削条件2》
被削材: JIS・SUJ2(硬さHRA:60)の長さ方向等間隔4本縦溝入り丸棒、
切削速度: 180 m/min、
送り: 0.15 mm/rev、
切込み: 0.20 mm、
切削時間: 5 分
の条件での、焼入れ軸受鋼の乾式断続切削加工試験、
を行い、切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。
上記切削条件1,2による切削加工試験の測定結果を表6に示した。
また、本発明工具11〜30は、すくい面表層あるいは逃げ面表層で所定のcBN含有比率をさらに備えていることから、クレータ摩耗、すきとり摩耗の発生も全く見られず、長期の使用に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮するものであった。
これに対して、比較例工具1〜10においては、欠損発生、耐摩耗性不足等により、比較的短時間で使用寿命に至ることが明らかである。
Claims (4)
- 工具基体の表面に、立方晶窒化ホウ素と窒化チタンとの複合硬質膜が1〜15μmの膜厚で被覆形成された表面被覆切削工具において、上記複合硬質膜の構成成分である立方晶窒化ホウ素と窒化チタンは、工具基体側では窒化チタン含有比率が高く、また、表層側では立方晶窒化ホウ素の含有比率が高くなる組成傾斜構造を備えていることを特徴とする表面被覆切削工具。
- すくい面の複合硬質膜の窒化チタンに対する立方晶窒化ホウ素の含有比率は、切れ刃稜線を境界として、逃げ面の複合硬質膜の窒化チタンに対する立方晶窒化ホウ素の含有比率より高いことを特徴とする請求項1に記載の表面被覆切削工具。
- 少なくともすくい面の複合硬質膜における上記組成傾斜構造は、すくい面の複合硬質膜の表層の窒化チタンに対する立方晶窒化ホウ素の含有比率が1.5〜4.0であることを特徴とする請求項1または2に記載の表面被覆切削工具。
- 少なくとも逃げ面の複合硬質膜における上記組成傾斜構造は、逃げ面の複合硬質膜の表層の窒化チタンに対する立方晶窒化ホウ素の含有比率が0.67〜1.5であることを特徴とする請求項1または2に記載の表面被覆切削工具。
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