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JP5465568B2 - Piezoelectric oscillator - Google Patents

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JP5465568B2
JP5465568B2 JP2010076480A JP2010076480A JP5465568B2 JP 5465568 B2 JP5465568 B2 JP 5465568B2 JP 2010076480 A JP2010076480 A JP 2010076480A JP 2010076480 A JP2010076480 A JP 2010076480A JP 5465568 B2 JP5465568 B2 JP 5465568B2
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integrated circuit
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piezoelectric vibration
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友治 恩田
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Kyocera Crystal Device Corp
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  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

本発明は、電子機器に用いられる圧電発振器に関する。   The present invention relates to a piezoelectric oscillator used in an electronic device.

電子機器に用いられる圧電発振器は、例えば、水晶発振器がある。
圧電発振器の一例である水晶発振器は、例えば、素子搭載部材と圧電振動素子と蓋部材と集積回路素子とから主に構成されている。
An example of a piezoelectric oscillator used in an electronic device is a crystal oscillator.
A crystal oscillator, which is an example of a piezoelectric oscillator, mainly includes, for example, an element mounting member, a piezoelectric vibration element, a lid member, and an integrated circuit element.

素子搭載部材は、例えば、セラミックス等の絶縁材料が用いられている。
また、素子搭載部材は、例えば、基板部と2つの枠部とで構成され、両主面にそれぞれ一つずつ凹部空間が形成されている。
また、素子搭載部材は、一方の凹部空間の底面、つまり、基板部の一方の主面に集積回路素子搭載パッドと測定用端子とが設けられている。
また、素子搭載部材は、一方の凹部空間が形成されている主面、つまり、一方の凹部空間を形成する一方の枠部と基板部とが接する面と対向する一方の枠部の面に外部接続端子が設けられている。
また、素子搭載部材は、他方の凹部空間の底面、つまり、基板部の他方の主面に2つ一対の圧電振動素子搭載パッドが設けられている。
また、素子搭載部材は、集積回路素子搭載パッドと圧電振動素子搭載パッド、または、外部接続端子、または、測定用端子とを電気的に接続するために、内部配線が設けられている。
As the element mounting member, for example, an insulating material such as ceramics is used.
The element mounting member is composed of, for example, a substrate portion and two frame portions, and one concave space is formed on each of the main surfaces.
Further, the element mounting member is provided with an integrated circuit element mounting pad and a measurement terminal on the bottom surface of one concave space, that is, one main surface of the substrate portion.
Further, the element mounting member is externally attached to the main surface on which one recessed space is formed, that is, the surface of one frame facing the surface where one frame forming the one recessed space is in contact with the substrate. A connection terminal is provided.
The element mounting member is provided with two pairs of piezoelectric vibration element mounting pads on the bottom surface of the other recessed space, that is, on the other main surface of the substrate portion.
The element mounting member is provided with internal wiring for electrically connecting the integrated circuit element mounting pad and the piezoelectric vibration element mounting pad, the external connection terminal, or the measurement terminal.

基板部は、例えば、矩形形状の平板状に設けられている。
また、基板部は、一方の主面に集積回路素子用搭載パッドと測定用端子とが設けられている。
また、基板部は、他方の主面に圧電振動素子搭載パッドが設けられている。
The substrate part is provided in a rectangular flat plate shape, for example.
The substrate portion is provided with an integrated circuit element mounting pad and a measurement terminal on one main surface.
The substrate portion is provided with a piezoelectric vibration element mounting pad on the other main surface.

枠部は、例えば、2つ設けられており、枠形状の平板状に設けられている。また、枠部は、それぞれ基板部の両主面に設けられて凹部空間を形成している。
ここで、一方の枠部は、基板部の一方の主面に設けられ、一方の凹部空間を形成している。また、他方の枠部は、基板部の他方の主面に設けられ、他方の凹部空間を形成している。
For example, two frame portions are provided, and are provided in a frame-shaped flat plate shape. Further, the frame portions are provided on both main surfaces of the substrate portion, respectively, to form a recessed space.
Here, one frame part is provided in one main surface of the board | substrate part, and forms one recessed space. Moreover, the other frame part is provided in the other main surface of the board | substrate part, and forms the other recessed part space.

集積回路素子搭載パッドは、例えば、10個設けられている。
また、集積回路素子搭載パッドは、例えば、一方の凹部空間の底面の一方の長辺側に沿って5つ設けられ、他方の長辺側に沿って5つ設けられている。つまり、集積回路素子搭載パッドは、2行×5列の行列状に一方の凹部空間の底面に設けられている。
また、集積回路素子搭載パッドは、後述する集積回路素子に設けられている集積回路素子接続端子と対向する位置に設けられ、例えば、半田等の導電材料によって集積回路素子接続端子と電気的に接続されている。
所定の2つの集積回路素子搭載パッドは、後述する圧電振動素子搭載パッドと内部配線を介して電気的に接続されている。また、所定の2つの集積回路素子搭載パッドは、後述する測定用端子と内部配線を介して電気的に接続されている。
所定の他の4つの集積回路素子搭載パッドは、後述する外部接続端子と内部配線を介して電気的に接続されている。
For example, ten integrated circuit element mounting pads are provided.
Further, for example, five integrated circuit element mounting pads are provided along one long side of the bottom surface of one recess space, and five are provided along the other long side. That is, the integrated circuit element mounting pads are provided on the bottom surface of one of the recess spaces in a matrix of 2 rows × 5 columns.
The integrated circuit element mounting pad is provided at a position facing an integrated circuit element connection terminal provided in the integrated circuit element described later, and is electrically connected to the integrated circuit element connection terminal by, for example, a conductive material such as solder. Has been.
The two predetermined integrated circuit element mounting pads are electrically connected to a piezoelectric vibration element mounting pad described later via internal wiring. Further, the two predetermined integrated circuit element mounting pads are electrically connected to measurement terminals, which will be described later, via internal wiring.
The predetermined four other integrated circuit element mounting pads are electrically connected to external connection terminals, which will be described later, through internal wiring.

ここで、素子搭載部材の一方の主面は、一方の凹部空間が形成されている主面とする。
外部接続端子は、一方の凹部空間が形成されている主面、つまり、一方の凹部空間を形成する一方の枠部と基板部が接する面と対向する一方の枠部の面に設けられている。言い換えると、外部接続端子は、素子搭載部材の一方の主面に設けられている。
外部接続端子は、例えば、4つ設けられ、素子搭載部材の一方の主面の4隅に一つずつ設けられている。
また、外部接続端子は、所定の他の4つの集積回路素子搭載パッドと素子搭載部材の内部配線を介して電気的に接続されている。
Here, one main surface of the element mounting member is a main surface in which one concave space is formed.
The external connection terminal is provided on the main surface on which one recessed space is formed, that is, on the surface of one frame portion facing the surface where one frame portion forming the one recessed space contacts the substrate portion. . In other words, the external connection terminal is provided on one main surface of the element mounting member.
For example, four external connection terminals are provided, one at each of the four corners of one main surface of the element mounting member.
The external connection terminals are electrically connected to the other four integrated circuit element mounting pads and the internal wiring of the element mounting member.

測定用端子は、例えば、2つ一対で設けられている。
また、一方の凹部空間の開口部側、つまり、素子搭載部材の一方の主面側から見た場合、測定用端子は、その一部が集積回路素子の主面に隠れておらず露出された状態となっている。従って、一方の凹部空間の開口部側から見た場合、測定用端子は、基板部の一方の主面に設けられている枠部と集積回路素子の間が露出された状態となっている。
また、測定用端子は、所定の2つの集積回路素子搭載パッドと後述する圧電振動素子搭載パッドと電気的に接続されている。従って、測定用プローブを測定用端子に接触させることで後述する圧電振動素子搭載パッド搭載される圧電振動素子の電気的特性、例えば、直列共振抵抗値や振動周波数の安定度等を測定することができる。
For example, two measurement terminals are provided as a pair.
Further, when viewed from the opening side of one concave space, that is, from one main surface side of the element mounting member, a part of the measurement terminal is exposed without being hidden by the main surface of the integrated circuit element. It is in a state. Therefore, when viewed from the opening side of one of the recessed spaces, the measuring terminal is in a state where the space between the frame portion provided on one main surface of the substrate portion and the integrated circuit element is exposed.
The measurement terminal is electrically connected to two predetermined integrated circuit element mounting pads and a piezoelectric vibration element mounting pad described later. Accordingly, by contacting the measurement probe to the measurement terminal, it is possible to measure the electrical characteristics of the piezoelectric vibration element mounted on the piezoelectric vibration element mounting pad, which will be described later, such as the series resonance resistance value and the stability of the vibration frequency. it can.

圧電振動素子搭載パッドは、例えば、2つ一対で設けられており、基板部の他方の主面、つまり、他方の凹部空間の底面の一方の短辺側に沿って2つ並んで設けられている。
ここで、素子搭載部材の他方の主面は、他方の凹部空間が形成されている主面とする。
従って、圧電振動素子搭載パッドは、素子搭載部材の他方の主面に設けられている他方の凹部空間の底面に設けられている。
また、圧電振動素子搭載パッドは、所定の2つの集積回路素子搭載パッドと素子搭載部材の内部配線を介して電気的に接続されている。
また、圧電振動素子搭載パッドは、素子搭載部材の内部配線を介して測定用端子と電気的に接続されている。
また、圧電振動素子搭載パッドは、後述する圧電振動素子の引き回し電極と対向する位置に設けられ、例えば、導電性接着剤によって圧電振動素子の引き回し電極と電気的に接続されている。
The piezoelectric vibration element mounting pads are provided, for example, in pairs, and two are provided side by side along the other main surface of the substrate portion, that is, one short side of the bottom surface of the other recessed space. Yes.
Here, the other main surface of the element mounting member is a main surface in which the other recessed space is formed.
Therefore, the piezoelectric vibration element mounting pad is provided on the bottom surface of the other recessed space provided on the other main surface of the element mounting member.
The piezoelectric vibration element mounting pad is electrically connected to two predetermined integrated circuit element mounting pads and the internal wiring of the element mounting member.
The piezoelectric vibration element mounting pad is electrically connected to the measurement terminal via the internal wiring of the element mounting member.
The piezoelectric vibration element mounting pad is provided at a position facing a lead electrode of the piezoelectric vibration element described later, and is electrically connected to the lead electrode of the piezoelectric vibration element by, for example, a conductive adhesive.

素子搭載部材は、一方の主面に一方の凹部空間が形成されており、この一方の凹部空間の底面に集積回路素子用搭載パッドと測定用端子とが設けられている。
また、素子搭載部材は、一方の主面の4隅に外部接続端子が設けられている。
また、素子搭載部材は、他方の主面に他方の凹部空間が形成されており、この他方の凹部空間の底面に圧電振動素子用搭載パッドが設けられている。
また、素子搭載部材は、2つ一対の圧電振動素子用搭載パッドが所定の2つ集積回路素子用搭載パッド及び2つ一対の測定用端子と素子搭載部材の内部配線を介して電気的に接続されている。
In the element mounting member, one concave space is formed on one main surface, and an integrated circuit element mounting pad and a measurement terminal are provided on the bottom surface of the one concave space.
Further, the element mounting member is provided with external connection terminals at four corners of one main surface.
The element mounting member has the other concave space formed on the other main surface, and a piezoelectric vibration element mounting pad is provided on the bottom surface of the other concave space.
The element mounting member is electrically connected to two pairs of piezoelectric vibration element mounting pads via a predetermined two integrated circuit element mounting pads and two pairs of measurement terminals via internal wiring of the element mounting member. Has been.

集積回路素子は、例えば、発振回路の機能を備えたIC回路素子である。
また、集積回路素子は、例えば、一方の主面に複数の集積回路素子接続端子が設けられている。
集積回路素子接続端子は、例えば、10個、設けられており、集積回路素子の両長辺に沿って5個ずつ並んで設けられている。つまり、集積回路接続端子は、一方の長辺に沿って5個並んで設けられ、他方の長辺に沿って5個並んで設けられている。言い換えると、集積回路素子接続端子は、2行×5列の行列状に設けられている。
また、集積回路素子接続端子は、集積回路素子搭載パッドと対向する位置に設けられ、例えば、半田等の導電材料によって集積回路素子搭載パッドと電気的に接続されている。
つまり、集積回路素子は、集積回路素子接続端子と集積回路素子搭載パッドとが電気的に接続されることで、素子搭載部材の一方の凹部空間内に搭載されている。
The integrated circuit element is, for example, an IC circuit element having an oscillation circuit function.
The integrated circuit element has, for example, a plurality of integrated circuit element connection terminals on one main surface.
For example, ten integrated circuit element connection terminals are provided, and five integrated circuit element connection terminals are provided along both long sides of the integrated circuit element. That is, five integrated circuit connection terminals are provided side by side along one long side, and five are provided side by side along the other long side. In other words, the integrated circuit element connection terminals are provided in a matrix of 2 rows × 5 columns.
The integrated circuit element connection terminal is provided at a position facing the integrated circuit element mounting pad, and is electrically connected to the integrated circuit element mounting pad by, for example, a conductive material such as solder.
That is, the integrated circuit element is mounted in one recessed space of the element mounting member by electrically connecting the integrated circuit element connection terminal and the integrated circuit element mounting pad.

圧電振動素子は、例えば、圧電片と励振電極と引き回し電極とからなっている。
圧電片は、例えば、水晶が用いられ、矩形形状の平板状に設けられている。
励振電極は、2つ一対となっている。一方の励振電極は、圧電片の一方の主面に設けられている。他方の励振電極は、圧電片の他方の主面であって一方の励振電極と対向する位置に設けられている。
引き回し電極は、2つ一対となっている。一方の引き回し電極は、一方の端部が一方の励振電極に接続されており、他方の端部が圧電片の他方の主面であって一方の短辺の縁部に位置している。また、他方の引き回し電極は、一方の端部が他方の励振電極に接続されており、他方の端部が圧電片の一方の主面であって一方の端部の縁部に位置している。
また、引き回し電極は、素子搭載部材に設けられている圧電振動素子搭載パッドと対向する位置に設けられており、例えば、導電接着剤等により圧電振動素子搭載パッドと電気的に接続されている。
つまり、圧電振動素子は、引き回し電極と素子搭載部材の圧電振動素子用搭載パッドとが電気的に接続されることで、素子搭載部材の他方の凹部空間の底面に搭載されている。
The piezoelectric vibration element includes, for example, a piezoelectric piece, an excitation electrode, and a lead electrode.
The piezoelectric piece is made of, for example, quartz and is provided in a rectangular flat plate shape.
Two pairs of excitation electrodes are provided. One excitation electrode is provided on one main surface of the piezoelectric piece. The other excitation electrode is provided on the other main surface of the piezoelectric piece at a position facing the one excitation electrode.
There are two pairs of routing electrodes. One lead-out electrode has one end connected to one excitation electrode, and the other end is the other main surface of the piezoelectric piece and is located at the edge of one short side. The other lead-out electrode has one end connected to the other excitation electrode, and the other end is one main surface of the piezoelectric piece and is located at the edge of the one end. .
Further, the lead-out electrode is provided at a position facing the piezoelectric vibration element mounting pad provided on the element mounting member, and is electrically connected to the piezoelectric vibration element mounting pad by, for example, a conductive adhesive.
That is, the piezoelectric vibration element is mounted on the bottom surface of the other recessed space of the element mounting member by electrically connecting the routing electrode and the piezoelectric vibration element mounting pad of the element mounting member.

蓋部材は、例えば、金属が用いられ、矩形形状の平板状に設けられている。
また、蓋部材は、素子搭載部材の主面と同じ大きさとなっている。
また、蓋部材は、他方の凹部空間が形成されている素子搭載部材の他方の主面と接合されて他方の凹部空間を気密封止している。つまり、蓋部材は、素子搭載部材と接合されて、他方の凹部空間の底面に搭載されている圧電振動素子を気密封止している。
The lid member is made of, for example, metal and is provided in a rectangular flat plate shape.
The lid member has the same size as the main surface of the element mounting member.
The lid member is joined to the other main surface of the element mounting member in which the other recessed space is formed to hermetically seal the other recessed space. That is, the lid member is joined to the element mounting member to hermetically seal the piezoelectric vibration element mounted on the bottom surface of the other recessed space.

圧電発振器は、素子搭載部材の一方の主面に形成されている凹部空間の底面に集積回路素子が搭載されている。
また、圧電発振器は、素子搭載部材の他方の主面に形成されている凹部空間の底面に圧電振動素子が搭載されて蓋部材で気密封止されている。
また、素子搭載部材の一方の主面側から見た場合、圧電発振器は、枠部の内側、つまり、一方の凹部空間内に集積回路素子が搭載されており、測定用端子の一部が集積回路素子の主面に隠れておらず露出されている。
このような圧電発振器は、露出している測定用端子の一部に測定用プローブ等を接触させることで、集積回路素子を搭載した後であっても、例えば、直列共振抵抗値や振動周波数の安定度等の電気的特性を測定することができる構造となっている(例えば、特許文献1参照)。
In the piezoelectric oscillator, an integrated circuit element is mounted on the bottom surface of a recessed space formed on one main surface of the element mounting member.
In addition, the piezoelectric oscillator has a piezoelectric vibration element mounted on the bottom surface of the recessed space formed on the other main surface of the element mounting member, and is hermetically sealed with a lid member.
When viewed from one main surface side of the element mounting member, the piezoelectric oscillator has an integrated circuit element mounted inside the frame, that is, in one recessed space, and a part of the measurement terminals is integrated. It is not hidden by the main surface of the circuit element and is exposed.
Such a piezoelectric oscillator has, for example, a series resonance resistance value or vibration frequency even after an integrated circuit element is mounted by bringing a measurement probe or the like into contact with a part of the exposed measurement terminal. It has a structure capable of measuring electrical characteristics such as stability (see, for example, Patent Document 1).

また、集積回路素子を素子搭載部材に搭載した場合、測定端子が集積回路素子に隠されず全てが露出された構造となっている圧電発振器がある。
この圧電発振器は、一方の主面側の枠部の構造と測定用端子が設けられている位置とが上述している圧電発振器と異なる。
In addition, when an integrated circuit element is mounted on an element mounting member, there is a piezoelectric oscillator having a structure in which all measurement terminals are exposed without being hidden by the integrated circuit element.
This piezoelectric oscillator is different from the above-described piezoelectric oscillator in the structure of the frame portion on one main surface side and the position where the measurement terminal is provided.

素子搭載部材は、基板部と2つの枠部とからなっている。
枠部は、基板部の両主面にそれぞれ一つずつ設けられている。
一方の枠部は、基板部の一方の主面の縁部に沿って設けられ一方の凹部空間を形成している。また、この一方の枠部は、両短辺に沿った一部が欠如した構造となっている。言い換えると、この一方の枠部は、2つの壁部となっており、それぞれがそれぞれの長辺に沿って設けられた状態となっている。
他方の枠部は、一方の枠部と同様に、基板部の他方の主面の縁部に沿って設けられて他方の凹部空間を形成している。
2つ一対の測定用端子は、この一方の主面側に設けられた枠部の欠如した位置であって、基板部の一方の主面の短辺に沿って一つずつ設けられている。また、2つ一対の測定用端子は、所定の2つの集積回路素子搭載パッドと電気的に接続されているので、2つ一対の圧電振動素子用搭載パッドと電気的に接続されている。
従って、測定用端子は、測定用端子の幅が枠部の幅と同等となっている。
ここで、測定用端子の幅は、素子搭載部材の長辺と平行な向きの測定用端子の幅である。
また、枠部の幅は、一方の凹部空間の開口部から見た場合に、一方の凹部空間の開口部を形成する枠部に於いて、凹部空間側の所定の一辺とこの所定の一辺に平行でかつこの所定の一辺に近い外縁側の所定の他の一辺との距離とする。
The element mounting member includes a substrate portion and two frame portions.
One frame portion is provided on each main surface of the substrate portion.
One frame part is provided along the edge part of one main surface of the board | substrate part, and forms one recessed part space. Moreover, this one frame part has a structure in which a part along both short sides is missing. In other words, this one frame part is two wall parts, and it is in the state where each was provided along each long side.
Similarly to the one frame portion, the other frame portion is provided along the edge portion of the other main surface of the substrate portion to form the other recessed space.
Two pairs of measurement terminals are provided one by one along the short side of one main surface of the substrate portion at a position where the frame portion provided on the one main surface side is absent. Further, since the two pairs of measurement terminals are electrically connected to the two predetermined integrated circuit element mounting pads, they are electrically connected to the two pairs of piezoelectric vibration element mounting pads.
Therefore, the measurement terminal has the same width as the frame portion.
Here, the width of the measurement terminal is the width of the measurement terminal in a direction parallel to the long side of the element mounting member.
In addition, the width of the frame portion, when viewed from the opening of one of the recessed spaces, is a predetermined one side on the recessed space side and the predetermined one side in the frame forming the opening of the one recessed space. A distance from a predetermined other side on the outer edge side that is parallel and close to the predetermined one side.

従って、圧電発振器は、素子搭載部材の一方の主面に形成されている凹部空間の底面に集積回路素子が搭載されている。
また、圧電発振器は、素子搭載部材の他方の主面に形成されている凹部空間の底面に圧電振動素子が搭載されて蓋部材で気密封止されている。
また、素子搭載部材の一方の主面側から見た場合、圧電発振器は、枠部の内側、つまり、一方の凹部空間内に集積回路素子が搭載されており、測定用端子が一方の枠部の欠如した部分に設けられ露出されている。つまり、測定用端子は、素子搭載部材の一方の凹部空間側の所定の一辺と、この所定の一辺に平行で素子搭載部材の外縁側の所定の他の一辺と、の間に設けられている。
このような圧電発振器は、一方の枠部の欠如した部分に設けられており露出されている測定用端子に測定用プローブ等を接触させることで、集積回路素子を搭載した後であっても、例えば、直列共振抵抗値や振動周波数の安定度等の電気的特性を測定することができる構造となっている(例えば、特許文献2参照)。
Therefore, in the piezoelectric oscillator, the integrated circuit element is mounted on the bottom surface of the recessed space formed on one main surface of the element mounting member.
In addition, the piezoelectric oscillator has a piezoelectric vibration element mounted on the bottom surface of the recessed space formed on the other main surface of the element mounting member, and is hermetically sealed with a lid member.
Further, when viewed from one main surface side of the element mounting member, the piezoelectric oscillator has an integrated circuit element mounted inside the frame portion, that is, in one recessed space, and the measurement terminal is connected to one frame portion. It is provided in the lacked part and exposed. That is, the measurement terminal is provided between a predetermined one side on one concave space side of the element mounting member and a predetermined other side parallel to the predetermined side and on the outer edge side of the element mounting member. .
Even after mounting an integrated circuit element, such a piezoelectric oscillator is provided in a portion lacking one of the frame portions by bringing a measurement probe or the like into contact with an exposed measurement terminal. For example, it has a structure capable of measuring electrical characteristics such as a series resonance resistance value and stability of vibration frequency (see, for example, Patent Document 2).

特開2003−163540号公報JP 2003-163540 A 特開2010−41902号公報JP 2010-41902 A

しかしながら、従来の圧電発振器は、測定用端子が基板部の一方の主面に設けられている一方の枠部と集積回路素子との間の部分だけ露出された状態となっている。従って、小型化された場合、従来の圧電発振器は、測定用端子の露出した面積が小さく、集積回路素子と一方の枠部との間隔が狭くなっている恐れがある。
このため、圧電振動素子の電気的特性を測定する場合、従来の圧電発振器は、集積回路素子と一方の枠部との間に測定用プローブが入らないために測定用プローブを露出されている測定用端子の一部と接触させることができず、搭載されている集積回路素子を剥がし測定しなければならない恐れがある。
つまり、このような圧電発振器は、測定用端子に測定用プローブを接触させることができず測定用端子が機能せず、搭載されている集積回路素子を剥がさなければ、圧電振動素子の電気的特性を測定できない恐れがある。
However, in the conventional piezoelectric oscillator, the measurement terminal is exposed only at a portion between one frame portion provided on one main surface of the substrate portion and the integrated circuit element. Therefore, when the size of the piezoelectric oscillator is reduced, the exposed area of the measurement terminal is small, and the distance between the integrated circuit element and the one frame portion may be narrow.
For this reason, when measuring the electrical characteristics of a piezoelectric vibration element, the conventional piezoelectric oscillator has a measurement probe exposed because the measurement probe does not enter between the integrated circuit element and one frame. There is a risk that it is impossible to make contact with a part of the terminal for use, and the mounted integrated circuit element must be peeled off and measured.
In other words, in such a piezoelectric oscillator, the measurement probe cannot be brought into contact with the measurement terminal, the measurement terminal does not function, and the mounted integrated circuit element is not peeled off. May not be measured.

また、従来の圧電発振器は、測定用端子が基板部の一方の主面に設けられている一方の枠部の一部の欠如している部分に設けられている。つまり、従来の圧電発振器は、測定用端子が一方の枠部の幅に設けられている。従って、小型化された場合、従来の圧電発振器は、一方の枠部の幅が狭くなり測定用端子の面積が小さくなっている恐れがある。
このため、圧電振動素子の電気的特性を測定する場合、従来の圧電発振器は、面積の小さい測定用端子に測定用プローブを接触させなければならず、測定の際に手間と時間を要する恐れがある。
つまり、このような圧電発振器は、測定用端子を用いても、圧電振動素子の電気的特性を測定するのに手間と時間を要するので生産性が悪化する恐れがある。
Further, in the conventional piezoelectric oscillator, the measurement terminal is provided in a part of one of the frame portions provided on one main surface of the substrate portion, which is missing. That is, in the conventional piezoelectric oscillator, the measurement terminal is provided in the width of one frame portion. Therefore, when miniaturized, the conventional piezoelectric oscillator has a risk that the width of one frame portion is narrowed and the area of the measurement terminal is small.
For this reason, when measuring the electrical characteristics of a piezoelectric vibration element, a conventional piezoelectric oscillator must have a measurement probe in contact with a measurement terminal having a small area, which may require labor and time for measurement. is there.
That is, in such a piezoelectric oscillator, even if the measurement terminal is used, it takes time and labor to measure the electrical characteristics of the piezoelectric vibration element, and thus the productivity may be deteriorated.

そこで、本発明では、集積回路素子が搭載された後に圧電振動素子の電気的特性を容易に測定することができる圧電発振器を提供することを課題とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a piezoelectric oscillator capable of easily measuring the electrical characteristics of a piezoelectric vibration element after the integrated circuit element is mounted.

前記課題を解決するため、基板部と2つの枠部とで構成され、両主面に凹部空間が形成され、一方の前記凹部空間の底面に複数の集積回路素子搭載パッドと2つ一対の測定用端子が設けられ、他方の前記凹部空間の底面に2つ一対の圧電振動素子搭載パッドが設けられている素子搭載部材と、前記圧電振動素子搭載パッドに搭載されている圧電振動素子と、前記圧電振動素子を気密封止する蓋部材と、を備え、複数の前記集積回路素子搭載パッドは、一方の前記凹部空間の底面の中央部に設けられており、前記2つ一対の圧電振動素子搭載パッドと所定の2つの前記集積回路素子搭載パッドとが電気的に接続され、前記2つ一対の測定用端子が前記2つ一対の圧電振動素子搭載パッド、または/及び、前記所定の2つの集積回路素子搭載パッドに電気的に接続され、前記測定用端子が、前記集積回路素子搭載パッドに搭載される集積回路素子の主面と対向しないように、複数の前記集積回路素子搭載パッドが設けられている一方の前記凹部空間の底面の中央部の両側にそれぞれ1つずつ設けられており、一方の前記凹部空間を形成する前記枠部に於いて、前記一方の凹部空間側の所定の一辺と前記所定の一辺に平行でかつ前記所定の一辺に近い外縁側の所定の他の一辺との距離を枠部の幅としたとき、前記測定用端子の幅が前記枠部の幅より広く形成されて構成されることを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems, a substrate portion and two frame portions are formed, recessed spaces are formed on both main surfaces, and a plurality of integrated circuit element mounting pads and two pairs of measurements are formed on the bottom surface of the one recessed space. An element mounting member provided with a pair of piezoelectric vibration element mounting pads on the bottom surface of the other concave space, a piezoelectric vibration element mounted on the piezoelectric vibration element mounting pad, A lid member for hermetically sealing the piezoelectric vibration element, and the plurality of integrated circuit element mounting pads are provided at the center of the bottom surface of one of the recess spaces, and the two pairs of piezoelectric vibration elements are mounted A pad and two predetermined integrated circuit element mounting pads are electrically connected, and the two pairs of measurement terminals are the two pairs of piezoelectric vibration element mounting pads and / or the two predetermined integrated circuits. Circuit element mounting package To be electrically connected, the measuring terminal, wherein so as not to face the principal surface of the integrated circuit element mounted on an integrated circuit device mounting pads, one of a plurality of said integrated circuit device mounting pads are provided One side is provided on each side of the central portion of the bottom surface of the concave space, and the predetermined one side and the predetermined one side on the one concave space side in the frame portion forming the one concave space The width of the measurement terminal is formed wider than the width of the frame portion when the distance from the predetermined other side on the outer edge side that is parallel to the predetermined one side is the width of the frame portion. It is characterized by that.

このような圧電発振器は、基板部と基板部の両主面の縁部に沿って設けられている枠部とで構成され凹部空間が形成されている素子搭載部材と、素子搭載部材に搭載される圧電振動素子と、搭載されている圧電振動素子を気密封止する蓋部材と、を備えている。また、このような圧電発振器は、前記測定用端子が前記集積回路素子の主面と対向しない位置に設けられている。また、このような圧電発振器は、一方の凹部空間を形成する一方の枠部に於いて、一方の凹部空間側の所定の一辺とこの所定の一辺に平行でかつこの所定の一辺に近い外縁側の所定の他の一辺との距離を枠部の幅としたとき、測定用端子の幅が枠部の幅より広くなっている。
つまり、集積回路素子が搭載されている主面側から見た場合、このような圧電発振器は、集積回路素子と測定用端子とが重ならない位置に設けられ、一方の凹部空間を形成している枠部と集積回路素子との間隔が従来の圧電発振器の枠部と集積回路素子との間隔と比較して広くなっている。また、このような圧電発振器は、測定用端子の幅が枠部の幅より広くなっている。
このため、このような圧電発振器は、測定用端子に測定用プローブを容易に接触させることができるので、集積回路素子が搭載された後に圧電振動素子の電気的特性を容易に測定することができる。
Such a piezoelectric oscillator is composed of an element mounting member that includes a substrate portion and a frame portion that is provided along the edges of both main surfaces of the substrate portion, and in which a recessed space is formed, and is mounted on the element mounting member. And a lid member that hermetically seals the mounted piezoelectric vibration element. In addition, such a piezoelectric oscillator is provided at a position where the measurement terminal does not face the main surface of the integrated circuit element. In addition, in such a piezoelectric oscillator, in one frame portion forming one recessed space, a predetermined one side on the one recessed space side and an outer edge side that is parallel to the predetermined one side and close to the predetermined one side When the distance from the other predetermined side is the width of the frame portion, the width of the measurement terminal is wider than the width of the frame portion.
In other words, when viewed from the main surface side on which the integrated circuit element is mounted, such a piezoelectric oscillator is provided at a position where the integrated circuit element and the measurement terminal do not overlap with each other to form one concave space. The distance between the frame portion and the integrated circuit element is wider than the distance between the frame portion of the conventional piezoelectric oscillator and the integrated circuit element. In such a piezoelectric oscillator, the width of the measurement terminal is wider than the width of the frame portion.
Therefore, in such a piezoelectric oscillator, the measurement probe can be easily brought into contact with the measurement terminal, so that the electrical characteristics of the piezoelectric vibration element can be easily measured after the integrated circuit element is mounted. .

本発明の実施形態に係る圧電発振器の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the piezoelectric oscillator which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る圧電発振器の集積回路素子が搭載されている側から見た場合の一例を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows an example at the time of seeing from the side in which the integrated circuit element of the piezoelectric oscillator which concerns on embodiment of this invention is mounted.

次に、本発明の実施するための最良の形態について説明する。なお、各図面に於いて、各構成要素の状態をわかりやすくするために誇張して図示してある。   Next, the best mode for carrying out the present invention will be described. In each drawing, the state of each component is exaggerated for easy understanding.

本発明の実施形態に係る圧電発振器について説明する。本発明の実施形態に係る圧電発振器100は、図1に示すように、素子搭載部材110と集積回路素子120と圧電振動素子130と蓋部材140とから主に構成されている。   A piezoelectric oscillator according to an embodiment of the present invention will be described. As shown in FIG. 1, the piezoelectric oscillator 100 according to the embodiment of the present invention mainly includes an element mounting member 110, an integrated circuit element 120, a piezoelectric vibration element 130, and a lid member 140.

素子搭載部材110は、図1に示すように、基板部110aと2つの枠部110b,110cで構成されており、両主面に一つずつ凹部空間111,112が形成されている。
また、素子搭載部材110は、図1及び図2に示すように、一方の主面に外部接続端子116が設けられている。
また、素子搭載部材110は、図1及び図2に示すように、一方の主面の一方の凹部空間111の底面に集積回路素子搭載パッド113と測定用端子114とが設けられている。
また、素子搭載部材110は、図1に示すように、他方の主面の他方の凹部空間112の底面に圧電振動素子搭載パッド115が設けられている。
また、素子搭載部材110は、集積回路素子搭載パッド113と圧電振動素子搭載パッド115または外部接続端子116または測定用端子114とを電気的に接続している内部配線(図示せず)が設けられている。
As shown in FIG. 1, the element mounting member 110 includes a substrate portion 110a and two frame portions 110b and 110c. Recessed spaces 111 and 112 are formed on both main surfaces, respectively.
In addition, as shown in FIGS. 1 and 2, the element mounting member 110 is provided with an external connection terminal 116 on one main surface.
Further, as shown in FIGS. 1 and 2, the element mounting member 110 is provided with an integrated circuit element mounting pad 113 and a measurement terminal 114 on the bottom surface of one concave space 111 on one main surface.
As shown in FIG. 1, the element mounting member 110 is provided with a piezoelectric vibration element mounting pad 115 on the bottom surface of the other concave space 112 of the other main surface.
The element mounting member 110 is provided with an internal wiring (not shown) that electrically connects the integrated circuit element mounting pad 113 and the piezoelectric vibration element mounting pad 115, the external connection terminal 116, or the measurement terminal 114. ing.

基板部110aは、例えば、図1及び図2に示すように、矩形形状の平板状に設けられている。   For example, as illustrated in FIGS. 1 and 2, the substrate portion 110 a is provided in a rectangular flat plate shape.

枠部110b,110cは、2つ設けられている。
また、枠部110b,110cは、平板状の枠形状となっている。
なお、枠部110b,110cの空間側を内側としたとき、内側の所定の一辺と、この所定の一辺と平行な位置にあってこの所定の一辺と近い外側の所定の他の一辺との距離を幅とする。
一方の枠部110bは、基板部110aの一方の主面の縁部に沿って設けられ、一方の凹部空間111を形成している。また、一方の枠部110bの幅Wは、図2に示すように、凹部空間111側の所定の一辺T1とこの所定の一辺T1と平行で近い外縁の所定の他の一辺T2との距離である。
他方の枠部110cは、一方の枠部110bと同様に、基板部110aの他方の主面の縁部に沿って設けられ、他方の凹部空間112を形成している。
Two frame portions 110b and 110c are provided.
The frame portions 110b and 110c have a flat frame shape.
In addition, when the space side of the frame parts 110b and 110c is set to the inner side, the distance between the predetermined one side on the inner side and the predetermined other one side outside the predetermined one side that is parallel to the predetermined one side Is the width.
One frame portion 110b is provided along the edge portion of one main surface of the substrate portion 110a to form one recessed space 111. Further, as shown in FIG. 2, the width W of one frame portion 110b is a distance between a predetermined one side T1 on the concave space 111 side and a predetermined other side T2 on the outer edge that is parallel to and close to the predetermined one side T1. is there.
The other frame portion 110c is provided along the edge portion of the other main surface of the substrate portion 110a similarly to the one frame portion 110b, and forms the other recessed space 112.

ここで、素子搭載部材110の一方の主面は、一方の凹部空間111が形成されている主面、つまり、一方の枠部110bと基板部110aとが接する面と対向する一方の枠部110bの面をいう。
また、素子搭載部材110の他方の主面は、他方の凹部空間112が形成されている主面、つまり、他方の枠部110cと基板部110aとが接する面と対向する他方の枠部110cの面をいう。
Here, one main surface of the element mounting member 110 is one frame portion 110b opposite to the main surface on which one concave space 111 is formed, that is, the surface where one frame portion 110b and the substrate portion 110a are in contact. Of the face.
The other main surface of the element mounting member 110 is the main surface on which the other recessed space 112 is formed, that is, the other frame portion 110c facing the surface where the other frame portion 110c and the substrate portion 110a are in contact. Say the face.

集積回路素子搭載パッド113は、例えば、図2に示すように、6個設けられている。
また、集積回路素子搭載パッド113は、例えば、図2に示すように、一方の凹部空間111の底面の中央部に2行×3列の行列状に設けられている。つまり、集積回路素子搭載パッド113は、図2に示すように、一方の凹部空間111の底面であって、後述する測定用端子114の間に行列状となる様に設けられている。
また、集積回路素子搭載パッド113は、図1に示すように、後述する集積回路素子120に設けられている集積回路素子接続端子121と対向する位置に設けられている。
また、集積回路素子搭載パッド113は、図1に示すように、例えば、半田等の導電材料Dによって、後述する集積回路素子120に設けられている集積回路素子接続端子121と電気的に接続されている。
また、所定の2つの集積回路素子搭載パッド113は、後述する圧電振動素子搭載パッド115と内部配線を介して電気的に接続されている。また、所定の2つの集積回路素子搭載パッド113は、内部配線を介して測定用端子114と電気的に接続されている。
また。所定の他の4つの集積回路素子搭載パッド113は、後述する外部接続端子116と内部配線を介して電気的に接続されている。
For example, as shown in FIG. 2, six integrated circuit element mounting pads 113 are provided.
Further, for example, as shown in FIG. 2, the integrated circuit element mounting pads 113 are provided in a matrix of 2 rows × 3 columns at the center of the bottom surface of one of the recessed spaces 111. That is, as shown in FIG. 2, the integrated circuit element mounting pads 113 are provided on the bottom surface of one of the recessed spaces 111 so as to form a matrix between the measurement terminals 114 described later.
Further, as shown in FIG. 1, the integrated circuit element mounting pad 113 is provided at a position facing an integrated circuit element connection terminal 121 provided in the integrated circuit element 120 described later.
Further, as shown in FIG. 1, the integrated circuit element mounting pad 113 is electrically connected to an integrated circuit element connection terminal 121 provided in the integrated circuit element 120 described later by a conductive material D such as solder, for example. ing.
The two predetermined integrated circuit element mounting pads 113 are electrically connected to a piezoelectric vibration element mounting pad 115 described later via an internal wiring. Further, the two predetermined integrated circuit element mounting pads 113 are electrically connected to the measurement terminals 114 via internal wiring.
Also. The other four predetermined integrated circuit element mounting pads 113 are electrically connected to an external connection terminal 116, which will be described later, through an internal wiring.

外部接続端子116は、図1及び図2に示すように、一方の凹部空間111が形成されている主面、つまり、一方の凹部空間111を形成する一方の枠部110bと基板部110aとが接する面とが接する面と対向する一方の枠部110bの面に設けられている。言い換えると、外部接続端子116は、図1及び図2に示すように、素子搭載部材110の一方の主面に設けられている。
外部接続端子116は、例えば、図2に示すように、4つ設けられ、素子搭載部材110の一方の主面の4隅に一つずつ設けられている。
また、外部接続端子116は、所定の他の4つの集積回路素子搭載パッド113と素子搭載部材110の内部配線を介して電気的に接続されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the external connection terminal 116 has a main surface in which one recessed space 111 is formed, that is, one frame portion 110 b and one substrate portion 110 a forming one recessed space 111. It is provided on the surface of one of the frame portions 110b that faces the surface that contacts the surface. In other words, the external connection terminal 116 is provided on one main surface of the element mounting member 110 as shown in FIGS. 1 and 2.
For example, as shown in FIG. 2, four external connection terminals 116 are provided, and one external connection terminal 116 is provided at each of the four corners of one main surface of the element mounting member 110.
The external connection terminal 116 is electrically connected to the other four integrated circuit element mounting pads 113 via the internal wiring of the element mounting member 110.

測定用端子114は、例えば、図1及び図2に示すように、2つ一対で設けられている。
また、測定用端子114は、所定の2つの集積回路素子搭載パッド113と後述する圧電振動素子搭載パッド115と電気的に接続されている。つまり、測定用端子114は、圧電発振器100の圧電振動素子130の電気的特性を測定することを可能としている。
また、測定用端子114は、その幅Pが枠部110bの幅Wより広くなっている。
ここで、測定用端子114の幅Pは、素子搭載部材110の長辺に平行な向きの幅である。つまり、図2では、測定用端子114の幅Pは、測定用端子114の長辺長さとなっている。
なお、ここでは、測定用端子114の幅Pが測定用端子114の長辺長さの場合について説明しているが、素子搭載部材の長辺に平行な向きの幅であれば、短辺長さであってもよい。
測定用端子114の幅Pが枠部110bの幅Wより狭い場合、測定用端子114は、従来の圧電発振器の場合と同様に、その面積が小さくなってしまい測定用プローブを接触することができなくなり測定用端子114の機能をはたさない恐れがある。
このため、測定用端子114は、その幅Pが枠部110bの幅Wより広くなっている。
For example, as shown in FIGS. 1 and 2, the measurement terminals 114 are provided in pairs.
The measurement terminal 114 is electrically connected to two predetermined integrated circuit element mounting pads 113 and a piezoelectric vibration element mounting pad 115 described later. In other words, the measurement terminal 114 can measure the electrical characteristics of the piezoelectric vibration element 130 of the piezoelectric oscillator 100.
Further, the measurement terminal 114 has a width P wider than the width W of the frame portion 110b.
Here, the width P of the measurement terminal 114 is a width in a direction parallel to the long side of the element mounting member 110. That is, in FIG. 2, the width P of the measurement terminal 114 is the long side length of the measurement terminal 114.
Here, the case where the width P of the measurement terminal 114 is the long side length of the measurement terminal 114 is described. However, if the width is parallel to the long side of the element mounting member, the short side length is used. It may be.
When the width P of the measurement terminal 114 is narrower than the width W of the frame portion 110b, the area of the measurement terminal 114 becomes small as in the case of the conventional piezoelectric oscillator, and the measurement probe can be contacted. The measurement terminal 114 may not function.
For this reason, the measurement terminal 114 has a width P wider than the width W of the frame portion 110b.

圧電振動素子搭載パッド115は、例えば、2つ一対で設けられており、基板部110aの他方の主面、つまり、他方の凹部空間112の底面の一方の短辺に沿って2つ並んで設けられている。言い換えると、圧電振動素子搭載パッド115は、素子搭載部材110の他方の主面に設けられている他方の凹部空間112の底面の一方の短辺に沿って2つ並んで設けられている。
また、圧電振動素子搭載パッド115は、所定の2つの集積回路素子搭載パッド113と素子搭載部材110の内部配線を介して電気的に接続されている。
また、圧電振動素子搭載パッド115は、素子搭載部材110の内部配線を介して測定用端子114と電気的に接続されている。
また、圧電振動素子搭載パッド115は、図1に示すように、後述する圧電振動素子130の引き回し電極133と対向する位置に設けられ、例えば、導電性接着剤Sによって圧電振動素子130の引き回し電極133と電気的に接続されている。
For example, two pairs of the piezoelectric vibration element mounting pads 115 are provided, and two of the piezoelectric vibration element mounting pads 115 are provided along one short side of the other main surface of the substrate portion 110a, that is, the bottom surface of the other recessed space 112. It has been. In other words, two piezoelectric vibration element mounting pads 115 are provided side by side along one short side of the bottom surface of the other recessed space 112 provided on the other main surface of the element mounting member 110.
In addition, the piezoelectric vibration element mounting pad 115 is electrically connected to two predetermined integrated circuit element mounting pads 113 via the internal wiring of the element mounting member 110.
The piezoelectric vibration element mounting pad 115 is electrically connected to the measurement terminal 114 via the internal wiring of the element mounting member 110.
Further, as shown in FIG. 1, the piezoelectric vibration element mounting pad 115 is provided at a position facing a routing electrode 133 of the piezoelectric vibration element 130 described later. For example, the lead electrode of the piezoelectric vibration element 130 is formed by the conductive adhesive S. 133 is electrically connected.

素子搭載部材110は、図1及び図2に示すように、一方の主面に一方の凹部空間111が形成されており、この一方の凹部空間111の底面に集積回路素子搭載パッド113と測定用端子114とが設けられている。
また、素子搭載部材110は、図2に示すように、一方の主面の4隅に外部接続端子116が設けられている。
また、素子搭載部材110は、図1に示すように、他方の主面に他方の凹部空間112が形成されており、この他方の凹部空間112の底面に圧電振動素子搭載パッド115が設けられている。
また、素子搭載部材110は、2つ一対の圧電振動素子搭載パッド115が所定の2つ集積回路素子搭載パッド113及び2つ一対の測定用端子114と素子搭載部材110の内部配線を介して電気的に接続されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the element mounting member 110 has one concave surface 111 formed on one main surface, and the integrated circuit element mounting pad 113 and the measurement surface on the bottom surface of the one concave space 111. Terminal 114 is provided.
In addition, as shown in FIG. 2, the element mounting member 110 is provided with external connection terminals 116 at four corners of one main surface.
Further, as shown in FIG. 1, the element mounting member 110 has the other concave surface 112 formed on the other main surface, and a piezoelectric vibration element mounting pad 115 is provided on the bottom surface of the other concave space 112. Yes.
Further, the element mounting member 110 has two pairs of piezoelectric vibration element mounting pads 115 that are electrically connected to each other through a predetermined two integrated circuit element mounting pads 113 and two pairs of measurement terminals 114 and internal wiring of the element mounting member 110. Connected.

圧電振動素子130は、図1に示すように、圧電片131と励振電極132と引き回し電極133とから主に構成されている。
圧電片131は、例えば、圧電材料が用いられ、矩形形状の平板状に設けられている。
励振電極132は、例えば、図1に示すように、2つ一対となっている。一方の励振電極132は、圧電片131の一方の主面に設けられている。他方の励振電極132は、圧電片131の他方の主面であって一方の励振電極と対向する位置に設けられている。
引き回し電極132は、例えば、2つ一対となっている。
また、引き回し電極133は、一方の端部が所定の励振電極132と接続され、他方の端部が所定の励振電極132が設けられていない圧電片131の主面の端部に位置している。つまり、一方の引き回し電極133は、一方の端部が一方の励振電極132に接続されており、他方の端部が圧電片131の他方の主面の端部に位置している。また、他方の引き回し電極133は、一方の端部が他方の励振電極132に接続されており、他方の端部が圧電片131の一方の主面の端部に位置している。
また、引き回し電極133は、図1に示すように、素子搭載部材110に設けられた圧電振動素子搭載パッド115と対向する位置に設けられており、例えば、導電性接着剤Sによって圧電振動素子搭載パッド115と電気的に接続されている。
圧電振動素子130は、引き回し電極133と圧電振動素子搭載パッド115とが電気的に接続されることで、圧電振動素子搭載パッド115に搭載される。
As shown in FIG. 1, the piezoelectric vibration element 130 is mainly composed of a piezoelectric piece 131, an excitation electrode 132, and a routing electrode 133.
The piezoelectric piece 131 is made of, for example, a piezoelectric material and is provided in a rectangular flat plate shape.
For example, as shown in FIG. 1, the excitation electrodes 132 form a pair. One excitation electrode 132 is provided on one main surface of the piezoelectric piece 131. The other excitation electrode 132 is provided on the other main surface of the piezoelectric piece 131 at a position facing one excitation electrode.
The routing electrodes 132 are, for example, a pair of two.
The routing electrode 133 has one end connected to the predetermined excitation electrode 132 and the other end positioned at the end of the main surface of the piezoelectric piece 131 where the predetermined excitation electrode 132 is not provided. . That is, one lead electrode 133 has one end connected to one excitation electrode 132 and the other end located at the end of the other main surface of the piezoelectric piece 131. The other routing electrode 133 has one end connected to the other excitation electrode 132 and the other end positioned at the end of one main surface of the piezoelectric piece 131.
Further, as shown in FIG. 1, the lead-out electrode 133 is provided at a position facing the piezoelectric vibration element mounting pad 115 provided on the element mounting member 110. For example, the lead electrode 133 is mounted by the conductive adhesive S. The pad 115 is electrically connected.
The piezoelectric vibration element 130 is mounted on the piezoelectric vibration element mounting pad 115 by electrically connecting the routing electrode 133 and the piezoelectric vibration element mounting pad 115.

蓋部材140は、例えば、矩形形状の平板状に設けられている。
また、蓋部材140は、図1に示すように、素子搭載部材110と接続されることで、他方の凹部空間112内に搭載されている圧電振動素子130を気密封止する役割を果たす。
The lid member 140 is provided in a rectangular flat plate shape, for example.
Further, as shown in FIG. 1, the lid member 140 is connected to the element mounting member 110, and thereby serves to hermetically seal the piezoelectric vibration element 130 mounted in the other recessed space 112.

集積回路素子120は、例えば、発振回路の機能を備えたIC回路素子である。
また、集積回路素子120は、例えば、一方の主面に複数の集積回路素子接続端子121が設けられている。
集積回路素子接続端子121は、例えば、6個設けられており、集積回路素子120の両長辺に沿って3個ずつ並んで設けられている。つまり、集積回路接続端子121は、一方の長辺に沿って3個並んで設けられ、他方の長辺に沿って3個並んで設けられており、言い換えると、3行×2列の行列状に設けられている。
また、集積回路素子接続端子121は、図1に示すように、集積回路素子搭載パッド113と対向する位置に設けられ、例えば、半田等の導電材料Dによって集積回路素子搭載パッド113と電気的に接続されている。
つまり、集積回路素子120は、集積回路素子接続端子121と集積回路素子搭載パッド113とが電気的に接続されることで、素子搭載部材110の一方の凹部空間111内に搭載されている。
The integrated circuit element 120 is, for example, an IC circuit element having a function of an oscillation circuit.
Moreover, the integrated circuit element 120 is provided with a plurality of integrated circuit element connection terminals 121 on one main surface, for example.
For example, six integrated circuit element connection terminals 121 are provided, and three integrated circuit element connection terminals 121 are provided side by side along both long sides of the integrated circuit element 120. That is, three integrated circuit connection terminals 121 are provided side by side along one long side, and are provided side by side along the other long side, in other words, a matrix of 3 rows × 2 columns. Is provided.
Further, as shown in FIG. 1, the integrated circuit element connection terminal 121 is provided at a position facing the integrated circuit element mounting pad 113, and is electrically connected to the integrated circuit element mounting pad 113 by a conductive material D such as solder. It is connected.
That is, the integrated circuit element 120 is mounted in the one recessed space 111 of the element mounting member 110 by electrically connecting the integrated circuit element connection terminal 121 and the integrated circuit element mounting pad 113.

従って、このような圧電発振器100は、素子搭載部材110の一方の主面に形成されている一方の凹部空間111の底面に集積回路素子120が搭載されている。
また、このような圧電発振器100は、素子搭載部材110の他方の主面に形成されている他方の凹部空間112の底面に圧電振動素子130が搭載されて蓋部材140で気密封止されている。
また、素子搭載部材110の一方の主面側から見た場合、このような圧電発振器100は、集積回路素子120が一方の枠部110b内に搭載されており、測定用端子114が集積回路素子120に隠れることなく露出されている構造となっている。
また、圧電発振器100は、集積回路素子搭載パッドの幅Pが枠部の幅Wより広くなっている。
また、圧電発振器100は、所定の2つの集積回路素子搭載パッド113が測定用端子114及び圧電振動素子搭載パッド115と電気的に接続されている。
また、圧電発振器100は、所定の他の4つの集積回路素子搭載パッド113が外部接続端子116と電気的に接続されている。
Therefore, in such a piezoelectric oscillator 100, the integrated circuit element 120 is mounted on the bottom surface of the one recessed space 111 formed on one main surface of the element mounting member 110.
Further, in such a piezoelectric oscillator 100, the piezoelectric vibration element 130 is mounted on the bottom surface of the other recessed space 112 formed on the other main surface of the element mounting member 110 and hermetically sealed by the lid member 140. .
Further, when viewed from one main surface side of the element mounting member 110, such a piezoelectric oscillator 100 has the integrated circuit element 120 mounted in the one frame portion 110b, and the measurement terminal 114 has the integrated circuit element. The structure is exposed without being hidden by 120.
In the piezoelectric oscillator 100, the width P of the integrated circuit element mounting pad is larger than the width W of the frame portion.
In the piezoelectric oscillator 100, two predetermined integrated circuit element mounting pads 113 are electrically connected to the measurement terminal 114 and the piezoelectric vibration element mounting pad 115.
Further, in the piezoelectric oscillator 100, other predetermined four integrated circuit element mounting pads 113 are electrically connected to the external connection terminals 116.

このような本発明の実施形態に係る圧電発振器100は、基板部110aと基板部110aの両主面の縁部に沿って設けられる枠部110b,110cとで構成されて凹部空間111,112が形成されている素子搭載部材110と、素子搭載部材110に搭載される圧電振動素子130と、搭載されている圧電振動素子130を気密封止する蓋部材140と、を備えている。また、このような本発明の実施形態に係る圧電発振器100は、前記測定用端子114が前記集積回路素子120の主面と対向しない位置に設けられている。また、このような本発明の実施形態に係る圧電発振器100は、一方の凹部空間111を形成する一方の枠部110bに於いて、一方の凹部空間111側の所定の一辺T1とこの所定の一辺T1に平行でかつこの所定T1の一辺に近い外縁側の所定の他の一辺T2との距離を枠部110bの幅Wとしたとき、測定用端子114の幅Pが枠部110bの幅Wより広くなっている。
つまり、集積回路素子120が搭載されている主面側から見た場合、このような本発明の実施形態に係る圧電発振器100は、集積回路素子120と測定用端子114とが重ならない位置に設けられ、凹部空間111を形成している枠部110bと集積回路素子120との間隔が従来の圧電発振器の枠部と集積回路素子との間隔と比較して広くなっている。また、このような本発明の実施形態に係る圧電発振器100は、測定用端子114の幅Pが枠部110bの幅Wより広くなっている。
このため、このような本発明の実施形態に係る圧電発振器100は、測定用端子114に測定用プローブを容易に接触させることができるので、集積回路素子120が搭載された後に圧電振動素子130の電気的特性を容易に測定することができる。
The piezoelectric oscillator 100 according to the embodiment of the present invention includes the substrate portion 110a and the frame portions 110b and 110c provided along the edges of both main surfaces of the substrate portion 110a, and the recessed spaces 111 and 112 are formed. An element mounting member 110 formed, a piezoelectric vibration element 130 mounted on the element mounting member 110, and a lid member 140 that hermetically seals the mounted piezoelectric vibration element 130 are provided. The piezoelectric oscillator 100 according to the embodiment of the present invention is provided at a position where the measurement terminal 114 does not face the main surface of the integrated circuit element 120. In addition, in the piezoelectric oscillator 100 according to the embodiment of the present invention, in one frame portion 110b forming the one recessed space 111, the predetermined one side T1 on the one recessed space 111 side and the predetermined one side. When the distance W from the predetermined other side T2 on the outer edge side that is parallel to T1 and close to one side of the predetermined T1 is the width W of the frame portion 110b, the width P of the measuring terminal 114 is greater than the width W of the frame portion 110b. It is getting wider.
That is, when viewed from the main surface side where the integrated circuit element 120 is mounted, the piezoelectric oscillator 100 according to the embodiment of the present invention is provided at a position where the integrated circuit element 120 and the measurement terminal 114 do not overlap. Thus, the distance between the frame portion 110b forming the recessed space 111 and the integrated circuit element 120 is wider than the distance between the frame portion of the conventional piezoelectric oscillator and the integrated circuit element. In the piezoelectric oscillator 100 according to the embodiment of the present invention, the width P of the measurement terminal 114 is wider than the width W of the frame portion 110b.
For this reason, the piezoelectric oscillator 100 according to the embodiment of the present invention can easily bring the measurement probe into contact with the measurement terminal 114. Therefore, after the integrated circuit element 120 is mounted, the piezoelectric vibration element 130 is provided. Electrical characteristics can be easily measured.

また、このような本発明の実施形態に係る圧電発振器100は、集積回路素子120が一方の枠部110b内に設けられている。従って、電子機器の配線基板に設けた場合、本発明の実施形態に係る圧電発振器100は、集積回路素子120が一方の凹部空間111内に封止された構造となっている。このため、このような本発明の実施形態に係る圧電発振器100は、圧電発振器の温度や湿度といった外部の影響を、従来と比較して抑えることができる。   In the piezoelectric oscillator 100 according to the embodiment of the present invention, the integrated circuit element 120 is provided in one frame portion 110b. Therefore, when provided on a wiring board of an electronic device, the piezoelectric oscillator 100 according to the embodiment of the present invention has a structure in which the integrated circuit element 120 is sealed in one concave space 111. For this reason, the piezoelectric oscillator 100 according to the embodiment of the present invention can suppress external influences such as temperature and humidity of the piezoelectric oscillator as compared with the related art.

なお、ここでは、集積回路素子接続端子が6個設けられている場合について説明しているが、圧電発振器としての機能を果たす集積回路素子であれば集積回路接続端子の数は、例えば、8個や10個であってもよい。   Here, the case where six integrated circuit element connection terminals are provided is described, but the number of integrated circuit connection terminals is, for example, eight as long as the integrated circuit element functions as a piezoelectric oscillator. Or 10 pieces.

なお、ここでは、集積回路素子搭載パッドと外部接続端子、または、圧電振動素子搭載パッド、または、測定用端子が内部配線により接続されている場合について説明しているが、それぞれを電気的に接続することができれば、例えば、素子搭載部材の表面にパターン配線を設けてもよい。   In this example, the case where the integrated circuit element mounting pad and the external connection terminal, the piezoelectric vibration element mounting pad, or the measurement terminal is connected by the internal wiring is described. If possible, pattern wiring may be provided on the surface of the element mounting member, for example.

100 圧電発振器
110 素子搭載部材
110a 基板部
110b,110c 枠部
111,112 凹部空間
113 集積回路素子搭載パッド
114 測定用端子
115 圧電振動素子搭載パッド
120 集積回路素子
121 集積回路素子接続端子
130 圧電振動素子
131 圧電片
132 励振電極
133 引き回し電極
140 蓋部材
D 導電材料
S 導電性接着剤
W 枠部の幅
P 測定用端子の幅
T1,T2 枠部の一辺
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Piezoelectric oscillator 110 Element mounting member 110a Board | substrate part 110b, 110c Frame part 111,112 Recessed space 113 Integrated circuit element mounting pad 114 Measurement terminal 115 Piezoelectric vibration element mounting pad 120 Integrated circuit element 121 Integrated circuit element connection terminal 130 Piezoelectric vibration element 131 Piezoelectric piece 132 Excitation electrode 133 Leading electrode 140 Lid member D Conductive material S Conductive adhesive W Frame width P Measurement terminal width T1, T2 One side of frame

Claims (1)

基板部と2つの枠部とで構成され、両主面に凹部空間が形成され、一方の前記凹部空間の底面に複数の集積回路素子搭載パッドと2つ一対の測定用端子が設けられ、他方の前記凹部空間の底面に2つ一対の圧電振動素子搭載パッドが設けられている素子搭載部材と、
前記圧電振動素子搭載パッドに搭載されている圧電振動素子と、
前記圧電振動素子を気密封止する蓋部材と、
を備え、
複数の前記集積回路素子搭載パッドは、一方の前記凹部空間の底面の中央部に設けられており、
前記2つ一対の圧電振動素子搭載パッドと所定の2つの前記集積回路素子搭載パッドとが電気的に接続され、
前記2つ一対の測定用端子が前記2つ一対の圧電振動素子搭載パッド、または/及び、前記所定の2つの集積回路素子搭載パッドに電気的に接続され、
前記測定用端子が、前記集積回路素子搭載パッドに搭載される集積回路素子の主面と対向しないように、複数の前記集積回路素子搭載パッドが設けられている一方の前記凹部空間の底面の中央部の両側にそれぞれ1つずつ設けられており、
一方の前記凹部空間を形成する前記枠部に於いて、前記一方の凹部空間側の所定の一辺と前記所定の一辺に平行でかつ前記所定の一辺に近い外縁側の所定の他の一辺との距離を枠部の幅としたとき、
前記測定用端子の幅が前記枠部の幅より広く形成されて構成される
ことを特徴とする圧電発振器。
It is composed of a substrate portion and two frame portions, and a concave space is formed on both main surfaces, a plurality of integrated circuit element mounting pads and two pairs of measurement terminals are provided on the bottom surface of one of the concave spaces, An element mounting member in which two pairs of piezoelectric vibration element mounting pads are provided on the bottom surface of the recess space;
A piezoelectric vibration element mounted on the piezoelectric vibration element mounting pad;
A lid member for hermetically sealing the piezoelectric vibration element;
With
The plurality of integrated circuit element mounting pads are provided at the center of the bottom surface of one of the recessed spaces,
The two pairs of piezoelectric vibration element mounting pads and the predetermined two integrated circuit element mounting pads are electrically connected,
The two pairs of measurement terminals are electrically connected to the two pairs of piezoelectric vibration element mounting pads or / and the two predetermined integrated circuit element mounting pads;
The center of the bottom surface of one of the recessed spaces in which the plurality of integrated circuit element mounting pads are provided so that the measurement terminal does not face the main surface of the integrated circuit element mounted on the integrated circuit element mounting pad One on each side of the unit,
In the frame portion forming the one recessed space, a predetermined one side on the one recessed space side and a predetermined other side on the outer edge side that is parallel to the predetermined one side and close to the predetermined one side When the distance is the width of the frame,
A piezoelectric oscillator, wherein a width of the measurement terminal is formed wider than a width of the frame portion.
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