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JP5255046B2 - Current sensor - Google Patents

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Description

本発明は、一般に電流センサに関し、より詳細には、集積回路パッケージ内の小型化された電流センサに関する。   The present invention relates generally to current sensors, and more particularly to miniaturized current sensors in integrated circuit packages.

当技術分野で知られているように、一つのタイプの従来の電流センサは、電流導体の近傍で磁場変換器(例えばホール効果または磁気抵抗変換器)を使用する。磁場変換器は、電流導体を通って流れる電流によって誘導される磁場に比例する大きさを有する出力信号を発生する。   As is known in the art, one type of conventional current sensor uses a magnetic field transducer (eg, Hall effect or magnetoresistive transducer) in the vicinity of the current conductor. The magnetic field transducer generates an output signal having a magnitude proportional to the magnetic field induced by the current flowing through the current conductor.

いくつかの典型的なホール効果電流センサは、ギャップ付トロイド磁束収束器を含み、ホール効果素子がトロイドギャップ内に位置決めされる。ホール効果デバイスおよびトロイドは、ハウジング内に組み立てられ、ハウジングは、印刷回路板に実装可能である。使用時、ワイヤなど個別の電流導体が、トロイドの中心を通される。そのようなデバイスは、高さと回路板面積との両方の点で望ましくなく大きくなる傾向がある。   Some typical Hall effect current sensors include a gapped toroid flux concentrator where the Hall effect element is positioned within the toroid gap. The Hall effect device and toroid are assembled in a housing, which can be mounted on a printed circuit board. In use, individual current conductors such as wires are passed through the center of the toroid. Such devices tend to be undesirably large both in terms of height and circuit board area.

他のホール効果電流センサは、誘電体材料、例えば回路板に実装されたホール効果素子を含む。一つのそのような電流センサは、欧州特許出願第EP0867725号に記載されている。さらに他のホール効果電流センサは、欧州特許出願第EP1111693号に記載されているように、基板、例えばシリコン基板上に実装されたホール効果素子を含む。   Other Hall effect current sensors include a Hall effect element mounted on a dielectric material, such as a circuit board. One such current sensor is described in European patent application EP 0867725. Yet another Hall effect current sensor includes a Hall effect element mounted on a substrate, for example a silicon substrate, as described in European Patent Application No. EP1111693.

様々なパラメータが、感度および線形性を含めた電流センサの性能を特徴付ける。感度は、感知される電流に応答したホール効果変換器からの出力電圧の変化の大きさに関係付けられる。線形性は、感知される電流に正比例してホール効果変換器からの出力電圧が変化する度合いに関係付けられる。   Various parameters characterize current sensor performance, including sensitivity and linearity. Sensitivity is related to the magnitude of the change in output voltage from the Hall effect transducer in response to the sensed current. Linearity is related to the degree to which the output voltage from the Hall effect transducer changes in direct proportion to the sensed current.

電流センサの感度は、様々な因子に関係付けられる。一つの重要な因子は、電流導体の近くで発生され、ホール効果素子によって感知される磁場の磁束収束である。このために、いくつかの電流センサが、磁束収束器を使用する。特に磁束収束器が使用されない電流センサのための別の重要な因子は、ホール効果素子と電流導体との間の物理的な離隔である。   The sensitivity of a current sensor is related to various factors. One important factor is the flux convergence of the magnetic field generated near the current conductor and sensed by the Hall effect element. For this, some current sensors use a flux concentrator. Another important factor, especially for current sensors where a flux concentrator is not used, is the physical separation between the Hall effect element and the current conductor.

欧州特許出願第EP0867725号European Patent Application No. EP 0867725 欧州特許出願第EP1111693号European Patent Application No. EP1111693 米国特許出願公開第2005/0045359号明細書US Patent Application Publication No. 2005/0045359

本発明によれば、集積回路電流センサは、電流導体部を提供するように結合された少なくとも二つのリード線を有するリードフレームと、一つまたは複数の磁場変換器が配設される第1の表面であって、電流導体部の近位にある第1の表面、および電流導体部から遠位にある第2の表面を有する基板とを含む。一つの特定の実施形態では、基板は、電流導体部の上方にある基板の第1の表面と、前記第1の表面の上方にある基板の第2の表面とを有して配設される。この特定の実施形態では、基板は、従来の向きに関して集積回路内
で上下逆に向けられる。
In accordance with the present invention, an integrated circuit current sensor includes a first lead frame having at least two lead wires coupled to provide a current conductor portion and one or more magnetic field transducers. A substrate having a first surface proximal to the current conductor portion and a second surface distal to the current conductor portion. In one particular embodiment, the substrate is disposed having a first surface of the substrate above the current conductor portion and a second surface of the substrate above the first surface. . In this particular embodiment, the substrate is oriented upside down in the integrated circuit with respect to the conventional orientation.

この特定の構成では、電流センサは、電流導体部のごく近傍に位置決めされた一つまたは複数の磁場変換器を設けられ、改良された感度をもたらす。さらに、電流センサは、小さな集積回路パッケージ内に提供される。   In this particular configuration, the current sensor is provided with one or more magnetic field transducers positioned in close proximity to the current conductor portion, resulting in improved sensitivity. In addition, the current sensor is provided in a small integrated circuit package.

本発明の別の態様によれば、集積回路を製造する方法が、複数のリード線を有するリードフレームを提供するステップであって、複数のリード線のうちの少なくとも二つが一緒に結合されて電流導体部を形成するステップと、所定の形状を有する断面を電流導体部に提供するために電流導体部をエッチングするステップとを含む。一つの特定の実施形態では、所定の形状は、T字形である。別の実施形態では、所定の形状は、リードフレームの大部分の厚さよりも小さい最小寸法を有する長方形状である。   According to another aspect of the invention, a method of manufacturing an integrated circuit includes providing a lead frame having a plurality of leads, wherein at least two of the plurality of leads are coupled together to provide a current. Forming a conductor portion and etching the current conductor portion to provide the current conductor portion with a cross-section having a predetermined shape. In one particular embodiment, the predetermined shape is T-shaped. In another embodiment, the predetermined shape is a rectangular shape with a minimum dimension that is less than the thickness of most of the lead frame.

この特定の構成では、電流導体部の表面の上に磁束密度がより多く集中されるように電流導体部が提供される。したがって、電流導体部の近くに実装された磁場変換器が、増加された磁場を受け、改良された感度を有する電流センサをもたらす。   In this particular configuration, the current conductor portion is provided such that more magnetic flux density is concentrated on the surface of the current conductor portion. Thus, a magnetic field transducer mounted near the current conductor portion receives the increased magnetic field and results in a current sensor with improved sensitivity.

本発明の別の態様によれば、集積回路は、複数のリード線を有するリードフレーム部を含み、第1の電流導体部が、複数のリード線のうちの少なくとも二つを備える。また、集積回路は、第1の表面および反対の第2の表面を有する基板を含み、第1の表面が前記第1の電流導体部の近位にあり、第2の表面が前記第1の電流導体部から遠位にある。一つまたは複数の磁場変換器が、前記基板の第1の表面上に配設される。集積回路は、さらに、基板の第1の表面上にデポジットされ、一つまたは複数の磁場変換器の近位に配設され、第1の電流導体部に結合された第2の電流導体部を含む。 According to another aspect of the present invention, the integrated circuit includes a lead frame portion having a plurality of lead wires, and the first current conductor portion includes at least two of the plurality of lead wires. The integrated circuit also includes a substrate having a first surface and an opposite second surface, the first surface being proximal to the first current conductor portion, and the second surface being the first surface. Distant from the current conductor. One or more magnetic field transducers are disposed on the first surface of the substrate. Integrated circuit is further deposited on the first surface of the substrate, disposed proximate to the one or more magnetic field transducers, the second current conductor portion coupled to the first current conductor portion Including.

本発明の別の態様によれば、集積回路は、複数のリード線を有し、複数のリード線のうちの少なくとも二つの結合を備える電流導体部を有するリードフレームを含む。また、集積回路は、第1の表面および反対の第2の表面を有する基板を含む。基板の第1の表面は、電流導体部の近位にあり、基板の第2の表面は、電流導体部から遠位にある。リード線の各一つが、それぞれの長さを有し、リード線の各一つが、リード線の長さ全体にわたって基板の第2の表面よりも基板の第1の表面に近くなるように選択された方向に湾曲部を有する。また、集積回路は、基板とリードフレームの電流導体部との間に配設された絶縁層と、基板の第1の表面上に配設された一つまたは複数の磁場変換器とを含む。   According to another aspect of the present invention, an integrated circuit includes a lead frame having a plurality of lead wires and a current conductor portion having a coupling of at least two of the plurality of lead wires. The integrated circuit also includes a substrate having a first surface and an opposite second surface. The first surface of the substrate is proximal to the current conductor portion and the second surface of the substrate is distal from the current conductor portion. Each one of the lead wires has a respective length and each one of the lead wires is selected to be closer to the first surface of the substrate than the second surface of the substrate over the entire length of the lead wire. It has a curved part in the direction. The integrated circuit also includes an insulating layer disposed between the substrate and the current conductor portion of the lead frame, and one or more magnetic field transducers disposed on the first surface of the substrate.

本発明のさらに別の態様によれば、集積回路は、複数のリード線を有し、複数のリード線のうちの少なくとも二つを備える第1の電流導体部を有するリードフレーム部を含む。また、集積回路は、第1の表面および反対の第2の表面を有する基板を含む。基板の第1の表面は、第1の電流導体部の近位にあり、基板の第2の表面は、第1の電流導体部から遠位にある。また、集積回路は、基板の第1の表面上に配設された一つまたは複数の磁場変換器を含む。集積回路は、さらに、基板の第1の表面の近位にデポジットされ、一つまたは複数の磁場変換器の近位に配設された第2の電流導体部を含む。第2の電流導体部は、第1の電流導体部に結合される。集積回路は、さらに、第2の電流導体部と基板の第1の表面との間に配設された絶縁層を含む。 According to yet another aspect of the invention, an integrated circuit includes a lead frame portion having a first current conductor portion having a plurality of lead wires and comprising at least two of the plurality of lead wires. The integrated circuit also includes a substrate having a first surface and an opposite second surface. The first surface of the substrate is proximal to the first current conductor portion and the second surface of the substrate is distal from the first current conductor portion. The integrated circuit also includes one or more magnetic field transducers disposed on the first surface of the substrate. The integrated circuit further includes a second current conductor portion deposited proximal to the first surface of the substrate and disposed proximal to the one or more magnetic field transducers. The second current conductor portion is coupled to the first current conductor portion. The integrated circuit further includes an insulating layer disposed between the second current conductor portion and the first surface of the substrate.

本発明のさらに別の態様によれば、集積回路は、複数のリード線を有し、複数のリード線のうちの少なくとも二つを備える電流導体部を有するリードフレームを含む。集積回路は、さらに、第1の表面および反対の第2の表面を有する基板を含み、第1の表面が電流導体部の近位にあり、第2の表面が前記電流導体部から遠位にある。集積回路は、さらに、前記基板の第1の表面上に配設された一つまたは複数の磁場変換器と、基板とリードフレームの電流導体部との間に配設された絶縁層とを含む。絶縁層は、セラミック層を備え
る介在絶縁層、リードフレームと関連付けられた、リードフレーム溶射絶縁層、リードフレーム被覆絶縁層、またはリードフレーム酸化物絶縁層の少なくとも一つを備えるリードフレーム絶縁層、あるいは基板と関連付けられた、基板被覆絶縁層または基板酸化物絶縁層の少なくとも一つを備える基板絶縁層のうち少なくとも一つを含む。
According to yet another aspect of the invention, an integrated circuit includes a lead frame having a plurality of lead wires and a current conductor portion comprising at least two of the plurality of lead wires. The integrated circuit further includes a substrate having a first surface and an opposite second surface, wherein the first surface is proximal to the current conductor portion and the second surface is distal from the current conductor portion. is there. The integrated circuit further includes one or more magnetic field transducers disposed on the first surface of the substrate and an insulating layer disposed between the substrate and the current conductor portion of the lead frame. . The insulating layer comprises an intervening insulating layer comprising a ceramic layer, a lead frame insulating layer associated with the lead frame, a lead frame thermal insulating layer, a lead frame covering insulating layer, or a lead frame oxide insulating layer, or At least one of the substrate insulation layers comprising at least one of a substrate covering insulation layer or a substrate oxide insulation layer associated with the substrate is included.

本発明のさらに別の態様によれば、集積回路は、複数のリード線と、複数のリード線のうちの少なくとも二つを備える電流導体部とを有するリードフレーム部を含む。また、集積回路は、第1の表面および反対の第2の表面を有する基板を含む。第1の表面は、電流導体部の近位にあり、第2の表面は、電流導体部から遠位にある。また、集積回路は、電流導体部の近位に配設された一つまたは複数の磁場感知素子を含む。また、集積回路は、基板の第1の表面上に配設され、一つまたは複数の磁場感知素子に結合された電流感知回路を含む。電流感知回路は、電流導体部を通って流れる電流を示す出力信号を提供するように適合される。また、集積回路は、基板の第1の表面上に配設された過電流回路を含む。過電流回路は、電流と関連付けられた電圧降下を感知するように適合され、さらに、電圧降下に応答して出力信号を提供するように適合される。過電流回路からの出力信号は、過電流回路によって感知された電流が所定の電流よりも上であることを示す。   According to still another aspect of the present invention, an integrated circuit includes a lead frame portion having a plurality of lead wires and a current conductor portion including at least two of the plurality of lead wires. The integrated circuit also includes a substrate having a first surface and an opposite second surface. The first surface is proximal to the current conductor portion and the second surface is distal from the current conductor portion. The integrated circuit also includes one or more magnetic field sensing elements disposed proximate the current conductor portion. The integrated circuit also includes a current sensing circuit disposed on the first surface of the substrate and coupled to the one or more magnetic field sensing elements. The current sensing circuit is adapted to provide an output signal indicative of the current flowing through the current conductor. The integrated circuit also includes an overcurrent circuit disposed on the first surface of the substrate. The overcurrent circuit is adapted to sense a voltage drop associated with the current and is further adapted to provide an output signal in response to the voltage drop. The output signal from the overcurrent circuit indicates that the current sensed by the overcurrent circuit is above a predetermined current.

本発明のさらに別の態様によれば、集積回路は、複数のリード線と、複数のリード線のうちの少なくとも二つを備える第1の電流導体部とを有するリードフレームを含む。また、集積回路は、複数のリード線のうちの少なくとも二つの結合を備える分流導体部を含む。集積回路は、さらに、第1の表面および反対の第2の表面を有する基板を含む。基板の第1の表面は、第1の電流導体部の近位にあり、基板の第2の表面は、第1の電流導体部から遠位にある。また、集積回路は、前記基板の第1の表面上に配設された一つまたは複数の磁場変換器を含む。   According to still another aspect of the present invention, an integrated circuit includes a lead frame having a plurality of lead wires and a first current conductor portion including at least two of the plurality of lead wires. The integrated circuit also includes a shunt conductor portion having at least two of the plurality of lead wires. The integrated circuit further includes a substrate having a first surface and an opposite second surface. The first surface of the substrate is proximal to the first current conductor portion and the second surface of the substrate is distal from the first current conductor portion. The integrated circuit also includes one or more magnetic field transducers disposed on the first surface of the substrate.

本発明のさらに別の態様によれば、電流センサは、複数のリード線を有するリードフレームを含む。第1の電流導体部が、複数のリード線のうちの少なくとも二つを含む。また、電流センサは、第1の表面および反対の第2の表面を有する基板を含む。第1の表面は、第1の電流導体部の近位にあり、第2の表面は、第1の電流導体部から遠位にある。また、電流センサは、前記基板の第1の表面に配設された一つまたは複数の磁場変換器と、一つまたは複数の磁場変換器の近位にあり、基板の第1の表面と第1の電流導体部との間に配設された電磁シールドとを含む。電磁シールドは、電磁シールド内で誘導される渦電流を低減するように選択された少なくとも一つの特徴部を有する。   According to yet another aspect of the invention, a current sensor includes a lead frame having a plurality of lead wires. The first current conductor portion includes at least two of the plurality of lead wires. The current sensor also includes a substrate having a first surface and an opposite second surface. The first surface is proximal to the first current conductor portion and the second surface is distal from the first current conductor portion. The current sensor may be one or more magnetic field transducers disposed on the first surface of the substrate and proximal to the one or more magnetic field transducers. And an electromagnetic shield disposed between the one current conductor portion. The electromagnetic shield has at least one feature selected to reduce eddy currents induced in the electromagnetic shield.

本発明のさらに別の態様によれば、電流センサは、複数のリード線を有するリードフレームと、第1の表面および反対の第2の表面を有する基板とを含む。一つまたは複数の磁場変換器が、基板の第1の表面上に被覆される。また、電流センサは、一つまたは複数の磁場変換器の近位に配設された電磁シールドを含む。電磁シールドは、電磁シールド内で誘導される渦電流を低減するように選択された少なくとも一つの特徴部を有する。   In accordance with yet another aspect of the present invention, a current sensor includes a lead frame having a plurality of leads and a substrate having a first surface and an opposite second surface. One or more magnetic field transducers are coated on the first surface of the substrate. The current sensor also includes an electromagnetic shield disposed proximal to the one or more magnetic field transducers. The electromagnetic shield has at least one feature selected to reduce eddy currents induced in the electromagnetic shield.

本発明の前述の特徴、および本発明自体は、以下の図面の詳細な説明からより完全に理解することができる。   The foregoing features of the invention, as well as the invention itself, may be more fully understood from the following detailed description of the drawings.

第1の態様では、集積回路において、複数のリード線を有するリードフレーム部と、前記複数のリード線のうちの少なくとも二つを備える第1の電流導体部と、第1の表面および反対の第2の表面を有する基板であって、前記第1の表面が前記第1の電流導体部の近位にあり、前記第2の表面が前記第1の電流導体部から遠位にある、基板と、前記基板の前記第1の表面上に配設された一つまたは複数の磁場変換器と、前記基板の前記第1の表面にデポジットされた第2の電流導体部であって、前記一つまたは複数の磁場変換器の近位に配設され、前記第1の電流導体部に結合された、第2の電流導体部とを備える。第2の態様
では、前記複数のリード線のうちの前記少なくとも二つが、前記リードフレーム部を通る電流経路を提供する。第3の態様では、前記複数のリード線のうちの前記少なくとも二つが、前記第2の電流導体部を通る電流経路を提供する。第4の態様では、前記基板が、前記第1の電流導体部の上方にある前記基板の前記第1の表面と、前記第1の表面の上方にある前記第2の表面とを有して配設される。第5の態様では、前記第2の電流導体部の少なくとも一部分が、T字形断面を有する。第6の態様では、前記第2の電流導体部の少なくとも一部分が、前記リードフレーム部の厚さよりも小さい最小寸法を有する長方形断面を有する。第7の態様では、前記基板に配設された少なくとも一つの増幅器をさらに備える。
According to a first aspect, in an integrated circuit, a lead frame portion having a plurality of lead wires, a first current conductor portion including at least two of the plurality of lead wires, a first surface, and an opposite first A substrate having two surfaces, wherein the first surface is proximal to the first current conductor portion and the second surface is distal from the first current conductor portion; , and one or more magnetic field transducers disposed on the first surface of the substrate, and a second current conductor portion which is deposited on the first surface of the substrate, the one Or a second current conductor portion disposed proximal to the plurality of magnetic field transducers and coupled to the first current conductor portion. In a second aspect, the at least two of the plurality of lead wires provide a current path through the lead frame portion. In a third aspect, the at least two of the plurality of lead wires provide a current path through the second current conductor portion. In a fourth aspect, the substrate has the first surface of the substrate above the first current conductor portion and the second surface above the first surface. Arranged. In a fifth aspect, at least a portion of the second current conductor portion has a T-shaped cross section. In a sixth aspect, at least a portion of the second current conductor portion has a rectangular cross section having a minimum dimension smaller than the thickness of the lead frame portion. In a seventh aspect, the apparatus further includes at least one amplifier disposed on the substrate.

第8の態様では、集積回路において、複数のリード線を有するリードフレームであって、前記複数のリード線のうちの少なくとも二つを備える電流導体部を有する、リードフレームと、第1の表面および反対の第2の表面を有する基板であって、前記第1の表面が前記電流導体部の近位にあり、前記第2の表面が前記電流導体部から遠位にあり、前記リード線の各一つがそれぞれの長さを有し、前記リード線の各一つが、前記リード線の前記長さ全体にわたって、前記基板の前記第2の表面よりも前記基板の前記第1の表面に近くなるように選択された方向に湾曲部を有する、基板と、前記基板および前記リードフレームの前記電流導体部の間に配設された絶縁層と、前記基板の前記第1の表面上に配設された一つまたは複数の磁場変換器とを備える。第9の態様では、前記絶縁層が、ポリマーテープから構成される。第10の態様では、前記絶縁層が、セラミック層から構成される。第11の態様では、前記絶縁層が、前記電流導体部上に配設された絶縁材料を備える。第12の態様では、前記絶縁材料が、ポリマーテープ、ポリマー、セラミック、または酸化物の少なくとも一つを備える。第13の態様では、前記絶縁層が、前記基板上に配設された絶縁材料を備える。第14の態様では、前記絶縁材料が、ポリマーテープ、ポリマー、セラミック、窒化物、または酸化物の少なくとも一つを備える。第15の態様では、前記電流導体部が、前記複数のリード線のうちの前記少なくとも二つの結合を備える。   In an eighth aspect, in an integrated circuit, the lead frame having a plurality of lead wires, the lead frame having a current conductor portion including at least two of the plurality of lead wires, the first surface, A substrate having an opposite second surface, wherein the first surface is proximal to the current conductor portion, the second surface is distal from the current conductor portion, and each of the lead wires One having a respective length such that each one of the lead wires is closer to the first surface of the substrate than the second surface of the substrate over the entire length of the lead wire. A substrate having a curved portion in a selected direction, an insulating layer disposed between the substrate and the current conductor portion of the lead frame, and disposed on the first surface of the substrate. With one or more magnetic field transducers Provided. In a ninth aspect, the insulating layer is made of a polymer tape. In a tenth aspect, the insulating layer is composed of a ceramic layer. In an eleventh aspect, the insulating layer includes an insulating material disposed on the current conductor portion. In a twelfth aspect, the insulating material comprises at least one of a polymer tape, a polymer, a ceramic, or an oxide. In a thirteenth aspect, the insulating layer includes an insulating material disposed on the substrate. In a fourteenth aspect, the insulating material comprises at least one of a polymer tape, a polymer, a ceramic, a nitride, or an oxide. In a fifteenth aspect, the current conductor portion includes the at least two couplings of the plurality of lead wires.

第16の態様では、集積回路において、複数のリード線を有するリードフレーム部であって、前記複数のリード線のうちの少なくとも二つを備える第1の電流導体部を有する、リードフレーム部と、第1の表面および反対の第2の表面を有する基板であって、前記第1の表面が前記第1の電流導体部の近位にあり、前記第2の表面が前記第1の電流導体部から遠位にある、基板と、前記基板の前記第1の表面上に配設された一つまたは複数の磁場変換器と、前記基板の前記第1の表面の近位にデポジットされた第2の電流導体部であって、前記一つまたは複数の磁場変換器の近位に配設され、前記第1の電流導体部に結合された、第2の電流導体部と、前記第2の電流導体部および前記基板の前記第1の表面の間に配設された絶縁層とを備える。第17の態様では、前記絶縁層が、ポリマーテープから構成される。第18の態様では、前記絶縁層が、セラミック層から構成される。第19の態様では、前記絶縁層が、前記リードフレーム上に配設された絶縁材料を備える。第20の態様では、前記絶縁材料が、ポリマーテープ、ポリマー、セラミック、または酸化物の少なくとも一つを備える。第21の態様では、前記絶縁層が、前記基板の前記第1の表面上に配設された絶縁材料を備える。第22の態様では、前記絶縁材料が、ポリマーテープ、ポリマー、セラミック、窒化物、または酸化物の少なくとも一つを備える。第23の態様では、前記絶縁層の材料が、ポリマー、セラミック、窒化物、または酸化物の少なくとも一つを備える。 In a sixteenth aspect, in an integrated circuit, a lead frame portion having a plurality of lead wires, the lead frame portion having a first current conductor portion including at least two of the plurality of lead wires; A substrate having a first surface and an opposite second surface, wherein the first surface is proximal to the first current conductor portion, and the second surface is the first current conductor portion. distal from the substrate and the one or more magnetic field transducers disposed on the first surface of the substrate, second, which is deposited proximal to the first surface of the substrate A second current conductor portion disposed proximal to the one or more magnetic field transducers and coupled to the first current conductor portion; and the second current conductor portion An insulating layer disposed between the conductor portion and the first surface of the substrate. . In the seventeenth aspect, the insulating layer is composed of a polymer tape. In an eighteenth aspect, the insulating layer is composed of a ceramic layer. In a nineteenth aspect, the insulating layer includes an insulating material disposed on the lead frame. In a twentieth aspect, the insulating material comprises at least one of a polymer tape, a polymer, a ceramic, or an oxide. In a twenty-first aspect, the insulating layer comprises an insulating material disposed on the first surface of the substrate. In a twenty-second aspect, the insulating material comprises at least one of a polymer tape, a polymer, a ceramic, a nitride, or an oxide. In a twenty-third aspect, the material of the insulating layer comprises at least one of a polymer, a ceramic, a nitride, or an oxide.

第24の態様では、集積回路において、複数のリード線を有するリードフレームであって、前記複数のリード線のうちの少なくとも二つを備える電流導体部を有する、リードフレームと、第1の表面および反対の第2の表面を有する基板であって、前記第1の表面が前記電流導体部の近位にあり、前記第2の表面が前記電流導体部から遠位にある、基板と、前記基板の前記第1の表面上に配設された一つまたは複数の磁場変換器と、前記基板お
よび前記リードフレームの前記電流導体部の間に配設された絶縁層とを備えており、前記絶縁層は、セラミック層を備える介在絶縁層、あるいは前記リードフレームと関連付けられたリードフレーム絶縁層であって、リードフレーム溶射絶縁層、リードフレーム被覆絶縁層、またはリードフレーム酸化物絶縁層の少なくとも一つを備える、リードフレーム絶縁層、あるいは前記基板と関連付けられた基板絶縁層であって、基板被覆絶縁層または基板酸化物絶縁層の少なくとも一つを備える、基板絶縁層、の少なくとも一つを備える。第25の態様では、前記基板の前記第1の表面の近位にデポジットされた第2の電流導体部であって、前記一つまたは複数の磁場変換器の近位に配設され、前記電流導体部に結合された、第2の電流導体部をさらに備える。
In a twenty-fourth aspect, in an integrated circuit, a lead frame having a plurality of lead wires, the lead frame having a current conductor portion including at least two of the plurality of lead wires, a first surface, A substrate having an opposite second surface, wherein the first surface is proximal to the current conductor portion and the second surface is distal from the current conductor portion; and the substrate One or a plurality of magnetic field transducers disposed on the first surface, and an insulating layer disposed between the substrate and the current conductor portion of the lead frame. The layer is an intervening insulating layer comprising a ceramic layer, or a lead frame insulating layer associated with the lead frame, wherein the lead frame sprayed insulating layer, the lead frame covering insulating layer, A lead frame insulating layer, or a substrate insulating layer associated with the substrate, comprising at least one of a substrate covering insulating layer or a substrate oxide insulating layer, At least one of the following. In a twenty-fifth aspect, a second current conductor portion deposited proximal to the first surface of the substrate, disposed proximal to the one or more magnetic field transducers, A second current conductor portion coupled to the conductor portion is further included.

第26の態様では、集積回路において、複数のリード線を有するリードフレーム部と、前記複数のリード線のうちの少なくとも二つを備える電流導体部と、第1の表面および反対の第2の表面を有する基板であって、前記第1の表面が前記電流導体部の近位にあり、前記第2の表面が前記電流導体部から遠位にある、基板と、前記電流導体部の近位に配設された一つまたは複数の磁場感知素子と、前記基板の前記第1の表面上に配設され、かつ前記一つまたは複数の磁場感知素子に結合された電流感知回路であって、前記電流感知回路は、前記電流導体部を通って流れる電流を示す出力信号を提供するように適合される、電流感知回路と、前記基板の前記第1の表面上に配設された過電流回路であって、前記過電流回路は、電流と関連付けられた電圧降下を感知するように適合され、さらに、前記電圧降下に応答して出力信号を提供するように適合され、前記出力信号は、前記過電流回路によって感知された電流が所定の電流よりも上であることを示す、過電流回路とを備える。第27の態様では、前記基板の前記第1の表面が、前記過電流回路に結合された少なくとも二つの導電領域を含み、前記電流導体部が、前記少なくとも二つの導電領域に接触するように適合された少なくとも二つの特徴部を含む。第28の態様では、前記基板の前記第1の表面が、前記過電流回路に結合された少なくとも二つの導電領域を含み、前記。がさらに、前記少なくとも二つの導電領域と前記電流導体部との間に結合された少なくとも二つのワイヤ結合部を備える。第29の態様では、前記電流導体部の近位に配設された第2の基板をさらに備え、前記一つまたは複数の磁場感知素子が、前記第2の基板上に配設される。第30の態様では、前記過電流回路が、前記電流導体部に結合され、前記電圧降下が、前記電流導体部を通って流れる前記電流と関連付けられ、前記出力信号が、前記電流導体部を通って流れる電流が所定の電流よりも上であることを示す。第31の態様では、前記過電流回路によって発生される前記出力信号が、第1および第2の状態を有するデジタル出力信号であり、前記第1および第2の状態の一方が、電流が前記所定の電流よりも上であることを示し、前記第1および第2の状態の他方が、電流が前記所定の電流よりも下であることを示す。第32の態様では、前記電流導体部が、第1の電流導体部であり、前記集積回路が、さらに、前記基板の前記第1の表面上にデポジットされた第2の電流導体部であって、前記一つまたは複数の磁場変換器の近位に配設され、前記第1の電流導体部に結合された、第2の電流導体部を備え、前記第1の電流導体部を通って流れる電流の少なくとも一部が、前記第2の電流導体部も通って流れる。第33の態様では、前記複数のリード線が回路板の最上面に普通に実装されるときに、前記基板が、前記電流導体部の上方にある前記基板の前記第1の表面と、前記基板の前記第1の表面の上方にある前記基板の前記第2の表面とを有して配設される。 In a twenty-sixth aspect, in an integrated circuit, a lead frame portion having a plurality of lead wires, a current conductor portion including at least two of the plurality of lead wires, a first surface and an opposite second surface A substrate having the first surface proximal to the current conductor portion and the second surface distal to the current conductor portion; and proximal to the current conductor portion One or more magnetic field sensing elements disposed; and a current sensing circuit disposed on the first surface of the substrate and coupled to the one or more magnetic field sensing elements, A current sensing circuit is a current sensing circuit adapted to provide an output signal indicative of current flowing through the current conductor portion and an overcurrent circuit disposed on the first surface of the substrate. And the overcurrent circuit is associated with a current. Adapted to sense a voltage drop, and further adapted to provide an output signal in response to the voltage drop, wherein the output signal has a current sensed by the overcurrent circuit greater than a predetermined current. And an overcurrent circuit that indicates the above. In a twenty-seventh aspect, the first surface of the substrate includes at least two conductive regions coupled to the overcurrent circuit, and the current conductor portion is adapted to contact the at least two conductive regions. At least two features. In a twenty-eighth aspect, the first surface of the substrate includes at least two conductive regions coupled to the overcurrent circuit. Further comprises at least two wire coupling portions coupled between the at least two conductive regions and the current conductor portion. In a twenty-ninth aspect, the apparatus further comprises a second substrate disposed in proximity to the current conductor portion, and the one or more magnetic field sensing elements are disposed on the second substrate. In a thirtieth aspect, the overcurrent circuit is coupled to the current conductor portion, the voltage drop is associated with the current flowing through the current conductor portion, and the output signal passes through the current conductor portion. It indicates that the current flowing through is higher than a predetermined current. In a thirty-first aspect, the output signal generated by the overcurrent circuit is a digital output signal having first and second states, and one of the first and second states is that the current is the predetermined value. The other of the first and second states indicates that the current is lower than the predetermined current. In the thirty-second aspect, the current conductor portion is a first current conductor portion, wherein the integrated circuit further provides a second current conductor portion which is deposited on the first surface of the substrate A second current conductor portion disposed proximate to the one or more magnetic field transducers and coupled to the first current conductor portion and flowing through the first current conductor portion At least part of the current also flows through the second current conductor. In a thirty-third aspect, when the plurality of lead wires are normally mounted on an uppermost surface of a circuit board, the substrate includes the first surface of the substrate above the current conductor portion, and the substrate. And the second surface of the substrate overlying the first surface of the substrate.

第34の態様では、電流センサにおいて、複数のリード線を有するリードフレームと、前記複数のリード線のうちの少なくとも二つを備える第1の電流導体部と、前記複数のリード線のうちの前記少なくとも二つの結合を備える分流導体部と、第1の表面および反対の第2の表面を有する基板であって、前記第1の表面が前記第1の電流導体部の近位にあり、前記第2の表面が前記第1の電流導体部から遠位にある、基板と、前記基板の前記第1の表面上に配設された一つまたは複数の磁場変換器とを備える。第35の態様では、前記第1の電流導体部および前記分流導体部が、それぞれ電流の一部を通すように適合され
、前記分流導体部が、ある選択された抵抗を提供するように選択された寸法および形状を有し、前記抵抗が、前記電流の選択された一部を通すように選択される。第36の態様では、前記リード線の各一つが、前記リード線の長さ全体にわたって、前記基板の前記第2の表面よりも前記基板の前記第1の表面に近くなるように選択された方向に湾曲部を有する。第37の態様では、前記第1の電流導体部が、前記複数のリード線のうちの前記少なくとも二つの別の結合を備え、前記一つまたは複数の磁場変換器が、前記第1の電流導体部の近位に配設される。第38の態様では、前記基板の前記第1の表面上にデポジットされた第2の電流導体部であって、前記一つまたは複数の磁場変換器の近位に配設され、前記第1の電流導体部に結合された、第2の電流導体部をさらに備える。第39の態様では、前記基板の前記第1の表面および前記第1の電流導体部の間に配設された絶縁層をさらに備える。第40の態様では、前記分流導体部および前記一つまたは複数の磁場変換器の間に全体として配設される磁束シールドをさらに備える。第41の態様では、前記分流導体部上に配設された磁束収束器をさらに備える。第42の態様では、前記第1の電流導体部の少なくとも一部分が、T字形断面を有する。第43の態様では、前記第1の電流導体部の少なくとも一部分が、前記リードフレームの厚さよりも小さい最小寸法を有する長方形の断面積を有する。第44の態様では、前記基板上に配設された少なくとも一つの増幅器をさらに備える。
In a thirty-fourth aspect, in a current sensor, a lead frame having a plurality of lead wires, a first current conductor portion including at least two of the plurality of lead wires, and the one of the plurality of lead wires. A substrate having a shunt conductor portion comprising at least two couplings, a first surface and an opposite second surface, wherein the first surface is proximate to the first current conductor portion; A substrate having a surface that is distal from the first current conductor and one or more magnetic field transducers disposed on the first surface of the substrate. In a thirty-fifth aspect, the first current conductor portion and the shunt conductor portion are each adapted to pass a portion of current, and the shunt conductor portion is selected to provide a selected resistance. And the resistance is selected to pass a selected portion of the current. In a thirty-sixth aspect, each one of the lead wires is selected to be closer to the first surface of the substrate than the second surface of the substrate over the length of the lead wire. Have a curved portion. In a thirty-seventh aspect, the first current conductor portion includes the at least two other couplings of the plurality of lead wires, and the one or more magnetic field transducers include the first current conductor. Disposed proximally of the section. In a 38 aspect a second current conductor portion which is deposited on the first surface of the substrate, is disposed proximal to the one or more magnetic field transducers, the first The apparatus further includes a second current conductor portion coupled to the current conductor portion. In a thirty-ninth aspect, the semiconductor device further includes an insulating layer disposed between the first surface of the substrate and the first current conductor portion. In the fortieth aspect, a magnetic flux shield is further provided as a whole between the shunt conductor portion and the one or more magnetic field transducers. In a forty-first aspect, the magnetic flux concentrator disposed on the shunt conductor portion is further provided. In a forty-second aspect, at least a portion of the first current conductor portion has a T-shaped cross section. In a forty-third aspect, at least a part of the first current conductor portion has a rectangular cross-sectional area having a minimum dimension smaller than the thickness of the lead frame. In a forty-fourth aspect, the apparatus further comprises at least one amplifier disposed on the substrate.

第45の態様では、電流センサにおいて、複数のリード線を有するリードフレームと、前記複数のリード線のうちの少なくとも二つを備える第1の電流導体部と、第1の表面および反対の第2の表面を有する基板であって、前記第1の表面が前記第1の電流導体部の近位にあり、前記第2の表面が前記第1の電流導体部から遠位にある、基板と、前記基板の前記第1の表面上に配設された一つまたは複数の磁場変換器と、前記一つまたは複数の磁場変換器の近位で、かつ前記基板の前記第1の表面および前記第1の電流導体部の間に配設された電磁シールドであって、前記電磁シールド内で誘導される渦電流を低減するように選択された少なくとも一つの特徴部を有する、電磁シールドとを備える。第46の態様では、前記電磁シールドが、実質的に平坦であり、前記電磁シールド内の閉ループ電流経路の経路長を減少するように選択された形状を有する。第47の態様では、前記電磁シールドが、スロットを備える。第48の態様では、前記電磁シールドが、中央部材と、前記中央部材に結合された複数の非重畳部材とを備える。第49の態様では、前記電磁シールドが、複数の交互嵌合部材を備える。第50の態様では、前記一つまたは複数の磁場変換器に対する前記少なくとも一つの特徴部の位置が、前記一つまたは複数の磁場変換器に対する前記渦電流の影響を低減するように選択される。第51の態様では、前記リード線の各一つが、前記リード線の長さ全体にわたって、前記基板の前記第2の表面よりも前記基板の前記第1の表面に近くなるように選択された方向に湾曲部を有する。第52の態様では、前記第1の電流導体部が、前記複数のリード線のうちの前記少なくとも二つの結合を備え、前記一つまたは複数の磁場変換器が、前記第1の電流導体部の近位に配設される。第53の態様では、前記基板の前記第1の表面上にデポジットされた第2の電流導体部であって、前記一つまたは複数の磁場変換器の近位に配設され、前記第1の電流導体部に結合された、第2の電流導体部をさらに備える。第54の態様では、前記基板の前記第1の表面および前記第1の電流導体部の間に配設された絶縁層をさらに備える。第55の態様では、前記第1の電流導体部の少なくとも一部分が、T字形断面を有する。第56の態様では、前記第1の電流導体部の少なくとも一部分が、前記リードフレームの厚さよりも小さい最小寸法を有する長方形断面を有する。第57の態様では、前記基板上に配設された少なくとも一つの増幅器をさらに備える。第58の態様では、前記複数のリード線のうちの前記少なくとも二つの結合を備える分流導体部をさらに備える。第59の態様では、前記第1の電流導体部および前記分流導体部が、それぞれ電流の一部を通すように適合され、前記分流導体部が、ある選択された抵抗を提供するように選択された寸法および形状を有し、前記抵抗が、前記電流の選択された一部を通すように選択される。 In a forty-fifth aspect, in a current sensor, a lead frame having a plurality of lead wires, a first current conductor portion including at least two of the plurality of lead wires, a first surface, and an opposite second A substrate having a plurality of surfaces, wherein the first surface is proximal to the first current conductor portion and the second surface is distal from the first current conductor portion; One or more magnetic field transducers disposed on the first surface of the substrate; proximal to the one or more magnetic field transducers; and the first surface of the substrate and the first An electromagnetic shield disposed between one current conductor portion, the electromagnetic shield having at least one feature selected to reduce eddy currents induced in the electromagnetic shield. In a forty-sixth aspect, the electromagnetic shield is substantially flat and has a shape selected to reduce the path length of a closed loop current path in the electromagnetic shield. In a 47th aspect, the electromagnetic shield includes a slot. In a forty-eighth aspect, the electromagnetic shield includes a central member and a plurality of non-overlapping members coupled to the central member. In a forty-ninth aspect, the electromagnetic shield includes a plurality of alternating fitting members. In a fifty aspect, the position of the at least one feature relative to the one or more magnetic field transducers is selected to reduce the effect of the eddy currents on the one or more magnetic field transducers. In a fifty-first aspect, each one of the lead wires is selected to be closer to the first surface of the substrate than the second surface of the substrate over the entire length of the lead wire. Have a curved portion. In a fifty-second aspect, the first current conductor portion includes the at least two couplings of the plurality of lead wires, and the one or more magnetic field transducers are provided on the first current conductor portion. Proximally disposed. In a 53 aspect a second current conductor portion which is deposited on the first surface of the substrate, is disposed proximal to the one or more magnetic field transducers, the first The apparatus further includes a second current conductor portion coupled to the current conductor portion. In a fifty-fourth aspect, the semiconductor device further includes an insulating layer disposed between the first surface of the substrate and the first current conductor portion. In a fifty-fifth aspect, at least a portion of the first current conductor portion has a T-shaped cross section. In a fifty-sixth aspect, at least a part of the first current conductor portion has a rectangular cross section having a minimum dimension smaller than the thickness of the lead frame. The fifty-seventh aspect further comprises at least one amplifier disposed on the substrate. In a 58th aspect, a shunt conductor portion comprising the at least two couplings of the plurality of lead wires is further provided. In a 59th aspect, the first current conductor portion and the shunt conductor portion are each adapted to pass a portion of a current, and the shunt conductor portion is selected to provide a selected resistance. And the resistance is selected to pass a selected portion of the current.

第60の態様では、電流センサにおいて、複数のリード線を有するリードフレームと、第1の表面および反対の第2の表面を有する基板と、前記基板の前記第1の表面上に配設された一つまたは複数の磁場変換器と、前記一つまたは複数の磁場変換器の近位に配設された電磁シールドであって、前記電磁シールド内で誘導される渦電流を低減するように選択される少なくとも一つの特徴部を有する、電磁シールドとを備える。第61の態様では、前記電磁シールドが、実質的に平坦であり、前記電磁シールド内の閉ループ電流経路の経路長を減少するように選択された形状を有する。第62の態様では、前記電磁シールドが、スロットを備える。第63の態様では、前記電磁シールドが、中央部材と、前記中央部材に結合された複数の非重畳部材とを備える。第64の態様では、前記電磁シールドが、複数の交互嵌合部材を備える。第65の態様では、前記一つまたは複数の磁場変換器に対する前記少なくとも一つの特徴部の位置が、前記一つまたは複数の磁場変換器に対する前記渦電流の影響を低減するように選択される。   According to a sixtyth aspect, in the current sensor, a lead frame having a plurality of lead wires, a substrate having a first surface and an opposite second surface, and the first surface of the substrate are disposed on the first surface. One or more magnetic field transducers and an electromagnetic shield disposed proximate to the one or more magnetic field transducers, selected to reduce eddy currents induced in the electromagnetic shields An electromagnetic shield having at least one feature. In a sixty-first aspect, the electromagnetic shield is substantially flat and has a shape selected to reduce the path length of a closed loop current path in the electromagnetic shield. In a sixty-second aspect, the electromagnetic shield includes a slot. In a 63rd aspect, the electromagnetic shield includes a central member and a plurality of non-overlapping members coupled to the central member. In a sixty-fourth aspect, the electromagnetic shield includes a plurality of alternating fitting members. In a 65th aspect, the position of the at least one feature relative to the one or more magnetic field transducers is selected to reduce the effect of the eddy current on the one or more magnetic field transducers.

本発明による電流センサの等角図である。1 is an isometric view of a current sensor according to the present invention. FIG. 図1の電流センサのホール効果素子にわたる位置と磁場との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the position over the Hall effect element of the current sensor of FIG. 1, and a magnetic field. 本発明による電流センサの別の実施形態の等角図である。FIG. 6 is an isometric view of another embodiment of a current sensor according to the present invention. 図3の電流センサの回路形成部の概略図である。It is the schematic of the circuit formation part of the current sensor of FIG. 本発明による電流センサのさらに別の実施形態の等角図である。FIG. 6 is an isometric view of yet another embodiment of a current sensor according to the present invention. 本発明による電流センサのさらに別の実施形態の等角図である。FIG. 6 is an isometric view of yet another embodiment of a current sensor according to the present invention. 本発明による電流センサのさらに別の実施形態の等角図である。FIG. 6 is an isometric view of yet another embodiment of a current sensor according to the present invention. 本発明による電流センサのさらに別の実施形態の等角図である。FIG. 6 is an isometric view of yet another embodiment of a current sensor according to the present invention. 絶縁層および電磁シールドを含むように修正されて図示された、図7の電流センサのさらなる等角図である。FIG. 8 is a further isometric view of the current sensor of FIG. 7 modified to include an insulating layer and an electromagnetic shield. 本発明のさらなる態様による、より薄い電流導体部を有する代替リードフレームの等角図である。FIG. 6 is an isometric view of an alternative lead frame having a thinner current conductor portion, according to a further aspect of the present invention. 図9の電流導体部の代替実施形態の断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view of an alternative embodiment of the current conductor portion of FIG. 9. 本発明による電流センサのさらに別の実施形態の等角図である。FIG. 6 is an isometric view of yet another embodiment of a current sensor according to the present invention. 図10の電流センサの代替構成の等角図である。FIG. 11 is an isometric view of an alternative configuration of the current sensor of FIG. 図10の電流センサの別の代替構成の等角図である。FIG. 11 is an isometric view of another alternative configuration of the current sensor of FIG. 図10の電流センサの別の代替構成の等角図である。FIG. 11 is an isometric view of another alternative configuration of the current sensor of FIG. 図13の電流センサの断面図である。It is sectional drawing of the current sensor of FIG. 図7および図8の電流センサの代替構成の等角図である。9 is an isometric view of an alternative configuration of the current sensor of FIGS. 7 and 8. FIG. 図14の電流センサの断面図である。It is sectional drawing of the current sensor of FIG. 電流感知回路および過電流回路を含む、図13、図13A、図14、および図14Aの電流センサで使用することができる例示的な回路の概略図である。FIG. 14B is a schematic diagram of an exemplary circuit that can be used with the current sensor of FIGS. 13, 13A, 14 and 14A, including a current sensing circuit and an overcurrent circuit. 図7および図8の電流センサの別の代替構成の分解等角図である。9 is an exploded isometric view of another alternative configuration of the current sensor of FIGS. 7 and 8. FIG. 図10の電流センサの別の代替構成の等角図である。FIG. 11 is an isometric view of another alternative configuration of the current sensor of FIG. 図7および8の電流センサの別の代替構成の分解等角図である。9 is an exploded isometric view of another alternative configuration of the current sensor of FIGS. 7 and 8. FIG. 電流センサの一部を形成することができる電磁シールドの上面図である。It is a top view of the electromagnetic shield which can form a part of current sensor. 電流センサの一部を形成することができる別の電磁シールドの上面図である。FIG. 6 is a top view of another electromagnetic shield that can form part of a current sensor. 電流センサの一部を形成することができるさらに別の電磁シールドの上面図である。FIG. 6 is a top view of yet another electromagnetic shield that can form part of a current sensor. 電流センサの一部を形成することができるさらに別の電磁シールドの上面図である。FIG. 6 is a top view of yet another electromagnetic shield that can form part of a current sensor. 図19〜図22の電磁シールドの一つを有する例示的な電流センサの積層構造を示す断面図である。FIG. 23 is a cross-sectional view illustrating a stacked structure of an exemplary current sensor having one of the electromagnetic shields of FIGS. 19 to 22.

図1を参照すると、本発明による例示的な電流センサ10は、複数のリード線12a〜12hを有するリードフレーム12を含む。リード線12aおよび12bは、リード線12cおよび12dに結合されて、電流経路、または幅w1を有する狭い部分14を有する電流導体を形成する。また、電流センサ10は、第1の表面16aと反対の第2の表面16bとを有する基板16を含む。基板16は、磁場変換器18を有し、この磁場変換器18は、いくつかの実施形態では、第1の表面16a内に拡散された、あるいは第1の表面16a上に配設されたホール効果素子18であってよい。基板16は、半導体材料、例えばシリコンから構成することができ、または代替実施形態では、基板16は、絶縁材料から構成することができる。 Referring to FIG. 1, an exemplary current sensor 10 according to the present invention includes a lead frame 12 having a plurality of lead wires 12a-12h. Lead wires 12a and 12b are coupled to lead wires 12c and 12d to form a current path or current conductor having a narrow portion 14 having a width w1. The current sensor 10 also includes a substrate 16 having a first surface 16a and a second surface 16b opposite to the first surface 16a. The substrate 16 includes a magnetic field transducer 18, which in some embodiments is diffused into the first surface 16a or disposed on the first surface 16a. It may be an effect element 18. The substrate 16 can be composed of a semiconductor material, such as silicon, or in alternative embodiments, the substrate 16 can be composed of an insulating material.

基板16は、第1の表面16aが電流導体部14の近位にあり、第2の表面16bが電流導体部14から遠位にあるように、より具体的には、ホール効果素子18が電流導体部14の近傍にあるように、リードフレーム12の上に配設される。例示される実施形態では、基板16は、基板が集積回路パッケージ内に実装される従来の方向に関して上下逆の(すなわち、第1の表面16aが下に向けられる)向きを有する。   More specifically, the substrate 16 is such that the Hall effect element 18 is current sensitive so that the first surface 16a is proximal to the current conductor portion 14 and the second surface 16b is distal to the current conductor portion 14. It is disposed on the lead frame 12 so as to be in the vicinity of the conductor portion 14. In the illustrated embodiment, the substrate 16 has an upside down orientation (ie, the first surface 16a is directed downward) with respect to the conventional direction in which the substrate is mounted in an integrated circuit package.

基板16は、第1の表面16a上に結合パッド20a〜20cを有し、そこに結合ワイヤ22a〜22cが結合される。結合ワイヤは、さらに、リードフレーム12のリード線12e、12f、12hに結合される。   The substrate 16 has bond pads 20a-20c on the first surface 16a, to which bond wires 22a-22c are bonded. The coupling wires are further coupled to the lead wires 12e, 12f, and 12h of the lead frame 12.

絶縁体24が、基板16をリードフレーム12から離隔する。絶縁体24は、様々な形で提供することができる。例えば、一実施形態では、絶縁体24の第1の部分が、基板16の第1の表面16a上に直接的に被覆(堆積、蒸着、デポジット)されたBCB樹脂材料の厚さ4μmの層を含む。絶縁体24の第2の部分は、リードフレーム12上に被覆されたアンダーフィル材料、例えばStaychip(商標)NUF−2071E(CooksonElectronics Equipment,New Jersey)の層を含むことがある。そのような構成は、基板16とリードフレーム12との間に1000ボルトよりも大きい絶縁を提供する。   An insulator 24 separates the substrate 16 from the lead frame 12. The insulator 24 can be provided in various forms. For example, in one embodiment, the first portion of the insulator 24 comprises a 4 μm thick layer of BCB resin material that is coated (deposited, evaporated, deposited) directly on the first surface 16 a of the substrate 16. Including. The second portion of the insulator 24 may include a layer of underfill material coated on the lead frame 12, such as Staychip ™ NUF-2071E (Cookson Electronics Equipment, New Jersey). Such a configuration provides insulation greater than 1000 volts between the substrate 16 and the lead frame 12.

電流導体部14は、電流が流れる経路全体の一部分にすぎないことを理解されたい。例えば、矢印26によって示される方向を有する電流は、ここでは並列に電気的に結合されて図示されているリード線12c、12d内に流れ、電流導体部14を通って、やはりここでは並列に電気的に結合されているリード線12a、12bから出る。   It should be understood that the current conductor portion 14 is only a portion of the entire path through which current flows. For example, the current having the direction indicated by arrow 26 is electrically coupled in parallel here and flows in the illustrated leads 12c, 12d, through the current conductor 14 and again in parallel here. The lead wires 12a and 12b which are connected to each other.

この構成では、ホール効果素子18は、電流導体部14の近傍に、導体部14に関して所定の位置に配設され、それにより、矢印26によって示される方向で電流導体部14を通過する電流によって発生される磁場は、ホール効果素子18の最大応答軸に実質的に整列された方向となる。ホール効果素子18は、磁場に比例する、したがって電流導体部14を通って流れる電流に比例する電圧出力を発生する。例示されるホール効果素子18は、z軸34に実質的に整列された最大応答軸を有する。電流に応答して発生される磁場は、電流導体部14の周りで円形であるので、図示されるように、ホール効果素子18は、電流導体部14のすぐ横に(すなわちy軸32に沿ってわずかにオフセットされて)配設され、ここで磁場は、実質的にz軸34に沿って向けられる。この位置は、ホール効果素子18からのより大きな電圧出力、したがって改良された感度をもたらす。しかし、別の方向に整列された最大応答軸を有するホール効果素子、または別のタイプの磁場センサ、例えば磁気抵抗素子を、電流導体部14に関して別の位置に、例えば(z軸34に沿った方向で)電流導体部14の上に配設することもできる。   In this configuration, the Hall effect element 18 is disposed in a predetermined position with respect to the conductor portion 14 in the vicinity of the current conductor portion 14, thereby generating a current passing through the current conductor portion 14 in the direction indicated by the arrow 26. The applied magnetic field is in a direction substantially aligned with the maximum response axis of the Hall effect element 18. Hall effect element 18 generates a voltage output that is proportional to the magnetic field and thus proportional to the current flowing through current conductor portion 14. The illustrated Hall effect element 18 has a maximum response axis that is substantially aligned with the z-axis 34. Since the magnetic field generated in response to the current is circular around the current conductor portion 14, as shown, the Hall effect element 18 is immediately beside the current conductor portion 14 (ie, along the y-axis 32). Slightly offset), where the magnetic field is directed substantially along the z-axis 34. This position results in a greater voltage output from the Hall effect element 18 and thus improved sensitivity. However, a Hall effect element having a maximum response axis aligned in another direction, or another type of magnetic field sensor, such as a magnetoresistive element, may be in a different position with respect to the current conductor portion 14, for example (along the z-axis 34). It can also be arranged on the current conductor part 14 (in the direction).

一つのホール効果素子18が基板16の第1の表面16a上に図示されているが、図3
および図5の実施形態に示されるように、複数のホール効果素子を使用することもできることを理解されたい。また、さらなる回路、例えば増幅器を、基板16の第1および/または第2の表面16a、16b内に拡散する、あるいは表面16a、16b上に配設する、または表面16a、16bによって支持することもできる。このタイプの例示的な回路は、図4に示されている。
One Hall effect element 18 is shown on the first surface 16a of the substrate 16, but FIG.
It should be understood that multiple Hall effect elements can also be used, as shown in the embodiment of FIG. Further circuits, such as amplifiers, can also diffuse into, or be disposed on, or supported by the first and / or second surfaces 16a, 16b of the substrate 16. it can. An exemplary circuit of this type is shown in FIG.

図1の実施形態では、ホール効果素子18と電流導体14との近接は、電流導体部14に対して第2の表面よりも近くに位置決めされる第1の基板表面16a上にホール効果素子18を提供することによって実現される。他の実施形態では、この有利な近接は、図7および図8に示されるように、第2の基板表面16b上にホール効果素子18を提供し、第2の表面16bに実質的に整列するように電流導体部14を形成することによって実現される。   In the embodiment of FIG. 1, the proximity of the Hall effect element 18 and the current conductor 14 is such that the Hall effect element 18 is on the first substrate surface 16 a positioned closer to the current conductor portion 14 than the second surface. It is realized by providing. In other embodiments, this advantageous proximity provides a Hall effect element 18 on the second substrate surface 16b and is substantially aligned with the second surface 16b, as shown in FIGS. In this way, the current conductor portion 14 is formed.

次に図2を参照すると、グラフ50が、10A程度の電流導体部14を通る電流に関して、ホール効果素子18(図1)の平面内のx軸30(図1)およびy軸32(図1)に沿った、ホール素子18にわたるz軸34(図1)の方向での磁束密度を例示する。ホール効果素子18の中心(図示せず)が、横座標52上で300ミクロンに相当する。小数部分54は、磁束に相当する。   Referring now to FIG. 2, a graph 50 relates to an x-axis 30 (FIG. 1) and y-axis 32 (FIG. 1) in the plane of the Hall effect element 18 (FIG. 1) for current through the current conductor portion 14 of about 10A. ) Along the Hall element 18 in the direction of the z-axis 34 (FIG. 1). The center (not shown) of the Hall effect element 18 corresponds to 300 microns on the abscissa 52. The decimal part 54 corresponds to a magnetic flux.

磁束曲線56は、x軸30に沿った位置に対するz軸34での磁束の変化に相当する。磁束曲線58は、y軸32に沿った位置に対するz軸34での磁束の変化に相当する。
磁束曲線56、58は、300μmに中心があるホール素子の近くで実質的に平らであるものと特徴付けることができる。したがって、z軸34の方向での磁場に敏感なホール効果素子18の出力は、x軸30およびy軸32に沿ったホール効果素子18の位置には比較的鈍感である。
The magnetic flux curve 56 corresponds to a change in magnetic flux on the z-axis 34 with respect to a position along the x-axis 30. The magnetic flux curve 58 corresponds to the change in magnetic flux on the z axis 34 relative to the position along the y axis 32.
The magnetic flux curves 56, 58 can be characterized as being substantially flat near the Hall element centered at 300 μm. Therefore, the output of the Hall effect element 18 sensitive to the magnetic field in the direction of the z axis 34 is relatively insensitive to the position of the Hall effect element 18 along the x axis 30 and the y axis 32.

例示のホール効果素子18は、200ミクロン程度のx軸30およびy軸32に沿った寸法を有し、したがってホール効果素子18は、横座標52上で200ミクロン〜400ミクロンの間の領域内にある。x軸30またはy軸32に沿ったホール効果素子18の位置の50ミクロンの変化は、ホール効果素子によって感知される磁場の変化をほとんどもたらさない。したがって、x軸30およびy軸32でのホール効果素子の位置は、電流センサ10(図1)の感度に対する実質的な影響を伴わずに、製造位置公差で変動することができる。   The exemplary Hall effect element 18 has dimensions along the x-axis 30 and y-axis 32 on the order of 200 microns, so that the Hall effect element 18 is in the region between 200 microns and 400 microns on the abscissa 52. is there. A 50 micron change in the position of the Hall effect element 18 along the x-axis 30 or the y-axis 32 results in little change in the magnetic field sensed by the Hall effect element. Accordingly, the position of the Hall effect element on the x-axis 30 and the y-axis 32 can vary with manufacturing position tolerances without a substantial effect on the sensitivity of the current sensor 10 (FIG. 1).

x方向30でのホール効果素子18の寸法に対するx方向30での電流導体部14の幅w1(図1)が、x方向30でのホール効果素子18に沿った位置に関するz方向34での磁束密度の均一性に大きな影響を及ぼす。特に、x方向30でのホール効果素子18の幅に対して電流導体部14が長くなるにつれて(すなわち、幅w1(図1)が大きくなるにつれて)、曲線56が実質的に平らのままである距離が長くなる。   The width w1 (FIG. 1) of the current conductor portion 14 in the x direction 30 relative to the dimension of the Hall effect element 18 in the x direction 30 is the magnetic flux in the z direction 34 relative to the position along the Hall effect element 18 in the x direction 30. Greatly affects density uniformity. In particular, as the current conductor portion 14 becomes longer with respect to the width of the Hall effect element 18 in the x direction 30 (ie, as the width w1 (FIG. 1) increases), the curve 56 remains substantially flat. The distance gets longer.

幅w1(図1)は、電流センサ10(図1)の所望の感度と、電流経路14とホール効果素子18との相対位置の製造ばらつきに起因する性能ばらつきの所望の減少とを含めた、しかしそれらに限定されない様々な因子に従って選択される。一般に、ホール効果素子18の幅と同等な幅w1の選択が、電流センサ10の最大感度を提供することを理解されたい。しかし、ホール効果素子18の幅よりも大きい幅w1の選択が、x方向30でのホール素子位置配置の製造公差に起因する性能ばらつきを最小にすることも理解されたい。   The width w1 (FIG. 1) includes the desired sensitivity of the current sensor 10 (FIG. 1) and the desired reduction in performance variations due to manufacturing variations in the relative positions of the current path 14 and the Hall effect element 18. However, it is selected according to various factors that are not limited thereto. In general, it should be understood that the selection of a width w 1 that is equivalent to the width of the Hall effect element 18 provides the maximum sensitivity of the current sensor 10. However, it should also be understood that the selection of a width w 1 that is greater than the width of the Hall effect element 18 minimizes performance variations due to manufacturing tolerances in the Hall element position arrangement in the x direction 30.

次に図3を参照すると、本発明による別の例示的な電流センサ70が、複数のリード線72a〜72hと、幅w2を有する電流導体部74とを有するリードフレーム72を含む。また、電流センサは、第1の表面76aと反対の第2の表面76bとを有する基板76
を含む。基板76は、第1の表面76a内に拡散された、あるいは第1の表面76a上に配設された、または第1の表面76aによって支持された第1および第2のホール効果素子78a、78bを有する。基板76は、ホール効果素子78が電流導体部74の近傍にあるようにリードフレーム72上に配設される。例示される実施形態では、基板76は、集積回路パッケージ内に実装される基板の従来の向きに関して上下逆の(すなわち、第1の表面76aが下に向けられる)向きを有する。絶縁体(図示せず)が、基板76をリードフレーム72から離隔することができる。絶縁体は、図1に示される絶縁体24と同一または同様であってよい。
Referring now to FIG. 3, another exemplary current sensor 70 according to the present invention includes a lead frame 72 having a plurality of lead wires 72a-72h and a current conductor portion 74 having a width w2. The current sensor also has a substrate 76 having a first surface 76a and a second surface 76b opposite to the first surface 76a.
including. The substrate 76 is diffused into the first surface 76a, or disposed on or supported by the first surface 76a, and the first and second Hall effect elements 78a, 78b. Have The substrate 76 is disposed on the lead frame 72 such that the Hall effect element 78 is in the vicinity of the current conductor 74. In the illustrated embodiment, the substrate 76 has an upside down orientation (ie, the first surface 76a is directed downward) with respect to the conventional orientation of the substrate mounted in the integrated circuit package. An insulator (not shown) can separate the substrate 76 from the lead frame 72. The insulator may be the same as or similar to the insulator 24 shown in FIG.

この構成では、両方のホール効果素子78a、78bが、電流導体部74の近傍に、電流導体部74に関して所定の位置に配設され、それにより、矢印86によって示される方向で電流導体部74を通過する電流によって発生される磁場は、ホール効果素子78a、78bの最大応答軸に実質的に整列された方向となる。ここでは、各ホール効果素子78a、78bが、z軸94に整列された最大応答軸を有する。したがって、図示されるように、ホール効果素子78a、78bは、電流導体部74の両側に(すなわちy軸92に沿ってわずかにオフセットされて)配設され、ここで磁場は、z軸94に沿って向けられる。一実施形態では、ホール効果素子78a、78bは、電流導体部74に関して実質的に等しくかつ逆向きの量だけ(y軸92に沿って)オフセットされる。しかし、別の方向に整列された最大応答軸を有するホール効果素子、または別のタイプの磁場センサ、例えば磁気抵抗素子を、電流導体部74に関して他の位置に、例えば電流導体部74の(z軸94の方向で)上に配設することもできる。   In this configuration, both Hall effect elements 78 a, 78 b are disposed in the vicinity of the current conductor portion 74 at a predetermined position with respect to the current conductor portion 74, thereby causing the current conductor portion 74 to move in the direction indicated by the arrow 86. The magnetic field generated by the passing current is in a direction substantially aligned with the maximum response axis of the Hall effect elements 78a, 78b. Here, each Hall effect element 78 a, 78 b has a maximum response axis aligned with the z-axis 94. Thus, as shown, the Hall effect elements 78a, 78b are disposed on either side of the current conductor portion 74 (ie, slightly offset along the y-axis 92) where the magnetic field is on the z-axis 94. Aimed along. In one embodiment, the Hall effect elements 78a, 78b are offset (along the y-axis 92) by a substantially equal and opposite amount with respect to the current conductor portion 74. However, a Hall effect element having a maximum response axis aligned in another direction, or another type of magnetic field sensor, such as a magnetoresistive element, may be placed in another position with respect to the current conductor 74, such as (z It can also be arranged above (in the direction of the axis 94).

動作時、電流は、並列に結合されたリード線72c、72d内を流れ、電流導体部74を通って、やはり並列に結合されたリード線72a、72bから出る。電流導体部74を通って流れる電流が磁場を発生し、この磁場がホール効果素子78a、78bによって感知される。上述したように、ホール効果素子78a、78bは、電流導体部74のごく近傍にあり、電流導体部74に関して所定の位置にあり、そのため、電流によって発生される磁場は、ホール効果素子78a、78bの最大応答軸に実質的に整列される。この配置は、ホール効果素子78a、78bからのより大きな電圧出力、したがって改良された感度をもたらす。   In operation, current flows in the parallel coupled leads 72c, 72d and exits through the current conductor portion 74 and also from the parallel coupled leads 72a, 72b. The current flowing through the current conductor 74 generates a magnetic field that is sensed by the Hall effect elements 78a and 78b. As described above, the Hall effect elements 78a and 78b are in the vicinity of the current conductor portion 74 and are in a predetermined position with respect to the current conductor portion 74. Therefore, the magnetic field generated by the current is generated by the Hall effect elements 78a and 78b. Substantially aligned with the maximum response axis. This arrangement results in a larger voltage output from the Hall effect elements 78a, 78b and thus improved sensitivity.

第1および第2のホール効果素子78a、78bによって受けられた磁場は逆方向に向けられ、それぞれz軸94に沿って整列されることを理解されたい。したがって、同じ方向に極性を与えられる場合、二つのホール効果素子78a、78bの出力は極性が逆になる。ホール効果素子78a、78bの一方からの出力が、例えば反転増幅器を用いて反転され、次いでホール効果素子78a、78bの他方の出力と加算される、すなわち差分加算される場合、いくつかの利点が実現される。   It should be understood that the magnetic fields received by the first and second Hall effect elements 78a, 78b are directed in opposite directions and are aligned along the z-axis 94, respectively. Therefore, when the polarities are given in the same direction, the polarities of the outputs of the two Hall effect elements 78a and 78b are reversed. There are several advantages when the output from one of the Hall effect elements 78a, 78b is inverted, for example using an inverting amplifier, and then summed with the other output of the Hall effect elements 78a, 78b, ie, summed differentially. Realized.

最初の利点として、二つのホール効果素子78a、78bの出力は、上述したように差分加算されたとき、同じ電流の存在時の単一のホール効果素子からの電圧出力の大きさの2倍の電圧出力を提供する。したがって、電流センサ70は、図1の電流センサ10の2倍の感度を有する。   As an initial advantage, the outputs of the two Hall effect elements 78a, 78b are twice the magnitude of the voltage output from a single Hall effect element in the presence of the same current when the difference is added as described above. Provides voltage output. Therefore, the current sensor 70 has twice the sensitivity of the current sensor 10 of FIG.

第2の利点として、電流センサ70は、y軸92の方向でのホール効果素子78a、78bの位置の変動に比較的鈍感である。これは、y軸92の方向で移動されるとき、ホール効果素子78a、78bの一方からの電圧出力は増加する傾向があり、ホール効果素子78a、78bの他方からの電圧出力は減少する傾向があるからである。したがって、二つの出力の差分加算は、比較的変動しない。   As a second advantage, the current sensor 70 is relatively insensitive to fluctuations in the position of the Hall effect elements 78a and 78b in the direction of the y-axis 92. This is because when moving in the direction of the y-axis 92, the voltage output from one of the Hall effect elements 78a, 78b tends to increase, and the voltage output from the other of the Hall effect elements 78a, 78b tends to decrease. Because there is. Therefore, the difference addition of the two outputs is relatively unchanged.

リードフレーム72は、回路板への表面実装に適した平らなリード線72a〜72hを
有して図示されているが、図1のリードフレーム12のような湾曲したリード線を有するリードフレームを使用することもできることを理解されたい。また、二つのホール効果素子78a、78bが図示されているが、二つよりも多い、または二つよりも少ないホール効果素子を使用することもできる。
The lead frame 72 is shown having flat lead wires 72a-72h suitable for surface mounting on a circuit board, but a lead frame having a curved lead wire such as the lead frame 12 of FIG. 1 is used. Please understand that you can. Also, although two Hall effect elements 78a, 78b are shown, more or less than two Hall effect elements can be used.

次に図4を参照すると、図3に関連して説明した差分信号加算を実施するのに適した加算回路100が、二つのホール効果素子102a、102bに結合されて図示されている。ホール効果素子102a、102bは、図3のホール効果素子78a、78bと同一または同様であってよい。ここで、ホール効果素子102a、102bはそれぞれ、ホール効果素子102a、102b上のベクトルによって示されるように、他方のホール効果素子に対して90°回転される。したがって、ホール効果素子102a、102bは、逆の磁場112a、112bに応答して、同じ極性を有する出力電圧103a、103bを発生する。出力電圧103aは、非反転構成で構成された増幅器104aに結合され、出力電圧103bは、反転構成で構成された増幅器104bに結合される。したがって、増幅器出力電圧106a、106bは、磁場112a、112bに応答して、逆の電圧方向に移動する。増幅器出力電圧106a、106bは、増幅器108に差分結合されて、出力電圧106a、106bの差分加算、または差を発生する。したがって、出力電圧106a、106bは、差分加算して、増幅器108の出力で、より大きな出力電圧110を提供する。   Referring now to FIG. 4, an adder circuit 100 suitable for performing the differential signal addition described with reference to FIG. 3 is shown coupled to two Hall effect elements 102a, 102b. The Hall effect elements 102a and 102b may be the same as or similar to the Hall effect elements 78a and 78b of FIG. Here, the Hall effect elements 102a and 102b are rotated by 90 ° with respect to the other Hall effect element as indicated by the vectors on the Hall effect elements 102a and 102b. Accordingly, the Hall effect elements 102a and 102b generate output voltages 103a and 103b having the same polarity in response to the reverse magnetic fields 112a and 112b. Output voltage 103a is coupled to amplifier 104a configured in a non-inverting configuration, and output voltage 103b is coupled to amplifier 104b configured in an inverting configuration. Accordingly, the amplifier output voltages 106a and 106b move in the opposite voltage direction in response to the magnetic fields 112a and 112b. The amplifier output voltages 106a, 106b are differentially coupled to the amplifier 108 to produce a differential addition or difference of the output voltages 106a, 106b. Thus, the output voltages 106a, 106b add up to provide a larger output voltage 110 at the output of the amplifier 108.

加算回路100は、図3の電流センサ70で使用することができ、その場合、ホール効果素子102a、102bは、ホール効果素子78a、78bに相当する。一つの特定の実施形態では、加算回路100は、基板76の第1の表面76a内に拡散され、あるいは第1の表面76a上に配設される。別の実施形態では、加算回路100は、基板76の第2の表面76b内に拡散され、あるいは第2の表面76b上に配設され、その一方で、ホール効果素子78a、78bは第1の表面76a上にあり、複数の通路(バイア)などを介して他の回路構成要素に結合される。   The adder circuit 100 can be used in the current sensor 70 of FIG. 3, in which case the Hall effect elements 102a and 102b correspond to the Hall effect elements 78a and 78b. In one particular embodiment, the summing circuit 100 is diffused into or disposed on the first surface 76a of the substrate 76. In another embodiment, the summing circuit 100 is diffused into or disposed on the second surface 76b of the substrate 76, while the Hall effect elements 78a, 78b are the first surface 76b. Located on surface 76a and coupled to other circuit components via a plurality of passages (vias) and the like.

次に図5を参照すると、図1の同様の要素が同様の参照符号を有して示され、別の例示的な電流センサ120が、第1の表面126aと反対の第2の表面126bとを有する基板126を含む。ここでは、4つのホール効果素子128a〜128dが、基板126の第1の表面126a内に拡散される、あるいは第1の表面126a上に配設される。基板126は、図示されるように、それぞれ第1および第2のホール効果素子128a、128bがy軸142に沿って電流導体部14の一方の側にあり、第3および第4のホール効果素子128c、128dがy軸42に沿って電流導体部14の反対の側にあるように、リードフレーム12に関して位置決めされる。一実施形態では、ホール効果素子128a、128bは、ホール効果素子128c、128dが電流導体部14から(y軸142に沿って)オフセットされる量に等しくかつ逆向きの量だけ、電流導体部14から(y軸142に沿って)オフセットされる。   Referring now to FIG. 5, like elements of FIG. 1 are shown with like reference numerals, and another exemplary current sensor 120 is connected to a second surface 126b opposite the first surface 126a. A substrate 126 having Here, four Hall effect elements 128a-128d are diffused into the first surface 126a of the substrate 126 or disposed on the first surface 126a. As shown in the figure, the substrate 126 has first and second Hall effect elements 128a and 128b on one side of the current conductor portion 14 along the y-axis 142, respectively. Positioned with respect to the lead frame 12 such that 128c, 128d is on the opposite side of the current conductor portion 14 along the y-axis 42. In one embodiment, the Hall effect elements 128a, 128b are equal to the amount by which the Hall effect elements 128c, 128d are offset from the current conductor portion 14 (along the y-axis 142) and in the opposite direction. From (along the y-axis 142).

この構成では、ホール効果素子128a〜128dは、電流導体部14の近傍に、導体部14に関して所定の位置に配設され、それにより、矢印86によって示される方向で電流導体部14を通過する電流によって発生される磁場は、ホール効果素子128a〜128dの最大応答軸に実質的に整列された方向となる。ここでは、各ホール効果素子128a〜128dが、z軸144に整列された最大応答軸を有する。例示される実施形態では、図示されるように、ホール効果素子128a、128bは、電流導体部144の、ホール効果素子128c、128dとは反対の側に(すなわち、y軸142に沿ってわずかにオフセットされて)配設され、ここで磁場は、z軸144に沿って向けられる。しかし、別の方向に整列された最大応答軸を有するホール効果素子、または別のタイプの磁場センサ、例えば磁気抵抗素子を、電流導体部14に関して他の位置に、例えば電流導体部14
の(z軸144の方向で)上に配設することもできる。第1および第2のホール効果素子128a、128bが、z軸144に沿った一方向での磁場にさらされ、第3および第4のホール効果素子128c、128dが、z軸144に沿った逆方向での磁場にさらされることを理解されたい。
In this configuration, the Hall effect elements 128a to 128d are disposed in a predetermined position with respect to the conductor portion 14 in the vicinity of the current conductor portion 14, and thereby the current passing through the current conductor portion 14 in the direction indicated by the arrow 86. Is in a direction substantially aligned with the maximum response axis of the Hall effect elements 128a-128d. Here, each Hall effect element 128 a-128 d has a maximum response axis aligned with the z-axis 144. In the illustrated embodiment, as shown, the Hall effect elements 128a, 128b are on the opposite side of the current conductor portion 144 from the Hall effect elements 128c, 128d (ie, slightly along the y-axis 142). Offset), where the magnetic field is directed along the z-axis 144. However, a Hall effect element having a maximum response axis aligned in another direction, or another type of magnetic field sensor, such as a magnetoresistive element, may be placed in another position with respect to the current conductor part 14, eg, the current conductor part 14
(In the direction of the z-axis 144). The first and second Hall effect elements 128a, 128b are exposed to a magnetic field in one direction along the z-axis 144, and the third and fourth Hall effect elements 128c, 128d are reversed along the z-axis 144. It should be understood that it is exposed to a magnetic field in the direction.

4つのホール効果素子128a〜128dは、いくつかの利点を実現するために、当業者によって理解される加算回路として構成された電子回路に結合することができる。加算回路は、例えば、図4の加算回路100を二つ含むことができる。一実施形態では、加算回路は、ホール効果素子128a〜128dのうちの第1の二つを、図4の加算回路100など第1の加算回路と結合し、ホール効果素子128a〜128dのうちの第2の二つを、加算回路100など第2の加算回路と結合することができる。別の増幅器を用いて、第1の加算回路の出力を第2の加算回路の出力と加算することができる。最初の利点として、説明したように加算回路に結合された4つのホール効果素子128a〜128dは、電流の存在時に、同じ電流の存在時の単一のホール効果素子、例えば図1のホール効果素子18からの電圧出力の大きさの4倍の電圧出力を提供する。したがって、電流センサ120は、図1の電流センサ10の4倍の感度を有する。   The four Hall effect elements 128a-128d can be coupled to an electronic circuit configured as a summing circuit as understood by those skilled in the art to achieve several advantages. The adder circuit can include, for example, two adder circuits 100 of FIG. In one embodiment, the adder circuit combines the first two of the Hall effect elements 128a-128d with a first adder circuit, such as the adder circuit 100 of FIG. The second two can be combined with a second adder circuit such as adder circuit 100. Another amplifier can be used to add the output of the first adder circuit with the output of the second adder circuit. As a first advantage, the four Hall effect elements 128a-128d coupled to the summing circuit as described are a single Hall effect element in the presence of the same current, eg, the Hall effect element of FIG. Provides a voltage output that is four times the magnitude of the voltage output from 18. Therefore, the current sensor 120 has a sensitivity four times that of the current sensor 10 of FIG.

第2の利点として、電流センサ120は、y軸142の方向でのホール効果素子128a〜128dの位置の変動に比較的鈍感である。これは、y軸142の方向で移動されるとき、4つのホール効果素子128a〜128dのうちの二つからの電圧出力は増加する傾向があり、4つのホール効果素子128a〜128dのうちの他の二つからの電圧出力は減少する傾向があるからである。したがって、加算回路として結合されるとき、回路出力は、ホール効果素子のy軸位置に関して比較的変動しない。   As a second advantage, the current sensor 120 is relatively insensitive to variations in the position of the Hall effect elements 128a-128d in the direction of the y-axis 142. This is because the voltage output from two of the four Hall effect elements 128a-128d tends to increase when moved in the direction of the y-axis 142, and the other of the four Hall effect elements 128a-128d. This is because the voltage output from the two tends to decrease. Thus, when coupled as an adder circuit, the circuit output is relatively unchanged with respect to the y-axis position of the Hall effect element.

次に図6を参照すると、本発明による例示的な電流センサ150が、複数のリード線152a〜152hと電流導体部154とを有するリードフレーム152を含む。また、電流センサ150は、第1の表面166aと反対の第2の表面166bとを有する基板166を含む。基板166は、第1の表面166a内に拡散された、あるいは第1の表面166a上に配設されたホール効果素子158を有する。基板166は、ホール効果素子158が電流導体部154の近傍にあるようにリードフレーム152上に配設される。基板166は、基板が集積回路パッケージ内に実装される従来の方向に関して上下逆の(すなわち、第1の表面166aが下に向けられる)向きを有する。基板166は、基板166の第1の表面166a上にはんだボール160a〜160cを有するフリップチップである。はんだボール160a〜160cは、図示されるように、リード線152e〜152hに直接結合する。絶縁体164が、基板166をリードフレーム152から離隔する。絶縁体164は、図1に示される絶縁体24と同一または同様であってよい。   Referring now to FIG. 6, an exemplary current sensor 150 according to the present invention includes a lead frame 152 having a plurality of lead wires 152a-152h and a current conductor portion 154. The current sensor 150 also includes a substrate 166 having a first surface 166a and a second surface 166b opposite to the first surface 166a. The substrate 166 has a Hall effect element 158 diffused into the first surface 166a or disposed on the first surface 166a. The substrate 166 is disposed on the lead frame 152 such that the Hall effect element 158 is in the vicinity of the current conductor 154. The substrate 166 has an upside down orientation (ie, the first surface 166a is directed downward) with respect to the conventional direction in which the substrate is mounted within the integrated circuit package. The substrate 166 is a flip chip having solder balls 160a-160c on the first surface 166a of the substrate 166. Solder balls 160a-160c are directly coupled to lead wires 152e-152h as shown. An insulator 164 separates the substrate 166 from the lead frame 152. The insulator 164 may be the same as or similar to the insulator 24 shown in FIG.

この構成では、ホール効果素子158は、電流導体部154の近傍に、導体部154に関して所定の位置に配設され、それにより、矢印168によって示される方向で電流導体部154を通過する電流によって発生される磁場は、ホール効果素子158の最大応答軸に実質的に整列された方向となる。ホール効果素子158は、z軸174に整列された最大応答軸を有する。したがって、図示されるように、ホール効果素子158は、電流導体部14のすぐ横に(すなわち、y軸172に沿ったわずかなオフセットで)配設され、ここで磁場は、z軸174に沿って向けられる。しかし、別の方向に整列された最大応答軸を有するホール効果素子、または別のタイプの磁場センサ、例えば磁気抵抗素子を、電流導体部154に関して別の位置に、例えば電流導体部154の(z軸174の方向で)上に配設することもできる。   In this configuration, the Hall effect element 158 is disposed in the vicinity of the current conductor portion 154 at a predetermined position with respect to the conductor portion 154, thereby generating a current passing through the current conductor portion 154 in the direction indicated by the arrow 168. The applied magnetic field is in a direction substantially aligned with the maximum response axis of the Hall effect element 158. Hall effect element 158 has a maximum response axis aligned with z-axis 174. Thus, as shown, the Hall effect element 158 is disposed directly beside the current conductor portion 14 (ie, with a slight offset along the y-axis 172), where the magnetic field is along the z-axis 174. Directed. However, a Hall effect element having a maximum response axis aligned in another direction, or another type of magnetic field sensor, such as a magnetoresistive element, may be placed in a different position with respect to the current conductor portion 154, such as (z It can also be arranged above (in the direction of the shaft 174).

電流センサ150の動作は、図1の電流センサ10の上述した動作と同様である。電流導体部154の近傍にあるホール効果素子158は、ホール効果素子158からのより大
きな出力電圧、したがって改良された感度をもたらす。
The operation of the current sensor 150 is similar to the above-described operation of the current sensor 10 of FIG. A Hall effect element 158 in the vicinity of the current conductor 154 provides a greater output voltage from the Hall effect element 158 and thus improved sensitivity.

一つのホール効果素子158のみが基板166の第1の表面166a上に図示されているが、複数のホール効果素子を本発明と共に使用することもできることを理解されたい。他の回路、例えば増幅器を、基板166の第1および/または第2の表面166a、166b内に拡散する、あるいは表面166a、166bに結合する、または表面166a、166bによって支持することもできる。   Although only one Hall effect element 158 is illustrated on the first surface 166a of the substrate 166, it should be understood that multiple Hall effect elements may be used with the present invention. Other circuits, such as amplifiers, may be diffused into or coupled to the first and / or second surfaces 166a, 166b of the substrate 166 or supported by the surfaces 166a, 166b.

3つのはんだボール160a〜160cが図示されているが、基板166を安定させるためのダミーのはんだボールを含めた任意の数のはんだボールを提供することができる。また、はんだボール160a〜160cが図示されているが、金隆起部、共晶または含鉛はんだ隆起部、無鉛はんだ隆起部、金スタッド隆起部、ポリマー導電性隆起部、異方性導電性ペースト、または導電性フィルムを含めた、しかしそれらに限定されない他の接続方法を使用することもできる。   Although three solder balls 160a-160c are shown, any number of solder balls can be provided, including dummy solder balls for stabilizing the substrate 166. Also, although solder balls 160a-160c are illustrated, gold bumps, eutectic or lead-containing solder bumps, lead-free solder bumps, gold stud bumps, polymer conductive bumps, anisotropic conductive paste, Alternatively, other connection methods can be used, including but not limited to conductive films.

次に図6Aを参照すると、図6と同様の要素が同様の参照符号を有して示され、本発明による例示的な電流センサ180は、磁束収束器182と、磁束収束層184とを含む。磁束収束器は、ホール効果センサ158の近位に、基板166の第1の表面166aに隣接して下に位置される。磁束収束層184は、基板166の第2の表面166b上に(または第2の表面166bに隣接して上に)配設される。   Referring now to FIG. 6A, elements similar to those in FIG. 6 are shown having similar reference numerals, and an exemplary current sensor 180 according to the present invention includes a flux concentrator 182 and a flux concentrating layer 184. . The flux concentrator is positioned proximal to the Hall effect sensor 158 and adjacent to the first surface 166a of the substrate 166. The magnetic flux concentrating layer 184 is disposed on the second surface 166b of the substrate 166 (or on top adjacent to the second surface 166b).

動作時、磁束収束器182と磁束収束層184とはそれぞれ、電流導体部154を通過する電流によって発生される磁束を収束する傾向があり、それにより電流センサ180が図6の電流センサ150よりも高い感度を有するようにする。   In operation, each of the flux concentrator 182 and the flux concentrating layer 184 tends to converge the magnetic flux generated by the current passing through the current conductor portion 154 so that the current sensor 180 is more than the current sensor 150 of FIG. Try to have high sensitivity.

磁束収束器182と磁束収束層184とはそれぞれ、フェライト、パーマロイ、および鉄を含めた、しかしそれらに限定されない様々な材料から構成することができる。接着層(図示せず)、例えばチタンまたはクロム層が存在することもあり、当業者によって理解されよう。   The magnetic flux concentrator 182 and the magnetic flux concentrating layer 184 can each be composed of various materials including, but not limited to, ferrite, permalloy, and iron. An adhesive layer (not shown), for example a titanium or chrome layer, may be present and will be understood by those skilled in the art.

磁束収束器182は立方形状を有して図示されているが、他の実施形態では、磁束収束器は、別の形状、例えば多面体形状、楕円形状、または球形状を有することができる。磁束収束器182と磁束収束層184との両方が図示されているが、他の実施形態では、磁束収束器182と磁束収束層184との一方のみを提供することができる。また、磁束収束器182と磁束収束層184とが一つの磁場変換器158に関連して図示されているが、磁束収束器182と磁束収束層184とを、複数の磁場変換器158を有する構成、例えば図1、図3、および図5に図示される構成に適用することもできることを理解すべきである。   Although the magnetic flux concentrator 182 is illustrated as having a cubic shape, in other embodiments, the magnetic flux concentrator can have another shape, such as a polyhedral shape, an elliptical shape, or a spherical shape. Although both magnetic flux concentrator 182 and magnetic flux converging layer 184 are shown, in other embodiments, only one of magnetic flux concentrator 182 or magnetic flux converging layer 184 can be provided. Further, although the magnetic flux concentrator 182 and the magnetic flux converging layer 184 are illustrated in relation to one magnetic field converter 158, the magnetic flux concentrator 182 and the magnetic flux converging layer 184 include a plurality of magnetic field converters 158. It should be understood that the invention can be applied to the configurations illustrated in FIGS. 1, 3, and 5, for example.

次に図7を参照すると、本発明による別の例示的な電流センサ200が、複数のリード線202a〜202hを有するリードフレーム202を含む。また、電流センサ200は、第1の表面206aと反対の第2の表面206bとを有する基板206を含む。基板206は、第1の表面206a内に拡散された、あるいは第1の表面206a上に配設されたホール効果素子208を有する。電流導体部204aを有する導電性留め具(クリップ)204が、リード線202a〜202dに結合される。導電性留め具204の機構は、図8に示される。ここでは、導電性留め具は、導電性留め具204が基板206の第1の表面206aの上にわたって延びるように湾曲部を有して形成されると言うに留めておく。基板206は、ホール効果素子208が電流導体部204aの近傍にあるようにリードフレーム202上に配設される。例示される実施形態では、基板206は、第1の表面206aが上に向けられた従来の実装向きを有する。基板206は、第1の表面206a上
に結合パッド212a〜212cを有し、そこに結合ワイヤ210a〜210cが結合される。結合ワイヤ210a〜210cは、さらに、リード線202e、202f、202hに結合される。基板206を導電性留め具204から隔離するために、絶縁体214を提供することができる。絶縁体214は、図1に示される絶縁体24と同一または同様であってよい。
Referring now to FIG. 7, another exemplary current sensor 200 according to the present invention includes a lead frame 202 having a plurality of leads 202a-202h. The current sensor 200 also includes a substrate 206 having a first surface 206a and a second surface 206b opposite to the first surface 206a. The substrate 206 has a Hall effect element 208 diffused into the first surface 206a or disposed on the first surface 206a. A conductive fastener (clip) 204 having a current conductor portion 204a is coupled to the leads 202a-202d. The mechanism of the conductive fastener 204 is shown in FIG. Here, it should be noted that the conductive fastener is formed with a curved portion so that the conductive fastener 204 extends over the first surface 206 a of the substrate 206. The substrate 206 is disposed on the lead frame 202 so that the Hall effect element 208 is in the vicinity of the current conductor portion 204a. In the illustrated embodiment, the substrate 206 has a conventional mounting orientation with the first surface 206a facing up. Substrate 206 has bond pads 212a-212c on first surface 206a, to which bond wires 210a-210c are bonded. The coupling wires 210a to 210c are further coupled to the lead wires 202e, 202f, and 202h. An insulator 214 can be provided to isolate the substrate 206 from the conductive fastener 204. Insulator 214 may be the same as or similar to insulator 24 shown in FIG.

この構成では、ホール効果素子208は、基板206の第1の表面206aの上にわたって延びる電流導体部204aの近傍に配設される。ホール効果素子208は、導体部204aに関して所定の位置に配設され、それにより、矢印216によって示される方向で電流導体部204aを通過する電流によって発生される磁場は、ホール効果素子208の最大応答軸に実質的に整列された方向となる。ホール効果素子208は、z軸224に整列された最大応答軸を有する。例示される実施形態では、図示されるように、ホール効果素子208は、電流導体部204aのすぐ横に(すなわち、y軸223に沿ったわずかなオフセットで)配設され、ここで磁場は、z軸224に沿って向けられる。しかし、別の方向に整列される最大応答軸を有するホール効果素子、または別のタイプの磁場センサ、例えば磁気抵抗素子を、電流導体部204aに関して別の位置に配設することができ、例えば(z軸224の方向で)上または下で電流導体部204aに本質的に位置合わせすることができる。 In this configuration, the Hall effect element 208 is disposed in the vicinity of the current conductor portion 204 a extending over the first surface 206 a of the substrate 206. The Hall effect element 208 is disposed at a predetermined position with respect to the conductor portion 204 a so that the magnetic field generated by the current passing through the current conductor portion 204 a in the direction indicated by the arrow 216 is the maximum response of the Hall effect element 208. The direction is substantially aligned with the axis. Hall effect element 208 has a maximum response axis aligned with z-axis 224. In the illustrated embodiment, as shown, the Hall effect element 208 is disposed immediately next to the current conductor portion 204a (ie, with a slight offset along the y-axis 223 ), where the magnetic field is Oriented along the z-axis 224. However, a Hall effect element having a maximum response axis aligned in another direction, or another type of magnetic field sensor, such as a magnetoresistive element, can be disposed at another position with respect to the current conductor portion 204a, for example ( It can be essentially aligned with current conductor portion 204a (up or down) (in the direction of z-axis 224).

動作時、電流は、並列に結合されたリード線202c、202d内を流れ、導電性留め具204を通り、電流導体部204aを通って、やはり並列に結合されたリード線202a、202bから出る。電流導体部204aを通って流れる電流が磁場を発生し、この磁場がホール効果素子208によって感知される。ホール効果素子208は、磁場に比例する、したがって電流導体部204aを通って流れる電流に比例する電圧出力を発生する。上述したように、ホール効果素子208は、電流導体部204aのごく近傍にあり、電流導体部204aに関して所定の位置にあり、そのため、電流によって発生される磁場は、ホール効果素子208の最大応答軸に実質的に整列される。この位置は、ホール効果素子208からのより大きな電圧出力、したがって改良された感度をもたらす。   In operation, current flows through the parallel coupled leads 202c, 202d, through the conductive fastener 204, through the current conductor portion 204a, and exits the parallel coupled leads 202a, 202b. The current flowing through the current conductor portion 204 a generates a magnetic field that is sensed by the Hall effect element 208. Hall effect element 208 generates a voltage output that is proportional to the magnetic field and thus proportional to the current flowing through current conductor portion 204a. As described above, the Hall effect element 208 is in the immediate vicinity of the current conductor portion 204 a and is in a predetermined position with respect to the current conductor portion 204 a, so that the magnetic field generated by the current is the maximum response axis of the Hall effect element 208. Substantially aligned. This position results in a larger voltage output from the Hall effect element 208 and thus improved sensitivity.

一つのホール効果素子208のみが基板206の第2の表面206b上に図示されているが、複数のホール効果素子を使用することもできることを理解されたい。特に、二つのホール効果素子を有する実施形態は、図3の電流センサ70と同様であってよく、4つのホール効果素子を有する実施形態は、図5の電流センサ120と同様であってよい。また、追加の回路、例えば増幅器を、基板206の第1および/または第2の表面206a、206b内に拡散する、あるいは表面206a、206bに結合することができる。   Although only one Hall effect element 208 is shown on the second surface 206b of the substrate 206, it should be understood that multiple Hall effect elements may be used. In particular, an embodiment having two Hall effect elements may be similar to the current sensor 70 of FIG. 3, and an embodiment having four Hall effect elements may be similar to the current sensor 120 of FIG. Also, additional circuitry, such as an amplifier, can be diffused into or coupled to the first and / or second surfaces 206a, 206b of the substrate 206.

導電性留め具204は、様々な方法で、様々な材料から形成することができることを理解すべきである。一つの特定の実施形態では、導電性留め具204は、例えば銅シートから打ち抜き加工される。別の実施形態では、導電性留め具204は、箔、例えば銅箔から形成される。さらに別の実施形態では、導電性留め具204は、エッチングプロセスによって形成される。導電性留め具204は、基板206の従来の実装向きの使用を可能にし、それと共に、電流導体部204aをホール効果素子208に非常に近接させる。   It should be understood that the conductive fastener 204 can be formed from a variety of materials in a variety of ways. In one particular embodiment, the conductive fastener 204 is stamped from, for example, a copper sheet. In another embodiment, the conductive fastener 204 is formed from a foil, such as a copper foil. In yet another embodiment, the conductive fastener 204 is formed by an etching process. The conductive fasteners 204 allow for the conventional mounting orientation of the substrate 206 and at the same time bring the current conductor portion 204a very close to the Hall effect element 208.

導電性留め具204は、当該導電性留め具204を通過する電流の量に従って選択される厚さを有するように提供することができる。したがって、比較的高い電流を感知するように適合された電流センサが望まれる場合、導電性留め具は比較的厚くすることができ、比較的低い電流を感知するように適合された電流センサが望まれる場合、導電性留め具204は比較的薄くすることができる。別の実施形態では、比較的高い電流を感知するように適合された電流センサが望まれる場合、他の導電性留め具と接触させて複数の導電性留め具204を積層することができ、任意の一つの導電性留め具204よりも厚い増加され
た実効厚さを提供し、したがってより多くの電流を搬送することが可能である。
The conductive fastener 204 can be provided with a thickness that is selected according to the amount of current that passes through the conductive fastener 204. Thus, if a current sensor adapted to sense relatively high current is desired, the conductive fastener can be relatively thick and a current sensor adapted to sense relatively low current is desired. If so, the conductive fastener 204 can be relatively thin. In another embodiment, if a current sensor adapted to sense relatively high currents is desired, a plurality of conductive fasteners 204 can be stacked in contact with other conductive fasteners, and optionally It is possible to provide an increased effective thickness that is thicker than that of one of the conductive fasteners 204 and thus carry more current.

図7の実施形態では、ホール効果素子208と電流導体部204aとの近接は、電流導体部204aに対して第2の表面206bよりも近くに位置決めされる第1の基板表面206a上にホール効果素子208を提供することによって実現される。他の実施形態では、この有利な近接は、第2の基板表面206b上にホール効果素子208を提供し、第2の表面206bに実質的に整列するように電流導体部204aを形成することによって実現される。   In the embodiment of FIG. 7, the proximity of the Hall effect element 208 and the current conductor portion 204a is such that the Hall effect is on the first substrate surface 206a positioned closer to the current conductor portion 204a than the second surface 206b. This is accomplished by providing element 208. In other embodiments, this advantageous proximity is provided by providing a Hall effect element 208 on the second substrate surface 206b and forming the current conductor portion 204a to be substantially aligned with the second surface 206b. Realized.

次に図8を参照すると、図7の同様の要素が同様の参照符号を有して示され、リード線202a〜202dに結合される前の導電性留め具204が図示されている。導電性留め具204は、電流導体部204aと、遷移領域204bと、湾曲領域204cと、結合領域204dとを含む。結合領域204dは、リード線202a〜202dに結合する二つの部分204e、204fを含む。遷移領域204bは、基板206との接触を回避するために、電流導体部204aに対して持ち上げることができる。   Referring now to FIG. 8, like elements of FIG. 7 are shown with like reference numerals and conductive fasteners 204 are illustrated prior to being coupled to leads 202a-202d. The conductive fastener 204 includes a current conductor portion 204a, a transition region 204b, a curved region 204c, and a coupling region 204d. The coupling region 204d includes two portions 204e and 204f that couple to the lead wires 202a to 202d. The transition region 204b can be lifted relative to the current conductor portion 204a to avoid contact with the substrate 206.

ホール効果素子が本発明の実施形態に関連して図示されて説明されているが、他のタイプの磁場センサを使用することもできることを理解されたい。例えば、ホール効果素子の代わりに磁気抵抗素子を使用することができる。しかし、従来の磁気抵抗素子は、従来のホール効果素子の最大応答軸に垂直な最大応答軸を有する。当業者は、本明細書で説明するホール効果素子実施形態と同じ結果を実現するために、本発明の実施形態による電流導体部に対して一つまたは複数の磁気抵抗素子をどのように位置決めすべきかを理解されよう。   Although Hall effect elements are shown and described in connection with embodiments of the present invention, it should be understood that other types of magnetic field sensors can be used. For example, a magnetoresistive element can be used instead of the Hall effect element. However, the conventional magnetoresistive element has a maximum response axis perpendicular to the maximum response axis of the conventional Hall effect element. Those skilled in the art should know how to position one or more magnetoresistive elements with respect to the current conductor according to embodiments of the present invention to achieve the same results as the Hall effect element embodiments described herein. You will understand.

いくつかの実施形態では、導電性留め具204と基板206の第1の表面206aとの間に絶縁層220を配設することができる。絶縁層220は、二酸化珪素およびポリマーを含めた、しかしそれらに限定されない様々な材料から形成することができる。いくつかの実施形態では、導電性留め具204と基板206の第1の表面206aとの間に電磁シールド222も配設することができる。電磁シールド222は、ホール効果素子208の近傍に、絶縁層220の下または上に配設することができる。例えば図23に示される他の構成では、一つが電磁シールド222の上にあり、一つが電磁シールド222の下にある二つの絶縁層が存在することができる。   In some embodiments, an insulating layer 220 can be disposed between the conductive fastener 204 and the first surface 206a of the substrate 206. Insulating layer 220 may be formed from a variety of materials including, but not limited to, silicon dioxide and polymers. In some embodiments, an electromagnetic shield 222 may also be disposed between the conductive fastener 204 and the first surface 206a of the substrate 206. The electromagnetic shield 222 can be disposed in the vicinity of the Hall effect element 208 and below or above the insulating layer 220. For example, in the other configuration shown in FIG. 23, there can be two insulating layers, one above the electromagnetic shield 222 and one below the electromagnetic shield 222.

電磁シールド222は、ホール効果素子208に対する電磁場の影響を低減する傾向があり、この影響は、電流センサ200をあまり正確でないものにする、すなわち電流によって発生される磁場以外の電気的な影響に敏感にさせる傾向がある。磁場のみに敏感であり、電磁場には敏感でないホール効果素子208を有することが望ましいことを理解されたい。電磁シールド222は、以下に図19〜図22に関連してより詳細に説明する。   The electromagnetic shield 222 tends to reduce the influence of the electromagnetic field on the Hall effect element 208, which makes the current sensor 200 less accurate, i.e. sensitive to electrical influences other than the magnetic field generated by the current. There is a tendency to make it. It should be understood that it is desirable to have a Hall effect element 208 that is sensitive only to magnetic fields and not to electromagnetic fields. The electromagnetic shield 222 is described in more detail below in connection with FIGS.

電磁シールド222は、図7および図8の電流センサ200に関連して図示されているが、フリップチップ構成および非フリップチップ構成を含む本明細書で説明する任意の電流センサが、関連のホール効果素子の近傍に配設された、電磁シールド222と同一または同様の電磁シールドを有することができることを理解すべきである。   Although the electromagnetic shield 222 is illustrated in connection with the current sensor 200 of FIGS. 7 and 8, any of the current sensors described herein, including flip chip and non-flip chip configurations, may be associated with the associated Hall effect. It should be understood that the electromagnetic shield 222 may be the same as or similar to the electromagnetic shield 222 disposed in the vicinity of the element.

次に図9を参照すると、リードフレーム250が、図3のリードフレーム72および図6のリードフレーム152と同様の形状を有して図示されている。リードフレーム250は、複数の薄層化部分252a〜252nを有し、これらの部分は、リードフレーム250の他の部分よりも薄い。より薄い部分は、化学エッチングおよび打ち抜き加工を含めた、しかしそれらに限定されない様々なプロセスによって提供することができる。   Referring now to FIG. 9, a lead frame 250 is shown having the same shape as the lead frame 72 of FIG. 3 and the lead frame 152 of FIG. The lead frame 250 has a plurality of thinned portions 252 a to 252 n, which are thinner than the other portions of the lead frame 250. Thinner portions can be provided by various processes, including but not limited to chemical etching and stamping.

電流導体部254は、表面254aを有し、他の薄層化部分252b〜252nの厚さと同一または同様であってよい厚さt1を有する。リードフレームの他の部分は、厚さt2を有する。一つの特定の実施形態では、電流搬送部254の厚さt1は、他の薄層化部分252b〜252nの厚さと同じであり、厚さt1は、厚さt2のほぼ半分である。一実施形態では、電流導体部254は、厚さt1を有する本質的に長方形の断面を有する。   The current conductor portion 254 has a surface 254a and a thickness t1 that may be the same as or similar to the thickness of the other thinned portions 252b-252n. The other part of the lead frame has a thickness t2. In one particular embodiment, the thickness t1 of the current carrying portion 254 is the same as the thickness of the other thinned portions 252b-252n, and the thickness t1 is approximately half of the thickness t2. In one embodiment, the current conductor portion 254 has an essentially rectangular cross section with a thickness t1.

電流導体部254を通過する電流の存在時、例えば図3の電流導体部74よりも薄い電流導体部254は、表面254aの近くで、図3の電流導体部74が同様の電流の存在時に表面74aの近くで有するよりも高い電流密度を有することを理解されたい。すなわち、電流は、より厚い電流導体部の場合よりも表面254aに近づくように圧縮される。その結果、電流によって発生される磁場は、表面254aの近傍で、より高い磁束密度を有する。   When the current passing through the current conductor portion 254 exists, for example, the current conductor portion 254 thinner than the current conductor portion 74 of FIG. 3 is near the surface 254a, and the current conductor portion 74 of FIG. It should be understood that it has a higher current density than it has near 74a. That is, the current is compressed closer to the surface 254a than in the thicker current conductor portion. As a result, the magnetic field generated by the current has a higher magnetic flux density near the surface 254a.

したがって、リードフレーム250が図3のリードフレーム72の代わりに使用されるとき、ホール効果素子78a、78bは、より大きな磁場を受け、より敏感な電流センサをもたらす。   Thus, when the lead frame 250 is used in place of the lead frame 72 of FIG. 3, the Hall effect elements 78a, 78b are subjected to a larger magnetic field, resulting in a more sensitive current sensor.

他の薄層化部分252b〜252nは、他の利点を提供する。例えば、リードフレーム250がプラスチック囲包本体内に成形されるとき、他の薄層化部分252b〜252nは、成形本体内にリードフレーム250をよりしっかりと係止する傾向がある。   Other thinned portions 252b-252n provide other advantages. For example, when the lead frame 250 is molded into a plastic enclosure body, the other thinned portions 252b-252n tend to lock the lead frame 250 more securely within the molded body.

厚さt1は、電流導体部254に通すべき最大電流を含めた、しかしそれに限定されない様々な因子に従って選択される。
同じ利点を実現するために、図3の実施形態以外の実施形態で上に示した他のリードフレームに薄層化部分を適用することもできることを理解されたい。
The thickness t1 is selected according to various factors including, but not limited to, the maximum current to be passed through the current conductor portion 254.
It should be understood that the thinned portion can also be applied to other lead frames shown above in embodiments other than the embodiment of FIG. 3 to achieve the same advantages.

次に図9Aを参照すると、図9の電流導体部254に代わるものとして適した代替電流導体部270が、図9の線9A−9Aに沿って取られた断面から見たときにT字形断面を有する。T字形は、表面270aと、第1の厚さt3および第2の厚さt4とを有する。厚さt3は、図9の厚さt1と同一または同様であってよく、厚さt4は、図9の厚さt2と同一または同様であってよい。一つの特定の実施形態では、厚さt3は、厚さt4のほぼ半分である。   Referring now to FIG. 9A, an alternative current conductor portion 270 suitable as an alternative to the current conductor portion 254 of FIG. 9 is a T-shaped cross section when viewed from the cross section taken along line 9A-9A of FIG. Have The T-shape has a surface 270a and a first thickness t3 and a second thickness t4. The thickness t3 may be the same as or similar to the thickness t1 in FIG. 9, and the thickness t4 may be the same as or similar to the thickness t2 in FIG. In one particular embodiment, thickness t3 is approximately half of thickness t4.

図9に関連して上述したのと実質的に同じ理由から、電流導体部270を通過する電流に応答して発生される磁場は、表面270aの近傍で、電流導体部270が均一な厚さt4を有する場合よりも高い。   For substantially the same reason as described above in connection with FIG. 9, the magnetic field generated in response to the current passing through the current conductor portion 270 is near the surface 270a and the current conductor portion 270 has a uniform thickness. Higher than in the case of having t4.

電流導体部254(図9)および電流導体部270は、それぞれ長方形断面およびT字形断面を有するものとして説明してきたが、上の利点を実現するために他の断面形状を提供することもできることを理解すべきである。   Although current conductor portion 254 (FIG. 9) and current conductor portion 270 have been described as having rectangular and T-shaped cross sections, respectively, other cross-sectional shapes can be provided to achieve the above advantages. Should be understood.

次に図10を参照すると、本発明による別の例示的な電流センサ300が、複数のリード線302a〜302hと、第1の電流導体部304aおよび第2の電流導体部304bの組合せとして提供される電流導体部304とを有するリードフレーム302(本明細書ではリードフレーム部とも呼ぶ)を含む。また、電流センサ300は、第1の表面306aと反対の第2の表面306bとを有する基板306を含む。基板306は、第1の表面306a内に拡散された、あるいは第1の表面306a上に配設された、または表面306aによって支持されたホール効果素子308を有する。基板306は、ホール効果素子308が電流導体部304の近傍にあるようにリードフレーム302上に配設される。例示される実施形態では、基板306は、集積回路パッケージ内に実装される基板の従来の
向きに関して上下逆の(すなわち、第1の表面306aが下に向けられる)向きを有する。基板306は、基板306の第1の表面306a上にはんだボール320a〜320eを有するフリップチップである。はんだボール320a〜320eは、リード線302e〜302hに直接結合する。絶縁層330が、基板306をリードフレーム302から離隔することができる。絶縁層330は、図1に示される絶縁体24と同一または同様であってよい。
Referring now to FIG. 10, another exemplary current sensor 300 according to the present invention is provided as a combination of a plurality of leads 302a-302h and a first current conductor portion 304a and a second current conductor portion 304b. And a lead frame 302 (also referred to herein as a lead frame portion). The current sensor 300 also includes a substrate 306 having a first surface 306a and a second surface 306b opposite to the first surface 306a. The substrate 306 has a Hall effect element 308 that is diffused into, or disposed on, or supported by the first surface 306a. The substrate 306 is disposed on the lead frame 302 so that the Hall effect element 308 is in the vicinity of the current conductor 304. In the illustrated embodiment, the substrate 306 has an upside down orientation (ie, the first surface 306a is directed downward) with respect to the conventional orientation of the substrate mounted in the integrated circuit package. The substrate 306 is a flip chip having solder balls 320a-320e on the first surface 306a of the substrate 306. Solder balls 320a-320e are directly coupled to lead wires 302e-302h. An insulating layer 330 can separate the substrate 306 from the lead frame 302. The insulating layer 330 may be the same as or similar to the insulator 24 shown in FIG.

一つの特定の実施形態では、第2の電流導体部304bが、基板306の第1の表面306a上に直接デポジットされ、絶縁層330は使用されない。第2の電流導体部304bは、スパッタリングおよび電気めっきを含めた、しかしそれらに限定されない任意の従来の集積回路デポジション被覆技法によってデポジットすることができる。他の実施形態では、第2の電流導体部304bは、基板306の第1の表面306aから離れた、しかし第1の表面306aの近位にある導電性構造であり、絶縁層330が、第2の電流導体部304bと基板306の第1の表面306aとの間に配設される。 One In a particular embodiment, the second current conductor portion 304b is, is first deposited directly onto the surface 306a of the substrate 306, the insulating layer 330 is not used. Second current conductor portion 304b is including sputtering and electroplating, but may be deposited by any conventional integrated circuit deposition coating techniques including, but not limited to. In other embodiments, the second current conductor portion 304b is a conductive structure that is remote from the first surface 306a of the substrate 306, but proximal to the first surface 306a, and the insulating layer 330 is the first The two current conductor portions 304 b and the first surface 306 a of the substrate 306 are disposed.

図示されるように、ホール効果素子308と、絶縁層330と、第2の電流導体部304bと、第1の電流導体部とが、基板306の下にあることを理解すべきである。
これらの構成では、ホール効果素子308は、電流導体部304の近傍に、電流導体部304に関して所定の位置に配設され、それにより、電流導体部304を通過する電流316によって発生される磁場は、ホール効果素子308の最大応答軸に実質的に整列された方向となる。ここでは、ホール効果素子308は、z軸326に整列された最大応答軸を有する。したがって、図示されるように、ホール効果素子308は、電流導体部304の横に(すなわち、y軸324に沿ってわずかにオフセットされて)配設され、ここで磁場は、z軸326に沿って向けられる。しかし、別の方向に整列された最大応答軸を有するホール効果素子、または別のタイプの磁場センサ、例えば磁気抵抗素子を、電流導体部304に関して別の位置に、例えば電流導体部304の(z軸326の方向で)上に配設することができる。
As shown, it should be understood that the Hall effect element 308, the insulating layer 330, the second current conductor portion 304 b, and the first current conductor portion are under the substrate 306.
In these configurations, the Hall effect element 308 is disposed in the vicinity of the current conductor portion 304 at a predetermined position with respect to the current conductor portion 304, so that the magnetic field generated by the current 316 passing through the current conductor portion 304 is , In a direction substantially aligned with the maximum response axis of the Hall effect element 308. Here, the Hall effect element 308 has a maximum response axis aligned with the z-axis 326. Thus, as shown, the Hall effect element 308 is disposed beside the current conductor portion 304 (ie, slightly offset along the y-axis 324), where the magnetic field is along the z-axis 326. Directed. However, a Hall effect element having a maximum response axis aligned in another direction, or another type of magnetic field sensor, such as a magnetoresistive element, may be placed in a different position with respect to the current conductor part 304, eg, (z (In the direction of the shaft 326).

絶縁層330は、介在絶縁層、または基板306と関連付けられた基板絶縁層であってよい。絶縁層330が介在絶縁層であるいくつかの実施形態では、絶縁層330は、セラミック介在絶縁層である。   Insulating layer 330 may be an intervening insulating layer or a substrate insulating layer associated with substrate 306. In some embodiments where the insulating layer 330 is an intervening insulating layer, the insulating layer 330 is a ceramic intervening insulating layer.

絶縁層330が、基板306と関連付けられた基板絶縁層であるいくつかの実施形態では、絶縁層330は、テーピングプロセスによって形成される基板テープ絶縁層である。基板テープ絶縁層は、ポリマーテープ、例えばKapton(商標)テープを含めた、しかしそれに限定されない基板に貼付されるテープから構成することができる。   In some embodiments, where the insulating layer 330 is a substrate insulating layer associated with the substrate 306, the insulating layer 330 is a substrate tape insulating layer formed by a taping process. The substrate tape insulating layer can be composed of a tape that is affixed to a substrate, including but not limited to a polymer tape, such as a Kapton ™ tape.

絶縁層330が、基板306と関連付けられた基板絶縁層であるさらに他の実施形態では、絶縁層330は、被覆プロセスによって形成される基板被覆絶縁層である。絶縁層330を形成するために使用される被覆プロセスは、スクリーン印刷プロセス、スピン被覆プロセス、スパッタリングプロセス、プラズマ強化化学蒸着(PECVD)プロセス、および低圧化学蒸着(LPCVD)プロセスを含めた、しかしそれらに限定されない様々なプロセスを含むことができる。スクリーン印刷プロセスは、ポリマーやセラミック材料を含めた、しかしそれらに限定されない様々な材料から構成される基板絶縁層をもたらすことができる。スピン被覆プロセスは、ポリマー、例えばポリイミド(例えば取引名Pyralin(商標))やビスベンゾシクロブテン(BCB)(例えば取引名Cyclotene(商標))を含めた、しかしそれらに限定されない様々な材料から構成される基板絶縁層をもたらすことができる。スパッタリングプロセスは、窒化物や酸化物を含めた、しかしそれらに限定されない様々な材料から構成される基板絶縁層をもたらすことができる。PECVDプロセスは、窒化物や酸化物を含めた、しかしそれらに限定されない様々な
材料から構成される基板絶縁層をもたらすことができる。LPCVDプロセスは、窒化物や酸化物を含めた、しかしそれらに限定されない様々な材料から構成される基板絶縁層をもたらすことができる。
In yet another embodiment where the insulating layer 330 is a substrate insulating layer associated with the substrate 306, the insulating layer 330 is a substrate covering insulating layer formed by a coating process. The coating processes used to form the insulating layer 330 include, but are not limited to, screen printing processes, spin coating processes, sputtering processes, plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) processes, and low pressure chemical vapor deposition (LPCVD) processes. A variety of processes can be included without limitation. The screen printing process can provide a substrate insulating layer composed of a variety of materials, including but not limited to polymers and ceramic materials. The spin coating process is composed of various materials including but not limited to polymers such as polyimide (eg trade name Pyralin ™) and bisbenzocyclobutene (BCB) (eg trade name Cyclotene ™). A substrate insulating layer can be provided. The sputtering process can result in a substrate insulating layer composed of a variety of materials, including but not limited to nitrides and oxides. The PECVD process can result in a substrate insulating layer composed of a variety of materials, including but not limited to nitrides and oxides. The LPCVD process can result in a substrate insulating layer composed of a variety of materials, including but not limited to nitrides and oxides.

絶縁層330が、基板306と関連付けられた基板絶縁層であるさらに他の実施形態では、絶縁層330は、酸化物生成プロセスによって形成される基板酸化物絶縁層である。基板酸化物絶縁層は、例えば二酸化珪素から構成することができる。   In still other embodiments, where the insulating layer 330 is a substrate insulating layer associated with the substrate 306, the insulating layer 330 is a substrate oxide insulating layer formed by an oxide generation process. The substrate oxide insulating layer can be made of, for example, silicon dioxide.

動作時、電流316は、並列に結合されたリード線302c、302d内に流れ、電流導体部304を通って、やはり並列に結合されたリード線302a、302bから出る。電流導体部304を通って流れる電流が磁場を発生し、この磁場がホール効果素子308によって感知される。上述したように、ホール効果素子308は、電流導体部304のごく近傍にあり、電流導体部304に関して所定の位置にあり、そこで、電流によって発生される磁場は、ホール効果素子308の最大応答軸に実質的に整列される。この配置は、ホール効果素子308からのより大きな電圧出力、したがってより大きな感度をもたらす。   In operation, current 316 flows in parallel coupled leads 302c, 302d and exits current conductor section 304 and also exits coupled leads 302a, 302b in parallel. The current flowing through the current conductor 304 generates a magnetic field that is sensed by the Hall effect element 308. As described above, the Hall effect element 308 is in the immediate vicinity of the current conductor 304 and is in a predetermined position with respect to the current conductor 304, where the magnetic field generated by the current is the maximum response axis of the Hall effect element 308. Substantially aligned. This arrangement results in a greater voltage output from the Hall effect element 308 and thus greater sensitivity.

この構成では、電流導体部304を通って流れる電流316が、それぞれ第1および第2の電流導体部304a、304bの間で分流することを理解されたい。
リードフレーム302は、回路板への表面実装に適した湾曲リード線302a〜302hを有するように示されているが、直線形状を有するスルーホールリード線を含めた、しかしそれに限定されない他の形状を有するリード線を有するリードフレームを使用することもできることを理解されたい。
In this configuration, it should be understood that the current 316 flowing through the current conductor portion 304 is shunted between the first and second current conductor portions 304a, 304b, respectively.
The lead frame 302 is shown as having curved lead wires 302a-302h suitable for surface mounting to a circuit board, but other shapes, including but not limited to through-hole leads having a linear shape, may be used. It should be understood that a lead frame having a lead can be used.

一つのホール効果素子308のみが基板306の第1の表面306a上に図示されているが、複数のホール効果素子を本発明と共に使用することもできることを理解されたい。また、他の回路、例えば増幅器を、基板306の第1および/または第2の表面306a、306b内に拡散する、あるいは表面306a、306bに結合する、または表面306a、306bによって支持することもできる。   Although only one Hall effect element 308 is shown on the first surface 306a of the substrate 306, it should be understood that multiple Hall effect elements may be used with the present invention. Also, other circuits, such as amplifiers, can be diffused into or coupled to the first and / or second surfaces 306a, 306b of the substrate 306 or supported by the surfaces 306a, 306b. .

5つのはんだボール320a〜320eが図示されているが、基板306を安定させるためのダミーのはんだボールを含めた任意の数のはんだボールを提供することができる。また、はんだボール320a〜320eが図示されているが、金隆起部(バンプ)、共晶または含鉛はんだ隆起部、無鉛はんだ隆起部、金スタッド隆起部、ポリマー導電性隆起部、異方性導電性ペースト、導電性フィルム、またはワイヤ結合部を含めた、しかしそれらに限定されない他の接続方法を使用することもできる。   Although five solder balls 320a-320e are shown, any number of solder balls can be provided, including dummy solder balls for stabilizing the substrate 306. Also shown are solder balls 320a-320e, but gold bumps, eutectic or lead-containing solder bumps, lead-free solder bumps, gold stud bumps, polymer conductive bumps, anisotropic conductive Other connection methods may also be used, including but not limited to conductive pastes, conductive films, or wire bonds.

基板306はフリップチップ構成で図示されているが、他の実施形態では、基板306は、従来のように実装することができ、集積回路300が回路板の最上面に実装されるときに、第1の表面306aが第2の表面306bの上になる。これらの構成では、それぞれ第1および第2の電流導体部304a、304bは、それぞれ基板306の第1の表面306aの上にある。   Although the substrate 306 is illustrated in a flip-chip configuration, in other embodiments, the substrate 306 can be mounted in a conventional manner, and when the integrated circuit 300 is mounted on the top surface of the circuit board, the first One surface 306a overlies the second surface 306b. In these configurations, the first and second current conductor portions 304a, 304b, respectively, are on the first surface 306a of the substrate 306, respectively.

次に図11を参照すると、図10の同様の要素が同様の参照符号を有して示され、図10の電流導体部304とは異なる電流導体部354を提供することによって、電流センサ350は、図10の電流センサ300とは異なる。電流導体部354は、第1の電流導体部354aと第2の電流導体部304bとを含む。第1の電流導体部354aを有するリードフレーム352は、図10の第1の電流導体部304aを有するリードフレーム302とは異なり、連続する電流経路を形成しない。この構成では、電流導体部354を通って流れる電流316が全て、第2の電流導体部304bを通過することを理解されたい。
したがって、電流316は、図10の電流センサ300におけるよりもホール効果素子308の近くを通り、より高い感度をもたらす。
Referring now to FIG. 11, like elements of FIG. 10 are shown with like reference numerals, providing a current conductor portion 354 that is different from the current conductor portion 304 of FIG. This is different from the current sensor 300 of FIG. The current conductor portion 354 includes a first current conductor portion 354a and a second current conductor portion 304b. Unlike the lead frame 302 having the first current conductor portion 304a shown in FIG. 10, the lead frame 352 having the first current conductor portion 354a does not form a continuous current path. In this configuration, it should be understood that all current 316 flowing through the current conductor portion 354 passes through the second current conductor portion 304b.
Thus, the current 316 passes closer to the Hall effect element 308 than in the current sensor 300 of FIG. 10, resulting in higher sensitivity.

図10に関連して上述したように、基板306はフリップチップ構成で図示されているが、他の実施形態では、基板306は、従来のように実装することができ、集積回路300が回路板の最上面に実装されるときに、第1の表面306aが第2の表面306bの上になる。これらの構成では、第1および第2の電流導体部354a、304bはそれぞれ、基板306の第1の表面306aの上にある。   As described above in connection with FIG. 10, the substrate 306 is illustrated in a flip chip configuration, but in other embodiments, the substrate 306 can be mounted conventionally and the integrated circuit 300 is a circuit board. When mounted on the top surface of the first surface 306a, the first surface 306a is over the second surface 306b. In these configurations, the first and second current conductor portions 354a, 304b are each on the first surface 306a of the substrate 306.

次に図12を参照すると、図10の同様の要素が同様の参照符号を有して示され、電流導体部304aのみを有する(すなわち、電流導体部304b(図10)が存在しない)電流導体部304を提供することによって、電流センサ400は、図10の電流センサ300とは異なる。第1の電流導体部304aを有するリードフレーム302は、連続する電流経路を形成する。この構成では、電流316が全て、電流導体部304aを通過することを理解されたい。   Referring now to FIG. 12, like elements of FIG. 10 are shown with like reference numerals and have only a current conductor portion 304a (ie, there is no current conductor portion 304b (FIG. 10)). By providing the portion 304, the current sensor 400 is different from the current sensor 300 of FIG. The lead frame 302 having the first current conductor portion 304a forms a continuous current path. It should be understood that in this configuration, all current 316 passes through current conductor portion 304a.

絶縁層402が、電流導体部304aと基板306の第1の表面306aとの間に配設される。いくつかの実施形態では、絶縁層402は、図10に関連して上述したように、介在絶縁層、例えばセラミック層である。他の実施形態では、絶縁層402は、基板と関連付けられた基板絶縁層である。他の実施形態では、絶縁層402は、リードフレーム302と関連付けられたリードフレーム絶縁層である。リードフレームと関連付けられるとき、絶縁層402は、y軸324に沿った方向で基板306を越えて延在することができることを理解されたい。この構成は、基板306の縁部がリードフレーム302に接触する可能性が低いので、向上された信頼性を提供する。   An insulating layer 402 is disposed between the current conductor portion 304 a and the first surface 306 a of the substrate 306. In some embodiments, the insulating layer 402 is an intervening insulating layer, such as a ceramic layer, as described above in connection with FIG. In other embodiments, the insulating layer 402 is a substrate insulating layer associated with the substrate. In other embodiments, the insulating layer 402 is a lead frame insulating layer associated with the lead frame 302. It should be understood that the insulating layer 402 can extend beyond the substrate 306 in a direction along the y-axis 324 when associated with a lead frame. This configuration provides improved reliability because the edge of the substrate 306 is unlikely to contact the lead frame 302.

介在絶縁層および基板絶縁層は、図10に関連して上述した。
絶縁層402が、リードフレーム302と関連付けられたリードフレーム絶縁層であるいくつかの実施形態では、絶縁層402は、テーピングプロセスによって形成されるリードフレームテープ絶縁層である。リードフレームテープ絶縁層は、ポリマーテープ、例えばKapton(商標)テープを含めた、しかしそれに限定されないリードフレームに貼付されるテープから構成することができる。
The intervening insulating layer and the substrate insulating layer have been described above with reference to FIG.
In some embodiments, where the insulating layer 402 is a lead frame insulating layer associated with the lead frame 302, the insulating layer 402 is a lead frame tape insulating layer formed by a taping process. The leadframe tape insulation layer can be composed of tape that is affixed to a leadframe, including but not limited to polymer tape, such as Kapton ™ tape.

絶縁層402が、リードフレーム302と関連付けられたリードフレーム絶縁層である他の実施形態では、絶縁層402は、溶射プロセスによって形成されるリードフレーム溶射絶縁層である。リードフレーム溶射絶縁層は、ポリマー、例えばポリイミド(例えば取引名Pyralin(商標))、ビスベンゾシクロブテン(BCB)(例えば取引名Cyclotene(商標))、溶射される誘電体(例えば取引名3MScotch(商標)絶縁スプレー1601およびLoctite(商標)ShadowCure(商標)3900)、または溶射セラミックコーティングを含めた、しかしそれらに限定されない様々な材料から構成することができる。   In other embodiments, where the insulating layer 402 is a lead frame insulating layer associated with the lead frame 302, the insulating layer 402 is a lead frame sprayed insulating layer formed by a thermal spray process. The lead frame sprayed insulation layer may be a polymer, such as polyimide (eg trade name Pyralin ™), bisbenzocyclobutene (BCB) (eg trade name Cyclotene ™), a thermally sprayed dielectric (eg trade name 3MScotch ™). ) Insulating spray 1601 and Loctite ™ ShadowCure ™ 3900), or sprayed ceramic coatings, but can be composed of a variety of materials.

絶縁層402が、リードフレーム302と関連付けられたリードフレーム絶縁層である他の実施形態では、絶縁層402は、被覆プロセスによって形成されるリードフレーム被覆絶縁層である。リードフレーム被覆絶縁層は、スクリーン印刷プロセスを含めた、しかしそれに限定されない様々なプロセスによって形成することができる。スクリーン印刷プロセスは、ポリマーやセラミックを含めた、しかしそれらに限定されない様々な材料から構成されるリードフレーム被覆絶縁層をもたらすことができる。さらに他の実施形態では、リードフレーム被覆絶縁層は、真空被覆プロセスによって形成される。これらの実施形態では、リードフレーム被覆絶縁層は、例えば、ポリマー、例えばパリレンから構成することができる。   In other embodiments, where the insulating layer 402 is a lead frame insulating layer associated with the lead frame 302, the insulating layer 402 is a lead frame covering insulating layer formed by a covering process. The leadframe coating insulation layer can be formed by a variety of processes, including but not limited to screen printing processes. The screen printing process can result in a leadframe covering insulation layer composed of a variety of materials including, but not limited to, polymers and ceramics. In yet another embodiment, the leadframe coating insulation layer is formed by a vacuum coating process. In these embodiments, the leadframe covering insulating layer can be composed of, for example, a polymer, such as parylene.

絶縁層402が、リードフレーム302と関連付けられたリードフレーム絶縁層であるさらに他の実施形態では、絶縁層402は、酸化物生成プロセスによって形成されるリードフレーム酸化物絶縁層である。リードフレーム酸化物絶縁層は、例えば、リードフレーム302上に被覆されるスパッタ酸化物層から構成することができる。   In yet another embodiment, where the insulating layer 402 is a lead frame insulating layer associated with the lead frame 302, the insulating layer 402 is a lead frame oxide insulating layer formed by an oxide generation process. The lead frame oxide insulating layer can be composed of, for example, a sputtered oxide layer coated on the lead frame 302.

次に図13を参照すると、別の例示的な電流センサ450が、複数のリード線452a〜452hと電流導体部454とを有するリードフレーム452(本明細書ではリードフレーム部とも呼ぶ)を含む。リードフレーム452は、図12のリードフレーム302と同様であってよい。また、電流センサ450は、第1の表面456aと反対の第2の表面456bとを有する基板456を含む。基板456は、第1の表面456a内に拡散された、あるいは第1の表面456a上に配設された、または第1の表面456aによって支持されたホール効果素子458を有する。基板456は、ホール効果素子458が電流導体部454の近傍にあるようにリードフレーム452上に配設される。例示される実施形態では、基板456は、集積回路パッケージ内に実装される基板の従来の向きに関して上下逆の(すなわち、第1の表面456aが下に向けられた)向きを有する。基板456は、基板456の第1の表面456a上にはんだボール460a〜460eを有するフリップチップとして構成される。はんだボール460a〜460eは、リード線452e〜452hに直接結合する。絶縁層470が、基板456をリードフレーム452から離隔することができる。絶縁層470は、図1に示される絶縁層24と同一または同様であってよい。絶縁層470は、表面456aのかなりの部分を覆うことができる。絶縁層は領域470a、470bを有し、それらの領域は、以下の図13Aの論述からより明確になるように、絶縁材料を欠いている。   Referring now to FIG. 13, another exemplary current sensor 450 includes a lead frame 452 (also referred to herein as a lead frame portion) having a plurality of lead wires 452a-452h and a current conductor portion 454. The lead frame 452 may be similar to the lead frame 302 of FIG. Current sensor 450 also includes a substrate 456 having a first surface 456a and a second surface 456b opposite to the first surface 456a. The substrate 456 includes a Hall effect element 458 that is diffused into, or disposed on, or supported by the first surface 456a. The substrate 456 is disposed on the lead frame 452 such that the Hall effect element 458 is in the vicinity of the current conductor 454. In the illustrated embodiment, the substrate 456 has an upside down orientation (ie, the first surface 456a is directed downward) with respect to the conventional orientation of the substrate mounted in the integrated circuit package. Substrate 456 is configured as a flip chip having solder balls 460a-460e on first surface 456a of substrate 456. Solder balls 460a-460e are directly coupled to lead wires 452e-452h. An insulating layer 470 can separate the substrate 456 from the lead frame 452. The insulating layer 470 may be the same as or similar to the insulating layer 24 shown in FIG. The insulating layer 470 can cover a substantial portion of the surface 456a. The insulating layer has regions 470a, 470b that lack insulating material, as will become more apparent from the discussion of FIG. 13A below.

電流導体部454は、二つの特徴部454a、454b(本明細書では隆起部(バンプ)とも呼ぶ)を有し、それらは、z軸476の方向で電流導体部454から上に延在する。隆起部454a、454bは、電流導体部454と基板456の第1の表面456aとの間の電気接点を提供するように選択された寸法および形状を有する。特に、二つの隆起部454a、454bは、基板456の第1の表面456a上の金属化特徴部(図示せず)への電気接点を提供し、やはり基板456の第1の表面456a上に配設された回路(図示せず)への電気的結合を提供する。電気的結合、およびそれに結合される回路は、以下に図15に関連してより詳細に論じる。   The current conductor portion 454 has two features 454a, 454b (also referred to herein as ridges (bumps)) that extend upward from the current conductor portion 454 in the direction of the z-axis 476. The raised portions 454a, 454b have dimensions and shapes selected to provide an electrical contact between the current conductor portion 454 and the first surface 456a of the substrate 456. In particular, the two ridges 454a, 454b provide electrical contacts to metallization features (not shown) on the first surface 456a of the substrate 456 and are also disposed on the first surface 456a of the substrate 456. Provide electrical coupling to installed circuitry (not shown). The electrical coupling and circuitry coupled thereto will be discussed in more detail below in connection with FIG.

第1の電流導体部454を有するリードフレーム452は、連続する電流経路を形成する。この構成では、電流466のほとんどが電流導体部454を通過し、いくらかの少量の電流466が、隆起部454aおよび454bを介して基板456上の上述した回路内に流れることを理解されたい。しかし、上述した回路は、わずかな量の電流466しか引き込まないように設計することができることを理解されたい。したがって、電流466のほとんど全てが電流導体部454を通過する。   The lead frame 452 having the first current conductor portion 454 forms a continuous current path. It should be understood that in this configuration, most of the current 466 passes through the current conductor 454 and some small amount of current 466 flows through the raised portions 454a and 454b into the circuit described above on the substrate 456. However, it should be understood that the circuit described above can be designed to draw only a small amount of current 466. Accordingly, almost all of the current 466 passes through the current conductor portion 454.

いくつかの実施形態では、絶縁層470は、介在絶縁層、例えばセラミック層である。他の実施形態では、絶縁層470は、基板と関連付けられた基板絶縁層である。他の実施形態では、絶縁層470は、リードフレーム452と関連付けられたリードフレーム絶縁層である。   In some embodiments, the insulating layer 470 is an intervening insulating layer, such as a ceramic layer. In other embodiments, the insulating layer 470 is a substrate insulating layer associated with the substrate. In other embodiments, the insulating layer 470 is a lead frame insulating layer associated with the lead frame 452.

介在絶縁層、基板絶縁層、およびリードフレーム絶縁層は、図10に関連して上述した。
隆起部454a、454bは、過電流状態を検出するように適合された、すなわち所定の電流レベルまたは電流しきい値よりも大きい電流導体部452aを通過する電流を検出するように適合された回路に電流導体部454を結合する接続を提供することができること
は、図13Aおよび図15に関連した以下の論述から明らかになろう。このために、回路は、所定の電圧降下または電圧しきい値よりも大きい第1の隆起部454aと第2の隆起部454bとの間の電圧差を検出することができる。
The intervening insulating layer, the substrate insulating layer, and the lead frame insulating layer have been described above with reference to FIG.
The ridges 454a, 454b are circuits adapted to detect an overcurrent condition, i.e., to detect a current passing through the current conductor 452a that is greater than a predetermined current level or current threshold. It will be apparent from the following discussion in conjunction with FIGS. 13A and 15 that a connection coupling the current conductor portion 454 can be provided. To this end, the circuit can detect a voltage difference between the first ridge 454a and the second ridge 454b that is greater than a predetermined voltage drop or voltage threshold.

一つの電流導体部454のみが図示されているが、第2の電流導体部を使用することもできることを理解すべきである。第2の電流導体部は、図10の第2の電流導体部304bと同一または同様であってよく、基板456の第1の表面456a上または絶縁体470上に同様に配設することができる。   Although only one current conductor portion 454 is shown, it should be understood that a second current conductor portion may be used. The second current conductor portion may be the same as or similar to the second current conductor portion 304b of FIG. 10, and may be similarly disposed on the first surface 456a of the substrate 456 or on the insulator 470. .

次に図13Aを参照すると、図13の同様の要素が同様の参照符号を有して示され、電流導体部454が隆起部454aを含み、この隆起部454aが、電流導体部454を、絶縁層470の領域470aを介して基板456の第1の表面456aに結合する。   Referring now to FIG. 13A, like elements of FIG. 13 are shown having like reference numerals, the current conductor portion 454 includes a raised portion 454a that insulates the current conductor portion 454. Bonding to first surface 456a of substrate 456 through region 470a of layer 470.

ホール効果素子458は、基板456の第1の表面456a内または第1の表面456a上に配設される。隆起部454aに電気的に結合される他の回路480を、基板456の第1の表面456a内または第1の表面456a上に配設することもできる。例示的な回路480は、以下に図15に関連して説明する。   The Hall effect element 458 is disposed in the first surface 456a of the substrate 456 or on the first surface 456a. Another circuit 480 that is electrically coupled to the ridge 454a may be disposed in or on the first surface 456a of the substrate 456. An exemplary circuit 480 is described below in connection with FIG.

他の実施形態では、隆起部454aに対する代替構成であることを示すためにここでは想像線として図示されているワイヤ結合部478などを使用して、電流導体部454を、絶縁層470の領域470aを介して基板456の第1の表面456aに結合することができる。図13の他方の隆起部454bの代わりに第2のワイヤ結合部(図示せず)を使用することができることを理解されたい。ワイヤ結合部478は、電流導体部454のすぐ上にある基板456に終端するように見えるが、終端は、電流導体部454の側部へのものであってもよいことを理解されたい。   In other embodiments, the current conductor portion 454 is connected to the region 470a of the insulating layer 470, such as by using a wire coupling portion 478, shown here as an imaginary line, to show an alternative configuration to the raised portion 454a. To the first surface 456a of the substrate 456. It should be understood that a second wire joint (not shown) can be used in place of the other ridge 454b of FIG. It will be appreciated that the wire coupling portion 478 appears to terminate in the substrate 456 immediately above the current conductor portion 454, but the termination may be to the side of the current conductor portion 454.

次に図14を参照すると、別の例示的な電流センサ500が、複数のリード線502a〜502hを有するリードフレーム502を含む。見やすくするためにリード線502cおよび502dのみが図示されているが、リード線502a〜502hの他のものは従来のリード線構成で構成されることを理解されたい。また、電流センサ500は、第1の表面506aと反対の第2の表面506bとを有する基板506を含む。基板506は、第1の表面506a内に拡散された、あるいは第1の表面506a上に配設されたホール効果素子508を有する。電流導体部504を有する導電性留め具503が、リード線502a〜502dに結合される。電流導体部504は、二つの隆起部504a、504bを含む。   Referring now to FIG. 14, another exemplary current sensor 500 includes a lead frame 502 having a plurality of leads 502a-502h. Although only leads 502c and 502d are shown for clarity, it should be understood that other leads 502a-502h are configured in a conventional lead configuration. The current sensor 500 also includes a substrate 506 having a first surface 506a and a second surface 506b opposite to the first surface 506a. The substrate 506 has a Hall effect element 508 diffused into the first surface 506a or disposed on the first surface 506a. A conductive fastener 503 having a current conductor portion 504 is coupled to the leads 502a-502d. The current conductor portion 504 includes two raised portions 504a and 504b.

導電性留め具503は、導電性留め具503が基板506の第1の表面506aの上にわたって延びるように湾曲部を有して形成される。基板506は、ホール効果素子508が電流導体部504の近傍にあるようにリードフレーム502上に配設される。例示される実施形態では、基板506は、第1の表面506aが上に向けられた従来の実装向きを有する。絶縁体514(本明細書では絶縁層とも呼ぶ)が、基板506を導電性留め具503から絶縁することができる。絶縁体514は、任意の絶縁材料を欠いている二つの領域514a、514bを有する。絶縁体514は、図1に示される絶縁体24と同様であってよい。   The conductive fastener 503 is formed with a curved portion such that the conductive fastener 503 extends over the first surface 506a of the substrate 506. The substrate 506 is disposed on the lead frame 502 such that the Hall effect element 508 is in the vicinity of the current conductor portion 504. In the illustrated embodiment, the substrate 506 has a conventional mounting orientation with the first surface 506a facing up. An insulator 514 (also referred to herein as an insulating layer) can insulate the substrate 506 from the conductive fastener 503. The insulator 514 has two regions 514a, 514b that are devoid of any insulating material. The insulator 514 may be similar to the insulator 24 shown in FIG.

集積回路500が組み立てられるとき、隆起部504a、504bは、絶縁材料を欠いている絶縁層514の領域514a、514bに位置を合わせ、その領域内に延在することを理解されたい。隆起部504a、504bは、電流導体部504と基板506の第1の表面506aとの間の電気接点を提供するように選択された寸法および形状を有する。特に、二つの隆起部504a、504bは、基板506の第1の表面506a上の金属化
特徴部(図示せず)への電気接点を提供し、やはり基板506の第1の表面506a上に配設された回路(図示せず)への電気的結合を提供する。電気的結合、およびそれに結合される回路は、以下に図15に関連してより詳細に論じる。
It should be understood that when the integrated circuit 500 is assembled, the ridges 504a, 504b align with and extend into the regions 514a, 514b of the insulating layer 514 that lack the insulating material. The raised portions 504a, 504b have dimensions and shapes selected to provide an electrical contact between the current conductor portion 504 and the first surface 506a of the substrate 506. In particular, the two ridges 504a, 504b provide electrical contacts to metallization features (not shown) on the first surface 506a of the substrate 506, and are also disposed on the first surface 506a of the substrate 506. Provide electrical coupling to installed circuitry (not shown). The electrical coupling and circuitry coupled thereto will be discussed in more detail below in connection with FIG.

隆起部540a、540bを含む電流導体部504を有する導電性留め具503が図示されているが、他の構成では、他の電流導体部、例えば二つの特徴部または隆起部を含む直線状の電流導体部を使用することもできることを理解されたい。   Although a conductive fastener 503 is illustrated having a current conductor portion 504 that includes ridges 540a, 540b, in other configurations, other current conductor portions, such as a linear current including two features or ridges. It should be understood that conductor portions can also be used.

一つの電流導体部504のみが図示されているが、第2の電流導体部を使用することもできることを理解すべきである。第2の電流導体部は、図10の第2の電流導体部304bと同一または同様であってよく、基板506の第1の表面506a上または絶縁体514上に同様に配設することができる。   Although only one current conductor portion 504 is shown, it should be understood that a second current conductor portion may be used. The second current conductor portion may be the same as or similar to the second current conductor portion 304b of FIG. 10, and may be similarly disposed on the first surface 506a of the substrate 506 or on the insulator 514. .

次に図14Aを参照すると、図14の同様の要素が同様の参照符号を有して示され、電流導体部504が隆起部504aを含み、この隆起部504aが、電流導体部504を、絶縁層514の領域514aを介して基板506に結合する。   Referring now to FIG. 14A, like elements of FIG. 14 are shown with like reference numerals, the current conductor portion 504 includes a raised portion 504a that insulates the current conductor portion 504. Coupled to substrate 506 through region 514 a of layer 514.

ホール効果素子508は、基板506の表面506a内または表面506a上に配設される。隆起部504aに電気的に結合される他の回路530を、基板506の基板506a内または表面506a上に配設することもできる。例示的な回路530は、以下に図15に関連して説明する。   The Hall effect element 508 is disposed in the surface 506a of the substrate 506 or on the surface 506a. Another circuit 530 that is electrically coupled to the raised portion 504a may be disposed in or on the substrate 506a of the substrate 506. An exemplary circuit 530 is described below in connection with FIG.

他の実施形態では、隆起部504aに対する代替構成であることを示すためにここでは想像線として図示されているワイヤ結合部532などを使用して、電流導体部504を、絶縁層514の領域514aを介して基板506の第1の表面506aに結合することができる。図14の他方の隆起部504bの代わりに第2のワイヤ結合部(図示せず)を使用することができることを理解されたい。ワイヤ結合部532は、電流導体部506の下にある基板506に終端するように見えるが、終端は、電流導体部506の側部へのものであってもよいことを理解されたい。   In other embodiments, the current conductor portion 504 is connected to the region 514a of the insulating layer 514, such as by using a wire joint 532, shown here as an imaginary line, to show an alternative configuration to the raised portion 504a. To the first surface 506a of the substrate 506. It should be understood that a second wire bond (not shown) can be used in place of the other ridge 504b of FIG. It should be understood that the wire coupling portion 532 appears to terminate in the substrate 506 under the current conductor portion 506, but the termination may be to the side of the current conductor portion 506.

次に図15を参照すると、例示的な回路550は、図13Aの電流センサ450で使用される回路480、または図14Aの電流センサ500で使用される回路530と同一または同様であってよい。回路550は、ホール効果素子552に結合することができる。ホール効果素子552は、図13および図13Aのホール効果素子458、または図14および図14Aのホール効果素子508と同一または同様であってよい。   Referring now to FIG. 15, exemplary circuit 550 may be the same as or similar to circuit 480 used in current sensor 450 of FIG. 13A or circuit 530 used in current sensor 500 of FIG. 14A. Circuit 550 can be coupled to Hall effect element 552. Hall effect element 552 may be the same as or similar to Hall effect element 458 of FIGS. 13 and 13A, or Hall effect element 508 of FIGS. 14 and 14A.

ホール効果素子552は、電流感知回路554に結合され、電流感知回路554は、動的オフセットキャンセル回路553を含む。動的オフセットキャンセル回路553は、ホール効果素子552と関連付けられたDC電圧誤差のためのDCオフセット調整を提供する。   Hall effect element 552 is coupled to current sensing circuit 554, which includes dynamic offset cancellation circuit 553. Dynamic offset cancellation circuit 553 provides DC offset adjustment for DC voltage errors associated with Hall effect element 552.

動的オフセットキャンセル回路553は、増幅器556に結合され、増幅器556は、オフセット調整されたホール出力信号を増幅する。増幅器556は、フィルタ558に結合され、フィルタ558は、低域フィルタ、高域フィルタ、帯域フィルタ、および/またはノッチフィルタであってよい。フィルタ558は、所望の応答時間と、ホール効果素子552、動的オフセットキャンセル回路553、および増幅器556と関連付けられた雑音の周波数スペクトルとを含めた、しかしそれらに限定されない様々な因子に従って選択される。一つの特定の実施形態では、フィルタ558は低域フィルタである。フィルタ558は、出力ドライバ560に結合され、出力ドライバ560は、他の電子回路(図示せず)への伝送のために、ノード572に電流センサ出力信号571を提供する。より完全
に以下に説明するように、電流センサ出力信号は、導体を通過する電流の大きさを示す。
Dynamic offset cancellation circuit 553 is coupled to amplifier 556, which amplifies the offset adjusted Hall output signal. Amplifier 556 is coupled to filter 558, which may be a low pass filter, a high pass filter, a band pass filter, and / or a notch filter. Filter 558 is selected according to various factors including, but not limited to, the desired response time and the frequency spectrum of noise associated with Hall effect element 552, dynamic offset cancellation circuit 553, and amplifier 556. . In one particular embodiment, filter 558 is a low pass filter. Filter 558 is coupled to output driver 560, which provides current sensor output signal 571 to node 572 for transmission to other electronic circuitry (not shown). As described more fully below, the current sensor output signal indicates the magnitude of the current passing through the conductor.

トリム制御回路564が、ノード570に結合される。ノード570は、トリム信号を受信することができ、この信号は、典型的には製造中、様々な電流センサパラメータをトリム(調整)できるようにする。このために、トリム制御回路564は、ノード570に印加される適切な信号によって使用可能(イネーブル)にされる一つまたは複数のカウンタを含む。   Trim control circuit 564 is coupled to node 570. Node 570 can receive a trim signal, which typically allows trimming of various current sensor parameters during manufacturing. To this end, trim control circuit 564 includes one or more counters that are enabled (enabled) by an appropriate signal applied to node 570.

トリム制御回路564は、静止出力電圧(Qvo)回路562に結合される。静止出力電圧は、ホール効果素子552によって感知された電流がゼロであるときの出力信号571の電圧である。名目上は、単極供給電圧では、QvoがVcc/2に等しい。適切なトリム信号をノード570を介してトリム制御回路564内部の第1のトリム制御回路カウンタに与え、トリム制御回路564が次いでQvo回路562内部のデジタルアナログ変換器(DAC)を制御することによって、Qvoをトリム(調整)できる。   Trim control circuit 564 is coupled to a quiescent output voltage (Qvo) circuit 562. The quiescent output voltage is the voltage of the output signal 571 when the current sensed by the Hall effect element 552 is zero. Nominally, for a unipolar supply voltage, Qvo is equal to Vcc / 2. By providing the appropriate trim signal via node 570 to a first trim control circuit counter within trim control circuit 564, trim control circuit 564 then controls a digital to analog converter (DAC) within Qvo circuit 562, Qvo can be trimmed (adjusted).

トリム制御回路564は、さらに、感度調整回路566に結合される。感度調整回路566は、電流センサ550の感度を調整するように増幅器556の利得の調整を可能にする。適切なトリム信号をノード570を介してトリム制御回路564内部の第2のトリム制御回路カウンタに与え、トリム制御回路564が次いで感度調整回路566内部のDACを制御することによって、感度をトリムすることができる。   Trim control circuit 564 is further coupled to sensitivity adjustment circuit 566. Sensitivity adjustment circuit 566 allows the gain of amplifier 556 to be adjusted to adjust the sensitivity of current sensor 550. Applying an appropriate trim signal to a second trim control circuit counter within trim control circuit 564 via node 570, which then trims the sensitivity by controlling the DAC within sensitivity adjustment circuit 566. Can do.

トリム制御回路564は、さらに、感度温度補償回路568に結合される。感度温度補償回路568は、温度による利得変動を補償するように増幅器556の利得の調整を可能にする。適切なトリム信号をノード570を介してトリム制御回路564内部の第3のトリム制御回路カウンタに与え、トリム制御回路564が次いで感度温度補償回路568内部のDACを制御することによって、感度温度補償回路568をトリムすることができる。   Trim control circuit 564 is further coupled to sensitivity temperature compensation circuit 568. Sensitivity temperature compensation circuit 568 allows adjustment of the gain of amplifier 556 to compensate for gain variations due to temperature. An appropriate trim signal is provided via node 570 to a third trim control circuit counter within trim control circuit 564, which then controls the DAC within sensitivity temperature compensation circuit 568, thereby providing a sensitivity temperature compensation circuit. 568 can be trimmed.

ホール効果素子552は、ここでは見やすくするためにホール効果素子552から離して図示されている電流導体部604の近傍に配置される。電流導体部604は、集積回路リード線の結合によって形成された図13および図13Aの電流導体部454、または図14および図14Aの電流導体部504と同一または同様であってよい。動作時、電流584は、電流センサ550のノード574に入り、電流導体部604を通過し、ノード576から出て、ここでスイッチ580および負荷586を通過し、その両方が集積回路550の外部にあってよい。スイッチ580は、例えばリレーまたは電界効果トランジスタ(FET)であってよい。   Here, the Hall effect element 552 is disposed in the vicinity of the current conductor portion 604 shown apart from the Hall effect element 552 for easy understanding. The current conductor portion 604 may be the same as or similar to the current conductor portion 454 of FIGS. 13 and 13A formed by coupling integrated circuit leads or the current conductor portion 504 of FIGS. 14 and 14A. In operation, current 584 enters node 574 of current sensor 550, passes through current conductor portion 604, exits node 576, where it passes through switch 580 and load 586, both of which are external to integrated circuit 550. It may be. The switch 580 may be a relay or a field effect transistor (FET), for example.

過電流状態、例えば短絡の検出時に電流584を停止することが望ましく、過電流状態は普通、望ましくなく高い電流584をもたらし、これは、集積回路550または他の関連の回路を損壊する可能性がある。このために、過電流回路590が、過電流状態を検出することができる。   It is desirable to stop the current 584 upon detection of an overcurrent condition, such as a short circuit, which typically results in an undesirably high current 584 that can damage the integrated circuit 550 or other related circuitry. is there. For this reason, the overcurrent circuit 590 can detect an overcurrent state.

過電流回路590は、電流センサ出力信号571を受信するように結合され、かつまた電圧基準592に結合された比較器591を含む。比較器591の出力593は、論理ゲート594に結合される。論理ゲート594は、ゲートドライバに結合され、ゲートドライバが、回路550のノード578に制御信号597を発生する。ノード578は、スイッチ580の制御ノードに結合され、ホール効果素子552による過電流状態の検出に応答してスイッチ580を開き、電流584を停止するように動作可能である。   Overcurrent circuit 590 includes a comparator 591 coupled to receive current sensor output signal 571 and also coupled to voltage reference 592. Output 593 of comparator 591 is coupled to logic gate 594. Logic gate 594 is coupled to a gate driver, which generates a control signal 597 at node 578 of circuit 550. Node 578 is coupled to the control node of switch 580 and is operable to open switch 580 and stop current 584 in response to detection of an overcurrent condition by Hall effect element 552.

また、論理ゲート594は、故障回路598に結合され、故障回路598は、集積回路
550のノード588に故障出力信号599を発生する。故障出力信号599は、過電流状態、電流584が所定の電流を超えていることを示す。
Logic gate 594 is also coupled to fault circuit 598, which generates fault output signal 599 at node 588 of integrated circuit 550. Fault output signal 599 indicates an overcurrent condition, current 584 exceeds a predetermined current.

増幅器591および電圧基準592は、電流センサ出力信号571に応答し、電流センサ出力信号571は、ホール効果素子552によって発生される信号に応答することを理解されたい。ホール効果素子552が、比較的遅い応答時間を有することを理解されたい。したがって、スイッチ580が、ホール効果素子552によって発生される信号に応答して上述した様式でのみ制御される場合、スイッチ580を開くことができるようになる前に、何らかの急速な過電流状態が集積回路550または負荷586を損壊する可能性がある。以下に述べる回路は、過電流状態へのより速い応答速度を提供することができる。   It should be understood that amplifier 591 and voltage reference 592 are responsive to current sensor output signal 571, which is responsive to the signal generated by Hall effect element 552. It should be understood that the Hall effect element 552 has a relatively slow response time. Thus, if the switch 580 is controlled only in the manner described above in response to the signal generated by the Hall effect element 552, any rapid overcurrent condition will accumulate before the switch 580 can be opened. Circuit 550 or load 586 can be damaged. The circuit described below can provide a faster response speed to overcurrent conditions.

比較器600および電圧基準602が、集積回路550の電流導体部604に結合される。上述したように、電流導体部604は、集積回路リード線の結合によって形成される、図13および図13Aの電流導体部454、および図14および図14Aの電流導体部504と同一または同様であってよい。電流導体部604から電圧基準602および比較器600への結合は、図13および図13Aの隆起部454aおよび454b、および図14および図14Aの隆起部504a、504bを含めた、しかしそれらに限定されない様々な形で提供することができる。   Comparator 600 and voltage reference 602 are coupled to current conductor portion 604 of integrated circuit 550. As described above, the current conductor portion 604 is the same as or similar to the current conductor portion 454 of FIGS. 13 and 13A and the current conductor portion 504 of FIGS. 14 and 14A formed by coupling integrated circuit leads. It's okay. The coupling from current conductor 604 to voltage reference 602 and comparator 600 includes, but is not limited to, ridges 454a and 454b in FIGS. 13 and 13A and ridges 504a and 504b in FIGS. 14 and 14A. It can be provided in various forms.

動作時、電流導体部604が関連の抵抗を有するので、電流584に応答して、電流導体部604の両端間に電圧が現れる。電流584が十分に大きいとき、比較器600の出力信号601が状態を変え、それにより制御信号597が状態を変え、スイッチ580を開き、電流を停止する。この様式でのスイッチ580の開放は、ホール効果素子592によって発生される信号に応答して比較器591のみによってスイッチ580が開かれる場合よりも急速に行われる。   In operation, a voltage appears across the current conductor 604 in response to the current 584 because the current conductor 604 has an associated resistance. When the current 584 is sufficiently large, the output signal 601 of the comparator 600 changes state, thereby causing the control signal 597 to change state, opening the switch 580 and stopping the current. The opening of switch 580 in this manner occurs more rapidly than when switch 580 is opened only by comparator 591 in response to a signal generated by Hall effect element 592.

図15に図示される回路550が、図13および図13Aの電流センサ450および図14および図14Aの電流センサ500のような電流センサと関連付けられて電流センサ内に集積されることがある例示的な回路を示すことは、当業者によって理解されよう。   15 may be integrated in a current sensor in association with a current sensor such as current sensor 450 of FIGS. 13 and 13A and current sensor 500 of FIGS. 14 and 14A. It will be understood by those skilled in the art that a simple circuit is shown.

他の実施形態では、スイッチ580を電流センサ回路550内に集積することもできることを理解されたい。
次に図16を参照すると、別の例示的な電流センサ650は、図14の電流センサ500と同様であり、しかし電流センサ650は、より完全に以下に説明する第2の基板655を含む。電流センサ650は、複数のリード線552a〜552hを有するリードフレーム652を含む。また、電流センサ650は、第1の表面656aと反対の第2の表面656bとを有する基板656を含む。電流導体部655を有する導電性留め具654が、リード線652a〜652dに結合される。電流導体部605は、二つの隆起部655a、655bを含む。磁場感知素子、例えば磁気抵抗素子(図示せず)が上に配設された第2の基板666を、電流導体部655の上に配設することができる。第2の基板666上の磁場感知素子は、ワイヤ結合部668a、668bなどを用いて、基板656の第1の表面656aに結合することができる。
It should be understood that in other embodiments, the switch 580 can be integrated within the current sensor circuit 550.
Referring now to FIG. 16, another exemplary current sensor 650 is similar to the current sensor 500 of FIG. 14, but the current sensor 650 includes a second substrate 655, described more fully below. Current sensor 650 includes a lead frame 652 having a plurality of lead wires 552a-552h. The current sensor 650 also includes a substrate 656 having a first surface 656a and a second surface 656b opposite to the first surface 656a. A conductive fastener 654 having a current conductor portion 655 is coupled to the leads 652a-652d. The current conductor portion 605 includes two raised portions 655a and 655b. A second substrate 666 having a magnetic field sensing element such as a magnetoresistive element (not shown) disposed thereon may be disposed on the current conductor portion 655. The magnetic field sensing element on the second substrate 666 can be coupled to the first surface 656a of the substrate 656 using wire couplings 668a, 668b, and the like.

導電性留め具654は、導電性留め具654が基板656の第1の表面656aの上にわたって延びるように湾曲部を有して形成される。例示される実施形態では、基板656は、第1の表面656aが上に向けられた従来の実装向きを有する。絶縁体664(本明細書では絶縁層とも呼ぶ)が、基板656を導電性留め具654から絶縁することができる。絶縁体664は、任意の絶縁材料を欠いている二つの領域664a、664bを有する。絶縁体664は、図1に示される絶縁体24と同様であってよい。   The conductive fastener 654 is formed with a curved portion such that the conductive fastener 654 extends over the first surface 656a of the substrate 656. In the illustrated embodiment, the substrate 656 has a conventional mounting orientation with the first surface 656a facing up. An insulator 664 (also referred to herein as an insulating layer) can insulate the substrate 656 from the conductive fastener 654. The insulator 664 has two regions 664a, 664b that are devoid of any insulating material. The insulator 664 may be similar to the insulator 24 shown in FIG.

組み立てられた形で図示されて、隆起部655a、655bは、絶縁材料を欠いている絶縁層664の領域664a、664bに位置を合わせ、その領域内に延在する。隆起部655a、655bは、電流導体部655と基板656の第1の表面656aとの間の電気接点を提供するように選択された寸法および形状を有する。特に、二つの隆起部655a、655bは、基板656の第1の表面656a上の金属化特徴部(図示せず)への電気接点を提供し、やはり基板656の第1の表面656上に配設された回路(図示せず)への電気的結合を提供する。電気的結合、およびそれに結合される回路は、図15に関連して上でより詳細に論じた。   Shown in assembled form, the ridges 655a, 655b align with and extend into regions 664a, 664b of the insulating layer 664 that lack the insulating material. The raised portions 655a, 655b have dimensions and shapes selected to provide an electrical contact between the current conductor portion 655 and the first surface 656a of the substrate 656. In particular, the two ridges 655 a, 655 b provide electrical contacts to metallization features (not shown) on the first surface 656 a of the substrate 656, and are also disposed on the first surface 656 of the substrate 656. Provide electrical coupling to installed circuitry (not shown). Electrical coupling, and the circuitry coupled thereto, was discussed in more detail above in connection with FIG.

隆起部655a、655bを含む電流導体部655を有する導体留め具654が図示されているが、他の構成では、他の電流導体部、例えば二つの特徴部または隆起部を含む直線状の電流導体部を使用することもできることを理解されたい。   Although a conductor fastener 654 is shown having a current conductor portion 655 that includes ridges 655a, 655b, in other configurations, other current conductor portions, eg, linear current conductors that include two features or ridges. It should be understood that parts may be used.

一つの電流導体部655のみが図示されているが、第2の電流導体部を使用することもできることを理解すべきである。第2の電流導体部は、図10の第2の電流導体部304bと同一または同様であってよく、基板656の第1の表面656a上または絶縁体664上に同様に配設することができる。   Although only one current conductor portion 655 is shown, it should be understood that a second current conductor portion may be used. The second current conductor portion may be the same as or similar to the second current conductor portion 304b of FIG. 10, and may be similarly disposed on the first surface 656a of the substrate 656 or on the insulator 664. .

電流センサ650は、二つの基板656、666を有する。電流センサ650は、二つの基板を提供することができ、それと共に、磁場感知素子の近傍に電流搬送導体、例えば655を提供し、かつ/または図15に関連して上述したような過電流回路を含む一構成を示すにすぎない。他の二つの基板構成が、名称「Arrangementsfor a
n Ingegrated Sensor」、代理人整理番号ALLEG−162PUS、発明者MichaelC.Doogue、Vijay Mangtani、およびWil
liamP.Taylor、出願日2006年1月20日の米国特許出願第11/335944号に記載されている。本明細書で説明する構成の任意のものを、電流搬送導体および/または過電流回路と組み合わせることができる。
The current sensor 650 has two substrates 656 and 666. The current sensor 650 can provide two substrates, along with providing a current carrying conductor, eg, 655, in the vicinity of the magnetic field sensing element and / or an overcurrent circuit as described above in connection with FIG. It shows only one configuration including The other two substrate configurations are named “Arrangementsfor a”.
n Integrated Sensor ", agent reference number ALLEG-162PUS, inventor Michael C. Doogue, Vijay Mangtani, and Wil
liamP. Taylor, U.S. Patent Application No. 11/335944, filed January 20, 2006. Any of the configurations described herein can be combined with current carrying conductors and / or overcurrent circuits.

図13および図13Aの電流センサ450、図14および図14Aの電流センサ500、図15の電流センサ550、および図16の電流センサ650は、それぞれ電流導体部454、504、604、および655と、図15の回路590によって表される関連の過電流回路との間の結合を有して図示されている。しかし、他の実施形態では、電流センサ450、500、550、および650と同様の他の電流センサが、電流導体部454、504、604、および655と関連の過電流回路との間の結合を有さず、すなわち隆起部またはワイヤ結合部を有さない。すなわち、図15の電流センサ550を参照すれば、図15の電流導体部604が、図15のノード574または576に結合しない。これらの実施形態では、過電流回路590(図15)は、ノード574および576に結合されたままであり、ノード574および576は、電流センサ550の他に別の回路要素に結合する。例えば、いくつかの構成では、ノード574、576は、回路板上の回路トレースに結合することができ、回路トレースは、電流導体部604(図15)を通過するのと同じ電流を搬送する。これらの構成では、過電流回路590は、回路トレースを通過する電流に起因する電圧降下を感知することが可能であり、本質的に同じ効果を提供し、過電流回路590は、上述したものと同様の機能を提供する。   The current sensor 450 in FIGS. 13 and 13A, the current sensor 500 in FIGS. 14 and 14A, the current sensor 550 in FIG. 15, and the current sensor 650 in FIG. 16 are respectively current conductor portions 454, 504, 604, and 655; Shown with coupling between the associated overcurrent circuit represented by circuit 590 of FIG. However, in other embodiments, other current sensors similar to current sensors 450, 500, 550, and 650 provide coupling between current conductors 454, 504, 604, and 655 and associated overcurrent circuits. No, i.e., no ridges or wire joints. That is, referring to the current sensor 550 of FIG. 15, the current conductor 604 of FIG. 15 is not coupled to the node 574 or 576 of FIG. In these embodiments, overcurrent circuit 590 (FIG. 15) remains coupled to nodes 574 and 576, and nodes 574 and 576 couple to other circuit elements in addition to current sensor 550. For example, in some configurations, nodes 574, 576 can be coupled to circuit traces on the circuit board, which carry the same current that passes through current conductor portion 604 (FIG. 15). In these configurations, the overcurrent circuit 590 can sense a voltage drop due to the current passing through the circuit trace, providing essentially the same effect, and the overcurrent circuit 590 is as described above. Provides similar functionality.

次に図17を参照すると、図10の同様の要素が同様の参照符号を有して示され、電流センサ700が、複数のリード線702a〜702hと分流導体部706とを有するリードフレーム702(本明細書ではリードフレーム部とも呼ぶ)を含む。また、電流センサ700は、図10の電流センサ300と同様に、第1の電流導体部304aおよび第2の電流導体部304bの組合せとして提供される電流導体部304を含む。したがって、リードフレーム702は、リード線702c、702dへのリード線702a、702bの
二つの結合を有する。第1の結合は、電流導体部304によって提供され、第2の結合は、分流導体部706によって提供される。
Referring now to FIG. 17, like elements of FIG. 10 are shown having like reference numerals, and the current sensor 700 has a lead frame 702 (having a plurality of lead wires 702a-702h and a shunt conductor portion 706). (Also referred to as a lead frame portion in this specification). Similarly to the current sensor 300 of FIG. 10, the current sensor 700 includes a current conductor portion 304 provided as a combination of the first current conductor portion 304a and the second current conductor portion 304b. Accordingly, the lead frame 702 has two couplings of the lead wires 702a, 702b to the lead wires 702c, 702d. The first coupling is provided by the current conductor portion 304 and the second coupling is provided by the shunt conductor portion 706.

いくつかの実施形態では、電流センサ700は、分流導体部706上に配設された第1の磁束収束器708と、一般に分流導体部706とホール効果素子308との間に配設される、磁気シールド(磁束シールドまたはシールド部)と呼ばれることもある第2の磁束収束器710とを含むこともできる。第1および第2の磁束収束器708、710はそれぞれ、フェライト、パーマロイ、またはニッケル鉄合金を含めた、しかしそれらに限定されない様々な軟磁性材料から構成することができる。磁束収束器708、710は、様々な形で適用することができる。例えば、磁束収束器は、被覆プロセスによってリードフレーム706上に被覆することができる。   In some embodiments, the current sensor 700 is disposed between a first flux concentrator 708 disposed on the shunt conductor portion 706 and generally between the shunt conductor portion 706 and the Hall effect element 308. It can also include a second magnetic flux concentrator 710, sometimes referred to as a magnetic shield (magnetic flux shield or shield portion). Each of the first and second magnetic flux concentrators 708, 710 can be constructed from a variety of soft magnetic materials, including but not limited to ferrite, permalloy, or nickel iron alloy. The magnetic flux concentrators 708 and 710 can be applied in various forms. For example, the flux concentrator can be coated on the lead frame 706 by a coating process.

磁束収束器708は、リードフレーム702上への直接の電気めっきプロセスによって、または分流導体部706に貼付されるKaptonテープの使用によって形成することができ、Kaptonテープの他方の側は、積層またはテーププロセスによって形成されることがある軟磁性材料を有することができる。シールド部710は、パッケージ組立て中に、リードフレーム内に配置し、接着剤で固定することができる。   The flux concentrator 708 can be formed by a direct electroplating process on the lead frame 702 or by the use of Kapton tape affixed to the shunt conductor portion 706, the other side of the Kapton tape being laminated or tape It may have a soft magnetic material that may be formed by the process. The shield part 710 can be disposed in the lead frame and fixed with an adhesive during package assembly.

動作時、電流導体部304は、電流316の一部のための電流経路を提供し、分流導体部706は、電流316の別の一部のための別の電流経路を提供する。電流センサ700は、電流導体部304を通って流れる電流316の一部に関係付けられる、電流316に対する感度を有することを理解されたい。その結果、電流センサ700は、分流導体部706を有さない図10の電流センサ300よりも、電流316に対して低い感度を有することができる。したがって、電流センサ700は、ホール効果素子308に結合された回路(例えば、図15の回路554)を飽和することなく、電流のより大きな範囲にわたって動作することができる。電流のより大きな範囲は、分流導体部706によって提供されるホール効果素子308に対する影響に起因するだけでなく、分流導体部706を有するリードフレーム702が、過熱せずにより大量の電流に耐えることが可能であることにも起因し、これは、リードフレーム702が、図10のリードフレーム302よりも低い全抵抗の電流経路を有することができるからである。   In operation, current conductor portion 304 provides a current path for a portion of current 316 and shunt conductor portion 706 provides another current path for another portion of current 316. It should be understood that the current sensor 700 is sensitive to the current 316 that is related to a portion of the current 316 that flows through the current conductor portion 304. As a result, the current sensor 700 can have a lower sensitivity to the current 316 than the current sensor 300 of FIG. 10 that does not have the shunt conductor portion 706. Thus, the current sensor 700 can operate over a larger range of current without saturating the circuit coupled to the Hall effect element 308 (eg, the circuit 554 of FIG. 15). The larger range of current is not only due to the effect on the Hall effect element 308 provided by the shunt conductor 706, but the lead frame 702 having the shunt conductor 706 can withstand a larger amount of current without overheating. This is also due to the fact that the lead frame 702 can have a lower total resistance current path than the lead frame 302 of FIG.

電流導体部304を通って流れる、および分流導体部706を通って流れる電流316の上述した一部は、上述した結果を提供する傾向があるが、分流導体部706を通って流れる電流316の一部は、ホール効果素子308の近くで磁場を発生し、この磁場は、電流導体部304を通って流れる電流316の一部によって発生される磁場と逆である傾向があることも理解されたい。いくつかの実施形態では、逆の磁場が望ましくないことがある。第1および第2の磁束収束器708、710はそれぞれ、分流導体部706を通って流れる電流316の一部によって発生される磁場を収束または遮蔽する傾向があり、したがって、第1および第2の磁束収束器708、710はそれぞれ、磁束をホール効果素子308から離して保つ傾向がある。   Although the aforementioned portion of the current 316 flowing through the current conductor portion 304 and flowing through the shunt conductor portion 706 tends to provide the results described above, a portion of the current 316 flowing through the shunt conductor portion 706 is shown. It should also be understood that the section generates a magnetic field near the Hall effect element 308, which tends to be opposite to the magnetic field generated by a portion of the current 316 flowing through the current conductor section 304. In some embodiments, a reverse magnetic field may be undesirable. Each of the first and second flux concentrators 708, 710 tends to converge or shield the magnetic field generated by a portion of the current 316 flowing through the shunt conductor portion 706, and thus the first and second Each of the flux concentrators 708, 710 tends to keep the magnetic flux away from the Hall effect element 308.

分流導体部706とホール効果素子308との間の離隔距離は、分流導体部706を通って流れる電流316の一部によって発生される磁場からのホール効果素子308に対する影響を制御および/または最小化するように選択することができる。より大きな離隔距離が、その影響を低減する傾向があることは理解されよう。   The separation distance between the shunt conductor 706 and the Hall effect element 308 controls and / or minimizes the effect on the Hall effect element 308 from the magnetic field generated by a portion of the current 316 flowing through the shunt conductor 706. You can choose to do. It will be appreciated that larger separation distances tend to reduce the effect.

分流導体部706の抵抗に影響を及ぼす形での分流導体部706の寸法設定は、電流導体部304を通って流れる電流316の一部よりも、分流導体部706を通って流れる電流316の一部に影響を及ぼすことができる。それゆえ、分流導体部706の寸法および形状は、選択された抵抗を提供するように選択することができる。したがって、寸法設定
は、電流センサ700の全体の感度に影響を及ぼすことができる。
The size setting of the shunt conductor portion 706 in a manner that affects the resistance of the shunt conductor portion 706 is such that the current 316 flowing through the shunt conductor portion 706 is more than the part of the current 316 flowing through the current conductor portion 304. Can affect the department. Therefore, the size and shape of the shunt conductor portion 706 can be selected to provide a selected resistance. Thus, the dimensioning can affect the overall sensitivity of the current sensor 700.

次に図18を参照すると、この図は、図8に示される要素と同様の要素を有し、電流センサ750が、リードフレーム752のリード線752a〜752d(752a、752bは図示しないが、それぞれ図7のリード線202a、202bと同様に構成される)に結合される電流導体部756を有する導電性留め具754を含む。また、導電性留め具754は、図17の分流導体部706に関連して上述したものと同様の機能および動作特性を有する分流導体部758を含む。また、集積回路750は、図17に関連して上述したそれぞれ第1および第2の磁束収束器758、760と同様の機能および動作特性を有するそれぞれ第1または第2の磁束収束器764、766の一つまたは複数を含むこともできる。   Referring now to FIG. 18, this figure has elements similar to those shown in FIG. 8, and the current sensor 750 has leads 752a-752d (752a, 752b not shown, respectively) of the lead frame 752, A conductive fastener 754 having a current conductor portion 756 coupled to the lead wires 202a, 202b of FIG. The conductive fastener 754 also includes a shunt conductor portion 758 having similar function and operating characteristics as described above with respect to the shunt conductor portion 706 of FIG. The integrated circuit 750 also has first and second flux concentrators 764, 766, respectively, that have similar functions and operating characteristics as the first and second flux concentrators 758, 760 described above with reference to FIG. One or more of the above can also be included.

図7および図8に関連して説明した構成と同様に、導電性留め具754は、基板760の第1の表面760aの上にわたって延びるように設計された形状を有する。磁場感知素子762、例えばホール効果素子は、基板760の第1の表面760a内または第1の表面760a上に配設される。   Similar to the configuration described in connection with FIGS. 7 and 8, the conductive fastener 754 has a shape designed to extend over the first surface 760a of the substrate 760. A magnetic field sensing element 762, eg, a Hall effect element, is disposed in or on the first surface 760a of the substrate 760.

図17および図18の分流導体部706、758および磁束収束器708、710、764、766は、特定の電流センサ構成と関連して図示されているが、同様の分流導体部および同様の関連の磁束収束器を、本明細書に示されるフリップチップまたは非フリップチップ構成の任意のものに含めることができることを理解されたい。   Although the shunt conductor portions 706, 758 and flux concentrators 708, 710, 764, 766 of FIGS. 17 and 18 are illustrated in connection with a particular current sensor configuration, similar shunt conductor portions and similar It should be understood that the flux concentrator can be included in any of the flip chip or non-flip chip configurations shown herein.

次に図19を参照すると、電磁シールド800は、図8の電磁シールド222と同一または同様であってよい。電磁シールド800は、ホール効果素子880を概して覆って配置され、ホール効果素子880は、図8のホール効果素子208と同一または同様であってよい。電磁シールド800は、スリット806によって離隔された第1の部分802と第2の部分804とを含む。第1の部分802と第2の部分804とは、導電領域808によって結合される。結合パッド810が、電磁シールド800をDC電圧、例えば接地電圧に結合することができるようにする。 Referring now to FIG. 19, the electromagnetic shield 800 may be the same as or similar to the electromagnetic shield 222 of FIG. The electromagnetic shield 800 is generally disposed over the Hall effect element 880, and the Hall effect element 880 may be the same as or similar to the Hall effect element 208 of FIG. The electromagnetic shield 800 includes a first portion 802 and a second portion 804 separated by a slit 806. First portion 802 and second portion 804 are coupled by conductive region 808. A coupling pad 810 allows the electromagnetic shield 800 to be coupled to a DC voltage, such as a ground voltage.

電磁シールド800は、電流センサ、例えば図8の電流センサ200の製造中に金属層から形成することができる。金属層は、様々な材料、例えばアルミニウム、銅、金、チタン、タングステン、クロム、またはニッケルから構成することができる。   The electromagnetic shield 800 can be formed from a metal layer during the manufacture of a current sensor, eg, the current sensor 200 of FIG. The metal layer can be composed of various materials, such as aluminum, copper, gold, titanium, tungsten, chromium, or nickel.

AC磁場(例えば電流搬送導体を取り囲む磁場)の存在時、電磁シールド800内にAC渦電流812、814を誘導することができることを理解されたい。渦電流812、814は、図示されるように閉ループとして発生する。閉ループ渦電流812、814は、電磁シールド800の近傍に、渦電流812、814を誘導する磁場よりも小さい磁場を生み出す傾向がある。したがって、電磁シールド800が、ホール効果素子、例えば図8のホール効果素子208の近くに配置された場合、ホール効果素子208は、普通受けるよりも小さい磁場を受け、あまり敏感でない電流センサをもたらし、これは一般に望ましくない。さらに、渦電流と関連付けられた磁場が均一でなく、またはホール効果素子208の周りで対称的でない場合、ホール効果素子208は、望ましくないオフセット電圧を発生することもある。   It should be understood that AC eddy currents 812, 814 can be induced in the electromagnetic shield 800 in the presence of an AC magnetic field (eg, a magnetic field surrounding a current carrying conductor). Eddy currents 812 and 814 are generated as a closed loop as shown. The closed loop eddy currents 812, 814 tend to produce a magnetic field in the vicinity of the electromagnetic shield 800 that is smaller than the magnetic field that induces the eddy currents 812, 814. Thus, if the electromagnetic shield 800 is placed close to a Hall effect element, eg, the Hall effect element 208 of FIG. 8, the Hall effect element 208 receives a smaller magnetic field than normally received, resulting in a less sensitive current sensor, This is generally undesirable. Further, if the magnetic field associated with the eddy current is not uniform or not symmetrical about the Hall effect element 208, the Hall effect element 208 may generate an undesirable offset voltage.

スリット806は、渦電流812、814が進む閉ループの寸法(すなわち、直径または経路長)を減少する傾向がある。渦電流812、814が進む閉ループの減少された寸法が、より小さな渦電流812、814と、渦電流を誘導したAC磁場に対するより小さな局所的影響とをもたらす。したがって、ホール効果素子816および電磁シールド800が使用される電流センサの感度は、より小さな渦電流によってあまり影響を受けない。   Slit 806 tends to reduce the size (ie, diameter or path length) of the closed loop through which eddy currents 812, 814 travel. The reduced size of the closed loop through which the eddy currents 812, 814 travel results in smaller eddy currents 812, 814 and a smaller local effect on the eddy current induced AC magnetic field. Thus, the sensitivity of current sensors in which Hall effect element 816 and electromagnetic shield 800 are used is not significantly affected by smaller eddy currents.

さらに、スリット806がホール効果素子816の上に延びるように、図示されるようにシールド800をホール効果素子816に関して配置することによって、渦電流812、814の任意の一つと関連付けられた磁場は、二つの方向でホール効果素子816を通過する磁場を生成する傾向があり、ホール効果素子816の領域の少なくとも一部の上で打ち消し合うことを理解されたい。   Further, by placing the shield 800 with respect to the Hall effect element 816 as shown so that the slit 806 extends above the Hall effect element 816, the magnetic field associated with any one of the eddy currents 812, 814 is It should be understood that there is a tendency to generate a magnetic field that passes through the Hall effect element 816 in two directions and cancels over at least a portion of the area of the Hall effect element 816.

次に図20を参照すると、電磁シールド850は、図8の電磁シールド222と同一または同様であってよい。電磁シールド850は、4つのスリット860〜866によって離隔される4つの部分852〜858を含む。4つの部分852〜858は、導電領域876によって結合される。結合パッド878が、電磁シールド850をDC電圧、例えば接地電圧に結合することができるようにする。 Referring now to FIG. 20, the electromagnetic shield 850 may be the same as or similar to the electromagnetic shield 222 of FIG. The electromagnetic shield 850 includes four portions 852-858 separated by four slits 860-866. The four portions 852-858 are joined by a conductive region 876. A coupling pad 878 allows the electromagnetic shield 850 to be coupled to a DC voltage, such as a ground voltage.

磁場の存在時、電磁シールド850内で渦電流868〜874を誘導することができることを理解されたい。4つのスリット860〜866により、閉ループ渦電流866〜874の寸法(すなわち、直径または経路長)は、図19の閉ループ渦電流812、814の寸法よりも小さくなる傾向があることを理解されたい。渦電流868〜874が進む閉ループの減少された寸法が、より小さな渦電流868〜874と、渦電流を誘導したAC磁場に対する、図19のシールド800に起因するものよりも小さな局所的影響とをもたらすことを理解されたい。したがって、ホール効果素子880および電磁シールド850が使用される電流センサの感度は、図19のシールド800を使用する電流センサの感度よりも、小さな渦電流868〜874によってあまり影響を及ぼされない。   It should be understood that eddy currents 868-874 can be induced in the electromagnetic shield 850 in the presence of a magnetic field. It should be understood that due to the four slits 860-866, the dimensions (ie, diameter or path length) of the closed loop eddy currents 866-874 tend to be smaller than the dimensions of the closed loop eddy currents 812, 814 of FIG. The reduced size of the closed loop through which the eddy currents 868-874 travel has a smaller eddy current 868-874 and a smaller local effect on the eddy current-induced AC magnetic field than that caused by the shield 800 of FIG. Please understand that it will bring. Accordingly, the sensitivity of the current sensor in which the Hall effect element 880 and the electromagnetic shield 850 are used is less affected by the small eddy currents 868-874 than the sensitivity of the current sensor using the shield 800 of FIG.

さらに、スリット860〜866がホール効果素子880の上に延びるように、図示されるようにシールド850をホール効果素子880に関して配置することによって、渦電流868〜874の任意の一つと関連付けられた磁場は、二つの方向でホール効果素子880を通過する磁場を生成する傾向があり、ホール効果素子880の領域の少なくとも一部の上で打ち消し合うことを理解されたい。   In addition, the magnetic field associated with any one of the eddy currents 868-874 by placing the shield 850 relative to the Hall effect element 880 as shown such that the slits 860-866 extend above the Hall effect element 880. Should tend to generate a magnetic field that passes through the Hall effect element 880 in two directions and cancels over at least a portion of the area of the Hall effect element 880.

次に図21を参照すると、電磁シールド900は、図8の電磁シールド222と同一または同様であってよい。電磁シールド900は、交互嵌合部材を有する遮蔽部902を含み、その部材902aは一例にすぎない。交互嵌合部材は、導体部904を介して結合パッド906に結合され、結合パッド906は、電磁シールド900をDC電圧、例えば接地電圧に結合することができるようにする。 Referring now to FIG. 21, the electromagnetic shield 900 may be the same as or similar to the electromagnetic shield 222 of FIG. The electromagnetic shield 900 includes a shield 902 having interdigitated members, the member 902a being just an example. The interdigitating member is coupled to the coupling pad 906 via the conductor portion 904, which allows the electromagnetic shield 900 to be coupled to a DC voltage, such as a ground voltage.

電磁シールド900は、図20の電磁シールド850または図19の電磁シールド800よりもはるかに小さな寸法(すなわち、経路長の直径)を有する渦電流をサポートすることができることを理解されたい。したがって、電磁シールド900は、上述したものよりも、電流センサの感度に対してはるかに小さな負の影響を有する傾向がある。   It should be understood that the electromagnetic shield 900 can support eddy currents having a much smaller dimension (ie, path length diameter) than the electromagnetic shield 850 of FIG. 20 or the electromagnetic shield 800 of FIG. Thus, the electromagnetic shield 900 tends to have a much smaller negative impact on the sensitivity of the current sensor than that described above.

次に図22を参照すると、電磁シールド950は、図8の電磁シールド222と同一または同様であってよい。電磁シールド950は、複数の部材を有する遮蔽部952を含み、その部材952aは一例にすぎない。部材は、導電部954を介して結合パッド956に結合され、結合パッド956は、電磁シールド950をDC電圧、例えば接地電圧に結合することができるようにする。 Referring now to FIG. 22, the electromagnetic shield 950 may be the same as or similar to the electromagnetic shield 222 of FIG. The electromagnetic shield 950 includes a shielding portion 952 having a plurality of members, and the member 952a is merely an example. The member is coupled to a coupling pad 956 via a conductive portion 954, which allows the electromagnetic shield 950 to be coupled to a DC voltage, such as a ground voltage.

次に図23を参照すると、電流センサ1000の一部分の側面図が、第1の表面1002aと第2の表面1002bとを有する基板1002を含む。ホール効果素子1004が、基板1002の第1の表面1002a上または表面1002a内に配設される。絶縁層
1006が、基板1002の第1の表面1002aの下に配設される。
Referring now to FIG. 23, a side view of a portion of the current sensor 1000 includes a substrate 1002 having a first surface 1002a and a second surface 1002b. A Hall effect element 1004 is disposed on or in the first surface 1002a of the substrate 1002. An insulating layer 1006 is disposed under the first surface 1002a of the substrate 1002.

電磁シールド1008が、絶縁層1006の下に配設される。電磁シールドは、それぞれ図19〜図22の電磁シールド800、850、900、950の一つと同一または同様であってよい。電磁シールド1008は、遮蔽部1010と、導体部1012と、結合パッド1014とを含み、これは、図19〜図22における同様の構造と同一または同様であってよい。結合ワイヤ1016、または別の結合方法が、結合パッド1014を基板1002の第1の表面1002a、特に基板1002の第1の基板1002a上の金属層(図示せず)に結合することができる。しかし、いくつかの実施形態では、そうではなく、この結合は、集積回路製造プロセスの一部、例えばベースプロセスとして被覆された金属層と、追加の金属層とによってなされ、その場合、結合ワイヤ1016は省くことができる。   An electromagnetic shield 1008 is disposed under the insulating layer 1006. The electromagnetic shield may be the same as or similar to one of the electromagnetic shields 800, 850, 900, 950 of FIGS. The electromagnetic shield 1008 includes a shield portion 1010, a conductor portion 1012, and a bond pad 1014, which may be the same as or similar to the similar structure in FIGS. A bond wire 1016, or another bonding method, can bond the bond pad 1014 to the first surface 1002a of the substrate 1002, in particular to a metal layer (not shown) on the first substrate 1002a of the substrate 1002. However, in some embodiments this is not the case, this bonding is made by a part of the integrated circuit manufacturing process, for example a metal layer coated as a base process and an additional metal layer, in which case the bonding wire 1016 Can be omitted.

また、電流センサ1000は、電磁シールド1008の下に配設された別の絶縁層1018を含むこともできる。さらに、電流センサ1000は、絶縁層1018の下に配設された電流導体部1020を含むことができる。電流導体部1020は、本明細書で説明した様々な電流導体部、例えば図11の電流導体部304bと同一または同様であってよい。   The current sensor 1000 can also include another insulating layer 1018 disposed below the electromagnetic shield 1008. Furthermore, the current sensor 1000 can include a current conductor portion 1020 disposed under the insulating layer 1018. The current conductor portion 1020 may be the same as or similar to the various current conductor portions described herein, eg, the current conductor portion 304b of FIG.

電流センサ1000はフリップチップ構成で図示されているが、他の実施形態では、構造を逆さにして、非フリップチップ構成を提供することができる。
本発明の好ましい実施形態を説明してきたが、ここで、それらの概念を組み込む他の実施形態が使用されることもあることは当業者に明らかであろう。したがって、これらの実施形態は、開示された実施形態に限定されるべきではなく、頭記の特許請求の範囲の精神および範囲によってのみ限定されるべきであると考えられる。本明細書で引用した参考文献は全て、それらの全体を参照として本明細書に組み込む。
Although the current sensor 1000 is illustrated in a flip chip configuration, in other embodiments, the structure can be inverted to provide a non-flip chip configuration.
Having described preferred embodiments of the invention, it will now be apparent to those skilled in the art that other embodiments incorporating their concepts may be used. Accordingly, these embodiments should not be limited to the disclosed embodiments, but should be limited only by the spirit and scope of the appended claims. All references cited herein are hereby incorporated by reference in their entirety.

Claims (7)

集積回路において、
複数のリード線を有するリードフレーム部と、
前記複数のリード線のうちの少なくとも二つを備える第1の電流導体部と、
第1の表面および反対の第2の表面を有する基板であって、前記第1の表面が前記第1の電流導体部の近位にあり、前記第2の表面が前記第1の電流導体部から遠位にある、基板と、
前記基板の前記第1の表面上に配設された一つまたは複数の磁場変換器と、
前記基板の前記第1の表面に集積回路デポジション技法を使ってデポジットされた第2の電流導体部であって、前記一つまたは複数の磁場変換器の近位に配設され、前記第1の電流導体部に電気的に結合された、第2の電流導体部とを備える、集積回路。
In integrated circuits,
A lead frame portion having a plurality of lead wires;
A first current conductor portion comprising at least two of the plurality of lead wires;
A substrate having a first surface and an opposite second surface, wherein the first surface is proximal to the first current conductor portion, and the second surface is the first current conductor portion. A substrate distal to the substrate,
One or more magnetic field transducers disposed on the first surface of the substrate;
A second current conductor deposited on the first surface of the substrate using an integrated circuit deposition technique and disposed proximal to the one or more magnetic field transducers; And a second current conductor portion electrically coupled to the current conductor portion of the integrated circuit.
前記複数のリード線のうちの前記少なくとも二つが、前記リードフレーム部を通る電流経路を提供する、請求項1に記載の集積回路。   The integrated circuit of claim 1, wherein the at least two of the plurality of leads provide a current path through the lead frame portion. 前記複数のリード線のうちの前記少なくとも二つ、前記第2の電流導体部とが、電流経路を提供する、請求項1に記載の集積回路。 And at least two of the plurality of lead wires, and the second current conductor portion provides a current path, an integrated circuit according to claim 1. 前記基板が、前記第1の電流導体部の上方にある前記基板の前記第1の表面と、前記第1の表面の上方にある前記第2の表面とを有して配設される、請求項1に記載の集積回路。   The substrate is disposed having the first surface of the substrate above the first current conductor portion and the second surface above the first surface. The integrated circuit according to Item 1. 前記第の電流導体部の少なくとも一部分が、T字形断面を有する、請求項1に記載の集積回路。 The integrated circuit of claim 1, wherein at least a portion of the first current conductor portion has a T-shaped cross section. 前記第の電流導体部の少なくとも一部分が、前記リードフレーム部の厚さよりも小さい厚さを有する長方形断面を有する、請求項1に記載の集積回路。 The integrated circuit of claim 1, wherein at least a portion of the first current conductor portion has a rectangular cross section having a thickness that is less than a thickness of the lead frame portion. 前記基板に配設された少なくとも一つの増幅器をさらに備える、請求項1に記載の集積回路。   The integrated circuit of claim 1, further comprising at least one amplifier disposed on the substrate.
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