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JP5108343B2 - Optical recording medium - Google Patents

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JP5108343B2 JP2007070060A JP2007070060A JP5108343B2 JP 5108343 B2 JP5108343 B2 JP 5108343B2 JP 2007070060 A JP2007070060 A JP 2007070060A JP 2007070060 A JP2007070060 A JP 2007070060A JP 5108343 B2 JP5108343 B2 JP 5108343B2
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Description

本発明はスタンパを使用して作製された光記録媒体(光情報記録媒体)に関する。本発明の応用分野としては、例えばDVD+Rディスク、DVD−Rディスク、HD DVD−Rディスク、BD−Rディスクが挙げられる。
The present invention relates to an optical recording medium which is manufactured using a stun path (optical information recording medium). Application fields of the present invention include, for example, DVD + R discs, DVD-R discs, HD DVD-R discs, and BD-R discs.

光記録媒体として、例えばCD(Compact Disc)、MD(Mini Disc)、DVD(Digital Versatile Disc)など各種の記録媒体が提案されている。これらの光記録媒体は、一般的にPC(ポリカーボネート)等より成る光透過性の基板上に、例えば記録トラックに沿ってグルーブ(案内溝)、ピットなどが形成され、この上に例えば反射層、各種の記録層、保護層などが形成された構成とされる。   Various types of recording media such as CD (Compact Disc), MD (Mini Disc), and DVD (Digital Versatile Disc) have been proposed as optical recording media. These optical recording media are generally formed on a light-transmitting substrate made of PC (polycarbonate) or the like, for example, grooves (guide grooves), pits, etc. along the recording track, on which, for example, a reflective layer, Various recording layers, protective layers, and the like are formed.

ところで、本発明が関係する先行発明として、下記特許文献1〜5に記載されたものがある。特に、特許文献5には、ランドプリピットがグルーブの一部である蛇行部分によって構成されている光記録媒体が開示されている。   By the way, as a prior invention related to the present invention, there are those described in Patent Documents 1 to 5 below. In particular, Patent Document 5 discloses an optical recording medium in which a land pre-pit is constituted by a meandering portion that is a part of a groove.

従来より色素材料を記録層とするDVD−Rなどにおいては、グルーブのウォブル振幅に対応してランド部にピットを形成するいわゆるランドプリピット(LPP:Land Pre Pit)を設け、このLPP(ランドプリピット)によりデータ記録時の高精度の位置決めを行うとか、記録アドレスやその他の記録に必要な情報の取得を行うフォーマットを採用している(例えば特許文献1及び特許文献2参照)。   Conventionally, in a DVD-R or the like using a dye material as a recording layer, a so-called land pre-pit (LPP) for forming a pit in the land portion corresponding to the wobble amplitude of the groove is provided. A format that performs high-precision positioning at the time of data recording using pits) or acquires a recording address or other information necessary for recording is employed (see, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2).

ところが、DVD−Rにおいては、このLPPを設けることによるPI(Parity of Inner-code)エラーの悪化が問題となっている。これに対する対策として、例えばLPPの形状を特異的に微小化するフォーマットも考えられるが、LPP自体の変調度(LPPb)の低下、またAR特性(記録後再生波形特性)の安定性能の確保が困難となる。   However, in DVD-R, the deterioration of PI (Parity of Inner-code) error due to the provision of this LPP is a problem. As a countermeasure against this, for example, a format that specifically reduces the shape of the LPP is conceivable, but it is difficult to reduce the modulation degree (LPPb) of the LPP itself and to ensure the stable performance of the AR characteristics (reproduced waveform characteristics after recording). It becomes.

ここで図1〜図3に、光記録媒体の基板に形成されたランドプリピット20の形状を概略的に示した模式図を示す。なお、図1〜図3においては、図面の見やすさを考慮して、グルーブがウォブリングしている様子は省略され、直線的に描かれている。
図1は、ランドプリピット20をランド11の略中央に独立して形成した例、
図2は、ランドプリピット20を内周側にずらして形成した例、
図3は、はランドプリピット20を、グルーブ12の一部である蛇行部分によって構成した例である。
各例は特許文献3(上記図1の場合)、特許文献4(上記図2の場合)、特許文献5(上記図3の場合)に示されている。
1 to 3 are schematic views schematically showing the shape of the land pre-pit 20 formed on the substrate of the optical recording medium. In FIG. 1 to FIG. 3, the appearance of the wobbling of the groove is omitted and drawn linearly in consideration of the visibility of the drawings.
FIG. 1 shows an example in which the land pre-pit 20 is formed independently at the approximate center of the land 11.
FIG. 2 shows an example in which the land pre-pit 20 is formed so as to be shifted to the inner peripheral side.
FIG. 3 shows an example in which the land pre-pit 20 is constituted by a meandering portion which is a part of the groove 12.
Examples are shown in Patent Document 3 (in the case of FIG. 1), Patent Document 4 (in the case of FIG. 2), and Patent Document 5 (in the case of FIG. 3).

ランドプリピット20の大きさについては、図1〜図3に示すようにトラック方向のランドプリピットの長さをLw、トラック方向に垂直な方向のランドプリピットの長さをAwとしている。
また一般的に、図1のようにランドプリピットがランド11の略中央に独立して形成された基板を製造する場合や、図2のように、ランドプリピットを内周側にずらして形成された基板を製造する場合、用いる光記録媒体用原盤(スタンパ)は、グルーブを形成するためのレーザビームとは別に、ランドプリピットを形成するためのレーザビームを用いてカッティングされたフォトレジスト原盤の転写によって作製される。このように、グルーブ形成用のレーザビームとランドプリピット形成用のレーザビームの、2つのレーザビームを用いてフォトレジスト原盤をカッティングし、光記録媒体用原盤を作製する方法は「2ビームカッティング法」と呼ばれることがある。
With respect to the size of the land prepit 20, as shown in FIGS. 1 to 3, the length of the land prepit in the track direction is Lw, and the length of the land prepit in the direction perpendicular to the track direction is Aw.
In general, when manufacturing a substrate in which land pre-pits are independently formed at substantially the center of the land 11 as shown in FIG. 1 or by shifting the land pre-pits toward the inner peripheral side as shown in FIG. In the case of manufacturing a manufactured substrate, an optical recording medium master (stamper) used is a photoresist master that is cut using a laser beam for forming land prepits separately from a laser beam for forming grooves. It is produced by transcription. As described above, a method for producing a master for an optical recording medium by cutting a photoresist master using two laser beams, ie, a laser beam for forming a groove and a laser beam for forming a land prepit, is described in “Two-beam cutting method”. Sometimes called.

これに対し、図3に示すように、ランドプリピットをグルーブの一部である蛇行部分によって構成された基板を製造する場合、基板の製造に用いる光記録媒体用原盤は、単一のレーザビームを用いてカッティングされたフォトレジスト原盤の転写によって作製される。この場合、ランドプリピットを形成すべき部分においては、レーザビームの照射位置が外周側に大きくずらされ、これによりグルーブの一部である蛇行部分をランドプリピットとすることができる。このように、単一のレーザビームを用いてフォトレジスト原盤をカッティングし、光記録媒体用原盤を作製する方法は、「1ビームカッティング法」と呼ばれることがある。   On the other hand, as shown in FIG. 3, when manufacturing a substrate in which land prepits are formed by meandering portions that are a part of a groove, an optical recording medium master used for manufacturing the substrate has a single laser beam. It is produced by transfer of a photoresist master disc cut using the. In this case, in the portion where the land pre-pit is to be formed, the irradiation position of the laser beam is largely shifted to the outer peripheral side, whereby the meandering portion which is a part of the groove can be made the land pre-pit. In this way, a method of cutting a photoresist master using a single laser beam to produce an optical recording medium master is sometimes referred to as a “one-beam cutting method”.

このように、ランドプリピットを備える光記録媒体を製造する場合、その基板の製造に用いる光記録媒体用原盤は、2ビームカッティング法又は1ビームカッティング法によって作製することが可能である。こうした光記録媒体用原盤(スタンパ)から射出成形によって成形された基板上に記録層、反射層を作製し光情報記録媒体を作製する。   Thus, when manufacturing an optical recording medium having land pre-pits, an optical recording medium master used for manufacturing the substrate can be manufactured by a two-beam cutting method or a one-beam cutting method. A recording layer and a reflective layer are produced on a substrate formed by injection molding from such an optical recording medium master (stamper) to produce an optical information recording medium.

ここで、基板成形時、外周部の転写性が十分でない場合が多い。この場合において、外周部での溝特性等の項目で規格外れになる可能性がある。特に1ビームカッティング法によって蛇行形状のランドプリピットが形成されたスタンパを用いて基板を成形した場合、スタンパ上で内周部のランドプリピットと外周部のランドプリピットとを同一の長さに形成しておくと、基板上で内周部と外周部においてランドプリピットのLw(トラック方向の長さ)を比較した時に、外周部では長さが短くなり、外周部でのLPP信号が小さくなってアドレス位置の読み取り等で不具合を生じやすくなる。   Here, when the substrate is molded, the transferability of the outer peripheral portion is often insufficient. In this case, there is a possibility of being out of specification in terms of groove characteristics and the like at the outer periphery. In particular, when a substrate is formed using a stamper in which meandering land prepits are formed by a one-beam cutting method, the inner land prepits and the outer land prepits have the same length on the stamper. If formed, when the land prepit Lw (length in the track direction) is compared between the inner peripheral portion and the outer peripheral portion on the substrate, the length becomes shorter at the outer peripheral portion, and the LPP signal at the outer peripheral portion becomes smaller. Therefore, troubles are likely to occur when reading the address position.

特開2000−353342号公報JP 2000-353342 A 特開2001−291283号公報JP 2001-291283 A 特開2002−32918号公報JP 2002-32918 A 特開2001−118288号公報JP 2001-118288 A 特開2002−25121号公報JP 2002-25121 A

本発明は、従来技術の上記事情に鑑みなされたもので、その主な目的はLPP信号、ジッターやPIエラー等の種々のパラメータを総合的に満足する光記録媒体を提供することである。
したがって、本発明の他の目的は、このような光記録媒体を製造することができるスタンパを射出成形に用いて得られる基板による光記録媒体の製造方法を提供することである。
The present invention has been made in view of the above circumstances of the prior art, and its main object is to provide an optical recording medium that comprehensively satisfies various parameters such as LPP signal, jitter, and PI error.
Accordingly, another object of the present invention is to provide a process for producing an optical recording medium by the substrate obtained by using the injection molding stun path capable of producing such an optical recording medium.

上記課題は、次の発明によって解決される。 The above problem is solved by the following inventions.

ォブルグルーブ及びランドプリピットが形成された基板を有する光記録媒体を製造するためのスタンパであって、その表面に少なくとも前記ウォブルグルーブ及び前記ランドプリピットが形成され、前記ランドプリピットが前記ウォブルグルーブの一部である蛇行部分によって構成されており、前記ランドプリピットの前記ウォブルグルーブに沿う方向の長さをLwとしたときに内周部から外周部に向かって、長さLwが長くなっているスタンパを用いて射出成形した基板と、前記基板上に設けられ、下記化学式(1)で表されるスクアリリウム色素と下記化学式(2)で表されるホルマザンキレート色素を7:3の混合割合で含有する記録層と、を備え、前記スタンパに形成された前記ランドプリピットにおいて内周部(R=24mm)での前記ウォブルグルーブに沿う方向の長さをLw_inとし、外周部(R=58mm)での前記ウォブルグルーブに沿う方向の長さをLw_outとしたときに、Lw_outのLw_inに対する比:Lw_out/Lw_inが1.10以上、1.30以下であり、且つ、(Lw_out+Lw_in)/2が850nm以上、1150nm以下であり、前記スタンパを用いて射出成形した基板は、前記ランドプリピットにおいて内周部(R=24mm)での前記ウォブルグルーブに沿う方向の長さをLw_inとし、外周部(R=58mm)での前記ウォブルグルーブに沿う方向の長さをLw_outとしたときに、Lw_outのLw_inに対する比:Lw_out/Lw_inが1.00以上、1.10以下であり、且つ、(Lw_out+Lw_in)/2が700nm以上、1150nm以下であることを特徴とする光記録媒体。 A stamper for producing an optical recording medium having a substrate c Oburugurubu and land pre-pits are formed, at least the wobble groove and the land pre-pits are formed on the surface thereof, said land prepits said wobble groove The length Lw becomes longer from the inner periphery to the outer periphery when the length of the land prepit in the direction along the wobble groove is Lw. A substrate formed by injection molding using a stamper, a squarylium dye represented by the following chemical formula (1) and a formazan chelate dye represented by the following chemical formula (2) at a mixing ratio of 7: 3. an inner peripheral portion in the land pre-pit and a recording layer containing, formed on said stamper (R = 24 mm) Where Lw_in is the length in the direction along the wobble groove and Lw_out is the length in the direction along the wobble groove at the outer periphery (R = 58 mm): Lw_out / Lw_in is 1 .10 or more and 1.30 or less, and (Lw_out + Lw_in) / 2 is 850 nm or more and 1150 nm or less, and the substrate injection-molded using the stamper has an inner peripheral portion (R = 24 mm) in the land prepit. Lw_out is a ratio of Lw_out to Lw_in, where Lw_in is the length in the direction along the wobble groove at L), and Lw_out is the length along the wobble groove in the outer periphery (R = 58 mm): Lw_out / Lw_in Is 1.00 or more and 1.10 or less, and (Lw_out + Lw_in ) / 2 is 700 nm or more and 1150 nm or less .

Figure 0005108343
Figure 0005108343

Figure 0005108343
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本発明によれば、例えばDVD−Rとして、ジッター8%未満、PIエラー280未満、BLER5%未満、AR特性15以上のものが容易に、かつ歩留まりよく製造することができる。   According to the present invention, for example, a DVD-R having a jitter of less than 8%, a PI error of less than 280, a BLER of less than 5%, and an AR characteristic of 15 or more can be easily manufactured with good yield.

以下、本発明の実施形態について説明する。
なお、本発明は以下の実施形態や実施例に限定されるものではなく、その他記録層材料、構成などの異なる光記録媒体及び光記録媒体製造用スタンパに適用することが可能であり、ランドプリピットを設ける各種の光記録媒体において、本発明構成を逸脱しない範囲で種々の変形、変更が可能である。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.
The present invention is not limited to the following embodiments and examples, and can be applied to other optical recording media having different recording layer materials and configurations, and stampers for manufacturing optical recording media. Various modifications and changes can be made to various optical recording media provided with pits without departing from the configuration of the present invention.

<スタンパの製造工程>
まず、本発明で用いるスタンパの製造工程の一例について、図面を参照して説明する。図4(A)〜(F)は、従来と同様の光記録媒体製造用スタンパの製造工程を示す工程図である。
まず、図4(A)に示すように、表面洗浄されたガラス等より成る原盤用の基板61に、図示しないがカップリング剤等を介してフォトレジスト等の感光層62を塗布する。この感光層62に対して後述する図5に示す光学記録装置を用いて、情報に対応するピット形状、または光記録媒体にグルーブを設ける場合はその形状に対応する露光を行って潜像を形成し、現像工程を経てず4(B)に示すように、所定の情報信号に対応するグルーブパターン63a及びランドプリピットパターン63bを形成し、いわゆるガラス原盤を作製する。
<Stamper manufacturing process>
First, an example of a stamper manufacturing process used in the present invention will be described with reference to the drawings. 4A to 4F are process diagrams showing the manufacturing process of a stamper for manufacturing an optical recording medium similar to the conventional one.
First, as shown in FIG. 4A, a photosensitive layer 62 such as a photoresist is applied to a master substrate 61 made of glass or the like whose surface has been cleaned through a coupling agent (not shown). Using the optical recording apparatus shown in FIG. 5 to be described later, a latent image is formed by performing exposure corresponding to the shape of the pit shape corresponding to information, or in the case where a groove is provided on the optical recording medium. Then, without passing through the development process, as shown in 4 (B), a groove pattern 63 a and a land pre-pit pattern 63 b corresponding to a predetermined information signal are formed to produce a so-called glass master.

そして、このガラス原盤の凹凸パターン面、即ち信号形成面上を覆って、例えば無電界メッキ法等により薄い導電化膜を形成した後、電気メッキ法等によって図4(C)に示すようにメッキ層64aを形成する。その後、図4(D)に示すように、メッキ層を剥離してスタンパ64(いわゆるマスタースタンパ)を形成する。
そしてこの後、所定の剥離剤等を塗布した後、同様にスタンパ64に無電界メッキ、電気メッキを施して、図4(E)に示すように凹凸パターンが転写されたいわゆるマザースタンパ65を形成し、更にこのマザースタンパ65から同様の工程により、図4(F)に示すようにグルーブパターン66a及びランドプリピットパターン66bが形成されたサンスタンパ66を得ることができる。このサンスタンパ66を多数用意することによって、射出成形法、2P法等により光記録媒体製造用基板を生産性良く製造することができる。
And after covering the uneven | corrugated pattern surface of this glass original disc, ie, a signal formation surface, and forming a thin electroconductive film by the electroless plating method etc., as shown in FIG.4 (C) by an electroplating method etc. Layer 64a is formed. Thereafter, as shown in FIG. 4D, the plating layer is peeled off to form a stamper 64 (so-called master stamper).
Then, after applying a predetermined release agent or the like, similarly, electroless plating and electroplating are applied to the stamper 64 to form a so-called mother stamper 65 to which the concavo-convex pattern is transferred as shown in FIG. Further, a sun stamper 66 in which a groove pattern 66a and a land pre-pit pattern 66b are formed as shown in FIG. 4F can be obtained from the mother stamper 65 by the same process. By preparing a large number of the sun stampers 66, an optical recording medium manufacturing substrate can be manufactured with high productivity by an injection molding method, a 2P method, or the like.

なお、上述のガラス原盤に対する光学記録は、図5に概略構成を示す一般的な光学記録装置により行うことができる。
Krレーザ発振器201は露光用光ビームを発生する。レーザ発振器201から発せられた光ビームは反射ミラー203,204にて各々反射されて対物レンズ205に入射し、対物レンズ205を通過した光ビームは記録原盤206上に照射される。反射ミラー202及び203間にはAO変調器(Acoustic Optical Modulator)207aが設けられており、FM変調器207から供給される記録すべき映像信号や音声信号などの信号をAO変調器207aによって、光ビームが該信号に応じて変調を受ける。
In addition, the optical recording with respect to the above glass master can be performed by a general optical recording apparatus having a schematic configuration shown in FIG.
The Kr laser oscillator 201 generates an exposure light beam. The light beam emitted from the laser oscillator 201 is reflected by the reflecting mirrors 203 and 204 and enters the objective lens 205, and the light beam that has passed through the objective lens 205 is irradiated onto the recording master disk 206. An AO modulator (Acoustic Optical Modulator) 207a is provided between the reflecting mirrors 202 and 203, and signals such as video signals and audio signals to be recorded supplied from the FM modulator 207 are optically transmitted by the AO modulator 207a. The beam is modulated in response to the signal.

AO変調器207aとして、非平行面を出入射面とするウェッジプリズム、AOD(光響光学偏向器)又は回転ミラーが使用される。AODは例えば、約300MHzの中心周波数の高周波電気信号を入力し、その中心周波数を変化させることによって、1次回折光の回折角度が変化することを利用するものである。一方、ウェッジプリズム及び回転ミラーを使用するものとしては、これらを回動駆動するDCモータ、ステッピングモータ、ピエゾ素子などの駆動系を制御して、その屈折光及び反射光の偏向を用いる。変調された露光用光ビームにより、回転する記録原盤206上のポジ型フォトレジスト層が露光される。また、反射ミラー203及び204間には光ビームエキスパンダ208が設けられており、これによって対物レンズ205のレンズ一杯にビームを入射させるために光ビーム径が拡大される。   As the AO modulator 207a, a wedge prism, an AOD (a reverberant optical deflector), or a rotating mirror having a non-parallel surface as an exit / incident surface is used. The AOD uses, for example, the fact that the diffraction angle of the first-order diffracted light is changed by inputting a high-frequency electric signal having a center frequency of about 300 MHz and changing the center frequency. On the other hand, as a device using a wedge prism and a rotating mirror, a driving system such as a DC motor, a stepping motor, or a piezo element that rotationally drives them is controlled to use the deflection of the refracted light and reflected light. The positive photoresist layer on the rotating recording master 206 is exposed by the modulated exposure light beam. In addition, a light beam expander 208 is provided between the reflecting mirrors 203 and 204, so that the diameter of the light beam is enlarged so that the beam is incident on the entire lens of the objective lens 205.

一方、対物レンズ205を駆動しフォーカスサーボをなすためにHeNeレーザ発振器210を含むフォーカスサーボ用光学系が光ディスクカッティング装置に用いられている。レーザ発振器210から発せられた光ビームは反射ミラー211及びダイクロイックミラー212によって各々反射され露光用光ビームに合流後、反射ミラー204に入射する。対物レンズ208を通過した光ビームは記録原盤206上に照射される。なお、レーザ発振器210のフォーカス用光ビームは、記録原盤206を露光することがないよう、その波長及び強度が選定されている。反射ミラー211及びダイクロイックミラー212間には偏光ビームスプリッタ213が設けられており、記録原盤206からの反射光は対物レンズ205を通過して反射ミラー204及びダイクロイックミラー212によって反射され、偏光ビームスプリッタ213によって反射されてシリンドリカルレンズ214を介して4分割光ディテクタ215に供給される。光ディテクタ215の各出力信号はフォーカスサーボ制御回路216に供給され、フォーカスサーボ制御回路216は光ディテクタ215の各出力信号に応じて対物レンズ205のアクチュエータ217を駆動する。   On the other hand, a focus servo optical system including a HeNe laser oscillator 210 is used in an optical disc cutting apparatus in order to drive the objective lens 205 and perform focus servo. The light beams emitted from the laser oscillator 210 are reflected by the reflection mirror 211 and the dichroic mirror 212, merge with the exposure light beam, and enter the reflection mirror 204. The light beam that has passed through the objective lens 208 is irradiated onto the recording master disk 206. Note that the wavelength and intensity of the focusing light beam of the laser oscillator 210 are selected so that the recording master 206 is not exposed. A polarization beam splitter 213 is provided between the reflection mirror 211 and the dichroic mirror 212, and the reflected light from the recording master 206 passes through the objective lens 205 and is reflected by the reflection mirror 204 and the dichroic mirror 212, and the polarization beam splitter 213. And is supplied to the four-divided light detector 215 through the cylindrical lens 214. Each output signal of the optical detector 215 is supplied to the focus servo control circuit 216, and the focus servo control circuit 216 drives the actuator 217 of the objective lens 205 in accordance with each output signal of the optical detector 215.

さらにまた、記録原盤206を保持しこれを回転せしめるターンテーブル219を回転せしめるスピンドルモータ220の回転を制御するスピンドルサーボ回路221と、対物レンズ205を含む光学系などを担持する光ヘッドを記録原盤206の半径方向において移動せしめる駆動モータ222の回転を制御するする光ヘッド送りサーボ回路223とが、光ディスクカッティング装置に備えられている。   Furthermore, a spindle servo circuit 221 that controls the rotation of a spindle motor 220 that rotates a turntable 219 that holds and rotates the recording master 206, and an optical head that carries an optical system including the objective lens 205, etc. The optical disc cutting apparatus is provided with an optical head feed servo circuit 223 for controlling the rotation of the drive motor 222 that is moved in the radial direction.

かかる光ディスクカッティング装置においては、コントローラ260による発振器201、変調器207、サーボ系216,221,223の制御によって、LPP信号を重畳したウォブリング信号で変調された1つの光ビームで、記録原盤のポジ型フォトレジスト層に照射露光し、ポジ型フォトレジスト層の露光部分をピットとしてエッチング、現像してトラックを形成している。   In such an optical disc cutting apparatus, the positive type of the recording master disc is controlled by one light beam modulated by the wobbling signal on which the LPP signal is superimposed under the control of the oscillator 201, the modulator 207, and the servo systems 216, 221, and 223 by the controller 260. The photoresist layer is irradiated and exposed, and the exposed portion of the positive photoresist layer is etched and developed as pits to form tracks.

まず、光ディスクカッティング装置に、ガラス円盤206aの主面上にフォトレジスト層206bを形成した記録原盤206を、レーザーカッティング装置のターンテーブル219に載置する。その後、テーブルを回転させ、図6に示すように、光ビームLaを、原盤上を螺旋又は同心円状に相対移動させつつ、LPP信号を重畳したウォブリング信号で変調されたカッティング光ビームLaをフォトレジスト層206b上に集光せしめ、カッティング光ビームのスポットを、グルーブトラック12に対し垂直な方向に偏倚させ、偏倚したスポットを、グルーブトラック12を元の位置に復帰させることにより、トラックの潜像をフォトレジスト層206bに形成する。この時、LPP信号重畳ウォブリング信号を用いているので、カッティング光ビームスポットは一定間隔で第1振幅よりも大なる第2振幅で揺動する。   First, the recording master disk 206 in which the photoresist layer 206b is formed on the main surface of the glass disk 206a is placed on the turntable 219 of the laser cutting apparatus in the optical disc cutting apparatus. Thereafter, the table is rotated, and as shown in FIG. 6, the light beam La is moved relative to the original disk in a spiral or concentric manner, and the cutting light beam La modulated by the wobbling signal superimposed with the LPP signal is applied to the photoresist. The track 206 is condensed on the layer 206 b, the spot of the cutting light beam is deviated in a direction perpendicular to the groove track 12, and the deviated spot is returned to the original position of the groove track 12, thereby producing a latent image of the track. Formed on the photoresist layer 206b. At this time, since the LPP signal superimposed wobbling signal is used, the cutting light beam spot oscillates with a second amplitude larger than the first amplitude at regular intervals.

次に、露光したフォトレジスト原盤を現像装置に装着し、これを現像して潜像部分を除去する。図3に示すように、原盤において、グルーブトラックの側面から蛇行した部分がランドプリピット20として形成される。
次に、ポストベークで定着させた後、フォトレジスト層206b上にニッケル又は銀などの導電膜をスパッタリング又は蒸着などによって形成し、例えばニッケル電鋳によりニッケルスタンパを形成して、該スタンパをガラス盤206aから分離して、ニッケルスタンパを得る。該スタンパによって、例えば射出成形法や、いわゆる2P法により、図3に示すものと同一の所定プリ情報を有した樹脂光ディスク基板のレプリカが作製される。
Next, the exposed photoresist master is mounted on a developing device and developed to remove the latent image portion. As shown in FIG. 3, a portion meandering from the side surface of the groove track is formed as a land pre-pit 20 on the master disk.
Next, after fixing by post-baking, a conductive film such as nickel or silver is formed on the photoresist layer 206b by sputtering or vapor deposition, for example, a nickel stamper is formed by nickel electroforming, and the stamper is formed on a glass plate. Separated from 206a, a nickel stamper is obtained. A replica of the resin optical disk substrate having the same pre-information as shown in FIG. 3 is produced by the stamper, for example, by an injection molding method or a so-called 2P method.

また今回、露光原盤作製時において図6のカッティング光ビームスポットをグルーブトラック12に対し垂直な方向に偏倚させる時間を面内で調整することで、図3のLwを内周部から外周部にかけて長くした。
この図3では、長さLwのランドプリピットを有するグルーブトラック12が1本しか示されていないが、スタンパ全体としては当然に多数本のグルーブトラックが形成されており、これらのグルーブトラックが有するランドプリピットの長さLwを比較すると、スタンパの内周部から外周部にかけて順に長くなっている点に特徴がある。つまり、本発明の実施形態に係るスタンパは、図3に示す構造のスタンパを改良したものと言える(下記表1を参照)。
このことにより、作製されたスタンパを用いて成形板を作製した場合に、内周部と外周部においてランドプリピットのLw(トラック方向の長さ)を比較した時に、内周部と外周部で長さが同程度以上になり、外周部でのLPP信号が小さくなってアドレス位置の読み取り等で不具合を起こすという問題を解消することができた。
In addition, this time, by adjusting the time during which the cutting light beam spot in FIG. 6 is biased in the direction perpendicular to the groove track 12 during the exposure master production, Lw in FIG. 3 is increased from the inner periphery to the outer periphery. I did .
In FIG. 3, only one groove track 12 having a land pre-pit having a length Lw is shown. However, as a whole stamper, a large number of groove tracks are naturally formed, and these groove tracks have. Comparing the length Lw of the land pre-pits, it is characterized in that it becomes longer in order from the inner periphery to the outer periphery of the stamper. That is, it can be said that the stamper according to the embodiment of the present invention is an improvement of the stamper having the structure shown in FIG. 3 (see Table 1 below).
As a result, when a molded plate is produced using the produced stamper, when comparing the Lw (length in the track direction) of the land prepits in the inner peripheral portion and the outer peripheral portion, the inner peripheral portion and the outer peripheral portion are compared. It was possible to solve the problem that the length became the same or more and the LPP signal at the outer peripheral portion became small, causing problems in reading the address position.

具体的なランドプリピット形状としては、内周部(R=24mm)での前記ウォブルグルーブに沿う方向の長さをLw_in、外周部(R=58mm)での前記ウォブルグルーブに沿う方向の長さをLw_outとしたときに、Lw_out/Lw_inを1.10以上、1.30以下とすることが好ましい。この範囲を外れて1.10より小さいと、外周部でのLPP信号が小さくなりアドレス位置の読み取り等で不具合を起こしやすくなり、1.30より大きくになると、外周部でのジッタやPIエラー等で不具合を起こしやすくなる。
As a specific land pre-pit shape, the length in the direction along the wobble groove at the inner periphery (R = 24 mm) is Lw_in, and the length in the direction along the wobble groove at the outer periphery (R = 58 mm). the when the Lw_out, Lw_out / Lw_in 1.10 or more, have preferably be 1.30 or less. If the value is outside this range and smaller than 1.10, the LPP signal at the outer peripheral part becomes small, and it becomes easy to cause a trouble in reading the address position. If it exceeds 1.30, the jitter or PI error at the outer peripheral part, etc. It becomes easy to cause trouble.

更に、(Lw_out+Lw_in)/2が850nm以上、1150nm以下であることが好ましい。この範囲を外れて850nmより小さいと、面内においてLPP信号が小さくなりアドレス位置の読み取り等で不具合を起こしやすくなり、1150nmより大きいと、面内においてジッタやPIエラー等で不具合を起こしやすくなる。
Furthermore, (Lw_out + Lw_in) / 2 is 850nm or more, it is not preferable or less 1150 nm. If it is out of this range and smaller than 850 nm, the LPP signal becomes small in the plane, which tends to cause problems in reading the address position, and if it is larger than 1150 nm, it tends to cause problems in the plane due to jitter, PI error, and the like.

また図3のAwすなわち、(Aw(in)+Aw(out))/2については100以上、200nm以下が好ましい(下記表1を参照)。任意のあるランドプリピットに着目した場合、上記Aw(in)はその内周側のAwの値を示し、上記Aw(out)はその外周側のAwの値を示している。
Awが上記範囲を外れて100nmより小さいと、面内においてLPP信号が小さくなりアドレス位置の読み取り等で不具合を起こしやすくなり、200nmより大きいと、面内においてジッタやPIエラー等で不具合を起こしやすくなる。
Further, Aw in FIG. 3, that is, (Aw (in) + Aw (out)) / 2 is preferably 100 or more and 200 nm or less (see Table 1 below). When attention is paid to an arbitrary land pre-pit, the Aw (in) indicates the value of Aw on the inner peripheral side, and the Aw (out) indicates the value of Aw on the outer peripheral side.
If Aw falls outside the above range and is smaller than 100 nm, the LPP signal will be small in the plane and it will be easy to cause troubles such as reading of the address position, and if it is larger than 200 nm, it will be easy to cause troubles due to jitter or PI error in the face. Become.

<ディスク構成>
本発明の光記録媒体の実施形態について説明する。なお、本発明の実施形態は以下に説明するものに限ったものではなく、2層ディスクにも適用可能である。
<Disk configuration>
An embodiment of the optical recording medium of the present invention will be described. The embodiment of the present invention is not limited to the one described below, and can be applied to a two-layer disc.

層構成は図7に示すとおりである。ここで符号1は基板、2は有機色素からなる記録層、3は反射層、4は保護層、5は接着層、6はカバー層である。   The layer structure is as shown in FIG. Reference numeral 1 denotes a substrate, 2 denotes a recording layer made of an organic dye, 3 denotes a reflective layer, 4 denotes a protective layer, 5 denotes an adhesive layer, and 6 denotes a cover layer.

以下に、本発明の光情報記録媒体に用いるその他の層材料について具体的に説明する。
[基板]
基板は、基板側から記録再生を行なう場合には使用レーザに対して透明でなければならないが、記録層側から記録再生を行なう場合には透明である必要はない。
基板材料としては、例えばポリエステル樹脂、アクリル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリオレフィン樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂などのプラスチック、或いは、ガラス、セラミック、金属などを用いることができる。
なお、基板の表面にはトラッキング用の案内溝や案内ピット、更にアドレス信号などのプリフォーマットが形成されていても良い。また溝形状は、溝深さ:1000〜2000Å、溝幅(底幅):0.2〜0.3μmが好ましい。スピンコート製膜の場合には溝内に色素が充填される傾向があるため、第1記録層と第1反射層の界面形状はこの充填量と基板溝形状により決定されるので、界面反射を利用するには上記範囲が適している。
Hereinafter, other layer materials used in the optical information recording medium of the present invention will be specifically described.
[substrate]
The substrate must be transparent to the laser used when performing recording / reproduction from the substrate side, but need not be transparent when performing recording / reproduction from the recording layer side.
As the substrate material, for example, a polyester resin, an acrylic resin, a polyamide resin, a polycarbonate resin, a polyolefin resin, a phenol resin, an epoxy resin, a polyimide resin such as a polyimide resin, glass, ceramic, metal, or the like can be used.
A tracking guide groove or guide pit and a preformat such as an address signal may be formed on the surface of the substrate. The groove shape is preferably groove depth: 1000 to 2000 mm and groove width (bottom width): 0.2 to 0.3 μm. In the case of spin coating, since the groove tends to be filled with a dye, the interface shape between the first recording layer and the first reflective layer is determined by this filling amount and the substrate groove shape, so that the interface reflection is reduced. The above range is suitable for use.

またランドプリピット形状としては、内周部(R=24mm)での前記ウォブルグルーブに沿う方向の長さをLw_in、外周部(R=58mm)での前記ウォブルグルーブに沿う方向の長さをLw_outとしたときに、Lw_out/Lw_inを1.00以上、1.10以下とすることが好ましい。この範囲を外れて1.00より小さいと、外周部でのLPP信号が小さくなり、アドレス位置の読み取り等で不具合を起こしやすくなる。1.10より大きくなると、外周部でのジッターやPIエラー等で不具合を起こしやすくなる。
As the land pre-pit shape, the length in the direction along the wobble groove at the inner periphery (R = 24 mm) is Lw_in, and the length in the direction along the wobble groove at the outer periphery (R = 58 mm) is Lw_out. and when, Lw_out / Lw_in 1.00 or more, have preferably be 1.10 or less. If the value is outside this range and smaller than 1.00, the LPP signal at the outer peripheral portion becomes small, and problems such as reading of the address position are likely to occur. When it is larger than 1.10, it becomes easy to cause a malfunction due to jitter or PI error in the outer peripheral portion.

更に、(Lw_out+Lw_in)/2が700nm以上、1150nm以下であることが好ましい。この範囲を外れて700nmより小さいと、面内においてLPP信号が小さくなりアドレス位置の読み取り等で不具合を起こしやすくなり、1150nmより大きいと、面内においてジッターやPIエラー等で不具合を起こしやすくなる。
Furthermore, (Lw_out + Lw_in) / 2 is 700nm or more, it is not preferable or less 1150 nm. If it is outside this range and smaller than 700 nm, the LPP signal will be small in the plane and will likely cause problems in reading the address position, and if it is larger than 1150 nm, problems will likely be caused in the plane due to jitter, PI errors, and the like.

[記録層]
記録層はレーザ光の照射により何らかの光学的変化を生じさせ、その変化により情報を記録するものであり、その材料としては有機色素を主成分とするものを用いる。ここで、主成分とは、記録再生に必要十分な量の有機色素を含有することを意味するが、通常は、必要に応じて適宜添加する少量の添加剤を除き、有機色素のみを用いる。
[Recording layer]
The recording layer causes an optical change due to the irradiation of the laser beam and records information by the change, and a material containing an organic dye as a main component is used as the material. Here, the main component means that it contains a sufficient amount of an organic dye necessary for recording and reproduction, but usually only an organic dye is used except for a small amount of additives that are appropriately added as necessary.

有機色素の例としては、アゾ系、ホルマザン系、ジピロメテン系、(ポリ)メチン系、ナフタロシアニン系、フタロシアニン系、テトラアザポルフィリン系、スクアリリウム系、クロコニウム系、ピリリウム系、ナフトキノン系、アントラキノン系(インダンスレン系)、キサンテン系、トリフェニルメタン系、アズレン系、テトラヒドロコリン系、フェナンスレン系、トリフェノチアジン系色素、或いはそれらの金属錯体などが挙げられる。中でも好ましいのは、アゾ(金属キレート)色素、ホルマザン(金属キレート)色素、スクアリリウム(金属キレート)色素、ジピロメテン(金属キレート)色素、トリメチンシアニン色素、テトラアザポルフィリン色素である。   Examples of organic dyes include azo, formazan, dipyrromethene, (poly) methine, naphthalocyanine, phthalocyanine, tetraazaporphyrin, squarylium, croconium, pyrylium, naphthoquinone, anthraquinone (in) (Dansylene), xanthene, triphenylmethane, azulene, tetrahydrocholine, phenanthrene, triphenothiazine dyes, or metal complexes thereof. Among these, azo (metal chelate) dye, formazan (metal chelate) dye, squarylium (metal chelate) dye, dipyrromethene (metal chelate) dye, trimethine cyanine dye, and tetraazaporphyrin dye are preferable.

また、シアニン色素と、スクワリリウム金属キレート化合物は、DVD用記録材料として優れた性能を有する。   Cyanine dyes and squarylium metal chelate compounds have excellent performance as recording materials for DVDs.

シアニン色素化合物としては、従来使用されている化合物がそのまま使用できる。特許第2594443号公報、特許第3698708号公報、特許第3659922号公報に開示されている材料などである。
上記色素は熱分解特性として、分解開始温度100〜360℃のものが好ましく、100〜350℃のものが特に好ましい。分解開始温度が360℃を越えると記録時のピット形成がうまく行われずジッター特性が悪くなる。また、100℃未満であるとディスクの保存安定性が悪化する。
As the cyanine dye compound, a conventionally used compound can be used as it is. Examples include materials disclosed in Japanese Patent No. 2594443, Japanese Patent No. 3698708, and Japanese Patent No. 3659922.
As the thermal decomposition characteristics, the above dyes preferably have a decomposition start temperature of 100 to 360 ° C, and particularly preferably 100 to 350 ° C. If the decomposition start temperature exceeds 360 ° C., pit formation at the time of recording is not performed well, and jitter characteristics deteriorate. Further, if the temperature is lower than 100 ° C., the storage stability of the disk deteriorates.

上記色素には光学特性、記録感度、信号特性などの向上の目的で他の有機色素、金属、金属化合物を混合してもよく、或いは色素層と他の有機色素、金属、金属化合物からなる層を積層しても良い。このような金属、金属化合物の例としては、In、Te、Bi、Se、Sb、Ge、Sn、Al、Be、TeO2 、SnO、As、Cdなどが挙げられ、それぞれを分散混合するか或いは積層して用いることができる。
更に、上記染料中に高分子材料、例えばアイオノマー樹脂、ポリアミド樹脂、ビニル系樹脂、天然高分子、シリコーン、液状ゴムなどの種々の材料、或いはシランカップリング剤などを分散混合しても良いし、特性改良の目的で安定剤(例えば遷移金属錯体)、分散剤、難燃剤、滑剤、帯電防止剤、界面活性剤、可塑剤などを一緒に用いることも出来る。
For the purpose of improving optical characteristics, recording sensitivity, signal characteristics, etc., the above dyes may be mixed with other organic dyes, metals, metal compounds, or a layer composed of a dye layer and other organic dyes, metals, metal compounds. May be laminated. Examples of such metals and metal compounds include In, Te, Bi, Se, Sb, Ge, Sn, Al, Be, TeO 2 , SnO, As, Cd, and the like. It can be used by laminating.
Furthermore, various materials such as ionomer resin, polyamide resin, vinyl resin, natural polymer, silicone, liquid rubber, or a silane coupling agent may be dispersed and mixed in the dye, For the purpose of improving the properties, stabilizers (for example, transition metal complexes), dispersants, flame retardants, lubricants, antistatic agents, surfactants, plasticizers and the like can be used together.

記録層の形成は、蒸着、スパッタリング、CVD、溶剤塗布などの通常の手段によって行うことができる。
塗布法を用いる場合には、上記染料などを有機溶剤に溶解し、スプレー、ローラーコーティグ、ディッピング、スピンコーティングなどの慣用のコーティング法によって行うことが出来る。用いられる有機溶媒としては一般にメタノール、エタノール、イソプロパノールなどのアルコール類;アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類;N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミドなどのアミド類;ジメチルスルホキシドなどのスルホキシド類;テトラヒドロフラン、ジオキサン、ジエチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルなどのエーテル類;酢酸メチル、酢酸エチルなどのエステル類;クロロホルム、塩化メチレン、ジクロルエタン、四塩化炭素、トリクロルエタンなどの脂肪族ハロゲン化炭化水素類;ベンゼン、キシレン、モノクロルベンゼン、ジクロルベンゼンなどの芳香族類;メトキシエタノール、エトキシエタノールなどのセロソルブ類;ヘキサン、ペンタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサンなどの炭化水素類などが挙げられる。
The recording layer can be formed by ordinary means such as vapor deposition, sputtering, CVD, and solvent coating.
When the coating method is used, the above-described dye or the like can be dissolved in an organic solvent, and the coating can be performed by a conventional coating method such as spraying, roller coating, dipping, or spin coating. Organic solvents generally used include alcohols such as methanol, ethanol and isopropanol; ketones such as acetone, methyl ethyl ketone and cyclohexanone; amides such as N, N-dimethylformamide and N, N-dimethylacetamide; sulfoxides such as dimethyl sulfoxide Ethers such as tetrahydrofuran, dioxane, diethyl ether and ethylene glycol monomethyl ether; esters such as methyl acetate and ethyl acetate; aliphatic halogenated hydrocarbons such as chloroform, methylene chloride, dichloroethane, carbon tetrachloride and trichloroethane Aromatics such as benzene, xylene, monochlorobenzene and dichlorobenzene; cellosolves such as methoxyethanol and ethoxyethanol; hexane and penta , Cyclohexane, and hydrocarbons such as methylcyclohexane.

好ましい色素膜厚は、4〜100nmである。色素膜厚がこの範囲よりも薄いと信号変調度(コントラスト)が得難く、反対に厚いとマークの形状が揃い難くジッターが増加し易いためである。   A preferable dye film thickness is 4 to 100 nm. This is because if the dye film thickness is thinner than this range, it is difficult to obtain the degree of signal modulation (contrast). On the contrary, if the dye film thickness is thick, the mark shapes are difficult to align and jitter is likely to increase.

[反射層]
反射層材料としては、レーザー光波長に対する反射率の高い物質が好ましく、その例としては、Au、Ag、Cu、Al、Ti、V、Cr、Ni、Nd、Mg、Pd、Zr、Pt、Ta、W、Si、Zn、Inから選ばれた少なくとも1種の金属及び半金属を挙げることができる。中でも、Au、Ag、Cuの何れかを主成分とし、Au、Ag、Cu、Al、Ti、V、Cr、Ni、Nd、Mg、Pd、Zr、Pt、Ta、W、Si、Zn、Inから選ばれた少なくとも1種を0.1〜10重量%添加した合金が好ましく、特にInが好ましい(合金であるから、当然ながらAuとAu、AgとAg、CuとCuの組合せは除く)。0.1重量%以上添加することにより、結晶粒が微細化し耐蝕性に優れた薄膜となる。しかし、10重量%を超えて添加すると反射率が低下するため好ましくない。母材としてはスパッタレートが高いAgが最も好ましく、添加物としては屈折率nが小さく吸収係数kが大きいAu、Cu、Mg、Inが特に好ましい。
[Reflective layer]
As the reflective layer material, a substance having a high reflectance with respect to the laser beam wavelength is preferable. Examples thereof include Au, Ag, Cu, Al, Ti, V, Cr, Ni, Nd, Mg, Pd, Zr, Pt, and Ta. And at least one metal selected from W, Si, Zn, and In and metalloids. Among them, one of Au, Ag, and Cu is the main component, and Au, Ag, Cu, Al, Ti, V, Cr, Ni, Nd, Mg, Pd, Zr, Pt, Ta, W, Si, Zn, In An alloy to which 0.1 to 10% by weight of at least one selected from the above is added is preferable, and In is particularly preferable (since it is an alloy, naturally, combinations of Au and Au, Ag and Ag, and Cu and Cu are excluded). By adding 0.1% by weight or more, the crystal grains become fine and a thin film having excellent corrosion resistance is obtained. However, adding more than 10% by weight is not preferable because the reflectance decreases. The base material is most preferably Ag having a high sputter rate, and the additive is particularly preferably Au, Cu, Mg, or In having a small refractive index n and a large absorption coefficient k.

Agは全元素中で最もnが小さく光利用効率が最も高いので、その特性を損なわないようにするためには、添加物の総量を5重量%以下にすることが特に好ましい。
更に、前述したAu、Ag、Cuの何れかを主成分とする合金からなる第1反射層上に上記と同様の補助層を積層する場合には、まず合金からなる反射層をスパッタリングにより形成し、続いて上記と同様にして補助層を積層すればよい。
好ましい反射層膜厚は5〜500nmであり、特に好ましくは10〜300nmである。5nmよりも薄いと充分なウォブル特性が得られず、500nmより厚いとジッター特性が悪くなる。
Ag has the smallest n among all the elements and the highest light utilization efficiency. Therefore, in order not to impair the characteristics, it is particularly preferable that the total amount of additives is 5% by weight or less.
Further, when an auxiliary layer similar to the above is laminated on the first reflective layer made of an alloy mainly composed of any one of Au, Ag, and Cu, the reflective layer made of the alloy is first formed by sputtering. Subsequently, an auxiliary layer may be laminated in the same manner as described above.
A preferable thickness of the reflective layer is 5 to 500 nm, particularly preferably 10 to 300 nm. If it is thinner than 5 nm, sufficient wobble characteristics cannot be obtained, and if it is thicker than 500 nm, jitter characteristics deteriorate.

[透明中間層]
透明中間層は接着層として用いることが好ましく、その材料としては既存のアクリレート系、エポキシ系、ウレタン系の紫外線硬化型又は熱硬化型接着剤等が使用できる。更に、透明シートにより貼り合わせる方法でも良い。膜厚は45〜70μmの範囲にすることが好ましい。この範囲を外れると再生光であるレーザー光を第1又は第2情報記録層上に焦点が来るように絞り、反射光を検出することにより各情報記録層の信号を再生することが難しくなる。
[Transparent intermediate layer]
The transparent intermediate layer is preferably used as an adhesive layer, and as the material thereof, an existing acrylate-based, epoxy-based, urethane-based ultraviolet curable adhesive or thermosetting adhesive can be used. Furthermore, the method of bonding with a transparent sheet may be used. The film thickness is preferably in the range of 45 to 70 μm. Outside this range, it becomes difficult to reproduce the signal of each information recording layer by narrowing the laser beam, which is the reproduction light, so as to be focused on the first or second information recording layer and detecting the reflected light.

以下、本発明に係る光記録媒体の各実施例、および比較例について、図面を参照して詳細に説明する。各実施例は、図7で説明したDVD−R型構成の光記録媒体に本発明を適用したものである。   Examples of the optical recording medium according to the present invention and comparative examples will be described in detail below with reference to the drawings. In each embodiment, the present invention is applied to the optical recording medium having the DVD-R configuration described with reference to FIG.

<実施例1〜7、比較例1>
スタンパ作製時の面内(R=24mm、40mm、58mm)のランドプリピット形状・溝形状を下記表1に示す。ランドプリピット形状・溝形状ともに原子間力顕微鏡(AFM、ナノテクノロジー製)を用いてスタンパ作製時に評価を行った。なお、表1において、例えば実施例1〜4は、前述のように規定されたそれぞれの数値限定条件を全て満たしているものである。
<Examples 1 to 7, Comparative Example 1>
The in-plane (R = 24 mm, 40 mm, 58 mm) land pre-pit shape and groove shape at the time of manufacturing the stamper are shown in Table 1 below. Both the land pre-pit shape and the groove shape were evaluated at the time of stamper production using an atomic force microscope (AFM, manufactured by Nanotechnology). In Table 1, for example, Examples 1 to 4 satisfy all the numerical value limiting conditions defined as described above .

Figure 0005108343
Figure 0005108343

上記スタンパを用いて、PC(ポリカーボネート)を基板材料として射出成形を行った。またこのとき作製した基板のランドプリピット形状・溝形状についてもスタンパ作製時に評価を行った(上記表1を参照)。作製された基板上に色素記録層を形成し、更にこの上にAgより成る反射層、紫外線硬化樹脂より成る保護層を形成して光記録媒体を構成した。また、ウォブルグルーブの幅は320nm、トラックピッチは740nmとした。   Using the stamper, injection molding was performed using PC (polycarbonate) as a substrate material. The land pre-pit shape and groove shape of the substrate produced at this time were also evaluated during the stamper production (see Table 1 above). A dye recording layer was formed on the produced substrate, and a reflective layer made of Ag and a protective layer made of an ultraviolet curable resin were further formed thereon to constitute an optical recording medium. The width of the wobble groove was 320 nm and the track pitch was 740 nm.

この基板上に、下記化学式(1)のスクアリリウム色素と、下記化学式(2)のホルマザンキレート色素を7:3の割合で混合し、2,2,3,3−テトラフルオルプロパノールに溶解した塗布液をスピンコートすることにより、厚さ50nm(500Å)の第1記録層を形成した。次に、第1記録層上に、Arをスパッタガスとして、スパッタリング法により厚さ100nm(1000Å)のAgからなる反射層を成膜した。更に、この反射層上に紫外線硬化樹脂をスピンコート法により塗布し、当該紫外線硬化樹脂に対して紫外線を照射し硬化させることにより、膜厚10μmの保護層を形成した。次いで、上記基板とカバー板(PC)とを、紫外線硬化型接着剤(日本化薬株式会社製、KARAYAD DVD576)で貼り合わせ、図7に示すDVD−R型の光記録媒体を作製した。   On this substrate, a squarylium dye of the following chemical formula (1) and a formazan chelate dye of the following chemical formula (2) are mixed at a ratio of 7: 3 and dissolved in 2,2,3,3-tetrafluoropropanol. The liquid was spin coated to form a first recording layer having a thickness of 50 nm (500 mm). Next, a reflective layer made of Ag having a thickness of 100 nm (1000 mm) was formed on the first recording layer by sputtering using Ar as a sputtering gas. Further, an ultraviolet curable resin was applied onto the reflective layer by a spin coating method, and the ultraviolet curable resin was irradiated with ultraviolet rays to be cured, thereby forming a protective layer having a thickness of 10 μm. Subsequently, the substrate and the cover plate (PC) were bonded together with an ultraviolet curable adhesive (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., KARAYAD DVD576) to produce a DVD-R type optical recording medium shown in FIG.

Figure 0005108343
Figure 0005108343

Figure 0005108343
Figure 0005108343

次に、上述の実施例1〜7、比較例1における各光記録媒体に対し、DVD−R対応の評価装置、すなわち再生用光の波長λが650nm、対物レンズの開口数NAが0.60±0.05の評価装置を用いて、ジッター(%)、PIエラー、BLER(%)、AR特性、LPPb(変調度)を測定した。また評価条件については6×速度(20.94m/s)の条件でDVD(8−16)信号を記録した。記録条件はDVD−R規格に準じたパルス発光パターンを採用した。   Next, for each of the optical recording media in Examples 1 to 7 and Comparative Example 1 described above, the DVD-R-compatible evaluation apparatus, that is, the reproduction light wavelength λ is 650 nm, and the numerical aperture NA of the objective lens is 0.60. Using an evaluation apparatus of ± 0.05, jitter (%), PI error, BLER (%), AR characteristics, and LPPb (degree of modulation) were measured. As for the evaluation condition, a DVD (8-16) signal was recorded under the condition of 6 × speed (20.94 m / s). As a recording condition, a pulse emission pattern according to the DVD-R standard was adopted.

この結果を下記表2に示す。なお、例えばDVD−Rにおいては、ジッター8%未満、PIエラー280未満、BLER5%未満、AR特性15以上とするように規格が選定されている。従って、下記表2の結果から上述の各実施例における本発明構成の光記録媒体は、規格内の良好なエラー特性、再生特性を示すことが明らかである。   The results are shown in Table 2 below. For example, in DVD-R, standards are selected so that jitter is less than 8%, PI error is less than 280, BLER is less than 5%, and AR characteristics are 15 or more. Therefore, from the results of Table 2 below, it is clear that the optical recording medium of the configuration of the present invention in each of the above-described embodiments exhibits good error characteristics and reproduction characteristics within the standard.

Figure 0005108343
Figure 0005108343

光記録媒体に形成されたランドプリピットの一具体例を概略的に示す模式図である。It is a schematic diagram which shows roughly a specific example of the land prepit formed in the optical recording medium. 光記録媒体に形成されたランドプリピットの別の具体例を概略的に示す模式図である。It is a schematic diagram which shows roughly the other specific example of the land prepit formed in the optical recording medium. 光記録媒体に形成されたランドプリピットの更に別の具体例を概略的に示す模式図である。It is a schematic diagram which shows roughly the further another specific example of the land prepit formed in the optical recording medium. スタンパの製造工程を順に示す断面図である。It is sectional drawing which shows the manufacturing process of a stamper in order. 光ディスク原盤作製用の光ディスクカッティング装置の構成を示すブロック図(光学記録装置のブロック図)である。It is a block diagram (block diagram of an optical recording device) showing a configuration of an optical disc cutting device for producing an optical disc master. 本発明に係る光ディスク原盤の一部を示す概略斜視図である。1 is a schematic perspective view showing a part of an optical disc master according to the present invention. 本発明に係る光記録媒体の層構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the layer structure of the optical recording medium based on this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1:基板
2:記録層
3:反射層
4:保護層
5:接着層
6:カバー層
11:ランド
12:グルーブトラック
13:ビームスポットの軌跡(trace of beam spot)
(グルーブ中心線)
20:ランドプリピット(LPP)
61:基板
62:感光層
63a:グルーブパターン
63b:ランドプリピットパターン
64:スタンパ(マスタスタンパ)
64a:メッキ層
65:マザースタンパ
66:サンスタンパ
66a:グルーブパターン
66b:ランドプリピットパターン
La:光ビーム
206:記録原盤
206a:ガラス円盤
206b:フォトレジスト層
La:光ビーム
Aw:ランドプリピットの大きさ
(トラック方向に垂直な方向の長さ)
Lw:ランドプリピットの大きさ
(トラック方向の長さ)
Aw(in):内周側のAw寸法
Aw(out):外周側のAw寸法
W(G):グルーブの幅
W(LPP):LPPの幅
1: Substrate 2: Recording layer 3: Reflective layer 4: Protective layer 5: Adhesive layer 6: Cover layer 11: Land 12: Groove track 13: Trace of beam spot
(Groove center line)
20: Land pre-pit (LPP)
61: Substrate 62: Photosensitive layer 63a: Groove pattern 63b: Land pre-pit pattern 64: Stamper (master stamper)
64a: plating layer 65: mother stamper 66: sun stamper 66a: groove pattern 66b: land prepit pattern La: light beam 206: recording master 206a: glass disk 206b: photoresist layer La: light beam Aw: size of land prepit (Length in the direction perpendicular to the track direction)
Lw: Land pre-pit size (length in the track direction)
Aw (in): Aw dimension on the inner circumference side Aw (out): Aw dimension on the outer circumference side W (G): Groove width W (LPP): LPP width

Claims (1)

ウォブルグルーブ及びランドプリピットが形成された基板を有する光記録媒体を製造するためのスタンパであって、その表面に少なくとも前記ウォブルグルーブ及び前記ランドプリピットが形成され、前記ランドプリピットが前記ウォブルグルーブの一部である蛇行部分によって構成されており、前記ランドプリピットの前記ウォブルグルーブに沿う方向の長さをLwとしたときに内周部から外周部に向かって、長さLwが長くなっているスタンパを用いて射出成形した基板と、
前記基板上に設けられ、下記化学式(1)で表されるスクアリリウム色素と下記化学式(2)で表されるホルマザンキレート色素を7:3の混合割合で含有する記録層と、を備え
前記スタンパに形成された前記ランドプリピットにおいて内周部(R=24mm)での前記ウォブルグルーブに沿う方向の長さをLw_inとし、外周部(R=58mm)での前記ウォブルグルーブに沿う方向の長さをLw_outとしたときに、Lw_outのLw_inに対する比:Lw_out/Lw_inが1.10以上、1.30以下であり、且つ、(Lw_out+Lw_in)/2が850nm以上、1150nm以下であり、
前記スタンパを用いて射出成形した基板は、前記ランドプリピットにおいて内周部(R=24mm)での前記ウォブルグルーブに沿う方向の長さをLw_inとし、外周部(R=58mm)での前記ウォブルグルーブに沿う方向の長さをLw_outとしたときに、Lw_outのLw_inに対する比:Lw_out/Lw_inが1.00以上、1.10以下であり、且つ、(Lw_out+Lw_in)/2が700nm以上、1150nm以下であることを特徴とする光記録媒体。
Figure 0005108343

Figure 0005108343
A stamper for manufacturing an optical recording medium having a substrate on which wobble grooves and land pre-pits are formed, wherein at least the wobble grooves and land pre-pits are formed on a surface thereof, and the land pre-pits are formed on the wobble grooves. The length Lw becomes longer from the inner periphery to the outer periphery when the length of the land prepit in the direction along the wobble groove is Lw. A substrate injection-molded using a stamper,
A recording layer provided on the substrate and containing a squarylium dye represented by the following chemical formula (1) and a formazan chelate dye represented by the following chemical formula (2) in a mixing ratio of 7: 3 ;
In the land prepit formed in the stamper, the length in the direction along the wobble groove in the inner peripheral portion (R = 24 mm) is Lw_in, and the length in the direction along the wobble groove in the outer peripheral portion (R = 58 mm) is set. When the length is Lw_out, the ratio of Lw_out to Lw_in: Lw_out / Lw_in is 1.10 or more and 1.30 or less, and (Lw_out + Lw_in) / 2 is 850 nm or more and 1150 nm or less,
The substrate injection-molded using the stamper has a length in the direction along the wobble groove in the inner peripheral portion (R = 24 mm) in the land prepit as Lw_in, and the wobble in the outer peripheral portion (R = 58 mm). When the length along the groove is Lw_out, the ratio of Lw_out to Lw_in: Lw_out / Lw_in is 1.00 or more and 1.10 or less, and (Lw_out + Lw_in) / 2 is 700 nm or more and 1150 nm or less. optical recording medium, characterized in that.
Figure 0005108343

Figure 0005108343
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