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JP4936679B2 - Rotating anode X-ray tube manufacturing equipment - Google Patents

Rotating anode X-ray tube manufacturing equipment Download PDF

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JP4936679B2 JP2005145183A JP2005145183A JP4936679B2 JP 4936679 B2 JP4936679 B2 JP 4936679B2 JP 2005145183 A JP2005145183 A JP 2005145183A JP 2005145183 A JP2005145183 A JP 2005145183A JP 4936679 B2 JP4936679 B2 JP 4936679B2
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Description

本発明は、回転陽極X線管の製造装置に係わり、特に回転陽極X線管の回転陽極の回転アンバランスを測定し、必要に応じて回転アンバランスの修正を行う回転陽極X線管の製造装置に関する。 The present invention relates to apparatus for manufacturing a rotary anode X-ray tube, in particular a rotational imbalance of the rotary anode of a rotary anode X-ray tube is measured, the production of rotating anode X-ray tube for correcting the rotational imbalance if necessary Relates to the device .

回転陽極X線管は、電子線を発生する陰極と、高電圧で加速された電子線が衝突してX線を放射するターゲットを有する回転陽極と、陰極と回転陽極を真空気密に内包し、絶縁支持する外囲器などを備え、回転陽極は円盤状のターゲットと、ターゲットを支持するロータと、ロータを回転自在に支持する軸受と、軸受を支持する固定部などから成り、使用時には、ロータの外周に配置された電磁コイル(以下、ステータという)を付勢することで、回転陽極は高速度で回転される。ここで、軸受としては、玉軸受や動圧すべり軸受などが用いられているが、本発明では、動圧すべり軸受を用いた回転陽極X線管を対象とする。   The rotary anode X-ray tube includes a cathode that generates an electron beam, a rotary anode that has a target that emits X-rays when an electron beam accelerated by a high voltage collides, and the cathode and the rotary anode are vacuum-tightly enclosed. The rotary anode comprises a disk-shaped target, a rotor that supports the target, a bearing that rotatably supports the rotor, a fixed portion that supports the bearing, and the like. By energizing an electromagnetic coil (hereinafter referred to as a stator) disposed on the outer periphery of the rotating anode, the rotating anode is rotated at a high speed. Here, a ball bearing, a dynamic pressure slide bearing, or the like is used as the bearing. However, in the present invention, a rotating anode X-ray tube using the dynamic pressure slide bearing is an object.

回転陽極X線管に用いられる動圧すべり軸受では、それを構成する回転体と固定体(上記の固定部に相当)の軸受面にらせん溝などが形成され、両者の間にガリウム(Ga)やガリウム(Ga)合金などの液体金属が潤滑剤として充填されている。動圧すべり軸受を用いた回転陽極X線管の例は、例えば特許文献1〜特許文献4などに開示されている。
特開昭60−117531号公報 特開平2−227948号公報 特開平5−144396号公報 特開平7−282721号公報
In a dynamic pressure slide bearing used for a rotating anode X-ray tube, a spiral groove is formed on the bearing surface of the rotating body and the stationary body (corresponding to the above-mentioned stationary portion), and gallium (Ga) is formed between the two. Liquid metal such as gallium (Ga) alloy is filled as a lubricant. Examples of a rotary anode X-ray tube using a dynamic pressure slide bearing are disclosed in, for example, Patent Document 1 to Patent Document 4.
JP 60-1117531 A JP-A-2-227948 JP-A-5-144396 JP-A-7-282721

液体金属で潤滑される動圧すべり軸受を有する回転陽極X線管の構成の一例を図4〜図6に示す。図4は動圧すべり軸受を有する回転陽極X線管の一例の構造図、図5は図4の回転陽極の回転部分の拡大断面図、図6は図4の回転陽極の軸受部分の拡大断面図である。図4において、回転陽極X線管(以下、X線管と略称する)10は陰極12と回転陽極14と外囲器16とから構成され、回転陽極14は円盤状のターゲット18と、ターゲット18を支持する回転体20と、回転体20を支持する固定体22と、回転体20と固定体22の間に充填され、両者の間を潤滑する液体金属24などから成る。   An example of the configuration of a rotating anode X-ray tube having a dynamic pressure slide bearing lubricated with liquid metal is shown in FIGS. 4 is a structural diagram of an example of a rotary anode X-ray tube having a dynamic pressure slide bearing, FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of the rotating portion of the rotating anode of FIG. 4, and FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of the bearing portion of the rotating anode of FIG. FIG. In FIG. 4, a rotating anode X-ray tube (hereinafter abbreviated as X-ray tube) 10 is composed of a cathode 12, a rotating anode 14, and an envelope 16. The rotating anode 14 includes a disk-shaped target 18, a target 18 and the like. The rotating body 20 that supports the rotating body 20, the stationary body 22 that supports the rotating body 20, and the liquid metal 24 that is filled between the rotating body 20 and the stationary body 22 and lubricates between the two.

図5及び図6において、回転陽極14の回転体20はターゲット18を支持する細径のターゲット支持軸26と、太径で底部27の付いた円筒部28とから成り、ターゲット支持軸26と円筒部28とは底部27において同軸に結合されている。ターゲット支持軸26はモリブデン(Mo)などの高融点金属材料から成り、その軸の先端部にターゲット18がねじなどで結合されている。円筒部28は3層構造をしており、外側円筒30と中間円筒32と内側円筒34とから成る。外側円筒(以下、ロータともいう)30は単純な円筒で、銅などの高導電性の金属材料から成り、ロータの役割を果たしている。中間円筒32は底付き円筒で、鉄合金などから成り、ターゲット支持軸26と結合されている。内側円筒34も底付き円筒で、鉄合金などから成り、その内面は軸受面(以下、回転体軸受面という)36となる。ここで、外側円筒30と中間円筒32とは密着して結合しているが、中間円筒32と内側円筒34との間には断熱隙間38が設けられており、両者は陽極端側の端部において溶接またはろう付けなどで結合されている。固定体22は大略円柱状をしており、鉄合金などから成り、その外表面が軸受面(以下、固定体軸受面という)40となる。固定体22は回転体20の内側円筒34に嵌合され、両者で動圧すべり軸受41を構成する。   5 and 6, the rotating body 20 of the rotating anode 14 includes a thin target support shaft 26 that supports the target 18, and a cylindrical portion 28 that has a large diameter and a bottom 27. The portion 28 is coaxially coupled at the bottom 27. The target support shaft 26 is made of a refractory metal material such as molybdenum (Mo), and the target 18 is coupled to the tip of the shaft with a screw or the like. The cylindrical portion 28 has a three-layer structure, and includes an outer cylinder 30, an intermediate cylinder 32, and an inner cylinder 34. An outer cylinder (hereinafter also referred to as a rotor) 30 is a simple cylinder made of a highly conductive metal material such as copper, and serves as a rotor. The intermediate cylinder 32 is a bottomed cylinder made of an iron alloy or the like and coupled to the target support shaft 26. The inner cylinder 34 is also a bottomed cylinder made of an iron alloy or the like, and its inner surface is a bearing surface (hereinafter referred to as a rotating body bearing surface) 36. Here, the outer cylinder 30 and the intermediate cylinder 32 are intimately bonded to each other, but a heat insulating gap 38 is provided between the intermediate cylinder 32 and the inner cylinder 34, both of which are end portions on the anode end side. And are joined by welding or brazing. The fixed body 22 has a substantially cylindrical shape and is made of an iron alloy or the like, and its outer surface is a bearing surface (hereinafter referred to as a fixed body bearing surface) 40. The fixed body 22 is fitted into the inner cylinder 34 of the rotating body 20, and both constitute a dynamic pressure sliding bearing 41.

図6において、回転体20と固定体22の嵌合部分における動圧すべり軸受41は、2組の動圧式のラジアルすべり軸受42とスラストすべり軸受44とから構成される。回転軸方向に互いに離して設けられている2つのラジアル軸受42は、固定体22の外周面に形成された2組のヘリンボンパターンらせん溝42a、42bを有している。また、2つのスラスト軸受44の一方は、固定体22の端面46に形成されたサークル状のヘリンボンパターンらせん溝44aを有している。他方のスラストすべり軸受44は、固定体22の下部面48が接するスラストリング50の上面50aに形成されたサークル状のヘリンボンパターンらせん溝44bを有している。これらのらせん溝が形成された面と接する各対向すべり軸受面は、単なる平滑面であるが、必要に応じてらせん溝を形成する場合もある。回転体20と固定体22の両軸受36、40で構成される動圧式すべり軸受41は、動作中におよそ20μmの軸受隙間を保つようになっている。   In FIG. 6, a dynamic pressure slide bearing 41 in a fitting portion between the rotating body 20 and the fixed body 22 is composed of two sets of dynamic pressure type radial slide bearings 42 and thrust slide bearings 44. The two radial bearings 42 provided away from each other in the rotation axis direction have two sets of herringbone pattern spiral grooves 42 a and 42 b formed on the outer peripheral surface of the fixed body 22. Further, one of the two thrust bearings 44 has a circle-shaped herringbone pattern spiral groove 44 a formed on the end face 46 of the fixed body 22. The other thrust plain bearing 44 has a circle-shaped herringbone pattern spiral groove 44b formed on the upper surface 50a of the thrust ring 50 with which the lower surface 48 of the fixed body 22 contacts. Each of the opposed plain bearing surfaces in contact with the surface on which these spiral grooves are formed is merely a smooth surface, but the spiral grooves may be formed as necessary. The hydrodynamic slide bearing 41 composed of both the bearings 36 and 40 of the rotating body 20 and the fixed body 22 maintains a bearing gap of approximately 20 μm during operation.

固定体22には、その中央部が軸方向に沿ってくりぬかれた潤滑剤収容室52や中間部に形成された潤滑剤通路54が形成されている。また、回転体20の内側円筒34と固定体22が嵌合した状態で、回転体軸受面36と固定体軸受面40との間には軸受隙間56が設けられている。そして、潤滑剤収容室52と潤滑剤通路54と軸受隙間56には、少なくともX線管の動作中に液状であるガリウムまたはガリウム合金などの液体金属24が潤滑剤として供給される。   The fixed body 22 is formed with a lubricant accommodating chamber 52 whose central portion is hollowed out along the axial direction and a lubricant passage 54 formed in an intermediate portion. Further, a bearing gap 56 is provided between the rotating body bearing surface 36 and the fixed body bearing surface 40 in a state where the inner cylinder 34 of the rotating body 20 and the fixed body 22 are fitted. Then, at least the liquid metal 24 such as gallium or gallium alloy, which is liquid during the operation of the X-ray tube, is supplied to the lubricant storage chamber 52, the lubricant passage 54, and the bearing gap 56 as a lubricant.

図4及び図5において、ターゲット18はX線放射層18aと蓄熱部18bとから成り、X線放射層18aは傾斜したリング状の薄い層を有し、タングステン(W)またはその合金から成り、陰極12からの電子線が衝突してX線を放射する部分であり、蓄熱部18bはX線放射層18aの裏面に接合されたリング状の厚い層で、モリブデン(Mo)などの高融点金属から成る。蓄熱部18bはターゲット18の重量を軽減するために、モリブデンなどの一部をグラファイトなどで代替される場合もある。また、ターゲット18の外周面や裏面には熱輻射を良くするために黒色被膜が付着されている。   4 and 5, the target 18 is composed of an X-ray radiation layer 18a and a heat storage portion 18b. The X-ray radiation layer 18a has an inclined ring-shaped thin layer, and is composed of tungsten (W) or an alloy thereof. This is the part where the electron beam from the cathode 12 collides and emits X-rays. The heat storage part 18b is a ring-shaped thick layer joined to the back surface of the X-ray emission layer 18a, and is a refractory metal such as molybdenum (Mo). Consists of. In order to reduce the weight of the target 18, the heat storage unit 18b may be partially replaced with molybdenum or the like. Further, a black coating is attached to the outer peripheral surface and the back surface of the target 18 in order to improve thermal radiation.

このX線管10の動作時には、外囲器16外の、回転陽極14の回転体20の外周に配置されたステータ58が付勢されることによって回転磁界が発生して、回転陽極14のターゲット18と回転体20が高速回転する。同時に、X線管10の陰極12と回転陽極14との間に高電圧のX線管電圧が印加され、陰極12のフィラメントにフィラメント加熱電圧が印加されることにより、陰極12から電子線が放出され、これが回転陽極14のターゲット18のX線放射層18aに衝突してX線が放射される。   During operation of the X-ray tube 10, a rotating magnetic field is generated by energizing the stator 58 disposed outside the envelope 16 and on the outer periphery of the rotating body 20 of the rotating anode 14, thereby generating a target for the rotating anode 14. 18 and the rotating body 20 rotate at high speed. At the same time, a high voltage X-ray tube voltage is applied between the cathode 12 and the rotating anode 14 of the X-ray tube 10, and a filament heating voltage is applied to the filament of the cathode 12, whereby an electron beam is emitted from the cathode 12. Then, this collides with the X-ray emission layer 18a of the target 18 of the rotary anode 14, and X-rays are emitted.

回転陽極14の部品などに使用される一般的な工業用材料では必ずと言ってよいほど内部に密度差が存在し、これにより質量の偏り(アンバランス)が存在する。更に、回転陽極14の回転構造体(ターゲット18と回転体20を結合したもの)58のように複数の部品を組立てたものでは、寸法公差などにより部品同士に微小な隙間が存在し、これによってもアンバランスが発生する。このようなアンバランスのある部品を高速で回転させると、その質量に回転加速度が加わり、回転中心を基準にしてアンバランスの存在する方向へ遠心力が発生する。この遠心力により回転陽極14の回転構造体58の中心軸が回転中心から移動する振れ回り現象が発生すると、軸受などの回転部品に悪影響を与えるばかりでなく、最悪の場合には回転陽極14が破損する恐れがある。このため、回転陽極14の回転構造体58は、予め回転バランスが高精度に調整される必要がある。回転陽極14の回転構造体58の回転バランスの調整は回転陽極14を外囲器16内に真空気密に封入する前に行われる。この回転バランスの調整の工程では、通常工業用の回転アンバランス測定装置などを使用して、回転構造体58のアンバランス質量及びその位置を測定し、アンバランスのある場合には、回転構造体58のアンバランスが存在する位置で、アンバランス質量に対応する質量を切削、研磨などで削り取り、回転アンバランスを修正する。一度の削り取りで不十分な場合には、繰り返して回転アンバランスを測定し、回転アンバランスの修正を行う。回転バランスの調整が完了したら、回転陽極14を外囲器16に封入する。   In general industrial materials used for the parts of the rotating anode 14 and the like, there is a density difference inside, and as a result, there is a mass imbalance (unbalance). Furthermore, in the case where a plurality of parts are assembled such as the rotating structure 58 of the rotating anode 14 (the target 18 and the rotating body 20 combined) 58, there are minute gaps between the parts due to dimensional tolerances, etc. Also unbalance occurs. When such an unbalanced component is rotated at high speed, rotational acceleration is added to its mass, and centrifugal force is generated in the direction where the unbalance exists with respect to the rotation center. If this centrifugal force causes a whirling phenomenon in which the central axis of the rotating structure 58 of the rotating anode 14 moves from the rotating center, it not only adversely affects rotating parts such as bearings, but in the worst case the rotating anode 14 There is a risk of damage. Therefore, the rotational balance of the rotating structure 58 of the rotating anode 14 needs to be adjusted in advance with high accuracy. The rotation balance of the rotating structure 58 of the rotating anode 14 is adjusted before the rotating anode 14 is sealed in the envelope 16 in a vacuum-tight manner. In the process of adjusting the rotational balance, the rotational unbalance mass and the position of the rotational structure 58 are measured using an industrial rotational unbalance measuring device or the like. If there is an unbalance, the rotational structure is measured. At the position where 58 unbalances exist, the mass corresponding to the unbalance mass is removed by cutting, polishing, etc., and the rotational unbalance is corrected. If one-time scraping is insufficient, the rotational imbalance is measured repeatedly to correct the rotational imbalance. When the adjustment of the rotation balance is completed, the rotary anode 14 is enclosed in the envelope 16.

回転陽極の軸受として玉軸受を使用していた従来方式のX線管では、回転陽極の回転バランスの調整は空気中で行われていたが、玉軸受の潤滑剤として銀や鉛などの固体潤滑剤を使用していたため、殆ど潤滑剤の劣化がなく回転アンバランスの測定を行うことができた。しかしながら、ガリウムやガリウム合金などの、非常に活性な液体金属を潤滑剤として用いる動圧すべり軸受を有するX線管10では、回転陽極14の回転構造体58の回転アンバランスを測定するために、軸受隙間56などの回転体20と固定体22との間の微小な隙間などに液体金属24を充填した状態で、空気中で回転構造体58を回転させたりして、液体金属24が空気に触れると、たちまち液体金属24自体の表面や液体金属24で濡らされた軸受面36、40が酸化し、これを外囲器16内に封入しても正常な軸受動作性能は得られない。そのため、回転構造体58の回転アンバランス測定などの回転バランス調整作業は真空装置内で行い、そのまま外囲器16内に組み込むなどの、極めて繁雑な工程が必要となる。   In conventional X-ray tubes that used ball bearings as bearings for rotating anodes, the rotational balance of the rotating anode was adjusted in air, but solid lubricants such as silver and lead were used as ball bearing lubricants. Since the agent was used, the rotation imbalance could be measured with almost no deterioration of the lubricant. However, in an X-ray tube 10 having a dynamic pressure slide bearing using a very active liquid metal such as gallium or gallium alloy as a lubricant, in order to measure the rotational imbalance of the rotating structure 58 of the rotating anode 14, While the liquid metal 24 is filled in a minute gap between the rotating body 20 and the fixed body 22 such as the bearing gap 56, the rotating structure 58 is rotated in the air, so that the liquid metal 24 is turned into the air. When touched, the surface of the liquid metal 24 itself and the bearing surfaces 36 and 40 wetted with the liquid metal 24 are oxidized, and normal bearing operation performance cannot be obtained even if they are enclosed in the envelope 16. For this reason, a rotation balance adjustment operation such as rotation unbalance measurement of the rotating structure 58 is performed in a vacuum apparatus and incorporated into the envelope 16 as it is.

上記の不都合を解消するための一つの解決方法が特許文献4に開示されている。この方法では、回転陽極14の回転アンバランスを測定する際に、回転陽極14の固定体22の代わりに、内部から高圧気体を噴出する固定支持治具を回転構造体58に嵌合し、高圧気体を噴出させながら回転構造体58を高速回転させて、回転アンバランスを測定している。この方法によれば、軸受の潤滑剤として液体金属を使用しないため、大気中で容易に且つ高精度に回転構造体58の回転アンバランスの測定を行い、必要に応じてそのまま大気中で回転アンバランスの修正を行うことができるので、回転陽極14の能率的で高精度の回転バランス調整を行うことができる。   One solution for solving the above inconvenience is disclosed in Patent Document 4. In this method, when measuring the rotational imbalance of the rotating anode 14, instead of the fixed body 22 of the rotating anode 14, a fixed support jig for injecting high-pressure gas from the inside is fitted to the rotating structure 58, and the high pressure The rotating unbalance is measured by rotating the rotating structure 58 at high speed while jetting gas. According to this method, since no liquid metal is used as a lubricant for the bearing, the rotational unbalance of the rotating structure 58 is easily and accurately measured in the atmosphere, and if necessary, the rotational unbalance is directly measured in the atmosphere. Since the balance can be corrected, the rotation balance of the rotating anode 14 can be adjusted efficiently and with high accuracy.

しかし、上記方法で高圧気体によって静圧すべり軸受を形成することになるため、回転陽極14の回転構造体58の回転アンバランスの測定中は常時外部に設置したコンプレッサなどから高圧気体を供給する必要があるとともに、この高圧気体の供給量、すなわちコンプレッサの気体の供給の能力によって静圧すべり軸受の耐荷重能力が決定される。このため、大きな熱容量を持つ重量の大きなターゲット18を有する回転構造体58では、大型コンプレッサが必要になるなど、回転アンバランスの測定装置が大型化する可能性がある。   However, since the static pressure plain bearing is formed by the high pressure gas in the above method, it is necessary to always supply the high pressure gas from an external compressor or the like during the measurement of the rotational unbalance of the rotating structure 58 of the rotating anode 14. In addition, the load capacity of the static pressure plain bearing is determined by the supply amount of the high-pressure gas, that is, the gas supply capability of the compressor. For this reason, in the rotating structure 58 having the large target 18 having a large heat capacity, there is a possibility that the measuring device for the rotational imbalance becomes large, for example, a large compressor is required.

また、最近では回転陽極X線管を内挿するX線管装置としては、比較的大X線量を確保しやすい大熱容量のターゲットを有する回転陽極X線管装置のニーズが高まっている。また、X線CT装置では、被検体の周囲をX線管装置が回転しながらスキャニングを行うことで、被検体の断層画像を得ているが、検査の短時間化が求められており、このためにはX線管装置によるスキャニング時間の短縮が必要であり、X線管装置としてはターゲットの回転速度の高速化やターゲットの熱容量の大容量化が必要となる。これを達成するためには、X線管の回転陽極では、遠心力荷重に対する耐荷重性能を向上させるとともに、回転構造体58の重量も増加することになるので、これに伴い回転構造体58の回転アンバランスの測定において、高圧気体による静圧すべり軸受では耐荷重能力が不十分となる恐れがある。   Recently, as an X-ray tube apparatus for inserting a rotary anode X-ray tube, there is an increasing need for a rotary anode X-ray tube apparatus having a large heat capacity target that can easily secure a relatively large X-ray dose. Moreover, in an X-ray CT apparatus, a tomographic image of a subject is obtained by performing scanning while the X-ray tube device rotates around the subject. For this purpose, it is necessary to shorten the scanning time by the X-ray tube apparatus. For the X-ray tube apparatus, it is necessary to increase the rotational speed of the target and increase the heat capacity of the target. In order to achieve this, in the rotating anode of the X-ray tube, the load bearing performance against centrifugal load is improved and the weight of the rotating structure 58 is increased. In the measurement of rotational imbalance, the load bearing capacity may be insufficient with a hydrostatic plain bearing using high-pressure gas.

上記に鑑み、本発明では、大熱容量のターゲットと動圧すべり軸受を有する回転陽極X線管の回転陽極の回転バランスの調整を確実に行うことができる回転陽極X線管の製造方法と製造装置を提供することを目的とする。 In view of the above, in the present invention, a method and apparatus for manufacturing a rotary anode X-ray tube capable of reliably adjusting the rotational balance of the rotary anode of a rotary anode X-ray tube having a large heat capacity target and a dynamic pressure slide bearing. The purpose is to provide.

上記目的を達成するため、本発明に係わる回転陽極X線管の製造装置は、円筒状の回転体にターゲットが結合された回転構造体の回転体の円筒部に円柱状の固定体が嵌合され、回転体と固定体の嵌合部に設けられた動圧すべり軸受に液体金属潤滑剤を供給する回転陽極X線管の、前記回転構造体の回転アンバランスを測定し必要に応じて回転アンバランスの修正をする回転陽極X線管の製造装置において、前記固定体とほぼ同じ外形寸法で、中心軸に沿った貫通孔を有する固定支持治具と、該固定支持治具を支持する振動台と、該振動台を弾性支持体にて支持する基盤と、前記振動台の振動を検知する振動センサと、前記回転構造体を回転駆動するためのステータと、前記振動センサの出力信号を解析し前記回転構造体の回転アンバランスを算出して表示する表示部と、前記固定支持治具に高圧の液体を供給する液体ポンプを備え、前記回転構造体の回転アンバランスの測定時に、前記回転構造体の回転体と前記固定支持治具との嵌合部に前記液体ポンプからの高圧の液体を流して静圧すべり軸受を形成するものであり、前記液体は有機溶剤である。 In order to achieve the above object, a rotating anode X-ray tube manufacturing apparatus according to the present invention has a columnar fixed body fitted to a cylindrical portion of a rotating structure in which a target is coupled to a cylindrical rotating body. The rotational unbalance of the rotating structure of the rotating anode X-ray tube that supplies the liquid metal lubricant to the hydrodynamic slide bearing provided at the fitting part of the rotating body and the stationary body is measured and rotated as necessary. In an apparatus for manufacturing a rotary anode X-ray tube that corrects unbalance, a fixed support jig having a through hole extending along the central axis and having substantially the same external dimensions as the fixed body, and vibration for supporting the fixed support jig A base, a base for supporting the vibration table with an elastic support, a vibration sensor for detecting vibration of the vibration table, a stator for rotationally driving the rotating structure, and an output signal of the vibration sensor The rotational unbalance of the rotating structure A display unit for displaying and displaying, and a liquid pump for supplying a high-pressure liquid to the fixed support jig, and measuring the rotation unbalance of the rotary structure and the fixed support jig der those flowing a high pressure fluid to form an electrostatic push Beri bearings from the fluid pump to the fitting portion between is, the liquid is an organic solvent.

また、本発明に係わる回転陽極X線管の製造装置では、前記液体としてエタノールなどの有機溶剤を使用する。   In the apparatus for manufacturing a rotary anode X-ray tube according to the present invention, an organic solvent such as ethanol is used as the liquid.

また、本発明に係わる回転陽極X線管の製造装置では、前記振動台の前記固定支持治具の支持部に近接する部分に前記液体を一時的に溜めておくための蓄液部を設けている。   Moreover, in the rotating anode X-ray tube manufacturing apparatus according to the present invention, a liquid storage part for temporarily storing the liquid is provided in a part of the vibrating table close to the support part of the fixed support jig. Yes.

また、本発明に係わる回転陽極X線管の製造装置では、前記固定支持治具から排出された液体を前記液体ポンプに戻す液体還流機構を備えている。   The rotating anode X-ray tube manufacturing apparatus according to the present invention further includes a liquid reflux mechanism that returns the liquid discharged from the fixed support jig to the liquid pump.

本発明に係わる回転陽極X線管の製造方法は、動圧すべり軸受に液体金属潤滑剤を供給する回転陽極の回転構造体の回転アンバランスの測定において、固定体の代わりに、内部から高圧の液体を流出する固定支持治具を回転構造体の回転体に嵌合し、高圧の液体を流出させながら回転構造体を高速回転させて、その回転アンバランスの測定をしているので、回転構造体の回転体と固定支持治具との嵌合部には大きな耐荷重能力を有する静圧すべり軸受が形成され、10kg以上の重量の大きな回転構造体を容易に支持し、その回転アンバランスの測定が可能となる。また、静圧すべり軸受の媒体として液体を使用しているので、回転アンバランスの測定作業を大気中で容易にかつ高精度で行うことができる。   The method of manufacturing a rotary anode X-ray tube according to the present invention is a method of measuring the rotational imbalance of a rotary structure of a rotary anode that supplies a liquid metal lubricant to a hydrodynamic slide bearing. Since the fixed support jig that flows out the liquid is fitted to the rotating body of the rotating structure, and the rotating structure is rotated at high speed while the high-pressure liquid is flowing out, the rotational imbalance is measured. A hydrostatic slide bearing with a large load bearing capacity is formed at the fitting part between the rotating body of the body and the fixed support jig, and it easily supports a large rotating structure weighing 10 kg or more. Measurement is possible. Further, since liquid is used as the medium of the hydrostatic slide bearing, the rotational unbalance measurement can be easily performed with high accuracy in the atmosphere.

また、本発明に係わる回転陽極X線管の製造方法では、液体としてエタノールなどの有機溶剤を使用しているので、その洗浄作用により、回転陽極の回転アンバランスの測定後に、その部品の洗浄などを行うことなく回転陽極を組立てることが可能となる。また、エタノールなどの有機溶剤の洗浄作用は回転構造体を組立てる際に発生する恐れのある微細金属異物を除去する効果もあり、回転陽極X線管の耐電圧性能の向上にも有益である。   Further, in the method of manufacturing a rotating anode X-ray tube according to the present invention, an organic solvent such as ethanol is used as a liquid. It is possible to assemble the rotating anode without performing the steps. In addition, the cleaning action of an organic solvent such as ethanol has an effect of removing fine metallic foreign matters that may be generated when the rotating structure is assembled, and is also useful for improving the withstand voltage performance of the rotating anode X-ray tube.

本発明に係わる回転陽極X線管の製造装置は、動圧すべり軸受に液体金属潤滑剤を供給する回転陽極の回転構造体の回転アンバランスを測定するために、回転構造体の回転体と嵌合して、これを支持する固定支持治具と、これを支持する振動台と、振動台を支持する基盤と、振動センサと、表示部と、ステータと、固定支持治具に高圧の液体を供給する液体ポンプを備えていて、回転体と固定支持治具との嵌合部に高圧の液体を流して静圧すべり軸受を形成するので、この静圧すべり軸受の耐荷重能力は非常に大きなものとなり、10kg以上の重量の大きい回転構造体でも容易に支持し、その回転アンバランスを測定することができる。   The apparatus for manufacturing a rotary anode X-ray tube according to the present invention is fitted with a rotary body of a rotary structure in order to measure the rotational imbalance of the rotary structure of the rotary anode that supplies a liquid metal lubricant to a hydrodynamic slide bearing. In addition, a fixed support jig for supporting the vibration table, a vibration table for supporting the vibration table, a base for supporting the vibration table, a vibration sensor, a display unit, a stator, and a high pressure liquid for the fixed support jig. Since it has a liquid pump to supply and forms a hydrostatic slide bearing by flowing high pressure liquid through the fitting part between the rotating body and the fixed support jig, the load bearing capacity of this hydrostatic slide bearing is very large Therefore, it is possible to easily support a rotating structure having a weight of 10 kg or more and measure the rotational imbalance.

また、本発明に係わる回転陽極X線管の製造装置では、液体としてエタノールなどの有機溶剤を使用しているので、有機溶剤の洗浄作用により、この装置で回転アンバランスを測定した回転構造体については、そのまま回転陽極に組立てることができるので、作業性が良くなる。   In addition, the rotating anode X-ray tube manufacturing apparatus according to the present invention uses an organic solvent such as ethanol as a liquid. Since it can be assembled to the rotating anode as it is, workability is improved.

また、本発明に係わる回転陽極X線管の製造装置では、振動台の固定支持治具の支持部に近接する部分に蓄液部を設けているため、回転構造体の回転アンバランス測定時に回転体と固定支持治具との嵌合部から流出した液体を一時的にこの蓄液部に溜めておくことができ、液体の飛散及び流出を防止することができるとともに、液体ポンプに戻すことも可能となる。   Further, in the rotating anode X-ray tube manufacturing apparatus according to the present invention, since the liquid storage part is provided in the part close to the support part of the fixed support jig of the vibration table, it is rotated when measuring the rotational imbalance of the rotating structure. The liquid that has flowed out from the fitting part between the body and the fixed support jig can be temporarily stored in the liquid storage part, so that the liquid can be prevented from scattering and flowing out and returned to the liquid pump. It becomes possible.

また、本発明に係わる回転陽極X線管の製造装置では、固定支持治具から排出された液体を液体ポンプに戻す液体還流機構を備えているので、回転アンバランスの測定中に液体が消失することは殆どなくなるので、途中で液体を補給する作業も必要なく、また液体の消失による液体補充のための費用も不要となる。   In addition, since the rotating anode X-ray tube manufacturing apparatus according to the present invention includes a liquid reflux mechanism that returns the liquid discharged from the fixed support jig to the liquid pump, the liquid disappears during the measurement of the rotational imbalance. Therefore, there is no need to replenish the liquid on the way, and the cost for replenishing the liquid due to the disappearance of the liquid becomes unnecessary.

以下、本発明の実施例を図1〜図3を参照して説明する。なお、同一部分は同一符号であらわす。先ず、本発明に係わる回転陽極X線管の製造方法の一実施例について説明する。本実施例では、本発明に係わる回転陽極X線管の製造装置の一実施例を用いるので、この説明では製造装置の図面も参照しながら説明する。図1は本発明に係わる回転陽極X線管の製造方法の一実施例を説明するための図、図2は図1の固定支持治具の縦断面図、図3は本発明に係わる回転陽極X線管の製造装置の一実施例の概略構成図である。また、以下の説明では、必要に応じ動圧すべり軸受を有する回転陽極X線管の構造及び部品についても参照するので、その時は前掲の図4〜図6を参照することにする。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS. The same parts are denoted by the same reference numerals. First, an embodiment of a method for manufacturing a rotary anode X-ray tube according to the present invention will be described. In this embodiment, since an embodiment of a manufacturing apparatus for a rotary anode X-ray tube according to the present invention is used, the description will be given with reference to the drawing of the manufacturing apparatus. FIG. 1 is a view for explaining an embodiment of a method for manufacturing a rotary anode X-ray tube according to the present invention, FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the fixed support jig of FIG. 1, and FIG. 3 is a rotary anode according to the present invention. It is a schematic block diagram of one Example of the manufacturing apparatus of an X-ray tube. In the following description, the structure and parts of a rotating anode X-ray tube having a dynamic pressure slide bearing will be referred to as necessary. At that time, reference will be made to FIGS.

本発明が対象とする回転陽極X線管(以下、X線管と略称する)の製造工程は、回転陽極を構成する回転構造体58の回転アンバランスを測定し、必要に応じて回転アンバランスを修正する工程である。回転構造体58は、前にも説明した如く、回転陽極の回転部分であり、回転体20にターゲット18が結合されたものである。この工程では、図1に示すように、回転構造体58の回転体20を、固定体22の代わりに、固定支持治具70に嵌合し、この固定支持治具70の内部から液体72を矢印73のように流出させて、回転体20と固定支持治具70との嵌合部に液体72で充満させることにより、この嵌合部を事実上の静圧液体軸受(静圧すべり軸受ともいう)74とし、これにより回転構造体58を浮上させる。同時に、回転体20の円筒部28の外周に配置したステータ75に通電して、回転構造体58を例えば約1,000rpmで高速回転させて、回転構造体58の回転アンバランスを測定する。この作業は、大気中または不活性ガス雰囲気中で行うことができる。   The manufacturing process of the rotary anode X-ray tube (hereinafter abbreviated as X-ray tube) targeted by the present invention measures the rotational unbalance of the rotating structure 58 constituting the rotary anode, and rotates the unbalance as necessary. Is a process of correcting As described above, the rotating structure 58 is a rotating portion of the rotating anode, and the target 18 is coupled to the rotating body 20. In this step, as shown in FIG. 1, the rotating body 20 of the rotating structure 58 is fitted into a fixed support jig 70 instead of the fixed body 22, and the liquid 72 is poured from the inside of the fixed support jig 70. By flowing out as shown by an arrow 73 and filling the fitting portion between the rotating body 20 and the fixed support jig 70 with the liquid 72, this fitting portion is effectively a hydrostatic liquid bearing (also known as a hydrostatic slide bearing). 74), and thereby the rotating structure 58 is levitated. At the same time, the stator 75 disposed on the outer periphery of the cylindrical portion 28 of the rotating body 20 is energized to rotate the rotating structure 58 at a high speed of, for example, about 1,000 rpm, and the rotational imbalance of the rotating structure 58 is measured. This operation can be performed in air or in an inert gas atmosphere.

図2は図1の固定支持治具70の縦断面図である。図2において、固定支持治具70は円柱状をしており、その外形は完成状態のX線管10の回転陽極14の固定体22の外形と類似しているが、その外表面にはらせん溝などは設けられていない。固定支持治具70の外径は、回転陽極14の回転体20と結合した状態で、両者の間に半径方向に約1mm程度またはそれ以上の隙間(以下、半径方向隙間という)74aが得られるように加工されている。固定支持治具70の中心軸に沿って液体72を流すための比較的直径の大きい通液孔76があけられており、またその外周下部には固定用のねじ78が設けられている。固定支持治具70はステンレス鋼などの鋼材から成る。   FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the fixed support jig 70 of FIG. In FIG. 2, the fixed support jig 70 has a cylindrical shape, and its outer shape is similar to the outer shape of the fixed body 22 of the rotating anode 14 of the completed X-ray tube 10, but does not spiral on its outer surface. There are no grooves or the like. The outer diameter of the fixed support jig 70 is connected to the rotating body 20 of the rotary anode 14, and a gap of about 1 mm or more (hereinafter referred to as a radial gap) 74a in the radial direction is obtained between the two. It is processed as follows. A liquid passage hole 76 having a relatively large diameter for allowing the liquid 72 to flow along the central axis of the fixed support jig 70 is formed, and a fixing screw 78 is provided at the lower part of the outer periphery. The fixed support jig 70 is made of a steel material such as stainless steel.

図1及び図3において、この固定支持治具70はねじ78を介して回転アンバランス測定装置80の振動台92の測定台座82に固定される。測定台座82に設けられた孔82aには液体72を供給する液体ポンプ84からの送液管86が接続されている。液体ポンプ84の接続により、液体ポンプ84から送液管84、測定台座82の孔82aを経由して高圧の液体72が固定支持治具70の通液孔76に供給される。この高圧の液体72が固定支持治具70の通液孔76から回転構造体58の回転体20と固定支持治具70との間の上部隙間74bと半径方向隙間74aに供給されることにより、回転構造体58の回転体20と固定支持治具70との間に事実上の静圧液体軸受74が形成され、それによって回転構造体58は浮上して回転可能に支持される。   In FIG. 1 and FIG. 3, the fixed support jig 70 is fixed to the measurement base 82 of the vibration base 92 of the rotational imbalance measuring device 80 via a screw 78. A liquid supply pipe 86 from a liquid pump 84 that supplies the liquid 72 is connected to the hole 82 a provided in the measurement base 82. By connecting the liquid pump 84, the high-pressure liquid 72 is supplied from the liquid pump 84 to the liquid passage hole 76 of the fixed support jig 70 through the liquid feed pipe 84 and the hole 82 a of the measurement base 82. By supplying the high-pressure liquid 72 from the liquid passage hole 76 of the fixed support jig 70 to the upper gap 74b and the radial gap 74a between the rotary body 20 of the rotary structure 58 and the fixed support jig 70, A substantially hydrostatic liquid bearing 74 is formed between the rotating body 20 of the rotating structure 58 and the fixed support jig 70, whereby the rotating structure 58 is floated and supported rotatably.

液体72としては、エタノールなどの有機溶剤や水などが用いられる。エタノールなどの有機溶剤などは部品の洗浄作用もあるので最適である。油なども使用可能であるが、使用後に回転構造体58の洗浄をしておく必要がある。エタノールなどの有機溶剤は、その洗浄作用により、回転陽極の回転アンバランスの測定後に、その部品の洗浄などを行うことなく回転陽極を組立てることができる。また、その洗浄作用は回転構造体58を組立てる際に発生する恐れのある微細金属異物を除去する効果もあり、X線管の耐電圧性能の向上にも有益である。   As the liquid 72, an organic solvent such as ethanol or water is used. Organic solvents such as ethanol are optimal because they also have parts cleaning action. Oil or the like can also be used, but it is necessary to clean the rotating structure 58 after use. An organic solvent such as ethanol can assemble the rotating anode without cleaning the parts after measuring the rotational imbalance of the rotating anode due to its cleaning action. In addition, the cleaning action has an effect of removing fine metal foreign matters that may be generated when the rotating structure 58 is assembled, and is also useful for improving the withstand voltage performance of the X-ray tube.

高圧の液体72を静圧すべり軸受74の軸受隙間74a、74bに供給した場合、耐荷重性能が高圧空気の場合に比べて格段に向上し、少ない流量でも大きな重量の回転構造体58を支持することが可能となる。先に説明した如く、X線CT装置に搭載されるX線管装置では、X線CT装置の高速スキャン化の動向に対応するため、装着されるX線管の回転構造体の重量は増加の傾向にあり、10kg〜30kg程度になる可能性があり、このような場合には、耐荷重性能の小さい高圧空気による回転構造体の浮上は非常に困難であり、大きなコンプレッサも必要となる。これに対し、高圧液体の場合大きな耐荷重性能を有するので、液体として例えばエタノールなどの有機溶剤を用いた場合液体ポンプ84はそれほど大型のものは必要なく、モータ容量が数kW程度で、揚程が約1MPa(メガパスカル)程度の中型の業務ポンプで十分対応することができる。   When high-pressure liquid 72 is supplied to the bearing gaps 74a and 74b of the hydrostatic slide bearing 74, the load bearing performance is significantly improved compared to the case of high-pressure air, and the rotating structure 58 with a large weight is supported even with a small flow rate. It becomes possible. As described above, in the X-ray tube apparatus mounted on the X-ray CT apparatus, the weight of the rotating structure of the mounted X-ray tube increases in order to cope with the trend of high-speed scanning of the X-ray CT apparatus. In such a case, it is very difficult to lift the rotating structure with high-pressure air with a small load bearing performance, and a large compressor is also required. On the other hand, since a high-pressure liquid has a large load-bearing performance, when an organic solvent such as ethanol is used as the liquid, the liquid pump 84 does not need to be so large, has a motor capacity of about several kW, and has a lifting head. A medium-sized business pump of about 1 MPa (megapascal) can be used.

本実施例では、固定支持治具70の外径をほぼ一様とし、回転構造体58の下部に図6に示したようなスラストリング50などを取り付けない構造としているが図6に示したように固定支持治具70の下部の外径を細くし、回転構造体58の下部にスラストリング50などを取り付ける構造にしてもよい。本実施例の場合、回転体20と固定支持治具70との嵌合部で形成される静圧すべり軸受74の媒体として、非圧縮性の液体72を使用しているため、液体72の圧力の影響が少なく、スラストリング50などを取り付けることなく、回転アンバランスの測定を行うことができる。回転構造体58にスラストリング50などを取り付けないことにより、作業性が良くなり、また作業時間も短縮される。   In this embodiment, the outer diameter of the fixed support jig 70 is made substantially uniform, and the thrust ring 50 or the like as shown in FIG. 6 is not attached to the lower part of the rotating structure 58. However, as shown in FIG. Further, the outer diameter of the lower portion of the fixed support jig 70 may be reduced, and the thrust ring 50 or the like may be attached to the lower portion of the rotating structure 58. In the case of the present embodiment, since the incompressible liquid 72 is used as the medium of the static pressure plain bearing 74 formed by the fitting portion between the rotating body 20 and the fixed support jig 70, the pressure of the liquid 72 The rotation imbalance can be measured without attaching the thrust ring 50 or the like. By not attaching the thrust ring 50 or the like to the rotating structure 58, the workability is improved and the working time is shortened.

回転構造体58の回転アンバランスの測定に際しては、先ず、回転体20にターゲット18をねじで結合して一体化して回転構造体58を組立てる。次に、回転アンバランス測定装置80の振動台92の測定台座82のねじ82bに固定支持治具70のねじ78を嵌合させて、固定支持治具70が垂直位置に配置されるように固定する。次に、固定支持治具70の周囲にステータ75を配置する。次に、液体ポンプ84からの送液管86を測定台座82の孔82aに接続する。次に、回転構造体58の回転体20を固定支持治具70に嵌着する。次に、液体ポンプ84を作動させ、高圧の液体72を固定支持治具70の通液孔76に供給する。これによって、回転構造体58は軸方向及び半径方向について浮上する。次に、ステータ75にステータ駆動電圧を供給し、回転磁界により回転構造体58を所用の回転数、例えば1000rpmで回転させる。次に、この状態で、回転アンバランス測定装置80によって、回転アンバランスを測定する。回転アンバランスの量はセンサ88によって検知される。もし、回転アンバランスがあれば、回転アンバランス測定装置80の表示部90にアンバランス量と方向(基準位置に対する角度)が表示されるので、回転構造体58の回転及び液体ポンプ84の動作を停止し、回転アンバランスの修正を行う。この回転アンバランスの修正では、表示部90の表示に従って、例えばターゲット18の所定位置の素材を所定量削り取って回転アンバランスを修正する。次に、必要な場合には、上記と同様の手順で、回転アンバランスの測定とその修正を繰り返して行う。このようにして、回転バランスの調整が終了した後、回転構造体58を固定支持治具70から取り外す。次に、回転構造体58にらせん溝などを有する正規の固定体22を嵌合し、スラストリング50を取り付けて、回転陽極14を組立て、軸受部分に潤滑剤の液体金属24を充填し、その後外囲器16内に陰極12とともに封入して、排気工程に移る。   In measuring the rotational imbalance of the rotating structure 58, first, the rotating structure 58 is assembled by connecting the target 18 to the rotating body 20 with screws and integrating them. Next, the screw 78 of the fixed support jig 70 is fitted to the screw 82b of the measurement base 82 of the vibration table 92 of the rotation imbalance measuring device 80, and fixed so that the fixed support jig 70 is arranged in the vertical position. To do. Next, the stator 75 is arranged around the fixed support jig 70. Next, the liquid supply pipe 86 from the liquid pump 84 is connected to the hole 82a of the measurement base 82. Next, the rotating body 20 of the rotating structure 58 is fitted to the fixed support jig 70. Next, the liquid pump 84 is operated to supply the high-pressure liquid 72 to the liquid passage hole 76 of the fixed support jig 70. As a result, the rotary structure 58 floats in the axial direction and the radial direction. Next, a stator driving voltage is supplied to the stator 75, and the rotating structure 58 is rotated at a desired rotational speed, for example, 1000 rpm by a rotating magnetic field. Next, in this state, the rotational unbalance is measured by the rotational unbalance measuring device 80. The amount of rotational imbalance is detected by sensor 88. If there is a rotation imbalance, the unbalance amount and direction (angle with respect to the reference position) are displayed on the display unit 90 of the rotation imbalance measuring device 80, so that the rotation of the rotating structure 58 and the operation of the liquid pump 84 are performed. Stop and correct rotational imbalance. In this rotation imbalance correction, according to the display on the display unit 90, for example, a predetermined amount of material at a predetermined position of the target 18 is scraped off to correct the rotation imbalance. Next, if necessary, the rotational imbalance measurement and correction are repeated in the same procedure as described above. In this way, after the adjustment of the rotation balance is completed, the rotating structure 58 is removed from the fixed support jig 70. Next, a regular fixed body 22 having a spiral groove or the like is fitted to the rotating structure 58, a thrust ring 50 is attached, the rotating anode 14 is assembled, and the bearing portion is filled with the liquid metal 24 of the lubricant, and then The envelope 16 is enclosed together with the cathode 12, and the process proceeds to the exhaust process.

次に、図3を用いて、本発明に係わる回転陽極X線管の製造装置の一実施例について説明する。本実施例の製造装置は、先に説明した回転陽極X線管の製造方法を実施するのに使用される。以下の説明では、本実施例の製造装置を特に回転アンバランス測定装置と呼ぶことにする。図3において、回転アンバランス測定装置80は、回転構造体58と嵌合して、これを支持する固定支持治具70と、固定支持治具70が固定される振動台92と、振動台92をばねなどの弾性支持体94で支持する基盤96と、振動台92の振動を検知するセンサ88と、センサ88の検知信号を解析し回転構造体58の回転アンバランス量を算出し表示する表示部90と、回転構造体58を回転駆動するステータ75と、固定支持治具70の通液孔76にエタノールなどの液体を供給する液体ポンプ84と、液体ポンプ84と振動台92との間の液体72の流れを導く送液管86及び排液管98と、ステータ75、表示部90及び液体ポンプ84の電源などから構成される。   Next, an embodiment of a rotating anode X-ray tube manufacturing apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG. The manufacturing apparatus of this embodiment is used to carry out the method for manufacturing a rotary anode X-ray tube described above. In the following description, the manufacturing apparatus of the present embodiment will be particularly referred to as a rotational imbalance measuring apparatus. In FIG. 3, the rotational imbalance measuring device 80 is fitted to the rotating structure 58 and supports the fixed support jig 70, the vibration table 92 to which the fixed support jig 70 is fixed, and the vibration table 92. Is supported by an elastic support 94 such as a spring, a sensor 88 that detects vibration of the vibration table 92, and a display that calculates and displays the rotational unbalance amount of the rotating structure 58 by analyzing the detection signal of the sensor 88. Part 90, a stator 75 that rotationally drives the rotary structure 58, a liquid pump 84 that supplies a liquid such as ethanol to the liquid passage hole 76 of the fixed support jig 70, and a liquid pump 84 and a vibration table 92. A liquid supply pipe 86 and a liquid discharge pipe 98 for guiding the flow of the liquid 72, a stator 75, a display unit 90, a power source for the liquid pump 84, and the like are included.

固定支持治具70は図2に示したような構造をしており、回転構造体58と嵌合したとき、液体72が中心部の通液孔76と、固定支持治具70と回転構造体58との間の嵌合隙間74a、74bを矢印73、77で示す如く流れることにより、固定支持治具70と回転構造体58との間には静圧液体軸受74が形成される。振動台92は回転構造体58と固定支持治具70の組合せ体を支持する台で、基盤96に弾性支持体94によって支持されている。この振動台92は、回転構造体58の回転時に、その回転アンバランスにより発生する振動を受けて共に振動し、その振動がセンサ88で検知されて、回転構造体58の回転アンバランスが測定される。振動台92は、固定支持治具70が固定される測定台座82と、回転構造体58と固定支持治具70との間の半径隙間74aから流出する液体72を一時的に溜めておく蓄液部100と、蓄液部100から排液管98に液体72を排出する排液口102などを有する。また、測定台座82には、固定支持治具70を固定するためのねじ82bと、液体72を流す孔82aと、送液管86が接続されるねじ82cなどが設けられている。この振動台92は鋼材などから成る。   The fixed support jig 70 has a structure as shown in FIG. 2. When the fixed support jig 70 is engaged with the rotary structure 58, the liquid 72 has a liquid passage hole 76 in the center, the fixed support jig 70, and the rotary structure. By flowing through the fitting gaps 74a and 74b between the fixed support jig 70 and the rotary structure 58, the static pressure liquid bearing 74 is formed. The vibration table 92 is a table that supports a combination of the rotating structure 58 and the fixed support jig 70, and is supported on the base 96 by an elastic support 94. When the rotating structure 58 rotates, the shaking table 92 vibrates together due to the vibration generated by the rotating unbalance, and the vibration is detected by the sensor 88, and the rotating unbalance of the rotating structure 58 is measured. The The vibration table 92 is a liquid storage that temporarily stores the liquid 72 flowing out from the measurement base 82 to which the fixed support jig 70 is fixed and the radial gap 74a between the rotating structure 58 and the fixed support jig 70. And a drainage port 102 for discharging the liquid 72 from the liquid storage unit 100 to the drainage pipe 98. Further, the measurement base 82 is provided with a screw 82b for fixing the fixing support jig 70, a hole 82a through which the liquid 72 flows, a screw 82c to which the liquid feeding pipe 86 is connected, and the like. The shaking table 92 is made of steel or the like.

基盤96、弾性支持体94、センサ88、表示部90などは、従来の回転陽極の回転アンバランス測定装置で使用されているものと同様のものである。基盤96は鋼材などから成り、振動台92をばねなどの弾性支持体94を介して弾性的に支持する。センサ88は振動センサで、回転構造体58の回転時における振動台92の変位量と変位方向を測定する。回転構造体58の回転アンバランスの位置を3次元的に測定するため、センサ88は通常2個またはそれ以上用いられる。表示部90は、センサ88の検知信号に基づいて回転構造体58の回転アンバランス量の解析を行い、その回転アンバランス量と方向(基準位置からの角度)を計算し、表示する。ステータ75は重量の重いターゲットを有する回転陽極X線管装置に使用されるものと同様な構造のもので、振動台92または基盤96に支持される。   The base 96, the elastic support 94, the sensor 88, the display unit 90, and the like are the same as those used in the conventional rotating anode imbalance measuring device. The base 96 is made of steel or the like, and elastically supports the vibration table 92 via an elastic support 94 such as a spring. The sensor 88 is a vibration sensor, and measures the displacement amount and the displacement direction of the vibration table 92 when the rotary structure 58 rotates. In order to measure the rotational imbalance position of the rotating structure 58 in a three-dimensional manner, usually two or more sensors 88 are used. The display unit 90 analyzes the rotational unbalance amount of the rotating structure 58 based on the detection signal of the sensor 88, calculates the rotational unbalance amount and direction (angle from the reference position), and displays it. The stator 75 has a structure similar to that used in a rotary anode X-ray tube apparatus having a heavy target, and is supported by a vibration table 92 or a base 96.

液体ポンプ84は約1MPa程度の揚程を有する液体用ポンプが使用される。液体72としてはエタノールなどの有機溶剤や水などが使用される。液体72としてエタノールなどの有機溶剤を使用した場合、この液体ポンプ84としては数kWの業務用ポンプで対応することができる。液体ポンプ84の液体72の出口104と振動台92の測定台座82との間には送液管86が、液体ポンプ84の液体72の入口106と振動台92の排液口102との間には排液管98が、それぞれ接続されている。送液管86や排液管98は液体72に侵されない材料から成り、それぞれの両端には接続金属が取り付けられており、送液管86は耐圧力の大きい構造になっている。   As the liquid pump 84, a liquid pump having a head of about 1 MPa is used. As the liquid 72, an organic solvent such as ethanol or water is used. When an organic solvent such as ethanol is used as the liquid 72, this liquid pump 84 can be handled by a business pump of several kW. A liquid supply pipe 86 is provided between the outlet 104 of the liquid 72 of the liquid pump 84 and the measurement base 82 of the vibration table 92, and is disposed between the inlet 106 of the liquid 72 of the liquid pump 84 and the drain port 102 of the vibration table 92. The drainage pipes 98 are respectively connected. The liquid feeding pipe 86 and the draining pipe 98 are made of a material that is not affected by the liquid 72, and connecting metals are attached to both ends of the liquid feeding pipe 86 and the liquid feeding pipe 86 has a high pressure resistance structure.

振動台92に蓄液部100を設け、振動台92の排液口102と液体ポンプ84の入口106との間に排液管98を配置することにより、液体ポンプ84の出口104から流出された液体72が回転構造体58と固定支持治具70との嵌合部で静圧すべり軸受74を形成した後、蓄液部100及び排液管98を経由して液体ポンプ84に還流されることになる。このように液体72の還流機構を設けたことにより、液体ポンプ84から流出した液体72は殆んど消失することなく使用されるので、回転アンバランスの測定において途中で液体72を補給する作業も必要なく、また液体の消失による液体補充のための費用も不要となる。また、本実施例では、振動台92の排液口102と液体ポンプ84の入口106との間を排液管98で直接接続しているが、この間に液体72を溜めておく蓄液槽を設けてもよい。更に、蓄液槽とともに、または単独で、液体72の汚れを除去したり、金属粉を取り除いたりするための液体浄化器具を設けてもよい。これらのものを設けることにより、液体72の量や質などを十分に管理することができ、また液体72の還流機構をより完全なものにすることができる。   The liquid storage unit 100 is provided in the vibration table 92, and the drainage pipe 98 is disposed between the liquid discharge port 102 of the vibration table 92 and the inlet 106 of the liquid pump 84, so that the liquid is discharged from the outlet 104 of the liquid pump 84. The liquid 72 is recirculated to the liquid pump 84 via the liquid storage part 100 and the drainage pipe 98 after forming the static pressure slide bearing 74 at the fitting part between the rotating structure 58 and the fixed support jig 70. become. By providing the liquid 72 reflux mechanism in this way, the liquid 72 that has flowed out of the liquid pump 84 is used without almost disappearing. There is no need, and the cost for replenishing the liquid due to the disappearance of the liquid is eliminated. Further, in this embodiment, the drainage port 102 of the vibration table 92 and the inlet 106 of the liquid pump 84 are directly connected by the drainage pipe 98, but a liquid storage tank for storing the liquid 72 during this period is provided. It may be provided. Furthermore, a liquid purifier for removing dirt from the liquid 72 or removing metal powder may be provided together with the liquid storage tank or alone. By providing these, the quantity and quality of the liquid 72 can be sufficiently controlled, and the reflux mechanism of the liquid 72 can be made more complete.

本実施例によれば、回転構造体58の回転体20と固定支持治具70の嵌合部に形成される静圧すべり軸受74の媒体として、液体ポンプ84から高圧の液体72を供給しているので、回転構造体58の回転アンバランスの測定において、大きな耐荷重性能を発揮し、固定支持治具70によって10kg以上の重い回転構造体58でも容易に支持することができる。また、静圧すべり軸受74に流す液体72としてエタノールなどの有機溶剤を使用しているので、その洗浄作用により、この装置80で回転アンバランスを測定した回転構造体58については、そのまま回転陽極に組立てることができるので、作業性が良くなる。   According to the present embodiment, a high-pressure liquid 72 is supplied from the liquid pump 84 as a medium for the static pressure plain bearing 74 formed in the fitting portion between the rotating body 20 of the rotating structure 58 and the fixed support jig 70. Therefore, in the measurement of the rotational imbalance of the rotating structure 58, a large load resistance performance is exhibited, and the heavy rotating structure 58 weighing 10 kg or more can be easily supported by the fixed support jig 70. In addition, since an organic solvent such as ethanol is used as the liquid 72 flowing to the hydrostatic slide bearing 74, the rotating structure 58 whose rotational imbalance was measured by this device 80 by the cleaning action is directly used as the rotating anode. Since it can be assembled, workability is improved.

本発明に係わる回転陽極X線管の製造方法の一実施例を説明するための図。The figure for demonstrating one Example of the manufacturing method of the rotating anode X-ray tube concerning this invention. 図1の一部縦断面図。FIG. 2 is a partial longitudinal sectional view of FIG. 本発明に係わる回転陽極X線管の製造装置の一実施例の概略構成図。The schematic block diagram of one Example of the manufacturing apparatus of the rotating anode X-ray tube concerning this invention. 動圧すべり軸受を有する回転陽極X線管の一例の構造図。1 is a structural diagram of an example of a rotary anode X-ray tube having a dynamic pressure slide bearing. 図4の回転陽極の回転部分の拡大断面図。FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of a rotating portion of the rotating anode in FIG. 図4の回転陽極の軸受部分の拡大断面図。FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of a bearing portion of the rotating anode in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

10・・・回転陽極X線管
14・・・回転陽極
16・・・外囲器
18・・・ターゲット
20・・・回転体
24・・・液体金属
28・・・円筒部
36・・・回転体軸受面
40・・・固定体軸受面
41・・・動圧すべり軸受
42・・・ラジアルすべり軸受
44・・・スラストすべり軸受
50・・・スラストリング
56・・・軸受隙間
58・・・回転構造体
70・・・固定支持治具
72・・・液体
74・・・静圧液体軸受(静圧すべり軸受)
74a・・・隙間(半径方向隙間)
74b・・・上部隙間
75・・・ステータ
76・・・通液孔
78・・・ねじ
80・・・回転アンバランス測定装置
82・・・測定台座
82a・・・孔
84・・・液体ポンプ
86・・・送液管
88・・・センサ
90・・・表示部
92・・・振動台
98・・・排液管
100・・・蓄液部
102・・・排液口
104・・・出口
106・・・入口
10 ... Rotary anode X-ray tube
14 ... Rotating anode
16 ... Envelope
18 ... Target
20 ... Rotating body
24 ・ ・ ・ Liquid metal
28 ... Cylindrical part
36 ・ ・ ・ Rotating body bearing surface
40 ・ ・ ・ Fixed body bearing surface
41 ... Dynamic pressure slide bearing
42 ・ ・ ・ Radial plain bearing
44 ・ ・ ・ Thrust plain bearing
50 ... Thrust ring
56 ・ ・ ・ Bearing clearance
58 ・ ・ ・ Rotary structure
70 ・ ・ ・ Fixed support jig
72 ・ ・ ・ Liquid
74 ・ ・ ・ Hydrostatic liquid bearing (hydrostatic slide bearing)
74a ・ ・ ・ Gap (radial gap)
74b ・ ・ ・ Top gap
75 ... Stator
76 ... through hole
78 ... Screw
80 ・ ・ ・ Rotational imbalance measuring device
82 ... Measurement base
82a ... hole
84 ・ ・ ・ Liquid pump
86 ... Liquid feeding pipe
88 ・ ・ ・ Sensor
90 ・ ・ ・ Display section
92: Shaking table
98 ... Drainage pipe
100 ・ ・ ・ Liquid storage part
102 ... Drain outlet
104 ... Exit
106 ... Entrance

Claims (1)

円筒状の回転体にターゲットが結合された回転構造体の回転体の円筒部に円柱状の固定体が嵌合され、回転体と固定体の嵌合部に設けられた動圧すべり軸受に液体金属潤滑剤を供給する回転陽極X線管の、前記回転構造体の回転アンバランスを測定し必要に応じて回転アンバランスの修正をする回転陽極X線管の製造装置において、前記固定体とほぼ同じ外形寸法で、中心軸に沿った貫通孔を有する固定支持治具と、該固定支持治具を支持する振動台と、該振動台を弾性支持体にて支持する基盤と、前記振動台の振動を検知する振動センサと、前記回転構造体を回転駆動するためのステータと、前記振動センサの出力信号を解析し前記回転構造体の回転アンバランスを算出して表示する表示部と、前記固定支持治具に高圧の有機溶剤を供給する液体ポンプを備え、前記回転構造体の回転アンバランスの測定時に、前記回転構造体の回転体と前記固定支持治具との嵌合部に前記液体ポンプからの高圧の有機溶剤を流して静圧すべり軸受を形成することを特徴とする回転陽極X線管の製造装置。   A cylindrical fixed body is fitted to the cylindrical portion of the rotating body of the rotating structure in which the target is coupled to the cylindrical rotating body, and liquid is applied to the hydrodynamic slide bearing provided in the fitting portion of the rotating body and the fixed body. In a rotating anode X-ray tube manufacturing apparatus for measuring a rotating unbalance of a rotating structure of a rotating anode X-ray tube for supplying a metal lubricant and correcting the rotating unbalance as necessary, A fixed support jig having the same outer dimensions and having a through hole along the central axis, a vibration table for supporting the fixed support jig, a base for supporting the vibration table by an elastic support, A vibration sensor for detecting vibration; a stator for rotationally driving the rotary structure; a display unit for analyzing and outputting an output signal of the vibration sensor to calculate and display a rotation imbalance of the rotary structure; and the fixed Supply high-pressure organic solvent to the support jig A liquid pump, and at the time of measuring the rotational imbalance of the rotating structure, a high pressure organic solvent from the liquid pump is allowed to flow through a fitting portion between the rotating body of the rotating structure and the fixed support jig, An apparatus for manufacturing a rotary anode X-ray tube characterized by forming a slide bearing.
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