JP4913550B2 - Sheet sticking device and sticking method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明はシート貼付装置及び貼付方法に係り、例えば、半導体ウエハ等の板状部材にダイボンディング用の感熱接着性の接着シートを貼付する際に、当該接着シートに積層された保護シートを剥離する専用装置を必要とすることなく剥離し、表出した接着シートを前記板状部材に貼付することのできるシート貼付装置及び貼付方法に関する。 The present invention relates to a sheet sticking apparatus and a sticking method. For example, when a heat-sensitive adhesive sheet for die bonding is stuck on a plate-like member such as a semiconductor wafer, the protective sheet laminated on the adhesive sheet is peeled off. The present invention relates to a sheet sticking device and a sticking method that can peel and expose an exposed adhesive sheet to the plate-like member without requiring a dedicated device.
従来より、半導体ウエハ(以下、単に、「ウエハ」と称する)には、裏面にダイボンディングを行うための感熱接着性の接着シートを貼付することが行われている。この接着シートは、ウエハに貼付する前の段階では保護シートにより保護されており、これを接着シートから剥離して当該接着シートをウエハに貼付することが一般的とされている。 2. Description of the Related Art Conventionally, a heat-sensitive adhesive sheet for die bonding is attached to a back surface of a semiconductor wafer (hereinafter simply referred to as “wafer”). This adhesive sheet is protected by a protective sheet before it is attached to the wafer, and it is common to peel this from the adhesive sheet and attach the adhesive sheet to the wafer.
特許文献1には、板状部材をなす略円盤状の記録用基板にラベルを貼付する貼合装置が開示されている。この貼合装置においては、帯状の剥離シートに積層されたラベルの表面側にプロテクトフィルム(保護シート)が積層された原反を用い、前記ラベルを記録用基板に貼付する前の段階で、プロテクトフィルムを剥離する手段が採用されている。
しかしながら、特許文献1に開示された貼合装置においては、ラベルを剥離シートから剥離するピールプレートからなる剥離手段の他に、プロテクトフィルムを剥離する別途の剥離手段を備えた構成となっている。ここで、プロテクトフィルムの剥離手段は、当該プロテクトフィルムの表面に粘着テープを押圧して粘着させた状態で、この粘着テープを巻き取ることでプロテクトフィルムをラベルから剥離するように構成されている。このように、特許文献1の構成では、プロテクトフィルムに対して物理的に接触しつつ捲り取って剥離を行う専用の剥離手段が要求されることから、プロテクトフィルムを剥離する特別な工程が要求されるとともに、構造が複雑になり、装置全体としての制御も煩雑になる、という不都合がある。
However, the bonding apparatus disclosed in
[発明の目的]
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、帯状の剥離シートの一方の面に接着シート及び保護シートが積層されている層構造となる原反を対象とし、被着体の形状に合わせて形成された貼付用シートを被着体に貼付する際に、保護シートに物理的に接触して剥離を行う専用の装置を必要とすることなく貼付用シートを表出させて被着体に貼付することのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
[Object of invention]
The present invention has been devised by paying attention to such inconveniences, and the object of the present invention is to provide an original fabric having a layer structure in which an adhesive sheet and a protective sheet are laminated on one surface of a strip-shaped release sheet. When affixing a target sheet that is formed to match the shape of the adherend to the adherend, it does not require a dedicated device that physically contacts and peels off the protective sheet. An object of the present invention is to provide a sheet sticking apparatus and a sticking method capable of exposing a sheet and sticking it to an adherend.
前記目的を達成するため、本発明は、帯状の剥離シートの一方の面に所定間隔を隔てて設けられた貼付用シート及びこれを保護する保護シートを備えた原反を繰り出す繰出手段と、前記保護シートを剥離して貼付用シートを表出させる剥離手段と、この剥離によって表出する貼付用シートを所定の被着体に貼付する貼付手段とを備え、前記剥離手段は、前記原反の繰出方向を変更することにより、前記剥離シートに前記貼付用シートを保持した状態で保護シートを剥離する、という構成を採っている。 In order to achieve the above object, the present invention provides a sticking sheet provided at a predetermined interval on one surface of a strip-shaped release sheet, and a feeding means for feeding out an original fabric provided with a protective sheet for protecting the sheet, A peeling means for peeling the protective sheet to expose the sticking sheet; and a sticking means for sticking the sticking sheet to be exposed by the peeling to a predetermined adherend. By changing the feeding direction, the protective sheet is peeled off while the sticking sheet is held on the peeling sheet.
また、本発明は、帯状の剥離シートの一方の面に閉ループ状の切り込みが形成された帯状の接着シート及び保護シートが積層された原反を繰り出す繰出手段と、前記切り込みの外側に位置する保護シート部分及び接着シート部分を不要シート部分として前記剥離シートから剥離して巻き取る巻取手段と、前記巻き取りによって剥離シート上に残される貼付用シート上の保護シートを剥離する剥離手段と、この剥離によって表出する貼付用シートを所定の被着体に貼付する貼付手段とを備え、前記剥離手段は、前記原反の繰出方向を変更することにより、前記剥離シートに前記貼付用シートを保持した状態で保護シートを剥離する、という構成を採ることができる。 The present invention also provides a feeding means for feeding out an original fabric in which a belt-like adhesive sheet and a protective sheet in which a closed loop-like cut is formed on one surface of the belt-like release sheet, and a protection located outside the cut. A winding means for separating and winding the sheet portion and the adhesive sheet portion from the release sheet as an unnecessary sheet portion; a peeling means for peeling the protective sheet on the adhesive sheet left on the release sheet by the winding; and A sticking means for sticking a sticking sheet that is exposed by peeling to a predetermined adherend, and the peeling means holds the sticking sheet on the peeling sheet by changing the feeding direction of the original fabric. In this state, the protective sheet can be peeled off.
更に、本発明は、帯状の剥離シートの一方の面に帯状の接着シート及び保護シートが積層された原反を繰り出す繰出手段と、前記接着シート及び保護シートに閉ループ状の切り込みを形成する切り込み形成手段と、前記切り込みの外側に位置する保護シート部分及び接着シート部分を不要シート部分として前記剥離シートから剥離して巻き取る巻取手段と、前記巻き取りによって剥離シート上に残される貼付用シート上の保護シートを剥離する剥離手段と、この剥離によって表出する貼付用シートを所定の被着体に貼付する貼付手段とを備え、前記剥離手段は、前記原反の繰出方向を変更することにより、前記剥離シートに前記貼付用シートを保持した状態で保護シートを剥離する、という構成としてもよい。 Further, the present invention provides a feeding means for feeding out a raw material in which a belt-like adhesive sheet and a protective sheet are laminated on one surface of the belt-like release sheet, and a cut formation for forming a closed-loop cut in the adhesive sheet and the protective sheet. Means, winding means for peeling off the protective sheet portion and the adhesive sheet portion located outside the cut as unnecessary sheet portions from the release sheet, and winding the adhesive sheet portion on the adhesive sheet left on the release sheet by the winding A peeling means for peeling the protective sheet, and a sticking means for sticking the sticking sheet exposed by the peeling to a predetermined adherend, wherein the peeling means changes the feeding direction of the original fabric. The protective sheet may be peeled off while the sticking sheet is held on the release sheet.
本発明において、前記剥離手段は、前記原反の繰出方向を変更するコーナーを有する板状若しくはブロック状部材を備えて構成することができる。 In this invention, the said peeling means can be comprised including the plate-shaped or block-shaped member which has a corner which changes the feed direction of the said original fabric.
また、前記コーナー角度は、前記貼付用シートが剥離シートに付随可能な角度の範囲で決定することができる。 The corner angle can be determined within a range of angles at which the sticking sheet can accompany the release sheet.
また、前記貼付手段は、前記被着体を支持するテーブルと、当該テーブルの相対位置に配置される押圧手段とを備え、前記テーブルと押圧手段は、相互に離間接近可能に設けられる、という構成を採っている。 Further, the sticking means includes a table that supports the adherend and a pressing means that is disposed at a relative position of the table, and the table and the pressing means are provided so as to be separated from each other. Is adopted.
更に、前記接着シートは感熱接着の接着シートであり、前記テーブル及び/又は押圧手段は、加熱手段を備える構成が採用される。 Furthermore, the said adhesive sheet is a heat-sensitive-adhesive adhesive sheet, and the said table and / or a press means are the structures provided with a heating means.
また、本発明は、帯状の剥離シートの一方の面に所定間隔を隔てて設けられた貼付用シート及びこれを保護する保護シートを備えた原反を繰り出す途中で前記保護シートを剥離し、当該剥離によって表出する貼付用シートを所定の被着体に貼付するシート貼付方法において、
前記原反の繰出方向を変更させることで、前記保護シートの貼付用シートからの剥離力と貼付用シートの剥離シートからの剥離力との相違を利用して保護シートを貼付用シートから剥離し、
前記剥離によって表出する貼付用シートを前記被着体に貼付した後、前記剥離シートを貼付用シートから剥離し巻き取る、という方法を採っている。
Further, the present invention peels off the protective sheet in the course of feeding out the original sheet provided with a sheet for sticking provided at a predetermined interval on one surface of a strip-shaped release sheet and a protective sheet for protecting the sheet, In the sheet sticking method for sticking the sticking sheet that is exposed by peeling to a predetermined adherend,
By changing the feeding direction of the original fabric, the protective sheet is peeled off from the sticking sheet by utilizing the difference between the peeling force of the protective sheet from the sticking sheet and the peeling force of the sticking sheet from the peeling sheet. ,
A method is adopted in which, after affixing the sticking sheet exposed by the peeling to the adherend, the peeling sheet is peeled off from the sticking sheet and wound up.
本発明によれば、原反の繰出方向を変更するだけで保護シートを貼付用シートから剥離する構成であるため、保護シートの特別な剥離工程を必要とすることがないとともに、保護シートを剥離用の粘着シートに粘着させて剥離する従来構造に比べて装置構成並びに制御を簡易なものとすることができる。特に、剥離手段はコーナーを有する板状若しくはブロック状部材により構成できるため、当該剥離手段を設けるだけでシート貼付装置を提供することが可能となる。
また、切り込み形成手段を配置した構成では、帯状の剥離シートに帯状の接着シート及び保護シートを積層した構造の原反を繰り出す途中で被着体に貼付する貼付用シートを形成することができる。
更に、前記繰出方向を変更する角度を貼付用シートが剥離シートに付随可能な角度範囲内で決定する構成とすれば、例えば、一般的な鋼材を利用することが可能となり、わざわざ加工して鋭角なエッヂを有するピールプレートのような部材を用意する必要がなく廉価に提供することができる。
According to the present invention, since the protective sheet is peeled off from the sticking sheet only by changing the feed direction of the original fabric, a special peeling process of the protective sheet is not required and the protective sheet is peeled off. The apparatus configuration and control can be simplified as compared with the conventional structure in which the adhesive sheet is adhered and peeled off. In particular, since the peeling means can be constituted by a plate-like or block-like member having a corner, it is possible to provide a sheet sticking device only by providing the peeling means.
Moreover, in the structure which has arrange | positioned the cutting formation means, the sheet | seat for sticking stuck to a to-be-adhered body can be formed in the middle of drawing | feeding out the original fabric of the structure which laminated | stacked the strip | belt-shaped adhesive sheet and the protective sheet on the strip | belt-shaped peeling sheet.
Furthermore, if the angle at which the feeding direction is changed is determined within an angle range in which the sticking sheet can be attached to the release sheet, for example, a general steel material can be used, which is bothered and sharpened. It is not necessary to prepare a member such as a peel plate having a special edge, and it can be provided at a low cost.
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1には、本実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図が示され、図2には、図1のB部を拡大した概略斜視図が示されている。これらの図において、シート貼付装置10は、帯状の剥離シートRL(図1中A部参照)の一方の面にダイボンディングシートとして利用される感熱接着性の接着シートS及び保護シートPSが積層された層構造を有するロール状の原反11を繰り出す繰出手段12と、この繰出手段12によって繰り出された原反11に対し、その延出方向に沿う所定間隔毎に略閉ループ状の切り込み13(図2参照)を保護シートPS側から形成して略円形の貼付用シートS1を形成する切り込み形成手段14と、前記切り込み13の外側に位置する接着シートS部分及び保護シートPS部分を不要シート部分USとして剥離シートRLから剥離して巻き取る巻取手段15と、前記原反11の繰出方向を変更して貼付用シートS1上に残された保護シートPSを剥離する剥離手段16と、保護シートPSの剥離によって表出する貼付用シートS1を被着体としてのウエハWに貼付する貼付手段17と、貼付用シートS1から剥離シートRLを剥離する最終剥離手段19と、剥離シートRLを巻き取って回収する巻取回収手段20とを備えて構成されている。
FIG. 1 shows a schematic front view of the sheet sticking apparatus according to the present embodiment, and FIG. 2 shows a schematic perspective view in which the portion B in FIG. 1 is enlarged. In these drawings, the sheet sticking apparatus 10 is formed by laminating a heat-sensitive adhesive sheet S and a protective sheet PS used as a die bonding sheet on one surface of a strip-shaped release sheet RL (see A part in FIG. 1). A feeding means 12 for feeding out a roll-shaped
前記繰出手段12は、ロール状の原反11を繰出可能に支持する支持ローラ21と、モータM1の出力軸に連結された駆動ローラ22と、この駆動ローラ22との間に原反11を挟み込むピンチローラ23と、モータM4の出力軸に連結された駆動ローラ34と、この駆動ローラ34との間に原反11を挟み込むピンチローラ33とにより構成されている。駆動ローラ22と駆動ローラ34とは、その間の原反11に所定の張力が加わるように制御され、これにより、後述するダイカットローラ24での安定した切り込み形成が行えるようになっている。なお、支持ローラ21は図示しないモータにより回転可能に設けられており、弛まない程度に原反11を駆動ローラ22方向へ繰り出すようになっている。
The feeding means 12 sandwiches the
前記切り込み形成手段14は、前記保護シートPS側に位置するとともに、モータM2により回転駆動されるダイカットローラ24と、剥離シートRL側に位置して原反11をダイカットローラ24との間に挟み込むアンビルローラ25とにより構成されている。ダイカットローラ24は、ローラ本体26と、当該ローラ本体26の外周に着脱自在に巻装されるカッター刃27付きの金属プレート28とからなる。カッター刃27は、金属プレート28を平面的に展開したときに前記ウエハWの形状に対応した略円形となる軌跡に沿って閉ループ状に形成されており、当該カッター刃27は、金属プレート28を、例えば、エッチング処理等を施すことにより形成することができる。カッター刃27は、前記保護シートPS及び接着シートSに前記切り込み13を形成して当該切り込み13の内側に位置する接着シートS部分を貼付用シートS1とする一方、切り込み13の外側となる接着シートS部分及び保護シートPS部分を不要シート部分USとするものであり、剥離シートRLは完全に切り込まない、いわゆるハーフカットを行うように前記アンビルローラ25とでクリアランス調整が行われている。
The
前記巻取手段15は、モータM3と、このモータM3の出力軸に連結された巻取ローラ30と、ガイドローラ35とからなる。モータM3は、駆動ローラ34によって繰り出される不要シート部分USが弛まない程度に巻取ローラ30に対して駆動力を付与するように設定されている。
The winding means 15 includes a motor M3, a
前記剥離手段16は、板状若しくはブロック状部材により構成されている。この剥離手段16は、特に限定されるものではないが、本実施形態では、板面が略鉛直向きとされ、その下端左コーナーCが、例えば、略90度となるように設定されている。このコーナーCの角度は、原反11の繰出方向を変更したときに、剥離シートRLに貼付用シートS1が付随可能であって、保護シートPSが貼付用シートS1から剥離することができる角度の範囲内で任意に設定することができる。つまり、保護シートPSの貼付用シートS1からの剥離力が、当該貼付用シートS1の剥離シートRLからの剥離力よりも小さくなるように設定されており、当該剥離力の相違により、繰出方向の向きを変えたときに、保護シートPSが剥離シートRLに付随することなく剥離されるようになっている。なお、剥離された保護シートPSは、図示しない回収装置を介して回収することができる。
The
前記貼付手段17は、ウエハWを吸着保持するテーブル40と、このテーブル40を支持するスライドベース41と、当該スライドベース41を図1中左右方向に移動可能に案内するガイドレール43と、前記テーブル40の上方に配置された押圧手段44とを含む。テーブル40は図示しない加熱手段が内蔵されているとともに、前記スライドベース41との間に設けられたリフター45を介して上下に移動可能に設けられている。また、前記押圧手段44は、ウエハWの平面形状に略対応する押圧面を備えているとともに、内部に図示しない加熱手段を備えた押圧プレート46と、この押圧プレート46を上下方向に進退可能に支持するエアシリンダ48とにより構成されている。
The sticking means 17 includes a table 40 that sucks and holds the wafer W, a
前記最終剥離手段19は、前記剥離シートRLを略左右方向から挟み込むように配置された一対の剥離ローラ50,51と、これら剥離ローラ50,51を図1中左右方向に往復動作させる図示しない移動装置とを含む。これらガイドローラ50,51は、図1中二点鎖線で示される位置を初期位置とし、同図中実線で示される方向に移動することにより、ウエハW上に貼付された貼付用シートS1から剥離シートRLを剥離するように構成されている。
The final peeling means 19 is a pair of peeling
前記巻取回収手段20は、モータM6の出力軸に連結された巻取回収ローラ53と、この巻取回収ローラ53の手前に位置するモータM5によって回転駆動される駆動ローラ54と、当該駆動ローラ54との間に剥離シートRLを挟み込むピンチローラ55とにより構成されている。
The winding and collecting means 20 includes a winding and collecting
次に、本実施形態に係るシート貼付動作について、図3ないし図7をも参照しながら説明する。 Next, the sheet sticking operation according to the present embodiment will be described with reference to FIGS.
初期設定として、支持ローラ21に支持されたロール状原反11のリード端を引き出して図1に示されるように通紙し、剥離シートRLから接着シートS及び保護シートPSを剥離してこれらシートS、PSを巻取ローラ30に固定する一方、剥離シートRLを巻取回収ローラ53に固定する。この際、最終剥離手段19を構成する剥離ローラ50,51は、図3に示されるように、押圧プレート46下方右側(初期位置)に位置している。また、テーブル40は、押圧プレート46の下方左側(初期位置)で図示しない搬送装置によって搬送されてきたウエハWを吸着保持し、その後、図4に示されるように、押圧プレート46の下方で待機することとなる。
As an initial setting, the lead end of the roll-shaped
所定の初期設定が完了後、スタート信号により、各モータM1〜M6がそれぞれリンクして駆動し、原反11が順次繰り出されるとともに、切り込み形成手段14によって、保護シートPS及び接着シートSに切り込み13が形成され、当該切り込み13の内側に貼付用シートS1が形成される。
After the predetermined initial setting is completed, the motors M1 to M6 are linked and driven by the start signal, and the
切り込み13が形成された原反11は、駆動ローラ34によって繰り出され、切り込み13の外側に位置する不要シート部分USは、巻取ローラ30によって巻き取られ、貼付用シートS1及びこれを保護する保護シートPSは、剥離シートRLと共に剥離手段16側に繰り出される。剥離手段16では、図4に示されるように、剥離シートRLをコーナーC位置にて略90度繰出方向を変更することによって、貼付用シートS1は剥離シートRLに付随した状態で、前述した剥離力の相違により保護シートPSが貼付用シートS1から剥離されることとなる。そして、貼付用シートS1がウエハWに対応する上方位置に到達したことが図示しないセンサによって検出されると、原反11の繰出動作が停止する(図5参照)。
The
次いで、図6に示されるように、テーブル40がリフター45を介して上昇するとともに、押圧手段44の押圧プレート46がエアシリンダ48の駆動によって下降し、剥離シートRLを介して貼付用シートS1をウエハWに押圧する。このとき、テーブル40及び押圧プレート46は図示しない加熱手段によって加熱されており、当該加熱によって、感熱接着の貼付用シートS1がウエハWに貼付される。
Next, as shown in FIG. 6, the table 40 is lifted via the
このようにして貼付用シートS1がウエハWに貼付された後に、押圧プレート46が上昇し、最終剥離手段19の剥離ローラ50,51は、回転しながら図7に示されるように左側に移動することで貼付用シートS1から剥離シートRLを剥離することとなる。この剥離が行われた後、貼付用シートS1が貼付されたウエハWは図示しない搬送装置を介して別工程に搬送され、テーブル40及び剥離ローラ50,51は、初期位置に復帰し、以後、同様のサイクルを繰り返すこととなる。
After the sticking sheet S1 is stuck on the wafer W in this way, the
従って、前記実施形態によれば、貼付用シートS1を保護する保護シートPSは、非接触の状態で貼付用シートS1から剥離することができ、複雑な剥離手段、工程を必要とすることなく貼付用シートS1をウエハWに貼付することができる。 Therefore, according to the embodiment, the protective sheet PS that protects the sticking sheet S1 can be peeled off from the sticking sheet S1 in a non-contact state, and is attached without requiring complicated peeling means and processes. The sheet S1 can be attached to the wafer W.
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
As described above, the best configuration, method and the like for carrying out the present invention have been disclosed in the above description, but the present invention is not limited to this.
In other words, the present invention has been illustrated and described mainly with respect to specific embodiments, but without departing from the scope of the technical idea and object of the present invention, the shape, position, or With respect to the arrangement and the like, those skilled in the art can make various changes as necessary.
例えば、前記実施形態では、剥離シートRL、接着シートS、保護シートPSが帯状をなす原反11を採用し、これを繰り出す途中で切り込み13を形成する構成を図示、説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、帯状の剥離シートの一方の面に、貼付用シートと、これを保護する保護シートが、予め剥離シートの延出方向に沿って所定間隔毎に設けられた原反を採用することも可能である。この場合には、巻取手段と切り込み形成手段を省略することができる。また、帯状の剥離シートの一方の面に、予め剥離シートの延出方向に沿って切り込みが形成された帯状の貼付用シート及び保護シートが積層された原反を採用することも可能である。この場合には、切り込み形成手段を省略することができる。更に、剥離手段16は、板状部材の他、角柱状部材等の採用を妨げない。
For example, in the above-described embodiment, the structure in which the release sheet RL, the adhesive sheet S, and the protective sheet PS adopt the
更に、接着シートSは、感熱接着性の接着シートに限らず、両面接着シートであってもよく、また、ウエハ以外の他の被着体を対象として貼付用シートを貼付する構成とすることができる。 Furthermore, the adhesive sheet S is not limited to a heat-sensitive adhesive sheet, and may be a double-sided adhesive sheet, and may be configured to affix a sticking sheet on an adherend other than a wafer. it can.
また、テーブル40及び押圧手段44は、双方に加熱手段を内蔵する構成に限らず、何れか一方にあってもよく、接着シートSが感熱性接着シートでない場合には、加熱手段を省略することもできる。 In addition, the table 40 and the pressing means 44 are not limited to the configuration in which the heating means is built in both, and may be in either one. If the adhesive sheet S is not a heat-sensitive adhesive sheet, the heating means is omitted. You can also.
10 シート貼付装置
11 原反
12 繰出手段
13 切り込み
15 巻取手段
16 剥離手段
17 貼付手段
14 切り込み形成手段
40 テーブル(貼付手段)
44 押圧手段(貼付手段)
W 半導体ウエハ(被着体)
RL 剥離シート
PS 保護シート
S 接着シート
S1 貼付用シート
US 不要シート部分
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10
44 Pressing means (sticking means)
W Semiconductor wafer (adherence)
RL Release sheet PS Protective sheet S Adhesive sheet S1 Affixing sheet US Unnecessary sheet part
Claims (8)
前記剥離手段は、前記原反の繰出方向を変更することにより、前記剥離シートに前記貼付用シートを保持した状態で保護シートを剥離することを特徴とするシート貼付装置。 A sticking sheet provided on one surface of the strip-like release sheet with a predetermined interval and a feeding means for feeding out the original fabric provided with a protective sheet for protecting the sheet, and the protective sheet is peeled off to display the sticking sheet. A peeling means for putting out, and a sticking means for sticking a sticking sheet to be exposed by the peeling to a predetermined adherend,
The sheet sticking apparatus, wherein the peeling means peels a protective sheet in a state where the sticking sheet is held on the release sheet by changing a feeding direction of the original fabric.
前記剥離手段は、前記原反の繰出方向を変更することにより、前記剥離シートに前記貼付用シートを保持した状態で保護シートを剥離することを特徴とするシート貼付装置。 Feeding means for feeding out a raw material in which a belt-like adhesive sheet and a protective sheet in which a closed loop-like cut is formed on one surface of the belt-like release sheet, and a protective sheet portion and an adhesive sheet portion located outside the cut Winding means for peeling off the release sheet from the release sheet as an unnecessary sheet portion, peeling means for peeling off the protective sheet on the sticking sheet left on the release sheet by the winding, and sticking that is exposed by this peeling A sticking means for sticking the sheet for a predetermined adherend,
The sheet sticking apparatus, wherein the peeling means peels a protective sheet in a state where the sticking sheet is held on the release sheet by changing a feeding direction of the original fabric.
前記剥離手段は、前記原反の繰出方向を変更することにより、前記剥離シートに前記貼付用シートを保持した状態で保護シートを剥離することを特徴とするシート貼付装置。 A feeding means for feeding out a raw material in which a belt-like adhesive sheet and a protective sheet are laminated on one surface of the belt-like release sheet; a notch forming means for forming a closed-loop-like cut in the adhesive sheet and the protective sheet; and Winding means that peels and winds the protective sheet portion and adhesive sheet portion positioned outside from the release sheet as an unnecessary sheet portion, and peels the protective sheet on the adhesive sheet left on the release sheet by the winding A peeling means and a sticking means for sticking a sticking sheet exposed by this peeling to a predetermined adherend,
The sheet sticking apparatus, wherein the peeling means peels a protective sheet in a state where the sticking sheet is held on the release sheet by changing a feeding direction of the original fabric.
前記テーブルと押圧手段は、相互に離間接近可能に設けられていることを特徴とする請求項1ないし5の何れかに記載のシート貼付装置。 The sticking means includes a table that supports the adherend, and a pressing means that is disposed at a relative position of the table,
The sheet sticking apparatus according to claim 1, wherein the table and the pressing unit are provided so as to be separated from each other.
前記原反の繰出方向を変更させることで、前記保護シートの貼付用シートからの剥離力と貼付用シートの剥離シートからの剥離力との相違を利用して保護シートを貼付用シートから剥離し、
前記剥離によって表出する貼付用シートを前記被着体に貼付した後、前記剥離シートを貼付用シートから剥離して巻き取ることを特徴とするシート貼付方法。 Affixing sheet that peels off the protective sheet in the middle of feeding the original sheet provided with a sheet for sticking provided at a predetermined interval on one surface of the strip-shaped release sheet and a protective sheet for protecting the same, and is exposed by the peeling In a sheet sticking method for sticking a sheet for a predetermined adherend,
By changing the feeding direction of the original fabric, the protective sheet is peeled off from the sticking sheet by utilizing the difference between the peeling force of the protective sheet from the sticking sheet and the peeling force of the sticking sheet from the peeling sheet. ,
A sheet sticking method comprising: sticking a sticking sheet that is exposed by peeling to the adherend, and then peeling and peeling the release sheet from the sticking sheet.
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