JP4986490B2 - 予備吐出装置 - Google Patents
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Description
このような状態で塗布作業を行うと、部分的な粘度むらにより縦筋等の塗布むらや膜切れが発生する。
このような不具合を解消するために、基板への塗布液の供給に先立ってスリットノズルの開口付近に存在する少量の塗布液を吐出させる予備吐出処理が行われている。
この予備吐出装置では、洗浄液が収容されている洗浄槽内にプライミングローラを浸浸し、スリットノズルから吐出された塗布液をプライミングローラの回転に伴いスキージにより掻き落とすように構成されている。
またこれ以外にも、ローラ全体を常に清浄に保つために、スリットノズルのスリット長以上のスキージ(ローラ表面の塗布液かき取り用)が必要となるので、ローラの場合と同様スキージの加工精度の維持が困難であり、さらにはこのような大型化したスキージをローラに対して所定の角度で設けることに関しても精度の維持が困難であった。
またローラの清掃に欠陥が生じた場合、その欠陥が塗布自体に悪影響を与え易いという欠点がある。
さらに、本発明の他の目的は、洗浄液の消費量が比較的少量で済み、ランニングコストが安価な予備吐出装置及び予備吐出方法を実現するものである。
また、本発明の予備吐出方法によれば、予備吐出処理の処理効率の向上及び洗浄液の削減をも図ることが可能になる。
図1及び図2は、本発明の予備吐出装置を具えるスリットコータの概略構成図を示し、図1は平面図、図2は図1のA―A線上の断面図である。また図3及び図4は予備吐出装置の概略構成図、図5は予備吐出装置の除去機構の詳細を示す側面図である。
図1及び図2に示すように、スリットコータは基台1を具え、基台1に一対のレール(2a,2b)が設けられている。レール(2a,2b)にはスリットノズル3が搭載された移動装置4が走行自在に配置され、レール(2a,2b)のほぼ中央に基板載置ステージ5が配置されている。そして、基板載置ステージ5上にガラス基板や半導体ウェハ等の基板Wが配置され、基板Wの表面にレジスト等の塗布液が塗布される。移動装置4は、レール(2a,2b)に係合する駆動部(6a,6b)とこれら駆動部間に架設したビーム(7a,7b)を具えている。
即ち、予備吐出装置は、図3及び図4に示すように、スリットノズル3と対向するように配置され、スリットノズル3のスリット開口の延在方向と同一の方向に延在する予備吐出面20と、予備吐出面20の表面に存在する塗布液を除去する除去機構21等から構成されている。
またプレート20の両端(20a,20b)は面取り加工されている。このように面取り加工することにより、後述するように、スキージ22がプレート20上を移動する際、スキージ22がプレート20の両端(20a,20b)により影響(接触による破損等)を受けることを防ぐことができる。
なお、洗浄液供給機構25、乾燥機構26、吸引機構27の取り付け位置やプレート20に対する本体24の向き等は図示の場合に限定されず状況に応じて様々な形態が考えられる。
すなわち、本実施の形態の場合、板状のプレート20の幅と略同等の幅のスキージ23を単にスリットノズル3の開口の延在方向に移動させるといった簡易な構成なので、ローラ方式のようにローラの駆動機構やスリット長以上のスキージ等は必要なく、ローラ自体やスキージの取り付け方に高い精度も要求されない。このように、高い加工精度も要求されず大掛りな駆動装置も必要としないので製造コストが抑えられた簡易な装置構造を得ることができる。
この際、スリットノズル3は、プレート20に近づくように下降し、例えばスリットノズル3の先端とプレート20の表面との間隔が例えば30μmとなるまで下降してビードを形成する。その後、スリットノズル3を例えば150〜200μm程度まで上昇させ、その間にポンプからの塗布液供給速度を基板Wへの塗布速度まで上げてスリットノズル3を移動させて所定量の塗布液を吐出する。
具体的には、リニアモータが駆動されることで移動装置5が図面の右側に向けて移動し、スリットノズル3から基板Wの表面にレジスト等の塗布液を供給する。基板Wの表面への正規な塗布工程が終了すると、スリットノズル3は昇降しスタート位置まで戻る。
即ち、除去機構21が待機位置からプレート20上に移動し、図4及び図5に示すようにプレート20上に対向して配置される。そして洗浄液供給機構25から洗浄液をプレート20上に供給する。
なお吸引はかき取り動作にあわせなくても構わなく、スキージ23が移動終点まで到達した時点で動作することもできる。また除去機構21の移動は1回きりではなく複数回行う場合も考えられる。
なお、例えばスキージ23も洗浄液で洗浄し乾燥させる場合は、洗浄液供給機構や乾燥機構が設けられている箇所にもよるが(除去機構21に一体に設けられているかそれとも別途設けられているか)、待機位置に戻る前(プレート20の乾燥後)や待機位置に戻ってから行われる。
また、吸引機構27でスキージ23に付いた塗布液をダイレクトに吸引しているのでスキージ23を常に洗浄後に近い状態にすることができ処理中は最大のかき取り効果を維持することができる。またかき取り後のプレート20を乾燥機構26により乾燥させているので、プレート20上を常にクリーンな状態にすることもできる。
なお、プレート20だけでなくスキージ23を洗浄及び乾燥する場合は、よりクリーンな環境下で予備吐出処理を行うことができる。
例えばベルトをローラ状に回転移動可能な構成とすれば、回転移動するベルトに対して固定されたスキージを当接することで、本実施の形態の構成(図3及び図4)と同様に塗布液をかき取ることができる。この場合、スキージはベルトに当接すればよいのでスキージの配置位置も特に限定されない。
このように、状況下に応じて除去機構21の構成をさらに簡素化させることが可能なことはいうまでもない。無論除去機構21としては上述した構成とし、実際の処理中において必要のない工程を除く(工程を行わない)こともできる。
また上述した実施の形態の予備吐出装置では、除去機構21において1つのスキージ23が設けられた場合を説明したが、複数設けられた構成とすることもできる。この場合、それぞれのスキージを同じ材料から形成しても構わなく異なる材料で形成しても構わない。このような構成によりかき取り効果を単に1つの場合に比べて大幅に向上することができる。
またスキージとブラシ或いはエアナイフとを組み合わせたり、ブラシとエアナイフを組み合わせることもできる。
またこれ以外にも、スキージとスポンジ、ブラシとスポンジ或いはエアナイフとスポンジのように組み合わせることにより、例えば塗布液のかき取り及びプレートの洗浄(拭き取り)をいっきに行うこともでき相乗効果を期待できる。
またこれ以外にも、プレート20に駆動機構を設け、プレート20が除去機構21(スキージ22)に対して離間する構成とすることもできる。
Claims (4)
- 基板への塗布に先立って、スリットノズルからの塗布液を吐出させるための予備吐出装置において、
前記スリットノズルと対向して配置され、前記スリットノズルのスリット開口の延在方向と同一の方向に延在する予備吐出面と、
前記予備吐出面の近傍に、前記予備吐出面の表面に存在する塗布液を除去する除去機構が設けられ、
前記予備吐出面はドレインパンに固定される板状プレートからなり、
前記除去機構はスキージが取り付けられた本体と、この本体に取り付けられた洗浄液供給機構、乾燥機構及び吸引機構から構成され、前記本体は支点を中心として回動可能とされていることを特徴とする予備吐出装置。 - 請求項1に記載の予備吐出装置において、前記スキージはポリエステルから形成されていることを特徴とする予備吐出装置。
- 請求項1に記載の予備吐出装置において、前記スキージが複数設けられていることを特徴とする予備吐出装置。
- 請求項1に記載の予備吐出装置において、前記板状プレートの一端又は両端が面取り加工されていることを特徴とする予備吐出装置。
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