JP4981388B2 - 検査情報提供システム及び検査情報提供方法 - Google Patents

Description

本発明は、メーカーがユーザーに対して加工工具の検査情報を提供するシステム及び方法に関するものである。

各種の加工装置では、装着された加工工具によって加工が行われる。例えば、ウェーハ等を研削する研削装置では、研削砥石を備えた研削ホイールが加工工具であり、また、ウェーハ等を切削する切削装置では、円形基台の外周から切り刃が突出して構成される切削ブレードが加工工具であり、いずれの加工工具も、消耗品としてメーカーからユーザーに提供される。

個々の加工工具には若干の製造誤差が存在し、この誤差が加工精度にも影響を与える。そこで、消耗品としての加工工具をユーザーに提供する際、メーカーは、品質保証として、加工工具の検査情報をユーザーに提供する。検査情報のユーザーへの提供は、検査情報が記載された書面を渡すことや、ファイルが記録された記録媒体を渡すことや、電子ファイルを電子メールによって送ることにより行われる。

検査情報は、前記切削装置の例では、個々の切削ブレードの切り刃を用いた切削によって形成された切削溝の幅（カーフ幅）、基台の中心部に形成されスピンドルに挿通される内径、切り刃の外径等によって構成される。

ユーザー側では、オペレータが、加工装置を制御する制御装置等に、提供を受けた検査情報をデータ入力する。そして、制御装置は、入力されたデータを加工時における制御に利用することにより、加工の精密性を確保している。また、検査情報がバーコードとして提供される場合もあり、この場合は、ユーザー側においてバーコードを読み取ることにより、検査情報が制御装置等に入力される（例えば特許文献１参照）。

特開２００１−１４４０３４号公報

しかし、検査情報が書面、記録媒体または電子メールによって送られても、ユーザー側においてはオペレータが検査情報を制御装置等に入力しなければならず、その負担が大きい。一方、メーカー側においても、ユーザーごと、加工工具ごとに個別に検査情報を作成しなければならず、納品された加工工具とは別の加工工具の検査情報を誤って送ってしまうこともある。また、記録媒体または電子メールにより検査情報が提供される場合は、互換性のあるデータ形式のファイルを作成しなければならず、その負担も大きい。

そこで、本発明が解決しようとする課題は、加工装置のユーザー側とメーカー側のいずれにも負担をかけることなく、加工工具の検査情報を確実にユーザーに提供し、提供された検査情報をユーザー側において利用できるようにすることである。

本発明は、メーカー側のコンピュータから通信手段を介してユーザー側のコンピュータに対して加工工具の検査情報を提供する検査情報提供方法であって、メーカー側のコンピュータでは、加工工具に対応して付された識別情報と検査情報とが対応付けられて記憶手段に記憶され、識別情報は、個々の加工工具に付される製造番号情報と、検査情報を取得するためのパスワード情報とから構成されており、ユーザー側のコンピュータから送信される製造番号情報及びパスワード情報を受信し、パスワード情報が予め記憶させたパスワード情報と一致した場合にアクセスを許可して製造番号情報に対応する検査情報を記憶手段から検索し、製造番号情報と検索された検査情報とを該ユーザー側のコンピュータに送信し、ユーザー側のコンピュータは、メーカー側のコンピュータから送信された検査情報を受信し、加工工具は、円形基台と、円形基台の外周から突出した環状の切り刃とから構成される切削ブレードであり、検査情報には、切り刃の突出量の計測値と、切り刃によって被加工物を切削して形成された切削溝の幅の計測値とが少なくとも含まれ、ユーザー側のコンピュータは、受信した検査情報に含まれる切り刃の突出量の計測値または切削溝の幅の計測値の情報を用いて切削ブレードが装着される加工装置の数値制御を行う。

本発明は、メーカー側のコンピュータに切削ブレードの検査情報を記憶させ、ユーザー側のコンピュータから切削ブレードの製造番号情報及びパスワード情報を送信することにより、その切削ブレードの検査情報を電子データとして取得することができるため、ユーザーごとに切削ブレードの検査情報を確実に提供することができ、ユーザーにとっては検査情報を電子データとして入手することができる。また、取得したデータは、そのままの状態で加工の制御に用いることができる。

図１に示す検査情報提供システム１は、ユーザー側の加工装置２を制御するユーザー側コンピュータ３とメーカー側コンピュータ４とがインターネット等の通信手段５を介して接続されて構成され、ユーザー側コンピュータ３とメーカー側コンピュータ４との間で情報の授受が可能となっている。図１の例ではユーザー側コンピュータ３が加工装置２の外部に設けられているが、ユーザー側コンピュータ３は加工装置２に内蔵されていてもよい。

加工装置２は、ウェーハ等を切削する装置であり、テープＴを介してフレームＦと一体となったウェーハＷを保持するチャックテーブル２０と、チャックテーブル２０に保持されたウェーハＷを切削する切削手段２１とを備えている。また、装置の前面側にはバーコードリーダー２２を備えている。バーコードリーダー２２により認識された情報は、ユーザー側コンピュータ３に転送することができる。なお、バーコードリーダー２２は、加工装置２の外部に設けられていてもよい。

図２に示すように、切削手段２１は、ハウジング２３によって回転可能に支持されたスピンドル２４と、スピンドル２４に装着される加工工具２５と、加工工具２５をスピンドル２４に固定するためのナット２６とから構成される。加工工具２５は、スピンドル２４を挿通させるための中心孔２５０ａが中心部に形成された円形基台２５０と、円形基台２５０の外周から突出した環状の切り刃２５１とから構成される切削ブレードであり、切り刃２５１の摩耗の程度に応じて交換される消耗品である。切削手段２１は、ユーザー側コンピュータ３によってその動作が制御される。

図３に示すように、円形基台２５０に形成された中心孔２５０ａは、図２に示したスピンドル２４の外径に対応した内径Ｒ１を有している。また、円形基台２５０の周縁部に固着され外周側に突出した切り刃２５１は、外径Ｒ２を有している。内径Ｒ１及び外径Ｒ２には製造誤差が生じ得るため、個々の加工工具について内径Ｒ１及び外径Ｒ２が計測される。

切り刃２５１は、円形基台２５０の外周から数ｍｍ程度突出している。この突出量には製造誤差が生じ得るため、かかる突出量が刃先出し量Ｐとして個々に計測される。なお、図３では切り刃２５１の厚さを誇張して描いているが、実際には厚さが数十μｍ程度に形成されている。

個々の加工工具２５については、図４に示すように、高速回転する切り刃２５１をウェーハＷに切り込ませることにより、図５に示すカーフＧを形成し、形成されたカーフＧの幅Ｌを計測することにより、切り刃２５１の厚さが誤差の許容範囲内か否かを間接的に把握する。このような作業は、出荷するすべての加工工具について行われる。

個々の加工工具２５は、例えば図６に示す個別ケース６に収容されてユーザーに納品される。この個別ケース６には、図７に示すように、個々の加工工具に対応する識別情報として、製造番号を示すバーコード６０が付される。また、図８に示すように、複数の加工工具がまとめて大型ケース７に収容される場合は、収容される複数の加工工具に対応する識別情報として、大型ケース７に製造番号のバーコード７０が付される。すなわち、大型ケース７に付されるバーコード７０が親コードとなり、個別ケース６に付されるバーコード６０が子コードとなる。

図１に示したメーカー側コンピュータ４は、Ｗｅｂサーバとしての機能を有し、ユーザーからのアクセスに応じて情報を提供することができる。図９に示すように、メーカー側コンピュータ４は、加工工具に付された識別情報及び検査情報の入力に用いられる入力手段４０と、入力手段４０から入力された検査情報を加工工具の識別情報と対応付けて記憶する記憶手段４１と、特定の識別情報に対応する検査情報を記憶手段４１から検索する検査情報検索手段４２と、識別情報と検索された検査情報とを対応付けた情報をユーザー側コンピュータ３に送信する情報送信手段４３とを備えている。記憶手段４１には、加工工具の識別情報と計測値等の検査情報とが対応付けて記憶される。検査情報としては、例えば図３に示した内径Ｒ１や外径Ｒ２、図５に示したカーフ幅Ｌ等がある。これらの値は、入力手段４０から入力されて記憶手段４１に記憶される。

図９に示すように、ユーザー側コンピュータ３には、検査情報を取得しようとする識別情報の入力に用いる入力手段３０と、入力手段３０から入力された識別情報をメーカー側コンピュータ４に送信する識別情報送信手段３１と、メーカー側コンピュータ４から送信された情報を受信して表示する表示手段３２と、メーカー側コンピュータ４から送信された識別情報及び検査情報を受信して記憶する受信情報記憶手段３３と、加工装置２を制御する加工制御手段３４とを備えている。

ユーザー側のオペレータは、入力手段３０を操作して、検査情報を取得しようとする加工工具に対応する識別情報を入力する。ここで、図８の例のように、加工工具が大型ケース７に収容されている場合は、最初に入力手段３０が、識別情報として親コード７０を読み込む。この場合における入力手段３０は、図１に示したバーコードリーダー２２である。なお、バーコードリーダー２２に代えて、キーボード等の入力手段から親コード７０の値を入力することもできる。

ユーザー側コンピュータ３が、通信手段５を介してメーカー側コンピュータ４にアクセスして接続されると、例えばメニュー画面情報がユーザー側コンピュータ３に送信されて表示手段３２に図１０に示すメニュー画面８が表示される。ユーザー側コンピュータ３のオペレータが、入力手段３０を操作して“精密加工ツール検査表検索”を選択すると、次に、メーカー側コンピュータ４は、識別番号の入力を促す画面情報をユーザー側コンピュータ３に送信し、例えば図１１に示す入力画面９を表示手段３２に表示させる。

ユーザー側コンピュータ３のオペレータが、図１に示したバーコードリーダー２２を用いて図８に示したバーコード７０を読み取るか、または、キーボード等の入力手段によって親コード情報を入力すると、読み込まれた親コード情報は、識別情報送信手段３１によって通信手段５を介してメーカー側コンピュータ４に送信される。入力手段３０から読み込む識別情報には、製造番号と共に、検査情報を取得するためのパスワード情報を含ませることができる。この場合は、メーカー側コンピュータ４において、受信したパスワードと予め記憶させておいたパスワードとを照合し、両パスワードが一致した場合に、メーカー側コンピュータ４へのアクセスを許可する。

親コード情報を受信したメーカー側コンピュータ４では、検査情報検索手段４２が記憶手段４１を検索し、情報送信手段４３が、親コード情報に対応する識別情報と検査情報とを対応付けてユーザー側コンピュータ３に送信する。この情報を受信したユーザー側コンピュータ３では、表示手段３２に、例えば図１２の表示例１０のように、加工工具の識別情報と検査情報とを対応付けた一覧情報を表示させる。表示例１０では、親コードが「ＢＯＸ Ｎｏ．」で表示されており、「ＢＯＸ Ｎｏ．」が「ＷＨ０４０１０１０００１ＡＡ」である大型ケース７に収容された複数の加工工具の識別情報と検査情報とが表示されている。これら複数の加工工具の識別情報及び検査情報は、受信情報記憶手段３３に記憶される。なお、すべての識別情報及び検査情報ではなく、オペレータが入力手段３０を操作することにより、表示された中から１または２以上の加工工具を選択し、選択された加工工具の識別情報及び検査情報が、受信情報記憶手段３３に記憶されるようにしてもよい。

図１２の表示例１０では、識別情報として、製造番号が用いられている。一方、検査情報は、カーフ幅の値、集中度の合否、刃先出し量の値、回転時における外周振れの合否、内径に関する合否、外径に関する合否、外観検査の合否、合否の総合判定に関する情報によって構成される。

加工制御手段３２では、受信情報記憶手段３３から検査情報を読み出すことにより、加工における数値制御に用いることができる。例えば、表示例１０において、製造番号が“Ｈ０４０１０１００１０２”の加工工具の識別情報及び検査情報が受信情報記憶手段３２に記憶された場合において、その加工工具を用いてウェーハを切削する場合は、受信情報記憶手段３２から検査情報を構成するカーフ幅の値“０．０３６ｍｍ”を読み出し、ウェーハのストリートを切削することにより実際に形成されるカーフの幅が０．０３６［ｍｍ］となることを想定し、図２に示した切削手段２１の数値制御を行うことができる。

なお、上記の例では加工工具が大型ケース７に収容されていたため、大型ケース７に付されたバーコードが識別情報としてメーカー側コンピュータ４に送信され、その大型ケースに収容されたすべての加工工具の検査情報が受信情報記憶手段３２に記憶されたが、加工工具が個別ケース６のみに収容され、大型ケース７に収容されない場合における識別情報は、製造番号情報のみ、または、製造番号情報及びパスワード情報となる。また、その場合において、ユーザー側コンピュータ３から識別情報が送信されると、その加工工具の識別情報と検査情報のみが表示手段３１に表示される。

検査情報提供システムの機器構成の一例を示す説明図である。 切削手段の構成の一例を示す分解斜視図である。 切削ブレードを示す側面図である。 ウェーハにカーフを形成する状態を略示的に示す断面図である。 ウェーハに形成されたカーフを示す断面図である。 切削ブレード及び個別ケースを示す斜視図である。 個別ケースを示す平面図である。 大型ケースを示す斜視図である。 検査情報提供システムの機能構成の一例を示すブロック図である。 メニュー画面の一例を示す説明図である。 入力画面の一例を示す説明図である。 ユーザー側コンピュータの表示例を示す説明図である。

１：検査情報提供システム
２：加工装置
２０：チャックテーブル ２１：切削手段 ２２：バーコードリーダー（入力手段）
２３：ハウジング ２４：スピンドル
２５：加工工具 ２５０：円形基台 ２５１：切り刃
２６：ナット
３：ユーザー側コンピュータ ３０：入力手段 ３１：識別情報送信手段
３２：表示手段 ３３：受信情報記憶手段 ３４：加工制御手段
４：メーカー側コンピュータ ４０：入力手段 ４１：記憶手段
４２：検査情報検索手段 ４３：情報送信手段
５：通信手段
６：個別ケース ６０：バーコード
７：大型ケース ７０：バーコード
８：メニュー画面 ９：入力画面 １０：表示例

Claims (1)

1. メーカー側のコンピュータから通信手段を介してユーザー側のコンピュータに対して加工工具の検査情報を提供する検査情報提供方法であって、
   該メーカー側のコンピュータでは、加工工具に対応して付された識別情報と検査情報とが対応付けられて記憶手段に記憶され、該識別情報は、個々の加工工具に付される製造番号情報と、該検査情報を取得するためのパスワード情報とから構成されており、該ユーザー側のコンピュータから送信される該製造番号情報及びパスワード情報を受信し、該パスワード情報が予め記憶させたパスワード情報と一致した場合にアクセスを許可して該製造番号情報に対応する検査情報を該記憶手段から検索し、該製造番号情報と検索された検査情報とを該ユーザー側のコンピュータに送信し、
   該ユーザー側のコンピュータは、該メーカー側のコンピュータから送信された検査情報を受信し、
   該加工工具は、円形基台と、該円形基台の外周から突出した環状の切り刃とから構成される切削ブレードであり、該検査情報には、該切り刃の突出量の計測値と、該切り刃によって被加工物を切削して形成された切削溝の幅の計測値とが少なくとも含まれ、
   該ユーザー側のコンピュータは、受信した検査情報に含まれる該切り刃の突出量の計測値または切削溝の幅の計測値の情報を用いて該切削ブレードが装着される加工装置の数値制御を行う
   検査情報提供方法。

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