JP4734993B2 - トレイ及びその吸着構造 - Google Patents
トレイ及びその吸着構造 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4734993B2 JP4734993B2 JP2005092569A JP2005092569A JP4734993B2 JP 4734993 B2 JP4734993 B2 JP 4734993B2 JP 2005092569 A JP2005092569 A JP 2005092569A JP 2005092569 A JP2005092569 A JP 2005092569A JP 4734993 B2 JP4734993 B2 JP 4734993B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tray
- holding surface
- suction
- flow passage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、吸着装置により安定して保持され、搬送等をスムースに行うことができるトレイ及びその吸着構造を提供することにある。
前記保持面に沿って配置可能に設けられたトレイ本体と、このトレイ本体に所定間隔毎に複数設けられるとともに、内部にチップをそれぞれ収容可能なポケットとを備え、
前記吸着状態を平面視したときに、前記吸引部に重なって位置するポケットと、保持面の領域内であって吸引部に重ならない少なくとも一つのポケットとの間を連通する空気流通路を設け、
前記吸着状態で空気が負圧化される内部空間は、前記保持面、当該保持面により閉塞された空気流通路及び当該空気流通路に連通するポケットのみによって形成される、という構成が採用されている。
前記吸着装置は、吸引部が形成された保持面を含み、この吸引部から空気を吸引することで保持面側にトレイを吸着保持可能に設けられ、
前記トレイは、保持面に沿って位置可能に設けられたトレイ本体と、このトレイ本体に所定間隔毎に複数設けられるとともに、内部にチップをそれぞれ収容可能なポケットとを備え、
前記吸着状態を平面視したときに、前記吸引部に重なって位置するポケットと、保持面の領域内であって吸引部に重ならない少なくとも一つのポケットとの間を連通する空気流通路を設け、
前記吸着状態で空気が負圧化される内部空間は、前記保持面、当該保持面により閉塞された空気流通路及び当該空気流通路に連通するポケットのみによって形成される、という構成が採用される。
すなわち、本発明は、特定の実施の形態に関して特に図示し、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上に述べた実施形態に対し、形状、位置若しくは方向、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
Claims (4)
- 所定の吸着装置の保持面に形成された吸引部により空気を吸引したときに、当該保持面側に吸着保持可能に設けられたトレイであって、
前記保持面に沿って配置可能に設けられたトレイ本体と、このトレイ本体に所定間隔毎に複数設けられるとともに、内部にチップをそれぞれ収容可能なポケットとを備え、
前記吸着状態を平面視したときに、前記吸引部に重なって位置するポケットと、保持面の領域内であって吸引部に重ならない少なくとも一つのポケットとの間を連通する空気流通路を設け、
前記吸着状態で空気が負圧化される内部空間は、前記保持面、当該保持面により閉塞された空気流通路及び当該空気流通路に連通するポケットのみによって形成されることを特徴とするトレイ。 - 前記空気流通路は、溝により形成されていることを特徴とする請求項1記載のトレイ。
- 前記空気流通路に連通するポケットは、平面視でトレイ本体の中央領域に設けられていることを特徴とする請求項1記載のトレイ。
- 所定の吸着装置を介してトレイを吸着保持するトレイの吸着構造において、
前記吸着装置は、吸引部が形成された保持面を含み、この吸引部から空気を吸引することで保持面側にトレイを吸着保持可能に設けられ、
前記トレイは、保持面に沿って位置可能に設けられたトレイ本体と、このトレイ本体に所定間隔毎に複数設けられるとともに、内部にチップをそれぞれ収容可能なポケットとを備え、
前記吸着状態を平面視したときに、前記吸引部に重なって位置するポケットと、保持面の領域内であって吸引部に重ならない少なくとも一つのポケットとの間を連通する空気流通路を設け、
前記吸着状態で空気が負圧化される内部空間は、前記保持面、当該保持面により閉塞された空気流通路及び当該空気流通路に連通するポケットのみによって形成されることを特徴とするトレイの吸着構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005092569A JP4734993B2 (ja) | 2005-03-28 | 2005-03-28 | トレイ及びその吸着構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005092569A JP4734993B2 (ja) | 2005-03-28 | 2005-03-28 | トレイ及びその吸着構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006278516A JP2006278516A (ja) | 2006-10-12 |
JP4734993B2 true JP4734993B2 (ja) | 2011-07-27 |
Family
ID=37212993
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005092569A Expired - Fee Related JP4734993B2 (ja) | 2005-03-28 | 2005-03-28 | トレイ及びその吸着構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4734993B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002002871A (ja) * | 2000-04-20 | 2002-01-09 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法およびそれに用いられるトレイ |
JP3424676B2 (ja) * | 2001-06-25 | 2003-07-07 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置収納容器及びその搬送方法 |
-
2005
- 2005-03-28 JP JP2005092569A patent/JP4734993B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006278516A (ja) | 2006-10-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI665146B (zh) | 非接觸搬送裝置及非接觸吸著盤 | |
JP4734993B2 (ja) | トレイ及びその吸着構造 | |
US20150311059A1 (en) | Vacuum adsorption apparatus and a vacuum adsorption method of semiconductor package | |
JP4506533B2 (ja) | トレイ及びその吸着構造 | |
JP2007182237A (ja) | 収納容器 | |
CN103633005B (zh) | 大面积异形晶片匀胶均匀性控制装置 | |
JP2008087131A (ja) | 易削性被加工材の加工テーブルおよび固定方法ならびに加工テーブル用アタッチメント板 | |
JP7076606B2 (ja) | チップピックアップヘッド | |
US9887113B2 (en) | Semiconductor chip tray | |
TWI756402B (zh) | 基板收納容器 | |
JP2007109763A (ja) | 半導体チップ収容トレイ及び半導体チップの搬送方法 | |
TWI424525B (zh) | 晶片封裝體的承載裝置及承載組件 | |
TW201940394A (zh) | 載帶、載帶之製造方法、帶狀包裝體以及帶狀包裝體之製造方法 | |
JP4518707B2 (ja) | キャリアテープ | |
CN202159652U (zh) | 配置有可充气支撑件模块的前开式晶圆盒 | |
JP4506532B2 (ja) | チップの収納構造 | |
JP4233197B2 (ja) | 仕切容器 | |
KR20230174313A (ko) | 진공 패드 장치 | |
CN102610547A (zh) | 配置有可充气支撑件模块的前开式晶片盒 | |
JP4421064B2 (ja) | ジョッキコンテナー | |
JP2012231016A (ja) | 球状体吸着ヘッドおよび球状体搭載装置 | |
KR101710578B1 (ko) | 반도체소자 트레이 | |
JP2008230613A (ja) | 半導体集積回路用トレー | |
JPH11307618A (ja) | ベアチップ固定台 | |
JP4073260B2 (ja) | 搬送トレイ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080122 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100114 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100119 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100323 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100406 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100607 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110329 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110411 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140513 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |