JP4631110B2

JP4631110B2 - Ceramic green sheet manufacturing equipment

Info

Publication number: JP4631110B2
Application number: JP29532599A
Authority: JP
Inventors: 毅山名; 孝晴宮崎
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1999-10-18
Filing date: 1999-10-18
Publication date: 2011-02-16
Anticipated expiration: 2019-10-18
Also published as: JP2001118743A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、セラミックグリーンシートの製造装置に関し、詳しくは、積層セラミック電子部品に用いるのに適したセラミックグリーンシートを効率よくかつ確実に製造するためのセラミックグリーンシートの製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
例えば、代表的な積層セラミック電子部品の一つである積層セラミックコンデンサは種々の用途に広く用いられているが、近年、電子部品の小型化が進むにつれて、小型・大容量化への要求がさらに増大してきている。
【０００３】
この積層セラミックコンデンサは、例えば、図２に示すような構造を有しており、複数の内部電極２ａ，２ｂが、誘電体層であるセラミック層１を介して、互いに対向し、かつ、内部電極２ａ，２ｂの一方の端部が、互いに異なる側の端面に引き出された構造を有するセラミック素子３の両端部に、内部電極２ａ，２ｂと導通する一対の外部電極４ａ，４ｂを配設することにより形成されている。
【０００４】
そして、このような積層セラミック電子部品の製造に用いられるセラミックグリーンシートは、誘電体層であるセラミック層を形成するものであり、取得できる静電容量を大きくして製品の小型化を図るため、近年その薄膜化が進んでいる。
【０００５】
ところで、セラミックグリーンシートは、通常、セラミックスラリーをシート状に成形した後、これを乾燥させることにより製造されており、セラミックスラリーをシート状に成形する方法としては、ドクターブレード法やリバースロールコータ法などの種々の方法が用いられている。
【０００６】
例えば、図３は、従来のセラミックグリーンシートの製造方法の一例を示すものであり、ここでは、キャリアフィルム供給部（キャリアフィルム供給ローラ）５１から、キャリアフィルム５２を供給し、所定の位置で、セラミックスラリー塗布手段（シート成形手段）（この例ではドクターブレード法を用いている）５３により、セラミックスラリー５４をキャリアフィルム５２上に塗布した後、キャリアフィルム５２とともにセラミックスラリー５４を搬送し、乾燥手段５５により、セラミックスラリー５４を乾燥させてセラミックグリーンシート５６を形成した後、シート回収ローラ５７によって、表面にセラミックグリーンシート５６を保持するキャリアフィルム５２を巻き取ることにより、形成されたセラミックグリーンシート５６をキャリアフィルム５２に保持された状態で回収するようにしている。
【０００７】
ところで、図２に示すような積層セラミックコンデンサにおいて、内部電極２ａ，２ｂ間に介在するセラミック層１の厚み（素子厚）が３μm以下になると、それに用いられるセラミックグリーンシートとして、厚みの薄いセラミックグリーンシートを製造することが必要になる。しかし、上述のような従来の方法によって厚みの薄いセラミックグリーンシートを製造すると、セラミックグリーンシートの表面粗さが粗くなったり、セラミックグリーンシートにピンホール欠陥（ポア-ー）が発生したりするという問題点がある。
【０００８】
すなわち、従来のセラミックグリーンシートの製造方法では、厚みが３μm程度あるいはそれ以下になると、表面の平滑性が良好（例えば、表面粗さがＲａ≦１００nm程度）で、ピンホール欠陥の存在しないセラミックグリーンシートを安定的に製造することは、必ずしも容易ではないのが実情である。
【０００９】
本発明は、上記問題点を解決するものであり、厚みの薄いセラミックグリーンシートを製造する場合にも、表面の平滑性が良好で、ピンホール欠陥などの少ないセラミックグリーンシートを安定して製造することが可能なセラミックグリーンシートの製造装置を提供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明のセラミックグリーンシートの製造装置は、
セラミックスラリーをキャリアフィルム上に塗布してシート状に成形するシート成形手段と、
前記シート成形手段によりシート状に成形されたセラミックスラリーを乾燥する乾燥手段と、
前記乾燥することによりキャリアフィルム上に形成された、内部電極の印刷されていないシートを加圧して、その表面を平滑化する平滑化手段と
を具備することを特徴としている。
【００１１】
本発明の積層セラミック電子部品の製造装置を用いた場合、シート成形手段により、セラミックスラリーをキャリアフィルム上に塗布してシート状に成形し、乾燥手段により、シート状に成形されたセラミックスラリーを乾燥した後、平滑化手段により、キャリアフィルム上の、内部電極の印刷されていないシートを加圧して平滑化することにより、厚みが薄い場合にも、表面の平滑性に優れたセラミックグリーンシートを確実にしかも効率よく製造することが可能になる。
すなわち、本発明のセラミックグリーンシートの製造装置によれば、セラミックグリーンシートの表面粗さ（Ｒａ）を低減することが可能になるとともに、平滑化処理の際に、セラミックグリーンシートが加圧されて高密度になるため、ポアーの発生や、電極ペーストの溶剤成分がセラミックグリーンシートに染み込んでバインダーを溶解させるシートアタック現象を抑制することが可能になる。
【００１２】
また、セラミック粒子の分散性を高くすることにより、セラミックグリーンシートの表面の平滑性を向上させようとすると、セラミックスラリーの分散時に過剰なせん断力をセラミック粒子に与えることになる場合があるが、本発明の製造装置を用いることにより、セラミック粒子の分散性に依存せずに平滑性を向上させることが可能になるため、セラミック粒子が粉砕されてしまうことを抑制、防止して、セラミック粒子のロットごとの凝集性のばらつきによって、所望の特性を備えたセラミックグリーンシートが得られなくなるというような問題を回避することが可能になる。
【００１３】
また、請求項２のセラミックグリーンシートの製造装置は、前記平滑化手段として、カレンダーロール機が用いられていることを特徴としている。
【００１４】
カレンダーロール機は、少なくとも一対のロール（ニップロール）を備え、この一対の金属ロールによりセラミックグリーンシートをその両面側からニップして加圧することによりセラミックグリーンシートの表面を平滑にすることができるように構成された装置を意味する概念である。
なお、一対のロールとしては、例えば、鏡面研磨された硬質クロムめっき膜をその表面に備えた金属ロールなどを用いることが可能である。また、カレンダーロール機としては、セラミックグリーンシートを予熱するためのプレヒートロールなどを備えた構成のものを用いることも可能である。
このようなカレンダーロール機を平滑化手段として用いることにより、連続的に、効率よく、セラミックグリーンシートの表面を平滑化して表面粗さ（Ｒａ）を低減することが可能になるとともに、セラミックグリーンシートを緻密化することが可能になり、本発明を実効あらしめることができる。
【００１５】
また、請求項３のセラミックグリーンシートの製造装置は、積層セラミック電子部品用のセラミックグリーンシートを製造するために用いられる装置であって、前記平滑化されたセラミックグリーンシートをキャリアフィルムから剥離するための剥離手段を備えていることを特徴としている。
【００１６】
剥離手段を備えた請求項３のセラミックグリーンシートの製造装置を用いることにより、セラミックスラリーをキャリアフィルム上にシート状に成形し、平滑化することにより、セラミックグリーンシートの厚みが薄い場合にも、効率よく平滑性に優れ、ポアーなどの内部欠陥のないセラミックグリーンシートを製造することが可能になるとともに、セラミックグリーンシートをキャリアフィルムから剥離した状態で、例えば、積層などの処理を行って、効率よく所望の特性を備えた積層セラミック電子部品を製造することが可能になり、本発明をさらに実効あらしめることができる。
【００１７】
また、請求項４のセラミックグリーンシートの製造装置は、厚みが３μｍ以下のセラミックグリーンシートの製造に用いられるものであることを特徴としている。
【００１８】
請求項４の発明によれば、厚みが３μm程度の薄いセラミックグリーンシートを製造する場合にも、破れたりすることなく平滑化処理を施すことが可能になり、表面の平滑性に優れ、ポアーなどの内部欠陥がなく、しかも、高密度で、シートアタック現象を生じることのない信頼性の高いセラミックグリーンシートを効率よく製造することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を示して、その特徴とするところをさらに詳しく説明する。
なお、この実施形態では、図２に示すような構造を有する積層セラミックコンデンサに用いられるセラミックグリーンシートを製造するのに用いられるセラミックグリーンシートの製造装置を例にとって説明する。なお、図２の積層セラミックコンデンサの構造については、従来の技術及び発明が解決しようとする課題の欄で説明を行っているので、ここでは重複を避けるため、その構造についての説明を省略する。
【００２０】
図１は、本発明の一実施形態にかかるセラミックグリーンシートの製造装置を示す図である。
このセラミックグリーンシートの製造装置は、キャリアフィルム１２を供給するキャリアフィルム供給部（キャリアフィルム供給ローラ）１１と、セラミックスラリー１４をキャリアフィルム１２上に供給（塗布）してシート状に成形するシート成形手段（リバースロールコータ）１３と、シート状に成形されたセラミックスラリー１４を乾燥する乾燥手段（熱風循環乾燥機）１５と、乾燥されたシート（平滑化されていないセラミックグリーンシート）１６ａを加圧して、その表面を平滑化するための平滑化手段（一対のニップロール２０ａ，２０ｂを備えたカレンダーロール機）２０と、平滑化処理が施されたセラミックグリーンシート１６をキャリアフィルム１２とともに巻き取って回収するシート回収部（シート回収ローラ）１７とを備えている。
【００２１】
なお、積層セラミックコンデンサに用いられる、厚みが薄くて、表面の平滑性に優れたセラミックグリーンシートを製造するためには、乾燥後のセラミックグリーンシートを加圧して平滑化処理する工程が必要になるが、薄いセラミックグリーンシート単独では、加圧する際にセラミックグリーンシートが破れてしまうため、そのままでは平滑化処理を施すことができない。そこで、上述のように、本発明の製造装置では、キャリアフィルム１２上にセラミックスラリー１４を塗布・乾燥し、平滑化処理することにより、セラミックグリーンシート１６を作製するようにしている。なお、キャリアフィルム１２上に保持されたセラミックグリーンシート１６は、その後、キャリアフィルム１２から剥離されることになる。すなわち、この実施形態では、シート回収部１７に回収されたセラミックグリーンシート１６は、キャリアフィルム１２に保持された状態で積層セラミックコンデンサの製造工程３０に搬送され、表面に内部電極を形成した後、剥離手段（図示せず）により、キャリアフィルム１２から剥離して積層し、焼成する工程を経て積層セラミックコンデンサが製造されることになる。
【００２２】
また、シート成形手段１３としては、リバースロールコータが用いられているが、シート成形手段１３はこれに限られるものではなく、ドクターブレード法その他、公知の種々の方法を適用したシート成形手段を用いることが可能である。
【００２３】
また、乾燥手段１５としては、上記の熱風循環乾燥機が用いられているが、この熱風乾燥機は、電気ヒータから発生する熱で加熱された熱風により、キャリアフィルム１２上に塗布されたセラミックスラリー１４を乾燥させることができるように構成されているとともに、乾燥を促進させるため、キャリアフィルム１２のセラミックスラリー１４が塗布されていない側（下面側）に配置された金属製プレート１８を高温流体加熱することにより、キャリアフィルム１２上のセラミックスラリー１４を下面側から加熱することができるように構成されている。
【００２４】
なお、セラミックスラリー１４を乾燥するための乾燥手段としては、この実施形態のような熱風循環式乾燥機に限らず、赤外線源から放射される赤外線を用いる赤外線乾燥機や、金属製プレートを電磁誘導加熱して乾燥する電磁誘導加熱式乾燥機など、種々の方式の乾燥機を用いることが可能である。
【００２５】
なお、セラミックグリーンシート（セラミックスラリー）を乾燥する工程において重要なことは、セラミックグリーンシート中に溶剤が残留しないように十分に乾燥を行うことである。これは、溶剤が残留した状態で、セラミックグリーンシートを平滑化する処理（平滑化処理）を行うと、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥離したり、破れが生じたりすることによる。
なお、乾燥工程において、乾燥温度は、セラミックグリーンシート中の有機溶剤の沸点より高い温度に設定することが望ましい。例えば、ポリビニルプチラール系バインダー（ＰＶＢ）、フタル酸エステル系可塑剤（ＤＯＰ）、エタノール、トルエンの有機溶剤を含むセラミックスラリーを乾燥させるような場合、乾燥温度は、８０〜１５０℃に設定される。
【００２６】
また、セラミックグリーンシート１６ａを加圧して平滑化処理を施すために用いられる平滑化手段２０としては、表面に鏡面研磨された硬質クロムめっき膜を備えた一対の金属ロール（ニップロール）２０ａ，２０ｂからなるカレンダーロール機が使用されている。
【００２７】
なお、カレンダーロール機２０を構成する一対の金属ロール２０ａ，２０ｂには、電磁誘導加熱方式の加熱手段と温度制御手段が設けられている。また、金属ロール２０ａ，２０ｂの加熱には、電磁誘導加熱方式以外にも、高温流体加熱方式などの種々の方式のものを使用することができる。なお、カレンダーロール機２０としては、例えば、ニップロールが１つのシングルニップロールタイプのカレンダーロール機、複数のニップロールを備えた多段ニップロールタイプのカレンダーロール機など、種々のロール構成のものを用いることが可能である。
【００２８】
このようなカレンダーロール機２０による平滑化処理の工程で、セラミックグリーンシート１６ａが一対のニップロール２０ａ，２０ｂにより加圧されることにより、その表面が平滑化されるとともに、平滑化処理後のセラミックグリーンシート１６の密度が高くなり、ピンホール欠陥などの発生を減少させることが可能になる。
【００２９】
また、平滑化処理が施されるセラミックグリーンシート１６ａは、熱風循環式乾燥機１５により、十分に乾燥されているため、カレンダーロール機２０による平滑化処理の工程で、セラミックグリーンシート１６ａがキャリアフィルム１２から剥離することを防止して、確実な平滑化処理を施すことができる。
【００３０】
また、乾燥工程を経た後のセラミックグリーンシートが、そのまま連続してカレンダーロール機２０により平滑化処理されるため、特に予熱工程を必要とすることなく、セラミックグリーンシートに平滑化処理を施すことが可能になり、生産効率を向上させることが可能になる。
【００３１】
また、カレンダーロール機２０による平滑化処理を施すにあたっては、セラミックグリーンシート１６ａをニップする金属ロール２０ａ，２０ｂの表面温度及びロールの線圧の制御が重要であり、この条件の設定いかんによって、平滑化処理後のセラミックグリーンシート１６の表面の平滑性（Ｒａ）が決定されることになる。
この平滑化処理の条件としては、金属ロール２０ａ，２０ｂの表面温度が０〜１５０℃、線圧が５０kgf〜１０００kgf／cmの範囲で、セラミックグリーンシートの材料に合わせて適宜設定することが望ましい。
また、さらに好ましい範囲は、カレンダーロール機の表面温度が２０〜１００℃、線圧が１００kgf〜６００kgf／cmの範囲である。
【００３２】
また、キャリアフィルム１２上に保持されたセラミックグリーンシート１６を巻き取って回収するシート回収部（シート回収ローラ）１７は、平滑化処理されたセラミックグリーンシート１６をキャリアフィルム１２とともに巻き取って回収することができるように構成されている。このシート回収部１７の構成は、平滑化処理されたセラミックグリーンシート１６をキャリアフィルム１２とともに巻き取って回収することができるような構成を有するものであればよく、種々の構成のものを用いることが可能である。
【００３３】
なお、このシート回収部１７に回収されたセラミックグリーンシートは、その後、積層セラミックコンデンサの製造工程３０に送られ、必要に応じて、例えば、内部電極の印刷などの処理を施した後、特に図示しない剥離手段によりキャリアフィルムから剥離された後、積層、圧着などの工程に供されることになる。
【００３４】
【実施例】
次に、上記実施形態のセラミックグリーンシートの製造装置を用いてセラミックグリーンシートを製造する方法を示して、本発明の特徴をさらに詳しく説明する。
【００３５】
［セラミックスラリーの調製］
まず、セラミックの原料粉末として、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ₃）粉末を用意し、このＢａＴｉＯ₃粉末に、Ｄｙ＋Ｍｇ＋Ｍｎ及びＳｉを、酸化物粉末の形態で添加することにより、チタン酸バリウム系セラミック原料粉末を調製する。
次に、チタン酸バリウム系のセラミック原料粉末に、ポリビニルプチラール系バインダー（ＰＶＢ）、フタル酸エステル系可塑剤（ＤＯＰ）、エタノール、トルエンの有機溶剤を加え、ボールミル法により、セラミック粉末の粉砕が発生しないように湿式分散してセラミックグリーンシート用のセラミックスラリーを調製する。
【００３６】
［塗布工程］
そして、このセラミックスラリーを、キャリアフィルム上にリバースロールコータ法によって成膜する（シート幅１５０mm）。なお、塗布厚さは、乾燥後のセラミックグリーンシートの厚さが、約３μmになるような厚さとする。
この時、セラミックスラリー（セラミックグリーンシート）の塗工速度は５m／min、ロールの回転数は１００rpmとする。
【００３７】
［乾燥工程］
塗布したスラリーは、電気ヒータから発生する熱風を用いる熱風循環乾燥機により乾燥する。なお、この乾燥工程においては、熱風循環乾燥機の熱風と、キャリアフィルムの下面側に配設された、高温流体加熱方式で加熱される金属製プレートの熱により、セラミックスラリーの乾燥が効率よく行われる。
このとき、熱風循環乾燥機の設定温度を１００℃、金属製プレートの表面温度を８０℃とする。この乾燥工程では溶剤がセラミックグリーンシート中に残留しないように十分に完全に乾燥する。この乾燥工程により、厚みが約３μmの乾燥したセラミックグリーンシートが得られることになる。
【００３８】
［カレンダー処理工程］
乾燥直後のセラミックグリーンシート（表面温度＝６５〜７５℃）を、上述したように、鏡面研磨された硬質クロムめっき膜が表面に形成された一対の金属ロールを備えたカレンダーロール機を用い、電磁誘導加熱により、金属ロールの表面を７０℃に加熱し、金属ロール間の線圧を５００kgf／cmに設定して、セラミックグリーンシートをシングルニップ（一段プレス）処理する。
【００３９】
また比較例として、この工程で平滑化処理を行わないセラミックグリーンシート（比較例のセラミックグリーンシート）を、上記実施例の場合と同様の条件で作製した。
【００４０】
［セラミックグリーンシートの物性の評価］
（１）セラミックグリーンシートの表面粗さ（Ｒａ）
セラミックグリーンシートの表面粗さ（Ｒａ）は、原子間力顕微鏡を使用して、５μm平方の領域の測定値（nm）によって判断した。
（２）セラミックグリーンシートの密度
セラミックグリーンシートの密度（g／cm³）は、平面面積が５０cm²のセラミックグリーンシートの重量を測定し、その体積（セラミックグリーンシートの面積×厚み）で除して算出した。なお、このとき、セラミックグリーンシートの重量の測定には電子天秤を用い、厚みの測定には精密マイクロメーターを用いた。
【００４１】
表１に、比較例の平滑化処理を施していないセラミックグリーンシートの物性を示す。
【００４２】
【表１】

【００４３】
なお、表１には、平均粒径が２１０nm（比較例１）、１５３nm（比較例２）、及び９８nm（比較例３）のチタン酸バリウム粉末を用いたセラミックスラリーを調製し、これを成形することにより作製したセラミックグリーンシート（比較例１，２及び３）の表面粗さ（Ｒａ）、厚み（シート厚み）、及び密度（シート密度）を示す。
表１に示すように、セラミックグリーンシートを平滑化処理しない場合、各セラミックグリーンシートの表面粗さ（Ｒａ）は、比較例１で２３７nm、比較例２で１６５nm、比較例３で１３１nmであった。
また、セラミックグリーンシートの厚みは、比較例１で３．０３、比較例２で３．０８、比較例３で３．０２であった。
また、セラミックグリーンシートの密度はいずれも３．００g／cm³以下であった。
【００４４】
また、表２には、平均粒径が２１０nm（実施例１）、１５３nm（実施例２）、及び９８nm（実施例３）のチタン酸バリウム粉末を用いたセラミックスラリーを調製し、本発明の実施形態にかかるセラミックグリーンシートの製造装置を使用し、カレンダーロール機で平滑化処理を施すことにより作製したセラミックグリーンシートの表面粗さ（Ｒａ）、厚み、及び密度を示す。
【００４５】
【表２】

【００４６】
表２に示すように、平滑化処理を施した実施例１，２及び３セラミックグリーンシートの表面粗さ（Ｒａ）はいずれも１００nm以下で、上述の平滑化処理を施していない比較例１，２及び３の場合に比べて、１／３から１／５程度に低減していることが確認された。
また、セラミックグリーンシートの厚みは、上述の比較例１，２及び３の場合に比べて、約１０％薄くなっており、それに伴って、シート密度が約１０％向上していることが確認された。
【００４７】
上述のように、本発明のセラミックグリーンシートの製造装置によれば、積層セラミックコンデンサなどに使用するのに適した、表面の平滑性に優れ、シート密度の高いセラミックグリーンシートを確実に製造することが可能になる。また、キャリアフィルムに保持した状態でセラミックグリーンシートの平滑化処理を施すようにしているので、厚みの薄いセラミックグリーンシート（例えば厚み：３μm程度）を製造する場合にも、破れたりすることなく平滑化処理を施すことが可能になり、表面の平滑性に優れ、ポアーなどの内部欠陥がなく、しかも、高密度で、シートアタック現象を生じることのない信頼性の高いセラミックグリーンシートを効率よく製造することが可能になる。
そして、このように、平滑牲に優れたセラミックグリーンシートを用いて積層セラミックコンデンサを製造した場合、セラミック層に内部欠陥がなく、セラミック層と内部電極の界面の平滑性に優れており、所望の特性を備え、信頼性が高く、しかも耐久性に優れた積層セラミックコンデンサを得ることが可能になる。
また、本発明のセラミックグリーンシートの製造装置を使用した場合、セラミックスラリーの分散時に、過剰なせん断力をセラミック粒子に与える必要がなくなるため、セラミック粒子の粉砕や、セラミック粒子の各ロットでの凝集性のばらつきの発生などを防止して、所望の電気特性を備えた積層セラミックコンデンサを確実に得ることが可能になる。
【００４８】
なお、このような効果は、積層セラミックコンデンサを構成するセラミック層の厚みが３μm以下の場合に特に顕著であり、本発明のセラミックグリーンシートの製造装置により製造したセラミックグリーンシートを用いることにより、所望の電気特性を備え、かつ、信頼性に優れた、薄膜多層、小型大容量の積層セラミックコンデンサを得ることができるようになる。
【００４９】
なお、上記実施形態では、積層セラミックコンデンサ用のセラミックグリーンシートを製造する場合を例にとって説明したが、本発明のセラミックグリーンシートの製造装置は、積層セラミックバリスタ、積層セラミック圧電部品、積層基板その他、種々の積層セラミック電子部品に用いられるセラミックグリーンシートを製造する場合に広く適用することが可能である。
【００５０】
なお、上記実施形態では、セラミックグリーンシートを構成するセラミック原料粉末として、チタン酸バリウム系セラミック粉末を用いた場合について説明したが、セラミックグリーンシートを構成するセラミック原料粉末としては、チタン酸バリウム系のものに限らず、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウムなどを主成分とする種々のセラミック粉末を用いることが可能であり、その場合にも同様の効果を得ることが可能である。
【００５１】
また、上記実施例では、セラミックグリーンシート用スラリーとして、有機系スラリーを用いた場合を例にとって説明したが、水系スラリーを用いた場合にも同様の効果を得ることが可能である。
【００５２】
また、バインダー種、可塑剤についても、上記実施例で示したポリビニルプチラール系樹脂（ＰＶＢ）、フタル酸エステル系可塑剤（ＤＯＰ）などに限定されるものではなく、目的とするセラミックグリーンシートに応じて、適宜その種類及び量を選択して用いることが可能である。
【００５３】
本発明は、さらにその他の点においても、上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
【００５４】
【発明の効果】
上述のように、本発明（請求項１）のセラミックグリーンシートの製造装置は、シート成形手段により、セラミックスラリーをキャリアフィルム上に塗布してシート状に成形し、乾燥手段により、シート状に成形されたセラミックスラリーを乾燥した後、平滑化手段により、乾燥することによりキャリアフィルム上に形成された、内部電極の印刷されていないシートを加圧して平滑化するようにしているので、厚みの薄いセラミックグリーンシート（例えば厚み：３μm程度）を製造する場合にも、表面の平滑性に優れ、所望の特性を得ることが可能な信頼性の高いセラミックグリーンシートを製造することが可能になる。
また、セラミックグリーンシートの密度を高くすることができることから、積層セラミック電子部品を構成するセラミック層中にポアーが発生することを抑制するとともに、電極ペーストの溶剤成分がセラミックグリーンシートに染み込んでバインダーが溶解されるシートアタック現象を抑制することが可能になる。
また、本発明のセラミックグリーンシートの製造装置を使用した場合、セラミックスラリーの分散時に、過剰なせん断力をセラミック粒子に与える必要がなくなるため、セラミック粒子の粉砕や、セラミック粒子の各ロットでの凝集性のばらつきの発生などを防止して、所望の電気特性を備えた積層セラミック電子部品を確実に得ることが可能になる。
【００５５】
また、請求項２のセラミックグリーンシートの製造装置のように、平滑化手段として、カレンダーロール機を用いることにより、連続的に、効率よく、セラミックグリーンシートの表面を平滑化して表面粗さ（Ｒａ）を低減するとともに、セラミックグリーンシートを緻密化することが可能になり、本発明を実効あらしめることができる。
【００５６】
また、請求項３のセラミックグリーンシートの製造装置のように、剥離手段を備えた構成とすることにより、セラミックスラリーをキャリアフィルム上にシート状に成形し、平滑化することにより効率よくセラミックグリーンシートを製造した後、セラミックグリーンシートをキャリアフィルムから剥離して、積層セラミック電子部品の製造に供給することが可能になり、積層などの処理を行って、効率よく積層セラミック電子部品を製造することが可能になる。
【００５７】
また、請求項４のセラミックグリーンシートの製造装置によれば、厚み：３μm程度の薄いセラミックグリーンシートを製造する場合にも、破れたりすることなく平滑化処理を施すことが可能になり、表面の平滑性に優れ、ポアーなどの内部欠陥がなく、しかも、高密度で、シートアタック現象を生じることのない信頼性の高いセラミックグリーンシートを効率よく製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態にかかるセラミックグリーンシートの製造装置の概略構成を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態にかかるセラミックグリーンシートの製造方法により製造されるセラミックグリーンシートが用いられる積層セラミック電子部品の１つである積層セラミックコンデンサの構造を示す断面図である。
【図３】従来のセラミックグリーンシートの製造装置（製造方法）を示す図である。
【符号の説明】
１セラミック層
２ａ，２ｂ内部電極
３セラミック素子
４ａ，４ｂ外部電極
１１キャリアフィルム供給部（キャリアフィルム供給ロール）
１２キャリアフィルム
１３シート成形手段（リバースロールコータ）
１４セラミックスラリー
１５乾燥手段（熱風循環乾燥機）
１６セラミックグリーンシート
１６ａ平滑化されていないセラミックグリーンシート
１７シート回収部（シート回収ロール）
１８金属製プレート
２０平滑化手段（カレンダーロール機）
２０ａ，２０ｂニップロール（金属ロール）
３０積層セラミックコンデンサの製造工程[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
  The present invention relates to a ceramic green sheet manufacturing apparatus, and more particularly to a ceramic green sheet manufacturing apparatus for efficiently and reliably manufacturing a ceramic green sheet suitable for use in a multilayer ceramic electronic component.
[0002]
[Prior art and problems to be solved by the invention]
  For example, a multilayer ceramic capacitor, which is one of typical multilayer ceramic electronic components, is widely used in various applications. However, as electronic components have been downsized in recent years, there has been a further demand for smaller size and larger capacity. It is increasing.
[0003]
  This multilayer ceramic capacitor has, for example, a structure as shown in FIG. 2, and a plurality of

internal electrodes

2a and 2b are opposed to each other via a ceramic layer 1 which is a dielectric layer, and the internal electrodes A pair of

external electrodes

4a and 4b, which are electrically connected to the

internal electrodes

2a and 2b, are disposed at both ends of the ceramic element 3 having a structure in which one end of 2a and 2b is drawn to end surfaces on different sides It is formed by.
[0004]
  And the ceramic green sheet used for manufacture of such a multilayer ceramic electronic component is what forms the ceramic layer which is a dielectric material layer, and in order to attain the electrostatic capacity which can be acquired and size reduction of a product, In recent years, the film thickness has been reduced.
[0005]
  By the way, the ceramic green sheet is usually manufactured by forming a ceramic slurry into a sheet shape and then drying it. As a method for forming the ceramic slurry into a sheet shape, a doctor blade method or a reverse roll coater method is used. Various methods such as these are used.
[0006]
  For example, FIG. 3 shows an example of a conventional method for producing a ceramic green sheet. Here, a carrier film 52 is supplied from a carrier film supply unit (carrier film supply roller) 51, and at a predetermined position, After applying the ceramic slurry 54 onto the carrier film 52 by the ceramic slurry applying means (sheet forming means) 53 (in this example, using a doctor blade method), the ceramic slurry 54 is conveyed together with the carrier film 52 and dried. After the ceramic slurry 54 is dried by 55 and the ceramic green sheet 56 is formed, the carrier film 52 that holds the ceramic green sheet 56 is wound on the surface by the sheet collecting roller 57, thereby forming the formed ceramic green sheet 56. So that recovered while being held by the carrier film 52.
[0007]
  By the way, in the multilayer ceramic capacitor as shown in FIG. 2, when the thickness (element thickness) of the ceramic layer 1 interposed between the

internal electrodes

2a and 2b is 3 μm or less, the ceramic green sheet used therefor is a thin ceramic green It is necessary to manufacture a sheet. However, when a ceramic green sheet having a small thickness is manufactured by the conventional method as described above, the surface roughness of the ceramic green sheet becomes rough or pinhole defects (pores) occur in the ceramic green sheet. There is a problem.
[0008]
  That is, in the conventional method for producing a ceramic green sheet, when the thickness is about 3 μm or less, the surface is excellent in smoothness (for example, the surface roughness is about Ra ≦ 100 nm) and has no pinhole defects. In fact, it is not always easy to produce a sheet stably.
[0009]
  The present invention solves the above-mentioned problems, and even when a ceramic green sheet having a small thickness is manufactured, a ceramic green sheet having good surface smoothness and few pinhole defects is stably manufactured. It is an object of the present invention to provide a ceramic green sheet manufacturing apparatus capable of performing the above-described process.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
  In order to achieve the above object, the ceramic green sheet manufacturing apparatus of the present invention comprises:
  Sheet forming means for applying a ceramic slurry on a carrier film and forming the sheet into a sheet;
  A drying means for drying the ceramic slurry formed into a sheet by the sheet forming means;
  Formed on the carrier film by dryingThe internal electrode is not printedSmoothing means for pressurizing the sheet and smoothing its surface;
  It is characterized by comprising.
[0011]
  When the multilayer ceramic electronic component manufacturing apparatus of the present invention is used, the ceramic slurry is applied onto a carrier film by a sheet forming means and formed into a sheet shape, and the ceramic slurry formed into a sheet shape is dried by a drying means. And then smoothing means on the carrier filmThe internal electrode is not printedBy pressurizing and smoothing the sheet, even when the thickness is small, it is possible to reliably and efficiently produce a ceramic green sheet having excellent surface smoothness.
  That is, according to the ceramic green sheet manufacturing apparatus of the present invention, it becomes possible to reduce the surface roughness (Ra) of the ceramic green sheet, and the ceramic green sheet is pressurized during the smoothing process. Due to the high density, it is possible to suppress the occurrence of pores and the sheet attack phenomenon in which the solvent component of the electrode paste soaks into the ceramic green sheet and dissolves the binder.
[0012]
  In addition, when trying to improve the smoothness of the surface of the ceramic green sheet by increasing the dispersibility of the ceramic particles, excessive shear force may be imparted to the ceramic particles during the dispersion of the ceramic slurry. By using the production apparatus of the present invention, it becomes possible to improve the smoothness without depending on the dispersibility of the ceramic particles. Therefore, it is possible to suppress and prevent the ceramic particles from being crushed. It is possible to avoid the problem that ceramic green sheets having desired characteristics cannot be obtained due to variation in cohesiveness from lot to lot.
[0013]
  The ceramic green sheet manufacturing apparatus according to claim 2 is characterized in that a calendar roll machine is used as the smoothing means.
[0014]
  The calender roll machine includes at least a pair of rolls (nip rolls), and the pair of metal rolls nips and pressurizes the ceramic green sheet from both sides so that the surface of the ceramic green sheet can be smoothed. It is a concept that means a configured device.
  As the pair of rolls, for example, a metal roll having a mirror-polished hard chromium plating film on its surface can be used. Moreover, as a calender roll machine, it is also possible to use the thing provided with the preheat roll etc. for preheating a ceramic green sheet.
  By using such a calender roll machine as the smoothing means, the surface of the ceramic green sheet can be smoothed continuously and efficiently to reduce the surface roughness (Ra), and the ceramic green sheet Thus, the present invention can be effectively realized.
[0015]
  The ceramic green sheet manufacturing apparatus according to claim 3 is an apparatus used for manufacturing a ceramic green sheet for a multilayer ceramic electronic component, and for peeling the smoothed ceramic green sheet from a carrier film. It is characterized by having a peeling means.
[0016]
  By using the ceramic green sheet manufacturing apparatus of claim 3 provided with a peeling means, the ceramic slurry is formed into a sheet shape on a carrier film and smoothed, so that even when the thickness of the ceramic green sheet is thin, It is possible to produce ceramic green sheets with excellent smoothness and no internal defects such as pores, and with the ceramic green sheets peeled off from the carrier film, for example, processing such as lamination is performed to improve efficiency. It becomes possible to manufacture a monolithic ceramic electronic component having a desired characteristic well, and the present invention can be further improved.
[0017]
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a ceramic green sheet manufacturing apparatus which is used for manufacturing a ceramic green sheet having a thickness of 3 μm or less.
[0018]
According to the invention of claim 4, even when a thin ceramic green sheet having a thickness of about 3 μm is manufactured, it is possible to perform a smoothing process without tearing, excellent surface smoothness, pores, etc. Therefore, it is possible to efficiently produce a highly reliable ceramic green sheet that is free from internal defects and has a high density and does not cause a sheet attack phenomenon.
[0019]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
  Hereinafter, the embodiment of the present invention will be shown and the features thereof will be described in more detail.
  In this embodiment, a ceramic green sheet manufacturing apparatus used for manufacturing a ceramic green sheet used for a multilayer ceramic capacitor having a structure as shown in FIG. 2 will be described as an example. Note that the structure of the multilayer ceramic capacitor in FIG. 2 is described in the column of the problem to be solved by the prior art and the invention. Therefore, the description of the structure is omitted here to avoid duplication.
[0020]
  FIG. 1 is a view showing a ceramic green sheet manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.
  The ceramic green sheet manufacturing apparatus includes a carrier film supply unit (carrier film supply roller) 11 that supplies a carrier film 12 and a sheet forming that supplies (applies) ceramic slurry 14 onto the carrier film 12 and forms the sheet. Pressurizing means (reverse roll coater) 13, drying means (hot air circulating dryer) 15 for drying ceramic slurry 14 formed into a sheet, and dried sheet (non-smoothed ceramic green sheet) 16 a Then, the smoothing means (calender roll machine provided with a pair of nip rolls 20a and 20b) 20 for smoothing the surface and the ceramic green sheet 16 subjected to the smoothing treatment are wound together with the carrier film 12 and collected. Sheet collecting section (sheet collecting roller) 17 It is provided.
[0021]
  In addition, in order to produce a ceramic green sheet having a thin thickness and excellent surface smoothness, which is used for a multilayer ceramic capacitor, a step of applying pressure to the dried ceramic green sheet and performing a smoothing process is required. However, if the ceramic green sheet alone is used, the ceramic green sheet is torn when being pressed, so that the smoothing treatment cannot be performed as it is. Therefore, as described above, in the manufacturing apparatus of the present invention, the ceramic green sheet 16 is produced by applying and drying the ceramic slurry 14 on the carrier film 12 and performing a smoothing treatment. The ceramic green sheet 16 held on the carrier film 12 is then peeled off from the carrier film 12. That is, in this embodiment, the ceramic green sheet 16 collected in the sheet collecting unit 17 is conveyed to the multilayer ceramic capacitor manufacturing process 30 while being held by the carrier film 12, and after forming internal electrodes on the surface, A multilayer ceramic capacitor is manufactured through a process of peeling and laminating from the carrier film 12 by a peeling means (not shown) and laminating and firing.
[0022]
  Further, a reverse roll coater is used as the sheet forming means 13, but the sheet forming means 13 is not limited to this, and a sheet forming means to which various known methods such as a doctor blade method are applied is used. It is possible.
[0023]
  Further, as the drying means 15, the above hot air circulating dryer is used, and this hot air dryer is a ceramic slurry applied on the carrier film 12 by hot air heated by heat generated from an electric heater. In order to accelerate drying, the metal plate 18 disposed on the side of the carrier film 12 on which the ceramic slurry 14 is not applied (the lower surface side) is heated with a high-temperature fluid. By doing so, the ceramic slurry 14 on the carrier film 12 can be heated from the lower surface side.
[0024]
  The drying means for drying the ceramic slurry 14 is not limited to the hot air circulation dryer as in this embodiment, but an infrared dryer using infrared rays radiated from an infrared source or a metal plate may be electromagnetic induction. Various types of dryers such as an electromagnetic induction heating dryer that heats and dries can be used.
[0025]
  In addition, what is important in the process of drying the ceramic green sheet (ceramic slurry) is to sufficiently dry the solvent so that no solvent remains in the ceramic green sheet. This is because if the treatment (smoothing treatment) for smoothing the ceramic green sheet is performed in a state where the solvent remains, the ceramic green sheet is peeled off from the carrier film or torn.
  In the drying step, the drying temperature is preferably set to a temperature higher than the boiling point of the organic solvent in the ceramic green sheet. For example, when drying a ceramic slurry containing an organic solvent such as polyvinyl propylal binder (PVB), phthalate ester plasticizer (DOP), ethanol, and toluene, the drying temperature is set to 80 to 150 ° C. .
[0026]
  Further, as the smoothing means 20 used for pressurizing the ceramic green sheet 16a to perform the smoothing treatment, from a pair of metal rolls (nip rolls) 20a, 20b provided with a hard chromium plating film whose surface is mirror-polished. A calendar roll machine is used.
[0027]
  The pair of

metal rolls

20a and 20b constituting the calendar roll machine 20 are provided with heating means and temperature control means of an electromagnetic induction heating system. In addition to the electromagnetic induction heating method, various methods such as a high-temperature fluid heating method can be used for heating the metal rolls 20a and 20b. In addition, as the calender roll machine 20, it is possible to use various roll configurations such as a single nip roll type calender roll machine having one nip roll and a multi-stage nip roll type calender roll machine having a plurality of nip rolls. is there.
[0028]
  The ceramic green sheet 16a is pressed by the pair of nip rolls 20a and 20b in the smoothing process by the calender roll machine 20 so that the surface thereof is smoothed and the ceramic green after the smoothing process. The density of the sheet 16 is increased, and the occurrence of pinhole defects and the like can be reduced.
[0029]
  Moreover, since the ceramic green sheet 16a to be smoothed is sufficiently dried by the hot air circulation dryer 15, the ceramic green sheet 16a is a carrier film in the smoothing process by the calendar roll machine 20. The peeling from 12 can be prevented and a smooth smoothing process can be performed.
[0030]
  Moreover, since the ceramic green sheet after passing through the drying process is continuously smoothed by the calender roll machine 20 as it is, the ceramic green sheet can be smoothed without requiring a preheating process. It becomes possible, and it becomes possible to improve production efficiency.
[0031]
  Further, in performing the smoothing process by the calender roll machine 20, it is important to control the surface temperature of the metal rolls 20a and 20b that nip the ceramic green sheet 16a and the linear pressure of the roll. The smoothness (Ra) of the surface of the ceramic green sheet 16 after the crystallization treatment is determined.
  As conditions for the smoothing treatment, it is desirable that the surface temperature of the metal rolls 20a and 20b is set in the range of 0 to 150 ° C. and the linear pressure is in the range of 50 kgf to 1000 kgf / cm according to the material of the ceramic green sheet.
  Further, a more preferable range is a range in which the surface temperature of the calender roll machine is 20 to 100 ° C. and the linear pressure is 100 kgf to 600 kgf / cm.
[0032]
  In addition, a sheet collecting unit (sheet collecting roller) 17 that winds and collects the ceramic green sheet 16 held on the carrier film 12 winds and collects the smoothed ceramic green sheet 16 together with the carrier film 12. It is configured to be able to. The configuration of the sheet collection unit 17 may be any as long as it has a configuration that allows the smoothed ceramic green sheet 16 to be wound and collected together with the carrier film 12, and uses various configurations. Is possible.
[0033]
  The ceramic green sheet collected by the sheet collecting unit 17 is then sent to the multilayer ceramic capacitor manufacturing process 30 and, if necessary, after performing processing such as printing of internal electrodes, it is particularly illustrated. After being peeled off from the carrier film by the peeling means that does not, it is subjected to processes such as lamination and pressure bonding.
[0034]
【Example】
  Next, the characteristics of the present invention will be described in more detail by showing a method for manufacturing a ceramic green sheet using the ceramic green sheet manufacturing apparatus of the above embodiment.
[0035]
[Preparation of ceramic slurry]
  First, as a ceramic raw material powder, barium titanate (BaTiO_Three) Prepare powder, this BaTiO_ThreeA barium titanate-based ceramic raw material powder is prepared by adding Dy + Mg + Mn and Si to the powder in the form of an oxide powder.
  Next, an organic solvent such as polyvinylpropylar binder (PVB), phthalate ester plasticizer (DOP), ethanol, and toluene is added to the barium titanate ceramic raw material powder. A ceramic slurry for a ceramic green sheet is prepared by wet dispersion so as not to occur.
[0036]
[Coating process]
  Then, this ceramic slurry is formed on a carrier film by a reverse roll coater method (sheet width 150 mm). The coating thickness is such that the thickness of the dried ceramic green sheet is about 3 μm.
  At this time, the coating speed of the ceramic slurry (ceramic green sheet) is 5 m / min, and the rotation speed of the roll is 100 rpm.
[0037]
[Drying process]
  The applied slurry is dried by a hot air circulating dryer using hot air generated from an electric heater. In this drying process, the ceramic slurry is efficiently dried by the hot air of the hot air circulating dryer and the heat of the metal plate disposed on the lower surface side of the carrier film and heated by the high-temperature fluid heating method. Is called.
  At this time, the set temperature of the hot air circulating dryer is set to 100 ° C., and the surface temperature of the metal plate is set to 80 ° C. In this drying step, the solvent is completely dried so that the solvent does not remain in the ceramic green sheet. By this drying step, a dried ceramic green sheet having a thickness of about 3 μm is obtained.
[0038]
[Calendar processing process]
  As described above, the ceramic green sheet immediately after drying (surface temperature = 65 to 75 ° C.) was electromagnetized using a calender roll machine including a pair of metal rolls having a mirror-polished hard chromium plating film formed on the surface. The surface of the metal roll is heated to 70 ° C. by induction heating, the linear pressure between the metal rolls is set to 500 kgf / cm, and the ceramic green sheet is subjected to a single nip (one-stage press) treatment.
[0039]
  In addition, as a comparative example, a ceramic green sheet (ceramic green sheet of a comparative example) that is not subjected to a smoothing process in this step was manufactured under the same conditions as in the above example.
[0040]
[Evaluation of physical properties of ceramic green sheet]
  (1) Surface roughness of ceramic green sheet (Ra)
  The surface roughness (Ra) of the ceramic green sheet was judged by the measured value (nm) in a 5 μm square area using an atomic force microscope.
  (2) Density of ceramic green sheets
  Density of ceramic green sheet (g / cm^Three) Is a plane area of 50cm²The weight of the ceramic green sheet was measured and calculated by dividing by the volume (area of the ceramic green sheet × thickness). At this time, an electronic balance was used to measure the weight of the ceramic green sheet, and a precision micrometer was used to measure the thickness.
[0041]
  Table 1 shows the physical properties of the ceramic green sheet that has not been subjected to the smoothing treatment of the comparative example.
[0042]
[Table 1]

[0043]
  In Table 1, ceramic slurries using barium titanate powder having an average particle diameter of 210 nm (Comparative Example 1), 153 nm (Comparative Example 2), and 98 nm (Comparative Example 3) are prepared and molded. The surface roughness (Ra), thickness (sheet thickness), and density (sheet density) of the ceramic green sheets (Comparative Examples 1, 2, and 3) produced by this are shown.
  As shown in Table 1, when the ceramic green sheet was not smoothed, the surface roughness (Ra) of each ceramic green sheet was 237 nm in Comparative Example 1, 165 nm in Comparative Example 2, and 131 nm in Comparative Example 3. .
  The thickness of the ceramic green sheet was 3.03 in Comparative Example 1, 3.08 in Comparative Example 2, and 3.02 in Comparative Example 3.
  The density of ceramic green sheets is 3.00 g / cm for both.^ThreeIt was the following.
[0044]
  In Table 2, ceramic slurries using barium titanate powder having an average particle size of 210 nm (Example 1), 153 nm (Example 2), and 98 nm (Example 3) were prepared, and the present invention was carried out. The surface roughness (Ra), thickness, and density of the ceramic green sheet produced by performing the smoothing process with a calender roll machine using the ceramic green sheet manufacturing apparatus according to the embodiment are shown.
[0045]
[Table 2]

[0046]
  As shown in Table 2, the surface roughness (Ra) of Examples 1, 2 and 3 ceramic green sheets subjected to the smoothing treatment is 100 nm or less, and Comparative Example 1 where the above-described smoothing treatment is not performed. Compared to the cases of 2 and 3, it was confirmed that the ratio was reduced to about 1/3 to 1/5.
  In addition, the thickness of the ceramic green sheet is about 10% thinner than in the case of Comparative Examples 1, 2, and 3, and it is confirmed that the sheet density is improved by about 10%. It was.
[0047]
  As described above, according to the ceramic green sheet manufacturing apparatus of the present invention, it is possible to reliably manufacture a ceramic green sheet having excellent surface smoothness and high sheet density suitable for use in a multilayer ceramic capacitor or the like. Is possible. In addition, since the ceramic green sheet is smoothed while being held on the carrier film, even when a thin ceramic green sheet (for example, thickness: about 3 μm) is manufactured, the ceramic green sheet is smooth without breaking. It is possible to apply high-quality ceramic green sheets that are excellent in surface smoothness, have no internal defects such as pores, and have high density and do not cause sheet attack. It becomes possible to do.
  Thus, when a multilayer ceramic capacitor is manufactured using a ceramic green sheet having excellent smoothness, the ceramic layer has no internal defects and is excellent in the smoothness of the interface between the ceramic layer and the internal electrode. It is possible to obtain a multilayer ceramic capacitor having characteristics, high reliability, and excellent durability.
  In addition, when the ceramic green sheet manufacturing apparatus of the present invention is used, it is not necessary to give excessive shearing force to the ceramic particles when the ceramic slurry is dispersed. Therefore, the ceramic particles are pulverized and the ceramic particles are aggregated in each lot. Thus, it is possible to reliably obtain a multilayer ceramic capacitor having desired electrical characteristics by preventing the occurrence of variations in characteristics.
[0048]
  Such an effect is particularly remarkable when the thickness of the ceramic layer constituting the multilayer ceramic capacitor is 3 μm or less, and is desired by using the ceramic green sheet manufactured by the ceramic green sheet manufacturing apparatus of the present invention. Thus, it is possible to obtain a multilayer ceramic capacitor having a thin film multilayer, small size and large capacity, having the above-mentioned electrical characteristics and excellent in reliability.
[0049]
  In the above embodiment, the case where a ceramic green sheet for a multilayer ceramic capacitor is manufactured has been described as an example, but the ceramic green sheet manufacturing apparatus of the present invention includes a multilayer ceramic varistor, a multilayer ceramic piezoelectric component, a multilayer substrate, and the like. The present invention can be widely applied to the production of ceramic green sheets used for various multilayer ceramic electronic components.
[0050]
  In the above embodiment, the case where a barium titanate ceramic powder is used as the ceramic raw material powder constituting the ceramic green sheet has been described. However, as the ceramic raw material powder constituting the ceramic green sheet, a barium titanate based powder is used. However, the present invention is not limited to this, and various ceramic powders mainly composed of strontium titanate, calcium titanate, and the like can be used. In this case, the same effect can be obtained.
[0051]
  Moreover, in the said Example, although the case where the organic type slurry was used as an example was demonstrated as a slurry for ceramic green sheets, the same effect can be acquired also when an aqueous type slurry is used.
[0052]
  Also, the binder type and the plasticizer are not limited to the polyvinyl propylal resin (PVB), the phthalate ester plasticizer (DOP), etc. shown in the above-mentioned examples. Accordingly, the type and amount can be appropriately selected and used.
[0053]
  The present invention is not limited to the above embodiment in other points, and various applications and modifications can be made within the scope of the gist of the invention.
[0054]
【The invention's effect】
  As described above, in the ceramic green sheet manufacturing apparatus of the present invention (Claim 1), the ceramic slurry is applied onto the carrier film by the sheet forming means and formed into a sheet shape, and then formed into a sheet shape by the drying means. The dried ceramic slurry was dried and then dried on a carrier film by a smoothing means.The internal electrode is not printedSince the sheet is pressed and smoothed, even when a thin ceramic green sheet (for example, thickness: about 3 μm) is manufactured, the surface is excellent in smoothness and desired characteristics can be obtained. A highly reliable ceramic green sheet can be manufactured.
  In addition, since the density of the ceramic green sheet can be increased, the generation of pores in the ceramic layer constituting the multilayer ceramic electronic component is suppressed, and the solvent component of the electrode paste penetrates into the ceramic green sheet and the binder is contained. It becomes possible to suppress the melted sheet attack phenomenon.
  In addition, when the ceramic green sheet manufacturing apparatus of the present invention is used, it is not necessary to give excessive shearing force to the ceramic particles when the ceramic slurry is dispersed. Therefore, the ceramic particles are pulverized and the ceramic particles are aggregated in each lot. Thus, it is possible to reliably obtain a multilayer ceramic electronic component having desired electrical characteristics by preventing the occurrence of variations in properties.
[0055]
  Further, as in the ceramic green sheet manufacturing apparatus of claim 2, by using a calender roll machine as the smoothing means, the surface of the ceramic green sheet is smoothed continuously and efficiently by surface roughness (Ra ) And the ceramic green sheet can be densified, and the present invention can be effectively realized.
[0056]
  Further, the ceramic green sheet can be efficiently formed by forming the ceramic slurry into a sheet shape on a carrier film and smoothing it by adopting a structure having a peeling means as in the ceramic green sheet manufacturing apparatus of claim 3. After the production, the ceramic green sheet can be peeled off from the carrier film and supplied to the production of the multilayer ceramic electronic component, and the multilayer ceramic electronic component can be efficiently manufactured by performing a process such as lamination. It becomes possible.
[0057]
According to the ceramic green sheet manufacturing apparatus of claim 4, even when a thin ceramic green sheet having a thickness of about 3 μm is manufactured, it is possible to perform a smoothing process without tearing. A highly reliable ceramic green sheet that is excellent in smoothness, has no internal defects such as pores, has a high density, and does not cause a sheet attack phenomenon can be efficiently produced.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a ceramic green sheet manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view showing the structure of a multilayer ceramic capacitor that is one of the multilayer ceramic electronic components in which the ceramic green sheet manufactured by the method for manufacturing a ceramic green sheet according to one embodiment of the present invention is used.
FIG. 3 is a view showing a conventional ceramic green sheet manufacturing apparatus (manufacturing method).
[Explanation of symbols]
  1 Ceramic layer
  2a, 2b Internal electrode
  3 Ceramic element
  4a, 4b External electrode
  11 Carrier film supply unit (carrier film supply roll)
  12 Carrier film
  13 Sheet forming means (reverse roll coater)
  14 Ceramic slurry
  15 Drying means (hot air circulation dryer)
  16 Ceramic green sheet
  16a Unsmoothed ceramic green sheet
  17 Sheet collection unit (sheet collection roll)
  18 Metal plate
  20 Smoothing means (calendar roll machine)
  20a, 20b Nip roll (metal roll)
  30 Manufacturing process of multilayer ceramic capacitor

Claims

Sheet forming means for applying a ceramic slurry on a carrier film and forming the sheet into a sheet;
A drying means for drying the ceramic slurry formed into a sheet by the sheet forming means;
An apparatus for producing a ceramic green sheet, comprising: smoothing means that pressurizes a sheet on which an internal electrode is not printed, formed on the carrier film by drying, and smoothes the surface thereof .

2. The ceramic green sheet manufacturing apparatus according to claim 1, wherein a calender roll machine is used as the smoothing means.

An apparatus used for manufacturing a ceramic green sheet for a multilayer ceramic electronic component, comprising a peeling means for peeling the smoothed ceramic green sheet from a carrier film. The apparatus for producing a ceramic green sheet according to 1 or 2.

The apparatus for producing a ceramic green sheet according to any one of claims 1 to 3, wherein the apparatus is used for producing a ceramic green sheet having a thickness of 3 µm or less.