JP4653551B2 - 薬液弁取付方法 - Google Patents

Description

本発明は、薬液弁を樹脂製流路ブロックに対して、シール部材を介して取り付けるときの取付方法に関するものである。

半導体製造ラインには、高度に集積化されたガス供給ユニットが多数使用されている。ガス供給ユニットにおいては、所定量のガスを供給するためにマスフローコントローラが使用されている。マスフローコントローラは、非常に細い管を利用しており、また、半導体製造ラインで使用されるガスは腐食性の高いものが多いため、つまりが発生しやすく、マスフローコントローラを交換する頻度が多い。
マスフローコントローラは、狭い空間に取り付けられていたり、また、横向き等に取り付けられている場合もあり、交換時の作業性が悪い問題があり、本出願人は、特許文献１において、４本のネジ孔のうちの２本にガイドロッドを取り付けた状態で、マスフローコントローラを取り付ける方法を提案している。

一方、半導体製造ラインでは、ガスの他に薬液を用いてエッチングを行う場合があり、その薬液を供給するための薬液弁も多く使用されている。薬液も、腐食性の強いものが多いので、薬液弁の材質としては、ＰＴＦＥ、ＰＦＡ等のフッ素系樹脂が使用されている。
薬液弁も、故障時には交換が必要となるが、交換時の作業性が悪いという問題がある。
薬液弁１０は、図１及び図３に示すように、ベースプレート４０上に載置された樹脂製流路ブロック２０と、この樹脂製流路ブロック２０に形成された流路に連通する上面ポート２５にガスケット５０を装着した状態で下面ポート３１５と連通する樹脂製バルブ３０とを備えたもので、ベースプレート４０に４本の取付雄ネジ９０で取り付けられている。
特開平１１−１５９６５６号公報

樹脂製バルブ３０を交換するために、新たな樹脂製バルブ３０を樹脂製流路ブロック２０にガスケット５０を装着して連結する際に、取付雄ネジ９０の推力によってガスケット５０を徐々に潰していくことが行われている。ところが、図１７に示すような径方向に圧入代を設けたガスケット５０を使用する場合は、その圧入距離がシール性能に関係してくるため、高いシール力を持つガスケットは組立前に樹脂製流路ブロック２０と樹脂製バルブ３０との間に大きな隙間を生じることが多い。

この隙間が大きいと、図１８に示すように、取付雄ネジ９０の先端がベースプレート４０に設けた雌ネジ孔４１に届かず、締め付けることができないという問題がある。無理やり樹脂製バルブ３０を手などで押さえつけてガスケット５０を潰そうとし、かつ、１本目の取付雄ネジ９０を締め付けようとすると、図１９に示すように、樹脂製流路ブロック２０に対して樹脂製バルブ３０が傾斜して、ガスケット５０のシール面に傾きが発生する。

他の３本の取付雄ネジ９０により、この傾斜を修正しながら締め付けても、ガスケット５０のシール面に均一なシール力が得られず、薬液が漏れたりするという問題が生じる恐れがある。
このような問題が生じたまま半導体を製造してウエハーの最終工程で不具合が発見されると、工程をすべて遡って問題発生工程を探索することとなり、膨大な手間と工数が掛かるため、異常が発見されたならその場でその工程の薬液弁を交換する必要があった。

また、薬液弁は、前記マスフローコントローラと同様に、狭い空間に上向きばかりではなく横向きや逆さ向きに取り付けられることが多く、薬液弁を交換する際に、作業者は一方の手で樹脂製バルブを樹脂製流路ブロックにあてがって押さえながら、他方の手で４本の取付雄ネジを差し込んで締め付けるという困難な作業を強いられていた。

そこで、本発明は、かかる課題を解決すべく、薬液弁を構成する樹脂製流路ブロックに対して樹脂製バルブを、ガスケットを装着して連結する際に、樹脂製流路ブロックに対する樹脂製バルブの姿勢を正常に保ちつつ、短時間で容易に取り付けることを可能にした薬液弁取付方法を提供することを目的とする。

本発明に係る請求項１に記載の薬液弁取付方法は、上面ポートと連通する流路と取付用貫通孔が形成された樹脂製流路ブロックと、前記樹脂製流路ブロックの取付用貫通孔と同軸の取付用貫通孔と下面ポートが形成された樹脂製バルブとを、前記上面ポートと前記下面ポートとの間にガスケットを装着した状態で、雌ネジ孔が形成されたベースプレートに対して、４本の取付雄ネジで取り付けて薬液弁となす薬液弁取付方法において、前記４箇所の前記取付用貫通孔と前記雌ネジ孔が前記ガスケットの中心を軸対称とする対角線上にあり、中央に前記樹脂製バルブの上面を押圧する押圧手段を備え、前記押圧手段を中心にして前記対角線上に２箇所の雄ネジ頭受け部が形成された取付用ブラケットを、前記２箇所の雄ネジ頭受け部に取り付けられ、前記樹脂製バルブと樹脂製流路ブロックの取付用貫通孔を貫通した２本の治具ネジにより、前記雌ネジ孔に遊着させる第１工程と、前記押圧手段により、前記樹脂製バルブの上面を押圧することにより、前記ガスケットを装着した状態で、前記樹脂製バルブを前記樹脂製流路ブロック上の最終取付位置に移動させる第２工程と、前記治具ネジのない対角線上の２箇所の雌ネジ孔に対して、２本の取付雄ネジを取り付ける第３工程と、を有することを特徴とする。

よって、２本の治具ネジを樹脂製流路ブロックと樹脂製バルブとの取付用貫通孔を貫通させてベースプレートの雌ネジ孔に螺合させ、治具ネジにより樹脂製バルブを案内させることにより、樹脂製バルブを樹脂製流路ブロックに対して位置決めができ、治具ネジによりベースプレートの雌ネジ孔に遊着させた取付用ブラケットに設けた押圧手段を操作するだけでガスケットを挟みながら樹脂製バルブを最終取付位置に移動させることができるので、ガスケットのシール面に均一なシール力が得られ、かつ、ガスケット等からパーティクルを発生させずに、薬液弁を精度良く短時間で容易にベースプレートに取り付けることができる。

また、本発明に係る請求項２に記載の薬液弁取付方法は、請求項１に記載する薬液弁取付方法において、前記押圧手段が、前記取付用ブラケットに形成された雌ネジ部に螺合された押付けボルトであり、前記樹脂製バルブの平面視略中央に設けられた前記ガスケットの中心を押圧するものであることを特徴とする。
よって、押付けボルトをねじ込むことにより、該押付けボルトが樹脂製バルブの上面を徐々に押圧するので、該樹脂製バルブはガスケットのシール面を均一にしながら徐々に最終取付位置に移動することができる。

また、本発明に係る請求項３に記載の薬液弁取付方法は、請求項１または請求項２に記載する薬液弁取付方法において、前記取付用ブラケットの前記雄ネジ頭受け部に切欠き部が形成され、前記治具ネジの上端近傍に前記取付用ブラケットの前記切欠き部と係合する小径部が形成されていることを特徴とする。
よって、予め治具ネジを樹脂製流路ブロックと樹脂製バルブとの取付用貫通孔を貫通させてベースプレートの雌ネジ孔に螺合させておき、その後、取付用ブラケットの前記切り欠き部を治具ネジの前記小径部に係合させるだけで、ワンタッチで取付用ブラケットを樹脂製バルブの上方に配置させることができる。

また、本発明に係る請求項４に記載の薬液弁取付方法は、請求項１または請求項２に記載する薬液弁取付方法において、前記治具ネジの上面に雌ネジ孔が形成されており、前記雌ネジ孔に雄ネジボルトをねじ込むことにより、第１工程を行うことを特徴とする。
よって、取付用ブラケットの雄ネジ頭受け部に雄ネジボルトを挿入した後、治具ネジの上部から雌ネジ孔に雄ネジボルトをねじ込むため、取付用ブラケットの取り付け作業を容易に行うことができる。

本発明によれば、樹脂製流路ブロックに治具ネジにより位置決めして樹脂製バルブを配置することができるので、樹脂製バルブ交換時に作業者は両手を使うことができる。また、治具ネジによりベースプレートに遊着された取付用ブラケットに設けた押圧手段により、樹脂製バルブを樹脂製流路ブロックの最終取付位置に徐々に正確に位置決めができる。

次に、本発明に係る薬液弁取付方法の一の実施の形態について図面を参照して説明する。本実施の形態の薬液弁取付方法は、半導体製造装置に適用されたものである。
ここで、図１は、薬液弁の全体を示した斜視図であり、図２は、薬液弁の平面図である。図３は、薬液弁の側面断面図である。

まず、薬液弁の構成について説明する。薬液弁１０は、図１ならびに図３に示すように、ベースプレート４０上に載置される樹脂製流路ブロック２０と、該樹脂製流路ブロック２０上にガスケット５０を挟んで取り付けられる樹脂製バルブ３０とを備えている。
樹脂製流路ブロック２０と樹脂製バルブ３０とは、樹脂製流路ブロック２０に設けられた取付用貫通孔２３と、樹脂製バルブ３０に設けられ前記樹脂製流路ブロック２０の取付用貫通孔２３と同軸の取付用貫通孔３１３とを貫通する４本の取付雄ネジ９０でベースプレート４０上に取り付けられている。
なお、図１からも明らかなように、樹脂製バルブ３０は、樹脂製流路ブロック２０上に２個並んで取り付けられているが、取付方法は両者同一のため、説明は１方の樹脂製バルブ３０について行う。

ベースプレート４０は、樹脂製流路ブロック２０と同一の大きさを有する樹脂製厚板で、樹脂製流路ブロック２０に設けられた取付用貫通孔２３と同一ピッチで、樹脂製バルブ３０の１個当たり４個の雌ネジ孔４１が設けられたものである。

樹脂製流路ブロック２０は、薬液に腐食されない樹脂で長方形のブロック状に成形されたもので、内部に薬液の流路２１が設けられ、この流路２１からバルブ３０の中心に向かって縦孔２１１が穿設されて、その上端に上面ポート２５が形成されている。
また、樹脂製流路ブロック２０の４角部には、上面から下面に貫通して、樹脂製バルブ３０に設けられた取付用貫通孔３１３と同一のピッチで４個の取付用貫通孔２３が設けられている。

樹脂製バルブ３０は、樹脂製流路ブロック２０に直接載置される樹脂製のバルブボディ３１と、該バルブボディ３１の上に載置され、内部にピストン３３１を収納する樹脂製のシリンダ３３と、該シリンダ３３の上部を覆う樹脂製のトップカバー３５とを備えた平面視で略正方形のもので、これらシリンダ３３とトップカバー３５の４角部に設けた貫通孔に通しボルトを貫通させてバルブボディ３１に気密的に連結したものである。

バルブボディ３１の略中央部には、上下方向に貫通する流路３１１が穿設されており、その下端に下面ポート３１５が形成されている。
また、バルブボディ３１の下端には、外側２方向に張り出したフランジ部３１７が形成され、該フランジ部３１７に、樹脂製流路ブロック２０に設けられた取付用貫通孔２３と同一ピッチで４個の取付用貫通孔３１３が設けられている。

なお、バルブボディ３１とシリンダ３３とトップカバー３５の横壁には、ピストン３３１の制御用エアあるいは薬液が出入りするポートがそれぞれ設けられているが、断面図では省略してある。
上面ポート２５と下面ポート３１５の間には、図１７の拡大断面図に示すように、Ｈ形断面のガスケット５０が挿入されて薬液の漏洩を防止するようにシールされている。

ガスケット５０は、円周がＨ形断面に成形されたもので、このＨ形断面中央の上下の凹部５１、５２が、対向する断面底部に向かって先細状に傾斜し、かつ、その約２分の１の深さの部分が凹部内側に向かって僅かに突出して潰れ代を形成している。
一方、ガスケット５０が装着される上面ポート２５と下面ポート３１５の開口部周囲には、ガスケット５０の凹部５１、５２に嵌入するリング状の凸部２５１、３１５１が形成されている。

つぎに、樹脂製流路ブロック２０に対して樹脂製バルブ３０を交換する場合に使用する治具の構成について説明する。
この第１の実施の形態では、治具は、図４に示すような治具ネジ８０と、図６、図７に示すような中央に押圧手段７０を有する取付用ブラケット６０とを使用する。
治具ネジ８０は、樹脂製流路ブロック２０と樹脂製バルブ３０との高さより長い長尺の金属製ボルトで、下端にベースプレート４０に設けられた雌ネジ孔４１に螺合する雄ネジ部８１１が設けられ、一般部の外径より雄ネジ部８１１の径を若干細くして下部段付け部８１を形成している。

治具ネジ８０の上部には、一般部の外径より若干細径の小径部８５となし、該小径部８５の上端に上部段付部８３を形成して再び一般部の外径と同一の外径に戻り、該上部段付部８３から先細状に上部に延在し、その上端にマイナスあるいはプラスのドライバ溝（図略）を形成した頭部８７が設けられている。そして、下部段付け部８１と上部段付部８３との距離Ｌ１が高い精度で製作されている。

取付用ブラケット６０は、図７、図８に示すように、平面視で中央が円形に膨らんだ中央円形部６３と、該中央円形部６３から軸対称に突出した雄ネジ頭受け部６１とを備えた金属厚板のものである。
中央円形部６３の中央には、後述する押圧手段７０としての大径の押付けボルト７１が螺合される雌ネジ孔６３１が設けられている。
雄ネジ頭受け部６１には、前記ベースプレート４０に設けられた４個の雌ネジ孔４１のうち対角線上の２個の雌ネジ孔４１の距離と同一の距離で、互いに反対方向に開口する切欠き部６１１が形成されている。切欠き部６１１の底部は、治具ネジ８０の上部の小径部８５の外径よりわずかに大きく、上部段付け部８３の外径より小さな半円形に形成されている。

押圧手段７０は、頭部が平面視で円形で、その外周にローレットの滑り止め加工が施され、その下部に雄ネジが形成された大径の金属製の押付けボルト７１を、前記取付用ブラケット６０に設けた雌ネジ孔６３１に螺合して構成されている。

以上のように構成された第１の実施の形態の治具ネジ８０と取付用ブラケット６０ならびに押圧手段７０を用いて、薬液弁１０の樹脂製バルブ３０を交換する際の取付方法について説明する。ただし、今まで取り付けられていた樹脂製バルブ３０及びガスケット５０はすでに取り外されているものとし、また、新たな樹脂製バルブ３０の下面ポートには新たなガスケット５０が仮付けされているものとする。

まず、図４に示すように、２本の治具ネジ８０の下端の雄ネジ部８１１を、樹脂製流路ブロック２０の対角線上にある取付用貫通孔２３に差し込み、ベースプレート４０の雌ネジ孔４１に治具ネジ８０の下部段付部８１がベースプレート４０の上面に当接して止まるまで螺合させる。したがって、この状態では、２本の治具ネジ８０が樹脂製流路ブロック２０から突出していることになる。

つぎに、図５に示すように、樹脂製流路ブロック２０から突出している２本の治具ネジ８０に、上方から新たな樹脂製バルブ３０を、そのバルブボディ３１に設けられた取付用貫通孔３１３を貫通させて、治具ネジ８０により案内されながらガスケット５０が樹脂製バルブ３０の上面ポート２５に接触して止まるまで載置する。したがって、この状態では、２本の治具ネジ８０の頭部８７が樹脂製バルブ３０の上端より上方にあることになる。

そして、図６、図７に示すように、取付用ブラケット６０の雌ネジ孔６３１に押付けボルト７１を螺合した状態で雄ネジ頭受け部６１に設けた切欠き部６１１を、治具ネジ８０の小径部８５に、平面視で時計回りに回動させて係合させる（ここまでが特許請求の範囲の第１工程に相当）。
一方の手で取付用ブラケット６０が治具ネジ８０の小径部８５に係合した状態を保持しながら、他方の手で押付けボルト７１の下端が取付用ブラケット６０から伸長する方向に押付けボルト７１を回動させて、図８に示すように、該押付けボルト７１の先端を樹脂製バルブ３０のトップカバー３５の上面に当接させる。

さらに、押付けボルト７１を回動させると、取付用ブラケット６０が上方に移動させられて、雄ネジ頭受け部６１の上面が切欠き部６１１で治具ネジ８０の上部段付け部８３に当接し、それ以上の上方移動が阻止される。
また、さらに、押付けボルト７１を回動させると、押付けボルト７１に押圧されて樹脂製バルブ３０が治具ネジ８０に案内されながら、徐々に樹脂製流路ブロック２０に接触する。このとき、ガスケット５０の凹部５１、５２にリング状の凸部２５１、３１５１がそれぞれ嵌入し、凹部５１、５２及び凸部２５１、３１５１が変形しながら上面ポート２５および下面ポート３１５に装着され、気密が保持される（ここまでが特許請求の範囲の第２工程に相当）。

そして、樹脂製バルブ３０が樹脂製流路ブロック２０に確実に接触したことを確認したなら、治具ネジ８０が取り付けられていない他の対角線上の２カ所の取付用貫通孔３１３、２３に取付雄ネジ９０を挿入して、その先端をベースプレート４０の雌ネジ孔４１に螺合し、樹脂製バルブ３０を樹脂製流路ブロック２０ならびにベースプレート４０に規定のトルクで締め付ける（ここまでが特許請求の範囲の第３工程に相当）。
その後、押付けボルト７１を逆回転させて押圧状態を解除し、取付用ブラケット６０を平面視で反時計回りに回動させて雄ネジ頭受け部６１の切欠き部６１１を治具ネジ８０の小径部８５から脱出させることにより、治具ネジ８０から取付用ブラケット６０を押圧手段７０とともに取り外す。

その後、２本の治具ネジ８０を逆回転させることによりベースプレート４０の雌ネジ孔４１および取付用貫通孔２３、３１３から外し、空いた２個の取付用貫通孔２３、３１３に取付雄ネジ９０を挿入して雌ネジ孔４１に螺合させて締め付ける。これにより、新たな樹脂製バルブ３０が樹脂製流路ブロック２０を介してベースプレート４０に取り付けられ、その交換が終了し、薬液弁が取り付けられたこととなる。

よって、本第１の実施の形態の薬液弁取付方法は、棒状の治具ボルト８０を予め樹脂製流路ブロック２０ならびにベースプレート４０に立設しておき、治具ボルト８０により樹脂製バルブ３０を案内でき、治具ボルト８０の頭部に押圧手段７０を含む取付用ブラケット６０に設けた雄ネジ頭受け部６１の切欠き部６１１をワンタッチで係合できるようにしたものである。

つぎに、薬液弁１０の樹脂製バルブ３０を交換する際の取付方法の第２の実施の形態について説明する。この第２の実施の形態では、交換する樹脂製バルブ３０や樹脂製流路ブロック２０ならびにベースプレート４０は第１の実施の形態のものと全く同一であり、交換作業に用いる治具のみが異なるので、この相違部分を説明する。
この第２の実施の形態では、治具は、図９に示すような取付用ブラケット２６０と、図１０に示す治具ネジ２８０と、押圧手段７０として第１の実施の形態と同一の押し付けボルト７１とを使用する。

取付用ブラケット２６０は、形状は第１の実施の形態の取付用ブラケット６０と同様に、平面視で中央が円形に膨らんだ中央円形部２６３と、該中央円形部２６３から対称に突出した雄ネジ頭受け部２６１とを備えた金属厚板で成形されたものである。
中央円形部２６３の中央には、第１の実施の形態と同一の押圧手段７０としての大径の押付けボルト７１が螺合される雌ネジ孔２６３１が設けられている。雄ネジ頭受け部２６１には、前記ベースプレート４０に設けられた４個の雌ネジ孔４１の対角線上の距離と同一の距離で、治具ネジ２８０の一般部の外径よりわずかに大きい内径の孔部２６１１が成形されている。

治具ネジ２８０は、一般外径部ならびに下端の雄ネジ部２８１１が第１の実施の形態の治具ネジ８０と同一で、上端にボルト頭部２８７を備えるものである。一般外径部の下端と雄ネジ部２８１１の上端との間に下部段付部２８１が形成され、この下部段付部２８１とボルト頭部２８７の下面との距離Ｌ２が第１の実施の形態の治具ネジ８０の同じ位置の距離Ｌ１と同一の長さに設定されている。

以上のように構成された第２の実施の形態の治具ネジ２８０と取付用ブラケット２６０ならびに押圧手段７０を用いて、薬液弁１０の樹脂製バルブ３０を交換する際の取付方法について説明する。
予め、取付用ブラケット２６０の孔部２６１１に治具ネジ２８０を差し込み、その後、押付けボルト７１を雌ネジ孔２６３１に螺合させておく。また、新たな樹脂製バルブ３０の取付用貫通孔３１３に治具ネジ２８０の一般外径部を差し込んでおく。
そして、図１１に示すように、２本の治具ネジ２８０の下端の雄ネジ部２８１１を、樹脂製バルブ３０の対角線上にある取付用貫通孔３１３と樹脂製流路ブロック２０の対角線上にある取付用貫通孔２３に差し込み、樹脂製バルブ３０の下面ポート３１５に仮付けされているガスケット５０が樹脂製流路ブロック２０の上面ポート２５に接触して止まるまで載置してベースプレート４０の雌ネジ孔４１に治具ネジ２８０の下部段付部２８１がベースプレート４０の上面に当接して止まるまで螺合させる（ここまでが特許請求の範囲の第１工程に相当）。

その後、押付けボルト７１を押付けボルト７１の下端が取付用ブラケット６０から伸長する方向に回動させて、該押付けボルト７１の先端を樹脂製バルブ３０のトップカバー３５の上面に当接させ、さらに押付けボルト７１を回動させると取付用ブラケット２６０が上方に移動させられて、雄ネジ頭受け部２６１の上面が治具ネジ２８０のボルト頭部２８７の下面に当接し、それ以上の上方移動が阻止される。
また、さらに、押付けボルト７１を回動させると、図１２に示すように、樹脂製バルブ３０が治具ネジ２８０に案内されながら押付けボルト７１に押圧されて、徐々に樹脂製流路ブロック２０に接触する。このとき、ガスケット５０の凹部５１、５２にリング状の凸部２５１、３１５１がそれぞれ嵌入し、凹部５１、５２及び凸部２５１、３１５１が変形しながら上面ポート２５および下面ポート３１５に装着され、気密が保持される（ここまでが特許請求の範囲の第２工程に相当）。

そして、樹脂製バルブ３０が樹脂製流路ブロック２０に確実に接触したことを確認したなら、治具ネジ２８０が取り付けられていない他の対角線上の２カ所の取付用貫通孔２３に取付雄ネジ９０を挿入して、その先端をベースプレート４０の雌ネジ孔４１に螺合し、樹脂製バルブ３０を樹脂製流路ブロック２０ならびにベースプレート４０に締め付ける（ここまでが特許請求の範囲の第３工程に相当）。
その後、押付けボルト７１を逆回転させて押圧状態を解除し、治具ネジ２８０のボルト頭部２８７を逆に回動させてベースプレート４０の雌ネジ孔４１から外し、樹脂製流路ブロック２０の取付用貫通孔２３と樹脂製バルブ３０の取付用貫通孔３１３とから脱出させることにより、取付用ブラケット６０を押圧手段７０とともに取り外す。

そして、空いた２個の取付用貫通孔２３、３１３に取付雄ネジ９０を挿入して雌ネジ孔４１に螺合させて締め付ける。これにより、新たな樹脂製バルブ３０が樹脂製流路ブロック２０およびベースプレート４０に取り付けられ、その交換が終了する。

よって、本第２の実施の形態の薬液弁取付方法は、ボルト状の治具ネジ２８０を予め取付用ブラケット２６０の孔部２６１１に挿通して、これに押圧手段７０としての押付けボルト７１を螺合しておくので、治具の持ち込みを一度にできるようにしたものである。

つぎに、薬液弁１０の樹脂製バルブ３０を交換する際の取付方法の第３の実施の形態について説明する。この第３の実施の形態に用いる治具は、治具ネジ３８０と、該治具ネジ３８０の頭部に螺合される雄ネジボルト３８７と、押圧手段７０としての押付けボルト７１を備えた取付用ブラケット３６０とからなる。
治具ネジ３８０は、図１３に示すように、一般外径部ならびに下端の雄ネジ部３８１１が第１の実施の形態の治具ネジ８０と同一で、上面に雌ネジ孔３８５が形成されたものである。一般外径部の下端と雄ネジ部３８１１の上端とに下部段付部３８１が形成され、この下部段付部３８１と治具ネジ３８０の上面との距離Ｌ３が、第１の実施の形態の治具ネジ８０の同じ位置の距離Ｌ１より取付用ブラケット３６０の板厚分だけ短く設定されている。

雄ネジボルト３８７は、ボルト頭部３８７１と、その下部に雄ネジ部３８７３とを有する金属製ボルトである。
取付用ブラケット３６０は、第２の実施の形態の取付用ブラケット２６０に設けられた孔部２６１１の径をわずかに小さくして孔部３６１１としたもので、その他の構成は第２の実施の形態の取付用ブラケット２６０と同一である。

以上のように構成された第３の実施の形態の治具ネジ３８０と雄ネジボルト３８７と取付用ブラケット３６０ならびに押圧手段７０とを用いて、薬液弁１０の樹脂製バルブ３０を交換する際の取付方法について説明する。
まず、図１３に示すように、２本の治具ネジ３８０の下端の雄ネジ部３８１１を、樹脂製流路ブロック２０の対角線上にある取付用貫通孔２３に差し込み、ベースプレート４０の雌ネジ孔４１に治具ネジ３８０の下部段付部３８１がベースプレート４０の上面に当接して止まるまで螺合させる。したがって、この状態では、２本の治具ネジ３８０が樹脂製流路ブロック２０から突出していることになる。

つぎに、取付用ブラケット３６０の孔部３１１に雄ネジボルト３８７の雄ネジ部３８７３を貫通させて、治具ネジ３８０の上面に設けられた雌ネジ孔３８５に雄ネジ部３８７３を螺合させる。このとき、取付用ブラケット３６０は、図１４に示すように、治具ネジ３８０の上面と雄ネジボルト３８７のボルト頭部３８７１とにより狭持されて、治具ネジ３８０の上端に固定される（ここまでが特許請求の範囲の第１工程に相当）。

その後、押付けボルト７１の下端が取付用ブラケット６０から伸長する方向に押付けボルト７１を回動させて、該押付けボルト７１の先端を樹脂製バルブ３０のトップカバー３５の上面に当接させ、さらに押付けボルト７１を回動させると、図１２に示すと同様に、樹脂製バルブ３０が治具ネジ３８０に案内されながら押付けボルト７１に押圧されて、徐々に樹脂製流路ブロック２０に接触する。このとき、ガスケット５０の凹部５１、５２にリング状の凸部２５１、３１５１がそれぞれ嵌入し、凹部５１、５２及び凸部２５１、３１５１が変形しながら上面ポート２５および下面ポート３１５に装着され、気密が保持される（ここまでが特許請求の範囲の第２工程に相当）。

そして、樹脂製バルブ３０が樹脂製流路ブロック２０に確実に接触したことを確認したなら、治具ネジ３８０が取り付けられていない他の対角線上の２カ所の取付用貫通孔２３に取付雄ネジ９０を挿入して、その先端をベースプレート４０の雌ネジ孔４１に螺合し、樹脂製バルブ３０を樹脂製流路ブロック２０ならびにベースプレート４０に締め付ける（ここまでが特許請求の範囲の第３工程に相当）。
その後、押付けボルト７１を逆回転させて押圧状態を解除し、雄ネジボルト３８７のボルト頭部２８７１を逆に回動させて治具ネジ３８０の雌ネジ孔３８５から雄ネジボルト３８７を外す。すると、取付用ブラケット３６０が押圧手段７０とともに取り外されることとなる。

さらに、治具ネジ３８０の一般外径部を逆に回動させてベースプレート４０の雌ネジ孔４１から外し、樹脂製流路ブロック２０と樹脂製バルブ３０の取付用貫通孔２３、３１３から脱出させて、空いた２個の取付用貫通孔２３、３１３に取付雄ネジ９０を挿入して雌ネジ孔４１に螺合させて締め付ける。これにより、新たな樹脂製バルブ３０が樹脂製流路ブロック２０およびベースプレート４０に取り付けられ、その交換が終了する。

よって、本第３の実施の形態の薬液弁取付方法は、棒状の治具ボルト３８０を予め樹脂製流路ブロック２０ならびにベースプレート４０に立設しておき、治具ボルト８０により樹脂製バルブ３０を案内でき、治具ボルト３８０の頭部に押圧手段７０を含む取付用ブラケット６０を雄ネジボルト３８７で固定できるようにしたものである。

なお、本発明は前記実施の形態のものに限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、前記実施の形態では、樹脂製バルブが樹脂製流路ブロック及びベースプレートに上部（樹脂製バルブ）側から締め付けられるもので説明したが、これに限られず、ベースプレート側から樹脂製バルブに向かって締め付けられるものにも適用が可能である。
また、押圧手段として大径の押し付けボルトを回動するもので説明したが、図１１５、図１６に示すようなレバー式のもの、あるいは、図は省略したがパンタグラフ式のものを取付用ブラケットに設けたものであってもよい。

本発明は、上面ポートと連通する流路と取付用貫通孔が形成された樹脂製流路ブロックと、前記樹脂製流路ブロックの取付用貫通孔と同軸の取付用貫通孔と下面ポートが形成された樹脂製バルブとを、前記上面ポートと前記下面ポートとの間にガスケットを装着した状態で、雌ネジ孔が形成されたベースプレートに対して、４本の取付雄ネジで取り付けて薬液弁となす薬液弁取付方法において、前記４箇所の前記取付用貫通孔と前記雌ネジ孔が前記ガスケットの中心を軸対称とする対角線上にあり、中央に前記樹脂製バルブの上面を押圧する押圧手段を備え、前記押圧手段を中心にして前記対角線上に２箇所の雄ネジ頭受け部が形成された取付用ブラケットを、前記２箇所の雄ネジ頭受け部に取り付けられ、前記樹脂製バルブと樹脂製流路ブロックの取付用貫通孔を貫通した２本の治具ネジにより、前記雌ネジ孔に遊着させる第１工程と、前記押圧手段により、前記樹脂製バルブの上面を押圧することにより、前記ガスケットを装着した状態で、前記樹脂製バルブを前記樹脂製流路ブロック上の最終取付位置に移動させる第２工程と、前記治具ネジのない対角線上の２箇所の雌ネジ孔に対して、２本の取付雄ネジを取り付ける第３工程とを有するようにしたので、予め治具ネジにより新たな樹脂製バルブを樹脂製流路ブロック上に傾斜させずに案内でき、徐々にガスケットを押圧しながら最終取付位置に移動させることが可能となった。

本発明の一の実施の形態に係る薬液弁の全体を示した斜視図である。 本発明の一の実施の形態に係る薬液弁の平面図である。 図２のＡ−Ａ線に沿う断面図である。 本発明の第一の実施の形態に係る治具ネジをベースプレートに立設した断面図である。 本発明の第一の実施の形態に係る治具ネジに樹脂製バルブを挿入した断面図である。 本発明の第一の実施の形態に係る治具ネジに取付用ブラケットを装着した断面図である。 本発明の第一の実施の形態に係る治具ネジに取付用ブラケットを装着した平面図である。 本発明の第一の実施の形態に係る押圧手段により、樹脂製バルブを樹脂製流路ブロックに押圧した断面図である。 本発明の第二の実施の形態に係る取付用ブラケットの平面図である。 本発明の第二の実施の形態に係る取付用ブラケットに治具ボルトを挿入した断面図である。 本発明の第二の実施の形態に係る治具ボルトを樹脂製バルブに挿入し、ベースプレートに立設した断面図である。 本発明の第二の実施の形態に係る押圧手段により、樹脂製バルブを樹脂製流路ブロックに押圧した断面図である。 本発明の第三の実施の形態に係る治具ネジをベースプレートに立設し、治具ネジに樹脂製バルブを挿入した断面図である。 本発明の第三の実施の形態に係る治具ネジの上端に取付用ブラケットを固定した断面図である。 本発明の一の実施の形態に係る押圧手段の変形例の、非押圧状態を示す断面図である。 本発明の一の実施の形態に係る押圧手段の変形例の、押圧状態を示す断面図である。 本発明の一の実施の形態に係るガスケットの拡大断面図である。 従来の薬液弁取付方法の初期の断面図である。 従来の薬液弁取付方法の途中の断面図である。

符号の説明

１０ 薬液弁
２０ 樹脂製流路ブロック
２３ 取付用貫通孔
２５ 上面ポート
２５１ リング状の凸部
３０ 樹脂製バルブ
３１ バルブシート
３１３ 取付用貫通孔
３１５ 下面ポート
３１５１ リング状の凸部
３３ シリンダ
３５ トップカバー
４０ ベースプレート
４１ 雌ネジ孔
５０ ガスケット
５１、５２ 凹部
６０、２６０、３６０ 取付用ブラケット
６１、２６１ 雄ネジ頭受け部
６１１ 切欠き部
２６１１、３６１１ 孔部
６３、２６３ 中央円形部
７０ 押圧手段
７１ 押付けボルト
８０、２８０、３８０ 治具ネジ
８１、２８１、３８１ 下部段付け部
８１１、２８１１、３８１１ 雄ネジ部
８３ 上部段付け部
２８７、３８７１ ボルト頭部
３８５ 雌ネジ孔
３８７ 雄ネジボルト
９０ 取付雄ネジ

Claims (4)

1. 上面ポートと連通する流路と取付用貫通孔が形成された樹脂製流路ブロックと、前記樹脂製流路ブロックの取付用貫通孔と同軸の取付用貫通孔と下面ポートが形成された樹脂製バルブとを、前記上面ポートと前記下面ポートとの間にガスケットを装着した状態で、雌ネジ孔が形成されたベースプレートに対して、４本の取付雄ネジで取り付けて薬液弁となす薬液弁取付方法において、
   前記４箇所の前記取付用貫通孔と前記雌ネジ孔が前記ガスケットの中心を軸対称とする対角線上にあり、
   中央に前記樹脂製バルブの上面を押圧する押圧手段を備え、前記押圧手段を中心にして前記対角線上に２箇所の雄ネジ頭受け部が形成された取付用ブラケットを、前記２箇所の雄ネジ頭受け部に取り付けられ、前記樹脂製バルブと樹脂製流路ブロックの取付用貫通孔を貫通した２本の治具ネジにより、前記雌ネジ孔に遊着させる第１工程と、
   前記押圧手段により、前記樹脂製バルブの上面を押圧することにより、前記ガスケットを装着した状態で、前記樹脂製バルブを前記樹脂製流路ブロック上の最終取付位置に移動させる第２工程と、
   前記治具ネジのない対角線上の２箇所の雌ネジ孔に対して、２本の取付雄ネジを取り付ける第３工程と、
   を有することを特徴とする薬液弁取付方法。
2. 請求項１に記載する薬液弁取付方法において、
   前記押圧手段が、前記取付用ブラケットに形成された雌ネジ部に螺合された押付けボルトであり、前記樹脂製バルブの平面視略中央に設けられた前記ガスケットの中心を押圧するものであることを特徴とする薬液弁取付方法。
3. 請求項１または請求項２に記載する薬液弁取付方法において、
   前記取付用ブラケットの前記雄ネジ頭受け部に切欠き部が形成され、
   前記治具ネジの上端近傍に前記取付用ブラケットの前記切欠き部と係合する小径部が形成されていることを特徴とする薬液弁取付方法。
4. 請求項１または請求項２に記載する薬液弁取付方法において、
   前記治具ネジの上面に雌ネジ孔が形成されており、前記雌ネジ孔に雄ネジボルトをねじ込むことにより、第１工程を行うことを特徴とする薬液弁取付方法。

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