Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

JP4503148B2 - 数値制御工作機械の送り機構の補正装置および数値制御工作機械 - Google Patents

数値制御工作機械の送り機構の補正装置および数値制御工作機械 Download PDF

Info

Publication number
JP4503148B2
JP4503148B2 JP2000202764A JP2000202764A JP4503148B2 JP 4503148 B2 JP4503148 B2 JP 4503148B2 JP 2000202764 A JP2000202764 A JP 2000202764A JP 2000202764 A JP2000202764 A JP 2000202764A JP 4503148 B2 JP4503148 B2 JP 4503148B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
command value
torque
machine tool
correction
analysis unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2000202764A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2002023852A (ja
Inventor
村 実 濱
田 純 藤
波 和 広 斯
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shibaura Machine Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Machine Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Machine Co Ltd filed Critical Toshiba Machine Co Ltd
Priority to JP2000202764A priority Critical patent/JP4503148B2/ja
Publication of JP2002023852A publication Critical patent/JP2002023852A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4503148B2 publication Critical patent/JP4503148B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Control Of Position Or Direction (AREA)
  • Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
  • Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
  • Numerical Control (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は数値制御(以下NCという)工作機械の送り機構のバックラッシ補正装置およびこれを含むNC工作機械に関するもので、特にリニアボールガイドを用いたNC工作機械の送り駆動機構の輪郭制御に関して駆動機構の漸増型ロストモーションに伴う誤差を解消すべく最適なバックラッシ補正を行うことを可能にするものである。
【0002】
【従来の技術】
三次元切削等を行う工作機械においては、X軸、Y軸、Z軸の各軸毎に配置された駆動機構を用いて加工工具あるいはワークを移動させることにより、三次元的な立体加工を実現しており、これらの多軸同時制御には、プログラム式のNC装置が多用されている。すなわち、NC装置は外部から入力されたデータから所定の動作プログラムにより、各軸等の動作指令値を解析し、各軸毎のデータを工作機械の各軸の駆動機構に順次出力し、動作プログラムにより設定された所期の動作を実行させるものである。
【0003】
ここで、駆動機構は、加工工具あるいはワークを移動させる駆動源としてのサーボモータと、モータの回転を各軸に伝達するためのボールねじ、ギヤトレイン等の伝達機構と、モータを回転駆動するため駆動信号を供給するとともに位置、速度を検出し駆動信号にフィードバックするための位置、速度制御ループ等の制御回路とを含む。
【0004】
このような駆動機構では、加工工具あるいはワークを移動させる際に、伝達機構によるバックラッシが生じ、そのために輪郭制御に悪影響を及ぼすという問題があった。
【0005】
そこで、従来より、このバックラッシを補正する技術が種々考案されている。
【0006】
典型的なNC装置におけるバックラッシ補正としては、例えば、切削送り、早送りあるいは円弧補間等の曲線制御における送り速度をある速度に設定し、そのときに生じるバックラッシ量を測定し、これをバックラッシ補正量として蓄積しており、駆動機構の速度制御系に供給して補正する方法がある。
【0007】
一方、特開昭60−172444号公報においては、サーボモータ駆動の1サンプリングタイムの間にバックラッシ補正量に相当するパルスを一時に加えて速度制御系を介してサーボモータに供給せず、円弧補間時に生じるバックラッシ補正量を複数の位置間隔で分解したバックラッシ補正データを用意しておき、移動位置ごとにバックラッシ補正量を徐々に加える方法を開示する。
【0008】
円弧補間等の曲線制御において、真円加工を行う場合は、2軸同時制御が必要であるが、この場合のバックラッシ補正は、各軸毎のバックラッシ補正量を用いて各軸毎に行われる。このような加工において象限の切り換え時、すなわち、一つの軸の送り方向が+から−、あるいは−から+ヘ変化するとき、通常のバックラッシ補正を行うと、所謂、喰い込みを生ずる現象がある。
【0009】
バックラッシ補正が正しく作用し、喰い込み現象が生じない場合は、バックラッシの間に機械系は停止しているのに対して、バックラッシ補正が正しく作用せず、喰い込み現象が生じる場合には、バックラッシの間に機械系は少しずつ戻り運動をしていることになるため、通常のバックラッシ補正を行うと所望の軌跡である円弧より内側に喰い込む現象を引き起こし、円弧補間、曲線加工の精度を低下させることになる。
【0010】
この原因は、通常のバックラッシ補正は、サーボモータ駆動の1サンプリングタイムの間にバックラッシ補正量に相当するパルスを一時に加えて速度制御系を介してサーボモータに供給するため、象限切り換え時に立ち上がりが緩慢な場合には、バックラッシ補正後の軌跡が、加工したい円弧の内側に喰い込んだ軌跡を描くことになるためである。
【0011】
一方、特開昭60−172444号公報に記載されたNC装置においては、上記の如き緩慢な立ち上がりを有する機械系のバックラッシ補正方法として、サーボモータ駆動の1サンプリングタイムの間にバックラッシ補正量に相当するパルスを一時に加えて速度制御系を介してサーボモータに供給せず、円弧補間時に生じるバックラッシ量を複数の位置間隔で分解したバックラッシ補正データを用意しておき、移動位置毎にバックラッシ補正量を徐々に加える方法が開示されている。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
この方法によれば、前述した喰い込み現象をかなり改善することが可能であるが、次の点で不都合が存在する。
【0013】
すなわち、第1は、上記の喰い込み現象は、送り速度によりその量が変化するため、ある送り速度で測定したバックラッシ量をもとにバックラッシ補正を行っただけでは完全な補正にならないという点であり、第2は、分割位置に対応して、サーボモータ駆動の1サンプリングタイムの間に当該分割位置におけるバックラッシ補正量に相当するパルスを速度制御系を介してサーボモータに供給しているため、緩慢な立ち上がり部で徐々に変化する勾配に追従したバックラッシ補正となっていないという点である。
【0014】
以上説明したように、従来のバックラッシ補正方法では円弧補間を行う場合に、送り速度に対して、当該送り速度に最適なバックラッシ補正がなされておらず、また、緩慢な立ち上がりを有し、象限切換え時に喰い込み現象が生じるケースで正確なバックラッシ補正がなされていないため、加工精度の低下を生じるという不都合が存在していた。
【0015】
このような問題を解決すべくなされた特公平7−71781号公報に記載された数値制御工作機械のバックラッシ補正方法においては、バックラッシ補正量データとして、円弧補間時に生ずるバックラッシ量を複数の位置間隔で分割したバックラッシ補正データと、分割した位置に応じて、速度制御系を介して駆動源に供給されるパルスレートを算出するためのパルスレートデータ算出用データとが、複数の送り速度毎にそれぞれ対応して補正データ部に蓄積されており、指令データに基づいて当該指令速度と位置間隔により補正データ部から対応したバックラッシ補正データとパルスレートデータ算出用データとを読み出す。次に、バックラッシ補正量算出部において、当該指令速度と位置により、例えばその前後の速度に対応したバックラッシ補正データから補間演算部等により、当該指令速度に対応した最適の補正量を求めるとともに、位置に対応して分割位置に応じたパルスレートデータを作成し、速度制御系を介して駆動源を供給するようにしており、これにより、象限切換時にも正確なバックラッシ補正が可能となる。
【0016】
ところで工作機械の送り駆動機構の移動方向反転時に、漸増形ロストモーションという特異なロストモーションが発生する場合がある。通常のロストモーションが移動方向反転時にステップ的に発生するのに対し、移動方向反転後の移動に伴って徐々に発生するという特徴がある。この現象はワイパーシール,パッキンシールおよびリニアボールガイドを用いた場合に顕著に見られる。
【0017】
羽山定治、伊東正頼、大岳信久、藤田純、黒川哲郎、垣野義昭「NC工作機械送り駆動系における漸増型ロストモーションの生成機構とその補正に関する研究」精密工学会誌、62,2(1996)247〜251ページ、は漸増型ロストモーションについて研究したものであるが、特公平7−71781ともども、象限突起と漸増型ロストモーションを区別することができず、送り速度が速くなったり、ゲインが小さくなって象限突起誤差が変化すると、漸増型ロストモーションを正確に補正することができなかった。
【0018】
図9はゲインが高い場合の象限切り替え時の運動誤差を表すグラフであり、また、図10はゲインが小さい場合の象限切り替え時の運動誤差を表すグラフである。これらのグラフにおいて、
これらのグラフを比較しても象限突起の大きさが異なり、漸増型ロストモーション量も特定しがたい。a,b,c,Aに特異点が認められるが、A点が象限突起である。
【0019】
本願発明は以上のような問題を解決するためになされたもので、漸増型ロストモーションを正確に補正し、象限突起の大きさが変化しても補正することのできる数値制御工作機械の送り機構の補正方法および数値制御工作機械を提供することを目的とする。
【0020】
本発明にかかる数値制御工作機械の送り機構の補正装置によれば、
ワークを搭載するテーブルあるいは工具を搭載する主軸等を駆動するサーボモータと、
位置指令値に対してサーボモータの回転検出により得られた前記テーブルの位置をフィードバックするとともに、位置指令値から得られた速度指令値に対して前記テーブル位置から得られたテーブル速度をフィードバックし、その結果をトルク指令値、さらには電流指令値に変換して前記サーボモータに供給する制御部と、
前記トルク指令値の波形から象限切換に伴うトルクの変化点を検出してこの変化点間の時間t01、t02を求めるトルク解析部と、
前記制御部からの位置指令値と位置検出器で求めた主軸とテーブルの位置関係を求める位置解析部と、
前記トルク解析部から出力されたt 01 、t 02 と、前記位置解析部の出力と、リニアボールガイドの非線形ばね要素の特性値とに基づいて、漸増型ロストモーションによるテーブル位置誤差とこのテーブル位置誤差に対する補正値を求める補正量演算部と、
を備えたことを特徴とする。
【0022】
この装置では送りトルク波形、実軌跡波形をもとに理論式の係数を逆算して、理論式にもとづいて、象限突起誤差を除いて漸増型ロストモーションによる位置誤差を算出し、この位置誤差をもとに補正を行うようにしている。したがって、象限突起の大きさが変化してもそれに伴う象限突起誤差を除いて漸増型ロストモーションのみで解析し、補正することができる。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態のいくつかを詳細に説明する。
【0024】
(実施の形態1)
図1に本発明にかかる数値制御工作機械の送り機構の補正装置の実施の一形態を示す。
【0025】
ベッド1上にブラケット2,3によりそれぞれベアリング4,5が支持されており、このベアリングはボールねじ6を回転自在に支持している。このボールねじ6にはボールねじナット7が係合されている。
【0026】
ガイド8の上にはテーブル9が摺動自在に載置され、このテーブルの下面にはボールねじナット7が固着されている。
【0027】
一方、ボールねじ6はカップリング10によってサーボモータ11の軸と連結されているので、サーボモータの回転によりテーブルはガイド上を左右方向に摺動することになる。
【0028】
テーブル9上にはワーク13が載置され、工作機械の主軸14との位置関係は2個のソケットおよびこれに接触する2個のボール間を連結するバーにセンサが取付けられたダブルボールバー(DBB)15によりコンピュータ200を経由して検出される。なお、位置関係の検出には、その他の送り精度測定器やリニアスケール16を用いるようにしてもよい。
【0029】
サーボモータ11の軸にはロータリエンコーダ12が連結されており、このロータリエンコーダ12の出力信号はブロック20でテーブル位置座標へ変換されて位置フィードバック値とされ、さらにブロック30で微分されて速度フィードバック値としてゲインブロック50に与えられる。ここでトルク指令値に変換され、さらにブロック60で電流指令値に変換され、次のブロック70で電流増幅されて再びサーボモータに与えられる。
【0030】
一方、トルク指令値はトルク解析部80にも供給されており、このトルク解析部80で解析されて補正量演算部90に与えられ、また、位置検出器15で検出された主軸とテーブルの位置関係は位置解析部100で解析されて補正量演算部90に与えられる。
【0031】
補正量演算部90で演算された補正量は位置フィードバック値を減算し、この減算された位置フィードバック値は位置指令値を減算し、この減算された位置指令値がブロック40で角速度を乗算されることにより速度指令値が得られる。この速度指令値に対しては前述した速度フィードバック値が減算される。
【0032】
これらの構成のうち、トルク解析部80は、ブロック50の出力であるトルク指令値(トルク波形)を検出し、その波形の変曲点から図2のa,b,c,Aの各時点を検出する。
【0033】
一方、テーブル上のワークの位置は位置検出器でモニタされており、トルク解析部からの特異点の時点に基づいて図2のa,b,c,Aの各点の位置も特定される。これらのうち、Aは象限突起である。
【0034】
補正量演算部はこれらトルク解析部および位置解析部の出力に基づき、漸増型ロストモーションの量を演算し、補正量を算出する。
【0035】
xy平面の円弧補間を実施する場合を例にとって説明すると、トルク検出部では象限切替え時のトルクを検出し、微分により、各ピークを求め、このピークをそれぞれ図2のa,b,c,Aとする。ab間、ac間の時間t01、t02それぞれを求め、次の式に代入する。
【0036】
【数6】
Figure 0004503148
ここで、
ω:角速度(rad/sec)、
r:半径(m)、
kmax:ガイドの最大摩擦力(N)、
kmax:ガイドが最大摩擦力に達したときの変位量(m)、
k0:摩擦力が0になったときに残存する変位量(m)、
k1:ガイドの非線形ばね特性の剛性が変化する摩擦力(N)、
k1:ガイドの非線形ばね特性の剛性が変化する変位量(m)、
k1:ガイドの非線形ばねの剛性が高い部分の剛性値(N/m)、
k2:ガイドの非線形ばねの剛性が低い部分の剛性値(N/m)、
k2:剛性が低い部分の傾きを延長して力が0となるときの変位量(m)、
かつ Kk1=(Fkmax+Fk1)/(Dkmax−Dk1
k2=(Fkmax−Fk1)/(Dkmax+Dk1
k0=Dk1+Fk1/Kk1
k2=Dk1+Fk1/Kk2
の関係があり、 Yr0=Gr、
であり、X軸,Y軸の位置指令値x(t),y(t)はそれぞれ
【数7】
Figure 0004503148
と表される。
前述の式(1)(2)はリニアボールガイドを用いた場合を想定し、漸増形ロストモーションの発生メカニズムの解析を行った結果得られたものである。これは転がりガイドではボールあるいはローラが転がりだす前に非線形ばね特性を示し、この特性が漸増形ロストモーションの発生の原因になっていると考えられるためである。
【0037】
この導出過程においては以下の仮定を行い簡略化している。
(1)漸増形ロストモーションは、移動速度が遅いときに顕著に現れる。従って、比較的遅い動きを考え、移動物に対する慣性力の影響を無視する。これにより、テーブルの質量を無視する。
(2)サーボの剛性が十分高い場合を考え、ボールねじの回転に対する負荷の反力の影響を無視する。
(3)移動方向反転時に回転系の摩擦の影響により停止している場合以外は、サーボ系の特性をカットオフ周波数ωの一次遅れで近似する。
(4)周波数の低い領域の特性に影響を与えない、一次遅れフィルタの特性を無視する。
(5)リニアボールガイドのばね特性を図7の平行四辺形で近似する。
(6)回転系の摩擦は無視する。
【0038】
前述した値および条件を式(1)(2)のかっこ内の分子中の
P=−Dkmax+Dk1−(Fkmax+Fk1)/K
={sin(ωt01−π/2)−Gr}Gr 式(4)
Q=−2(Fkmax+Dkmax)/K
={sin(ωt02−π/2)−Gr}Gr 式(5)
に代入することにより定数P,Qが求まる。
【0039】
これにより、円弧半径rや位置ループゲインω0が変化しても、t01、t02を式(1)、(2)より求めることが可能である。
【0040】
ここで、摩擦力F(t)と、ボールねじ位置y(t)から、次式よりテーブル位置が求められる。
【0041】
【数8】
Figure 0004503148
この式(6)と
(t)=X(t) 式(7)
からテーブルの円弧運動を求め、Y軸+側の象限切り替え部の円弧半径誤差を求める。この結果が図3に示される。なお、Kは送り駆動機構の剛性であり、後述するように計算、もしくは実測が可能である。
【0042】
式(6)の結果をもとにy軸位置の補正が行われる。
【0043】
この補正量の決定に際しては、必ずしも式(6)(7)を用いることなく、式(1)〜(5)によって、t01、t02が求まれば、(スケールフィードバックや送り精度測定器を)位置検出器を用いて、t01、t02の誤差をもとに補正量を決めることも可能である。
【0044】
以上のように、送り速度やゲイン、円弧半径が変化してもy軸の位置誤差を求めることができる。
【0045】
なお、トルク波形からt01、t02を求める際に、組み立て段階でボールネジ単体のトルクを測定し、これを図2の波形から差分するようにすると、図3でAにより示される象限突起の影響が取り除かれ、t01、t02がより求めやすくなる。
【0046】
図4は象限突起の影響を除いた様子を示すグラフである。
【0047】
これに基づいて誤差を計算した結果を図5に示す。象限突起の影響が除去されているため、漸増型ロストモーションを十分に補正して送り駆動系の精度を向上させることができる。
【0048】
なお、上述した実施の形態では補正量演算部に位置解析部の出力も供給してトルク波形の変化に対応した位置を正確に求めるようにしたが、図8に示すように、位置測定器および位置解析部を設けず、トルク解析部80からの出力のみを用いても演算処理が速い場合には位置の誤差は僅少であり、補正値としては十分に使用可能である。
【0049】
(実施の形態2)
式(4)、(5)を求めるために、P,QのパラメータDkmax、Dk1、Fkmax、Fk1を実測で求めることが可能である。
【0050】
例えば、テーブルを組み立てる際にボールネジをサドルに取り付ける前にリニアボールガイドの非線形ばね特性を測定し、近似することができる。
【0051】
あるいはテーブルをリニアボールガイドが転がりださないところまで力を加え、この時の力をロードセルなど力測定機で測定し、テーブルの変位を変位計で測定する。力を戻して、この時の力と変位の関係を測定する。この結果は図6に示す。
【0052】
これをもとに各パラメータを図7のように求める。この図では縦軸をガイドの摩擦力(N)、横軸を変位(m)としており、まずガイドの最大摩擦力(Fkmax)とガイドが最大摩擦力に達したときの(変位量Dkmax)から▲1▼ の点をプロットし、ガイドの非線形ばね特性の剛性が変化する摩擦力(Fk1)とガイドの非線形ばね特性の剛性が変化する変位量(Dk1)から▲2▼の点がプロットされる。そして、▲1▼ の原点に対して点対称な点として▲3▼の点をプロットすると、▲1▼ と▲2▼を結ぶ線の傾きが,Kk1で有り、▲2▼と▲3▼を結ぶ線の傾きがKk2である。これらの線と座標軸の交点、各点の軸上の投影点が図7に示されるようなパラメータとなる。
【0053】
これらのパラメータは、式(4)、(5)に代入することにより補正量が求められる。
【0054】
これに替えて、ハンマリング測定などで、固有振動数を測定し、各パラメータを求めることもできる。
【0055】
(実施の形態3)
以上の実施例においてはすべてのパラメータを実測するようにしているが、パラメータのうち、Dkmax、Dk1、Fkmax、Fk1については設計段階で計算により求めることができる。すなわち、非線形ばね要素については玉の数、玉の大きさ、材質、予圧から弾性たわみの式で求めることができる。
【0056】
このようにして計算により得られたトルクは図4に示すものと同様となる。
【0057】
そして、このように計算で得られた値を用いて象限突起を除いた誤差を計算した結果は図5に示すものと同様になる。したがって、象限突起による誤差を除いて漸増型ロストモーションのみで解析が可能となる。
【0058】
【発明の効果】
本発明によれば、象限突起の影響をなくした上で漸増型ロストモーションを理論式に基づいて補正しているため、より正確な補正が可能になり、特にリニアボールガイドを用いた送り駆動系の輪郭精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかるNC装置を説明するブロック図である。
【図2】トルクの計算結果を示すグラフである。
【図3】本発明の式による象限切替え時の運動誤差の計算結果を示すグラフである。
【図4】象限突起の影響をなくすようになされたトルク計算結果を示すグラフである。
【図5】象限突起の影響をなくし、本発明の式により得られた漸増型ロストモーションの計算結果を示すグラフである。
【図6】パラメータを実測で求める場合の力と変位の関係の測定結果を示すグラフである。
【図7】各パラメータの求め方を示す説明図である。
【図8】図1の変形例にかかるNC装置を説明するブロック図である。
【図9】ゲインが大きい場合の象限切替え時の運動誤差の実測データを示すグラフである。
【図10】ゲインが小さい場合の象限切替え時の運動誤差の実測データを示すグラフである。
【符号の説明】
1 ベッド
2、3 ブラケット
4、5 ベアリング
6 ボールねじ
7 ボールねじナット
8 ガイド
9 テーブル
10 カップリング
11 サーボモータ
12 ロータリエンコーダ
13 ワーク
14 主軸
15 位置測定器
20 テーブル位置座標への変換器
30 微分器
40 角速度乗算器
50 ゲイン乗算器
60 変換器
70 アンプ
80 トルク解析部
90 補正量演算部
100 位置解析部
200 コンピュータ

Claims (2)

  1. ワークを搭載するテーブルあるいは工具を搭載する主軸等を駆動するサーボモータと、
    位置指令値に対してサーボモータの回転検出により得られた前記テーブルの位置をフィードバックするとともに、位置指令値から得られた速度指令値に対して前記テーブル位置から得られたテーブル速度をフィードバックし、その結果をトルク指令値、さらには電流指令値に変換して前記サーボモータに供給する制御部と、
    前記トルク指令値の波形から象限切換に伴うトルクの変化点を検出してこの変化点間の時間t01、t02を求めるトルク解析部と、
    前記制御部からの位置指令値と位置検出器で求めた主軸とテーブルの位置関係を求める位置解析部と、
    前記トルク解析部から出力されたt 01 、t 02 と、前記位置解析部の出力と、リニアボールガイドの非線形ばね要素の特性値とに基づいて、漸増型ロストモーションによるテーブル位置誤差とこのテーブル位置誤差に対する補正値を求める補正量演算部と、
    を備えたことを特徴とする数値制御工作機械の送り機構の補正装置。
  2. 請求項1に記載の送り機構の補正装置を含む数値制御工作機械。
JP2000202764A 2000-07-04 2000-07-04 数値制御工作機械の送り機構の補正装置および数値制御工作機械 Expired - Fee Related JP4503148B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000202764A JP4503148B2 (ja) 2000-07-04 2000-07-04 数値制御工作機械の送り機構の補正装置および数値制御工作機械

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000202764A JP4503148B2 (ja) 2000-07-04 2000-07-04 数値制御工作機械の送り機構の補正装置および数値制御工作機械

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002023852A JP2002023852A (ja) 2002-01-25
JP4503148B2 true JP4503148B2 (ja) 2010-07-14

Family

ID=18700248

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000202764A Expired - Fee Related JP4503148B2 (ja) 2000-07-04 2000-07-04 数値制御工作機械の送り機構の補正装置および数値制御工作機械

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4503148B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102013111831B4 (de) * 2012-10-30 2016-06-16 Fanuc Corporation Servo-Regelvorrichtung für eine Korrektur auf Basis der Dehn- oder Kontraktionsgröße einer Kugelgewindespindel
KR101827572B1 (ko) * 2011-05-13 2018-02-08 두산공작기계 주식회사 공작기계의 백래시 자동 검출과 보상을 위한 방법 및 장치

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4104409B2 (ja) * 2002-09-27 2008-06-18 株式会社ミツトヨ サーボ機構
US7119511B2 (en) * 2003-04-11 2006-10-10 International Business Machines Corporation Servo system for a two-dimensional micro-electromechanical system (MEMS)-based scanner and method therefor
JP4510723B2 (ja) * 2005-08-22 2010-07-28 オークマ株式会社 ロストモーション補正機能を有する位置制御装置
JP4618616B2 (ja) * 2007-09-26 2011-01-26 三菱電機株式会社 数値制御装置
DE112009003699B4 (de) * 2008-12-09 2015-06-18 Mitsubishi Electric Corporation Maschinenbewegungsbahnmessvorrichtung, numerisch gesteuertewerkzeugmaschine und maschinenbewegungsbahnmessverfahren
JP7264643B2 (ja) * 2019-01-10 2023-04-25 シチズン時計株式会社 工作機械の制御装置および工作機械

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0771781B2 (ja) * 1990-01-10 1995-08-02 東芝機械株式会社 数値制御工作機械のバックラッシ補正方式

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0771781B2 (ja) * 1990-01-10 1995-08-02 東芝機械株式会社 数値制御工作機械のバックラッシ補正方式

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101827572B1 (ko) * 2011-05-13 2018-02-08 두산공작기계 주식회사 공작기계의 백래시 자동 검출과 보상을 위한 방법 및 장치
US10197988B2 (en) 2011-05-13 2019-02-05 Doosan Machine Tools Co., Ltd. Apparatus and method for automatically detecting and compensating for a backlash of a machine tool
DE102013111831B4 (de) * 2012-10-30 2016-06-16 Fanuc Corporation Servo-Regelvorrichtung für eine Korrektur auf Basis der Dehn- oder Kontraktionsgröße einer Kugelgewindespindel

Also Published As

Publication number Publication date
JP2002023852A (ja) 2002-01-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3703664B2 (ja) バックラッシ補正装置
CN101206470B (zh) 非圆形机械加工装置
KR100914349B1 (ko) 서보모터의 제어방법
CN101727088B (zh) 用于数控机床的位置控制装置
EP2708322B1 (en) Apparatus and method for automatically detecting and compensating for a backlash of a machine tool
KR100207816B1 (ko) 수치제어공작기계에 있어서의 동적오차보정방식
WO2010067651A1 (ja) 機械運動軌跡測定装置、数値制御工作機械および機械運動軌跡測定方法
KR20010062356A (ko) 수치제어 공작기계의 로스트 모션 보정 방법 및 로스트모션 보정 시스템
JP5657633B2 (ja) 移動体が反転するときの位置誤差を補正するサーボ制御装置
KR910007054B1 (ko) 수치제어장치
CN103853099A (zh) 具有被驱动体的位置修正功能的伺服控制装置
JP5404507B2 (ja) 補正パラメータ調整装置
JP4503148B2 (ja) 数値制御工作機械の送り機構の補正装置および数値制御工作機械
CN101214622B (zh) 机床的控制装置以及控制方法
JP4014719B2 (ja) Nc工作機械の制御装置および位置決め制御方法
KR100450455B1 (ko) 서보 제어 방법
JP5972553B2 (ja) 位置決め制御装置、これを備えた工作機械
CN104076740A (zh) 数控装置
KR20130042140A (ko) 공작기계의 볼스크류 변형에 의한 실시간 위치 보정 방법 및 장치
JP4448219B2 (ja) モーションコントローラにおける動的たわみ補正方法およびモーションコントローラ
JP4030747B2 (ja) ロストモーション補正方法およびロストモーション補正装置
KR100437964B1 (ko) 위치제어장치
JP5334932B2 (ja) パラメータ設定方法およびパラメータ設定装置
JP4939388B2 (ja) フィードフォワード制御装置
KR100394686B1 (ko) 수치제어 공작기계의 4상한 윤곽오차 보정방법

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070221

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090721

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090724

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090924

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100105

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100304

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100326

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100421

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 4503148

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130430

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140430

Year of fee payment: 4

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees