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JP4588414B2 - 内部欠陥検査方法および装置 - Google Patents

内部欠陥検査方法および装置 Download PDF

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Description

本発明は、対象物について、例えば鋳造物における鋳巣のような空洞状の内部欠陥を検査する技術に関し、特にX線CT装置で対象物を撮像して得られるX線CTデータなどの空間離散データに基づいて内部欠陥を検査する技術に関する。
工業製品では、中実部分の内部に小さな空洞を生じ、それが製品性能を低下させる内部欠陥となることがある。そのような内部欠陥の代表的な例としては、鋳造物における鋳巣がある。鋳巣は、鋳造物の強度などに悪影響を及ぼす可能性がある。そのため、鋳造条件を調整して鋳巣の発生を減らしたり、鋳型の鋳造方案の形状を変えて鋳巣の発生位置をコントロールしたりといった対策が採られている。これらの対策は、設計の段階で試作と検査を繰り返し、最適な条件を探索して決定されるのが一般的である。このため鋳造物の製造分野では、微小な鋳巣も精度よく検査できるようにすることが重要となる。
鋳巣などの内部欠陥を検査する手法としては、破壊検査が古くよりある。破壊検査では、検査対象物を切断してその断面を観察したり、対象物をサイコロ状に切断した切断片を秤量したりする。このような破壊検査は、手間と時間を要し、また精度もあまり高くなかった。その上、破壊検査した対象物については強度試験など他の試験を行えなくなり、内部欠陥が及ぼす性能への影響を正確に評価することができなかった。
これに対し近年、X線CT装置を利用した内部欠陥の非破壊検査が行われるようになってきた。例えば特許文献1では、X線CT装置により鋳造物の内部断面を画像化して内部欠陥の検査を行うシステムが提案されている。また、例えば特許文献2では、X線CT装置により撮像した複数枚の断面像から対象物の3次元形状モデルを作成し、その3次元形状モデルについて内部欠陥に相当する部分を色付けすることで内部欠陥を視覚的に検証するシステムが提案されている。なお鋳巣の検査については、この他に特許文献3や特許文献4に開示の例も知られている。
特開平7−12759号公報 特開2004−34144号公報 特開2004−12407号公報 特表2003−530546号公報
上記のような非破壊検査に関する従来技術は、内部欠陥の有無や位置を視覚的に把握しやすいというメリットがある。特に特許文献2が提案する方法では、内部欠陥の3次元的な分布を把握することができるため、検査の手間と時間を短縮できるメリットがある。
しかしながら、特許文献2が提案する方法では、対象物の3次元形状モデルを作成する必要があり、そのことに起因して検査精度などに問題を残している。対象物の外形をモデル化するには、内部欠陥部分の密度(これは通常、空気の密度)を示すCT値と中実部分の密度示すCT値との中間値を閾値とし、この閾値を用いてモデル化を行う。しかるに、X線CT装置で得られる断面像では一般に、鋳巣のような空洞構造の内部欠陥部分と中実部分の境界がぼける現象つまり「ぼけ」が現れる。このため、鋳造物における鋳巣のように微細な空洞構造の内部欠陥では、その欠陥部分のCT値(これは、欠陥部分の密度に対応する)が本来のCT値より、中実部分のCT値(これは中実部分に密度に対応する)の側にシフトした値を示す。こうした「ぼけ」に起因して、閾値を用いたモデル化では、内部欠陥の大きさが実際のそれより小さくなってしまったり、あるいは一定よりも小さなサイズの内部欠陥についてそのモデル化自体ができなくなったりして、十分な検査精度を得られない。また小さなサイズの内部欠陥もモデル化できるように、閾値を高くすると、その閾値に応じて内部欠陥の体積が異なってしまい、やはり検査精度を低下することになる。また正確な体積で内部欠陥をモデル化するには内部欠陥のサイズに応じて閾値を異ならせる必要がある。このことは、検査の処理過程を煩雑にし、検査効率の低下を招くことになる。
本発明は、以上のような事情を背景になされたものであり、例えばX線CTデータのような空間離散データによる内部欠陥検査をより高精度で、しかも高い効率で行うことを可能とする内部欠陥検査方法の提供を第1の目的とし、そのための内部欠陥検査装置の第2の目的としている。
本発明では上記第1の目的のために、空間離散的な要素で対象物の空間的な形状・構造を記述する空間離散データに基づいて前記対象物における内部欠陥を検査する内部欠陥検査方法において、前記空間離散データから内部欠陥抽出手段により前記内部欠陥を抽出するステップ、前記内部欠陥抽出手段で抽出された内部欠陥の周囲に所定の広がりで設定される近傍範囲に含まれる前記要素を関連要素として関連要素収集手段により前記空間離散データから収集するステップ、および前記関連要素収集手段で収集された関連要素に基づいて前記内部欠陥の大きさや重心位置などの特徴量を特徴量計測手段で計測するステップを含むことを特徴としている。
また本発明では上記第1の目的のために、空間離散的な要素で対象物の空間的な形状・構造を記述する空間離散データに基づいて前記対象物における内部欠陥を検査する内部欠陥検査方法において、前記空間離散データから前記対象物における密度を測定してその分布を求め、その求めた密度分布から前記内部欠陥を検出するものとし、密度測定対象部位を中心にした所定の広がりを持つ関連領域を領域分割設定手段により設定するステップ、前記領域分割設定手段で設定した関連領域に含まれる前記要素を関連要素として関連要素収集手段により前記空間離散データから収集するステップ、および前記関連要素収集手段で収集された前記関連要素に基づいて密度計測手段により密度を計測するステップを含むことを特徴としている。
また本発明では上記のような内部欠陥検査方法について、前記空間離散データとしてX線CTデータが用いるようにしている。
また本発明では上記第2の目的のために、空間離散的な要素で対象物の空間的な形状・構造を記述する空間離散データに基づいて前記対象物における内部欠陥を検査する内部欠陥検査装置において、前記空間離散データから前記内部欠陥を抽出する内部欠陥抽出手段、前記内部欠陥抽出手段で抽出された内部欠陥の周囲に所定の広がりで設定される近傍範囲に含まれる前記要素を関連要素として収集する関連要素収集手段、および前記関連要素収集手段で収集された関連要素に基づいて前記内部欠陥の大きさや重心位置などの特徴量を計測する特徴量計測手段を備えていることを特徴としている。
また本発明では上記第2の目的のために、空間離散的な要素で対象物の空間的な形状・構造を記述する空間離散データに基づいて前記対象物における内部欠陥を検査する内部欠陥検査装置において、前記空間離散データから前記対象物における密度を測定してその分布を求め、その求めた密度分布から前記内部欠陥を検出するようにされており、密度測定対象部位を中心にした所定の広がりを持つ関連領域を設定する領域分割設定手段、前記領域分割設定手段で設定した関連領域に含まれる前記要素を関連要素として前記空間離散データから収集する関連要素収集手段、および前記関連要素収集手段で収集された前記関連要素に基づいて密度を計測する密度計測手段を備えていることを特徴としている。
また本発明では上記のような内部欠陥検査装置について、前記空間離散データとしてX線CTデータが用いるようにしている。
本発明では、内部欠陥の周囲に所定の広がりで設定される近傍範囲に含まれる要素を関連要素として収集し、この収集された関連要素に基づいて内部欠陥の特徴量を計測するようにしている。このため本発明によれば、内部欠陥の特徴量を高い精度で計測することができ、内部欠陥の検査精度を高めることが可能となり、また一連の処理を自動的に行うことができ、効率の高い検査が可能となる。
また本発明では、空間離散データから対象物における密度を測定してその分布を求め、その密度分布から内部欠陥を検出するものとし、密度測定対象部位を中心にした所定の広がりを持つ関連領域に含まれる要素を関連要素として収集し、この関連要素に基づいて密度を計測するようにしている。このため本発明によれば、マイクロメートルレベルの微小な鋳巣が多数塊って形成されるマイクロポロシティなどの内部欠陥を効率的に検出すことができ、内部欠陥の検査精度を高めることが可能となり、また一連の処理を自動的に行うことができ、効率の高い検査が可能となる。
以下、本発明を実施する上で好ましい形態について説明する。以下で説明する実施形態は、いずれも対象物を鋳造物とし、その鋳巣を内部欠陥として検査する鋳造物の内部欠陥検査装置として、内部欠陥検査装置を構成する場合についての例である。
図1に第1の実施形態による内部欠陥検査装置について、その処理機能における構成を模式化して示す。本実施形態の内部欠陥検査装置は、図示を省略してあるコンピュータなどのハードウエア要素に、ソフトウェア要素である内部欠陥抽出手段2、関連要素収集手段3、特徴量計測手段4、および出力データ作成手段5を実装して構成される。
内部欠陥抽出手段2は、空間離散データとして入力されるX線CTデータ1から内部欠陥、より具体的には内部欠陥の存在部位を抽出する。関連要素収集手段3は、内部欠陥抽出手段2で抽出された内部欠陥の部位に含まれる要素、およびその内部欠陥の特徴量(大きさ、重心位置など)を計測するのに必要な関連範囲における要素のそれぞれについてデータ(セル値ないしCT値)を収集する。特徴量計測手段4は、関連要素収集手段3が収集したデータから内部欠陥の特徴量を計測する。出力データ作成手段5は、特徴量計測手段4による計測結果から出力データ6を作成して出力する。
ここで、空間離散データとは、空間離散的な要素で対象物の空間的な形状・構造を記述するデータであり、その代表的な一つがX線CTデータである。X線CTデータは、その要素が「セル」と呼ばれ、このセルを空間離散的に配列するデータ形式の2次元または3次元のビットマップデータである。そしてX線CTデータにおけるセルは、対象物における対応部分での密度に対応する値を持ち、その値は一般に「セル値」ないし「CT値」と呼ばれる。
以下では、内部欠陥検査装置における検査処理の内容をより詳細に説明する。図2に、検査処理の流れを示し、図3に、内部欠陥部位の抽出から内部欠陥部位の特徴量計測までの処理の内容をイメージ化して示す。図3では、内部欠陥部位を含むX線CTデータ6による画像(以下では便宜上これもX線CTデータと呼ぶ)12が上の部分に示され、図中の一点鎖線13上のセルのセル値が下のグラフで示されている。X線CTデータ12は、薄い灰色で示される中実部分14の中に、本来黒色で示される空洞である内部欠陥15が存在している状態を示している。なお図では仮に球形として内部欠陥15の形状を示してあるが、内部欠陥はその形状に異方性を持っているのが通常である。X線CTデータ12は上述の「ぼけ」を含むために、内部欠陥15は完全な黒色とはならず、濃い灰色となっている。また内部欠陥15の周囲には、中実部分14の薄い灰色と内部欠陥15の濃い灰色の中間色となる部分が存在している。グラフは、横軸が位置で縦軸がセル値であり、細い破線17で示される中実部のセル値と同じく細い破線18で示される内部欠陥15の部位のセル値(内部欠陥15が空洞の場合には空気のセル値)の間で一点鎖線13上のセルのセル値(太い実線19で示される)が分布している状態を示している。その分布は、「ぼけ」によりもたらせるもので、ガウス分布となる。グラフ中に示す太い破線20は、内部欠陥15における実際の境界位置である。
検査処理では、まず内部欠陥抽出手段2により内部欠陥15の抽出が行われる(ステップ101)。内部欠陥抽出手段2による内部欠陥15の抽出処理には二つの手法が可能である。一つの手法では、予め設定されている内部欠陥抽出用の閾値が内部欠陥抽出手段2に与えられている。内部欠陥抽出用閾値は、空洞である内部欠陥15については、空気のCT値をもとにして設定される。内部欠陥抽出手段2は、この内部欠陥抽出用閾値を用いてX線CTデータ6から内部欠陥15を抽出する。すなわちセル値が内部欠陥抽出用閾値以下であるセルをX線CTデータ6から探索して抽出し、そのようなセルが塊まっている部位を内部欠陥15として特定する。他の手法では、X線CTデータ6上で一つあるいはいくつかのセルを基準セルとして適宜に選択し、その基準セルの周囲について基準セルのセル値と一定以上異なるセル値を持つセルを探索して抽出することで内部欠陥15を特定する。
以上のようにして内部欠陥15が抽出されると、次いで関連要素収集手段3が関連要素の収集つまり関連要素についてのCT値の収集を行う(ステップ102)。ここで、関連要素とは、内部欠陥抽出手段2で抽出された内部欠陥15の部位に含まれるセル、および内部欠陥15の周囲一定範囲、すなわち図3中に破線で囲って示す近傍範囲16に含まれるセルである。近傍範囲16のセルについてもCT値を収集するのは、以下の理由による。「ぼけ」の影響により、内部欠陥15のセルは、そのセルが本来持つはずのセル値でなく、内部欠陥15の周囲の中実部分14のセルが持つセル値にシフトしたセル値を示し、そのセル値をそのまま用いると、特徴量の正しい計測ができない。これに対して、近傍範囲のセルについてもCT値を収集して用いることにより、内部欠陥15の特徴量を高い精度で計測することが可能となる。
近傍範囲16の広がりは、内部欠陥15の概略の大きさに応じて設定される。通常は、内部欠陥15に含まれるセル数の例えば2〜3倍程度の数のセルを内部欠陥15の周囲にほぼ均等に含むように設定される。また近傍範囲16の形状は、内部欠陥15の概略形状にほぼ相似するように設定される。
関連要素の収集を終えたら、次に特徴量計測手段4で内部欠陥15の特徴量を計測する(ステップ103)。特徴量の計測は、「ぼけ」をガウス関数で表現できるなどの「ぼけ」における原理を利用して行うことができる。特徴量の一つである内部欠陥15の大きさは、内部欠陥15の体積として以下の式により求めることができる。内部欠陥の体積=(中実部のセル値×収集された全セルの数−収集された全セルのセル値の合計)/(中実部のセル値−内部欠陥部位のセル値)。また特徴量の一つである内部欠陥15の重心21つまり内部欠陥15の位置は、収集されたセルそれぞれの位置とセル値から、各セルに重み付けを行うなどの手法で求めることができる。さらに内部欠陥15の慣性モーメント主軸や長手方向の長さなどの特徴量も、収集されたセルそれぞれの位置とセル値から求めることができる。このように近傍範囲についても収集した関連要素のセル値を用いることにより、サイズが「ぼけ足」のサイズ以下であるような微小な内部欠陥についても高精度に特徴量を計測することが可能となる。
特徴量の計測を終えたら、次に特徴量計測手段4による計測結果から出力データ作成手段5で出力データ6を作成し、それを出力する(ステップ104)。出力データ6は、ユーザが視覚的に判別しやすい状態で計測結果をディスプレイ上で表示することのできるデータ、あるいは統計的に整理しやすいデータなどとして作成される。
図4に、出力データをディスプレイに表示した例を示す。ディスプレイの画面22には、X線CTデータ(3次元または2次元ビットマップデータ)による画像23が表示される。画像21は、3次元ビットマップデータの場合であれば、レンダリング画像とするのが通常で、2次元ビットマップデータの場合には断面像となる。画像23は、対象物の外形形状と内部欠陥を同時に表示している。内部欠陥の表示については、その特徴量によって色別表示や拡大表示することで強調表示するようにするのが好ましい。またユーザの選択した範囲内にある内部欠陥のみを表示したり、ユーザの選択した大きさ以上の内部欠陥のみを表示したりできるようにするのも好ましい。またインジケータ24を画像23に重ねて表示し、このインジケータ22に内部欠陥の特徴量を定量表示するようにすることも好ましい例である。この場合、ユーザが任意に選択した内部欠陥の位置にインジケータ24を合わせることで、その内部欠陥における特徴量をインジケータ24に定量表示するようにするのが好ましい。
ここで、内部欠陥を表示するには対象物の外形形状(対象物の輪郭)を含むX線CTデータから内部欠陥部位のデータを抽出する必要があるが、その抽出処理は以下のようにしてなすことができる。まず、元のX線CTデータの全セルのセル値を反転するなどして、空気部を強調表示する。次に、対象物の外形形状の外部の空気部(空気のセル値を持つセル部分)を周知の領域拡張手法により探索し、削除する。このようにすると、強調された部分は内部欠陥のみとなり、内部欠陥のデータを抽出することができる。この際、参照用の1ビット3次元ビットマップデータを利用すると、インデックスとして用いることができ、処理の高速化を実現できる。また外部空気部の領域拡張の際に、領域拡張の閾値を中実部のセル値に近づけることにより、対象物と外部空気の境界付近の内部欠陥のみを抽出することもできる。これには、CADデータなどの外形形状の設計データと、領域拡張した外部空気部の集合演算を行うなどすればよい。
図5に、第2の実施形態による内部欠陥検査装置について、その処理機能における構成を模式化して示す。本実施形態の内部欠陥検査装置は、マイクロメートルレベルの微小な鋳巣が多数塊って形成されるマイクロポロシティやざく巣などのような内部欠陥も検出するのに適するように構成されている。マイクロポロシティなどの内部欠陥の検出における基本的な考え方は、対象物のX線CTデータについて密度を測定してその分布を求め、この密度分布から内部欠陥を検出するということである。すなわち周囲の密度よりも一定以上に密度の小さい部分があれば、その部分を内部欠陥として検出するということである。そのために内部欠陥検査装置は、図示を省略してあるコンピュータなどのハードウエア要素に、ソフトウェア要素である領域分割設定手段25、関連要素収集手段26、密度計測手段27、および出力データ作成手段28を実装して構成される。
図6に、検査処理の流れを示す。まず入力されたX線CTデータ1に含まれる対象物に対して、関連領域を領域分割設定手段25により設定する(ステップ201)。関連領域は、密度測定対象部位を中心にした所定の広がりを持つ領域であり、対象物をその形状について分割することで設定される。対象物の分割は、例えば対象物を格子状(3次元ビットマップデータの場合はサイコロ状)に分割することで行う。均一の大きさの格子で分割する場合には、その格子の大きさを指定すれば済む。格子の大きさは均一でなくともよく、その場合には各格子の大きさを指定する。また対象物の分割は、対象物の全体に対して行ってもよいし、特定部分についてだけ行うようにしてもよい。
関連領域を設定したら、次いで関連要素収集手段26が関連要素の収集つまり関連要素についてのCT値の収集を行う(ステップ202)。ここで、密度測定の場合の関連要素とは、密度測定対象部位の密度を、X線CTデータにおけるノイズの影響を排除できる平均密度として求めるのに必要な範囲に含まれるセルである。このような関連要素の収集を行うのは以下のような理由による。X線CTデータにおけるノイズはセルごとにランダムに生じている。したがって、密度測定対象部位を中心にした適切な広がり範囲について、そこに含まれるセルの各セル値の平均値を求め、これを密度測定対象部位における代表セル値つまり代表密度値とすることにより、セルごとにランダムに生じているノイズの影響をキャンセルして低減することができる。そしてこのことにより、密度測定の精度を大幅に高めることが可能となる。このような理由から、関連領域には適切な大きさがある。一つの例では、密度分析対象部位のサイズを2×2の4セルないし3×3の9セル(セルのサイズは例えば200μ程度)とし、これを中心にして周囲に隣接する状態で数百〜数千セルを含むように関連領域を設定する。関連要素は、関連領域内のセルとするのが基本であるが、必要に応じて関連領域の近傍におけるセルを含ませる場合もある。
関連要素の収集を終えたら、次に密度計測手段27で密度を計測する(ステップ203)。図7に、密度計測処理の内容をイメージ化して示す。図7では2次元の例を示しているが、3次元の場合も原理的には同様である。X線CTデータ29は、各セルのセル値が対象物における各セル対応部位の密度に対応し、黒色で示される空気中に灰色で示されるある対象物があることを示している。点線30は、関連領域の区切りを示す。太い破線31は、対象物と空気の境界(対象物/空気境界)を示している。この境界は、境界検出用の閾値を用いて自動的に判別させることができる。またCADのデータなどを参照することで求めることも可能である。関連領域には、領域(関連領域)32のように、その全体が境界から十分に内部である場合、つまり境界における「ぼけ」の影響を受けない程度まで対象物の内部側にある場合と、領域33や領域34のように境界に近接したり、あるいは境界を含んだりする場合あがる。
全体が物体の十分内部である関連領域32の場合は、そこに含まれる全セルのセル値の平均値として平均密度を求める。境界付近の領域33は、その領域内に境界の外部つまり空気部分のセルも含む。このため、予め空気の密度を示すセル値を求めておき以下の式で平均密度を求める。平均密度=(境界の内部と外部の全セルのセル値の合計−空気の密度を示すセル値×領域内における境界外部の体積)/(領域内における境界内部の体積)。領域34は、領域33と同様に、その領域内に境界の外部のセルも含む。したがって領域33と同様にして平均密度を求める。ただし領域34は、対象物部分のセルが当該領域の角部にある。このような場合には、領域外のセルも関連要素として収集する。図の例では、補助領域35を設定し、この補助領域35についても関連要素を収集するものとしている。以上のようにすることにより、領域の分割の仕方や対象物の形状にかかわりなく、境界付近でも対象物の密度分布を精度よく求めることができる。ここで、密度が一定の範囲から異なる領域については、さらに細かく区切る領域を設定して再度の計測を行うようにすると、さらに一層測定精度を高めることが可能となる。
密度の計測を終えたら、密度計測手段27による密度計測結果から出力データ作成手段28で出力データ6aを作成し、それを出力する((ステップ204)。出力データ6aは、マイクロポロシティなどの内部欠陥の部位を特定したデータとするのが通常であるが、密度分布データとすることも可能である。密度分布データとする場合には、視覚的に見やすい状態で計測結果をディスプレイ上で表示することのできるデータ、あるいは領域とそこにおける密度を整理しやすいデータなどとして作成される。視覚的な出力とする場合には、密度が一定以上、あるいは以下の領域のみを強調表示するようにしたり、密度に応じた色分け表示としたりするのが好ましい。また出力データ6aの出力に際して、密度が一定以上、あるいは以下の領域のみにタグを付けるようにするのも好ましい例である。こうした密度分布データも内部欠陥の把握を可能とする。
図8に、第3の実施形態による内部欠陥検査装置について、その処理機能における構成を模式化して示す。本実施形態の内部欠陥検査装置は、第1の実施形態による内部欠陥検査装置における機能と第2の実施形態による内部欠陥検査装置における機能を併せ持った構成とされている。具体的には本実施形態の内部欠陥検査装置は、第1の内部欠陥検査処理を行う第1の欠陥検査機能部Aと第2の内部欠陥検査処理を行う第2の欠陥検査機能部Bからなる。そして第1の欠陥検査機能部Aは、第1の実施形態による内部欠陥検査装置と同様で、ソフトウェア要素として、内部欠陥抽出手段2、関連要素収集手段3、および特徴量計測手段4を含んで構成される。一方、第2の欠陥検査機能部Bは、第2の実施形態による内部欠陥検査装置と同様で、ソフトウェア要素として、領域分割設定手段25、関連要素収集手段26、密度計測手段27、および出力データ作成手段28を含んで構成される。これら欠陥検査機能部Aや欠陥検査機能部Bでなされる処理は、上で説明したのと基本的に同様なので説明を省略する。
以下では欠陥検査機能部Aと欠陥検査機能部Bを併せ持った本実施形態の内部欠陥検査装置に特有な処理について説明する。欠陥検査機能部Bは、上述のように、マイクロポロシティなどのような微小鋳巣集塊構造の内部欠陥の検出に適している。そのような内部欠陥は、マイクロメートルレベルの鋳巣に比べてサイズの大きな鋳巣による内部欠陥の周囲に存在することが多い。したがって、まず欠陥検査機能部Aにより大きな内部欠陥を検出し、それからその周囲について欠陥検査機能部Bにより微小鋳巣集塊構造の内部欠陥を検出するようにする。このようにすることで、微小鋳巣集塊構造の内部欠陥の検出について、精度と効率を高めることができる。また欠陥検査機能部Aにより微小鋳巣集塊構造の内部欠陥についても特徴量を求めることで、その総体積や重心、分布広さなどを計測することができるようになり、欠陥検査の実効性をより一層高めることが可能となる。なお本実施形態では欠陥検査機能部Aを前段にする構成としているが、欠陥検査機能部Bを前段にする構成も可能である。
本発明は、X線CTデータのような空間離散データによる内部欠陥検査をより高精度で行うことを可能とするものであり、例えば鋳造物の鋳巣検査などの分野に広く適用することができる。
第1の実施形態による内部欠陥検査装置の処理機能における構成を模式化して示す図である。 図1の内部欠陥検査装置における処理の流れを示す図である。 内部欠陥部位の抽出から内部欠陥部位の特徴量計測までの処理の内容をイメージ化して示す図である。 図1の内部欠陥検査装置における出力データの表示例を示す図である。 第2の実施形態による内部欠陥検査装置の処理機能における構成を模式化して示す図である。 図5の内部欠陥検査装置における処理の流れを示す図である。 密度計測処理の内容をイメージ化して示す図である。 第3の実施形態による内部欠陥検査装置の処理機能における構成を模式化して示す図である。
符号の説明
1 X線CTデータ(空間離散データ)
2 内部欠陥抽出手段
3 関連要素収集手段
4 特徴量計測手段
25 領域分割設定手段
26 関連要素収集手段
27 密度計測手段

Claims (2)

  1. 対象物のX線CT値データに基づいて前記対象物における中実部の内部欠陥を検査する内部欠陥検査方法において、
    前記X線CT値データから内部欠陥抽出手段により前記内部欠陥を抽出するステップ、前記内部欠陥抽出手段で抽出された内部欠陥の部位およびその周囲に所定の広がりで設定される近傍範囲に含まれるX線CT値データを関連要素収集手段により収集するステップ、および前記内部欠陥の特徴量として前記内部欠陥の大きさを前記関連要素収集手段で収集された前記X線CT値データに基づいて算出するステップを含み、前記内部欠陥の大きさは、内部欠陥の大きさ=内部欠陥の体積=(中実部のX線CT値×収集された全X線CT値データの数−収集された全X線CT値の合計)/(中実部のX線CT値−内部欠陥部位のX線CT値)として求めるようにされていることを特徴とする内部欠陥検査方法。
  2. 対象物のX線CT値データに基づいて前記対象物における中実部の内部欠陥を検査する内部欠陥検査装置において、
    前記X線CT値データから前記内部欠陥を抽出する内部欠陥抽出手段、前記内部欠陥抽出手段で抽出された内部欠陥の部位およびその周囲に所定の広がりで設定される近傍範囲に含まれる前記X線CT値データを収集する関連要素収集手段、および前記内部欠陥の特徴量としての前記内部欠陥の大きさを前記関連要素収集手段で収集された前記X線CT値データに基づいて計測する特徴量計測手段を備え、前記内部欠陥の大きさは、内部欠陥の大きさ=内部欠陥の体積=(中実部のX線CT値×収集された全X線CT値データの数−収集された全X線CT値の合計)/(中実部のX線CT値−内部欠陥部位のX線CT値)として求めるようにされていることを特徴とする内部欠陥検査装置。
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