JP4583662B2 - 光モジュールパッケージおよびその製造方法 - Google Patents
光モジュールパッケージおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4583662B2 JP4583662B2 JP2001166088A JP2001166088A JP4583662B2 JP 4583662 B2 JP4583662 B2 JP 4583662B2 JP 2001166088 A JP2001166088 A JP 2001166088A JP 2001166088 A JP2001166088 A JP 2001166088A JP 4583662 B2 JP4583662 B2 JP 4583662B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- ring
- molded product
- resin molded
- shaped resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、V溝などが形成されたシリコンからなるオプティカルベンチ上にLD(Laser Diode),PD(Photodiode)などの光学能動部品や、光ファイバなどの光受動部品をハイブリッド実装し、蓋の取付けにより中空封止し、パッケージ化される光モジュールパッケージおよびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
光モジュールは、一般にセラミックからなるパッケージに種々の光学部品をハイブリッド実装し、光信号の送受を行なう。光学部品にはPD(Photodiode),LD(Laser Diode)など半導体素子からなる光学能動部品や、光ファイバ、フィルタなどそれ自身が光電変換を行なわない光受動部品がある。
【0003】
近年の光モジュールは、パッケージに光学部品を直接組込むものではなく、予めオプティカルベンチと呼ばれるシリコン基板上に組立て、その組立体をパッケージに組込む手法が多く採用されている。これにより従来よりも高密度集積が可能となっている。
【0004】
また、近年、光コネクタをパッケージと一体化することで、一括リフロー方式で光モジュールパッケージのマザーボードへの実装が可能になる光モジュールパッケージ構造、いわゆる表面実装型光モジュールが注目されている。
【0005】
図20に、従来型光モジュールパッケージの概略構成図を示す。ここでは、LDモジュールを例に図示する。
【0006】
図20に示すように、オプティカルベンチ1には光ファイバ2bを搭載するV溝や、LD3、モニタPD4などの光学部品をはんだ接合したりワイヤボンドしたりするための金属パターンが形成されている。光学部品は、金線6を介して所定の電極部と接続される。
【0007】
光学部品のはんだ接合は、オプティカルベンチ1、光学部品のいずれか片方にはんだを予め成膜しておき、もう一方にはんだがぬれ広がる金属パターンを形成し、光学部品搭載時にはんだを溶融させて接合する。はんだ材料としては、一般に金錫共晶合金が用いられる。金属パターンの最表面には一般に金層を形成する。オプティカルベンチ1と光学部品の両方に、はんだを予め成膜しても接合は可能である。
【0008】
光ファイバ2bなど、光学部品を接着剤を用いて実装する場合もある。樹脂接着剤による接着の場合は、オプティカルベンチ1上に樹脂接着剤を塗布し、その上に光学部品を搭載し、樹脂の硬化を熱や光照射等で行ない接着する。
【0009】
オプティカルベンチ1を使用した組立方法にはパッシブアライメント実装技術と呼ばれる手法がある。該手法は、光学部品を発光または受光させながら光軸調整するのではなく位置認識にて実装するため、量産性に優れている。
【0010】
具体的には、オプティカルベンチ1と光学部品の双方にアライメントマークを形成し、それらのアライメントマークを赤外線カメラにて認識、位置調整、実装する。パッシブアライメント実装技術による実装によれば、約1μmの高精度実装を実現できる。
【0011】
このようにして組立てられた光モジュールは、パッケージ化され外部環境から保護される。光モジュールをパッケージ化する際、最後に接着剤15にて光コネクタ部品14をパッケージサイドに接着する。またパッケージ13の表面に、外部電極12を形成する。
【0012】
これまでの光モジュールにおけるパッケージ13の材質は、一般的にセラミックで、金属、ガラス、セラミックなどの蓋9により気密封止してきた。この場合、パッケージ13内部に搭載された光モジュール表面と接触しているのはヘリウムなどの不活性気体のみであり、光学部品に対して無応力で化学的腐食もなく、ヒートサイクルなどの長期信頼性が高いという特徴がある。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
しかし一方で、従来の光モジュールパッケージでは、パッケージ13自体が高価であることに加え、図20に示すようにパッケージ13に光コネクタを形成するためにはパッケージ13に複雑な形状の加工が必要であり、パッケージ13がより高価なものとなってしまうという問題があった。
【0014】
また、パッケージ13とは別部品である光コネクタ部品14を複雑形状とし、かつ高精度に実装する必要があり、部品点数が増加することでも高価なものとなってしまう。因みに、コネクタ部は、フェルール2cと呼ばれる光信号端子と、外部プラグを嵌合装着するための装着固定部とからなり、光信号端子はジルコニア、ガラスなどからなる。
【0015】
実際、信頼性の高いはずのセラミックパッケージではあるが、複雑に別部品を継ぎ接ぎした光コネクタ部を含めて、蓋9で気密封止を行なうことが困難で、歩留まり(製品の良品率)が低下するという問題もあった。
【0016】
本発明は上記の課題を解決するためになされたものである。本発明の目的は、光モジュールパッケージの構成部品の改善や部品点数を削減することで低コスト化を図り、さらに気密性を容易に確保できる表面実装型光モジュールパッケージを提供することにある。
【0017】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る光モジュールパッケージは、オプティカルベンチと、オプティカルベンチ上に実装された光学部品と、オプティカルベンチが実装された基板と、オプティカルベンチ上に延在する光ファイバと、基板上にオプティカルベンチを取り囲むように設置されパッケージの側壁を形成し光コネクタ部を有するリング状樹脂成形品と、リング状樹脂成形品の開口を閉じる蓋とを備える。なお、「オプティカルベンチ」とは、本願明細書では、光学部品を実装するためのベースとなる光学的架台あるいは光学的台座のことを称する。
【0018】
上記のようにリング状樹脂成形品を採用することにより、パッケージと光コネクタ部を一体化することができ、光モジュールパッケージの構成部品点数を削減することができる。また、樹脂成形品を採用することによりその成形自体も容易となる。さらに、従来例のように複雑に別部品を継ぎ接ぎする必要がなくなり、パッケージの気密性をも容易に確保できる。
【0020】
本発明に係る光モジュールパッケージは、リング状樹脂成形品に突設され光ファイバが挿通されるフェルール(光信号端子)部を備える。そして、該フェルール部を、リング状樹脂成形品と同一の材質により構成し、リング状樹脂成形品と一体成形する。このようにフェルールをもリング状樹脂成形品と一体化することにより、さらに光モジュールパッケージの構成部品点数を削減することができる。
【0021】
上記フェルール部をリング状樹脂成形品と別部品により構成し、インサート成形によりフェルール部をリング状樹脂成形品と一体化してもよい。この場合にはリング状樹脂成形品の成形用金型の構成を簡略化することができる。
【0022】
上記フェルール部は、外周にリング状樹脂成形品の成形用金型内でフェルール部を位置決めするための凹部を有することが好ましい。それにより、上記成形用金型内におけるフェルール部の位置決めを容易かつ正確に行うことができ、成形用金型に対して光軸方向の位置精度を高くすることができる。
【0023】
リング状樹脂成形品は、インサート成型時にフェルール部を位置決め固定するためのリードフレーム部を備えてもよい。フェルールを予めリードフレームに固定しておくことで、成形金型とフェルールを直接位置決めするのではなく、リードフレームで容易に位置決めすることが可能となる。それにより、成形金型内で煩雑なフェルール整列作業を行う必要がなくなる。
【0024】
上記リング状樹脂成形品と、蓋および基板の少なくとも一方とを、半硬化性接着シートを用いて接着することが好ましい。
【0025】
このように半硬化性接着シートを採用することにより、キュア時に接着部に気泡が生じることを抑制することができ、気密性不良の発生を抑制することができる。また、液状樹脂を用いて接着する場合のように液ダレが発生することがほとんどないので、液ダレを考慮して大きめに設計する必要がなくなり、パッケージの小型化も可能となる。
【0026】
上記半硬化性接着シートによる接着部を、熱硬化性樹脂でコーティングすることが好ましい。それにより、接着部を補強することができ、パッケージの実装プロセスにおけるリフロー時などに接着部に剥離が発生するのを回避することができる。その結果、パッケージの耐湿性を向上することができ、パッケージの信頼性を向上することができる。
【0029】
光コネクタ部を基板よりも外側に配置することが好ましい。
【0030】
この場合、リング状樹脂成形品におけるリング部の厚みを薄くすることができるので、基板に光ファイバを近づけることができる。つまり、基板からの光ファイバの高さを低くすることができる。それにより、光コネクタ部に必要な厚みを確保しながら、光ファイバが設置されるオプティカルベンチ表面の基板からの高さと、基板からの光ファイバの高さとの調整を行え、これらの高さの差を調整するための部材(たとえば図1におけるサブマウント7)を設置する必要がなくなる。
【0031】
上記光コネクタ部の下面に、光モジュールパッケージが実装後に傾くのを防止するための凸部を設け、光コネクタ部を基板よりも外側に配置することが好ましい。それにより、光モジュールパッケージがマザー基板への実装時に傾くなどして、はんだ付け不良が生じるのを阻止することができる。
【0032】
上記凸部を、光モジュールパッケージの実装側の最下面(たとえば外部端子表面)近傍にまで延在させることが好ましい。それにより、光モジュールパッケージがマザー基板への実装時に傾くのを効果的に抑制することができ、はんだ付け不良の発生を抑制することができる。また、上記凸部を光モジュールパッケージの実装側の最下面よりも下方に延在させ、凸部先端をマザー基板に差し込んだ場合には、ファイバプラグの脱着力を該差込固定部で吸収することができる。
【0033】
上記オプティカルベンチは、光ファイバの位置決め用の溝部を有し、基板からの該溝部の高さを、基板からの光ファイバの高さよりも低くし、光ファイバを溝部に対し押えつけることにより光ファイバを溝部に位置決めすることが好ましい。
【0034】
それにより、光ファイバの破損を阻止しながら光ファイバを確実に上記溝部に固定することができる。
【0037】
本発明に係る光モジュールパッケージの製造方法は、下記の各工程を備える。
オプティカルベンチ上に光学部品を実装する。該オプティカルベンチを基板上に実装する。光コネクタ部を有するリング状樹脂成形品を形成する。基板上にオプティカルベンチを取り囲むようにリング状樹脂成形品を設置することによりパッケージの側壁を形成する。オプティカルベンチを覆うようにリング状樹脂成形品に蓋を取付ける。
【0038】
上記のように光コネクタ部を有するリング状樹脂成形品を基板上に実装するだけでよいので、容易かつ効率的に光モジュールパッケージを製造することができる。また、本発明のリング状樹脂成形品を採用することにより上述のように光モジュールパッケージの構成部品点数を削減することができ、このことも光モジュールパッケージの製造の容易化に寄与し得る。それに加え、従来例のように複雑に別部品を継ぎ接ぎする必要がなくなるので、パッケージの気密性を確保することもできる。
【0039】
上記リング状樹脂成形品はフェルールを有し、リング状樹脂成形品を形成する工程は、インサート成形によりリング状樹脂成形品を成形するとともにフェルールをリング状樹脂成形品に固定する工程を含む。それにより、リング状樹脂成形品へのフェルールの固定作業をリング状樹脂成形品の成形と同時に行え、プロセスを簡略化することができる。
【0040】
フェルールに光ファイバを取付けた状態で上記インサート成形を行ってもよい。それにより、フェルールに光ファイバを挿着する作業を別途行っておくことができ、効率的に光モジュールパッケージを製造することができる。
【0041】
フェルールをインサート成型時に位置決め固定するためのリードフレームに搭載した状態で上記インサート成形を行ってもよい。それにより、フェルールをリードフレームに固定した状態で成形用金型内に設置することができ、成形用金型上で微小部品であるフェルールを整列する必要がなくなる。その結果、成形機の稼働率を向上することができる。
【0042】
【発明の実施の形態】
以下、図1〜図19を用いて、本発明の実施の形態について説明する。
【0043】
(実施の形態1)
図1に本実施の形態1における光モジュールパッケージの断面図、図2に該光モジュールパッケージの側面図、図3に本実施の形態1におけるリング状樹脂成形品2の平面図、図4に該リング状樹脂成形品2の斜視図を示す。ここでは、LDモジュールを一例として図示した。
【0044】
図1に示すように、本発明の光コネクタ一体型光モジュールパッケージは、オプティカルベンチ(光学部品実装用ベース)1と、オプティカルベンチ1の上に実装された光学部品と、オプティカルベンチ1が実装された基板8と、光ファイバ2bと、光コネクタを形成したリング状樹脂成形品2と、該リング状樹脂成形品2の開口を閉じる蓋9とを備える。
【0045】
オプティカルベンチ1は、たとえばシリコンからなり、その表面には、光ファイバ2b受入用のV溝などの溝部を形成する。光学部品は、オプティカルベンチ1上にハイブリッド実装されたLD3,モニタPD4などの光学能動部品や、光ファイバ2b、フィルタなどの光学受動部品を含む。LD3やモニタPD4は、金線6を介して所定の電極と接続される。光ファイバ2bは、オプティカルベンチ1表面のV溝上に延在し、接着剤などによりオプティカルベンチ1に固定される。
【0046】
基板8は、たとえば絶縁材料からなり、図1に示す態様では平板状の単純形状を有する。該基板8の表面上にサブマウント7を介してオプティカルベンチ1を搭載する。該サブマウント7は、オプティカルベンチ1表面のV溝の高さと光ファイバ2bの高さを調整するための高さ調整部材として機能する。基板8の裏面上にはんだボールなどからなる外部電極12を形成する。
【0047】
リング状樹脂成形品2は基板8と蓋9に半硬化性接着シート10により接着され、パッケージの側壁を構成する。
【0048】
図1〜図4に示すように、リング状樹脂成形品2は、光コネクタ部2aと、リング部とを有し、該光コネクタ部2aとリング部とは一体成形され同一の材質(樹脂)で構成される。
【0049】
光コネクタ部2aは、フェルール(光信号端子)部2a1を有し、そのフェルール部2a1の周囲を取り囲む。光コネクタ部2aは、プラグが装着固定できるような形状をしているが、これは成形金型自体にその形状となるように彫り込みが形成されているためで、成形後削り出し加工を施しているわけではない。このフェルール部2a1の中心には光ファイバ2bが挿入されている。
【0050】
図1〜図4に示すリング状樹脂成形品2は上下セパレート型の成形金型にて射出成形されている。図4に示した破線は上下金型の合わせ面(上下金型の合わせ面に沿って形成される線状の凹凸部)2jを示している。リング状樹脂成形品2の材質としては、PPS(ポリフェニレンサルファイド)やPBT(ポリブチレンテレフタレート)やエポキシ樹脂が考えられ、実際にはフィラーなどの充填物を含んだコンパウンドを使用可能である。
【0051】
リング部は、パッケージの側壁を形成し、内周側に空間を有する。該空間内に図1に示すようにオプティカルベンチ1等を設置する。したがって、パッケージを組み立てた状態において、該リング部によってオプティカルベンチ1等が取り囲まれることとなる。
【0052】
オプティカルベンチ1等を含む組立体を上記のリング部内に組込み、該リング部の開口を閉じるように蓋9を取付ける。それにより、パッケージの気密封止を行う。
【0053】
次に、図1を用いて、本実施の形態における光モジュールパッケージの組立方法(製造方法)を説明する。
【0054】
オプティカルベンチ1にLD3をパッシブアライメント実装法にてダイボンドする。次に、モニタPDキャリア5を実装する。モニタPDキャリア5には予めモニタPD4がダイボンドされており、モニタPDキャリア5とモニタPD4は金線6にてワイヤボンド接続されている。
【0055】
以上のアセンブリ体をセラミックなどからなる基板8にダイボンド実装する。
基板8はキャビティ形成のない平坦なもので、金属配線が形成されている。次に、該基板配線とオプティカルベンチ1とを金線6にてワイヤボンド接続する。
【0056】
次に、上述の構造のリング状樹脂成形品2を射出成形等により成形し、該リング状樹脂成形品2を基板8に接着する。その際、リング状樹脂成形品2の光ファイバ2bが、オプティカルベンチ1のV溝に収まるように位置調整しておく。
【0057】
リング状樹脂成形品2の接着によりパッケージ側壁と光コネクタが同時に形成される。図1では、光ファイバ2bの位置とオプティカルベンチ1の表面の高さをほぼ等しく調整するため、オプティカルベンチ1と基板8との間にサブマウント7を形成している。サブマウント7は、コバールなどの金属からなる。
【0058】
オプティカルベンチ1表面のV溝への光ファイバ2bの正確な微調整は、その後光ファイバ2bをV溝へ押圧しながら樹脂で固めることにより達成される。次に、蓋9をリング状樹脂成形品2の上面と接着することにより封止が完了する。
【0059】
最後に、外部電極12を形成することで光モジュールパッケージが完成する。
図1,図2では、外部電極12ははんだボールよりなるBGA(Ball Grid Array)を示しているが、ボール電極の代わりに、リードやピンを外部電極としたものでもよい。
【0060】
本実施の形態では、リング状樹脂成形品2を用いたパッケージ構造のため、光端子が存在しても気密封止が容易である。また、基板8がセラミックであったとしても、その基板8は複雑な形状を必要とせず、たとえば金属配線のみが形成された平坦な基板でよい。そのため、従来高価であったパッケージのコストを低減することができる。また、光コネクタ形成はリング状樹脂成形品2で一括形成しているため、部品点数が増加せず、また樹脂成形品であるためそれ自体安価である。
【0061】
(実施の形態2)
次に、本発明の実施の形態2について説明する。本実施の形態2のパッケージは、実施の形態1の場合と同様に光コネクタ一体型モジュールパッケージであり、リング状樹脂成形品2が光コネクタを含めて一体の樹脂成形品であり、光コネクタ部には同様に樹脂成形された円筒状の凸部がリング部の内外に延長した形状で形成される。
【0062】
上記の凸部がフェルール部2a1として機能する。この凸部中心に貫通孔を形成し、該貫通孔に光ファイバ2bを挿通して接着する。リング状樹脂成形品2のリング部内側の凸部の端面から突出した光ファイバ2bは所定の長さでクリーブされ、光ファイバ2bが接着された凸部のリング部外側端面は研磨処理される。
そして、クリーブされた光ファイバ2bはオプティカルベンチ1の上に実装された光学部品と光学結合される。
【0063】
図1に示す光モジュールパッケージの光コネクタ部2aに着目すると、フェルール部2a1として機能する凸部とリング状部品の本体との境目はない。つまり、凸部はリング状樹脂成形品2と同一材質であり、同時に射出成形にて一括成形される。
【0064】
この構成では、凸部中心に光ファイバ2bを通すための貫通孔が必要なため、実施の形態1のように上下セパレート型の金型では成形できない。したがって、3面以上の金型を用いて射出成形する。使用する樹脂材料その他は実施の形態1と同様である。
【0065】
本実施の形態2では、フェルール部2a1として機能する凸部を含めて樹脂を用いて一括形成しているため、リング状樹脂成形品2は実施の形態1に比べてさらに安価になる。
【0066】
(実施の形態3)
次に、本発明の実施の形態3について説明する。本実施の形態3では、光コネクタ一体型モジュールパッケージにおいて、リング状樹脂成形品2をフェルール2cのインサート成形品とし、フェルール2cの中心の貫通孔には光ファイバ2bが挿通され接着される。
【0067】
フェルール2cのリング部内側端面から突出した光ファイバ2bは所定の長さでクリーブされ、光ファイバ2bの接着されたフェルール部2a1のリング外側端面は研磨処理される。そして、クリーブされた光ファイバ2bはオプティカルベンチ1の上に実装された光学部品と光学結合される。
【0068】
図5は、本実施の形態3のリング状樹脂成形品2の断面図を示している。図5に示すように、フェルール2cとリング状樹脂成形品2本体の材質は異なる。フェルール2cの材質としては一般にジルコニアなどが用いられる。
【0069】
次に、本実施の形態3のリング状樹脂成形品2の製造方法を述べる。リング状樹脂成形品2の成形金型のキャビティ内にフェルール2cを設置し、金型を閉めて、樹脂を金型キャビティ内に射出成形にて充填する。それにより、リング状樹脂成形品2へのフェルール2cの固定作業をリング状樹脂成形品2の成形と同時に行え、プロセスを簡略化することができる。なお、用いる金型は、上下セパレート型の2面金型で可能である。また使用する樹脂材料は実施の形態1と同様である。
【0070】
インサート成形されたフェルール2cの中心には光ファイバ2bを通すための孔が予め形成されている。成形後、フェルール部2cの孔に光ファイバ2bを通し、該孔と光ファイバ2bとの隙間にエポキシなどの樹脂を注入し、光ファイバ2bとフェルール2cとを接着する。
【0071】
次に、フェルール2cにおいてリング状樹脂成形品2のリング部内側端面から突出した光ファイバ2bを所定の長さでクリーブする。さらに、光ファイバ2bの接着されたフェルール2cのリング部外側端面を研磨処理する。その他の組立方法や効果は実施の形態1と同様である。
【0072】
(実施の形態4)
次に、本発明の実施の形態4について説明する。本実施の形態4では、光コネクタ一体型モジュールパッケージにおいて、リング状樹脂成形品2を、光ファイバ2b付きフェルール2cのインサート成形品とすることを特徴とする。本実施の形態を示す図は実施の形態3を示す図5と同じである。
【0073】
本実施の形態4のリング状樹脂成形品2の組立方法を説明する。ジルコニアなどからなるフェルール2cの中心の貫通孔に光ファイバ2bを通し、該孔と光ファイバ2bとの隙間にエポキシなどの樹脂を注入し、光ファイバ2bとフェルール2cとを接着する。
【0074】
次に、フェルール2cの片側端面から突出した光ファイバ2bを所定の長さでクリーブし、フェルール2cの他方端面を研磨処理する。以上のようにして組立てられた光ファイバ付きフェルール2cをリング状樹脂成形品2の成形金型に載置し、金型を閉めて樹脂を金型キャビティ内に射出成形にて充填する。
【0075】
上記のように光ファイバ2bとフェルール2cとを予め接着しておき、該光ファイバ2b付きフェルール2cをインサート成形することにより、フェルール2cに光ファイバ2bを挿着する作業を別途行っておくことができ、効率的に光モジュールパッケージを製造することができる。
【0076】
なお、用いる金型は上下セパレート型の2面金型で可能である。また、使用する樹脂材料は実施の形態1と同じである。その他の組立方法や効果は実施の形態1と同じである。
【0077】
(実施の形態5)
次に、本発明の実施の形態5について説明する。本実施の形態5では、リング状樹脂成形品2に用いられるフェルール2cに、成形金型上での位置決め用手段を形成することを特徴とする。
【0078】
図6に、本実施の形態のリング状樹脂成形品2の一例の断面図を示す。図6に示すように、フェルール2cの一部に、フェルール2cの外径よりも一回り小さくした絞り部2c1を形成している。つまり、リング状樹脂成形品2のリング部内周側に位置するフェルール2cの外径を部分的に縮小し、フェルール2cの外周に溝部あるいは凹部を設けている。
【0079】
他方、リング状樹脂成形品2の成形金型にフェルール位置決め用の凸部を形成しておき、フェルール絞り部2c1を成形金型の凸部と合わせることにより、フェルール2cまたは光ファイバ付きフェルールの金型上への位置決めを容易にすることができる。
【0080】
フェルール2cの外径は一般に直径1.25mmまたは2.5mmのものが多く使われる。図6に示す態様では、フェルール2cの直径に対し、絞り部2c1の直径は約0.4mm小さく、絞り部の幅は約0.5mmである。
【0081】
成形金型上にフェルール2cまたは光ファイバ付きフェルールを上記の手法で位置決めし、金型を閉めて、樹脂を金型キャビティ内に充填することによりリング状樹脂成形品2を射出成形する。用いる金型は上下セパレート型の2面金型で可能である。使用する樹脂材料は実施の形態1と同じである。
【0082】
本実施の形態5によれば、フェルール2cに絞り部2c1などの位置決め手段を形成したことにより、成形金型に対して光軸方向の位置精度を高めることができるという効果が得られる。その他の組立方法や効果は実施の形態1と同様である。
【0083】
(実施の形態6)
次に、本発明の実施の形態6について説明する。本実施の形態6の光コネクタ一体型モジュールパッケージは、リードフレーム2dを備えたリング状樹脂成形品2を備える。
【0084】
本実施の形態のリング状樹脂成形品2は、フェルール2cまたは光ファイバ付きフェルールを予めリードフレーム2dに搭載し、フェルール2cを搭載したリードフレーム2dの一部分とフェルール2cとを成形金型内に設置した状態でインサート成形し、成形後リードフレーム2dの不要部とリング状樹脂成形品2本体を分離することにより作製することができる。
【0085】
図7に、本実施の形態のリング状樹脂成形品2の断面図を示す。図7に示すように、ジルコニアなどからなるフェルール2cをリードフレーム2dに予め接着剤により固定し、この状態でリング状樹脂成形品2のインサート成形を行う。こうすることにより、成形金型上で微小部品であるフェルール2cの整列をする必要がなくなり、より成形機の稼動率を向上させることができる。
【0086】
たとえば、フェルール2cを10個搭載できるようなリードフレーム2dを作製する。リードフレーム2は10個の同一パターンが連続して形成されており、各パターンにはフェルール搭載部を形成する。
【0087】
そして各フェルール搭載部に、フェルール2cを搭載および接着するのは成形機と別の整列機で行なう。フェルール2cを搭載したリードフレーム2dには、成形金型と位置合わせするための位置決め孔を形成し、成形金型上の位置決めピンと該位置決め孔とを位置合わせることによってリードフレーム2dを金型上に位置決めすることができ、同時に金型上のフェルール位置も決まる。
【0088】
1回の成形で多数枚のリードフレーム2dについて射出成形すれば、大量生産が可能になる。特に、本実施例のリング状樹脂成形品2の形状を達成するためには、成形金型は上下セパレート型で実現可能であるため有効である。使用する樹脂材料は実施の形態1と同様である。その他の組立方法や効果は実施の形態1と同様である。
【0089】
(実施の形態7)
次に、本発明の実施の形態7について説明する。本実施の形態7では、光コネクタ一体型モジュールパッケージにおいて、リング状樹脂成形品2と基板8または蓋9との接着を半硬化性接着シート10を用いて行なうことを特徴とする。
【0090】
図1に示すように、リング状樹脂成形品2と基板8、リング状樹脂成形品2と蓋9のそれぞれの接着に半硬化性接着シート10を使用している。半硬化性接着シート10は、ガラス繊維織布にエポキシ系などの樹脂を含浸させ、途中まで硬化を進めた(Bステージ化した)ものである。
【0091】
半硬化性樹脂シート10は簡単に金型で打抜くことができ、接着面の形状に合わせた形状にすることができる。本実施の形態7では、半硬化性樹脂シート10をリング状に打抜けばよい。打抜いた半硬化性接着シート10は被着体(この場合、リング状樹脂成形品2と基板8および/またはリング状樹脂成形品2と蓋9)の間に挟み、クランプしたままでキュアすることで被着体の接着が完了する。
【0092】
従来、液状樹脂にて簡易封止する方法があるが、この場合、接着剤を硬化させるためのキュア時にパッケージ内部の空気が膨張し接着部に気泡が溜まるなど気密性が確保できない問題があった。
【0093】
しかし、本実施の形態では、半硬化性接着シート10を用いているため、接着部に気泡が溜まることがなく、上記のような気密性不良の問題が発生しないという利点がある。また、液状樹脂では0.3mmほどの液だれが発生するが、半硬化性接着シート10は液状樹脂に比べて液だれが発生しないので、液だれ部を考慮したパッケージ面積設計をする必要がなくなり、よりパッケージの小型化が実現できる。その他の組立方法や効果は実施の形態1と同様である。
【0094】
(実施の形態8)
次に、本発明の実施の形態8について説明する。本実施の形態8では、実施の形態7の光コネクタ一体型光モジュールパッケージにおいて、半硬化性接着シート10を、予め基板8、リング状部品2および蓋9の少なくともいずれかに予備接着することを特徴とする。
【0095】
図8に、半硬化性接着シート10を予備接着したリング状樹脂成形品2の断面図を示す。図8は、予備接着の一例であり、半硬化性接着シート10は基板8または蓋9に予備接着されていてもよい。
【0096】
本実施の形態では、予め被着体のいずれかに半硬化性接着シート10を予備接着しているため、組立工程で柔軟性のある薄い半硬化性接着シート10を直接扱う必要がなく、作業性が向上するという利点がある。本実施の形態のように半硬化性接着シート10を予備接着した場合も、実施の形態7と同様の効果を得ることができる。
【0097】
(実施の形態9)
次に、本発明の実施の形態9について説明する。本実施の形態9では、光コネクタ一体型光モジュールパッケージにおいて、リング状樹脂成形品2と基板8および/または蓋9との接着を半硬化性接着シート10にて行ない、さらに液状樹脂にて半硬化性接着シート10の接着部をポッティング(封止)したことを特徴としている。
【0098】
図9に、本実施の形態における光モジュールパッケージの断面図を示す。図9に示すように、半硬化性接着シート10の接着部が液状樹脂ポッティングされている。つまり、半硬化性接着シート10の接着部を、ポッティングにより形成されたポッティング樹脂11で被覆している。
【0099】
液状樹脂ポッティングまでの工程は実施の形態7および実施の形態8と同様である。ポッティングする液状樹脂は、一般にエポキシ系熱硬化性樹脂で、溶剤、硬化剤、触媒、ベースレジン、充填剤などがブレンドされている。
【0100】
光コネクタ一体型光モジュールパッケージの実装は、一般にリフローによって行なわれるが、リフロー時にパッケージが高温に晒され、パッケージ内部の空気膨張で半硬化性接着シート10の接着部に剥離が発生することが考えられる。このような問題が発生すると、剥離部から水分が進入し、光モジュールの長期信頼性に影響を与える。パッケージが吸湿した場合には、吸湿水分の気化膨張が加わるため、上述の問題が発生しやすい。
【0101】
本実施の形態では、液状樹脂により半硬化性接着シート10による接着部をポッティングしているため、接着部が補強されリフローなどで接着部に多大な応力が発生しても、接着部の剥離が発生するようなことはない。こうすることで、より信頼性の高い光モジュールパッケージの封止構造が実現できる。その他の組立方法や効果は実施の形態1と同様である。
【0102】
(実施の形態10)
次に、本発明の実施の形態10について説明する。本実施の形態10では、光コネクタ一体型モジュールパッケージにおいて、リング状樹脂成形品2の少なくとも片側表面に一様の段差を形成し、リング状樹脂成形品2の最表面より1段内側で蓋9や基板8の接着を行うことを特徴としている。
【0103】
図10に本実施の形態における光モジュールパッケージの断面図、図11に、本実施の形態におけるリング状樹脂成形品2の斜視図を示す。
【0104】
本実施の形態のリング状樹脂成形品2では、図11に示すように、リング部に一様の段差部2eを形成している。射出成形金型に段差を形成することにより、樹脂成形品に段差が形成されるため、段差部2eを形成するために特に工程を追加する必要はない。ここでは、実施の形態2および実施の形態9の変形例として図示したが、実施の形態3から実施の形態8のすべての変形例としても本実施の形態の思想を適用可能である。段差部2eの深さは0.5mm以上であることが望ましい。
【0105】
このように段差部2eの形成により、図10に示すように、段差部2e上に半硬化性接着シート10を介して蓋9や基板8を載置し、この状態で蓋9や基板8をリング状樹脂成形品2に接着することができる。したがって、半硬化性接着シート10や蓋9等を容易に位置決めでき作業性が向上する。
【0106】
また、液状樹脂ポッティングによる半硬化性接着シート10の接着部の補強が、接着面積の増大により向上する。したがってリフローなどで接着部に多大な応力が発生しても、接着部の剥離をさらに効果的に阻止することができる。こうすることで、より信頼性の高い光モジュールパッケージの封止構造が実現できる。
その他の組立方法や効果は実施の形態1と同様である。
【0107】
(実施の形態11)
次に、本発明の実施の形態11について説明する。本実施の形態11では、光コネクタ一体型モジュールパッケージのリング状樹脂成形品2において、リング部よりも光コネクタ部2aの厚みは大きく、光コネクタ部2aは基板8の外部に位置することを特徴とする。
【0108】
図12に本実施の形態における光モジュールパッケージの断面図、図13に本実施の形態における光モジュールパッケージの側面図、図14に本実施の形態におけるリング状樹脂成形品2の斜視図を示す。
【0109】
これらの図に示すように、本実施の形態11のリング状樹脂成形品2は、リング部よりも光コネクタ部2aの厚みが大きく形成されている。そのため、光コネクタ部2aの表面(マザー基板への実装面側の表面)とリング部の表面(基板8側の表面)の間に段差2hが存在することとなる。
【0110】
射出成形金型形状を変更することにより、樹脂成形品の形状を変えることができるため、特に工程を追加する必要はない。ここでは、実施の形態2の変形例として図示したが、これ以外のすべての実施の形態に本実施の形態11の思想を適用可能である。
【0111】
一般に光コネクタ部の厚みは2.5mm以上と大きく、オプティカルベンチ1の厚みは約0.5mmと小さいため、実施の形態1のように平坦な基板8にオプティカルベンチ1を実装し、均一な厚さのリング状樹脂成形品2を使用した場合には、オプティカルベンチ1のV溝とリング状樹脂成形品2の光ファイバ2bの垂直位置(基板8におけるオプティカルベンチ1の実装面に対し垂直方向の位置)を調整するためにサブマウント7が必要となる。
【0112】
しかし、本実施の形態では、リング部の厚みを光コネクタ部2aの厚みよりも小さくし、光コネクタ部2aを基板8の外側に配置し、厚みの薄いリング部に基板8および蓋9を接着しているため、サブマウント7がなくてもオプティカルベンチ1のV溝とリング状樹脂成形品2の光ファイバ2bとの垂直方向の位置合わせをすることが可能となる。
【0113】
したがって、光コネクタ部2aに必要な厚みを確保しながら、サブマウント7を省略することができる。その結果、実施の形態2よりも約0.7mm以上薄い小型光モジュールパッケージを実現できる。その他の組立方法や効果は実施の形態1と同様である。
【0114】
(実施の形態12)
次に、本発明の実施の形態12について説明する。本実施の形態では、光コネクタ一体型光モジュールパッケージにおいて、リング状樹脂成形品2の光コネクタ部2aを基板8の外部に配置し、該光コネクタ部2aの下面に少なくとも1つの凸部を形成することを特徴とする。そして、該凸部の先端垂直位置はモジュールパッケージの端子最下面とほぼ同位置とする。
【0115】
図15に、本実施の形態における光モジュールパッケージの側面図を示す。本実施の形態のリング状樹脂成形品2には、光コネクタ部2aの下面に、ボス(凸部あるいは柱状部)2fを形成している。そして、図15に示すように、ボス2fを下方(外部電極12側)に延在させ、ボス2fの先端垂直位置を光モジュールパッケージの外部電極(端子)12の最下面とほぼ同位置としている。
【0116】
射出成形金型形状を変更することにより、ボス2fを形成することができるため、特に工程を追加する必要はない。つまり、ボス2fもリング状樹脂成形品2の射出成形時に同時に形成される。ここでは、実施の形態2の変形例として図示したが、本実施の形態の思想を他のすべての実施の形態に適用可能である。
【0117】
図1のような光コネクタ一体型光モジュールパッケージで、モジュール本体部のサイズが小さい場合、光コネクタ部2aの重量が大きいので、光モジュールパッケージを平坦な面に載置したときの重量バランスが悪くなり、光モジュールパッケージが傾いてしまう。このような光モジュールパッケージをマザー基板へ実装すれば、外部電極12のはんだ付け不良が発生し得る。
【0118】
しかし、本実施の形態におけるリング状樹脂成形品2では、光コネクタ部2aの下面にボス2fを形成し、ボス2fの先端垂直位置をモジュールパッケージの外部電極12の最下面とほぼ同位置としたので、ボス2fが光モジュールパッケージの傾きを防止する支柱として機能する。よって、光モジュールパッケージがマザー基板への実装時に傾くなどしてはんだ付け不良が発生するようなことはない。その他の組立方法や効果は実施の形態1と同様である。
【0119】
(実施の形態13)
次に、本発明の実施の形態13について説明する。本実施の形態では、光コネクタ一体型モジュールパッケージにおいて、リング状樹脂成形品2の光コネクタ部2aを基板8の外部に配置し、該光コネクタ部2aの下面に少なくとも1つの凸部を形成し、該凸部の先端垂直位置をモジュールパッケージの端子最下面よりも低くすることを特徴とする。
【0120】
図16に、本実施の形態における光モジュールパッケージの側面図を示す。図16に示すように、本実施の形態のリング状樹脂成形品2は、光コネクタ部2aの下面に段付きボス2gを有している。そして、ボス2gの先端垂直位置をモジュールパッケージの外部電極12の最下面よりも下方に配置する。
【0121】
射出成形金型形状を変更することにより、ボス2gを形成することができるため、特に工程を追加する必要はない。つまり、ボス2gもリング状樹脂成形品2の射出成形時に同時に形成される。ここでは、実施の形態2および実施の形態12の変形例として図示したが、これら以外のすべての実施の形態にも本実施の形態の思想を適用可能である。
【0122】
光コネクタ一体型モジュールパッケージでは、マザー基板への実装後、光コネクタ部2aへファイバプラグの脱着が繰返される。その際に、光モジュールに係る脱着力は約15N(約1.5kgf)である。
【0123】
図1または図15のような光コネクタ一体型光モジュールパッケージでは、ファイバプラグの脱着力をすべて外部電極12のマザー基板への接続部(はんだ接続部)で受けることとなる。その場合、はんだ付け部に大きな応力がかかり、はんだ接続部にクラックが発生したり、剥がれるなどの致命的な問題が発生する場合がある。
【0124】
しかし、本実施の形態では、光コネクタ部の下面にボス2gを形成し、このボス2gの先端垂直位置をモジュールパッケージの外部電極12の最下面よりも低くするので、たとえばマザー基板におけるボス2g対応位置に貫通孔を形成しておけば、ボス2gは該貫通孔に挿入されて固定されるため、ファイバプラグ脱着力をボス2gの挿入固定部で吸収することができる。
【0125】
また、図16のように、ボス2gの太さを光モジュールの外部電極12の最下面近傍で細く絞って段付き形状とし、マザー基板のボス2g挿入孔径をボス2gの太い部分と細い部分との中間の値とする。それにより、光モジュールパッケージの実装時に重量バランスが悪く傾いてしまうようなこともない。
【0126】
本実施の形態では、光コネクタ部2aの下面にボス2gを形成し、ボス2gの先端垂直位置を光モジュールの外部電極12の最下面よりも低くしたので、マザー基板のボス2g対応位置に貫通孔を形成しておけば、ファイバプラグの脱着力によってはんだ付け部に応力がかかり、はんだ接続部にクラックが発生したり、剥がれるなどの問題が発生することはない。その他の組立方法や効果は実施の形態1と同様である。
【0127】
(実施の形態14)
次に、本発明の実施の形態14について説明する。本実施の形態では、光コネクタ一体型モジュールパッケージにおいて、基板8に実装されたオプティカルベンチ1のファイバ位置決め用V溝の高さ(基板8におけるリング状樹脂成形品2の実装面からの高さ)を、リング状樹脂成形品2の光ファイバ垂直位置(基板8におけるリング状樹脂成形品2の実装面に対し垂直方向の位置)よりも低く設定し、光ファイバ2bを上から押えることによりオプティカルベンチ1のV溝に位置決めしたことを特徴とする。
【0128】
図17に、リング状樹脂成形品2を実装した半製品段階のモジュールパッケージの断面図を示す。図17に示すように、光ファイバ2bの基板8からの垂直位置はオプティカルベンチ1のV溝の基板8からの垂直位置よりも高くなっている。高さギャップは0.1から0.3mm程度が望ましい。
【0129】
実施の形態1から13のような光モジュールでは、リング状樹脂成形品2の光ファイバ2bとオプティカルベンチ1のV溝との位置合わせは、リング状樹脂成形品2の接着精度によって決定される。光ファイバ2bがオプティカルベンチ1に接触するような状態では、光ファイバ2bをV溝へ収めるために押え込むことができず、無理に押え込んだ場合、光ファイバ2bが破損する場合がある。
【0130】
しかし本実施の形態では、オプティカルベンチ1よりも若干高い位置にある光ファイバ2bの先端部をV溝へ押え付けて接着固定することができるので、少なくとも光ファイバ2b先端部をV溝へ収めることが可能であり、多少光軸方向の距離が大きくなっても光学特性の劣化を小さく抑えることができる。
【0131】
ここでは、実施の形態2の変形例として図示したが、本実施の形態の思想を他のすべての実施の形態に適用可能である。その他の組立方法や効果は実施の形態1と同様である。
【0132】
(実施の形態15)
次に、本発明の実施の形態15について説明する。本実施の形態では、光コネクタ一体型光モジュールパッケージにおいて、リング状樹脂成形品2に備えられた光ファイバ2bを上下金型の合わせ面2jに平行に延在させ、リンク状樹脂成形品2のリング部における基板8側の接着面と上下金型の合わせ面2j間の厚みを、光コネクタ側よりも反光コネクタ側(光コネクタ側と反対側であって光コネクタ部2aから離れた側)で薄くしたことを特徴とする。
【0133】
図18に、本実施の形態における光モジュールパッケージの断面図、図19に本実施の形態におけるリング状樹脂成形品2の斜視図を示す。
【0134】
図19に示すように、リンク状樹脂成形品2の底面(組み立て後に基板8側に位置する表面)に傾斜面を設けてリング部をテーパ形状とし、傾斜2iを設けている。該傾斜面は、光コネクタ部2aから離れるにつれて上下金型の合わせ面2jに近づく方向に傾斜し、それにより光コネクタ部2aから離れた側のリング部の厚みが、光コネクタ部2aに近い側のリング部の厚みよりも小さくなっている。
【0135】
上記の構造のリンク状樹脂成形品2を基板8上に接着すると、図18に示すように、光ファイバ2bは、上記の傾斜面の傾斜の程度に応じて光コネクタ部2aから斜め下方にオプティカルベンチ1のV溝に向かって延び、オプティカルベンチ1と接続される。
【0136】
なお、射出成形金型形状を変更することにより、本実施の形態のようなリング状樹脂成形品2の形状にすることができるため、特に工程を追加する必要はない。また、ここでは実施の形態2の変形例として図示したが、本実施の形態の思想を他のすべての実施の形態に適用可能である。
【0137】
実施の形態1から13のような光モジュールでは、リング状樹脂成形品2の光ファイバ2bとオプティカルベンチ1のV溝との位置合わせは、リング状樹脂成形品2の接着精度によって決定される。オプティカルベンチ1上に位置する光ファイバ2bがオプティカルベンチ1に接触するような状態では光ファイバ2bをV溝へ収めるために押え込むことができず、無理に押え込んだ場合、光ファイバ2bが破損するなどの問題があった。
【0138】
しかし本実施の形態では、リング状樹脂成形品2に備えられた光ファイバ2bを上下金型の合わせ面2jに平行に延在させ、リンク状樹脂成形品2の基板8側の接着面から上下金型の合わせ面2jに向かう方向のリング部の厚みを、光コネクタ側より反光コネクタ側で薄くしているため、リング状樹脂成形品2の下面基準で光ファイバ2b先端を下向きに傾けることができる。そのため、光ファイバ2b先端をオプティカルベンチ1のV溝に収めるように位置合わせすることが容易である。
【0139】
このように位置合わせした状態で、リング状樹脂成形品2と基板8との接着を行なう。その際、光ファイバ2b先端がファイバ自身の弾性力でオプティカルベンチ1のV溝に押え付けられるため、光ファイバ2b全体が撓んだ状態になっている。この状態のままでもよいし、さらに光ファイバ2b先端部のみ透光性のある樹脂にて接着してもよい。
【0140】
以上のような構成をとることで、光ファイバ2b先端部を容易にオプティカルベンチ1のV溝へ収めることができ、多少光軸方向の距離が大きくなっても光学特性の劣化は小さく抑えることができる。その他の組立方法や効果は実施の形態1と同様である。
【0141】
以上のように本発明の実施の形態について説明を行なったが、各実施の形態の特徴を適宜組み合わせることも可能である。また、今回開示した実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【0142】
【発明の効果】
本発明によれば、リング状樹脂成形品を採用しているので、光モジュールパッケージの構成部品点数を削減することができるのみならずパッケージの気密性をも確保することができる。それにより、光モジュールパッケージの低コスト化を図りながらその信頼性をも向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1における光モジュールパッケージの断面図である。
【図2】図1に示す光モジュールパッケージの側面図である。
【図3】図1に示す光モジュールパッケージに使用されるリング状樹脂成形品の平面図である。
【図4】図1に示す光モジュールパッケージに使用されるリング状樹脂成形品の斜視図である。
【図5】本発明の実施の形態3における光モジュールパッケージに使用されるリング状樹脂成形品の断面図である。
【図6】本発明の実施の形態5における光モジュールパッケージに使用されるリング状樹脂成形品の断面図である。
【図7】本発明の実施の形態6における光モジュールパッケージに使用されるリング状樹脂成形品の断面図である。
【図8】本発明の実施の形態8における光モジュールパッケージに使用されるリング状樹脂成形品の断面図である。
【図9】本発明の実施の形態9における光モジュールパッケージの断面図である。
【図10】本発明の実施の形態10における光モジュールパッケージの断面図である。
【図11】本発明の実施の形態10における光モジュールパッケージに使用されるリング状樹脂成形品の斜視図である。
【図12】本発明の実施の形態11における光モジュールパッケージの断面図である。
【図13】本発明の実施の形態11における光モジュールパッケージの側面図である。
【図14】本発明の実施の形態11における光モジュールパッケージに使用されるリング状樹脂成形品の斜視図である。
【図15】本発明の実施の形態12における光モジュールパッケージの側面図である。
【図16】本発明の実施の形態13における光モジュールパッケージの側面図である。
【図17】本発明の実施の形態14における光モジュールパッケージの組立て途中における断面図である。
【図18】本発明の実施の形態15における光モジュールパッケージの断面図である。
【図19】本発明の実施の形態15における光モジュールパッケージに使用されるリング状樹脂成形品の斜視図である。
【図20】従来の光モジュールパッケージの断面図である。
【符号の説明】
1 オプティカルベンチ、2 リング状樹脂成形品、2a 光コネクタ部、2a1 フェルール部、2b 光ファイバ、2c フェルール、2c1 絞り部、2d リードフレーム、2e 段差部、2f,2g ボス、2h 段差、2i 傾斜、2j 金型合わせ面、3 LD、4 モニタPD、5 モニタPDキャリア、6 金線、7 サブマウント、8 基板、9 蓋、10 半硬化性接着シート、11 ポッティング樹脂、12 外部電極、13 パッケージ、14 光コネクタ部品、15 接着剤。
Claims (11)
- オプティカルベンチと、
前記オプティカルベンチ上に実装された光学部品と、
前記オプティカルベンチが実装された基板と、
前記オプティカルベンチ上に延在する光ファイバと、
前記基板上に前記オプティカルベンチを取り囲むように設置され、パッケージの側壁を形成し、光コネクタ部を有するリング状樹脂成形品と、
前記リング状樹脂成形品の開口を閉じる蓋と、
前記リング状樹脂成形品に突設され前記光ファイバが挿通されるフェルール部を備え、
前記フェルール部を、前記リング状樹脂成形品と同一の材質により構成し、前記リング状樹脂成形品と一体成形することを特徴とする、光モジュールパッケージ。 - オプティカルベンチと、
前記オプティカルベンチ上に実装された光学部品と、
前記オプティカルベンチが実装された基板と、
前記オプティカルベンチ上に延在する光ファイバと、
前記基板上に前記オプティカルベンチを取り囲むように設置され、パッケージの側壁を形成し、光コネクタ部を有するリング状樹脂成形品と、
前記リング状樹脂成形品の開口を閉じる蓋と、
前記リング状樹脂成形品に突設され前記光ファイバが挿通されるフェルール部とを備え、
前記フェルール部を前記リング状樹脂成形品と別部品により構成し、
インサート成形により前記フェルール部を前記リング状樹脂成形品と一体化することを特徴とする、光モジュールパッケージ。 - 前記フェルール部は、外周に、前記リング状樹脂成形品の成形用金型内で前記フェルール部を位置決めするための凹部を有する、請求項1または請求項2に記載の光モジュールパッケージ。
- 前記リング状樹脂成形品は、インサート成型時に前記フェルール部を位置決め固定するためのリードフレーム部を備える、請求項2に記載の光モジュールパッケージ。
- 前記リング状樹脂成形品と、前記蓋および前記基板の少なくとも一方とを接着する半硬化性接着シートと、前記半硬化性接着シートによる接着部を、熱硬化性樹脂でコーティングした、請求項1から請求項4のいずれかに記載の光モジュールパッケージ。
- 前記光コネクタ部の下面に、前記光モジュールパッケージが実装後に傾くのを防止するための凸部を設け、前記光コネクタ部を前記基板よりも外側に配置した、請求項1から請求項5のいずれかに記載の光モジュールパッケージ。
- 前記凸部を、前記光モジュールパッケージの実装側の最下面近傍にまで延在させる、請求項6に記載の光モジュールパッケージ。
- 前記オプティカルベンチは、前記光ファイバの位置決め用の溝部を有し、
前記基板からの前記溝部の高さを、前記基板からの前記光ファイバの高さよりも低くし、
前記光ファイバを前記溝部に対し押えつけることにより、前記光ファイバを前記溝部に位置決めした、請求項1から請求項7のいずれかに記載の光モジュールパッケージ。 - オプティカルベンチ上に光学部品を実装する工程と、
前記オプティカルベンチを基板上に実装する工程と、
光コネクタ部を有するリング状樹脂成形品を形成する工程と、
前記基板上に前記オプティカルベンチを取り囲むように前記リング状樹脂成形品を設置することによりパッケージの側壁を形成する工程と、
前記オプティカルベンチを覆うように前記リング状樹脂成形品に蓋を取付ける工程とを備え、
前記リング状樹脂成形品はフェルールを有し、
前記リング状樹脂成形品を形成する工程は、インサート成形により前記リング状樹脂成形品を成形するとともに前記フェルールを前記リング状樹脂成形品に固定する工程を含む、光モジュールパッケージの製造方法。 - 前記フェルールに光ファイバを取付けた状態で前記インサート成形を行う、請求項9に記載の光モジュールパッケージの製造方法。
- 前記フェルールをインサート成型時に位置決め固定するためのリードフレームに搭載した状態で前記インサート成形を行う、請求項9または請求項10に記載の光モジュールパッケージの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001166088A JP4583662B2 (ja) | 2001-06-01 | 2001-06-01 | 光モジュールパッケージおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001166088A JP4583662B2 (ja) | 2001-06-01 | 2001-06-01 | 光モジュールパッケージおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002357743A JP2002357743A (ja) | 2002-12-13 |
JP4583662B2 true JP4583662B2 (ja) | 2010-11-17 |
Family
ID=19008674
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001166088A Expired - Fee Related JP4583662B2 (ja) | 2001-06-01 | 2001-06-01 | 光モジュールパッケージおよびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4583662B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1517166B1 (en) | 2003-09-15 | 2015-10-21 | Nuvotronics, LLC | Device package and methods for the fabrication and testing thereof |
KR100985362B1 (ko) | 2008-04-16 | 2010-10-04 | 엘에스전선 주식회사 | 일체형 광모듈 패키지 및 그 제조방법 |
JP5124614B2 (ja) * | 2010-04-14 | 2013-01-23 | アンリツ株式会社 | 光素子パッケージおよび製造方法 |
CN103597391A (zh) * | 2011-06-27 | 2014-02-19 | 株式会社村田制作所 | 插头 |
JP2013140259A (ja) | 2012-01-05 | 2013-07-18 | Ntt Electornics Corp | 平板配置用受光パッケージ、光モジュール及び平板配置用受光パッケージの製造方法 |
US10319654B1 (en) | 2017-12-01 | 2019-06-11 | Cubic Corporation | Integrated chip scale packages |
CN115836238A (zh) * | 2020-06-12 | 2023-03-21 | 住友电工光电子器件创新株式会社 | 光装置、基座以及基座的制造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000294835A (ja) * | 1999-04-02 | 2000-10-20 | Nec Corp | 光半導体モジュール及びその製造方法 |
JP2001108870A (ja) * | 1999-10-06 | 2001-04-20 | Mitsubishi Electric Corp | 光デバイス及びその製造方法 |
JP2001116958A (ja) * | 1999-10-14 | 2001-04-27 | Hitachi Ltd | 光モジュール、光モジュールの実装体および光モジュールの実装方法 |
-
2001
- 2001-06-01 JP JP2001166088A patent/JP4583662B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000294835A (ja) * | 1999-04-02 | 2000-10-20 | Nec Corp | 光半導体モジュール及びその製造方法 |
JP2001108870A (ja) * | 1999-10-06 | 2001-04-20 | Mitsubishi Electric Corp | 光デバイス及びその製造方法 |
JP2001116958A (ja) * | 1999-10-14 | 2001-04-27 | Hitachi Ltd | 光モジュール、光モジュールの実装体および光モジュールの実装方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002357743A (ja) | 2002-12-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6668125B2 (en) | Lead frame, optical module, and a method of optical module | |
US6483652B2 (en) | Method for producing solid-state imaging device | |
KR100548093B1 (ko) | 반도체 장치의 제조 방법 | |
KR0152901B1 (ko) | 플라스틱 반도체 패키지 및 그 제조방법 | |
JP5373934B2 (ja) | Ledパッケージ組立体 | |
KR100457380B1 (ko) | 광마우스용 칩 온 보드 리드 패키지 및 그에 사용되는렌즈커버 | |
EP1271640A2 (en) | Mold for manufacturing semiconductor device | |
US20080083964A1 (en) | Semiconductor image sensor die and production method thereof, semiconductor image sensor module, image sensor device, optical device element, and optical device module | |
US20030173500A1 (en) | Semiconductor device module | |
US7420754B2 (en) | Optical module and method for manufacturing the same | |
US8077248B2 (en) | Optical device and production method thereof | |
WO1997005660A1 (en) | Solid-state image pickup device and its manufacture | |
US7389026B2 (en) | Method for manufacturing optical module | |
CN100433339C (zh) | 固体摄像器件及其制造方法 | |
KR19990013833A (ko) | 반도체장치 및 그의 제조방법 | |
JPH07151932A (ja) | 光電子インターフェース・モジュールとその作成方法 | |
KR101611893B1 (ko) | 반도체 광 장치 | |
US7807510B2 (en) | Method of manufacturing chip integrated substrate | |
JP4583662B2 (ja) | 光モジュールパッケージおよびその製造方法 | |
JP3881074B2 (ja) | 半導体レーザモジュール | |
JP3127584B2 (ja) | 樹脂製中空パッケージを用いた半導体装置 | |
JPH1168254A (ja) | 光モジュール及び光モジュールの製造方法 | |
JPH10200155A (ja) | 光モジュール | |
JP2006100312A (ja) | 光半導体装置および測距モジュール | |
JP2003227969A (ja) | 光モジュールおよびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080402 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100315 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100330 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100524 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100615 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100804 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100824 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100901 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130910 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |