JP4477392B2 - Exposure apparatus and light amount correction method for exposure apparatus - Google Patents
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Description
本発明は、複数の発光画素からなる発光画素列によって画像を出力する露光装置に関し、特に、発光画素間の光量のバラツキを補正する補正手段を備えた露光装置とその光量補正方法に関するものである。 The present invention relates to an exposure apparatus that outputs an image using a light-emitting pixel array composed of a plurality of light-emitting pixels, and more particularly to an exposure apparatus including a correction unit that corrects variations in the amount of light between the light-emitting pixels and a light amount correction method thereof. .
従来、複数の発光画素を有する露光ヘッドを用いて、カラー感光材等に光露光を行い、カラー画像を形成する光プリンタが知られている。このような露光ヘッドでは複数の発光画素を有するため、様々な要因によって各発光画素による光量のバラツキが発生し、良好な画像を得ることが出来ないと言う不都合がある。このため、各発光画素の光量のバラツキを測定してシェーディング補正(光量補正)を行うことが提案されている(例えば特許文献1参照)。以下、従来の光プリンタヘッドを図面に基づいて説明する。 2. Description of the Related Art Conventionally, an optical printer that forms a color image by performing light exposure on a color photosensitive material or the like using an exposure head having a plurality of light emitting pixels is known. Since such an exposure head has a plurality of light emitting pixels, there is a disadvantage that a variation in the amount of light by each light emitting pixel occurs due to various factors and a good image cannot be obtained. For this reason, it has been proposed to perform shading correction (light amount correction) by measuring variations in the light amount of each light emitting pixel (see, for example, Patent Document 1). A conventional optical printer head will be described below with reference to the drawings.
図7は従来の蛍光発光管を用いた光プリンタヘッドの発光画素配列と、該発光画素列から出力される光量特性図、及び従来のシェーディング補正を行った結果の光量特性図である。図7に於いて、1は蛍光発光管を用いた光プリンタヘッドであり、2と3は、第1及び第2の発光画素列である。該発光画素列2、3は略正方形の複数の発光画素2a〜2cと3a〜3cによって構成され、図示するように千鳥状に配列されている。尚、発光画素列2、3の合計発光画素数は、実際には数百又はそれ以上の画素数によって構成されるが、ここでは説明の都合上少ない画素数で現している。また、蛍光発光管は陽極基板、陰極、蛍光体層等を有しているが、ここでは省略している。
FIG. 7 is a light emission pixel array of an optical printer head using a conventional fluorescent light emitting tube, a light amount characteristic diagram output from the light emission pixel column, and a light amount characteristic diagram as a result of performing a conventional shading correction. In FIG. 7, 1 is an optical printer head using a fluorescent light emitting tube, and 2 and 3 are first and second light emitting pixel columns. The light
4は前記発光画素列2、3から出力される光量のバラツキを表す光量グラフであり、発光画素2a〜2c、3a〜3cから出力される光量のバラツキの一例を示している。ここで、光量グラフ4は様々な要因によって図示する如く発光画素毎にバラツキがあるが、特に光プリンタヘッド1の両端付近の光量が中央付近の光量と比較してかなり低下していることが理解出来る。この主な原因は、図示しないが蛍光発光管の内部にあるフィラメント状の陰極の両端が金具に溶接されて固定されていることにより、その陰極の熱が金具に奪われるために陰極の両端付近の温度が低下し、電子放出に十分な温度にならないことに起因している。
4 is a light amount graph showing variations in the amount of light output from the light
ここで、上記のような光量のバラツキを有する光プリンタヘッドを用いて、カラー感光材としての銀塩インスタントフィルム等に画像を露光すると、画像に濃度のムラが生じ均一な画像を得ることが出来ない。このため、各発光画素の光量のバラツキを測定してシェーディング補正することが必要となる。具体的には全ての発光画素を同条件で点灯してその発光出力を計測し、該計測された光量に基づいてすべての発光画素の光量が一定になるように各発光画素に対する補正情報を算出し、該補正情報に基づいて各発光画素の光量を例えば点灯時間を制御するなどによって調整する。 Here, when an image is exposed to a silver salt instant film or the like as a color photosensitive material using the above-described optical printer head having a variation in the amount of light, a uniform image can be obtained due to uneven density in the image. Absent. For this reason, it is necessary to measure shading correction by measuring the variation in the amount of light of each light emitting pixel. Specifically, all the light-emitting pixels are turned on under the same conditions, the light output is measured, and correction information for each light-emitting pixel is calculated based on the measured light amount so that the light amounts of all the light-emitting pixels are constant. Based on the correction information, the light quantity of each light emitting pixel is adjusted by controlling the lighting time, for example.
この光量補正方法によれば、発光画素2a〜2c、3a〜3cの中で最も光量の低い発光画素の光量に合わせて補正されることになり、すなわち、光量グラフ4の中で最も光量の低いグラフ左端の光量4aの光量レベルAに合わせることになる。ここで、光量の低い発光画素に合わせて補正する理由は、光量の高い発光画素に合わせて補正するには、光量の低い発光画素の点灯時間を長くすることや蛍光発光管への高い印加電圧の供給等が必要となり、露光時間(即ち印刷時間)の増加や露光エネルギーの増加等が起きて好ましくないからである。 According to this light amount correction method, the light amount is corrected in accordance with the light amount of the light emitting pixel having the lowest light amount among the light emitting pixels 2a to 2c and 3a to 3c. The light amount is set to the light amount level A of the light amount 4a at the left end of the graph. Here, the reason for correcting for light emitting pixels with low light intensity is to increase the lighting time of the light emitting pixels with low light intensity or to apply high voltage to the fluorescent tube to correct for light emitting pixels with high light intensity. This is because it is not preferable because an increase in exposure time (that is, printing time) and an increase in exposure energy occur.
しかし、光量の最も低い発光画素に合わせて補正しようとすると、光プリンタヘッド1の両端付近は、前述した如く光量がかなり低下しており、この両端付近の低い光量レベルに合わせて全体の光量補正を行うと、光量のバラツキは改善されても露光に必要な光量が得られずに、印刷された画像全体が暗くなる傾向にあり良好な画像を得ることが出来ない問題が発生する。また、画像の暗さを改善するために蛍光発光管への印加電圧を上昇させると、結果として、光量補正を行うことによって露光エネルギーを必要以上にロスするという問題も生じる。
However, if correction is made in accordance with the light emitting pixel having the lowest light amount, the light amount is considerably reduced near both ends of the
このため、上記問題の改善策として特許文献1では、光量が低下する発光画素列2、3の両端付近の所定数の画素(すなわち発光画素2a、2b、3a、3b)を無効領域とし、無効領域以外の発光画素(すなわち発光画素2c、3c)を有効領域とし、該有効領域である発光画素2c、3cについて同条件点灯時の光量を計測し、該計測された光量に基づいて有効領域内の発光画素の光量が一定になるように発光画素2c、3cに対する補正情報を算出する。そして、該補正情報に基づいて発光画素2c、3cの光量を点灯時間で制御するなどによって補正し、また、無効領域の発光画素2a、2b、3a、3bについては光量補正を行わないという補正方法を提案している。この光量補正方法によれば、有効領域内で最も低い光量である光量4bを基準として露光補正されるので、その基準レベルは光量レベルBとなる。ここで、前述した光量4aを基準とした光量レベルAと光量4bを基準とした光量レベルBでは、図示する如く明らかに光量レベルBの光量の方が高いので、光量補正を行っても印刷された画像が暗くなることが少なく、また、露光エネルギーのロスも小さい。
For this reason, in
また、図示しないがライン状の画素列を有する液晶シャッタ(以下LCSと略す)と、RGBの発光ダイオード(以下LEDと略す)をライン光源として、カラー感光材に画像を露光し記憶する光プリンタヘッドも提案されている。そして、該LCSによる光プリンタヘッドに於いても、様々な要因によって各画素毎に光量のバラツキがあり、特に、画素列両端付近の光変調特性が変化する等により、画像を露光した感光材に濃度ムラが発生する問題がある。 Although not shown, an optical printer head that exposes and stores an image on a color photosensitive material using a liquid crystal shutter (hereinafter abbreviated as LCS) having a line-like pixel row and a RGB light emitting diode (hereinafter abbreviated as LED) as a line light source. Has also been proposed. Even in the optical printer head using the LCS, there is a variation in the amount of light for each pixel due to various factors. There is a problem that uneven density occurs.
ここで、光変調特性の変化はLCSの構造上、画素列両端付近はLCSの構成部材の1つであるシール材に位置的に近く、該シール材の不純物や未硬化樹脂などがLCSの配向膜や液晶材料に悪影響を及ぼし、この結果、LCSの画素列中央付近の応答特性に対して画素列両端付近の応答特性が変化してしまうことが主たる要因と考えられる。すなわち、図8はLCSに於ける応答特性図であり、横軸は駆動階調、縦軸は応答積分光量を示す。図8に於いて、TaはLCSの中央部分を含むほぼ全体の画素の応答特性であり、TbはLCSの画素列両端付近の画素の応答特性である。前記応答特性Tbは応答特性Taに比べて、前述したシール材の影響によって応答特性が悪くなるために、同じ階調信号に対して応答積分信号が減少し、結果としてシェーディング補正を行う場合に、この画素列両端付近の画素からは、正しい補正基準値が得られない。従って、LCSによる光プリンターヘッドに於いても、画素列両端付近の画素を除外した有効領域の画素(応答特性Taの画素)に基づくシェーディング補正が必要である。 Here, the change in the light modulation characteristics is due to the structure of the LCS, and the vicinity of both ends of the pixel column is close to the sealing material which is one of the constituent members of the LCS, and impurities and uncured resin of the sealing material are aligned in the LCS. It is considered that the main factor is that the film and the liquid crystal material are adversely affected, and as a result, the response characteristics near both ends of the pixel column change with respect to the response characteristics near the center of the pixel column of LCS. That is, FIG. 8 is a response characteristic diagram in LCS, in which the horizontal axis indicates the drive gradation and the vertical axis indicates the response integrated light quantity. In FIG. 8, Ta is a response characteristic of almost the entire pixel including the central portion of the LCS, and Tb is a response characteristic of pixels near both ends of the pixel column of the LCS. The response characteristic Tb is worse than the response characteristic Ta due to the influence of the sealing material described above, so that the response integral signal decreases with respect to the same gradation signal, and as a result, when shading correction is performed, Correct correction reference values cannot be obtained from the pixels near both ends of the pixel column. Therefore, even in an optical printer head using LCS, shading correction based on pixels in an effective area (pixels with response characteristics Ta) excluding pixels near both ends of the pixel column is necessary.
しかしながら、上記の光プリンタヘッドの光量補正は、光量補正を行う有効領域内では光量が均一に補正されるが、無効領域に於いては光量補正が行われないために、特に有効領域と無効領域の境界付近で光量の変化が著しく発生し、印刷された画像の両端部に濃度のムラが生じて良好な画像を得ることが出来ない。すなわち、図7の5は有効領域を光量
4bに合わせて光量補正した結果としての光量グラフであるが、図示する如く、有効領域内の光量は光量レベルBに補正されて均一であるが、光量グラフ5の左右にある無効領域の光量は光量補正されていないために光量補正前の光量グラフ4と同じバラツキを有し、特に有効領域と無効領域の境界付近では光量の段差や大きな光量変化が生じ、濃度ムラがむしろ増加する傾向にさえある。
However, the light quantity correction of the optical printer head described above corrects the light quantity uniformly within the effective area where the light quantity correction is performed, but since the light quantity correction is not performed in the invalid area, the effective area and the invalid area are particularly important. In the vicinity of the boundary, the change in the amount of light remarkably occurs, and density unevenness occurs at both ends of the printed image, so that a good image cannot be obtained. That is, 5 in FIG. 7 is a light amount graph as a result of correcting the light amount by matching the effective region with the light amount 4b, but as shown in the drawing, the light amount in the effective region is corrected to the light amount level B and is uniform. The amount of light in the invalid area on the left and right of the
また、光量グラフ5は蛍光発光管を用いた光プリンタヘッドに於ける光量補正後のデータであるが、LCSを用いた光プリンタヘッドであっても同様な補正を行えば有効領域と無効領域の境界付近では光量の段差や大きな光量変化が生じるので濃度ムラの減少は期待出来ない。また、LCSの中央付近での応答特性と両端付近での応答特性の違いを補正する手段として、LCSの中央付近と両端付近での応答特性の差を調べ、該応答特性の差のデータから中央付近と両端付近の補正係数を変更してシェーディング補正する方法が考えられる。しかし、この補正方法では、LCSを用いた光プリンタヘッドの製造工程に於いて、個々のLCSの応答特性を中央付近と両端付近毎に測定し補正係数を算出して補正データを決定する必要があり、製造工程の中での測定工数や検査調整工数が増大し露光装置の大幅なコストアップとなるので得策ではない。
The
本発明の目的は上記課題を解決し、露光ヘッドの光量補正に於いて、露光する全領域の光量バラツキを光量補正し、光量バラツキによる濃度のムラを改善して良好な画像を得る露光装置とその光量補正方法を提供することである。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and in an exposure head light amount correction, to correct the light amount variation of the entire area to be exposed, to improve density unevenness due to the light amount variation, and to obtain an excellent image. It is to provide a light amount correction method.
上記課題を解決するために、本発明の露光装置とその光量補正方法は、下記記載の構成と方法を採用する。 In order to solve the above-mentioned problems, the exposure apparatus of the present invention and its light quantity correction method employ the following configurations and methods.
本発明の露光装置は、複数の発光画素からなる発光画素列に、画像データを供給して階調露光を行うと共に、前記発光画素列の発光出力を測定して得られた各発光画素毎の補正データにより各発光画素の光量を均一にするための光量補正を行う露光装置に於いて、前記発光画素列の両端から所定数の発光画素の領域を除外画素領域とし、それ以外の画素の領域を対象画素領域として、前記対象画素領域を構成する対象発光画素の発光出力に基づいて作成された補正データを用いて光量補正を行うと共に、前記除外画素領域を構成する除外発光画素には前記対象発光画素の特定の発光画素と同じ補正データを供給することを特徴とする。 The exposure apparatus of the present invention supplies gradation data by supplying image data to a light-emitting pixel column composed of a plurality of light-emitting pixels, and measures each light-emitting pixel obtained by measuring the light-emission output of the light-emitting pixel column. In an exposure apparatus that performs light amount correction to make the light amount of each light emitting pixel uniform according to correction data, a predetermined number of light emitting pixel regions from both ends of the light emitting pixel column are excluded pixel regions, and other pixel regions Is used as a target pixel region, and light amount correction is performed using correction data created based on the light emission output of the target light-emitting pixel that constitutes the target pixel region, and the exclusion light-emitting pixel that constitutes the exclusion pixel region includes the target The correction data that is the same as that of a specific light emitting pixel of the light emitting pixel is supplied.
本発明の露光装置により、除外画素領域に於いても対象画素領域の特定の発光画素の補正データで光量補正を行うので、除外画素領域を含めた全ての画素領域で光量補正を実現でき、濃度ムラが少なく見栄えの良い良好な画像を印刷出来る。 With the exposure apparatus of the present invention, even in the excluded pixel region, the light amount correction is performed with the correction data of the specific light emitting pixel in the target pixel region, so that the light amount correction can be realized in all the pixel regions including the excluded pixel region, and the density A good image with little unevenness and good appearance can be printed.
また、本発明の露光装置が前記除外発光画素に供給する補正データは、前記対象画素領域の両端の対象発光画素と同一の補正データであることを特徴とする。 The correction data supplied to the excluded light emission pixels by the exposure apparatus of the present invention is the same correction data as the target light emission pixels at both ends of the target pixel region.
これにより、除外画素領域は対象画素領域の両端の対象発光画素と同一の補正データで光量補正を行うので、除外画素領域と対象画素領域の連続性を維持しながら光量補正を実現でき、この結果、除外画素領域と対象画素領域の境界付近での濃度ムラが減少し、印刷周辺部を含めて見栄えの良い良好な画像を印刷出来る。 As a result, since the excluded pixel region performs light amount correction with the same correction data as the target light emitting pixels at both ends of the target pixel region, the light amount correction can be realized while maintaining the continuity between the excluded pixel region and the target pixel region. The density unevenness near the boundary between the excluded pixel area and the target pixel area is reduced, and a good-looking image including the print peripheral part can be printed.
本発明の露光装置の光量補正方法は、供給される画像データにより階調露光を行うための複数の発光画素からなる発光画素列を有し、前記発光画素列の発光出力を測定して得られた各発光画素毎の補正データにより各発光画素毎の光量を均一にするための光量補正を行う露光装置の光量補正方法に於いて、前記発光画素列の両端から所定数の発光画素の領
域を除外画素領域とし、それ以外の画素の領域を対象画素領域として、前記対象画素領域を構成する対象発光画素の発光出力に基づいて補正データを作成し、この補正データを用いて前記対象発光画素の光量補正を行うと共に、前記除外画素領域を構成する除外発光画素には前記対象発光画素の特定の発光画素と同じ補正データを供給することを特徴とする。
The light amount correction method of the exposure apparatus of the present invention is obtained by measuring a light emission output of the light emitting pixel row, having a light emitting pixel row composed of a plurality of light emitting pixels for performing gradation exposure using supplied image data. In the light amount correction method of the exposure apparatus for performing light amount correction for making the light amount of each light emitting pixel uniform by the correction data for each light emitting pixel, a predetermined number of light emitting pixel regions are defined from both ends of the light emitting pixel column. Correction data is created based on the light emission output of the target light-emitting pixel that constitutes the target pixel area, with the other pixel area as the target pixel area, and the correction data is used to determine the target light-emitting pixel. While performing light quantity correction, the same correction data as the specific light emission pixel of the said target light emission pixel is supplied to the exclusion light emission pixel which comprises the said exclusion pixel area | region.
本発明の露光装置の光量補正方法により、除外画素領域に於いても対象画素領域の特定の発光画素の補正データで光量補正を行うので、除外画素領域を含めた全ての画素領域で光量補正を実現でき、濃度ムラが少なく見栄えの良い良好な画像を印刷出来る。 With the light amount correction method of the exposure apparatus of the present invention, light amount correction is performed with correction data of a specific light emitting pixel in the target pixel region even in the excluded pixel region, so light amount correction is performed in all pixel regions including the excluded pixel region. It is possible to print a good image with good density and low density unevenness.
また、本発明の光量補正方法が前記除外発光画素に供給する補正データは、前記対象画素領域の両端の対象発光画素と同一の補正データであることを特徴とする。 The correction data supplied to the excluded light emission pixels by the light amount correction method of the present invention is the same correction data as the target light emission pixels at both ends of the target pixel region.
この光量補正方法により、除外画素領域は対象画素領域の両端の対象発光画素と同一の補正データで光量補正を行うので、除外画素領域と対象画素領域の連続性を維持しながら光量補正を実現でき、この結果、除外画素領域と対象画素領域の境界付近での濃度ムラが減少し、印刷周辺部を含めて見栄えの良い良好な画像を印刷出来る。 With this light quantity correction method, the excluded pixel area performs light quantity correction with the same correction data as the target light emitting pixels at both ends of the target pixel area, so light quantity correction can be realized while maintaining the continuity between the excluded pixel area and the target pixel area. As a result, density unevenness near the boundary between the excluded pixel region and the target pixel region is reduced, and a good-looking image including the print peripheral portion can be printed.
上記の如く本発明によれば、除外画素領域に於いても対象画素領域の特定の発光画素の補正データで光量補正を行うので、除外画素領域を含めた全ての画素領域で光量補正を実現でき、濃度ムラが少なく見栄えの良い良好な画像を印刷する露光装置を提供出来る。 As described above, according to the present invention, even in the excluded pixel region, the light amount correction is performed with the correction data of the specific light emitting pixel in the target pixel region, so that the light amount correction can be realized in all the pixel regions including the excluded pixel region. Therefore, it is possible to provide an exposure apparatus that prints a good image with little density unevenness and good appearance.
以下図面により本発明の実施の形態を詳述する。図1は本発明の露光装置の回路ブロック図である。図2は本発明の露光装置のLCSの画素配列と、該LCSの画素列から出力される光量特性図と、シェーディング補正を行った結果の光量特性図である。図3は本発明の露光装置にシェーディング補正を行うための光量測定を行う測定システムの構成を示すブロック図である。図4は本発明の露光装置のシェーディング補正を行うための光量測定のフローチャートである。図5は本発明の露光装置のシェーディング補正を行うための補正データを取得するフローチャートである。図6はシェーディング補正を行うための補正データの一例を示す補正データ表である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a circuit block diagram of an exposure apparatus of the present invention. FIG. 2 is an LCS pixel array of the exposure apparatus of the present invention, a light amount characteristic diagram output from the LCS pixel column, and a light amount characteristic diagram as a result of performing shading correction. FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of a measurement system that performs light quantity measurement for performing shading correction in the exposure apparatus of the present invention. FIG. 4 is a flowchart of light quantity measurement for performing shading correction of the exposure apparatus of the present invention. FIG. 5 is a flowchart for obtaining correction data for performing shading correction of the exposure apparatus of the present invention. FIG. 6 is a correction data table showing an example of correction data for performing shading correction.
本発明の露光装置の回路構成を図1に基づいて説明する。10は本発明の露光装置であり、露光ヘッド20と露光制御回路30によって構成される。露光ヘッド20の21はライン状の画素列(後述参照)を有するLCSであり、28は赤、緑、青の発光色を有する複数のLEDである。該LED28からの出力光は、図示しないが導光板によってライン状の光源となって前記LCS21の画素列に照射され、該画素列によって光変調された出力光は、レンズアレイ(図示せず)を介して銀塩インスタントフィルム(図示せず)等の感光材に露光される。
The circuit configuration of the exposure apparatus of the present invention will be described with reference to FIG. Reference numeral 10 denotes an exposure apparatus according to the present invention, which includes an
露光制御回路30は、外部のパーソナルコンピュータ(図示せず)等からの画像データP1を入力する入力インターフェース回路(以下入力I/Fと略す)31、前記画像データP1に対してシェーディング補正(光量補正)を行い補正画像データP2を生成するシェーディング補正回路32、シェーディング補正のための補正データP3を記憶する補正データ用メモリ33、画像データP1から露光タイミングデータP4を生成する露光補正回路34、補正画像データP2と露光タイミングデータP4を入力してLCS制御信号P5を生成するLCS制御回路35、LCS制御信号P5を生成するためのルックアップテーブル(以下LUTと略す)36、LCS制御信号P5に応じてLCS21の各画素を駆
動するLCS駆動信号P6を出力するLCS駆動回路37、LED駆動条件データP7を記憶するLED駆動条件メモリ38、露光タイミングデータP4とLED駆動条件データP7に応じてLED28を駆動するためのLED駆動信号P8を生成するLED点灯制御回路39、LCS駆動信号P6とLED駆動信号P8を露光ヘッド20のLCS21とLED28に出力する出力インターフェース回路(以下出力I/Fと略す)40を有している。尚、後述するシェーディング補正用の補正データP3とLED駆動条件データP7は、それぞれ補正データ用メモリ33とLED駆動条件メモリ38に予め記憶されているものとする。
The
次に、図2に基づいて本発明の露光装置10の露光ヘッド20のLCSの画素配列と、該LCSから出力される光量分布特性について説明する。図2に於いて21は前述した露光ヘッド20に内蔵されるLCSを簡易的に図示したものである。該LCS21は2枚のガラス基板22a、22bが僅かな隙間を介して張り合わされた構造であり、該ガラス基板22a、22bには透明電極(図示せず)が形成され、更にガラス基板22a、22bの隙間には液晶材料(図示せず)が封入されている。23は前記透明電極によって形成される発光画素列としてのライン状の画素列であり、該画素列23は発光画素としての略長方形の複数の画素24によって構成される。尚、画素24の形状は限定されず、例えば、所定の角度に傾いた略平行四辺形でも良く、また、前述の千鳥状の配列でも良い。
Next, the LCS pixel array of the
また、画素列23以外の部分はクロム材料等から成る遮光膜(図示せず)により被覆されているので、画素列23以外の部分は光を遮断し画素列23を形成する複数の画素24だけが光を透過する構造となっている。そして、該複数の画素24を透過する前記LED28からの出力光は、封入されている前記液晶材料がガラス基板22a、22b上に形成される透明電極に印加される駆動電圧に応じて透過又は遮断されるので、この結果、LCS21は前記LCS駆動信号P6に応じて透過光を光変調する光シャッターとしての機能を備える。尚、LCS21のガラス基板22a又は22b上には、透明電極に駆動電圧を印加する駆動ICが実装されることが一般的であるが、ここでは省略している。また、画素列23を形成する画素24の画素数は、本実施例に於いてはVGAサイズの画像を印刷するために480個であり、画素ピッチは100μmであるが、ここでは説明の都合上少ない画素数で示している。また、画素数や画素ピッチは露光装置の仕様に応じて任意に決定して良い。
Further, since the portion other than the pixel column 23 is covered with a light shielding film (not shown) made of a chromium material or the like, only the plurality of pixels 24 that block the light and form the pixel column 23 in the portion other than the pixel column 23. Has a structure that transmits light. Then, the output light from the LED 28 that passes through the plurality of pixels 24 is transmitted or blocked according to the driving voltage applied to the transparent electrodes formed on the glass substrates 22a and 22b by the encapsulated liquid crystal material. Therefore, as a result, the
25は前記LCS21の画素列23の全ての画素24を同一条件で駆動したときの画素24から出力される光量分布の一例を示す光量グラフである。該光量グラフ25によって明らかなように、各画素24から出力される光量にはバラツキがあり、この光量バラツキには様々な要因があって露光ヘッド毎に異なるものである。ここで、該光量グラフ25の左右両端付近は光量の低下と大きな光量変化が見られるが、この主な原因は、前述した如く、LED28によるライン光源の光量分布特性のバラツキや、LCS21の画素列23に対応して配置されるライン状に配列されたレンズアレイ(図示せず)の両端付近による光量低下、及び、画素列両端付近での応答特性の変化等と考えられる。尚、本発明のシェーディング補正の効果を分かり易く説明するために、従来例として示した光プリンタヘッドの光量バラツキ(光量グラフ4)と本発明の露光装置の光量バラツキ(光量グラフ25)を同一と仮定して提示した。
25 is a light amount graph showing an example of a light amount distribution output from the pixels 24 when all the pixels 24 of the pixel row 23 of the
本発明は、上記光量グラフ25に見られるような光量バラツキによって生じる感光材の濃度ムラを減少させ、特に画素列両端付近の濃度ムラを軽減させることを主要な目的としている。尚、26は本発明によってシェーディング補正(光量補正)を行い、光量バラツキを減少させた一例を示す光量グラフであるが詳細な説明は後述する。以下、シェーディング補正のための補正データを取得する測定システム、及び、実際のシェーディング補正方法について説明する。
The main object of the present invention is to reduce the density unevenness of the photosensitive material caused by the light quantity variation as seen in the light quantity graph 25, and particularly to reduce the density unevenness near both ends of the pixel column.
図3に基づいて本発明の露光装置でシェーディング補正を行うための補正データを取得する測定システムの構成を説明する。図3に於いて測定システムは、測定対象である前記露光装置10、測定装置50、制御用のパーソナルコンピュータ(以下PCと略す)80等によって構成される。露光装置10は図示しないがアタッチメントによって測定装置50に取り付けられており、信号ラインP10、P11によって露光装置10と測定装置50が電気的に接続される。また、測定装置50とPC80はバスラインP12によって接続されている。 A configuration of a measurement system that acquires correction data for performing shading correction by the exposure apparatus of the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 3, the measurement system includes the exposure apparatus 10, measurement apparatus 50, and control personal computer (hereinafter abbreviated as PC) 80, which are measurement objects. Although not shown, the exposure apparatus 10 is attached to the measurement apparatus 50 by an attachment, and the exposure apparatus 10 and the measurement apparatus 50 are electrically connected by signal lines P10 and P11. The measuring device 50 and the PC 80 are connected by a bus line P12.
測定装置50は、露光装置インターフェース回路(以下露光装置I/Fと略す)51、電流供給回路52、PCインターフェース回路(以下PC−I/Fと略す)53、駆動条件信号作成手段60、光量測定手段70を有している。駆動条件信号作成手段60は、測定装置50の全体を制御するCPU61、露光装置I/F51と信号ラインP10を介して露光装置10の前記LCS21を駆動制御するLCS駆動回路62、前記LED28の駆動条件データを記憶するためのLED駆動条件用メモリ63、露光ヘッド20に内蔵される前記LCS21を測定するための駆動条件データを記憶するLCS駆動条件用メモリ64、LCS21の各画素の照度F(N)(後述参照)を記憶する光量用メモリ65、LCS21の各画素の光量バラツキを補正するための補正データを記憶する補正データ用メモリ66を有している。
The measuring apparatus 50 includes an exposure apparatus interface circuit (hereinafter abbreviated as exposure apparatus I / F) 51, a current supply circuit 52, a PC interface circuit (hereinafter abbreviated as PC-I / F) 53, a drive condition signal creation means 60, and a light quantity measurement. Means 70 are provided. The drive condition signal creating means 60 includes a CPU 61 that controls the entire measurement apparatus 50, an LCS drive circuit 62 that drives and controls the
CPU61はPC−I/F53とバスラインP12を介してPC80と接続され、該PC80から測定開始タイミング、測定終了タイミング、及び露光ヘッド20の駆動条件等の制御データを入力し、該制御データによって露光ヘッド20及び測定装置50全体を制御し露光ヘッド20からの発光出力を測定する。また、電流供給回路52は、露光装置I/F51と信号ラインP11を介して露光ヘッド20に内蔵される前記LED28に駆動電流を供給し、且つ、供給する電流値を変化させることによってLED28の発光強度を制御する。
The CPU 61 is connected to the PC 80 via the PC-I /
光量測定手段70は、CCDラインセンサ71、該CCDラインセンサ71を制御するためのCCD制御回路72、CCDラインセンサ71が有する複数の受光素子の各々の受光量を検出するための受光量検出回路73、該受光量検出回路73の検出出力を積分して所定時間あたりの受光量データを得る積分回路74等を有している。尚、CCDラインセンサ71はライン状に配列された複数の受光素子(図示せず)を有し、その受光長さはLCS21の画素列23の長さより長く設定されており、一例としてその受光素子の総数は2048個であり、受光素子のピッチ幅は25μmである。また、測定装置50は、図示しないがCPU61の制御用プラグラムを記憶するROMや各種データを一時的に記憶するRAM等を含んでいる。
The light quantity measuring means 70 includes a CCD line sensor 71, a CCD control circuit 72 for controlling the CCD line sensor 71, and a received light amount detection circuit for detecting each received light amount of a plurality of light receiving elements of the CCD line sensor 71. 73, an integration circuit 74 for integrating the detection output of the received light amount detection circuit 73 to obtain received light amount data per predetermined time. The CCD line sensor 71 has a plurality of light receiving elements (not shown) arranged in a line, and the light receiving length is set to be longer than the length of the pixel row 23 of the
測定装置50及びPC80は、後述する測定手順に従って露光ヘッド20のLED28のLED駆動条件データ及びLCS21の補正データを求め、一時的にLED駆動条件用メモリ63及び補正データ用メモリ66に記憶する。PC80は記憶制御信号P13を出力し、測定装置50に一時的に記憶されたLED駆動条件データ及び補正データを露光装置10の露光制御回路30のLED駆動条件用メモリ38及び補正データ用メモリ33に転送して記憶させ、適正なLED駆動及びシェーディング補正を行うことが出来る露光装置10を製造する。
The measuring device 50 and the PC 80 obtain the LED drive condition data of the LED 28 of the
次に、図4に基づいて図3で示した測定システムによって実行されるLED28への印加電流値の決定とLCS21の各画素24からの発光出力の測定について説明する。まず、光量測定に際し、露光ヘッド20が測定装置50の所定の場所にセットされ、PC80から測定開始指示がバスラインP12を介して測定装置50のCPU61に伝達され測定
動作が開始される。
Next, the determination of the applied current value to the LED 28 and the measurement of the light emission output from each pixel 24 of the
図4に於いて測定装置50のCPU61は、予め定められている基準LED電流値を電流供給回路52を介して露光ヘッド20のLED28に供給しLED28は点灯する(ST1)。ここで、LED28は前述した如く、赤、緑、青の複数の発光色を有するLEDで構成され、各画素24の光量はそれぞれの発光色について測定されるので、例えば最初に赤のLED28に電流が供給され点灯する。また、CPU61はLCS駆動回路62を制御し、LCS21の全ての画素24を同一条件で駆動する。例えば、LCS21が8Bitの階調信号で駆動され階調範囲が0〜255であるならば、中間階調である128で全ての画素24を駆動すると良い。
In FIG. 4, the CPU 61 of the measuring apparatus 50 supplies a predetermined reference LED current value to the LED 28 of the
次に、CCDラインセンサ71はLCS21の画素列23からのライン状の発光出力を入力し受光信号を出力する。受光量検出回路73はCCDラインセンサ71からの受光信号を検出し、積分回路74は検出された受光信号を一定期間積分し、図示しないがA/D変換回路によってデジタル信号に変換後、受光素子毎の光量データE(X)としてCPU61に入力する(ST2)。尚、前述した如く、CCDラインセンサ71は2048個の受光素子を有しているので、2048個の光量データE(X)(Xは0〜2047)が取得される。
Next, the CCD line sensor 71 inputs a line-like light emission output from the pixel row 23 of the
ここで、前述した如く、LCS21の画素24の画素ピッチは100μmであり、CCDラインセンサ71の受光素子のピッチは25μmであるので、一つの画素24からの発光出力に対して4つの受光素子が受け持つことになる。また、LCS21の画素列23は図2で示すように、画素と画素の間に隙間(通常は25μm位)が存在するので、この部分は光が透過せず光量は低下する。よって、CCDラインセンサ71からの光量データE(X)は、画素24のピッチに準じて4つのデータ毎に光量値が低下するデータ(谷部)が存在する。
Here, as described above, since the pixel pitch of the pixels 24 of the
次に、CPU61は入力された光量データE(X)の光量最大値Emaxを求める(ST3)。次に、CPU61は光量最大値Emaxが予め定められている範囲に含まれるか否かを判定する。肯定判定であればフローST6へ進み、否定判定であればフローST5へ進む(ST4)。これは、光量最大値Emaxが大きすぎるとA/D変換回路の出力値が飽和している可能性があり、また、小さすぎると光量データE(X)が圧縮されて良好な測定結果を得ることが出来ないからである。尚、本実施形態では、光量最大値Emaxが一例としてA/D変換回路の変換限界の90%以下、且つ、80%以上の範囲になるように設定される。 Next, the CPU 61 obtains a maximum light amount value Emax of the input light amount data E (X) (ST3). Next, the CPU 61 determines whether or not the maximum light amount value Emax is included in a predetermined range. If the determination is affirmative, the process proceeds to flow ST6, and if the determination is negative, the process proceeds to flow ST5 (ST4). This is because the output value of the A / D conversion circuit may be saturated if the light quantity maximum value Emax is too large, and if it is too small, the light quantity data E (X) is compressed and a good measurement result is obtained. Because you can't. In the present embodiment, the maximum light amount value Emax is set to be 90% or less and 80% or more of the conversion limit of the A / D conversion circuit as an example.
次に、フローST4で否定判定がなされたならば、フローST1で印加した基準LED電流値を所定比例分変化させて再度フローST2〜ST4を実行する(ST5)。ここで所定比例分は本実施形態に於いては10%であり、光量最大値Emaxが予め定められている範囲より高い場合には10%ダウンし、低い場合には10%アップするように電流供給回路52によってLED電流値を変更する。 Next, if a negative determination is made in the flow ST4, the reference LED current value applied in the flow ST1 is changed by a predetermined proportional amount, and the flows ST2 to ST4 are executed again (ST5). Here, the predetermined proportional amount is 10% in the present embodiment. When the maximum light amount Emax is higher than a predetermined range, the current is reduced by 10%, and when it is low, the current is increased by 10%. The LED current value is changed by the supply circuit 52.
次に、フローST4で肯定判定がなされたならば、CPU61は光量データE(X)から光量値が低下している谷部V(N)を検出し記憶する(ST6)。ここで谷部V(N)は前述した如く、LCS21の画素間の隙間によって光量が低下することにより発生するものであり、該谷部V(N)を検出することによってLCS21の各画素24の位置を判別することが可能となる。尚、Nは各谷部の位置を示すシリアル番号であり、0及び1以上の整数である。
Next, if an affirmative determination is made in flow ST4, the CPU 61 detects and stores the valley V (N) where the light amount value is reduced from the light amount data E (X) (ST6). Here, as described above, the valley portion V (N) is generated when the amount of light decreases due to the gap between the pixels of the
次に、CPU61は隣接する谷部V(N)と谷部(N+1)との間で最も大きな光量デ
ータを検出しピーク値P(N)として記憶する(ST7)。また、CPU61はピーク値P(N)と共に、該ピーク値P(N)を検出したCCDラインセンサ71の受光素子番号Xpも取得し記憶する。
Next, the CPU 61 detects the largest light amount data between the adjacent valley V (N) and valley (N + 1) and stores it as a peak value P (N) (ST7). The CPU 61 also acquires and stores the light receiving element number Xp of the CCD line sensor 71 that detected the peak value P (N) together with the peak value P (N).
次に、CPU61は谷部V(N)と隣接するピーク値P(N)との変化量である隣接変化量R(N)を算出し記憶する(ST8)。尚、隣接変化量R(N)は谷部V(N)と隣接するピーク値P(N)との間の変化量、次に、ピーク値P(N)と隣接する谷部V(N+1)との間の変化量というように求める。また、隣接変化量R(N)の極性は谷部V(N)から隣接するピーク値P(N)へ上昇する方向を(+)、ピーク値P(N)から隣接する谷部V(N+1)へ下降する方向を(−)として記憶する。 Next, the CPU 61 calculates and stores an adjacent change amount R (N) that is a change amount between the valley portion V (N) and the adjacent peak value P (N) (ST8). The adjacent change amount R (N) is a change amount between the valley portion V (N) and the adjacent peak value P (N), and then the valley value V (N + 1) adjacent to the peak value P (N). The amount of change between and is obtained. In addition, the polarity of the adjacent change amount R (N) increases in the direction from the valley V (N) to the adjacent peak value P (N) (+), and from the peak value P (N) to the adjacent valley V (N + 1). ) Is stored as (−).
次に、CPU61は記憶された隣接変化量R(N)から最大増加量Rmaxと最大減少量Rminを検出し、その位置を記憶する(ST9)。 Next, the CPU 61 detects the maximum increase amount Rmax and the maximum decrease amount Rmin from the stored adjacent change amount R (N), and stores the positions (ST9).
次に、CPU61は最大増加量Rmaxと最大減少量Rminの位置を基準として、その間をLCS21の画素列23が存在する画素領域として認識し記憶する(ST10)。
Next, the CPU 61 recognizes and stores the area between the maximum increase amount Rmax and the maximum decrease amount Rmin as a pixel area where the pixel row 23 of the
次に、CPU61は求められた画素領域(すなわちLCS21の画素列23の幅)の両端部の所定数の画素の領域を除外画素領域とし、残りの画素領域を対象画素領域として記憶する(ST11)。ここで、本実施形態に於いては、除外画素領域を構成する除外画素の画素数を5画素ずつとする。尚、除外画素領域と対象画素領域の一例を図2のLCS21で示し、画素列23の左端画素の位置をN=0とするならば、除外画素領域は全画素領域の両端部に存在するので除外画素の画素位置はN=0〜4とN=475〜479となり、また、対象画素領域を構成する対象画素の画素位置はN=5〜474となる。
Next, the CPU 61 stores a predetermined number of pixel regions at both ends of the obtained pixel region (that is, the width of the pixel column 23 of the LCS 21) as an excluded pixel region and stores the remaining pixel region as a target pixel region (ST11). . Here, in this embodiment, the number of excluded pixels constituting the excluded pixel region is assumed to be 5 pixels. An example of the excluded pixel area and the target pixel area is indicated by
次に、CPU61は記憶された対象画素領域内でのピーク値P(N)をLCS21のN番目の画素24の照度F(N)として記憶する(ST12)。すなわち、ピーク値P(N)がそれぞれの画素24からの光量として記憶される。尚、実際にはピーク値P(N)は隣接する画素からの光量を多少含んで測定されているので、必ずしも正確な個々の画素からの照度ではないが、ここでは、簡易的な手法としてピーク値P(N)=照度F(N)とする。 Next, the CPU 61 stores the stored peak value P (N) in the target pixel region as the illuminance F (N) of the Nth pixel 24 of the LCS 21 (ST12). That is, the peak value P (N) is stored as the amount of light from each pixel 24. In actuality, the peak value P (N) is measured with some amount of light from adjacent pixels, and is not necessarily accurate illuminance from individual pixels. Let value P (N) = illuminance F (N).
次に、CPU61は対象画素領域内(N=5〜474)に於ける照度F(N)の内の最小光量Fminを検出し記憶する(ST13)。 Next, the CPU 61 detects and stores the minimum light amount Fmin in the illuminance F (N) in the target pixel region (N = 5 to 474) (ST13).
次に、CPU61は最小光量Fminが予め定められた光量の範囲内か否かを判定する。ここで、肯定判定ならば次のフローST17へ進み、否定判定ならばフローST15へ進む(ST14)。 Next, the CPU 61 determines whether or not the minimum light amount Fmin is within a predetermined light amount range. If the determination is affirmative, the process proceeds to the next flow ST17, and if the determination is negative, the process proceeds to flow ST15 (ST14).
次に、フローST14で否定判定がなされたならば、CPU61は現時点でLED28に印加されている電流値を所定比例分(例えば5%)変化させた電流値に変更し、新たに変更された電流値を電流供給回路52を制御してLED28に供給する(ST15)。ここで一例として最小光量Fminが予め定められた範囲より小さい場合にはLED電流を+5%アップし、大きい場合には−5%ダウンするように変化させる。 Next, if a negative determination is made in flow ST14, the CPU 61 changes the current value currently applied to the LED 28 to a current value changed by a predetermined proportional amount (for example, 5%), and the newly changed current value. The value is supplied to the LED 28 by controlling the current supply circuit 52 (ST15). Here, as an example, when the minimum light amount Fmin is smaller than a predetermined range, the LED current is changed by + 5%, and when it is larger, it is changed by -5%.
次に、前述したフローST2と同様に、CCDラインセンサ71はLCS21の画素列23からのライン状の発光出力を入力し、光量データE(X)を再取得してCPU61に入力する(ST16)。次に、光量データE(X)の再取得後、フローST6〜ST16を繰り返し、最小光量Fminが予め定められた光量の範囲内に入るようにLED電流値が調整される。尚、最小光量Fminが著しく低い場合は、LCS21の画素24にゴミ
などの付着や、LED28の故障等が想定されるので、上記の最小光量Fminの調整フローは実行せず、露光ヘッド20を不良品とすることが好ましい。
Next, as in the above-described flow ST2, the CCD line sensor 71 inputs the line-like light emission output from the pixel row 23 of the
次に、フローST14で肯定判定がなされたならば、CPU61は現時点のLED電流値をLED駆動条件用メモリ63に記憶し、同時に現時点のLCS21の各画素24への駆動時間に関するデータをLCS駆動条件用メモリ64に記憶させる(ST17)。
Next, if an affirmative determination is made in flow ST14, the CPU 61 stores the current LED current value in the LED drive condition memory 63, and at the same time, stores data related to the current drive time for each pixel 24 of the
次に、CPU61は現時点の照度F(N)を後述するシェーディング補正のために光量用メモリ65に記憶させる(ST18)。以上により、LED28への印加電流値の決定とLCS21の各画素24からの発光出力の光量測定を終了する。
Next, the CPU 61 stores the current illuminance F (N) in the light amount memory 65 for shading correction described later (ST18). Thus, the determination of the value of the current applied to the LED 28 and the measurement of the light amount of the light emission output from each pixel 24 of the
次に、図5のフローチャートに基づいて本発明の露光装置のシェーディング補正のための補正データの取得を説明する。ここで、図5に示すフローチャートは測定システムのPC80に記憶されているシステム制御ソフトウエアに従い、PC80と測定装置50のCPU61が相互に連携しながら実行しても良いし、または、PC80が単独で実行しても良いが、ここでは一例としてPC80が単独で実行するものとして説明する。図5に於いて最初に、PC80はLCS21の全ての画素24に共通な駆動階調(H)と規格化された規格化照射露光量Tとの関係式T(H)を用意する(ST21)。尚、関係式T(H)については後述する。
Next, acquisition of correction data for shading correction of the exposure apparatus of the present invention will be described based on the flowchart of FIG. Here, the flowchart shown in FIG. 5 may be executed in accordance with the system control software stored in the PC 80 of the measurement system while the PC 80 and the CPU 61 of the measurement apparatus 50 cooperate with each other, or the PC 80 alone. However, it is assumed here that the PC 80 is executed alone as an example. In FIG. 5, first, the PC 80 prepares a relational expression T (H) between the drive gradation (H) common to all the pixels 24 of the
次に、PC80は測定装置50の光量用メモリ65に記憶されている対象画素領域の照度F(N)を読み出す(ST22)。 Next, the PC 80 reads the illuminance F (N) of the target pixel area stored in the light quantity memory 65 of the measuring apparatus 50 (ST22).
次に、PC80は照度F(N)の中から最小光量Fminを検出する(ST23)。 Next, the PC 80 detects the minimum light amount Fmin from the illuminance F (N) (ST23).
次に、PC80はN=5と設定し、対象画素領域の一番最初の画素(図2の対象画素領域で左端の画素)を選択する(ST24)。 Next, the PC 80 sets N = 5, and selects the first pixel in the target pixel area (the leftmost pixel in the target pixel area in FIG. 2) (ST24).
次に、PC80は検出した最小光量Fminを基準として第N番目の画素に関する補正参照値U(N)を求める(ST25)。ここで、補正参照値U(N)は以下の式から求めることが出来る。
U(N)=Fmin・F(N)
尚、最小光量Fminに対応する画素の補正参照値は1.00となる。
Next, the PC 80 obtains a corrected reference value U (N) for the Nth pixel based on the detected minimum light amount Fmin (ST25). Here, the correction reference value U (N) can be obtained from the following equation.
U (N) = Fmin · F (N)
The correction reference value of the pixel corresponding to the minimum light amount Fmin is 1.00.
次に、PC80は駆動階調レベルHをH=0と設定する(ST26)。ここで、駆動階調レベルHとはLCS21を階調駆動するレベルであり、本実施形態では8bitによる階調駆動であるので、その駆動階調レベルHの範囲は0〜255である。
Next, the PC 80 sets the drive gradation level H to H = 0 (ST26). Here, the drive gradation level H is a level at which the
次に、PC80はN番目の画素に関して駆動階調レベルHが入力された場合に必要な照射露光量S(H)を、補正参照値U(N)及び関係式T(H)から下記の式を用いて求める(ST27)。
S(H)=T(H)/U(N)
Next, the PC 80 calculates the irradiation exposure amount S (H) required when the driving gradation level H is input for the Nth pixel from the correction reference value U (N) and the relational expression T (H) as follows: (ST27).
S (H) = T (H) / U (N)
次に、PC80はN番目の画素に関して、S(H)=T(H´)を満足する実数値H´を求める(ST28)。ここで、H´は、N番目の画素に駆動階調レベルとして与えられた場合に、最小光量Fminに対する画素に駆動階調レベルHが与えられた場合と同じ照射露光量を得るために必要な駆動階調レベルを表している。即ち、N番目の画素に駆動階調レベルHが与えられた場合に、HをH´に変更するようにして、シェーディング補正を行うものである。 Next, the PC 80 obtains a real value H ′ that satisfies S (H) = T (H ′) for the Nth pixel (ST28). Here, H 'is required for when given as a drive gradation level N-th pixel, obtaining the same irradiation exposure with the case of driving the gradation level H to the pixel is given to the minimum light amount Fmin The drive gradation level is represented. That is, when the driving gradation level H is given to the Nth pixel, the shading correction is performed by changing H to H ′.
次に、PC80はH´の小数点以下を四捨五入して、整数値である補正データH”を求める(ST29)。これは、本実施形態に於ける露光ヘッド20を含むシステムが、前述した如くに8bitによる階調駆動であり、駆動階調レベルが0〜255の整数のみしか扱えないからである。
Next, the PC 80 rounds off the decimal point of H ′ to obtain correction data H ″ that is an integer value (ST29). This is because the system including the
次に、PC80は補正データH”を測定装置50の補正データ用メモリ66に記憶する(ST30)。 Next, the PC 80 stores the correction data H ″ in the correction data memory 66 of the measuring apparatus 50 (ST30).
その後、PC80はN番目の画素に関して全ての駆動階調レベル(H=0〜255)について同様の処理を繰り返す(ST27〜ST31及びST33)。また更に、全ての対象画素領域(N=5〜474)について同様の処理を繰り返す(ST25〜ST34)。 Thereafter, the PC 80 repeats the same processing for all drive gradation levels (H = 0 to 255) for the Nth pixel (ST27 to ST31 and ST33). Further, the same processing is repeated for all target pixel regions (N = 5 to 474) (ST25 to ST34).
次に、PC80はフローST30で測定装置50の補正データ用メモリ66に記憶された対象画素領域の両端画素の補正データH”を読み出す(ST35)。即ち、対象画素領域の両端画素はN=5とN=474であり、この画素の補正データH”を読み出す。尚、PC80内に補正データH”を記憶している場合は、その補正データH”を用いて良い。 Next, the PC 80 reads the correction data H ″ of the pixels at both ends of the target pixel area stored in the correction data memory 66 of the measuring device 50 at flow ST30 (ST35). N = 474, and correction data H ″ for this pixel is read out. When correction data H ″ is stored in the PC 80, the correction data H ″ may be used.
次に、PC80は読み出されたN=5の画素の補正データH”を除外画素領域(N=0〜4)の補正データとして補正データ用メモリ66に記憶する。また、PC80は読み出されたN=474の画素の補正データH”を除外画素領域(N=475〜479)の補正データとして補正データ用メモリ66に記憶する(ST36)。すなわち、除外画素領域(N=0〜4)の補正データは、該除外画素領域に隣接する対象画素領域の左端画素(N=5)の補正データと同一となり、また、除外画素領域(N=475〜479)の補正データは、該除外画素領域に隣接する対象画素領域の右端画素(N=474)の補正データと同一となる。次に、PC80は全ての画素領域(即ち、N=0〜479)に対する補正データH”を測定装置50の補正データメモリ66から読み出して露光装置10の補正データ用メモリ33に補正データP3として記憶し、また、図4のフロー17でLED駆動条件メモリ63に記憶されたLED電流値を読み出して露光装置10のLED駆動条件メモリ38にLED駆動条件データP7として記憶し、フローを終了する。 Next, the PC 80 stores the read correction data H ″ of N = 5 pixels in the correction data memory 66 as correction data for the excluded pixel region (N = 0 to 4). Further, the PC 80 is read. Further, the correction data H ″ of the pixel of N = 474 is stored in the correction data memory 66 as the correction data of the excluded pixel region (N = 475 to 479) (ST36). That is, the correction data of the excluded pixel region (N = 0 to 4) is the same as the correction data of the leftmost pixel (N = 5) of the target pixel region adjacent to the excluded pixel region, and the excluded pixel region (N = The correction data of 475 to 479) is the same as the correction data of the rightmost pixel (N = 474) of the target pixel area adjacent to the excluded pixel area. Next, the PC 80 reads the correction data H ″ for all the pixel regions (that is, N = 0 to 479) from the correction data memory 66 of the measuring apparatus 50 and stores it as correction data P3 in the correction data memory 33 of the exposure apparatus 10. Further, the LED current value stored in the LED drive condition memory 63 in the flow 17 of FIG. 4 is read out and stored as the LED drive condition data P7 in the LED drive condition memory 38 of the exposure apparatus 10, and the flow ends.
次に、関係式T(H)について簡単に説明する。関係式T(H)はLCS21の全ての画素24に共通する関係式であり、駆動階調レベル(H)と規格化された規格化照射露光量Tの関係を表すものである。また、関係式T(H)はLCS21の駆動特性、及び使用される銀塩インスタントフィルム等の感光材の感度特性とによって求められる関係式であり、本実施形態では、後段の計算を容易にするために最小二乗近似の手法によって以下の10次多項式によって現すこととした。
次に、前述した図5のフローよって求められた補正データH”の一例を図6に示す。該補正データH”は、各画素(N=0〜479)の全ての駆動階調レベルHに対応した補正駆動階調として前述した露光制御回路30の補正データ用メモリ33に記憶される。尚、
ここではN=6の画素が最小光量Fminに対応する画素として示しており、N=6の画素の補正データH”と駆動階調Hは等しい。また、除外画素領域(N=0〜4)の補正データH”は、隣接する対象画素領域の左端(N=5)の補正データH”と同一であり、また、同様に除外画素領域(N=475〜479)の補正データH”は、隣接する対象画素領域の右端(N=474)の補正データH”と同一である。尚、図6に示す補正データH”は赤色LEDからの出力光に関する補正データであり、実際には、緑色LEDと青色LEDからの出力光についても同様な手順に従って補正データを求め、露光制御回路30の補正データ用メモリ33に記憶させる。
Next, FIG. 6 shows an example of the correction data H ″ obtained by the flow of FIG. 5. The correction data H ″ is applied to all the drive gradation levels H of each pixel (N = 0 to 479). The corresponding correction driving gradation is stored in the correction data memory 33 of the
Here, the pixel of N = 6 is shown as a pixel corresponding to the minimum light amount Fmin, and the correction data H ″ of the pixel of N = 6 is equal to the drive gradation H. Also, the excluded pixel region (N = 0 to 4) The correction data H ″ is the same as the correction data H ″ at the left end (N = 5) of the adjacent target pixel area, and similarly, the correction data H ″ of the excluded pixel area (N = 475 to 479) is It is the same as the correction data H ″ at the right end (N = 474) of the adjacent target pixel region. Note that the correction data H ″ shown in FIG. 6 is correction data related to the output light from the red LED, and actually is green. Correction data is also obtained for the output light from the LED and the blue LED according to the same procedure and stored in the correction data memory 33 of the
次に、図1に基づいて露光制御回路30の補正データ用メモリ33に記憶された前記補正データH”(即ち、図1で示す補正データP3)と、LED駆動条件メモリ38に記憶された前記LED電流値(即ち、図1で示すLED駆動条件データP7)によって、シェーディング補正が行われる露光装置10の動作を説明する。図1に於いて、入力I/F31を介して画像データP1(ビットマップデータ)がシェーディング回路32に入力されると、該シェーディング回路32は順次入力される画像データP1の個々のデータが、LCS21のどの位置の画素によって露光されるかを調べ(即ちNを求め)、且つ、画像データP1の値を駆動階調Hとして補正データ用メモリ33に記憶されている補正データH”を読み出し、読み出された該補正データH”を補正画像データP2としてLCS制御回路35へ出力する。即ち、画像データP1の値はシェーディング補正回路32によって補正データ用メモリ33に記憶された補正データH”に変換され、補正画像データP2としてLCS制御回路35に入力される。
Next, the correction data H ″ (that is, the correction data P3 shown in FIG. 1) stored in the correction data memory 33 of the
次にLCS制御回路35は前記補正画像データP2と露光タイミングデータP4を入力し、LUT36からのLUTデータP9に基づいて露光濃度の非線形性を補正した後、LCS制御信号P5を出力する。LCS駆動回路37は前記LCS制御信号P5を入力し、LCS21を階調駆動するLCS駆動信号P6を出力する。露光ヘッド20に内蔵されるLCS21は前記LCS駆動信号P6を出力I/F40を介して入力し、画素列23の全ての画素24を階調駆動してシェーディング補正によって均一な露光動作を実行する。
Next, the LCS control circuit 35 receives the corrected image data P2 and the exposure timing data P4, corrects the exposure density nonlinearity based on the LUT data P9 from the LUT 36, and then outputs the LCS control signal P5. The LCS drive circuit 37 receives the LCS control signal P5, and outputs an LCS drive signal P6 for driving the
一方、露光制御回路30のLED駆動条件メモリ38は記憶しているLED駆動条件データP7を出力しLED点灯制御回路39に入力する。LED点灯制御回路39はLED駆動条件データP7と露光タイミングデータP4を入力し、内部のD/A変換回路(図示せず)によってアナログ量に変換され、各色毎に設定されたLED駆動電流をLED駆動信号P8として出力する。露光ヘッド20に内蔵されるLED28はLED駆動信号P8を入力し、各色毎に設定されたLED駆動電流によって点灯制御され、LCS21の露光光源として動作する。
On the other hand, the LED drive condition memory 38 of the
図2の光量グラフ26は、前述した図5のフローよって求められた補正データH”に基づいてシェーディング補正された露光ヘッド20の光量特性の一例を示したものである。ここで、対象画素領域(N=5〜474)は、最小光量Fminの画素(N=6)を基準としてシェーディング補正されるので、その光量バラツキは適切に調整されている。また、除外画素領域(N=0〜4、N=475〜479)は、隣接する対象画素領域の両端画素(N=5、N=474)の補正データH”と同一なので、該両端画素の光量を基準として補正されるため、相対的には補正前の光量バラツキと略等しいバラツキが生じる。しかし、前述した如く、除外画素領域は隣接する対象画素領域の両端画素の光量を基準として補正される結果、除外画素領域と対象画素領域の境目は連続性を持って補正されることになり、光量の大きな段差や変化が少なく、感光材の濃度ムラが改善され、全画素領域に於いて良好な画像を得ることが出来る。
A
尚、図2に於いて光量グラフ26の除外画素領域の点線26a、26bは、従来の露光
装置によってシェーディング補正された前記図7の光量グラフ5の無効領域の特性を一部コピーした光量グラフである。ここで、本発明の効果は、本発明の露光装置によってシェーディング補正された光量グラフ26と、従来の露光装置によってシェーディング補正された光量グラフ26a、26bを比較することによって明らかである。すなわち、従来のシェーディング補正結果(光量グラフ26a、26b)では、補正処理が実行されている有効領域と補正処理が実行されていない無効領域の境界付近に於いて光量の段差や大きな光量変動が見られるが、本発明のシェーディング補正結果(光量グラフ26)では、対象画素領域と除外画素領域の境界付近に於いて光量の段差や大きな光量変動は見ることが出来ない。また、本発明に於いては光量低下やLCSの応答特性の変化が起きやすい画素列両端付近を除外画素領域と定め、該除外画素領域以外を対象画素領域とし、該対象画素領域内で最小光量Fminの画素を検出し補正の基準としているので、シェーディング補正後にLCSからの光量が低下して露光に必要な光量が得られないと言った問題も解決される。
In FIG. 2, dotted lines 26a and 26b of the excluded pixel region of the
尚、本実施形態では除外画素領域を画素列23の左右両端の5画素と設定したが、この画素数に限定されるものではなく、除外画素領域は光量分布特性に応じて任意に設定して良い。また、本実施形態に於いては、除外画素領域の光量を補正する補正データを隣接する対象画素領域の両端画素の補正データとしたが、これについても限定されるものではなく、対象画素領域の任意の画素の補正データを用いて良い。また、図1で示した本発明の露光装置10の回路ブロック図、及び、図3で示した光量測定を行う測定システムのブロック図は、この構成に限定されるものではなく、機能を満たすものであればどのような構成であっても良い。また、図4で示したシェーディング補正を行うための光量測定のフローチャート、及び、図5で示したシェーディング補正を行うための補正データを取得するフローチャートは、この動作フローに限定されるものではなく、それぞれの目的を満たすことが出来ればどのような動作フローであっても良い。 In the present embodiment, the excluded pixel area is set to five pixels at the left and right ends of the pixel row 23. However, the number of pixels is not limited to this, and the excluded pixel area is arbitrarily set according to the light amount distribution characteristics. good. Further, in the present embodiment, the correction data for correcting the light amount of the excluded pixel region is the correction data for the pixels at both ends of the adjacent target pixel region, but this is not limited, and the correction data for the target pixel region is not limited. Any pixel correction data may be used. Further, the circuit block diagram of the exposure apparatus 10 of the present invention shown in FIG. 1 and the block diagram of the measuring system for measuring the light quantity shown in FIG. 3 are not limited to this configuration but satisfy the functions. Any configuration may be used. Further, the flowchart of the light amount measurement for performing the shading correction shown in FIG. 4 and the flowchart for acquiring the correction data for performing the shading correction shown in FIG. 5 are not limited to this operation flow. Any operation flow may be used as long as each purpose can be satisfied.
1 光プリンタヘッド
2、3 発光画素列
4、5、25、26 光量グラフ
10 露光装置
20 露光ヘッド
21 LCS
22a、22b ガラス基板
23 画素列
24 画素
28 LED
30 露光制御回路
31 入力I/F
32 シェーディング補正回路
33、66 補正データ用メモリ
34 露光補正回路
35 LCS制御回路
37、62 LCS駆動回路
38、63 LED駆動条件メモリ
39 LED点灯制御回路
40 出力I/F
50 測定装置
51 露光装置I/F
52 電流供給回路
53 PC−I/F
60 駆動条件信号作成手段
61 CPU
64 LCS駆動条件メモリ
65 光量用メモリ
70 光量測定手段
71 CCDラインセンサ
72 CCD制御回路
73 受光量検出回路
74 積分回路
80 PC
P1 画像データ
P2 補正画像データ
P3 補正データ
P6 LCS駆動信号
P7 LED駆動条件データ
P8 LED駆動信号
DESCRIPTION OF
22a, 22b Glass substrate 23 Pixel row 24 Pixel 28 LED
30
32 Shading correction circuit 33, 66 Correction data memory 34 Exposure correction circuit 35 LCS control circuit 37, 62 LCS drive circuit 38, 63 LED drive condition memory 39 LED lighting control circuit 40 Output I / F
50 Measuring device 51 Exposure device I / F
52
60 Driving condition signal creating means 61 CPU
64 LCS drive condition memory 65 light amount memory 70 light amount measuring means 71 CCD line sensor 72 CCD control circuit 73 received light amount detection circuit 74 integration circuit 80 PC
P1 Image data P2 Correction image data P3 Correction data P6 LCS drive signal P7 LED drive condition data P8 LED drive signal
Claims (2)
前記発光画素列の両端から所定数の発光画素の領域を除外画素領域とし、それ以外の画素の領域を対象画素領域として、前記対象画素領域を構成する対象発光画素はそれぞれの発光出力に基づいて作成した補正データを用いて光量補正を行うと共に、
前記対象画素領域の両端の対象発光画素の補正データを、それぞれ隣接する除外画素領域の除外発光画素全部に共通に供給することを特徴とする露光装置。 The luminescence pixel row including a plurality of light emitting pixels, and supplies the image data performs gradation exposure, the light-emitting image individually by Ri Luminous each pixel measured and obtained compensation data to the light emitting output of the unit In an exposure apparatus that performs light quantity correction to make the light quantity uniform.
A predetermined number of light emitting pixel regions from both ends of the light emitting pixel column are excluded pixel regions, and other pixel regions are target pixel regions, and the target light emitting pixels constituting the target pixel region are based on respective light emission outputs. It performs light amount correction using the correction data created,
Exposure apparatus and supplying the corrected data of the target emission pixels at both ends of the target pixel area, commonly to exclude light emitting pixels all negative pixel regions adjacent respectively.
前記発光画素列の両端から所定数の発光画素の領域を除外画素領域とし、それ以外の画素の領域を対象画素領域として、前記対象画素領域を構成する対象発光画素はそれぞれの発光出力に基づいて補正データを作成し、この補正データを用いて光量補正を行うと共に、
前記対象画素領域の両端の対象発光画素の補正データを、それぞれ隣接する除外画素領域の除外発光画素全部に共通に供給することを特徴とする露光装置の光量補正方法。
A light-emitting pixel row formed of a plurality of light-emitting pixels for performing gradation exposure by the image data supplied, the light emitting image by Ri onset light into compensation data obtained by measuring the light output to each element in the light amount correction method for an exposure apparatus which performs light amount correction for uniformizing the light quantity for each pixel,
A predetermined number of light emitting pixel regions from both ends of the light emitting pixel column are excluded pixel regions, and other pixel regions are target pixel regions, and the target light emitting pixels constituting the target pixel region are based on respective light emission outputs. create a correction data, performs light amount correction using the correction data,
Light amount correction method of an exposure apparatus and supplying the corrected data of the target emission pixels at both ends of the target pixel area, commonly to exclude light emitting pixels all negative pixel regions adjacent respectively.
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