JP4372806B2 - 熱処理装置 - Google Patents
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Description
21 熱処理部
23 空調部
4 吸気ダクト
5 導出ダクト
51 排気ダクト
52 還流ダクト
6 触媒
9 熱交換器
Claims (2)
- 被処理物が収容される熱処理部と、加熱器が設けられる空調部と、前記熱処理部及び前記空調部を連通させる連通路とを有し、この連通路を通じて前記熱処理部と前記空調部との間で空気を循環させながら加熱することにより前記被処理物を熱処理する断熱室と、
前記断熱室内に外気を吸い込むための吸気ダクトと、
前記熱処理部内の空気を流出させることにより前記断熱室内を換気する導出ダクトと、
前記導出ダクトに設けられ、前記被処理物を熱処理する際に当該被処理物から発生する昇華物を分解可能な触媒と、を備え、
前記導出ダクトは、前記熱処理部から流出した空気を直接外部に排出するための排気ダクトと、この排気ダクトから分岐して前記吸気ダクトにつながり、前記熱処理部から流出した空気を前記吸気ダクトを介して再度熱処理部内に送り込むための還流ダクトとを有しており、
前記触媒は、前記排気ダクトにおける還流ダクトが分岐する位置よりも上流側の部分または還流ダクトに設けられていることを特徴とする熱処理装置。 - 前記触媒は、前記排気ダクトにおける還流ダクトが分岐する位置よりも上流側の部分に設けられており、
前記吸気ダクト内を流れる外気と前記排気ダクトにおける還流ダクトが分岐する位置よりも下流側の部分を流れる空気とで熱交換を行わせる熱交換器をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の熱処理装置。
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