JP4196293B2 - 真空調圧用バルブ - Google Patents

Description

本発明は、理化学機械等において化学反応用の真空チャンバの減圧などに使用する真空調圧用バルブに関するものである。

例えば、半導体の製造装置においては、エッチングなどの化学処理が真空チャンバ内で行われるが、このとき真空チャンバの減圧には真空ポンプが使用され、これらの真空ポンプと真空チャンバとを結ぶ外部流路の開閉に真空バルブが用いられている。この真空バルブは、例えば特許文献１に記載されているように、真空ポンプと真空チャンバとに接続される二つのポートと、これらのポート同士を結ぶ内部流路と、この内部流路中に形成された弁座と、この弁座を開閉する弁部材と、この弁部材を開閉操作するピストンとを有していて、該ピストンのストロークがそのまま、上記弁部材が弁座を開放したときの弁開度となるようにしている。

ところが、真空チャンバ内の真空度は反応ガスの増減などによって変化するため、その変化分を補償してチャンバ内を必要な真空度に維持する必要がある。しかしながら、上記真空バルブは、弁部材の開度によって真空チャンバ内の真空圧力を調整することを意図したものではなく、たとえ弁部材の開度をピストンで調節しようとしても、迅速且つ正確に調節することができるものではない。

このような真空バルブにおける弁部材の開度を簡単に調節するためには、精度良く位置調節できるようにしたストッパーを設けて、上記ピストンをそのストッパーに当接する位置まで駆動するように構成するのが適切であると考えられる（特許文献２参照）。
この場合に、上記ストッパーの位置調節を迅速且つ正確に行う必要があるため、その駆動を電動モータによって行うのが有利である。しかし、ストッパーの位置調節のみであれば小型で安価な電動モータを使用できるが、それによって位置調節したストッパーに上記ピストンが大きな駆動力で押し付けられるため、ストッパーの支持をその駆動力に耐えるように行う必要があり、また、その駆動力の作用下でストッパーを小型の電動モータにより駆動することは困難であるため、この対策について考慮する必要がある。

特開平８−１７８１２６号公報 特願２００３−３１０６０７号

本発明の技術的課題は、弁部材の開度を迅速且つ正確に制御することができ、それによって、真空チャンバ内の真空圧力を迅速且つ正確に調整できるようにした制御性のよい真空調圧用バルブを提供することにある。
本発明の他の技術的課題は、弁部材を駆動するためのピストンの停止位置を設定するストッパーの駆動を小型で安価な電動モータによって行うことを可能とし、それによって、経済性に優れた真空調圧用バルブを提供することにある。

上記課題を解決するための本発明の真空調圧用バルブは、以下に具体的に説明するところの、メインポート間の流路の弁座を開閉する弁部材を備えた弁主体部と、上記弁部材を開閉操作するシリンダ部と、上記弁部材の開度を設定する弁開度調節部と、真空チャンバの圧力を検出する圧力センサーの出力に基づいて上記弁部材の開度を制御する弁制御部とを備えることを特徴とするものである。

具体的には、上記弁主体部は、真空チャンバ及び真空ポンプに接続するための第１メインポート及び第２メインポートと、これら両メインポートを結ぶ流路と、該流路中に上記第１メインポートの回りを取り囲むように設けられた弁座とを備えたバルブハウジングと、該バルブハウジング内に設けられている、上記弁座を開閉する弁部材と、この弁部材から上記バルブハウジングの軸線方向に延びて先端がシリンダ部に達する弁シャフトと、上記弁部材を弁座の閉鎖方向に向けて付勢する復帰ばねとを有するものである。
また、上記シリンダ部は、上記弁シャフトの先端に取り付けられたピストンと、このピストンに上記弁部材が開放する方向の流体圧を作用させる受圧室と、この受圧室にパイロット流体を給排するためのパイロットポートとを有するものである。
さらに、上記弁開度調節部は、上記ピストンの背面に向けて突出して該ピストンの移動範囲を規制するストッパーと、該ストッパーに設けた移動子を回転−直動変換機構を介して任意の位置まで無段階に前後進駆動する電動モータとを有するものである。

また、上記電動モータで上記ストッパーを変位させて上記ピストンによる上記弁部材の開度を制御する弁制御部は、上記電動モータの回転量を検出する回転量センサーと、上記真空チャンバの圧力を検出する圧力センサーと、上記パイロットポートにパイロット流体を給排する電磁弁と、圧力設定値の信号及び上記圧力センサーからの圧力信号に基づいて、上記電動モータの駆動を制御するモータコントローラに弁部材の開度を適切に設定するためのストッパー位置の信号を出力すると共に、上記電磁弁に上記受圧室内の流体圧がピストンの駆動制御に必要な圧力になるように制御するための制御信号を出力するメインコントローラと、該メインコントローラからのストッパー位置の信号と上記回転量センサーからの信号に基づいて上記電動モータを制御する上記モータコントローラとを有するものである。
そして、上記電磁弁を、その出力圧を調整できない単なる方向切換弁とした場合には、上記メインコントローラが、電動モータの駆動に際して、少なくとも弁部材の弁開度を小さくする方向への電動モータの駆動時に、上記受圧室の圧力を排出し、該電動モータにより上記回転−直動変換機構を介して移動子を駆動する駆動力を軽減させる機能を有するものとして構成される。
一方、上記電磁弁を、パイロットポートに供給するパイロット流体を圧力制御して供給可能なものとした場合には、上記メインコントローラが、電動モータの駆動に際して上記受圧室の圧力を制御された一定圧まで低下させ、該電動モータにより上記回転−直動変換機構を介して移動子を駆動する駆動力を軽減させる機能を有するものとして構成される。

上記構成を有する真空調圧用バルブにおいては、上記メインコントローラが、上記圧力センサーからの圧力信号と与えられた圧力設定値とを比較して、電動モータの駆動を制御するモータコントローラに弁部材の開度を適切に設定するためのストッパー位置の信号を出力すると共に、上記電磁弁に受圧室内の流体圧がピストンの駆動制御に必要な圧力になるように制御するための制御信号を出力し、それによって、上記電動モータが正転または逆転して上記ストッパーを指定された位置まで移動させ、また、上記電磁弁からシリンダ部の受圧室内にパイロット流体が供給され、該パイロット流体の流体圧により上記ピストンを上記復帰ばねの弾発力に抗して上記ストッパーに押当てる位置まで移動させ、弁部材に必要な弁開度が与えられる。この弁開度は、上記電動モータの回転量により実質的に無段階に調整することができる。また、上記受圧室内のパイロット流体を排出して該室の流体圧を低下させることにより、上記復帰ばねの弾発力で上記弁部材を閉弁させることができる。

上記真空調圧用バルブは、電動モータにより上記ストッパーを移動させて位置決めし、該ストッパーに上記ピストンを押当てて上記ピストンの動作位置を制御しているため、該ストッパーの迅速且つ正確な位置決めにより上記弁部材を迅速且つ正確に位置決めすることができ、そのため、上記弁部材の開度を正確に制御することができると共に制御性に優れ、真空チャンバ内の真空圧力を正確に調整することができ、しかも、上記電動モータはストッパーを位置決めするためにだけ使われているので、小型で安価なものを用いることができ、省電力、小型化により経済性に優れたものとなる。

本発明の具体的な構成態様においては、上記回転−直動変換機構が、上記電動モータの出力軸の回転を上記移動子の直動に変換するボールねじで構成される。
また、本発明の他の具体的な構成態様においては、上記電磁弁を、第１及び第２の二つの２ポート弁で構成し、該第１の弁の入力側が空気圧源に接続され、該第２の弁の出力側が大気に開放され、該第１の弁の出力側と該第２の弁の入力側とを上記パイロットポートに接続されたものとすることができるが、該電磁弁を、単一の３ポート弁で構成し、該３ポート弁を空気圧源からの圧縮空気を上記パイロットポートに給排可能に接続したものとすることもできる。

上記メインコントローラにこのような機能を持たせると、上記電動モータをストッパーの位置決めだけに使用する非常に小型で安価なものとすることができ、省電力、小型化により経済性がより優れたものとなる。

上記構成を有する本発明の真空調圧用バルブによれば、弁部材の開度を迅速且つ正確に制御することができ、それによって、真空チャンバ内の真空圧力を迅速且つ正確に調整できるようにした制御性のよい真空調圧用バルブを得ることができる。また、弁部材を駆動するためのピストンの停止位置を設定するストッパーの駆動を小型で安価な電動モータによって行うことが可能となり、経済性に優れた真空調圧用バルブを得ることができる。

図１は、本発明に係る真空調圧用バルブの好ましい代表的な一実施形態を示すものである。このバルブは、メインポート１１，１２間の流路１３を開閉する弁部材１５を備えた弁主体部１と、上記弁部材１５を開閉操作するシリンダ部２と、上記弁部材１５の開度を設定する弁開度調節部３と、真空チャンバ５の圧力を検出する圧力センサー６０の出力に基づいて上記弁部材１５の開度を制御する弁制御部４からなっていて、上記弁主体部１とシリンダ部２と弁開度調節部３とは、バルブの軸線Ｌに沿って直列に結合されている。

上記弁主体部１は、実質的に円柱状又は角柱状をした中空のバルブハウジング１０を有している。このバルブハウジング１０には、真空チャンバ５に接続するための第１メインポート１１と、真空ポンプ６に接続するための第２メインポート１２とが設けられ、上記第１メインポート１１は、バルブハウジング１０の第１の端部１０ａ側においてバルブの軸線Ｌ方向に開口し、第２メインポート１２は、バルブハウジング１０の側面に上記軸線Ｌと直交する向きに開口している。また、上記バルブハウジング１０の内部には、上記両メインポート１１，１２を結ぶ上記流路１３が形成されると共に、上記第１メインポート１１がこの流路１３に開口する開口部１１ａの回りを取り囲むように弁座１４が形成されている。

上記バルブハウジング１０の内部には、上記弁座１４を開閉するポペット式の上記弁部材１５が、上記弁座１４と同軸状に設けられている。この弁部材１５はディスク形をしていて、前面の外周端寄りの位置に、上記弁座１４に接離する円環状をしたゴム弾性材製の弁シール部材１７が取り付けられている。
上記弁部材１５の背面中央部には、弁シャフト２０の基端部が取り付けられている。この弁シャフト２０は、バルブハウジング１０の内部を上記軸線Ｌに沿って延び、その先端部は、弁主体部１とシリンダ部２とを区画する隔壁３１を貫通して該シリンダ部２の内部に延出し、ピストン３２に連結されている。

また、上記弁部材１５の背面にはばね座２２が設けられ、このばね座２２と上記隔壁３１との間に、上記弁部材１５を閉鎖方向に弾発するコイル状の復帰ばね２３が設けられている。この復帰ばね２３は、同軸に配置された大径の第１ばね２３ａと小径の第２ばね２３ｂとで構成されている。さらに、上記弁部材１５の背面には、上記弁シャフト２０とそれに外嵌するスリーブ２１及び復帰ばね２３の回りを取り囲むように、伸縮自在のベローズ２４が設けられている。このベローズ２４は、金属等の耐食性素材で形成され、その一端が上記弁部材１５の背面に取り付けられ、他端が、バルブハウジング１０の端部と上記隔壁３１との間に設けられた支持プレート２５に取り付けられており、上記弁部材１５の開閉に伴って伸縮するものである。なお、上記ベローズ２４の内側空間は、図示しない孔を通じて外部に開放されている。

上記シリンダ部２は、上記バルブハウジング１０の第２の端部１０ｂ側に同軸に結合されたシリンダハウジング３０を有している。このシリンダハウジング３０は、上記バルブハウジング１０と同じ円柱状又は四角柱状をしていて、軸線Ｌ方向の一端側にこのバルブハウジング１０との間を区画する上記隔壁３１を有すると共に、内部にシリンダ孔３３を有し、このシリンダ孔３３の内部に上記ピストン３２が、シール部材３４とウエアリング３５とを介して摺動自在に収容されている。そして、上述したように弁シャフト２０が上記隔壁３１を摺動自在に貫通してシリンダ孔３３内に延出し、その先端部が上記ピストン３２に連結されている。
上記ピストン３２の一面側で、該ピストン３２と上記隔壁３１との間には受圧室３７が形成され、この受圧室３７が、上記シリンダハウジング３０の側面に開口するパイロットポート３８に接続されている。上記ピストン３２の他面側は、外部に開放する呼吸室３９となっている。

上記弁開度調節部３は、図１に示すように、上記シリンダハウジング３０の端部に同軸に結合されたカバーブロック４０と、その内部に組み込まれ、上記ピストン３０の背面に先端が当接する円筒状をしたストッパー４１と、該ストッパー４１に設けた移動子５１を回転−直動変換機構４７を介して軸線Ｌ方向の任意の位置まで無段階に前後進駆動する電動モータ４５とを備えている。

上記電動モータ４５は、正逆回転可能なモータであり、その正逆回転運動を往復直進運動に変換する上記変換機構４７は、上記電動モータ４５の出力軸４６の回転を上記ストッパー４１に設けた移動子５１の直動に変換するボールねじで構成されている。
上記ボールねじは、電動モータ４５の出力軸４６に設けたねじ部５０と、該ねじ部５０に非回転の状態で該モータ４５の出力軸４６の軸線方向に移動するようにボールを介して螺挿された雌ねじ部５２を有する上記移動子５１とによって構成され、該移動子５１に、上記ストッパー４１の基端部がねじ５３で連結されている。

上記カバーブロック４０は、上記シリンダハウジング３０と同じ円柱状又は四角柱状をしており、上記モータ４５は、上記カバーブロック４０に設けられたモータ室４８内に設置され、上記変換機構４７は、上記モータ室４８と上記シリンダ部２の呼吸室３９とを結ぶ中空部４９内に収容されている。そして、上記ストッパー４１の先端４１ａは自由端となって上記中空部４９から突出し、上記ピストン３２の背面の中央部に対向配置されている。
また、上記カバーブロック４０内には、前記弁制御部４の一部を構成し、上記電動モータ４５の出力軸４６の回転量を検出して、その信号を該弁制御部４に出力するところの、ロータリーエンコーダからなる回転量センサー５４を設けている。

弁制御部４は、上記回転量センサー５４と、真空チャンバ５の圧力を検出する圧力センサー６０と、上記パイロットポート３８にパイロット流体を給排する電磁弁６２と、圧力設定値の信号及び上記圧力センサー６０からの圧力信号に基づいて、上記電動モータ４５の駆動を制御するモータコントローラ６４に弁部材１５の開度を適切に設定するためのストッパー位置の信号を出力すると共に、上記電磁弁６２に上記受圧室３７内の流体圧がピストン３２の駆動制御に必要な圧力になるように制御するための制御信号を出力するメインコントローラ６３と、該メインコントローラ６３からのストッパー位置の信号と上記回転量センサー５４からの信号に基づいて上記電動モータ４５を制御する上記モータコントローラ６４とを有している。

上記電磁弁６２は、第１及び第２の二つの２ポート弁６２ａ，６２ｂで構成され、該第１の弁６２ａの入力側が空気圧源６５に接続され、該第２の弁６２ｂの出力側が大気に開放され、該第１の弁６２ａの出力側と該第２の弁６２ｂの入力側とを接続する管路６６が上記パイロットポート３８に管路６７を介して接続されている。
上記第１及び第２の２ポート弁６２ａ，６２ｂは、上記メインコントローラ６３からの制御信号により開閉されるが、空気圧源６５から上記受圧室３７に供給されるパイロット流体を該第１の弁６２ａによって通断し、また、上記受圧室３７から排出されるパイロット流体を該第２の弁６２ｂによって通断することにより、それらの弁６２ａ，６２ｂを出力圧を調整しない一つの３ポートの方向切換弁として機能させることができる。
そのため、上記第１及び第２の２ポート弁６２ａ，６２ｂに代えて単一の３ポート弁を用い、該３ポート弁を空気圧源６５からの圧縮空気を上記パイロットポート３８に給排可能に接続することもできる。

一方、上記メインコントローラ６３からの制御信号により、上記第１及び第２の弁６２ａ，６２ｂを短い時間間隔で開閉し、その開閉時間を適宜調整することにより、空気圧源６５から受圧室３７へ供給する圧縮空気を、空気圧源の圧力よりも低い任意の圧力に調整して供給することができる。
上記第１及び第２の２ポート弁６２ａ，６２ｂに代えて単一の３ポート弁を用いる場合にも、該３ポート弁に圧力調整機能をもたせて、それをメインコントローラ６３で制御することにより、空気圧源６５からの圧縮空気を上記パイロットポート３８に圧力調整して供給することが可能になる。

上記構成を有する真空調圧用バルブにおいて、上記真空チャンバ５を減圧するために上記弁座１４を開放するときには、上記メインコントローラ６３において、上記圧力センサー６０からの圧力信号と該メインコントローラ６３に与えられた圧力設定値とを比較し、電動モータ４５の駆動を制御するモータコントローラ６４に弁部材１５の開度を適切に設定するためのストッパー位置（電動モータの回転量）の信号が出力される。それにより、モータコントローラ６４による制御で上記電動モータ４５が正転または逆転し、回転−直動変換機構４７を介して上記ストッパー４１を指定された位置まで移動させる。上記ストッパー４１の位置は、常に回転量センサー５４において電動モータ４５の回転量として検出され、それが上記モータコントローラ６４にフィードバックされる。

一方、上記電磁弁６２は上記メインコントローラ６３からの信号により駆動され、弁部材１５を上記ストッパー４１により設定された開度まで開く場合には、上記第１の電磁弁６２ａを開、第２の電磁弁６２ｂを閉として、受圧室３７にパイロット流体が供給され、該パイロット流体の流体圧により上記ピストン３２が復帰ばね２３の弾発力に抗してストッパー４１に押当てられる位置まで移動し、弁部材１５に必要な弁開度が与えられる。この弁開度は、メインコントローラ６３において上記圧力センサー６０からの圧力信号に基づいて上記電動モータ４５の回転量を変更し、上記ストッパー４１の設定位置を変更することにより、実質的に無段階に調整することができるものである。
また、上記第１及び第２の電磁弁６２ａ，６２ｂの切換えにより上記受圧室３７内のパイロット流体を排出して該室の流体圧を低下させることにより、上記復帰ばね２３の弾発力で弁部材１５を閉弁させることができる。

上記電動モータ４５は、ストッパー４１の位置調整のみに使用するため、可及的に小型で安価なものにすることが望まれるが、その場合に、該ストッパー４１にピストン３２の駆動力が作用している状態では、電動モータ４５を回転駆動してストッパー４１の位置調整を行うことには困難性がある。また、ボールねじによって構成される回転−直動変換機構４７にも大きな負担を強いることになる。
このような問題に対処するために、上記メインコントローラ６３に、電動モータ４５の駆動に際して、少なくとも弁部材１５の弁開度を小さくする方向への電動モータ４５の駆動時には、上記受圧室３７の圧力を排出または低下させ、該電動モータ４５により上記回転−直動変換機構４７を介して移動子５１を駆動する駆動力を軽減させる機能を持たせることができる。なお、弁部材１５の弁開度を小さくする方向への電動モータ４５の駆動時ばかりでなく、逆方向への電動モータ４５の駆動時にも同様に受圧室３７の圧力を排出または低下させることができる。

また、上記電磁弁６２が、前述したように、パイロットポート３８に供給するパイロット流体を圧力制御して供給可能なものである場合には、上記メインコントローラ６３に、電動モータ４５の駆動に際して上記受圧室３７の圧力を制御された一定圧まで低下させ、該電動モータ４５により上記回転−直動変換機構４７を介して移動子５１を駆動する駆動力を軽減させる機能を持たせることができる。なお、弁部材１５の弁開度を大きくする方向への電動モータ４５の駆動時には、必要がなければ、受圧室３７の圧力を排出または低下させなくてもよい。

更に、このパイロット流体の圧力制御を行う場合には、受圧室３７にパイロット流体を供給してピストン３２をストッパー４１に押し付けるときに、該受圧室３７に供給する圧力を制御して、ストッパー４１を支持する上記回転−直動変換機構４７や電動モータ４５に対して作用するピストン３２の駆動力の負担を軽減させることができる。この場合に、受圧室３７にその内部の圧力を検出する圧力センサーを設けて、その検出圧力をメインコントローラ６３にフィードバックすることもできる。

上記構成を有する真空調圧用バルブは、モータコントローラ６４により制御される電動モータ４５により上記ストッパー４１を移動させて正確に位置決めし、該ストッパー４１にピストン３２を押当てて上記ピストン３２の動作位置を制御しているため、ストッパー４１の迅速且つ正確な位置決めにより上記弁部材１５を迅速且つ正確に位置決めすることができ、上記弁部材１５の開度を正確に制御することができると共に制御性に優れ、しかも、上記電動モータ４５はストッパー４１を位置決めするためにだけ使われているので、小型で安価なものを用いることができ、省電力、小型化により経済性に優れたものとなる。

以上において、本発明の真空調圧用バルブについて詳述したが、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、本発明の特許請求の範囲に記載の発明の精神を逸脱しない範囲で、設計において種々の変更ができるものである。

本発明に係る真空調圧用バルブの一実施例を示す断面図である。

符号の説明

１ 弁主体部
２ シリンダ部
３ 弁開度調節部
４ 弁制御部
５ 真空チャンバ
６ 真空ポンプ
１０ バルブハウジング
１１ 第１メインポート
１２ 第２メインポート
１３ 流路
１４ 弁座
１５ 弁部材
２０ 弁シャフト
２３ 復帰ばね
３２ ピストン
３７ 受圧室
３８ パイロットポート
４１ ストッパー
４５ 電動モータ
４６ 出力軸
４７ 回転−直動変換機構
５１ 移動子
５２ 雌ねじ部
５４ 回転量センサー
６０ 圧力センサー
６２ 電磁弁
６２ａ 第１の２ポート弁
６２ｂ 第２の２ポート弁
６３ メインコントローラ
６４ モータコントローラ

Claims (5)

1. 真空チャンバ及び真空ポンプに接続するための第１メインポート及び第２メインポートと、これら両メインポートを結ぶ流路と、該流路中に上記第１メインポートの回りを取り囲むように設けられた弁座とを備えたバルブハウジングと、該バルブハウジング内に設けられている、上記弁座を開閉する弁部材と、この弁部材から上記バルブハウジングの軸線方向に延びて先端がシリンダ部に達する弁シャフトと、上記弁部材を弁座の閉鎖方向に向けて付勢する復帰ばねとを有する弁主体部、
   上記弁シャフトの先端に取り付けられたピストンと、このピストンに上記弁部材が開放する方向の流体圧を作用させる受圧室と、この受圧室にパイロット流体を給排するためのパイロットポートとを有する上記シリンダ部、
   上記ピストンの背面に向けて突出して該ピストンの移動範囲を規制するストッパーと、該ストッパーに設けた移動子を回転−直動変換機構を介して任意の位置まで無段階に前後進駆動する電動モータとを有する弁開度調節部、及び、
   上記電動モータの回転量を検出する回転量センサーと、上記真空チャンバの圧力を検出する圧力センサーと、上記パイロットポートにパイロット流体を給排する電磁弁と、圧力設定値の信号及び上記圧力センサーからの圧力信号に基づいて、上記電動モータの駆動を制御するモータコントローラに弁部材の開度を適切に設定するためのストッパー位置の信号を出力すると共に、上記電磁弁に上記受圧室内の流体圧がピストンの駆動制御に必要な圧力になるように制御するための制御信号を出力するメインコントローラと、該メインコントローラからのストッパー位置の信号と上記回転量センサーからの信号に基づいて上記電動モータを制御する上記モータコントローラとを有し、上記電動モータで上記ストッパーを変位させて上記ピストンによる上記弁部材の開度を制御する弁制御部、
   を備え、
   上記メインコントローラが、電動モータの駆動に際して、少なくとも弁部材の弁開度を小さくする方向への電動モータの駆動時には、上記受圧室の圧力を排出または低下させ、該電動モータにより上記回転−直動変換機構を介して移動子を駆動する駆動力を軽減させる機能を有している、
   ことを特徴とする真空調圧用バルブ。
2. 上記電磁弁を、パイロットポートに供給するパイロット流体を圧力制御して供給可能なものとし、上記メインコントローラが、電動モータの駆動に際して上記受圧室の圧力を制御された一定圧まで低下させ、該電動モータにより上記回転−直動変換機構を介して移動子を駆動する駆動力を軽減させる機能を有している、
   ことを特徴とする請求項１に記載の真空調圧用バルブ。
3. 上記回転−直動変換機構が、上記電動モータの出力軸の回転を上記移動子の直動に変換するボールねじで構成されている、
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の真空調圧用バルブ。
4. 上記電磁弁が、第１及び第２の二つの２ポート弁で構成され、該第１の弁の入力側が空気圧源に接続され、該第２の弁の出力側が大気に開放され、該第１の弁の出力側と該第２の弁の入力側とを上記パイロットポートに接続している、
   ことを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の真空調圧用バルブ。
5. 上記電磁弁が、単一の３ポート弁で構成され、該３ポート弁を空気圧源からの圧縮空気を上記パイロットポートに給排可能に接続している、
   ことを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の真空調圧用バルブ。

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