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JP4012024B2 - 位置決め装置に於ける衝撃吸収装置 - Google Patents

位置決め装置に於ける衝撃吸収装置 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子線描画装置、精密計測機等の非大気雰囲気中で高速移動、精密位置決めを繰り返す或いは高精度にスキャン移動する移動案内・位置決め装置に於ける衝撃吸収装置、該装置を用いた露光装置等に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図13は従来の位置決め装置であるXYステージの平面図で、図14は図13の正面図である。これらの図に於いて、501はベース基板、502はX移動基板、503はY移動基板である。ベース基板501には、X移動基板502を第1の位置決め方向であるX軸方向に案内する案内部材504が設けられ、X移動基板502には、Y移動基板503を第2の位置決め方向であるY軸方向に案内する案内部材505が設けられている。X移動基板502の裏面には、案内部材504に沿って移動が可能な案内ブロック部材506が設けられ、同じくY移動基板503の裏面には、案内部材505に沿って移動が可能な案内ブロック部材507が設けられている。Y移動基板503上には、試料を搭載するためのチャッキング装置等を搭載する天板部材509があり、位置計測のための反射ミラー510、511が取付けられている。ベース基板501には、X移動基板502のストロークエンド相当位置に衝撃吸収装置であるショックアブソーバ512が取付け部材513を介して配置されている。X移動基板502には、Y移動基板503のストロークエンド相当位置に衝撃吸収装置であるショックアブソーバ512が取付け部材514を介して配置されている。
【0003】
また、真空容器内に収められた搬送アームの駆動系にショックアブソーバを用いている例もある(特許文献1参照)。この例では、ロードロック室内のウェハーカセットを載置するカセット台を回転、昇降させる駆動機構を設け、駆動機構はロータリーアクチュエータ、カセットエレベータからなり、ロードロック室外部のハウジングに収容されている。駆動軸の周囲には軸方向運動時の気密を確保するようにベローズが設けられており、カセットエレベータ下降端部には下降端での位置決め時の衝撃を吸収するショックアブソーバが構成されている。
【0004】
【特許文献1】
特開平10-340938号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図13、図14に示される従来例に於いては、XYステージを真空容器内に設置する場合、真空対応で且つ小型軽量の衝撃吸収装置であるショックアブソーバを容易に入手することが難しい。また、例えばベローズ部材を用いて密閉構造のカバーを設置する場合も、小型化設計は難しく、ステージ装置の大型化を招き、それに伴って真空容器も大型化し、真空ポンプ等の付帯設備も大型となり装置コストアップに繋がる。また、大型化した真空容器を所望の圧力に達するまで排気するには長い時間を要し、メンテナンス時間等が長くなり、生産性を低下させる。また更には、ショックアブソーバが繰り返し機能したとき、容器内に於いてショックアブソーバ内部の流体のリークの懸念がある。
【0006】
他方、特開平10−340938号公報の例では、ショックアブソーバを真空容器の外に配置することで上記の課題(大型化の問題、リークの懸念)を解決している。しかしながら、この従来例では、高剛性な送り系を構成するのが難しく、また、軸方向駆動時の気密性を確保するために駆動軸周囲にベローズが設けられているが、このベローズを介して外乱が位置決め対象に伝達され得る構造になっている。
【0007】
したがって、本発明の目的は、非大気雰囲気内に於いて高速・高精度位置決めを可能とする小型化可能な装置構成の位置決め装置に於ける衝撃吸収装置、該装置を用いた位置決め装置等を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段および作用】
上記目的を達成する本発明の衝撃吸収装置は、ステージ装置と、ステージ装置が搭載される本体装置と、ステージ装置を搭載する領域を真空またはパージされた雰囲気に保つ容器を含む位置決め装置に於いてステージ装置のストロークエンドに配置される衝撃吸収装置であって、ステージ装置とは別体の支持部材に固定されていることを特徴とする。この構成では、衝撃吸収装置が、駆動系を含むステージ装置とは別体の支持部材に固定されているので、ステージ装置の大型化を防ぎ、非大気雰囲気内に於いて位置決め対象の高速・高精度位置決めを可能とする。
【0009】
より詳細には本発明の衝撃吸収装置は以下の如き構成を有する
上記衝撃吸収装置の支持部材容器の隔壁部材である場合、衝撃吸収装置は、衝撃吸収体と、前記衝撃吸収体または衝撃吸収体の取付部材を前記容器の隔壁部材に気密性をもって固定するフランジ部材と、一端が前記容器内に挿入され、他方の端部が前記衝撃吸収体に圧接している棒状部材と、一端が棒状部材に気密性をもって固定され、他方の端部が前記衝撃吸収体、前記衝撃吸収体の取付部材、または前記フランジ部材に気密性をもって固定されているシール部材から構成され得る。前記フランジ部材は前記棒状部材と同軸上に設けられ、前記フランジ部材と棒状部材の間に前記棒状部材のガイド部材を配置することもできる。これらの構成によれば、衝撃吸収体は容器の隔壁部材の外側に配置されるので、衝撃吸収体内からの流体のリークによる容器内部の環境汚染を防ぐことができる。
【0010】
また、上記衝撃吸収体の取付部材には薄肉部が設けられ得る。この構成によれば、衝撃吸収装置に過大な力が作用した場合も、この薄肉部が変形または破損することで容器の破損を確実に防ぎ、内部の環境を保持することができる。
【0011】
また、前記衝撃吸収装置を構成する衝撃吸収体は、前記本体装置に設けられた支持部材に支持され得る。この構成によっても、衝撃吸収装置に過大な力が作用した場合も、支持部材側が変形または破損することで容器の破損を確実に防ぎ、内部の環境を保持することができる。この場合衝撃吸収装置は、衝撃吸収体と、一端が容器内に挿入され、他方の端部が容器外にある衝撃吸収体に圧接している棒状部材と、棒状部材を隔壁部材に気密性をもって固定するフランジ部材と、一端が棒状部材に気密性をもって固定され、他方の端部がフランジ部材に気密性をもって固定されているシール部材と、本体装置に設けられた、衝撃吸収体または衝撃吸収体の取付部材を保持する支持部材とから構成される。ここでも、前記フランジ部材は前記棒状部材と同軸上に設けられ、前記フランジ部材と棒状部材の間に前記棒状部材のガイド部材を配置することもできる。
【0012】
この場合、衝撃吸収装置には、シール部材と支持部材とで構成される容器外の空間を気密性をもって覆う第2のシール部材と、棒状部材と支持部材の隙間の気密を保つ第3のシール部材と、第2のシール部材で覆われた空間を略真空に引く手段を更に設け得る。この構成によれば、容器の内部と外部の差圧により衝撃吸収装置に作用する力をキャンセルすることができ、効率的に且つ確実に衝突エネルギーをソフトに吸収することができる。
【0013】
更に、上記目的を達成する本発明の位置決め装置は、上記の衝撃吸収装置を有することを特徴とする。この構成によれば、ステージ装置がXYステージである場合、非大気雰囲気内で高速・高精度な2次元的な位置決めが可能である。また、本体装置が電子ビーム描画装置である場合、高精度で低コストな装置の実現を可能とする。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を明らかにすべく実施例を図面に沿って説明する。
【0015】
(第1実施例)
図1は、本発明に係る位置決め装置の第1実施例の平面図で、図2は図1のA−A断面図、図3は図1のB−B断面図である。本実施例のXYステージ装置100は以下の構成要素により構成される。1はベース定盤で、2はX軸静圧ラジアル軸受、3はX軸静圧平面軸受で、対向する軸受3a、3bで構成される。4はY軸静圧ラジアル軸受、5はY軸静圧平面軸受で、対向する軸受5a、5bで構成される。6はX軸ラジアル移動体、7はX軸平面移動体、8はX軸駆動体、9はX軸リニアモータ、10はY軸ラジアル移動体、11はY軸平面移動体、12はY軸駆動体、13はY軸リニアモータである。
【0016】
更に、14はXY移動体で、X移動体14aとY移動体14bと天板14cからなり、夫々一体的に固定されている。Y移動体14b下面には、軸受15と予圧手段である永久磁石16が設けられており、XY移動体14をベース定盤1の上面基準に沿って非接触で案内する。X移動体14aのY駆動軸12の側面に対向する面には軸受17が設けられており、X移動体14aをY駆動体12の側面をガイドとしてX軸方向に移動可能に支承する。Y移動体14bのX駆動軸8の側面に対向する面には軸受18が設けられており、Y移動体14bをX駆動体8の側面をガイドとしてY軸方向に移動可能に支承する。天板14c上には試料を載置するためのチャッキング装置等を搭載する天板部材19があり、位置計測のための反射ミラー20、21が取付けられる。
【0017】
本体装置200は以下の構成要素により構成される。201は本体定盤、202は真空容器であり、底板202a、側板202b、天板202cから構成され、ベース定盤201上に固定される。本体定盤201は図示しない除振台等の支持機構上に載置される。203はスペーサで、XYステージ装置100の重心近傍を中心とした略3等分位置に配置される。204はXYステージ装置100を載置する面204aを有する搭載板で、スペーサ203で3点支持される。上記構成でXYステージ装置100は載置面204a上に搭載され、位置決めピン205で本体装置200に対して位置決めされ固定される。真空容器202には図示しない排気管路および真空ポンプが接続されており、真空容器202内部を真空またはN、He等でパージできるように構成されている。
【0018】
図4は、X軸静圧ラジアル軸受2およびY軸静圧ラジアル軸受4の概念的な断面図である。101はX軸ラジアル移動体6またはY軸ラジアル移動体10に相当する断面円形状の円筒軸部材である。102は軸部材101と略同軸状に配置されたハウジングで、内径部には軸受ブッシュ103が設けられている。104は、軸受ブッシュ103の両端部に設けられたラビリンス溝104a、ランド部104bで構成される差動排気部で、少なくとも2段以上の溝とランド部より構成される。上記構成に於いて、真空容器202の側板202bに設けられた図示しないフィードスルーを経由して、給気口105より加圧流体を軸受ブッシュ103に供給すると、円筒軸部材101は非接触支持される。軸受ブッシュ103から噴出した加圧流体は、真空容器202の側板202bに設けられた図示しないフィードスルーを経由して、排気管路106および排気管路107に接続された図示しない真空ポンプにより強制的に排気され、微小隙間108からは極微量の圧力流体が漏れ出すだけとなる。
【0019】
図5は、X軸静圧平面軸受3およびY軸静圧平面軸受5を構成する軸受3a、3b、5a、5b、および軸受15、17、18の概念的な断面図である。109はX軸平面移動体7、Y軸平面移動体11、X軸駆動体8、Y軸駆動体12、ベース定盤1に相当する平面軸部材である。110は平面軸部材109と並行に配置されたハウジングで、中央部には軸受パッド111が設けられている。112は、軸受パッド111を略同心状に取り囲むように設けられたラビリンス溝112a、ランド部112bで構成される差動排気部で、少なくとも2段以上の溝とランド部より構成される。上記構成に於いて、真空容器202の側板202bに設けられた図示しないフィードスルーを経由して、給気口113より加圧流体を軸受パッド111に供給すると、平面軸部材109とハウジング110とは相対的に非接触支持される。軸受パッド111から噴出した加圧流体は、真空容器202の側板202bに設けられた図示しないフィードスルーを経由して、排気管路114および排気管路115に接続された図示しない真空ポンプにより強制的に排気され、微小隙間116からは極微量の圧力流体が漏れ出すだけとなる。
【0020】
図6は図2および図3の部分拡大図で、本実施例の特徴部分である衝撃吸収装置300の構造を示している。衝撃吸収装置300は側板202bに固定されている。301はロッド、302はロッド301と略同軸状に構成され側板202bにOリング302aを介在して気密性をもって固定されるフランジ部材、303はフランジ部材302の蓋で、Oリング303aによって接合面は気密を保たれている。304はロッド301端部に突き当てられている衝撃吸収体であるショックアブソーバ、304aはその取付板である。305はシール部材であるベローズで、一端はロッド301に溶接等の手段で気密性をもって固定され、他方の端部は蓋303に溶接等の手段で気密性をもって固定される。306はロッド301のガイド部材である。上記構成に於いて、ロッド301は、ベローズ305によって気密性を保ちながら真空容器202内部へ挿入されており、真空容器内部側の端部に入力される衝突によるエネルギーを、真空容器202の気密性を保ちつつ、真空容器外部に配置されているショックアブソーバ304へ伝達し、吸収することができる。
【0021】
以上の構成に於いて、XYステージ装置100のXY移動体14は、真空またはパージされた雰囲気内に於いて、X軸リニアモータ9およびY軸リニアモータ13により高速に且つ高精度にXY方向に位置決め又はスキャン駆動される。このとき、静圧軸受2、3、4、5からの加圧流体の洩れは差動排気され極微量の圧力流体のみが真空容器202内に洩れ出るので、真空またはパージされた雰囲気の圧力の劣化、汚染等を防止できる。また、不慮のトラブルによる暴走時の衝撃エネルギーを、ショックアブソーバ304内部の流体の真空容器202内へのリークの懸念なく、衝撃吸収装置300で効率的に吸収するので、XYステージ装置100および真空容器202の変形または破損を防止し、真空容器202の真空度劣化を防止し、ターボ分子ポンプ等の付帯設備の破損も合わせて防止することができる。更に、衝撃吸収装置300が、駆動系を有するステージ装置以外の支持部材(本実施例では真空容器202の隔壁部材)にコンパクトに取り付けられているだけであるので、衝撃吸収装置による装置の大型化が避けられ、高速且つ高精度な位置決め駆動に悪影響を与えることもない。
【0022】
(第2実施例)
図7は、図2および図3の部分拡大図で、第2実施例の特徴部分である衝撃吸収装置300の構造を示している。図8は図7の部分矢視図である。本実施例の衝撃吸収装置300は側板202bに固定されている。301はロッド、302は、ロッド301と略同軸状に構成され側板202bにOリング302aを介在して気密性をもって固定されるフランジ部材、303はフランジ部材302の蓋で、Oリング303aによって接合面は気密を保たれている。304はロッド301端部に突き当てられている衝撃吸収体であるショックアブソーバ、304aはその取付板である。305はシール部材であるベローズで、一端はロッド301に溶接等の手段で気密性をもって固定され、他方の端部は蓋303に溶接等の手段で気密性をもって固定される。306はロッド301のガイド部材である。取付板304aにはショックアブソーバ304と略同軸状の円形薄肉部307が設けられている(図8参照)。
【0023】
上記構成に於いても、ロッド301は、ベローズ305によって気密性を保ちながら真空容器202内部へ挿入されており、真空容器内部側の端部に入力される衝突によるエネルギーを真空容器外部に配置されているショックアブソーバ304へ伝達し、吸収することができる。このとき過大な力が作用した場合、円形薄肉部307が変形または破損し、真空容器202の側板202bの変形または破損を更に確実に防止する。その他の点は第1実施例と同じである。
【0024】
(第3実施例)
図9は、第3実施例における図7の部分矢視図である。取付板304aには、ショックアブソーバ304と梁状薄肉部308が設けられている。この構成に於いても、ロッド301はベローズ305によって気密性を保ちながら真空容器202内部へ挿入されており、真空容器内部側の端部に入力される衝突によるエネルギーを真空容器外部に配置されているショックアブソーバ304へ伝達し、吸収することができる。このときも過大な力が作用した場合、梁状薄肉部308が変形または破損し、真空容器202の側板202bの変形または破損を更に確実に防止する。その他の点は第1実施例と同じである。
【0025】
(第4実施例)
図10は、第4実施例の位置決め装置の部分断面図で、図11はその特徴部分である衝撃吸収装置300aの拡大図である。図10に於いては、図2と同じ部材に関しては同じ符号で示して説明を省略する。22はベース定盤201に固定された支持部材で、衝撃吸収装置300aが固定される。図11に於いては、図6と同一部材に関しては同じ符号で示して説明を省略する。上記構成に於いても、ロッド301は、シール部材であるベローズ305によって気密性を保ちながら真空容器202内部へ挿入されており、真空容器内部側の端部に入力される衝突によるエネルギーを真空容器外部に配置されている衝撃吸収体であるショックアブソーバ304へ伝達し、吸収することができる。このとき過大な力が作用した場合、ショックアブソーバ304は支持部材22に固定されているので、真空容器202の側板202bの変形または破損を確実に防止できる。その他の点は第1実施例と同じである。
【0026】
(第5実施例)
図12は、第5実施例の衝撃吸収装置300a部の拡大図である。図12に於いて、図6と同一部材に関しては同じ符号で示して説明を省略する。22は、第4実施例と同様にベース定盤201に固定された支持部材で、衝撃吸収装置300aが固定される。23は、一端を蓋303に気密性をもって固定され、他方の端部を支持部材22に気密性をもって固定される第2のシール部材であるベローズである。24は支持部材22に設けられた排気管路で、25はロッド301と支持部材22との隙間をシールする第3のシール部材であるOリングである。
【0027】
上記構成に於いても、ロッド301は、ベローズ305によって気密性を保ちながら真空容器202内部へ挿入されており、真空容器内部側の端部に入力される衝突によるエネルギーを真空容器外部に配置されているショックアブソーバ304へ伝達し、吸収することができる。このとき過大な力が作用した場合、ショックアブソーバ304は支持部材22に固定されているので、真空容器202の側板202bの変形または破損を確実に防止できる。また、第2のベローズ23とOリング25により気密性を確保された空間を排気管路24から図示しない真空ポンプ等で排気し負圧にすることで、真空容器202内との差圧を1気圧以下にすることができる。それにより、ロッド301に作用する力(ベローズ305の取付部面積に外部の圧力を乗じた力)をキャンセルすることができ、効率的且つ確実に衝突エネルギーをよりソフトに吸収できる。
【0028】
尚、上記各実施例の説明におけるXYステージ装置は静圧軸受を用いているが、案内としてはこれに限らず、転がり案内等を用いた場合でも、本発明の衝撃吸収装置は応用可能である。また、ステージ装置は一軸構成の場合も応用可能であり、さらには、必ずしも3点受けで搭載される必要はなく、要求精度によってはベタ置きでも良い。
【0029】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項1乃至11に係る本発明によれば、ステージ装置に衝撃吸収装置を固定する必要がないのでステージ装置の大型化を防ぎ、装置の総コストアップを防ぐことができ、衝撃吸収装置がステージ装置の駆動性能に悪影響を及ぼす懸念もないので非大気雰囲気内での高速、高精度な位置決めを達成できる。また、不慮のトラブルによる暴走時の衝撃エネルギーをステージ装置とは別体側の衝撃吸収装置で効率的に吸収するので、ステージ装置の変形または破損を防止することができる。
【0030】
更に、請求項2乃至11に係る本発明によれば、衝撃吸収体であるショックアブソーバは容器の外側に配置されるので、ショックアブソーバ内部の流体のリークによる容器内の汚染が防止できる。また、ステージ装置とは別体の容器の隔壁部材に固定された衝撃吸収装置により不慮のトラブルによる暴走時の衝撃エネルギーを効率的に吸収するので、ステージ装置及び容器の変形または破損を防止することができる。
【0031】
請求項4、5に係る本発明によれば、衝撃吸収装置の取付部に薄肉部を設け、過大な力が作用した時に積極的に変形または破損するような構造とすることで、容器の変形または破損を確実に防止し、真空度の劣化を防ぎ、ターボ分子ポンプ等の付帯設備の破損も合わせて防止することができる。
【0032】
請求項6乃至8に係る本発明によれば、衝撃吸収装置の衝撃吸収体を容器とは別体の支持部材に取付けることで、容器の変形または破損をより確実に防止し、真空度劣化の劣化を防ぎ、ターボ分子ポンプ等の付帯設備の破損も合わせて防止することができる。
【0033】
請求項8に係る本発明によれば、衝撃吸収装置に外側から作用する1気圧分の力をキャンセルすることができ、効率的に且つ確実に衝突エネルギーをよりソフトに吸収することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明の第1実施例に係わる位置決め装置の平面図である。
【図2】図2は図1のA−A断面図である。
【図3】図3は図1のB−B断面図である。
【図4】図4は、図1の構成の静圧ラジアル軸受の断面図である。
【図5】図5は、図1の構成の静圧平面軸受の断面図である。
【図6】図6は、本発明の第1実施例に係わる位置決め装置の衝撃吸収装置の断面図である。
【図7】図7は第2実施例に係わる衝撃吸収装置の断面図である。
【図8】図8は図7の部分矢視図である。
【図9】図9は第3実施例に係わる衝撃吸収装置の部分矢視図である。
【図10】図10は第4実施例に係わる位置決め装置の部分断面図である。
【図11】図11は第4実施例に係わる位置決め装置の衝撃吸収装置の断面図である。
【図12】図12は第5実施例に係わる衝撃吸収装置の断面図である。
【図13】図13は従来例の上面図である。
【図14】図14は図13の正面図である。
【符号の説明】
1;ベース定盤
2;X軸静圧ラジアル軸受
3;X軸静圧平面軸受
4;Y軸静圧ラジアル軸受
5;Y軸静圧平面軸受
6;X軸ラジアル移動体
7;X軸平面移動体
8;X軸駆動体
9;X軸リニアモータ
10;Y軸ラジアル移動体
11;Y軸平面移動体
12;Y軸駆動体
13;Y軸リニアモータ
14;XY移動体
15、17、18;軸受
16;永久磁石
19;天板部材
20、21;反射ミラー
22;支持部材
23;第2のシール部材
24;排気管路
25;第3のシール部材
100;XYステージ装置
103;軸受ブッシュ
111;軸受パッド
200;本体装置
201;本体定盤
202;真空容器
202b;側板
300;衝撃吸収装置
301;ロッド
302;フランジ部材
303;フランジ部材の蓋
304;ショックアブソーバ
304a;取付板
305;シール部材
306;ガイド部材
307;円形薄肉部
308;梁状薄肉部

Claims (10)

  1. ステージ装置と、前記ステージ装置が搭載される本体装置と、前記ステージ装置を搭載する領域を真空またはパージされた雰囲気に保つ容器を含む位置決め装置に於いて前記ステージ装置のストロークエンドに配置される衝撃吸収装置であって、
    衝撃吸収体と、
    前記衝撃吸収体または衝撃吸収体の取付部材を前記容器の隔壁部材に気密性をもって固定するフランジ部材と、
    一端が前記容器内に挿入され、他方の端部が前記衝撃吸収体に圧接している棒状部材と、
    一端が前記棒状部材に気密性をもって固定され、他方の端部が前記衝撃吸収体、前記衝撃吸収体の取付部材、または前記フランジ部材に気密性をもって固定されているシール部材と、
    から構成されることを特徴とする衝撃吸収装置。
  2. 前記衝撃吸収体の取付部材には、衝撃吸収体と略同心状に薄肉部が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の衝撃吸収装置。
  3. 前記衝撃吸収体の取付部材には、梁状の薄肉部が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の衝撃吸収装置。
  4. 前記フランジ部材は前記棒状部材と同軸上に設けられ、前記フランジ部材と棒状部材の間に前記棒状部材のガイド部材を配置することを特徴とする請求項 1 に記載の衝撃吸収装置。
  5. ステージ装置と、前記ステージ装置が搭載される本体装置と、前記ステージ装置を搭載する領域を真空またはパージされた雰囲気に保つ容器を含む位置決め装置に於いて前記ステージ装置のストロークエンドに配置される衝撃吸収装置であって、
    衝撃吸収体と、
    一端が前記容器内に挿入され、他方の端部が前記容器外にある前記衝撃吸収体に圧接している棒状部材と、
    前記棒状部材を隔壁部材に気密性をもって固定するフランジ部材と、
    一端が前記棒状部材に気密性をもって固定され、他方の端部が前記フランジ部材に気密性をもって固定されているシール部材と、
    前記本体装置に設けられた、前記衝撃吸収体または衝撃吸収体の取付部材を保持する支持部材と、
    から構成されることを特徴とする衝撃吸収装置
  6. 前記シール部材と前記支持部材とで構成される前記容器外の空間を気密性をもって覆う第2のシール部材と、前記棒状部材と前記支持部材の隙間の気密を保つ第3のシール部材と、前記第2のシール部材で覆われた空間を略真空に引く手段を更に設けたことを特徴とする請求項5に記載の衝撃吸収装置。
  7. 前記フランジ部材は前記棒状部材と同軸上に設けられ、前記フランジ部材と棒状部材の間に前記棒状部材のガイド部材を配置することを特徴とする請求項 5 に記載の衝撃吸収装置。
  8. 請求項1乃至7の何れかに記載の衝撃吸収装置を有することを特徴とする位置決め装置。
  9. 前記ステージ装置は2次元的に位置決めを行うXYステージであることを特徴とする請求項8に記載の位置決め装置。
  10. 前記本体装置が電子ビーム描画装置であることを特徴とする請求項8または9に記載の位置決め装置。
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